JP6815466B2 - エネルギービームスポットのサイズを確認する方法、プログラム要素、非一時的なコンピュータプログラム製品、および装置 - Google Patents
エネルギービームスポットのサイズを確認する方法、プログラム要素、非一時的なコンピュータプログラム製品、および装置 Download PDFInfo
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- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims description 14
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims description 108
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 77
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 32
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 21
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 51
- 239000000463 material Substances 0.000 description 19
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 17
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 3
- 238000011960 computer-aided design Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- IRLPACMLTUPBCL-KQYNXXCUSA-N 5'-adenylyl sulfate Chemical compound C1=NC=2C(N)=NC=NC=2N1[C@@H]1O[C@H](COP(O)(=O)OS(O)(=O)=O)[C@@H](O)[C@H]1O IRLPACMLTUPBCL-KQYNXXCUSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 230000005055 memory storage Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000013515 script Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000258963 Diplopoda Species 0.000 description 1
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010100 freeform fabrication Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
- B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/30—Process control
- B22F10/31—Calibration of process steps or apparatus settings, e.g. before or during manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
- B23K15/0033—Preliminary treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/34—Laser welding for purposes other than joining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/60—Preliminary treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y50/00—Data acquisition or data processing for additive manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/10—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
- B22F10/28—Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
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Description
1のエネルギービームスポットを提供するステップと、b)第1のビームスポットに対する最高強度が検出されるまで、第1のエネルギービームスポットに対する集束および/または非点収差レンズの設定を変更するステップと、c)第1のエネルギービームスポットの検出された最大強度に対する集束レンズおよび/または非点収差レンズの設定少なくとも1つと、所定のサイズおよび出力を備える第1のエネルギービームスポットに対する集束レンズおよび/または非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するステップと、d)異なる所定のビーム出力に対してステップa〜cを繰り返すステップと、e)ワークピース上の異なる位置に対してステップa〜dを繰り返すステップであって、集束レンズおよび/または非点収差レンズの検出された各設定の、集束レンズおよび/または非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値未満であれば、第1のエネルギービームスポットのサイズは確認される、ステップとを含む。
な利点は、確認方法が完全に自動となり得るだけでなく、本方法が、エネルギービームのパラメータ設定における任意の異常について、連結されたソフトウェアおよび/またはオペレータに注意喚起することもできるということである。
