JP6801310B2 - 直動テーブル - Google Patents

Description

この発明は、直動テーブルに関する。

射出成形機や工作機械等で使用される直動テーブルとして、テーブルを駆動する送りねじ装置と、テーブルを送りねじ装置と同軸方向に案内する直動案内装置を備えたものがある。このような直動テーブルにおいて、送りねじ装置は、ねじ軸と、ねじ軸が挿通され、ねじ軸の螺旋溝と面接触するか転動体を介して点接触する螺旋溝を有するナットと、ねじ軸の軸方向一端に軸継手を介して結合されたモータを備えている。また、送りねじ装置のナットがブラケットを介してテーブルの一面に固定されている。
このような直動テーブルでは、直動案内装置として転がり摺動面を有する装置を使用すると、平摺動面を有する装置を使用した場合よりも、高速化という点では有利であるがテーブルの振動減衰性の点で劣っているという問題がある。これに対し、特許文献１には、テーブルの振動減衰性を向上させるために、送りねじ装置（送り軸機構）を構成するねじ軸の先端部にダンパを結合して、送りねじの回転方向に対して抵抗を与えることが記載されている。

特開平８−２５７８６４号公報

特許文献１に記載された送りねじ装置には、テーブルの振動減衰性にさらなる改善の余地がある。
この発明の課題は、テーブルを駆動する送りねじ装置と、テーブルを送りねじ装置と同軸方向に案内する直動案内装置を備えた直動テーブルであって、テーブルの振動減衰性に優れた直動テーブルを提供することである。

上記課題を解決するために、この発明の第一態様の直動テーブルは、下記の構成要件(1) 〜(5) を有する。
(1) テーブルと、テーブルを駆動する送りねじ装置と、テーブルを送りねじ装置と同軸方向に案内する直動案内装置と、振動吸収用ボールねじと、重りと、を有する。
(2) 送りねじ装置は、ねじ軸と、ねじ軸が挿通され、ねじ軸の螺旋溝と面接触するか転動体を介して点接触する螺旋溝を有するナットと、ねじ軸の軸方向一端に軸継手を介して結合されたモータと、を有する。ねじ軸がテーブルの移動方向と平行に配置され、ナットがテーブルの一面に固定されている。送りねじ装置は、モータの回転をナットの直線運動に変換する。

(3) 直動案内装置は、案内レールと案内レールに沿って移動する移動体とを有する。案内レールが、テーブルの移動方向に垂直な方向で送りねじ装置のねじ軸と異なる位置に、且つ、送りねじ装置のねじ軸と平行に配置されている。移動体が、テーブルの前記一面に固定されている。
(4) 振動吸収用ボールねじは、ねじ軸とナットとボールを有する。ねじ軸が、テーブルの移動方向に垂直な方向で送りねじ装置のねじ軸および直動案内装置の案内レールと異なる位置に、且つ、送りねじ装置のねじ軸と平行に配置されている。ナットがテーブルの前記一面に固定されている。
(5) 重りは、振動吸収用ボールねじを構成するねじ軸の軸方向端部に取り付けられている。

この発明の第二態様の直動テーブルは、下記の構成要件(11)〜(16)を有する。
(11)テーブルと、テーブルを駆動する送りねじ装置と、テーブルを送りねじ装置と同軸方向に案内する直動案内装置と、振動吸収用ボールねじと、回転止め装置と、重りと、を有する。
(12)送りねじ装置は、ねじ軸と、ねじ軸が挿通され、ねじ軸の螺旋溝と面接触するか転動体を介して点接触する螺旋溝を有するナットと、ねじ軸の軸方向一端に軸継手を介して結合されたモータと、を有する。ねじ軸がテーブルの移動方向と平行に配置され、ナットがテーブルの一面に固定されている。送りねじ装置は、モータの回転をナットの直線運動に変換する。

