JP6837988B2 - 着色組成物、カラーフィルタ、パターン形成方法、固体撮像素子、画像表示装置および色素多量体 - Google Patents
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Description
また、特許文献6には、色素多量体を含む着色組成物を用いてカラーフィルタを製造することが記載されている。
しかしながら、本発明者らの検討によれば、特許文献1〜5に記載された黄色染料を用いた着色組成物を支持体などに適用し、乾燥した状態の膜(未硬化の膜)を長時間引き置きしたのち、硬化処理を行って硬化膜を製造すると、得られる硬化膜に色ムラや欠陥などが生じやすいことが分かった。上記膜の引き置きを長くするほど、得られる硬化膜に欠陥や色ムラが生じやすかった。これは、特許文献1〜5に記載された黄色染料は、極性が高いため、着色組成物中の他の成分(硬化性化合物、樹脂、溶剤など)との相溶性が経時で低下しやすく、そのため、引き置き時に、黄色染料と、他の成分とで相分離が生じたり、黄色染料の凝集などが生じて、硬化膜に欠陥や、色ムラが生じやすくなったと推測する。
なお、特許文献6には、引き置きに伴う、欠陥や色ムラに関する検討については記載されていない。
<1> 色素多量体と、硬化性化合物とを含む着色組成物であって、
色素多量体は、2以上のヘテロ原子を含み、かつ、ヘテロ原子の1以上が窒素原子であるカチオン性ヘテロ環に、アゾ基または芳香族環基が結合した構造を有する色素構造を含む、着色組成物。
<2> カチオン性ヘテロ環が、下記式(I)で表わされる、<1>に記載の着色組成物;
式(I)
<3> 色素構造は、式(Ia)で表される、<1>または<2>に記載の着色組成物;
Lは、−N=N−、または、アリーレン基を表し、
Bは、置換基を表し、
Xはアニオンを表し、
Ht、BおよびXの少なくとも一つが色素多量体を構成する原子団との結合部位を有する。
<4> 色素多量体は、式(I−1)で表される色素構造を有する、<1>または<2>に記載の着色組成物;
<5> 色素多量体は、式(I−2)で表される色素構造を有する、<1>または<2>に記載の着色組成物;
<6> 色素多量体は、下記式(A)で表される繰り返し単位、及び、下記式(C)で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含んでなるか、又は下記式(D)で表される、<1>〜<5>のいずれかに記載の着色組成物;
<7> 色素多量体は、ビス(スルホニル)イミドアニオンまたはトリス(スルホニル)メチルアニオンを有する、<1>〜<6>のいずれかに記載の着色組成物。
<8> さらに、顔料を含有する、<1>〜<7>のいずれかに記載の着色組成物。
<9> 硬化性化合物が、ラジカル重合性化合物を含み、更に光重合開始剤を含有する、<1>〜<8>のいずれかに記載の着色組成物。
<10> 更に、アルカリ可溶性樹脂を含む、<1>〜<9>のいずれかに記載の着色組成物。
<11> <1>〜<10>のいずれかに記載の着色組成物を用いたカラーフィルタ。
<12> <1>〜<10>のいずれかに記載の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、着色組成物層に対してパターンを形成する工程と、を有するパターン形成方法。
<13> <11>に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子。
<14> <11>に記載のカラーフィルタを有する画像表示装置。
<15> 下記式(I−1)または式(I−2)で表される色素構造を有する色素多量体;
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において光とは、活性光線または放射線を意味する。また、「活性光線」または「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等を意味する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、EUV光などによる露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、着色組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定によるポリスチレン換算値として定義される。
本発明の着色組成物は、色素多量体と、硬化性化合物とを含む着色組成物であって、色素多量体は、2以上のヘテロ原子を含み、かつ、ヘテロ原子の1以上が窒素原子であるカチオン性ヘテロ環に、アゾ基または芳香族環基が結合した構造を有する色素構造を含む。
上記構成とすることにより、着色組成物を支持体などに適用し、乾燥した状態の膜(未硬化の膜)を長時間引き置きしたのち、硬化しても、欠陥や色ムラなどの少ない、硬化膜を製造することができる。さらには、上記の未硬化の膜を長時間引き置きした後、パターン形成しても、色ムラ、欠陥およびパターン表面の荒れが少なく、パターン欠陥の抑制されたパターンを得ることもできる。
このような効果が得られる理由については、以下によるものと推測する。まず、2以上のヘテロ原子を含み、かつ、ヘテロ原子の1以上が窒素原子であるカチオン性ヘテロ環に、アゾ基または芳香族環基が結合した構造を有する色素化合物は、極性が高いものが多い。特に、カチオン性ヘテロ環として、非対称性の五員環構造を有する色素化合物は、対称性の高いキサンテン、トリアリールメタン、シアニン等と比較して極性は非常に高い。一方、着色組成物に用いる硬化性化合物などは、低極性であるものが多い。このため、このような極性の高い色素化合物は、硬化性化合物などの着色組成物中の他の成分と相溶しにくいと考えられる。また、1分子に1つの色素構造を有する色素化合物は、未硬化の膜中で移動しやすいため、双極子の相互作用により、引き置き時に、相分離などが生じたり、色素化合物が凝集して、欠陥や色ムラなどが生じやすくなっていたと推測する。これに対し、本発明では、上述のカチオン性ヘテロ環に、アゾ基または芳香族環基が結合した構造を有する色素化合物を多量体化して、上述のカチオン性ヘテロ環を有する色素構造を含む色素多量体とすることで、膜中で色素多量体の移動を抑制できたと推測する。さらには、色素多量体とすることにより、分子量が大きくなるため、単分子の色素化合物の場合に比べて極性が小さくなり、膜中の他の成分との相溶性が低下しにくくなったと推測する。そのため、本発明によれば、着色組成物を支持体などに適用し、乾燥した状態の膜(未硬化の膜)を長時間引き置きしたのち、硬化しても、引き置き時における相分離や凝集を抑制でき、その結果、色ムラおよび欠陥の抑制された硬化膜を製造できたと推測する。さらには、引き置き時における相分離や凝集を抑制できるため、引き置き後も、膜の硬化を均一に行うことができる。そのため、上記の未硬化の膜を長時間引き置きした後、パターン形成しても、色ムラ、欠陥およびパターン表面の荒れが少なく、パターン欠陥の抑制されたパターンを得ることもできる。
以下、本発明の着色組成物について詳細に説明する。
本発明の着色組成物は、2以上のヘテロ原子を含み、かつ、ヘテロ原子の1以上が窒素原子であるカチオン性ヘテロ環に、アゾ基または芳香族環基が結合した構造を有する色素構造を含む色素多量体を含む。なお、本発明において、色素多量体は、二量体、三量体およびポリマーなどの構造を包含する。また、色素構造の種類(カチオン性ヘテロ環が有する置換基の種類や、色素骨格の種類など)によっては、色素構造上のカチオンは非局在化している場合がある。本発明におけるカチオン性ヘテロ環は、カチオンが非局在化している状態も含む。
式(I)
RaとRYa、RbとRYa、および、RbとRYbが結合して形成する環は、単環であってもよく、多環であってもよい。環は、芳香族環が好ましい。芳香族環としては、炭化水素芳香族環および複素芳香族環が挙げられる。炭化水素芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環等が挙げられる。複素芳香族環としては、ピリジン環、ピラジン環、ピロール環、キノリン環、キノキサリン環、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、オキサゾール環、チアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、インドール環、カルバゾール環などが挙げられる。芳香族環は、炭化水素芳香族環が好ましく、ベンゼン環がより好ましい。
芳香族環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基は、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。電子供与性基が好ましい。電子供与性基としては、Hammettのσp値が0.2以下の基が挙げられる。σp値として好ましくは0.1以下であり、より好ましくは0以下である。電子供与性基の具体例としては、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、ウレア基、アリル基、ヒドロキシル基などが挙げられ、アミノ基が好ましい。これらの基は、電子供与性を失わない範囲でアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヒドロキシル基、アルコキシ基、チオール基、チオアルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子等の置換基で置換されていてもよい。また、これらの置換基は、更にこれらの置換基で置換されていてもよく、また、可能であるなら互いに結合して環を形成していてもよい。
また、Lが、アリーレン基を表す場合、Bは、電子供与性基が好ましく、アミノ基がより好ましい。アミノ基は、ジアルキルアミノ基または環状アミノ基が好ましい。具体例としては、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ピペリジノ基、モルホリノ基などが挙げられる。また、BはHtに対してパラ位に置換されていることが好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がさらに好ましく、6〜10が特に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。
