JP5947146B2

JP5947146B2 - Actuator and manufacturing method of actuator

Info

Publication number: JP5947146B2
Application number: JP2012177465A
Authority: JP
Inventors: 行治大塚; 柴田　裕司; 裕司柴田
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2012-08-09
Filing date: 2012-08-09
Publication date: 2016-07-06
Anticipated expiration: 2032-08-09
Also published as: JP2014035039A

Description

本発明は、アクチュエータ、及びアクチュエータの製造方法に関する。 The present invention relates to an actuator and a method for manufacturing the actuator.

ロッドタイプのリニアアクチュエータは、例えば、モータの回転運動に基づいて、ロッドが往復運動する。これにより、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、作業対象のワークを押圧するなど、様々な作業を行う（例えば、特許文献１参照。）。 In the rod type linear actuator, for example, the rod reciprocates based on the rotational motion of the motor. Thereby, an arbitrary tool attached to the tip of the rod performs various operations such as pressing the workpiece to be worked (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、モータの回転運動を直線運動に変換しているため、モータの回転運動に起因したトルクがロッドに伝わり、ロッドの先端に振れが生じやすい。この問題に対して、スライド部が、剛性の転動体を介して、剛性の素材からなるレール部に支持されたアクチュエータが考えられている（特願２０１１−２６４１５１号明細書）。このアクチュエータによれば、モータの回転に起因したトルクが、スライド部に加わっても、スライド部は、剛性の転動体を介して、剛性のレール部に支持されているため、モータの回転軸周りに動きにくくなる。このため、モータの回転に起因したトルクが、スライド部を介して、ロッドに伝わりにくく、ロッドの先端部の振れの発生を抑制することができる。 In the actuator described in Patent Document 1, since the rotational motion of the motor is converted into a linear motion, torque resulting from the rotational motion of the motor is transmitted to the rod, and the tip of the rod is likely to be shaken. In order to solve this problem, an actuator in which a slide portion is supported by a rail portion made of a rigid material via a rigid rolling element has been considered (Japanese Patent Application No. 2011-264151). According to this actuator, even if torque caused by the rotation of the motor is applied to the slide portion, the slide portion is supported by the rigid rail portion via the rigid rolling element. It becomes difficult to move. For this reason, the torque resulting from the rotation of the motor is less likely to be transmitted to the rod through the slide portion, and the occurrence of deflection of the tip end portion of the rod can be suppressed.

特開２００２−１３０４１９号公報JP 2002-130419 A

しかしながら、このアクチュエータ（特願２０１１−２６４１５１号明細書に記載のアクチュエータ）を用いて、ロッドの先端をワークに押し付けた場合、押付け力に対する反力が、ロッドが固定されたスライド部やボールねじ軸を介して、ボールねじ軸を回転可能に支持するベアリングハウジングに伝わる。このため、ベアリングハウジングの下端近傍に固定されたベースに曲げモーメントが加わり、レール部や転動体が配置される溝部が撓むおそれがある。結果として、スライド部及びロッドが、安定して移動しにくくなるおそれがある。 However, when this actuator (the actuator described in Japanese Patent Application No. 2011-264151) is used and the tip of the rod is pressed against the workpiece, the reaction force against the pressing force is the slide portion or ball screw shaft to which the rod is fixed. Via, the ball screw shaft is transmitted to a bearing housing that rotatably supports the ball screw shaft. For this reason, a bending moment is applied to the base fixed in the vicinity of the lower end of the bearing housing, and there is a possibility that the groove portion in which the rail portion and the rolling element are disposed is bent. As a result, the slide part and the rod may be difficult to move stably.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、安定した動作が可能なアクチュエータ及びアクチュエータの製造方法を提供する。 The present invention has been made under the above circumstances, and provides an actuator capable of stable operation and a method for manufacturing the actuator.

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動によって回転運動する回転軸部材と、
前記回転軸部材の回転運動に伴って、前記回転軸部材の軸方向に直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定されることで、前記スライド部とともに直線運動するロッドと、
前記回転軸部材を、回転可能に支持する第１支持部材と、
前記第１支持部材が固定され、前記軸方向に前記スライド部を移動可能に支持するレール部を有する第１ケース部材と、
前記スライド部を覆うように前記第１ケース部材に取り付けられるとともに、前記第１支持部材が固定される第２ケース部材と、
前記第１支持部材を、前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第１固定手段と、
を有し、
前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材の一方には、前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材の他方に突出する凸部が、前記軸方向に沿って形成され、
前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材の他方には、前記凸部が係合する凹部が、前記軸方向に沿って形成され、
前記凸部が、前記凹部に係合することにより、前記第２ケース部材は、前記第１ケース部材に対して、前記軸方向に直角する方向に係止される。 In order to achieve the above object, an actuator according to the first aspect of the present invention provides:
A rotating shaft member that rotates by the rotating motion of the rotating shaft of the motor;
Along with the rotational movement of the rotary shaft member, a slide part that linearly moves in the axial direction of the rotary shaft member;
By being fixed to the slide part, a rod that moves linearly with the slide part;
A first support member that rotatably supports the rotating shaft member;
A first case member having a rail portion to which the first support member is fixed and the slide portion is movably supported in the axial direction;
A second case member that is attached to the first case member so as to cover the slide portion and to which the first support member is fixed;
First fixing means for fixing the first support member to the first case member and the second case member so as to press the first support member in the axial direction;
I have a,
One of the first case member and the second case member is formed with a convex portion that protrudes to the other of the first case member and the second case member along the axial direction.
On the other of the first case member and the second case member, a concave portion with which the convex portion is engaged is formed along the axial direction.
When the convex portion engages with the concave portion, the second case member is locked in a direction perpendicular to the axial direction with respect to the first case member .

前記第１固定手段は、ボルトから構成され、
前記第１支持部材には、前記第１固定手段を挿入するための貫通孔が、前記軸方向に貫通する状態に形成され、
前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材それぞれには、前記第１固定手段を捻じ込むためのねじ穴が形成されていてもよい。 The first fixing means includes a bolt,
A through hole for inserting the first fixing means is formed in the first support member so as to penetrate in the axial direction.
Each of the first case member and the second case member may be formed with a screw hole for screwing the first fixing means.

前記アクチュエータは、
前記ロッドを、前記軸方向に移動可能に支持する第２支持部材と、
前記第２支持部材を、前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第２固定手段と、
を有していてもよい。 The actuator is
A second support member for supporting the rod so as to be movable in the axial direction;
Second fixing means for fixing the second support member so as to be pressed against the first case member and the second case member in the axial direction;
You may have.

前記第２固定手段は、ボルトから構成され、
前記第２支持部材には、前記第２固定手段を挿入するための貫通孔が、前記軸方向に貫通する状態に形成され、
前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材には、前記第２固定手段を捻じ込むためのねじ穴が形成されていてもよい。 The second fixing means is composed of a bolt,
A through hole for inserting the second fixing means is formed in the second support member so as to penetrate in the axial direction,
The first case member and the second case member may be formed with screw holes for screwing the second fixing means.

前記スライド部には、前記軸方向に沿って溝部が形成され、
前記スライド部は、前記溝部と前記レール部との間を転動する複数の転動体を介して、前記第１ケース部材に支持されていてもよい。 A groove portion is formed in the slide portion along the axial direction,
The slide part may be supported by the first case member via a plurality of rolling elements that roll between the groove part and the rail part.

前記第１ケース部材の前記軸方向の一方の端面と、前記第２ケース部材の前記軸方向の一方の端面とは、面一に形成され、
前記第１ケース部材の前記軸方向の他方の端面と、前記第２ケース部材の前記軸方向の他方の端面とは、面一に形成されていてもよい。 One end surface in the axial direction of the first case member and one end surface in the axial direction of the second case member are formed flush with each other,
The other end surface in the axial direction of the first case member and the other end surface in the axial direction of the second case member may be formed flush with each other.

前記回転軸部材は、ボールねじ軸から構成され、
前記スライド部は、前記ボールねじ軸の回転運動を直線運動に変換するボールねじナットを有していてもよい。 The rotating shaft member is composed of a ball screw shaft,
The slide portion may include a ball screw nut that converts a rotational motion of the ball screw shaft into a linear motion.

本発明の第２の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
モータの回転軸の回転運動によって回転運動する回転軸部材と、
前記回転軸部材の回転運動に伴って、前記回転軸部材の軸方向に直線運動するスライド部と、
前記スライド部に固定されることで、前記スライド部とともに直線運動するロッドと、
前記回転軸部材を、回転可能に支持する第１支持部材と、
前記第１支持部材が固定され、前記軸方向に前記スライド部を移動可能に支持するレール部を有する第１ケース部材と、
前記スライド部を覆うように前記第１ケース部材に取り付けられるとともに、前記第１支持部材が固定される第２ケース部材と、
前記第１支持部材を、前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材それぞれに対して、前記軸方向に押し付けるように固定する第１固定手段と、
を有するアクチュエータの製造方法であって、
前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とを挟み込むように保持する保持部材によって、前記第１ケース部材と前記第１ケース部材とを保持する保持工程と、
前記保持工程によって保持された前記第１ケース部材の一方の端面と、前記第２ケース部材の一方の端面とが、面一になるように、前記第１ケース部材の端面及び前記第２ケース部材の端面を削る第１切削工程と、
前記保持工程によって保持された前記第１ケース部材の他方の端面と、前記第２ケース部材の他方の端面とが、面一になるように、前記第１ケース部材の端面及び前記第２ケース部材の端面を削る第２切削工程と、
を含む。
本発明の第３の観点に係るアクチュエータの製造方法は、
本発明の第１の観点に係るアクチュエータの製造方法であって、
前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とを挟み込むように保持する保持部材によって、前記第１ケース部材と前記第１ケース部材とを保持する保持工程と、
前記保持工程によって保持された前記第１ケース部材の一方の端面と、前記第２ケース部材の一方の端面とが、面一になるように、前記第１ケース部材の端面及び前記第２ケース部材の端面を削る第１切削工程と、
前記保持工程によって保持された前記第１ケース部材の他方の端面と、前記第２ケース部材の他方の端面とが、面一になるように、前記第１ケース部材の端面及び前記第２ケース部材の端面を削る第２切削工程と、
を含む。 The actuator manufacturing method according to the second aspect of the present invention includes:
A rotating shaft member that rotates by the rotating motion of the rotating shaft of the motor;
Along with the rotational movement of the rotary shaft member, a slide part that linearly moves in the axial direction of the rotary shaft member;
By being fixed to the slide part, a rod that moves linearly with the slide part;
A first support member that rotatably supports the rotating shaft member;
A first case member having a rail portion to which the first support member is fixed and the slide portion is movably supported in the axial direction;
A second case member that is attached to the first case member so as to cover the slide portion and to which the first support member is fixed;
First fixing means for fixing the first support member to the first case member and the second case member so as to press the first support member in the axial direction;
A method of manufacturing an actuator having
A holding step of holding the first case member and the first case member by a holding member that holds the first case member and the second case member so as to sandwich the first case member and the second case member;
The end surface of the first case member and the second case member so that one end surface of the first case member held by the holding step and one end surface of the second case member are flush with each other. A first cutting step of cutting the end face of
The end surface of the first case member and the second case member so that the other end surface of the first case member held by the holding step and the other end surface of the second case member are flush with each other. A second cutting step of cutting the end face of
including.
The manufacturing method of the actuator according to the third aspect of the present invention includes:
An actuator manufacturing method according to the first aspect of the present invention , comprising:
A holding step of holding the first case member and the first case member by a holding member that holds the first case member and the second case member so as to sandwich the first case member and the second case member;
The end surface of the first case member and the second case member so that one end surface of the first case member held by the holding step and one end surface of the second case member are flush with each other. A first cutting step of cutting the end face of
The end surface of the first case member and the second case member so that the other end surface of the first case member held by the holding step and the other end surface of the second case member are flush with each other. A second cutting step of cutting the end face of
including.

