JP6820256B2 - 複数のプリーツパックを有するフィルターの使用点又は分注点 - Google Patents

複数のプリーツパックを有するフィルターの使用点又は分注点 Download PDF

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Description

関連出願の相互参照
この出願は、２０１４年１０月１０日に出願された、「複数のプリーツパックを有するフィルターの使用点又は分注点」と題する米国仮出願第６２／０６２６９０号の優先権を主張し、全ての目的で参照により全体が本明細書に援用される。
本開示は、浄化システム及び濾過システムに関する。より詳細には、本明細書に記載された実施形態は、浄化システム及び濾過システムで使用される様々なサイズのフィルターに関する。さらにより詳細には、半導体製造で使用される流体を濾過するための複数のプリーツパックを有するフィルターの使用点（「ＰＯＵ：ｐｏｉｎｔ ｏｆ ｕｓｅ」）及び分注点（「ＰＯＤ：ｐｏｉｎｔ ｏｆ ｄｉｓｐｅｎｃｅ」）を含むフィルターに関する。
半導体デバイスの製造において汚染の制御が最も重要な関心事の１つである。したがって、濾過及び浄化は、本明細書において半導体製造流体と呼ばれる化学薬品、ガス、水、化学的な機械研磨／平坦化スラリー等のような広範囲の流体に定期的に必要とされる。
半導体製造流体を濾過する際、多くの場合、粒子保持（すなわち、汚染物質の除去）、流速、サイズ、及びフィルターの圧力降下のバランスをとる必要がある。粒子保持又は流速が増加すると、上昇した圧力降下（すなわち、流体運搬網の２点間の圧力差）を低減するためにフィルターのサイズも増加させる必要がある場合がある。流体が管を流通するときに流れの抵抗によって引き起こされる摩擦力が流体に作用する際に圧力降下が生じる。例えば、所与の濾過媒体に関して、細孔サイズを５０％減少すると流れ抵抗を４００％上昇させることができる。これは、所望の流速を維持するためにフィルター内の圧力降下が劇的に上昇することを意味する。圧力降下の上昇を埋め合わせるために、フィルターハウジング及び対応する膜領域のサイズをそれに応じて増加させなければならない場合がある。しかし、大きいフィルターを使用することは、スペースの制約及び／又は他の理由により望ましくない又は実行不可能な場合がある。
従来、円筒状のフィルターは、サイズと、粒子保持又は汚染物質の除去と、流速と、圧力損失との良好なバランスを示した。したがって、半導体製造産業は全般的に円筒状のフィルターを採用している。非円筒状のフィルター内の応力が、同じ濾過及び流速を達成するために同等の円筒状のフィルターよりも大きく作られたフィルターを要するため、長方形及び非円筒状のフィルターは一般的に避けられている。さらに、半導体製造フィルターで典型的に経験する圧力及び温度は、典型的に長方形又は非円筒状の設計において高い局所的な応力を引き起こすと信じられている。そのような応力は、パーフルオロアルコキシポリマー、ポリプロピレン、及びポリテトラフルオロエチレンのような、半導体製造デバイスで多くの場合に使用される非反応性物質を生成させ、フィルターが故障する。
本明細書に記載された実施形態は、全体的に長方形で非円筒状の輪郭を有するコンパクトな設計のフィルターを提供することができ、これは、同等のフィルター媒体領域を有する円筒状のフィルターと比べて、同等の又は優れた粒子保持（又は他の浄化方法）、流速及び圧力降下を提供することができる。さらに、実施形態は、半導体産業で使用される従前の長方形のフィルターよりも良好なこれらの特徴のバランスを提供できる（例えば、同じ設置面積における優れた媒体領域、流れ、又は圧力降下の特徴、より小さい設置面積、並列及び／又は直列濾過等における同じ媒体領域、流速、又は圧力降下等）。
この開示内で、並列濾過は、並列に配置された浄化／濾過要素又は膜に流体を流通させる濾過の解決策を言い、一方、直列濾過は、デイジーチェーンで配置された一連の浄化／濾過（Ｐ／Ｆ）要素又は膜に流体を流通させる濾過の解決策を言う。同じ半導体製造プロセスにおいて、並列及び／又は直列濾過が望ましい及び／又は必要とされる場合がある。
実施形態によれば、フィルターは、キャビティーを画定する本体と、キャビティーに接続された入口ポートと、キャビティーに接続された出口ポートと、キャビティー内に配置されたＰ／Ｆ要素の全容量を有する一組のＰ／Ｆ要素とを備えることができ、フィルターは、ノーマルフロー濾過用に構成される。
一組の並列区域をキャビティー内に配置してもよく、第１区域と第１側壁との間に配置された第１サイドチャネル、第２区域と第２側壁との間に配置された第２サイドチャネル、及び第１区域と第２区域との間に配置された中央チャネルを有する。第１区域は第１サイドチャネル及び中央チャネルに開口し、第２区域は中央チャネル及び第２サイドチャネルに開口する。第１Ｐ／Ｆ要素が第１区域内に配置され、第２Ｐ／Ｆ要素が第２区域内に配置される。Ｐ／Ｆ要素は、立方体、直角プリズム、さもなければ他の非円筒形状を有する圧縮されたプリーツパックでもよい。
フィルターは様々な流れの進路を提供できる。例えば、入口ポートを中央区域に接続することができ、出口ポートを第１サイドチャネル及び第２サイドチャネルに接続することができる。別の例として、入口ポートを第１サイドチャネルに接続することができ、出口ポートを第２サイドチャネルに接続することができる。
本体は、外皮と、外皮に結合されたエンドキャップカバーとを備えてもよい。外皮は、第２側壁と向かい合う第１側壁と、第４側壁と向かい合う第３側壁とを備えてもよい。側壁間に湾曲した移行部があってもよい。第１、第２、第３及び第４側壁は、応力を分布させるために湾曲してもよい。代替的に、第１、第２、第３及び第４側壁は、平ら又は実質的に平らであってもよい。
フィルターはさらに、第１及び第２区域を画定する一組のプリーツカバーを備えてもよい。プリーツカバーは、格子を付けられてもよいし、さもなければそれらの区域が隣接するサイドチャネル及び中央チャネルに開口するように開口を含んでもよい。プリーツカバーは、キャビティーの長さを通り、第３側壁から第４側壁に及んでもよい。プリーツカバーは並列に配置してもよい。第１サイドチャネルは、第１側壁と第１プリーツカバーとの間に配置してもよい。第２サイドチャネルは、第２側壁と第２プリーツカバーとの間に配置してもよい。中央チャネルは、第３プリーツカバーと第４プリーツカバーとの間に配置してもよい。
入口エンドキャップは、中央チャネルに接続された入口ポートと、サイドチャネルに接続された出口ベントポートとを備えてもよい。出口エンドキャップは、サイドチャネルに接続された出口ポートと、中央チャネルに接続されたベントポートとを備えてもよい。代替的に、入口エンドキャップは、第１サイドチャネルに接続された入口ポートと、第２サイドチャネルに接続されたベントポートとを備えてもよく、出口エンドキャップは、第２サイドチャネルに接続された出口ポートと、第１サイドチャネルに接続されたベントポートとを備えてもよい。
本明細書に開示されたフィルターの実施形態は、単一のプリーツパックを有する従来のフィルターに対して多くの有用な用途及び利点を有することができる。例えば、本明細書に開示されたフィルターの実施形態では、複数のプリーツパックは、並列濾過又は直列濾過用に位置、さもなければ配置することができる。プリーツパックの高さは、流れの要件に基づいて変更することができる。さらに、複数のプリーツパックは、要件に基づいた好みの濾過能力を達成するため及び／又は優れた濾過／浄化を提供するために、異なる膜媒体の使用を許容する。
本発明のこれら及び他の形態は、以下の記載及び添付の図面と併せて考慮すると、より良好に認識され理解されるであろう。以下の記載は、本発明の様々な実施形態及びその多数の特定の詳述を示しながら、図解を用いることによって与えられるが限定はしない。多くの置換、修正、追加又は再配置を本発明の範囲内ですることができ、本発明は、そのような置換、修正、追加又は再配置の全てを含む。
本発明の実施形態のある形態を描写するために、この明細書の一部を伴うとともに形成する図面が含まれる。本発明及び構成要件のより明確な表現と、本発明と共に提供されたシステムの動作とは、例示、したがって、同一の参照番号が同じ構成要件を示す図面に図解された非限定的な実施形態に言及することにより、より容易に明確になるであろう。図面に図解された特徴は必ずしも一定の比率で描かれていないことに留意されたい。
フィルターの１つの例示的な実施形態の斜視図である。 図１に示されたフィルターのサブアセンブリの１つの例示的な実施形態の斜視図である。 フィルターのサブアセンブリの別の例示的な実施形態の正面図である。 図１に示されたフィルターのサブアセンブリの１つの例示的な実施形態の正面図である。 フィルターの１つの例示的な実施形態の内部の特徴を示す切取斜視図の図表示である。 複数のプリーツパックを介してフィルターの入口から出口に向く並列及び直列の流れを有する並列濾過を示す、図４のフィルターの切取斜視図の図表示である。 直列濾過用に構成されたフィルターの１つの例示的な実施形態の内部の特徴を示す切取斜視図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 フィルター及びその構成要件の１つの例示的な実施形態の図の図表示である。 複数のプリーツパックを介してフィルターの入口から出口に向く並列及び直列の流れを示すために取り除かれた一部と共にフィルターの１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示である。 複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターの１つの例示的な実施形態の正面図の図表示である。 複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターの別の例示的な実施形態の正面図の図表示である。 複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターのさらに別の例示的な実施形態の正面図の図表示である。 複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターの別の例示的な実施形態の正面図の図表示である。 複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターのさらに別の例示的な実施形態の正面図の図表示である。 図９Ｂに示されたフィルターの斜視図の図表示である。 複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターのエンドキャップの１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示である。 図９Ｇに示されたエンドキャップの斜視図の図表示である。 図９Ｇに示されたエンドキャップの別の斜視図の図表示である。
本開示と、様々な特徴及びその有利な細部とが、添付の図面に図解されるとともに以下の記載に詳述される非限定的な実施形態を参照することにより、より完全に説明される。公知の開始材料、処理技術、構成要素及び機器の記載は、詳細な開示を必ずしも分かりにくくしないように省略される。しかし、詳細な記載及び特定の例が好ましい実施形態を開示しながら図解のみによって、しかし限定によってではなく与えられることを当業者は理解すべきである。根本的な発明の概念の範囲内での様々な置換、修正、追加又は再配置は、この開示を読んだ後に当業者に明らかになるであろう。
特定の実施形態を記載する前に、いくつかの背景が役に立ち得る。上記で検討したように、半導体製造流体を濾過及び／又は浄化するために、円筒状のフィルターが多くの場合に半導体製造に使用される。いくつかの場合では、濾過システム内に並列濾過及び／又は直列濾過を有することが望ましく、又は、必要とさえされる場合がある。この目的で、いくつかの濾過の解決策は、複数の円筒状のフィルターを並列又は直列に物理的に配置することを含んでもよい。
例えば、濾過システム内に並列濾過を提供するために、１つの従来の方法は、２つ以上の従来の円筒状のフィルターを並列に配置することと、それらを流れの進路又は流体運搬網に接続することと、それらを流通するように流体を向けて、流体の流れを複数の副流に本質的に分割し、これらの複数の副流を別々に濾過／浄化する（すなわち、フィルターごとに１つの副流）こととを含んでもよい。濾過された副流は、並列に配置された円筒状のフィルターから単一の流れ内に向けられ、リザーバー、供給チャンバー及び／又は分注チャンバーのような濾過システムの下流のポンピングシステム構成要素等に供給され得る。別の例として、濾過システム内に直列濾過を提供するために、１つの従来の方法は、２つ以上の従来の円筒状のフィルターを連続して（すなわち、直列に）配置することと、それらを連続して、一度に１つの従来の円筒状のフィルターだけ流通するように流体が向くことができるように、１つの流れの進路内にそれらを位置させることとを含んでもよい。
半導体製造プロセスに使用される従来の円筒状のフィルターは典型的には並列濾過及び／又は直列濾過を提供するように作られていないので、これらの従来の濾過の解決策には欠点がある。例えば、並列濾過及び／又は直列濾過を行うために複数の従来の円筒状のフィルターを配置することは、濾過システムに必要な物理的な設置面積を増加し、したがってスペースの制約で濾過システムが実行可能とならない場合がある。
別の欠点は性能の問題に関する。具体的には、（例えば、濾過システム内で）独立して働くように準備する際、同じサイズ及び構成の従来の円筒状のフィルターは、保持又は汚染物質の除去、流速、圧力損失等に関しておおよそ同じレベル（それらの製造によって特定されるような動作公差）で個々に実行し得る。しかし、従来の円筒状のフィルターが並列又は直列に配置され、従来の円筒状のフィルターの流速及び／又は圧力降下が、同じ流れの進路内に並列又は直列に位置する別の従来の円筒状のフィルターの存在によって影響され得るときに、性能のレベルが不必要に低下する場合がある。流体の濾過の解決策が複雑になればなるほど（例えば、流れの進路内に並列及び直列濾過の両方を有するもの）、従来の円筒状のフィルターによって提供される性能のレベルが一致せず、予測可能ではなく、及び／又は許容可能ではない場合がある可能性が高くなる。
本明細書に記載された実施形態は、従来の円筒状のフィルターに比べて優れた粒子保持（又は浄化）、流速及び／又は圧力降下を提供し得る高性能フィルターを提供できる。さらに、実施形態は、半導体産業で使用される従前の長方形の箱型のフィルターよりも良好なこれらの特徴のバランスを提供できる。
いくつかの実施形態では、本明細書に開示されたフィルターは、パーフルオロアルコキシポリマー（ＰＦＡ）や、ポリプロプレン（ＰＰ）及びポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のような他の非反応性材料のような材料で形成することができ、したがって、半導体製造流体と共に使用するのに適することができる。無線周波数識別（ＲＦＩＤ）タグ及び他の特徴部分は、プログラム化された動作を促進するとともにロボットによるフィルターの交換を容易にするためにフィルターに一体化することができる。
本明細書に記載される実施形態は、粒子、イオン、ガス及び液体からのもののような汚染物質を除去可能とすることができる。より詳細には、いくつかの実施形態は、限定はしないが、ウェットエッチング及び清掃用途で使用される化学薬品のような半導体処理流体を含む様々な流体の浄化に関する。
この開示の文脈では、「濾過」は概して、物理的バリア（例えば、濾過媒体、膜、膜で作られたプリーツパック等を含むフィルター要素）を通して汚染物質／不純物を除去する機械的プロセスを言い、「浄化」は概して、化学的プロセスを通して汚染物質／不純物を除去することを言う。液体又は他の流体から汚染物質の全て又は一部を除去する行為又は工程は、限定はしないが、機械的ふるい、静電気、化学的結合、イオン交換、キレート化、吸着、脱ガス、又はこれらの組合せを含む濾過及び／又は浄化を含むことができる。本明細書に記載される実施形態は、化学薬品、例えばフォトリソグラフィプロセスで使用される光化学薬品を濾過及び／又は浄化するために適用することができる。したがって、「浄化及び／又は濾過」を本明細書では「Ｐ／Ｆ」と言うことができ、「濾過」及び「濾過」は交換可能に使用できる。同様に、「浄化媒体」及び「濾過媒体」は交換可能に使用できる。
光化学薬品は、プライマー、接着促進剤、フォトレジスト、エッジビードリムーバー、反射防止コーティング剤、現像液、絶縁体等のような様々な材料を含んでもよい。これらの流体は、使用点（ＰＯＵ）、床下又は他の場所で濾過及び／又は浄化できる。本明細書に記載される実施形態は、スラリーを含む他の液体を濾過するために用いられてもよい。
実施形態は、プロセス液又は他の流体に物質を添加及び／又はプロセス液又は他の流体から物質を除去するためのＰ／Ｆ要素を含んでもよい。そのようなＰ／Ｆ要素によって除去され得る物質の例は、限定はしないが、粒子、ゲル、分子汚染物質、イオン、溶存ガス、気泡、又はこれらの組合せを含むことができる。そのようなＰ／Ｆ要素によって添加され得る物質は、オゾン、二酸化炭素等のようなガスを含むことができる。
いくつかの実施形態では、Ｐ／Ｆ要素は、液体又は他の流体に／から物質を添加／除去できる媒体を含んでもよい。この開示では、「媒体」は、液体又は他の流体から汚染物質を除去できる及び／又は液体又は他の流体内に望ましいものを輸送できる物質又は物質の組合せを言う。媒体の例は、限定はしないが、粒子を除去するための多孔質膜、液体を脱ガスするための非多孔質膜、イオン交換基又はリガンドを有する多孔質膜、又は、膜の内部にイオン交換媒体を含む多孔質膜、又は、限定はしないが、イオン又は液体中の残渣を除去するためのシリコンビード、イオン交換ビード、又は活性炭のようなイオン交換、吸着、又は他の反応性粒子媒体を封入する多孔質膜を含むことができる。膜は多孔質（例えば濾過用）であってもよく、又は、非多孔質（例えばガス交換用）であってもよい。いくつかの実施形態では、液体のようなプロセス流体中に物質を輸送するために媒体を使用できる。例は、オゾンガス又は二酸化炭素ガスを液体に添加するために使用される多孔質又は非多孔質膜を含むであろう。様々な実施形態では、フィルターは、１つ又は複数のタイプの媒体を含んでもよい。
いくつかの実施形態では、Ｐ／Ｆ要素は膜を備えることができる。適切な膜の例は、限定はしないが、ポリマー材料から作られる膜を含んでもよい。適切なポリマー材料の例は、限定はしないが、超高分子量ポリエチレン、ポリプロピレン、及び高密度ポリエチレンのようなポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン及びポリフッ化ビニリデンのようなハロゲン化ポリオレフィン、パーフルオロアルコキシポリマー（ＰＦＡ）及びフッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）のようなパーフルオロ化ポリマー、ナイロン６，６及びポリエステルを含むポリスルホン、ポリアミドを含むことができる。
いくつかの実施形態では、多孔質膜は、単一又は多層とすることができ、膜の厚さに渡る細孔サイズの対称性又は非対称性（及び組合せ）を有する膜を含むことができる。いくつかの実施形態では、膜は、流し込み成形、押し出し成形、若しくは、メルトブロー又は電界紡糸又はこれらの組合せによって作られる多層膜によって形成することができる。
いくつかの実施形態では、膜は、ポリマー網状材料及び／又は他の材料のような支持構造体でひだ付けしてもよい。例として、限定はしないが、膜は、支持材料の層（例えば、網状材料又は他の材料）間に挟まれてもよい。
いくつかの実施形態では、１つ又は複数の膜からそれぞれ形成されたひだ付きフィルターを含む様々なＰ／Ｆ媒体を、液体又は他の流体を濾過するために使用することができる。そのような膜は、所望の粒子サイズ保持又はある浄化結果を達成するために選択することができる。例えば、いくつかの半導体製造用途のために、２０ナノメートル、１５ナノメートル、１０ナノメートル又はそれより小さい粒子サイズ保持を有する多孔質膜を選択してもよい。比較的高い流速は、１５ナノメートル以下の保持の場合、これらの保持定格（限定はしないが、１５リットル／分を超えるものを含む）で維持することができる。除去され得る汚染物質の例は、限定はしないが、粒子、ゲル、分子汚染物質、イオン、溶存ガス、気泡、又はこれらの組合せを含んでもよい。
本明細書に記載される実施形態は、限定はしないが、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）、パーフルオロアルコキシポリマー（ＰＦＡ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）のような親油性樹脂、パーフルオロ樹脂、金属又は他の材料を含む様々な材料から作ることができる。いくつかの実施形態では、外側の層は比較的安価なポリマーで形成してもよい一方で、内側の層は、プロセス流体と反応する傾向が小さい、又は、プロセス流体を汚染する傾向の小さいより高価なポリマーを備えることができる。例えば、フィルターの構成要素は、用途の温度及び圧力要件に耐えることができるポリプロピレン又は他の材料で形成された外側の外皮を備えてもよい。外側の外皮の内部に、典型的により高価で、より化学的耐性を有し、より高純度の材料の内側層を外側の層に熱形成又は取り付けることができる。いくつかの実施形態では、所望の材料の内側の層は、外側の層の内部の上にオーバーモールド成形することができる。いくつかの実施形態では、フィルターの湿った表面の全体は、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ又は他の材料のような、より化学的耐性を有し、より高純度のポリマーとすることができる。
