JP6816471B2 - フェノール性水酸基含有化合物及びレジスト材料 - Google Patents
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Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
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- Phenolic Resins Or Amino Resins (AREA)
Description
で表されるフェノール性水酸基含有化合物(X)に関する。
であらわされる。
[GPCの測定条件]
測定装置:東ソー株式会社製「HLC−8220 GPC」
カラム:昭和電工株式会社製「Shodex KF802」(8.0mmФ×300mm)+昭和電工株式会社製「Shodex KF802」(8.0mmФ×300mm)+昭和電工株式会社製「Shodex KF803」(8.0mmФ×300mm)+昭和電工株式会社製「Shodex KF804」(8.0mmФ×300mm)
カラム温度:40℃
検出器: RI(示差屈折計)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIバージョン4.30」
展開溶媒:テトラヒドロフラン
流速:1.0mL/分
試料:樹脂固形分換算で0.5質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの(100μl)
標準試料:下記単分散ポリスチレン
(標準試料:単分散ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
で表される構造部位で置換された化合物等が挙げられる。このような化合物は、耐熱性や耐ドライエッチング性に優れる特徴を有する。
で表される構造部位で置換された化合物等が挙げられる。このような化合物は、耐熱性や耐ドライエッチング性に優れる特徴を有する。
[GPCの測定条件]
測定装置:東ソー株式会社製「HLC−8220 GPC」
カラム:昭和電工株式会社製「Shodex KF802」(8.0mmФ×300mm)+昭和電工株式会社製「Shodex KF802」(8.0mmФ×300mm)
+昭和電工株式会社製「Shodex KF803」(8.0mmФ×300mm)+昭和電工株式会社製「Shodex KF804」(8.0mmФ×300mm)
カラム温度:40℃
検出器: RI(示差屈折計)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIバージョン4.30」
展開溶媒:テトラヒドロフラン
流速:1.0mL/分
試料:樹脂固形分換算で0.5質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの
注入量:0.1mL
標準試料:下記単分散ポリスチレン
(標準試料:単分散ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
測定装置:日本電子(株)製「AL−400」
溶媒:DMSO−d6
試料濃度:30wt%
測定モード:SGNNE(NOE消去の1H完全デカップリング法)
パルス角度:45℃パルス
積算回数:10000回
測定モード:リニアモード
試料調整:サンプル/ジスラノール/トリフルオロ酢酸ナトリウム/THF=10/10/1/1
冷却管を設置した3000mlの4口フラスコに、2,5−キシレノール586.4g、4−ヒドロキシベンズアルデヒド244gを仕込み、2−エトキシエタノール1000mlに溶解させた。氷浴中で冷却しながら硫酸30mlを添加した後、マントルヒーターで100℃まで加熱し、攪拌しながら2時間反応させた。反応終了後、得られた反応混合物に水を加えて粗生成物を沈殿させた。回収した粗生成物をアセトンに溶解させ、再度水を加えて再沈殿させた。沈殿物を濾別し、真空乾燥させて、白色結晶のトリフェニルメタン型化合物(A−1)421gを得た。GPCチャート図の面積比から算出されるトリフェニルメタン型化合物(A−1)の純度は98.2%であった。トリフェニルメタン型化合物(A−1)のGPCチャートを図1に、13C−NMRチャートを図2に示す。
