JP6798726B2 - Actuator and actuator manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、アクチュエータ及びアクチュエータの製造方法に関する。 The present invention relates to actuators and methods of manufacturing actuators.

ロッドタイプのリニアアクチュエータは、例えば、ボールねじを有しており、このボールねじが、モータの回転運動をロッドの直線運動に変換する。この変換により、ロッドが往復運動し、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、様々な作業を行う。このようなアクチュエータにおいては、モータの回転運動を直線運動に変換しているため、モータの回転運動に起因したトルクがロッドに伝わり、ロッドの先端に振れが生じやすい。この場合、アクチュエータの作業の精度が低下するおそれがある。 The rod type linear actuator has, for example, a ball screw, and the ball screw converts the rotational motion of the motor into the linear motion of the rod. Due to this conversion, the rod reciprocates, and any tool attached to the tip of the rod performs various tasks. In such an actuator, since the rotary motion of the motor is converted into a linear motion, the torque caused by the rotary motion of the motor is transmitted to the rod, and the tip of the rod tends to swing. In this case, the accuracy of the actuator work may decrease.

これに対して、下記特許文献１には、ロッドの振れを規制する回転規制部材を備えたアクチュエータが開示されている。 On the other hand, Patent Document 1 below discloses an actuator including a rotation regulating member that regulates the runout of the rod.

特開２００２−１３０４１９号公報JP-A-2002-130419

上記特許文献１に記載のアクチュエータの回転規制部材は、樹脂からなる。そのため、モータの回転運動により、回転規制部材にトルクが加わり、回転規制部材が弾性変形をしてしまい、ロッドの先端部に振れが生じるおそれがある。 The rotation restricting member of the actuator described in Patent Document 1 is made of resin. Therefore, torque is applied to the rotation regulating member due to the rotational movement of the motor, the rotation regulating member is elastically deformed, and the tip of the rod may be shaken.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、ロッドの先端部の振れを抑制できるアクチュエータ及びアクチュエータの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made under the above-mentioned circumstances, and an object of the present invention is to provide an actuator capable of suppressing runout of a tip portion of a rod and a method for manufacturing the actuator.

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に基づいて直線運動し、直線運動方向に貫通すると共に内部に前記ボールねじナットが固定されているナット収納孔が形成されている単一の素材からなり、金属からなる部材であるスライド部本体を有するスライド部と、前記スライド部本体が摺動するレール部と、を備えるガイド装置と、
前記スライド部本体に設けられた前記ナット収納孔に固定される作業軸と、
を有する。 In order to achieve the above object, the actuator according to the first aspect of the present invention is
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotational movement of the rotary shaft of the motor and a ball screw nut that moves linearly with the rotational movement of the ball screw shaft.
The linear motion based on the rotation movement of the ball screw shaft consists of a single material nut accommodating hole in which the ball screw nut inside is fixed is made form together through a linear motion direction, a metal a slide portion having a made member sliding body, and the rail portion to which the sliding body slides, a guide device comprising a,
A work shaft fixed to the nut storage hole provided in the slide portion main body,
Have.

前記スライド部本体には、突起が形成され、 A protrusion is formed on the main body of the slide portion.
前記レール部には、前記突起が嵌め込まれ、前記突起が摺動する被摺動部分が形成されていてもよい。 The protrusion may be fitted into the rail portion to form a sliding portion on which the protrusion slides.

前記突起は、前記直線運動方向に沿った線状に形成され、 The protrusion is formed in a linear shape along the linear motion direction.
前記レール部には、前記直線運動方向に平行な摺動部分用溝部が、前記被摺動部分として形成されていてもよい。 A groove portion for a sliding portion parallel to the linear motion direction may be formed in the rail portion as the sliding portion.

前記スライド部には、前記直線運動方向に平行な第１溝部が形成され、 A first groove portion parallel to the linear motion direction is formed in the slide portion.
前記レール部には、前記第１溝部に対向し、前記直線運動方向に沿って第２溝部が形成され、 In the rail portion, a second groove portion is formed so as to face the first groove portion and along the linear motion direction.
前記ガイド装置は、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体を備えていてもよい。 Even if the guide device includes a rolling element that rolls the first groove portion and the second groove portion by being sandwiched between the first groove portion and the second groove portion and movably supports the slide portion. Good.

前記スライド部本体は、前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続されていてもよい。 The slide portion main body may be connected to the ball screw nut so as to move linearly with the ball screw nut.

前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部本体の前記ナット収納孔には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部本体に固定されていてもよい。 A male screw portion is formed on the working shaft.
A female screw portion is formed in the nut storage hole of the slide portion main body.
The working shaft may be fixed to the slide portion main body by screwing the male screw portion and the female screw portion.

前記ボールねじ軸の端部には、前記モータが取り付けられた場合に前記回転軸の先端に接続されて、前記回転軸の回転運動を伝達するための第１カップリングが設けられていてもよい。 The end of the ball screw shaft may be provided with a first coupling that is connected to the tip of the rotating shaft when the motor is attached and transmits the rotational motion of the rotating shaft. ..

前記回転軸を備える前記モータを有していてもよい。 It may have the motor provided with the rotating shaft.

前記モータを脱着可能に取り付けるためのねじ部材を有していてもよい。 It may have a screw member for detachably attaching the motor.

前記回転軸の先端には、前記モータが取り付けられた場合に前記ボールねじの端部に接続されて、前記回転軸の回転運動を前記ボールねじに伝達するための第２カップリングが設けられていてもよい。 The tip of the rotating shaft is provided with a second coupling that is connected to the end of the ball screw when the motor is attached and transmits the rotational motion of the rotating shaft to the ball screw. You may.

本発明の第２の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
第１の観点に係るアクチュエータの製造方法であって、
前記スライド部本体を形成するための前記単一の素材を準備する第１工程と、
前記第１工程によって準備された前記単一の素材から、前記ナット収納孔が形成されている前記スライド部本体を形成する第２工程と、
前記第２工程によって形成された前記スライド部本体の前記ナット収納孔の内部に、前記ボールねじナットを固定する第３工程と、
を含む。 The method for manufacturing an actuator according to the second aspect of the present invention is as follows.
A method for manufacturing an actuator according to the first aspect.
The first step of preparing the single material for forming the slide portion main body, and
From the single material that has been prepared by the first step, a second step of forming the slide body said nut accommodating hole is made form,
A third step of fixing the ball screw nut inside the nut storage hole of the slide portion main body formed by the second step.
including.

本発明によれば、作業軸（ロッド）は、ガイド装置のスライド部のスライド部本体に設けられたナット収納孔に固定されている。このガイド装置により、モータの回転に起因したトルクが、スライド部を介して、作業軸に伝わりにくく、作業軸の先端部の振れの発生を抑制することができる。また、作業軸を、ガイド装置のスライド部に直接固定することが可能になり、作業軸を、ガイド装置のスライド部に固定するための別の部品を別途用意する必要はなくなる。 According to the present invention, work axis (rod) is fixed to the nut accommodating hole provided in the sliding body of the slide of the guide device. With this guide device, the torque caused by the rotation of the motor is not easily transmitted to the work shaft via the slide portion, and the occurrence of runout at the tip of the work shaft can be suppressed. Further, the work shaft can be directly fixed to the slide portion of the guide device, and it is not necessary to separately prepare another component for fixing the work shaft to the slide portion of the guide device.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the actuator which concerns on embodiment of this invention. （Ａ）は、カバーを取り外したときのアクチュエータの斜視図であり、（Ｂ）は、カバーを取り外したときのアクチュエータのＹＺ断面図である。(A) is a perspective view of the actuator when the cover is removed, and (B) is a YZ sectional view of the actuator when the cover is removed. アクチュエータの分解断面図である。It is an exploded sectional view of an actuator. （Ａ）は、ガイド装置の斜視図であり、（Ｂ）は、ガイド装置のＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of the guide device, and (B) is an XZ sectional view of the guide device. （Ａ）は、スライド部の斜視図であり、（Ｂ）は、スライド部の分解斜視図である。(A) is a perspective view of a slide portion, and (B) is an exploded perspective view of the slide portion. （Ａ）は、スライド部本体の斜視図（その１）であり、（Ｂ）は、スライド部本体の斜視図（その２）であり、（Ｃ）は、スライド部本体のＸＺ断面図であり、（Ｄ）は、スライド部本体のＹＺ断面図である。(A) is a perspective view (No. 1) of the main body of the slide portion, (B) is a perspective view (No. 2) of the main body of the slide portion, and (C) is an XZ sectional view of the main body of the slide portion. , (D) are YZ cross-sectional views of the main body of the slide portion. （Ａ）は、スライド部本体のＸＺ断面における部分拡大図（その１）であり、（Ｂ）スライド部本体のＸＺ断面における部分拡大図（その２）である。(A) is a partially enlarged view (No. 1) in the XZ cross section of the main body of the slide portion, and (B) is a partially enlarged view (No. 2) in the XZ cross section of the main body of the slide portion. （Ａ）は、リターンの斜視図であり、（Ｂ）は、リターンのＸＹ断面図であり、（Ｃ）は、リターンのＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of the return, (B) is an XY sectional view of the return, and (C) is an XZ sectional view of the return. （Ａ）は、スライド部の組み立てを説明するためのＸＺ断面図であり、（Ｂ）は、スライド部の組み立てを説明するための斜視図である。(A) is an XZ cross-sectional view for explaining the assembly of the slide portion, and (B) is a perspective view for explaining the assembly of the slide portion. ボールの軌道を説明するためのＸＹ断面図である。It is XY sectional view for demonstrating the trajectory of a ball. （Ａ）は、レール部の斜視図であり、（Ｂ）は、レール部のＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of a rail portion, and (B) is an XZ sectional view of the rail portion. （Ａ）は、レール部のＸＺ断面における部分拡大図（その１）であり、（Ｂ）レール部のＸＺ断面における部分拡大図（その２）である。(A) is a partially enlarged view (No. 1) of the rail portion in the XZ cross section, and (B) is a partially enlarged view (No. 2) of the rail portion in the XZ cross section. （Ａ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その２）であり、（Ｃ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その３）である。(A) is an XZ cross-sectional view (No. 1) for explaining the assembly of the guide device, (B) is an XZ cross-sectional view (No. 2) for explaining the assembly of the guide device, and (C). ) Is an XZ cross-sectional view (No. 3) for explaining the assembly of the guide device. ロッドのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating attachment of a rod to a guide device. （Ａ）は、ボールねじのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、ボールねじ軸の先端部の斜視図であり、（Ｃ）は、ボールねじ軸の先端部のＹＺ断面図である。(A) is a YZ cross-sectional view of the ball screw, (B) is a perspective view of the tip of the ball screw shaft, and (C) is a YZ cross-sectional view of the tip of the ball screw shaft. （Ａ）は、弾性部材の斜視図であり、（Ｂ）は、弾性部材のＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of an elastic member, and (B) is an XZ sectional view of the elastic member. ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating attachment of a ball screw to a guide device. （Ａ）は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのＸＺ断面図である。(A) is a YZ cross-sectional view for explaining the attachment of the ball screw to the guide device, and (B) is an XZ cross-sectional view for explaining the attachment of the ball screw to the guide device. （Ａ）は、ボールねじのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、モータユニットのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのＹＺ断面図である。(A) is a YZ cross-sectional view for explaining the attachment of the ball screw to the bearing housing, and (B) is a YZ sectional view for explaining the attachment of the motor unit to the bearing housing. （Ｉ）、（ＩＩ）、及び（ＩＩＩ）は、アクチュエータの動作を説明するためのＹＺ断面図である。(I), (II), and (III) are YZ cross-sectional views for explaining the operation of the actuator. （Ｉ）及び（ＩＩ）は、ガイド装置の動作を説明するためのＸＹ断面図である。(I) and (II) are XY cross-sectional views for explaining the operation of the guide device. （Ｉ）及び（ＩＩ）は、弾性部材の作用を説明するためのＹＺ断面図である。(I) and (II) are YZ cross-sectional views for explaining the action of the elastic member. （Ａ）は、ボールねじ軸の先端の振れの発生を説明するための比較例であり、（Ｂ）は、ボールねじ軸の先端の振れの発生を説明するための本発明の実施形態に係るアクチュエータの断面図である。(A) is a comparative example for explaining the occurrence of runout at the tip of the ball screw shaft, and (B) relates to an embodiment of the present invention for explaining the occurrence of runout at the tip of the ball screw shaft. It is sectional drawing of the actuator. アクチュエータの作業台への取り付けを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the attachment to the workbench of an actuator. 弾性部材の変形例を示すＸＺ断面図である。It is an XZ cross-sectional view which shows the deformation example of an elastic member. （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、及び（Ｄ）は、変形例１に係るガイド装置のＸＺ断面図（その１〜４）である。(A), (B), (C), and (D) are XZ cross-sectional views (Nos. 1 to 4) of the guide device according to the first modification. （Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）、及び（Ｈ）は、変形例１に係るガイド装置のＸＺ断面図（その５〜８）である。(E), (F), (G), and (H) are XZ cross-sectional views (Nos. 5 to 8) of the guide device according to the first modification. （Ｉ）、（Ｊ）、（Ｋ）、及び（Ｌ）は、変形例１に係るガイド装置のＸＺ断面図（その９〜１２）である。(I), (J), (K), and (L) are XZ cross-sectional views (Nos. 9 to 12) of the guide device according to the first modification. （Ａ）は、変形例２に係るガイド装置の斜視図であり、（Ｂ）は、変形例２に係るアクチュエータの斜視図である。(A) is a perspective view of the guide device according to the modified example 2, and (B) is a perspective view of the actuator according to the modified example 2. （Ａ）は、変形例３に係るスライド部等のＸＹ断面図であり、（Ｂ）は、変形例３に係るアクチュエータの斜視図である。(A) is an XY cross-sectional view of a slide portion and the like according to the modified example 3, and (B) is a perspective view of an actuator according to the modified example 3. （Ａ）は、変形例４に係るアクチュエータの斜視図であり、（Ｂ）は、変形例４に係るボールブッシュ等のＸＹ断面図である。(A) is a perspective view of the actuator according to the modified example 4, and (B) is an XY cross-sectional view of a ball bush or the like according to the modified example 4. 変形例４に係るアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the operation of the actuator which concerns on modification 4. FIG. 変形例５に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the actuator which concerns on modification 5. FIG. 変形例６に係るフロントハウジング等のＹＺ断面図である。It is a YZ cross-sectional view of the front housing and the like which concerns on modification 6. FIG. （Ａ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＸＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＸＺ断面図（その２）である。(A) is an XZ cross-sectional view (No. 1) showing the slide portion, the rod, etc. according to the modified example 7, and (B) is an XZ cross-sectional view showing the slide portion, the rod, etc. according to the modified example 7. Part 2). （Ａ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＸＺ断面図（その３）であり、（Ｂ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＹＺ断面図である。(A) is an XZ cross-sectional view (No. 3) showing the slide portion, the rod, etc. according to the modified example 7, and (B) is a YZ cross-sectional view showing the slide portion, the rod, etc. according to the modified example 7. is there. （Ａ）は、変形例８に係るアクチュエータを示したＹＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、変形例８に係るアクチュエータを示したＹＺ断面図（その２）である。(A) is a YZ cross-sectional view (No. 1) showing the actuator according to the modified example 8, and (B) is a YZ cross-sectional view (No. 2) showing the actuator according to the modified example 8. 変形例９に係るガイド装置を示した斜視図である。It is a perspective view which showed the guide device which concerns on the modification 9.

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０について説明する。なお、図中のＸＹ平面は水平な面であり、図中のＺ軸の方向は鉛直方向である。 Hereinafter, the actuator 10 according to the embodiment of the present invention will be described. The XY plane in the figure is a horizontal plane, and the direction of the Z axis in the figure is a vertical direction.

アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１（作業軸）を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ１０は、ロッド１１と、モータユニット２０と、フロントハウジング８０と、ベアリングハウジング９０と、カバー１８とを有している。 As shown in FIG. 1, the actuator 10 is a linear actuator having a rod 11 (working shaft) that reciprocates in the Y-axis direction. The actuator 10 has a rod 11, a motor unit 20, a front housing 80, a bearing housing 90, and a cover 18.

カバー１８は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー１８には、図２（Ａ）に示すように、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔１８ａが形成されており、ボルト１９によって、フロントハウジング８０及びベアリングハウジング９０に固定されている。 The cover 18 is formed, for example, by extrusion molding aluminum. As shown in FIG. 2A, the cover 18 is formed with a through hole 18a penetrating in the Z-axis direction, and is fixed to the front housing 80 and the bearing housing 90 by bolts 19.

アクチュエータ１０は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、ロッド１１等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するガイド装置３０と、モータユニット２０の回転運動を直線運動に変換するボールねじ７０とを有している。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the actuator 10 linearly moves the rotational movement of the motor unit 20 and the guide device 30 for guiding the rod 11 in the Y-axis direction, in addition to the rod 11 and the like. It has a ball screw 70 that converts to.

ロッド１１は、図３に示すように、内部に孔１１ａが形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド１１の−Ｙ側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具１２がねじ込まれることによって固定されている。また、ロッド１１の＋Ｙ側の端部の外周には、雄ねじ部１１ｂが形成されている。 As shown in FIG. 3, the rod 11 is a cylindrical member having a hole 11a formed inside, and is made of, for example, stainless steel. A tip metal fitting 12 having a male screw formed on the outer circumference is screwed into the end of the rod 11 on the −Y side. Further, a male screw portion 11b is formed on the outer periphery of the end portion on the + Y side of the rod 11.

モータユニット２０は、モータ２１と、モータ２１を収納するモータハウジング２２と、アクチュエータケーブル２４とを有する。 The motor unit 20 includes a motor 21, a motor housing 22 for accommodating the motor 21, and an actuator cable 24.

モータ２１は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸２３、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、アクチュエータケーブル２４を介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２３に出力される。また出力軸２３の先端は、カップリング（継ぎ手）として構成されている。 The motor 21 is, for example, a stepping motor, and has an output shaft 23, a rotor, a stator, an encoder, a speed reducer, and the like. Electric power from the power source is supplied to the motor 21 via the actuator cable 24. By supplying electric power to the motor 21, the rotor of the motor 21 rotates. The rotary motion of the rotor is decelerated by a speed reducer at a predetermined reduction ratio, and is output to the output shaft 23. The tip of the output shaft 23 is configured as a coupling (joint).

モータハウジング２２は、略直方体のケースであり、モータハウジング２２の−Ｙ側の面には、開口２２ａが形成されている。モータ２１の出力軸２３は、この開口２２ａから外部に露出している。また、開口２２ａの上側（＋Ｚ側）には、Ｚ方向に貫通するねじ孔２２ｂが形成されている。このねじ孔２２ｂには、ボルト２５が挿入される。 The motor housing 22 is a substantially rectangular parallelepiped case, and an opening 22a is formed on the −Y side surface of the motor housing 22. The output shaft 23 of the motor 21 is exposed to the outside through the opening 22a. Further, a screw hole 22b penetrating in the Z direction is formed on the upper side (+ Z side) of the opening 22a. A bolt 25 is inserted into the screw hole 22b.

ガイド装置３０は、ロッド１１がスライド部３１に固定されることにより、ロッド１１を＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に案内する。このガイド装置３０は、図４に示すように、スライド部３１と、レール部６０と、スライド部３１とレール部６０との間に配置されたボール５０（転動体）とを有する。このボール５０は、剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。ボール５０は、スライド部３１とレール部６０との間に複数配置されている。 The guide device 30 guides the rod 11 in both the + Y direction and the −Y direction by fixing the rod 11 to the slide portion 31. As shown in FIG. 4, the guide device 30 has a slide portion 31, a rail portion 60, and a ball 50 (rolling body) arranged between the slide portion 31 and the rail portion 60. The ball 50 is made of a rigid material, specifically, a steel material. A plurality of balls 50 are arranged between the slide portion 31 and the rail portion 60.

スライド部３１は、図５に示すように、ボール５０を介して、レール部６０にＹ軸方向に移動可能に支持されている。なお、スライド部３１は、複数のボール５０のみでレール部６０に支持されている。スライド部３１は、スライド部本体３２と、スライド部本体３２の−Ｚ側の面にボルト４９で固定されたリターン４０とを有する。 As shown in FIG. 5, the slide portion 31 is movably supported by the rail portion 60 in the Y-axis direction via the ball 50. The slide portion 31 is supported by the rail portion 60 only by the plurality of balls 50. The slide portion 31 has a slide portion main body 32 and a return 40 fixed to the −Z side surface of the slide portion main body 32 with bolts 49.

スライド部本体３２は、図６に示すように、Ｙ方向に貫通する貫通孔３２ａが形成された略直方体の部材で、例えば、鉄等の金属からなる。貫通孔３２ａの−Ｙ側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部３２ｂが形成されている。また、スライド部本体３２の下端には、−Ｚ方向に突出する一対の凸部３３，３４が形成されている。この凸部３３，３４は、Ｙ方向に沿って形成されており、＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には、ボール５０が転動するための溝部３３ａ，３４ａがそれぞれ形成されている。溝部３３ａ，３４ａの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図７（Ａ）に示すように、溝部３３ａ，３４ａの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部３３ａ，３４ａの内面は、図７（Ｂ）に示すように、その曲率半径Ｒ１が、ボール５０の半径Ｒ２と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。 As shown in FIG. 6, the slide portion main body 32 is a substantially rectangular parallelepiped member having a through hole 32a penetrating in the Y direction, and is made of, for example, a metal such as iron. A female screw portion 32b is formed on the inner peripheral surface of the through hole 32a near the opening on the −Y side. Further, a pair of convex portions 33, 34 protruding in the −Z direction are formed at the lower end of the slide portion main body 32. The convex portions 33 and 34 are formed along the Y direction, and groove portions 33a and 34a for rolling the ball 50 are formed on the + X side surface and the −X side surface, respectively. The inner surfaces of the grooves 33a and 34a are configured as substantially curved surfaces. Specifically, as shown in FIG. 7A, the inner surfaces of the groove portions 33a and 34a are formed in a Gothic arch shape composed of two arc portions. However, the present invention is not limited to this, and the inner surfaces of the groove portions 33a and 34a may be formed on a curved surface whose radius of curvature R1 is equivalent to the radius R2 of the ball 50, as shown in FIG. 7B.

また、貫通孔３２ａには、図６に示すように、リング３６が嵌め込まれている。また、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）には、ねじ孔３２ｃ及び一対のボス孔３２ｄが形成され、スライド部本体３２の＋Ｘ側の側面には、孔３２ｅが形成されている。 Further, as shown in FIG. 6, a ring 36 is fitted in the through hole 32a. Further, a screw hole 32c and a pair of boss holes 32d are formed on the lower surface (the surface on the −Z side) of the slide portion main body 32, and a hole 32e is formed on the + X side side surface of the slide portion main body 32. ..

リターン４０は、図８に示すように、ボール５０が配置される一対のボール循環路４３，４４が形成された部材であり、リターン４０の＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には凹部４５，４６が形成されている。このリターン４０は、筐体４１と、この筐体４１の上面に取り付けられる蓋体４２とを有する。筐体４１及び蓋体４２は、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成される。 As shown in FIG. 8, the return 40 is a member in which a pair of ball circulation paths 43 and 44 on which the balls 50 are arranged are formed, and a recess 45 is formed on the + X side surface and the −X side surface of the return 40. , 46 are formed. The return 40 has a housing 41 and a lid 42 attached to the upper surface of the housing 41. The housing 41 and the lid 42 are formed, for example, by injection molding a polyacetal resin.

筐体４１には、一対のボール循環路４３，４４が形成されている。このボール循環路４３，４４は、ボール５０が移動するための通路で、ストレート通路部４３ａ，４４ａとカーブ通路部４３ｂ，４４ｂとから構成されている。ボール循環路４３，４４は、その断面形状がボール５０の直径と同等の直径の円形になるように形成されている。また、筐体４１の上面（＋Ｚ側の面）には、＋Ｚ方向に突出した円筒形状の一対のボス部４７が２つ形成されている。このボス部４７は、その径が、スライド部本体３２のボス孔３２ｄの径と同等になるように形成されている。また、筐体４１には、Ｚ方向に貫通する貫通孔４１ａが４つ形成されている。この貫通孔４１ａには、ボルト４９が挿入される。 A pair of ball circulation paths 43 and 44 are formed in the housing 41. The ball circulation paths 43 and 44 are passages for the balls 50 to move, and are composed of straight passage portions 43a and 44a and curved passage portions 43b and 44b. The ball circulation paths 43 and 44 are formed so that their cross-sectional shape becomes a circle having a diameter equivalent to the diameter of the ball 50. Further, on the upper surface (the surface on the + Z side) of the housing 41, two pairs of cylindrical boss portions 47 protruding in the + Z direction are formed. The boss portion 47 is formed so that its diameter is equal to the diameter of the boss hole 32d of the slide portion main body 32. Further, the housing 41 is formed with four through holes 41a penetrating in the Z direction. A bolt 49 is inserted into the through hole 41a.

蓋体４２には、Ｚ方向に貫通する一対のボス孔４２ａが形成されている。ボス孔４２ａには、筐体４１のボス部４７が挿入される。また、蓋体４２には、Ｚ方向に貫通する一対の貫通孔４２ｂが４つ形成されている。貫通孔４２ｂと、筐体４１の貫通孔４１ａとには、ボルト４９が挿入される。また、蓋体４２には、グリスを注入するための注入孔４８が形成されている。注入孔４８は、蓋体４２に形成されたグリス通路を介して、ボール循環路４３，４４に通じている。 A pair of boss holes 42a penetrating in the Z direction are formed in the lid body 42. The boss portion 47 of the housing 41 is inserted into the boss hole 42a. Further, the lid body 42 is formed with four pairs of through holes 42b penetrating in the Z direction. Bolts 49 are inserted into the through holes 42b and the through holes 41a of the housing 41. Further, the lid body 42 is formed with an injection hole 48 for injecting grease. The injection hole 48 leads to the ball circulation passages 43 and 44 via the grease passage formed in the lid 42.

次に、スライド部３１の組み立て方法について、図９を参照して説明する。 Next, a method of assembling the slide portion 31 will be described with reference to FIG.

先ず、図９（Ａ）に示すように、スライド部本体３２の凸部３３，３４が、リターン４０の凹部４５，４６に嵌め込まれる。このとき、リターン４０の筐体４１のボス部４７も、スライド部本体３２のボス孔３２ｄに嵌め込まれる。ボス部４７がボス孔３２ｄに嵌め込まれることにより、図９（Ｂ）を参照するとわかるように、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃと、リターン４０の蓋体４２の貫通孔４２ｂと、リターン４０の筐体４１の貫通孔４１ａとが同軸上に配置される。 First, as shown in FIG. 9A, the convex portions 33, 34 of the slide portion main body 32 are fitted into the concave portions 45, 46 of the return 40. At this time, the boss portion 47 of the housing 41 of the return 40 is also fitted into the boss hole 32d of the slide portion main body 32. By fitting the boss portion 47 into the boss hole 32d, as can be seen with reference to FIG. 9B, the screw hole 32c of the slide portion main body 32, the through hole 42b of the lid body 42 of the return 40, and the return 40. The through hole 41a of the housing 41 is arranged coaxially.

次に、図９（Ｂ）に示すように、ボルト４９が、貫通孔４１ａと貫通孔４２ｂとを介して、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃにねじ込まれる。ボルト４９がねじ込まれることにより、リターン４０は、スライド部本体３２に固定される。 Next, as shown in FIG. 9B, the bolt 49 is screwed into the screw hole 32c of the slide portion main body 32 via the through hole 41a and the through hole 42b. By screwing the bolt 49, the return 40 is fixed to the slide portion main body 32.

リターン４０がスライド部本体３２に固定されることにより、図１０に示すように、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４３と、スライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａとが、ボール５０の軌道Ｔ１に沿って配置される。同様に、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４４と、スライド部本体３２の凸部３４に形成された溝部３４ａとが、ボール５０の軌道Ｔ２に沿って配置される。これら軌道Ｔ１，Ｔ２は、ストレート部分とカーブ部分とを有する長円形状に形成される。これにより、スライド部３１の組み立てが、完了する。 By fixing the return 40 to the slide portion main body 32, as shown in FIG. 10, a ball circulation path 43 formed in the housing 41 of the return 40 and a groove portion formed in the convex portion 33 of the slide portion main body 32. 33a and 33a are arranged along the trajectory T1 of the ball 50. Similarly, the ball circulation path 44 formed in the housing 41 of the return 40 and the groove portion 34a formed in the convex portion 34 of the slide portion main body 32 are arranged along the trajectory T2 of the ball 50. These orbits T1 and T2 are formed in an oval shape having a straight portion and a curved portion. As a result, the assembly of the slide portion 31 is completed.

ボール５０は、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４３，４４や、スライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａ、凸部３４に形成された溝部３４ａ等に配置される。これにより、ボール５０は、図１０に示す軌道Ｔ１，Ｔ２に沿って配置される。 The balls 50 are arranged in the ball circulation paths 43 and 44 formed in the housing 41 of the return 40, the groove 33a formed in the convex portion 33 of the slide portion main body 32, the groove portion 34a formed in the convex portion 34, and the like. To. As a result, the balls 50 are arranged along the orbits T1 and T2 shown in FIG.

レール部６０は、図１１に示すように、Ｙ軸方向を長手方向とする板状のベース６１と、このベース６１の＋Ｘ側及び−Ｘ側に形成された側壁６２，６３とを有する。レール部６０は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース６１には、Ｚ方向に貫通する複数の貫通孔６１ａが形成されている。また、側壁６２の−Ｘ側の面及び側壁６３の＋Ｘ側の面には、凹部６２ａ，６３ａがそれぞれ形成されている。この凹部６２ａ，６３ａには、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材６４，６５が取り付けられている。鋼製部材６４の−Ｘ側の面及び鋼製部材６５の＋Ｘ側の面には、溝部６４ａ，６５ａがそれぞれ形成されている。溝部６４ａ，６５ａは、対向するように形成されており、溝部６４ａ，６５ａの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図１２（Ａ）に示すように、溝部６４ａ，６５ａの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部６４ａ，６５ａの内面は、図１２（Ｂ）に示すように、その曲率半径Ｒ３が、ボール５０の半径Ｒ２と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。 As shown in FIG. 11, the rail portion 60 has a plate-shaped base 61 whose longitudinal direction is the Y-axis direction, and side walls 62 and 63 formed on the + X side and −X side of the base 61. The rail portion 60 is formed, for example, by extrusion molding aluminum. A plurality of through holes 61a penetrating in the Z direction are formed in the base 61. Further, recesses 62a and 63a are formed on the −X side surface of the side wall 62 and the + X side surface of the side wall 63, respectively. Steel members 64 and 65 formed in a substantially rectangular parallelepiped with the Y-axis direction as the longitudinal direction are attached to the recesses 62a and 63a. Grooves 64a and 65a are formed on the −X side surface of the steel member 64 and the + X side surface of the steel member 65, respectively. The groove portions 64a and 65a are formed so as to face each other, and the inner surface of the groove portions 64a and 65a is configured as a substantially curved surface. Specifically, as shown in FIG. 12A, the inner surfaces of the groove portions 64a and 65a are formed in a Gothic arch shape composed of two arc portions. However, the present invention is not limited to this, and the inner surfaces of the grooves 64a and 65a may be formed on a curved surface whose radius of curvature R3 is equivalent to the radius R2 of the ball 50, as shown in FIG. 12B.

レール部６０には、図１３に示すように、複数のボール５０を介して、スライド部３１が取り付けられる。レール部６０にスライド部３１が取り付けられると、レール部６０の鋼製部材６４の溝部６４ａと、スライド部３１のスライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａとにボール５０が挟まれる。同様に、レール部６０の鋼製部材６５の溝部６５ａと、スライド部３１のスライド部本体３２の凸部３４に形成された溝部３４ａとにボール５０が挟まれる。溝部６４ａと溝部３３ａとの間にボール５０が挟まれるとともに、溝部６５ａと溝部３４ａとの間にボール５０が挟まれることにより、スライド部３１は、ボール５０のみでレール部６０に支持される。また、レール部６０に対して、Ｙ軸方向に移動可能になる。 As shown in FIG. 13, a slide portion 31 is attached to the rail portion 60 via a plurality of balls 50. When the slide portion 31 is attached to the rail portion 60, the ball 50 is sandwiched between the groove portion 64a of the steel member 64 of the rail portion 60 and the groove portion 33a formed in the convex portion 33 of the slide portion main body 32 of the slide portion 31. .. Similarly, the ball 50 is sandwiched between the groove portion 65a of the steel member 65 of the rail portion 60 and the groove portion 34a formed in the convex portion 34 of the slide portion main body 32 of the slide portion 31. The ball 50 is sandwiched between the groove portion 64a and the groove portion 33a, and the ball 50 is sandwiched between the groove portion 65a and the groove portion 34a, so that the slide portion 31 is supported by the rail portion 60 only by the ball 50. Further, the rail portion 60 can be moved in the Y-axis direction.

ガイド装置３０は、レール部６０にスライド部３１が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部３１のスライド部本体３２の貫通孔３２ａには、図１４に示すように、ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入される。ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入されると、貫通孔３２ａに形成された雌ねじ部３２ｂに、ロッド１１の＋Ｙ側の端部に形成された雄ねじ部１１ｂが螺合する。これにより、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に固定される。 The guide device 30 is completed by attaching the slide portion 31 to the rail portion 60. Then, as shown in FIG. 14, the end portion on the + Y side of the rod 11 is inserted into the through hole 32a of the slide portion main body 32 of the slide portion 31. When the + Y-side end of the rod 11 is inserted, the male-threaded portion 11b formed at the + Y-side end of the rod 11 is screwed into the female-threaded portion 32b formed in the through hole 32a. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 of the guide device 30.

ボールねじ７０は、図１５、図２（Ｂ）、及び図３に示すように、ボールねじ軸７１と、ボールねじナット７２と、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部に取り付けられた弾性部材１１０とを有する。 As shown in FIGS. 15, 2 (B), and 3, the ball screw 70 has an elastic shape attached to a ball screw shaft 71, a ball screw nut 72, and a −Y end of the ball screw shaft 71. It has a member 110.

ボールねじ軸７１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体７１ａと、ボールねじ軸本体７１ａの＋Ｙ側の端部及び−Ｙ側の端部それぞれに形成された小径部７１ｂ，７１ｃとから構成される。小径部７１ｂ，７１ｃは、その径がボールねじ軸本体７１ａの径よりも小さく形成されている。また、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃには、弾性部材１１０が嵌め込まれて、抜け止め部材１１２によって、抜け止めされている。これにより、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１に回転可能に取り付けられる。 The ball screw shaft 71 has a small diameter formed on each of a ball screw shaft main body 71a whose outer peripheral surface is a spiral ball screw surface, and an end portion on the + Y side and an end portion on the −Y side of the ball screw shaft main body 71a. It is composed of parts 71b and 71c. The diameters of the small diameter portions 71b and 71c are formed to be smaller than the diameter of the ball screw shaft main body 71a. Further, an elastic member 110 is fitted into the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71 and is prevented from coming off by the retaining member 112. As a result, the elastic member 110 is rotatably attached to the ball screw shaft 71.

ボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１のボールねじ軸本体７１ａの外周に配置されている。ボールねじナット７２の内周面にはボールねじ部が形成されている。このボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１に剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸７１の回転運動が、ボールねじナット７２の直線運動に変換される。 The ball screw nut 72 is arranged on the outer periphery of the ball screw shaft main body 71a of the ball screw shaft 71. A ball screw portion is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut 72. The ball screw nut 72 is fitted into the ball screw shaft 71 via a rigid sphere. As a result, the rotational motion of the ball screw shaft 71 is converted into the linear motion of the ball screw nut 72.

また、ボールねじ軸７１の小径部７１ｂは、カップリング（継ぎ手）として構成されている。この小径部７１ｂが、カップリングとして構成されたモータユニット２０の出力軸２３に、出力軸２３の回転とともに回転するように接続される。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸７１に伝達される。 Further, the small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 is configured as a coupling (joint). The small diameter portion 71b is connected to the output shaft 23 of the motor unit 20 configured as a coupling so as to rotate with the rotation of the output shaft 23. As a result, the rotational movement of the output shaft 23 is transmitted to the ball screw shaft 71.

弾性部材１１０は、例えば、樹脂からなり、図１６に示すように、中央に貫通孔１１０ａが形成されたリング形状に形成されている。また、この弾性部材１１０は、その外径が、ロッド１１の孔１１ａの内径とほぼ同等に形成されている。具体的には、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃを、ロッド１１の孔１１ａに挿入した場合に、弾性部材１１０の外周が、孔１１ａの内周面に接触するように形成されている。弾性部材１１０の外周が、孔１１ａの内周面に接触することにより、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃの振れを抑えることができる。すなわち、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃの振れを抑える振れ止め部材として構成されている。また、弾性部材１１０には、Ｙ軸を中心とした円周上に沿って等間隔に形成された複数の溝１１１が形成されている。本実施形態のおいては、溝１１１は、８つ形成されている。 The elastic member 110 is made of, for example, a resin, and is formed in a ring shape having a through hole 110a formed in the center as shown in FIG. Further, the elastic member 110 is formed so that its outer diameter is substantially equal to the inner diameter of the hole 11a of the rod 11. Specifically, when the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71 is inserted into the hole 11a of the rod 11, the outer periphery of the elastic member 110 is formed so as to come into contact with the inner peripheral surface of the hole 11a. When the outer circumference of the elastic member 110 comes into contact with the inner peripheral surface of the hole 11a, the elastic member 110 can suppress the runout of the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. That is, the elastic member 110 is configured as a steady rest member that suppresses the runout of the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. Further, the elastic member 110 is formed with a plurality of grooves 111 formed at equal intervals along the circumference about the Y axis. In the present embodiment, eight grooves 111 are formed.

ボールねじ７０は、図１７に示すように、ガイド装置３０に固定される。具体的には、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、スライド部本体３２の貫通孔３２ａに＋Ｙ側から挿入され、これにより、ボールねじナット７２が、貫通孔３２ａ内に配置される。そして、スライド部本体３２の孔３２ｅに挿入されたボルト７４がねじ込まれて締結されることにより、ボールねじ７０は、ガイド装置３０に固定される。 The ball screw 70 is fixed to the guide device 30 as shown in FIG. Specifically, the −Y side end of the ball screw shaft 71 is inserted into the through hole 32a of the slide portion main body 32 from the + Y side, whereby the ball screw nut 72 is arranged in the through hole 32a. .. Then, the ball screw 70 is fixed to the guide device 30 by screwing and fastening the bolt 74 inserted into the hole 32e of the slide portion main body 32.

また、ボールねじ７０が、ガイド装置３０に固定されると、図１８に示すように、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の小径部７１ｃは、ロッド１１の孔１１ａ内まで移動する。このとき、弾性部材１１０の外周が、ロッド１１の孔１１ａの内周面に接触する。これにより、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、この弾性部材１１０によって支持される。 When the ball screw 70 is fixed to the guide device 30, as shown in FIG. 18, the small diameter portion 71c on the −Y side of the ball screw shaft 71 moves into the hole 11a of the rod 11. At this time, the outer circumference of the elastic member 110 comes into contact with the inner peripheral surface of the hole 11a of the rod 11. As a result, the −Y side end of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110.

フロントハウジング８０は、図３に示すように、ガイド装置３０の−Ｙ側に、ボルト８１によって固定されている。フロントハウジング８０は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、フロントハウジング８０には、ロッド１１を通すための貫通孔８０ａが形成されており、この貫通孔８０ａの内周面には、オイルレスベアリング８２が配置されている。オイルレスベアリング８２は、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。また、フロントハウジング８０は、＋Ｙ方向に突出する突出部８３が形成されており、この突出部８３の上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ孔が形成されている。この突出部８３のねじ孔は、カバー１８を固定するために用いられる。突出部８３のねじ孔には、カバー１８に形成された貫通孔１８ａを介して、ボルト１９が挿入される。 As shown in FIG. 3, the front housing 80 is fixed to the −Y side of the guide device 30 by bolts 81. The front housing 80 is formed by, for example, die casting. Further, the front housing 80 is formed with a through hole 80a for passing the rod 11, and an oilless bearing 82 is arranged on the inner peripheral surface of the through hole 80a. The oilless bearing 82 supports the rod 11 so as to be movable in the Y-axis direction. Further, the front housing 80 is formed with a protruding portion 83 protruding in the + Y direction, and a screw hole is formed on the upper surface (+ Z side surface) of the protruding portion 83. The screw holes of the protrusion 83 are used to fix the cover 18. A bolt 19 is inserted into the screw hole of the protrusion 83 via a through hole 18a formed in the cover 18.

ベアリングハウジング９０は、図３に示すように、ガイド装置３０の＋Ｙ側に、ボルト９１によって固定されている。ベアリングハウジング９０は、フロントハウジング８０と同様に、ダイカストにより形成されている。また、ベアリングハウジング９０は、ボールねじ軸７１を挿入するための貫通孔９０ａが形成されており、この貫通孔９０ａの内周面には、ベアリング９２が配置されている。ベアリング９２は、貫通孔９０ａの＋Ｙ側から嵌め込まれ、ベアリング押さえ９２ａによって固定されている。このベアリング９２によって、ボールねじ軸７１は回転可能に支持される。 As shown in FIG. 3, the bearing housing 90 is fixed to the + Y side of the guide device 30 by bolts 91. The bearing housing 90 is formed by die casting like the front housing 80. Further, the bearing housing 90 is formed with a through hole 90a for inserting the ball screw shaft 71, and the bearing 92 is arranged on the inner peripheral surface of the through hole 90a. The bearing 92 is fitted from the + Y side of the through hole 90a and is fixed by the bearing retainer 92a. The ball screw shaft 71 is rotatably supported by the bearing 92.

また、ベアリングハウジング９０には、−Ｙ方向に突出する突出部９３が形成されており、この突出部９３の上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔は、カバー１８を固定するために用いられる。突出部９３のねじ孔には、カバー１８に形成された貫通孔１８ａを介して、ボルト１９が挿入される。また、突出部９３の−Ｙ側の面には、＋Ｙ方向に移動してきたスライド部３１に接触し、スライド部３１からの衝撃を吸収する衝撃吸収部材９４が配置されている。衝撃吸収部材９４は、弾性の素材からなり、衝撃吸収部材９４の素材には、任意の樹脂が用いられる。また、ベアリングハウジング９０には、＋Ｙ方向に突出する突出部９５が形成されている。 Further, the bearing housing 90 is formed with a protruding portion 93 protruding in the −Y direction, and a screw hole is formed on the upper surface (+ Z side surface) of the protruding portion 93. This screw hole is used to fix the cover 18. A bolt 19 is inserted into the screw hole of the protruding portion 93 through a through hole 18a formed in the cover 18. Further, a shock absorbing member 94 that comes into contact with the slide portion 31 that has moved in the + Y direction and absorbs the impact from the slide portion 31 is arranged on the surface of the protruding portion 93 on the −Y side. The shock absorbing member 94 is made of an elastic material, and any resin is used as the material of the shock absorbing member 94. Further, the bearing housing 90 is formed with a protruding portion 95 projecting in the + Y direction.

ベアリングハウジング９０には、図１９（Ａ）に示すように、ボールねじ軸７１の小径部７１ｂが挿入される。これにより、ボールねじ７０は、ベアリングハウジング９０に回転可能に支持される。また、ベアリングハウジング９０の突出部９５は、モータユニット２０のモータハウジング２２の開口２２ａに嵌め込まれる。このとき、カップリングとして構成されたボールねじ軸７１の小径部７１ｂが、カップリングとして構成された出力軸２３に、出力軸２３の回転とともに回転するように接続される。これにより、モータ２１内で生じた回転運動が、ボールねじ軸７１に伝達される。そして、図１９（Ｂ）に示すように、モータハウジング２２に形成されたねじ孔２２ｂには、ボルト２５がねじ込まれる。これにより、ベアリングハウジング９０の突出部９５の上面（＋Ｚ側の面）が、ボルト２５の下端に押し付けられるため、モータユニット２０は、ベアリングハウジング９０に対して固定される。 As shown in FIG. 19A, the small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 is inserted into the bearing housing 90. As a result, the ball screw 70 is rotatably supported by the bearing housing 90. Further, the protruding portion 95 of the bearing housing 90 is fitted into the opening 22a of the motor housing 22 of the motor unit 20. At this time, the small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 configured as a coupling is connected to the output shaft 23 configured as a coupling so as to rotate with the rotation of the output shaft 23. As a result, the rotational motion generated in the motor 21 is transmitted to the ball screw shaft 71. Then, as shown in FIG. 19B, the bolt 25 is screwed into the screw hole 22b formed in the motor housing 22. As a result, the upper surface (+ Z side surface) of the protruding portion 95 of the bearing housing 90 is pressed against the lower end of the bolt 25, so that the motor unit 20 is fixed to the bearing housing 90.

上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図２０〜図２２を用いて説明する。 The operation of the actuator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS. 20 to 22.

先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図２０（Ｉ）に示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転する。出力軸２３が所定の方向に回転すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１が、出力軸２３とともに回転する。 First, when power is supplied to the motor 21 of the motor unit 20, the output shaft 23 of the motor 21 rotates in a predetermined direction, as shown in FIG. 20 (I). When the output shaft 23 rotates in a predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 rotates together with the output shaft 23.

ボールねじ軸７１が回転すると、図２０（ＩＩ）に示すように、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、−Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに−Ｙ方向に移動をする。 When the ball screw shaft 71 rotates, as shown in FIG. 20 (II), the ball screw nut 72 moves linearly in, for example, the −Y direction as the ball screw shaft 71 rotates. When the ball screw nut 72 moves in the −Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the −Y direction together with the ball screw nut 72.

このとき、図２１（Ｉ）に示すように、レール部６０の鋼製部材６４の溝部６４ａと、スライド部本体３２の凸部３３の溝部３３ａと間に配置されたボール５０は、溝部６４ａ及び溝部３３ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部６４ａと溝部３３ａとの間から、リターン４０に形成されたボール循環路４３に移動する。ボール循環路４３に移動したボール５０は、ボール循環路４３のカーブ通路部４３ｂ、ストレート通路部４３ａを通過し、再び、ボール循環路４３から、溝部６４ａと溝部３３ａとの間に移動する。そして、ボール５０は、溝部６４ａ及び溝部３３ａに転がり接触しながら転動する。 At this time, as shown in FIG. 21 (I), the balls 50 arranged between the groove portion 64a of the steel member 64 of the rail portion 60 and the groove portion 33a of the convex portion 33 of the slide portion main body 32 are the groove portion 64a and the groove portion 33a. It rolls while rolling and contacting the groove 33a. The ball 50 moves in the + Y direction, and moves from between the groove portion 64a and the groove portion 33a to the ball circulation path 43 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation path 43 passes through the curved passage portion 43b and the straight passage portion 43a of the ball circulation path 43, and moves again from the ball circulation path 43 between the groove portion 64a and the groove portion 33a. Then, the ball 50 rolls while rolling and contacting the groove portion 64a and the groove portion 33a.

同様に、レール部６０の鋼製部材６５の溝部６５ａと、スライド部本体３２の凸部３４の溝部３４ａと間に配置されたボール５０は、溝部６５ａ及び溝部３４ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部６５ａと溝部３４ａとの間から、リターン４０に形成されたボール循環路４４に移動する。ボール循環路４４に移動したボール５０は、ボール循環路４４のカーブ通路部４４ｂ、ストレート通路部４４ａを通過し、再び、ボール循環路４４から、溝部６５ａと溝部３４ａとの間に移動する。そして、ボール５０は、溝部６５ａ及び溝部３４ａに転がり接触しながら転動する。 Similarly, the ball 50 arranged between the groove portion 65a of the steel member 65 of the rail portion 60 and the groove portion 34a of the convex portion 34 of the slide portion main body 32 rolls while rolling and contacting the groove portion 65a and the groove portion 34a. .. The ball 50 moves in the + Y direction, and moves from between the groove portion 65a and the groove portion 34a to the ball circulation path 44 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation path 44 passes through the curved passage portion 44b and the straight passage portion 44a of the ball circulation path 44, and moves again from the ball circulation path 44 between the groove portion 65a and the groove portion 34a. Then, the ball 50 rolls while rolling and contacting the groove portion 65a and the groove portion 34a.

ボール５０が、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動することにより、スライド部３１は、レール部６０に案内されつつ、−Ｙ方向に移動する。 The ball 50 rolls while rolling and contacting the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a, so that the slide portion 31 moves in the −Y direction while being guided by the rail portion 60.

ガイド装置３０のスライド部３１が−Ｙ方向に移動をすると、図２０（ＩＩ）に示すように、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに−Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が−Ｙ方向に移動する。 When the slide portion 31 of the guide device 30 moves in the −Y direction, as shown in FIG. 20 (II), the rod 11 fixed to the slide portion 31 also moves in the −Y direction together with the slide portion 31. As a result, the tip metal fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the −Y direction.

また、図２２（Ｉ）に示すように、ロッド１１が−Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は、−Ｙ方向には移動せずに回転する。このため、ロッド１１の孔１１ａの内周面は、ボールねじ軸７１に取り付けられた弾性部材１１０に対して摺動する。このとき、ロッド１１の孔１１ａと、弾性部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定される空間Ｓの容積は、ロッド１１の−Ｙ方向への移動に伴って大きくなる。これにより、空間Ｓ内の空気が、弾性部材１１０の溝１１１から流入し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。 Further, as shown in FIG. 22 (I), the rod 11 moves in the −Y direction, whereas the ball screw shaft 71 rotates without moving in the −Y direction. Therefore, the inner peripheral surface of the hole 11a of the rod 11 slides with respect to the elastic member 110 attached to the ball screw shaft 71. At this time, the volume of the space S defined by the hole 11a of the rod 11 and the surface of the elastic member 110 on the −Y side increases with the movement of the rod 11 in the −Y direction. As a result, the air in the space S flows in from the groove 111 of the elastic member 110, and the internal pressure in the space S is kept constant.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の−Ｙ方向への移動が完了する。 As described above, the movement of the rod 11 and the tip metal fitting 12 in the −Y direction is completed.

次に、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転すると、図２０（ＩＩＩ）に示すように、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１は、出力軸２３とともに回転する。 Next, when the output shaft 23 of the motor unit 20 rotates in the direction opposite to the predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23, together with the output shaft 23, as shown in FIG. 20 (III). Rotate.

ボールねじ軸７１が回転すると、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに＋Ｙ方向に移動をする。 When the ball screw shaft 71 rotates, the ball screw nut 72 makes a linear motion in the + Y direction as the ball screw shaft 71 rotates. When the ball screw nut 72 moves in the + Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the + Y direction together with the ball screw nut 72.

このとき、図２１（ＩＩ）に示すように、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａと、スライド部本体３２の凸部３３，３４の溝部３３ａ，３４ａと間に配置されたボール５０は、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、−Ｙ方向に移動していき、やがて、リターン４０に形成されたボール循環路４３，４４に移動する。ボール循環路４３，４４に移動したボール５０は、ボール循環路４３，４４のカーブ通路部４３ｂ，４４ｂ、ストレート通路部４３ａ，４４ａを通過し、再び、溝部６４ａ，６５ａと溝部３３ａ，３４ａとの間に移動する。溝部６４ａ，６５ａと溝部３３ａ，３４ａとの間に移動したボール５０は、転がり接触しながら転動する。 At this time, as shown in FIG. 21 (II), the rail portions 60 are arranged between the groove portions 64a, 65a of the steel members 64, 65 and the groove portions 33a, 34a of the convex portions 33, 34 of the slide portion main body 32. The ball 50 rolls while rolling and contacting the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a. The ball 50 moves in the −Y direction, and eventually moves to the ball circulation paths 43 and 44 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation paths 43 and 44 passes through the curved passage portions 43b and 44b and the straight passage portions 43a and 44a of the ball circulation paths 43 and 44, and again joins the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a. Move in between. The ball 50 that has moved between the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a rolls while rolling and contacting each other.

ボール５０が、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動することにより、スライド部３１は、レール部６０に案内されつつ、＋Ｙ方向に移動する。 The ball 50 rolls while rolling and contacting the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a, so that the slide portion 31 moves in the + Y direction while being guided by the rail portion 60.

ガイド装置３０のスライド部３１が＋Ｙ方向に移動をすると、図２０（ＩＩＩ）に示すように、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに＋Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が＋Ｙ方向に移動する。 When the slide portion 31 of the guide device 30 moves in the + Y direction, as shown in FIG. 20 (III), the rod 11 fixed to the slide portion 31 also moves in the + Y direction together with the slide portion 31. As a result, the tip metal fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the + Y direction.

また、図２２（ＩＩ）に示すように、ロッド１１が＋Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は＋Ｙ方向には移動せずに回転する。このため、空間Ｓは、ロッド１１の＋Ｙ方向への移動に伴って小さくなる。これにより、空間Ｓ内の空気が、弾性部材１１０の溝１１１から流出し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。 Further, as shown in FIG. 22 (II), the rod 11 moves in the + Y direction, whereas the ball screw shaft 71 rotates without moving in the + Y direction. Therefore, the space S becomes smaller as the rod 11 moves in the + Y direction. As a result, the air in the space S flows out from the groove 111 of the elastic member 110, and the internal pressure of the space S is kept constant.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の＋Ｙ方向への移動が完了し、ロッド１１及び先端金具１２は、初期位置まで戻る。 As described above, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the + Y direction is completed, and the rod 11 and the tip fitting 12 return to the initial positions.

以上、説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ１０においては、スライド部３１が、鋼製の素材からなるボール５０を介してレール部６０の鋼製部材６４，６５に支持されている。これにより、モータユニット２０の出力軸２３の回転に起因したトルクが、ボールねじ軸７１を介して、スライド部３１に加わっても、スライド部３１は、レール部６０に対して、出力軸２３周りに動かなくなる。このため、出力軸２３の回転に起因したトルクが、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくく、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。ひいては、ロッド１１に固定された先端金具１２の振れを抑制することができ、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。 As described above, in the actuator 10 according to the present embodiment, the slide portion 31 is supported by the steel members 64 and 65 of the rail portion 60 via the balls 50 made of a steel material. As a result, even if the torque caused by the rotation of the output shaft 23 of the motor unit 20 is applied to the slide portion 31 via the ball screw shaft 71, the slide portion 31 is around the output shaft 23 with respect to the rail portion 60. It gets stuck. Therefore, the torque caused by the rotation of the output shaft 23 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30, and the occurrence of runout at the tip of the rod 11 can be suppressed. As a result, the runout of the tip metal fitting 12 fixed to the rod 11 can be suppressed, and the work accuracy of the actuator 10 can be prevented from deteriorating.

また、このガイド装置３０により、ロッド１１は、Ｙ軸方向に円滑に往復運動することができる。 Further, the guide device 30 allows the rod 11 to smoothly reciprocate in the Y-axis direction.

また、本実施形態においては、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃに弾性部材１１０が取り付けられている。そのため、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部は、この弾性部材１１０によって、ロッド１１の孔１１ａの内周面に支持される。これにより、ボールねじ軸７１の先端部の振れの発生を抑制することができる。 Further, in the present embodiment, the elastic member 110 is attached to the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. Therefore, the −Y side end of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110 on the inner peripheral surface of the hole 11a of the rod 11. As a result, the occurrence of runout at the tip of the ball screw shaft 71 can be suppressed.

例えば、図２３（Ａ）を参照するとわかるように、ボールねじ軸７１の先端に弾性部材１１０が取り付けられていない場合は、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、ロッド１１の孔１１ａの内周面に対して支持されないため、ボールねじ軸７１の先端部の振れが発生しやすくなる。特に、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に大きく移動している場合には、ボールねじナット７２から出力軸２３までの距離Ｌ２に対して、ボールねじナット７２からボールねじ軸７１の先端部までの距離Ｌ１が大きくなり、大きな振れが発生するおそれがある。 For example, as can be seen with reference to FIG. 23 (A), when the elastic member 110 is not attached to the tip of the ball screw shaft 71, the −Y side end of the ball screw shaft 71 is the hole 11a of the rod 11. Since it is not supported with respect to the inner peripheral surface of the ball screw shaft 71, the tip of the ball screw shaft 71 is likely to run out. In particular, when the ball screw nut 72 is largely moved in the + Y direction, the distance from the ball screw nut 72 to the tip of the ball screw shaft 71 is relative to the distance L2 from the ball screw nut 72 to the output shaft 23. The distance L1 becomes large, and a large runout may occur.

これに対し、本実施形態においては、図２３（Ｂ）を参照するとわかるように、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、弾性部材１１０によって支持されているため、ボールねじナット７２が＋Ｙ方向に大きく移動している場合においても、ボールねじ軸７１の先端部の振れの発生を抑制することができる。これにより、ボールねじ軸７１の先端部の振れに起因したロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができ、ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。 On the other hand, in the present embodiment, as can be seen with reference to FIG. 23 (B), since the −Y side end of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110, the ball screw nut 72 is Even when the ball screw shaft 71 is largely moved in the + Y direction, it is possible to suppress the occurrence of runout at the tip of the ball screw shaft 71. As a result, it is possible to suppress the occurrence of runout of the tip end portion of the rod 11 due to the runout of the tip end portion of the ball screw shaft 71, and thus it is possible to prevent a decrease in the working accuracy of the actuator 10.

また、弾性部材１１０には、溝１１１が形成されているため、ロッド１１の移動時における空間Ｓの内圧の変化を防ぐことができる。例えば、弾性部材１１０に、溝１１１が形成されていない場合には、空間Ｓは、ロッド１１の孔１１ａと、弾性部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定された密閉空間となってしまう。このため、ロッド１１のＹ軸方向への移動に伴い、空間Ｓの内圧が変化し、ロッド１１の円滑な動きが阻害されてしまう。 Further, since the elastic member 110 is formed with the groove 111, it is possible to prevent the change in the internal pressure of the space S when the rod 11 is moved. For example, when the groove 111 is not formed in the elastic member 110, the space S becomes a closed space defined by the hole 11a of the rod 11 and the surface on the −Y side of the elastic member 110. Therefore, as the rod 11 moves in the Y-axis direction, the internal pressure of the space S changes, and the smooth movement of the rod 11 is hindered.

これに対し、本実施形態の弾性部材１１０には、溝１１１が形成されているため、空間Ｓ内の空気が、弾性部材１１０の溝１１１を介して流入出するため、空間Ｓの内圧を一定に保つことができ、空間Ｓの内圧変化によるロッド１１の動きへの影響を排除することができる。ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。 On the other hand, since the elastic member 110 of the present embodiment is formed with the groove 111, the air in the space S flows out through the groove 111 of the elastic member 110, so that the internal pressure of the space S is constant. It is possible to eliminate the influence on the movement of the rod 11 due to the change in the internal pressure of the space S. As a result, it is possible to prevent a decrease in the working accuracy of the actuator 10.

また、溝１１１が、ボールねじ軸７１の中心とする円周に沿って等間隔に複数形成されているため、ロッド１１の孔１１ａと弾性部材１１０との接触面積を小さくすることができる。これにより、ロッド１１の弾性部材１１０に対する摩擦係数を小さくすることができ、ロッド１１と弾性部材１１０との摩擦によるロッド１１の動きへの影響を小さくすることができる。ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。 Further, since a plurality of grooves 111 are formed at equal intervals along the circumference of the center of the ball screw shaft 71, the contact area between the holes 11a of the rod 11 and the elastic member 110 can be reduced. As a result, the coefficient of friction of the rod 11 with respect to the elastic member 110 can be reduced, and the influence of the friction between the rod 11 and the elastic member 110 on the movement of the rod 11 can be reduced. As a result, it is possible to prevent a decrease in the working accuracy of the actuator 10.

また、アクチュエータ１０は、カバー１８を有している。このため、このカバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側）から、アクチュエータ１０をボルトで固定することが可能になる。詳しくは、図２４に示すように、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定する場合、カバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側）から、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａを介して、ボルト１２１を作業台１２０のねじ孔１２０ａに挿入することができる。これにより、アクチュエータ１０の作業台１２０への取り付けがしやすくなる。 Further, the actuator 10 has a cover 18. Therefore, by removing the cover 18, the actuator 10 can be fixed with a bolt from the upper side (+ Z side) of the actuator 10. Specifically, as shown in FIG. 24, when the actuator 10 is fixed to the workbench 120, a through hole formed in the base 61 of the rail portion 60 is formed from the upper side (+ Z side) of the actuator 10 by removing the cover 18. The bolt 121 can be inserted into the screw hole 120a of the workbench 120 via the 61a. This makes it easier to attach the actuator 10 to the workbench 120.

これに対して、カバーを有さないアクチュエータの場合は、作業台に固定する場合、作業者が、作業台の下に潜り込んで下方（−Ｚ側）からアクチュエータを取り付けなければならない。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ１０においては、上側（＋Ｚ側）から作業台１２０に取り付けることができるため、アクチュエータ１０の取り付けの作業性を向上させることができる。 On the other hand, in the case of an actuator without a cover, when fixing it to the workbench, the operator must sneak under the workbench and attach the actuator from below (-Z side). However, in the actuator 10 according to the present embodiment, since it can be attached to the workbench 120 from the upper side (+ Z side), the workability of attaching the actuator 10 can be improved.

また、同様に、アクチュエータ１０は、カバー１８を有しているため、このカバー１８を取り外すことにより、上側（＋Ｚ側）から、ボール５０のグリスを、ガイド装置３０のリターン４０に形成された注入孔４８から注入することができる。これに対して、カバーを有さないアクチュエータの場合は、ボール５０のグリスを注入するためには、筐体等を分解する必要があり、グリスの注入作業が煩雑なものとなってしまう。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ１０においては、このカバー１８を取り外すことにより、上側（＋Ｚ側）から、グリスを注入孔４８から注入することができるため、グリスの注入作業の作業性を良好とすることができる。 Similarly, since the actuator 10 has the cover 18, by removing the cover 18, the grease of the ball 50 is injected from the upper side (+ Z side) into the return 40 of the guide device 30. It can be injected through the hole 48. On the other hand, in the case of an actuator without a cover, in order to inject the grease of the ball 50, it is necessary to disassemble the housing and the like, which complicates the grease injection work. However, in the actuator 10 according to the present embodiment, by removing the cover 18, grease can be injected from the upper side (+ Z side) from the injection hole 48, so that the workability of the grease injection work is improved. can do.

また、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に螺合により固定されている。このため、ボルト等で固定する場合と比べて、強固に固定できるとともに、ボルト等の部品を別途用意する必要はなくなる。 Further, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 of the guide device 30 by screwing. For this reason, it can be fixed more firmly than when it is fixed with bolts or the like, and it is not necessary to separately prepare parts such as bolts.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and the like.

例えば、本実施形態においては、弾性部材１１０には、８つの溝１１１が形成されているが、これに限らず、図２５に示すように、４つの溝１１１を形成してもよい。また溝１１１を１つのみ形成してもよいし、８つよりも多くの溝１１１を形成してもよい。 For example, in the present embodiment, the elastic member 110 is formed with eight grooves 111, but the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 25, four grooves 111 may be formed. Further, only one groove 111 may be formed, or more than eight grooves 111 may be formed.

また、ガイド装置３０のスライド部３１とリターン４０との間には、複数のボール５０が配置されているが、これに限らず、ころ（ローラ）を配置してもよい。 Further, a plurality of balls 50 are arranged between the slide portion 31 of the guide device 30 and the return 40, but the present invention is not limited to this, and rollers (rollers) may be arranged.

また、ロッド１１は、スライド部３１に螺合により固定されているが、これに限らず、ボルト等で固定してもよい。 Further, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 by screwing, but the rod 11 is not limited to this and may be fixed by a bolt or the like.

また、レール部６０の鋼製部材６４，６５には、溝部６４ａ，６５ａが形成されているが、レール部６０の側壁６２，６３に直接溝部を形成してもよい。 Further, although the steel members 64 and 65 of the rail portion 60 are formed with groove portions 64a and 65a, the groove portions may be formed directly on the side walls 62 and 63 of the rail portion 60.

《変形例１》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、鋼製部材６４，６５は、レール部６０の凹部６２ａ，６３ａに取り付けられている。しかしながら、これに限らず、図２６（Ａ）に示すように、鋼製部材６４，６５が、ガイド装置３０のレール部６０と一体に形成されていてもよい。この場合、ボール５０が転動するための溝部６４ａ，６５ａは、レール部６０の側壁６２，６３に、直接、形成される。このような場合においても、上記実施形態と同様に、出力軸２３の回転に起因したトルクが、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくく、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。 << Modification 1 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the steel members 64 and 65 are attached to the recesses 62a and 63a of the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 26A, the steel members 64 and 65 may be formed integrally with the rail portion 60 of the guide device 30. In this case, the groove portions 64a and 65a for rolling the ball 50 are formed directly on the side walls 62 and 63 of the rail portion 60. Even in such a case, as in the above embodiment, the torque caused by the rotation of the output shaft 23 is difficult to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30, and the occurrence of runout of the tip portion of the rod 11 is suppressed. be able to.

また、図２６（Ａ）に示す変形例では、スライド部３１は、レール部６０の側壁６２と側壁６３との間に嵌め込まれて、レール部６０に取り付けられている。しかしながら、これに限られない。図２６（Ｂ）に示す変形例では、側壁６２，６３の代わりに、Ｙ軸方向に沿った線状の凸部１３０が、レール部６０に形成されている。この凸部１３０が、スライド部本体３２の凸部３３と凸部３４との間に嵌め込まれることで、スライド部３１は、レール部６０に取り付けられていてもよい。 Further, in the modified example shown in FIG. 26A, the slide portion 31 is fitted between the side wall 62 and the side wall 63 of the rail portion 60 and attached to the rail portion 60. However, it is not limited to this. In the modified example shown in FIG. 26B, instead of the side walls 62 and 63, a linear convex portion 130 along the Y-axis direction is formed on the rail portion 60. The slide portion 31 may be attached to the rail portion 60 by fitting the convex portion 130 between the convex portion 33 and the convex portion 34 of the slide portion main body 32.

また、図２６（Ａ）及び（Ｂ）では、スライド部本体３２及びリターン４０は、別の部材に構成されている。しかしながら、これに限らず、図２６（Ｃ）に示すように、スライド部本体３２及びリターン４０が、一体に構成されていてもよい。 Further, in FIGS. 26A and 26B, the slide portion main body 32 and the return 40 are formed of different members. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 26C, the slide portion main body 32 and the return 40 may be integrally configured.

上述した図１〜２４に示す実施形態や、図２６（Ａ）〜（Ｃ）に示す変形例では、ボール５０を転動するための溝部３３ａ，３４ａ，６４ａ，６５ａは、スライド部本体３２と、レール部６０とにそれぞれ２つずつ形成されている。これにより、ボール５０は、２つの軌道（図１０における軌道Ｔ１、Ｔ２）に沿って転動する。しかしながら、これに限らず、ボール５０は、図２６（Ｄ）に示すように、３つの軌道に沿って転動してもよい。ボール５０が転動する軌道の数が増加することにより、ロッド１１の先端部の振れの発生を、より効果的に抑制できるようになる。なお、ボール５０が転動する軌道の数は、４つ以上であってもよい。 In the above-described embodiments shown in FIGS. 1 to 24 and the modified examples shown in FIGS. 26 (A) to 26 (C), the groove portions 33a, 34a, 64a, 65a for rolling the ball 50 are the slide portion main body 32. , Two each on the rail portion 60. As a result, the ball 50 rolls along two orbits (orbits T1 and T2 in FIG. 10). However, not limited to this, the ball 50 may roll along three trajectories as shown in FIG. 26 (D). By increasing the number of orbits in which the ball 50 rolls, it becomes possible to more effectively suppress the occurrence of runout at the tip of the rod 11. The number of orbits on which the ball 50 rolls may be four or more.

また、ガイド装置３０は、図２７（Ｅ）に示すように、スライド部３１の直線運動に伴って、レール部６０上を回転するローラ１３１を備えていてもよい。これにより、スライド部３１のＹ軸方向への直線運動が安定し、結果的に、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制できるようになる。また、この場合、図２７（Ｆ）に示すように、ボール５０が転動する軌道の数を、１つのみにすることもできる。 Further, as shown in FIG. 27 (E), the guide device 30 may include a roller 131 that rotates on the rail portion 60 as the slide portion 31 moves linearly. As a result, the linear motion of the slide portion 31 in the Y-axis direction is stabilized, and as a result, the occurrence of runout of the tip portion of the rod 11 can be suppressed. Further, in this case, as shown in FIG. 27 (F), the number of orbits in which the ball 50 rolls can be set to only one.

また、図２７（Ｇ）に示す変形例では、スライド部３１の凸部３３の＋Ｘ側の面には、Ｙ軸方向に沿った線状の突起１３２が形成され、スライド部３１の凸部３４の−Ｘ側の面には、Ｙ軸方向に沿った線状の突起１３３が形成されている。そして、これらの突起１３２，１３３が、レール部の凹部６２ａ，６３ａに摺動可能に嵌め込まれている。この場合、ボール５０が転動する軌道の数を、１つのみにすることもできる。 Further, in the modified example shown in FIG. 27 (G), a linear protrusion 132 along the Y-axis direction is formed on the + X side surface of the convex portion 33 of the slide portion 31, and the convex portion 34 of the slide portion 31 is formed. A linear protrusion 133 along the Y-axis direction is formed on the surface on the −X side of the above. Then, these protrusions 132 and 133 are slidably fitted in the recesses 62a and 63a of the rail portion. In this case, the number of orbits in which the ball 50 rolls can be limited to one.

上述した図１〜２４に示す実施形態や変形例では、ボール５０を転動するための溝部３３ａ，３４ａ，６４ａ，６５ａは、スライド部本体３２と、レール部６０とに形成されている。しかしながら、これに限らず、図２７（Ｈ）に示すように、カバー１８に、ボール５０を転動するための溝部が形成されていてもよい。 In the embodiments and modifications shown in FIGS. 1 to 24 described above, the groove portions 33a, 34a, 64a, 65a for rolling the ball 50 are formed in the slide portion main body 32 and the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 27 (H), a groove portion for rolling the ball 50 may be formed in the cover 18.

上述した図１〜２４に示す実施形態や、図２６（Ａ）に示す変形例では、ボール５０が転動する軌道は、スライド部本体３２の＋Ｘ側と−Ｘ側とに、それぞれ１つずつ形成されている。しかしながら、これに限らず、ボール５０が転動する軌道は、図２８（Ｉ）に示すように、スライド部本体３２の＋Ｘ側と−Ｘ側とに、それぞれ２つずつ形成されていてもよい。ボール５０が転動する軌道が、それぞれ２つずつ形成されることにより、ロッド１１の先端部の振れの発生を、より効果的に抑制できるようになる。 In the above-described embodiments shown in FIGS. 1 to 24 and in the modified example shown in FIG. 26 (A), the ball 50 has one rolling trajectory on the + X side and one on the −X side of the slide portion main body 32. It is formed. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 28 (I), two orbits on which the ball 50 rolls may be formed on the + X side and the −X side of the slide portion main body 32, respectively. .. By forming two orbits on which the ball 50 rolls, the occurrence of runout at the tip of the rod 11 can be suppressed more effectively.

また、図２８（Ｉ）に示す変形例では、スライド部３１は、レール部６０の側壁６２と側壁６３との間に嵌め込まれて、レール部６０に取り付けられる。しかしながら、これに限らず、図２８（Ｊ）に示すように、レール部６０に形成された凸部１３０が、スライド部本体３２の凸部３３と凸部３４との間に嵌め込まれることで、スライド部３１は、レール部６０に取り付けられていてもよい。また、図２８（Ｉ）及び（Ｊ）においては、ボール５０が転動する軌道は、スライド部本体３２の＋Ｘ側と−Ｘ側とに、それぞれ２つずつ形成されているが、３つ以上形成されていてもよい。 Further, in the modified example shown in FIG. 28 (I), the slide portion 31 is fitted between the side wall 62 and the side wall 63 of the rail portion 60 and attached to the rail portion 60. However, not limited to this, as shown in FIG. 28 (J), the convex portion 130 formed on the rail portion 60 is fitted between the convex portion 33 and the convex portion 34 of the slide portion main body 32. The slide portion 31 may be attached to the rail portion 60. Further, in FIGS. 28 (I) and 28 (J), two or more trajectories of the ball 50 are formed on the + X side and the −X side of the slide portion main body 32, but three or more. It may be formed.

また、図２６（Ｂ）に示す変形例に係るスライド部３１は、１つのリターン４０を有している。しかしながら、これに限らず、図２８（Ｋ）に示すように、２つのリターン４０を有していてもよい。また、スライド部３１は、３つ以上のリターン４０を有していてもよい。 Further, the slide portion 31 according to the modified example shown in FIG. 26B has one return 40. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 28 (K), it may have two returns 40. Further, the slide portion 31 may have three or more returns 40.

また、図２８（Ｋ）に示す変形例では、２つのリターン４０は、いずれも、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）に固定されているが、これに限られない。例えば、図２８（Ｌ）に示すように、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）と、側面（−Ｘ側の面）とに固定されていてもよい。 Further, in the modified example shown in FIG. 28 (K), both of the two returns 40 are fixed to the lower surface (the surface on the −Z side) of the slide portion main body 32, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 28 (L), the slide portion main body 32 may be fixed to the lower surface (-Z side surface) and the side surface (-X side surface).

また、上述した実施形態等では、ボール５０が転動する溝部の内面は、図７（Ａ）、図１２（Ａ）及び図１３に示すように、ゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、ボール等の転動体の曲率半径よりも大きな曲率半径で形成されたサーキュラー形状であってもよい。 Further, in the above-described embodiment and the like, the inner surface of the groove portion on which the ball 50 rolls is formed in a Gothic arch shape as shown in FIGS. 7 (A), 12 (A) and 13. However, the present invention is not limited to this, and a circular shape may be formed with a radius of curvature larger than the radius of curvature of a rolling element such as a ball.

《変形例２》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、ガイド装置３０は、１つのスライド部３１を有しているが、スライド部３１の数は任意である。以下、２つのスライド部３１を有している変形例２について、図２９を用いて説明する。 << Modification 2 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the guide device 30 has one slide portion 31, but the number of slide portions 31 is arbitrary. Hereinafter, a modified example 2 having two slide portions 31 will be described with reference to FIG. 29.

本変形例２に係るガイド装置３０では、図２９（Ａ）に示すように、２つのスライド部３１が、レール部６０に取り付けられている。ロッド１１は、図２９（Ｂ）に示すように、２つのスライド部３１に跨って固定される。 In the guide device 30 according to the second modification, as shown in FIG. 29 (A), two slide portions 31 are attached to the rail portion 60. As shown in FIG. 29B, the rod 11 is fixed so as to straddle the two slide portions 31.

これにより、モータユニット２０の出力軸の回転に起因したトルクが、上記実施形態（図１〜図２４に示す実施形態）のものよりも、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくく、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。ひいては、ロッド１１に固定された先端金具１２の振れを抑制することができ、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。 As a result, the torque caused by the rotation of the output shaft of the motor unit 20 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30 than that of the above embodiment (the embodiment shown in FIGS. 1 to 24), and the rod It is possible to suppress the occurrence of runout at the tip of 11. As a result, the runout of the tip metal fitting 12 fixed to the rod 11 can be suppressed, and the work accuracy of the actuator 10 can be prevented from deteriorating.

また、２つのスライド部３１が、レール部６０に取り付けられているため、ロッド１１は、より円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 Further, since the two slide portions 31 are attached to the rail portion 60, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

本変形例２においては、スライド部３１は、レール部６０に２つ取り付けられているが、これに限らず、３つ以上取り付けられていてもよい。 In the present modification 2, two slide portions 31 are attached to the rail portion 60, but the present invention is not limited to this, and three or more slide portions 31 may be attached.

《変形例３》
本変形例３に係るガイド装置３０及びアクチュエータ１０では、図３０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、スライド部３１が、上記実施形態（図１〜図２４に示す実施形態）のものよりも、Ｙ軸方向に長く形成されている。このため、ロッド１１が、スライド部３１に固定された場合、モータユニット２０の出力軸の回転に起因したトルクが、上記実施形態のものよりも、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくくなる。結果的に、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。 << Modification 3 >>
In the guide device 30 and the actuator 10 according to the third modification, as shown in FIGS. 30A and 30B, the slide portion 31 is more than that of the above embodiment (the embodiment shown in FIGS. 1 to 24). Is also formed long in the Y-axis direction. Therefore, when the rod 11 is fixed to the slide portion 31, the torque caused by the rotation of the output shaft of the motor unit 20 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30 than in the above embodiment. Become. As a result, it is possible to suppress the occurrence of runout at the tip of the rod 11.

また、スライド部３１が、Ｙ軸方向に長く形成されているため、ロッド１１は、より円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 Further, since the slide portion 31 is formed long in the Y-axis direction, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

また、スライド部３１のＹ軸方向の長さを長くするだけでなく、スライド部３１とレール部６０との間に配置されたボール５０の径を大きくすることによっても、モータユニット２０の出力軸の回転に起因したトルクが、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくくなる。結果的に、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。また、ロッド１１は、より円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 Further, not only by increasing the length of the slide portion 31 in the Y-axis direction, but also by increasing the diameter of the ball 50 arranged between the slide portion 31 and the rail portion 60, the output shaft of the motor unit 20 can be increased. The torque caused by the rotation of the rod 11 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30. As a result, it is possible to suppress the occurrence of runout at the tip of the rod 11. Further, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

《変形例４》
本変形例４に係るアクチュエータ１０は、図３１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ガイドロッドユニット１４０を有している。ガイドロッドユニット１４０は、ガイドロッド１４１と、ブッシュハウジング１４２と、ボールブッシュ１４３と、連結部材１４４とを有する。 << Modification 4 >>
As shown in FIGS. 31A and 31B, the actuator 10 according to the fourth modification has a guide rod unit 140. The guide rod unit 140 includes a guide rod 141, a bush housing 142, a ball bush 143, and a connecting member 144.

ガイドロッド１４１は、作業軸であるロッド１１とともにＹ軸方向に移動することにより、ロッド１１を案内する。ガイドロッド１４１は、ボールブッシュ１４３にＹ軸方向に移動可能に支持されている。また、ガイドロッド１４１の−Ｙ側の端部は、連結部材１４４によって、ロッド１１の先端金具１２に連結されている。ガイドロッド１４１の−Ｙ側の端部は、ボルト等によって、連結部材１４４に固定される。ロッド１１の先端金具１２は、ナット等によって、連結部材１４４に固定される。 The guide rod 141 guides the rod 11 by moving in the Y-axis direction together with the rod 11 which is a working axis. The guide rod 141 is movably supported by the ball bush 143 in the Y-axis direction. Further, the end portion of the guide rod 141 on the −Y side is connected to the tip metal fitting 12 of the rod 11 by the connecting member 144. The −Y side end of the guide rod 141 is fixed to the connecting member 144 by bolts or the like. The tip metal fitting 12 of the rod 11 is fixed to the connecting member 144 by a nut or the like.

ブッシュハウジング１４２は、フロントハウジング８０に固定されている。ブッシュハウジング１４２には、貫通孔１４２ａが形成されており、この貫通孔１４２ａには、ボールブッシュ１４３が嵌め込まれている。ボールブッシュ１４３は、例えば、Ｃ形状に形成されたリング等によって、ブッシュハウジング１４２から抜け止めされている。 The bush housing 142 is fixed to the front housing 80. A through hole 142a is formed in the bush housing 142, and a ball bush 143 is fitted in the through hole 142a. The ball bush 143 is prevented from coming off from the bush housing 142 by, for example, a ring formed in a C shape or the like.

ボールブッシュ１４３は、内部に配置されたボール１４５の転動により、ガイドロッド１４１を円滑に移動させる部材である。ボールブッシュ１４３は、貫通孔が形成された略円筒形状に形成されている。この貫通孔の内周面には、Ｙ軸方向に沿って、複数のスリット１４３ａが形成されている。スリット１４３ａには、ボール１４５が配置される。スリット１４３ａに配置されたボール１４５は、スリット１４３ａの内周面と、ガイドロッド１４１の外周面との間に挟まれることで、ガイドロッド１４１の移動に伴って転動する。また、ボールブッシュ１４３の内部には、ボール循環路１４３ｂが形成されている。スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間を転動したボール１４５は、このボール循環路１４３ｂを通過することで、再び、スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間に移動する。 The ball bush 143 is a member that smoothly moves the guide rod 141 by rolling the balls 145 arranged inside. The ball bush 143 is formed in a substantially cylindrical shape in which a through hole is formed. A plurality of slits 143a are formed on the inner peripheral surface of the through hole along the Y-axis direction. A ball 145 is arranged in the slit 143a. The ball 145 arranged in the slit 143a is sandwiched between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141, and rolls with the movement of the guide rod 141. Further, a ball circulation path 143b is formed inside the ball bush 143. The ball 145 that has rolled between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 passes through the ball circulation path 143b, and again, the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141. Move between and.

本変形例４に係るアクチュエータ１０において、作業軸であるロッド１１が−Ｙ方向に移動すると、連結部材１４４によって、ロッド１１にガイドロッド１４１が連結されているため、図３２に示すように、ガイドロッド１４１も、−Ｙ方向に移動する。このとき、ガイドロッド１４１が−Ｙ方向に移動することにより、スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間を、ボール１４５が転動する。スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間を転動したボール１４５は、ボール循環路１４３ｂに移動する。そして、ボール循環路１４３ｂを通過して、再び、スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間に移動し、転動する。 In the actuator 10 according to the present modification 4, when the rod 11 which is the working axis moves in the −Y direction, the guide rod 141 is connected to the rod 11 by the connecting member 144. Therefore, as shown in FIG. 32, the guide rod is connected. The rod 141 also moves in the −Y direction. At this time, as the guide rod 141 moves in the −Y direction, the ball 145 rolls between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141. The ball 145 that has rolled between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 moves to the ball circulation path 143b. Then, it passes through the ball circulation path 143b, moves again between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141, and rolls.

本変形例４に係るアクチュエータ１０によれば、ガイドロッドユニット１４０を有しているため、ロッド１１の先端部（−Ｙ側の端部）の剛性を高くすることができる。このため、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。また。ロッド１１は、円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 According to the actuator 10 according to the fourth modification, since the guide rod unit 140 is provided, the rigidity of the tip end portion (-Y side end portion) of the rod 11 can be increased. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of runout at the tip of the rod 11. Also. The rod 11 can reciprocate smoothly and stably in the Y-axis direction.

本変形例４に係るアクチュエータ１０においては、ブッシュハウジング１４２に、ボールブッシュ１４３が嵌め込まれている。しかしながら、これに限らず、オイルレスベアリング等のすべり軸受が嵌めこまれていてもよい。 In the actuator 10 according to the fourth modification, the ball bush 143 is fitted in the bush housing 142. However, the present invention is not limited to this, and a slide bearing such as an oilless bearing may be fitted.

《変形例５》
本変形例５に係るアクチュエータ１０は、図３３に示すように、一対のガイドロッドユニット１４０を有している。これにより、本変形例４に係るアクチュエータ１０よりも、ロッド１１の先端部（−Ｙ側の端部）の剛性を、さらに高くすることができる。結果として、ロッド１１の先端部の振れの発生を、さらに抑制することができる。また、ロッド１１は、さらに円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 << Modification 5 >>
As shown in FIG. 33, the actuator 10 according to the present modification 5 has a pair of guide rod units 140. As a result, the rigidity of the tip end portion (-Y side end portion) of the rod 11 can be further increased as compared with the actuator 10 according to the present modification 4. As a result, the occurrence of runout at the tip of the rod 11 can be further suppressed. Further, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

本変形例５に係るアクチュエータ１０は、一対のガイドロッドユニット１４０を有しているが、これに限らず、３つ以上のガイドロッドユニット１４０を有していてもよい。この場合、ロッド１１の先端部（−Ｙ側の端部）の剛性を、さらに高くすることができる。 The actuator 10 according to the present modification 5 has a pair of guide rod units 140, but is not limited to this, and may have three or more guide rod units 140. In this case, the rigidity of the tip end portion (-Y side end portion) of the rod 11 can be further increased.

《変形例６》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、フロントハウジング８０にオイルレスベアリング８２が配置されることにより、ロッド１１は、Ｙ軸方向に移動可能に支持されているが、支持構造自体は任意である。以下、ロッド１１の支持構造として、ボールブッシュ１５０を使用する変形例６について、図３４を用いて説明する。 << Modification 6 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the rod 11 is movably supported in the Y-axis direction by arranging the oilless bearing 82 in the front housing 80, but the support structure itself is arbitrary. Is. Hereinafter, a modification 6 in which the ball bush 150 is used as the support structure of the rod 11 will be described with reference to FIG. 34.

ボールブッシュ１５０は、内部に配置されたボール１５１の転動により、ロッド１１を円滑に移動させる。ボールブッシュ１５０は、上述の変形例４に係るガイドロッドユニット１４０のボールブッシュ１４３と同等の構造を有している。ボール１５１が、ボールブッシュ１５０の貫通孔の内周面に形成されたスリット１５０ａの内周面と、ロッド１１の外周面との間に挟まれつつ、転動することにより、ロッド１１は、Ｙ軸方向に移動する。 The ball bush 150 smoothly moves the rod 11 by rolling the balls 151 arranged inside. The ball bush 150 has a structure equivalent to that of the ball bush 143 of the guide rod unit 140 according to the above-described modification 4. The rod 11 rolls while being sandwiched between the inner peripheral surface of the slit 150a formed on the inner peripheral surface of the through hole of the ball bush 150 and the outer peripheral surface of the rod 11, so that the rod 11 is Y. Move in the axial direction.

本変形例６によれば、フロントハウジング８０にボールブッシュ１５０が配置されることにより、ロッド１１は、円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 According to the sixth modification, by arranging the ball bush 150 in the front housing 80, the rod 11 can reciprocate smoothly and stably in the Y-axis direction.

《変形例７》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、図１４を参照するとわかるように、ロッド１１は、スライド部３１に螺合により固定されているが、固定方法は任意である。以下、ロッド１１の別の固定方法の例について、図３５及び図３６を用いて説明する。 << Modification 7 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, as can be seen with reference to FIG. 14, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 by screwing, but the fixing method is arbitrary. Hereinafter, an example of another fixing method of the rod 11 will be described with reference to FIGS. 35 and 36.

図３５（Ａ）に示すガイド装置３０では、スライド部本体３２の上方に割り溝１６１と、割り溝１６１を貫通するようにねじ孔１６２とが形成されている。そして、ロッド１１を、スライド部３１に固定する場合は、先ず、ロッド１１を、スライド部本体３２に形成された貫通孔３２ａに挿入する。そして、ボルト１６０を、ねじ孔１６２に捻じ込む。ボルト１６０を捻じ込んでいくことにより、割り溝１６１の溝幅が小さくなっていき、これに伴い、スライド部本体３２に形成された貫通孔３２ａの径も小さくなる。この結果、ロッド１１が、スライド部３１に固定される。このような固定方法でも、ロッド１１を強固に固定することができる。 In the guide device 30 shown in FIG. 35 (A), a split groove 161 and a screw hole 162 are formed above the slide portion main body 32 so as to penetrate the split groove 161. Then, when the rod 11 is fixed to the slide portion 31, the rod 11 is first inserted into the through hole 32a formed in the slide portion main body 32. Then, the bolt 160 is screwed into the screw hole 162. By screwing in the bolt 160, the groove width of the split groove 161 becomes smaller, and the diameter of the through hole 32a formed in the slide portion main body 32 also becomes smaller accordingly. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31. Even with such a fixing method, the rod 11 can be firmly fixed.

図３５（Ｂ）に示すガイド装置３０では、スライド部本体３２の上面（＋Ｚ側の面）には、貫通孔３２ａに通じるねじ孔１６３が形成されている。ロッド１１を、スライド部３１に固定する場合は、先ず、ロッド１１を、スライド部３１のスライド部本体３２に形成された貫通孔３２ａに挿入し、押しねじ１６４を、ねじ孔１６３に捻じ込む。押しねじ１６４を捻じ込んでいくことにより、押しねじ１６４の先端部が、ロッド１１の外周面に当接し、この結果、ロッド１１が、スライド部３１に固定される。押しねじ１６４には、例えば、いもねじが用いられる。 In the guide device 30 shown in FIG. 35 (B), a screw hole 163 leading to the through hole 32a is formed on the upper surface (+ Z side surface) of the slide portion main body 32. When fixing the rod 11 to the slide portion 31, first, the rod 11 is inserted into the through hole 32a formed in the slide portion main body 32 of the slide portion 31, and the push screw 164 is screwed into the screw hole 163. By screwing in the set screw 164, the tip end portion of the set screw 164 comes into contact with the outer peripheral surface of the rod 11, and as a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31. For the set screw 164, for example, a potato screw is used.

図３６（Ａ）に示すガイド装置３０では、スライド部本体３２が、２つの部材から構成されている。詳しくは、スライド部本体３２は、下側部材１６５と、下側部材１６５の＋Ｚ側に取り付けられた上側部材１６６とを有する。下側部材１６５には、ボルト１６０を螺合するねじ孔１６５ａが、形成されている。また、上側部材１６６には、ボルト１６０を挿通する挿通孔１６６ａが、ねじ孔１６５ａと同軸上に形成されている。そして、ロッド１１を固定する場合は、ボルト１６０を、ねじ孔１６５ａに捻じ込み、下側部材１６５と上側部材１６６との間でロッド１１を挟み込む。これにより、ロッド１１が、スライド部３１に固定される。 In the guide device 30 shown in FIG. 36 (A), the slide portion main body 32 is composed of two members. Specifically, the slide portion main body 32 has a lower member 165 and an upper member 166 attached to the + Z side of the lower member 165. The lower member 165 is formed with a screw hole 165a for screwing the bolt 160. Further, in the upper member 166, an insertion hole 166a through which the bolt 160 is inserted is formed coaxially with the screw hole 165a. Then, when fixing the rod 11, the bolt 160 is screwed into the screw hole 165a, and the rod 11 is sandwiched between the lower member 165 and the upper member 166. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31.

ロッド１１の固定方法は、図３５（Ａ）、図３５（Ｂ）、及び図３６（Ａ）に示すものに限られない。例えば、ロッド１１は、溶接によって、スライド部３１に固定されていてもよい。また、ロッド１１は、摩擦接合、かしめ、圧入、焼きばめ、冷やしばめ、クランプ等によって、スライド部３１に固定されていてもよい。さらに、図３６（Ｂ）に示すように、ロッド１１とスライド部本体３２とは、一体に形成されていてもよい。 The method of fixing the rod 11 is not limited to that shown in FIGS. 35 (A), 35 (B), and 36 (A). For example, the rod 11 may be fixed to the slide portion 31 by welding. Further, the rod 11 may be fixed to the slide portion 31 by friction stir welding, caulking, press fitting, shrink fitting, cold fitting, a clamp, or the like. Further, as shown in FIG. 36B, the rod 11 and the slide portion main body 32 may be integrally formed.

《変形例８》
また、図２４に示すように、上述した実施形態に係るアクチュエータ１０は、カバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側、アクチュエータ１０の表側）から、ボルト１２１で、作業台１２０に固定されている。しかしながら、アクチュエータ１０の固定方法は、任意である。例えば、作業台１２０の下側（アクチュエータ１０の裏側）から、ボルトを、作業台１２０の孔と、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａとにそれぞれ挿入した上で、ナットに螺合することによって、アクチュエータ１０は、作業台１２０に固定されていてもよい。また、貫通孔６１ａの内周面を、ねじ面から構成し、作業台１２０の下側から、ボルトを、作業台１２０の孔に挿入した上で、ベース６１に形成された貫通孔６１ａに螺合することによって、アクチュエータ１０は、作業台１２０に固定されていてもよい。 << Modification 8 >>
Further, as shown in FIG. 24, the actuator 10 according to the above-described embodiment is fixed to the workbench 120 with bolts 121 from the upper side (+ Z side, front side of the actuator 10) of the actuator 10 by removing the cover 18. Has been done. However, the method of fixing the actuator 10 is arbitrary. For example, from the lower side of the workbench 120 (the back side of the actuator 10), bolts are inserted into the holes of the workbench 120 and the through holes 61a formed in the base 61 of the rail portion 60, and then screwed into the nut. By fitting, the actuator 10 may be fixed to the workbench 120. Further, the inner peripheral surface of the through hole 61a is composed of a screw surface, and a bolt is inserted into the hole of the workbench 120 from the lower side of the workbench 120 and then screwed into the through hole 61a formed in the base 61. By fitting, the actuator 10 may be fixed to the workbench 120.

また、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａは、図３７に示すように、内周面が円滑な面で構成された挿通孔１７０と、内周面がねじ面で構成されたねじ孔１７１との２種類の孔を含んで構成されていてもよい。例えば、貫通孔６１ａが、合計で１０個形成されている場合は、挿通孔１７０を６個形成し、ねじ孔１７１を４個形成してもよい。 Further, as shown in FIG. 37, the through hole 61a formed in the base 61 of the rail portion 60 is composed of an insertion hole 170 having a smooth inner peripheral surface and a threaded inner peripheral surface. It may be configured to include two types of holes with a screw hole 171. For example, when a total of 10 through holes 61a are formed, 6 insertion holes 170 may be formed and 4 screw holes 171 may be formed.

例えば、貫通孔６１ａが、ねじ孔の１種類のみで構成されている場合は、作業台１２０の下側から、ボルトを、作業台１２０の孔に挿入した上で、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定することになる。この場合、貫通孔６１ａが、ねじ孔であるため、作業台１２０の上側から、ボルトを貫通孔６１ａに挿入して、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定することが困難である。 For example, when the through hole 61a is composed of only one type of screw hole, a bolt is inserted into the hole of the workbench 120 from the lower side of the workbench 120, and then the actuator 10 is inserted into the workbench 120. It will be fixed. In this case, since the through hole 61a is a screw hole, it is difficult to insert a bolt into the through hole 61a from above the workbench 120 to fix the actuator 10 to the workbench 120.

しかしながら、貫通孔６１ａが、挿通孔１７０と、ねじ孔１７１との２種類の孔を含んで構成されている場合は、アクチュエータ１０を取り付ける作業者は、アクチュエータ１０の設置環境に合わせて、図３７（Ａ）に示すように、アクチュエータ１０の上側（表側）から取り付けたり、図３７（Ｂ）に示すように、作業台１２０の裏側（下側）から取り付けたりすることができる。 However, when the through hole 61a is configured to include two types of holes, the insertion hole 170 and the screw hole 171, the operator who attaches the actuator 10 can adjust to the installation environment of the actuator 10 in FIG. 37. As shown in (A), it can be attached from the upper side (front side) of the actuator 10, or as shown in FIG. 37 (B), it can be attached from the back side (lower side) of the workbench 120.

《変形例９》
変形例９に係るガイド装置３０では、スライド部３１のスライド部本体３２に、グリスを注入するための注入孔１８０が形成されている。注入孔１８０は、スライド部本体３２の内部に形成されたグリス通路を介して、貫通孔３２ａに通じている。この注入孔１８０からグリスが注入されることにより、グリスが、ボールねじナット７２とボールねじ軸７１との間に嵌め込まれた剛性の球体に供給される。 << Modification 9 >>
In the guide device 30 according to the modified example 9, an injection hole 180 for injecting grease is formed in the slide portion main body 32 of the slide portion 31. The injection hole 180 leads to the through hole 32a via a grease passage formed inside the slide portion main body 32. By injecting grease from the injection hole 180, the grease is supplied to the rigid sphere fitted between the ball screw nut 72 and the ball screw shaft 71.

変形例９に係るガイド装置３０を有するアクチュエータ１０においては、ボールねじ７０の剛性の球体のグリスを、スライド部本体３２に形成された注入孔１８０から注入することができる。例えば、カバーを有さないアクチュエータの場合は、ボールねじ７０の球体のグリスを注入するためには、筐体等を分解する必要があり、グリスの注入作業が煩雑なものとなってしまう。しかしながら、変形例９においては、カバー１８を取り外すことにより、注入孔１８０から、ボールねじ７０の球体に、グリスを注入することができる。これにより、グリスの注入作業の作業性を良好とすることができる。また、スライド部３１のリターン４０には、ガイド装置３０のボール５０へグリスを注入するための注入孔４８も形成されているため、カバー１８を取り外すことにより、ボールねじ７０の球体と、ガイド装置３０のボール５０とのいずれにも、グリスを注入することができる。これにより、グリスの注入作業の作業性を、さらに良好とすることができる。 In the actuator 10 having the guide device 30 according to the modified example 9, the rigid spherical grease of the ball screw 70 can be injected from the injection hole 180 formed in the slide portion main body 32. For example, in the case of an actuator having no cover, in order to inject the sphere grease of the ball screw 70, it is necessary to disassemble the housing and the like, which complicates the grease injection work. However, in the modified example 9, by removing the cover 18, grease can be injected into the sphere of the ball screw 70 from the injection hole 180. As a result, the workability of the grease injection work can be improved. Further, since the return 40 of the slide portion 31 is also formed with an injection hole 48 for injecting grease into the ball 50 of the guide device 30, the sphere of the ball screw 70 and the guide device can be obtained by removing the cover 18. Grease can be injected into any of the 30 balls 50. Thereby, the workability of the grease injection work can be further improved.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。 The present invention allows for various embodiments and modifications without departing from the broad spirit and scope of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

（付記１）
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続され、先端に工具が取り付けられる作業軸と、
前記作業軸に固定され、前記作業軸の運動方向に沿って第１溝部が形成されたスライド部と、
前記第１溝部に対向し、前記作業軸の運動方向に沿って第２溝部が形成され、剛性の素材からなるレール部と、
剛性の素材からなり、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。 (Appendix 1)
A motor with a rotating shaft and
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotary motion of the rotary shaft and a ball screw nut that linearly moves with the rotary motion of the ball screw shaft.
A work shaft connected to the ball screw nut so as to move linearly with the ball screw nut and to which a tool is attached to the tip.
A slide portion fixed to the work shaft and having a first groove portion formed along the movement direction of the work shaft, and a slide portion.
A rail portion made of a rigid material, which faces the first groove portion and has a second groove portion formed along the moving direction of the working shaft,
A rolling element made of a rigid material, which rolls the first groove portion and the second groove portion by being sandwiched between the first groove portion and the second groove portion, and movably supports the slide portion.
An actuator characterized by having.

（付記２）
前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有し、
前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動した前記転動体は、前記転動体循環路を通過して、前記第１溝部と前記第２溝部との間に移動し、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動することを特徴とする付記１に記載のアクチュエータ。 (Appendix 2)
The slide portion has a rolling element storage unit in which a rolling element circulation path through which the rolling element passes is formed.
The rolling element that has rolled between the first groove portion and the second groove portion passes through the rolling element circulation path, moves between the first groove portion and the second groove portion, and again, the said The actuator according to Appendix 1, wherein the actuator rolls between the first groove portion and the second groove portion.

（付記３）
前記転動体は、球形状に形成され、
前記第１溝部及び前記第２溝部の内面は、湾曲面として構成されており、
前記湾曲面の曲率半径は、前記転動体の半径と同等であることを特徴とする付記２に記載のアクチュエータ。 (Appendix 3)
The rolling element is formed in a spherical shape.
The inner surface of the first groove portion and the second groove portion is configured as a curved surface.
The actuator according to Appendix 2, wherein the radius of curvature of the curved surface is equal to the radius of the rolling element.

（付記４）
前記スライド部の前記第１溝部、前記レール部の前記第２溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ２つずつ形成され、
前記転動体は、前記第１溝部と前記第２溝部とに、前記作業軸の運動方向と直交する方向に挟まれることを特徴とする付記３に記載のアクチュエータ。 (Appendix 4)
Two each of the first groove portion of the slide portion, the second groove portion of the rail portion, and the rolling element circulation path are formed.
The actuator according to Appendix 3, wherein the rolling element is sandwiched between the first groove portion and the second groove portion in a direction orthogonal to the movement direction of the work axis.

（付記５）
前記作業軸は、前記ボールねじ軸の先端部が挿入されるための孔が形成された円筒形状に形成され、
前記ボールねじ軸の前記先端部には、前記作業軸の前記孔の内周面と接触する弾性部材が配置されていることを特徴とする付記１乃至４のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 5)
The working shaft is formed in a cylindrical shape in which a hole for inserting the tip of the ball screw shaft is formed.
The actuator according to any one of Supplementary note 1 to 4, wherein an elastic member in contact with the inner peripheral surface of the hole of the work shaft is arranged at the tip of the ball screw shaft.

（付記６）
前記弾性部材には、前記作業軸の運動方向に沿って、溝が形成されていることを特徴とする付記５に記載のアクチュエータ。 (Appendix 6)
The actuator according to Appendix 5, wherein a groove is formed in the elastic member along the moving direction of the working shaft.

（付記７）
前記弾性部材に形成された前記溝は、前記ボールねじ軸の中心とする円周に沿って等間隔に複数形成されていることを特徴とする付記６に記載のアクチュエータ。 (Appendix 7)
The actuator according to Appendix 6, wherein a plurality of grooves formed in the elastic member are formed at equal intervals along the circumference of the center of the ball screw shaft.

（付記８）
前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記１乃至７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 8)
A male screw portion is formed on the working shaft.
A female screw portion is formed on the slide portion.
The actuator according to any one of Supplementary note 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by screwing the male screw portion and the female screw portion.

（付記９）
前記スライド部には、割り溝が形成されており、
前記割り溝の溝幅を小さくすることにより、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記１乃至７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 9)
A split groove is formed in the slide portion.
The actuator according to any one of Supplementary note 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by reducing the groove width of the split groove.

（付記１０）
前記スライド部には、押しねじを挿入するためのねじ孔が形成されており、
前記ねじ孔に挿入された前記押しねじの当接により、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記１乃至７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 10)
A screw hole for inserting a set screw is formed in the slide portion.
The actuator according to any one of Supplementary note 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by abutting the set screw inserted into the screw hole.

（付記１１）
前記作業軸の前記先端近傍に配置され、前記作業軸を直線運動可能に支持する作業軸支持手段を有し、
前記作業軸支持手段は、前記作業軸支持手段と前記作業軸との間を転動する転動体を有することを特徴とする付記１０に記載のアクチュエータ。 (Appendix 11)
It has a work shaft support means that is arranged near the tip of the work shaft and supports the work shaft in a linear motion.
The actuator according to Appendix 10, wherein the working shaft supporting means has a rolling element that rolls between the working shaft supporting means and the working shaft.

（付記１２）
前記作業軸の直線運動に伴って直線運動することにより、前記作業軸の直線運動を案内する案内軸と、前記案内軸を直線運動可能に支持する案内軸支持手段とを有する案内軸ユニットを有することを特徴とする付記１乃至１１のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 12)
It has a guide shaft unit having a guide shaft for guiding the linear motion of the work shaft by linearly moving along with the linear motion of the work shaft, and a guide shaft supporting means for supporting the guide shaft in a linear motion. The actuator according to any one of Supplementary Provisions 1 to 11, characterized in that.

（付記１３）
前記案内軸ユニットは、前記作業軸を挟み込むように、前記作業軸の両側に形成されていることを特徴とする付記１２に記載のアクチュエータ。 (Appendix 13)
The actuator according to Appendix 12, wherein the guide shaft unit is formed on both sides of the work shaft so as to sandwich the work shaft.

（付記１４）
前記案内軸支持手段は、前記案内軸支持手段と前記案内軸との間を転動する転動体を有することを特徴とする付記１３に記載のアクチュエータ。 (Appendix 14)
The actuator according to Appendix 13, wherein the guide shaft supporting means has a rolling element that rolls between the guide shaft supporting means and the guide shaft.

（付記１５）
前記作業軸には、２つのスライド部が固定されていることを特徴とする付記１乃至１４のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 15)
The actuator according to any one of Supplementary note 1 to 14, wherein two slide portions are fixed to the work shaft.

（付記１６）
前記アクチュエータは、
前記レール部に脱着可能に取り付けられ、前記スライド部を覆うカバーをさらに有していてもよい。 (Appendix 16)
The actuator
It may further have a cover that is detachably attached to the rail portion and covers the slide portion.

１０ アクチュエータ
１１ ロッド（作業軸）
１１ａ 孔
１１ｂ 雄ねじ部
１２ 先端金具
１８ カバー
１８ａ 貫通孔
１９ ボルト
２０ モータユニット
２１ モータ
２２ モータハウジング
２２ａ 開口
２２ｂ ねじ孔
２３ 出力軸（回転軸）
２４ アクチュエータケーブル
２５ ボルト
３０ ガイド装置
３１ スライド部
３２ スライド部本体
３２ａ 貫通孔（ナット収納孔）
３２ｂ 雌ねじ部
３２ｃ ねじ孔
３２ｄ ボス孔
３２ｅ 孔
３３、３４ 凸部
３３ａ、３４ａ 溝部（第１溝部）
３６ リング
４０ リターン
４１ 筐体
４１ａ 貫通孔
４２ 蓋体
４２ａ ボス孔
４２ｂ 貫通孔
４３、４４ ボール循環路
４３ａ、４４ａ ストレート通路部
４３ｂ、４４ｂ カーブ通路部
４５、４６ 凹部
４７ ボス部
４８ 注入孔
４９ ボルト
５０ ボール（転動体）
６０ レール部
６１ ベース
６１ａ 貫通孔
６２、６３ 側壁
６２ａ、６３ａ 凹部
６４、６５ 鋼製部材
６４ａ、６５ａ 溝部（第２溝部）
７０ ボールねじ
７１ ボールねじ軸
７１ａ ボールねじ軸本体
７１ｂ、７１ｃ 小径部
７２ ボールねじナット
７４ ボルト
８０ フロントハウジング
８０ａ 貫通孔
８１ ボルト
８２ オイルレスベアリング
８３ 突出部
９０ ベアリングハウジング
９０ａ 貫通孔
９１ ボルト
９２ ベアリング
９２ａ ベアリング押さえ
９３、９５ 突出部
９４ 衝撃吸収部材
１１０ 弾性部材
１１０ａ 貫通孔
１１１ 溝
１１２ 抜け止め部材
１２０ 作業台
１２０ａ ねじ孔
１２１ ボルト
１３０ 凸部
１３１ ローラ
１３２、１３３ 突起
１４０ ガイドロッドユニット（案内軸ユニット）
１４１ ガイドロッド（案内軸）
１４２ ブッシュハウジング
１４３ ボールブッシュ（案内軸支持手段）
１４３ａ スリット
１４３ｂ ボール循環路
１４４ 連結部材
１４５ ボール（転動体）
１５０ ボールブッシュ（作業軸支持手段）
１５０ａ スリット
１５１ ボール
１６０ ボルト
１６１ 割り溝
１６２ ねじ孔
１６３ ねじ孔
１６４ 押しねじ
１６５ 下側部材
１６５ａ ねじ孔
１６６ 上側部材
１６６ａ 挿通孔
１７０ 挿通孔
１７１ ねじ孔
１８０ 注入孔
Ｔ１、Ｔ２ 軌道
Ｒ１、Ｒ３ 曲率半径
Ｒ２ 半径
Ｓ 空間 10 Actuator 11 Rod (working shaft)
11a Hole 11b Male screw part 12 Tip bracket 18 Cover 18a Through hole 19 Bolt 20 Motor unit 21 Motor 22 Motor housing 22a Opening 22b Thread hole 23 Output shaft (rotary shaft)
24 Actuator cable 25 Bolt 30 Guide device 31 Slide part 32 Slide part body 32a Through hole (nut storage hole)
32b Female threaded part 32c Threaded hole 32d Boss hole 32e Hole 33, 34 Convex part 33a, 34a Groove part (first groove part)
36 Ring 40 Return 41 Housing 41a Through hole 42 Lid 42a Boss hole 42b Through hole 43, 44 Ball circulation passage 43a, 44a Straight passage 43b, 44b Curved passage 45, 46 Recess 47 Boss 48 Injection hole 49 Bolt 50 Ball (rolling body)
60 Rail part 61 Base 61a Through hole 62, 63 Side wall 62a, 63a Recess 64, 65 Steel member 64a, 65a Groove part (second groove part)
70 Ball screw 71 Ball screw shaft 71a Ball screw shaft body 71b, 71c Small diameter 72 Ball screw nut 74 Bolt 80 Front housing 80a Through hole 81 Bolt 82 Oilless bearing 83 Protruding part 90 Bearing housing 90a Through hole 91 Bolt 92 Bearing 92a Bearing Presser 93, 95 Protruding part 94 Shock absorbing member 110 Elastic member 110a Through hole 111 Groove 112 Retaining member 120 Worktable 120a Screw hole 121 Bolt 130 Convex part 131 Roller 132, 133 Protrusion 140 Guide rod unit (guide shaft unit)
141 Guide rod (guide shaft)
142 Bush housing 143 Ball bush (guide shaft support means)
143a Slit 143b Ball circulation path 144 Connecting member 145 Ball (rolling element)
150 ball bush (working shaft support means)
150a Slit 151 Ball 160 Bolt 161 Split groove 162 Screw hole 163 Screw hole 164 Push screw 165 Lower member 165a Screw hole 166 Upper member 166a Insert hole 170 Insert hole 171 Screw hole 180 Injection hole T1, T2 Orbital radius R1 Radius S space

Claims (11)

モータの回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に基づいて直線運動し、直線運動方向に貫通すると共に内部に前記ボールねじナットが固定されているナット収納孔が形成されている単一の素材からなり、金属からなる部材であるスライド部本体を有するスライド部と、前記スライド部本体が摺動するレール部と、を備えるガイド装置と、
前記スライド部本体に設けられた前記ナット収納孔に固定される作業軸と、
を有する、アクチュエータ。 A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotational movement of the rotary shaft of the motor and a ball screw nut that moves linearly with the rotational movement of the ball screw shaft.
The linear motion based on the rotation movement of the ball screw shaft consists of a single material nut accommodating hole in which the ball screw nut inside is fixed is made form together through a linear motion direction, a metal a slide portion having a made member sliding body, and the rail portion to which the sliding body slides, a guide device comprising a,
A work shaft fixed to the nut storage hole provided in the slide portion main body,
Has an actuator. 前記スライド部本体には、突起が形成され、 A protrusion is formed on the main body of the slide portion.
前記レール部には、前記突起が嵌め込まれ、前記突起が摺動する被摺動部分が形成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 1, wherein the protrusion is fitted in the rail portion, and a sliding portion on which the protrusion slides is formed. 前記突起は、前記直線運動方向に沿った線状に形成され、 The protrusion is formed in a linear shape along the linear motion direction.
前記レール部には、前記直線運動方向に平行な摺動部分用溝部が、前記被摺動部分として形成されている、請求項２に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 2, wherein a groove portion for a sliding portion parallel to the linear motion direction is formed in the rail portion as the sliding portion. 前記スライド部には、前記直線運動方向に平行な第１溝部が形成され、 A first groove portion parallel to the linear motion direction is formed in the slide portion.
前記レール部には、前記第１溝部に対向し、前記直線運動方向に沿って第２溝部が形成され、 In the rail portion, a second groove portion is formed so as to face the first groove portion and along the linear motion direction.
前記ガイド装置は、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体を備える、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 The guide device is provided with a rolling element that rolls the first groove portion and the second groove portion by being sandwiched between the first groove portion and the second groove portion to movably support the slide portion. The actuator according to any one of 1 to 3. 前記スライド部本体は、前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続されている、請求項１から４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the slide portion main body is connected to the ball screw nut so as to move linearly with the ball screw nut. 前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部本体の前記ナット収納孔には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部本体に固定されている、請求項１から５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 A male screw portion is formed on the working shaft.
A female screw portion is formed in the nut storage hole of the slide portion main body.
The actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the working shaft is fixed to the sliding portion main body by screwing the male screw portion and the female screw portion. 前記ボールねじ軸の端部には、前記モータが取り付けられた場合に前記回転軸の先端に接続されて、前記回転軸の回転運動を伝達するための第１カップリングが設けられている、請求項１から６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 A first coupling is provided at the end of the ball screw shaft, which is connected to the tip of the rotating shaft when the motor is attached and for transmitting the rotational movement of the rotating shaft. Item 2. The actuator according to any one of Items 1 to 6. 前記回転軸を備える前記モータを有する、請求項１から７のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 7, further comprising the motor including the rotating shaft. 前記モータを脱着可能に取り付けるためのねじ部材を有する、請求項１から８のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 The actuator according to any one of claims 1 to 8, further comprising a screw member for detachably attaching the motor. 前記回転軸の先端には、前記モータが取り付けられた場合に前記ボールねじの端部に接続されて、前記回転軸の回転運動を前記ボールねじに伝達するための第２カップリングが設けられている、請求項１から９のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 A second coupling is provided at the tip of the rotating shaft, which is connected to the end of the ball screw when the motor is attached and for transmitting the rotational movement of the rotating shaft to the ball screw. The actuator according to any one of claims 1 to 9. 請求項１から１０のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法であって、
前記スライド部本体を形成するための前記単一の素材を準備する第１工程と、
前記第１工程によって準備された前記単一の素材から、前記ナット収納孔が形成されている前記スライド部本体を形成する第２工程と、
前記第２工程によって形成された前記スライド部本体の前記ナット収納孔の内部に、前記ボールねじナットを固定する第３工程と、
を含む、アクチュエータの製造方法。 The method for manufacturing an actuator according to any one of claims 1 to 10.
The first step of preparing the single material for forming the slide portion main body, and
From the single material that has been prepared by the first step, a second step of forming the slide body said nut accommodating hole is made form,
A third step of fixing the ball screw nut inside the nut storage hole of the slide portion main body formed by the second step,
Actuator manufacturing methods, including.
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