いくつかの実施形態では、Ｐ／Ｆ要素支持構造体のような内部フィルター構成要素は、限定はしないが、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＰＶＤＦ、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート、ＰＰ、ＰＥ、ＰＥＥＫのような親油性樹脂、パーフルオロ樹脂、金属又は他の材料を含む様々な材料から作ることができる。いくつかの実施形態では、Ｐ／Ｆ要素支持構造体は、多層で形成することができる。Ｐ／Ｆ要素支持構造体のコアは比較的安価な第１ポリマー（例えばポリプロピレン）を備えることができる一方で、プロセス流体と接触する任意の層は、プロセス流体と反応又はプロセス流体を汚染する傾向の小さい、より化学的耐性を有し、より高純度の第２ポリマーを備えることができる。いくつかの実施形態では、第２ポリマーは、第１ポリマーの上にオーバーモールド成形することができる。例えば、ＰＥＴの溶融温度は、ＰＦＡ及びＰＴＦＥ膜よりも低い。このため、ＰＦＡ及びＰＴＦＥ構成要素を有するフィルターアセンブリの１つ又は複数の部分をＰＥＴでオーバーモールド成形又はポット成形してもよい。
複数のプリーツパックを有する非円筒状のフィルターの例示的な実施形態をこれから記載する。
図１は、本体１１０、ポート１１２、及び取付具１１４を備えるフィルター１００の１つの例示的な実施形態の図表示を示している。本体１１０は、Ｐ／Ｆ要素を収容するのに十分なサイズ、さもなければ寸法に形成された内部キャビティーを画定する外皮１２０を備えてもよい。ポート１１２は、流体の流入及び流出用に本体１１０上に必要に応じて配置することができる。取付具１１４は、流体がフィルター１００へ／から向くことができるように、ポート１１２をＰ／Ｆシステムの他の構成要素に接続してもよい。
代表的な実施形態では、本体１１０は全体的に立方体、直方体、直角プリズム、さもなければ非円筒状の形状を有することができる。本体１１０を形成するのに任意の数の部品を使用してもよい。いくつかの実施形態では、単一の又は複数の部品の外皮１２０が本体１１０の側壁を形成してもよい。いくつかの実施形態では、外皮１２０の端部に結合されたエンドキャップ１３０が本体１１０の端壁を形成してもよい。
図解された配置では、ポート１１２はエンドキャップ１３０上に配置されている。エンドキャップ１３０は、本体１１０によって画定されたキャビティー内の適当な場所に流体を向けるように流路（１つの例が１３２に図解されている）を含んでもよい。以下に説明するように、１つ又は複数のタイプのＰ／Ｆ媒体をキャビティー内に配置することができる。図１には４つのポート１１２が図解されているが、当業者はフィルター１００がより多くの又はより少ないポートを有してもよいことを理解する。当業者は、他の場所、例えば外皮１２０上に１つ又は複数のポート１１２を配置してもよいことも理解できる。
動作中、少なくとも１つのポート１１２が入口ポートとして機能することができ、少なくとも１つのポート１１２が出口ポートとして機能することができる。フィルター１００は、入口ポートを通して流体を受け入れ、内部キャビティー内のＰ／Ｆ要素を通るように流体を向けて、浄化／濾過された流体を出口ポートを通して下流の構成要素を通過させてもよい。
図２Ａは、図１に示されるフィルター１００のサブアセンブリの１つの例示的な実施形態の斜視図を示している。いくつかの実施形態では、フィルター１００のキャビティーは、向かい合う側壁１２２、向かい合う側壁１２４、及びエンドキャップ１３０（図１参照）によって画定された端壁によって画定してもよい。キャビティーは非円筒状の形状を有してもよい。開口を有する一組のプリーツカバー２０２／２０４は、Ｐ／Ｆ要素２００を保持するためにキャビティー内に２つ以上の区域を画定してもよい。それらの区域は全体的に立方体又は直角プリズムの形状とすることができ、並列に配置することができる。区域間の間隙は、中央チャネル２２０のような流れチャネルを提供する（追加的な区域を有する実施形態では、追加的な中央チャネルがあってもよく、又は、中央チャネルが全くなくてもよい）。最も外側の区域とキャビティーの側壁との間の間隙は、サイドチャネル２１０のような追加的な流れチャネルを提供してもよい。サイドチャネル２１０及び中央チャネル２２０が入口又は出口チャネルとして機能できるようにフィルター１００を構成することができる。入口又は出口チャネルは、所望の流れのレベルを有するようなサイズにすることができる。プリーツカバー２０２及び２０４は、格子を付けられ、さもなければ隣接するチャネル２１０及び２２０に各区域が開口するように開口を含む。
図解された例では、Ｐ／Ｆ要素２００を含む一組の並列の区域がキャビティー内に配置されている。それらの区域とチャネル２１０／２２０との間を流体が流れることができるように、それらの区域はサイドチャネル２１０及び中央チャネル２２０に開口する。当業者は他の配置も可能である場合があることも理解する。例えば、図２Ｂは、４つのＰ／Ｆ要素２００を保持するためにフィルターのキャビティー内に複数の区域を画定するように構成されたプリーツカバーを有するフィルターサブアセンブリの別の例示的な実施形態の正面図を示している。この場合、複数の区域は、中央チャネル２２０ａ／２２０ｂ及びサイドチャネル２１０に開口する。
いくつかの実施形態では、Ｐ／Ｆ要素２００は、キャビティーの長手軸に平行な膜プリーツの長さに関してひだ付けされた多孔質ポリマー膜のプリーツパックとすることができる。一方の側のひだの先端がプリーツカバー２０２に当接する一方で反対側のひだの先端がプリーツカバー２０４に当接するように、ひだの先端を向かせてもよい。これはさらに図３に図解されている。
本明細書に開示された各プリーツパックは、単一の膜、若しくは、同じ又は異なる材料の複数の膜で形成することができる。さらに、ポリマー網状材料及び他の材料で膜にひだ付けしてもよい。いくつかの実施形態では、ミクロン及び／又は０．１ミクロン粒子を除去するために（例えば、１００ナノメートル以下の粒子サイズ保持）、そのような材料を選択できる。
いくつかの実施形態では、本明細書に開示されたプリーツパックは、約１．０以下の圧縮比を有することができる。この圧縮比は、ひだが分離しないがさらに共に圧縮されない１．０の比に対してプリーツパックが圧縮される量を言う。したがって、例えば、１００のひだ及び０．０４１５センチメートルの厚さを有するフィルター膜は、１．０の圧縮比でおよそ４．１５センチメートルの幅を有するであろうが、０．７の圧縮比でおよそ２．９０５ｃｍの幅を有するであろう。ひだが共に圧縮されて、上流側の全体として平らな長方形の入口境界面及び下流側の全体として平らな長方形の出口境界面を有する、正六面体、立方体、長方形、直角プリズム、又は他の非円筒形状のプリーツパックを形成することができる。膜の所与の領域に関するある区域における膜のひだの圧縮量は、所望の圧力降下対流速を最適化するために選択することができる。
いくつかの実施形態では、膜材料は、網状のもののような支持材料でひだ付けされてもよい。例えば、支持構造体は、第１の方向に延びる繊維と、第１の方向に対して９０度の角度の第２の方向に延びる他の繊維との織物とすることができる。以下にさらに記載するように、全体としてひだの先端からひだの先端方向にプリーツパックを流通するように流体を向けることができる。より高いひだの高さ（すなわち、ひだの先端からひだの先端まで測定した距離）を有するプリーツパックは、流体の全体的な流れの進路を横切るように延びるより多くの支持繊維を流体が流通するようにさせてもよい。これも、より大きい圧力降下をもたらす場合がある。
より詳細には、流体粒子がプリーツパックを流通するのにかかる時間の量（「滞留時間」と言う）は、ひだの高さ「ｈ」（ひだの先端からひだの先端までの距離）に依存する場合がある。したがって、並列に配置された、ある長さ「Ｌ」、幅「Ｗ」、及び高さ「ｈ１」（Ｌ＊Ｗ＊ｈ１）の２つのプリーツパックは、（Ｌ＊Ｗ＊２ｈ１）の単一のプリーツパックと比較すると、より短い滞留時間から利益を得る場合がある。両方の構成では、媒体領域は同じであり、これは、両方の構成における圧力降下は同じになるべきという期待につながるであろう。しかし、上記で検討したように、流体の全体的な流れの進路に概して垂直に延びるより多くの支持繊維を流体が流通し得る場合、より高いひだの高さ「２ｈ１」は実際に、ひだの高さ「ｈ１」よりも大きい圧力降下を引き起こす場合がある。したがって、並列に配置された２つの膜プリーツパックの場合、支持構造体の量は単一のプリーツパックの場合と同じであるが、圧力降下は低減することができる。これは、より良好な特性を達成しながら、ひだの高さ２ｈ１を有するプリーツパックを有する装置に必要とされるおおよそ同じ全体的な装置の包体を使用できる（又は、同様の特性を達成するためにより小さい装置の包体を使用できる）ことを意味する。
いくつかの実施形態では、外皮１２０は、圧力ベッセルとして機能することができ、圧力能力を高めるための特徴部を含むことができる。側壁１２２から１２４までの移行部は、応力を分布させるために湾曲することができる。側壁１２２又は１２４は平ら、アーチ形、湾曲、さもなければ他の形状であってもよい。側壁１２２／１２４の構成は、ミーゼス応力が外皮１２０の降伏応力よりも小さくなるように選択することができる。ミーゼス応力は当業者に知られており、したがって、本明細書ではさらに記載しない。
いくつかの実施形態では、プリーツカバー２０２及び２０４は、向かい合うように面する側壁１２４間をつないでもよい。内側のプリーツカバー２０４は、側壁１２４の中央線のいずれかの側の近く及びその上で各側壁１２４と接してもよい。内側のプリーツカバー２０４は、フィルター１００が圧縮されるときに外皮１２０の構造的一貫性を増加する伸張部材として機能することができる。
いくつかの実施形態では、フィルター１００は、複数の単一部品及び／又は複数部品のフィルター構成要素で形成してもよい。いくつかの実施形態では、側壁１２４及びプリーツカバー２０４は単一の部品で形成してもよい。プリーツカバー２０２は側壁１２４にスナップ嵌め、さもなければ連結することができ、側壁１２２はサイドカバーとして追加することができる。いくつかの実施形態では、側壁１２４、プリーツカバー２０２、及びプリーツカバー２０４は単一の部品として形成することができ、側壁１２２はサイドカバーとして追加することができる。いくつかの実施形態では、側壁１２４、プリーツカバー２０２、プリーツカバー２０４、及び側壁１２２は単一の部品として形成することができる。いくつかの実施形態では、フィルター１００のサブアセンブリは、（例えば、中央チャネル２２０に沿って）共に接合される２つの半体で形成することができる。区域及びプリーツパックの端部はポット成形することができる。いくつかの場合、これは、エンドキャップを単一の又は複数部品の外皮１２０に結合する部分
として行うことができる。
図３を参照して、開口３１０はサイドチャネル２１０を、ポート１１２に接続する流れの進路と接合することができ、開口３１２は中央チャネル２２０を、ポート１１２に接続する流れの進路と接合することができる（図１参照）。同様の開口がフィルター１００の他端に存在してもよいが、いくつかの場合、異なるように配置してもよい。例えば、開口３１０は、一端においてサイドチャネル２１０の頂部に又はその近く、第２の端部において底部に又はその近くにあってもよく、一方で、開口３１２は、一端において中央チャネル２２０の頂部に又はその近く、他端において底部に又はその近くにあってもよい。いくつかの実施形態では、中央チャネル２２０は、一端において第１ポート１１２に、他端において第２ポート１１２に接続してもよく、一方で、サイドチャネル２１０は、一端において第３ポート１１２に、他端において第４ポート１１２に接続してもよい。
いくつかの実施形態では、中央チャネル２２０の底部で又はその近くで入口ポートを中央チャネル２２０に接続することができ、中央チャネル２２０の高い点で又はその近くで入口ベントを中央チャネル２２０に接続することができる。これは、入口チャネル（図示された例では、中央チャネル２２０）内の空気をベントを通して逃げさせる。サイドチャネル２１０の底部で又はその近くで出口ポートを接続することができ、その頂部で又はその近くで出口ベントを接続して空気を逃げさせることができる。その底部又はその近くにおける出口の接続によって、出口ポートがドレインとしても機能できる。いくつかの実施形態では、サイドチャネル２１０の頂部で又はその近くで出口を接続してもよく、ベント及び出口の両方として機能してもよい。他端において、他のポートがサイドチャネル２１０に接続されてドレインとして機能してもよい。他の場所において、ポートがこれらの流れチャネル（図示された例では、サイドチャネル２１０及び中央チャネル２２０）に接続されてもよい。いくつかの実施形態では、検討されたポートのいくつかを省いてもよい。
限定はしないが半導体製造用途を含む様々な用途にフィルター１００を使用してもよい。いくつかの半導体製造プロセスでは、フィルターは典型的に１００ｐｓｉ未満で動作する。本明細書に記載された実施形態は、実質的にポリマー製の濾過器／浄化器を含むことができる。１つの実施形態は、１００％ポリマー製のフィルター／浄化器とすることができる。この開示では、全てがポリマー製のフィルターは、フィルターの流体の流れの進路及び構造構成要素が、例えば金属製の支持プレート、金属製の取り付けブラケット等を必要とせずにポリマー材料で作られるフィルターとすることができる。全てがポリマー製のフィルターの例は、主要本体及びエンドキャップが主として又は全体的にＰＦＡ、ＰＴＦＥ又は他の非反応性材料で形成されるフィルターを含んでもよい。いくつかの実施形態では、全てがポリマー製のフィルターは、４００ｐｓｉ（２ＭＰａ）超、いくつかの場合は９００ｐｓｉ（６．２ＭＰａ）を含む１００ｐｓｉ（０．６８ＭＰａ）以上の破壊圧力に耐えるために、匹敵する保持、流速及び圧力降下を提供する円筒状のフィルターに必要とされるよりも小さい容量に構成することができる。
当業者は、濾過／浄化システム内の流速が典型的に約５〜２０リットル毎分（ｌｐｍ）であり、最大５０ｌｐｍを取り扱うことのできるフィルターが多くの場合使用されることを理解する。本明細書に記載された実施形態は、５０ｌｐｍ未満の流速及び５０ｌｐｍを超える流速を含む広範囲の流速の用途に使用してもよい。さらに、本明細書に記載された実施形態は、１５ナノメートル以下の粒子を濾過する間に高流速（例えば、１５ｌｐｍを超える）を提供できる。本明細書に記載された実施形態は、他の濾過及び／又は浄化プロセスを行うために他の浄化／濾過要素と共に構成することもできる。
さらに、本明細書に記載された実施形態は、所望の圧力降下を示すことができる。いくつかの実施形態では、限定はしないが、４０リットル毎分で３０ｋＰａ（いくつかの実施形態では、１０ｋＰａ未満を含む）未満、３０リットル毎分で２０ｋＰａ（いくつかの実施形態では、１０ｋＰａ未満を含む）未満、２０リットル毎分で２０ｋＰａ（いくつかの実施形態では、１０ｋＰａ未満を含む）未満の基準圧力降下を含む基準圧力降下（１センチポアズの粘度を有する流体での圧力降下でフィルター要素が設置されていない）を有するようにフィルターを構成することができる。当業者は、流速及び望まれる圧力降下のバランスをとるようにフィルターの実際の構成が与えるごとに異なり得ることを理解する。
いくつかの実施形態では、フィルター１００は、ノーマルフロー濾過（ＮＦＦ）を提供するように構成してもよく、適用された圧力下で流体がフィルター膜に向かって直接流れるように向けられる。いくつかの実施形態では、適切なエンドキャップを選択することを通して並列及び／又は直列の流れ用にフィルター１００を構成することができる。これはさらに、以下で説明される。
図４は、図１に示されるフィルター１００の１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示を、フィルター１００の内部の特徴を示すために取り除いた部分と共に描いている。図１〜４の参照番号を使用すると、第１端部４０１において中央チャネル２２０がポート１１２及び取付具１１４を介して入口４１２に接続されるとともに第２端部４０２において入口ベント４２２に接続される一方、第２端部４０２においてサイドチャネル２１０がポート１１２及び取付具１１４を介して出口４１３に接続されるとともに第１端部４０１において出口ベント４２３に接続されている。
図４に示される例では、第１の側４９１及び第２の側４９２のそれぞれにおいて、サイドチャネル２１０は反対側に配置されている。さらに詳細には、第１のサイドチャネル２１０は、第１の端部４０１において入口４１２に接続されるとともに第２の端部４０２において入口ベント４２２に接続される一方、第２のサイドチャネル２１０は、第２の端部４０２において出口４１３に接続されるとともに第１の端部４０１において出口ベント（又はドレイン）４２３に接続されている。これらの流れチャネルは、入口及び出口ポートとして特定のポート１１２を使用してフィルター１００を流通するように流体を向けることができるように異なるように構成することができる。
図５は、図４に示されるフィルター１００の１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示を、並列濾過用に構成された複数のプリーツパックを介してフィルターの入口から出口に向けられた並列及び直列の流れを示すために取り除いた部分と共に描いている。図１〜５の参照番号を使用すると、フィルター１００は、入口４１２を通して流体を受け入れてその流体を中央チャネル２２０に向けることができる。流体は、中央チャネル２２０からプリーツカバー２０４、Ｐ／Ｆ要素２００を並列に通ってサイドチャネル２１０に流れることができる。その後、流体は、直列にサイドチャネル２１０から出口４１３に流れることができる。図５に図解されるように、この例では、流体が並列の流れ４６０を介してサイドチャネル２１０に、その後、直列の流れ４５０を介して出口４１３に向けられるように、流体は、中央チャネル２２０からＰ／Ｆ要素２００を通ってひだの先端からひだの先端方向に流れる。
当業者は、並列な流れ及び直列の流れを有する並列濾過の非限定的な例を図５が図解していることを理解する。本明細書に開示されたフィルターに並列濾過を提供するための他の流れの進路が可能であってもよい。例えば、フィルター１００が入口４１２を通して流体を受け入れるとともに流体が最初にサイドチャネル２１０に（例えば、エンドキャップ１３０内に画定された流路を介して）向けられるように、エンドキャップ１３０が特定の流路を画定してもよい。流体は、サイドチャネル２１０から、並列の流れを介して中央チャネル２２０に、その後、直列の流れを介して出口４１３に向けられるように、Ｐ／Ｆ要素２００を通ってひだの先端からひだの先端方向に流れる。
図６は、直列濾過用に構成されたフィルターの１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示を描いている。非限定的な例として、フィルター６００は、プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂを含む内部キャビティー６１０を設けた本体６０８を含んでもよい。組み立て時に、本体６０８は完全にシールすることができる。ポートは（例えば、取付具６２０、６２２、６２５、６２７と共に）、キャビティー６１０への流体流入用及びキャビティー６１０からの流出用の開口を提供することができる。本体６０８は、全体的に立方体、直方体、直角プリズム、又は多の非円筒状の形状を有することができる。本体６０８を形成するために、任意の数の部品を使用してもよい。いくつかの実施形態では、単一の又は複数部品の外皮６１３が本体６０８の側壁を形成してもよく、エンドキャップ６０７ａ、６０７ｂが外皮６１３の端部に結合、さもなければ接合されて端壁を形成してもよい。フィルター６００用の適切な製造方法及び材料は、フィルター１００に関して上述したものと同様又は同じであってもよい。
いくつかの実施形態では、フィルター６００は、外側のプリーツカバー６１２と、（中央のプリーツカバーとして機能する）セパレーター６０５とを含むことができる。したがって、プリーツカバー６１２及びセパレーター６０５によって形成される区域は、全体的に立方体又は直角プリズムの形状とすることができる。図６に図解されるように、プリーツカバー６１２とキャビティー６１０の側壁との間の間隙は、サイドチャネル６１４を形成することができる。いくつかの実施形態では、フィルター６００は、サイドチャネル６１４が入口及び出口チャネルとして機能できるように構成することができる。そのような入口及び出口チャネルは、所望の流れレベルを提供するようなサイズ、さもなければ寸法に形成することができる。いくつかの実施形態では、プリーツカバー６０５／６１２は、格子を付けられるか、さもなければ区域が隣接するサイドチャネル６１４に隣接し、流体がセパレーター６０５を通して１つの区域から隣の区域へ流れることができるように開口を含む。プリーツカバー６１２及びセパレーター６０５は、キャビティー６１０内部の２つのエンドキャップ６０７ａ、６０７ｂ間をつなぐか、さもなければ延びてもよい。
