JP6808130B2 - レーザ加工方法およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
特許文献2は、レーザのよる穴加工において、波長およびパルス幅が異なる2つのレーザを用いて、波長の短い方のレーザ光がもう一方のビームスポットの外側部分でエネルギー強度が強くなるようにエネルギー強度分布を整形した後に重畳することを特徴とした技術を報告している。一般的にビーム整形の光学系は大きなパルスエネルギーを必要とするため、波長の短いレーザ発振器は高価であるが、高いパルスエネルギーを持つさらに高価なレーザ発振器が必要であり、ビーム整形の光学系も高価であることから、加工装置は非常に高価なものとなる。
特許文献3は、CFRPなどの複合材料に対して高速で高品質な加工を行うことを目的とし、連続発振する連続光およびパルス発振するパルス光の2つのレーザ光を用いて、前記パルス光を回折光学素子などを用いて集光・回転させ、中心部に開口がある金属ミラーを用いて重畳する技術を報告している。しかし、集光後にミラーによって重畳するため、使用できる集光レンズの焦点距離には光学設計上の制限があり、前記連続光の集光径を30μm以下にすることができない。また、集光レンズ通過後において前記パルス光の光軸と前記連続光の光軸との角度である入射角度の適用範囲に関して、前記パルス光を前記開口の内部に入射できないことから、前記入射角度が0°に近い範囲は適用することができない。このように、加工対象物に対して前記連続光と前記パルス光が重畳する領域は前記加工対象物の表面近傍に限定されることから、前記加工面の形状を制御することは難しい。
レーザ発振器1はシングルモードファイバーレーザ(IPG社製YLR−150/1500−QCW)を用いた。前記レーザ発振器1は連続発振およびパルス発振を選択して使用することが可能である。出射端のファイバーレーザのコア径は50μmでる。
このように、本発明において熱伝導率が高い金属材料の切断において、レーザ光11はパルス照射が有効となることがわかった。
2 パルスレーザ発振器
3 コリメートレンズ
4a ミラー
4b ミラー
4c ミラー
5 ダイクロイックミラー
6 回動手段
7 広がり角制御手段
8 集光レンズ
9 加工対象物
11 シングルモードファイバーレーザ光
12 パルスレーザ光
20 制御手段
21 高速流れ導入手段
22 加工ステージ
61 プリズムホルダー
62 モータ
100 レーザ加工装置
θ 入射角度
Rb シングルモードファイバーレーザ光のビーム半径
Rm パルスレーザ光の公転半径
Claims (3)
- シングルモードファイバーレーザによる加工方法であって、レーザ加工の対象となる加工対象物の熱伝導率および融点である熱物性に応じて連続発振またはパルス発振を選択して行うレーザ発振手段を有するシングルモードファイバーレーザ発振器から出射される中心波長が近赤外線領域であるレーザ光の光軸を公転軸として公転する中心波長が可視光領域でかつ1ナノ秒以下のパルス幅と40μJ以上のパルスエネルギーを有するパルスレーザ光が前記加工対象物表面に集光した後に、前記シングルモードファイバーレーザ光と前記パルスレーザ光の一部が重畳した状態で、集光レンズ内に入射し、前記パルスレーザ光が任意の公転半径で公転運動を維持した状態で、前記シングルモードファイバーレーザ光と前記パルスレーザ光が前記加工対象物表面の同一箇所に集光することで、前記光軸を基準として前記公転半径を前記集光レンズの焦点距離で除した値の逆正接から得られる入射角度を有する前記パルスレーザ光が前記シングルモードファイバーレーザ光および前記パルスレーザ光の集光により前記加工対象物に新たに形成される加工面に対する入射方向を変化させながら、前記熱物性に応じて前記入射角度が1.2°以下の範囲で前記加工面に入射することで、前記加工面の形状を変化させることおよび前記加工面に後処理加工を付与することを特徴とするレーザ加工方法。
- 前記熱伝導率が16から398W/(m・K)までの金属材料または炭素繊維と樹脂から構成される炭素繊維複合材料を前記加工対象物とすることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
- シングルモードファイバーレーザによる加工装置であって、中心波長が近赤外線領域であるレーザ光を連続発振またはパルス発振する前記シングルモードファイバーレーザ発振器と、中心波長が可視光領域でかつ1ナノ秒以下のパルス幅と40μJ以上のパルスエネルギーを有するパルスレーザ光を発振するパルスレーザ発振器と、前記レーザ光および前記パルスレーザ光に対する色収差補正および球面収差補正がなされた集光レンズと、前記パルスレーザ光を任意の軸を公転軸として任意の公転半径で公転させるビーム回動手段と、前記公転軸が前記レーザ光の光軸と一致するように前記レーザ光を反射しかつ前記パルスレーザ光を透過するダイクロイックミラーと、前記レーザ光を平行光にコリメートするコリメートレンズと、前記光軸方向に対する前記パルスレーザ光の焦点位置が前記レーザ光の焦点位置と一致するように前記パルスレーザ光の広がり角を制御する広がり角制御手段と、前記レーザ光および前記パルスレーザ光の照射により生じる溶融物や蒸発物を気体の高速流れを利用して除去する高速流れ導入手段とを少なくとも備え、前記公転半径を前記集光レンズの焦点距離で除した値の逆正接から得られる入射角度が1.2°以下となるように設定することで、前記シングルモードファイバーレーザ光および前記パルスレーザ光の集光により前記加工対象物に新たに形成される加工面の形状を変化させることおよび前記加工面に後処理加工を付与することを特徴とするレーザ加工装置。
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