JP6807061B2 - 真空チャック - Google Patents
真空チャック Download PDFInfo
- Publication number
- JP6807061B2 JP6807061B2 JP2018139557A JP2018139557A JP6807061B2 JP 6807061 B2 JP6807061 B2 JP 6807061B2 JP 2018139557 A JP2018139557 A JP 2018139557A JP 2018139557 A JP2018139557 A JP 2018139557A JP 6807061 B2 JP6807061 B2 JP 6807061B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck body
- suction
- chips
- suction surface
- outer peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 33
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
本発明は例えば、パソコン用磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等の各種の情報記録媒体としての円盤状のディスク素材の旋削加工機械等に用いられる真空チャックに関するものである。
従来、この種の真空チャックとして、旋盤等の機体に主軸を回転自在に配設し、主軸の前部に前端面及び外周面を有する略円柱形状のチャック体が配設され、チャック体の前端面は被加工物を負圧吸着可能な吸着面に形成され、チャック体に吸着面に臨む吸着口部が形成され、吸引口部に負圧源が接続され、チャック体の吸引口部に負圧吸着作用を生じさせ、チャック体の吸着面に負圧吸着作用により被加工物を吸着する構造のものが知られている。
しかして、上記チャック体に被加工物を吸着させ、上記主軸を駆動源により回転させ、上記チャック体を回転させ、バイト等の刃物により被加工物に旋削加工等を行うことになる。
しかしながら上記従来構造の場合、上記旋削加工等により生じた切粉がチャック体の吸着面に付着残存し、吸着面と被加工物との間に切粉が挟み込まれることがあり、切粉の挟み込みにより吸着面に被加工物が密着しないことになり、被加工物が変形し、それだけ、被加工物の吸着位置精度が低下し、被加工物の平坦度等の加工精度を低下させると共に薄板状の脆い被加工物にあっては破損することもあり、それだけ歩留まりの低下を余儀なくされることがあるという不都合を有している。
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項１記載の発明は、旋削加工機械の回転する主軸の前部に配設され、前端面及び外周面を有する略円柱形状に形成され、該前端面は被加工物を負圧吸着可能な吸着面に形成され、該吸着面に臨む吸引口部をもつチャック体を備えてなり、上記チャック体の外周面は、旋削加工時の該チャック体の高速回転に伴う遠心力により上記吸着面から離反するに従って次第に外方に流れる気流を生成して旋削加工により生じた切粉を該吸着面から離反する方向に導出させるために上記吸着面から離反するに従って次第に径大となるテーパー面に形成され、さらに、上記チャック体の外周面を覆うカバー部材が固定配設され、該カバー部材内に存在する空気と一緒に上記被加工物の切粉を吸引する集塵機構を接続してなることを特徴とする真空チャックにある。
又、請求項２記載の発明は、上記チャック体の中央部に吸着面に開口する有底穴状の受入凹部が形成され、チャック体に受入凹部とチャック体の外周面とを連通する導出路が形成されていることを特徴とするものであり、又、請求項３記載の発明は、上記チャック体はアルミニウム材からなることを特徴とするものである。
本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、負圧源と吸引口部とが接続され、吸引により吸着面に負圧吸着作用が生じ、チャック体の吸着面に被加工物が吸着され、旋削加工機械の主軸を回転させると共に被加工物を旋削加工等をすることになり、この際、上記チャック体の外周面は、旋削加工時の該チャック体の高速回転に伴う遠心力により上記吸着面から離反するに従って次第に外方に流れる気流を生成して旋削加工により生じた切粉を該吸着面から離反する方向に導出させるために上記吸着面から離反するに従って次第に径大となるテーパー面に形成されているから、チャック体の高速回転に伴う遠心力により吸着面から離反するに従って次第に外方に流れる気流が生成され、この生成された気流により上記旋削加工等により生じた切粉を吸着面から離反する方向に導出し、切粉の排出を良好に行うことができ、吸着面への切粉の残留を防ぐことができ、被加工物と吸着面との密着性を向上することができ、被加工物をチャック体に確実に吸着保持することができ、安定した吸着力を得ることができ、被加工物の吸着位置精度を向上することができ、被加工物の切粉の吸引により保守及び整備を容易に行うことができ、さらに、上記チャック体の外周面を覆うカバー部材が固定配設され、カバー部材内に存在する空気と一緒に上記被加工物の切粉を吸引する集塵機構を接続してなるから、集塵機構により上記チャック体の外周面に飛散する切粉を吸引除去することができ、切粉の排出を良好に行うことができ、吸着面への切粉の残留を防ぐことができ、被加工物と吸着面との密着性を向上することができ、被加工物をチャック体に確実に吸着保持することができ、安定した吸着力を得ることができ、被加工物の吸着位置精度を向上することができる。