のような実施形態では、本方法は、エネルギービームスポットを第1の偏向速度で偏向させながら、エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを生成するステップと、第1の偏向速度で作り出されたワークテーブル上のエネルギービームスポットの第1の位置を検出するステップと、エネルギービームスポットを第2の偏向速度で偏向させながら、エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを生成するステップと、第2の偏向速度で作り出されたワークテーブル上のエネルギービームスポットの第2の位置を検出するステップと、第1および第2の位置を比較するステップであって、第1の位置の各位置の、第2の位置のうちの対応するものからのずれが、所定の距離未満であれば、偏向速度は確認される、ステップと、をさらに含む。
度で偏向させながら、エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを生成するために構成された実行可能部分と、第2の偏向速度で作り出されたワークテーブル上のエネルギービームスポットの第2の位置を検出するために構成された実行可能部分と、第1および第2の位置を比較するために構成された実行可能部分であって、第1の位置の各位置の、第2の位置のうちの対応するものからのずれが、所定の距離未満であれば、偏向速度は確認される、実行可能部分と、をさらに含む。
てもよい。制御ユニット350は、電子ビーム銃302から放出される電子ビームを制御および管理するために使用されてもよい。少なくとも1つのフォーカシングコイル(図示せず)と、少なくとも1つの偏向コイル(図示せず)と、電子ビームの電源(図示せず)とが、制御ユニット350に電気的に接続されてもよい。本発明の例示の実施形態では、電子銃は、加速電圧が約60kV且つビーム出力が0〜10kWの範囲の集束可能な電子ビームを生成する。エネルギービームを用いて層ごとに粉体を溶融することにより三次元物品を構築するとき、真空室の圧力は1×10−3〜1×10−6mBarの範囲であってもよい。
の実施形態の概略斜視図を示す。機構100は、レーザ源110、カメラ130、制御ユニット140、およびワークピース150を含む。
tal Oxide Semiconductor)カメラ)、デジタルカメラなど、任意の種類のカメラであってもよい。
レンズおよび/または集束レンズの対応する記憶されている較正済みの位置、回転、および/または傾斜とが比較される。
ける傾斜であってもよい。
比較するステップと、をさらに含んでもよい。
、および/または350のいずれか1つとしてもよい。コンピュータ可読ストレージ媒体およびプログラム要素は、その中に具現化されたコンピュータ可読プログラムコード部分を含んでもよく、さらに非一時的なコンピュータプログラム製品内に含まれてもよい。これらの特徴および構成に関するさらなる詳細が、下記に順に示される。
リ(RRAM(登録商標):resistive random−access memory)、シリコン−酸化物−窒化物−酸化物−シリコンメモリ(SONOS:Silicon−Oxide−Nitride−Oxide−Silicon memory)、浮遊ジャンクションゲートランダムアクセスメモリ(FJG RAM:floating junction gate random access memory)、Millipedeメモリ、レーストラックメモリ、および/または同様のものも含んでもよい。
Code Division Multiple Access)無線アクセス技術を採用するユニバーサルモバイル電話システム(UMTS:Universal Mobile Telephone System)ネットワークなどの3Gワイヤレス通信プロトコルに基づく通信をサポートできてもよい。一部の狭帯域AMPS(NAMPS:narrow−band AMPS)ならびにTACSネットワーク(単数または複数)も本発明の実施形態から利益を受ける可能性があり、デュアルモード以上の移動局(例えばデジタル/アナログまたはTDMA/CDMA/アナログ電話)も利益を受けるはずである。さらに別の例として、システム1020のコンポーネントそれぞれが、例として無線周波数(RF:radio frequency)、ブルートゥース(登録商標)、赤外線(IrDA)、または有線もしくはワイヤレスのパーソナルエリアネットワーク(「PAN(Personal Area Network)」)、ローカルエリアネットワーク(「LAN(Local Area Network)」)、メトロポリタンエリアネットワーク(「MAN(Metropolitan Area Network)」)、広域ネットワーク(「WAN(Wide Area Network)」)などを含む、異なるいくつかの有線またはワイヤレスのネットワーク技術の任意のものなどの技術に基づき相互通信するように構成されてもよい。
であってもよい。サーバ1200はさらにメモリ1220を含み、メモリ1220は、典型的には読み取り専用メモリ(ROM:read only memory)1226およびランダムアクセスメモリ(RAM)1222の双方を含む。サーバのROM1226は、サーバ1200内の構成要素間で情報を伝達するのに役立つ基本ルーチンを含む基本入出力システム1224(BIOS:basic input/output system)を記憶するために使用される。様々なROMおよびRAM構成が本願明細書で前述された。
0、1700の1つ以上が、代わりに且つ/または追加的に(例えば重複して)、デバイス1110、1120、および/または1300のうちの1つ以上にローカルに記憶されてもよく、該デバイスの1つ以上のプロセッサにより実行されてもよい。様々な実施形態によれば、モジュール1400、1500、1600、1700は、1つ以上のデータベースにデータを送り、該データベースからデータを受領し、該データベースに含まれるデータを利用してもよく、このデータベースは、1つ以上の別々のデータベース、リンクされたデータベース、および/またはネットワーク化されたデータベースから成ってもよい。
4および受信機1306との間でそれぞれ信号の提供および信号の受領を行う処理要素1308を含んでもよい。
クティブ化または非アクティブ化するために使用可能である。
以上の開示から、以下の態様が開示される。
(態様1)
少なくとも1つのエネルギービームスポットのサイズを自動的に確認する方法であって、前記方法は、
a.ワークピース上の第1の位置に、第1のエネルギービーム源から、所定のサイズおよび出力を有する第1のエネルギービームスポットを生成するステップと、
b.前記第1のエネルギービームスポットに対する最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットに対する集束レンズ設定または非点収差レンズ設定のうちの少なくとも1つを変更するステップと、
c.前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度に対する集束レンズおよび/または非点収差レンズの設定少なくとも1つと、前記所定のサイズおよび出力を備える前記第1のエネルギービームスポットに対する前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するステップと、
d.異なる所定のビーム出力に対してステップa〜cを繰り返すステップと、
e.前記ワークピース上の異なる位置に対してステップa〜dを繰り返すステップであって、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの検出された各設定の、前記集束レンズおよび/または非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値未満であれば、前記第1のエネルギービームスポットのサイズは確認される、ステップと
を含む方法。
(態様2)
前記所定のビームスポットサイズは、最小スポットサイズである、態様1に記載の方法。
(態様3)
前記異なる位置に対して繰り返すステップは、前記異なる所定のビーム出力に対して繰り返すステップより前に実行される、態様1に記載の方法。
(態様4)
前記第1のエネルギービームスポットは、電子ビームスポットである、態様1に記載の方法。
(態様5)
前記非点収差レンズおよび/または集束レンズの設定は、それぞれ、少なくとも1つの非点収差コイルおよび/または少なくとも1つの集束コイルに対するコイル電流設定である、態様4に記載の方法。
(態様6)
前記第1のエネルギービームスポットは、レーザビームスポットである、態様1に記載の方法。
(態様7)
前記非点収差レンズおよび/または集束レンズの設定は、それぞれ、少なくとも1つの非点収差レンズおよび/または少なくとも1つの集束レンズの光軸に沿った配置である、態様6に記載の方法。
(態様8)
前記位置は、少なくとも1つのIRカメラ、少なくとも1つのCCDカメラ、少なくとも1つのデジタルカメラ、少なくとも1つのCMOSカメラ、および/または少なくとも1つのNIRカメラにより検出される、態様1に記載の方法。
(態様9)
前記集束レンズおよび/または非点収差レンズの前記検出された設定のいずれか1つの、前記集束レンズおよび/または非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値を超えていれば、注意信号/メッセージを送出するステップをさらに含む、態様1に記載の方法。
(態様10)
f.前記ワークピース上の前記第1の位置に、第2のエネルギービーム源から、所定のサイズおよび出力を有する第2のエネルギービームスポットを提供するステップと、
g.前記第2のエネルギービームスポットに対する最高強度が検出されるまで、前記第2のエネルギービームスポットに対する集束および/または非点収差レンズの設定を変更するステップと、
h.前記第1のエネルギービームスポットに対する前記検出された最高強度と、前記第2のエネルギービームスポットに対する前記検出された最高強度とを比較するステップであって、前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最高強度の、前記第2のエネルギービームスポットの前記検出された最高強度からのずれが、所定の値未満であれば、前記第1および第2のエネルギービームスポットのサイズは確認される、ステップと
をさらに含む、態様1に記載の方法。
(態様11)
前記第1および第2のエネルギービームスポットは、等しい最大ビームスポット出力を有する、態様10に記載の方法。
(態様12)
f.前記第1の位置に前記第1のエネルギービームスポットを第1の所定の期間の間提供するステップであって、そこで第1の強度が検出される、ステップと、
g.前記第1の位置に前記第1のエネルギービームスポットを第2の所定の期間の間提供するステップであって、そこで第2の強度が検出される、ステップと、
h.前記第1および第2の強度間の比を計算するステップであって、前記第1および第2の強度間の前記計算された比の、前記第1および第2の期間による第1のビームの対応する較正済みの比からのずれが、所定の値未満であれば、第1のエネルギービームスポットサイズおよび/またはビームスポット出力は確認される、ステップと、
をさらに含む、態様1に記載の方法。
(態様13)
ステップg〜hは、異なるビーム出力および/または期間に対して繰り返される、態様12に記載の方法。
(態様14)
前記方法は、少なくとも1つの三次元物品のモデルを受領し、1つ以上のメモリストレージ領域内に記憶するステップをさらに含み、
前記変更するステップ、前記比較するステップ、または前記繰り返すステップのうちの少なくとも1つは、1つ以上のコンピュータプロセッサの実行を介して実行される、
態様1に記載の方法。
(態様15)
前記方法は、前記少なくとも1つのエネルギービームスポットの偏向速度を確認するためにさらに構成され、
前記方法は、
前記エネルギービームスポットを第1の偏向速度で偏向させながら、前記エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを生成するステップと、
前記第1の偏向速度で作り出された前記ワークテーブル上の前記エネルギービームスポットの第1の位置を検出するステップと、
前記エネルギービームスポットを第2の偏向速度で偏向させながら、前記エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に前記所定のパターンを生成するステップと、
