JP6832132B2 - 供給装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
Claims (16)
- 基板を支持するステージの一以上のゾーンに、第1の媒体温度調節器から出力される第1の熱交換媒体と、該第1の熱交換媒体の温度とは異なる温度を有し第2の媒体温度調節器から出力される第2の熱交換媒体と、を交互に供給する供給装置であって、
前記第1の熱交換媒体の出力用の前記第1の媒体温度調節器の供給ポートに接続された第1の供給ラインと、
前記第2の熱交換媒体の出力用の前記第2の媒体温度調節器の供給ポートに接続された第2の供給ラインと、
前記第1の供給ラインからの前記第1の熱交換媒体を前記一以上のゾーンにそれぞれ中継するための一以上の第3の供給ラインと、
前記第2の供給ラインからの前記第2の熱交換媒体を前記一以上のゾーンにそれぞれ中継するための一以上の第4の供給ラインと、
各々が、前記一以上のゾーンのうち一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体と前記第2の熱交換媒体を交互に供給するよう構成された一以上のバルブ装置と、
各々が、二つの入力ポートと、該二つの入力ポートに接続された一つの出力ポートを有する一以上の合流器と、
各々が前記一以上の合流器のうち一つの対応の合流器の前記出力ポートと前記一つの対応のゾーンとの間で熱交換媒体を中継する一以上の第5の供給ラインと、
を備え、
前記一以上のバルブ装置の各々は、
第1の入口、第2の入口、第1の出口、及び、第2の出口を提供する筒状のハウジングであり、該第1の入口は前記第1の供給ラインに接続され、該第2の入口は前記第2の供給ラインに接続され、該第1の出口は前記一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体を中継するための前記一以上の第3の供給ラインのうちの一つの第3の供給ラインに接続され、該第2の出口は前記一つの対応のゾーンに前記第2の熱交換媒体を中継するための前記一以上の第4の供給ラインのうちの一つの第4の供給ラインに接続されている、該筒状のハウジングと、
前記ハウジング内に挿入された軸体であり、該軸体の中心軸線に対して周方向に延びる第1の供給溝及び第2の供給溝が形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が第1の角度範囲にあるときに、該第1の供給溝が前記第1の入口と前記第1の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が第2の角度範囲にあるときに、該第2の供給溝が前記第2の入口と前記第2の出口を接続する、該軸体と、
前記軸体を前記中心軸線周りに回転させるための駆動装置と、
を有し、
前記一以上の合流器の各々の前記二つの入力ポートは、前記一以上の第3の供給ラインのうち前記一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体を中継する一つの第3の供給ラインと前記一以上の第4の供給ラインのうち前記一つの対応のゾーンに前記第2の熱交換媒体を中継する一つの第4の供給ラインとにそれぞれ接続されており、
前記一以上の第3の供給ラインの流路長及び前記一以上の第4の供給ラインの流路長は、前記一以上の第5の供給ラインのそれぞれの流路長よりも長い、
供給装置。 - 前記ハウジングと前記軸体との間に間隙が形成されており、
前記一以上のバルブ装置の各々は、前記ハウジング内の空間を封止するよう前記ハウジングと前記軸体との間との間に設けられた封止部材を更に有する、
請求項1に記載の供給装置。 - 熱交換媒体を受ける前記第1の媒体温度調節器の戻りポートに接続された第1の戻りラインと、
熱交換媒体を受ける前記第2の媒体温度調節器の戻りポートに接続された第2の戻りラインと、
前記一以上のゾーンから戻される熱交換媒体を中継するための一以上の第3の戻りラインと、
を更に備え、
前記ハウジングは、第3の入口、第3の出口、及び、第4の出口を更に提供し、該第3の入口は前記一つの対応のゾーンから戻される熱交換媒体を中継するための前記一以上の第3の戻りラインのうちの一つの第3の戻りラインに接続され、前記第3の出口は前記第1の戻りラインに接続され、前記第4の出口は前記第2の戻りラインに接続されており、
前記軸体には、前記周方向に延びる第1の戻り溝及び第2の戻り溝が更に形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第1の角度範囲にあるときに、該第1の戻り溝が前記第3の入口と前記第3の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第2の角度範囲にあるときに、該第2の戻り溝が前記第3の入口と前記第4の出口を接続する、
請求項1又は2に記載の供給装置。 - 前記軸体には、第3の戻り溝及び第4の戻り溝が更に形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第2の角度範囲にあるときに、該第3の戻り溝が前記第1の入口と前記第3の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第1の角度範囲にあるときに、該第4の戻り溝が前記第2の入口と前記第4の出口を接続する、請求項3に記載の供給装置。
- 基板を支持するステージの一以上のゾーンに、第1の媒体温度調節器から出力される第1の熱交換媒体と、該第1の熱交換媒体の温度とは異なる温度を有し第2の媒体温度調節器から出力される第2の熱交換媒体と、を交互に供給する供給装置であって、
前記第1の熱交換媒体の出力用の前記第1の媒体温度調節器の供給ポートに接続された第1の供給ラインと、
前記第2の熱交換媒体の出力用の前記第2の媒体温度調節器の供給ポートに接続された第2の供給ラインと、
前記第1の供給ラインからの前記第1の熱交換媒体を前記一以上のゾーンにそれぞれ中継するための一以上の第3の供給ラインと、
前記第2の供給ラインからの前記第2の熱交換媒体を前記一以上のゾーンにそれぞれ中継するための一以上の第4の供給ラインと、
各々が、前記一以上のゾーンのうち一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体と前記第2の熱交換媒体を交互に供給するよう構成された一以上のバルブ装置と、
熱交換媒体を受ける前記第1の媒体温度調節器の戻りポートに接続された第1の戻りラインと、
熱交換媒体を受ける前記第2の媒体温度調節器の戻りポートに接続された第2の戻りラインと、
前記一以上のゾーンから戻される熱交換媒体を中継するための一以上の第3の戻りラインと、
を備え、
前記一以上のバルブ装置の各々は、
第1の入口、第2の入口、第1の出口、及び、第2の出口を提供する筒状のハウジングであり、該第1の入口は前記第1の供給ラインに接続され、該第2の入口は前記第2の供給ラインに接続され、該第1の出口は前記一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体を中継するための前記一以上の第3の供給ラインのうちの一つの第3の供給ラインに接続され、該第2の出口は前記一つの対応のゾーンに前記第2の熱交換媒体を中継するための前記一以上の第4の供給ラインのうちの一つの第4の供給ラインに接続されている、該筒状のハウジングと、
前記ハウジング内に挿入された軸体であり、該軸体の中心軸線に対して周方向に延びる第1の供給溝及び第2の供給溝が形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が第1の角度範囲にあるときに、該第1の供給溝が前記第1の入口と前記第1の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が第2の角度範囲にあるときに、該第2の供給溝が前記第2の入口と前記第2の出口を接続する、該軸体と、
前記軸体を前記中心軸線周りに回転させるための駆動装置と、
を有し、
前記ハウジングは、第3の入口、第3の出口、及び、第4の出口を更に提供し、該第3の入口は前記一つの対応のゾーンから戻される熱交換媒体を中継するための前記一以上の第3の戻りラインのうちの一つの第3の戻りラインに接続され、前記第3の出口は前記第1の戻りラインに接続され、前記第4の出口は前記第2の戻りラインに接続されており、
前記軸体には、前記周方向に延びる第1の戻り溝及び第2の戻り溝が更に形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第1の角度範囲にあるときに、該第1の戻り溝が前記第3の入口と前記第3の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第2の角度範囲にあるときに、該第2の戻り溝が前記第3の入口と前記第4の出口を接続し、
前記軸体には、第3の戻り溝及び第4の戻り溝が更に形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第2の角度範囲にあるときに、該第3の戻り溝が前記第1の入口と前記第3の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が前記第1の角度範囲にあるときに、該第4の戻り溝が前記第2の入口と前記第4の出口を接続する、
供給装置。 - 前記ハウジングと前記軸体との間に間隙が形成されており、
前記一以上のバルブ装置の各々は、前記ハウジング内の空間を封止するよう前記ハウジングと前記軸体との間との間に設けられた封止部材を更に有する、
請求項5に記載の供給装置。 - 前記第3の戻り溝は、前記中心軸線が延びる方向において前記第1の供給溝と前記第1の戻り溝の間に形成されており、前記第4の戻り溝は、前記中心軸線が延びる方向において前記第2の供給溝と前記第2の戻り溝の間に形成されている、請求項4〜6の何れか一項に記載の供給装置。
- 前記中心軸線が延びる方向において、前記第1の供給溝と前記第2の供給溝の間に前記第1の戻り溝及び前記第2の戻り溝が形成されている、請求項3〜7の何れか一項に記載の供給装置。
- 該供給装置は、前記一以上のゾーンとしての前記ステージの複数のゾーンに前記第1の熱交換媒体と前記第2の熱交換媒体を交互に供給するよう構成されており、
前記一以上の第3の供給ラインは、前記第1の供給ラインからの前記第1の熱交換媒体を前記複数のゾーンにそれぞれ中継する複数の第3の供給ラインであり、
前記一以上の第4の供給ラインは、前記第2の供給ラインからの前記第2の熱交換媒体を前記複数のゾーンにそれぞれ中継する複数の第4の供給ラインであり、
前記一以上の第3の戻りラインは、前記複数のゾーンから戻される熱交換媒体を中継するための複数の第3の戻りラインであり、
前記一以上のバルブ装置は複数のバルブ装置である、
請求項3〜8の何れか一項に記載の供給装置。 - 前記第1の供給ライン及び前記第1の戻りラインを提供する第1の部材と、
前記第2の供給ライン及び前記第2の戻りラインを提供する第2の部材と、
を更に備え、
前記第1の部材と前記第2の部材は互いに離間している、
請求項9に記載の供給装置。 - 前記第1の部材は、前記第1の供給ライン及び前記第1の戻りラインが第1の方向に延びるように該第1の方向に延在しており、
前記第2の部材は、前記第2の供給ライン及び前記第2の戻りラインが前記第1の方向に延びるように該第1の方向に延在しており、
前記第1の部材と前記第2の部材は、前記第1の方向に直交する第2の方向に沿って配列されており、
前記複数のバルブ装置は、該複数のバルブ装置の各々の前記軸体が前記第2の方向に延びるように、前記第1の部材及び前記第2の部材の上に配置されている、
請求項10に記載の供給装置。 - 前記第1の戻りラインと前記第2の戻りラインは、前記第1の供給ラインと前記第2の供給ラインとの間において延びている、請求項11に記載の供給装置。
- 前記第1の入口と前記第1の供給ラインが前記第1の方向及び前記第2の方向に直交する第3の方向に沿って配列され、前記第3の出口と前記第1の戻りラインが前記第3の方向に沿って配列され、前記第2の入口と前記第2の供給ラインが前記第3の方向に沿って配列され、前記第4の出口と前記第2の戻りラインが前記第3の方向に沿って配列されている、請求項11又は12に記載の供給装置。
- 前記第1の部材及び前記第2の部材には、前記第3の方向に延びる複数の接続ラインであり、前記第1の入口と前記第1の供給ライン、前記第3の出口と前記第1の戻りライン、前記第2の入口と前記第2の供給ライン、及び、前記第4の出口と前記第2の戻りラインをそれぞれ接続する該複数の接続ラインが設けられている、請求項13に記載の供給装置。
- 基板を処理するための基板処理装置であって、
チャンバ本体と、
基板を支持するためのステージであり、前記チャンバ本体内に設けられており、一以上のゾーンを有する、該ステージと、
請求項1〜8の何れか一項に記載の供給装置であり、前記第1の熱交換媒体と前記第2の熱交換媒体を交互に、前記一以上のゾーンに供給するよう構成された、該供給装置と、
を備える基板処理装置。 - 基板を処理するための基板処理装置であって、
チャンバ本体と、
基板を支持するためのステージであり、前記チャンバ本体内に設けられており、複数の以上のゾーンを有する、該ステージと、
請求項9〜14の何れか一項に記載の供給装置であり、前記第1の熱交換媒体と前記第2の熱交換媒体を交互に、前記複数のゾーンに供給するよう構成された、該供給装置と、
を備える基板処理装置。
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