JP6626162B2 - Motorless actuator, actuator, and method of manufacturing motorless actuator - Google Patents

Motorless actuator, actuator, and method of manufacturing motorless actuator Download PDF

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Description

本発明は、モータレスアクチュエータ、及びアクチュエータ、及びモータレスアクチュエータの製造方法に関する。 The present invention relates to a motorless actuator , an actuator , and a method for manufacturing a motorless actuator .

ロッドタイプのリニアアクチュエータは、例えば、ボールねじを有しており、このボールねじが、モータの回転運動をロッドの直線運動に変換する。この変換により、ロッドが往復運動し、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、様々な作業を行う。このようなアクチュエータにおいては、モータの回転運動を直線運動に変換しているため、モータの回転運動に起因したトルクがロッドに伝わり、ロッドの先端に振れが生じやすい。この場合、アクチュエータの作業の精度が低下するおそれがある。   The rod-type linear actuator has, for example, a ball screw, which converts the rotational movement of the motor into the linear movement of the rod. This conversion causes the rod to reciprocate, and any tool attached to the tip of the rod performs various tasks. In such an actuator, since the rotational motion of the motor is converted into a linear motion, the torque caused by the rotational motion of the motor is transmitted to the rod, and the tip of the rod is likely to run out. In this case, the accuracy of the operation of the actuator may be reduced.

これに対して、下記特許文献１には、ロッドの振れを規制する回転規制部材を備えたアクチュエータが開示されている。   On the other hand, Patent Literature 1 below discloses an actuator including a rotation restricting member that restricts deflection of a rod.

特開２００２−１３０４１９号公報JP-A-2002-130419

上記特許文献１に記載のアクチュエータの回転規制部材は、樹脂からなる。そのため、モータの回転運動により、回転規制部材にトルクが加わり、回転規制部材が弾性変形をしてしまい、ロッドの先端部に振れが生じるおそれがある。   The rotation restricting member of the actuator described in Patent Document 1 is made of resin. For this reason, torque is applied to the rotation restricting member by the rotation of the motor, and the rotation restricting member is elastically deformed, which may cause deflection at the tip of the rod.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、ロッドの先端部の振れを抑制できるモータレスアクチュエータ、アクチュエータ、及びモータレスアクチュエータの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made under the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a motorless actuator , an actuator , and a method of manufacturing a motorless actuator , which can suppress the deflection of a rod tip.

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るモータレスアクチュエータは、
回転軸を備えたモータが脱着可能に取り付けられるモータレスアクチュエータであって、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に基づいて直線運動し、前記直線運動方向に貫通すると共に内部に前記ボールねじナットが固定されているナット収納孔と、前記直線運動方向に平行な第１溝部と、が共に形成されている単一の素材からなり、金属からなる部材であるスライド部本体を有するスライド部と、前記第１溝部に対向し、前記直線運動方向に沿って第２溝部が形成されたレール部と、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、で構成されるガイド装置と、
前記スライド部本体に設けられた前記ナット収納孔に固定される作業軸と、
を有する。 In order to achieve the above object, a motorless actuator according to a first aspect of the present invention includes:
A motorless actuator to which a motor having a rotating shaft is detachably attached,
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotation of the rotation shaft, and a ball screw nut that linearly moves with the rotation of the ball screw shaft ,
A nut receiving hole which linearly moves based on the rotational movement of the ball screw shaft, penetrates in the linear movement direction and has the ball screw nut fixed therein, and a first groove portion parallel to the linear movement direction, And a slide portion having a slide portion main body, which is a member made of metal, formed of a single material, and a second groove portion formed along the linear movement direction, facing the first groove portion. a rail portion, and rolling the first groove and the second groove portion by being sandwiched between the first groove and the second groove, and the rolling elements movably supporting the slide unit, in composed A guide device;
A work shaft fixed to the nut storage hole provided in the slide portion main body,
Having.

前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有していてもよい。   The slide unit may include a rolling element housing unit in which a rolling element circulation path through which the rolling elements pass is formed.

前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動した前記転動体は、前記転動体循環路を通過して、前記第１溝部と前記第２溝部との間に移動し、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動してもよい。   The rolling element that has rolled between the first groove section and the second groove section passes through the rolling element circulation path, moves between the first groove section and the second groove section, and again, Rolling may be performed between the first groove and the second groove.

前記スライド部本体には、前記第１溝部が形成されている一対の凸部が、前記直線運動方向に沿って形成され、
前記転動体収納ユニットは、一対の前記凸部の間に嵌め込まれていてもよい。 A pair of protrusions in which the first groove is formed are formed along the direction of the linear movement on the slide portion main body,
The rolling element housing unit may be fitted between the pair of convex portions.

前記スライド部本体は、前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続されていてもよい。 The slide portion main body may be connected to the ball screw nut so as to linearly move with the ball screw nut.

前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部本体の前記ナット収納孔には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部本体に固定されていてもよい。 An external thread portion is formed on the working shaft,
A female screw portion is formed in the nut storage hole of the slide portion main body,
The working shaft may be fixed to the slide portion main body by screwing the male screw portion and the female screw portion.

前記ボールねじ軸の端部には、前記モータが前記モータレスアクチュエータに取り付けられた場合に前記回転軸の先端に接続されて、前記回転軸の回転運動を伝達するための第１カップリングが設けられていてもよい。
本発明の第２の観点に係るモータレスアクチュエータは、
回転軸を備えたモータが脱着可能に取り付けられるモータレスアクチュエータであって、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に基づいて直線運動し、前記直線運動方向に貫通する貫通孔と、前記直線運動方向に平行な第１溝部と、が共に形成されている単一の素材からなり、金属からなる部材であるスライド部本体を有するスライド部と、前記第１溝部に対向し、前記直線運動方向に沿って第２溝部が形成されたレール部と、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、で構成されるガイド装置と、
前記スライド部本体に設けられた前記貫通孔に固定される作業軸と、
を有し、
前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有し、
前記スライド部本体には、前記第１溝部が形成されている一対の凸部が、前記直線運動方向に沿って形成され、
前記転動体収納ユニットは、一対の前記凸部の間に嵌め込まれている。 At the end of the ball screw shaft, a first coupling is provided which is connected to a tip of the rotating shaft when the motor is attached to the motorless actuator and transmits the rotating motion of the rotating shaft. It may be.
A motorless actuator according to a second aspect of the present invention includes:
A motorless actuator to which a motor having a rotating shaft is detachably attached,
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotation of the rotation shaft;
Linear movement based on the rotational movement of the ball screw shaft, a through-hole that penetrates in the linear movement direction, and a first groove parallel to the linear movement direction, a single material formed together, A sliding portion having a sliding portion main body which is a member made of metal; a rail portion facing the first groove portion and having a second groove portion formed along the direction of the linear movement; the first groove portion and the second groove portion A rolling device that rolls the first groove portion and the second groove portion by being sandwiched therebetween, and that movably supports the slide portion;
A work shaft fixed to the through hole provided in the slide portion main body,
Has,
The sliding portion has a rolling element housing unit in which a rolling element circulation path through which the rolling elements pass is formed,
A pair of protrusions in which the first groove is formed are formed along the direction of the linear movement on the slide portion main body,
The rolling element housing unit is fitted between the pair of convex portions.

本発明の第３の観点に係るアクチュエータは、
回転軸を備えるモータと、
前記モータが取り付けられている第１の観点又は第２の観点に係るモータレスアクチュエータと、
を有する。 An actuator according to a third aspect of the present invention includes:
A motor having a rotating shaft,
A motorless actuator according to the first aspect or the second aspect to which the motor is attached;
Having.

前記モータレスアクチュエータに前記モータを脱着可能に取り付けるためのねじ部材をさらに有していてもよい。   The motorless actuator may further include a screw member for detachably attaching the motor to the motorless actuator.

前記回転軸の先端には、前記モータが前記モータレスアクチュエータに取り付けられた場合に前記ボールねじの端部に接続されて、前記回転軸の回転運動を前記ボールねじに伝達するための第２カップリングが設けられていてもよい。
本発明の第４の観点に係るモータレスアクチュエータの製造方法は、
第１の観点に係るモータレスアクチュエータの製造方法であって、
前記スライド部本体を形成するための前記単一の素材を準備する第１工程と、
前記第１工程によって準備された前記単一の素材から、前記ナット収納孔及び前記第１溝部が共に形成されている前記スライド部本体を形成する第２工程と、
前記第２工程によって形成された前記スライド部本体の前記ナット収納孔の内部に、前記ボールねじナットを固定する第３工程と、
を含む。 A second cup connected to an end of the ball screw when the motor is attached to the motorless actuator at a tip of the rotating shaft, for transmitting a rotating motion of the rotating shaft to the ball screw. A ring may be provided.
A method for manufacturing a motorless actuator according to a fourth aspect of the present invention includes:
A method for manufacturing a motorless actuator according to a first aspect,
A first step of preparing the single material for forming the slide portion body;
A second step of forming, from the single material prepared in the first step, the slide portion main body in which the nut storage hole and the first groove portion are both formed;
A third step of fixing the ball screw nut inside the nut storage hole of the slide portion main body formed in the second step;
including.

本発明によれば、ガイド装置のスライド部のスライド部本体に貫通孔と第１溝部とが設けられ、作業軸（ロッド）は、ガイド装置のスライド部のスライド部本体に設けられた貫通孔に固定されている。このガイド装置により、モータの回転に起因したトルクが、スライド部を介して、作業軸に伝わりにくく、作業軸の先端部の振れの発生を抑制することができる。また、作業軸を、ガイド装置のスライド部に直接固定することが可能になり、作業軸を、ガイド装置のスライド部に固定するための別の部品を別途用意する必要はなくなる。   According to the present invention, the through hole and the first groove are provided in the slide portion main body of the slide portion of the guide device, and the working shaft (rod) is provided in the through hole provided in the slide portion main body of the slide portion of the guide device. Fixed. This guide device makes it difficult for the torque resulting from the rotation of the motor to be transmitted to the working shaft via the slide portion, and can suppress the occurrence of runout at the tip of the working shaft. In addition, the working shaft can be directly fixed to the slide portion of the guide device, and it is not necessary to separately prepare another part for fixing the work shaft to the slide portion of the guide device.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the actuator concerning the embodiment of the present invention. （Ａ）は、カバーを取り外したときのアクチュエータの斜視図であり、（Ｂ）は、カバーを取り外したときのアクチュエータのＹＺ断面図である。(A) is a perspective view of the actuator when the cover is removed, and (B) is a YZ sectional view of the actuator when the cover is removed. アクチュエータの分解断面図である。It is an exploded sectional view of an actuator. （Ａ）は、ガイド装置の斜視図であり、（Ｂ）は、ガイド装置のＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of a guide device, (B) is an XZ sectional view of the guide device. （Ａ）は、スライド部の斜視図であり、（Ｂ）は、スライド部の分解斜視図である。(A) is a perspective view of a slide part, (B) is an exploded perspective view of a slide part. （Ａ）は、スライド部本体の斜視図（その１）であり、（Ｂ）は、スライド部本体の斜視図（その２）であり、（Ｃ）は、スライド部本体のＸＺ断面図であり、（Ｄ）は、スライド部本体のＹＺ断面図である。(A) is a perspective view (No. 1) of the slide portion main body, (B) is a perspective view (No. 2) of the slide portion main body, and (C) is an XZ sectional view of the slide portion main body. (D) is a YZ sectional view of the slide portion main body. （Ａ）は、スライド部本体のＸＺ断面における部分拡大図（その１）であり、（Ｂ）スライド部本体のＸＺ断面における部分拡大図（その２）である。(A) is a partial enlarged view of an XZ section of the slide portion main body (part 1), and (B) is a partial enlarged view of an XZ cross section of the slide portion main body (part 2). （Ａ）は、リターンの斜視図であり、（Ｂ）は、リターンのＸＹ断面図であり、（Ｃ）は、リターンのＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of the return, (B) is an XY sectional view of the return, and (C) is an XZ sectional view of the return. （Ａ）は、スライド部の組み立てを説明するためのＸＺ断面図であり、（Ｂ）は、スライド部の組み立てを説明するための斜視図である。(A) is an XZ sectional view for explaining an assembly of a slide part, and (B) is a perspective view for explaining an assembly of a slide part. ボールの軌道を説明するためのＸＹ断面図である。FIG. 3 is an XY cross-sectional view for explaining a trajectory of a ball. （Ａ）は、レール部の斜視図であり、（Ｂ）は、レール部のＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of a rail part, (B) is an XZ sectional view of the rail part. （Ａ）は、レール部のＸＺ断面における部分拡大図（その１）であり、（Ｂ）レール部のＸＺ断面における部分拡大図（その２）である。(A) is a partial enlarged view of an XZ section of the rail section (part 1), and (B) is a partial enlarged view of an XZ section of the rail section (part 2). （Ａ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その２）であり、（Ｃ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その３）である。(A) is an XZ sectional view (part 1) for explaining the assembly of the guide device, (B) is an XZ sectional view (part 2) for explaining the assembly of the guide device, and (C) () Is an XZ sectional view (No. 3) for explaining the assembly of the guide device. ロッドのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for explaining attachment of a rod to a guide device. （Ａ）は、ボールねじのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、ボールねじ軸の先端部の斜視図であり、（Ｃ）は、ボールねじ軸の先端部のＹＺ断面図である。(A) is a YZ sectional view of the ball screw, (B) is a perspective view of the tip of the ball screw shaft, and (C) is a YZ sectional view of the tip of the ball screw shaft. （Ａ）は、弾性部材の斜視図であり、（Ｂ）は、弾性部材のＸＺ断面図である。(A) is a perspective view of an elastic member, (B) is an XZ sectional view of the elastic member. ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for explaining attachment of a ball screw to a guide device. （Ａ）は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのＸＺ断面図である。(A) is a YZ sectional view for explaining attachment of the ball screw to the guide device, and (B) is an XZ sectional view for explaining attachment of the ball screw to the guide device. （Ａ）は、ボールねじのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、モータユニットのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのＹＺ断面図である。(A) is a YZ sectional view for explaining attachment of the ball screw to the bearing housing, and (B) is a YZ sectional view for explaining attachment of the motor unit to the bearing housing. （Ｉ）、（ＩＩ）、及び（ＩＩＩ）は、アクチュエータの動作を説明するためのＹＺ断面図である。(I), (II), and (III) are YZ sectional views for explaining the operation of the actuator. （Ｉ）及び（ＩＩ）は、ガイド装置の動作を説明するためのＸＹ断面図である。(I) and (II) are XY cross-sectional views for explaining the operation of the guide device. （Ｉ）及び（ＩＩ）は、弾性部材の作用を説明するためのＹＺ断面図である。(I) and (II) are YZ sectional views for explaining the function of the elastic member. （Ａ）は、ボールねじ軸の先端の振れの発生を説明するための比較例であり、（Ｂ）は、ボールねじ軸の先端の振れの発生を説明するための本発明の実施形態に係るアクチュエータの断面図である。(A) is a comparative example for explaining the occurrence of deflection at the tip of the ball screw shaft, and (B) relates to the embodiment of the present invention for describing the occurrence of deflection at the tip of the ball screw shaft. It is sectional drawing of an actuator. アクチュエータの作業台への取り付けを説明するための図である。It is a figure for explaining attachment to a work bench of an actuator. 弾性部材の変形例を示すＸＺ断面図である。It is an XZ sectional view showing a modification of an elastic member. （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、及び（Ｄ）は、変形例１に係るガイド装置のＸＺ断面図（その１〜４）である。(A), (B), (C), and (D) are XZ sectional views (Nos. 1 to 4) of the guide device according to the first modification. （Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）、及び（Ｈ）は、変形例１に係るガイド装置のＸＺ断面図（その５〜８）である。(E), (F), (G), and (H) are XZ sectional views (5-8) of the guide device according to the first modification. （Ｉ）、（Ｊ）、（Ｋ）、及び（Ｌ）は、変形例１に係るガイド装置のＸＺ断面図（その９〜１２）である。(I), (J), (K), and (L) are XZ sectional views (Nos. 9 to 12) of the guide device according to the first modification. （Ａ）は、変形例２に係るガイド装置の斜視図であり、（Ｂ）は、変形例２に係るアクチュエータの斜視図である。(A) is a perspective view of a guide device according to Modification Example 2, and (B) is a perspective view of an actuator according to Modification Example 2. （Ａ）は、変形例３に係るスライド部等のＸＹ断面図であり、（Ｂ）は、変形例３に係るアクチュエータの斜視図である。(A) is XY sectional drawing of the slide part etc. which concern on the modification 3, (B) is a perspective view of the actuator which concerns on the modification 3. （Ａ）は、変形例４に係るアクチュエータの斜視図であり、（Ｂ）は、変形例４に係るボールブッシュ等のＸＹ断面図である。(A) is a perspective view of an actuator according to Modification 4, and (B) is an XY cross-sectional view of a ball bush and the like according to Modification 4. 変形例４に係るアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。FIG. 14 is a perspective view for explaining the operation of the actuator according to Modification 4. 変形例５に係るアクチュエータの斜視図である。15 is a perspective view of an actuator according to Modification Example 5. FIG. 変形例６に係るフロントハウジング等のＹＺ断面図である。18 is a YZ sectional view of a front housing and the like according to Modification 6. FIG. （Ａ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＸＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＸＺ断面図（その２）である。(A) is an XZ sectional view (part 1) showing a slide portion, a rod, and the like according to Modification 7, and (B) is an XZ sectional view showing a slide portion, a rod, and the like according to Modification 7. Part 2). （Ａ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＸＺ断面図（その３）であり、（Ｂ）は、変形例７に係るスライド部及びロッド等を示したＹＺ断面図である。(A) is an XZ sectional view (No. 3) showing a slide portion, a rod, and the like according to Modification 7, and (B) is an YZ sectional view showing a slide portion, a rod, and the like according to Modification 7. is there. （Ａ）は、変形例８に係るアクチュエータを示したＹＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、変形例８に係るアクチュエータを示したＹＺ断面図（その２）である。(A) is a YZ sectional view (Part 1) showing an actuator according to Modification Example 8, and (B) is a YZ sectional view (Part 2) showing an actuator according to Modification Example 8. 変形例９に係るガイド装置を示した斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing a guide device according to a modification 9;

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０について説明する。なお、図中のＸＹ平面は水平な面であり、図中のＺ軸の方向は鉛直方向である。   Hereinafter, the actuator 10 according to the embodiment of the present invention will be described. The XY plane in the figure is a horizontal plane, and the direction of the Z axis in the figure is a vertical direction.

アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１（作業軸）を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ１０は、ロッド１１と、モータユニット２０と、フロントハウジング８０と、ベアリングハウジング９０と、カバー１８とを有している。   As shown in FIG. 1, the actuator 10 is a linear actuator having a rod 11 (working axis) that reciprocates in the Y-axis direction. The actuator 10 has a rod 11, a motor unit 20, a front housing 80, a bearing housing 90, and a cover 18.

カバー１８は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー１８には、図２（Ａ）に示すように、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔１８ａが形成されており、ボルト１９によって、フロントハウジング８０及びベアリングハウジング９０に固定されている。   The cover 18 is formed by, for example, extruding aluminum. As shown in FIG. 2A, the cover 18 is formed with a through hole 18a penetrating in the Z-axis direction, and is fixed to the front housing 80 and the bearing housing 90 by bolts 19.

アクチュエータ１０は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、ロッド１１等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するガイド装置３０と、モータユニット２０の回転運動を直線運動に変換するボールねじ７０とを有している。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the actuator 10 includes a guide device 30 for guiding the rod 11 in the Y-axis direction and a linear motion for rotating the motor unit 20 in addition to the rod 11 and the like. And a ball screw 70 that converts the

ロッド１１は、図３に示すように、内部に孔１１ａが形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド１１の−Ｙ側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具１２がねじ込まれることによって固定されている。また、ロッド１１の＋Ｙ側の端部の外周には、雄ねじ部１１ｂが形成されている。   The rod 11, as shown in FIG. 3, is a cylindrical member having a hole 11a formed therein, and is made of, for example, stainless steel. A tip fitting 12 having an external thread formed on the outer periphery is fixed to an end of the rod 11 on the −Y side by screwing. A male screw portion 11b is formed on the outer periphery of the end on the + Y side of the rod 11.

モータユニット２０は、モータ２１と、モータ２１を収納するモータハウジング２２と、アクチュエータケーブル２４とを有する。   The motor unit 20 has a motor 21, a motor housing 22 that houses the motor 21, and an actuator cable 24.

モータ２１は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸２３、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、アクチュエータケーブル２４を介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２３に出力される。また出力軸２３の先端は、カップリング（継ぎ手）として構成されている。   The motor 21 is, for example, a stepping motor, and has an output shaft 23, a rotor, a stator, an encoder, a speed reducer, and the like. The electric power from the power supply is supplied to the motor 21 via the actuator cable 24. When electric power is supplied to the motor 21, the rotor of the motor 21 rotates. The rotational motion of the rotor is reduced at a predetermined reduction ratio by a speed reducer, for example, and output to the output shaft 23. The tip of the output shaft 23 is configured as a coupling (joint).

モータハウジング２２は、略直方体のケースであり、モータハウジング２２の−Ｙ側の面には、開口２２ａが形成されている。モータ２１の出力軸２３は、この開口２２ａから外部に露出している。また、開口２２ａの上側（＋Ｚ側）には、Ｚ方向に貫通するねじ孔２２ｂが形成されている。このねじ孔２２ｂには、ボルト２５が挿入される。   The motor housing 22 is a substantially rectangular parallelepiped case, and an opening 22 a is formed in the −Y side surface of the motor housing 22. The output shaft 23 of the motor 21 is exposed to the outside through the opening 22a. A screw hole 22b penetrating in the Z direction is formed above the opening 22a (+ Z side). The bolt 25 is inserted into the screw hole 22b.

ガイド装置３０は、ロッド１１がスライド部３１に固定されることにより、ロッド１１を＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に案内する。このガイド装置３０は、図４に示すように、スライド部３１と、レール部６０と、スライド部３１とレール部６０との間に配置されたボール５０（転動体）とを有する。このボール５０は、剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。ボール５０は、スライド部３１とレール部６０との間に複数配置されている。   The guide device 30 guides the rod 11 in both directions of the + Y direction and the −Y direction by fixing the rod 11 to the slide portion 31. As shown in FIG. 4, the guide device 30 includes a slide portion 31, a rail portion 60, and a ball 50 (rolling element) disposed between the slide portion 31 and the rail portion 60. The ball 50 is made of a rigid material, specifically, a steel material. A plurality of balls 50 are arranged between the slide part 31 and the rail part 60.

スライド部３１は、図５に示すように、ボール５０を介して、レール部６０にＹ軸方向に移動可能に支持されている。なお、スライド部３１は、複数のボール５０のみでレール部６０に支持されている。スライド部３１は、スライド部本体３２と、スライド部本体３２の−Ｚ側の面にボルト４９で固定されたリターン４０とを有する。   As shown in FIG. 5, the slide portion 31 is supported by a rail portion 60 via a ball 50 so as to be movable in the Y-axis direction. The slide section 31 is supported by the rail section 60 with only a plurality of balls 50. The slide portion 31 has a slide portion main body 32 and a return 40 fixed to a −Z side surface of the slide portion main body 32 with a bolt 49.

スライド部本体３２は、図６に示すように、Ｙ方向に貫通する貫通孔３２ａが形成された略直方体の部材で、例えば、鉄等の金属からなる。貫通孔３２ａの−Ｙ側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部３２ｂが形成されている。また、スライド部本体３２の下端には、−Ｚ方向に突出する一対の凸部３３，３４が形成されている。この凸部３３，３４は、Ｙ方向に沿って形成されており、＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には、ボール５０が転動するための溝部３３ａ，３４ａがそれぞれ形成されている。溝部３３ａ，３４ａの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図７（Ａ）に示すように、溝部３３ａ，３４ａの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部３３ａ，３４ａの内面は、図７（Ｂ）に示すように、その曲率半径Ｒ１が、ボール５０の半径Ｒ２と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。   As shown in FIG. 6, the slide portion main body 32 is a substantially rectangular parallelepiped member having a through hole 32a penetrating in the Y direction, and is made of, for example, metal such as iron. A female screw portion 32b is formed on the inner peripheral surface near the opening on the −Y side of the through hole 32a. Further, a pair of convex portions 33 and 34 projecting in the −Z direction are formed at the lower end of the slide portion main body 32. The protrusions 33 and 34 are formed along the Y direction, and grooves 33a and 34a for rolling the ball 50 are formed on the + X side surface and the −X side surface, respectively. The inner surfaces of the grooves 33a and 34a are configured as substantially curved surfaces. Specifically, as shown in FIG. 7A, the inner surfaces of the grooves 33a and 34a are formed in a Gothic arch shape composed of two arc portions. However, the present invention is not limited to this, and the inner surfaces of the grooves 33a and 34a may be formed as curved surfaces whose curvature radius R1 is equal to the radius R2 of the ball 50, as shown in FIG.

また、貫通孔３２ａには、図６に示すように、リング３６が嵌め込まれている。また、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）には、ねじ孔３２ｃ及び一対のボス孔３２ｄが形成され、スライド部本体３２の＋Ｘ側の側面には、孔３２ｅが形成されている。   As shown in FIG. 6, a ring 36 is fitted into the through hole 32a. A screw hole 32c and a pair of boss holes 32d are formed on the lower surface (the surface on the -Z side) of the slide portion main body 32, and a hole 32e is formed on the + X side surface of the slide portion main body 32. .

リターン４０は、図８に示すように、ボール５０が配置される一対のボール循環路４３，４４が形成された部材であり、リターン４０の＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には凹部４５，４６が形成されている。このリターン４０は、筐体４１と、この筐体４１の上面に取り付けられる蓋体４２とを有する。筐体４１及び蓋体４２は、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成される。   As shown in FIG. 8, the return 40 is a member in which a pair of ball circulation paths 43 and 44 in which the balls 50 are arranged are formed, and the return 40 has a recess 45 on the + X side surface and the −X side surface. , 46 are formed. The return 40 has a housing 41 and a lid 42 attached to the upper surface of the housing 41. The housing 41 and the lid 42 are formed, for example, by injection molding a polyacetal resin.

筐体４１には、一対のボール循環路４３，４４が形成されている。このボール循環路４３，４４は、ボール５０が移動するための通路で、ストレート通路部４３ａ，４４ａとカーブ通路部４３ｂ，４４ｂとから構成されている。ボール循環路４３，４４は、その断面形状がボール５０の直径と同等の直径の円形になるように形成されている。また、筐体４１の上面（＋Ｚ側の面）には、＋Ｚ方向に突出した円筒形状の一対のボス部４７が２つ形成されている。このボス部４７は、その径が、スライド部本体３２のボス孔３２ｄの径と同等になるように形成されている。また、筐体４１には、Ｚ方向に貫通する貫通孔４１ａが４つ形成されている。この貫通孔４１ａには、ボルト４９が挿入される。   A pair of ball circulation paths 43 and 44 are formed in the housing 41. The ball circulation paths 43 and 44 are paths for moving the ball 50, and include straight passage portions 43a and 44a and curved passage portions 43b and 44b. The ball circulation paths 43 and 44 are formed such that the cross-sectional shape thereof is a circle having a diameter equivalent to the diameter of the ball 50. On the top surface (the surface on the + Z side) of the housing 41, two cylindrical boss portions 47 projecting in the + Z direction are formed. The boss portion 47 is formed such that its diameter is equal to the diameter of the boss hole 32d of the slide portion main body 32. The housing 41 has four through holes 41a penetrating in the Z direction. A bolt 49 is inserted into the through hole 41a.

蓋体４２には、Ｚ方向に貫通する一対のボス孔４２ａが形成されている。ボス孔４２ａには、筐体４１のボス部４７が挿入される。また、蓋体４２には、Ｚ方向に貫通する一対の貫通孔４２ｂが４つ形成されている。貫通孔４２ｂと、筐体４１の貫通孔４１ａとには、ボルト４９が挿入される。また、蓋体４２には、グリスを注入するための注入孔４８が形成されている。注入孔４８は、蓋体４２に形成されたグリス通路を介して、ボール循環路４３，４４に通じている。   The lid 42 has a pair of boss holes 42a penetrating in the Z direction. The boss 47 of the housing 41 is inserted into the boss hole 42a. The cover 42 has four pairs of through holes 42b penetrating in the Z direction. A bolt 49 is inserted into the through hole 42b and the through hole 41a of the housing 41. In addition, an injection hole 48 for injecting grease is formed in the lid 42. The injection hole 48 communicates with the ball circulation paths 43 and 44 via a grease passage formed in the lid 42.

次に、スライド部３１の組み立て方法について、図９を参照して説明する。   Next, a method of assembling the slide portion 31 will be described with reference to FIG.

先ず、図９（Ａ）に示すように、スライド部本体３２の凸部３３，３４が、リターン４０の凹部４５，４６に嵌め込まれる。このとき、リターン４０の筐体４１のボス部４７も、スライド部本体３２のボス孔３２ｄに嵌め込まれる。ボス部４７がボス孔３２ｄに嵌め込まれることにより、図９（Ｂ）を参照するとわかるように、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃと、リターン４０の蓋体４２の貫通孔４２ｂと、リターン４０の筐体４１の貫通孔４１ａとが同軸上に配置される。   First, as shown in FIG. 9A, the protrusions 33 and 34 of the slide portion main body 32 are fitted into the recesses 45 and 46 of the return 40. At this time, the boss 47 of the housing 41 of the return 40 is also fitted into the boss hole 32 d of the slide portion main body 32. 9B, the boss 47 is fitted into the boss hole 32d, so that the screw hole 32c of the slide portion main body 32, the through hole 42b of the lid 42 of the return 40, and the return 40 The through hole 41a of the housing 41 is coaxially arranged.

次に、図９（Ｂ）に示すように、ボルト４９が、貫通孔４１ａと貫通孔４２ｂとを介して、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃにねじ込まれる。ボルト４９がねじ込まれることにより、リターン４０は、スライド部本体３２に固定される。   Next, as shown in FIG. 9B, the bolt 49 is screwed into the screw hole 32c of the slide portion main body 32 via the through hole 41a and the through hole 42b. The return 40 is fixed to the slide portion main body 32 by screwing the bolt 49.

リターン４０がスライド部本体３２に固定されることにより、図１０に示すように、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４３と、スライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａとが、ボール５０の軌道Ｔ１に沿って配置される。同様に、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４４と、スライド部本体３２の凸部３４に形成された溝部３４ａとが、ボール５０の軌道Ｔ２に沿って配置される。これら軌道Ｔ１，Ｔ２は、ストレート部分とカーブ部分とを有する長円形状に形成される。これにより、スライド部３１の組み立てが、完了する。   When the return 40 is fixed to the slide portion main body 32, as shown in FIG. 10, a ball circulation path 43 formed in the housing 41 of the return 40 and a groove formed in the protrusion 33 of the slide portion main body 32. 33a are arranged along the trajectory T1 of the ball 50. Similarly, the ball circulation path 44 formed in the housing 41 of the return 40 and the groove 34 a formed in the projection 34 of the slide portion main body 32 are arranged along the trajectory T2 of the ball 50. These orbits T1 and T2 are formed in an oval shape having a straight portion and a curved portion. Thereby, the assembly of the slide portion 31 is completed.

ボール５０は、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４３，４４や、スライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａ、凸部３４に形成された溝部３４ａ等に配置される。これにより、ボール５０は、図１０に示す軌道Ｔ１，Ｔ２に沿って配置される。   The ball 50 is disposed in ball circulation paths 43 and 44 formed in the housing 41 of the return 40, a groove 33 a formed in the protrusion 33 of the slide portion main body 32, a groove 34 a formed in the protrusion 34, and the like. You. Thereby, the ball 50 is arranged along the trajectories T1 and T2 shown in FIG.

レール部６０は、図１１に示すように、Ｙ軸方向を長手方向とする板状のベース６１と、このベース６１の＋Ｘ側及び−Ｘ側に形成された側壁６２，６３とを有する。レール部６０は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース６１には、Ｚ方向に貫通する複数の貫通孔６１ａが形成されている。また、側壁６２の−Ｘ側の面及び側壁６３の＋Ｘ側の面には、凹部６２ａ，６３ａがそれぞれ形成されている。この凹部６２ａ，６３ａには、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材６４，６５が取り付けられている。鋼製部材６４の−Ｘ側の面及び鋼製部材６５の＋Ｘ側の面には、溝部６４ａ，６５ａがそれぞれ形成されている。溝部６４ａ，６５ａは、対向するように形成されており、溝部６４ａ，６５ａの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図１２（Ａ）に示すように、溝部６４ａ，６５ａの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部６４ａ，６５ａの内面は、図１２（Ｂ）に示すように、その曲率半径Ｒ３が、ボール５０の半径Ｒ２と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。   As shown in FIG. 11, the rail portion 60 has a plate-like base 61 whose longitudinal direction is in the Y-axis direction, and side walls 62 and 63 formed on the + X side and the −X side of the base 61. The rail portion 60 is formed by, for example, extruding aluminum. A plurality of through holes 61a penetrating in the Z direction are formed in the base 61. In addition, concave portions 62a and 63a are formed on the −X side surface of the side wall 62 and the + X side surface of the side wall 63, respectively. Steel members 64, 65 formed in a substantially rectangular parallelepiped with the Y-axis direction as a longitudinal direction are attached to the concave portions 62a, 63a. Grooves 64a and 65a are formed on the −X side surface of the steel member 64 and the + X side surface of the steel member 65, respectively. The grooves 64a and 65a are formed so as to face each other, and the inner surfaces of the grooves 64a and 65a are configured as substantially curved surfaces. Specifically, as shown in FIG. 12A, the inner surfaces of the grooves 64a and 65a are formed in a Gothic arch shape including two arc portions. However, the present invention is not limited to this, and the inner surfaces of the grooves 64a and 65a may be formed as curved surfaces whose curvature radius R3 is equal to the radius R2 of the ball 50, as shown in FIG.

レール部６０には、図１３に示すように、複数のボール５０を介して、スライド部３１が取り付けられる。レール部６０にスライド部３１が取り付けられると、レール部６０の鋼製部材６４の溝部６４ａと、スライド部３１のスライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａとにボール５０が挟まれる。同様に、レール部６０の鋼製部材６５の溝部６５ａと、スライド部３１のスライド部本体３２の凸部３４に形成された溝部３４ａとにボール５０が挟まれる。溝部６４ａと溝部３３ａとの間にボール５０が挟まれるとともに、溝部６５ａと溝部３４ａとの間にボール５０が挟まれることにより、スライド部３１は、ボール５０のみでレール部６０に支持される。また、レール部６０に対して、Ｙ軸方向に移動可能になる。   As shown in FIG. 13, the slide portion 31 is attached to the rail portion 60 via a plurality of balls 50. When the slide part 31 is attached to the rail part 60, the ball 50 is sandwiched between the groove part 64 a of the steel member 64 of the rail part 60 and the groove part 33 a formed on the convex part 33 of the slide part body 32 of the slide part 31. . Similarly, the ball 50 is sandwiched between the groove 65 a of the steel member 65 of the rail part 60 and the groove 34 a formed on the protrusion 34 of the slide part main body 32 of the slide part 31. The ball 50 is sandwiched between the groove portion 64a and the groove portion 33a, and the ball 50 is sandwiched between the groove portion 65a and the groove portion 34a. Further, it becomes possible to move in the Y-axis direction with respect to the rail section 60.

ガイド装置３０は、レール部６０にスライド部３１が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部３１のスライド部本体３２の貫通孔３２ａには、図１４に示すように、ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入される。ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入されると、貫通孔３２ａに形成された雌ねじ部３２ｂに、ロッド１１の＋Ｙ側の端部に形成された雄ねじ部１１ｂが螺合する。これにより、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に固定される。   The guide device 30 is completed by attaching the slide portion 31 to the rail portion 60. Then, the end on the + Y side of the rod 11 is inserted into the through hole 32a of the slide portion main body 32 of the slide portion 31, as shown in FIG. When the end on the + Y side of the rod 11 is inserted, the male screw 11b formed on the + Y end of the rod 11 is screwed into the female screw 32b formed in the through hole 32a. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 of the guide device 30.

ボールねじ７０は、図１５、図２（Ｂ）、及び図３に示すように、ボールねじ軸７１と、ボールねじナット７２と、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部に取り付けられた弾性部材１１０とを有する。   As shown in FIGS. 15, 2B, and 3, the ball screw 70 has a ball screw shaft 71, a ball screw nut 72, and an elasticity attached to the −Y side end of the ball screw shaft 71. And a member 110.

ボールねじ軸７１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体７１ａと、ボールねじ軸本体７１ａの＋Ｙ側の端部及び−Ｙ側の端部それぞれに形成された小径部７１ｂ，７１ｃとから構成される。小径部７１ｂ，７１ｃは、その径がボールねじ軸本体７１ａの径よりも小さく形成されている。また、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃには、弾性部材１１０が嵌め込まれて、抜け止め部材１１２によって、抜け止めされている。これにより、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１に回転可能に取り付けられる。   The ball screw shaft 71 has a ball screw shaft main body 71a whose outer peripheral surface is formed as a helical ball screw surface, and small diameters formed at the + Y side end and the −Y side end of the ball screw shaft main body 71a. It is composed of sections 71b and 71c. The diameters of the small diameter portions 71b and 71c are formed smaller than the diameter of the ball screw shaft main body 71a. An elastic member 110 is fitted into the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71, and is prevented from falling off by a retaining member 112. Thereby, the elastic member 110 is rotatably attached to the ball screw shaft 71.

ボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１のボールねじ軸本体７１ａの外周に配置されている。ボールねじナット７２の内周面にはボールねじ部が形成されている。このボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１に剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸７１の回転運動が、ボールねじナット７２の直線運動に変換される。   The ball screw nut 72 is arranged on the outer periphery of the ball screw shaft main body 71a of the ball screw shaft 71. A ball screw portion is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut 72. The ball screw nut 72 is fitted on the ball screw shaft 71 via a rigid sphere. Thus, the rotational motion of the ball screw shaft 71 is converted into a linear motion of the ball screw nut 72.

また、ボールねじ軸７１の小径部７１ｂは、カップリング（継ぎ手）として構成されている。この小径部７１ｂが、カップリングとして構成されたモータユニット２０の出力軸２３に、出力軸２３の回転とともに回転するように接続される。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸７１に伝達される。   The small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 is configured as a coupling (joint). The small diameter portion 71b is connected to the output shaft 23 of the motor unit 20 configured as a coupling so as to rotate with the rotation of the output shaft 23. Thus, the rotational motion of the output shaft 23 is transmitted to the ball screw shaft 71.

弾性部材１１０は、例えば、樹脂からなり、図１６に示すように、中央に貫通孔１１０ａが形成されたリング形状に形成されている。また、この弾性部材１１０は、その外径が、ロッド１１の孔１１ａの内径とほぼ同等に形成されている。具体的には、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃを、ロッド１１の孔１１ａに挿入した場合に、弾性部材１１０の外周が、孔１１ａの内周面に接触するように形成されている。弾性部材１１０の外周が、孔１１ａの内周面に接触することにより、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃの振れを抑えることができる。すなわち、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃの振れを抑える振れ止め部材として構成されている。また、弾性部材１１０には、Ｙ軸を中心とした円周上に沿って等間隔に形成された複数の溝１１１が形成されている。本実施形態のおいては、溝１１１は、８つ形成されている。   The elastic member 110 is made of, for example, a resin, and is formed in a ring shape with a through hole 110a formed in the center as shown in FIG. The elastic member 110 has an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the hole 11 a of the rod 11. Specifically, when the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71 is inserted into the hole 11a of the rod 11, the outer periphery of the elastic member 110 is formed to contact the inner peripheral surface of the hole 11a. By contacting the outer periphery of the elastic member 110 with the inner peripheral surface of the hole 11a, the elastic member 110 can suppress the deflection of the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. That is, the elastic member 110 is configured as a steadying member that suppresses the swing of the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. The elastic member 110 has a plurality of grooves 111 formed at equal intervals along a circumference around the Y axis. In the present embodiment, eight grooves 111 are formed.

ボールねじ７０は、図１７に示すように、ガイド装置３０に固定される。具体的には、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、スライド部本体３２の貫通孔３２ａに＋Ｙ側から挿入され、これにより、ボールねじナット７２が、貫通孔３２ａ内に配置される。そして、スライド部本体３２の孔３２ｅに挿入されたボルト７４がねじ込まれて締結されることにより、ボールねじ７０は、ガイド装置３０に固定される。   The ball screw 70 is fixed to the guide device 30 as shown in FIG. Specifically, the end on the −Y side of the ball screw shaft 71 is inserted from the + Y side into the through hole 32 a of the slide portion main body 32, whereby the ball screw nut 72 is disposed in the through hole 32 a. . The ball screw 70 is fixed to the guide device 30 by screwing and fastening the bolt 74 inserted into the hole 32 e of the slide portion main body 32.

また、ボールねじ７０が、ガイド装置３０に固定されると、図１８に示すように、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の小径部７１ｃは、ロッド１１の孔１１ａ内まで移動する。このとき、弾性部材１１０の外周が、ロッド１１の孔１１ａの内周面に接触する。これにより、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、この弾性部材１１０によって支持される。   When the ball screw 70 is fixed to the guide device 30, the small-diameter portion 71c on the −Y side of the ball screw shaft 71 moves into the hole 11a of the rod 11, as shown in FIG. At this time, the outer periphery of the elastic member 110 contacts the inner peripheral surface of the hole 11a of the rod 11. Thus, the end on the −Y side of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110.

フロントハウジング８０は、図３に示すように、ガイド装置３０の−Ｙ側に、ボルト８１によって固定されている。フロントハウジング８０は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、フロントハウジング８０には、ロッド１１を通すための貫通孔８０ａが形成されており、この貫通孔８０ａの内周面には、オイルレスベアリング８２が配置されている。オイルレスベアリング８２は、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。また、フロントハウジング８０は、＋Ｙ方向に突出する突出部８３が形成されており、この突出部８３の上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ孔が形成されている。この突出部８３のねじ孔は、カバー１８を固定するために用いられる。突出部８３のねじ孔には、カバー１８に形成された貫通孔１８ａを介して、ボルト１９が挿入される。   The front housing 80 is fixed to the −Y side of the guide device 30 by bolts 81, as shown in FIG. The front housing 80 is formed, for example, by die casting. In the front housing 80, a through hole 80a for passing the rod 11 is formed, and an oilless bearing 82 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole 80a. The oilless bearing 82 supports the rod 11 movably in the Y-axis direction. Further, the front housing 80 is formed with a protruding portion 83 protruding in the + Y direction, and a screw hole is formed on the upper surface (the surface on the + Z side) of the protruding portion 83. The screw holes of the projections 83 are used to fix the cover 18. A bolt 19 is inserted into the screw hole of the projection 83 via a through hole 18a formed in the cover 18.

ベアリングハウジング９０は、図３に示すように、ガイド装置３０の＋Ｙ側に、ボルト９１によって固定されている。ベアリングハウジング９０は、フロントハウジング８０と同様に、ダイカストにより形成されている。また、ベアリングハウジング９０は、ボールねじ軸７１を挿入するための貫通孔９０ａが形成されており、この貫通孔９０ａの内周面には、ベアリング９２が配置されている。ベアリング９２は、貫通孔９０ａの＋Ｙ側から嵌め込まれ、ベアリング押さえ９２ａによって固定されている。このベアリング９２によって、ボールねじ軸７１は回転可能に支持される。   The bearing housing 90 is fixed to the + Y side of the guide device 30 by a bolt 91 as shown in FIG. The bearing housing 90 is formed by die casting similarly to the front housing 80. In the bearing housing 90, a through hole 90a for inserting the ball screw shaft 71 is formed, and a bearing 92 is arranged on the inner peripheral surface of the through hole 90a. The bearing 92 is fitted from the + Y side of the through hole 90a, and is fixed by the bearing retainer 92a. The ball screw shaft 71 is rotatably supported by the bearing 92.

また、ベアリングハウジング９０には、−Ｙ方向に突出する突出部９３が形成されており、この突出部９３の上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔は、カバー１８を固定するために用いられる。突出部９３のねじ孔には、カバー１８に形成された貫通孔１８ａを介して、ボルト１９が挿入される。また、突出部９３の−Ｙ側の面には、＋Ｙ方向に移動してきたスライド部３１に接触し、スライド部３１からの衝撃を吸収する衝撃吸収部材９４が配置されている。衝撃吸収部材９４は、弾性の素材からなり、衝撃吸収部材９４の素材には、任意の樹脂が用いられる。また、ベアリングハウジング９０には、＋Ｙ方向に突出する突出部９５が形成されている。   The bearing housing 90 is provided with a projecting portion 93 projecting in the −Y direction, and a screw hole is formed on the upper surface (the surface on the + Z side) of the projecting portion 93. This screw hole is used for fixing the cover 18. A bolt 19 is inserted into the screw hole of the protrusion 93 via a through hole 18 a formed in the cover 18. Further, on the surface on the −Y side of the projecting portion 93, an impact absorbing member 94 that contacts the sliding portion 31 that has moved in the + Y direction and absorbs an impact from the sliding portion 31 is arranged. The shock absorbing member 94 is made of an elastic material, and an arbitrary resin is used as the material of the shock absorbing member 94. Further, the bearing housing 90 is formed with a protruding portion 95 protruding in the + Y direction.

ベアリングハウジング９０には、図１９（Ａ）に示すように、ボールねじ軸７１の小径部７１ｂが挿入される。これにより、ボールねじ７０は、ベアリングハウジング９０に回転可能に支持される。また、ベアリングハウジング９０の突出部９５は、モータユニット２０のモータハウジング２２の開口２２ａに嵌め込まれる。このとき、カップリングとして構成されたボールねじ軸７１の小径部７１ｂが、カップリングとして構成された出力軸２３に、出力軸２３の回転とともに回転するように接続される。これにより、モータ２１内で生じた回転運動が、ボールねじ軸７１に伝達される。そして、図１９（Ｂ）に示すように、モータハウジング２２に形成されたねじ孔２２ｂには、ボルト２５がねじ込まれる。これにより、ベアリングハウジング９０の突出部９５の上面（＋Ｚ側の面）が、ボルト２５の下端に押し付けられるため、モータユニット２０は、ベアリングハウジング９０に対して固定される。   The small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 is inserted into the bearing housing 90 as shown in FIG. As a result, the ball screw 70 is rotatably supported by the bearing housing 90. The protrusion 95 of the bearing housing 90 is fitted into the opening 22 a of the motor housing 22 of the motor unit 20. At this time, the small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 configured as a coupling is connected to the output shaft 23 configured as a coupling so as to rotate with the rotation of the output shaft 23. Thus, the rotational motion generated in the motor 21 is transmitted to the ball screw shaft 71. Then, as shown in FIG. 19B, a bolt 25 is screwed into a screw hole 22b formed in the motor housing 22. As a result, the upper surface (the surface on the + Z side) of the protrusion 95 of the bearing housing 90 is pressed against the lower end of the bolt 25, so that the motor unit 20 is fixed to the bearing housing 90.

上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図２０〜図２２を用いて説明する。   The operation of the actuator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS.

先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図２０（Ｉ）に示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転する。出力軸２３が所定の方向に回転すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１が、出力軸２３とともに回転する。   First, when power is supplied to the motor 21 of the motor unit 20, the output shaft 23 of the motor 21 rotates in a predetermined direction as shown in FIG. When the output shaft 23 rotates in a predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 rotates together with the output shaft 23.

ボールねじ軸７１が回転すると、図２０（ＩＩ）に示すように、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、−Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに−Ｙ方向に移動をする。   When the ball screw shaft 71 rotates, as shown in FIG. 20 (II), the ball screw nut 72 moves linearly in the −Y direction, for example, with the rotational movement of the ball screw shaft 71. When the ball screw nut 72 moves in the −Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the −Y direction together with the ball screw nut 72.

このとき、図２１（Ｉ）に示すように、レール部６０の鋼製部材６４の溝部６４ａと、スライド部本体３２の凸部３３の溝部３３ａと間に配置されたボール５０は、溝部６４ａ及び溝部３３ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部６４ａと溝部３３ａとの間から、リターン４０に形成されたボール循環路４３に移動する。ボール循環路４３に移動したボール５０は、ボール循環路４３のカーブ通路部４３ｂ、ストレート通路部４３ａを通過し、再び、ボール循環路４３から、溝部６４ａと溝部３３ａとの間に移動する。そして、ボール５０は、溝部６４ａ及び溝部３３ａに転がり接触しながら転動する。   At this time, as shown in FIG. 21 (I), the ball 50 disposed between the groove 64a of the steel member 64 of the rail portion 60 and the groove 33a of the protrusion 33 of the slide portion main body 32 has the grooves 64a and It rolls while rolling in contact with the groove 33a. The ball 50 moves in the + Y direction and moves from between the groove 64a and the groove 33a to the ball circulation path 43 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation path 43 passes through the curved passage section 43b and the straight passage section 43a of the ball circulation path 43, and moves again from the ball circulation path 43 between the groove 64a and the groove 33a. The ball 50 rolls while rolling and contacting the groove 64a and the groove 33a.

同様に、レール部６０の鋼製部材６５の溝部６５ａと、スライド部本体３２の凸部３４の溝部３４ａと間に配置されたボール５０は、溝部６５ａ及び溝部３４ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部６５ａと溝部３４ａとの間から、リターン４０に形成されたボール循環路４４に移動する。ボール循環路４４に移動したボール５０は、ボール循環路４４のカーブ通路部４４ｂ、ストレート通路部４４ａを通過し、再び、ボール循環路４４から、溝部６５ａと溝部３４ａとの間に移動する。そして、ボール５０は、溝部６５ａ及び溝部３４ａに転がり接触しながら転動する。   Similarly, the ball 50 disposed between the groove 65a of the steel member 65 of the rail portion 60 and the groove 34a of the convex portion 34 of the slide portion main body 32 rolls while rollingly contacting the groove 65a and the groove 34a. . The ball 50 moves in the + Y direction and moves from between the groove 65a and the groove 34a to the ball circulation path 44 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation path 44 passes through the curved passage section 44b and the straight passage section 44a of the ball circulation path 44, and moves again from the ball circulation path 44 between the groove 65a and the groove 34a. Then, the ball 50 rolls while rolling and contacting the groove 65a and the groove 34a.

ボール５０が、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動することにより、スライド部３１は、レール部６０に案内されつつ、−Ｙ方向に移動する。   As the ball 50 rolls while rolling and contacting the grooves 64a and 65a and the grooves 33a and 34a, the slide portion 31 moves in the -Y direction while being guided by the rail portion 60.

ガイド装置３０のスライド部３１が−Ｙ方向に移動をすると、図２０（ＩＩ）に示すように、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに−Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が−Ｙ方向に移動する。   When the slide portion 31 of the guide device 30 moves in the −Y direction, the rod 11 fixed to the slide portion 31 also moves in the −Y direction together with the slide portion 31, as shown in FIG. Thereby, the tip fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the −Y direction.

また、図２２（Ｉ）に示すように、ロッド１１が−Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は、−Ｙ方向には移動せずに回転する。このため、ロッド１１の孔１１ａの内周面は、ボールねじ軸７１に取り付けられた弾性部材１１０に対して摺動する。このとき、ロッド１１の孔１１ａと、弾性部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定される空間Ｓの容積は、ロッド１１の−Ｙ方向への移動に伴って大きくなる。これにより、空間Ｓ内の空気が、弾性部材１１０の溝１１１から流入し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。   Further, as shown in FIG. 22 (I), while the rod 11 moves in the −Y direction, the ball screw shaft 71 rotates without moving in the −Y direction. Therefore, the inner peripheral surface of the hole 11 a of the rod 11 slides on the elastic member 110 attached to the ball screw shaft 71. At this time, the volume of the space S defined by the hole 11a of the rod 11 and the surface on the −Y side of the elastic member 110 increases as the rod 11 moves in the −Y direction. Thereby, the air in the space S flows in from the groove 111 of the elastic member 110, and keeps the internal pressure of the space S constant.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の−Ｙ方向への移動が完了する。   As described above, the movement of the rod 11 and the distal end fitting 12 in the −Y direction is completed.

次に、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転すると、図２０（ＩＩＩ）に示すように、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１は、出力軸２３とともに回転する。   Next, when the output shaft 23 of the motor unit 20 rotates in a direction opposite to the predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 is moved together with the output shaft 23 as shown in FIG. Rotate.

ボールねじ軸７１が回転すると、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに＋Ｙ方向に移動をする。   When the ball screw shaft 71 rotates, the ball screw nut 72 linearly moves in the + Y direction with the rotation of the ball screw shaft 71. When the ball screw nut 72 moves in the + Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the + Y direction together with the ball screw nut 72.

このとき、図２１（ＩＩ）に示すように、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａと、スライド部本体３２の凸部３３，３４の溝部３３ａ，３４ａと間に配置されたボール５０は、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、−Ｙ方向に移動していき、やがて、リターン４０に形成されたボール循環路４３，４４に移動する。ボール循環路４３，４４に移動したボール５０は、ボール循環路４３，４４のカーブ通路部４３ｂ，４４ｂ、ストレート通路部４３ａ，４４ａを通過し、再び、溝部６４ａ，６５ａと溝部３３ａ，３４ａとの間に移動する。溝部６４ａ，６５ａと溝部３３ａ，３４ａとの間に移動したボール５０は、転がり接触しながら転動する。   At this time, as shown in FIG. 21 (II), the groove portions 64a, 65a of the steel members 64, 65 of the rail portion 60 and the groove portions 33a, 34a of the convex portions 33, 34 of the slide portion main body 32 are arranged. The ball 50 rolls while rolling and contacting the grooves 64a and 65a and the grooves 33a and 34a. The ball 50 moves in the −Y direction, and eventually moves to the ball circulation paths 43 and 44 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation paths 43 and 44 passes through the curved passage parts 43b and 44b and the straight passage parts 43a and 44a of the ball circulation paths 43 and 44, and again forms the grooves 64a and 65a and the grooves 33a and 34a. Move between. The ball 50 that has moved between the grooves 64a, 65a and the grooves 33a, 34a rolls while rolling.

ボール５０が、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動することにより、スライド部３１は、レール部６０に案内されつつ、＋Ｙ方向に移動する。   As the ball 50 rolls while rolling and contacting the grooves 64a, 65a and the grooves 33a, 34a, the slide portion 31 moves in the + Y direction while being guided by the rail portion 60.

ガイド装置３０のスライド部３１が＋Ｙ方向に移動をすると、図２０（ＩＩＩ）に示すように、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに＋Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が＋Ｙ方向に移動する。   When the slide portion 31 of the guide device 30 moves in the + Y direction, the rod 11 fixed to the slide portion 31 also moves in the + Y direction together with the slide portion 31, as shown in FIG. Thereby, the tip fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the + Y direction.

また、図２２（ＩＩ）に示すように、ロッド１１が＋Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は＋Ｙ方向には移動せずに回転する。このため、空間Ｓは、ロッド１１の＋Ｙ方向への移動に伴って小さくなる。これにより、空間Ｓ内の空気が、弾性部材１１０の溝１１１から流出し、空間Ｓの内圧を一定に保つ。   Further, as shown in FIG. 22 (II), while the rod 11 moves in the + Y direction, the ball screw shaft 71 rotates without moving in the + Y direction. Therefore, the space S becomes smaller as the rod 11 moves in the + Y direction. Thereby, the air in the space S flows out from the groove 111 of the elastic member 110, and the internal pressure of the space S is kept constant.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の＋Ｙ方向への移動が完了し、ロッド１１及び先端金具１２は、初期位置まで戻る。   As described above, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the + Y direction is completed, and the rod 11 and the tip fitting 12 return to the initial position.

以上、説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ１０においては、スライド部３１が、鋼製の素材からなるボール５０を介してレール部６０の鋼製部材６４，６５に支持されている。これにより、モータユニット２０の出力軸２３の回転に起因したトルクが、ボールねじ軸７１を介して、スライド部３１に加わっても、スライド部３１は、レール部６０に対して、出力軸２３周りに動かなくなる。このため、出力軸２３の回転に起因したトルクが、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくく、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。ひいては、ロッド１１に固定された先端金具１２の振れを抑制することができ、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。   As described above, in the actuator 10 according to the present embodiment, the slide portion 31 is supported by the steel members 64 and 65 of the rail portion 60 via the ball 50 made of a steel material. Thus, even if the torque caused by the rotation of the output shaft 23 of the motor unit 20 is applied to the slide portion 31 via the ball screw shaft 71, the slide portion 31 moves around the output shaft 23 relative to the rail portion 60. Stuck. For this reason, the torque resulting from the rotation of the output shaft 23 is not easily transmitted to the rod 11 via the guide device 30, and it is possible to suppress the occurrence of the deflection of the distal end of the rod 11. As a result, it is possible to suppress the deflection of the tip fitting 12 fixed to the rod 11, and to prevent the working accuracy of the actuator 10 from being lowered.

また、このガイド装置３０により、ロッド１１は、Ｙ軸方向に円滑に往復運動することができる。   Further, the guide device 30 allows the rod 11 to smoothly reciprocate in the Y-axis direction.

また、本実施形態においては、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃに弾性部材１１０が取り付けられている。そのため、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部は、この弾性部材１１０によって、ロッド１１の孔１１ａの内周面に支持される。これにより、ボールねじ軸７１の先端部の振れの発生を抑制することができる。   In this embodiment, the elastic member 110 is attached to the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. Therefore, the −Y side end of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110 on the inner peripheral surface of the hole 11 a of the rod 11. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of the deflection of the tip of the ball screw shaft 71.

例えば、図２３（Ａ）を参照するとわかるように、ボールねじ軸７１の先端に弾性部材１１０が取り付けられていない場合は、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、ロッド１１の孔１１ａの内周面に対して支持されないため、ボールねじ軸７１の先端部の振れが発生しやすくなる。特に、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に大きく移動している場合には、ボールねじナット７２から出力軸２３までの距離Ｌ２に対して、ボールねじナット７２からボールねじ軸７１の先端部までの距離Ｌ１が大きくなり、大きな振れが発生するおそれがある。   For example, as can be seen from FIG. 23A, when the elastic member 110 is not attached to the tip of the ball screw shaft 71, the end of the ball screw shaft 71 on the −Y side is the hole 11 a of the rod 11. Is not supported by the inner peripheral surface of the ball screw shaft 71, and the tip end of the ball screw shaft 71 tends to run out. In particular, when the ball screw nut 72 is largely moving in the + Y direction, the distance between the ball screw nut 72 and the tip of the ball screw shaft 71 is equal to the distance L2 from the ball screw nut 72 to the output shaft 23. The distance L1 is increased, and a large shake may occur.

これに対し、本実施形態においては、図２３（Ｂ）を参照するとわかるように、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、弾性部材１１０によって支持されているため、ボールねじナット７２が＋Ｙ方向に大きく移動している場合においても、ボールねじ軸７１の先端部の振れの発生を抑制することができる。これにより、ボールねじ軸７１の先端部の振れに起因したロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができ、ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。   On the other hand, in the present embodiment, as can be seen with reference to FIG. 23B, since the −Y side end of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110, the ball screw nut 72 is Even in the case where the ball screw shaft 71 is largely moved in the + Y direction, it is possible to suppress the occurrence of the deflection of the tip of the ball screw shaft 71. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of the deflection of the distal end of the rod 11 due to the deflection of the distal end of the ball screw shaft 71, and it is possible to prevent the working accuracy of the actuator 10 from lowering.

