JP6953709B2 - Resin composition - Google Patents

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本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、接着フィルム、プリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to resin compositions. Further, the present invention relates to a sheet-like laminated material, an adhesive film, a printed wiring board, and a semiconductor device containing the resin composition.

プリント配線板の製造技術としては、内層基板上に絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。絶縁層は、一般に、樹脂組成物を硬化させることにより形成される。 As a manufacturing technique for a printed wiring board, a manufacturing method by a build-up method in which an insulating layer and a conductor layer are alternately stacked on an inner layer substrate is known. The insulating layer is generally formed by curing the resin composition.

例えば、特許文献1には、(A)エステル骨格を有するエポキシ樹脂、(B)活性エステル型硬化剤及び(C)無機充填材を含有する樹脂組成物であって、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、(C)無機充填材の含有量が50質量%以上であり、(C)無機充填材を100質量部とした場合、(A)エステル骨格を有するエポキシ樹脂が1〜20質量部である樹脂組成物が開示されている。 For example, Patent Document 1 describes a resin composition containing (A) an epoxy resin having an ester skeleton, (B) an active ester-type curing agent, and (C) an inorganic filler, and is a non-volatile component in the resin composition. When 100% by mass, (C) the content of the inorganic filler is 50% by mass or more, and when (C) the inorganic filler is 100 parts by mass, (A) the epoxy resin having an ester skeleton is 1. A resin composition of up to 20 parts by mass is disclosed.

特開2014−177530号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-177530

近年、回路配線の更なる高密度化が求められる中で、プリント配線板のビルドアップによる積層数は増加する傾向にあるが、積層数の増加に伴って絶縁層と導体層との間の熱膨張率の差によるクラックや回路歪みが生じることがある。特許文献1では、無機充填材の含有量を高めることでクラックや回路歪みを解決しようとしている。 In recent years, as circuit wiring is required to have a higher density, the number of laminated layers due to the build-up of printed wiring boards tends to increase. However, as the number of layers increases, the heat between the insulating layer and the conductor layer tends to increase. Cracks and circuit distortion may occur due to the difference in expansion coefficient. Patent Document 1 attempts to solve cracks and circuit distortion by increasing the content of the inorganic filler.

しかしながら、無機充填材の含有量を高めると樹脂組成物の最低溶融粘度が高くなりすぎる。そこで、無機充填材の含有量を高める代わりに、架橋密度が低い熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂など)を用いることが考えられるが、架橋密度が低い熱硬化性樹脂は、樹脂組成物を熱硬化工程にて揮発しやすい。このような事情から、本発明者らは、従来の技術では最低溶融粘度が低く、物性バランスに優れた樹脂組成物を得ることは難しいことを見出した。 However, if the content of the inorganic filler is increased, the minimum melt viscosity of the resin composition becomes too high. Therefore, instead of increasing the content of the inorganic filler, it is conceivable to use a thermosetting resin having a low crosslink density (epoxy resin, etc.), but the thermosetting resin having a low crosslink density heat-cures the resin composition. Easy to volatilize in the process. Under these circumstances, the present inventors have found that it is difficult to obtain a resin composition having a low minimum melt viscosity and an excellent balance of physical properties by the conventional technique.

本発明の課題は、最低溶融粘度が低く、且つ低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層をもたらす樹脂組成物;当該樹脂組成物を含有するシート状積層材料;当該樹脂組成物を含有する接着フィルム;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することにある。 An object of the present invention is a resin composition that provides an insulating layer having a low minimum melt viscosity, low roughness, and high peel strength; a sheet-like laminated material containing the resin composition; and containing the resin composition. Adhesive film; An object of the present invention is to provide a printed wiring board provided with an insulating layer formed by using the resin composition, and a semiconductor device.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、樹脂組成物に(A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂、及び(B)硬化剤を含有させることで、樹脂組成物の最低溶融粘度が低く、且つ誘電正接が低く、低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層をもたらすことを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have made a minimum of the resin composition by incorporating (A) a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure and (B) a curing agent in the resin composition. They have found that they provide an insulating layer having a low melt viscosity, a low dielectric loss tangent, a low roughness, and a high peel strength, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂、及び(B)硬化剤を含む、樹脂組成物。
[2] (A)成分が、下記一般式(1)で表される化合物である、[1]に記載の樹脂組成物。

Figure 0006953709
(式中、Rは、単結合又は2価の連結基を表す。)
[3] 一般式(1)中のRが、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−C(=O)−、−SO−、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる基を表す、[2]に記載の樹脂組成物。
[4] 一般式(1)中のRが、酸素原子、及び置換基を有していてもよいアルキレン基の組み合わせからなる基を表す、[2]又は[3]に記載の樹脂組成物。
[5] (A)成分が、下記化合物である、[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
Figure 0006953709
[6] (A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、1〜20質量%である、[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7] (B)成分が、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及び活性エステル系硬化剤から選択される、[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] さらに、(C)無機充填材を含む、[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9] (C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、[8]に記載の樹脂組成物。
[10] プリント配線板の絶縁層形成用である、[1]〜[9]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11] [1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。
[12] 支持体と、該支持体上に設けられた、[1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、接着フィルム。
[13] 第1の導体層、第2の導体層、及び、第1の導体層と第2の導体層との間に形成された絶縁層を含むプリント配線板であって、
該絶縁層は、[1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物である、プリント配線板。
[14] [13]に記載のプリント配線板を備える、半導体装置。 That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition containing (A) a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure and (B) a curing agent.
[2] The resin composition according to [1], wherein the component (A) is a compound represented by the following general formula (1).
Figure 0006953709
(In the formula, R represents a single bond or a divalent linking group.)
[3] R in the general formula (1) is an oxygen atom, a sulfur atom, -NH-, -C (= O)-, -SO-, an alkylene group which may have a substituent, or a substituent. The resin composition according to [2], which represents an arylene group which may be possessed or a group consisting of a combination of two or more thereof.
[4] The resin composition according to [2] or [3], wherein R in the general formula (1) represents a group consisting of a combination of an oxygen atom and an alkylene group which may have a substituent.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the component (A) is the following compound.
Figure 0006953709
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the content of the component (A) is 1 to 20% by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. thing.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the component (B) is selected from a phenol-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and an active ester-based curing agent.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], further comprising (C) an inorganic filler.
[9] The resin composition according to [8], wherein the content of the component (C) is 50% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass.
[10] The resin composition according to any one of [1] to [9], which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board.
[11] A sheet-like laminated material containing the resin composition according to any one of [1] to [10].
[12] An adhesive film comprising a support and a resin composition layer provided on the support and formed of the resin composition according to any one of [1] to [10].
[13] A printed wiring board including a first conductor layer, a second conductor layer, and an insulating layer formed between the first conductor layer and the second conductor layer.
The insulating layer is a printed wiring board which is a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [10].
[14] A semiconductor device including the printed wiring board according to [13].

本発明によれば、最低溶融粘度が低く、且つ誘電正接が低く、低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層をもたらす樹脂組成物;当該樹脂組成物を含有するシート状積層材料;当該樹脂組成物を含有する接着フィルム;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することができる。 According to the present invention, a resin composition that provides an insulating layer having a low minimum melt viscosity, low dielectric loss tangent, low roughness, and high peel strength; a sheet-like laminated material containing the resin composition; the resin. An adhesive film containing a composition; a printed wiring board provided with an insulating layer formed by using the resin composition, and a semiconductor device can be provided.

図1は、プリント配線板の一例を模式的に示した一部断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view schematically showing an example of a printed wiring board.

以下、本発明の樹脂組成物、シート状積層材料、接着フィルム、プリント配線板、及び半導体装置について詳細に説明する。 Hereinafter, the resin composition, the sheet-like laminated material, the adhesive film, the printed wiring board, and the semiconductor device of the present invention will be described in detail.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂、及び(B)硬化剤を含む樹脂組成物である。これにより、最低溶融粘度が低い樹脂組成物を得ることができる。そして、この樹脂組成物により、誘電正接が低く、低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層をもたらすことができる。以下、樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention is a resin composition containing (A) a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure and (B) a curing agent. Thereby, a resin composition having a low minimum melt viscosity can be obtained. Then, this resin composition can provide an insulating layer having a low dielectric loss tangent, a low roughness, and a high peel strength. Hereinafter, each component contained in the resin composition will be described in detail.

<(A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂>
樹脂組成物は、(A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂を含有する。ここで、1官能エポキシ樹脂とは、分子内に1つのエポキシ基を有するエポキシ樹脂を表す。(A)成分は、樹脂組成物中において希釈剤として作用する。これにより、最低溶融粘度が低くなると考えられる。また、(A)成分は揮発しにくいことから、樹脂組成物を熱硬化させる際に(A)成分が揮発することが抑制される。その結果、(B)成分により硬化される(A)成分の架橋密度が減少することが抑制される。これにより、低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層をもたらす樹脂組成物を提供することができるようになると考えられる。さらに、(A)成分が架橋して得られる重合体の極性が小さいので、その重合体を含む絶縁層の誘電正接を低くすることができる。
<(A) Monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure>
The resin composition contains (A) a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure. Here, the monofunctional epoxy resin represents an epoxy resin having one epoxy group in the molecule. The component (A) acts as a diluent in the resin composition. It is considered that this lowers the minimum melt viscosity. Further, since the component (A) is hard to volatilize, the volatilization of the component (A) is suppressed when the resin composition is thermally cured. As a result, the decrease in the cross-linking density of the component (A) cured by the component (B) is suppressed. It is considered that this makes it possible to provide a resin composition that provides an insulating layer having low roughness and high peel strength. Further, since the polarity of the polymer obtained by cross-linking the component (A) is small, the dielectric loss tangent of the insulating layer containing the polymer can be lowered.

(A)成分は、ビフェニル構造(ビフェニル基)を有する1官能エポキシ樹脂であれば特に限定されず、(A)成分は、液状の、ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂であることが好ましい。また、(A)成分は、分子内に複数のビフェニル構造を有していてもよく、ビフェニル構造には、アルキル基及びアルコキシ基等の置換基が結合していてもよい。これら置換基の炭素原子数は、通常1〜6である(好ましくは1〜3)。 The component (A) is not particularly limited as long as it is a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure (biphenyl group), and the component (A) is preferably a liquid monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure. Further, the component (A) may have a plurality of biphenyl structures in the molecule, and a substituent such as an alkyl group or an alkoxy group may be bonded to the biphenyl structure. The number of carbon atoms of these substituents is usually 1 to 6 (preferably 1 to 3).

ビフェニル構造とエポキシ基とは、直接結合していてもよく、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−C(=O)−、−SO−、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる基等からなる2価の連結基を介して結合していてもよく、2価の連結基を介して結合していることが好ましい。 The biphenyl structure and the epoxy group may be directly bonded, and may have an oxygen atom, a sulfur atom, -NH-, -C (= O)-, -SO-, and an alkylene group which may have a substituent. It may be bonded via a divalent linking group consisting of an arylene group which may have a substituent, a group consisting of two or more combinations thereof, or the like, and is bonded via a divalent linking group. It is preferable to do so.

(A)成分は、下記一般式(1)で表されることが好ましい。

Figure 0006953709
(式中、Rは、単結合又は2価の連結基を表す。) The component (A) is preferably represented by the following general formula (1).
Figure 0006953709
(In the formula, R represents a single bond or a divalent linking group.)

Rは、単結合又は2価の連結基を表し、2価の連結基が好ましい。2価の連結基としては、例えば、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−C(=O)−、−SO−、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる基等が挙げられる。 R represents a single bond or a divalent linking group, and a divalent linking group is preferable. The divalent linking group includes, for example, an oxygen atom, a sulfur atom, -NH-, -C (= O)-, -SO-, an alkylene group which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include an arylene group which may be used, or a group consisting of a combination of two or more of these.

置換基を有していてもよいアルキレン基としては、炭素原子数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1〜6のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数1〜5のアルキレン基、又は炭素原子数1〜3のアルキレン基がさらに好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。このようなアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基、1,1−ジメチルエチレン基等が挙げられ、メチレン基、エチレン基、1,1−ジメチルエチレン基が好ましく、メチレン基がより好ましい。 As the alkylene group which may have a substituent, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms or an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms is preferable. An alkylene group having 1 to 3 carbon atoms is more preferable. The alkylene group may be linear, branched or cyclic. Examples of such an alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a pentylene group, a hexylene group, a 1,1-dimethylethylene group and the like, and a methylene group, an ethylene group and 1,1 -The dimethylethylene group is preferable, and the methylene group is more preferable.

アルキレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、特に制限はなく、例えば、ハロゲン原子、−OH、−O−C1−6アルキル基、−N(C1−6アルキル基)、C1−6アルキル基、C6−10アリール基、−NH、−CN、−C(O)O−C1−6アルキル基、−COOH、−C(O)H、−NO等が挙げられる。 The alkylene group may have a substituent. The substituent is not particularly limited, and is, for example, a halogen atom, -OH, -OC 1-6 alkyl group, -N (C 1-6 alkyl group) 2 , C 1-6 alkyl group, C 6-. Examples thereof include a 10 aryl group, -NH 2 , -CN, -C (O) O-C 1-6 alkyl group, -COOH, -C (O) H, -NO 2 and the like.

ここで、「Cp−q」(p及びqは正の整数であり、p<qを満たす。)という用語は、この用語の直後に記載された有機基の炭素原子数がp〜qであることを表す。例えば、「C1−6アルキル基」という表現は、炭素原子数1〜6のアルキル基を示す。 Here, the term "C p-q " (p and q are positive integers and satisfy p <q) is described immediately after this term and the number of carbon atoms of the organic group is p to q. Indicates that there is. For example, the expression "C 1-6 alkyl group" refers to an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

上述の置換基は、さらに置換基(以下、「二次置換基」という場合がある。)を有していてもよい。二次置換基としては、特に記載のない限り、上述の置換基と同じものを用いてよい。 The above-mentioned substituent may further have a substituent (hereinafter, may be referred to as a "secondary substituent"). Unless otherwise specified, the secondary substituent may be the same as the above-mentioned substituent.

置換基を有していてもよいアリーレン基としては、炭素原子数6〜14のアリーレン基が好ましく、炭素原子数6〜10のアリーレン基がより好ましい。アリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基等が挙げられる。アリーレン基が有していてもよい置換基としては、アルキレン基が有していてもよい置換基と同様である。 As the arylene group which may have a substituent, an arylene group having 6 to 14 carbon atoms is preferable, and an arylene group having 6 to 10 carbon atoms is more preferable. Examples of the arylene group include a phenylene group, a naphthylene group, an anthracenylene group and the like. The substituent which the arylene group may have is the same as the substituent which the alkylene group may have.

これらの2つ以上の組み合わせからなる基としては、1つ以上の酸素原子と1つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基とが結合した基(酸素原子、及び置換基を有していてもよいアルキレン基の組み合わせからなる基)、1つ以上の硫黄原子と1つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基とが結合した基、1つ以上の酸素原子と1つ以上の置換基を有していてもよいアリーレン基とが結合した基、1つ以上の硫黄原子と1つ以上の置換基を有していてもよいアリーレン基とが結合した基等が挙げられる。 The group consisting of a combination of two or more of these has a group (having an oxygen atom and a substituent) in which one or more oxygen atoms and an alkylene group which may have one or more substituents are bonded. A group consisting of a combination of alkylene groups which may be present), a group in which one or more sulfur atoms and an alkylene group which may have one or more substituents are bonded, and one or more oxygen atoms and one. Examples thereof include a group in which an arylene group which may have the above substituents is bonded and a group in which one or more sulfur atoms and an arylene group which may have one or more substituents are bonded. ..

これらの中でも、Rは、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−C(=O)−、−SO−、置換基を有していてもよいアリーレン基、及び置換基を有していてもよいアルキレン基のうち2つ以上の組み合わせからなる基が好ましく、酸素原子、及び置換基を有していてもよいアルキレン基の組み合わせからなる基がより好ましい。 Among these, R may have an oxygen atom, a sulfur atom, -NH-, -C (= O)-, -SO-, an arylene group which may have a substituent, and a substituent. Of the good alkylene groups, a group consisting of a combination of two or more is preferable, and a group consisting of a combination of an oxygen atom and an alkylene group which may have a substituent is more preferable.

ビフェニル構造に含まれるベンゼン環へのRの結合位置は任意であり、オルト位、メタ位、パラ位のいずれでもよい。中でも、顕著な効果を得るためにオルト位が好ましい。 The position of R bonded to the benzene ring contained in the biphenyl structure is arbitrary, and may be any of the ortho position, the meta position, and the para position. Above all, the ortho position is preferable in order to obtain a remarkable effect.

以下、(A)成分の具体例(例示化合物)を示すが、(A)成分はこれらに限定されるものではない。

Figure 0006953709
Hereinafter, specific examples (exemplary compounds) of the component (A) will be shown, but the component (A) is not limited thereto.
Figure 0006953709

(A)成分としては、市販品を用いてもよく、例えば、阪本薬品工業社製の「SY−OPG」(上記例示化合物)、ナガセケムテックス社製の「EX−142」(上記例示化合物)等が挙げられる。 As the component (A), a commercially available product may be used, for example, "SY-OPG" manufactured by Sakamoto Yakuhin Kogyo Co., Ltd. (the above-mentioned example compound) and "EX-142" (the above-mentioned example compound) manufactured by Nagase ChemteX Corporation. And so on.

(A)成分の25℃における粘度としては、樹脂組成物の最低溶融粘度を低くする観点から、1000mPa・s以下が好ましく、500mPa・s以下がより好ましく、300mPa・s以下がさらに好ましい。下限としては、絶縁層表面を低粗度とする観点から、50mPa・s以上が好ましく、100mPa・s以上がより好ましく、150mPa・s以上がさらに好ましい。(A)成分の粘度は、例えばE型粘度計(東機産業製「RE−25U」、1°34’×R24のコーンロータを使用)を用いて、25℃、20rpmの条件で測定することができる。 The viscosity of the component (A) at 25 ° C. is preferably 1000 mPa · s or less, more preferably 500 mPa · s or less, still more preferably 300 mPa · s or less, from the viewpoint of lowering the minimum melt viscosity of the resin composition. As the lower limit, from the viewpoint of making the surface of the insulating layer low in roughness, 50 mPa · s or more is preferable, 100 mPa · s or more is more preferable, and 150 mPa · s or more is further preferable. The viscosity of the component (A) shall be measured at 25 ° C. and 20 rpm using, for example, an E-type viscometer (using a “RE-25U” manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd., a cone rotor of 1 ° 34 ′ × R24). Can be done.

(A)成分のエポキシ当量は、好ましくは50〜3000、より好ましくは50〜1000、さらに好ましくは80〜800、さらにより好ましくは110〜500である。この範囲となることで、樹脂組成物層の硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。 The epoxy equivalent of the component (A) is preferably 50 to 3000, more preferably 50 to 1000, still more preferably 80 to 800, and even more preferably 110 to 500. Within this range, the crosslink density of the cured product of the resin composition layer becomes sufficient, and an insulating layer having a small surface roughness can be provided. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of the resin containing 1 equivalent of the epoxy group.

(A)成分の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight average molecular weight of the component (A) is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, and even more preferably 400 to 1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、樹脂組成物の最低溶融粘度を低くし、且つ誘電正接が低く、低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。(A)成分の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下である。 The content of the component (A) in the resin composition is such that the minimum melt viscosity of the resin composition is lowered, the dielectric loss tangent is low, the roughness is low, and an insulating layer having high peel strength is obtained. When the non-volatile component in the product is 100% by mass, it is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and further preferably 5% by mass or more. The upper limit of the content of the component (A) is not particularly limited as long as the effect of the present invention is exhibited, but is preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, still more preferably 10% by mass or less. ..

<(B)硬化剤>
樹脂組成物は(B)硬化剤を含有する。硬化剤としては、(A)成分(樹脂組成物が後述する(D)エポキシ樹脂を含有する場合は(A)成分及び(D)成分)を硬化する機能を有する限り特に限定されず、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤などが挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。(B)成分は、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上であることが好ましい。
<(B) Hardener>
The resin composition contains (B) a curing agent. The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing the component (A) (when the resin composition contains the epoxy resin (D) described later, the components (A) and (D)), for example. Examples thereof include a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, an active ester-based curing agent, a benzoxazine-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and a carbodiimide-based curing agent. The curing agent may be used alone or in combination of two or more. The component (B) is preferably one or more selected from a phenol-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and an active ester-based curing agent.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤がより好ましい。 As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. Further, from the viewpoint of adhesion to the conductor layer, a nitrogen-containing phenol-based curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent is more preferable.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金社製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN−495V」「SN375」、「SN395」、DIC社製の「TD−2090」、「LA−7052」、「LA−7054」、「LA−1356」、「LA−3018−50P」、「EXB−9500」等が挙げられる。 Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, "MEH-7700", "MEH-7810", "MEH-7851" manufactured by Meiwakasei Workers, and "NHN" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. "CBN", "GPH", "SN170", "SN180", "SN190", "SN475", "SN485", "SN495", "SN-495V", "SN375", "SN395", manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, Examples thereof include "TD-2090", "LA-7052", "LA-7054", "LA-1356", "LA-3018-50P", and "EXB-9500" manufactured by DIC Corporation.

活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 The active ester-based curing agent is not particularly limited, but generally contains one molecule of an ester group having high reactive activity such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds. Compounds having two or more of them are preferably used. The active ester-based curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester-based curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester-based curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid and the like. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-. Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenol, trihydroxybenzophenol, tetrahydroxybenzophenone, fluoroglusin, Examples thereof include benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compounds, and phenol novolac. Here, the "dicyclopentadiene type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing two phenol molecules with one dicyclopentadiene molecule.

具体的には、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン−ジシクロペンチレン−フェニレンからなる2価の構造単位を表す。 Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and an active ester compound containing a benzoylated product of phenol novolac are preferable. Of these, an active ester compound containing a naphthalene structure and an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are more preferable. The "dicyclopentadiene-type diphenol structure" represents a divalent structural unit composed of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」、「HPC−8000H−65TM」、「EXB−8000L−65TM」(DIC社製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC社製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学社製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学社製)、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル系硬化剤として「DC808」(三菱化学社製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル系硬化剤として「YLH1026」(三菱化学社製)、「YLH1030」(三菱化学社製)、「YLH1048」(三菱化学社製)等が挙げられる。 Commercially available products of the active ester-based curing agent include "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T", and "HPC-8000H-" as active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure. "65TM", "EXB-8000L-65TM" (manufactured by DIC), "EXB9416-70BK" (manufactured by DIC) as an active ester compound containing a naphthalene structure, and "DC808" (manufactured by DIC) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac. Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as an active ester compound containing a benzoylated product of phenol novolac, "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as an active ester-based curing agent which is an acetylated product of phenol novolac. Examples of the active ester-based curing agent which is a benzoylated product of phenol novolac include "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), "YLH1030" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) and the like.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。 Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include "HFB2006M" manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd., "Pd" and "FA" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「ULL−950S」(多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester-based curing agent include bisphenol A disicianate, polyphenol cyanate, oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4'-methylenebis (2,6-dimethylphenylcyanate), and 4,4. '-Etilidendiphenyl disianate, hexafluorobisphenol A disyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanate phenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethyl) Bifunctional cyanate resins such as phenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether, phenol Examples thereof include polyfunctional cyanate resins derived from novolak and cresol novolak, and prepolymers in which these cyanate resins are partially triazined. Specific examples of the cyanate ester-based curing agent include "PT30" and "PT60" (phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resin), "ULL-950S" (polyfunctional cyanate ester resin), and "BA230" manufactured by Lonza Japan. , "BA230S75" (a prepolymer in which a part or all of bisphenol A disianate is triazined to form a trimer) and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル社製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。 Specific examples of the carbodiimide-based curing agent include "V-03" and "V-07" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.

(A)成分と(B)成分との量比は、[(A)成分のエポキシ基の合計数]:[(B)成分の反応基の合計数]の比率で、1:0.01〜1:3の範囲が好ましく、1:0.015〜1:2がより好ましく、1:0.02〜1:2がさらに好ましい。ここで、(B)成分の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、(A)成分のエポキシ基の合計数とは、各(A)成分の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべての(A)成分について合計した値であり、(B)成分の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。(A)成分と(B)成分との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物層の硬化物の耐熱性がより向上する。 The amount ratio of the component (A) to the component (B) is a ratio of [total number of epoxy groups of the component (A)]: [total number of reactive groups of the component (B)] from 1: 0.01 to The range of 1: 3 is preferable, 1: 0.015 to 1: 2 is more preferable, and 1: 0.02 to 1: 2 is even more preferable. Here, the reactive group of the component (B) is an active hydroxyl group, an active ester group, or the like, and differs depending on the type of curing agent. The total number of epoxy groups in the component (A) is the sum of the values obtained by dividing the solid content mass of each component (A) by the epoxy equivalent for all the components (A), and the total number of the epoxy groups in the component (B). The total number of reactive groups is a value obtained by dividing the solid content mass of each curing agent by the reactive group equivalent and the total value for all the curing agents. By setting the amount ratio of the component (A) to the component (B) within such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition layer is further improved.

樹脂組成物中の(B)成分の含有量は特に限定されないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下である。また、下限は特に制限はないが好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。硬化剤の含有量を1質量%以上とすることで、(A)成分の架橋密度の低下が抑制され、めっきピール強度を向上させることができ、20質量%以下とすることで、低粗度の絶縁層が形成可能となる。 The content of the component (B) in the resin composition is not particularly limited, but when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, it is preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, still more preferably. Is 10% by mass or less. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and further preferably 5% by mass or more. By setting the content of the curing agent to 1% by mass or more, the decrease in the crosslink density of the component (A) can be suppressed and the plating peel strength can be improved. Insulation layer can be formed.

<(C)無機充填材>
樹脂組成物は、絶縁層の誘電正接及び最低溶融粘度を低くする観点から、(A)〜(B)成分の他に(C)無機充填材を含有していてもよい。
<(C) Inorganic filler>
The resin composition may contain (C) an inorganic filler in addition to the components (A) to (B) from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent and the minimum melt viscosity of the insulating layer.

無機充填材の材料は無機材料であり、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。またシリカとしては球状シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The material of the inorganic filler is an inorganic material, for example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, water. Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , Zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, zirconium tungstate phosphate and the like. Of these, silica is particularly suitable. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica and the like. Further, as silica, spherical silica is preferable. The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more.

無機充填材の平均粒径は、表面粗さの小さい絶縁層を得る観点、及び微細配線形成性向上の観点から、好ましくは3μm以下、より好ましくは2μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。該平均粒径の下限は、特に限定されないが、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.1μm以上、さらに好ましくは0.3μm以上である。このような平均粒径を有する無機充填材の市販品としては、例えば、アドマテックス社製「YC100C」、「YA050C」、「YA050C−MJE」、「YA010C」、電気化学工業社製「UFP−30」、トクヤマ社製「シルフィルNSS−3N」、「シルフィルNSS−4N」、「シルフィルNSS−5N」、アドマテックス社製「SO−C2」、「SO−C1」等が挙げられる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 3 μm or less, more preferably 2 μm or less, still more preferably 1 μm or less, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a small surface roughness and improving the fine wiring formability. The lower limit of the average particle size is not particularly limited, but is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.1 μm or more, and further preferably 0.3 μm or more. Examples of commercially available inorganic fillers having such an average particle size include "YC100C", "YA050C", "YA050C-MJE", "YA010C" manufactured by Admatex, and "UFP-30" manufactured by Denki Kagaku Kogyo. , Tokuyama Corporation "Silfil NSS-3N", "Silfil NSS-4N", "Silfil NSS-5N", Admatex Co., Ltd. "SO-C2", "SO-C1" and the like.

無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波によりメチルエチルケトン中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、堀場製作所社製「LA−500」、島津製作所社製「SALD−2200」等を使用することができる。 The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, it can be measured by creating a particle size distribution of the inorganic filler on a volume basis with a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device and using the median diameter as the average particle size. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in methyl ethyl ketone by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device, "LA-500" manufactured by HORIBA, Ltd., "SALD-2200" manufactured by Shimadzu Corporation, or the like can be used.

無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、フッ素含有シランカップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン化合物、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましく、フッ素含有シランカップリング剤で処理されていることがより好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM−4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM−7103」(3,3,3−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 From the viewpoint of enhancing moisture resistance and dispersibility, the inorganic filler contains a fluorine-containing silane coupling agent, an aminosilane-based coupling agent, an epoxysilane-based coupling agent, a mercaptosilane-based coupling agent, a silane-based coupling agent, and an alkoxysilane. It is preferably treated with one or more surface treatment agents such as a compound, an organosilazane compound, and a titanate-based coupling agent, and more preferably treated with a fluorine-containing silane coupling agent. Examples of commercially available surface treatment agents include "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "SZ-31" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ( Hexamethyldisilazane), "KBM103" (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-4803" (long-chain epoxy type silane coupling agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 7103 ”(3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane) and the like.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、無機充填材100質量部に対して、0.2質量部〜5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部〜3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部〜2質量部で表面処理されていることが好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent is such that the surface treatment is performed with 0.2 parts by mass to 5 parts by mass of the surface treatment agent with respect to 100 parts by mass of the inorganic filler from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. The surface treatment is preferably 0.2 parts by mass to 3 parts by mass, and the surface treatment is preferably 0.3 parts by mass to 2 parts by mass.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度及びシート形態での溶融粘度の上昇を抑制する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of suppressing an increase in the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in the sheet form, 1 mg / m 2 or less is preferable, 0.8 mg / m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg / m 2 or less is further preferable. preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA−320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with a surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid content, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by HORIBA, Ltd. or the like can be used.

樹脂組成物が無機充填材を含有する場合、無機充填材の含有量は、絶縁層の誘電正接及び最低溶融粘度を低くする観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは50質量%以上、より好ましくは55質量%以上、さらに好ましくは60質量%以上、65質量%以上、又は70質量%以上である。樹脂組成物中の無機充填材の含有量の上限は、絶縁層の機械強度の観点から、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下、さらに好ましくは80質量%以下、又は75質量%以下である。 When the resin composition contains an inorganic filler, the content of the inorganic filler is determined when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent and the minimum melt viscosity of the insulating layer. It is preferably 50% by mass or more, more preferably 55% by mass or more, still more preferably 60% by mass or more, 65% by mass or more, or 70% by mass or more. The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, still more preferably 80% by mass or less, or 75% by mass from the viewpoint of the mechanical strength of the insulating layer. % Or less.

<(D)エポキシ樹脂(ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂は除く)>
樹脂組成物は、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、(A)〜(B)成分の他に(D)エポキシ樹脂を含有していてもよい。但し、ここでいう(D)エポキシ樹脂は、(A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂を含めない。
<(D) Epoxy resin (excluding monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure)>
The resin composition may contain (D) epoxy resin in addition to the components (A) to (B) from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting insulation reliability. However, the (D) epoxy resin referred to here does not include the (A) monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure.

(D)エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、及びパーフルオロアルキル型エポキシ樹脂等のフッ素含有エポキシ樹脂;ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;ビスフェノールS型エポキシ樹脂;ビキシレノール型エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂;トリスフェノール型エポキシ樹脂;ナフトールノボラック型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂;tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂;ナフタレン型エポキシ樹脂;ナフトール型エポキシ樹脂;アントラセン型エポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂;グリシジルエステル型エポキシ樹脂;クレゾールノボラック型エポキシ樹脂;ビフェニル型エポキシ樹脂(ビフェニル型1官能エポキシ樹脂は除く);線状脂肪族エポキシ樹脂;ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂;スピロ環含有エポキシ樹脂;シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂;ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂;トリメチロール型エポキシ樹脂;テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。(D)エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the epoxy resin include fluorine-containing epoxy resins such as bisphenol AF type epoxy resin and perfluoroalkyl type epoxy resin; bisphenol A type epoxy resin; bisphenol F type epoxy resin; bisphenol S type epoxy resin; bixyleneol. Type epoxy resin; dicyclopentadiene type epoxy resin; trisphenol type epoxy resin; naphthol novolac type epoxy resin; phenol novolac type epoxy resin; tert-butyl-catechol type epoxy resin; naphthalene type epoxy resin; naphthol type epoxy resin; anthracene type Epoxy resin; glycidylamine type epoxy resin; glycidyl ester type epoxy resin; cresol novolac type epoxy resin; biphenyl type epoxy resin (excluding biphenyl type monofunctional epoxy resin); linear aliphatic epoxy resin; epoxy resin having a butadiene structure; Oil ring type epoxy resin; heterocyclic type epoxy resin; spiro ring-containing epoxy resin; cyclohexanedimethanol type epoxy resin; naphthylene ether type epoxy resin; trimethylol type epoxy resin; tetraphenylethane type epoxy resin and the like can be mentioned. The epoxy resin (D) may be used alone or in combination of two or more.

