JP6816566B2 - Resin compositions, adhesive films, prepregs, multilayer printed wiring boards and semiconductor devices - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂組成物、接着フィルム、プリプレグ、多層プリント配線板及び半導体装置に関する。 The present invention relates to resin compositions, adhesive films, prepregs, multilayer printed wiring boards and semiconductor devices.

近年、電子機器の小型化、高性能化が進み、多層プリント配線板においては、ビルドアップ層が複層化され、配線の微細化及び高密度化が求められている。
このようなビルドアップ層に用いられる絶縁層には、回路パターンを構成する導体層が絶縁層から剥がれないような接着力が求められる。
導体層と絶縁層との接着力を上げるには、例えば、導体層と絶縁層との界面の粗化形状を大きくすることが有効である。しかし、配線形成性及び電気特性の観点から、界面の粗化形状は小さい方が好ましく、別の方法による接着力の向上が求められている。
In recent years, the miniaturization and high performance of electronic devices have progressed, and in multi-layer printed wiring boards, the build-up layer is multi-layered, and there is a demand for finer wiring and higher density.
The insulating layer used for such a build-up layer is required to have an adhesive force so that the conductor layer constituting the circuit pattern does not peel off from the insulating layer.
In order to increase the adhesive force between the conductor layer and the insulating layer, for example, it is effective to increase the roughened shape of the interface between the conductor layer and the insulating layer. However, from the viewpoint of wiring formability and electrical characteristics, it is preferable that the roughened shape of the interface is small, and improvement of the adhesive force by another method is required.

このような要望に対して様々な取り組みがなされている。例えば、特許文献1には、エポキシ樹脂、及びリン原子を含有する活性エステル硬化剤を含有する樹脂組成物が開示されている。この樹脂組成物により形成される絶縁層は、絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)が小さく、その上に十分なピール強度を有するめっき導体層を形成することができることが記載されている。 Various efforts have been made to meet such demands. For example, Patent Document 1 discloses an epoxy resin and a resin composition containing an active ester curing agent containing a phosphorus atom. It is described that the insulating layer formed by this resin composition has a small arithmetic mean roughness (Ra) on the surface of the insulating layer, and a plated conductor layer having sufficient peel strength can be formed on the insulating layer.

特開2012−251133号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-251133

ここで、特許文献1に開示される樹脂組成物は、該樹脂組成物により形成される絶縁層に対して粗化処理を行い、さらに、粗化処理後の絶縁層に対して、めっきを施してめっき導体層を形成するものであり、表面の算術平均粗さ(Ra)が小さい導体層の上に絶縁層を形成する場合における導体層との接着性(以下、「ピール強度」ともいう)を向上させる観点からは検討されていなかった。
本発明が解決しようとする課題は、表面の算術平均粗さ(Ra)が小さい導体層の上に優れたピール強度を有する絶縁層を形成することができる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた接着フィルム、プリプレグ、多層プリント配線板及び半導体装置を提供することである。
Here, in the resin composition disclosed in Patent Document 1, the insulating layer formed by the resin composition is roughened, and the insulating layer after the roughening is plated. To form a plated conductor layer, and when an insulating layer is formed on a conductor layer having a small surface arithmetic mean roughness (Ra), the adhesiveness with the conductor layer (hereinafter, also referred to as "peel strength"). It was not considered from the viewpoint of improving.
The problem to be solved by the present invention is to use a resin composition capable of forming an insulating layer having excellent peel strength on a conductor layer having a small surface arithmetic mean roughness (Ra), the resin composition. It is to provide an adhesive film, a prepreg, a multilayer printed wiring board, and a semiconductor device.

本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、エポキシ樹脂と、特定の官能基を有する硬化剤と、を含有する樹脂組成物により、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、下記[1]〜[15]を提供するものである。
[1](A)エポキシ樹脂と、(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤と、を含有する樹脂組成物。
[2]前記(B)成分が、2価の芳香族基を含有し、その一方の結合基には、アミノ基又はアミノ基を含有する基が結合し、その他方の結合基には、カルボキシ基又はカルボキシ基を含有する基が結合するものである、上記[1]に記載の樹脂組成物。
[3]前記(B)成分が、硫黄原子を含有する、上記[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4]前記(B)成分が、下記一般式(1)で表される、上記[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by a resin composition containing an epoxy resin and a curing agent having a specific functional group, and have found that the present invention can be solved. It came to be completed.
That is, the present invention provides the following [1] to [15].
[1] A resin composition containing (A) an epoxy resin and (B) a curing agent having an amino group and a carboxy group.
[2] The component (B) contains a divalent aromatic group, one of which is bonded to an amino group or a group containing an amino group, and the other bonding group is carboxy. The resin composition according to the above [1], wherein a group containing a group or a carboxy group is bonded.
[3] The resin composition according to the above [1] or [2], wherein the component (B) contains a sulfur atom.
[4] The resin composition according to any one of the above [1] to [3], wherein the component (B) is represented by the following general formula (1).


(式中、R及びRは、各々独立に、単結合又は2価の有機基を示す。)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a single bond or a divalent organic group.)

[5]前記一般式(1)中のR及びRが、各々独立に、アルキレン基、アルケニレン基及びアルキニレン基からなる群から選択される2価の炭化水素基、前記2価の炭化水素基とエーテル結合若しくはスルフィド基とが組み合わされた2価の基、又は単結合である、上記[4]に記載の樹脂組成物。
[6]前記一般式(1)中のRが、スルフィド基を含有する2価の有機基である、上記[4]に記載の樹脂組成物。
[7]前記(B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、1〜30質量部である、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8]さらに、(C)硬化促進剤を含有する、上記[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9]さらに、(D)フェノキシ樹脂を含有する、上記[1]〜[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10]樹脂組成物中における(A)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数に対する、(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤のエポキシ基に対する活性水素の合計数の比[活性水素/エポキシ基]が、0.2〜2である、上記[1]〜[9]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11]算術平均粗さ(Ra)が200nmである銅箔に対する、硬化物のピール強度が、0.32kN/m以上である、上記[1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[12]上記[1]〜[11]のいずれかに記載の樹脂組成物が支持体上に層形成されてなる、接着フィルム。
[13]上記[1]〜[11]のいずれかに記載の樹脂組成物がシート状補強基材中に含浸されてなる、プリプレグ。
[14]上記[1]〜[11]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物を含有する、多層プリント配線板。
[15]上記[14]に記載の多層プリント配線板を用いた、半導体装置。
[5] A divalent hydrocarbon group in which R 1 and R 2 in the general formula (1) are independently selected from the group consisting of an alkylene group, an alkenylene group and an alkynylene group, and the divalent hydrocarbon. The resin composition according to the above [4], which is a divalent group in which a group is combined with an ether bond or a sulfide group, or a single bond.
[6] The resin composition according to the above [4], wherein R 2 in the general formula (1) is a divalent organic group containing a sulfide group.
[7] The contents of the component (B) are 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the non-volatile content (excluding the inorganic filler) in the resin composition. The resin composition according to any one of [6].
[8] The resin composition according to any one of the above [1] to [7], which further contains (C) a curing accelerator.
[9] The resin composition according to any one of the above [1] to [8], which further contains (D) a phenoxy resin.
[10] Ratio of the total number of active hydrogen to the epoxy group of the curing agent having (B) amino group and carboxy group to the total number of epoxy groups of (A) epoxy resin in the resin composition [active hydrogen / epoxy group] ] Is 0.2 to 2, the resin composition according to any one of the above [1] to [9].
[11] The resin composition according to any one of the above [1] to [10], wherein the peel strength of the cured product is 0.32 kN / m or more with respect to a copper foil having an arithmetic mean roughness (Ra) of 200 nm. Stuff.
[12] An adhesive film formed by forming a layer of the resin composition according to any one of the above [1] to [11] on a support.
[13] A prepreg obtained by impregnating a sheet-shaped reinforcing base material with the resin composition according to any one of the above [1] to [11].
[14] A multilayer printed wiring board containing a cured product of the resin composition according to any one of the above [1] to [11].
[15] A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to the above [14].

本発明によれば、表面の算術平均粗さ(Ra)が小さい導体層の上に優れたピール強度を有する絶縁層を形成することができる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた接着フィルム、プリプレグ、多層プリント配線板及び半導体装置を提供することができる。 According to the present invention, a resin composition capable of forming an insulating layer having excellent peel strength on a conductor layer having a small surface arithmetic mean roughness (Ra), an adhesive film using the resin composition, and the like. Prepregs, multilayer printed wiring boards and semiconductor devices can be provided.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂と、(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤と、を含有するものである。
以下、本発明の樹脂組成物を構成する各成分について説明をする。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin and (B) a curing agent having an amino group and a carboxy group.
Hereinafter, each component constituting the resin composition of the present invention will be described.

<(A)エポキシ樹脂>
(A)エポキシ樹脂(以下、「(A)成分」ともいう)は、特に限定されないが、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状の芳香族系エポキシ樹脂がより好ましい。なお、本発明でいう芳香族系エポキシ樹脂とは、その分子内に芳香環構造を有するエポキシ樹脂を意味する。
(A)エポキシ樹脂は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<(A) Epoxy resin>
The epoxy resin (A) (hereinafter, also referred to as “component (A)”) is not particularly limited, but an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferable, and three or more epoxys in one molecule. An aromatic epoxy resin having a group and solid at a temperature of 20 ° C. is more preferable. The aromatic epoxy resin in the present invention means an epoxy resin having an aromatic ring structure in its molecule.
As the epoxy resin (A), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(A)エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキルノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂等のナフタレン骨格を含有するエポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂などが挙げられる。
これらの中でも、耐熱性、絶縁信頼性及びピール強度を高める観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂が好ましく、ビフェニルアラルキルノボラック型エポキシ樹脂がより好ましい。
ビフェニルアラルキルノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、下記一般式(2)で表される構造単位を有する化合物が挙げられ、下記一般式(3)で表される化合物であることが好ましい。
Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin and other bisphenol type epoxy resins; phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy. Novolak type epoxy resin such as resin, biphenyl aralkyl novolac type epoxy resin; epoxy resin containing naphthalene skeleton such as naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin; glycidylamine type epoxy resin, tert-butyl -Catecor type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, Examples thereof include a trimethylol type epoxy resin, a halogenated epoxy resin, and a glycidyl ester type epoxy resin.
Among these, from the viewpoint of improving heat resistance, insulation reliability and peel strength, bisphenol A type epoxy resin, biphenyl aralkylnovolac type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type Epoxy resins, epoxy resins having a butadiene structure, and glycidyl ester type epoxy resins are preferable, and biphenyl aralkylnovolac type epoxy resins are more preferable.
Examples of the biphenyl aralkyl novolac type epoxy resin include compounds having a structural unit represented by the following general formula (2), and compounds represented by the following general formula (3) are preferable.


(式中、Rは水素原子又はメチル基を示す。)

(In the formula, R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group.)


(式中、Rは前記と同様であり、mは1〜20の整数を示す。複数のR同士は、互いに同一であっても異なっていてもよい。)

(Wherein, R 3 is as defined above, m. A plurality of R 3 each other an integer of 1 to 20 may being the same or different.)

(A)エポキシ樹脂は、市販品を用いてもよい。市販品の(A)エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂である三菱化学株式会社製の「jER(登録商標)828EL」、「YL980」及び「828US」;ビスフェノールF型エポキシ樹脂である三菱化学株式会社製の「jER(登録商標)806H」及び「YL983U」;ナフタレン型2官能エポキシ樹脂であるDIC株式会社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」及び「EXA4032SS」;ナフタレン型4官能エポキシ樹脂であるDIC株式会社製の「HP4700」及び「HP4710」;ナフトール型エポキシ樹脂である東都化成株式会社製の「ESN−475V」;ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂であるダイセル化学工業株式会社製の「PB−3600」;ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂である日本化薬株式会社製の「NC−3000−H」、「NC−3000−L」及び「NC−3100」、並びに三菱化学株式会社製の「YX4000」、「YX4000H」、「YX4000HK」及び「YL6121」;アントラセン型エポキシ樹脂である三菱化学株式会社製の「YX8800」;ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂であるDIC株式会社製の「EXA−7310」、「EXA−7311」、「EXA−7311L」及び「EXA7311−G3」;グリシジルエステル型エポキシ樹脂であるナガセケムテックス株式会社製の「EX711」及び「EX721」、並びに株式会社プリンテック製の「R540」などが挙げられる。 As the epoxy resin (A), a commercially available product may be used. Examples of the commercially available (A) epoxy resin include "jER (registered trademark) 828EL", "YL980" and "828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, which are bisphenol A type epoxy resins; bisphenol F type epoxy resins. "JER (registered trademark) 806H" and "YL983U" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd .; "HP4032", "HP4032D", "HP4032SS" and "EXA4032SS" manufactured by DIC Co., Ltd., which are naphthalene type bifunctional epoxy resins; "HP4700" and "HP4710" manufactured by DIC Co., Ltd., which are tetrafunctional epoxy resins; "ESN-475V" manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., which is a naphthol type epoxy resin; Daicel Chemical Industry Co., Ltd., which is an epoxy resin having a butadiene structure. "PB-3600"; "NC-3000-H", "NC-3000-L" and "NC-3100" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., which are epoxy resins having a biphenyl structure, and Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YX4000", "YX4000H", "YX4000HK" and "YL6121"; "YX8800" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., which is an anthracene type epoxy resin; "EXA-" manufactured by DIC Co., Ltd., which is a naphthylene ether type epoxy resin. 7310 ”,“ EXA-7311 ”,“ EXA-7311L ”and“ EXA7311-G3 ”;“ EX711 ”and“ EX721 ”manufactured by Nagase ChemteX Corporation, which are glycidyl ester type epoxy resins, and“ EX721 ”manufactured by Printec Co., Ltd. Examples thereof include "R540".

(A)エポキシ樹脂のエポキシ当量は、耐熱性、低熱膨張性及びピール強度を高める観点から、50〜500g/molが好ましく、150〜400g/molがより好ましく、200〜350g/molが更に好ましい。 The epoxy equivalent of the epoxy resin (A) is preferably 50 to 500 g / mol, more preferably 150 to 400 g / mol, and even more preferably 200 to 350 g / mol, from the viewpoint of enhancing heat resistance, low thermal expansion and peel strength.

本発明の樹脂組成物中における(A)エポキシ樹脂の含有量は、耐熱性、低熱膨張性及びピール強度を高める観点及び硬化物の伸び率を向上させるという観点から、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、10〜80質量部が好ましく、20〜70質量部より好ましく、30〜50質量部が更に好ましい。
なお、本明細書中、樹脂組成物中の不揮発分とは、溶媒等の揮発する物質を除いた不揮発分のことであり、該樹脂組成物を乾燥させた際に、揮発せずに残る成分を示し、室温で液状、水飴状及びワックス状のものも含む。ここで、本明細書において室温とは25℃を示す。
The content of the epoxy resin (A) in the resin composition of the present invention is a non-volatile component in the resin composition from the viewpoint of enhancing heat resistance, low thermal expansion and peel strength, and improving the elongation rate of the cured product. (However, the inorganic filler is excluded.) With respect to 100 parts by mass, 10 to 80 parts by mass is preferable, 20 to 70 parts by mass is preferable, and 30 to 50 parts by mass is further preferable.
In the present specification, the non-volatile component in the resin composition is a non-volatile component excluding a volatile substance such as a solvent, and is a component that remains without volatilizing when the resin composition is dried. Including liquid, starch syrup-like and wax-like substances at room temperature. Here, the room temperature is 25 ° C. in the present specification.

<(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤>
(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤(以下、「(B)成分」ともいう)としては、アミノ基及びカルボキシ基を有するものであれば特に限定されない。
(B)成分は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<(B) Hardener having amino group and carboxy group>
The curing agent (B) having an amino group and a carboxy group (hereinafter, also referred to as “component (B)”) is not particularly limited as long as it has an amino group and a carboxy group.
As the component (B), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(B)成分が1分子中に有するアミノ基の数は、特に限定されないが、1〜5個が好ましく、1〜3個がより好ましく、1個が更に好ましい。なお、(B)成分が有するアミノ基は、1級アミノ基又は2級アミノ基であることが好ましく、1級アミノ基であることがより好ましい。
(B)成分が有するカルボキシ基の数は、特に限定されないが、1〜5個が好ましく、1〜3個がより好ましく、1個が更に好ましい。
The number of amino groups contained in one molecule of the component (B) is not particularly limited, but is preferably 1 to 5, more preferably 1 to 3, and even more preferably 1. The amino group contained in the component (B) is preferably a primary amino group or a secondary amino group, and more preferably a primary amino group.
The number of carboxy groups contained in the component (B) is not particularly limited, but is preferably 1 to 5, more preferably 1 to 3, and even more preferably 1.

(B)成分は、2価の芳香族基を含有し、その一方の結合基には、アミノ基又はアミノ基を含有する基が結合し、その他方の結合基には、カルボキシ基又はカルボキシ基を含有する基が結合するものであることが好ましい(以下、当該化合物を「芳香族基を含有する(B)成分」ともいう)。
また、前記2価の芳香族基が有する2つの結合基はパラ位に存在することが好ましい。
前記2価の芳香族基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基、アントラニレン基等が挙げられ、これらの中でも、フェニレン基が好ましく、1,4−フェニレン基がより好ましい。
前記2価の芳香族基は置換基を有していてもよく、該置換基は、アミノ基及びカルボキシ基の電子密度を上げる観点から、電子供与性であることが好ましい。電子供与性の置換基としては、例えば、アルキル基、アミノ基、水酸基等が挙げられる。
The component (B) contains a divalent aromatic group, one of which is bonded to an amino group or a group containing an amino group, and the other bonding group is a carboxy group or a carboxy group. It is preferable that the group containing the above is bonded (hereinafter, the compound is also referred to as “component (B) containing an aromatic group”).
Further, it is preferable that the two linking groups of the divalent aromatic group are present at the para position.
Examples of the divalent aromatic group include a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylene group, an anthranylene group and the like. Among these, a phenylene group is preferable, and a 1,4-phenylene group is more preferable.
The divalent aromatic group may have a substituent, and the substituent is preferably electron-donating from the viewpoint of increasing the electron density of the amino group and the carboxy group. Examples of the electron-donating substituent include an alkyl group, an amino group, a hydroxyl group and the like.

(B)成分が含有するアミノ基とカルボキシ基は、前記2価の芳香族基の結合部に単結合で結合していてもよく、アミノ基と2価の芳香族基との間及び/又はカルボキシ基と2価の芳香族基との間には、2価の有機基が介在していてもよい。2価の有機基としては、例えば、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基からなる群から選択される2価の炭化水素基、又は前記2価の炭化水素基とエーテル結合又はスルフィド基とが組み合わされた2価の基等が挙げられる。前記2価の炭化水素基の炭素数は、1〜5が好ましく、1〜3がより好ましく、1又は2が更に好ましい。
前記アルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。前記アルケニレン基としては、例えば、ビニレン基、プロペニレン基、ブテニレン基等が挙げられる。前記アルキニレン基としては、例えば、エチニレン基、プロピニレン基等が挙げられる。
2価の有機基は置換基を有していてもよいが、立体障害の観点から、置換基の数は少ない方が好ましい。
The amino group and the carboxy group contained in the component (B) may be bonded to the bonding portion of the divalent aromatic group by a single bond, and may be between the amino group and the divalent aromatic group and / or. A divalent organic group may be interposed between the carboxy group and the divalent aromatic group. As the divalent organic group, for example, a divalent hydrocarbon group selected from the group consisting of an alkylene group, an alkenylene group and an alkynylene group, or a combination of the divalent hydrocarbon group and an ether bond or a sulfide group. Divalent groups and the like can be mentioned. The number of carbon atoms of the divalent hydrocarbon group is preferably 1 to 5, more preferably 1 to 3, and even more preferably 1 or 2.
Examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group and the like. Examples of the alkenylene group include a vinylene group, a propenylene group, a butenylene group and the like. Examples of the alkynylene group include an ethynylene group and a propynylene group.
The divalent organic group may have a substituent, but from the viewpoint of steric hindrance, it is preferable that the number of substituents is small.