本発明によれば、ロッドの先端をワークに押し付けた場合、この押付け力に対する反力が、回転軸部材及び第１支持部材等を介して、第１ケース部材だけでなく、第２ケース部材にも伝わる。これにより、第１ケース部材及び第２ケース部材には、曲げモーメントが加わりにくくなるため、第１ケース部材に形成されたレール部が撓みにくくなる。結果として、レール部に沿って移動するスライド部及びロッドの動作を、安定したものにできる。 According to the present invention, when the tip of the rod is pressed against the workpiece, the reaction force against the pressing force is applied not only to the first case member but also to the second case member via the rotary shaft member and the first support member. Is also transmitted. Thereby, since it becomes difficult to apply a bending moment to the first case member and the second case member, the rail portion formed on the first case member is difficult to bend. As a result, the movement of the slide part and the rod that move along the rail part can be stabilized.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning an embodiment of the present invention. アクチュエータの正面図である。It is a front view of an actuator. 図２のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. モータユニット等の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a motor unit etc. アクチュエータの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of an actuator. アクチュエータの分解断面図である。It is an exploded sectional view of an actuator. ケース部材の斜視図（その１）である。It is a perspective view (the 1) of a case member. ２つのケース部材を分解して示す正面図である。It is a front view which decomposes | disassembles and shows two case members. ２つのケース部材を相互に係止した状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which latched two case members mutually. 図８Ｂの矢印Ｃで示した部分の拡大図である。It is an enlarged view of the part shown by the arrow C of FIG. 8B. 図８Ｂの矢印Ｄで示した部分の拡大図である。It is an enlarged view of the part shown by arrow D of FIG. 8B. ケース部材の斜視図（その２）である。It is a perspective view (the 2) of a case member. 本発明の実施形態に係るアクチュエータの製造方法において、ケース部材の端面を加工する工程を説明するための斜視図（その１）である。FIG. 6 is a perspective view (No. 1) for describing a step of processing the end face of the case member in the actuator manufacturing method according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るアクチュエータの製造方法において、ケース部材の端面を加工する工程を説明するための斜視図（その２）である。FIG. 9 is a perspective view (No. 2) for explaining a step of processing the end surface of the case member in the method for manufacturing the actuator according to the embodiment of the present invention. スライド部、及び下側のケース部材を分解して示す図である。It is a figure which decomposes | disassembles and shows a slide part and a lower case member. スライド部、及び下側のケース部材等の断面図である。It is sectional drawing, such as a slide part and a lower case member. 図１２のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. スライド部、ボールねじナット、及びボールねじ軸等を分解して示す一部断面図である。It is a fragmentary sectional view which decomposes | disassembles and shows a slide part, a ball screw nut, a ball screw shaft, etc. FIG. カップリング等を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a coupling etc. アクチュエータの動作を説明するための断面図（その１）である。It is sectional drawing (the 1) for demonstrating operation | movement of an actuator. アクチュエータの動作を説明するための断面図（その２）である。It is sectional drawing (the 2) for demonstrating operation | movement of an actuator. アクチュエータの動作を説明するための断面図（その３）である。FIG. 6 is a sectional view (No. 3) for explaining the operation of the actuator. アクチュエータの作用を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the effect | action of an actuator. 本発明の実施形態に係るアクチュエータの上側のケース部材の取外し方法を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the removal method of the upper case member of the actuator which concerns on embodiment of this invention. 従来のアクチュエータの作用を説明するための比較例を示す模式図（その１）である。It is a schematic diagram (the 1) which shows the comparative example for demonstrating the effect | action of the conventional actuator. 従来のアクチュエータの作用を説明するための比較例を示す模式図（その２）である。It is a schematic diagram (the 2) which shows the comparative example for demonstrating the effect | action of the conventional actuator. スライド部及びケース部材の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of a slide part and a case member. ケース部材の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of a case member. 図２２Ａの矢印Ｅで示した部分の拡大図である。It is an enlarged view of the part shown by arrow E of FIG. 22A. ケース部材の凸部の変形例を示す図（その１）である。It is a figure (the 1) which shows the modification of the convex part of a case member. ケース部材の凸部の変形例を示す図（その２）である。It is a figure (the 2) which shows the modification of the convex part of a case member. ケース部材の凸部の変形例を示す図（その３）である。It is FIG. (3) which shows the modification of the convex part of a case member.

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０について説明する。なお、図中のＸＹ平面は水平な面であり、図中のＺ軸の方向は鉛直方向である。 Hereinafter, the actuator 10 according to the embodiment of the present invention will be described. The XY plane in the figure is a horizontal plane, and the direction of the Z axis in the figure is the vertical direction.

アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ１０は、ロッド１１と、モータユニット２０と、ケース部材３０、４０と、フロントブラケット７０（第２支持部材）と、リアブラケット８０（第１支持部材）とを有している。 As shown in FIG. 1, the actuator 10 is a linear actuator having a rod 11 that reciprocates in the Y-axis direction. The actuator 10 includes a rod 11, a motor unit 20, case members 30, 40, a front bracket 70 (second support member), and a rear bracket 80 (first support member).

図２は、アクチュエータの正面図である。フロントブラケット７０は、８本のボルト１７によって、ケース部材３０、４０に固定されている。なお、８本のボルト１７は、ロッド１１の外周に沿って、ほぼ等間隔に取り付けられる。 FIG. 2 is a front view of the actuator. The front bracket 70 is fixed to the case members 30 and 40 by eight bolts 17. The eight bolts 17 are attached at substantially equal intervals along the outer periphery of the rod 11.

図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。ロッド１１は、図３に示すように、内部に孔が形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド１１の−Ｙ側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具１２が捻じ込まれて固定されている。 FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. As shown in FIG. 3, the rod 11 is a cylindrical member having a hole formed therein, and is made of, for example, stainless steel. A tip end fitting 12 having a male thread formed on the outer periphery is screwed into and fixed to the end of the rod 11 on the -Y side.

モータユニット２０は、図４に示すように、モータ２１と、モータ２１を収納するモータカバー２２と、アクチュエータケーブル２４とを有する。 As shown in FIG. 4, the motor unit 20 includes a motor 21, a motor cover 22 that houses the motor 21, and an actuator cable 24.

モータ２１は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸２３（回転軸）、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、アクチュエータケーブル２４を介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２３に出力される。また、モータ２１は、ＸＺ平面に平行な方向に張り出すように形成されたフランジ部２５を有している。このフランジ部２５には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔２５ａが４つ形成されている。貫通孔２５ａには、ボルトやねじ等の止め具が挿入される。この止め具により、モータ２１は、リアブラケット８０に固定される。また、出力軸２３の先端には、カップリング２６（継手部材）が取り付けられている。 The motor 21 is a stepping motor, for example, and includes an output shaft 23 (rotating shaft), a rotor, a stator, an encoder, a speed reducer, and the like. Electric power from the power source is supplied to the motor 21 via the actuator cable 24. When electric power is supplied to the motor 21, the rotor of the motor 21 rotates. The rotational motion of the rotor is decelerated at a predetermined reduction ratio by a reducer, for example, and is output to the output shaft 23. The motor 21 has a flange portion 25 formed so as to project in a direction parallel to the XZ plane. The flange portion 25 has four through holes 25a penetrating in the Y-axis direction. A stopper such as a bolt or a screw is inserted into the through hole 25a. The motor 21 is fixed to the rear bracket 80 by this stopper. A coupling 26 (joint member) is attached to the tip of the output shaft 23.

モータカバー２２は、略直方体のケースである。モータカバー２２の−Ｙ側の面には、開口が形成されている。この開口から、モータ２１が収納される。また、アクチュエータケーブル２４は、モータカバー２２の上面（＋Ｚ側の面）から引き出されている。モータカバー２２は、モータ２１を覆いつつ、リアブラケット８０に固定される。 The motor cover 22 is a substantially rectangular parallelepiped case. An opening is formed in the surface on the −Y side of the motor cover 22. The motor 21 is accommodated from this opening. The actuator cable 24 is drawn from the upper surface (the surface on the + Z side) of the motor cover 22. The motor cover 22 is fixed to the rear bracket 80 while covering the motor 21.

アクチュエータ１０は、図５及び図６に示すように、上述したロッド１１、モータユニット２０、ケース部材３０、４０等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するためのスライド部５０と、モータユニット２０の回転運動を直線運動に変換するボールねじ６０と、フロントブラケット７０及びリアブラケット８０を固定するためのボルト１７（第２固定手段）、ボルト１８（第１固定手段）を有している。 As shown in FIGS. 5 and 6, in addition to the rod 11, the motor unit 20, the case members 30, 40, etc., the actuator 10 includes a slide portion 50 for guiding the rod 11 in the Y-axis direction, a motor It has a ball screw 60 for converting the rotational movement of the unit 20 into a linear movement, a bolt 17 (second fixing means) for fixing the front bracket 70 and the rear bracket 80, and a bolt 18 (first fixing means). .

ケース部材３０は、図７に示すように、スライド部５０をＹ軸方向に移動可能に支持する部材である。ケース部材３０は、ケース部材３０の本体部分と、後述するレール部３８、３９とを有する。ケース部材３０の本体部分は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。また、ケース部材３０の断面（ＸＺ断面）は、略Ｕ字状に形成されている。ケース部材３０は、底板部３１と、底板部３１の＋Ｘ側及び−Ｘ側の端部から上方（＋Ｚ方向）に延びるように形成された側壁部３２、３３とを有する。 As shown in FIG. 7, the case member 30 is a member that supports the slide portion 50 so as to be movable in the Y-axis direction. The case member 30 includes a main body portion of the case member 30 and rail portions 38 and 39 described later. The main body portion of the case member 30 is formed, for example, by extruding aluminum. Moreover, the cross section (XZ cross section) of the case member 30 is formed in a substantially U shape. The case member 30 includes a bottom plate portion 31 and side wall portions 32 and 33 formed so as to extend upward (+ Z direction) from the + X side and −X side ends of the bottom plate portion 31.

図８Ａに示すように、側壁部３２、３３の内側の面（側壁部３２の−Ｘ側の面、側壁部３３の＋Ｘ側の面）には、凹部３２ａ、３３ａがそれぞれ形成されている。この凹部３２ａ、３３ａには、Ｙ軸方向を長手方向とする線状のレール部３８、３９が取り付けられている。レール部３８、３９は、例えば、鋼材からなる。レール部３８の−Ｘ側の面及びレール部３９の＋Ｘ側の面には、溝部がそれぞれ形成されている。溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。なお、本実施形態では、レール部３８、３９は、ケース部材３０を構成する一つの部品であり、ケース部材３０の本体部分とは、別の部材として構成されているが、ケース部材３０の本体部分に一体に形成されていてもよい。 As shown in FIG. 8A, recesses 32a and 33a are formed on the inner surfaces of the side walls 32 and 33 (the -X side surface of the side wall portion 32 and the + X side surface of the side wall portion 33), respectively. Linear rail portions 38 and 39 having a longitudinal direction in the Y-axis direction are attached to the recesses 32a and 33a. Rail parts 38 and 39 consist of steel materials, for example. Grooves are formed in the −X side surface of the rail portion 38 and the + X side surface of the rail portion 39, respectively. The inner surface of the groove is configured as a substantially curved surface. In the present embodiment, the rail portions 38 and 39 are one part constituting the case member 30 and are configured as separate members from the main body portion of the case member 30. It may be formed integrally with the part.

側壁部３２、３３の上部の外側（側壁部３２の上部の＋Ｘ側、側壁部３３の上部の−Ｘ側）には、切欠部３２ｂ、３３ｂが形成されている。切欠部３２ｂの内側（−Ｘ側）には、上方（＋Ｚ方向）に突出するように、突出部３４が形成されている。同様に、切欠部３３ｂの内側（＋Ｘ側）には、上方（＋Ｚ方向）に突出するように、突出部３５が形成されている。 Cutout portions 32b and 33b are formed on the outer sides of the upper portions of the side wall portions 32 and 33 (the + X side of the upper portion of the side wall portion 32 and the −X side of the upper portion of the side wall portion 33). A protrusion 34 is formed on the inner side (−X side) of the notch 32b so as to protrude upward (+ Z direction). Similarly, a protruding portion 35 is formed on the inner side (+ X side) of the cutout portion 33b so as to protrude upward (+ Z direction).

突出部３４、３５の外面（突出部３４の＋Ｘ側の面、突出部３５の−Ｘ側の面）には、凹部３６、３７がそれぞれ形成されている。凹部３６、３７は、Ｙ軸方向に沿った線状に形成されている。凹部３６、３７の溝の内周面は、湾曲面に形成されている。 Concave portions 36 and 37 are formed on the outer surfaces of the protrusions 34 and 35 (the + X side surface of the protrusion 34 and the −X side surface of the protrusion 35), respectively. The recesses 36 and 37 are formed in a linear shape along the Y-axis direction. The inner peripheral surfaces of the grooves of the recesses 36 and 37 are formed as curved surfaces.

ケース部材４０は、図５及び図６に示すように、スライド部５０の上方を覆う部材であり、ケース部材３０の上側（＋Ｚ側）に配置される。ケース部材４０は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。また、ケース部材４０の断面（ＸＺ断面）は、略Ｕ字状に形成されている。ケース部材４０は、天板部４１と、天板部４１の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部から下方（−Ｚ方向）に延びるように形成された側壁部４２、４３とを有する。 As shown in FIGS. 5 and 6, the case member 40 is a member that covers the upper portion of the slide portion 50, and is disposed on the upper side (+ Z side) of the case member 30. The case member 40 is formed, for example, by extruding aluminum. The case member 40 has a substantially U-shaped cross section (XZ cross section). The case member 40 includes a top plate portion 41, and side wall portions 42 and 43 formed so as to extend downward (−Z direction) from the + X side end portion and the −X side end portion of the top plate portion 41. .

図８Ａに示すように、側壁部４２、４３の下部の内側（側壁部４２の下部の−Ｘ側、側壁部４３の下部の＋Ｘ側）には、切欠部４２ｂ、４３ｂが形成されている。切欠部４２ｂの外側（＋Ｘ側）には、下方（−Ｚ方向）に突出するように、突出部４４が形成される。同様に、切欠部４３ｂの外側（−Ｘ側）には、下方（−Ｚ方向）に突出するように、突出部４５が形成される。なお、ケース部材４０の側壁部４２、４３に形成された切欠部４２ｂ、４３ｂのＸ軸方向の長さＬ１は、ケース部材３０の突出部３４、３５の厚みＬ２（Ｘ軸方向の厚み）と同等である。また、ケース部材４０の突出部４４、４５の厚みＬ３（Ｘ軸方向における厚み）は、ケース部材３０の側壁部３２、３３に形成された切欠部３２ｂ、３３ｂのＸ軸方向の長さＬ４と同等である。 As shown in FIG. 8A, notches 42b and 43b are formed inside the lower portions of the side wall portions 42 and 43 (the −X side below the side wall portion 42 and the + X side below the side wall portion 43). A protrusion 44 is formed on the outer side (+ X side) of the notch 42b so as to protrude downward (−Z direction). Similarly, a protrusion 45 is formed on the outer side (−X side) of the notch 43b so as to protrude downward (−Z direction). The length L1 in the X-axis direction of the notches 42b and 43b formed in the side wall portions 42 and 43 of the case member 40 is the thickness L2 (the thickness in the X-axis direction) of the protrusions 34 and 35 of the case member 30. It is equivalent. Further, the thickness L3 (thickness in the X-axis direction) of the protruding portions 44 and 45 of the case member 40 is the length L4 in the X-axis direction of the notches 32b and 33b formed in the side wall portions 32 and 33 of the case member 30. It is equivalent.

突出部４４、４５の内側の面（突出部４４の−Ｘ側の面、突出部４５の＋Ｘ側の面）には、凸部４６、４７がそれぞれ形成されている。凸部４６、４７は、Ｙ軸方向に沿った線状に形成されている。また、凸部４６と凸部４７とは、対向するように形成されている。また、凸部４６、４７は、その断面が、略半円形状に形成され、ケース部材３０の凹部３６、３７に係合する形状となっている。 Convex portions 46 and 47 are formed on the inner surfaces of the projecting portions 44 and 45 (the −X side surface of the projecting portion 44 and the + X side surface of the projecting portion 45), respectively. The convex portions 46 and 47 are formed in a linear shape along the Y-axis direction. Moreover, the convex part 46 and the convex part 47 are formed so that it may oppose. In addition, the convex portions 46 and 47 have a substantially semicircular cross section, and have a shape that engages with the concave portions 36 and 37 of the case member 30.

ケース部材３０、４０は、図７に示すように、長手方向（Ｙ軸方向）のそれぞれの長さが同等となるように形成されている。ケース部材３０、４０の−Ｙ側の端面は、ＸＺ平面に平行な平面に構成されている。ケース部材３０の−Ｙ側の端面には、４つのねじ穴３０ａが形成されている。詳しくは、ねじ穴３０ａは、ケース部材３０の底板部３１に２つ形成され、側壁部３２、３３にそれぞれ１つずつ形成されている。ケース部材４０の−Ｙ側の端面にも、４つのねじ穴４０ａが形成されている。詳しくは、ねじ穴４０ａは、ケース部材４０の天板部４１に２つ形成され、側壁部４２、４３にそれぞれ１つずつ形成されている。ねじ穴３０ａ、４０ａには、フロントブラケット７０を固定するためのボルト１７が挿入される（図５参照）。 As shown in FIG. 7, the case members 30 and 40 are formed so that their lengths in the longitudinal direction (Y-axis direction) are equal. The end surfaces on the −Y side of the case members 30 and 40 are configured in a plane parallel to the XZ plane. Four screw holes 30 a are formed on the end surface on the −Y side of the case member 30. Specifically, two screw holes 30 a are formed in the bottom plate portion 31 of the case member 30, and one screw hole 30 a is formed in each of the side wall portions 32 and 33. Four screw holes 40 a are also formed on the end surface of the case member 40 on the −Y side. Specifically, two screw holes 40 a are formed in the top plate portion 41 of the case member 40, and one is formed in each of the side wall portions 42 and 43. Bolts 17 for fixing the front bracket 70 are inserted into the screw holes 30a and 40a (see FIG. 5).

また、図９に示すように、ケース部材３０、４０の＋Ｙ側の端面も、ＸＺ平面に平行な平面に構成されている。ケース部材３０の＋Ｙ側の端面には、４つのねじ穴３０ｂが形成されている。ねじ穴３０ｂは、ケース部材３０の底板部３１に２つ形成され、側壁部３２、３３にそれぞれ１つずつ形成されている。ケース部材４０の＋Ｙ側の端面にも、４つのねじ穴４０ｂが形成されている。ねじ穴４０ｂは、ケース部材４０の天板部４１に２つ形成され、側壁部４２、４３にそれぞれ１つずつ形成されている。ねじ穴３０ｂ、４０ｂには、リアブラケット８０を固定するためのボルト１８が挿入される（図５参照）。 Further, as shown in FIG. 9, the end surfaces on the + Y side of the case members 30 and 40 are also configured in a plane parallel to the XZ plane. Four screw holes 30b are formed on the end surface of the case member 30 on the + Y side. Two screw holes 30 b are formed in the bottom plate portion 31 of the case member 30, and one is formed in each of the side wall portions 32 and 33. Four screw holes 40 b are also formed on the + Y side end face of the case member 40. Two screw holes 40 b are formed in the top plate portion 41 of the case member 40, and one is formed in each of the side wall portions 42 and 43. Bolts 18 for fixing the rear bracket 80 are inserted into the screw holes 30b and 40b (see FIG. 5).

上述のように構成されたケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向にスライドさせることで、ケース部材３０に嵌め込まれる。そうすると、図８Ｂ、図８Ｃ、及び図８Ｄに示すように、ケース部材３０の側壁部３２、３３に形成された切欠部３２ｂ、３３ｂに、ケース部材４０の突出部４４、４５が嵌り込む。同時に、ケース部材４０の側壁部４２、４３に形成された切欠部４２ｂ、４３ｂに、ケース部材３０の突出部３４、３５が嵌り込む。これにより、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｘ軸方向に係止される。また、このとき、ケース部材４０の突出部４４、４５に形成された凸部４６、４７が、ケース部材３０の突出部３４、３５に形成された凹部３６、３７に嵌り込んで係合する。凸部４６、４７は、凹部３６、３７に対して、Ｘ軸方向に嵌り込むため、これにより、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｚ軸方向に係止される。以上により、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向に直角する方向に係止される。すなわち、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向にスライドさせる以外は、ケース部材３０から外せなくなる。 The case member 40 configured as described above is fitted into the case member 30 by sliding in the Y-axis direction with respect to the case member 30. Then, as shown in FIGS. 8B, 8 C, and 8 D, the protrusions 44 and 45 of the case member 40 are fitted into the notches 32 b and 33 b formed in the side walls 32 and 33 of the case member 30. At the same time, the protruding portions 34 and 35 of the case member 30 are fitted into the notches 42b and 43b formed in the side wall portions 42 and 43 of the case member 40. Thereby, the case member 40 is locked to the case member 30 in the X-axis direction. At this time, the protrusions 46 and 47 formed on the protrusions 44 and 45 of the case member 40 are fitted into and engaged with the recesses 36 and 37 formed on the protrusions 34 and 35 of the case member 30. Since the convex portions 46 and 47 fit into the concave portions 36 and 37 in the X-axis direction, the case member 40 is thereby locked with respect to the case member 30 in the Z-axis direction. As described above, the case member 40 is locked to the case member 30 in a direction perpendicular to the Y-axis direction. That is, the case member 40 cannot be removed from the case member 30 except for sliding in the Y-axis direction with respect to the case member 30.

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０の製造方法におけるケース部材３０、４０の端面を加工する工程を、図１０Ａ及び図１０Ｂを参照して説明する。 Hereinafter, the process of processing the end faces of the case members 30 and 40 in the method for manufacturing the actuator 10 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10A and 10B.

先ず、アルミニウムを押出成形するなどして、ケース部材３０及びケース部材４０を用意する。このケース部材３０は、すでに、凹部３６、３７や、ねじ穴３０ａ、３０ｂが形成されているとともに、凹部３６、３７には、レール部３８、３９が取り付けられているものである。同様に、ケース部材４０も、すでに、ねじ穴４０ａ、４０ｂが形成されているものである。 First, the case member 30 and the case member 40 are prepared by extruding aluminum. The case member 30 already has recesses 36 and 37 and screw holes 30a and 30b, and rails 38 and 39 are attached to the recesses 36 and 37, respectively. Similarly, the case member 40 has already been formed with screw holes 40a and 40b.

続いて、ケース部材４０を、Ｙ軸方向にスライドさせることで、ケース部材３０に嵌め込む。これにより、ケース部材４０を、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向に直角する方向に係止する。 Subsequently, the case member 40 is fitted into the case member 30 by sliding in the Y-axis direction. Thereby, the case member 40 is locked to the case member 30 in a direction perpendicular to the Y-axis direction.

続いて、図１０Ａに示すように、２つの治具９８、９９（保持部材）を用いて、ケース部材３０とケース部材４０とを挟み込むように、ケース部材３０及びケース部材４０を保持する。このとき、ケース部材４０は、ケース部材３０に係止されているため、治具９８、９９を装着しやすくなる。 Subsequently, as shown in FIG. 10A, the case member 30 and the case member 40 are held using two jigs 98 and 99 (holding members) so as to sandwich the case member 30 and the case member 40. At this time, since the case member 40 is locked to the case member 30, the jigs 98 and 99 can be easily attached.

続いて、図１０Ｂに示すように、切削部材９７を用いて、ケース部材３０、４０の−Ｙ側の端面を削る。例えば、切削部材９７を回転させつつ、ケース部材３０、４０の−Ｙ側の端面に沿って、＋Ｘ方向に移動させる。切削部材９７には、例えば、エンドミルが用いられる。これにより、ケース部材３０の−Ｙ側の端面及びケース部材４０の−Ｙ側の端面は、面一になるように形成される。 Subsequently, as illustrated in FIG. 10B, the end surfaces on the −Y side of the case members 30 and 40 are cut using the cutting member 97. For example, the cutting member 97 is rotated and moved in the + X direction along the −Y side end surfaces of the case members 30 and 40. For the cutting member 97, for example, an end mill is used. Accordingly, the end surface on the −Y side of the case member 30 and the end surface on the −Y side of the case member 40 are formed to be flush with each other.

同様に、切削部材９７を用いて、ケース部材３０、４０の＋Ｙ側の端面を削る。これにより、ケース部材３０の＋Ｙ側の端面及びケース部材４０の＋Ｙ側の端面は、面一になるように形成される。また、ケース部材３０、４０の＋Ｙ側及び−Ｙ側の両端面が、面一になるように形成されることで、ケース部材３０、４０の長手方向（Ｙ軸方向）の長さが同等になる。 Similarly, the + Y side end surfaces of the case members 30 and 40 are cut using the cutting member 97. Thereby, the + Y side end surface of the case member 30 and the + Y side end surface of the case member 40 are formed to be flush with each other. Further, by forming both end surfaces on the + Y side and −Y side of the case members 30 and 40 to be flush with each other, the lengths of the case members 30 and 40 in the longitudinal direction (Y-axis direction) are equal. Become.

図５及び図６に戻り、スライド部５０は、ロッド１１が固定されることにより、ロッド１１とともに＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に移動する部材である。スライド部５０は、図１１に示すように、複数の転動体５９を有しており、この転動体５９によって、ケース部材３０に支持されている。この転動体５９は、剛性の素材からなり、例えば、鋼材からなる。転動体５９は、スライド部５０とケース部材３０との間に複数配置されている。 5 and 6, the slide portion 50 is a member that moves in both the + Y direction and the −Y direction together with the rod 11 when the rod 11 is fixed. As shown in FIG. 11, the slide portion 50 has a plurality of rolling elements 59, and is supported by the case member 30 by the rolling elements 59. This rolling element 59 consists of a rigid raw material, for example, consists of steel materials. A plurality of rolling elements 59 are arranged between the slide portion 50 and the case member 30.

図１２及び図１３に示すように、スライド部５０の下端（−Ｚ側の端部）近傍の＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には、Ｙ軸方向に沿って凹部５１、５２がそれぞれ形成されている。凹部５１、５２は、Ｙ方向に沿って形成されている。この凹部５１、５２には、Ｙ軸方向を長手方向とするレール部５３、５４が取り付けられている。レール部５３の＋Ｘ側の面及びレール部５４の−Ｘ側の面には、溝部がそれぞれ形成されている。レール部５３、５４のそれぞれの溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。なお、本実施形態では、レール部５３、５４は、スライド部５０を構成する一つの部品であり、スライド部５０の本体部分とは、別の部材として構成されているが、スライド部５０の本体部分に一体に形成されていてもよい。 As shown in FIGS. 12 and 13, recesses 51 and 52 are formed along the Y-axis direction on the + X side surface and the −X side surface near the lower end (−Z side end portion) of the slide portion 50, respectively. Is formed. The recesses 51 and 52 are formed along the Y direction. Rail portions 53 and 54 having a longitudinal direction in the Y-axis direction are attached to the concave portions 51 and 52. Grooves are formed on the surface of the rail portion 53 on the + X side and the surface of the rail portion 54 on the −X side. The inner surface of each groove part of the rail parts 53 and 54 is comprised as a substantially curved surface. In the present embodiment, the rail portions 53 and 54 are one part constituting the slide portion 50 and are configured as separate members from the main body portion of the slide portion 50, but the main body of the slide portion 50. It may be formed integrally with the part.

スライド部５０には、図６に示すように、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔５５が形成されている。貫通孔５５の−Ｙ側からは、ロッド１１が挿入されて固定される。貫通孔５５の＋Ｙ側からは、後述するボールねじナット６２が挿入されて固定される。また、スライド部５０には、図１２及び図１３に示すように、貫通孔５５の内径よりも小さい内径に形成された一対の貫通孔５６、５７が形成されている。貫通孔５６、５７は、その内径が、転動体５９の直径よりも僅かに大きく形成されており、転動体５９が通過する循環路として用いられる。 As shown in FIG. 6, the slide portion 50 is formed with a through hole 55 that penetrates in the Y-axis direction. The rod 11 is inserted and fixed from the −Y side of the through hole 55. A ball screw nut 62 described later is inserted and fixed from the + Y side of the through hole 55. Further, as shown in FIGS. 12 and 13, the slide portion 50 is formed with a pair of through holes 56 and 57 having an inner diameter smaller than the inner diameter of the through hole 55. The through holes 56 and 57 have an inner diameter slightly larger than the diameter of the rolling element 59 and are used as a circulation path through which the rolling element 59 passes.

また、スライド部５０には、図１１及び図１３に示すように、貫通孔５６、５７の開口を覆うように、４つのリターンキャップ５８が、取り付けられている。リターンキャップ５８は、例えば、２本のねじによって固定されている。このリターンキャップ５８の内部には、転動体５９が、循環する循環路が形成されている。リターンキャップ５８に形成された循環路は、略Ｕ字状に形成された通路から構成される。 Moreover, as shown in FIG.11 and FIG.13, the four return caps 58 are attached to the slide part 50 so that the opening of the through-holes 56 and 57 may be covered. The return cap 58 is fixed by, for example, two screws. A circulation path through which the rolling elements 59 circulate is formed inside the return cap 58. The circulation path formed in the return cap 58 is composed of a passage formed in a substantially U shape.

上述のように構成されたスライド部５０は、図１１に示すように、複数の転動体５９を介して、ケース部材３０に取り付けられる。スライド部５０が取り付けられると、図１３に示すように、転動体５９は、ケース部材３０に取り付けられたレール部３８、３９と、スライド部５０に取り付けられたレール部５３、５４との間に挟まれる。レール部３８、３９とレール部５３、５４との間で、転動体５９が転動することにより、スライド部５０は、ケース部材３０に支持されつつ、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に円滑に移動する。 As shown in FIG. 11, the slide portion 50 configured as described above is attached to the case member 30 via a plurality of rolling elements 59. When the slide part 50 is attached, as shown in FIG. 13, the rolling element 59 is provided between the rail parts 38 and 39 attached to the case member 30 and the rail parts 53 and 54 attached to the slide part 50. Sandwiched. When the rolling element 59 rolls between the rail portions 38 and 39 and the rail portions 53 and 54, the slide portion 50 is smoothly supported in both the + Y direction and the −Y direction while being supported by the case member 30. Move to.

ボールねじ６０は、図６に示すように、ボールねじ軸６１（回転軸部材）と、ボールねじナット６２とを有する。ボールねじ６０は、ボールねじ軸６１の回転運動を、ボールねじナット６２の直線運動に変換する部材である。 As shown in FIG. 6, the ball screw 60 includes a ball screw shaft 61 (rotary shaft member) and a ball screw nut 62. The ball screw 60 is a member that converts the rotational motion of the ball screw shaft 61 into the linear motion of the ball screw nut 62.

ボールねじ軸６１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体６１ａと、ボールねじ軸本体６１ａの＋Ｙ側の端部に形成された小径部６１ｂとから構成される。ボールねじ軸６１の小径部６１ｂには、ベアリングユニット９０とカップリング６４（継手部材）が取り付けられる。 The ball screw shaft 61 includes a ball screw shaft main body 61a whose outer peripheral surface is configured as a spiral ball screw surface, and a small diameter portion 61b formed at the + Y side end of the ball screw shaft main body 61a. A bearing unit 90 and a coupling 64 (joint member) are attached to the small diameter portion 61 b of the ball screw shaft 61.

ボールねじナット６２は、図１４に示すように、ボールねじ軸６１のボールねじ軸本体６１ａの外周に配置されている。このボールねじナット６２は、ボールねじ軸６１に複数の転動体６３を介して嵌め込まれる。この転動体６３が転動することにより、ボールねじ軸６１の回転運動が、ボールねじナット６２の直線運動に円滑に変換される。また、ボールねじナット６２は、スライド部５０に形成された貫通孔５５の＋Ｙ側からは、挿入されて、ボルト等により固定される。 As shown in FIG. 14, the ball screw nut 62 is disposed on the outer periphery of the ball screw shaft main body 61 a of the ball screw shaft 61. The ball screw nut 62 is fitted into the ball screw shaft 61 via a plurality of rolling elements 63. As the rolling element 63 rolls, the rotational motion of the ball screw shaft 61 is smoothly converted into the linear motion of the ball screw nut 62. Further, the ball screw nut 62 is inserted from the + Y side of the through hole 55 formed in the slide portion 50 and is fixed by a bolt or the like.

カップリング６４は、図１５に示すように、ボールねじ軸６１の小径部６１ｂに取り付けられている。詳しくは、小径部６１ｂの外周面は、雄ねじが形成されており、カップリング６４は、小径部６１ｂに捻じ込まれる。カップリング６４は、モータユニット２０の出力軸２３の先端に取り付けられたカップリング２６に嵌合する形状に形成されている。カップリング６４とカップリング２６とが嵌合することにより、ボールねじ軸６１は、出力軸２３とともに回転する。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸６１に伝達される。 As shown in FIG. 15, the coupling 64 is attached to the small diameter portion 61 b of the ball screw shaft 61. Specifically, the outer peripheral surface of the small diameter portion 61b is formed with a male screw, and the coupling 64 is screwed into the small diameter portion 61b. The coupling 64 is formed in a shape that fits into the coupling 26 attached to the tip of the output shaft 23 of the motor unit 20. The ball screw shaft 61 rotates together with the output shaft 23 by fitting the coupling 64 and the coupling 26 together. Thereby, the rotational motion of the output shaft 23 is transmitted to the ball screw shaft 61.

フロントブラケット７０（第２支持部材）は、図５に示すように、ケース部材３０、４０の−Ｙ側に固定される部材である。フロントブラケット７０には、図６に示すように、ロッド１１を通すための貫通孔７１が形成されており、この貫通孔７１の内周面には、オイルレスベアリング７２が配置されている。オイルレスベアリング７２は、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。また、フロントブラケット７０には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔７３が形成されている。貫通孔７３は、図５に示すように、貫通孔７１の外周に沿って、８箇所、形成されている。この貫通孔７３には、フロントブラケット７０を、ケース部材３０、４０に固定するためのボルト１７が挿入される。貫通孔７３に挿入されたボルト１７は、ケース部材３０、４０のねじ穴３０ａ、４０ａに捻じ込まれる。これにより、フロントブラケット７０は、＋Ｙ方向に押し付けられるように、ケース部材３０、４０に固定される。 As shown in FIG. 5, the front bracket 70 (second support member) is a member that is fixed to the −Y side of the case members 30 and 40. As shown in FIG. 6, the front bracket 70 has a through hole 71 through which the rod 11 passes, and an oilless bearing 72 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole 71. The oilless bearing 72 supports the rod 11 so as to be movable in the Y-axis direction. Further, the front bracket 70 is formed with a through hole 73 that penetrates in the Y-axis direction. As shown in FIG. 5, eight through holes 73 are formed along the outer periphery of the through hole 71. Bolts 17 for fixing the front bracket 70 to the case members 30 and 40 are inserted into the through holes 73. The bolt 17 inserted into the through hole 73 is screwed into the screw holes 30a and 40a of the case members 30 and 40. Thereby, the front bracket 70 is fixed to the case members 30 and 40 so as to be pressed in the + Y direction.

リアブラケット８０（第１支持部材）は、図５に示すように、ケース部材３０、４０の＋Ｙ側に固定される部材である。リアブラケット８０は、ブラケット本体８０Ａと、ボールねじ軸６１を回転可能に支持するベアリングユニット９０とを有する。 The rear bracket 80 (first support member) is a member that is fixed to the + Y side of the case members 30 and 40 as shown in FIG. The rear bracket 80 includes a bracket body 80A and a bearing unit 90 that rotatably supports the ball screw shaft 61.

ブラケット本体８０Ａには、図６に示すように、ボールねじ軸６１を通すための貫通孔８１が形成されている。また、ブラケット本体８０Ａの−Ｙ側には、ベアリングユニット９０が固定される。ベアリングユニット９０は、例えば、ボルトによって、ブラケット本体８０Ａに固定される。また、ブラケット本体８０Ａには、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔８３が形成されている。貫通孔８３は、図５に示すように、貫通孔８１の外周に沿って、８箇所、形成されている。この貫通孔８３には、リアブラケット８０を、ケース部材３０、４０に固定するための８本のボルト１８が挿入される。貫通孔８３に挿入されたボルト１８は、ケース部材３０、４０のねじ穴３０ｂ、４０ｂに捻じ込まれる。これにより、リアブラケット８０は、−Ｙ方向に押し付けられるように、ケース部材３０、４０に固定される。 As shown in FIG. 6, the bracket body 80 A is formed with a through hole 81 through which the ball screw shaft 61 is passed. A bearing unit 90 is fixed to the −Y side of the bracket body 80A. The bearing unit 90 is fixed to the bracket main body 80A with, for example, bolts. The bracket body 80A is formed with a through hole 83 that penetrates in the Y-axis direction. As shown in FIG. 5, eight through holes 83 are formed along the outer periphery of the through hole 81. Eight bolts 18 for fixing the rear bracket 80 to the case members 30 and 40 are inserted into the through holes 83. The bolt 18 inserted into the through hole 83 is screwed into the screw holes 30b and 40b of the case members 30 and 40. Accordingly, the rear bracket 80 is fixed to the case members 30 and 40 so as to be pressed in the −Y direction.

ベアリングユニット９０は、例えば、ベアリング９１と、ベアリングハウジングと、ベアリング押え部とを有する。このベアリングユニット９０は、ボールねじ軸６１を挿入するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、ベアリング９１が配置されている。ベアリング９１は、例えば、円錐ころ軸受から構成される。ベアリング９１は、貫通孔の−Ｙ側から嵌め込まれ、ベアリング押え部によって押さえ込まれている。そして、ベアリング押え部は、ボルトによって、ベアリングハウジングに固定されている。ベアリング９１によって、ボールねじ軸６１は回転可能に支持される。 The bearing unit 90 includes, for example, a bearing 91, a bearing housing, and a bearing pressing portion. The bearing unit 90 has a through hole into which the ball screw shaft 61 is inserted, and a bearing 91 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole. The bearing 91 is composed of, for example, a tapered roller bearing. The bearing 91 is fitted from the −Y side of the through hole and is pressed by the bearing pressing portion. The bearing retainer is fixed to the bearing housing by bolts. The ball screw shaft 61 is rotatably supported by the bearing 91.

上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図１６Ａ〜図１６Ｃを用いて説明する。 The operation of the actuator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS. 16A to 16C.

先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図１６Ａに示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転（正転）する。出力軸２３が所定の方向に回転すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸６１が、出力軸２３とともに回転（正転）する。 First, when power is supplied to the motor 21 of the motor unit 20, as shown in FIG. 16A, the output shaft 23 of the motor 21 rotates (forward rotation) in a predetermined direction. When the output shaft 23 rotates in a predetermined direction, the ball screw shaft 61 connected to the output shaft 23 rotates (forward rotation) together with the output shaft 23.

ボールねじ軸６１が回転すると、図１６Ｂに示すように、ボールねじ軸６１の回転運動に伴って、ボールねじナット６２が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット６２が、−Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット６２に固定されているスライド部５０も、ボールねじナット６２とともに−Ｙ方向に移動をする。 When the ball screw shaft 61 rotates, as shown in FIG. 16B, the ball screw nut 62 linearly moves in the −Y direction, for example, with the rotational motion of the ball screw shaft 61. When the ball screw nut 62 moves in the −Y direction, the slide portion 50 fixed to the ball screw nut 62 also moves in the −Y direction together with the ball screw nut 62.

このとき、図１３を参照するとわかるように、ケース部材３０のレール部３８、３９と、スライド部５０のレール部５３、５４との間の転動体５９が転がり接触しながら転動する。転動体５９が、レール部３８、３９とレール部５３、５４と間を転がり接触しながら転動することにより、スライド部５０は、円滑に−Ｙ方向に移動する。 At this time, as can be seen with reference to FIG. 13, the rolling elements 59 between the rail portions 38 and 39 of the case member 30 and the rail portions 53 and 54 of the slide portion 50 roll while rolling. As the rolling element 59 rolls between the rail portions 38 and 39 and the rail portions 53 and 54 while rolling, the slide portion 50 moves smoothly in the −Y direction.

スライド部５０が−Ｙ方向に移動をすると、図１６Ｂに示すように、スライド部５０に固定されているロッド１１も、スライド部５０とともに−Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が−Ｙ方向に移動する。このとき、ロッド１１の先端側に、ワークＷが配置されている場合は、ロッド１１（詳しくは、ロッド１１の先端金具１２）がワークＷを押し付ける。 When the slide part 50 moves in the −Y direction, the rod 11 fixed to the slide part 50 also moves in the −Y direction together with the slide part 50 as shown in FIG. 16B. Thereby, the front-end | tip metal fitting 12 attached to the front-end | tip of the rod 11 moves to -Y direction. At this time, when the workpiece W is disposed on the distal end side of the rod 11, the rod 11 (specifically, the distal end fitting 12 of the rod 11) presses the workpiece W.

このとき、図１７に示すように、ロッド１１がワークＷを押し付ける押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、スライド部５０、ボールねじ６０を介して、リアブラケット８０に伝達される。リアブラケット８０は、ボルト１８によって、ケース部材３０及びケース部材４０それぞれに、Ｙ軸方向に固定されている。このため、反力Ｐ２は、矢印Ｐ３に示されるように、ケース部材３０だけでなく、ケース部材４０にも伝わる。 At this time, as shown in FIG. 17, a reaction force P2 against the pressing force P1 with which the rod 11 presses the workpiece W is transmitted to the rear bracket 80 via the slide portion 50 and the ball screw 60. The rear bracket 80 is fixed to the case member 30 and the case member 40 in the Y-axis direction by bolts 18. For this reason, the reaction force P2 is transmitted not only to the case member 30 but also to the case member 40 as indicated by an arrow P3.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の−Ｙ方向への移動が完了する。 Thus, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the −Y direction is completed.

次に、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転（逆転）すると、図１６Ｃに示すように、出力軸２３に接続されているボールねじ軸６１も、出力軸２３とともに逆方向に回転（逆転）する。 Next, when the output shaft 23 of the motor unit 20 rotates (reverses) in a direction opposite to a predetermined direction, the ball screw shaft 61 connected to the output shaft 23 also moves together with the output shaft 23 as shown in FIG. Rotate (reverse) in the opposite direction.

ボールねじ軸６１が回転すると、ボールねじ軸６１の回転運動に伴って、ボールねじナット６２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット６２が、＋Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット６２に固定されているスライド部５０も、ボールねじナット６２とともに＋Ｙ方向に移動をする。 When the ball screw shaft 61 rotates, the ball screw nut 62 moves linearly in the + Y direction as the ball screw shaft 61 rotates. When the ball screw nut 62 moves in the + Y direction, the slide portion 50 fixed to the ball screw nut 62 also moves in the + Y direction together with the ball screw nut 62.

このときも、図１３を参照するとわかるように、ケース部材３０のレール部３８、３９と、スライド部５０のレール部５３、５４との間の転動体５９が転がり接触しながら転動する。転動体５９が、レール部３８、３９とレール部５３、５４と間を転がり接触しながら転動することにより、スライド部５０は、円滑に＋Ｙ方向に移動する。 Also at this time, as can be seen with reference to FIG. 13, the rolling elements 59 between the rail portions 38 and 39 of the case member 30 and the rail portions 53 and 54 of the slide portion 50 roll while making rolling contact. As the rolling element 59 rolls between the rail portions 38 and 39 and the rail portions 53 and 54 while rolling, the slide portion 50 moves smoothly in the + Y direction.

スライド部５０が＋Ｙ方向に移動をすると、図１６Ｃに示すように、スライド部５０に固定されているロッド１１も、スライド部５０とともに＋Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が＋Ｙ方向に移動し、ロッド１１（詳しくは、ロッド１１の先端金具１２）がワークＷから離間する。 When the slide part 50 moves in the + Y direction, the rod 11 fixed to the slide part 50 also moves in the + Y direction together with the slide part 50 as shown in FIG. 16C. As a result, the tip fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the + Y direction, and the rod 11 (specifically, the tip fitting 12 of the rod 11) is separated from the workpiece W.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の＋Ｙ方向への移動が完了し、ロッド１１及び先端金具１２は、初期位置まで戻る。 As described above, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the + Y direction is completed, and the rod 11 and the tip fitting 12 return to the initial positions.

上述のように構成されたアクチュエータ１０において、スライド部５０の転動体５９や、ボールねじ６０の転動体６３にグリスを注入するなどの保守作業を行う場合には、以下のように行われる。 In the actuator 10 configured as described above, maintenance work such as injecting grease into the rolling elements 59 of the slide unit 50 and the rolling elements 63 of the ball screw 60 is performed as follows.

先ず、図１に示すアクチュエータ１０から、モータユニット２０を取り外すとともに、全てのボルト１７を取り外して、フロントブラケット７０を取り外す。続いて、図１８に示すように、８本のボルト１８のうち、リアブラケット８０をケース部材４０に固定する４本のボルト１８（＋Ｚ側の４本のボルト１８）を取り外す。続いて、ケース部材４０を−Ｙ方向にスライド移動させて、ケース部材４０を取り外す。この状態で、グリス注入作業などの保守作業を行う。保守作業が終了したら、再び、ケース部材４０を＋Ｙ方向にスライド移動させて、ケース部材４０を取り付ける。そして、ボルト１７によって、フロントブラケット７０を取り付ける。以上により、保守作業は、完了する。 First, the motor unit 20 is removed from the actuator 10 shown in FIG. 1, all the bolts 17 are removed, and the front bracket 70 is removed. Subsequently, as shown in FIG. 18, among the eight bolts 18, the four bolts 18 (four bolts 18 on the + Z side) that fix the rear bracket 80 to the case member 40 are removed. Subsequently, the case member 40 is slid in the −Y direction to remove the case member 40. In this state, maintenance work such as grease injection work is performed. When the maintenance work is completed, the case member 40 is attached by sliding the case member 40 in the + Y direction again. Then, the front bracket 70 is attached with the bolt 17. Thus, the maintenance work is completed.

以上、説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、リアブラケット８０は、ボルト１８によって、ケース部材３０、４０それぞれに対して、−Ｙ方向に押し付けられるように固定されている。このため、ロッド１１の先端をワークＷに押し付けた場合、図１７に示すように、押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、ボールねじ６０やリアブラケット８０を介して、ケース部材３０だけでなく、ケース部材４０にも伝わる。これにより、ケース部材３０、４０に、曲げモーメントが加わりにくくなるため、ケース部材３０に形成されたレール部３８、３９が撓みにくくなる。 As described above, according to the actuator 10 according to the present embodiment, the rear bracket 80 is fixed to the case members 30 and 40 by the bolts 18 so as to be pressed in the −Y direction. For this reason, when the tip of the rod 11 is pressed against the workpiece W, the reaction force P2 against the pressing force P1 is not limited to the case member 30 via the ball screw 60 and the rear bracket 80, as shown in FIG. It is also transmitted to the member 40. Thereby, since it becomes difficult to apply a bending moment to the case members 30 and 40, the rail parts 38 and 39 formed in the case member 30 become difficult to bend.

図１９は、従来のアクチュエータ１０Ａの作用を説明するための断面図である。図１９に示すように、従来のアクチュエータ１０Ａにおいては、リアブラケット８０は、ボルト１８によって、スライド部５０を移動可能に支持するベース１３０に固定されている。そして、カバー１４０が、フロントブラケット７０及びリアブラケット８０に、上側（＋Ｚ側）から取り付けられる。カバー１４０は、ボルト１４１を−Ｚ方向に挿入することにより固定される。このアクチュエータ１０Ａの場合、ロッド１１の先端をワークＷに押し付けると、押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、スライド部５０やボールねじ６０を介して、リアブラケット８０に伝わる。そうすると、リアブラケット８０とベース１３０との固定部分（ボルト１８）を中心に曲げモーメントＭが加わり、ベース１３０に形成されたレール部や溝部が撓むおそれがある。結果として、スライド部５０及びロッド１１が、安定して移動しにくくなるおそれがある。 FIG. 19 is a cross-sectional view for explaining the operation of the conventional actuator 10A. As shown in FIG. 19, in the conventional actuator 10 A, the rear bracket 80 is fixed to a base 130 that supports the slide unit 50 movably by bolts 18. Then, the cover 140 is attached to the front bracket 70 and the rear bracket 80 from the upper side (+ Z side). The cover 140 is fixed by inserting the bolt 141 in the −Z direction. In the case of this actuator 10 A, when the tip of the rod 11 is pressed against the workpiece W, a reaction force P 2 with respect to the pressing force P 1 is transmitted to the rear bracket 80 via the slide portion 50 and the ball screw 60. If it does so, bending moment M will be added centering | focusing on the fixing | fixed part (bolt 18) of the rear bracket 80 and the base 130, and there exists a possibility that the rail part and groove part which were formed in the base 130 may bend. As a result, the slide part 50 and the rod 11 may be difficult to move stably.

これに対して、本実施形態に係るアクチュエータ１０では、図１７に示すように、押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、ケース部材３０だけでなく、ケース部材４０にも伝わるため、ケース部材３０、４０に曲げモーメントＭが加わりにくくなる。このため、ケース部材３０のレール部３８、３９が撓みにくくなり、結果として、レール部３８、３９に沿って移動するスライド部５０及びロッド１１の動作を、安定したものにできる。 On the other hand, in the actuator 10 according to the present embodiment, as shown in FIG. 17, the reaction force P2 against the pressing force P1 is transmitted not only to the case member 30 but also to the case member 40. The bending moment M is difficult to be applied. For this reason, it becomes difficult for the rail parts 38 and 39 of the case member 30 to bend, and as a result, operation | movement of the slide part 50 and the rod 11 which move along the rail parts 38 and 39 can be stabilized.

また、本実施形態では、フロントブラケット７０についても、ボルト１７によって、ケース部材３０、４０それぞれに対して、＋Ｙ方向に押し付けられるように固定されている。このため、押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、ケース部材３０だけでなく、ケース部材４０にも、伝わりやすくなる。したがって、ケース部材３０、４０に曲げモーメントＭが加わりにくくなる。これにより、ケース部材３０のレール部３８、３９がより撓みにくくなり、結果として、レール部３８、３９に沿って移動するスライド部５０及びロッド１１の動作を、より安定したものにできる。 In the present embodiment, the front bracket 70 is also fixed by the bolt 17 so as to be pressed against the case members 30 and 40 in the + Y direction. For this reason, the reaction force P2 against the pressing force P1 is easily transmitted not only to the case member 30 but also to the case member 40. Therefore, the bending moment M is hardly applied to the case members 30 and 40. Thereby, the rail parts 38 and 39 of the case member 30 become more difficult to bend, and as a result, the operations of the slide part 50 and the rod 11 moving along the rail parts 38 and 39 can be made more stable.

また、本実施形態では、フロントブラケット７０を固定するためのボルト１７は、Ｙ軸方向に沿って取り付けられている。同様に、リアブラケット８０を固定するためのボルト１８も、Ｙ軸方向に沿って取り付けられている。すなわち、ボルト１７、１８は、ケース部材３０のレール部３８、３９に平行に取り付けられている。このため、ボルト１７、１８の締結に伴って生じる締結力に起因して、レール部３８、３９の撓みを抑制することができる。例えば、ボルトを、ケース部材３０、４０に上方（＋Ｚ方向）や下方（−Ｚ方向）から取り付けた場合は、このボルトを締結したときに生じる締結力によって、ケース部材３０、４０が歪み、結果的に、ケース部材３０のレール部３８、３９が撓むおそれがある。しかしながら、本実施形態においては、ボルト１７、１８は、ケース部材３０のレール部３８、３９に平行に取り付けられているため、ボルト１７、１８をケース部材３０、４０に締結しても、レール部３８、３９が撓みにくくなる。結果として、レール部３８、３９に沿って移動するスライド部５０及びロッド１１の動作を、安定したものにできる。 In the present embodiment, the bolt 17 for fixing the front bracket 70 is attached along the Y-axis direction. Similarly, the bolt 18 for fixing the rear bracket 80 is also attached along the Y-axis direction. That is, the bolts 17 and 18 are attached in parallel to the rail portions 38 and 39 of the case member 30. For this reason, it is possible to suppress the deflection of the rail portions 38 and 39 due to the fastening force generated when the bolts 17 and 18 are fastened. For example, when the bolt is attached to the case members 30 and 40 from above (+ Z direction) or below (−Z direction), the case members 30 and 40 are distorted by the fastening force generated when the bolts are fastened. Therefore, the rail portions 38 and 39 of the case member 30 may be bent. However, in the present embodiment, the bolts 17 and 18 are attached in parallel to the rail portions 38 and 39 of the case member 30, so that even if the bolts 17 and 18 are fastened to the case members 30 and 40, the rail portion 38 and 39 become difficult to bend. As a result, the operations of the slide part 50 and the rod 11 moving along the rail parts 38 and 39 can be stabilized.

また、本実施形態では、ケース部材３０の凹部３６、３７への、ケース部材４０の凸部４６、４７の係合等により、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向に直角する方向（例えば、Ｚ軸方向やＸ軸方向）に係止されている。このため、押付け力Ｐ１に対して生じる反力Ｐ２等に起因して、ケース部材３０のレール部３８、３９の撓みを抑制することができる。 In the present embodiment, the case member 40 is perpendicular to the case member 30 in the Y-axis direction by the engagement of the convex portions 46 and 47 of the case member 40 with the concave portions 36 and 37 of the case member 30. It is locked in the direction (for example, the Z-axis direction or the X-axis direction). For this reason, it is possible to suppress the deflection of the rail portions 38 and 39 of the case member 30 due to the reaction force P2 generated with respect to the pressing force P1.

例えば、図２０に示すように、ケース部材３０の凹部３６、３７やケース部材４０の凸部４６、４７が形成されておらず、ケース部材４０が、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向に直角する方向に係止されていないケース部材３０、４０について考える。この場合、アクチュエータ１０Ｂが行う作業内容によっては、ケース部材３０及びケース部材４０それぞれが撓み、ケース部材３０とケース部材４０との間（ケース部材３０とケース部材４０との合わせ面）に隙間Ｓが生じるおそれがある。すると、アクチュエータ１０Ｂの作業によって生じる振動により、ケース部材３０、４０の合わせ面が接触するなどして、異音が発生するおそれがある。この異音は、ケース部材３０、４０の長手方向（Ｙ軸方向）の長さが長いほど、発生しやすくなる。また、ケース部材３０が撓むため、ケース部材３０のレール部や溝部が撓み、結果として、ロッド１１が、安定して移動しにくくなるおそれがある。 For example, as shown in FIG. 20, the concave portions 36 and 37 of the case member 30 and the convex portions 46 and 47 of the case member 40 are not formed, and the case member 40 is in the Y-axis direction with respect to the case member 30. Consider case members 30, 40 that are not locked in a perpendicular direction. In this case, depending on the work performed by the actuator 10B, the case member 30 and the case member 40 each bend, and a gap S is formed between the case member 30 and the case member 40 (a mating surface between the case member 30 and the case member 40). May occur. Then, there is a possibility that abnormal noise may occur due to the contact surfaces of the case members 30 and 40 coming into contact with each other due to vibration generated by the operation of the actuator 10B. This abnormal noise is more likely to occur as the length of the case members 30 and 40 in the longitudinal direction (Y-axis direction) is longer. Moreover, since the case member 30 bends, the rail part and the groove part of the case member 30 bend, and as a result, the rod 11 may be difficult to move stably.

しかしながら、本実施形態では、ケース部材３０の凹部３６、３７への、ケース部材４０の凸部４６、４７の係合等により、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｚ軸方向に係止されているため、ケース部材３０とケース部材４０との間に隙間Ｓが生じることもなく、ケース部材３０、４０の合わせ面が接触するなどの異音が発生することもない。また、ケース部材３０のレール部３８、３９が撓みにくくなり、結果として、レール部３８、３９に沿って移動するスライド部５０及びロッド１１の動作を安定したものにできる。 However, in this embodiment, the case member 40 is engaged with the case member 30 in the Z-axis direction by the engagement of the convex portions 46 and 47 of the case member 40 with the concave portions 36 and 37 of the case member 30. Since it is stopped, there is no gap S between the case member 30 and the case member 40, and no abnormal noise such as contact of the mating surfaces of the case members 30 and 40 is generated. Further, the rail portions 38 and 39 of the case member 30 are not easily bent, and as a result, the operations of the slide portion 50 and the rod 11 moving along the rail portions 38 and 39 can be stabilized.

また、ケース部材４０を、ケース部材３０に固定するための特別な固定手段を不要とすることができる。例えば、ボルトやねじ等で、ケース部材４０を、ケース部材３０に固定する必要がないため、ボルトやねじ等を不要にできるとともに、ケース部材３０、４０にねじ穴を形成するための加工を施す必要もない。結果として、アクチュエータ１０の製造コストを抑えることができる。 Further, special fixing means for fixing the case member 40 to the case member 30 can be eliminated. For example, since it is not necessary to fix the case member 40 to the case member 30 with bolts, screws, etc., the bolts, screws, etc. can be made unnecessary, and the case members 30, 40 are processed to form screw holes. There is no need. As a result, the manufacturing cost of the actuator 10 can be suppressed.

また、本実施形態では、図１０Ａ及び図１０Ｂを参照するとわかるように、ケース部材３０の凹部３６、３７とケース部材４０の凸部４６、４７との係合により、ケース部材４０は、ケース部材３０に係止されているため、治具９８、９９を、ケース部材３０、４０に容易に装着できる。これにより、ケース部材３０、４０の端面の切削加工が行いやすくなる。したがって、ケース部材３０、４０の＋Ｙ側及び−Ｙ側の両端面を、容易に面一に形成することができる。 Further, in this embodiment, as can be seen with reference to FIGS. 10A and 10B, the case member 40 is formed by the engagement between the concave portions 36 and 37 of the case member 30 and the convex portions 46 and 47 of the case member 40. The jigs 98 and 99 can be easily attached to the case members 30 and 40 because they are locked to the case 30. Thereby, it becomes easy to cut the end surfaces of the case members 30 and 40. Therefore, both the end surfaces on the + Y side and −Y side of the case members 30 and 40 can be easily formed flush with each other.

また、本実施形態では、ケース部材３０、４０の＋Ｙ側及び−Ｙ側の両端面は、面一に形成されているため、ケース部材３０、４０に、フロントブラケット７０、リアブラケット８０を、隙間なく取り付けることができる。例えば、ケース部材３０、４０の両端面は、面一に形成されていない場合は、フロントブラケット７０、リアブラケット８０が、Ｚ軸方向に対して斜めに取り付けられてしまう。この場合、ロッド１１の軸芯調整が困難になる。これに対して、本実施形態では、ケース部材３０、４０の両端面は、面一に形成されているため、フロントブラケット７０、リアブラケット８０を、隙間なく取り付けることができ、ロッド１１の軸芯調整も容易になる。 In the present embodiment, since both end surfaces on the + Y side and −Y side of the case members 30 and 40 are formed flush with each other, the front bracket 70 and the rear bracket 80 are connected to the case members 30 and 40 with a gap. Can be installed without. For example, when both end surfaces of the case members 30 and 40 are not formed flush with each other, the front bracket 70 and the rear bracket 80 are attached obliquely with respect to the Z-axis direction. In this case, adjustment of the axis of the rod 11 becomes difficult. On the other hand, in this embodiment, since both end surfaces of the case members 30 and 40 are formed flush with each other, the front bracket 70 and the rear bracket 80 can be attached without a gap, and the axis of the rod 11 can be attached. Adjustment is also easy.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited by the said embodiment etc.

例えば、本実施形態においては、図１２に示すように、スライド部５０は、ケース部材３０の側壁部３２と側壁部３３との間に嵌め込まれるように、ケース部材３０に取り付けられる。しかしながら、これに限らず、図２１に示すように、ケース部材３０の底板部３１に形成された突出部１０１が、スライド部５０の突出部１０２と突出部１０３との間に嵌め込まれることで、スライド部５０は、ケース部材３０に取り付けられていてもよい。 For example, in the present embodiment, as shown in FIG. 12, the slide part 50 is attached to the case member 30 so as to be fitted between the side wall part 32 and the side wall part 33 of the case member 30. However, not limited to this, as shown in FIG. 21, the protrusion 101 formed on the bottom plate portion 31 of the case member 30 is fitted between the protrusion 102 and the protrusion 103 of the slide portion 50. The slide part 50 may be attached to the case member 30.

また、本実施形態においては、図５に示すように、リアブラケット８０を取り付けるためのボルト１８は、８本である。しかしながら、これに限られず、７本以下であってもよいし、９本以上であってもよい。ただし、押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、できるだけ同じようにケース部材３０、４０に伝わるように、ケース部材３０に取り付けられるボルト１８の本数（本実施形態においては、４本）と、ケース部材４０に取り付けられるボルト１８の本数（本実施形態においては、４本）とは、同じ本数であることが好ましい。 Moreover, in this embodiment, as shown in FIG. 5, the number of bolts 18 for attaching the rear bracket 80 is eight. However, it is not limited to this, and it may be 7 or less, or 9 or more. However, the number of bolts 18 (four in this embodiment) attached to the case member 30 and the case member 40 so that the reaction force P2 with respect to the pressing force P1 is transmitted to the case members 30 and 40 in the same way as possible. It is preferable that the number of the bolts 18 to be attached to (4 in this embodiment) is the same number.

同様に、本実施形態においては、図５に示すように、フロントブラケット７０を取り付けるためのボルト１７は、８本である。しかしながら、これに限られず、７本以下であってもよいし、９本以上であってもよい。ただし、押付け力Ｐ１に対する反力Ｐ２が、できるだけ同じようにケース部材３０、４０に伝わるように、ケース部材３０に取り付けられるボルト１７の本数（本実施形態においては、４本）と、ケース部材４０に取り付けられるボルト１７の本数（本実施形態においては、４本）とは、同じ本数であることが好ましい。 Similarly, in this embodiment, as shown in FIG. 5, the number of bolts 17 for attaching the front bracket 70 is eight. However, it is not limited to this, and it may be 7 or less, or 9 or more. However, the number of bolts 17 (four in this embodiment) attached to the case member 30 and the case member 40 so that the reaction force P2 with respect to the pressing force P1 is transmitted to the case members 30 and 40 in the same way as possible. It is preferable that the number of the bolts 17 to be attached to (4 in the present embodiment) is the same number.

また、本実施形態においては、図８Ｂ、図８Ｃ、及び図８Ｄに示すように、ケース部材３０の側壁部３２、３３に形成された切欠部３２ｂ、３３ｂに、ケース部材４０の側壁部４２、４３に形成された突出部４４、４５が嵌り込む。そして、ケース部材３０の凹部３６、３７に、ケース部材４０の凸部４６、４７が係合する。これにより、ケース部材４０は、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向に直角する方向に係止されている。しかしながら、これに限らず、ケース部材４０が、ケース部材３０に対して、Ｙ軸方向に直角する方向に係止される構造であれば、これ以外の構造であってもよい。 Further, in the present embodiment, as shown in FIGS. 8B, 8C, and 8D, the side wall portion 42 of the case member 40 is formed in the notches 32b and 33b formed in the side wall portions 32 and 33 of the case member 30. The protrusions 44 and 45 formed in 43 are fitted. Then, the convex portions 46 and 47 of the case member 40 are engaged with the concave portions 36 and 37 of the case member 30. Thereby, the case member 40 is locked to the case member 30 in a direction perpendicular to the Y-axis direction. However, the structure is not limited to this, and the case member 40 may have any other structure as long as the case member 40 is engaged with the case member 30 in a direction perpendicular to the Y-axis direction.

例えば、本実施形態においては、ケース部材３０の側壁部３２、３３の上部の外側には、切欠部３２ｂ、３３ｂが形成されている。一方、ケース部材４０の側壁部４２、４３の下部の内側には、切欠部４２ｂ、４３ｂが形成されている。しかしながら、これとは逆に、図２２Ａ及び図２２Ｂに示すように、側壁部３２、３３の上部の内側（側壁部３２の上部の−Ｘ側、側壁部３３の上部の＋Ｘ側）に、切欠部３２ｂ、３３ｂが形成されていてもよいし、側壁部４２、４３の下部の外側（側壁部４２の下部の＋Ｘ側、側壁部４３の下部の−Ｘ側）に、切欠部４２ｂ、４３ｂが形成されていてもよい。 For example, in the present embodiment, notches 32 b and 33 b are formed outside the upper portions of the side walls 32 and 33 of the case member 30. On the other hand, notches 42 b and 43 b are formed inside the lower portions of the side wall portions 42 and 43 of the case member 40. However, on the contrary, as shown in FIGS. 22A and 22B, notches are formed inside the upper portions of the side wall portions 32 and 33 (the −X side above the side wall portion 32 and the + X side above the side wall portion 33). The portions 32b and 33b may be formed, and the notches 42b and 43b are formed outside the lower portions of the side wall portions 42 and 43 (on the + X side below the side wall portion 42 and on the −X side below the side wall portion 43). It may be formed.

また、本実施形態においては、ケース部材３０には、凹部３６、３７が形成されている。一方、ケース部材４０には、凸部４６、４７が形成されている。しかしながら、これとは逆に、ケース部材３０側に、凸部が形成されていてもよいし、ケース部材４０側に、凹部が形成されていてもよい。 In the present embodiment, the case member 30 is formed with recesses 36 and 37. On the other hand, convex portions 46 and 47 are formed on the case member 40. However, on the contrary, a convex portion may be formed on the case member 30 side, or a concave portion may be formed on the case member 40 side.

また、本実施形態においては、図８Ｃに示すように、凸部４７は、その断面が、略半円形状となるように形成されているが、これに限られない。例えば、断面が、図２３Ａに示すように、四角形状となるように形成されてもよいし、図２３Ｂに示すように、三角形状となるように形成されてもよい。また、図２３Ｃに示すように、上方に突出する略Ｔ字形状に形成されていてもよい。また、これ以外の形状であってもよい。 Moreover, in this embodiment, as shown to FIG. 8C, although the convex part 47 is formed so that the cross section may become a substantially semicircle shape, it is not restricted to this. For example, the cross section may be formed in a quadrangular shape as shown in FIG. 23A, or may be formed in a triangular shape as shown in FIG. 23B. Moreover, as shown to FIG. 23C, you may form in the substantially T shape which protrudes upwards. Moreover, shapes other than this may be sufficient.

また、本実施形態においては、フロントブラケット７０及びリアブラケット８０を、ケース部材３０、４０に固定するために、ボルト１７、１８が用いられている。しかしながら、これに限らず、止めねじ等であってもよい。 In the present embodiment, the bolts 17 and 18 are used to fix the front bracket 70 and the rear bracket 80 to the case members 30 and 40. However, the present invention is not limited to this, and a set screw or the like may be used.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。 Various embodiments and modifications can be made to the present invention without departing from the broad spirit and scope of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

１０、１０Ａ、１０Ｂアクチュエータ
１１ロッド
１２先端金具
１７ボルト（第２固定手段）
１８ボルト（第１固定手段）
２０モータユニット
２１モータ
２２モータカバー
２２ａ開口
２３出力軸（回転軸）
２４アクチュエータケーブル
２５フランジ部
２６カップリング
３０ケース部材（第１ケース部材）
３０ａ、３０ｂねじ穴
３１底板部
３２、３３側壁部
３２ａ、３３ａ凹部
３２ｂ、３３ｂ切欠部
３４、３５突出部
３６、３７凹部
３８、３９レール部
４０ケース部材（第２ケース部材）
４０ａ、４０ｂねじ穴
４１天板部
４２、４３側壁部
４２ｂ、４３ｂ切欠部
４４、４５突出部
４６、４７凸部
５０スライド部
５１、５２凹部
５３、５４レール部
５５、５６、５７貫通孔
５８リターンキャップ
５９転動体
６０ボールねじ
６１ボールねじ軸
６１ａボールねじ軸本体
６１ｂ小径部
６２ボールねじナット
６３転動体
６４カップリング
７０フロントブラケット（第２支持部材）
７１貫通孔
７２オイルレスベアリング
７３貫通孔
８０リアブラケット（第１支持部材）
８０Ａブラケット本体
８１、８３貫通孔
９０ベアリングユニット
９１ベアリング
９７切削部材
９８、９９治具
１０１、１０２、１０３突出部
１３０ベース
１４０カバー
１４１ボルト
Ｌ１、Ｌ４長さ
Ｌ２、Ｌ３厚み
Ｐ１押付け力
Ｐ２反力
Ｍ曲げモーメント
Ｗワーク
Ｓ隙間 10, 10A, 10B Actuator 11 Rod 12 End fitting 17 Bolt (second fixing means)
18 bolts (first fixing means)
20 Motor unit 21 Motor 22 Motor cover 22a Opening 23 Output shaft (rotating shaft)
24 Actuator cable 25 Flange 26 Coupling 30 Case member (first case member)
30a, 30b Screw hole 31 Bottom plate portion 32, 33 Side wall portion 32a, 33a Recessed portion 32b, 33b Notched portion 34, 35 Protruding portion 36, 37 Recessed portion 38, 39 Rail portion 40 Case member (second case member)
40a, 40b Screw hole 41 Top plate part 42, 43 Side wall part 42b, 43b Notch part 44, 45 Protruding part 46, 47 Convex part 50 Slide part 51, 52 Concave part 53, 54 Rail part 55, 56, 57 Through hole 58 Return Cap 59 Rolling element 60 Ball screw 61 Ball screw shaft 61a Ball screw shaft main body 61b Small diameter portion 62 Ball screw nut 63 Rolling element 64 Coupling 70 Front bracket (second support member)
71 Through hole 72 Oilless bearing 73 Through hole 80 Rear bracket (first support member)
80A Bracket body 81, 83 Through hole 90 Bearing unit 91 Bearing 97 Cutting member 98, 99 Jig 101, 102, 103 Protruding part 130 Base 140 Cover 141 Bolt L1, L4 Length L2, L3 Thickness P1 Pressing force P2 Reaction force M Bending moment W Workpiece S Clearance

Claims

A rotating shaft member that rotates by the rotating motion of the rotating shaft of the motor;
Along with the rotational movement of the rotary shaft member, a slide part that linearly moves in the axial direction of the rotary shaft member;
By being fixed to the slide part, a rod that moves linearly with the slide part;
A first support member that rotatably supports the rotating shaft member;
A first case member having a rail portion to which the first support member is fixed and the slide portion is movably supported in the axial direction;
A second case member that is attached to the first case member so as to cover the slide portion and to which the first support member is fixed;
First fixing means for fixing the first support member to the first case member and the second case member so as to press the first support member in the axial direction;
I have a,
One of the first case member and the second case member is formed with a convex portion that protrudes to the other of the first case member and the second case member along the axial direction.
On the other of the first case member and the second case member, a concave portion with which the convex portion is engaged is formed along the axial direction.
When the convex portion engages with the concave portion, the second case member is locked in a direction perpendicular to the axial direction with respect to the first case member .

The first fixing means includes a bolt,
A through hole for inserting the first fixing means is formed in the first support member so as to penetrate in the axial direction.
2. The actuator according to claim 1, wherein each of the first case member and the second case member is formed with a screw hole for screwing the first fixing means.

A second support member for supporting the rod so as to be movable in the axial direction;
Second fixing means for fixing the second support member so as to be pressed against the first case member and the second case member in the axial direction;
The actuator according to claim 1, wherein the actuator is provided.

The second fixing means is composed of a bolt,
A through hole for inserting the second fixing means is formed in the second support member so as to penetrate in the axial direction,
The actuator according to claim 3, wherein the first case member and the second case member are formed with screw holes for screwing the second fixing means.

A groove portion is formed in the slide portion along the axial direction,
The said slide part is supported by the said 1st case member via the some rolling element which rolls between the said groove part and the said rail part, The any one of Claim 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned. The actuator according to item.

One end surface in the axial direction of the first case member and one end surface in the axial direction of the second case member are formed flush with each other,
And the axial direction of the other end face of the first case member, wherein a is the axial direction of the other end face of the second case member, one of the claims 1 to 5, characterized in that are flush The actuator according to claim 1.

The rotating shaft member is composed of a ball screw shaft,
The actuator according to any one of claims 1 to 6 , wherein the slide portion includes a ball screw nut that converts a rotational motion of the ball screw shaft into a linear motion.

A rotating shaft member that rotates by the rotating motion of the rotating shaft of the motor;
Along with the rotational movement of the rotary shaft member, a slide part that linearly moves in the axial direction of the rotary shaft member;
By being fixed to the slide part, a rod that moves linearly with the slide part;
A first support member that rotatably supports the rotating shaft member;
A first case member having a rail portion to which the first support member is fixed and the slide portion is movably supported in the axial direction;
A second case member that is attached to the first case member so as to cover the slide portion and to which the first support member is fixed;
First fixing means for fixing the first support member to the first case member and the second case member so as to press the first support member in the axial direction;
A method of manufacturing an actuator having
A holding step of holding the first case member and the second case member by a holding member that holds the first case member and the second case member so as to sandwich the first case member;
The end surface of the first case member and the second case member so that one end surface of the first case member held by the holding step and one end surface of the second case member are flush with each other. A first cutting step of cutting the end face of
The end surface of the first case member and the second case member so that the other end surface of the first case member held by the holding step and the other end surface of the second case member are flush with each other. A second cutting step of cutting the end face of
The manufacturing method of the actuator characterized by the above-mentioned.

An actuator manufacturing method according to any one of claims 1 to 7 ,
A holding step of holding the first case member and the second case member by a holding member that holds the first case member and the second case member so as to sandwich the first case member;
The end surface of the first case member and the second case member so that one end surface of the first case member held by the holding step and one end surface of the second case member are flush with each other. A first cutting step of cutting the end face of
The end surface of the first case member and the second case member so that the other end surface of the first case member held by the holding step and the other end surface of the second case member are flush with each other. A second cutting step of cutting the end face of
The manufacturing method of the actuator characterized by the above-mentioned.