(13)直動案内装置は、案内レールと案内レールに沿って移動する移動体とを有する。案内レールが、テーブルの移動方向に垂直な方向で送りねじ装置のねじ軸と異なる位置に、且つ、送りねじ装置のねじ軸と平行に配置されている。移動体が、テーブルの前記一面に固定されている。
(14)振動吸収用ボールねじは、ねじ軸とナットとボールを有する。ねじ軸が、テーブルの移動方向に垂直な方向で送りねじ装置のねじ軸および直動案内装置の案内レールと異なる位置に、且つ、送りねじ装置のねじ軸と平行に配置されている。ナットが、ナットをテーブルに対して回転自在に支持する転がり軸受機構を介して、テーブルの前記一面に取り付けられている。
(15)回転止め装置は、振動吸収用ボールねじのナットをテーブルに対して回転不能にできる装置である。
(16)重りは、振動吸収用ボールねじを構成するねじ軸の軸方向端部に取り付けられている。

この発明によれば、テーブルを駆動する送りねじ装置と、テーブルを送りねじ装置と同軸方向に案内する直動案内装置を備え、テーブルの振動減衰性に優れた直動テーブルが提供される。

第一実施形態の直動テーブルを示す平面図である。 第二実施形態の直動テーブルを示す平面図である。 第三実施形態の直動テーブルを示す平面図である。 第三実施形態の直動テーブルを構成する振動吸収用ボールねじが有する転がり軸受機構を示す部分断面平面図である。 第三実施形態の直動テーブルを構成する回転止め装置を示す正面図である。

以下、この発明の実施形態について説明するが、この発明は以下に示す実施形態に限定されない。以下に示す実施形態では、この発明を実施するために技術的に好ましい限定がなされているが、この限定はこの発明の必須要件ではない。

［第一実施形態］
図１に示すように、この実施形態の直動テーブルは、送りねじ装置１と、テーブル２と、二個のリニアガイド（直動案内装置）３と、振動吸収用ボールねじ４と、二個の重り５と、基台６を備えている。
送りねじ装置１は、ねじ軸１１とナット１２とモータ１３を有し、ねじ軸１１がナット１２に挿通されている。送りねじ装置１の送りねじ機構は、ねじ軸１１の螺旋溝とナット１２の螺旋溝がボール（転動体）を介して点接触するボールねじである。ねじ軸１１の軸方向一端に、軸継手１３１を介してモータ１３が結合されている。

二個のリニアガイド３は、それぞれ、案内レール３１と二個のスライダ（移動体）３２と複数の転動体を有する。リニアガイド３において、案内レール３１および二個のスライダ３２は、互いに対向する位置に、転動体の転動通路を形成する軌道面をそれぞれ有する。両軌道面は案内レール３１の長手方向に延び、転動通路内を負荷状態で転動する転動体を介して、スライダ３２が案内レール３１に沿って直線移動する。
振動吸収用ボールねじ４は、ねじ軸４１とナット４２とボールを有し、ねじ軸４１の螺旋溝とナット４２の螺旋溝で形成される軌道内を負荷状態で転動するボールを介して、ナット４２がねじ軸４１に対して相対移動する。この実施形態では、振動吸収用ボールねじ４として、送りねじ装置１の送りねじ機構を構成するボールねじと仕様が同じものを用いている。ねじ軸４１の軸方向両端部に重り５が取り付けられている。

基台６上のテーブル２の移動方向Ｙと垂直な方向の両端に、各リニアガイド３が配置され、二個のリニアガイド３の間に送りねじ装置１と振動吸収用ボールねじ４が配置されている。各リニアガイド３の案内レール３１、送りねじ装置１のねじ軸１１、および振動吸収用ボールねじ４のねじ軸４１が、テーブル２の移動方向Ｙと平行に配置されている。
つまり、各リニアガイド３の案内レール３１、送りねじ装置１のねじ軸１１、および振動吸収用ボールねじ４のねじ軸４１は、テーブル２の移動方向Ｙと垂直な方向で異なる位置に互いに平行に配置されている。

この配置で、両リニアガイド３の案内レール３１が基台６に固定されている。送りねじ装置１のねじ軸１１と振動吸収用ボールねじ４のねじ軸４１は、それぞれの軸方向両端部に転がり軸受が取り付けられ、転がり軸受の外輪にハウジング７が固定され、各ハウジング７が基台６に固定されている。これにより、送りねじ装置１のねじ軸１１およびボールねじ４のねじ軸４１が、基台６に対して回転自在に支持されている。
テーブル２は、各リニアガイド３の二個のスライダ３２、送りねじ装置１のナット１２、および振動吸収用ボールねじ４のナット４２の上方に配置され、スライダ３２に対しては直接、ナット１２，４２に対してはブラケットを介して固定されている。つまり、各リニアガイド３の二個のスライダ３２、送りねじ装置１のナット１２、および振動吸収用ボールねじ４のナット４２が、テーブル２の一面に固定されている。

この実施形態の直動テーブルは、モータ１３を駆動して送りねじ装置１を稼働させると、送りねじ装置１のねじ軸１１が回転し、ボールねじ機構によりナット１２が直動する。これに伴い、テーブル２がリニアガイド３に案内されながら直動する。その際に、テーブル２に生じた振動が、軸方向の力として振動吸収用ボールねじ４のナット４２に伝わり、ナット４２の軸方向への移動に伴い、ねじ軸４１が回転する。
つまり、テーブル２に生じた振動は、振動吸収用ボールねじ４のナット４２の軸方向力からねじ軸４１の回転力に変換されることで、振動吸収用ボールねじ４に吸収される。また、振動吸収用ボールねじ４のねじ軸４１が軸方向端部に重り５を有することで、重り５が無い場合よりもねじ軸４１が回転しにくくなるため、振動吸収用ボールねじ４の作動に伴って振動が発生することも低減される。

よって、この実施形態の直動テーブルは振動減衰性に優れたものであり、この実施形態の直動テーブルを切削装置に適用すれば、重切削時の振動を早く減衰することができるため、重切削時のびびり振動が抑制され、切削面の状態が悪化することを防止できる。
また、振動吸収用ボールねじ４として、送りねじ装置１のボールねじと同じものを用いたため、二つのボールねじの寿命が同じになり、振動吸収用ボールねじを設けたことにより直動テーブルの寿命が低下することを防止できる。

［第二実施形態］
図２に示すように、この実施形態の直動テーブルは、送りねじ装置１と、テーブル２と、二個のリニアガイド（直動案内装置）３と、振動吸収用ボールねじ８と、二個の重り５と、基台６を備えている。
送りねじ装置１は、ねじ軸１１とナット１２とモータ１３を有し、ねじ軸１１がナット１２に挿通されている。送りねじ装置１の送りねじ機構は、ねじ軸１１の螺旋溝とナット１２の螺旋溝がボール（転動体）を介して点接触するボールねじである。ねじ軸１１の軸方向一端に、軸継手１３１を介してモータ１３が結合されている。

二個のリニアガイド３は、それぞれ、案内レール３１と二個のスライダ（移動体）３２と複数の転動体を有する。リニアガイド３において、案内レール３１および二個のスライダ３２は、互いに対向する位置に、転動体の転動通路を形成する軌道面をそれぞれ有する。両軌道面は案内レール３１の長手方向に延び、転動通路内を負荷状態で転動する転動体を介して、スライダ３２が案内レール３１に沿って直線移動する。
振動吸収用ボールねじ８は、ねじ軸８１とナット８２とボールを有し、ねじ軸８１の螺旋溝とナット８２の螺旋溝で形成される軌道内を負荷状態で転動するボールを介して、ナット８２がねじ軸８１に対して相対移動する。この実施形態では、振動吸収用ボールねじ８として、送りねじ装置１の送りねじ機構を構成するボールねじよりも小型でリードが小さいものを用いている。ねじ軸８１の軸方向両端部に重り５が取り付けられている。

基台６上のテーブル２の移動方向Ｙと垂直な方向の両端に、各リニアガイド３が配置され、二個のリニアガイド３の間に送りねじ装置１と振動吸収用ボールねじ８が配置されている。各リニアガイド３の案内レール３１、送りねじ装置１のねじ軸１１、および振動吸収用ボールねじ８のねじ軸８１が、テーブル２の移動方向Ｙと平行に配置されている。
つまり、各リニアガイド３の案内レール３１、送りねじ装置１のねじ軸１１、および振動吸収用ボールねじ８のねじ軸８１は、テーブル２の移動方向Ｙと垂直な方向で異なる位置に互いに平行に配置されている。

この配置で、両リニアガイド３の案内レール３１が基台６に固定されている。送りねじ装置１のねじ軸１１と振動吸収用ボールねじ８のねじ軸８１は、それぞれの軸方向両端部に転がり軸受が取り付けられ、転がり軸受の外輪にハウジング７が固定され、各ハウジング７が基台６に固定されている。これにより、送りねじ装置１のねじ軸１１およびボールねじ８のねじ軸８１が、基台６に対して回転自在に支持されている。
テーブル２は、各リニアガイド３の二個のスライダ３２、送りねじ装置１のナット１２、および振動吸収用ボールねじ８のナット８２の上方に配置され、スライダ３２に対しては直接、ナット１２，８２に対してはブラケットを介して固定されている。つまり、各リニアガイド３の二個のスライダ３２、送りねじ装置１のナット１２、および振動吸収用ボールねじ８のナット８２が、テーブル２の一面に固定されている。

この実施形態の直動テーブルは、モータ１３を駆動して送りねじ装置１を稼働させると、送りねじ装置１のねじ軸１１が回転し、ボールねじ機構によりナット１２が直動する。これに伴い、テーブル２がリニアガイド３に案内されながら直動する。その際に、テーブル２に生じた振動が、軸方向の力として振動吸収用ボールねじ８のナット８２に伝わり、ナット８２の軸方向への移動に伴い、ねじ軸８１が回転する。
つまり、テーブル２に生じた振動は、振動吸収用ボールねじ８のナット８２の軸方向力からねじ軸８１の回転力に変換されることで、振動吸収用ボールねじ４に吸収される。また、振動吸収用ボールねじ８のねじ軸８１が軸方向端部に重り５を有することで、重り５が無い場合よりもねじ軸８１が回転しにくくなるため、振動吸収用ボールねじ８の作動に伴って振動が発生することも低減される。

よって、この実施形態の直動テーブルは振動減衰性に優れたものであり、この実施形態の直動テーブルを切削装置に適用すれば、重切削時の振動を早く減衰することができるため、重切削時のびびり振動が抑制され、切削面の状態が悪化することを防止できる。
また、振動吸収用ボールねじとして、送りねじ装置１のボールねじよりも小型でリードが小さいボールねじ８を用いたため、送りねじ装置１のボールねじと同じボールねじ４を使用した第一実施形態の直動テーブルと比較して、ナットの軸方向移動量に対するねじ軸の回転量が大きくなる。つまり、ボールねじ８はボールねじ４と比較して、ナットの軸方向移動量が小さい場合のねじ軸の回転量が大きくなる。

よって、第二実施形態の直動テーブルは、第一実施形態の直動テーブルと比較して、微小な振動に対する振動吸収性能が高くなる。
また、第一実施形態の直動テーブルと比較して、振動吸収用ボールねじを設けることで生じる直動テーブルのトルク増加を低く抑えることができるため、第二実施形態の直動テーブルをＮＣ制御の工作機械に適用した場合、ＮＣ制御の追従性が向上する。

［第三実施形態］
図３に示すように、この実施形態の直動テーブルは、送りねじ装置１と、テーブル２と、二個のリニアガイド（直動案内装置）３と、振動吸収用ボールねじ８Ａと、二個の重り５と、基台６を備えている。この実施形態の直動テーブルは、さらに、振動吸収用ボールねじ８Ａ用の転がり軸受機構およびクランプ装置（回転止め装置）９を備えているが、図３には、転がり軸受機構の外輪８４と、クランプ装置９で挟持される回転体８６のみが表示されている。

送りねじ装置１は、ねじ軸１１とナット１２とモータ１３を有し、ねじ軸１１がナット１２に挿通されている。送りねじ装置１の送りねじ機構は、ねじ軸１１の螺旋溝とナット１２の螺旋溝がボール（転動体）を介して点接触するボールねじである。ねじ軸１１の軸方向一端に、軸継手１３１を介してモータ１３が結合されている。
二個のリニアガイド３は、それぞれ、案内レール３１と二個のスライダ（移動体）３２と複数の転動体を有する。リニアガイド３において、案内レール３１および二個のスライダ３２は、互いに対向する位置に、転動体の転動通路を形成する軌道面をそれぞれ有する。両軌道面は案内レール３１の長手方向に延び、転動通路内を負荷状態で転動する転動体を介して、スライダ３２が案内レール３１に沿って直線移動する。

図３および図４に示すように、振動吸収用ボールねじ８Ａは、ねじ軸８１とナット８３を有する。ナット８３の内周面に、ねじ軸８１の螺旋溝と対向して軌道を形成する螺旋溝が形成され、この軌道にボールが配置されている。この軌道内を負荷状態で転動するボールを介して、ナット８３およびねじ軸８１の一方が他方に対して相対移動する。
振動吸収用ボールねじ８Ａは、送りねじ装置１の送りねじ機構を構成するボールねじよりも小型でリードが小さいものである。ねじ軸８１の軸方向両端部に重り５が取り付けられている。

基台６上のテーブル２の移動方向Ｙと垂直な方向の両端に、各リニアガイド３が配置され、二個のリニアガイド３の間に、送りねじ装置１と振動吸収用ボールねじ８Ａが配置されている。各リニアガイド３の案内レール３１、送りねじ装置１のねじ軸１１、および振動吸収用ボールねじ８Ａのねじ軸８１が、テーブル２の移動方向Ｙと平行に配置されている。
つまり、各リニアガイド３の案内レール３１、送りねじ装置１のねじ軸１１、および振動吸収用ボールねじ８Ａのねじ軸８１は、テーブル２の移動方向Ｙと垂直な方向で異なる位置に互いに平行に配置されている。

この配置で、両リニアガイド３の案内レール３１が基台６に固定されている。送りねじ装置１のねじ軸１１と振動吸収用ボールねじ８Ａのねじ軸８１は、それぞれの軸方向両端部に転がり軸受が取り付けられ、転がり軸受の外輪にハウジング７が固定され、各ハウジング７が基台６に固定されている。この転がり軸受には予圧が付与されている。これにより、送りねじ装置１のねじ軸１１および振動吸収用ボールねじ８Ａのねじ軸８１が、基台６に対して回転自在に支持されている。
テーブル２は、各リニアガイド３の二個のスライダ３２、送りねじ装置１のナット１２、および振動吸収用ボールねじ８Ａのナット８３の上方に配置されている。そして、各リニアガイド３の二個のスライダ３２、送りねじ装置１のナット１２が、テーブル２の下面（一面）に固定されている。

また、図４に示すように、振動吸収用ボールねじ８Ａのナット８３に外輪８４が外挿されている。外輪８４の軸方向寸法は、ナット８３の軸方向寸法より短い。外輪８４は軸方向一端にフランジ部８４ａを有する。外輪８４は、軸方向で離れた位置に二個の外輪軌道溝８４ｂを有する。外輪８４のフランジ部８４ａが、ブラケットを介してテーブル２の下面に固定されている。
ナット８３は、軸方向中央部である小径部８３１と、軸方向一端部である大径部８３２と、軸方向他端部である大径部８３３とからなる。一方の大径部８３２は、外輪８４から突出している回転体固定部８３２ａと、外輪８４内に配置されている軸受部８３２ｂとからなる。他方の大径部８３３は外輪８４内に配置されている。

ナット８３の外周面には、一方の外輪軌道溝８４ｂと対向する軸受部８３２ｂの位置に、内輪軌道溝８３２ｃが形成され、他方の外輪軌道溝８４ｂと対向する大径部８３３の位置に、内輪軌道溝８３３ａが形成されている。各外輪軌道溝８４ｂと内輪軌道溝８３２ｃ，８３３ａとの間に、複数個のボール８５が配置されている。
これらのボール８５と、外輪軌道溝８４ｂと、内輪軌道溝８３２ｃ，８３３ａとで、ナット８３の軸方向両端に転がり軸受機構が形成されている。外輪８４がテーブル２に固定されているため、この転がり軸受機構により、ナット８３はテーブル２に対して回転自在に支持されている。転がり軸受機構には予圧が付与されていない。

ナット８３の回転体固定部８３２ａに、鉄鋼製の円筒体８６がボルトで固定されている。円筒体８６の中心穴８６ａにねじ軸８１が挿通している。振動吸収用ボールねじ８Ａの軸方向で円筒体８６と重なる位置に、クランプ装置９が配置されている。
クランプ装置９は電磁式のマグネットチャックであり、図５に示すように、円筒体８６を挟持する一対の挟持部９１と、テーブル２に固定されたガイド部９２と、挟持部９１の基端部をガイド部９２に対して移動可能に支持するスライド部９３と、一対の挟持部９１の基端部を連結するバネ部９４を有する。挟持部９１の開閉時に、スライド部９３がガイド部９２に案内され、バネ部９４が伸縮する。クランプ装置９のガイド部９２がテーブル２の下面に固定されている。

なお、クランプ装置９として、油圧式クランプや空圧式クランプを用いる場合は、挟持部の移動機構を設ける必要がある。
この実施形態の直動テーブルを工作機械の移動テーブルとして使用する場合、工作機械による加工時には、図５（ａ）に示すように、クランプ装置９で円筒体８６を挟んでナット８３を外輪８４内で回転できない状態にする。外輪８４はテーブル２に固定されているため、加工時にはナット８３はテーブル２と一体に移動する。一方、加工後に次の加工位置までテーブル２を高速で移動する早送り時には、図５（ｂ）に示すように、クランプ装置９による円筒体８６の挟持を解除して、ナット８３を外輪８４内で回転可能にする。

モータ１３を駆動して送りねじ装置１を稼働させると、送りねじ装置１のねじ軸１１が回転し、ボールねじ機構によりナット１２が直動する。これに伴い、テーブル２がリニアガイド３に案内されながら直動する。その際に、加工時には、テーブル２に生じた振動が軸方向の力として振動吸収用ボールねじ８Ａのナット８３に伝わり、ナット８３が軸方向へ移動する。これに伴って、振動吸収用ボールねじ８Ａのボールねじ機構によりねじ軸８１が回転する。
つまり、加工時には、テーブル２に生じた振動が、振動吸収用ボールねじ８Ａのナット８３の軸方向力からねじ軸８１の回転力に変換されることで、振動吸収用ボールねじ８Ａに吸収される。また、振動吸収用ボールねじ８Ａのねじ軸８１が軸方向端部に重り５を有することで、重り５が無い場合よりもねじ軸８１が回転しにくくなるため、振動吸収用ボールねじ８Ａの作動に伴って振動が発生することも低減される。

テーブル２の早送り時には、振動吸収用ボールねじ８Ａのナット８３が外輪８４内で回転可能になっているため、この実施形態の直動テーブルは、そのように構成されていない第二実施形態の直動テーブルよりもねじ軸８１が回転しにくい。
また、ナット８３用の転がり軸受機構には予圧が付与されず、ねじ軸８１用の転がり軸受には予圧が付与されているため、ナット８３用の転がり軸受機構にも予圧が付与されている場合よりもねじ軸８１が回転しにくい状態となっている。
よって、この実施形態の直動テーブルは第二実施形態の直動テーブルと同じ効果を有するとともに、第二実施形態の直動テーブルと比較して、早送り時にモータ１３にかかる負荷を低減できる効果も有する。

［この発明に至る経緯など］
特許文献１の実施例には、ダンパとして、ケーシング内に満たされた粘性物の中でフィンを回転させる方式のものを使用することが記載されている。このダンパの場合、粘性物の粘度が温度によって変化すると、ダンパの減衰能力も変化するため、安定した振動減衰性が発揮できない恐れがある。
温度の影響を受けない振動減衰方法として、上記ダンパの代わりに重りを用い、重りの回転慣性質量を、送りねじ装置のねじ軸の回転抵抗とする方法が考えられる。しかし、重りの回転慣性質量を大きくするためには、重りの質量を大きくしたり、径方向の寸法を大きくしたりする必要があり、送りねじ装置の大型化の恐れや、重りを大きく出来ない場合には十分な振動減衰能力を発揮できない恐れがある。

これに対して、この発明の直動テーブルでは、送りねじ装置のねじ軸と平行に振動吸収用ボールねじを備え、テーブルの移動時に、振動吸収用ボールねじのナットがテーブルと一緒に移動することで、振動吸収用ボールねじのねじ軸と重りを回転させ、その際の回転抵抗でテーブルの振動を減衰している。よって、送りねじ装置のねじ軸に重りをつけた場合と比較して、重りを小さくすることができる。
特に、第二実施形態の直動テーブルでは、振動吸収用ボールねじのリードを送りねじ装置のリードよりも小さくすることにより、振動吸収用ボールねじの回転量が大きくなるため、回転抵抗が増大して振動減衰能力を向上させることができる。あるいは、振動減衰能力を維持しつつ、振動吸収用ボールねじのねじ軸に取り付けた重りを小さくすることができる。

１ 送りねじ装置
１１ 送りねじ装置のねじ軸
１２ 送りねじ装置のナット
１３ モータ
１３１ 軸継手
２ テーブル
３ リニアガイド（直動案内装置）
３１ 案内レール
３２ スライダ（移動体）
４ 振動吸収用ボールねじ
４１ 振動吸収用ボールねじのねじ軸
４２ 振動吸収用ボールねじのナット
５ 重り
６ 基台
７ ハウジング
８ 振動吸収用ボールねじ
８Ａ 振動吸収用ボールねじ
８１ 振動吸収用ボールねじのねじ軸
８２ 振動吸収用ボールねじのナット
８３ 振動吸収用ボールねじのナット
８３１ ナットの小径部
８３２ ナットの大径部
８３３ ナットの大径部
８３２ａ 回転体固定部
８３２ｂ 軸受部
８３３ａ 内輪軌道溝（転がり軸受機構）
８３２ｃ 内輪軌道溝（転がり軸受機構）
８４ 外輪
８４ａ 外輪のフランジ部
８４ｂ 外輪軌道溝（転がり軸受機構）
８５ ボール（転がり軸受機構）
８６ 回転体
８６ａ 回転体の中心穴
９ クランプ装置（回転止め装置）
９１ 挟持部
９２ ガイド部
９３ スライド部
９４ バネ部
Ｙ テーブルの移動方向

Claims (3)

1. テーブルと、
   前記テーブルを駆動する送りねじ装置であって、ねじ軸と、前記ねじ軸が挿通され、前記ねじ軸の螺旋溝と面接触するか転動体を介して点接触する螺旋溝を有するナットと、前記ねじ軸の軸方向一端に軸継手を介して結合されたモータと、を有し、前記ねじ軸が前記テーブルの移動方向と平行に配置され、前記ナットが前記テーブルの一面に固定され、前記モータの回転を前記ナットの直線運動に変換する送りねじ装置と、
   前記テーブルを前記送りねじ装置と同軸方向に案内する直動案内装置であって、案内レールと前記案内レールに沿って移動する移動体とを有し、前記案内レールが、前記テーブルの移動方向に垂直な方向で前記送りねじ装置のねじ軸と異なる位置に、且つ、前記送りねじ装置のねじ軸と平行に配置され、前記移動体が、前記テーブルの前記一面に固定された直動案内装置と、
   ねじ軸とナットとボールを有する振動吸収用ボールねじであって、前記ねじ軸が、前記テーブルの移動方向に垂直な方向で前記送りねじ装置のねじ軸および前記直動案内装置の案内レールと異なる位置に、且つ、前記送りねじ装置のねじ軸と平行に配置され、前記ナットが、前記ナットを前記テーブルに対して回転自在に支持する転がり軸受機構を介して、前記テーブルの前記一面に取り付けられた振動吸収用ボールねじと、
   前記振動吸収用ボールねじの前記ナットを前記テーブルに対して回転不能にできる回転止め装置と、
   前記振動吸収用ボールねじを構成するねじ軸の軸方向端部に取り付けられた重りと、
   を備えた直動テーブル。
2. 前記転がり軸受機構の予圧量は、前記振動吸収用ボールねじの前記ねじ軸を支持する転がり軸受の予圧量と同じか少ない請求項１記載の直動テーブル。
3. 前記送りねじ装置の送りねじ機構はボールねじであり、前記振動吸収用ボールねじは前記送りねじ装置のボールねじより小型でリードが小さい請求項１または２記載の直動テーブル。

Images