(B)成分は、金属原子との化学結合力を高める観点から、硫黄原子を含有することが好ましく、硫黄原子が金属に配位するための孤立電子対を有する観点から、チオール基又はスルフィド基を含有することがより好ましく、スルフィド基を含有することが更に好ましい。
チオール基又はスルフィド基は、前記2価の有機基中に含まれていることが好ましい。すなわち、(B)成分は、前記芳香族基を含有する(B)成分であって、アミノ基と2価の芳香族基との間及び/又はカルボキシ基と2価の芳香族基との間には、2価の有機基が介在しており、該2価の有機基が前記2価の炭化水素基とスルフィド基とが組み合わされた2価の基であることが好ましく、アルキレンチオ基(−S−R−;Rはアルキレン基を示す)であることがより好ましい。アルキレンチオ基のアルキレン基の炭素数は、前記2価の炭化水素基の好ましい炭素数として説明した通りである。
アルキレンチオ基は、アミノ基と2価の芳香族基との間又はカルボキシ基と2価の芳香族基との間のいずれに存在していてもよいが、カルボキシ基と2価の芳香族基との間を介在する2価の有機基として存在することが好ましく、アルキレンチオ基中のチオ基が2価の芳香族基と結合し、アルキレン基がカルボキシ基と結合していることがより好ましい。
The component (B) preferably contains a sulfur atom from the viewpoint of enhancing the chemical bond force with the metal atom, and has a thiol group or a sulfide group from the viewpoint of having a lone electron pair for the sulfur atom to coordinate with the metal. Is more preferable, and it is more preferable to contain a sulfide group.
The thiol group or sulfide group is preferably contained in the divalent organic group. That is, the component (B) is the component (B) containing the aromatic group, and is between the amino group and the divalent aromatic group and / or between the carboxy group and the divalent aromatic group. A divalent organic group is interposed therein, and the divalent organic group is preferably a divalent group in which the divalent hydrocarbon group and the sulfide group are combined, and an alkylenethio group (alkylene thio group). -S-R-; R represents an alkylene group) is more preferable. The carbon number of the alkylene group of the alkylenethio group is as described as the preferable carbon number of the divalent hydrocarbon group.
The alkylenethio group may be present either between the amino group and the divalent aromatic group or between the carboxy group and the divalent aromatic group, but the carboxy group and the divalent aromatic group. It is preferable that the thio group in the alkylene thio group is bonded to the divalent aromatic group, and the alkylene group is bonded to the carboxy group. ..

(B)成分としては、銅との化学的接着力によるピール強度向上の観点から、下記一般式(1)で表される化合物が好ましい。 As the component (B), a compound represented by the following general formula (1) is preferable from the viewpoint of improving the peel strength due to the chemical adhesive force with copper.


(式中、R及びRは、各々独立に、単結合又は2価の有機基を示す。)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a single bond or a divalent organic group.)

前記一般式(1)中のR及びRが表す2価の有機基は、前記アミノ基と2価の芳香族基との間及び/又はカルボキシ基と2価の芳香族基との間に存在する2価の有機基と同様に説明される。
すなわち、R及びRとしては、アルキレン基、アルケニレン基及びアルキニレン基からなる群から選択される2価の炭化水素基、前記2価の炭化水素基とエーテル結合若しくはスルフィド基とが組み合わされた2価の基、又は単結合であることが好ましい。2価の炭化水素基の具体例及び好ましい炭素数は前述の通りである。
前記2価の有機基は、金属原子との化学結合力をより高める観点から、チオール基又はスルフィド基を含有する2価の基であることが好ましく、前記2価の炭化水素基とスルフィド基とが組み合わされた2価の基であることが好ましく、アルキレンチオ基(−S−R−;Rはアルキレン基を示す)であることがより好ましい。アルキレンチオ基のアルキレン基の炭素数は、前記2価の炭化水素基の好ましい炭素数として説明した通りである。
これらの中でも、Rとしては、単結合であることが好ましい。
また、Rとしては、2価の有機基が好ましく、金属原子との化学結合力をより高める観点から、スルフィド基を含有することが好ましい。同様の観点から、Rとしては、前記2価の炭化水素基とエーテル結合又はスルフィド基とが組み合わされた2価の基であることがより好ましく、前記2価の炭化水素基とスルフィド基とが組み合わされた2価の基であることが更に好ましく、前記アルキレンチオ基であることが特に好ましい。
The divalent organic group represented by R 1 and R 2 in the general formula (1) is between the amino group and the divalent aromatic group and / or between the carboxy group and the divalent aromatic group. It is explained in the same manner as the divalent organic group present in.
That is, as R 1 and R 2 , a divalent hydrocarbon group selected from the group consisting of an alkylene group, an alkenylene group and an alkynylene group, the divalent hydrocarbon group and an ether bond or a sulfide group were combined. It is preferably a divalent group or a single bond. Specific examples of the divalent hydrocarbon group and the preferable number of carbon atoms are as described above.
The divalent organic group is preferably a divalent group containing a thiol group or a sulfide group from the viewpoint of further enhancing the chemical bonding force with the metal atom, and the divalent hydrocarbon group and the sulfide group Is preferably a divalent group in which is combined, and more preferably an alkylenethio group (-S-R-; R indicates an alkylene group). The carbon number of the alkylene group of the alkylenethio group is as described as the preferable carbon number of the divalent hydrocarbon group.
Among these, R 1 is preferably a single bond.
Further, R 2 is preferably a divalent organic group, and preferably contains a sulfide group from the viewpoint of further enhancing the chemical bonding force with the metal atom. From the same viewpoint, R 2 is more preferably a divalent group in which the divalent hydrocarbon group is combined with an ether bond or a sulfide group, and the divalent hydrocarbon group and the sulfide group are used. Is more preferably a divalent group in which is combined, and particularly preferably the alkylenethio group.

(B)成分としては、公知のアミノ酸化合物を用いることができ、例えば、2−アミノ安息香酸、3−アミノ安息香酸、4−アミノ安息香酸、2−アミノ−3−メチル安息香酸、2−アミノ−5−メチル安息香酸、2−アミノ−6−メチル安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸等の芳香族アミノ基と芳香族カルボキシ基とを有する化合物;3−アミノフェニル酢酸、4−アミノフェニル酢酸、4−アミノヒドロけい皮酸(3−(4−アミノフェニル)プロピオン酸)、2−(4−アミノフェニルチオ)酢酸等の芳香族アミノ基と脂肪族カルボキシ基とを有する化合物;4−(アミノメチル)安息香酸等の脂肪族アミノ基と芳香族カルボキシ基とを有する化合物;3−アミノプロピオン酸、4−アミノブタン酸、5−アミノペンタン酸、2,5ジアミノペンタン酸、3−アミノ−3−フェニルプロピオン酸等の脂肪族アミノ基と脂肪族カルボキシ基とを有する化合物などが挙げられる。これらの中でも、ピール強度を高める観点から、4−アミノヒドロけい皮酸、2−(4−アミノフェニルチオ)酢酸がより好ましく、2−(4−アミノフェニルチオ)酢酸が更に好ましい。 As the component (B), a known amino acid compound can be used, for example, 2-aminobenzoic acid, 3-aminobenzoic acid, 4-aminobenzoic acid, 2-amino-3-methylbenzoic acid, 2-amino. Compounds having an aromatic amino group and an aromatic carboxy group such as -5-methylbenzoic acid, 2-amino-6-methylbenzoic acid, 3,4-diaminobenzoic acid; 3-aminophenylacetic acid, 4-aminophenyl Compounds having aromatic amino groups and aliphatic carboxy groups such as acetic acid, 4-aminohydrosilicic acid (3- (4-aminophenyl) propionic acid), 2- (4-aminophenylthio) acetic acid; 4-( Aminomethyl) Compounds having an aliphatic amino group such as benzoic acid and an aromatic carboxy group; 3-aminopropionic acid, 4-aminobutanoic acid, 5-aminopentanoic acid, 2,5 diaminopentanoic acid, 3-amino-3 -Examples include compounds having an aliphatic amino group such as phenylpropionic acid and an aliphatic carboxy group. Among these, 4-aminohydrosilicic acid and 2- (4-aminophenylthio) acetic acid are more preferable, and 2- (4-aminophenylthio) acetic acid is further preferable, from the viewpoint of increasing the peel strength.

本発明の樹脂組成物中における(B)成分の含有量は、ピール強度を高める観点から、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、1〜30質量部が好ましく、3〜20質量部がより好ましく、5〜15質量部が更に好ましい。 The content of the component (B) in the resin composition of the present invention is 1 to 1 to 100 parts by mass of the non-volatile component (excluding the inorganic filler) in the resin composition from the viewpoint of increasing the peel strength. 30 parts by mass is preferable, 3 to 20 parts by mass is more preferable, and 5 to 15 parts by mass is further preferable.

本発明の樹脂組成物中における、(A)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数に対する、(B)成分のエポキシ基に対する活性水素の合計数の比[活性水素/エポキシ基]は、樹脂組成物の硬化物の機械強度及び耐水性を向上させるという観点から、0.2〜2が好ましく、0.5〜1.5がより好ましく、0.9〜1.2が更に好ましい。
なお、樹脂組成物中における(A)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各(A)エポキシ樹脂の固形分質量(g)をエポキシ当量(g/mol)で除した値を、すべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、(B)成分の活性水素の合計数とは、各(B)成分の固形分質量(g)を活性水素当量で除した値を、すべての(B)成分について合計した値である。(B)成分が有する活性水素としては、アミノ基由来の活性水素、カルボキシ基由来の活性水素が挙げられる。
The ratio [active hydrogen / epoxy group] of the total number of active hydrogens to the epoxy groups of the component (B) to the total number of epoxy groups of the (A) epoxy resin in the resin composition of the present invention is the resin composition. From the viewpoint of improving the mechanical strength and water resistance of the cured product, 0.2 to 2 is preferable, 0.5 to 1.5 is more preferable, and 0.9 to 1.2 is further preferable.
The total number of epoxy groups in the (A) epoxy resin in the resin composition is the value obtained by dividing the solid content mass (g) of each (A) epoxy resin by the epoxy equivalent (g / mol). It is the total value for the epoxy resin, and the total number of active hydrogens of the component (B) is the value obtained by dividing the solid content mass (g) of each component (B) by the active hydrogen equivalent, and all the components (B). It is the total value of. Examples of the active hydrogen contained in the component (B) include active hydrogen derived from an amino group and active hydrogen derived from a carboxy group.

<(C)硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、さらに、(C)硬化促進剤を含有することが好ましい。樹脂組成物が、(C)硬化促進剤を含有することにより、(A)成分と(B)成分とを効率的に硬化させることができる。
(C)硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、アミン系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、ホスホニウム系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられ、イミダゾール系硬化促進剤が好ましい。
(C)硬化促進剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<(C) Curing accelerator>
The resin composition of the present invention preferably further contains (C) a curing accelerator. When the resin composition contains (C) a curing accelerator, the component (A) and the component (B) can be efficiently cured.
The (C) curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include amine-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, phosphonium-based curing accelerators, and metal-based curing accelerators. An imidazole-based curing accelerator is preferable.
(C) As the curing accelerator, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

イミダゾール系硬化促進剤としては、特に限定されるものではないが、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物;イミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体などが挙げられる。 The imidazole-based curing accelerator is not particularly limited, but 2-methylimidazole, 2-undecyl imidazole, 2-heptadecyl imidazole, 1,2-dimethyl imidazole, 2-ethyl-4-methyl imidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1- Cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium tri Meritate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimerite, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')] -ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 -[2'-Undecylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s -Triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5 -Dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium Examples include imidazole compounds such as chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazolin; an adduct of an imidazole compound and an epoxy resin.

