JP6806509B2 - 露光装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- マスクと基板とを走査しながら前記基板を露光することで前記マスクのパターンを前記基板に転写する露光装置であって、
前記基板を保持して移動するステージと、
前記ステージの移動を制御する制御部と、
前記ステージに保持された前記基板のショット領域が該ショット領域に対する露光が行われる露光領域に到達する前に、前記ショット領域の高さ方向の位置を計測する第1計測部と、
前記第1計測部に先立って前記ショット領域の前記高さ方向の位置を計測する第2計測部と、を有し、
前記制御部は、
前記第2計測部で前記ショット領域の前記高さ方向の位置を計測したあと且つ前記ショット領域が前記露光領域に到達するまでに、前記第2計測部の計測結果に基づいて前記基板を前記高さ方向に駆動する第1駆動と、該第1駆動に続いて前記第1計測部の計測結果に基づいて前記基板を前記高さ方向に駆動する第2駆動とを行うように前記ステージを制御し、
前記第1駆動における前記ステージの前記高さ方向への第1駆動量が、前記ショット領域の前記高さ方向の最終目標位置と前記第2計測部で計測された前記ショット領域の前記高さ方向の位置との差分に対応する距離の半分よりも大きくなるようにし、
前記第2駆動における前記ステージの前記高さ方向への第2駆動量が、前記第1駆動における前記ステージの前記高さ方向への前記第1駆動量よりも小さくなるようにし、
前記ショット領域の前記高さ方向の位置が、前記第1駆動によって前記最終目標位置とは異なる位置になり、前記第2駆動によって前記最終目標位置になるように、前記第2駆動における前記ステージの目標位置として前記最終目標位置を設定し、前記第1駆動における前記ステージの目標位置として前記最終目標位置とは異なる目標位置を設定することを特徴とする露光装置。 - マスクと基板とを走査しながら前記基板を露光することで前記マスクのパターンを前記基板に転写する露光装置であって、
前記基板を保持して移動するステージと、
前記ステージの移動を制御する制御部と、
前記ステージに保持された前記基板のショット領域が該ショット領域に対する露光が行われる露光領域に到達する前に、前記ショット領域の高さ方向の位置を計測する第1計測部と、
前記第1計測部に先立って前記ショット領域の前記高さ方向の位置を計測する第2計測部と、を有し、
前記制御部は、
前記第2計測部で前記ショット領域の前記高さ方向の位置を計測したあと且つ前記ショット領域が前記露光領域に到達するまでに、前記第2計測部の計測結果に基づいて前記基板を前記高さ方向に駆動する第1駆動と、該第1駆動に続いて前記第1計測部の計測結果に基づいて前記基板を前記高さ方向に駆動する第2駆動とを行うように前記ステージを制御し、
前記第2駆動における前記ステージの前記高さ方向への第2駆動量が、前記第1駆動における前記ステージの前記高さ方向への第1駆動量よりも小さくなるようにし、
前記ショット領域の前記高さ方向の位置が、前記第1駆動によって前記ショット領域の前記高さ方向の最終目標位置とは異なる第1目標位置になり、前記第2駆動によって前記最終目標位置になるように制御し、
前記第2計測部によって計測された前記ショット領域の前記高さ方向の位置から前記第1目標位置までの前記第1駆動に要する時間を前記第1計測部によって計測された前記ショット領域の前記高さ方向の位置から前記最終目標位置までの前記第2駆動に要する時間より短くすることを特徴とする露光装置。 - 前記制御部は、前記第1駆動に要する時間を前記第2駆動に要する時間より短くすることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御部は、
前記ステージの前記高さ方向への駆動を制御するためのPID制御器を含み、
前記第1駆動における前記PID制御器の微分ゲインを前記第2駆動における前記PID制御器の微分ゲインより高くすることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記制御部は、前記第1駆動における前記PID制御器の積分ゲインを前記第2駆動における前記PID制御器の積分ゲインより小さくすることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記制御部は、
前記最終目標位置と前記第2計測部で計測された前記ショット領域の前記高さ方向の位置との第1差分データ及び前記最終目標位置と前記第1計測部で計測された前記ショット領域の前記高さ方向の位置との第2差分データのそれぞれに対してカットオフ周波数を有するローパスフィルタ処理を施して前記ステージの前記高さ方向への駆動を制御するための制御データを生成し、
前記第1差分データに施すローパスフィルタ処理のカットオフ周波数を前記第2差分データに施すローパスフィルタ処理のカットオフ周波数より高くすることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記制御部は、前記第1駆動における時間に対する前記ステージの第1駆動量の変化量の最大値を前記第2駆動における時間に対する前記ステージの第2駆動量の変化量の最大値より大きくすることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記マスクのパターンを前記基板に投影する投影光学系を更に有し、
前記投影光学系の像面の位置を前記最終目標位置とすることを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016180906A JP6806509B2 (ja) | 2016-09-15 | 2016-09-15 | 露光装置及び物品の製造方法 |
KR1020170113618A KR102222673B1 (ko) | 2016-09-15 | 2017-09-06 | 노광 장치 및 물품 제조 방법 |
US15/700,481 US10209631B2 (en) | 2016-09-15 | 2017-09-11 | Exposure apparatus and method of manufacturing article |
US16/243,200 US10481508B2 (en) | 2016-09-15 | 2019-01-09 | Exposure apparatus and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016180906A JP6806509B2 (ja) | 2016-09-15 | 2016-09-15 | 露光装置及び物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018045147A JP2018045147A (ja) | 2018-03-22 |
JP2018045147A5 JP2018045147A5 (ja) | 2019-10-17 |
JP6806509B2 true JP6806509B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=61559709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016180906A Active JP6806509B2 (ja) | 2016-09-15 | 2016-09-15 | 露光装置及び物品の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10209631B2 (ja) |
JP (1) | JP6806509B2 (ja) |
KR (1) | KR102222673B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6882091B2 (ja) * | 2017-06-21 | 2021-06-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置及び物品の製造方法 |
JP7071230B2 (ja) * | 2018-06-27 | 2022-05-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法、および物品の製造方法 |
JP2021128206A (ja) * | 2020-02-12 | 2021-09-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法、露光システム、情報処理装置、および、物品の製造方法 |
JP2021149000A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | キオクシア株式会社 | 露光方法、露光装置、及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06260393A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JPH09283427A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Nikon Corp | 露光方法及び投影露光装置 |
AU2076099A (en) * | 1998-01-29 | 1999-08-16 | Nikon Corporation | Exposure method and device |
JP4109891B2 (ja) * | 2002-04-19 | 2008-07-02 | キヤノン株式会社 | 能動制振装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2011227768A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Hitachi High-Technologies Corp | ステージ装置,それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置,およびステージ制御方法 |
JP5498243B2 (ja) * | 2010-05-07 | 2014-05-21 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
JP6071628B2 (ja) * | 2013-02-22 | 2017-02-01 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法 |
JP6109049B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2017-04-05 | キヤノン株式会社 | 処理装置、位置決め装置の制御方法、物品の製造方法 |
JP6267530B2 (ja) * | 2014-02-04 | 2018-01-24 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品の製造方法 |
-
2016
- 2016-09-15 JP JP2016180906A patent/JP6806509B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-06 KR KR1020170113618A patent/KR102222673B1/ko active IP Right Grant
- 2017-09-11 US US15/700,481 patent/US10209631B2/en active Active
-
2019
- 2019-01-09 US US16/243,200 patent/US10481508B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180074414A1 (en) | 2018-03-15 |
US10481508B2 (en) | 2019-11-19 |
US20190146359A1 (en) | 2019-05-16 |
US10209631B2 (en) | 2019-02-19 |
KR102222673B1 (ko) | 2021-03-05 |
JP2018045147A (ja) | 2018-03-22 |
KR20180030431A (ko) | 2018-03-23 |
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---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
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|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201204 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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