ヘテロ環基として、5〜7員の置換もしくは無置換、飽和もしくは不飽和、芳香族もしくは非芳香族、単環もしくは縮環のヘテロ環基が好ましく、環構成原子が炭素原子と、窒素原子、酸素原子および硫黄原子のいずれかのヘテロ原子を少なくとも一個有するヘテロ環基がさらに好ましい。なかでも、炭素数3〜30の5もしくは6員の芳香族のヘテロ環基が最も好ましい。ヘテロ環基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。ヘテロ環基として、例えば、2−フリル、2−チエニル、2−ピリジル、4−ピリジル、2−ピリミジニル、2−ベンゾチアゾリル、1−メチル―1H−インドール―3−イル、2−カルバゾイル等が挙げられる。なかでも、1−アルキル―1H−インドール―3−イルが好ましい。
アミノ基としては、−N(R110)(R111)で表される基が挙げられる。R110およびR111は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。水素原子、アルキル基、アリール基およびヘテロ環基については、上述した基が挙げられる。
R110およびR111の少なくとも一方は、アルキル基が好ましく、R110およびR111の両方がアルキル基であることがより好ましい。すなわち、アミノ基はジアルキルアミノ基がより好ましい。特に、Lが、アリーレン基を表す場合、R110およびR111の両方がアルキル基であることがより好ましい。
また、R110およびR111は結合して環を形成していることも好ましい。すなわち、アミノ基は環状アミノ基であることも好ましい。特に、R110およびR111の両方がアルキル基である場合、両者が結合して環を形成していることも好ましい。R110およびR111が結合して環を形成する場合、R110とR111は、−O−、−NH−、−CH2−およびそれらの組み合わせからなる群より選ばれる2価の連結基で連結して環を形成することが好ましい。2価の連結基は、−O−または−CH2−が好ましい。
式(Ia−1)において、Yaは硫黄原子または−NRYa−を表し、Ybは窒素原子または−CRYb−を表し、Ra、RYaおよびRYbは、それぞれ独立に水素原子または置換基を表す。
Ra、RYaおよびRYbが表す置換基としては、後述する置換基A群で挙げた置換基が挙げられる。たとえば、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基などが挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、炭素数1〜20がさらに好ましく、炭素数1〜10が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状が挙げられ、直鎖または分岐が好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。
アルケニル基の炭素数は、2〜30が好ましく、2〜20がさらに好ましく、2〜10がより好ましい。アルケニル基は、直鎖、分岐および環状が挙げられ、直鎖または分岐が好ましい。アルケニル基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がさらに好ましく、6〜10が特に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。
ヘテロ環基として、5〜7員の置換もしくは無置換、飽和もしくは不飽和、芳香族もしくは非芳香族、単環もしくは縮環のヘテロ環基が好ましく、環構成原子が炭素原子と、窒素原子、酸素原子および硫黄原子のいずれかのヘテロ原子を少なくとも一個有するヘテロ環基がさらに好ましい。
アルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、炭素数1〜20がさらに好ましく、炭素数1〜10が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状が挙げられ、直鎖または分岐が好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。
アリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜20がさらに好ましく、6〜10が特に好ましい。アリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、後述する置換基A群で挙げた基が挙げられる。
ヘテロ環基として、5〜7員の置換もしくは無置換、飽和もしくは不飽和、芳香族もしくは非芳香族、単環もしくは縮環のヘテロ環基が好ましく、環構成原子が炭素原子と、窒素原子、酸素原子および硫黄原子のいずれかのヘテロ原子を少なくとも一個有するヘテロ環基がさらに好ましい。
R101は、水素原子、アルキル基またはアリール基が好ましい。
R110およびR111は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基が好ましく、水素原子またはアルキル基がより好ましく、アルキル基がさらに好ましい。R110およびR111が結合して環を形成する場合、R110とR111は、−O−、−NH−、−CH2−およびそれらの組み合わせからなる群より選ばれる2価の連結基で連結して環を形成することが好ましい。2価の連結基は、−O−または−CH2−が好ましい。
R101、R110およびR111が表すアルキル基、アリール基およびヘテロ環基は、式(I−1)のR1およびR8で説明したアルキル基、アリール基およびヘテロ環基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
Y1およびY2は、少なくとも一方が−SO2−を表すことが好ましく、いずれも−SO2−を表すことがより好ましい。
X3、X4およびX5は、それぞれ独立に、フッ素原子またはフッ素原子を有するアルキル基が好ましく、フッ素原子を有するアルキル基がより好ましい。フッ素原子を有するアルキル基は、フッ素原子を有する炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であることがさらに好ましく、トリフルオロメチル基が特に好ましい。
い。
置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、ヒドロキシル基、ニトロ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、シリルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アミノ基(アルキルアミノ基、アニリノ基を含む)、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキルまたはアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキルまたはアリールスルフィニル基、アルキルまたはアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリールまたはヘテロ環アゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、シリル基などが挙げられる。以下詳細に記述する。
ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子);
アルキル基(直鎖、分岐または環状の置換もしくは無置換のアルキル基で、好ましくは炭素数1〜30のアルキル基であり、例えばメチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、tert−ブチル、n−オクチル、2−クロロエチル、2−シアノエチル、2−エチルヘキシル)、シクロヘキシル、シクロペンチルが挙げられる。環状アルキル基は、多シクロアルキル基、例えば、ビシクロアルキル基(好ましくは、炭素数5〜30の置換もしくは無置換のビシクロアルキル基で、例えば、ビシクロ[1,2,2]ヘプタン−2−イル、ビシクロ[2,2,2]オクタン−3−イル)やトリシクロアルキル基等の多環構造の基も挙げられる。環状のアルキル基は、好ましくは単環のシクロアルキル基、ビシクロアルキル基であり、単環のシクロアルキル基が特に好ましい);
アルケニル基(直鎖、分岐または環状の置換もしくは無置換のアルケニル基で、好ましくは炭素数2〜30のアルケニル基であり、例えば、ビニル、アリル、プレニル、ゲラニル、オレイル、2−シクロペンテン−1−イル、2−シクロヘキセン−1−イルが挙げられる。環状のアルケニル基は、多シクロアルケニル基、例えば、ビシクロアルケニル基(好ましくは、炭素数5〜30の置換もしくは無置換のビシクロアルケニル基で、例えば、ビシクロ[2,2,1]ヘプト−2−エン−1−イル、ビシクロ[2,2,2]オクト−2−エン−4−イル)やトリシクロアルケニル基も好ましい。環状のアルケニル基は、単環のシクロアルケニル基が特に好ましい。);
アルキニル基(好ましくは、炭素数2〜30の置換または無置換のアルキニル基、例えば、エチニル、プロパルギル、トリメチルシリルエチニル基);
アリール基(好ましくは炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリール基で、例えばフェニル、p−トリル、ナフチル、m−クロロフェニル、o−ヘキサデカノイルアミノフェニル);
ヘテロ環基(5〜7員の置換もしくは無置換、飽和もしくは不飽和、芳香族もしくは非芳香族、単環もしくは縮環のヘテロ環基が好ましく、環構成原子が炭素原子と、窒素原子、酸素原子および硫黄原子のいずれかのヘテロ原子を少なくとも一個有するヘテロ環基がさらに好ましく、炭素数3〜30の5もしくは6員の芳香族のヘテロ環基(ヘテロアリール基)である。);
シアノ基;
ヒドロキシル基;
ニトロ基;
カルボキシル基(水素原子が解離していてもよく(すなわち、カルボネート基)、塩の状態(金属塩(例えば、ナトリウム塩、カリウム塩、マグネシウム塩、カルシウム塩、鉄塩、アルミニウム塩等)、アルキルアンモニウム塩(例えば、オクチルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン等の長鎖モノアルキルアミンのアンモニウム塩、パルミチルトリメチルアンモニウム、ジラウリルジメチルアンモニウム、ジステアリルジメチルアンモニウム塩等の4級アルキルアンモニウム塩)など)であってもよい);
アルコキシ基(好ましくは、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルコキシ基で、例えば、メトキシ、エトキシ、イソプロポキシ、tert−ブトキシ、n−オクチルオキシ、2−メトキシエトキシ);
アリールオキシ基(好ましくは、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールオキシ基で、例えば、フェノキシ、2−メチルフェノキシ、2,4−ジ−tert−アミルフェノキシ、4−tert−ブチルフェノキシ、3−ニトロフェノキシ、2−テトラデカノイルアミノフェノキシ);
