JP6804836B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
前記第1配管は、前記温調循環液が流れる第1内管とその外側に設けられた第1外管とを有し、前記第1内管と前記第1外管との間の第1空間を真空状態にして使用する第1真空断熱配管であり、
前記第2配管は、前記温調循環液が流れる第2内管とその外側に設けられた第2外管とを有し、前記第2内管と前記第2外管との間の第2空間を真空状態にして使用する第2真空断熱配管であり、
前記第1空間と前記第2空間は、前記第1配管と前記第2配管との接続部において互いに繋がっていることを特徴とする真空処理装置とする。
Claims (5)
- 真空容器と、前記真空容器の内部に配置される処理室と、前記真空容器の下方に配置され前記処理室の内部を減圧する排気ポンプと、前記処理室の内部に配置され試料を載置する試料台と、前記試料台に接続され前記試料台の温度を調整するための温調循環液を移送する雄側内管からなる第1内管と前記第1内管の外側に設けられた雄側外管からなる第1外管とを有する第1配管と、前記温調循環液を温調するサーキュレータと、一方が前記第1配管に接続され他方が前記サーキュレータに接続された前記温調循環液を移送する雌側内管からなる第2内管と前記第2内管の外側に設けられた雌側外管からなる第2外管とを有する第2配管と、を具備した真空処理装置であって、
前記第1配管は、前記第1内管と前記第1外管との間の第1空間を真空状態にして使用する第1真空断熱配管であり、雄側締結フランジと前記雄側締結フランジから突出させて先端部分に雄側内管継手を設けた継手部断熱内管を備えた雄側接続継手を有し、
前記第2配管は、前記第2内管と前記第2外管との間の第2空間を真空状態にして使用する第2真空断熱配管であり、雌側締結フランジと前記雌側締結フランジから前記第2外管の内部側に凹入されて先端部に雌側内管継手を設けた継手部断熱外管を備えた雌側接続継手を有し、
前記第1空間と前記第2空間は、前記第1配管と前記第2配管との接続部において互いに繋がっていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置であって、
前記第1空間と前記第2空間は、前記第1配管及び前記第2配管のいずれか一方に接続された排気手段により共に真空排気されることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1又は2に記載の真空処理装置であって、
前記第1配管と前記第2配管との接続部において、
前記第1配管の前記雄側内管継手は、前記第2配管の前記雌側内管継手の内部に挿入されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置であって、
前記雄側接続継手は、
前記雄側締結フランジと、
前記雌側接続継手の方向に対して凸形状となるように前記雄側締結フランジに設けられ、
前記第1内管の外側に配置され前記第1外管の内径よりも小さな外径を有する又は前記第2内管の外側に配置され前記第2外管の内径よりも小さな外径を有する前記継手部断熱内管と、
前記継手部断熱内管に設けられた継手部断熱内管連通孔と、
前記継手部断熱内管の先端に配置された前記雄側内管継手と、を含み、
前記雌側接続継手は、
前記雌側締結フランジと、
前記雄側接続継手の方向に対して凹形状となるように前記雌側締結フランジに設けられ、
前記雄側内管継手の外径よりも大きな内径で前記第1外管の内径又は前記第2外管の内径よりも小さな外径を有する前記継手部断熱外管と、
前記継手部断熱外管に設けられた継手部断熱外管連通孔と、
前記継手部断熱外管の先端に配置された前記雌側内管継手と、
を含むことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項4に記載の真空処理装置において、
前記雄側締結フランジは、真空に対するシール部を有し、
前記雄側内管継手は、前記温調循環液に対するシール部を有することを特徴とする真空処理装置。
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