冷却管を設置した2000mlの4口フラスコに、トリフェニルメタン型化合物(A−1)174g、塩下シアヌル31gを仕込み、メチルエチルケトン500gを加えて溶解させた。50〜70℃の温度範囲に調整しながら、60分間かけてトリエチルアミン52gを滴下した。滴下終了後、70℃で5時間撹拌を続けた。得られた反応混合物に水200gを加えてトリエチルアミン塩酸塩を溶解させ、分液して水層を棄却した。同量の水で更に2回水洗した後、メチルエチルケトンを留去し、生成物を真空乾燥して、赤色粉末の樹脂(1)156gを得た。得られた樹脂(1)の数平均分子量(Mn)は1,426、重量平均分子量(Mw)は1,632、多分散度(Mw/Mn)は1.14であった。また、GPCチャート図の面積比から算出される樹脂(1)中のフェノール性水酸基含有化合物(X)の含有量は75.3%、数平均分子量(Mn)が500以下である成分の含有量は1.4%であった。樹脂(1)のGPCチャートを図3に、13C−NMRチャートを図4に、MSスペクトルを図5に示す。
実施例1において、トリフェニルメタン型化合物(A−1)174gの代わりに1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン(本州化学工業株式会社製「TrisP−HAP」)153gを用いた以外は実施例1と同様にして、淡赤色粉末の樹脂(2)152gを得た。得られた樹脂(2)の数平均分子量(Mn)は1,572、重量平均分子量(Mw)は1,933、多分散度(Mw/Mn)は1.23であった。また、GPCチャート図の面積比から算出される樹脂(2)中のフェノール性水酸基含有化合物(X)の含有量は37.9%、数平均分子量(Mn)が500以下である成分の含有量は1.3%であった。樹脂(2)のGPCチャートを図6に示す。
冷却管を設置した2000mlの4口フラスコに、4−ヒドロキシベンズアルデヒド62g、塩下シアヌル31gを仕込み、メチルエチルケトン500gを加えて溶解させた。50〜70℃の温度範囲に調整しながら、60分間かけてトリエチルアミン52gを滴下した。滴下終了後、70℃で5時間撹拌を続けた。得られた反応混合物からトリエチルアミン塩酸塩を濾別し、濾液にエトキシエタノール100g、2,5−キシレノール122g、硫酸6gを加えて70℃まで加熱し、撹拌しながら10時間反応させた。室温まで冷却した後、トリエチルアミン10gを加え、更に水200gを加えて分液し、水層を棄却した。同量の水で更に2回水洗した後、メチルエチルケトンを留去し、生成物を真空乾燥して、赤色粉末の樹脂(3)174gを得た。得られた樹脂(3)の数平均分子量(Mn)は1,473、重量平均分子量(Mw)は1,723、多分散度(Mw/Mn)は1.17であった。また、GPCチャート図の面積比から算出される樹脂(3)中のフェノール性水酸基含有化合物(X)の含有量は70.5%、数平均分子量(Mn)が500以下である成分の含有量は0.7%であった。樹脂(3)のGPCチャートを図7に示す。
温度計、冷却管、撹拌器を取り付けた1000mlの4つ口フラスコに、2−ナフトール144g、n−ブタノール400g、水96g及び92%パラホルムアルデヒド27.7gを仕込んだ。続いて攪拌しながらパラトルエンスルホン酸一水和物2.4gを添加した後、攪拌しながら100℃まで加熱し、2時間反応させた。反応終了後、n−ブタノール200gを加え、系内の溶液を洗浄水が中性を示すまで水洗後、有機層から溶媒を加熱減圧下に除去し、樹脂(‘1)153gを得た。樹脂(1’)の数平均分子量(Mn)は955、重量平均分子量(Mw)は1,427、多分散度(Mw/Mn)は1.49であった。また、GPCチャート図の面積比から算出される数平均分子量(Mn)が500以下である成分の含有量は5.2%であった。
冷却管を設置した3000mlの4口フラスコに、トリフェニルメタン型化合物(A−1)348gを仕込み、2−エトキシエタノール500ml、酢酸500mlを加えて溶解させた。氷浴中で冷却しながら硫酸50mlを添加した後、92%パラホルムアルデヒド33gを仕込み、オイルバスで80℃まで加熱した。80℃で10時間加熱攪拌を継続して反応させた。反応終了後、反応混合物に水を加えて粗生成物を沈殿させた。回収した粗生成物をアセトンに溶解させ、再度水を加えて再沈殿させた。回収した生成物を濾別し、真空乾燥させて、赤色粉末の樹脂(2’)330gを得た。樹脂(2’)の数平均分子量(Mn)は2,909、重量平均分子量(Mw)は14,426、多分散度(Mw/Mn)は4.96であった。また、GPCチャート図の面積比から算出される数平均分子量(Mn)が500以下である成分の含有量は4.3%であった。