(D)エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。(D)エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。(D)エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)、及び/又は1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)であることが好ましい。(D)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用してもよい。 The epoxy resin (D) preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the non-volatile component of the epoxy resin (D) is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. (D) The epoxy resin has two or more epoxy groups in one molecule and is liquid at a temperature of 20 ° C. (hereinafter referred to as “liquid epoxy resin”), and / or three or more in one molecule. It is preferable that the epoxy resin has the above-mentioned epoxy group and is solid at a temperature of 20 ° C. (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”). As the (D) epoxy resin, a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin may be used in combination.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学社製の「828US」、「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、新日鉄住金化学社製「YD−8125G」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、ナガセケムテックス社製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)、新日鐵化学社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4−グリシジルシクロヘキサン)、三菱化学社製の「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂)、ダイキン工業社製の「E−7432」、「E−7632」(パーフルオロアルキル型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the liquid epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, and ester skeleton. The alicyclic epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, and epoxy resin having a butadiene structure are preferable, and glycidylamine type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, and bisphenol AF Type epoxy resin and naphthalene type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the liquid epoxy resin include "HP4032", "HP4032D" and "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC, and "828US" and "jER828EL" (bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "JER807" (bisphenol F type epoxy resin), "jER152" (phenol novolac type epoxy resin), "630", "630LSD" (glycidylamine type epoxy resin), "ZX1059" (bisphenol A) manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation. (Mixed product of type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin), "YD-8125G" (bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation. , "Selokiside 2021P" (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton), "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) manufactured by Daicel Co., Ltd., "ZX1658", "ZX1658GS" manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. ( Liquid 1,4-glycidylcyclohexane), "630LSD" (glycidylamine type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "E-7432", "E-7632" (perfluoroalkyl type epoxy resin) manufactured by Daikin Industries, Ltd., etc. Can be mentioned. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂(ビフェニル型1官能エポキシ樹脂は除く)、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビキシレノール型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」、「HP−7200HH」、「HP−7200H」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「EXA−7311」、「EXA−7311−G3」、「EXA−7311−G4」、「EXA−7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬社製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学社製の「ESN475V」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学社製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル社製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学社製の「jER1010」、(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)、「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)等が挙げられる。 Examples of the solid epoxy resin include naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin (biphenyl type monofunctional epoxy resin). (Excluding), naphthylene ether type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin, bixilenol type epoxy resin are preferable, naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, naphthol type epoxy resin, and bi Xylenol type epoxy resin is more preferable. Specific examples of the solid epoxy resin include "HP4032H" (naphthalene type epoxy resin), "HP-4700", "HP-4710" (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), and "N-690" manufactured by DIC. Cresol novolac type epoxy resin), "N-695" (cresol novolac type epoxy resin), "HP-7200", "HP-7200HH", "HP-7200H" (dicyclopentadiene type epoxy resin), "EXA-7311" , "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resin), "EPPN-502H" manufactured by Nippon Kayakusha ( Trisphenol type epoxy resin), "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin), "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3100" (biphenyl type epoxy resin), "ESN475V" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Chemical Co., Ltd. Naphthalene type epoxy resin), "ESN485" (naphthol novolac type epoxy resin), Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YX4000H", "YL6121" (biphenyl type epoxy resin), "YX4000HK" (bixilenol type epoxy resin), "YX8800" (Anthracen type epoxy resin), Osaka Gas Chemical Co., Ltd. "PG-100", "CG-500", Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YL7800" (fluorene type epoxy resin), Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "jER1010", ( Solid bisphenol A type epoxy resin), "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin), "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin) and the like.

(D)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用する場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.1〜1:15の範囲が好ましく、1:0.1〜1:10の範囲がより好ましく、1:0.3〜1:3の範囲がさらに好ましい。 (D) When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, their quantity ratio (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is 1: 0.1 to 1:15 in terms of mass ratio. Is preferable, the range of 1: 0.1 to 1:10 is more preferable, and the range of 1: 0.3 to 1: 3 is even more preferable.

(D)エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、樹脂組成物層の硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin (D) is preferably 50 to 5000, more preferably 50 to 3000, still more preferably 80 to 2000, and even more preferably 110 to 1000. Within this range, the crosslink density of the cured product of the resin composition layer becomes sufficient, and an insulating layer having a small surface roughness can be provided.

(D)エポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。 The weight average molecular weight of the epoxy resin (D) is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, and even more preferably 400 to 1500.

樹脂組成物が(D)エポキシ樹脂を含有する場合、(D)エポキシ樹脂の含有量は、良好な引張破壊強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。(D)エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下である。 When the resin composition contains (D) epoxy resin, the content of (D) epoxy resin is a non-volatile component in the resin composition from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good tensile strength and insulation reliability. When it is 100% by mass, it is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and further preferably 5% by mass or more. The upper limit of the content of the epoxy resin (D) is not particularly limited as long as the effect of the present invention is exhibited, but is preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, still more preferably 10% by mass or less. be.

(D)成分と(B)成分との量比は、[(D)成分のエポキシ基の合計数]:[(B)成分の反応基の合計数]の比率で、1:0.01〜1:3の範囲が好ましく、1:0.015〜1:2がより好ましく、1:0.02〜1:2がさらに好ましい。(B)成分の反応基、(D)成分のエポキシ基の合計数、及び(B)成分の反応基の合計数は上述したとおりである。(D)成分と(B)成分との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物層の硬化物の耐熱性がより向上する。 The amount ratio of the component (D) to the component (B) is a ratio of [total number of epoxy groups of the component (D)]: [total number of reactive groups of the component (B)] from 1: 0.01 to The range of 1: 3 is preferable, 1: 0.015 to 1: 2 is more preferable, and 1: 0.02 to 1: 2 is even more preferable. The total number of reactive groups of the component (B), the total number of epoxy groups of the component (D), and the total number of reactive groups of the component (B) are as described above. By setting the amount ratio of the component (D) to the component (B) within such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition layer is further improved.

<(E)熱可塑性樹脂>
一実施形態において、樹脂組成物は、(E)熱可塑性樹脂を含有し得る。熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂が挙げられ、フェノキシ樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(E) Thermoplastic resin>
In one embodiment, the resin composition may contain (E) a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, and polyether. Examples thereof include ether ketone resin and polyester resin, and phenoxy resin is preferable. The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more.

熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは8,000以上、より好ましくは10,000以上、さらに好ましくは20,000以上、特に好ましくは40,000以上である。上限は特に限定されないが、好ましくは70,000以下、より好ましくは60,000以下である。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として島津製作所社製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工社製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度を40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。 The polystyrene-equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably 8,000 or more, more preferably 10,000 or more, still more preferably 20,000 or more, and particularly preferably 40,000 or more. The upper limit is not particularly limited, but is preferably 70,000 or less, more preferably 60,000 or less. The polystyrene-equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is measured by gel permeation chromatography (GPC). Specifically, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is determined by using LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and Shodex K-800P / K-804L / K- manufactured by Showa Denko Corporation as a column. 804L can be calculated using a standard polystyrene calibration curve by measuring the column temperature at 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学社製の「YL7500BH30」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenol acetphenone skeleton, novolak skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantan skeleton, and terpen. Examples thereof include phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of skeletons and trimethylcyclohexane skeletons. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. The phenoxy resin may be used alone or in combination of two or more. Specific examples of the phenoxy resin include "1256" and "4250" (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin), "YX8100" (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin), and "YX6954" (bisphenol acetophenone) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. (Skeletal-containing phenoxy resin), and also "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, "YL7500BH30", "YX6954BH30", "YX7553", "YX7553BH30", "YL7769BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "YL6794", "YL7213", "YL7290", "YL7482" and the like.

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000−2」、「電化ブチラール5000−A」、「電化ブチラール6000−C」、「電化ブチラール6000−EP」、積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX−5Z)、KSシリーズ(例えばKS−1)、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。 Examples of the polyvinyl acetal resin include polyvinyl formal resin and polyvinyl butyral resin, and polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include "electric butyral 4000-2", "electric butyral 5000-A", "electric butyral 6000-C", "electric butyral 6000-EP", and Sekisui manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Examples thereof include Eslek BH series, BX series (for example, BX-5Z), KS series (for example, KS-1), BL series, and BM series manufactured by Chemical Industries.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyimide resin include "Rikacoat SN20" and "Rikacoat PN20" manufactured by Shin Nihon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include a linear polyimide obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride (polyimide described in JP-A-2006-37083), and a polysiloxane skeleton. Examples thereof include modified polyimides such as contained polyimides (polyimides described in JP-A-2002-12667 and JP-A-2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyamide-imide resin include "Vilomax HR11NN" and "Vilomax HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamide-imide resin include modified polyamide-imides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamide-imide) manufactured by Hitachi Chemical Industries, Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、三菱ガス化学社製のビニル基を有するオリゴフェニレンエーテル・スチレン樹脂「OPE−2St 1200」等が挙げられる。 Specific examples of the polyether sulfone resin include "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. Specific examples of the polyphenylene ether resin include an oligophenylene ether / styrene resin “OPE-2St 1200” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., which has a vinyl group.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include polysulfones "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.

中でも、熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。したがって好適な一実施形態において、熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。中でも、熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂が好ましく、重量平均分子量が40,000以上のフェノキシ樹脂が特に好ましい。重量平均分子量が40,000以上のフェノキシ樹脂を用いることで配線回路の微細化が可能となる。 Among them, as the thermoplastic resin, a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin are preferable. Therefore, in one preferred embodiment, the thermoplastic resin comprises one or more selected from the group consisting of phenoxy resins and polyvinyl acetal resins. Among them, as the thermoplastic resin, a phenoxy resin is preferable, and a phenoxy resin having a weight average molecular weight of 40,000 or more is particularly preferable. By using a phenoxy resin having a weight average molecular weight of 40,000 or more, the wiring circuit can be miniaturized.

樹脂組成物が熱可塑性樹脂を含有する場合、熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.1〜10質量%が好ましく、0.5〜5質量%がより好ましく、1質量%〜5質量%がさらに好ましい。 When the resin composition contains a thermoplastic resin, the content of the thermoplastic resin is preferably 0.1 to 10% by mass, preferably 0.5 to 5% by mass, assuming that the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. The mass% is more preferable, and 1% by mass to 5% by mass is further preferable.

<(F)有機充填材>
一実施形態において、樹脂組成物は、(F)有機充填材を含有し得る。(F)成分を含有させることで、樹脂組成物の硬化物の引張破壊強度を向上させることができる。有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等が挙げられる。
<(F) Organic filler>
In one embodiment, the resin composition may contain (F) an organic filler. By containing the component (F), the tensile breaking strength of the cured product of the resin composition can be improved. As the organic filler, any organic filler that can be used when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used, and examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicone particles.

ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、ダウ・ケミカル日本社製の「EXL−2655」、アイカ工業社製の「AC3401N」、「AC3816N」等が挙げられる。 As the rubber particles, commercially available products may be used, and examples thereof include "EXL-2655" manufactured by Dow Chemical Japan, "AC3401N" and "AC3816N" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd.

樹脂組成物が有機充填材を含有する場合、有機充填材の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.1〜3質量%が好ましく、0.2〜2質量%がより好ましく、0.3〜1質量%がさらに好ましい。 When the resin composition contains an organic filler, the content of the organic filler is preferably 0.1 to 3% by mass, preferably 0.2 to 2% by mass, assuming that the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. The mass% is more preferable, and 0.3 to 1% by mass is further preferable.

<(G)硬化促進剤>
一実施形態において、樹脂組成物は、(G)硬化促進剤を含有し得る。硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、有機過酸化物系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤が好ましく、イミダゾール系硬化促進剤、有機過酸化物系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(G) Curing accelerator>
In one embodiment, the resin composition may contain (G) a curing accelerator. Examples of the curing accelerator include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, organic peroxide-based curing accelerators, and the like. , Phosphorus-based curing accelerator, amine-based curing accelerator, imidazole-based curing accelerator, and metal-based curing accelerator are preferable, and imidazole-based curing accelerator and organic peroxide-based curing accelerator are more preferable. The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Examples of the phosphorus-based curing accelerator include triphenylphosphine, phosphonium borate compound, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, and (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate. , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferable.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられ、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。 Examples of the amine-based curing accelerator include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl) phenol, and 1,8-diazabicyclo. Examples thereof include (5,4,0) -undecene, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of the imidazole-based curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, and the like. 2-Ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-Cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2-Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecyl Imidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4- Diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2- Phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline , 2-Phenylimidazoline and other imidazole compounds and adducts of the imidazole compound and an epoxy resin are mentioned, with 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole being preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱化学社製の「P200−H50」等が挙げられる。 As the imidazole-based curing accelerator, a commercially available product may be used, and examples thereof include "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。 Examples of the guanidine-based curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, and trimethylguanidine. Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] deca-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadesylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 Examples thereof include −allyl biguanide, 1-phenylbiguanide, 1- (o-tolyl) biganide, and dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] deca-5-ene is preferable.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Examples of the metal-based curing accelerator include organic metal complexes or organic metal salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of the organometallic complex include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. Examples thereof include organic zinc complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, zinc stearate and the like.

有機過酸化物系硬化促進剤としては、例えば、ジクミルパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド、tert−ブチルパーオキシベンゾエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−tert−ブチルパーオキシド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキシド、tert−ブチルハイドロパーオキサイドなどが挙げられる。有機過酸化物系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、日油社製の「パークミルD」等が挙げられる。 Examples of the organic peroxide-based curing accelerator include dicumyl peroxide, cyclohexanone peroxide, tert-butyl peroxybenzoate, methyl ethyl ketone peroxide, dicumyl peroxide, tert-butyl cumyl peroxide, and di-tert-butyl. Peroxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, cumene hydroperoxide, tert-butyl hydroperoxide and the like can be mentioned. As the organic peroxide-based curing accelerator, a commercially available product may be used, and examples thereof include "Park Mill D" manufactured by NOF CORPORATION.

樹脂組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.01質量%〜1質量%が好ましく、0.01質量%〜0.5質量%がより好ましく、0.01質量%〜0.1質量%がさらに好ましい。 When the resin composition contains a curing accelerator, the content of the curing accelerator is preferably 0.01% by mass to 1% by mass, preferably 0.01 when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. It is more preferably from% by mass to 0.5% by mass, and even more preferably from 0.01% by mass to 0.1% by mass.

<(H)難燃剤>
一実施形態において、樹脂組成物は、(H)難燃剤を含有し得る。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
<(H) Flame Retardant>
In one embodiment, the resin composition may contain (H) flame retardant. Examples of the flame retardant include an organic phosphorus-based flame retardant, an organic nitrogen-containing phosphorus compound, a nitrogen compound, a silicone-based flame retardant, and a metal hydroxide. The flame retardant may be used alone or in combination of two or more.

難燃剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三光社製の「HCA−HQ」、大八化学工業社製の「PX−200」等が挙げられる。難燃剤としては加水分解しにくいものが好ましく、例えば、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド等が好ましい。 As the flame retardant, a commercially available product may be used, and examples thereof include "HCA-HQ" manufactured by Sanko Co., Ltd. and "PX-200" manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd. As the flame retardant, one that is hard to hydrolyze is preferable, and for example, 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide and the like are preferable.

樹脂組成物が難燃剤を含有する場合、難燃剤の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0.5〜20質量%が好ましく、0.5〜15質量%がより好ましく、0.5〜10質量%がさらに好ましい。 When the resin composition contains a flame retardant, the content of the flame retardant is preferably 0.5 to 20% by mass, preferably 0.5 to 15% by mass, assuming that the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. Is more preferable, and 0.5 to 10% by mass is further preferable.

<(I)任意の添加剤>
一実施形態において、樹脂組成物は、さらに必要に応じて、他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、及び着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。
<(I) Arbitrary additive>
In one embodiment, the resin composition may further contain other additives, if necessary, and such other additives include, for example, an organic copper compound, an organic zinc compound, an organic cobalt compound and the like. Examples thereof include organometallic compounds of the above, thickeners, defoaming agents, leveling agents, adhesion-imparting agents, resin additives such as colorants, and the like.

<樹脂組成物の物性、用途>
本発明の樹脂組成物は、最低溶融粘度が低い。また、この樹脂組成物により、誘電正接が低く、低粗度であり、ピール強度が高い絶縁層をもたらすことができる。したがって、該樹脂組成物は、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層形成用樹脂組成物)としてより好適に使用することができる。また、本発明の樹脂組成物は、部品埋め込み性に良好な絶縁層をもたらすことから、プリント配線板が部品内蔵回路板である場合にも好適に使用することができる。
<Physical characteristics and uses of resin composition>
The resin composition of the present invention has a low minimum melt viscosity. Further, this resin composition can provide an insulating layer having a low dielectric loss tangent, a low roughness, and a high peel strength. Therefore, the resin composition can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board), and interlayer insulation of the printed wiring board. It can be more preferably used as a resin composition for forming a layer (a resin composition for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board). Further, since the resin composition of the present invention provides an insulating layer having good component embedding property, it can be suitably used even when the printed wiring board is a component-embedded circuit board.

樹脂組成物を190℃で90分間熱硬化させた硬化物は、めっき等からなる導体層との密着性(めっきピール強度)に優れるという特性を示す。即ち、良好なめっきピール強度を示す絶縁層をもたらす。めっきピール強度としては、好ましくは0.5kgf/cmを超え、より好ましくは0.53kgf/cm以上、さらに好ましくは0.55kgf/cm以上である。上限は特に限定されないが、10kgf/cm以下、又は1kgf/cm以下等とし得る。めっきピール強度の測定は、後述する<導体層のピール強度(めっきピール強度)の測定>に記載の方法に従って測定することができる。 The cured product obtained by thermosetting the resin composition at 190 ° C. for 90 minutes exhibits a characteristic of excellent adhesion (plating peel strength) to a conductor layer made of plating or the like. That is, it provides an insulating layer showing good plating peel strength. The plating peel strength is preferably more than 0.5 kgf / cm, more preferably 0.53 kgf / cm or more, still more preferably 0.55 kgf / cm or more. The upper limit is not particularly limited, but may be 10 kgf / cm or less, 1 kgf / cm or less, or the like. The plating peel strength can be measured according to the method described in <Measurement of Peel Strength (Plating Peel Strength) of Conductor Layer> described later.

樹脂組成物を200℃で90分間熱硬化させた硬化物は、誘電正接が低いという特性を示す。即ち、誘電正接が低い絶縁層をもたらす。誘電正接としては、好ましくは0.009以下、より好ましくは0.008以下、さらに好ましくは0.007以下である。下限は特に限定されないが、0.0001以上等とし得る。誘電正接の測定は、後述する<誘電正接の測定>に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product obtained by thermosetting the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes exhibits a characteristic of low dielectric loss tangent. That is, it provides an insulating layer having a low dielectric loss tangent. The dielectric loss tangent is preferably 0.009 or less, more preferably 0.008 or less, still more preferably 0.007 or less. The lower limit is not particularly limited, but may be 0.0001 or more. The dielectric loss tangent can be measured according to the method described in <Measurement of dielectric loss tangent> described later.

樹脂組成物の最低溶融粘度は、クラックや回路歪みを抑制する観点から、好ましくは1000poise以下、より好ましくは800poise以下、さらに好ましくは700poise以下である。該最低溶融粘度の下限は、樹脂組成物層が薄くとも厚みを安定して維持するという観点から、50poise以上が好ましく、100poise以上がより好ましく、150poise以上がさらに好ましい。 The minimum melt viscosity of the resin composition is preferably 1000 poise or less, more preferably 800 poise or less, still more preferably 700 poise or less, from the viewpoint of suppressing cracks and circuit distortion. The lower limit of the minimum melt viscosity is preferably 50 poise or more, more preferably 100 poise or more, still more preferably 150 poise or more, from the viewpoint of stably maintaining the thickness even if the resin composition layer is thin.

最低溶融粘度とは、樹脂組成物の樹脂が溶融した際に樹脂組成物が呈する最低の粘度をいう。詳細には、一定の昇温速度で樹脂組成物を加熱して樹脂を溶融させると、初期の段階は溶融粘度が温度上昇とともに低下し、その後、ある程度を超えると温度上昇とともに溶融粘度が上昇する。最低溶融粘度とは、斯かる極小点の溶融粘度をいう。樹脂組成物の最低溶融粘度は、動的粘弾性法により測定することができ、例えば、後述する<最低溶融粘度の測定>に記載の方法に従って測定することができる。 The minimum melt viscosity means the minimum viscosity exhibited by the resin composition when the resin of the resin composition is melted. Specifically, when the resin composition is heated at a constant temperature rise rate to melt the resin, the melt viscosity decreases with increasing temperature in the initial stage, and then increases with temperature increase after a certain level. .. The minimum melt viscosity means the melt viscosity of such a minimum point. The minimum melt viscosity of the resin composition can be measured by a dynamic viscoelastic method, and can be measured, for example, according to the method described in <Measurement of minimum melt viscosity> described later.

[シート状積層材料]
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用することもできるが、工業的には一般に、該樹脂組成物を含むシート状積層材料の形態で用いることが好適である。シート状積層材料としては、以下に示す接着フィルム、プリプレグが好ましい。
[Sheet-like laminated material]
The resin composition of the present invention can be applied and used in a varnished state, but industrially, it is generally preferable to use the resin composition in the form of a sheet-like laminated material containing the resin composition. As the sheet-like laminated material, the following adhesive films and prepregs are preferable.

<接着フィルム>
一実施形態において、接着フィルムは、支持体と、該支持体上に設けられた樹脂組成物層とを含み、樹脂組成物層は本発明の樹脂組成物から形成される。
<Adhesive film>
In one embodiment, the adhesive film comprises a support and a resin composition layer provided on the support, and the resin composition layer is formed from the resin composition of the present invention.

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、さらにより好ましくは50μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、1μm以上、5μm以上、10μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, still more preferably 50 μm or less, from the viewpoint of reducing the thickness of the printed wiring board. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but may be usually 1 μm or more, 5 μm or more, 10 μm or more, or the like.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a paper pattern, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, the plastic material may be, for example, polyethylene terephthalate (hereinafter, may be abbreviated as "PET") or polyethylene naphthalate (hereinafter, abbreviated as "PEN"). ) And other polyesters, polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylics such as polymethylmethacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetylcellulose (TAC), polyethersulfide (PES), polyethers. Examples thereof include ketones and polyimides. Of these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, and copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. You may use it.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may be matted, corona-treated, or antistatic-treated on the surface to be joined to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」、東レ社製「ルミラーT60」帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be joined with the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used for the release layer of the support with the release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resin, polyolefin resin, urethane resin, and silicone resin. .. As the support with a release layer, a commercially available product may be used. For example, "SK-1" and "SK-1" manufactured by Lintec Corporation, which are PET films having a release layer containing an alkyd resin-based release agent as a main component. Examples include "AL-5" and "AL-7", "Lumilar T60" manufactured by Toray Industries, Inc., "Purex" manufactured by Teijin Ltd., and "Unipee" manufactured by Unitika Ltd.

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When a support with a release layer is used, the thickness of the entire support with a release layer is preferably in the above range.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the adhesive film, for example, a resin varnish in which a resin composition is dissolved in an organic solvent is prepared, and this resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like and further dried to form a resin composition layer. It can be manufactured by.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, acetate esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butyl carbitol and the like. Examples thereof include carbitols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. The organic solvent may be used alone or in combination of two or more.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be carried out by a known method such as heating or blowing hot air. The drying conditions are not particularly limited, but the resin composition layer is dried so that the content of the organic solvent is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it depends on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of an organic solvent is used, the resin composition is obtained by drying at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 to 10 minutes. A material layer can be formed.

接着フィルムにおいて、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 In the adhesive film, a protective film similar to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer that is not bonded to the support (that is, the surface opposite to the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from adhering to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can be rolled up and stored. If the adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

<プリプレグ>
一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に本発明の樹脂組成物を含浸させて形成される。
<Prepreg>
In one embodiment, the prepreg is formed by impregnating a sheet-like fiber base material with the resin composition of the present invention.

プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。プリント配線板の薄型化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下であり、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、さらにより好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されないが、通常、10μm以上である。 The sheet-shaped fiber base material used for the prepreg is not particularly limited, and those commonly used as the base material for the prepreg such as glass cloth, aramid non-woven fabric, and liquid crystal polymer non-woven fabric can be used. From the viewpoint of reducing the thickness of the printed wiring board, the thickness of the sheet-shaped fiber base material is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, still more preferably 20 μm or less. The lower limit of the thickness of the sheet-shaped fiber base material is not particularly limited, but is usually 10 μm or more.

プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の公知の方法により製造することができる。 The prepreg can be produced by a known method such as a hot melt method or a solvent method.

プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲とし得る。 The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the above-mentioned adhesive film.

[プリント配線板、プリント配線板の製造方法]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層、第1の導体層、及び第2の導体層を含む。絶縁層は、第1の導体層と第2の導体層との間に設けられていて、第1の導体層と第2の導体層とを絶縁している(導体層は配線層ということがある)。
[Manufacturing method of printed wiring board and printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer, a first conductor layer, and a second conductor layer formed by a cured product of the resin composition of the present invention. The insulating layer is provided between the first conductor layer and the second conductor layer, and insulates the first conductor layer and the second conductor layer (the conductor layer is a wiring layer). be).

第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚みは、好ましくは6μm以下、より好ましくは5.5μm以下、さらに好ましくは5μm以下である。下限については特に限定されないが0.1μm以上とし得る。第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚みとは、図1に一例を示したように、第1の導体層1の主面11と第2の導体層2の主面21間の絶縁層3の厚みt1のことをいう。第1及び第2の導体層は絶縁層を介して隣り合う導体層であり、主面11及び主面21は互いに向き合っている。 The thickness of the insulating layer between the first and second conductor layers is preferably 6 μm or less, more preferably 5.5 μm or less, still more preferably 5 μm or less. The lower limit is not particularly limited, but may be 0.1 μm or more. The thickness of the insulating layer between the first and second conductor layers is the insulation between the main surface 11 of the first conductor layer 1 and the main surface 21 of the second conductor layer 2, as shown by an example in FIG. It refers to the thickness t1 of the layer 3. The first and second conductor layers are adjacent conductor layers via an insulating layer, and the main surface 11 and the main surface 21 face each other.

なお、絶縁層全体の厚みt2は、好ましくは30μm以下、より好ましくは20μm以下、さらに好ましくは15μm以下、又は10μm以下である。下限については特に限定されないが、通常、1μm以上、1.5μm以上、2μm以上等とし得る。 The thickness t2 of the entire insulating layer is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, still more preferably 15 μm or less, or 10 μm or less. The lower limit is not particularly limited, but is usually 1 μm or more, 1.5 μm or more, 2 μm or more, and the like.

プリント配線板は、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
The printed wiring board can be manufactured by a method including the following steps (I) and (II) using the above-mentioned adhesive film.
(I) A step of laminating the resin composition layer of the adhesive film on the inner layer substrate so as to be bonded to the inner layer substrate (II) A step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer.

工程(I)で用いる「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物としての内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用し得る。 The "inner layer substrate" used in the step (I) is mainly a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a heat-curable polyphenylene ether substrate, or the like, or one or both sides of the substrate. A circuit board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed. Further, an inner layer circuit board as an intermediate product on which an insulating layer and / or a conductor layer should be formed when the printed wiring board is manufactured is also included in the "inner layer board" in the present invention. When the printed wiring board is a circuit board with built-in components, an inner layer board with built-in components can be used.

内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The inner layer substrate and the adhesive film can be laminated, for example, by heat-pressing the adhesive film to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for heat-pressing the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter, also referred to as “heat-bonding member”) include a heated metal plate (SUS end plate or the like) or a metal roll (SUS roll). It is preferable not to press the heat-bonded member directly onto the adhesive film, but to press it through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the surface irregularities of the inner layer substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 The inner layer substrate and the adhesive film may be laminated by a vacuum laminating method. In the vacuum laminating method, the heat crimping temperature is preferably in the range of 60 ° C. to 160 ° C., more preferably 80 ° C. to 140 ° C., and the heat crimping pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. It is in the range of .29 MPa to 1.47 MPa, and the heat crimping time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions at a pressure of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be performed by a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum pressurizing laminator manufactured by Meiki Co., Ltd., a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, and a batch type vacuum pressurizing laminator.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After laminating, the laminated adhesive film may be smoothed by pressing the heat-bonded member from the support side under normal pressure (under atmospheric pressure), for example. The press conditions for the smoothing treatment can be the same as the heat-bonding conditions for the above-mentioned lamination. The smoothing process can be performed by a commercially available laminator. The lamination and smoothing treatment may be continuously performed using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and step (II) or after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。 In step (II), the resin composition layer is thermoset to form an insulating layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 The thermosetting conditions of the resin composition layer are not particularly limited, and the conditions usually adopted when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜220℃の範囲、より好ましくは170℃〜200℃の範囲)、硬化時間は5分間〜120分間の範囲(好ましくは10分間〜100分間、より好ましくは15分間〜90分間)とすることができる。 For example, the thermosetting conditions of the resin composition layer differ depending on the type of the resin composition and the like, but the curing temperature is in the range of 120 ° C. to 240 ° C. (preferably in the range of 150 ° C. to 220 ° C., more preferably 170 ° C. to 170 ° C. The curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。 Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is heated at a temperature of 50 ° C. or higher and lower than 120 ° C. (preferably 60 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 100 ° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or longer (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(II)〜(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層配線板を形成してもよい。この場合、それぞれの導体層間の絶縁層の厚み(図1のt1)は上記範囲内であることが好ましい。 In manufacturing the printed wiring board, (III) a step of drilling a hole in the insulating layer, (IV) a step of roughening the insulating layer, and (V) a step of forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art used for manufacturing a printed wiring board. When the support is removed after the step (II), the support is removed between the steps (II) and the step (III), between the steps (III) and the step (IV), or the step ( It may be carried out between IV) and step (V). Further, if necessary, the formation of the insulating layer and the conductor layer in steps (II) to (V) may be repeated to form the multilayer wiring board. In this case, the thickness of the insulating layer between the respective conductor layers (t1 in FIG. 1) is preferably within the above range.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 The step (III) is a step of drilling holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. The step (III) may be carried out by using, for example, a drill, a laser, a plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。粗化処理に用いる膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃〜80℃の膨潤液に絶縁層を5分間〜15分間浸漬させることが好ましい。粗化処理に用いる酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions usually used when forming the insulating layer of the printed wiring board can be adopted. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. The swelling solution used for the roughening treatment is not particularly limited, and examples thereof include an alkaline solution and a surfactant solution, preferably an alkaline solution, and the alkaline solution is more preferably a sodium hydroxide solution or a potassium hydroxide solution. preferable. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Security SBU" and "Swelling Dip Security SBU" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited, but can be performed, for example, by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 30 ° C. to 90 ° C. for 1 minute to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 15 minutes. The oxidizing agent used in the roughening treatment is not particularly limited, and examples thereof include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 ° C. to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Security P" manufactured by Atotech Japan. The neutralizing solution used for the roughening treatment is preferably an acidic aqueous solution, and examples of commercially available products include "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan. The treatment with the neutralizing liquid can be carried out by immersing the treated surface that has been roughened with the oxidizing agent in the neutralizing liquid at 30 ° C. to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability and the like, a method of immersing the object roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 ° C. to 70 ° C. for 5 to 20 minutes is preferable.

本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むことから、粗度を低くすることができる。一実施形態において、樹脂組成物を100℃で30分間、次いで180℃で30分間熱硬化させた硬化物を粗化処理した後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、好ましくは150nm以下、より好ましくは125nm以下、さらに好ましくは100nm以下である。下限については特に限定されないが、10nm以上又は50nm以上等とし得る。算術平均粗さ(Ra)の測定は、例えば、後述する<算術平均粗さ(Ra)の測定>に記載の方法に従って測定することができる。 Since the printed wiring board of the present invention contains an insulating layer formed of a cured product of the resin composition of the present invention, the roughness can be lowered. In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the insulating layer after roughening the cured product obtained by thermally curing the resin composition at 100 ° C. for 30 minutes and then at 180 ° C. for 30 minutes is preferably 150 nm. Below, it is more preferably 125 nm or less, still more preferably 100 nm or less. The lower limit is not particularly limited, but may be 10 nm or more, 50 nm or more, or the like. The arithmetic mean roughness (Ra) can be measured, for example, according to the method described in <Measurement of Arithmetic Mean Roughness (Ra)> described later.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。内層基板に導体層が形成されていない場合、工程(V)は第1の導体層を形成する工程であり、内層基板に導体層が形成されている場合、該導体層が第1の導体層であり、工程(V)は第2の導体層を形成する工程である。 Step (V) is a step of forming a conductor layer. When the conductor layer is not formed on the inner layer substrate, the step (V) is a step of forming the first conductor layer, and when the conductor layer is formed on the inner layer substrate, the conductor layer is the first conductor layer. The step (V) is a step of forming the second conductor layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer is one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer may be, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper, etc.). A layer formed of a nickel alloy and a copper / titanium alloy) can be mentioned. Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or a nickel-chromium alloy, copper, etc. An alloy layer of a nickel alloy or a copper-titanium alloy is preferable, and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy is more preferable, and a single copper layer is preferable. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single-layer structure, a single metal layer made of different types of metals or alloys, or a multi-layer structure in which two or more alloy layers are laminated. When the conductor layer has a multi-layer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。 The thickness of the conductor layer is generally 3 μm to 35 μm, preferably 5 μm to 30 μm, depending on the desired printed wiring board design.

一実施形態において、導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, the surface of the insulating layer can be plated by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full additive method to form a conductor layer having a desired wiring pattern. Hereinafter, an example of forming the conductor layer by the semi-additive method will be shown.

まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern that exposes a part of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern is formed on the formed plating seed layer. After forming a metal layer by electrolytic plating on the exposed plating seed layer, the mask pattern is removed. After that, the unnecessary plating seed layer can be removed by etching or the like to form a conductor layer having a desired wiring pattern.

本発明の接着フィルムは、部品埋め込み性にも良好な絶縁層をもたらすことから、プリント配線板が部品内蔵回路板である場合にも好適に使用することができる。部品内蔵回路板は公知の製造方法により作製することができる。 Since the adhesive film of the present invention provides an insulating layer having good component embedding properties, it can be suitably used even when the printed wiring board is a component-embedded circuit board. The component-embedded circuit board can be manufactured by a known manufacturing method.

本発明の接着フィルムを用いて製造されるプリント配線板は、接着フィルムの樹脂組成物層の硬化物である絶縁層と、絶縁層に埋め込まれた埋め込み型配線層と、を備える態様であってもよい。 The printed wiring board manufactured by using the adhesive film of the present invention has an embodiment including an insulating layer which is a cured product of the resin composition layer of the adhesive film and an embedded wiring layer embedded in the insulating layer. May be good.

他の実施形態において、プリント配線板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。 In another embodiment, the printed wiring board can be manufactured using the prepreg described above. The manufacturing method is basically the same as when an adhesive film is used.

[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
The semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured by using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electric products (for example, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. The "conduction point" is a "place for transmitting an electric signal in the printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded place. Further, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The mounting method of the semiconductor chip in manufacturing a semiconductor device is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and a bumpless build-up layer. Examples thereof include a mounting method using (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a mounting method using a non-conductive film (NCF), and the like. Here, the "mounting method using the bumpless build-up layer (BBUL)" means "a mounting method in which the semiconductor chip is directly embedded in the recess of the printed wiring board and the semiconductor chip is connected to the wiring on the printed wiring board". Is.

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下において、「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples. The present invention is not limited to these examples. In the following, "parts" and "%" mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified.

<ピール強度、算術平均粗さ(Ra値)測定用サンプルの調製>
(1)内層回路基板の下地処理
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm、パナソニック社製「R1515A」)の両面をメック社製「CZ8101」にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行った。
<Preparation of sample for measuring peel strength and arithmetic mean roughness (Ra value)>
(1) Base treatment of inner layer circuit board Both sides of glass cloth base material epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.8 mm, Panasonic “R1515A”) on which the inner layer circuit is formed. Was etched by 1 μm with “CZ8101” manufactured by MEC to roughen the copper surface.

(2)接着フィルムの積層
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、2ステージビルドアップラミネーター、CVP700)を用いて、樹脂組成物層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の両面にラミネート処理した。ラミネート処理は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。次いで、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間熱プレスを行った。
(2) Lamination of Adhesive Films The adhesive films produced in Examples and Comparative Examples were subjected to a resin composition layer using a batch type vacuum pressure laminator (2-stage build-up laminator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., CVP700). Both sides of the inner layer circuit board were laminated so as to be bonded to the inner layer circuit board. The laminating treatment was carried out by reducing the pressure for 30 seconds to reduce the atmospheric pressure to 13 hPa or less, and then crimping at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Then, heat pressing was performed at 100 ° C. and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds.

(3)樹脂組成物の硬化
接着フィルムの積層後、100℃で30分間、次いで180℃で30分間の条件で樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成した。その後、支持体を剥離して絶縁層を露出させた。
(3) Curing of Resin Composition After laminating the adhesive film, the resin composition layer was heat-cured at 100 ° C. for 30 minutes and then at 180 ° C. for 30 minutes to form an insulating layer. Then, the support was peeled off to expose the insulating layer.

(4)粗化処理
絶縁層の露出した内層回路基板を、膨潤液(アトテックジャパン社製「スエリングディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル含有の水酸化ナトリウム水溶液)に60℃で10分間浸漬し、次いで酸化剤(アトテックジャパン社製「コンセントレート・コンパクトCP」、過マンガン酸カリウム濃度約6質量%、水酸化ナトリウム濃度約4質量%の水溶液)に80℃で20分間浸漬し、最後に中和液(アトテックジャパン社製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸ヒドロキシルアミン水溶液)に40℃で5分間浸漬した。その後、80℃で15分間乾燥させた。得られた基板を「評価基板a」と称する。
(4) Roughing treatment The inner layer circuit board with the exposed insulating layer is immersed in a swelling solution (Atotech Japan's "Swelling Dip Securigant P", an aqueous solution of sodium hydroxide containing diethylene glycol monobutyl ether) at 60 ° C. for 10 minutes. Then, soak in an oxidizing agent (Atotech Japan's "Concentrate Compact CP", an aqueous solution with a potassium permanganate concentration of about 6% by mass and a sodium hydroxide concentration of about 4% by mass) at 80 ° C. for 20 minutes, and finally inside. It was immersed in a Japanese solution (“Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan, aqueous solution of hydroxylamine sulfate) at 40 ° C. for 5 minutes. Then, it was dried at 80 ° C. for 15 minutes. The obtained substrate is referred to as "evaluation substrate a".

(5)導体層の形成
セミアディティブ法に従って、絶縁層の粗化面に導体層を形成した。すなわち、下記1〜6の工程を含むめっき工程(アトテックジャパン社製の薬液を使用した銅めっき工程)を行って導体層を形成した。
(5) Formation of Conductor Layer A conductor layer was formed on the roughened surface of the insulating layer according to the semi-additive method. That is, the conductor layer was formed by performing a plating step (copper plating step using a chemical solution manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) including the following steps 1 to 6.

1.アルカリクリーニング(ビアホールが設けられた絶縁層の表面の洗浄と電荷調整)
評価基板aの表面を、Cleaning Cleaner Securiganth 902(商品名)を用いて60℃で5分間洗浄した。
2.ソフトエッチング(ビアホール内の洗浄)
評価基板aの表面を、硫酸酸性ペルオキソ二硫酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃で1分間処理した。
3.プレディップ(Pd付与のための絶縁層の表面の電荷の調整)
評価基板aの表面を、Pre. Dip Neoganth B(商品名)を用い、室温で1分間処理した。
4.アクティヴェーター付与(絶縁層の表面へのPdの付与)
評価基板aの表面を、Activator Neoganth 834(商品名)を用い、35℃で5分間処理した。
5.還元(絶縁層に付与されたPdを還元)
評価基板aの表面を、Reducer Neoganth WA(商品名)とReducer Acceralator 810 mod.(商品名)との混合液を用い、30℃で5分間処理した。
6.無電解銅めっき工程(Cuを絶縁層の表面(Pd表面)に析出)
Basic Solution Printganth MSK−DK(商品名)と、Copper solution Printganth MSK(商品名)と、Stabilizer Printganth MSK−DK(商品名)と、Reducer Cu(商品名)との混合液を用いて、35℃で20分間評価基板aの表面を処理して、無電解めっき層を形成した。形成された無電解銅めっき層の厚さは0.8μmであった。
1. 1. Alkaline cleaning (cleaning of the surface of the insulating layer with via holes and charge adjustment)
The surface of the evaluation substrate a was washed with Cleaning Cleaner Security 902 (trade name) at 60 ° C. for 5 minutes.
2. Soft etching (cleaning inside the via hole)
The surface of the evaluation substrate a was treated with an aqueous solution of sodium sulfate-acidic peroxodisulfate at 30 ° C. for 1 minute.
3. 3. Predip (Adjustment of charge on the surface of the insulating layer for Pd application)
The surface of the evaluation substrate a was changed to Pre. Treatment was performed at room temperature for 1 minute using Dip Neoganth B (trade name).
4. Add activator (give Pd to the surface of the insulating layer)
The surface of the evaluation substrate a was treated with Activator Neoganth 834 (trade name) at 35 ° C. for 5 minutes.
5. Reduction (Pd applied to the insulating layer is reduced)
The surface of the evaluation substrate a was subjected to Reducer Neoganth WA (trade name) and Reducer Acceralator 810 modding. Using a mixed solution with (trade name), the treatment was carried out at 30 ° C. for 5 minutes.
6. Electroless copper plating process (Cu is deposited on the surface of the insulating layer (Pd surface))
A mixture of Basic Solution Printed MSK-DK (trade name), Copper solution Printganth MSK (trade name), Stabilizer Printganth MSK-DK (trade name), and Reducer Cu (trade name) at 35 ° C. The surface of the evaluation substrate a was treated for 20 minutes to form an electroless plating layer. The thickness of the formed electroless copper plating layer was 0.8 μm.

次いで、150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによりパターン形成した。その後、アトテックジャパン社製の薬液を使用して、硫酸銅電解メッキを行い、厚さ30μmの導体層を形成し、アニール処理を200℃にて60分間行った。得られた基板を「評価基板b」と称する。 Then, after heating at 150 ° C. for 30 minutes to perform annealing treatment, an etching resist was formed and a pattern was formed by etching. Then, copper sulfate electrolytic plating was performed using a chemical solution manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. to form a conductor layer having a thickness of 30 μm, and annealing treatment was performed at 200 ° C. for 60 minutes. The obtained substrate is referred to as "evaluation substrate b".

<算術平均粗さ(Ra)の測定>
前記(4)粗化処理で得た評価基板aについて、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製「WYKO NT3300」)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値により、絶縁層表面のRa値を求めた。無作為に選んだ6点の平均値を求めることにより測定した。
<Measurement of Arithmetic Mean Roughness (Ra)>
Regarding the evaluation substrate a obtained by the (4) roughening treatment, the measurement range was 121 μm × 92 μm by using a non-contact type surface roughness meter (“WYKO NT3300” manufactured by Becoin Sturments) in VSI contact mode and a 50x lens. The Ra value of the surface of the insulating layer was determined from the numerical value obtained as. It was measured by calculating the average value of 6 randomly selected points.

<導体層のピール強度(めっきピール強度)の測定>
絶縁層と導体層のピール強度の測定は、評価基板bについて、日本工業規格(JIS C6481)に準拠して行った。具体的には、評価基板bの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定し、剥離強度を求めた。測定には、引っ張り試験機(TSE社製「AC−50C−SL」)を使用した。
<Measurement of peel strength (plating peel strength) of conductor layer>
The peel strength of the insulating layer and the conductor layer was measured for the evaluation substrate b in accordance with the Japanese Industrial Standards (JIS C6481). Specifically, a notch having a width of 10 mm and a length of 100 mm is made in the conductor layer of the evaluation substrate b, one end of the notch is peeled off, and the conductor layer is grasped with a gripper. The load (kgf / cm) when the 35 mm was peeled off was measured, and the peeling strength was determined. A tensile tester (“AC-50C-SL” manufactured by TSE) was used for the measurement.

<最低溶融粘度の測定>
実施例及び比較例で作製した接着フィルムにおける樹脂組成物層の最低溶融粘度を測定した。ユー・ビー・エム社製「Rheosol−G3000」を使用して、樹脂量は1g、直径18mmのパラレルプレートを使用し、開始温度60℃から200℃まで、昇温速度5℃/分、測定温度間隔2.5℃、振動1Hz/degの測定条件にて最低溶融粘度を測定した。
<Measurement of minimum melt viscosity>
The minimum melt viscosity of the resin composition layer in the adhesive films produced in Examples and Comparative Examples was measured. Using "Rheosol-G3000" manufactured by UBM, using a parallel plate with a resin amount of 1 g and a diameter of 18 mm, the starting temperature is from 60 ° C to 200 ° C, the temperature rise rate is 5 ° C / min, and the measurement temperature. The minimum melt viscosity was measured under the measurement conditions of an interval of 2.5 ° C. and a vibration of 1 Hz / deg.

<誘電正接の測定>
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを200℃にて90分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させた後、支持体を剥離した。得られた硬化物を「評価用硬化物c」と称する。評価用硬化物cを、幅2mm、長さ80mmの試験片に切断した。該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The adhesive films produced in Examples and Comparative Examples were heated at 200 ° C. for 90 minutes to heat-cure the resin composition layer, and then the support was peeled off. The obtained cured product is referred to as "evaluation cured product c". The cured product c for evaluation was cut into test pieces having a width of 2 mm and a length of 80 mm. The dielectric loss tangent of the test piece was measured using "HP8362B" manufactured by Agilent Technologies, Inc. at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonance perturbation method. Measurements were made on the two test pieces, and the average value was calculated.

<エポキシ樹脂の粘度の測定>
ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂、及び一部のエポキシ樹脂の粘度(25℃)は、E型粘度計(東機産業製「RE−25U」、1°34’×R24のコーンロータを使用)を用いて、25℃、20rpmの条件で測定した。
<Measurement of epoxy resin viscosity>
The viscosity (25 ° C) of the monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure and some epoxy resins is an E-type viscometer (using "RE-25U" manufactured by Toki Sangyo, 1 ° 34'x R24 cone rotor). Was measured at 25 ° C. and 20 rpm.

<実施例1>
ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂(阪本薬品工業社製「SY−OPG」、エポキシ当量約230、粘度205mPa・s)30部、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量332)30部をソルベントナフサ55部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。その混合溶液に、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、アドマテックス社製「SO−C2」)260部、メタクリルブタジエンスチレンゴム粒子(ダウ・ケミカル日本社製「EXL−2655」)3部を添加し、3本ロールで混練して均一に分散させた。そのロール分散物へ、活性エステル化合物(DIC社製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)40部、フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)40部、硬化促進剤(「DMAP」、4−ジメチルアミノピリジン、固形分5質量%のメチルエチルケトン(以下「MEK」と略称する)溶液)6部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニス1を調製した。
<Example 1>
Monofunctional epoxy resin with biphenyl structure ("SY-OPG" manufactured by Sakamoto Yakuhin Kogyo Co., Ltd., epoxy equivalent about 230, viscosity 205 mPa · s) 30 parts, naphthol type epoxy resin ("ESN475V" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 332) ) 30 parts were dissolved by heating in 55 parts of solvent naphtha with stirring, and then cooled to room temperature. 260 parts of spherical silica (average particle size 0.5 μm, Admatex “SO-C2”) surface-treated with an aminosilane-based coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and methacrylic butadiene in the mixed solution. Three parts of styrene rubber particles (“EXL-2655” manufactured by Dow Chemical Japan, Inc.) were added and kneaded with three rolls to uniformly disperse them. To the roll dispersion, 40 parts of an active ester compound (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC, an active group equivalent of about 223, a toluene solution having a non-volatile component of 65% by mass), a phenoxy resin (“YX6954BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), 40 parts of MEK with a solid content of 30% by mass (1: 1 solution of cyclohexanone), curing accelerator ("DMAP", 4-dimethylaminopyridine, methyl ethyl ketone solution with a solid content of 5% by mass (hereinafter abbreviated as "MEK")) Six parts were mixed and uniformly dispersed with a high-speed rotary mixer to prepare resin varnish 1.

支持体として、アルキド樹脂系離型剤(リンテック社製「AL−5」)で離型処理したPETフィルム(東レ社製「ルミラーR80」、厚み38μm、軟化点130℃、「離型PET」)を用意した。該支持体の離型層上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるように樹脂ワニス1を均一に塗布し、80〜120℃(平均100℃)で5分間乾燥させて、接着フィルム1を作製した。 As a support, a PET film released with an alkyd resin-based mold release agent (Lintec's "AL-5") (Toray's "Lumira R80", thickness 38 μm, softening point 130 ° C, "release PET") I prepared. Resin varnish 1 is uniformly applied onto the release layer of the support so that the thickness of the resin composition layer after drying is 40 μm, and dried at 80 to 120 ° C. (average 100 ° C.) for 5 minutes. , Adhesive film 1 was produced.

<実施例2>
実施例1において、ロール分散物に、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA−3018−50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液)14部をさらに混合した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス2、接着フィルム2を作製した。
<Example 2>
In Example 1, 14 parts of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent (“LA-3018-50P” manufactured by DIC Corporation, a hydroxyl group equivalent of about 151, and a 2-methoxypropanol solution having a solid content of 50%) was further mixed with the roll dispersion. bottom. A resin varnish 2 and an adhesive film 2 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above items.

<実施例3>
実施例2において、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量332)30部を、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)30部に変更した。以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂ワニス3、接着フィルム3を作製した。
<Example 3>
In Example 2, 30 parts of naphthol type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 332) was changed to 30 parts of bixylenol type epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185). bottom. A resin varnish 3 and an adhesive film 3 were produced in the same manner as in Example 2 except for the above items.

<実施例4>
実施例2において、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量332)30部を、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC社製「HP6000」、エポキシ当量約213)30部に変更した。以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂ワニス4、接着フィルム4を作製した。
<Example 4>
In Example 2, 30 parts of naphthol type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 332) was changed to 30 parts of naphthylene ether type epoxy resin (“HP6000” manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent of about 213). bottom. A resin varnish 4 and an adhesive film 4 were produced in the same manner as in Example 2 except for the above items.

<実施例5>
実施例2において、活性エステル化合物(DIC社製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)40部を、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT30」、シアネート当量124)26部に変更した。以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂ワニス5、接着フィルム5を作製した。
<Example 5>
In Example 2, 40 parts of an active ester compound (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC, an active group equivalent of about 223, a toluene solution of 65% by mass of a non-volatile component) was added to a phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resin (Lonza Japan). The company's "PT30", cyanate equivalent 124) was changed to 26 copies. A resin varnish 5 and an adhesive film 5 were produced in the same manner as in Example 2 except for the above items.

<比較例1>
実施例1において、ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂(阪本薬品工業社製「SY−OPG」、エポキシ当量約230)30部を、ナフタレン型2官能エポキシ樹脂(DIC社製「HP4032D」、エポキシ当量約140、粘度2593mPa・s)30部に変更した。以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス6、接着フィルム6を作製した。
<Comparative example 1>
In Example 1, 30 parts of a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure (“SY-OPG” manufactured by Sakamoto Yakuhin Kogyo Co., Ltd., epoxy equivalent of about 230) was used as a naphthalene type bifunctional epoxy resin (“HP4032D” manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent). Approximately 140, viscosity 2593 mPa · s) was changed to 30 parts. Except for the above items, the resin varnish 6 and the adhesive film 6 were produced in the same manner as in Example 1.

<比較例2>
実施例1において、ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂(阪本薬品工業社製「SY−OPG」、エポキシ当量約230)30部を、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「828US」、エポキシ当量約180、粘度2000mPa・s)30部に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス7、接着フィルム7を作製した。
<Comparative example 2>
In Example 1, 30 parts of a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure (“SY-OPG” manufactured by Sakamoto Yakuhin Kogyo Co., Ltd., epoxy equivalent of about 230) was used as a bisphenol A type epoxy resin (“828US” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent). Approximately 180, viscosity 2000 mPa · s) 30 parts. A resin varnish 7 and an adhesive film 7 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above items.

<比較例3>
実施例1において、ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂(阪本薬品工業社製「SY−OPG」、エポキシ当量約230)30部を、シクロヘキサン型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ZX1658GS」、エポキシ当量約135、粘度34mPa・s)30部に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス8、接着フィルム8を作製した。
<Comparative example 3>
In Example 1, 30 parts of a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure (“SY-OPG” manufactured by Sakamoto Yakuhin Kogyo Co., Ltd., epoxy equivalent of about 230) was used as a cyclohexane type epoxy resin (“ZX1658GS” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent). Approximately 135, viscosity 34 mPa · s) was changed to 30 parts. A resin varnish 8 and an adhesive film 8 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above items.

Figure 0006953709
Figure 0006953709

なお、実施例1〜5において、(C)成分〜(G)成分を含有しない場合であっても、程度に差はあるものの上記実施例と同様の結果に帰着することを確認している。 It has been confirmed that in Examples 1 to 5, even when the components (C) to (G) are not contained, the same result as in the above-mentioned Examples is obtained, although the degree is different.

1 第1の導体層
11 第1の導体層の主面
2 第2の導体層
21 第2の導体層の主面
3 絶縁層
t1 第1導体層と第2の導体層との間隔(第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚み)
t2 絶縁層全体の厚み
1 First conductor layer 11 Main surface of the first conductor layer 2 Second conductor layer 21 Main surface of the second conductor layer 3 Insulation layer t1 Spacing between the first conductor layer and the second conductor layer (first And the thickness of the insulating layer between the second conductor layers)
t2 Thickness of the entire insulating layer

Claims (12)

(A)ビフェニル構造を有する1官能エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び、(A)成分以外の(D)エポキシ樹脂を含み、
(A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、1質量%以上20質量%以下であり、
(D)成分が、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含み、
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、1質量%以上20質量%以下である、プリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物。
It contains (A) a monofunctional epoxy resin having a biphenyl structure, (B) a curing agent, and (D) epoxy resin other than the component (A).
The content of the component (A) is 1% by mass or more and 20% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass.
The component (D) contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule.
A resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board, wherein the content of the component (D) is 1% by mass or more and 20% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass.
(A)成分が、下記一般式(1)で表される化合物である、請求項1に記載の樹脂組成物。
Figure 0006953709
(式中、Rは、単結合又は2価の連結基を表す。)
The resin composition according to claim 1, wherein the component (A) is a compound represented by the following general formula (1).
Figure 0006953709
(In the formula, R represents a single bond or a divalent linking group.)
一般式(1)中のRが、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−C(=O)−、−SO−、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又はこれらの2つ以上の組み合わせからなる基を表す、請求項2に記載の樹脂組成物。 R in the general formula (1) has an oxygen atom, a sulfur atom, -NH-, -C (= O)-, -SO-, an alkylene group which may have a substituent, and a substituent. The resin composition according to claim 2, which represents a optionally arylene group or a group consisting of a combination of two or more thereof. 一般式(1)中のRが、酸素原子、及び置換基を有していてもよいアルキレン基の組み合わせからなる基を表す、請求項2又は3に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 2 or 3, wherein R in the general formula (1) represents a group composed of a combination of an oxygen atom and an alkylene group which may have a substituent. (A)成分が、下記化合物である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
Figure 0006953709
The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the component (A) is the following compound.
Figure 0006953709
(B)成分が、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及び活性エステル系硬化剤から選択される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the component (B) is selected from a phenol-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and an active ester-based curing agent. さらに、(C)無機充填材を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising (C) an inorganic filler. (C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、請求項7に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 7, wherein the content of the component (C) is 50% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. 請求項1〜8のいずれか1項に記載のプリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物を含む、プリント配線板の絶縁層形成用シート状積層材料。 A sheet-like laminated material for forming an insulating layer of a printed wiring board, which comprises the resin composition for forming an insulating layer of the printed wiring board according to any one of claims 1 to 8. 支持体と、該支持体上に設けられた、請求項1〜8のいずれか1項に記載のプリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、プリント配線板の絶縁層形成用接着フィルム。 A support, provided on the support, and a any one resin composition which is formed of an insulating layer forming resin composition of the printed wiring board according to paragraph layer of claims 1-8, printing Adhesive film for forming an insulating layer on a wiring board. 第1の導体層、第2の導体層、及び、第1の導体層と第2の導体層との間に形成された絶縁層を含むプリント配線板であって、
該絶縁層は、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物である、プリント配線板。
A printed wiring board including a first conductor layer, a second conductor layer, and an insulating layer formed between the first conductor layer and the second conductor layer.
The insulating layer is a printed wiring board which is a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 8.
請求項11に記載のプリント配線板を備える、半導体装置。 A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 11.
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