又、請求項２記載の発明にあっては、上記チャック体の中央部に吸着面に開口する有底穴状の受入凹部が形成され、チャック体に受入凹部とチャック体の外周面とを連通する導出路が形成されているので、被加工物の旋削加工等により生じた切粉は受入凹部内に侵入したのち、チャック体の回転に伴う遠心力により受入凹部から導出路を介してチャック体の外周面へと導出され、この切粉排出作用により切粉がチャック体の吸着面に付着残存して吸着面と被加工物との間に切粉が挟み込まれることを抑制することができ、それだけ吸着面と被加工物との密着を確実に行うことができ、被加工物の変形を防止して吸着位置精度を向上することができ、被加工物の平坦度等の加工精度を高めることができると共に薄板状の脆い被加工物にあっても破損を防ぐことができ、それだけ歩留まりの向上を図ることができ、又、請求項３記載の発明にあっては、上記チャック体はアルミニウム材からなるので、チャック体の軽量化によりチャック体の高速回転時の振動抑制効果及びチャック体の加減速時間の短縮効果を得ることができる。
図１乃至図８は本発明を旋削加工機械に適用した実施の形態例を示し、１は機体であって、この場合、図１の如く、機体１に主軸２を回転自在に横設し、主軸２を回転軸線Ｏを中心として図示省略の駆動モータにより高速回転させるように構成している。
３はチャック体であって、この場合、図２、図３の如く、上記主軸２の前部に取付部材４を取付け、取付部材４に中間部材５を取付けると共にチャック体３を取り付け、チャック体３は前端面３ａ及び外周面３ｂを有する略円柱形状に形成され、チャック体３の前端面３ａは被加工物Ｗを負圧吸着可能な吸着面Ｑに形成され、吸着面Ｑに臨む複数個の吸引口部６・・が放射状に四等配位置に形成され、筒状の主軸２の内穴２ａを図示省略の真空ポンプ等の負圧源に接続し、中間部材５に主軸２の内穴２ａと吸引口部６・・とを連通する連通路７が形成され、チャック体３の吸着面Ｑに同一円周状の複数個の吸引口部６・・を結ぶ円環状の凹環溝６ａが複数個形成され、負圧源の負圧作用により被加工物Ｗを吸着面Ｑに吸着すると共に負圧解除により被加工物Ｗを吸着面Ｑから釈放するように構成している。
この場合、図５の如く、上記チャック体３の外周面３ｂは上記吸着面Ｑから離反するに従って次第に径大となるテーパー面Ｇに形成され、テーパー角は適宜選択され、この場合、約２０度のテーパー角（勾配約１０度）に形成され、このテーパー面Ｇの形状によりチャック体３の高速回転に伴う遠心力により図中矢印のような吸着面Ｑから離反するに従って次第に外方に流れる気流Ｆが生成され、この生成された気流Ｆにより上記旋削加工等により生じた切粉Ｗ１を吸着面Ｑから離反する方向に導出し、吸着面Ｑへの切粉Ｗ１の残留を防ぐことになる。
８は受入凹部であって、図２、図３、図４の如く、上記チャック体３の中央部に吸着面Ｑに開口して有底穴状に形成されている。
９は導出路であって、図２の如く、上記チャック体３に上記受入凹部８とチャック体３の外周面３ｂとを連通して形成されている。
又、この場合、上記チャック体３はアルミニウム材により製作され、チャック体３の軽量化によりチャック体３の高速回転時の振動抑制効果及びチャック体３の加減速時間の短縮効果を得るようにしている。
この場合、図２の如く、上記受入凹部８の開口部側内周面としての範囲Ｔは底に向かうに従って次第に径大となるテーパー面８ａに形成されると共に底部側内周面としての範囲Ｓはテーパー面８ａに接続されたストレート面８ｂに形成され、ストレート面８ｂとチャック体３の外周面３ｂとを連通して形成され、かつ、受入凹部８の底面に接続される底面と内周面との接続面は先細りのテーパー面８ｃに形成されている。
１０は凹溝であって、この場合、図６、図７、図８の如く、上記チャック体３の吸着面Ｑに被加工物Ｗの切粉Ｗ１の大きさに応じた深さＨ及び幅Ｂの形状に形成され、すなわち、切粉Ｗ１の大きさを考慮し、切粉Ｗ１が凹溝１０内に没入して吸着面Ｑから突出しない大きさの深さＨ及び幅Ｂに形成されている。
１１はカバー部材であって、この場合、図１、図２、図４、図５の如く、上記機体１に固定配置され、上記チャック体３の外周面３ｂを覆う円筒状に形成され、カバー部材１１の前面に図示省略のバイト等の刃物が侵入可能な開口部１１ａが形成されると共にカバー部材１１の外周面に吸引開口部１１ｂが形成され、吸引開口部１１ｂにカバー部材１１内に存在する空気と一緒に被加工物Ｗの切粉Ｗ１を吸引する集塵機構１２を接続して構成している。
この実施の形態例は上記構成であるから、図外の負圧源と吸引口部６・・とが接続され、吸引Ｋにより吸着面Ｑに負圧吸着作用が生じ、チャック体３の吸着面Ｑに被加工物Ｗが吸着され、旋削加工機械の機体１に設けられた主軸２を回転軸線Ｏを中心として図外の駆動源により回転させると共に被加工物Ｗを図外の刃物により旋削加工等をすることになり、この際、上記チャック体３の外周面３ｂは上記吸着面Ｑから離反するに従って次第に径大となるテーパー面Ｇに形成されているから、チャック体３の高速回転に伴う遠心力により図中矢印のような吸着面Ｑから離反するに従って次第に外方に流れる気流Ｆが生成され、この生成された気流Ｆにより上記旋削加工等により生じた切粉Ｗ１を吸着面Ｑから離反する方向に導出し、切粉Ｗ１の排出を良好に行うことができ、吸着面Ｑへの切粉Ｗ１の残留を防ぐことができ、被加工物Ｗと吸着面Ｑとの密着性を向上することができ、被加工物Ｗをチャック体３に確実に吸着保持することができ、安定した吸着力を得ることができ、被加工物Ｗの吸着位置精度を向上することができる。
この場合、図１、図２、図４、図５の如く、上記チャック体３の外周面３ｂを覆うカバー部材１１が固定配設され、カバー部材１１内に存在する空気と一緒に上記被加工物Ｗの切粉Ｗ１を吸引する集塵機構１２を接続してなるから、集塵機構１２により上記チャック体３の外周面３ｂに飛散する切粉Ｗ１を吸引除去することができ、切粉Ｗ１の排出を良好に行うことができ、吸着面Ｑへの切粉Ｗ１の残留を防ぐことができ、被加工物Ｗと吸着面Ｑとの密着性を向上することができ、被加工物Ｗをチャック体３に確実に吸着保持することができ、安定した吸着力を得ることができ、被加工物Ｗの吸着位置精度を向上することができ、さらに、被加工物Ｗの切粉Ｗ１の吸引により保守及び整備を容易に行うことができる。
又、この場合、上記チャック体３はアルミニウム材からなるので、チャック体３の軽量化によりチャック体３の高速回転時の振動抑制効果及びチャック体３の加減速時間の短縮効果を得ることができる。
また、この場合、図２、図３の如く、上記チャック体３の中央部に吸着面Ｑに開口する有底穴状の受入凹部８が形成され、かつ、チャック体３に受入凹部８とチャック体３の外周面３ｂとを連通する導出路９が形成されているので、例えば、被加工物Ｗの内径Ｗ２の旋削加工等により生じた切粉Ｗ１は受入凹部８内に侵入したのち、チャック体３の回転に伴う遠心力により受入凹部８から導出路９を介して図中矢印方向にチャック体３の外周面３ｂへと導出され、この切粉排出作用により切粉Ｗ１がチャック体３の吸着面Ｑに付着残存して吸着面Ｑと被加工物Ｗとの間に切粉Ｗ１が挟み込まれることを抑制することができ、それだけ吸着面Ｑと被加工物Ｗとの密着を確実に行うことができ、被加工物Ｗの変形を防止して吸着位置精度を向上することができ、被加工物Ｗの平坦度等の加工精度を高めることができると共に薄板状の脆い被加工物Ｗにあっても破損を防ぐことができ、それだけ歩留まりの向上を図ることができる。
又、この場合、図２の如く、上記受入凹部８の開口部側内周面は底に向かうに従って次第に径大となるテーパー面８ａに形成されると共に底部側内周面はテーパー面８ａに接続されたストレート面８ｂに形成され、このストレート面８ｂとチャック体３の外周面３ｂとを連通する上記導出路９を形成しているから、テーパー面８ａの存在により切粉Ｗ１の受入凹部８内への侵入が容易となると共に受入凹部８内に侵入した切粉Ｗ１が吸着面Ｑ側に出ることを抑制することができてそのまま遠心力により導出路９を介してチャック体３の外周面３ｂへと導出させることができ、さらに、この場合、受入凹部８の底面に接続される底面と内周面との接続面は先細りのテーパー面８ｃに形成されているので、テーパー面８ｃによって、受入凹部８の底面に到達した切粉Ｗ１をストレート面８ｂに戻させることができ、よって、切粉Ｗ１を確実に導出路９を介してチャック体３の外周面３ｂへと導出させることができる。
又、この場合、図６、図７、図８の如く、上記チャック体３の吸着面Ｑに被加工物Ｗの切粉Ｗ１の大きさに応じた形状の凹溝１０を形成しているので、切粉Ｗ１は凹溝１０内に没入し、吸着面Ｑから突出しないので、吸着面Ｑと被加工物Ｗとの間に切粉Ｗ１が挟み込まれることを抑制することができ、それだけ被加工物Ｗの吸着位置精度を向上することができて加工精度を高めることができると共に薄板状の脆い被加工物Ｗにあっても破損を防ぐことができる。
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、被加工物Ｗ、吸着面Ｑ、テーパー面Ｇ、切粉Ｗ１、主軸２、チャック体３、前端面３ａ、外周面３ｂ、吸引口部６、カバー部材１１、集塵機構１２等の構造や形態等は適宜変更して設計される。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
Ｗ 被加工物
Ｑ 吸着面
Ｇ テーパー面
Ｆ 気流
Ｗ１ 切粉
２ 主軸
３ チャック体
３ａ 前端面
３ｂ 外周面
６ 吸引口部
８ 受入凹部
９ 導出路
１１ カバー部材
１２ 集塵機構
Ｑ 吸着面
Ｇ テーパー面
Ｆ 気流
Ｗ１ 切粉
２ 主軸
３ チャック体
３ａ 前端面
３ｂ 外周面
６ 吸引口部
８ 受入凹部
９ 導出路
１１ カバー部材
１２ 集塵機構
Claims (3)
- 旋削加工機械の回転する主軸の前部に配設され、前端面及び外周面を有する略円柱形状に形成され、該前端面は被加工物を負圧吸着可能な吸着面に形成され、該吸着面に臨む吸引口部をもつチャック体を備えてなり、上記チャック体の外周面は、旋削加工時の該チャック体の高速回転に伴う遠心力により上記吸着面から離反するに従って次第に外方に流れる気流を生成して旋削加工により生じた切粉を該吸着面から離反する方向に導出させるために上記吸着面から離反するに従って次第に径大となるテーパー面に形成され、さらに、上記チャック体の外周面を覆うカバー部材が固定配設され、該カバー部材内に存在する空気と一緒に上記被加工物の切粉を吸引する集塵機構を接続してなることを特徴とする真空チャック。
- 上記チャック体の中央部に吸着面に開口する有底穴状の受入凹部が形成され、チャック体に受入凹部とチャック体の外周面とを連通する導出路が形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空チャック。
- 上記チャック体はアルミニウム材からなることを特徴とする請求項１又は２記載の真空チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018139557A JP6807061B2 (ja) | 2018-07-25 | 2018-07-25 | 真空チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018139557A JP6807061B2 (ja) | 2018-07-25 | 2018-07-25 | 真空チャック |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020015134A JP2020015134A (ja) | 2020-01-30 |
| JP6807061B2 true JP6807061B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=69579889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018139557A Active JP6807061B2 (ja) | 2018-07-25 | 2018-07-25 | 真空チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6807061B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112192475B (zh) * | 2020-10-23 | 2022-02-15 | 佛山市玮邦建材有限公司 | 一种铝单板自调式真空吸附平台 |
-
2018
- 2018-07-25 JP JP2018139557A patent/JP6807061B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2020015134A (ja) | 2020-01-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101152873B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 및 그 가공방법 | |
| US9381673B2 (en) | Cutting apparatus having blade cover | |
| JP6938087B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
| JP7019241B2 (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
| JP6887313B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
| JP6807061B2 (ja) | 真空チャック | |
| JP6591263B2 (ja) | 切屑吸引用カバーおよび工作機械 | |
| JP2018144168A (ja) | フランジ機構 | |
| JP2021126742A (ja) | 切削ブレード、フランジ機構、及び切削装置 | |
| JP2014011422A (ja) | 切削装置のチャックテーブル機構 | |
| JP6830461B2 (ja) | 真空チャック | |
| US20130051951A1 (en) | Scribing Tool and Dust Collector | |
| JPH0655401A (ja) | 加工機 | |
| JP3117533B2 (ja) | 切屑排出装置を備えた正面フライス | |
| JP2009202285A (ja) | 切屑詰まり除去方法及び切屑詰まり除去装置 | |
| JP3191006B2 (ja) | 真空チャック | |
| JP5346611B2 (ja) | 面削工具装置 | |
| JP6501683B2 (ja) | 積層ウェーハの加工方法 | |
| JPH0121720Y2 (ja) | ||
| CN206839621U (zh) | 一种加工回转体零件轴承孔的定位工装 | |
| JP7455463B2 (ja) | 切削装置 | |
| JP7229643B2 (ja) | 切削ブレードの固定方法 | |
| JP2010017820A (ja) | ハブ付きブレード | |
| JPH11123602A (ja) | 旋 盤 | |
| JP6703879B2 (ja) | 切屑吸引式切削工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190513 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200427 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200709 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201120 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6807061 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |