JP6826003B2 - トンネル電界効果トランジスタ - Google Patents
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- InPから構成された基板の上に形成されたInGaAsから構成された第1半導体層および前記基板の上に形成されてGaAsSbから構成された第2半導体層を備え、前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に形成されるトンネル接合によるトンネル電界効果トランジスタであって、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に形成されて、InPより格子定数が大きなInGaAsSbから構成された中間層と、
前記中間層と前記第2半導体層との間に形成される前記トンネル接合にゲート電界を印加するためのゲート電極と
を備え、
前記中間層は、V族元素におけるSbの組成比が0.01以上0.2以下であり、
前記第1半導体層、前記中間層、および前記第2半導体層の積層方向の前記中間層の厚さは、1nm以上15nm以下とされていることを特徴とするトンネル電界効果トランジスタ。 - InPから構成された基板の上に形成されたInGaAsから構成された第1半導体層および前記基板の上に形成されてGaAsSbから構成された第2半導体層を備え、前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に形成されるトンネル接合によるトンネル電界効果トランジスタであって、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に形成されて、InPより格子定数が大きなInGaAsSbから構成された中間層と、
前記中間層と前記第2半導体層との間に形成される前記トンネル接合にゲート電界を印加するためのゲート電極と
を備え、
前記中間層は、III族元素におけるInの組成比が、0.53以上であることを特徴とするトンネル電界効果トランジスタ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4662345B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-03-30 | 日本電信電話株式会社 | 多重歪量子井戸構造及びその製造方法 |
US8026509B2 (en) * | 2008-12-30 | 2011-09-27 | Intel Corporation | Tunnel field effect transistor and method of manufacturing same |
JP5504745B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-05-28 | 富士通株式会社 | 半導体素子 |
JP6331375B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2018-05-30 | 富士通株式会社 | 電界効果型半導体装置 |
JP2015211049A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-24 | 日本電信電話株式会社 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法およびヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
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