前記第2の偏向速度で作り出された前記ワークテーブル上の前記エネルギービームスポットの第2の位置を検出するステップと、
前記第1および第2の位置を比較するステップであって、前記第1の位置の各位置の、前記第2の位置のうちの対応するものからのずれが、所定の距離未満であれば、前記偏向速度は確認される、ステップと、
をさらに含む、態様1に記載の方法。
(態様16)
プログラム要素であって、コンピュータ上で実行されると、少なくとも1つのエネルギービームスポットのサイズを自動的に確認する方法を実装するように構成および用意された、前記プログラム要素であって、前記方法は、
a.ワークピース上の第1の位置に、第1のエネルギービーム源から、所定のサイズおよび出力を有する第1のエネルギービームスポットを生成するステップと、
b.前記第1のエネルギービームスポットに対する最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットに対する集束レンズ設定または非点収差レンズ設定のうちの少なくとも1つを変更するステップと、
c.前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度に対する集束レンズおよび/または非点収差レンズの設定少なくとも1つと、前記所定のサイズおよび出力を備える前記第1のエネルギービームスポットに対する前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するステップと、
d.異なる所定のビーム出力に対してステップa〜cを繰り返すステップと、
e.前記ワークピース上の異なる位置に対してステップa〜dを繰り返すステップであって、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの検出された各設定の、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値未満であれば、前記第1のエネルギービームスポットのサイズは確認される、ステップと
を含む、プログラム要素。
(態様17)
態様16に記載のプログラム要素を有するコンピュータ可読媒体。
(態様18)
非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体内に具現化されたコンピュータ可読プログラムコード部分を有する少なくとも1つの前記非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体を含む、非一時的なコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムコード部分は、
ワークピース上の第1の位置に、第1のエネルギービーム源から、所定のサイズおよび出力を有する第1のエネルギービームスポットを生成するために構成された実行可能部分と、
前記第1のエネルギービームスポットに対する最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットに対する集束レンズ設定または非点収差レンズ設定のうちの少なくとも1つを変更するために構成された実行可能部分と、
前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度に対する集束レンズおよび/または非点収差レンズの設定少なくとも1つと、前記所定のサイズおよび出力を備える前記第1のエネルギービームスポットに対する前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するために構成された実行可能部分と、
前記生成すること、前記変更すること、および前記比較することを、異なる所定のビーム出力に対して繰り返すために構成された実行可能部分と、
前記生成すること、前記変更すること、前記比較すること、およびそれらを繰り返すことを、前記ワークピース上の異なる位置に対して繰り返すために構成された実行可能部分であって、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの検出された各設定の、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値未満であれば、前記第1のエネルギービームスポットのサイズは確認される、実行可能部分と
を含む、非一時的なコンピュータプログラム製品。
(態様19)
エネルギービームスポットを第1の偏向速度で偏向させながら、前記エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを生成するために構成された実行可能部分と、
前記第1の偏向速度で作り出された前記ワークテーブル上の前記エネルギービームスポットの第1の位置を検出するために構成された実行可能部分と、
前記エネルギービームスポットを第2の偏向速度で偏向させながら、前記エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に前記所定のパターンを生成するために構成された実行可能部分と、
前記第2の偏向速度で作り出された前記ワークテーブル上の前記エネルギービームスポットの第2の位置を検出するために構成された実行可能部分と、
前記第1および第2の位置を比較するために構成された実行可能部分であって、前記第1の位置の各位置の、前記第2の位置のうちの対応するものからのずれが、所定の距離未満であれば、偏向速度は確認される、実行可能部分と、
をさらに含む、態様18に記載の非一時的なコンピュータプログラム製品。
(態様20)
少なくとも1つのエネルギービームスポットのサイズを確認する装置であって、前記装置は、
ワークピース上の第1の位置に、所定のサイズおよび出力を有する第1のエネルギービームスポットを生成するように構成された第1のエネルギービーム源と、
制御ユニットと
を含み、前記制御ユニットは、
前記第1のエネルギービームスポットに対する最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットに対する集束レンズ設定または非点収差レンズ設定のうちの少なくとも1つを変更し、