シリルオキシ基(好ましくは、炭素数3〜20のシリルオキシ基で、例えば、トリメチルシリルオキシ、tert−ブチルジメチルシリルオキシ);
ヘテロ環オキシ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のヘテロ環オキシ基で、ヘテロ環部は前述のヘテロ環基で説明されたヘテロ環部が好ましく、例えば、1−フェニルテトラゾール−5−オキシ、2−テトラヒドロピラニルオキシ);
アシルオキシ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールカルボニルオキシ基であり、例えば、ホルミルオキシ、アセチルオキシ、ピバロイルオキシ、ステアロイルオキシ、ベンゾイルオキシ、p−メトキシフェニルカルボニルオキシ);
カルバモイルオキシ基(好ましくは、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のカルバモイルオキシ基で、例えば、N,N−ジメチルカルバモイルオキシ、N,N−ジエチルカルバモイルオキシ、モルホリノカルボニルオキシ、N,N−ジ−n−オクチルアミノカルボニルオキシ、N−n−オクチルカルバモイルオキシ);
アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のアルコキシカルボニルオキシ基で、例えばメトキシカルボニルオキシ、エトキシカルボニルオキシ、tert−ブトキシカルボニルオキシ、n−オクチルカルボニルオキシ);
アリールオキシカルボニルオキシ基(好ましくは、炭素数7〜30の置換もしくは無置換のアリールオキシカルボニルオキシ基で、例えば、フェノキシカルボニルオキシ、p−メトキシフェノキシカルボニルオキシ、p−n−ヘキサデシルオキシフェノキシカルボニルオキシ);
アミノ基(アルキルアミノ基、アリールアミノ基およびヘテロアリールアミノ基を含む。好ましくは、アミノ基、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルキルアミノ基、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールアミノ基、炭素数0〜30のヘテロアリールアミノ基であり、例えば、アミノ、メチルアミノ、ジメチルアミノ、アニリノ、N−メチル−アニリノ、ジフェニルアミノ、N−1,3,5−トリアジン−2−イルアミノ);
アシルアミノ基(好ましくは、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルキルカルボニルアミノ基、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールカルボニルアミノ基であり、例えば、ホルミルアミノ、アセチルアミノ、ピバロイルアミノ、ラウロイルアミノ、ベンゾイルアミノ、3,4,5−トリ−n−オクチルオキシフェニルカルボニルアミノ);
アミノカルボニルアミノ基(好ましくは、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアミノカルボニルアミノ基、例えば、カルバモイルアミノ、N,N−ジメチルアミノカルボニルアミノ、N,N−ジエチルアミノカルボニルアミノ、モルホリノカルボニルアミノ);
アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のアルコキシカルボニルアミノ基で、例えば、メトキシカルボニルアミノ、エトキシカルボニルアミノ、tert−ブトキシカルボニルアミノ、n−オクタデシルオキシカルボニルアミノ、N−メチル−メトキシカルボニルアミノ);
アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは、炭素数7〜30の置換もしくは無置換のアリールオキシカルボニルアミノ基で、例えば、フェノキシカルボニルアミノ、p−クロロフェノキシカルボニルアミノ、m−n−オクチルオキシフェノキシカルボニルアミノ);
スルファモイルアミノ基(好ましくは、炭素数0〜30の置換もしくは無置換のスルファモイルアミノ基で、例えば、スルファモイルアミノ、N,N−ジメチルアミノスルホニルアミノ、N−n−オクチルアミノスルホニルアミノ);
アルキル又はアリールスルホニルアミノ基(好ましくは炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルキルスルホニルアミノ基、炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールスルホニルアミノ基であり、例えば、メチルスルホニルアミノ、ブチルスルホニルアミノ、フェニルスルホニルアミノ、2,3,5−トリクロロフェニルスルホニルアミノ、p−メチルフェニルスルホニルアミノ);
メルカプト基;
アルキルチオ基(好ましくは、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のアルキルチオ基で、例えばメチルチオ、エチルチオ、n−ヘキサデシルチオ);
アリールチオ基(好ましくは炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールチオ基で、例えば、フェニルチオ、p−クロロフェニルチオ、m−メトキシフェニルチオ);
ヘテロ環チオ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換または無置換のヘテロ環チオ基で、ヘテロ環部は前述のヘテロ環基で説明したヘテロ環部が好ましく、例えば、2−ベンゾチアゾリルチオ、1−フェニルテトラゾール−5−イルチオ);
スルファモイル基(好ましくは、炭素数0〜30の置換もしくは無置換のスルファモイル基で、例えば、N−エチルスルファモイル、N−(3−ドデシルオキシプロピル)スルファモイル、N,N−ジメチルスルファモイル、N−アセチルスルファモイル、N−ベンゾイルスルファモイル、N−(N’−フェニルカルバモイル)スルファモイル);
スルホ基(水素原子が解離していてもよく(すなわち、スルホネート基)、塩の状態(金属塩(例えば、ナトリウム塩、カリウム塩、マグネシウム塩、カルシウム塩、鉄塩、アルミニウム塩等)、アルキルアンモニウム塩(例えば、オクチルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン等の長鎖モノアルキルアミンのアンモニウム塩、パルミチルトリメチルアンモニウム、ジラウリルジメチルアンモニウム、ジステアリルジメチルアンモニウム塩等の4級アルキルアンモニウム塩)など)であってもよい);
アルキル又はアリールスルフィニル基(好ましくは、炭素数1〜30の置換または無置換のアルキルスルフィニル基、6〜30の置換または無置換のアリールスルフィニル基であり、例えば、メチルスルフィニル、エチルスルフィニル、フェニルスルフィニル、p−メチルフェニルスルフィニル);
アルキル又はアリールスルホニル基(好ましくは、炭素数1〜30の置換または無置換のアルキルスルホニル基、6〜30の置換または無置換のアリールスルホニル基であり、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、フェニルスルホニル、p−メチルフェニルスルホニル);
アシル基(好ましくはホルミル基、炭素数2〜30の置換または無置換のアルキルカルボニル基、炭素数7〜30の置換もしくは無置換のアリールカルボニル基であり、例えば、アセチル、ピバロイル、2−クロロアセチル、ステアロイル、ベンゾイル、p−n−オクチルオキシフェニルカルボニル);
アリールオキシカルボニル基(好ましくは、炭素数7〜30の置換もしくは無置換のアリールオキシカルボニル基で、例えば、フェノキシカルボニル、o−クロロフェノキシカルボニル、m−ニトロフェノキシカルボニル、p−tert−ブチルフェノキシカルボニル);
アルコキシカルボニル基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換アルコキシカルボニル基で、例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、tert−ブトキシカルボニル、n−オクタデシルオキシカルボニル);
カルバモイル基(好ましくは、炭素数1〜30の置換もしくは無置換のカルバモイル、例えば、カルバモイル、N−メチルカルバモイル、N,N−ジメチルカルバモイル、N,N−ジ−n−オクチルカルバモイル、N−(メチルスルホニル)カルバモイル)
アリール又はヘテロ環アゾ基(好ましくは炭素数6〜30の置換もしくは無置換のアリールアゾ基、炭素数3〜30の置換もしくは無置換のヘテロ環アゾ基(ヘテロ環部は前述のヘテロ環基で説明したヘテロ環部が好ましい)、例えば、フェニルアゾ、p−クロロフェニルアゾ、5−エチルチオ−1,3,4−チアジアゾール−2−イルアゾ);
イミド基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のイミド基で、例えばN−スクシンイミド、メチルフタルイミド);
ホスフィノ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のホスフィノ基、例えば、ジメチルホスフィノ、ジフェニルホスフィノ、メチルフェノキシホスフィノ);
ホスフィニル基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のホスフィニル基で、例えば、ホスフィニル、ジオクチルオキシホスフィニル、ジエトキシホスフィニル);
ホスフィニルオキシ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のホスフィニルオキシ基で、例えば、ジフェノキシホスフィニルオキシ、ジオクチルオキシホスフィニルオキシ);
ホスフィニルアミノ基(好ましくは、炭素数2〜30の置換もしくは無置換のホスフィニルアミノ基で、例えば、ジメトキシホスフィニルアミノ、ジメチルアミノホスフィニルアミノ);
シリル基(好ましくは、炭素数3〜30の置換もしくは無置換のシリル基で、例えば、トリメチルシリル、tert−ブチルジメチルシリル、フェニルジメチルシリル)が挙げられる。
これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。さらなる置換基としては、上述した置換基A群で説明した基が挙げられる。
本発明において、色素多量体は、2価以上の連結基に色素構造が2以上結合してなる構造を有することが好ましい。色素多量体は、側鎖に色素構造を有する繰り返し単位、および、主鎖に色素構造を有する繰り返し単位から選ばれる少なくとも1つを有することが好ましい。