また、弾性部材１１０には、溝１１１が形成されているため、ロッド１１の移動時における空間Ｓの内圧の変化を防ぐことができる。例えば、弾性部材１１０に、溝１１１が形成されていない場合には、空間Ｓは、ロッド１１の孔１１ａと、弾性部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定された密閉空間となってしまう。このため、ロッド１１のＹ軸方向への移動に伴い、空間Ｓの内圧が変化し、ロッド１１の円滑な動きが阻害されてしまう。   Further, since the groove 111 is formed in the elastic member 110, it is possible to prevent a change in the internal pressure of the space S when the rod 11 moves. For example, when the groove 111 is not formed in the elastic member 110, the space S becomes a closed space defined by the hole 11a of the rod 11 and the −Y side surface of the elastic member 110. Therefore, the internal pressure of the space S changes with the movement of the rod 11 in the Y-axis direction, and the smooth movement of the rod 11 is hindered.

これに対し、本実施形態の弾性部材１１０には、溝１１１が形成されているため、空間Ｓ内の空気が、弾性部材１１０の溝１１１を介して流入出するため、空間Ｓの内圧を一定に保つことができ、空間Ｓの内圧変化によるロッド１１の動きへの影響を排除することができる。ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。   On the other hand, since the groove 111 is formed in the elastic member 110 of the present embodiment, the air in the space S flows in and out through the groove 111 of the elastic member 110, so that the internal pressure of the space S is kept constant. , And the influence of the change in the internal pressure of the space S on the movement of the rod 11 can be eliminated. As a result, it is possible to prevent the working accuracy of the actuator 10 from decreasing.

また、溝１１１が、ボールねじ軸７１の中心とする円周に沿って等間隔に複数形成されているため、ロッド１１の孔１１ａと弾性部材１１０との接触面積を小さくすることができる。これにより、ロッド１１の弾性部材１１０に対する摩擦係数を小さくすることができ、ロッド１１と弾性部材１１０との摩擦によるロッド１１の動きへの影響を小さくすることができる。ひいては、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。   Further, since a plurality of grooves 111 are formed at equal intervals along the circumference around the center of the ball screw shaft 71, the contact area between the hole 11a of the rod 11 and the elastic member 110 can be reduced. Accordingly, the coefficient of friction of the rod 11 with the elastic member 110 can be reduced, and the influence of the friction between the rod 11 and the elastic member 110 on the movement of the rod 11 can be reduced. As a result, it is possible to prevent the working accuracy of the actuator 10 from decreasing.

また、アクチュエータ１０は、カバー１８を有している。このため、このカバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側）から、アクチュエータ１０をボルトで固定することが可能になる。詳しくは、図２４に示すように、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定する場合、カバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側）から、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａを介して、ボルト１２１を作業台１２０のねじ孔１２０ａに挿入することができる。これにより、アクチュエータ１０の作業台１２０への取り付けがしやすくなる。   The actuator 10 has a cover 18. Therefore, by removing the cover 18, the actuator 10 can be fixed with bolts from the upper side (+ Z side) of the actuator 10. Specifically, as shown in FIG. 24, when the actuator 10 is fixed to the worktable 120, the cover 18 is removed, and a through hole formed in the base 61 of the rail portion 60 from the upper side (+ Z side) of the actuator 10. The bolt 121 can be inserted into the screw hole 120a of the workbench 120 via 61a. This facilitates attachment of the actuator 10 to the worktable 120.

これに対して、カバーを有さないアクチュエータの場合は、作業台に固定する場合、作業者が、作業台の下に潜り込んで下方（−Ｚ側）からアクチュエータを取り付けなければならない。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ１０においては、上側（＋Ｚ側）から作業台１２０に取り付けることができるため、アクチュエータ１０の取り付けの作業性を向上させることができる。   On the other hand, in the case of an actuator having no cover, when fixing the actuator to the worktable, the operator must sink under the worktable and attach the actuator from below (−Z side). However, in the actuator 10 according to the present embodiment, since the actuator 10 can be attached to the worktable 120 from the upper side (+ Z side), the workability of attaching the actuator 10 can be improved.

また、同様に、アクチュエータ１０は、カバー１８を有しているため、このカバー１８を取り外すことにより、上側（＋Ｚ側）から、ボール５０のグリスを、ガイド装置３０のリターン４０に形成された注入孔４８から注入することができる。これに対して、カバーを有さないアクチュエータの場合は、ボール５０のグリスを注入するためには、筐体等を分解する必要があり、グリスの注入作業が煩雑なものとなってしまう。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ１０においては、このカバー１８を取り外すことにより、上側（＋Ｚ側）から、グリスを注入孔４８から注入することができるため、グリスの注入作業の作業性を良好とすることができる。   Similarly, since the actuator 10 has the cover 18, by removing the cover 18, the grease of the ball 50 is injected from the upper side (+ Z side) into the return 40 of the guide device 30. It can be injected through hole 48. On the other hand, in the case of an actuator having no cover, it is necessary to disassemble the housing or the like in order to inject the grease of the ball 50, and the operation of injecting grease becomes complicated. However, in the actuator 10 according to the present embodiment, by removing the cover 18, grease can be injected from the injection hole 48 from the upper side (+ Z side), so that the workability of the grease injection operation is improved. can do.

また、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に螺合により固定されている。このため、ボルト等で固定する場合と比べて、強固に固定できるとともに、ボルト等の部品を別途用意する必要はなくなる。   Further, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 of the guide device 30 by screwing. For this reason, compared with the case of fixing with bolts or the like, it is possible to fix firmly and it is not necessary to separately prepare components such as bolts.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。   As described above, the embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited to the above embodiments and the like.

例えば、本実施形態においては、弾性部材１１０には、８つの溝１１１が形成されているが、これに限らず、図２５に示すように、４つの溝１１１を形成してもよい。また溝１１１を１つのみ形成してもよいし、８つよりも多くの溝１１１を形成してもよい。   For example, in the present embodiment, eight grooves 111 are formed in the elastic member 110, but the present invention is not limited to this, and four grooves 111 may be formed as shown in FIG. Further, only one groove 111 may be formed, or more than eight grooves 111 may be formed.

また、ガイド装置３０のスライド部３１とリターン４０との間には、複数のボール５０が配置されているが、これに限らず、ころ（ローラ）を配置してもよい。   Further, a plurality of balls 50 are arranged between the slide portion 31 of the guide device 30 and the return 40. However, the present invention is not limited to this, and rollers (rollers) may be arranged.

また、ロッド１１は、スライド部３１に螺合により固定されているが、これに限らず、ボルト等で固定してもよい。   Further, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 by screwing, but is not limited thereto, and may be fixed with a bolt or the like.

また、レール部６０の鋼製部材６４，６５には、溝部６４ａ，６５ａが形成されているが、レール部６０の側壁６２，６３に直接溝部を形成してもよい。   Although the steel members 64 and 65 of the rail portion 60 have the grooves 64a and 65a formed therein, the grooves may be formed directly on the side walls 62 and 63 of the rail portion 60.

《変形例１》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、鋼製部材６４，６５は、レール部６０の凹部６２ａ，６３ａに取り付けられている。しかしながら、これに限らず、図２６（Ａ）に示すように、鋼製部材６４，６５が、ガイド装置３０のレール部６０と一体に形成されていてもよい。この場合、ボール５０が転動するための溝部６４ａ，６５ａは、レール部６０の側壁６２，６３に、直接、形成される。このような場合においても、上記実施形態と同様に、出力軸２３の回転に起因したトルクが、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくく、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。 << Modification 1 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the steel members 64 and 65 are attached to the concave portions 62 a and 63 a of the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this, and the steel members 64 and 65 may be formed integrally with the rail portion 60 of the guide device 30 as shown in FIG. In this case, the groove portions 64 a and 65 a for rolling the ball 50 are formed directly on the side walls 62 and 63 of the rail portion 60. Even in such a case, similarly to the above-described embodiment, the torque caused by the rotation of the output shaft 23 is not easily transmitted to the rod 11 via the guide device 30, and the occurrence of the deflection of the distal end of the rod 11 is suppressed. be able to.

また、図２６（Ａ）に示す変形例では、スライド部３１は、レール部６０の側壁６２と側壁６３との間に嵌め込まれて、レール部６０に取り付けられている。しかしながら、これに限られない。図２６（Ｂ）に示す変形例では、側壁６２，６３の代わりに、Ｙ軸方向に沿った線状の凸部１３０が、レール部６０に形成されている。この凸部１３０が、スライド部本体３２の凸部３３と凸部３４との間に嵌め込まれることで、スライド部３１は、レール部６０に取り付けられていてもよい。   In the modification shown in FIG. 26A, the slide portion 31 is fitted between the side wall 62 and the side wall 63 of the rail portion 60 and attached to the rail portion 60. However, it is not limited to this. In the modification shown in FIG. 26B, instead of the side walls 62 and 63, a linear protrusion 130 along the Y-axis direction is formed on the rail 60. The slide portion 31 may be attached to the rail portion 60 by fitting the protrusion 130 between the protrusion 33 and the protrusion 34 of the slide portion main body 32.

また、図２６（Ａ）及び（Ｂ）では、スライド部本体３２及びリターン４０は、別の部材に構成されている。しかしながら、これに限らず、図２６（Ｃ）に示すように、スライド部本体３２及びリターン４０が、一体に構成されていてもよい。   In FIGS. 26A and 26B, the slide portion main body 32 and the return 40 are formed as separate members. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 26C, the slide portion main body 32 and the return 40 may be integrally formed.

上述した図１〜２４に示す実施形態や、図２６（Ａ）〜（Ｃ）に示す変形例では、ボール５０を転動するための溝部３３ａ，３４ａ，６４ａ，６５ａは、スライド部本体３２と、レール部６０とにそれぞれ２つずつ形成されている。これにより、ボール５０は、２つの軌道（図１０における軌道Ｔ１、Ｔ２）に沿って転動する。しかしながら、これに限らず、ボール５０は、図２６（Ｄ）に示すように、３つの軌道に沿って転動してもよい。ボール５０が転動する軌道の数が増加することにより、ロッド１１の先端部の振れの発生を、より効果的に抑制できるようになる。なお、ボール５０が転動する軌道の数は、４つ以上であってもよい。   In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above and the modified examples shown in FIGS. 26A to 26C, the grooves 33a, 34a, 64a, and 65a for rolling the ball 50 are , And two rail portions 60. Thus, the ball 50 rolls along two trajectories (trajectories T1 and T2 in FIG. 10). However, the present invention is not limited to this, and the ball 50 may roll along three trajectories as shown in FIG. By increasing the number of orbits on which the ball 50 rolls, it is possible to more effectively suppress the occurrence of deflection of the tip of the rod 11. The number of tracks on which the ball 50 rolls may be four or more.

また、ガイド装置３０は、図２７（Ｅ）に示すように、スライド部３１の直線運動に伴って、レール部６０上を回転するローラ１３１を備えていてもよい。これにより、スライド部３１のＹ軸方向への直線運動が安定し、結果的に、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制できるようになる。また、この場合、図２７（Ｆ）に示すように、ボール５０が転動する軌道の数を、１つのみにすることもできる。   In addition, as shown in FIG. 27E, the guide device 30 may include a roller 131 that rotates on the rail portion 60 with the linear movement of the slide portion 31. Thus, the linear movement of the slide portion 31 in the Y-axis direction is stabilized, and as a result, the occurrence of the deflection of the distal end portion of the rod 11 can be suppressed. In this case, as shown in FIG. 27 (F), the number of trajectories on which the ball 50 rolls can be reduced to only one.

また、図２７（Ｇ）に示す変形例では、スライド部３１の凸部３３の＋Ｘ側の面には、Ｙ軸方向に沿った線上の突起１３２が形成され、スライド部３１の凸部３４の−Ｘ側の面には、Ｙ軸方向に沿った線上の突起１３３が形成されている。そして、これらの突起１３２，１３３が、レール部の凹部６２ａ，６３ａに摺動可能に嵌め込まれている。この場合、ボール５０が転動する軌道の数を、１つのみにすることもできる。   In the modification shown in FIG. 27G, a projection 132 on a line along the Y-axis direction is formed on the surface on the + X side of the convex portion 33 of the slide portion 31. On the −X side surface, a projection 133 on a line along the Y-axis direction is formed. The projections 132 and 133 are slidably fitted in the recesses 62a and 63a of the rail. In this case, the number of trajectories on which the ball 50 rolls may be set to only one.

上述した図１〜２４に示す実施形態や変形例では、ボール５０を転動するための溝部３３ａ，３４ａ，６４ａ，６５ａは、スライド部本体３２と、レール部６０とに形成されている。しかしながら、これに限らず、図２７（Ｈ）に示すように、カバー１８に、ボール５０を転動するための溝部が形成されていてもよい。   In the embodiment and the modification shown in FIGS. 1 to 24 described above, the grooves 33 a, 34 a, 64 a, and 65 a for rolling the ball 50 are formed in the slide portion main body 32 and the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this, and a groove for rolling the ball 50 may be formed in the cover 18 as shown in FIG.

上述した図１〜２４に示す実施形態や、図２６（Ａ）に示す変形例では、ボール５０が転動する軌道は、スライド部本体３２の＋Ｘ側と−Ｘ側とに、それぞれ１つずつ形成されている。しかしながら、これに限らず、ボール５０が転動する軌道は、図２８（Ｉ）に示すように、スライド部本体３２の＋Ｘ側と−Ｘ側とに、それぞれ２つずつ形成されていてもよい。ボール５０が転動する軌道が、それぞれ２つずつ形成されることにより、ロッド１１の先端部の振れの発生を、より効果的に抑制できるようになる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above and the modification shown in FIG. 26A, the trajectory on which the ball 50 rolls is one for each of the + X side and the −X side of the slide portion main body 32. Is formed. However, the present invention is not limited to this, and two orbits on which the ball 50 rolls may be formed on each of the + X side and the −X side of the slide portion main body 32 as shown in FIG. . By forming two trajectories on which the ball 50 rolls, it is possible to more effectively suppress the occurrence of deflection of the distal end portion of the rod 11.

また、図２８（Ｉ）に示す変形例では、スライド部３１は、レール部６０の側壁６２と側壁６３との間に嵌め込まれて、レール部６０に取り付けられる。しかしながら、これに限らず、図２８（Ｊ）に示すように、レール部６０に形成された凸部１３０が、スライド部本体３２の凸部３３と凸部３４との間に嵌め込まれることで、スライド部３１は、レール部６０に取り付けられていてもよい。また、図２８（Ｉ）及び（Ｊ）においては、ボール５０が転動する軌道は、スライド部本体３２の＋Ｘ側と−Ｘ側とに、それぞれ２つずつ形成されているが、３つ以上形成されていてもよい。   In the modification shown in FIG. 28I, the slide portion 31 is fitted between the side wall 62 and the side wall 63 of the rail portion 60 and attached to the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 28 (J), the protrusion 130 formed on the rail portion 60 is fitted between the protrusion 33 and the protrusion 34 of the slide portion main body 32. The slide part 31 may be attached to the rail part 60. Further, in FIGS. 28 (I) and (J), two orbits on which the ball 50 rolls are formed on each of the + X side and the −X side of the slide portion main body 32. It may be formed.

また、図２６（Ｂ）に示す変形例に係るスライド部３１は、１つのリターン４０を有している。しかしながら、これに限らず、図２８（Ｋ）に示すように、２つのリターン４０を有していてもよい。また、スライド部３１は、３つ以上のリターン４０を有していてもよい。   Further, the slide portion 31 according to the modification shown in FIG. 26B has one return 40. However, the present invention is not limited to this, and may have two returns 40 as shown in FIG. Further, the slide portion 31 may have three or more returns 40.

また、図２８（Ｋ）に示す変形例では、２つのリターン４０は、いずれも、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）に固定されているが、これに限られない。例えば、図２８（Ｌ）に示すように、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）と、側面（−Ｘ側の面）とに固定されていてもよい。   Further, in the modified example shown in FIG. 28 (K), each of the two returns 40 is fixed to the lower surface (the surface on the −Z side) of the slide portion main body 32, but is not limited thereto. For example, as shown in FIG. 28 (L), the slide unit body 32 may be fixed to the lower surface (−Z side surface) and the side surface (−X side surface).

また、上述した実施形態等では、ボール５０が転動する溝部の内面は、図７（Ａ）、図１２（Ａ）及び図１３に示すように、ゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、ボール等の転動体の曲率半径よりも大きな曲率半径で形成されたサーキュラー形状であってもよい。   In the above-described embodiment and the like, the inner surface of the groove on which the ball 50 rolls is formed in a Gothic arch shape as shown in FIGS. 7A, 12A, and 13. However, the present invention is not limited to this, and may be a circular shape formed with a radius of curvature larger than the radius of curvature of a rolling element such as a ball.

《変形例２》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、ガイド装置３０は、１つのスライド部３１を有しているが、スライド部３１の数は任意である。以下、２つのスライド部３１を有している変形例２について、図２９を用いて説明する。 << Modification 2 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the guide device 30 has one slide portion 31, but the number of slide portions 31 is arbitrary. Hereinafter, Modification 2 having two slide portions 31 will be described with reference to FIG. 29.

本変形例２に係るガイド装置３０では、図２９（Ａ）に示すように、２つのスライド部３１が、レール部６０に取り付けられている。ロッド１１は、図２９（Ｂ）に示すように、２つのスライド部３１に跨って固定される。   In the guide device 30 according to the second modification, as shown in FIG. 29A, two slide portions 31 are attached to the rail portion 60. The rod 11 is fixed across two slide portions 31 as shown in FIG.

これにより、モータユニット２０の出力軸の回転に起因したトルクが、上記実施形態（図１〜図２４に示す実施形態）のものよりも、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくく、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。ひいては、ロッド１１に固定された先端金具１２の振れを抑制することができ、アクチュエータ１０の作業精度の低下を防ぐことができる。   Thereby, the torque caused by the rotation of the output shaft of the motor unit 20 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30 than in the above-described embodiment (the embodiment shown in FIGS. 1 to 24). It is possible to suppress the occurrence of run-out at the tip of the eleventh portion. As a result, it is possible to suppress the deflection of the tip fitting 12 fixed to the rod 11, and to prevent the working accuracy of the actuator 10 from being lowered.

また、２つのスライド部３１が、レール部６０に取り付けられているため、ロッド１１は、より円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。   Further, since the two slide portions 31 are attached to the rail portion 60, the rod 11 can reciprocate more smoothly and stably in the Y-axis direction.

本変形例２においては、スライド部３１は、レール部６０に２つ取り付けられているが、これに限らず、３つ以上取り付けられていてもよい。   In the second modification, two slide units 31 are attached to the rail unit 60, but the present invention is not limited to this, and three or more slide units 31 may be attached.

《変形例３》
本変形例３に係るガイド装置３０及びアクチュエータ１０では、図３０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、スライド部３１が、上記実施形態（図１〜図２４に示す実施形態）のものよりも、Ｙ軸方向に長く形成されている。このため、ロッド１１が、スライド部３１に固定された場合、モータユニット２０の出力軸の回転に起因したトルクが、上記実施形態のものよりも、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくくなる。結果的に、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。 《Modification 3》
In the guide device 30 and the actuator 10 according to the third modification, as shown in FIGS. 30A and 30B, the slide portion 31 is formed as compared with the above embodiment (the embodiment shown in FIGS. 1 to 24). Are formed long in the Y-axis direction. For this reason, when the rod 11 is fixed to the slide portion 31, the torque caused by the rotation of the output shaft of the motor unit 20 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30 than in the above embodiment. Become. As a result, it is possible to suppress the occurrence of deflection of the distal end portion of the rod 11.

また、スライド部３１が、Ｙ軸方向に長く形成されているため、ロッド１１は、より円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。   Further, since the slide portion 31 is formed to be long in the Y-axis direction, the rod 11 can reciprocate more smoothly and stably in the Y-axis direction.

また、スライド部３１のＹ軸方向の長さを長くするだけでなく、スライド部３１とレール部６０との間に配置されたボール５０の径を大きくすることによっても、モータユニット２０の出力軸の回転に起因したトルクが、ガイド装置３０を介して、ロッド１１に伝わりにくくなる。結果的に、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。また、ロッド１１は、より円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。   In addition to increasing the length of the slide portion 31 in the Y-axis direction, the output shaft of the motor unit 20 can be increased by increasing the diameter of the ball 50 disposed between the slide portion 31 and the rail portion 60. Is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30. As a result, it is possible to suppress the occurrence of deflection of the distal end portion of the rod 11. Further, the rod 11 can reciprocate more smoothly and stably in the Y-axis direction.

《変形例４》
本変形例４に係るアクチュエータ１０は、図３１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ガイドロッドユニット１４０を有している。ガイドロッドユニット１４０は、ガイドロッド１４１と、ブッシュハウジング１４２と、ボールブッシュ１４３と、連結部材１４４とを有する。 《Modification 4》
The actuator 10 according to the fourth modification has a guide rod unit 140 as shown in FIGS. 31 (A) and (B). The guide rod unit 140 has a guide rod 141, a bush housing 142, a ball bush 143, and a connecting member 144.

ガイドロッド１４１は、作業軸であるロッド１１とともにＹ軸方向に移動することにより、ロッド１１を案内する。ガイドロッド１４１は、ボールブッシュ１４３にＹ軸方向に移動可能に支持されている。また、ガイドロッド１４１の−Ｙ側の端部は、連結部材１４４によって、ロッド１１の先端金具１２に連結されている。ガイドロッド１４１の−Ｙ側の端部は、ボルト等によって、連結部材１４４に固定される。ロッド１１の先端金具１２は、ナット等によって、連結部材１４４に固定される。   The guide rod 141 guides the rod 11 by moving in the Y-axis direction together with the rod 11 serving as a working axis. The guide rod 141 is supported by the ball bush 143 so as to be movable in the Y-axis direction. Further, the end on the −Y side of the guide rod 141 is connected to the distal end fitting 12 of the rod 11 by a connecting member 144. The −Y side end of the guide rod 141 is fixed to the connecting member 144 by a bolt or the like. The tip fitting 12 of the rod 11 is fixed to the connecting member 144 by a nut or the like.

ブッシュハウジング１４２は、フロントハウジング８０に固定されている。ブッシュハウジング１４２には、貫通孔１４２ａが形成されており、この貫通孔１４２ａには、ボールブッシュ１４３が嵌め込まれている。ボールブッシュ１４３は、例えば、Ｃ形状に形成されたリング等によって、ブッシュハウジング１４２から抜け止めされている。   The bush housing 142 is fixed to the front housing 80. A through hole 142a is formed in the bush housing 142, and a ball bush 143 is fitted into the through hole 142a. The ball bush 143 is prevented from falling out of the bush housing 142 by, for example, a ring formed in a C shape.

ボールブッシュ１４３は、内部に配置されたボール１４５の転動により、ガイドロッド１４１を円滑に移動させる部材である。ボールブッシュ１４３は、貫通孔が形成された略円筒形状に形成されている。この貫通孔の内周面には、Ｙ軸方向に沿って、複数のスリット１４３ａが形成されている。スリット１４３ａには、ボール１４５が配置される。スリット１４３ａに配置されたボール１４５は、スリット１４３ａの内周面と、ガイドロッド１４１の外周面との間に挟まれることで、ガイドロッド１４１の移動に伴って転動する。また、ボールブッシュ１４３の内部には、ボール循環路１４３ｂが形成されている。スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間を転動したボール１４５は、このボール循環路１４３ｂを通過することで、再び、スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間に移動する。   The ball bush 143 is a member that moves the guide rod 141 smoothly by rolling of the ball 145 disposed inside. The ball bush 143 is formed in a substantially cylindrical shape having a through hole. A plurality of slits 143a are formed on the inner peripheral surface of the through hole along the Y-axis direction. Ball 145 is arranged in slit 143a. The ball 145 arranged in the slit 143a rolls with the movement of the guide rod 141 by being sandwiched between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141. A ball circulation path 143b is formed inside the ball bush 143. The ball 145 that has rolled between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 passes through the ball circulation path 143b, so that the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 again. To move between.

本変形例４に係るアクチュエータ１０において、作業軸であるロッド１１が−Ｙ方向に移動すると、連結部材１４４によって、ロッド１１にガイドロッド１４１が連結されているため、図３２に示すように、ガイドロッド１４１も、−Ｙ方向に移動する。このとき、ガイドロッド１４１が−Ｙ方向に移動することにより、スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間を、ボール１４５が転動する。スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間を転動したボール１４５は、ボール循環路１４３ｂに移動する。そして、ボール循環路１４３ｂを通過して、再び、スリット１４３ａの内周面とガイドロッド１４１の外周面との間に移動し、転動する。   In the actuator 10 according to the fourth modification, when the rod 11 serving as the working axis moves in the −Y direction, the guide rod 141 is connected to the rod 11 by the connecting member 144, and as shown in FIG. The rod 141 also moves in the -Y direction. At this time, when the guide rod 141 moves in the −Y direction, the ball 145 rolls between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141. The ball 145 that has rolled between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 moves to the ball circulation path 143b. Then, it passes through the ball circulation path 143b, moves again between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141, and rolls.

本変形例４に係るアクチュエータ１０によれば、ガイドロッドユニット１４０を有しているため、ロッド１１の先端部（−Ｙ側の端部）の剛性を高くすることができる。このため、ロッド１１の先端部の振れの発生を抑制することができる。また。ロッド１１は、円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。   According to the actuator 10 of the fourth modification, since the guide rod unit 140 is provided, the rigidity of the distal end portion (the end portion on the −Y side) of the rod 11 can be increased. For this reason, it is possible to suppress the occurrence of the deflection of the tip portion of the rod 11. Also. The rod 11 can smoothly and stably reciprocate in the Y-axis direction.

本変形例４に係るアクチュエータ１０においては、ブッシュハウジング１４２に、ボールブッシュ１４３が嵌め込まれている。しかしながら、これに限らず、オイルレスベアリング等のすべり軸受が嵌めこまれていてもよい。   In the actuator 10 according to the fourth modification, the ball bush 143 is fitted in the bush housing 142. However, the present invention is not limited to this, and a sliding bearing such as an oilless bearing may be fitted.

《変形例５》
本変形例５に係るアクチュエータ１０は、図３３に示すように、一対のガイドロッドユニット１４０を有している。これにより、本変形例４に係るアクチュエータ１０よりも、ロッド１１の先端部（−Ｙ側の端部）の剛性を、さらに高くすることができる。結果として、ロッド１１の先端部の振れの発生を、さらに抑制することができる。また、ロッド１１は、さらに円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。 《Modification 5》
The actuator 10 according to the fifth modification has a pair of guide rod units 140 as shown in FIG. Thereby, the rigidity of the distal end portion (the end portion on the −Y side) of the rod 11 can be further increased as compared with the actuator 10 according to Modification Example 4. As a result, it is possible to further suppress the occurrence of deflection of the distal end portion of the rod 11. Moreover, the rod 11 can reciprocate more smoothly and stably in the Y-axis direction.

本変形例５に係るアクチュエータ１０は、一対のガイドロッドユニット１４０を有しているが、これに限らず、３つ以上のガイドロッドユニット１４０を有していてもよい。この場合、ロッド１１の先端部（−Ｙ側の端部）の剛性を、さらに高くすることができる。   The actuator 10 according to Modification 5 has a pair of guide rod units 140, but is not limited thereto, and may have three or more guide rod units 140. In this case, the rigidity of the distal end (the end on the −Y side) of the rod 11 can be further increased.

《変形例６》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、フロントハウジング８０にオイルレスベアリング８２が配置されることにより、ロッド１１は、Ｙ軸方向に移動可能に支持されているが、支持構造自体は任意である。以下、ロッド１１の支持構造として、ボールブッシュ１５０を使用する変形例６について、図３４を用いて説明する。 《Modification 6》
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the rod 11 is supported movably in the Y-axis direction by disposing the oilless bearing 82 in the front housing 80, but the support structure itself is optional. It is. Hereinafter, a sixth modification in which the ball bush 150 is used as the support structure of the rod 11 will be described with reference to FIG.

ボールブッシュ１５０は、内部に配置されたボール１５１の転動により、ロッド１１を円滑に移動させる。ボールブッシュ１５０は、上述の変形例４に係るガイドロッドユニット１４０のボールブッシュ１４３と同等の構造を有している。ボール１５１が、ボールブッシュ１５０の貫通孔の内周面に形成されたスリット１５０ａの内周面と、ロッド１１の外周面との間に挟まれつつ、転動することにより、ロッド１１は、Ｙ軸方向に移動する。   The ball bush 150 smoothly moves the rod 11 by rolling of the ball 151 arranged inside. The ball bush 150 has a structure similar to that of the ball bush 143 of the guide rod unit 140 according to the fourth modification. When the ball 151 rolls while being sandwiched between the inner peripheral surface of the slit 150 a formed in the inner peripheral surface of the through hole of the ball bush 150 and the outer peripheral surface of the rod 11, the rod 11 becomes Y Move in the axial direction.

本変形例６によれば、フロントハウジング８０にボールブッシュ１５０が配置されることにより、ロッド１１は、円滑に、かつ、安定して、Ｙ軸方向に往復運動することができる。   According to the sixth modification, by arranging the ball bush 150 in the front housing 80, the rod 11 can smoothly and stably reciprocate in the Y-axis direction.

《変形例７》
上述した図１〜２４に示す実施形態においては、図１４を参照するとわかるように、ロッド１１は、スライド部３１に螺合により固定されているが、固定方法は任意である。以下、ロッド１１の別の固定方法の例について、図３５及び図３６を用いて説明する。 《Modification 7》
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, as can be seen with reference to FIG. 14, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 by screwing, but the fixing method is arbitrary. Hereinafter, another example of the fixing method of the rod 11 will be described with reference to FIGS. 35 and 36.

図３５（Ａ）に示すガイド装置３０では、スライド部本体３２の上方に割り溝１６１と、割り溝１６１を貫通するようにねじ孔１６２とが形成されている。そして、ロッド１１を、スライド部３１に固定する場合は、先ず、ロッド１１を、スライド部本体３２に形成された貫通孔３２ａに挿入する。そして、ボルト１６０を、ねじ孔１６２に捻じ込む。ボルト１６０を捻じ込んでいくことにより、割り溝１６１の溝幅が小さくなっていき、これに伴い、スライド部本体３２に形成された貫通孔３２ａの径も小さくなる。この結果、ロッド１１が、スライド部３１に固定される。このような固定方法でも、ロッド１１を強固に固定することができる。   In the guide device 30 shown in FIG. 35 (A), a split groove 161 and a screw hole 162 are formed above the slide portion main body 32 so as to penetrate the split groove 161. Then, when fixing the rod 11 to the slide portion 31, first, the rod 11 is inserted into a through hole 32 a formed in the slide portion main body 32. Then, the bolt 160 is screwed into the screw hole 162. As the bolts 160 are screwed in, the groove width of the split groove 161 becomes smaller, and accordingly, the diameter of the through hole 32 a formed in the slide portion main body 32 also becomes smaller. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31. Even with such a fixing method, the rod 11 can be firmly fixed.

図３５（Ｂ）に示すガイド装置３０では、スライド部本体３２の上面（＋Ｚ側の面）には、貫通孔３２ａに通じるねじ孔１６３が形成されている。ロッド１１を、スライド部３１に固定する場合は、先ず、ロッド１１を、スライド部３１のスライド部本体３２に形成された貫通孔３２ａに挿入し、押しねじ１６４を、ねじ孔１６３に捻じ込む。押しねじ１６４を捻じ込んでいくことにより、押しねじ１６４の先端部が、ロッド１１の外周面に当接し、この結果、ロッド１１が、スライド部３１に固定される。押しねじ１６４には、例えば、いもねじが用いられる。   In the guide device 30 shown in FIG. 35B, a screw hole 163 communicating with the through hole 32a is formed on the upper surface (the surface on the + Z side) of the slide portion main body 32. When the rod 11 is fixed to the slide portion 31, first, the rod 11 is inserted into a through hole 32 a formed in the slide portion main body 32 of the slide portion 31, and the push screw 164 is screwed into the screw hole 163. By screwing in the push screw 164, the tip of the push screw 164 comes into contact with the outer peripheral surface of the rod 11, and as a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31. For the push screw 164, for example, a potato screw is used.

図３６（Ａ）に示すガイド装置３０では、スライド部本体３２が、２つの部材から構成されている。詳しくは、スライド部本体３２は、下側部材１６５と、下側部材１６５の＋Ｚ側に取り付けられた上側部材１６６とを有する。下側部材１６５には、ボルト１６０を螺合するねじ孔１６５ａが、形成されている。また、上側部材１６６には、ボルト１６０を挿通する挿通孔１６６ａが、ねじ孔１６５ａと同軸上に形成されている。そして、ロッド１１を固定する場合は、ボルト１６０を、ねじ孔１６５ａに捻じ込み、下側部材１６５と上側部材１６６との間でロッド１１を挟み込む。これにより、ロッド１１が、スライド部３１に固定される。   In the guide device 30 shown in FIG. 36A, the slide portion main body 32 is composed of two members. Specifically, the slide portion main body 32 has a lower member 165 and an upper member 166 attached to the + Z side of the lower member 165. A screw hole 165a into which the bolt 160 is screwed is formed in the lower member 165. Further, an insertion hole 166a for inserting the bolt 160 is formed in the upper member 166 coaxially with the screw hole 165a. Then, when fixing the rod 11, the bolt 160 is screwed into the screw hole 165a, and the rod 11 is sandwiched between the lower member 165 and the upper member 166. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31.

ロッド１１の固定方法は、図３５（Ａ）、図３５（Ｂ）、及び図３６（Ａ）に示すものに限られない。例えば、ロッド１１は、溶接によって、スライド部３１に固定されていてもよい。また、ロッド１１は、摩擦接合、かしめ、圧入、焼きばめ、冷やしばめ、クランプ等によって、スライド部３１に固定されていてもよい。さらに、図３６（Ｂ）に示すように、ロッド１１とスライド部本体３２とは、一体に形成されていてもよい。   The method of fixing the rod 11 is not limited to the method shown in FIGS. 35 (A), 35 (B), and 36 (A). For example, the rod 11 may be fixed to the slide portion 31 by welding. Further, the rod 11 may be fixed to the slide portion 31 by friction welding, crimping, press fitting, shrink fitting, cold fitting, clamping, or the like. Further, as shown in FIG. 36B, the rod 11 and the slide portion main body 32 may be formed integrally.

《変形例８》
また、図２４に示すように、上述した実施形態に係るアクチュエータ１０は、カバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側、アクチュエータ１０の表側）から、ボルト１２１で、作業台１２０に固定されている。しかしながら、アクチュエータ１０の固定方法は、任意である。例えば、作業台１２０の下側（アクチュエータ１０の裏側）から、ボルトを、作業台１２０の孔と、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａとにそれぞれ挿入した上で、ナットに螺合することによって、アクチュエータ１０は、作業台１２０に固定されていてもよい。また、貫通孔６１ａの内周面を、ねじ面から構成し、作業台１２０の下側から、ボルトを、作業台１２０の孔に挿入した上で、ベース６１に形成された貫通孔６１ａに螺合することによって、アクチュエータ１０は、作業台１２０に固定されていてもよい。 << Modification 8 >>
As shown in FIG. 24, the actuator 10 according to the above-described embodiment is fixed to the worktable 120 with the bolts 121 from above the actuator 10 (+ Z side, front side of the actuator 10) by removing the cover 18. Have been. However, the method of fixing the actuator 10 is arbitrary. For example, a bolt is inserted into the hole of the work table 120 and the through-hole 61 a formed in the base 61 of the rail portion 60 from below the work table 120 (the back side of the actuator 10), and then screwed into the nut. By combining, the actuator 10 may be fixed to the work table 120. Further, the inner peripheral surface of the through hole 61a is formed of a screw surface, a bolt is inserted into the hole of the work table 120 from below the work table 120, and then screwed into the through hole 61a formed in the base 61. By combining, the actuator 10 may be fixed to the work table 120.

また、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａは、図３７に示すように、内周面が円滑な面で構成された挿通孔１７０と、内周面がねじ面で構成されたねじ孔１７１との２種類の孔を含んで構成されていてもよい。例えば、貫通孔６１ａが、合計で１０個形成されている場合は、挿通孔１７０を６個形成し、ねじ孔１７１を４個形成してもよい。   As shown in FIG. 37, the through-hole 61a formed in the base 61 of the rail portion 60 has an insertion hole 170 whose inner peripheral surface is formed as a smooth surface, and an inner peripheral surface formed as a screw surface. It may be configured to include two types of holes such as a screw hole 171. For example, when ten through holes 61a are formed in total, six insertion holes 170 may be formed and four screw holes 171 may be formed.

例えば、貫通孔６１ａが、ねじ孔の１種類のみで構成されている場合は、作業台１２０の下側から、ボルトを、作業台１２０の孔に挿入した上で、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定することになる。この場合、貫通孔６１ａが、ねじ孔であるため、作業台１２０の上側から、ボルトを貫通孔６１ａに挿入して、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定することが困難である。   For example, when the through-hole 61a is formed of only one type of screw hole, a bolt is inserted into the hole of the work table 120 from below the work table 120, and then the actuator 10 is inserted into the work table 120. Will be fixed. In this case, since the through hole 61a is a screw hole, it is difficult to insert the bolt into the through hole 61a from above the work table 120 and fix the actuator 10 to the work table 120.

しかしながら、貫通孔６１ａが、挿通孔１７０と、ねじ孔１７１との２種類の孔を含んで構成されている場合は、アクチュエータ１０を取り付ける作業者は、アクチュエータ１０の設置環境に合わせて、図３７（Ａ）に示すように、アクチュエータ１０の上側（表側）から取り付けたり、図３７（Ｂ）に示すように、作業台１２０の裏側（下側）から取り付けたりすることができる。   However, when the through-hole 61a is configured to include two types of holes, the insertion hole 170 and the screw hole 171, the operator attaching the actuator 10 needs to adjust the installation environment of the actuator 10 as shown in FIG. As shown in (A), it can be attached from the upper side (front side) of the actuator 10 or, as shown in FIG.

《変形例９》
変形例９に係るガイド装置３０では、スライド部３１のスライド部本体３２に、グリスを注入するための注入孔１８０が形成されている。注入孔１８０は、スライド部本体３２の内部に形成されたグリス通路を介して、貫通孔３２ａに通じている。この注入孔１８０からグリスが注入されることにより、グリスが、ボールねじナット７２とボールねじ軸７１との間に嵌め込まれた剛性の球体に供給される。 《Modification 9》
In the guide device 30 according to Modification 9, an injection hole 180 for injecting grease is formed in the slide portion main body 32 of the slide portion 31. The injection hole 180 communicates with the through hole 32a via a grease passage formed inside the slide portion main body 32. When grease is injected from the injection hole 180, the grease is supplied to a rigid sphere fitted between the ball screw nut 72 and the ball screw shaft 71.

変形例９に係るガイド装置３０を有するアクチュエータ１０においては、ボールねじ７０の剛性の球体のグリスを、スライド部本体３２に形成された注入孔１８０から注入することができる。例えば、カバーを有さないアクチュエータの場合は、ボールねじ７０の球体のグリスを注入するためには、筐体等を分解する必要があり、グリスの注入作業が煩雑なものとなってしまう。しかしながら、変形例９においては、カバー１８を取り外すことにより、注入孔１８０から、ボールねじ７０の球体に、グリスを注入することができる。これにより、グリスの注入作業の作業性を良好とすることができる。また、スライド部３１のリターン４０には、ガイド装置３０のボール５０へグリスを注入するための注入孔４８も形成されているため、カバー１８を取り外すことにより、ボールねじ７０の球体と、ガイド装置３０のボール５０とのいずれにも、グリスを注入することができる。これにより、グリスの注入作業の作業性を、さらに良好とすることができる。   In the actuator 10 having the guide device 30 according to the ninth modification, the rigid grease of the ball screw 70 can be injected from the injection hole 180 formed in the slide portion main body 32. For example, in the case of an actuator having no cover, it is necessary to disassemble the housing and the like in order to inject the grease of the sphere of the ball screw 70, and the operation of injecting grease becomes complicated. However, in the ninth modification, grease can be injected into the sphere of the ball screw 70 from the injection hole 180 by removing the cover 18. Thereby, the workability of the grease injection work can be improved. Further, since the injection hole 48 for injecting grease into the ball 50 of the guide device 30 is also formed in the return 40 of the slide portion 31, the sphere of the ball screw 70 is removed by removing the cover 18. Grease can be injected into any of the 30 balls 50. Thereby, the workability of the grease injection operation can be further improved.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。   The present invention is capable of various embodiments and modifications without departing from the broad spirit and scope of the invention. The embodiments described above are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

（付記１）
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続され、先端に工具が取り付けられる作業軸と、
前記作業軸に固定され、前記作業軸の運動方向に沿って第１溝部が形成されたスライド部と、
前記第１溝部に対向し、前記作業軸の運動方向に沿って第２溝部が形成され、剛性の素材からなるレール部と、
剛性の素材からなり、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。 (Appendix 1)
A motor with a rotating shaft,
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotation of the rotation shaft, and a ball screw nut that linearly moves with the rotation of the ball screw shaft,
A work shaft connected to the ball screw nut so as to linearly move with the ball screw nut, and a tool attached to a tip;
A sliding portion fixed to the working shaft and having a first groove formed along a movement direction of the working shaft;
A second groove portion is formed along the direction of movement of the working axis, facing the first groove portion, and a rail portion made of a rigid material;
A rolling element made of a rigid material, rolling the first groove and the second groove by being sandwiched between the first groove and the second groove, and movably supporting the slide;
An actuator, comprising:

（付記２）
前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有し、
前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動した前記転動体は、前記転動体循環路を通過して、前記第１溝部と前記第２溝部との間に移動し、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動することを特徴とする付記１に記載のアクチュエータ。 (Appendix 2)
The sliding portion has a rolling element housing unit in which a rolling element circulation path through which the rolling elements pass is formed,
The rolling element that has rolled between the first groove section and the second groove section passes through the rolling element circulation path, moves between the first groove section and the second groove section, and again, 2. The actuator according to claim 1, wherein the actuator rolls between a first groove and the second groove.

（付記３）
前記転動体は、球形状に形成され、
前記第１溝部及び前記第２溝部の内面は、湾曲面として構成されており、
前記湾曲面の曲率半径は、前記転動体の半径と同等であることを特徴とする付記２に記載のアクチュエータ。 (Appendix 3)
The rolling element is formed in a spherical shape,
Inner surfaces of the first groove portion and the second groove portion are configured as curved surfaces,
3. The actuator according to claim 2, wherein a radius of curvature of the curved surface is equal to a radius of the rolling element.

（付記４）
前記スライド部の前記第１溝部、前記レール部の前記第２溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ２つずつ形成され、
前記転動体は、前記第１溝部と前記第２溝部とに、前記作業軸の運動方向と直交する方向に挟まれることを特徴とする付記３に記載のアクチュエータ。 (Appendix 4)
The first groove portion of the slide portion, the second groove portion of the rail portion, and the rolling element circulation path are each formed two by two,
The actuator according to claim 3, wherein the rolling element is sandwiched between the first groove and the second groove in a direction orthogonal to a direction of movement of the working shaft.

（付記５）
前記作業軸は、前記ボールねじ軸の先端部が挿入されるための孔が形成された円筒形状に形成され、
前記ボールねじ軸の前記先端部には、前記作業軸の前記孔の内周面と接触する弾性部材が配置されていることを特徴とする付記１乃至４のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 5)
The working shaft is formed in a cylindrical shape having a hole for inserting a tip portion of the ball screw shaft,
The actuator according to any one of Appendices 1 to 4, wherein an elastic member that is in contact with an inner peripheral surface of the hole of the working shaft is disposed at the distal end portion of the ball screw shaft.

（付記６）
前記弾性部材には、前記作業軸の運動方向に沿って、溝が形成されていることを特徴とする付記５に記載のアクチュエータ。 (Appendix 6)
The actuator according to claim 5, wherein a groove is formed in the elastic member along a movement direction of the working shaft.

（付記７）
前記弾性部材に形成された前記溝は、前記ボールねじ軸の中心とする円周に沿って等間隔に複数形成されていることを特徴とする付記６に記載のアクチュエータ。 (Appendix 7)
7. The actuator according to claim 6, wherein a plurality of the grooves formed in the elastic member are formed at equal intervals along a circumference centered on the ball screw shaft.

（付記８）
前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記１乃至７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 8)
An external thread portion is formed on the working shaft,
A female screw portion is formed on the slide portion,
The actuator according to any one of supplementary notes 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by screwing the male screw portion and the female screw portion.

（付記９）
前記スライド部には、割り溝が形成されており、
前記割り溝の溝幅を小さくすることにより、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記１乃至７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 9)
A split groove is formed in the slide portion,
The actuator according to any one of supplementary notes 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by reducing a groove width of the split groove.

（付記１０）
前記スライド部には、押しねじを挿入するためのねじ孔が形成されており、
前記ねじ孔に挿入された前記押しねじの当接により、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記１乃至７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 10)
The slide portion has a screw hole for inserting a push screw,
The actuator according to any one of supplementary notes 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by abutment of the push screw inserted into the screw hole.

（付記１１）
前記作業軸の前記先端近傍に配置され、前記作業軸を直線運動可能に支持する作業軸支持手段を有し、
前記作業軸支持手段は、前記作業軸支持手段と前記作業軸との間を転動する転動体を有することを特徴とする付記１０に記載のアクチュエータ。 (Appendix 11)
Work shaft support means disposed near the tip of the work shaft and supporting the work shaft so as to allow linear movement,
The actuator according to claim 10, wherein the work shaft support means includes a rolling element that rolls between the work shaft support means and the work shaft.

（付記１２）
前記作業軸の直線運動に伴って直線運動することにより、前記作業軸の直線運動を案内する案内軸と、前記案内軸を直線運動可能に支持する案内軸支持手段とを有する案内軸ユニットを有することを特徴とする付記１乃至１１のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 12)
A guide shaft unit having a guide shaft for guiding the linear movement of the work shaft by linearly moving along with the linear movement of the work shaft, and guide shaft support means for supporting the guide shaft so as to be capable of linear movement; The actuator according to any one of supplementary notes 1 to 11, characterized in that:

（付記１３）
前記案内軸ユニットは、前記作業軸を挟み込むように、前記作業軸の両側に形成されていることを特徴とする付記１２に記載のアクチュエータ。 (Appendix 13)
13. The actuator according to claim 12, wherein the guide shaft unit is formed on both sides of the work shaft so as to sandwich the work shaft.

（付記１４）
前記案内軸支持手段は、前記案内軸支持手段と前記案内軸との間を転動する転動体を有することを特徴とする付記１３に記載のアクチュエータ。 (Appendix 14)
The actuator according to claim 13, wherein the guide shaft support means includes a rolling element that rolls between the guide shaft support means and the guide shaft.

（付記１５）
前記作業軸には、２つのスライド部が固定されていることを特徴とする付記１乃至１４のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 (Appendix 15)
The actuator according to any one of supplementary notes 1 to 14, wherein two slide portions are fixed to the work shaft.

（付記１６）
前記アクチュエータは、
前記レール部に脱着可能に取り付けられ、前記スライド部を覆うカバーをさらに有していてもよい。 (Appendix 16)
The actuator comprises:
The slide unit may further include a cover that is detachably attached to the rail unit and covers the slide unit.

１０ アクチュエータ
１１ ロッド（作業軸）
１１ａ 孔
１１ｂ 雄ねじ部
１２ 先端金具
１８ カバー
１８ａ 貫通孔
１９ ボルト
２０ モータユニット
２１ モータ
２２ モータハウジング
２２ａ 開口
２２ｂ ねじ孔
２３ 出力軸（回転軸）
２４ アクチュエータケーブル
２５ ボルト
３０ ガイド装置
３１ スライド部
３２ スライド部本体
３２ａ 貫通孔（ナット収納孔）
３２ｂ 雌ねじ部
３２ｃ ねじ孔
３２ｄ ボス孔
３２ｅ 孔
３３、３４ 凸部
３３ａ、３４ａ 溝部（第１溝部）
３６ リング
４０ リターン
４１ 筐体
４１ａ 貫通孔
４２ 蓋体
４２ａ ボス孔
４２ｂ 貫通孔
４３、４４ ボール循環路
４３ａ、４４ａ ストレート通路部
４３ｂ、４４ｂ カーブ通路部
４５、４６ 凹部
４７ ボス部
４８ 注入孔
４９ ボルト
５０ ボール（転動体）
６０ レール部
６１ ベース
６１ａ 貫通孔
６２、６３ 側壁
６２ａ、６３ａ 凹部
６４、６５ 鋼製部材
６４ａ、６５ａ 溝部（第２溝部）
７０ ボールねじ
７１ ボールねじ軸
７１ａ ボールねじ軸本体
７１ｂ、７１ｃ 小径部
７２ ボールねじナット
７４ ボルト
８０ フロントハウジング
８０ａ 貫通孔
８１ ボルト
８２ オイルレスベアリング
８３ 突出部
９０ ベアリングハウジング
９０ａ 貫通孔
９１ ボルト
９２ ベアリング
９２ａ ベアリング押さえ
９３、９５ 突出部
９４ 衝撃吸収部材
１１０ 弾性部材
１１０ａ 貫通孔
１１１ 溝
１１２ 抜け止め部材
１２０ 作業台
１２０ａ ねじ孔
１２１ ボルト
１３０ 凸部
１３１ ローラ
１３２、１３３ 突起
１４０ ガイドロッドユニット（案内軸ユニット）
１４１ ガイドロッド（案内軸）
１４２ ブッシュハウジング
１４３ ボールブッシュ（案内軸支持手段）
１４３ａ スリット
１４３ｂ ボール循環路
１４４ 連結部材
１４５ ボール（転動体）
１５０ ボールブッシュ（作業軸支持手段）
１５０ａ スリット
１５１ ボール
１６０ ボルト
１６１ 割り溝
１６２ ねじ孔
１６３ ねじ孔
１６４ 押しねじ
１６５ 下側部材
１６５ａ ねじ孔
１６６ 上側部材
１６６ａ 挿通孔
１７０ 挿通孔
１７１ ねじ孔
１８０ 注入孔
Ｔ１、Ｔ２ 軌道
Ｒ１、Ｒ３ 曲率半径
Ｒ２ 半径
Ｓ 空間 10 Actuator 11 Rod (work axis)
11a hole 11b male screw part 12 tip fitting 18 cover 18a through hole 19 bolt 20 motor unit 21 motor 22 motor housing 22a opening 22b screw hole 23 output shaft (rotary shaft)
24 Actuator cable 25 Bolt 30 Guide device 31 Sliding part 32 Sliding part main body 32a Through hole (nut storage hole)
32b Female thread part 32c Screw hole 32d Boss hole 32e Hole 33, 34 Convex part 33a, 34a Groove part (first groove part)
36 Ring 40 Return 41 Housing 41a Through hole 42 Lid 42a Boss hole 42b Through hole 43, 44 Ball circulation path 43a, 44a Straight passage section 43b, 44b Curve passage section 45, 46 Recess 47 Boss 48 Injection hole 49 Bolt 50 Ball (rolling element)
Reference Signs List 60 rail portion 61 base 61a through hole 62, 63 side wall 62a, 63a concave portion 64, 65 steel member 64a, 65a groove portion (second groove portion)
70 Ball Screw 71 Ball Screw Shaft 71a Ball Screw Shaft Main Body 71b, 71c Small Diameter Part 72 Ball Screw Nut 74 Bolt 80 Front Housing 80a Through Hole 81 Bolt 82 Oilless Bearing 83 Projection 90 Bearing Housing 90a Through Hole 91 Bolt 92 Bolt 92a Bearing Holder 93, 95 Projecting part 94 Shock absorbing member 110 Elastic member 110a Through hole 111 Groove 112 Retaining member 120 Work table 120a Screw hole 121 Bolt 130 Convex part 131 Roller 132, 133 Projection 140 Guide rod unit (guide shaft unit)
141 Guide rod (guide shaft)
142 bush housing 143 ball bush (guide shaft support means)
143a Slit 143b Ball circulation path 144 Connecting member 145 Ball (rolling element)
150 ball bush (work shaft support means)
150a Slit 151 Ball 160 Bolt 161 Split groove 162 Screw hole 163 Screw hole 164 Push screw 165 Lower member 165a Screw hole 166 Upper member 166a Insertion hole 170 Insertion hole 171 Screw hole 180 Injection hole T1, T2 Track radius R1, R2 Curvature radius Radius S space

Claims (12)

回転軸を備えたモータが脱着可能に取り付けられるモータレスアクチュエータであって、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に基づいて直線運動し、前記直線運動方向に貫通すると共に内部に前記ボールねじナットが固定されているナット収納孔と、前記直線運動方向に平行な第１溝部と、が共に形成されている単一の素材からなり、金属からなる部材であるスライド部本体を有するスライド部と、前記第１溝部に対向し、前記直線運動方向に沿って第２溝部が形成されたレール部と、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、で構成されるガイド装置と、
前記スライド部本体に設けられた前記ナット収納孔に固定される作業軸と、
を有する、モータレスアクチュエータ。 A motorless actuator to which a motor having a rotating shaft is detachably attached,
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotation of the rotation shaft, and a ball screw nut that linearly moves with the rotation of the ball screw shaft ,
A nut receiving hole which linearly moves based on the rotational movement of the ball screw shaft, penetrates in the linear movement direction and has the ball screw nut fixed therein, and a first groove portion parallel to the linear movement direction, And a slide portion having a slide portion main body, which is a member made of metal, formed of a single material, and a second groove portion formed along the linear movement direction, facing the first groove portion. a rail portion, and rolling the first groove and the second groove portion by being sandwiched between the first groove and the second groove, and the rolling elements movably supporting the slide unit, in composed A guide device;
A work shaft fixed to the nut storage hole provided in the slide portion main body,
A motorless actuator. 前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有する、請求項１に記載のモータレスアクチュエータ。   2. The motorless actuator according to claim 1, wherein the slide portion has a rolling element housing unit in which a rolling element circulation path through which the rolling elements pass is formed. 3. 前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動した前記転動体は、前記転動体循環路を通過して、前記第１溝部と前記第２溝部との間に移動し、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動する、請求項２に記載のモータレスアクチュエータ。   The rolling element that has rolled between the first groove section and the second groove section passes through the rolling element circulation path, moves between the first groove section and the second groove section, and again, The motorless actuator according to claim 2, wherein the motorless actuator rolls between a first groove and the second groove. 前記スライド部本体には、前記第１溝部が形成されている一対の凸部が、前記直線運動方向に沿って形成され、
前記転動体収納ユニットは、一対の前記凸部の間に嵌め込まれている、請求項２又は３に記載のモータレスアクチュエータ。 A pair of protrusions in which the first groove is formed are formed along the direction of the linear movement on the slide portion main body,
The motorless actuator according to claim 2, wherein the rolling element housing unit is fitted between the pair of convex portions. 前記スライド部本体は、前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続されている、請求項１から４のいずれか一項に記載のモータレスアクチュエータ。 The motorless actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the slide unit main body is connected to the ball screw nut so as to linearly move with the ball screw nut. 前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部本体の前記ナット収納孔には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部本体に固定されている、請求項１から５のいずれか一項に記載のモータレスアクチュエータ。 An external thread portion is formed on the working shaft,
A female screw portion is formed in the nut storage hole of the slide portion main body,
The motorless actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the work shaft is fixed to the slide portion main body by screwing the male screw portion and the female screw portion. 前記ボールねじ軸の端部には、前記モータが前記モータレスアクチュエータに取り付けられた場合に前記回転軸の先端に接続されて、前記回転軸の回転運動を伝達するための第１カップリングが設けられている、請求項１から６のいずれか一項に記載のモータレスアクチュエータ。   At the end of the ball screw shaft, a first coupling is provided which is connected to a tip of the rotating shaft when the motor is attached to the motorless actuator and transmits the rotating motion of the rotating shaft. The motorless actuator according to claim 1, wherein the motorless actuator is provided. 回転軸を備えたモータが脱着可能に取り付けられるモータレスアクチュエータであって、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸を有するボールねじと、
前記ボールねじ軸の回転運動に基づいて直線運動し、前記直線運動方向に貫通する貫通孔と、前記直線運動方向に平行な第１溝部と、が共に形成されている単一の素材からなり、金属からなる部材であるスライド部本体を有するスライド部と、前記第１溝部に対向し、前記直線運動方向に沿って第２溝部が形成されたレール部と、前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部及び前記第２溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、で構成されるガイド装置と、
前記スライド部本体に設けられた前記貫通孔に固定される作業軸と、
を有し、
前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有し、
前記スライド部本体には、前記第１溝部が形成されている一対の凸部が、前記直線運動方向に沿って形成され、
前記転動体収納ユニットは、一対の前記凸部の間に嵌め込まれている、モータレスアクチュエータ。 A motorless actuator to which a motor having a rotating shaft is detachably attached,
A ball screw having a ball screw shaft that rotates with the rotation of the rotation shaft;
Linear movement based on the rotational movement of the ball screw shaft, a through-hole that penetrates in the linear movement direction, and a first groove parallel to the linear movement direction, a single material formed together, A sliding portion having a sliding portion main body which is a member made of metal; a rail portion facing the first groove portion and having a second groove portion formed along the direction of the linear movement; the first groove portion and the second groove portion said first groove and rolling the second groove, and the rolling elements movably supporting the slide unit, in configured guide apparatus by being sandwiched,
A work shaft fixed to the through hole provided in the slide portion main body,
Have a,
The sliding portion has a rolling element housing unit in which a rolling element circulation path through which the rolling elements pass is formed,
A pair of protrusions in which the first groove is formed are formed along the direction of the linear movement on the slide portion main body,
The motorless actuator , wherein the rolling element housing unit is fitted between the pair of convex portions . 回転軸を備えるモータと、
前記モータが取り付けられている請求項１から８のいずれか一項に記載のモータレスアクチュエータと、
を有する、アクチュエータ。 A motor having a rotating shaft,
The motorless actuator according to any one of claims 1 to 8 , wherein the motor is mounted,
An actuator having: 前記モータレスアクチュエータに前記モータを脱着可能に取り付けるためのねじ部材をさらに有する、請求項９に記載のアクチュエータ。 The actuator according to claim 9 , further comprising a screw member for detachably attaching the motor to the motorless actuator. 前記回転軸の先端には、前記モータが前記モータレスアクチュエータに取り付けられた場合に前記ボールねじの端部に接続されて、前記回転軸の回転運動を前記ボールねじに伝達するための第２カップリングが設けられている、請求項９又は１０に記載のアクチュエータ。 A second cup connected to an end of the ball screw when the motor is attached to the motorless actuator at a tip of the rotating shaft, for transmitting a rotating motion of the rotating shaft to the ball screw. The actuator according to claim 9 or 10 , wherein a ring is provided. 請求項１から７のいずれか一項に記載のモータレスアクチュエータの製造方法であって、  It is a manufacturing method of the motorless actuator according to any one of claims 1 to 7,
前記スライド部本体を形成するための前記単一の素材を準備する第１工程と、  A first step of preparing the single material for forming the slide portion body;
前記第１工程によって準備された前記単一の素材から、前記ナット収納孔及び前記第１溝部が共に形成されている前記スライド部本体を形成する第２工程と、  A second step of forming, from the single material prepared in the first step, the slide portion main body in which the nut storage hole and the first groove portion are both formed;
前記第２工程によって形成された前記スライド部本体の前記ナット収納孔の内部に、前記ボールねじナットを固定する第３工程と、  A third step of fixing the ball screw nut inside the nut storage hole of the slide portion main body formed in the second step;
を含む、モータレスアクチュエータの製造方法。  A method for manufacturing a motorless actuator, comprising:
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