実施例1〜3及び比較製造例1、2で得た樹脂について、下記の要領で評価した。結果を表1に示す。
前記樹脂2.4g、溶解抑止剤0.5g、光酸発生剤0.1gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7gに溶解させ、0.2μmメンブランフィルターを用いて濾過し、感光性組成物を得た。
溶解抑止剤:4,4‘−イソプロピリデン−tert−ブチルオキシカルボキシジフェノ
光酸発生剤:2−メトキシフェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン(三和ケミカル製「MP−トリアジン」)
前記樹脂2.4g、溶解抑止剤0.5gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7gに溶解させ、これを0.2μmのメンブランフィルターで濾過し、耐熱性試験用組成物を得た。
先で得た感光性組成物を5インチシリコンウェハ上に約1μmの厚さになるようにスピンコーターで塗布し、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。このウェハを2枚用意し、一方を「露光なしサンプル」とした。他方を「露光有サンプル」としてghi線ランプ(ウシオ電機株式会社製「マルチライト」)を用いて100mJ/cm2のghi線を照射したのち、140℃、60秒間の条件で加熱処理を行った。
「露光なしサンプル」と「露光有サンプル」の両方をアルカリ現像液(2.38%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液)に60秒間浸漬した後、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。各サンプルの現像液浸漬前後の膜厚を測定し、その差分を60で除した値をアルカリ現像性[ADR(Å/s)]とした。
先で得た感光性組成物を5インチシリコンウェハ上に約1μmの厚さになるようにスピンコーターで塗布し、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。このウェハ上にラインアンドスペースが1:1であり、ライン幅が1〜10μmまで1μmごとに設定されたレジストパターン対応のマスクを密着させた後、ghi線ランプ(ウシオ電機株式会社製「マルチライト」)を用いてghi線を照射し、140℃、60秒間の条件で加熱処理を行った。次いで、アルカリ現像液(2.38%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液)に60秒間浸漬した後、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。
ghi線露光量を30mJ/cm2から5mJ/cm2毎に増加させた場合の、ライン幅3μmを忠実に再現することのできる露光量(Eop露光量)を評価した。
先で得た感光性組成物を5インチシリコンウェハ上に約1μmの厚さになるようにスピンコーターで塗布し、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。得られたウェハ上にフォトマスクを乗せ、i線コンタクトマスクアライナー(EVG社製「EVG610」)を用いて200mJ/cm2のghi線を照射したのち、140℃、60秒間の条件で加熱処理を行った。次いで、アルカリ現像液(2.38%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液)に60秒間浸漬した後、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。レーザーマイクロスコープ(株式会社キーエンス製「VK−X200」)を用いてパターン状態を確認し、L/S=1/1の線幅が1μmで解像できているものをA、L/S=1/1の線幅が1μmで解像できていないものをBとして評価した。
先で得た耐熱性試験用組成物を5インチシリコンウェハ上に約1μmの厚さになるようにスピンコーターで塗布し、110℃のホットプレート上で60秒乾燥させた。得られたウェハから樹脂分をかきとり、そのガラス転移温度(Tg)を測定した。ガラス転移温度(Tg)の測定は示差走査熱量計(DSC)(株式会社TAインスツルメント製「Q100」)を用いて、窒素雰囲気下、温度範囲−100〜300℃、昇温温度10℃/分の条件で行った。
実施例1〜3及び比較製造例1、2で得た樹脂について、下記の要領で評価した。結果を表1に示す。
前記樹脂1.6g、硬化剤0.4g、パラトルエンスルホン酸0.1gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gに溶解させ、これを0.2μmのメンブレンフィルターで濾過し、硬化性組成物を得た。
硬化剤:東京化成工業株式会社製「1,3,4,6−テトラキス(メトキシメチル)グリコールウリル」
先で得た硬化性組成物を5インチシリコンウェハ上にスピンコーターで塗布し、酸素濃度20容量%の環境下、110℃のホットプレート上で180秒乾燥させた。次いで、210℃で60秒間加熱硬化させ、膜厚0.3μmの硬化塗膜を得た。得られた硬化塗膜をウェハから削り取り、示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA)を用いて、下記条件で昇温させた時の240℃での質量減少量を測定し、下記基準で評価した。
[質量減少量測定条件]
測定機器:セイコーインスツールメント社製「TG/DTA 6200」
測定範囲:室温〜400℃
昇温速度:10℃/分
[評価基準]
A:240℃での質量減少量が5質量%以下
B:240℃での質量減少量が5質量%を超える
先で得た硬化性組成物を5インチシリコンウェハ上にスピンコーターで塗布し、酸素濃度20容量%の環境下、110℃のホットプレート上で180秒乾燥させた。次いで、210℃で60秒間加熱硬化させ、膜厚0.3μmの硬化塗膜を得た。210℃での硬化過程前後でウェハの質量を測定し、硬化過程における質量減少量を算出して以下の基準で評価した。
A:210℃、60秒間の硬化過程における質量減少量が3%以下
B:210℃、60秒間の硬化過程における質量減少量が3%を超える
φ110nm、深さ300nmのホールパターンが形成された直径5インチのシリコンウェハ上に、先で得た硬化性組成物をスピンコーターで塗布し、酸素濃度20容量%の環境下、110℃のホットプレート上で180秒乾燥させた後、210℃で60秒間加熱硬化させ、膜厚0.3μmの硬化塗膜を得た。シリコンウェハをホールパターン線上で切断し、レーザー顕微鏡(キーエンス製株式会社「VK-X200」)で断面を観察して、硬化性組成物のホールパターンへの流入が十分であったかどうかを下記条件で評価した。
A:ホール全体が硬化物で満たされている
B:ホール全体が硬化物で満たされておらず、空隙がある場合。
先で得た硬化性組成物を5インチシリコンウェハ上にスピンコーターで塗布し、酸素濃度20容量%の環境下、110℃のホットプレート上で180秒乾燥させた。次いで、210℃で60秒間加熱硬化させ、膜厚0.3μmの硬化塗膜を得た。ウェハ上の硬化塗膜を、エッチング装置(神鋼精機社製の「EXAM」)を使用して、CF4/Ar/O2(CF4:40mL/分、Ar:20mL/分、O2:5mL/分 圧力:20Pa RFパワー:200W 処理時間:40秒 温度:15℃)の条件でエッチング処理した。このときのエッチング処理前後の膜厚を測定して、エッチングレートを算出し、耐エッチング性を評価した。評価基準は以下の通りである。
A:エッチングレートが150nm/分以下の場合
B:エッチングレートが150nm/分を超える場合
Claims (7)
- 前記構造式(1)中のR 1 が水素原子又はメチル基であり、R 3 がメチル基であり、lが0であり、mが1である請求項1記載のフェノール性水酸基含有化合物(X)。
- 請求項1又は2記載のフェノール性水酸基含有化合物(X)を、GPCチャート図の面積比から算出される値で35%以上含有する樹脂。
- 請求項1又は2記載のフェノール性水酸基含有化合物(X)、或いは請求項3記載の樹脂と感光剤とを含有する感光性組成物。
- 請求項1又は2記載のフェノール性水酸基含有化合物(X)、或いは請求項3記載の樹脂と硬化剤とを含有する硬化性組成物。
- 請求項5記載の硬化性組成物の硬化物。
- 請求項1又は2記載のフェノール性水酸基含有化合物(X)、或いは請求項3記載の樹脂を用いたレジスト材料。
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