TWI687620B - 機械引入裝置 - Google Patents

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TWI687620B TW107138351A TW107138351A TWI687620B TW I687620 B TWI687620 B TW I687620B TW 107138351 A TW107138351 A TW 107138351A TW 107138351 A TW107138351 A TW 107138351A TW I687620 B TWI687620 B TW I687620B
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謝志男
許恭銘
楊景富
何玫蓉
卓廷彬
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財團法人金屬工業研究發展中心
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Abstract

一種機械引入裝置其用以裝設於一真空設備的一樞接座，該機械引入裝置以一第一軸管樞接於該樞接座，該機械引入裝置的一第二軸管穿設於該第一軸管中，藉由該第二軸管的一錐狀外管壁接觸該第一軸管的一錐狀孔壁，以使該第二軸管密合於該第一軸管。

Description

機械引入裝置
本發明是關於一種機械引入裝置，特別是裝設於一真空設備的機械引入裝置。
在習知的濺鍍製程需在一真空環境中進行，且在進行該濺鍍製程前需先預熱一位於一艙體中的一載台，請參閱中華民國發明專利申請第103135707號「真空線性機械引入裝置」，其係在一基座10中設置一內襯套30，並將一軸桿40穿設於該內襯套30中，並於該內襯套30與該軸桿40之間設置一密封環50，以密封該內襯套30與該軸桿40之間的間隙。
然而由於該密封環50長時間處於高溫工作環境下，因此容易產生老化變形，而無法密封該內襯套30與該軸桿40之間的間隙。
本發明的主要目的是藉由一第一軸管的一錐狀孔壁與一第二軸管的一錐狀外管壁密合，以增加該第一軸管與該第二軸管之間的氣密度。
本發明的又一目的是藉由該第一軸管的一伸縮段，以使該第一軸管能配合該第二軸管的軸向伸長變形，以避免因該第二軸管變形而影響該第一軸管與該第二軸管之間的氣密度。
本發明之一種機械引入裝置，其用以裝設於一真空設備的一樞接座，該機械引入裝置包含一第一軸管以及一第二軸管，該第一軸管包含一樞接段及一接合段，該樞接段樞設於該樞接座的一樞接孔，該樞接段具有一第一接合孔，該接合段具有一第二接合孔，該第一接合孔連通該第二接合孔，該第二接合孔具有一錐狀孔壁，該第二軸管包含一第一接合段及一第二接合段，該第一接合段穿設於該第一接合孔中，該第二接合段穿設於該第二接合孔中，該第二接合段具有一錐狀外管壁，該第二軸管以該錐狀外管壁接觸該錐狀孔壁。
本發明藉由該第二軸管的該錐狀外管壁接觸該第一軸管的該錐狀孔壁，以增加該第一軸管與該第二軸管的接合面積，此外，當該第二軸管輸送一熱流體時，該熱流體的溫度會使該第二軸管受熱膨脹，進而使該錐狀孔壁緊密貼附於該錐狀外管壁，以增加該第一軸管與該第二軸管之間的氣密度。
請參閱第1及2圖，本發明的一種機械引入裝置100，其用以裝設於一真空設備200的一樞接座210，該真空設備200可選自於一真空濺鍍設備，但不以此為限，該樞接座210設置於該真空設備200的一艙體220。
請參閱第1及2圖，該機械引入裝置100包含一第一軸管110及一第二軸管120，該第二軸管120的一端用以結合該真空設備200的一載台230，該載台230位於該艙體220的一艙室中，該載台230用以設置一待加工件(圖未繪出)，在本實施例中，該機械引入裝置100用以預熱該載台230。
請參閱第1及2圖，該第一軸管110包含一樞接段111及一接合段112，較佳地，該第一軸管110另包含一伸縮段113，該伸縮段113位於該樞接段111與該接合段112之間，該伸縮段113的二端分別以焊接等方式連接該樞接段111及該接合段112，該伸縮段113選自於伸縮波紋管，該伸縮段113能在該樞接段111與該接合段112之間伸縮變形，該第一軸管110以該樞接段111樞設於該樞接座210的一樞接孔211，在本實施例中，該樞接孔211的一孔壁211a與該樞接段111的一外管壁111c之間設有至少一軸承150，以使該第一軸管110能被驅動而轉動，較佳地，在該樞接孔211的該孔壁211a與該樞接段111的該外管壁111c之間設有至少一密封環160。
請參閱第1及2圖，該樞接段111具有一第一接合孔111a，該接合段112具有一第二接合孔112a，該伸縮段113具有一通孔113a，該第一接合孔111a以該通孔113a連通該第二接合孔112a，該第二接合孔112a具有一錐狀孔壁112b，在本實施例中，該第二接合孔112a具有一孔徑D1，該孔徑D1由該樞接段111往相反該樞接段111的方向逐漸擴大，以構成該錐狀孔壁112b。
請參閱第1及2圖，該第二軸管120包含一第一接合段121及一第二接合段122，該第一接合段121穿設於該第一接合孔111a中，該第二接合段122穿設於該第二接合孔112a中，較佳地，在該第一接合孔111a的一孔壁111b與該第一接合段121的一外管壁121a之間設有至少一密封環140，該第二軸管120具有一輸 送通道123，該輸送通道123用以容置一流體O，在本實施例中，該流體O為一經加熱的煤油，但不以此為限。
請參閱第1及2圖，該第二接合段122具有一錐狀外管壁122a，在本實施例中，該第二接合段122具有一外徑D2，該外徑D2由該第一接合段121往相反該第一接合段121的方向逐漸擴大，以構成該錐狀外管壁122a，請參閱第2圖，該第二軸管120以該錐狀外管壁122a接觸該第一軸管110的該錐狀孔壁112b，較佳地，該錐狀孔壁112b及該錐狀外管壁122a的錐度實質上相同，以使該錐狀孔壁112b及該錐狀外管壁122a能緊密接觸，以增加該第一軸管110與該第二軸管120之間的氣密度。
請參閱第1及2圖，較佳地，該機械引入裝置100另包含一固定件130，該第一軸管110及該第二軸管120以該固定件130結合成一體，在本實施例中，該固定件130選自於一免鍵式軸套，該固定件130先與該第二軸管120結合成一體，當該第二軸管120穿設於該第一軸管110後，再以該固定件130將該第一軸管110及該第二軸管120結合成一體。
請參閱第1及2圖，該機械引入裝置100另包含一管束(Tube bundle)170，該管束170套設於該第一軸管110，且該管束170位於該樞接座210的外側，當該第二軸管120穿設於該第一軸管110後，藉由該管束170束緊該第一軸管110與該第二軸管120，以增加該第一軸管110與該第二軸管120的結合強度，並可增加該第一軸管110與該第二軸管120之間的氣密度。
請參閱第2圖，該流體O是以一輸送裝置(圖未繪出，如幫浦)輸送至該輸送通道123，以對該真空設備200的該載台230進行預熱，在本實施例中，藉由一動力裝置(圖未繪出，如傳動馬達)帶動該第一軸管110轉動，並同步地帶動 該第二軸管120及該載台230轉動，以進行一濺鍍製程。
請參閱第2圖，本發明藉由該第二軸管120以該錐狀外管壁122a接觸該第一軸管110的該錐狀孔壁112b，以增加該第一軸管110與該第二軸管120的接合面積，且當經加熱的該流體O輸送至該輸送通道123時，該流體的溫度會使該第二軸管120受熱膨脹，進而使該錐狀孔壁112b緊密貼附於該錐狀外管壁122a，以增加該第一軸管110與該第二軸管120之間的氣密度，此外，由於該第一軸管110具有該伸縮段113，因此當該第二軸管120因受熱而產生軸向伸長變形時，該第一軸管110以該伸縮段113配合該第二軸管120的軸向伸長變形，以避免因該第二軸管120變形而影響該第一軸管110與該第二軸管120之間的氣密度。
本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準，任何熟知此項技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內所作之任何變化與修改，均屬於本發明之保護範圍。
100:機械引入裝置
110:第一軸管
111:樞接段
111a:第一接合孔
111b:孔壁
111c:外管壁
112:接合段
112a:第二接合孔
112b:錐狀孔壁
113:伸縮段
113a:通孔
120:第二軸管
121:第一接合段
121a:外管壁
122:第二接合段
122a:錐狀外管壁
123:輸送通道
130:固定件
140:密封環
150:軸承
160:密封環
170:管束
200:真空設備
210:樞接座
211:樞接孔
211a:孔壁
220:艙體
230:載台
D1:孔徑
D2:外徑
O:流體
第1圖：本發明之機械引入裝置的分解剖視圖。 第2圖：本發明之機械引入裝置的組合剖視圖。
100:機械引入裝置
110:第一軸管
111:樞接段
111a:第一接合孔
111b:孔壁
111c:外管壁
112:接合段
112b:錐狀孔壁
113:伸縮段
113a:通孔
120:第二軸管
121:第一接合段
122:第二接合段
122a:錐狀外管壁
123:輸送通道
130:固定件
140:密封環
150:軸承
160:密封環
170:管束
200:真空設備
210:樞接座
211:樞接孔
211a:孔壁
220:艙體
230:載台
O:流體

Claims (10)

  1. 一種機械引入裝置，其用以裝設於一真空設備的一樞接座，該機械引入裝置包含： 一第一軸管，包含一樞接段及一接合段，該樞接段樞設於該樞接座的一樞接孔，該樞接段具有一第一接合孔，該接合段具有一第二接合孔，該第一接合孔連通該第二接合孔，該第二接合孔具有一錐狀孔壁；以及 一第二軸管，包含一第一接合段及一第二接合段，該第一接合段穿設於該第一接合孔中，該第二接合段穿設於該第二接合孔中，該第二接合段具有一錐狀外管壁，該第二軸管以該錐狀外管壁接觸該錐狀孔壁。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之機械引入裝置，其中該錐狀孔壁及該錐狀外管壁的錐度實質上相同。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之機械引入裝置，其中該第二接合孔具有一孔徑，該孔徑由該樞接段往相反該樞接段的方向逐漸擴大，以構成該錐狀孔壁。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之機械引入裝置，其中該第二接合段具有一外徑，該外徑由該第一接合段往相反該第一接合段的方向逐漸擴大，以構成該錐狀外管壁。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之機械引入裝置，其中該第一軸管另包含一伸縮段，該伸縮段位於該樞接段與該接合段之間，該伸縮段具有一通孔，該第一接合孔以該通孔連通該第二接合孔，該伸縮段能在該樞接段與該接合段之間伸縮變形。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之機械引入裝置，其另包含一固定件，該第一軸管及該第二軸管以該固定件結合成一體。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之機械引入裝置，其中該固定件選自於一免鍵式軸套。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之機械引入裝置，其中該第一接合孔的一孔壁與該第一接合段的一外管壁之間設有至少一密封環。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之機械引入裝置，其中該樞接孔的一孔壁與該樞接段的一外管壁之間設有至少一軸承。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之機械引入裝置，其另包含一管束，該管束套設於該第一軸管，其用以束緊該第一軸管與該第二軸管。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4383178A (en) * 1980-04-11 1983-05-10 Hitachi, Ltd. System for driving rotary member in vacuum
JPH0745596A (ja) * 1993-07-30 1995-02-14 Tokyo Electron Ltd 処理装置
TWI386569B (zh) * 2009-12-18 2013-02-21
KR101397087B1 (ko) * 2013-08-23 2014-05-19 주식회사 썬닉스 벨로우즈
JP2017087188A (ja) * 2015-11-17 2017-05-25 株式会社日立ハイテクノロジーズ 真空処理装置

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