いくつかの実施形態では、フィルター６００は、図６の例に示されるように、上述した区域に位置するとともにセパレーター６０５によって分離されたプリーツパック６０３ａ、６０３ｂを備えるＰ／Ｆ要素を含むことができる。プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂは、上記で検討したように圧縮してもよい。セパレーター６０５は、膜プリーツの高さに基づく場所に浮かぶことができるように、プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂ間の浮動体としても構成してもよい。セパレーター６０５は、セパレーター６０５に当接するプリーツパック６０３ａ及び６０３ｂによって、又は、外皮６１３及び／又はエンドキャップ６０７上の整列特徴部の使用を通して、適所に保持してもよい。いくつかの実施形態では、セパレーター６０５は、固定された場所を有してもよい。
セパレーター６０５の固定された又は浮動する場所は、濾過及び流れの構成に基づいて変更することができる。いくつかの実施形態では、細孔サイズがより大きい膜用に、より小さなひだ及びより少ない膜を使用してもよい。いくつかの実施形態では、より緻密な膜に流れを適合させるために、より大きいひだの高さ及びより多い膜を使用してもよい。例えば、プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂの高さを選択してもよく、セパレーター６０５をプリーツパック６０３ａ及び６０３ｂ間の中間に置いてもよく、１つの膜の高さが他の膜の高さよりも高い場合には、セパレーター６０５は、図６に示されるように常に中央に置く必要がなく、真ん中のセパレーター６０５からオフセットするように位置させてもよい。セパレーター６０５を有することの１つの利点は、異なる膜媒体のプリーツパック６０３ａ及び６０３ｂがフィルター６００に使用され得ることである。さらに、セパレーター６０５の場所に応じて、膜媒体の高さも変えることができる。
いくつかの実施形態では、ポートは、流体の流入及び流出のために、本体６０８上に必要に応じて配置される。取付具６２０、６２２、６２５、６２７は、フィルター６００に／から流体を送出する濾過／浄化システムの他の構成要素にポートを接続してもよい。図解される配置では、ポートはエンドキャップ６０７ａ及び６０７ｂ上に配置される。上述したエンドキャップ１３０と同様に、エンドキャップ６０７ａ及び／又は６０７ｂは、流体を入口６６２からキャビティー６１０内の適切な場所に向けさせて出口６６３へ流出するように特に画定された流路を含んでもよい。図６には４つのポートが図解されているが、フィルター６００はより多く又はより少ないポートを有してもよい。いくつかの実施形態では、１つ又は複数のポートが、外皮６１３上のような他の場所に配置されてもよい。さらに、入口６６２及び出口６６３が同じ側に位置するように図６に示されているが、フィルター６００の反対側に配置することができる。
動作中、少なくとも１つのポートが入口ポートとして機能してもよく、少なくとも１つのポートが出口ポートとして機能してもよい。図解された例では、フィルター６００は入口６６２を通して流体を受け入れてもよく、その流体は、第１サイドチャネル６１４へ（例えば、エンドキャップ６０７ｂ内に画定された流路を介して）向けられる。流体は、第１サイドチャネル６１４から、キャビティー６１０内のＰ／Ｆ要素を通して（第１プリーツカバー６１２、プリーツパック６０３ａ、セパレーター６０５、プリーツパック６０３ｂ、及び第２プリーツカバー６１２を通して）、第２サイドチャネル６１４へ流れる。その後、濾過／浄化された流体は、第２サイドチャネル６１４から出口６６３を通って下流の構成要素又は複数の構成要素へ流れるように向けられる。このように、流体は、プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂを通って連続して濾過及び／又は浄化されるように、１つのサイドチャネル６１４から別のサイドチャネル６１４へ流れる。いくつかの実施形態では、ベント（例えば、入口ベント６７２及び出口ベント６７３）を、フィルター６００から空気を逃げさせるために、外皮６１３の頂部に又はその近くに（すなわち、本体６０８に対して最も高い可能な場所に）配置してもよい。上記で検討したように、いくつかの実施形態では、入口６６２及び出口６６３は、フィルター６００の反対側に位置してもよい。したがって、エンドキャップ６０７ａ及び６０７ｂ内に画定された流路は、フィルター６００の第１端部に位置する入口６６２から第１サイドチャネル６１４へ、第１プリーツカバー６１２、プリーツパック６０３ａ、セパレーター６０５、プリーツパック６０３ｂ、及び第２プリーツカバー６１２を通して第２サイドチャネル６１４へ、その後、第１端部の反対のフィルター６００の第２端部に位置する出口６６３へ流れるように流体が向けられる直列濾過用の流れの進路を提供できる。
いくつかの実施形態では、プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂの媒体は、図７Ｂ及び７Ｃに関して以下により詳細に検討するような１つの連続する部品であるように共に継ぎ合わされてもよい。セパレーター６０５を、連続する膜プリーツ間に挿入してもよい。いくつかの実施形態では、プリーツパック６０３ａ及び６０３ｂの媒体は異なってもよい。
図７Ａ〜７Ｇは、フィルター及びその構成要素の１つの例示的な実施形態の様々な図の図表示を描いている。さらに詳細には、図７Ａ〜７Ｅはフィルターの構成要素の分解組立図を描き、図７Ｆはフィルターのサブアセンブリ７５５の正面図を描き、図７Ｇは、以下に記載される組み立てプロセスに係る図７Ａ〜図７Ｇに示されるフィルターの構成要素から組み立てられたフィルター７７５の斜視図を描いている。
図７Ａに示される例では、フィルターの構成要素は、キャビティー７０１を画定する外皮７００と、２つの外側のプリーツカバー７０５（１つのみが示されている）と、内側のプリーツカバー構造体又はケージ７１０とを含む。サブアセンブリ７５５は、キャビティー７０１の内部に嵌まるようなサイズ、さもなければ寸法に形成される。各外側のプリーツカバー７０５は、１つ又は複数の支持棒又は突出部を備えてもよい。図７Ａに示されるように、複数の支持棒又は突出部７０７ａ〜７０７ｃがプリーツカバー７０５の表面から延びてもよい。突出部７０７ａ〜７０７ｃは、用途又は外皮７００のキャビティー７０１の形状に応じて、同じ高さ又は異なる高さであってもよい。例えば、突出部７０７ｃは、突出部７０７ａ、７０７ｂの高さよりも大きい高さとすることができる。そして、２つの突出部７０７ａ及び７０７ｂを同じ高さにすることができる。
ケージ７１０は、第１及び第２の壁７１６によって分離されて間隔をあけたプリーツカバー７０４を備えてもよい。１つ又は複数の追加的な部材（例えば、部材７１８）が、追加的な構造支持を提供するために、プリーツカバー７０４間に位置してもよい。いくつかの実施形態では、第１及び第２の壁７１６は、プリーツカバー７０４の長さに沿って延びてもよい。いくつかの実施形態では、第１及び第２の壁７１６は連続（solid）している。プリーツカバー７０４及び壁７１６は、少なくともケージ７１０の一端で開口する内側のチャネル７０８を形成する。チャネル７０８はケージ７１０の長さに沿って延びてもよい。いくつかの実施形態では、チャネル７０８はケージ７１０の両端で開口してもよい。
上述したフィルターのエンドキャップ（エンドキャップ１３０及び６０７を含む）は複数の部分を含んでもよい。図７Ｂを参照すると、いくつかの実施形態では、エンドキャップ７３２は、２つの部分、すなわち、第１の側（例えば、Ｂ側）のポッティングエンドキャップ７２５と、第２の側（例えば、Ｄ側）のフィッティングエンドキャップ７３０とで形成してもよい。ポッティングエンドキャップ７２５は、フィルターのキャビティー内の入口／出口チャネルと接続する開口７２７を設けている。斜視図７２１及び７２２は、ポッティングエンドキャップ７２５の両側（Ａ側及びＢ側）と、フィッティングエンドキャップ７３０の両側（Ｃ側及びＤ側）とを示している。フィッティングエンドキャップ７３０は、取り付け具が連結され得るポート７３１を設けている。ポッティングエンドキャップ７２５及び／又はフィッティングエンドキャップ７３０は、ポッティングエンドキャップ７２５及びフィッティングエンドキャップ７３０が共に結合さもなければ連結されてエンドキャップ７３２を形成した後に、エンドキャップ７３２内に画定された流路がフィッティングエンドキャップ７３０のポート７３１をポッティングエンドキャップ７２５の適切な開口７２７に接続することができるように、特定の流路を画定するへこんだ特徴部を備えることができる。
図７Ｃ及び７Ｄは、第１プリーツパック７４０ａと、第２プリーツパック７４０ｂと、第１プリーツパック７４０ａ及び第２プリーツパック７４０ｂを接続さもなければ接合するブリッジ７４２ａ及び７４２ｂとで形成される連続するプリーツパックを有するＰ／Ｆ要素７３５の斜視図の実施形態を図解している。第１プリーツパック７４０ａ及び第２プリーツパック７４０ｂ内の隣接するひだ間にわずかな間隔が示されているが、これは図解の目的のためになされたものである。プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂは、上記で検討したように圧縮されてもよい（例えば、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂのそれぞれは１．０以下の圧縮比を有することができる）。図解された例では、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂは、互いに面するひだの先端の各内側の組に対して互いから間隔をあけ、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂ間にチャネル７４５を形成する。Ｐ／Ｆ要素７３５は、チャネル７４５が１つ又は複数のプリーツカバー（例えば、セパレーター６０５、ケージ７１０等）を収容できるように構成することができる。図７Ｄに図解されるように、１つの実施形態では、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂの内側のひだの先端は、チャネル７４５内に挿入された、さもなければ位置するケージ７１０の各側に当接できる。
いくつかの実施形態では、Ｐ／Ｆ要素７３５は、ブリッジ７４２ａ及び７４２ｂを介して２つの別々のプリーツパックを共に接合することによって形成してもよい。したがって、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂは、同じ又は異なる濾過特性を有する同じ又は異なる材料で作ることができる。いくつかの実施形態では、膜（及び／又は支持材料）は、特定のひだ又はフラップがより長くなるようにひだ付けされてもよい。例えば、フィルター要素の材料は、ｉ）より長いエンドフラップ、ｉｉ）プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂを形成するためのひだの区域、及び／又はｉｉｉ）より長い中央のひだでひだ付けされることができる。フィルター要素の材料は、より長い中央のひだが広げられてブリッジ７４２ａを形成するとともにエンドフラップが継ぎ合わされてブリッジ７４２ｂを形成することができるように配置することができる。
ブリッジ７４２ａ及び７４２ｂは、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂの端のひだに示されているが、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂ間の他の領域に形成してもよい。このように、追加的な並列のプリーツパックは、橋かけられた場所の上方及び下方に配置することができる。図２Ｂを参照すると、そのような並列のプリーツパックは、Ｐ／Ｆ要素２００を与えるのに適することができる。
図７Ｅを参照すると、ケージ７１０は、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂ間に挿入してもよい。図７Ｆに示されるサブアセンブリ７５５を形成する前に、プリーツカバー７０５ａ及び７０５ｂをプリーツパック７４０ａ及び７４０ｂにそれぞれ連結してもよい。プリーツカバー７０５ａ及び７０５ｂに連結されるとともにプリーツパック７４０ａ及び７４０ｂ間に位置するケージ７１０とブリッジ７４２ａ及び７４２ｂとを有するＰ／Ｆ要素７３５が外皮７００内に位置した後、ブリッジ７４２ａ及び７４２ｂは、外皮７００及び内側のケージ７１０間に捕捉される。図７Ｆに図解されるように、プリーツカバー７０５ａ及び７０５ｂのいずれかの端部が外皮７００内部に（例えば固定具によって）保持され得る。各外側のプリーツカバー７０５の突出部７０７ａ〜７０７ｃ（図７Ａ参照）は、外側のプリーツカバー７０５を外皮７００の壁及びプリーツパック７４０ａ及び７４０ｂに押し付けさせることができる。外側のプリーツカバー７０５の突出部７０７ａ〜７０７ｃと外皮７００との間の間隙は、サブアセンブリ７５５のサイドチャネル７５７を形成する。図示される例では、ケージ７１０（図７Ａ参照）のチャネル７０８は、サブアセンブリ７５５の中央チャネル７５８を形成することができる。
適切ならば、プリーツパック７４０ａ及び７４０ｂの過剰な膜はこのときに切り取ることができる。図７Ｇに図解されるように、第１エンドキャップ７３２ａ（例えば、上述したフィッティングエンドキャップ及びポッティングエンドキャップで形成される）及び第２エンドキャップ７３２ｂ（例えば、上述したフィッティングエンドキャップ及びポッティングエンドキャップで形成される）をその後、サブアセンブリ７５５に結合さもなければ連結してフィルター７７５のアセンブリを完成することができる。
図８は、複数のプリーツパック（例えば、図７Ｃに示されるプリーツパック７４０ａ及び７４０ｂ）を介して入口ポート７８０から出口ポート７８５に向く並列の流れ８６０及び直列の流れ８５０を有する並列濾過用に構成されたフィルター７７５の１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示を描いている。非限定的な例として、図８は、実線の矢印によって、フィルター７７５内の流体の流れの進路を示している。流体は、入口ポート７８０を介してフィルター７７５に流入し、出口ポート７８５を介して流出する。フィルター７７５はさらに、出口ベント７９０及び入口ベント（図示せず）を含んでいる。上述したように、エンドキャップ７３２ａ及び７３２ｂは、使用される端部の接続部に基づいて複数の流体の流れの選択肢を提供するように構成してもよい。例えば、図４及び５を参照して上述した実施形態と同様に、流体が入口ポート７８０から第１サイドチャネルに、複数のプリーツパック（セパレーター及び／又はプリーツパック間の中央チャネルがある又はない）を通して第２サイドチャネルに、その後出口ポート７８５流れるように向く直列濾過用にフィルター７７５を構成することもできる。実施形態によれば、入口ポート７８０及び出口ポート７８５は、フィルター７７５の同じ側又は反対側に位置するように配置することができる。当業者は、エンドキャップ７３２ａ、エンドキャップ７３２ｂ、又は両方が、並列濾過、直列濾過、及び／又はポートの特定の構成（例えば、場所、タイプ、及び／又はフィルター７７５の実装ためのポートの数）に適切な流路を画定するようにそれに応じて構成できることを理解する。
上述したフィルターの代表的な実施形態では、フィルターは、複数のプリーツパックを備えるサブアセンブリを収容するために単一の内部キャビティーを有している。当業者は、上述したフィルターの構成要素の様々な構成を単一の外皮又は本体内に複数のサブアセンブリを形成するために採用してもよいことを理解する。図９Ａは、複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有する本体を有するフィルターの１つの例示的な実施形態の正面図の図表示を描いている。
図９Ａでは、フィルター９００は、複数のＰ／Ｆ要素９０７用の複数のキャビティー９０５ａ〜９０５ｃを有する単一の外皮９０３を含んでもよい。外皮９０３の本体は、単一の部品又は複数の部品から構成することができる。各キャビティーは、サブアセンブリ（例えば、上述したサブアセンブリ７５５）を収容するようなサイズさもなければ寸法に形成することができる。そのようなサブアセンブリのそれぞれは、上述したプリーツパック７４０ａ及び７４０ｂと同様にすることができる第１及び第２プリーツパック９１０ａ及び９１０ｂを有するＰ／Ｆ要素９０７を含んでもよい。図９Ｂ、９Ｃ、９Ｄ、及び９Ｅは、単一のプリーツパック（例えば、プリーツパック９１０）又は複数のプリーツパック（例えば、プリーツパック９１０ａ及び９１０ｂ）がフィルター９００の複数のキャビティー（例えば、キャビティー９０５ａ〜９０５ｃ）内に位置できるとともに同じ方向（図９Ａ、９Ｂ、９Ｄ、及び９Ｅ参照）又は異なる方向（図９Ｃ参照）を向くことができる例によって図解する。
様々な向きを有するプリーツパックの他の組合せも可能である。そのような構成の柔軟性は、フィルター９００の実施形態を様々なポートの配置及び／又は流れの要件に適合させる。例えば、いくつかの実施形態では、１つ又は複数のＰ／Ｆ要素を単一の外皮内の複数のキャビティー内に位置させてもよい。各Ｐ／Ｆ要素は、単一の又は複数のプリーツパックを有してもよい。様々なタイプのＰ／Ｆ要素を使用してもよい。図９Ｄ及び９Ｅに図解されるように、Ｐ／Ｆ要素は、上述のケージを含んでも含まなくてもよい。さらに、Ｐ／Ｆ要素は、単一のひだ付けされた膜で作られてもよい。図９Ｄに示される例では、キャビティー９０５ａ内のＰ／Ｆ要素９０７は、上述したものと同様の１組のプリーツカバーによって支持されたプリーツパック９１０ａ及び９１０ｂを有している。さらに、キャビティー９０５ｂ内のＰ／Ｆ要素９０７は単一のプリーツパック９１０を有し、キャビティー９０５ｃ内のＰ／Ｆ要素９０７は単一のプリーツパック９１０を有し、その両方は１組のプリーツカバーによっても支持されている。単一の外皮の複数のキャビティー内の単一／複数のプリーツパックの他の組合せも可能な場合がある。さらに、そのような単一／複数のプリーツパックは、同じ又は異なる方向を向いてもよい。図９Ｅに図解されるように、プリーツパック９１０、９１０ａ及び９１０ｂは、流れの要件及び／又は望まれる濾過／浄化のタイプ（例えば、並列濾過及び／又は直列濾過）に基づく様々な方法でキャビティー９０５ａ〜９０５ｃ内に位置してもよい。図９Ｅに示されていないが、当業者は、プリーツパック９１０、９１０ａ及び９１０ｂがポート（例えば、入口ポート、出口ポート、ベントポート、ドレインポート等）の場所に適合するためにキャビティー９０５ａ〜９０５ｃ内で異なる方向に向いてもよいことを理解する。
図９Ｆは、図９Ｂに示されたフィルター９００の斜視図の図表示を描いている。図９Ｇは、フィルター９００用のエンドキャップ９３２の１つの例示的な実施形態の切取斜視図の図表示を描いている。図９Ｈは、図９Ｇに示されたエンドキャップの斜視図の図表示を描いている。図９Ｉは、図９Ｇに示されたエンドキャップの別の斜視図の図表示を描いている。エンドキャップ９３２は、上述した複数のＰ／Ｆ要素用の複数のキャビティーを有するフィルター９００の本体に連結するように構成されている。フィルター９００の各端部に１つずつ、２つのエンドキャップ９３２が存在できる。第１エンドキャップ９３２、第２エンドキャップ９３２、又は両方は、少なくとも２つの開口９２７と、流路を画定する特徴部とを有することができる。エンドキャップ９３２内に画定された流路は、エンドキャップ９３２の開口をフィルター９００の複数のキャビティー内の一対のサイドチャネルに接続できる。エンドキャップ９３２内に画定された別の流路は、エンドキャップ９３２の別の開口をフィルター９００の複数のキャビティー内の中央チャネルに接続できる。
両方のエンドキャップが少なくとも２つの開口を有する場合では、いずれかのエンドキャップのいずれかの開口が入口ポートとして機能することができ、いずれかのエンドキャップの他の開口（入口ポートがサイドチャネルに接続される又はその逆の場合、中央チャネルに接続される）は出口ポートとして機能することができる。エンドキャップの２つの開口は、エンドキャップの同じ端部又はエンドキャップの反対の端部に存在できる。
特定の実施形態が記載されてきたが、これらの実施形態は、単に図解したものであり、本発明の限定ではない。本発明の図解された実施形態の本明細書の記載は、概要及び要約を含めて、網羅的であること、又は、本明細書に開示された正確な形状に本発明を限定することを意図していない（及び、特に、特定の実施形態、特徴又は機能を含むことは、本発明の範囲をそのような実施形態、特徴又は機能に限定することを意図していない）。むしろ、その記載は、文脈の分野の当業者に本発明を特定的に記載された実施形態、特徴又は機能に限定することなく本発明を理解してもらうために、図解的な実施形態、特徴又は機能を記載することを意図している。
本発明の特定の実施形態及び例が図解的な目的のみで本明細書に記載されているが、当業者が認識及び理解するように、本発明の精神及び範囲内で様々な等価の修正が可能である。指摘されるように、これらの修正は、本発明の図解された実施形態の前述した記載に照らして本発明になされてもよく、本発明の精神及び範囲内に含まれるべきである。したがって、本発明は、その特定の実施形態を参照して本明細書に記載されてきたが、修正、様々な変更及び置換の自由は前述の開示内で意図されており、ある場合に本発明の実施形態のいくつかの特徴が記載のように本発明の範囲及び精神から逸脱することなく他の特徴の対応する使用なしに採用されるであろうことが理解されるであろう。このため、特定の状況又は材料を本発明の本質的な範囲及び精神に適用するために、多くの修正をしてもよい。
本明細書で使用されるように、用語「備える」、「備えている」、「含む」、「含んでいる」、「有する」、「有している」又はそれらの他の派生語は、非排他的な包含に及ぶことを意図している。例えば、要素の列挙を備えるプロセス、物品、又は装置は、必ずしもこれらの要素のみに限定されないが、そのようなプロセス、物品、又は装置に明示的に列挙又は内在されない他の要素を含んでもよい。さらに、それとは反対に明示的に述べない限り、「又は」は包含的な又はのことを言い、排他的な又はのことを言わない。例えば、条件Ａ又はＢは、以下の１つによって満足される。Ａが真（又は存在する）かつＢが偽（又は存在しない）、Ａが偽（又は存在しない）かつＢが真（又は存在する）、及びＡ及びＢの両方が真（又は存在する）。
さらに、本明細書で与えられた例又は図解は、いかなる方法でも、使用される用語又は複数の用語の減縮、限定、又は表現の定義とみなすべきではない。その代り、これらの例又は図解は、１つの特定の実施形態に関して記載されたもの及び図解のみとみなすべきである。当業者は、これらの例又は図解と共に使用される用語又は複数の用語がそれらと共に又は明細書中のいたるところで与えられ得る又は与えられ得ない他の実施形態を包含し、そのような実施形態の全てがその用語又は複数の用語の範囲内に含まれることを意図していると理解するであろう。非限定的な例及び図解のような言語的指定は、限定はしないが、「例えば（ｆｏｒ ｅｘａｍｐｌｅ）」、「例えば（ｆｏｒ ｉｎｓｔａｎｃｅ）」、「例えば（ｅ．ｇ．）」、「１つの実施形態では」を含む。
この明細書を通しての言及「１つの実施形態」、「実施形態」、又は「特定の実施形態」又は同様の用語は、実施形態に関連して記載された特定の特徴、構造、又は特性が少なくとも１つの実施形態に含まれ、必ずしも全ての実施形態には存在しない場合があることを意味する。したがって、この明細書を通して様々な箇所で成句「１つの実施形態」、「実施形態」、又は「特定の実施形態」又は同様の用語がそれぞれ出現することは、必ずしも同じ実施形態を言うわけではない。さらに、特定の実施形態の特定の特徴、構造、又は特性は、１つ又は複数の他の実施形態といかなる適切な方法で組み合わせてもよい。本明細書で記載及び図解された実施形態の他の変更及び修正は、本明細書の教示に照らして可能であり、本発明の精神及び範囲の一部として考慮されるべきと理解すべきである。
本明細書の記載では、本発明の実施形態を完全に理解するために、構成要素及び／又は方法の例のような多数の特定の詳述が提供される。しかし、当業者は、１つ又は複数の特定の詳述なしに、又は、他の装置、システム、アセンブリ、方法、構成要素、材料、部分等と共に実施形態が実施され得る場合があることを認識するであろう。他の場合では、公知の構造、構成要素、システム、材料、又は動作は、本発明の実施形態の曖昧な形態を避けるために、具体的に図示又は詳細に記載されない。特定の実施形態を使用することによって本発明が図解され得るが、これは本発明を特定の実施形態に限定せず、当業者は、追加的な実施形態が容易に理解可能であり、この発明の一部であることを認識するであろう。
図面／図に描かれる１つ又は複数の要素も、より分離した又は統合された方法で与えることができ、特定の用途に関して有用であるように、ある場合に動作不能のように取り除き又は与えられさえもすることも理解されるであろう。さらに、図面／図における顕著な矢印は、特記しない限り例としてのみ考慮すべきであり、限定すべきでない。
利益、他の利点、問題の解決策を、特定の実施形態に関して上述してきた。しかし、利益、利点、問題の解決策、及び利益、利点、問題の解決策を生じ得る又はより明確になる構成要素は、重要な、必要な、又は必須の特徴又は構成要素として解釈されるべきである。本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲及びそれらの法的な等価物によって決定されるべきである。

Claims (24)

  1. キャビティー及び側壁によって画定された非円筒形状を有する本体と、
    前記キャビティー内に第１サイドチャネル、第１区域、中央チャネル、第２区域、及び第２サイドチャネルを画定する複数のプリーツカバーであって、
    第１サイドチャネルが第１区域と第１側壁との間に配置され、第２サイドチャネルが第２区域と第２側壁との間に配置され、且つ中央チャネルが第１区域と第２区域との間に配置され、各々が開口を有する複数のプリーツカバーと、
    前記第１区域内に位置する第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する第２プリーツパックを備える複数のプリーツパックと、
    前記本体の第１の端部で前記本体に結合された第１エンドキャップであって、第１開口及び第１流路を有し、前記第１開口は入口ポートに接続され、前記第１流路は、流体を前記入口ポートから前記中央チャネルに向けるように構成され、前記流体は、前記中央チャネルから、前記第１区域内に位置する前記第１プリーツパックを通し、前記第２区域内に位置する前記第２プリーツパックを通し、並列の流れを介して前記開口を通って前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルへとそれぞれ向けられる、第１エンドキャップと、
    前記本体の第２の端部で前記本体に結合された第２エンドキャップであって、第２開口及び第２流路を有し、前記第２開口は出口ポートに接続され、前記第２流路は、前記流体を前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルから前記出口ポートに向けるように構成される、第２エンドキャップと
    を備えるフィルター。
  2. 前記第１プリーツパックは第１のひだ付き膜を備え、前記第２プリーツパックは第２のひだ付き膜を備え、前記第１のひだ付き膜及び前記第２のひだ付き膜は同じ材料又は異なる材料で作られる、請求項１に記載のフィルター。
  3. 前記本体の前記側壁は、湾曲しているか又は実質的に平らである、請求項１に記載のフィルター。
  4. 前記複数のプリーツカバーは、前記第１区域及び前記第２区域を分離する前記中央チャネルを画定するケージを備える、請求項１に記載のフィルター。
  5. 前記ケージは、前記ケージの第１及び第２の壁によって分離されたプリーツカバー間に位置する構造支持部材を備える、請求項４に記載のフィルター。
  6. 前記ケージの前記プリーツカバーは開口を有し、前記ケージの前記第１及び第２の壁は連続している、請求項５に記載のフィルター。
  7. 前記第１エンドキャップは、フィッティングエンドキャップに結合されたポッティングエンドキャップで作られる、請求項１に記載のフィルター。
  8. キャビティー及び側壁によって画定された非円筒形状を有する本体と、
    前記キャビティー内に第１サイドチャネル、第１区域、中央チャネル、第２区域、及び第２サイドチャネルを画定する複数のプリーツカバーであって、各々が開口を有する複数のプリーツカバーと、
    前記第１区域内に位置する第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する第２プリーツパックを備える複数のプリーツパックと、
    前記本体の第１の端部で前記本体に結合された第１エンドキャップであって、第１開口及び第１流路を有し、前記第１開口は入口ポートに接続され、前記第１流路は、流体を前記入口ポートから前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルに向けるように構成され、前記流体は、前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルから、前記開口及び前記第１区域内に位置する前記第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する前記第２プリーツパックを通し、並列の流れを介して前記中央チャネルへ向けられる、第１エンドキャップと、
    前記本体の第２の端部で前記本体に結合された第２エンドキャップであって、第２開口及び第２流路を有し、前記第２開口は出口ポートに接続され、前記第２流路は、前記流体を前記中央チャネルから前記出口ポートに向けるように構成される、第２エンドキャップと
    を備えるフィルター。
  9. 前記第１プリーツパックは第１のひだ付き膜を備え、前記第２プリーツパックは第２のひだ付き膜を備え、前記第１のひだ付き膜及び前記第２のひだ付き膜は同じ材料又は異なる材料で作られる、請求項８に記載のフィルター。
  10. 前記本体の前記側壁は、湾曲しているか又は実質的に平らである、請求項８に記載のフィルター。
  11. 前記複数のプリーツカバーは、前記第１区域及び前記第２区域を分離する前記中央チャネルを画定するケージを備える、請求項８に記載のフィルター。
  12. 前記ケージは、前記ケージの第１及び第２の壁によって分離されたプリーツカバー間に位置する構造支持部材を備える、請求項１１に記載のフィルター。
  13. 前記ケージの前記プリーツカバーは開口を有し、前記ケージの前記第１及び第２の壁は連続している、請求項１２に記載のフィルター。
  14. 前記第１エンドキャップは、フィッティングエンドキャップに結合されたポッティングエンドキャップで作られる、請求項８に記載のフィルター。
  15. キャビティー及び側壁によって画定された非円筒形状を有する本体と、
    前記キャビティー内に第１サイドチャネル及び第２サイドチャネルを画定する複数のプリーツカバーであって、前記第１サイドチャネルと前記第２サイドチャネルとの間に第１区域及び第２区域を画定するセパレーターを含み、各々が開口を有する複数のプリーツカバーと、
    前記第１区域内に位置する第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する第２プリーツパックを備える複数のプリーツパックと、
    前記本体の第１の端部で前記本体に結合された第１エンドキャップであって、前記第１エンドキャップ、前記本体の第２の端部で前記本体に結合された第２エンドキャップ、又はそれらの両方内に画定された流路が前記キャビティーを入口ポート及び出口ポートに接続し、前記流路は流体を前記入口ポートから前記第１サイドチャネルへ向けるように構成され、前記流体は、前記第１サイドチャネルから、前記第１区域内に位置する前記第１プリーツパック、前記セパレーターの前記開口、及び前記第２区域内に位置する前記第２プリーツパックを通し、直列の流れを介して前記第２サイドチャネルへ向けられ、前記流路はさらに、前記流体を前記第２サイドチャネルから前記出口ポートへ向けるように構成される、第１エンドキャップと
    を備えるフィルター。
  16. 前記第１プリーツパックは第１のひだ付き膜を備え、前記第２プリーツパックは第２のひだ付き膜を備え、前記第１のひだ付き膜及び前記第２のひだ付き膜は同じ材料又は異なる材料で作られる、請求項１５に記載のフィルター。
  17. 前記本体の前記側壁は、湾曲しているか又は実質的に平らである、請求項１５に記載のフィルター。
  18. 前記第２エンドキャップは、少なくともベントポートに接続するように構成された開口を有する、請求項１５に記載のフィルター。
  19. 前記第１エンドキャップは、フィッティングエンドキャップに結合されたポッティングエンドキャップで作られる、請求項１５に記載のフィルター。
  20. 複数のキャビティーを有し、側壁によって画定された非円筒形状を有する本体と、
    複数のサブアセンブリであって、各々が、前記複数のキャビティーのうちの一つのキャビティーの内部に嵌まるような構成及び寸法に形成されて、
    前記キャビティー内に第１サイドチャネル、第１区域、中央チャネル、第２区域、及び第２サイドチャネルを画定する複数のプリーツカバーであって、
    第１サイドチャネルが第１区域と第１側壁との間に配置され、第２サイドチャネルが第２区域と第２側壁との間に配置され、且つ中央チャネルが第１区域と第２区域との間に配置され、各々が開口を有する複数のプリーツカバーと、
    前記第１区域内に位置する第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する第２プリーツパックを備える複数のプリーツパックと
    を有し、
    前記本体の第１の端部で第１エンドキャップが前記本体に結合され、前記本体の第２の端部で第２エンドキャップが前記本体に結合される、フィルター。
  21. 前記第１エンドキャップは第１開口及び第１流路を有し、前記第１開口は入口ポートに接続され、前記第１流路は、流体を前記入口ポートから前記中央チャネルへ向けるように構成され、前記流体は、前記中央チャネルから、前記第１区域内に位置する前記第１プリーツパックを通し、前記第２区域内に位置する前記第２プリーツパックを通し、前記開口を通って、並列の流れを介して前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルへそれぞれ向けられ、前記第２エンドキャップは第２開口及び第２流路を有し、前記第２開口は出口ポートに接続され、前記第２流路は、前記流体を前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルから前記出口ポートへ向けるように構成される、請求項２０に記載のフィルター。
  22. 前記第１エンドキャップは第１開口及び第１流路を有し、前記第１開口は入口ポートに接続され、前記第１流路は、流体を前記入口ポートから前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルへ向けるように構成され、前記流体は、前記第１サイドチャネル及び前記第２サイドチャネルから、前記開口及び前記第１区域内に位置する前記第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する前記第２プリーツパックを通し、並列の流れを介して前記中央チャネルへ向けられ、前記第２エンドキャップは第２開口及び第２流路を有し、前記第２開口は出口ポートに接続され、前記第２流路は、前記流体を前記中央チャネルから前記出口ポートへ向けるように構成される、請求項２０に記載のフィルター。
  23. 前記第１エンドキャップ、前記第２エンドキャップ、又はそれらの両方内に画定された流路が、前記キャビティーを入口ポート及び出口ポートに接続し、前記流路は、流体を前記入口ポートから前記第１サイドチャネルへ向けるように構成され、前記流体は、前記第１サイドチャネルから、前記第１区域内に位置する前記第１プリーツパック及び前記第２区域内に位置する前記第２プリーツパックを通し、直列の流れを介して、前記第２サイドチャネルへ向けられ、前記流路はさらに、前記流体を前記第２サイドチャネルから前記出口ポートへ向けるように構成される、請求項２０に記載のフィルター。
  24. 前記第１エンドキャップ、前記第２エンドキャップ、又はそれらの両方内に画定された第１流路が、第１開口を前記複数のキャビティー内の前記第１及び第２サイドチャネルに接続し、前記第１エンドキャップ、前記第２エンドキャップ、又はそれらの両方内に画定された第２流路が、第２開口を前記複数のキャビティー内の前記中央チャネルに接続する、請求項２０に記載のフィルター。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016054409A1 (en) * 2014-10-01 2016-04-07 Donaldson Company, Inc. Tank vent with a pleated membrane
SG10201903038PA (en) 2014-10-10 2019-05-30 Entegris Inc Point of use or point of dispense filter with multiple pleat packs
US20180056665A1 (en) * 2014-12-24 2018-03-01 Dic Corporation Hollow-fiber degassing module and inkjet printer
EP3695891B1 (en) * 2014-12-24 2023-08-09 DIC Corporation Degassing process in a hollow-fiber degassing module
EP3529111B1 (en) 2016-10-20 2023-01-11 Cummins Filtration IP, Inc. Interrupted, directional emboss of flat sheet
CN110072605B (zh) 2016-12-15 2021-11-23 康明斯滤清系统知识产权公司 四面体过滤器介质
CN106683978B (zh) * 2016-12-23 2019-02-05 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） Cmp后清洗设备晶片惰轮结构及使用方法
WO2023114072A1 (en) * 2021-12-14 2023-06-22 Entegris, Inc. Liquid filter unit with laterally arranged filters, and method of operating thereof

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129429A (en) * 1977-06-30 1978-12-12 Wix Corporation Dual element air filter
EP0154845A3 (de) * 1984-02-24 1986-06-18 Sartorius GmbH. Flaches Filterelement zur Filtration von Fluiden
JP3468436B2 (ja) * 1994-09-22 2003-11-17 豊田紡織株式会社 樹脂製エアクリーナ
US6224655B1 (en) * 1998-11-03 2001-05-01 Pierre Messier Biostatic air filter
JP4361263B2 (ja) * 2002-02-07 2009-11-11 本田技研工業株式会社 フィルタエレメント
DE10337652A1 (de) 2003-08-16 2005-03-10 Mahle Filtersysteme Gmbh Gas-Filter, insbesondere Luftansaugfilter eines Nutzkraftfahrzeuges
WO2006048389A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-11 Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. Process for the synthesis of n-alkoxyamines
CN101934172B (zh) * 2004-11-05 2016-06-08 唐纳森公司 过滤介质和结构
US7717975B2 (en) * 2005-02-16 2010-05-18 Donaldson Company, Inc. Reduced solidity web comprising fiber and fiber spacer or separation means
US8337700B1 (en) * 2005-02-24 2012-12-25 Hemerus Medical, Llc High capacity biological fluid filtration apparatus
DE102005031058A1 (de) * 2005-07-02 2007-01-04 Mahle International Gmbh Filterelement und ein zu dessen Aufnahme geeignetes Filtergehäuse
JP4462236B2 (ja) * 2006-06-08 2010-05-12 トヨタ自動車株式会社 気体濾過装置
US8679217B2 (en) * 2007-09-07 2014-03-25 E I Du Pont De Nemours And Company Pleated nanoweb structures
US8361181B2 (en) * 2008-06-06 2013-01-29 Donaldson Company, Inc. Air cleaner assemblies; filter cartridges therefor; features; and, methods
EP2365854A1 (en) * 2008-10-29 2011-09-21 MECS, Inc. Compact fiber bed mist eliminator
JP5389511B2 (ja) * 2009-04-08 2014-01-15 株式会社Ｒｏｋｉ エアクリーナ
KR20130086775A (ko) * 2012-01-26 2013-08-05 주식회사 엘지화학 열유도 상분리법에 의한 폴리올레핀 미세다공막의 제조방법
KR102154183B1 (ko) * 2012-10-01 2020-09-09 엔테그리스, 아이엔씨. 정화기 카세트
US20140231341A1 (en) * 2013-02-15 2014-08-21 Pall Corporation Ptfe membrane
SG10201903038PA (en) 2014-10-10 2019-05-30 Entegris Inc Point of use or point of dispense filter with multiple pleat packs

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