本発明の樹脂組成物が(C)硬化促進剤を含有する場合、その含有量は、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、0.005〜1質量部が好ましく、0.01〜0.5質量部がより好ましく、0.05〜0.2質量部が更に好ましい。(C)硬化促進剤の含有量が前記下限値以上であると、十分な硬化速度が得られる傾向にあり、前記上限値以下であると、樹脂組成物が保存安定性に優れる傾向となる。 When the resin composition of the present invention contains (C) a curing accelerator, the content thereof is 0.005 with respect to 100 parts by mass of the non-volatile content (excluding the inorganic filler) in the resin composition. ~ 1 part by mass is preferable, 0.01 to 0.5 part by mass is more preferable, and 0.05 to 0.2 part by mass is further preferable. (C) When the content of the curing accelerator is at least the above lower limit value, a sufficient curing rate tends to be obtained, and when it is at least the above upper limit value, the resin composition tends to be excellent in storage stability.

<(D)フェノキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、さらに、(D)フェノキシ樹脂を含有することが好ましい。本発明の樹脂組成物が(D)フェノキシ樹脂を含有することにより、硬化物の機械強度を向上させることができ、さらに、接着フィルムの形態で使用する場合のフィルム成型能を向上させることもできる。
ここで、「フェノキシ樹脂」とは、主鎖が芳香族ジオールと芳香族ジグリシジルエーテルとの重付加構造である高分子の総称であり、本明細書においては、重量平均分子量が、10,000以上のものを指す。なお、主鎖が芳香族ジオールと芳香族ジグリシジルエーテルの重付加構造である高分子がエポキシ基を有する場合、重量平均分子量が10,000以上のものは(D)フェノキシ樹脂と分類し、重量平均分子量が10,000未満のものは(A)エポキシ樹脂と分類する。
(D)フェノキシ樹脂は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<(D) Phenoxy resin>
The resin composition of the present invention preferably further contains (D) a phenoxy resin. When the resin composition of the present invention contains the (D) phenoxy resin, the mechanical strength of the cured product can be improved, and further, the film molding ability when used in the form of an adhesive film can be improved. ..
Here, "phenoxy resin" is a general term for polymers whose main chain is a polyaddition structure of an aromatic diol and an aromatic diglycidyl ether, and in the present specification, the weight average molecular weight is 10,000. Refers to the above. When the polymer having a heavy addition structure of an aromatic diol and an aromatic diglycidyl ether in the main chain has an epoxy group, those having a weight average molecular weight of 10,000 or more are classified as (D) phenoxy resin and by weight. Those having an average molecular weight of less than 10,000 are classified as (A) epoxy resins.
As the phenoxy resin (D), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(D)フェノキシ樹脂は主鎖骨格の構造によって、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂、ビスフェノールF型フェノキシ樹脂、ビスフェノールA/ビスフェノールF混合型エポキシ樹脂等に分類されるが、これらの中でも、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂が好ましい。 (D) Phenoxy resin is classified into bisphenol A type phenoxy resin, bisphenol F type phenoxy resin, bisphenol A / bisphenol F mixed type epoxy resin, etc. according to the structure of the main chain skeleton. Among these, bisphenol A type phenoxy resin Is preferable.

(D)フェノキシ樹脂のエポキシ当量は、1,000〜15,000g/molが好ましく、3,000〜12,000g/molがより好ましく、5,000〜9,000g/molが更に好ましい。 The epoxy equivalent of the phenoxy resin (D) is preferably 1,000 to 15,000 g / mol, more preferably 3,000 to 12,000 g / mol, and even more preferably 5,000 to 9,000 g / mol.

(D)フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、10,000〜80,000が好ましく、25,000〜60,000がより好ましく、35,000〜50,000が更に好ましい。(D)フェノキシ樹脂の重量平均分子量が前記下限値以上であると、フィルム成型能及び機械強度向上の効果が十分発揮される傾向にあり、前記上限値以下であると、他の樹脂成分との相溶性が良好となり、高密度微細配線の形成に好適となる傾向にある。
なお、本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による重量平均分子量は、具体的には、測定装置として株式会社島津製作所製のLC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工株式会社社製のShodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。
The weight average molecular weight of the phenoxy resin (D) is preferably 10,000 to 80,000, more preferably 25,000 to 60,000, and even more preferably 35,000 to 50,000. (D) When the weight average molecular weight of the phenoxy resin is at least the above lower limit value, the effect of improving the film molding ability and the mechanical strength tends to be sufficiently exhibited, and when it is at least the above upper limit value, it is mixed with other resin components. The compatibility tends to be good, and it tends to be suitable for forming high-density fine wiring.
The weight average molecular weight in the present invention is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method (in terms of polystyrene). Specifically, the weight average molecular weight by the GPC method is determined by using LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K-804L / K manufactured by Showa Denko KK as a column. -804 L can be measured using chloroform or the like as a mobile phase at a column temperature of 40 ° C. and calculated using a standard polystyrene calibration curve.

本発明の樹脂組成物が(D)フェノキシ樹脂を含有する場合、その含有量は、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、10〜80質量部が好ましく、20〜70質量部がより好ましく、40〜60質量部が更に好ましい。(D)フェノキシ樹脂の含有量が、前記下限値以上であると、フィルム成形能及び機械強度が向上する傾向にあり、前記上限値以下であると、溶融粘度の上昇を抑制できる傾向にある。 When the resin composition of the present invention contains (D) phenoxy resin, the content thereof is 10 to 80% by mass with respect to 100 parts by mass of the non-volatile content (excluding the inorganic filler) in the resin composition. Parts are preferable, 20 to 70 parts by mass is more preferable, and 40 to 60 parts by mass is further preferable. When the content of the phenoxy resin (D) is at least the above lower limit value, the film forming ability and the mechanical strength tend to be improved, and when it is at least the above upper limit value, the increase in the melt viscosity tends to be suppressed.

<(E)熱可塑性樹脂>
本発明の樹脂組成物は、さらに、(E)熱可塑性樹脂を含有していてもよい。
(E)熱可塑性樹脂は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(E)熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。
<(E) Thermoplastic resin>
The resin composition of the present invention may further contain (E) a thermoplastic resin.
As the thermoplastic resin (E), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.
Examples of the thermoplastic resin (E) include polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, polyetherether ketone resin, polyester resin and the like. ..

<(F)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、さらに、(F)無機充填材を含有していてもよい。本発明の樹脂組成物が(F)無機充填材を含有することにより、得られる絶縁層の熱膨張率を更に低減することができる。
(F)無機充填材は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(F)無機充填材は特に限定されるものではなく、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等が挙げられる。これらの中でも、優れたワニスの取扱い性及び低熱膨張係数が得られる観点から、シリカが好ましい。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、粉砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられ、これらの中でも、溶融シリカが好ましい。また、シリカとしては球状のものが好ましい。市販されている球状溶融シリカとしては、例えば、株式会社アドマテックス製の「SO−C2」、「SO−C1」等が挙げられる。
<(F) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention may further contain (F) an inorganic filler. When the resin composition of the present invention contains the (F) inorganic filler, the coefficient of thermal expansion of the obtained insulating layer can be further reduced.
(F) As the inorganic filler, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.
The inorganic filler (F) is not particularly limited, and is, for example, silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride. , Aluminum borate, barium titanate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, calcium zirconate and the like. Among these, silica is preferable from the viewpoint of excellent handleability of varnish and low coefficient of thermal expansion. Examples of silica include amorphous silica, pulverized silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica, and the like, and among these, fused silica is preferable. Further, the silica is preferably spherical. Examples of commercially available spherical molten silica include "SO-C2" and "SO-C1" manufactured by Admatex Co., Ltd.

(F)無機充填材の平均粒径は、特に限定されるものではないが、絶縁層上へ微細配線形成を行うという観点から、5μm以下が好ましく、1μm以下がより好ましく、0.3μm以下が更に好ましい。一方、(F)無機充填材の平均粒径の下限値は、樹脂組成物をワニス状とした場合に、該ワニスの粘度が上昇し、取り扱い性が低下するのを防止するという観点から、0.01μm以上が好ましく、0.05μm以上がより好ましく、0.1μm以上が更に好ましい。
(F)無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、(F)無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、(F)無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折式粒度分布測定装置としては、株式会社堀場製作所製のLA−500、750、950等を使用することができる。
The average particle size of the inorganic filler (F) is not particularly limited, but is preferably 5 μm or less, more preferably 1 μm or less, and 0.3 μm or less from the viewpoint of forming fine wiring on the insulating layer. More preferred. On the other hand, the lower limit of the average particle size of the (F) inorganic filler is 0 from the viewpoint of preventing the viscosity of the varnish from increasing and the handleability from decreasing when the resin composition is made into a varnish. It is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, still more preferably 0.1 μm or more.
(F) The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, it can be measured by creating the particle size distribution of (F) the inorganic filler on a volume basis with a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device and using the median diameter as the average particle size. As the measurement sample, (F) an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction type particle size distribution measuring device, LA-500, 750, 950 or the like manufactured by HORIBA, Ltd. can be used.

(F)無機充填材は、エポキシシラン系カップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の表面処理剤で表面処理してその耐湿性を向上させたものが好ましい。 (F) The inorganic filler is a surface treatment agent such as an epoxysilane-based coupling agent, an aminosilane-based coupling agent, a mercaptosilane-based coupling agent, a silane-based coupling agent, an organosilazane compound, and a titanate-based coupling agent. Those that have been treated to improve their moisture resistance are preferable.

本発明の樹脂組成物が(F)無機充填材を含有する場合、その含有量は、樹脂組成物に要求される特性によっても異なるが、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、20〜85質量部が好ましく、30〜80質量部がより好ましく、35〜75質量部が更に好ましい。(F)無機充填材の含有量が前記下限値以上であると、硬化物の熱膨張率を低くできる傾向にあり、前記上限値以下であると、硬化物が脆くなることを抑制できる傾向及びピール強度が向上する傾向にある。 When the resin composition of the present invention contains (F) an inorganic filler, the content thereof varies depending on the properties required for the resin composition, but the non-volatile content in the resin composition (however, the inorganic filler is used. Excludes.) With respect to 100 parts by mass, 20 to 85 parts by mass is preferable, 30 to 80 parts by mass is more preferable, and 35 to 75 parts by mass is further preferable. (F) When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit value, the coefficient of thermal expansion of the cured product tends to be lowered, and when it is at least the above upper limit value, the hardened product tends to be suppressed from becoming brittle. Peel strength tends to improve.