前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度に対する集束レンズおよび/または非点収差レンズの設定少なくとも1つと、前記所定のサイズおよび出力を備える前記第1のエネルギービームスポットに対する前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較し、
前記所定のビーム出力以外の1つ以上のビーム出力に対して、前記生成すること、前記変更すること、および前記比較することを繰り返し、
前記生成すること、前記変更すること、前記比較すること、および前記繰り返すことを、前記第1の位置以外の前記ワークピース上の1つ以上の位置に対して繰り返し、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの検出された各設定の、前記集束レンズおよび/または前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定からのずれが、所定の値未満であれば、前記第1のエネルギービームスポットのサイズは確認される
ように構成されている、装置。
(態様21)
前記装置は、前記第1のエネルギービーム源とワークピース構造体との間の経路に配置された少なくとも1つのミラーをさらに含み、前記少なくとも1つのミラーは、前記制御ユニットを介して、第1のエネルギービームを方向付けるために構成されている、態様20に記載の装置。
(態様22)
前記少なくとも1つのミラーは、傾斜可能な、または他の形で可動なミラーである、態様21に記載の装置。
(態様23)
前記装置は、前記第1のエネルギービームスポットの偏向速度を確認するためにさらに構成され、
前記制御ユニットは、
前記エネルギービームスポットを第1の偏向速度で偏向させながら、前記エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを生成し、
前記第1の偏向速度で作り出された前記ワークテーブル上の前記エネルギービームスポットの第1の偏向位置を検出し、
前記エネルギービームスポットを第2の偏向速度で偏向させながら、前記エネルギー
ビームスポットを用いてワークテーブル上に前記所定のパターンを生成し、
前記第2の偏向速度で作り出された前記ワークテーブル上の前記エネルギービームスポットの第2の偏向位置を検出し、
前記第1および第2の偏向位置を比較し、前記第1の偏向位置の各偏向位置の、前記第2の偏向位置のうちの対応するものからのずれが、所定の距離未満であれば、前記偏向速度は確認される
ようにさらに構成されている、態様20に記載の装置。
Claims (11)
- 少なくとも1つのエネルギービームスポットのサイズを自動的に確認する方法であって、前記方法は、
a.第1のエネルギービーム源から、ワークピース上の第1の位置において所定のサイズおよびパワーを有する第1のエネルギービームスポットを生成するステップと、
b.前記第1のエネルギービームスポットの最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットのための集束レンズ設定および非点収差レンズ設定のそれぞれを変更するステップと、
c.前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度のための集束レンズおよび非点収差レンズのそれぞれの設定と、前記所定のサイズおよびパワーを備える前記第1のエネルギービームスポットのための前記集束レンズおよび前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するステップと、
d.異なる所定のビームパワーのためにステップa〜cを繰り返すステップと、
e.前記集束レンズおよび非点収差レンズの前記検出された設定のいずれか1つが、前記集束レンズおよび非点収差レンズの対応する記憶済みの設定から、所定の値より大きくずれている場合に、注意信号または注意メッセージを送出するステップと
を含む、方法。 - 前記第1のエネルギービームスポットの所定サイズは、最小スポットサイズである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のエネルギービームスポットは、電子ビームスポットである、請求項1に記載の方法。
- 前記非点収差レンズおよび集束レンズの設定は、それぞれ、少なくとも1つの非点収差コイルおよび少なくとも1つの集束コイルのためのコイル電流設定である、請求項3に記載の方法。
- 前記第1のエネルギービームスポットは、レーザビームスポットである、請求項1に記載の方法。
- 前記非点収差レンズおよび集束レンズの設定は、それぞれ、少なくとも1つの非点収差レンズおよび少なくとも1つの集束レンズの光軸に沿った位置決めである、請求項5に記載の方法。
- コンピュータ上で実行されると、少なくとも1つのエネルギービームスポットのサイズを自動的に確認する方法を実装するように構成および用意されたプログラム要素であって、前記方法は、
a.ワークピース上の第1の位置において、第1のエネルギービーム源から、所定のサイズおよびパワーを有する第1のエネルギービームスポットを生成するステップと、
b.前記第1のエネルギービームスポットの最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットのための集束レンズ設定および非点収差レンズ設定のそれぞれを変更するステップと、
c.前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度のための集束レンズおよび非点収差レンズのそれぞれの設定と、前記所定のサイズおよびパワーを備える前記第1のエネルギービームスポットのための前記集束レンズおよび前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するステップと、
d.異なる所定のビームパワーのためにステップa〜cを繰り返すステップと、
e.前記集束レンズおよび非点収差レンズの前記検出された設定のいずれか1つが、前記集束レンズおよび非点収差レンズの対応する記憶済みの設定から、所定の値より大きくずれている場合に、注意信号または注意メッセージを送出するステップと
を含む、プログラム要素。 - 非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体内に具現化されたコンピュータ可読プログラムコード部分を有する少なくとも1つの前記非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体を含む、非一時的なコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムコード部分は、
ワークピース上の第1の位置において、第1のエネルギービーム源から、所定のサイズおよびパワーを有する第1のエネルギービームスポットを生成するステップのために構成された実行可能部分と、
前記第1のエネルギービームスポットの最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットのための集束レンズ設定および非点収差レンズ設定のうちのそれぞれを変更するステップのために構成された実行可能部分と、
前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度のための集束レンズおよび非点収差レンズのそれぞれの設定と、前記所定のサイズおよびパワーを備える前記第1のエネルギービームスポットのための前記集束レンズおよび前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較するステップのために構成された実行可能部分と、
異なる所定のビームパワーのために前記生成、前記変更、および前記比較するステップを繰り返すために構成された実行可能部分と、
前記集束レンズおよび非点収差レンズの前記検出された設定のいずれか1つが、前記集束レンズおよび非点収差レンズの対応する記憶済みの設定から、所定の値より大きくずれている場合に、注意信号または注意メッセージを送出する実行可能部分と
を含む、非一時的なコンピュータプログラム製品。 - 少なくとも1つのエネルギービームスポットのサイズを確認する装置であって、前記装置は、
ワークピース上の第1の位置において、所定のサイズおよびパワーを有する第1のエネルギービームスポットを生成するように構成された第1のエネルギービーム源と、
制御ユニットと
を含み、前記制御ユニットは、
前記第1のエネルギービームスポットに対する最高強度が検出されるまで、前記第1のエネルギービームスポットに対する集束レンズ設定および非点収差レンズ設定のそれぞれを変更し、
前記第1のエネルギービームスポットの前記検出された最大強度に対する集束レンズおよび非点収差レンズのそれぞれの設定と、前記所定のサイズおよびパワーを備える前記第1のエネルギービームスポットに対する前記集束レンズおよび前記非点収差レンズの対応する記憶済みの設定とを比較し、
前記所定のビームパワー以外の1つ以上のビームパワーのために、前記変更、および比較ステップを繰り返し、
前記集束レンズおよび非点収差レンズの前記検出された設定のいずれか1つが、前記集束レンズおよび非点収差レンズの対応する記憶済みの設定から、所定の値より大きくずれている場合に、注意信号または注意メッセージを送出する、装置。 - 前記装置は、前記第1のエネルギービーム源とワークピース構造体との間の経路に配置された少なくとも1つのミラーをさらに含み、前記少なくとも1つのミラーは、前記制御ユニットを介して、第1のエネルギービームを方向付けるために構成されている、請求項9に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのミラーは、傾斜可能な、または他の形で可動なミラーである、請求項10に記載の装置。
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201462039626P | 2014-08-20 | 2014-08-20 | |
US62/039,626 | 2014-08-20 | ||
US201462093882P | 2014-12-18 | 2014-12-18 | |
US62/093,882 | 2014-12-18 | ||
US14/750,752 US9310188B2 (en) | 2014-08-20 | 2015-06-25 | Energy beam deflection speed verification |
US14/750,779 US9347770B2 (en) | 2014-08-20 | 2015-06-25 | Energy beam size verification |
US14/750,752 | 2015-06-25 | ||
US14/750,779 | 2015-06-25 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017506836A Division JP2017532203A (ja) | 2014-08-20 | 2015-07-30 | エネルギービームサイズの確認 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020044580A JP2020044580A (ja) | 2020-03-26 |
JP6815466B2 true JP6815466B2 (ja) | 2021-01-20 |
Family
ID=55350223
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017506836A Pending JP2017532203A (ja) | 2014-08-20 | 2015-07-30 | エネルギービームサイズの確認 |
JP2019194148A Active JP6815466B2 (ja) | 2014-08-20 | 2019-10-25 | エネルギービームスポットのサイズを確認する方法、プログラム要素、非一時的なコンピュータプログラム製品、および装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017506836A Pending JP2017532203A (ja) | 2014-08-20 | 2015-07-30 | エネルギービームサイズの確認 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3183082B1 (ja) |