色素多量体(A)は、式(A)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。色素多量体(A)は、式(A)で表される繰り返し単位の割合が、色素多量体を構成する全繰り返し単位の10〜100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましく、50質量%以上が特に好ましい。上限は、95質量%以下がより好ましい。
アリーレン基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。アリーレン基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、置換基A群で説明した基が挙げられる。
ヘテロ環連結基は、5員環または6員環が好ましい。ヘテロ環連結基が有するヘテロ原子は、酸素原子、窒素原子および硫黄原子が好ましい。ヘテロ環連結基が有するヘテロ原子の数は、1〜3個が好ましい。ヘテロ環連結基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、置換基A群で説明した基が挙げられる。
付加重合には公知の付加重合(ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合)が適用できるが、このうち、特にラジカル重合により合成することが反応条件を穏和化でき、色素骨格を分解させないため好ましい。ラジカル重合には、公知の反応条件を適用することができる。
式(A)で表される繰り返し単位を有する色素多量体は、耐熱性の観点から、エチレン性不飽和結合を有する色素化合物を用いてラジカル重合して得られたラジカル重合体であることが好ましい。
本発明における色素多量体は、式(A)で表される繰り返し単位の他に、他の繰り返し単位を含んでいてもよい。他の繰り返し単位は、硬化性基、酸基等の官能基を含んでいてもよい。官能基を含んでいなくてもよい。色素多量体は、酸基を有する繰り返し単位および硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、色素多量体を構成する全繰り返し単位の0〜50質量%であることが好ましい。下限は、1質量%以上がより好ましく、3質量%以上が更に好ましい。上限は、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
酸基を有する繰り返し単位の割合は、色素多量体を構成する全繰り返し単位の0〜50質量%であることが好ましい。下限は、1質量%以上がより好ましく、3質量%以上が更に好ましい。上限は、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
2〜20個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基において、アルキレンオキシ鎖の繰り返しの数は、2〜15個がより好ましく、2〜10個がさらに好ましい。1つのアルキレンオキシ鎖は、−(CH2)nO−で表され、nは整数であるが、nは1〜10が好ましく、1〜5がより好ましく、2または3がさらに好ましい。
色素多量体(C)は、式(C)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。色素多量体(C)においては、式(C)で表される繰り返し単位の割合が、色素多量体を構成する全繰り返し単位の10〜100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましく、50質量%以上が特に好ましい。上限は、95質量%以下がより好ましい。
アリール基およびアリーレン基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。
ヘテロ環連結基およびヘテロ環基は、5員環または6員環が好ましい。ヘテロ環連結基およびヘテロ環基が有するヘテロ原子は、酸素原子、窒素原子および硫黄原子が好ましい。ヘテロ環連結基およびヘテロ環基が有するヘテロ原子の数は、1〜3個が好ましい。
アルキレン基、アリーレン基、ヘテロ環連結基、アルキル基、アリール基、およびヘテロ環基は、無置換であってもよく、置換基を有してもよい。置換基としては、硬化性基、酸基が挙げられる。硬化性基としては、エチレン性不飽和結合を含む基等のラジカル重合性基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタニル基)、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基が例示される。また、2〜20個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基、ラクトン、酸無水物、アミド、シアノ基等の現像促進基、長鎖および環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、ポリアルキレンオキシド基、ヒドロキシル基、マレイミド基、アミノ基等の親疏水性調整基等を置換基として有してもよい。
DyeIIIは、2以上のヘテロ原子を含み、かつ、ヘテロ原子の1以上が窒素原子であるカチオン性ヘテロ環に、アゾ基または芳香族環基が結合した構造を有する色素構造を表す。色素構造は、前述のカチオン性ヘテロ環を有する色素骨格を有するカチオンと、アニオンとを有する色素化合物の、カチオンまたはアニオンから、任意の原子を1個以上取り除いた構造が好ましく、カチオンから任意の原子を1個以上取り除いた構造がより好ましい。
mは0または1を表し、1が好ましい。
色素多量体(D)は、式(D)で表されることが好ましい。
nとkとの合計は、2〜20がであり、2〜15が好ましく、2〜14がより好ましく、2〜8がさらに好ましく、2〜7が特に好ましく、2〜6が最も好ましい。
なお、1つの色素多量体におけるnおよびkは、それぞれ整数であるが、本発明においては、式(D)におけるn、kが異なる色素多量体を複数含んでいてもよい。従って、本発明の着色組成物中の、nおよびkの平均値は整数にならない場合がある。
(n+k)価の連結基は、具体的な例として、下記の構造単位または以下の構造単位が2以上組み合わさって構成される基(環構造を形成していてもよい)を挙げることができる。
また、Pが表す置換基は、繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖が好ましい。kが2以上の場合、k個のPは、同一であっても、異なっていてもよい。
Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが1の場合、Pはビニル化合物由来の繰り返し単位を2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)有する1価のポリマー鎖が好ましい。また、Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが2以上の場合、k個のPのビニル化合物由来の繰り返し単位の個数の平均値は、2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)であることが好ましい。
Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖の場合、kが1の場合におけるPの繰り返し単位の数、kが2以上の場合におけるk個のPの繰り返し単位の個数の平均値は、核磁気共鳴(NMR)により求めることができる。
Pが、酸基を含む繰り返し単位を含む場合、酸基を含む繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
Pが、硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。Pが、硬化性基を有する繰り返し単位を含有することにより、色ムラなどをより良化することができる。
上記ポリマー鎖は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。他の繰り返し単位として、酸基を有する繰り返し単位および硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
上記ポリマー鎖が硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマー鎖の全繰り返し単位100モルに対し、例えば、5〜50モルが好ましく、10〜40モルがより好ましい。
上記ポリマー鎖が酸基を有する繰り返し単位を含む場合、酸基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマー鎖の全繰り返し単位100モルに対し、例えば、5〜50モルが好ましく、10〜40モルがより好ましい。
(1)カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基等から選択される官能基を末端に導入した化合物と、色素構造を有する酸ハライド、色素構造を有するアルキルハライド、あるいは色素構造を有するイソシアネート等と、を高分子反応させる方法。
(2)末端に炭素−炭素二重結合を導入した化合物と、色素構造を有するチオール化合物と、をマイケル付加反応させる方法。
(3)末端に炭素−炭素二重結合を導入した化合物と、色素構造を有するチオール化合物と、をラジカル発生剤存在下で反応させる方法。
(4)末端に複数のチオール基を導入した多官能チオール化合物と、炭素−炭素二重結合および色素構造とを有する化合物と、をラジカル発生剤の存在下で反応させる方法。
(5)色素構造を有するチオール化合物の存在下で、ビニル化合物をラジカル重合する方法。
(D1−L42)n−L4−(L41−P1)k ・・・(D−1)
式(D−1)中、L4は(n+k)価の連結基を表す。nは2〜20の整数を表し、kは0〜20の整数を表す。D1は、色素構造を表し、P1は、置換基を表す。nが2以上の場合、複数のD1は互いに異なっていても良く、kが2以上の場合、複数のP1は互いに異なっていても良い。n+kは、2〜20の整数を表す。
2価の連結基としては、1から100個までの炭素原子、0個から10個までの窒素原子、0個から50個までの酸素原子、1個から200個までの水素原子、および0個から20個までの硫黄原子から成り立つ基が含まれ、無置換でも置換基を更に有していてもよい。
また、P1が表す置換基は、繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖が好ましい。kが2以上の場合、k個のP1は、同一であっても、異なっていてもよい。
P1が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが1の場合、P1はビニル化合物由来の繰り返し単位を2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)有する1価のポリマー鎖が好ましい。また、P1が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが2以上の場合、k個のP1のビニル化合物由来の繰り返し単位の個数の平均値は、2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)であることが好ましい。
P1が、酸基を含む繰り返し単位を含む場合、酸基を含む繰り返し単位の割合は、P1の全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
P1が、硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
上記ポリマー鎖は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。他の繰り返し単位として、酸基を有する繰り返し単位および硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
(D2−S−C1−B1)n−L4−(B2−C2−S−P2)k ・・・(D−2)
式(D−2)中、L4は(n+k)価の連結基を表す。nは2〜20の整数を表し、kは0〜20の整数を表す。D2は、色素構造を表し、P2は、置換基を表す。B1およびB2は、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−CO−、−NR−、−O2C−、−CO2−、−NROC−、または、−CONR−を表す。Rは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。C1およびC2は、それぞれ独立に、単結合または2価の連結基を表す。Sは、硫黄原子を表す。nが2以上の場合、複数のD2は互いに異なっていても良く、kが2以上の場合、複数のP2は互いに異なっていても良い。n+kは、2〜20の整数を表す。
Rは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
Rが表すアルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜10がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。
Rが表すアリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜12がより好ましい。
Rは水素原子またはアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
2価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、オキシアルキレン基が好ましく、アルキレン基またはオキシアルキレン基がより好ましい。
アルキレン基、オキシアルキレン基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜10がより好ましい。アルキル基、オキシアルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。
アリーレン基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜12がより好ましい。
また、P2が表す置換基は、繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖が好ましい。kが2以上の場合、k個のP2は、同一であっても、異なっていてもよい。
P2が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが1の場合、P2はビニル化合物由来の繰り返し単位を2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)有する1価のポリマー鎖が好ましい。また、P2が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが2以上の場合、k個のP2のビニル化合物由来の繰り返し単位の個数の平均値は、2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)であることが好ましい。
上記ポリマー鎖は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。他の繰り返し単位として、酸基を有する繰り返し単位および硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
色素多量体の重量平均分子量(Mw)と、数平均分子量(Mn)との比〔(Mw)/(Mn)〕は1.0〜2.0であることが好ましく、1.1〜1.8であることがさらに好ましく、1.1〜1.5であることが特に好ましい。
なお、本発明において、色素多量体の重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定によるポリスチレン換算値であり、具体的には、後述する実施例に記載の方法で測定した値である。
本発明の着色組成物は、上述した色素多量体以外の着色剤(他の着色剤)をさらに用いることができる。本発明の着色組成物は、他の着色剤を含んでいる方が好ましい。他の着色剤は、染料および顔料のいずれでもよく、両者を併用してもよい。他の着色剤は顔料が好ましい。また、他の着色剤は、色素多量体であってもよい。
C.I.ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等、
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等、
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80
C.I.ピグメントブラック 1
また、緑色顔料として、分子中のハロゲン原子数が平均10〜14個であり、臭素原子が平均8〜12個であり、塩素原子が平均2〜5個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることも可能である。具体例としては、WO2015/118720公報に記載の化合物が挙げられる。
また、黄色顔料として、特開2013−54339号公報の段落0011〜0034に記載のキノフタロン顔料、特開2014−26228号公報の段落0013〜0058に記載のキノフタロン顔料などを用いることもできる。
これら有機顔料は、単独若しくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。
また、本発明の着色組成物は他の着色剤を実質的に含有しない態様とすることもできる。なお、他の着色剤を実質的に含有しないとは、例えば、着色剤の全量(本発明の色素多量体と、他の着色剤との合計質量)に対し、0.1質量%以下が好ましく、0.05質量%以下がより好ましく、他の着色剤を含有しないことが一層好ましい。
本発明の着色組成物は、樹脂を含むことが好ましい。樹脂は、例えば、顔料などを組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの着色剤を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
本発明の着色組成物は、樹脂として分散剤を含むことが好ましい。分散剤は、酸性分散剤を少なくとも含むことが好ましく、酸性分散剤のみであることがより好ましい。分散剤が、酸性分散剤を少なくとも含むことにより、顔料の分散性が向上し、輝度ムラが生じにくくなる。更には、優れた現像性が得られるので、フォトリソグラフィにて、好適にパターン形成を行うことができる。なお、分散剤が酸性分散剤のみであるとは、例えば、分散剤の全質量中における、酸性分散剤の含有量が99質量%以上であることが好ましく、99.9質量%以上とすることもできる。
また、塩基性分散剤(塩基性樹脂)とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤(塩基性樹脂)は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、塩基性基の量が50モル%以上を占める樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミンが好ましい。
酸性分散剤(酸性樹脂)の酸価は、40〜105mgKOH/gが好ましく、50〜105mgKOH/gがより好ましく、60〜105mgKOH/gがさらに好ましい。
なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。
本発明の着色組成物は、樹脂としてアルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性・パターン形成性が向上する。なお、アルカリ可溶性樹脂は、分散剤やバインダーとして用いることもできる。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であってもよく、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
本発明の着色組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や着色組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
本発明の着色組成物は、硬化性化合物を含有する。硬化性化合物としては、ラジカル、酸、熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基、環状エーテル(エポキシ、オキセタン)基、メチロール基等を有する化合物が挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
本発明において、硬化性化合物は、重合性化合物が好ましく、ラジカル重合性化合物がより好ましい。
本発明において、重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。重合性化合物が光ラジカル重合性化合物の場合は、モノマーが好ましい。
重合性化合物の分子量は、100〜3000が好ましい。上限は、2000以下が好ましく、1500以下が更に好ましい。下限は、150以上が好ましく、250以上が更に好ましい。
重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落番号0095〜0108、特開2013−29760号公報の段落0227、特開2008−292970号公報の段落番号0254〜0257に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬(株)からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120等が挙げられる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学工業社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学(株)製)などが挙げられる。
また、重合性化合物の含有量は、硬化性化合物の全質量に対して、10〜100質量%が好ましく、30〜100質量%がより好ましい。
本発明では、硬化性化合物として、エポキシ基を有する化合物を用いることもできる。エポキシ基を有する化合物としては、1分子内にエポキシ基を2つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、1分子内に2〜100個有することが好ましい。上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。
脂肪族環を有する化合物の場合、エポキシ基は、脂肪族環に直接結合(単結合)してなる化合物が好ましい。芳香族環を有する化合物の場合、エポキシ基は、芳香族環に、連結基を介して結合してなる化合物が好ましい。連結基は、アルキレン基、または、アルキレン基と−O−との組み合わせからなる基が好ましい。
また、エポキシ基を有する化合物は、2以上の芳香族環が炭化水素基で連結した構造を有する化合物を用いることもできる。炭化水素基は、炭素数1〜6のアルキレン基が好ましい。エポキシ基は、上記連結基を介して連結していることが好ましい。
また、エポキシ基を有する化合物の含有量は、硬化性化合物の全質量に対して、1〜80質量%が好ましく、1〜50質量%がより好ましい。
また、重合性化合物とエポキシ基を有する化合物とを併用する場合、重合性化合物と、エポキシ基を有する化合物との質量比は、重合性化合物:エポキシ基を有する化合物=100:1〜100:400が好ましく、100:1〜100:100がより好ましい。
本発明の着色組成物は、重合性化合物の反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を添加してもよい。硬化促進剤としては、分子内に2個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、2級のアルカンチオール類であることが好ましく、特に下記一般式(T1)で表される構造を有する化合物であることが好ましい。
一般式(T1)
本発明の着色組成物は、さらに光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。また、光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及び、IRGACURE−379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nm又は405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0265〜0268を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)も好適に用いられる。また、TRONLY TR−PBG−304、TRONLY TR−PBG−309、TRONLY TR−PBG−305(常州強力電子新材料有限公司(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製)、アデカアークルズNCI−930(ADEKA社製)も用いることができる。
一般式(OX−1)中、Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基またはアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
一般式(OX−1)中、Bで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
一般式(OX−1)中、Aで表される二価の有機基としては、炭素数1〜12のアルキレン基、アルキニレン基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用しても良い。
本発明の着色組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、有機顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。また、顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸基、カルボン酸基及びその4級アンモニウム塩基が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基がさらに好ましく、スルホン酸基が特に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、特に三級アミノ基が好ましい。顔料誘導体の具体例としては、特開2011−252065号公報の段落0162〜0183の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開2010−164965号公報0050〜0090段落および0289〜0295段落に記載された化合物、例えばDIC社製のメガファックRS−101、RS−102、RS−718K等が挙げられる。
界面活性剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%が好ましく、0.005〜1.0質量%がより好ましい。
本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。シランカップリング剤としては、一分子中に少なくとも2種の反応性の異なる官能基を有するシラン化合物も好ましく、特に、官能基としてアミノ基とアルコキシ基とを有するものが好ましい。このようなシランカップリング剤としては、例えば、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−メチルジメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−602)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−603)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBE−602)、γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−903)、γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBE−903)、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−503)等がある。シランカップリング剤の詳細については、特開2013−254047号公報の段落番号0155〜0158の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は、重合禁止剤を含有することも好ましい。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)等が挙げられる。
本発明の着色組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.01〜5質量%が好ましい。本発明の着色組成物は、重合禁止剤を1種類のみ含んでいてもよいし、2種類以上含んでいてもよい。2種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加物としては、特開2004−295116号公報の段落0155〜0156に記載のものを挙げることができ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物(例えば特開2011−90147 0042段落に記載の化合物)、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば(株)ADEKA製のアデカスタブシリーズ(AO−20、AO−30、AO−40、AO−50、AO−50F、AO−60、AO−60G、AO−80、AO−330など)が挙げられる。酸化防止剤は2種以上を混合して使用してもよい。本発明の着色組成物においては、特開2004−295116号公報の段落0078に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落0081に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解・分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して調製してもよい。
フィルタの孔径は、0.01〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01〜3.0μm程度、さらに好ましくは0.05〜0.5μm程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一な組成物の調製や平滑な膜の形成などを阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましく、ろ材としては例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられ、具体的にはロキテクノ社製のSBPタイプシリーズ(SBP008など)、TPRタイプシリーズ(TPR002、TPR005など)、SHPXタイプシリーズ(SHPX003など)のフィルタカートリッジを用いることができる。
また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社(DFA4201NXEYなど)、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
例えば、第1のフィルタでのフィルタリングは、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタリングを行ってもよい。
次に、本発明の色素多量体を説明する。
本発明の色素多量体は、上述した式(I−1)または式(I−2)で表される色素構造を有する色素多量体である。式(I−1)および式(I−2)の詳細については、上述した着色組成物で説明した範囲と同様である。
色素多量体の重量平均分子量(Mw)と、数平均分子量(Mn)との比〔(Mw)/(Mn)〕は1.0〜2.0であることが好ましく、1.1〜1.8であることがさらに好ましく、1.1〜1.5であることが特に好ましい。
なお、本発明において、色素多量体の重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定によるポリスチレン換算値であり、具体的には、後述する実施例に記載の方法で測定した値である。
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。
本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の着色組成物を用いてなるものである。本発明のカラーフィルタは、CCD(電荷結合素子)やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)などの固体撮像素子や、画像表示装置などに用いることができる。
また、着色パターン(着色画素)のサイズ(パターン幅)としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。下限は、例えば0.1μm以上とすることができ、0.2μm以上とすることもできる。
本発明のパターン形成方法は、本発明の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、着色組成物層に対してパターンを形成する工程と、を含む。
また、ドライエッチング法によるパターン形成は、着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成し、硬化して硬化物層を形成する工程と、硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、露光および現像することによりフォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、レジストパターンをエッチングマスクとして硬化物層をドライエッチングしてパターンを形成する工程とを含むことが好ましい。以下、各工程について説明する。
硬化性組成物層を形成する工程では、着色組成物を用いて、支持体上に着色組成物層を形成する。
本発明におけるパターンは、固体撮像素子用基板の固体撮像素子形成面側(おもて面)に形成してもよいし、固体撮像素子非形成面側(裏面)に形成してもよい。
支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
プリベークを行う場合、プリベーク温度は、150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、110℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、50℃以上とすることができ、80℃以上とすることもできる。プリベーク温度を150℃以下で行うことにより、例えば、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合において、これらの特性をより効果的に維持することができる。
プリベーク時間は、10秒〜300秒が好ましく、40〜250秒がより好ましく、80〜220秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
<<露光工程>>
次に、着色組成物層を、パターン状に露光する(露光工程)。例えば、着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は、例えば、0.03〜2.5J/cm2が好ましく、0.05〜1.0J/cm2がより好ましい。
露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が19体積%以下の低酸素雰囲気下(例えば、15体積%、5体積%、実質的に無酸素)で露光してもよく、酸素濃度が21体積%を超える高酸素雰囲気下(例えば、22体積%、30体積%、50体積%)で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常1000W/m2〜100000W/m2(例えば、5000W/m2、15000W/m2、35000W/m2)の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度10体積%で照度10000W/m2、酸素濃度35体積%で照度20000W/m2などとすることができる。
硬化膜の膜厚は2.0μm以下が好ましく、1.0μm以下がより好ましく、0.7μm以下がさらに好ましい。下限は、例えば0.1μm以上とすることができ、0.2μm以上とすることもできる。膜厚を、2.0μm以下とすることにより、高解像性、高密着性が得られ易い。
次に、未露光部を現像除去してパターンを形成する。未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の着色組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。
現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
また、現像液には無機アルカリを用いてもよい。無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどが好ましい。
また、現像液には、界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤の例としては、上述した硬化性組成物で説明した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)することが好ましい。
ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、低温プロセスによりパターンを形成する場合は、ポストベークは行わなくてもよい。
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上に形成した着色組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、得られた硬化物層にパターニングされたフォトレジスト層を形成し、このフォトレジスト層をマスクとしてエッチングガスを用いてエッチングするなどの方法でことができる。
具体的には、硬化物層上にポジ型またはネガ型の感放射線性組成物を塗布し、これを乾燥させることによりフォトレジスト層を形成することが好ましい。フォトレジスト層の形成においては、さらにプリベーク処理を施すことが好ましい。特に、フォトレジストの形成プロセスとしては、露光後の加熱処理、現像後の加熱処理(ポストベーク処理)を実施する形態が望ましい。
フッ素系ガスと酸素ガス(O2)との混合ガスを用い、支持体が露出しない領域(深さ)までエッチングを行なう第1段階のエッチングと、この第1段階のエッチングの後に、窒素ガス(N2)と酸素ガス(O2)との混合ガスを用い、好ましくは支持体が露出する領域(深さ)付近までエッチングを行なう第2段階のエッチングと、支持体が露出した後に行なうオーバーエッチングとを含む方法が好ましい。以下、ドライエッチングの具体的手法、並びに第1段階のエッチング、第2段階のエッチング、およびオーバーエッチングについて説明する。
(1)第1段階のエッチングにおけるエッチングレート(nm/min)と、第2段階のエッチングにおけるエッチングレート(nm/min)とをそれぞれ算出する。
(2)第1段階のエッチングで所望の厚さをエッチングする時間と、第2段階のエッチングで所望の厚さをエッチングする時間とをそれぞれ算出する。
(3)上述した(2)で算出したエッチング時間に従って第1段階のエッチングを実施する。
(4)上述した(2)で算出したエッチング時間に従って第2段階のエッチングを実施する。あるいはエンドポイント検出でエッチング時間を決定し、決定したエッチング時間に従って第2段階のエッチングを実施してもよい。
(5)上述した(3)および(4)の合計時間に対してオーバーエッチング時間を算出し、オーバーエッチングを実施する。
本発明の固体撮像素子は、本発明のカラーフィルタを有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明におけるカラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
さらに、上記デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。本発明のカラーフィルタを備えた画像表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et al.)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定によるポリスチレン換算値で測定した。
カラムの種類:TOSOH TSKgel Super HZM−Hと、TOSOH TSKgel Super HZ4000と、TOSOH TSKgel Super HZ2000とを連結したカラム
展開溶媒:テトラヒドロフラン
カラム温度:40℃
流量(サンプル注入量):1.0μL(サンプル濃度:0.1質量%)
装置名:東ソー製 HLC−8220GPC
検出器:RI(屈折率)検出器
検量線ベース樹脂:ポリスチレン
(合成例1) 色素単量体(X−1)の合成
また、特開2015−30742号公報の段落0372に記載の方法と同様にして、中間体cを合成した。中間体cの11.2g、中間体dの10.0gを塩化メチレン200mL中、室温で2時間攪拌した。次に水100mLを添加し分液した。油層を濃縮した後、シリカゲルを用いたカラムクロマトグラフィで精製し、色素単量体(X−2)を15.5g得た。
色素単量体(X−1)を、色素多量体(X−2)に変更した以外は、合成例8と同様の操作を行い、色素多量体(S−2)を合成した。
色素単量体(X−1)を、色素多量体(X−4)に変更した以外は、合成例8と同様の操作を行い、色素多量体(S−3)を合成した。
色素単量体(X−1)を、色素多量体(X−5)に変更した以外は、合成例8と同様の操作を行い、色素多量体(S−4)を合成した。
色素単量体(X−1)を、色素多量体(X−6)に変更した以外は、合成例8と同様の操作を行い、色素多量体(S−5)を合成した。
(下塗り層用レジスト液の調製)
下記の成分を混合して溶解し、下塗り層用レジスト液を調製した。
‐下塗り層用レジスト液の組成−
・溶剤(PGMEA): 19.20部
・溶剤(乳酸エチル): 36.67部
・アルカリ可溶性樹脂(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18、重量平均分子量15,000、数平均分子量9,000)の40%PGMEA溶液): 30.51部
・硬化性化合物(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、KAYARAD DPHA(日本化薬製)): 12.20部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール): 0.0061部
・フッ素系界面活性剤(メガファックF475、DIC製): 0.83部
・光重合開始剤(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤、TAZ−107、みどり化学製): 0.586部
直径6インチ(1インチ=25.4mm)のシリコンウエハをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、上記下塗り用レジスト液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布し、さらに220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
<<顔料分散液1の調製>>
顔料分散液1を、以下のようにして調製した。
C.I.ピグメントグリーン36を13.0部(緑色顔料、平均粒子サイズ55nm)、および顔料分散剤(Disperbyk−111、BYKChemie社製)を5.0部、PGMEA82.0部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2000kg/cm3の圧力下で流量500g/分として分散処理を行なった。この分散処理を10回繰り返し、顔料分散液1(顔料濃度13%)を得た。
得られた顔料分散液1について、顔料の粒子サイズを動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA−EX150(日機装社(Nikkiso Co., Ltd.)製))により測定したところ、24nmであった。
顔料分散液1において、C.I.ピグメントグリーン36の代わりに、C.I.ピグメントレッド254を用いた以外は、顔料分散液1と同様にして、顔料分散液2を調製した。顔料分散液2の粒子サイズは、26nmであった。
顔料分散液1において、C.I.ピグメントグリーン36の代わりに、C.I.ピグメントグリーン58を用いた以外は、顔料分散液1と同様にして、顔料分散液3を調製した。顔料分散液3の粒子サイズは、29nmであった。
顔料分散液1において、C.I.ピグメントグリーン36の代わりに、C.I.ピグメントグリーン59を用いた以外は、顔料分散液1と同様にして、顔料分散液4を調製した。顔料分散液4の粒子サイズは、24nmであった。
下記の各成分を混合して分散、溶解し、0.45μmナイロンフィルタでろ過することにより、着色組成物を得た。
‐組成−
・色素(下記表に記載の化合物): 固形分として0.040部
・下記表に記載の顔料を含む顔料分散液(顔料濃度13.0%): 0.615部
・シクロヘキサノン: 100部
・アルカリ可溶性樹脂(下記J1またはJ2:下記表に記載の化合物): 5部
・ソルスパース20000(1%シクロヘキサン溶液、日本ルーブリゾール製): 1部
・光重合開始剤(下記(I−1)〜(I−8):下記表に記載の化合物): 1部
・硬化性化合物(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、KAYARAD DPHA(日本化薬製)): 10部
・グリセロールプロポキシレート(1%シクロヘキサン溶液): 0.1部
上記のように調製した各着色組成物を、下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に塗布し、組成物層(塗布膜)を形成した。着色組成物の塗布量は、乾燥膜厚が0.6μmとなる塗布量とした。次に、この塗布膜を100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。プリベーク後の基板を24時間室温で放置(経時)した。
<色ムラ>
着色組成物をガラス基板に塗布して塗布膜を形成した。着色組成物の塗布量は、乾燥膜厚が0.7μmとなる塗布量とした。次に、塗布膜に対して100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。これを24時間室温で放置した後、マスクを使用しなかった以外は、カラーフィルタの作製方法と同様の方法で露光を行い、サンプル(着色層付きのガラス基板)を製造した。サンプルの輝度分布を下記方法で測定し、平均からのずれが±5%以内である画素が全画素数に占める割合をもとに色ムラの評価を行った。輝度分布の測定方法は、サンプルを顕微鏡MX−50(オリンパス社製)にて撮影した画像により行った。なお輝度分布において、最も画素数の多い輝度を平均輝度と定義した。下記表の色ムラの欄に、平均からのずれが±5%以内である画素の割合(%)を記す。
得られたカラーフィルタのパターン形状をSEM(scanning electron microscope)で観察した。
A:パターンのゆがみや表面荒れがない。
B:パターンのゆがみや表面荒れがあり、実用上問題がある。
パターン200個をSEMで観察し、パターン欠損の有無を確認した。パターン欠損が多いほど歩留まりに悪影響を及ぼす。パターン欠損の発生した個数を下記表に記す。
各着色組成物を、下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に塗布し、塗布膜を形成した。着色組成物の塗布量は、乾燥膜厚が0.6μmとなる塗布量とした。次に、この塗布膜を100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。この基板を24時間室温で放置(経時)したのち、アプライドマテリアルズ社製ComPlusにて欠陥数(個数/cm2)を測定した。欠陥数が少ないほど良好である。
これに対し、比較例は、色ムラおよび欠陥が劣っていた。さらには、パターン形状が劣り、パターン欠損も多かった。
(着色組成物の調製)
下記成分を混合・溶解して、着色組成物を得た。
−組成−
・シクロヘキサノン: 1.133部
・色素(下記表に記載の化合物): 固形分として0.040部
・下記表に記載の顔料を含む顔料分散液(顔料濃度13.0%): 0.615部
・硬化性化合物(EHPE−3150((株)ダイセル製、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物)): 0.070部
・グリセロールプロポキシレート(1%シクロヘキサン溶液): 0.048部
ガラス基板上に、上記着色組成物を膜厚が0.6μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行った。これを24時間室温で放置した後、次いで、220℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)を行い、硬化膜を作製した。
この硬化膜上にポジ型フォトレジスト「FHi622BC」(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製)を塗布し、プリベークを実施し、膜厚0.8μmのフォトレジスト層を形成した。続いて、フォトレジスト層を、i線ステッパー(キャノン製)を用い、350mJ/cm2の露光量でパターン露光し、フォトレジスト層の温度または雰囲気温度が90℃となる温度で1分間、加熱処理を行なった。その後、フォトレジスト剥離液「MS230C」(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製)を使用して120秒間、剥離処理を実施してレジストパターンを除去し、さらに純水による洗浄、スピン乾燥を実施した。その後、100℃で2分間の脱水ベーク処理を行った。
次に、ドライエッチングを以下の手順で行った。
これに対し、比較例は、色ムラおよび欠陥が劣っていた。さらには、パターン形状が劣り、パターン欠損も多かった。
Claims (8)
- 色素多量体と、硬化性化合物と、前記色素多量体以外の顔料とを含む着色組成物であって、
前記色素多量体は、式(I−1)で表される色素構造および式(I−2)で表される色素構造の少なくとも1種の色素構造を含み、
前記色素多量体は、下記式(A−1)で表される繰り返し単位、下記式(A−2)で表される繰り返し単位、及び、下記式(C)で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含んでなるか、又は下記式(D)で表され、
前記色素多量体の重量平均分子量が、2,000〜50,000である、着色組成物。
- 色素多量体と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤とを含む着色組成物であって、
前記色素多量体は、式(I−1)で表される色素構造および式(I−2)で表される色素構造の少なくとも1種の色素構造を含み、
前記色素多量体は、下記式(A−1)で表される繰り返し単位、下記式(A−2)で表される繰り返し単位、及び、下記式(C)で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含んでなるか、又は下記式(D)で表され、
前記色素多量体の重量平均分子量が、2,000〜50,000である、着色組成物。
- 前記色素多量体は、ビス(スルホニル)イミドアニオンまたはトリス(スルホニル)メチルアニオンを有する、請求項1または2に記載の着色組成物。
- 更に、アルカリ可溶性樹脂を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色組成物を用いたカラーフィルタ。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法またはドライエッチング法により、着色組成物層に対してパターンを形成する工程と、を有するパターン形成方法。
- 請求項5に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子。
- 請求項5に記載のカラーフィルタを有する画像表示装置。
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