<他の成分>
本発明の樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を含有していてもよい。他の成分としては、ビニルベンジル化合物、アクリル化合物、マレイミド化合物、ブロックイソシアネート化合物等の(A)エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂;有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等の難燃剤;シリコンパウダー、ナイロンパウダー、フッ素パウダー等の有機充填材;コアシェル型ゴム粒子、架橋アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、架橋スチレンブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子等のゴム粒子;オルベン、ベントン等の増粘剤;シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤;イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シラン系カップリング剤等の密着性付与剤;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオジングリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤などが挙げられる。
これらの他の成分は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<Other ingredients>
The resin composition of the present invention may contain other components, if necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired. Other components include thermosetting resins other than (A) epoxy resins such as vinylbenzyl compounds, acrylic compounds, maleimide compounds, and blocked isocyanate compounds; organic phosphorus-based flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, and silicones. Flame-retardant agents such as flame-retardants and metal hydroxides; Organic fillers such as silicon powder, nylon powder, and fluorine powder; rubbers such as core-shell type rubber particles, cross-linked acrylonitrile butadiene rubber particles, cross-linked styrene-butadiene rubber particles, and acrylic rubber particles. Particles; Thickeners such as Orben and Benton; Silicone-based, Fluorine-based and Polymer-based defoaming agents or leveling agents; Examples thereof include colorants such as blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo yellow, and carbon black.
These other components may be used alone or in combination of two or more.

本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、前記各成分を、必要により溶媒等を添加し、回転ミキサー等を用いて混合する方法などが挙げられる。 The method for preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a method in which each of the above components is added with a solvent or the like, if necessary, and mixed using a rotary mixer or the like.

本発明の樹脂組成物は、後述する接着フィルム等の生産性を高める観点から、有機溶剤を含有するワニス(以下、「樹脂ワニス」ともいう)の状態としてもよい。
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶媒などが挙げられる。有機溶剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
樹脂ワニスの固形分濃度は、特に限定されないが、50〜90質量%が好ましく、60〜80質量%がより好ましい。
The resin composition of the present invention may be in the state of a varnish containing an organic solvent (hereinafter, also referred to as “resin varnish”) from the viewpoint of increasing the productivity of the adhesive film or the like described later.
Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone; acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; carbitol such as cellosolve and butyl carbitol. Kind: Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amide-based solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. As the organic solvent, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.
The solid content concentration of the resin varnish is not particularly limited, but is preferably 50 to 90% by mass, more preferably 60 to 80% by mass.

算術平均粗さ(Ra)が200nmである銅箔に対する、本発明の樹脂組成物の硬化物のピール強度は、0.32kN/m以上であることが好ましく、0.34kN/m以上であることがより好ましく、0.36kN/m以上であることが更に好ましい。前記ピール強度は高いほど好ましいが、製造容易性等の観点からは、1.0kN/m以下であってもよい。前記ピール強度は、実施例に記載の方法により測定することができる。 The peel strength of the cured product of the resin composition of the present invention with respect to a copper foil having an arithmetic mean roughness (Ra) of 200 nm is preferably 0.32 kN / m or more, and preferably 0.34 kN / m or more. Is more preferable, and 0.36 kN / m or more is further preferable. The higher the peel strength is, the more preferable it is, but from the viewpoint of ease of manufacture and the like, it may be 1.0 kN / m or less. The peel strength can be measured by the method described in Examples.

<樹脂組成物の用途>
本発明の樹脂組成物の用途は、特に限定されず、例えば、接着フィルム、プリプレグ等の絶縁樹脂シート;回路基板、ソルダーレジスト、アンダ−フィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂などの樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。
これらの中でも、多層プリント配線板の製造において、絶縁層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、めっきにより導体層を形成するための樹脂組成物(めっきにより導体層を形成する多層プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することができ、ビルドアップ層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物)として更に好適に使用することができる。
本発明の樹脂組成物は、ワニスの状態で回路基板に塗布して絶縁層を形成することもできるが、工業的には一般に、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料の形態で用いることが好ましい。樹脂組成物の軟化点は、シート状積層材料のラミネート性の観点から40〜150℃が好ましい。
<Use of resin composition>
The use of the resin composition of the present invention is not particularly limited, and for example, an insulating resin sheet such as an adhesive film or a prepreg; a circuit board, a solder resist, an underfill material, a die bonding material, a semiconductor encapsulant, a hole filling resin, etc. It can be used in a wide range of applications where a resin composition such as a component-embedded resin is required.
Among these, in the production of a multilayer printed wiring board, it can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer (resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board), and a conductor layer is formed by plating. A resin composition for forming a build-up layer (multilayer printing), which can be more preferably used as a resin composition for forming a conductor layer by plating (a resin composition for an insulating layer of a multilayer printed wiring board). It can be more preferably used as a resin composition for a build-up layer of a wiring board).
The resin composition of the present invention can be applied to a circuit board in the state of a varnish to form an insulating layer, but industrially, it is generally used in the form of a sheet-like laminated material such as an adhesive film or a prepreg. preferable. The softening point of the resin composition is preferably 40 to 150 ° C. from the viewpoint of the laminateability of the sheet-like laminated material.

[接着フィルム]
本発明の接着フィルムは、本発明の樹脂組成物が支持体上に層形成されてなるものである。
本発明の接着フィルムは、当業者に公知の方法、例えば、前記樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて、支持体に塗布し、加熱、熱風吹きつけ等により有機溶剤を乾燥させて、支持体上に樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。
[Adhesive film]
The adhesive film of the present invention is formed by forming a layer of the resin composition of the present invention on a support.
The adhesive film of the present invention is prepared by applying a method known to those skilled in the art, for example, the resin varnish to a support using a die coater or the like, and drying the organic solvent by heating, hot air blowing, or the like to dry the support. It can be produced by forming a resin composition layer on the resin composition layer.

支持体に塗布した後の乾燥条件は特に限定されないが、乾燥後の樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。具体的な条件は、樹脂ワニス中の有機溶剤量、有機溶剤の沸点等によっても異なるが、例えば、30〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを、50〜150℃で3〜10分間程度乾燥させることにより、樹脂組成物層を好適に形成することができる。 The drying conditions after coating on the support are not particularly limited, but the drying is such that the content of the organic solvent in the resin composition layer after drying is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less. Let me. Specific conditions vary depending on the amount of organic solvent in the resin varnish, the boiling point of the organic solvent, etc., but for example, a resin varnish containing 30 to 60% by mass of an organic solvent is used at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes. By drying, the resin composition layer can be suitably formed.

接着フィルム中の樹脂組成物層の厚さは、導体層の厚さ以上とすることが好ましい。回路基板が有する導体層の厚さは通常5〜70μmであるので、樹脂組成物層は、10〜100μmが好ましく、20〜80μmがより好ましい。 The thickness of the resin composition layer in the adhesive film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer. Since the thickness of the conductor layer included in the circuit board is usually 5 to 70 μm, the resin composition layer is preferably 10 to 100 μm, more preferably 20 to 80 μm.

支持体としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ともいう)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等の各種プラスチックフィルム;離型紙;銅箔、アルミニウム箔等の金属箔などが挙げられる。支持体及び後述する保護フィルムには、マット処理、コロナ処理等の表面処理が施してあってもよく、シリコーン樹脂系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、フッ素樹脂系離型剤等の離型剤で離型処理が施してあってもよい。
支持体の厚さは特に限定されないが、10〜150μmが好ましく、25〜50μmがより好ましい。
Examples of the support include a polyolefin film such as polyethylene, polypropylene and polyvinyl chloride, a polyester film such as polyethylene terephthalate (hereinafter, also referred to as “PET”) and polyethylene naphthalate, and various plastic films such as a polycarbonate film and a polyimide film; Release paper: Examples include metal foil such as copper foil and aluminum foil. The support and the protective film described later may be subjected to surface treatment such as matte treatment and corona treatment, and release of silicone resin-based mold release agent, alkyd resin-based mold release agent, fluororesin-based mold release agent and the like. A mold release treatment may be applied with a mold agent.
The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably 10 to 150 μm, more preferably 25 to 50 μm.

支持体として銅箔を用いた場合には、該支持体である銅箔を導体層として使用することもできる。銅箔としては、圧延銅、電解銅箔等が挙げられる。
銅箔の厚さは、用途に応じて決定すればよいが、例えば、2〜36μmが好ましく、10〜25μmがより好ましい。
本発明の樹脂組成物は、優れたピール強度を有するため、算術平均粗さ(Ra)が小さい銅箔に対しても十分なピール強度を発揮することができる。したがって、銅箔の算術平均粗さ(Ra)は、優れたピール強度と配線形成性とを両立させる観点から、300nm以下が好ましく、250nm以下がより好ましく、220nm以下が更に好ましく、また、50nm以上が好ましく、60nm以上がより好ましく、70nm以上が更に好ましい。
銅箔の算術平均粗さ(Ra)は、実施例に記載の方法により測定することができる。
When a copper foil is used as the support, the copper foil as the support can also be used as the conductor layer. Examples of the copper foil include rolled copper and electrolytic copper foil.
The thickness of the copper foil may be determined according to the intended use, but is preferably 2 to 36 μm, more preferably 10 to 25 μm, for example.
Since the resin composition of the present invention has excellent peel strength, it can exhibit sufficient peel strength even for copper foil having a small arithmetic mean roughness (Ra). Therefore, the arithmetic mean roughness (Ra) of the copper foil is preferably 300 nm or less, more preferably 250 nm or less, further preferably 220 nm or less, and further preferably 50 nm or more, from the viewpoint of achieving both excellent peel strength and wiring formability. Is preferable, 60 nm or more is more preferable, and 70 nm or more is further preferable.
The arithmetic mean roughness (Ra) of the copper foil can be measured by the method described in Examples.

樹脂組成物層の支持体が密着していない面には、支持体に準じた保護フィルムを更に積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されないが、例えば、1〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着及びキズ付きを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって貯蔵することもできる。 A protective film similar to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer where the support is not in close contact. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from adhering to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can also be rolled up and stored.

[プリプレグ]
本発明のプリプレグは、本発明の樹脂組成物がシート状補強基材中に含浸されてなるものである。
本発明のプリプレグは、例えば、本発明の樹脂組成物を、繊維からなるシート状補強基材にホットメルト法又はソルベント法により含浸させ、加熱して半硬化させることにより製造することができる。
ホットメルト法は、樹脂組成物を有機溶剤に溶解させることなく、該樹脂組成物との剥離性に優れる塗工紙に一旦コーティングし、それをシート状補強基材にラミネートしてプリプレグを製造する方法、又は樹脂組成物を有機溶剤に溶解することなく、ダイコーターによりシート状補強基材に直接塗工するなどして、プリプレグを製造する方法である。
ソルベント法は、接着フィルムと同様にして樹脂組成物を有機溶剤に溶解して樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスにシート状補強基材を浸漬し、樹脂ワニスをシート状補強基材に含浸させ、その後、乾燥させる方法である。
[Prepreg]
The prepreg of the present invention is obtained by impregnating the resin composition of the present invention into a sheet-shaped reinforcing base material.
The prepreg of the present invention can be produced, for example, by impregnating a sheet-shaped reinforcing base material made of fibers with a hot melt method or a solvent method by the hot melt method or the solvent method, and heating and semi-curing the resin composition of the present invention.
In the hot melt method, a coated paper having excellent peelability from the resin composition is once coated without dissolving the resin composition in an organic solvent, and the resin composition is laminated on a sheet-like reinforcing base material to produce a prepreg. A method or a method of producing a prepreg by directly coating a sheet-like reinforcing base material with a die coater without dissolving the resin composition in an organic solvent.
In the solvent method, a resin composition is dissolved in an organic solvent in the same manner as an adhesive film to prepare a resin varnish, a sheet-shaped reinforcing base material is immersed in the resin varnish, and the sheet-shaped reinforcing base material is impregnated with the resin varnish. After that, it is a method of drying.

シート状補強基材としては、各種の電気絶縁材料用積層板に用いられている周知のものが使用できる。シート状補強基材の材質としては、紙、コットンリンター等の天然繊維;ガラス繊維、アスベスト等の無機物繊維;アラミド、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリエステル、テトラフルオロエチレン、アクリル等の有機繊維;これらの混合物などが挙げられる。これらの中でも、難燃性の観点から、ガラス繊維が好ましい。ガラス繊維基材としては、Eガラス、Cガラス、Dガラス、Sガラス等を用いた織布又は短繊維を有機バインダーで接着したガラス織布;ガラス繊維とセルロース繊維とを混沙したもの等が挙げられる。より好ましくは、Eガラスを使用したガラス織布である。
これらのシート状補強基材は、例えば、織布、不織布、ロービンク、チョップドストランドマット、サーフェシングマット等の形状を有する。なお、材質及び形状は、目的とする成形物の用途及び性能により選択され、1種を単独で使用してもよいし、必要に応じて、2種以上の材質及び形状を組み合わせることもできる。
シート状補強基材の厚さは、特に制限されず、例えば、約0.01〜0.5mmとすることができ、シランカップリング剤等で表面処理したもの又は機械的に開繊処理を施したものが、耐熱性、耐湿性及び加工性の観点から好ましい。
プリプレグは、1枚を用いるか、又は必要に応じて好ましくは2〜20枚を重ね合わせて用いてもよい。
As the sheet-shaped reinforcing base material, well-known materials used for various laminated plates for electrical insulating materials can be used. As the material of the sheet-like reinforcing base material, natural fibers such as paper and cotton linter; inorganic fibers such as glass fiber and asbestos; organic fibers such as aramid, polyimide, polyvinyl alcohol, polyester, tetrafluoroethylene and acrylic; and a mixture thereof. And so on. Among these, glass fiber is preferable from the viewpoint of flame retardancy. As the glass fiber base material, a woven cloth using E glass, C glass, D glass, S glass, etc. or a glass woven cloth in which short fibers are bonded with an organic binder; a mixture of glass fibers and cellulose fibers, etc. Can be mentioned. More preferably, it is a glass woven cloth using E glass.
These sheet-shaped reinforcing base materials have shapes such as woven fabrics, non-woven fabrics, robinks, chopped strand mats, and surfaced mats. The material and shape are selected according to the intended use and performance of the molded product, and one type may be used alone, or two or more types of materials and shapes may be combined as needed.
The thickness of the sheet-shaped reinforcing base material is not particularly limited, and can be, for example, about 0.01 to 0.5 mm, and is surface-treated with a silane coupling agent or the like or mechanically opened. Is preferable from the viewpoint of heat resistance, moisture resistance and processability.
One prepreg may be used, or preferably 2 to 20 prepregs may be stacked if necessary.

[多層プリント配線板]
本発明の多層プリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物を含有するものである。
本発明の多層プリント配線板は、特に限定されないが、例えば、本発明の接着フィルム又はプリプレグを使用して好適に製造することができる。以下、本発明の接着フィルム又は本発明のプリプレグを使用して本発明の多層プリント配線板を製造する方法について説明をする。
[Multilayer printed wiring board]
The multilayer printed wiring board of the present invention contains a cured product of the resin composition of the present invention.
The multilayer printed wiring board of the present invention is not particularly limited, but can be suitably manufactured by using, for example, the adhesive film or prepreg of the present invention. Hereinafter, a method for manufacturing the multilayer printed wiring board of the present invention using the adhesive film of the present invention or the prepreg of the present invention will be described.

<本発明の接着フィルムを用いた多層プリント配線板の製造方法>
本発明の接着フィルムを用いて多層プリント配線板を製造する方法の一例を説明する。
本発明の多層プリント配線板は、例えば、本発明の接着フィルムを回路基板にラミネートすることにより、製造することができる。具体的には、下記工程(1)〜(6)[但し、工程(3)は任意である。]を含む製造方法により製造することができ、工程(1)、(2)又は(3)の後で支持体を剥離又は除去してもよい。
(1)本発明の接着フィルムを回路基板の片面又は両面に積層する工程[以下、積層工程(1)と称する]。
(2)積層された接着フィルムを熱硬化し、絶縁層を形成する工程[以下、絶縁層形成工程(2)と称する]。
(3)絶縁層を形成した回路基板に穴あけする工程[以下、穴あけ工程(3)と称する]。
(4)絶縁層の表面を酸化剤によって粗化処理する工程[以下、粗化処理工程(4)と称する]。
(5)粗化された絶縁層の表面にめっきにより導体層を形成する工程[以下、導体層形成工程(5)と称する]。
(6)導体層に回路形成する工程[以下、回路形成工程(6)と称する]。
<Manufacturing method of multilayer printed wiring board using the adhesive film of the present invention>
An example of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the adhesive film of the present invention will be described.
The multilayer printed wiring board of the present invention can be manufactured, for example, by laminating the adhesive film of the present invention on a circuit board. Specifically, the following steps (1) to (6) [However, step (3) is optional. ] Can be produced, and the support may be peeled off or removed after the steps (1), (2) or (3).
(1) A step of laminating the adhesive film of the present invention on one side or both sides of a circuit board [hereinafter, referred to as a laminating step (1)].
(2) A step of thermosetting the laminated adhesive film to form an insulating layer [hereinafter, referred to as an insulating layer forming step (2)].
(3) A step of drilling a hole in a circuit board on which an insulating layer is formed [hereinafter, referred to as a drilling step (3)].
(4) A step of roughening the surface of the insulating layer with an oxidizing agent [hereinafter, referred to as a roughening treatment step (4)].
(5) A step of forming a conductor layer by plating on the surface of the roughened insulating layer [hereinafter, referred to as a conductor layer forming step (5)].
(6) A step of forming a circuit on the conductor layer [hereinafter, referred to as a circuit forming step (6)].

積層工程(1)は、本発明の接着フィルムを回路基板の片面又は両面に積層する工程である。
回路基板に用いられる基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、前記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。また導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該多層プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっているものも、ここでいう回路基板に含まれる。導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。
The laminating step (1) is a step of laminating the adhesive film of the present invention on one side or both sides of the circuit board.
Examples of the substrate used for the circuit board include a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a heat-curable polyphenylene ether substrate, and the like. Here, the circuit board means a circuit board having a patterned conductor layer (circuit) formed on one side or both sides of the board as described above. Further, in a multi-layer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately laminated, one or both sides of the outermost layer of the multi-layer printed wiring board is a conductor layer (circuit) in which a pattern is processed. It is included in the circuit board mentioned above. The surface of the conductor layer may be roughened in advance by blackening treatment, copper etching or the like.

前記ラミネートにおいて、接着フィルムが保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを除去した後、必要に応じて接着フィルム及び回路基板をプレヒートし、接着フィルムを加圧及び加熱しながら回路基板に圧着する。本発明の接着フィルムにおいては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。ラミネートの条件は、特に限定されるものではないが、例えば、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは70〜140℃、圧着圧力を好ましくは1〜11kgf/cm(9.8×10〜107.9×10N/m)とし、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートすることが好ましい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であってもロールでの連続式であってもよい。真空ラミネートは、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニチゴー・モートン株式会社製のバキュームアップリケーター、株式会社名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、株式会社日立インダストリイズ製のロール式ドライコータ、日立エーアイーシー株式会社製の真空ラミネーター等が挙げられる。 In the above-mentioned lamination, when the adhesive film has a protective film, after removing the protective film, the adhesive film and the circuit board are preheated as necessary, and the adhesive film is pressed and heated on the circuit board. Crimping. In the adhesive film of the present invention, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by a vacuum laminating method is preferably used. The laminating conditions are not particularly limited, but for example, the crimping temperature (lamination temperature) is preferably 70 to 140 ° C., and the crimping pressure is preferably 1 to 11 kgf / cm 2 (9.8 × 10 4 to 107). It is preferably .9 × 10 4 N / m 2 ) and laminated under a reduced pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. Further, the laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll. Vacuum laminating can be done using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Co., Ltd., a roll-type dry coater manufactured by Hitachi Industries, Ltd., and Hitachi AC Co., Ltd. Examples include a vacuum laminator manufactured by Hitachi.

また、減圧下、加熱及び加圧を行う積層工程は、一般の真空ホットプレス機を用いて行うことも可能である。例えば、加熱されたSUS板等の金属板を支持体層側からプレスすることにより行うことができる。プレス条件は、減圧度を通常、1×10−2MPa以下、好ましくは1×10−3MPa以下の減圧下とする。加熱及び加圧は、1段階で行うこともできるが、樹脂の染み出しを制御する観点から、2段階以上に条件を分けて行うことが好ましい。例えば、1段階目のプレスを、温度が70〜150℃、圧力が1〜15kgf/cmの範囲、2段階目のプレスを、温度が150〜200℃、圧力が1〜40kgf/cmの範囲で行うことが好ましい。各段階の時間は30〜120分間で行うことが好ましい。市販されている真空ホットプレス機としては、例えば、株式会社名機製作所製のMNPC−V−750−5−200、北川精機株式会社製のVH1−1603等が挙げられる。 Further, the laminating step of heating and pressurizing under reduced pressure can also be performed using a general vacuum hot press machine. For example, it can be performed by pressing a heated metal plate such as a SUS plate from the support layer side. The pressing conditions are such that the degree of decompression is usually 1 × 10 −2 MPa or less, preferably 1 × 10 -3 MPa or less. Although heating and pressurization can be performed in one step, it is preferable to carry out the heating and pressurization in two or more steps from the viewpoint of controlling the exudation of the resin. For example, the first stage of the press, the temperature is 70 to 150 ° C., the range of pressure 1~15kgf / cm 2, the second stage of the press, the temperature is 150 to 200 ° C., a pressure of 1~40kgf / cm 2 It is preferable to carry out within the range. The time of each step is preferably 30 to 120 minutes. Examples of commercially available vacuum hot press machines include MNPC-V-750-5-200 manufactured by Meiki Co., Ltd. and VH1-1603 manufactured by Kitagawa Seiki Co., Ltd.

絶縁層形成工程(2)は、回路基板に積層された接着フィルムを熱硬化し、絶縁層を形成する工程である。
絶縁層形成工程(2)では、まず、回路基板に積層した接着フィルムを室温付近に冷却してから、支持体を剥離する場合は剥離する。その後、接着フィルムを熱硬化させることにより回路基板に絶縁層を形成することができる。熱硬化の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量等に応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150〜220℃で20〜180分間、より好ましくは160〜210℃で30〜120分間の範囲で選択される。
The insulating layer forming step (2) is a step of thermosetting the adhesive film laminated on the circuit board to form an insulating layer.
In the insulating layer forming step (2), first, the adhesive film laminated on the circuit board is cooled to around room temperature, and then the support is peeled off when peeling off. After that, an insulating layer can be formed on the circuit board by thermosetting the adhesive film. The conditions for thermosetting may be appropriately selected according to the type and content of the resin component in the resin composition, but are preferably 150 to 220 ° C. for 20 to 180 minutes, and more preferably 160 to 210 ° C. for 30. Selected in the range of ~ 120 minutes.

前記の方法により絶縁層を形成した後、必要に応じて穴あけ工程(3)を経て、ビアホール、スルーホール等を形成してもよい。
絶縁層を形成した後、硬化前に支持体を剥離しなかった場合は、ここで剥離してもよい。穴あけは、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等の公知の方法により、また必要によりこれらの方法を組み合わせて行うことができるが、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等のレーザーによる穴あけが最も一般的な方法である。
After forming the insulating layer by the above method, via holes, through holes and the like may be formed through the drilling step (3), if necessary.
If the support is not peeled off after forming the insulating layer and before curing, it may be peeled off here. Drilling can be performed by, for example, a known method such as a drill, a laser, or plasma, and if necessary, these methods can be combined, but drilling with a laser such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser is the most common method. is there.

粗化処理工程(4)では、絶縁層の表面を酸化剤により粗化処理を行う。
湿式めっきの場合は、絶縁層表面を、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行うことによって凸凹のアンカーを形成する。
膨潤液による膨潤処理は、例えば、絶縁層を50〜80℃で5〜20分間膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としてはアルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液である。該アルカリ溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン株式会社製のスウェリング・ディップ・セキュリガンス(登録商標)P(Swelling Dip Securiganth P)、スウェリング・ディップ・セキュリガンス(登録商標)SBU(Swelling Dip Securiganth SBU)等が挙げられる。
酸化剤による粗化処理は、例えば、絶縁層を60〜80℃で10〜30分間酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等を溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等が挙げられる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5〜10質量%とすることが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン株式会社製のコンセントレート・コンパクトCP、ドージングソリューションセキュリガンス(登録商標)P等のアルカリ性過マンガン酸溶液などが挙げられる。
中和液による中和処理は、30〜50℃で3〜10分間中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、アトテックジャパン株式会社製のリダクションソリューシン・セキュリガント(登録商標)P等が挙げられる。
In the roughening treatment step (4), the surface of the insulating layer is roughened with an oxidizing agent.
In the case of wet plating, the surface of the insulating layer is subjected to a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order to form an uneven anchor.
The swelling treatment with the swelling liquid is performed, for example, by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 50 to 80 ° C. for 5 to 20 minutes. Examples of the swelling solution include an alkaline solution and a surfactant solution, and an alkaline solution is preferable. Examples of the alkaline solution include a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution. Examples of commercially available swelling solutions include Swelling Dip Securiganth P (registered trademark) P (registered trademark) and Swelling Dip Securiganth (registered trademark) SBU (Swelling) manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. Dip Securiganth SBU) and the like.
The roughening treatment with an oxidizing agent is performed, for example, by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution at 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. Examples of the oxidizing agent include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate, sodium permanganate and the like are dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid and the like. .. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5 to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as Concentrate Compact CP manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. and Dozing Solution Security (registered trademark) P.
The neutralization treatment with a neutralizing solution is carried out by immersing in the neutralizing solution at 30 to 50 ° C. for 3 to 10 minutes. The neutralizing solution is preferably an acidic aqueous solution, and examples of commercially available products include reduction solution solution Securigant (registered trademark) P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.

導体層形成工程(5)では、粗化された絶縁層の表面に、めっきにより導体層を形成する。
めっきの方法としては、乾式めっき及び湿式めっきがあり、乾式めっきとしては、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の公知の方法を使用することができる。
湿式めっきとしては、無電解めっきと電解めっきとを組み合わせた方法が好ましいが、導体層とは逆パターンのめっきレジストを形成し、無電解めっきのみで導体層を形成することもできる。
めっき用の金属は、めっきに使用し得る金属であれば特に制限されない。めっき用の金属は、銅、金、銀、ニッケル、白金、モリブデン、ルテニウム、アルミニウム、タングステン、鉄、チタン、クロム、これらの金属元素のうちの少なくとも1種を含む合金等が挙げられ、これらの中でも、銅、ニッケルが好ましく、銅がより好ましい。
In the conductor layer forming step (5), a conductor layer is formed by plating on the surface of the roughened insulating layer.
As the plating method, there are dry plating and wet plating, and as the dry plating, known methods such as thin film deposition, sputtering, and ion plating can be used.
As the wet plating, a method in which electroless plating and electrolytic plating are combined is preferable, but a plating resist having a pattern opposite to that of the conductor layer can be formed, and the conductor layer can be formed only by electroless plating.
The metal for plating is not particularly limited as long as it is a metal that can be used for plating. Examples of the metal for plating include copper, gold, silver, nickel, platinum, molybdenum, ruthenium, aluminum, tungsten, iron, titanium, chromium, alloys containing at least one of these metal elements, and the like. Among them, copper and nickel are preferable, and copper is more preferable.

その後の回路形成工程(6)において、導体層をパターン加工し、回路形成する方法としては、例えば、サブトラクティブ法、フルアディティブ法、セミアディティブ法(SAP:SemiAdditive Process)、モディファイドセミアディティブ法(m−SAP:modified Semi Additive Process)等の公知の方法を利用することができる。 In the subsequent circuit forming step (6), as a method of patterning the conductor layer and forming a circuit, for example, a subtractive method, a full additive method, a semi-additive method (SAP: SemiAdditive Process), and a modified semi-additive method (m). -A known method such as (SAP: modified Semi Adaptive Process) can be used.

なお、前記工程(1)〜(6)は、接着フィルムのから形成した絶縁層上にめっきを施して回路を形成する態様を説明したが、本発明の接着フィルムが支持体として銅箔を有する場合は、支持体として有する銅箔を導体層として利用することもできる。
その場合、例えば、支持体である銅箔を剥離せずに、工程(1)〜(3)を実施し、該支持体である銅箔に対して工程(6)である回路形成工程を施して、回路を形成することもできる。
In the steps (1) to (6), the mode in which the insulating layer formed from the adhesive film is plated to form a circuit has been described, but the adhesive film of the present invention has a copper foil as a support. In that case, the copper foil as the support can also be used as the conductor layer.
In that case, for example, steps (1) to (3) are carried out without peeling off the copper foil which is the support, and the circuit forming step which is the step (6) is performed on the copper foil which is the support. It is also possible to form a circuit.

<本発明のプリプレグを用いた多層プリント配線板>
次に、本発明のプリプレグを用いて多層プリント配線板を製造する方法の一例を説明する。まず、前記回路基板に本発明のプリプレグを1枚、又は必要により数枚重ね、離型フィルムを介して金属プレートで挟み、加圧及び加熱条件下で真空プレス積層する。加圧及び加熱条件は、好ましくは、圧力が5〜40kgf/cm(49×10〜392×10N/m)、温度が120〜200℃で20〜100分間である。また接着フィルムと同様に、プリプレグを真空ラミネート法により回路基板にラミネートした後、加熱硬化することも可能である。その後、前記方法と同様にして、硬化したプリプレグ表面を粗化した後、導体層をめっきにより形成して多層プリント配線板を製造することができる。
<Multilayer printed wiring board using the prepreg of the present invention>
Next, an example of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the prepreg of the present invention will be described. First, one or several prepregs of the present invention are laminated on the circuit board, sandwiched between metal plates via a release film, and vacuum press-laminated under pressure and heating conditions. The pressurizing and heating conditions are preferably a pressure of 5 to 40 kgf / cm 2 (49 × 10 4 to 392 × 10 4 N / m 2 ) and a temperature of 120 to 200 ° C. for 20 to 100 minutes. Further, as with the adhesive film, it is also possible to laminate the prepreg on the circuit board by the vacuum laminating method and then heat-cure it. Then, in the same manner as described above, after roughening the cured prepreg surface, a conductor layer can be formed by plating to manufacture a multilayer printed wiring board.

[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明の多層プリント配線板を用いたものである。
本発明の半導体装置は、例えば、本発明の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
[Semiconductor device]
The semiconductor device of the present invention uses the multilayer printed wiring board of the present invention.
The semiconductor device of the present invention can be manufactured, for example, by mounting a semiconductor chip on a conductive portion of the multilayer printed wiring board of the present invention. The "conduction point" is a "place for transmitting an electric signal in the multilayer printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded place. Further, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法等が挙げられる。 The method for mounting the semiconductor chip in manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bumps. Examples thereof include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF).

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

[測定及び評価方法]
各例で得られた樹脂組成物は、以下の方法により測定及び評価した。
[Measurement and evaluation method]
The resin compositions obtained in each example were measured and evaluated by the following methods.

<ピール強度の測定>
(1)樹脂組成物の硬化
各例で得られた接着フィルムを170℃、30分間の条件で加熱し、接着フィルムの樹脂組成物層を硬化させてなる絶縁層を形成した。
(2)銅張積層板の取り付け
上記で形成した絶縁層側の全面に、両面テープで、ピール試験中に接着フィルムを支持するための銅張積層板を貼り付け、銅箔(支持体)/絶縁層/両面テープ/銅張積層板の順となる積層体を得た。
(3)ピール強度の測定
銅箔面(すなわち、接着フィルムの支持体である銅箔)に、幅5mmのマイラーテープを貼り、50℃の10%過硫酸アンモニウム水溶液に浸すことで幅5mmの銅配線を形成した。この一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温にて、垂直方向に5mm/分の引っ張り速度で10mmの長さを引き剥がしたときの荷重(kN/m)を測定した。
<Measurement of peel strength>
(1) Curing of Resin Composition The adhesive film obtained in each example was heated at 170 ° C. for 30 minutes to cure the resin composition layer of the adhesive film to form an insulating layer.
(2) Installation of copper-clad laminate A copper-clad laminate for supporting the adhesive film during the peel test is attached to the entire surface of the insulating layer side formed above with double-sided tape, and the copper foil (support) / A laminate in the order of insulating layer / double-sided tape / copper-clad laminate was obtained.
(3) Measurement of peel strength A copper foil with a width of 5 mm is attached to the copper foil surface (that is, the copper foil that is the support of the adhesive film), and the copper wiring is immersed in a 10% ammonium persulfate aqueous solution at 50 ° C. Was formed. This one end was peeled off and grasped with a gripper, and the load (kN / m) when the length of 10 mm was peeled off at a pulling speed of 5 mm / min in the vertical direction was measured at room temperature.

<銅箔光沢面の算術平均粗さ(Ra)の測定>
各例で接着フィルムの支持体として使用した銅箔(銅箔の厚さ18μm、古河電気工業株式会社製、商品名:F2−WS)光沢面の表面粗さを、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製、商品名:WYKO NT3300)により、10倍レンズを用いて測定し、その20点の平均値を銅箔光沢面の算術平均粗さ(Ra)とした。
<Measurement of Arithmetic Mean Roughness (Ra) of Copper Foil Glossy Surface>
Copper foil used as a support for the adhesive film in each example (copper foil thickness 18 μm, manufactured by Furukawa Denki Kogyo Co., Ltd., trade name: F2-WS) The surface roughness of the glossy surface is measured by a non-contact type surface roughness meter. (Manufactured by Becoin Sturments, trade name: WYKO NT3300) was measured using a 10x lens, and the average value of the 20 points was taken as the arithmetic mean roughness (Ra) of the copper foil glossy surface.

<実施例1>
(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤として、2−(4−アミノフェニルチオ)酢酸(和光純薬工業株式会社製、官能基当量:約61g/mol)9質量部を、ジメチルアセトアミド47質量部に溶解させた。そこに、(A)エポキシ樹脂として、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製、商品名:NC−3000−H、エポキシ当量:約290g/mol)40質量部、(C)硬化促進剤として、2−フェニルイミダゾール(以下、「2PZ」ともいう)0.12質量部、(D)フェノキシ樹脂として、フェノキシ樹脂(日本化薬株式会社製、商品名:1256B40、エポキシ当量:約6,700〜8,000g/mol)51質量部を混合し、ワニス状の樹脂組成物(樹脂ワニス)を作製した。
次に、かかる樹脂ワニスを、銅箔(古河電気工業株式会社製、商品名:F2−WS、銅箔の厚さ:18μm)の光沢面に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが50μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、85〜95℃(平均90℃)で10分間乾燥して、接着フィルムを得た。
<Example 1>
(B) As a curing agent having an amino group and a carboxy group, 9 parts by mass of 2- (4-aminophenylthio) acetic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., functional group equivalent: about 61 g / mol) was added to dimethylacetamide 47. It was dissolved in parts by mass. There, as (A) epoxy resin, 40 parts by mass of biphenyl type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: NC-3000-H, epoxy equivalent: about 290 g / mol), (C) as a curing accelerator. , 2-Phenylimidazole (hereinafter, also referred to as "2PZ") 0.12 parts by mass, (D) As phenoxy resin, phenoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: 1256B40, epoxy equivalent: about 6,700 ~ 8,000 g / mol) 51 parts by mass was mixed to prepare a varnish-like resin composition (resin varnish).
Next, the resin varnish was applied to a glossy surface of a copper foil (manufactured by Furukawa Denki Kogyo Co., Ltd., trade name: F2-WS, copper foil thickness: 18 μm), and the thickness of the resin composition layer after drying was 50 μm. The film was uniformly applied with a die coater and dried at 85 to 95 ° C. (90 ° C. on average) for 10 minutes to obtain an adhesive film.

<実施例2、比較例1〜4>
実施例1において、各成分の種類及び含有量を表1に示すとおりに変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス及び接着フィルムを作製した。
<Example 2, Comparative Examples 1 to 4>
A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except that the type and content of each component were changed as shown in Table 1.

各例で使用した硬化剤の詳細は以下の通りである。
(1)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤[(B)成分]
B−1:2−(4−アミノフェニルチオ)酢酸(和光純薬工業株式会社製、官能基当量:約61g/mol)
B−2:4−アミノヒドロけい皮酸(東京化成工業株式会社製、官能基当量:約55g/mol)
(2)アミノ基を有する硬化剤[(B’)成分(比較成分)]
B’−3:m−トリジン(和光純薬工業株式会社製、官能基当量:約53g/mol)
B’−4:1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン(和光純薬工業株式会社製、官能基当量:約50g/mol)
(3)カルボキシ基を有する硬化剤[(B’)成分(比較成分)]
B’−5:3,3’−チオジプロピオン酸(和光純薬工業株式会社製、官能基当量:約89g/mol)
B’−6:ピメリン酸(和光純薬工業株式会社製、官能基当量:約80g/mol)
Details of the curing agent used in each example are as follows.
(1) Hardener having an amino group and a carboxy group [Component (B)]
B-1: 2- (4-aminophenylthio) acetic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., functional group equivalent: approx. 61 g / mol)
B-2: 4-Aminohydrocinnamic acid (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., functional group equivalent: approx. 55 g / mol)
(2) Hardener having an amino group [(B') component (comparative component)]
B'-3: m-trizine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., functional group equivalent: approx. 53 g / mol)
B'-4: 1,4-bis (3-aminopropyl) piperazine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., functional group equivalent: approx. 50 g / mol)
(3) Hardener having a carboxy group [(B') component (comparative component)]
B'-5: 3,3'-thiodipropionic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., functional group equivalent: approx. 89 g / mol)
B'-6: Pimelic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., functional group equivalent: approx. 80 g / mol)

表1の結果から、実施例1及び2の樹脂組成物は、算術平均粗さ(Ra)が小さい銅箔に対して、高いピール強度を有していることが分かる。一方、アミノ基のみを有する硬化剤を使用した比較例1及び2、カルボキシ基のみを有する硬化剤を使用した比較例3及び4の樹脂組成物は、実施例より低いピール強度であった。 From the results in Table 1, it can be seen that the resin compositions of Examples 1 and 2 have high peel strength with respect to the copper foil having a small arithmetic mean roughness (Ra). On the other hand, the resin compositions of Comparative Examples 1 and 2 using a curing agent having only an amino group and Comparative Examples 3 and 4 using a curing agent having only a carboxy group had lower peel strength than those of Examples.

本発明により、算術平均粗さ(Ra)の小さい導体層の上に十分なピール強度を有する絶縁樹脂層を形成することができる樹脂組成物、それを用いた接着フィルム、プリプレグ、多層プリント配線板及び半導体装置を提供できる。これらは、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ、テレビ等の電気製品;自動二輪車、自動車、電車、船舶、航空機等の乗り物などに有用である。 According to the present invention, a resin composition capable of forming an insulating resin layer having sufficient peel strength on a conductor layer having a small arithmetic mean roughness (Ra), an adhesive film, a prepreg, and a multilayer printed wiring board using the resin composition. And semiconductor devices can be provided. These are useful for electrical products such as computers, mobile phones, digital cameras, televisions; vehicles such as motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircraft.

Claims (11)

(A)エポキシ樹脂と、(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤と、を含有する樹脂組成物であって、前記(B)成分が、下記一般式(1)で表される、樹脂組成物。

(式中、R は単結合又は2価の有機基を示し、R はスルフィド基を含有する2価の有機基を示す。)
A resin composition containing (A) an epoxy resin and (B) a curing agent having an amino group and a carboxy group , wherein the component (B) is represented by the following general formula (1). Composition.

(In the formula, R 1 represents a single bond or a divalent organic group, and R 2 represents a divalent organic group containing a sulfide group.)
前記一般式(1)中のRが、アルキレン基、アルケニレン基及びアルキニレン基からなる群から選択される2価の炭化水素基、前記2価の炭化水素基とエーテル結合若しくはスルフィド基とが組み合わされた2価の基、又は単結合である、請求項に記載の樹脂組成物。 R 1 in the general formula (1) is a divalent hydrocarbon group selected from the group consisting of an alkylene group, an alkenylene group and an alkynylene group, and the divalent hydrocarbon group is combined with an ether bond or a sulfide group. The resin composition according to claim 1 , which is a divalent group or a single bond. 前記(B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発分(但し、無機充填材を除く。)100質量部に対して、1〜30質量部である、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 The first or second claim, wherein the content of the component (B) is 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the non-volatile content (excluding the inorganic filler) in the resin composition. Resin composition. さらに、(C)硬化促進剤を含有する、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 3 , further comprising (C) a curing accelerator. さらに、(D)フェノキシ樹脂を含有する、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 4 , further comprising (D) a phenoxy resin. 樹脂組成物中における(A)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数に対する、(B)アミノ基及びカルボキシ基を有する硬化剤のエポキシ基に対する活性水素の合計数の比[活性水素/エポキシ基]が、0.2〜2である、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The ratio of the total number of active hydrogens to the epoxy groups of the curing agent having an amino group and a carboxy group to the total number of epoxy groups of the (A) epoxy resin in the resin composition [active hydrogen / epoxy group] is The resin composition according to any one of claims 1 to 5 , which is 0.2 to 2. 算術平均粗さ(Ra)が200nmである銅箔に対する、硬化物のピール強度が、0.32kN/m以上である、請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 6 , wherein the peel strength of the cured product is 0.32 kN / m or more with respect to a copper foil having an arithmetic mean roughness (Ra) of 200 nm. 請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物が支持体上に層形成されてなる、接着フィルム。 An adhesive film formed by forming a layer of the resin composition according to any one of claims 1 to 7 on a support. 請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物がシート状補強基材中に含浸されてなる、プリプレグ。 A prepreg obtained by impregnating a sheet-like reinforcing base material with the resin composition according to any one of claims 1 to 7 . 請求項1〜のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含有する、多層プリント配線板。 A multilayer printed wiring board containing a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 7 . 請求項10に記載の多層プリント配線板を用いた、半導体装置。 A semiconductor device using the multilayer printed wiring board according to claim 10 .
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