JP (2) | JP2017532203A (ja) |
CN (1) | CN106573331B (ja) |
WO (1) | WO2016026664A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017179575A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | キヤノン株式会社 | 三次元造形装置、及び三次元造形方法 |
GB2562233A (en) * | 2017-05-08 | 2018-11-14 | Gkn Aerospace Services Ltd | Electron beam analysis |
JP2018197372A (ja) * | 2017-05-24 | 2018-12-13 | 株式会社エイチ・ティー・エル | Sus316lの電子ビーム積層造形方法 |
US10529070B2 (en) * | 2017-11-10 | 2020-01-07 | Arcam Ab | Method and apparatus for detecting electron beam source filament wear |
EP3524411B1 (en) | 2018-02-09 | 2023-05-03 | Concept Laser GmbH | Method for calibrating at least one apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects |
US20240066598A1 (en) * | 2022-08-29 | 2024-02-29 | Arcam Ab | Devices, systems, and methods for monitoring a spot quality of an electron beam |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57138757A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-27 | Hitachi Ltd | Correction of deflection distortion |
DE10131610C1 (de) * | 2001-06-29 | 2003-02-20 | Siemens Dematic Ag | Verfahren zur Kalibrierung des optischen Systems einer Lasermaschine zur Bearbeitung von elektrischen Schaltungssubstraten |
JP4167904B2 (ja) * | 2003-01-06 | 2008-10-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
US20070173796A1 (en) * | 2006-01-25 | 2007-07-26 | Ralf Kessler | Device and method for calibrating a laser system |
CN101400787B (zh) * | 2006-01-27 | 2013-01-23 | 株式会社Prostemics | 采用脂肪来源成体干细胞大量制造生长因子的方法 |
DE102007056984A1 (de) * | 2007-11-27 | 2009-05-28 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts mittels Lasersintern |
JP2009142865A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Keyence Corp | レーザ加工装置、レーザ加工方法及びレーザ加工装置の設定方法 |
JP5609458B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2014-10-22 | トヨタ自動車株式会社 | レーザ照射位置情報取得方法及びレーザの焦点合わせ方法 |
JP5863568B2 (ja) * | 2012-06-01 | 2016-02-16 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ光照射方法およびレーザ光照射装置 |
-
2015
- 2015-07-30 EP EP15750294.9A patent/EP3183082B1/en active Active
- 2015-07-30 JP JP2017506836A patent/JP2017532203A/ja active Pending
- 2015-07-30 WO PCT/EP2015/067521 patent/WO2016026664A1/en active Application Filing
- 2015-07-30 CN CN201580044540.2A patent/CN106573331B/zh active Active
-
2019
- 2019-10-25 JP JP2019194148A patent/JP6815466B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106573331A (zh) | 2017-04-19 |
JP2020044580A (ja) | 2020-03-26 |
JP2017532203A (ja) | 2017-11-02 |
CN106573331B (zh) | 2020-09-04 |
EP3183082A1 (en) | 2017-06-28 |
EP3183082B1 (en) | 2024-02-28 |
WO2016026664A1 (en) | 2016-02-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |