JP6803172B2 - フォトマスクブランクス、それを用いたフォトマスクおよびフォトマスクの製造方法 - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
透明基板上に、
遮光膜を備え、
前記遮光膜上に低反射膜を備え、
前記低反射膜の表面に、前記遮光膜に含まれる金属と同種の金属で構成された透過率に影響しない金属薄膜層を備えていることを特徴とする。
透明基板上に、
遮光膜と低反射膜との2層構造膜、半透過膜又は位相シフト膜を備え、
前記低反射膜、半透過膜又は位相シフト膜の表面に、
透過率に影響しない島状の金属薄膜層を備えていることを特徴とする。
透明基板上に、
膜厚方向において金属クロムと酸素との比率を変化させた組成傾斜膜を備え、
前記組成傾斜膜の表面に透過率に影響しない金属クロム薄膜層を備えていることを特徴とする。
連続的な成膜により不要な異物(パーティクル)の混入を防止したり、製品納期の短縮または製造コストの低減に寄与することも可能である。
前記透明基板と前記遮光膜との界面に、金属酸化膜からなる層を備えていることを特徴とする。
透明基板上に、
遮光膜のパターンを備え、
前記遮光膜のパターン上に低反射膜のパターンを備え、
前記低反射膜のパターンの表面に、前記遮光膜に含まれる金属と同種の金属で構成された透過率に影響しない金属薄膜層のパターンを備えていることを特徴とする。
透明基板上に、
遮光膜と低反射膜との2層構造膜、半透過膜又は位相シフト膜のパターンを備え、
前記低反射膜、半透過膜又は位相シフト膜のパターンの表面に、透過率に影響しない島状の金属薄膜層のパターンを備えていることを特徴とする。
透明基板上に、
膜厚方向において金属クロムと酸素との比率を変化させた組成傾斜膜のパターンを備え、
前記組成傾斜膜の表面に透過率に影響しない金属クロム薄膜層のパターンを備えていることを特徴とする。
前記透明基板と前記遮光膜のパターンとの界面に、金属酸化膜からなる層のパターンを備えていることを特徴とする。
透明基板上に、遮光膜を形成する工程と、
前記遮光膜上に低反射膜を形成する工程と、
前記低反射膜の表面に、前記遮光膜に含まれる金属と同種の金属で構成された透過率に影響しない金属薄膜層を形成する工程と、
前記金属薄膜層上に接するようにレジストを形成する工程と、
前記レジストを露光、現像し、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記金属薄膜層、前記低反射膜および前記遮光膜をエッチングする工程とを含むことを特徴とする。
透明基板上に、遮光膜と低反射膜との2層構造膜、半透過膜又は位相シフト膜を形成する工程と、
前記低反射膜、半透過膜又は位相シフト膜の表面に、透過率に影響しない島状の金属薄膜層を形成する工程と、
前記金属薄膜層上に接するようにレジストを形成する工程と、
前記レジストを露光、現像し、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記金属薄膜層および前記半透過膜又は位相シフト膜をエッチングする工程とを含むことを特徴とする。
図1は、本実施形態のフォトマスクブランクス及びフォトマスクを製造する工程を示す断面図である。
以上の成膜工程によりフォトマスクブランクスが完成する。
しかし、金属薄膜層(金属クロム薄膜)は、透過率に影響しない程の膜厚であるため、半透過膜や、位相シフト膜上に金属薄膜層が形成されている状態であっても、光学特性に影響することはなく、ハーフトーンマスクや位相シフトマスクといった、特別の機能を有した所望のフォトマスクを得ることができる。従って、このような場合においても、金属薄膜層の除去工程は必要ない。
なお、あらかじめ最上層の金属薄膜層(金属クロム薄膜)の透過率や位相シフトへの影響を考慮した膜構成の設計をしておいても良い。
実施形態1では、透明基板21上に、遮光膜と低反射膜の2層構造を形成する例を示したが、本実施形態では、遮光膜及び低反射膜との2層構造膜に代えて、組成傾斜膜22を形成する(図2(A))。ここで、組成傾斜膜とは、膜厚方向において、クロムと酸素との比率が、膜厚方向における組成が連続的又は段階的に変化する膜をいう。すなわち、透明基板21上に組成傾斜膜22を形成後、組成傾斜膜22の表面に金属薄膜層23を形成することにより、フォトマスクブランクスが完成する(図2(B))。
また、組成傾斜膜を形成後、同一の成膜チャンバ(装置)において、Arガスのみによりスパッタリングすることで、その表面に金属薄膜層を形成しても良い。このような傾斜組成膜を構成する金属としては、クロム(Cr)、タンタル(Ta)、ルテニウム(Ru)、タングステン(W)、チタン(Ti)、ハフニウム(Hf)、モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、バナジウム(V)、ジルコニウム(Zr)、ニオブ(Nb)又はパラジウム(Pd)などが例示される。
また、実施形態1同様、レジストとの密着性を改善できるフォトマスクブランクスを提供することができ、そのフォトマスクブランクスを用いて作製したフォトマスを用いることにより、パターン寸法精度を向上させることができる。
実施形態1では、透明基板上に直接遮光膜を形成した例を示したが、本実施形態では、まず、透明基板31上に、例えば酸化クロムの金属酸化膜からなる層32を形成し、その後、遮光膜33、低反射膜34、金属薄膜層35を順次形成することで、フォトマスクブランクスを形成する。酸化クロムの金属酸化膜からなる層32の膜厚としては、一例として透過率を30%とするとその膜厚は、30nm程度となる。
その後、図3(C)に示すように、レジスト36を塗布し、次に、図3(D)に示すようにレジスト36を露光、現像することにより、レジストパターン36aを形成する。
その後、図3(E)に示すように、レジストパターン36aをマスクとして、金属薄膜層35、低反射膜34、遮光膜33、金属酸化膜からなる層32を順次エッチングし、金属薄膜層のパターン35a、低反射膜のパターン34a、遮光膜のパターン33a及び酸化クロムからなる層のパターン32aを形成する。
以上の工程により、フォトマスクが完成する。
また、実施形態1同様、レジストとの密着性を改善できるフォトマスクブランクスを提供することができ、そのフォトマスクブランクスを用いて作製したフォトマスを用いることにより、パターン寸法精度を向上させることができる。
本実施形態では、本実施形態1〜3に係るフォトマスクブランクスを用いて製造したフォトマスクを、製品のフォトリソグラフィー工程に適用する方法について説明する。
12 遮光膜
12a 遮光膜のパターン
13 低反射膜
13a 低反射膜のパターン
14 金属薄膜層
14a 金属薄膜層のパターン
15 レジスト
15a レジストパターン
21 透明基板
22 組成傾斜膜
22a 組成傾斜膜のパターン
23 金属薄膜層
23a 金属薄膜層のパターン
24 レジスト
24a レジストパターン
31 透明基板
32 酸化クロムからなる層
32a 酸化クロムからなる層のパターン
33 遮光膜
33a 遮光膜のパターン
34 低反射膜
34a 低反射膜のパターン
35 金属薄膜層
35a 金属薄膜層のパターン
36 レジスト
36a レジストパターン
Claims (10)
- 透明基板上に、
遮光膜を備え、
前記遮光膜上に低反射膜を備え、
前記低反射膜の表面に、前記遮光膜に含まれる金属と同種の金属で構成された透過率に影響しない金属薄膜層を備えていることを特徴とするフォトマスクブランクス。 - 透明基板上に、
遮光膜と低反射膜との2層構造膜、半透過膜又は位相シフト膜を備え、
前記低反射膜、半透過膜又は位相シフト膜の表面に、
透過率に影響しない島状の金属薄膜層を備えていることを特徴とするフォトマスクブランクス。 - 透明基板上に、
膜厚方向において金属クロムと酸素との比率を変化させた組成傾斜膜を備え、
前記組成傾斜膜の表面に透過率に影響しない金属クロム薄膜層を備えていることを特徴とするフォトマスクブランクス。 - 前記透明基板と前記遮光膜との界面に、金属酸化膜からなる層を備えていることを特徴とする請求項1記載のフォトマスクブランクス。
- 透明基板上に、
遮光膜のパターンを備え、
前記遮光膜のパターン上に低反射膜のパターンを備え、
前記低反射膜のパターンの表面に、前記遮光膜に含まれる金属と同種の金属で構成された透過率に影響しない金属薄膜層のパターンを備えていることを特徴とするフォトマスク。 - 透明基板上に、
遮光膜と低反射膜との2層構造膜、半透過膜又は位相シフト膜のパターンを備え、
前記低反射膜、半透過膜又は位相シフト膜のパターンの表面に、透過率に影響しない島状の金属薄膜層のパターンを備えていることを特徴とするフォトマスク。 - 透明基板上に、
膜厚方向において金属クロムと酸素との比率を変化させた組成傾斜膜のパターンを備え、
前記組成傾斜膜の表面に透過率に影響しない金属クロム薄膜層のパターンを備えていることを特徴とするフォトマスク。 - 前記透明基板と前記遮光膜のパターンとの界面に、金属酸化膜からなる層のパターンを備えていることを特徴とする請求項5記載のフォトマスク。
- 透明基板上に、遮光膜を形成する工程と、
前記遮光膜上に低反射膜を形成する工程と、
前記低反射膜の表面に、前記遮光膜に含まれる金属と同種の金属で構成された透過率に影響しない金属薄膜層を形成する工程と、
前記金属薄膜層上に接するようにレジストを形成する工程と、
前記レジストを露光、現像し、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記金属薄膜層、前記低反射膜および前記遮光膜をエッチングする工程とを含むことを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 透明基板上に、遮光膜と低反射膜との2層構造膜、半透過膜又は位相シフト膜を形成する工程と、
前記低反射膜、半透過膜又は位相シフト膜の表面に、透過率に影響しない島状の金属薄膜層を形成する工程と、
前記金属薄膜層上に接するようにレジストを形成する工程と、
前記レジストを露光、現像し、レジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記金属薄膜層および前記半透過膜又は位相シフト膜をエッチングする工程とを含むことを特徴とするフォトマスクの製造方法。
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