JP6611409B2

JP6611409B2 - Actuator and steady rest mechanism

Info

Publication number: JP6611409B2
Application number: JP2013222338A
Authority: JP
Inventors: 竜也半田
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2013-10-25
Filing date: 2013-10-25
Publication date: 2019-11-27
Anticipated expiration: 2033-10-25
Also published as: JP2015083857A

Description

本発明は、アクチュエータ、及び振れ止め機構に関する。 The present invention relates to an actuator and a steady rest mechanism.

ロッドタイプのアクチュエータでは、例えば、モータの回転運動が、ボールねじを介して、スライド部に伝達されることにより、スライド部に固定されたロッドが進退移動する。これにより、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、作業対象のワークを押圧するなど、様々な作業を行う。このようなアクチュエータでは、ボールねじ軸の先端（モータが接続された駆動端とは反対側の自由端）に振れ回りが生じやすい。特に、モータの回転運動が高速である程、ボールねじ軸の曲がりや自重によるたわみが大きくなり、ボールねじ軸の先端の振れ回りは大きくなる。このため、ボールねじ軸の危険速度を大きくすることができず、モータを高速で回転させることができなかった。 In a rod type actuator, for example, the rotational movement of a motor is transmitted to a slide part via a ball screw, so that the rod fixed to the slide part moves forward and backward. Thereby, an arbitrary tool attached to the tip of the rod performs various operations such as pressing the workpiece to be worked. In such an actuator, swinging tends to occur at the tip of the ball screw shaft (the free end opposite to the drive end to which the motor is connected). In particular, the higher the rotational movement of the motor, the greater the deflection of the ball screw shaft due to bending and its own weight, and the greater the deflection of the tip of the ball screw shaft. For this reason, the critical speed of the ball screw shaft cannot be increased, and the motor cannot be rotated at a high speed.

これに対して、特許文献１には、ボールねじ軸の先端の振れ回りを抑制する振れ止め部材を備えたアクチュエータが開示されている。ボールねじ軸の先端は、この振れ止め部材を介して、ロッドの孔の内周に支持されている。 On the other hand, Patent Document 1 discloses an actuator including a steadying member that suppresses the swinging of the tip of the ball screw shaft. The tip of the ball screw shaft is supported on the inner periphery of the hole of the rod through this steadying member.

特開２０１３−３６６０６号公報JP 2013-36606 A

特許文献１に記載のアクチュエータでは、ロッドの進退移動に伴い、振れ止め部材は、ロッドの孔の内周面を摺動する。特にアクチュエータが大型である程、振れ止め部材と孔の内周面との接触面積が大きくなり、振れ止め部材とロッドの孔の内周面との間の摺動抵抗が大きくなる。結果として、ロッドの円滑な移動を阻害するおそれが生ずる。 In the actuator described in Patent Document 1, as the rod moves forward and backward, the steadying member slides on the inner peripheral surface of the hole of the rod. In particular, the larger the actuator, the larger the contact area between the steady member and the inner peripheral surface of the hole, and the greater the sliding resistance between the steady member and the inner peripheral surface of the rod hole. As a result, the smooth movement of the rod may be hindered.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、ロッドの挿入孔の内周面と振れ止め機構との間の抵抗を低減することができるアクチュエータ、及び振れ止め機構を提供することを目的とする。 The present invention has been made under the circumstances described above, and it is an object of the present invention to provide an actuator that can reduce the resistance between the inner peripheral surface of the insertion hole of the rod and the steadying mechanism, and a steadying mechanism. And

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るアクチュエータは、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動する移動体と、
前記移動体に固定され、前記移動体とともに直線運動し、前記ボールねじ軸の先端を挿入するための挿入孔が形成されたロッドと、
前記ボールねじ軸の先端に取り付けられ、前記ボールねじの振れ回りを抑制するための振れ止め機構と、
を有し、
前記振れ止め機構は、前記ボールねじ軸に対して、軸心回りに回転可能に接続された振れ止め機構本体と、前記振れ止め機構本体に回転可能に保持され、前記挿入孔の内周面に接触することで、前記ロッドの直線運動に伴って前記ロッドの進退方向に回転する回転体と、を有し、
前記ボールねじ軸は、外周面がねじ面として構成されたボールねじ軸本体と、前記ボールねじ軸本体の先端に設けられると共に、前記振れ止め機構が取り付けられる部分である先端部と、を有し、
前記振れ止め機構は、前記回転体が前記ボールねじ軸の前記先端部よりも先端側に配置されるように構成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an actuator according to the first aspect of the present invention provides:
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
A movable body fixed to the ball screw nut and moving linearly with the ball screw nut;
A rod fixed to the moving body, linearly moving with the moving body, and having an insertion hole for inserting a tip of the ball screw shaft;
An anti-sway mechanism attached to the tip of the ball screw shaft and for suppressing the whirling of the ball screw;
Have
The steady-rest mechanism includes a steady-rest mechanism main body that is connected to the ball screw shaft so as to be rotatable about an axis thereof, and is rotatably held by the steady-rest mechanism main body, and is provided on an inner peripheral surface of the insertion hole. by contacting, have a, a rotating body that rotates in forward and backward direction of the rod with the linear movement of said rod,
The ball screw shaft includes a ball screw shaft main body having an outer peripheral surface configured as a screw surface, and a tip portion which is provided at a tip of the ball screw shaft main body and to which the steadying mechanism is attached. ,
The steady-rest mechanism is configured such that the rotating body is arranged on the tip side of the tip portion of the ball screw shaft .

前記回転体は、前記ボールねじ軸の軸心を中心として、前記振れ止め機構本体の周方向に等間隔に少なくとも２つ以上配置されていてもよい。 At least two or more of the rotating bodies may be arranged at equal intervals in the circumferential direction of the steady-rest mechanism body with the axis of the ball screw shaft as the center.

前記振れ止め機構本体は、前記ボールねじ軸の回転運動及び前記ロッドの直線運動に伴って、前記ボールねじ軸に対して非回転状態に維持されていてもよい。 The steady-rest mechanism main body may be maintained in a non-rotating state with respect to the ball screw shaft along with the rotational motion of the ball screw shaft and the linear motion of the rod .

前記振れ止め機構本体を回転可能に支持するベアリングを備えるとともに、前記ボールねじ軸に固定される固定部を有し、
前記ベアリングにより、前記振れ止め機構本体は、前記ボールねじ軸に対して回転可能に接続されていてもよい。 A bearing that rotatably supports the steady-rest mechanism body, and a fixing portion that is fixed to the ball screw shaft;
The steady stop mechanism main body may be rotatably connected to the ball screw shaft by the bearing.

前記回転体は、ローラであってもよい。 The rotating body may be a roller.

前記ローラは、ローラ本体と、ローラ軸と、前記ローラ本体と前記ローラ軸との間に介在されたローラベアリングと、を有していてもよい。 The roller may include a roller main body, a roller shaft, and a roller bearing interposed between the roller main body and the roller shaft.

前記ローラ本体は、弾性の素材から形成されていてもよい。
前記振れ止め機構本体は、前記挿入孔の前記内周面に前記ローラを付勢する付勢手段を有していてもよい。
前記付勢手段は、前記ローラ本体には接触せずに、前記ローラ軸に接触する板ばねから構成され、
前記板ばねが前記ローラ軸を付勢することにより、前記ローラ本体は前記挿入孔の前記内周面に付勢されていてもよい。 The roller body may be made of an elastic material.
The steady-rest mechanism main body may include a biasing unit that biases the roller to the inner peripheral surface of the insertion hole.
The biasing means is configured by a leaf spring that contacts the roller shaft without contacting the roller body,
The roller body may be biased to the inner peripheral surface of the insertion hole by biasing the roller shaft by the leaf spring.

前記回転体は、ボールであってもよい。
前記振れ止め機構本体は、前記挿入孔の前記内周面に前記ボールを付勢する付勢手段を有していてもよい。
前記付勢手段は、板ばねから構成されていてもよい。 The rotating body may be a ball.
The steady-rest mechanism main body may include a biasing unit that biases the ball to the inner peripheral surface of the insertion hole.
The urging means may be composed of a leaf spring.

本発明の第２の観点に係る振れ止め機構は、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動する移動体と、
前記移動体に固定され、前記移動体とともに直線運動し、前記ボールねじ軸の先端を挿入するための挿入孔が形成されたロッドと、
を有するアクチュエータの前記ボールねじ軸の先端に取り付けられ、前記ボールねじの振れ回りを抑制するための振れ止め機構であって、
前記ボールねじ軸に対して、軸心回りに回転可能に接続された振れ止め機構本体と、
前記振れ止め機構本体に回転可能に保持され、前記挿入孔の内周面に接触することで、前記ロッドの直線運動に伴って前記ロッドの進退方向に回転する回転体と、
を有し、
前記ボールねじ軸は、外周面がねじ面として構成されたボールねじ軸本体と、前記ボールねじ軸本体の先端に設けられると共に、前記振れ止め機構が取り付けられる部分である先端部と、を有し、
前記回転体は、前記ボールねじ軸の前記先端部よりも先端側に配置されていることを特徴とする。 The steady rest mechanism according to the second aspect of the present invention is:
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
A movable body fixed to the ball screw nut and moving linearly with the ball screw nut;
A rod fixed to the moving body, linearly moving with the moving body, and having an insertion hole for inserting a tip of the ball screw shaft;
An anti-sway mechanism that is attached to a tip of the ball screw shaft of an actuator having
An anti-skid mechanism body connected to the ball screw shaft so as to be rotatable around an axis,
A rotating body that is rotatably supported by the steady-rest mechanism body and rotates in the forward and backward direction of the rod along with the linear motion of the rod by contacting the inner peripheral surface of the insertion hole;
Have a,
The ball screw shaft includes a ball screw shaft main body having an outer peripheral surface configured as a screw surface, and a tip portion which is provided at a tip of the ball screw shaft main body and to which the steadying mechanism is attached. ,
The rotating body is arranged on the tip side of the tip of the ball screw shaft .

本発明では、ロッドの進退移動に伴い、振れ止め機構の回転体が、ロッドの孔の内周面に接触しつつ回転する。このため、ロッドの挿入孔の内周面と振れ止め機構との間の抵抗を低減することができる。結果として、ロッドの進退移動が円滑になり、アクチュエータの動作の安定性を向上させることができる。 In the present invention, as the rod moves forward and backward, the rotating body of the steadying mechanism rotates while contacting the inner peripheral surface of the hole of the rod. For this reason, the resistance between the inner peripheral surface of the insertion hole of the rod and the steadying mechanism can be reduced. As a result, the forward and backward movement of the rod becomes smooth, and the stability of the operation of the actuator can be improved.

本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning a 1st embodiment of the present invention. カバーを取り外したときのアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator when a cover is removed. カバーを取り外したときのアクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of an actuator when a cover is removed. アクチュエータの分解断面図である。It is an exploded sectional view of an actuator. ガイド装置の斜視図である。It is a perspective view of a guide device. ガイド装置の断面図である。It is sectional drawing of a guide apparatus. ガイド装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a guide apparatus. ガイド装置へのロッドの取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating attachment of the rod to a guide apparatus. 振れ止め機構が取り付けられたボールねじの一部断面図である。It is a partial cross section figure of the ball screw to which the steady rest mechanism was attached. 振れ止め機構が取り付けられたボールねじ軸の先端部近傍の斜視図（その１）である。It is a perspective view (the 1) near the tip part of a ball screw axis to which a steady stop mechanism is attached. 振れ止め機構が取り付けられたボールねじ軸の先端部近傍の斜視図（その２）である。It is a perspective view (the 2) near the front-end | tip part of the ball screw shaft to which the steady rest mechanism was attached. 振れ止め機構の断面図である。It is sectional drawing of a steady rest mechanism. 振れ止め機構本体の分解斜視図（その１）である。It is a disassembled perspective view (the 1) of a steady rest mechanism main part. 振れ止め機構本体の分解斜視図（その２）である。It is a disassembled perspective view (the 2) of a steady rest mechanism main part. 振れ止め機構本体の先端側の分割部材の背面図である。It is a rear view of the division member by the side of the tip of a steady stop mechanism main part. 振れ止め機構本体の後端側の分割部材の正面図である。It is a front view of the division member of the back end side of a steady stop mechanism main part. ローラ及び板バネが配置された後端側の分割部材の正面図である。It is a front view of the division member of the rear end side where a roller and a leaf spring are arranged. 振れ止め機構の分解断面図である。It is an exploded sectional view of a steady stop mechanism. ガイド装置へのボールねじの取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating attachment of the ball screw to a guide apparatus. ガイド装置へのボールねじの取り付けを説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating attachment of the ball screw to a guide apparatus. 図１５のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. アクチュエータの動作を説明するための断面図（その１）である。It is sectional drawing (the 1) for demonstrating operation | movement of an actuator. アクチュエータの動作を説明するための断面図（その２）である。It is sectional drawing (the 2) for demonstrating operation | movement of an actuator. アクチュエータの動作を説明するための断面図（その３）である。FIG. 6 is a sectional view (No. 3) for explaining the operation of the actuator. 振れ止め機構の作用を説明するための断面図（その１）である。It is sectional drawing (the 1) for demonstrating the effect | action of a steady rest mechanism. 振れ止め機構の作用を説明するための断面図（その２）である。It is sectional drawing for demonstrating the effect | action of a steadying mechanism (the 2). 比較例に係る振れ止め機構を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the steadying mechanism concerning a comparative example. 第１実施形態の変形例に係る振れ止め機構を示す断面図（その１）である。It is sectional drawing (the 1) which shows the steadying mechanism concerning the modification of 1st Embodiment. 第１実施形態の変形例に係る振れ止め機構を示す断面図（その２）である。It is sectional drawing (the 2) which shows the steadying mechanism which concerns on the modification of 1st Embodiment. 本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the actuator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 第２実施形態に係る振れ止め機構が取り付けられたボールねじ軸の先端部近傍の斜視図である。It is a perspective view of the front-end | tip part vicinity of the ball screw shaft to which the steadying mechanism based on 2nd Embodiment was attached. 第２実施形態に係る振れ止め機構が取り付けられたボールねじ軸の先端部近傍の断面図である。It is sectional drawing of the front-end | tip part vicinity of the ball screw shaft to which the steadying mechanism concerning 2nd Embodiment was attached. 第２実施形態に係る振れ止め機構本体の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the steady-rest mechanism main body which concerns on 2nd Embodiment. ロッドの挿入孔へ挿入された第２実施形態に係る振れ止め機構の断面図である。It is sectional drawing of the steadying mechanism which concerns on 2nd Embodiment inserted in the insertion hole of a rod. 図２５のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 第２実施形態に係る振れ止め機構の作用を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the effect | action of the steady rest mechanism which concerns on 2nd Embodiment. 第２実施形態の変形例に係る振れ止め機構を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the steadying mechanism which concerns on the modification of 2nd Embodiment.

《第１実施形態》
以下、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータ１０について、図１Ａ〜図２１を用いて説明する。なお、理解を容易にするために、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。 << First Embodiment >>
Hereinafter, the actuator 10 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A to 21. In order to facilitate understanding, XYZ coordinates are set and referred to as appropriate.

アクチュエータ１０は、図１Ａに示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１を有するロッドタイプの直動アクチュエータである。アクチュエータ１０は、ロッド１１と、モータユニット２０と、フロントハウジング８０と、リアハウジング９０と、カバー１８とを有している。 As shown in FIG. 1A, the actuator 10 is a rod-type linear motion actuator having a rod 11 that reciprocates in the Y-axis direction. The actuator 10 includes a rod 11, a motor unit 20, a front housing 80, a rear housing 90, and a cover 18.

カバー１８は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー１８は、図１Ｂに示すように、ボルト１９によって、フロントハウジング８０及びリアハウジング９０に固定されている。 The cover 18 is formed, for example, by extruding aluminum. As shown in FIG. 1B, the cover 18 is fixed to the front housing 80 and the rear housing 90 by bolts 19.

アクチュエータ１０は、図２に示すように、ロッド１１等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するスライド部３１を有するガイド装置３０と、モータユニット２０の回転運動をボールねじナット７２の直線運動に変換するボールねじ７０と、振れ止め機構１００とを有している。 As shown in FIG. 2, the actuator 10 includes a guide device 30 having a slide portion 31 that guides the rod 11 in the Y-axis direction in addition to the rod 11 and the like, and a linear motion of a ball screw nut 72 to rotate the motor unit 20. It has a ball screw 70 that converts it into motion and a steadying mechanism 100.

ロッド１１は、図３に示すように、内部に挿入孔１１ａが形成された部材である。ロッド１１は、円筒形状のロッド本体と先端金具１２とを有する。ロッド１１のロッド本体は、例えば、アルミニウムからなる。ただし、ロッド本体の素材は、任意であり、アルミニウム以外のものであってもよい。例えば、ステンレス鋼であってもよい。ロッド１１のロッド本体は、例えば、冷間加工によって形成されている。ロッド１１の−Ｙ側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具１２がねじ込まれることにより固定されている。また、ロッド１１の＋Ｙ側の端部の外周には、雄ねじ部１１ｂが形成されている。 As shown in FIG. 3, the rod 11 is a member having an insertion hole 11a formed therein. The rod 11 has a cylindrical rod body and a tip fitting 12. The rod body of the rod 11 is made of aluminum, for example. However, the material of the rod body is arbitrary and may be other than aluminum. For example, stainless steel may be used. The rod body of the rod 11 is formed by cold working, for example. A tip end fitting 12 having a male thread formed on the outer periphery is fixed to the end portion on the −Y side of the rod 11 by screwing. A male screw portion 11b is formed on the outer periphery of the end portion on the + Y side of the rod 11.

モータユニット２０は、モータ２１と、モータ２１を収納するモータハウジング２２と、アクチュエータケーブル２４とを有する。 The motor unit 20 includes a motor 21, a motor housing 22 that houses the motor 21, and an actuator cable 24.

モータ２１は、出力軸２３、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、アクチュエータケーブル２４を介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２３に出力される。また出力軸２３の先端は、カップリングが接続されている。モータハウジング２２は、ボルト２５によって、リアハウジング９０に取り付けられている。 The motor 21 includes an output shaft 23, a rotor, a stator, an encoder, a speed reducer, and the like. Electric power from the power source is supplied to the motor 21 via the actuator cable 24. When electric power is supplied to the motor 21, the rotor of the motor 21 rotates. The rotational motion of the rotor is decelerated at a predetermined reduction ratio by a reducer, for example, and is output to the output shaft 23. A coupling is connected to the tip of the output shaft 23. The motor housing 22 is attached to the rear housing 90 by bolts 25.

ガイド装置３０は、ロッド１１がスライド部３１に固定されることにより、ロッド１１を＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に案内する。このガイド装置３０は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、スライド部３１と、ベース６０と、スライド部３１とベース６０との間に配置され、転動体として機能するボール５０とを有する。このボール５０は、高剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。ボール５０は、スライド部３１とベース６０との間に複数配置されている。 The guide device 30 guides the rod 11 in both the + Y direction and the −Y direction by fixing the rod 11 to the slide portion 31. 4A and 4B, the guide device 30 includes a slide portion 31, a base 60, and a ball 50 that is disposed between the slide portion 31 and the base 60 and functions as a rolling element. The ball 50 is made of a highly rigid material, specifically, a steel material. A plurality of balls 50 are arranged between the slide portion 31 and the base 60.

スライド部３１は、図５に示すように、スライド部本体３２と、転動体収納ユニット４０とを有する。 As shown in FIG. 5, the slide portion 31 includes a slide portion main body 32 and a rolling element storage unit 40.

スライド部本体３２は、例えば、金属からなる略直方体の部材である。スライド部本体３２には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔３２ａが形成されている。図３に示すように、スライド部本体３２の貫通孔３２ａの−Ｙ側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部３２ｂが形成されている。ロッド１１の雄ねじ部１１ｂが、スライド部本体３２の貫通孔の雌ねじ部３２ｂに螺合することにより、ロッド１１は、スライド部本体３２に固定される。 The slide part main body 32 is a substantially rectangular parallelepiped member made of metal, for example. The slide part main body 32 is formed with a through hole 32a penetrating in the Y-axis direction. As shown in FIG. 3, an internal thread portion 32 b is formed on the inner peripheral surface in the vicinity of the opening on the −Y side of the through hole 32 a of the slide portion main body 32. The rod 11 is fixed to the slide portion main body 32 when the male screw portion 11 b of the rod 11 is screwed into the female screw portion 32 b of the through hole of the slide portion main body 32.

転動体収納ユニット４０は、図４Ｂに示すように、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）に固定されている。転動体収納ユニット４０の内部には、転動体循環路４１が形成されている。転動体循環路４１には、複数のボール５０が配置される。 As illustrated in FIG. 4B, the rolling element storage unit 40 is fixed to the lower surface (the surface on the −Z side) of the slide portion main body 32. A rolling element circulation path 41 is formed inside the rolling element storage unit 40. A plurality of balls 50 are arranged in the rolling element circulation path 41.

ベース６０は、図５に示すように、Ｙ軸方向を長手方向とする部材である。ベース６０は、底板部６１と、底板部６１の両側に形成された側壁部６２Ｒ、６２Ｌとを有する。ベース６０は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。側壁部６２Ｒの−Ｘ側の面及び側壁部６２Ｌの＋Ｘ側の面には、凹部がそれぞれ形成されている。この凹部には、Ｙ軸方向を長手方向とするガイドレール６３Ｒ、６３Ｌが取り付けられている。ガイドレール６３Ｒの−Ｘ側の面及びガイドレール６３Ｌの＋Ｘ側の面には、溝部がそれぞれ形成されている。溝部は、対向するように形成されており、溝部の内面は、略湾曲面として構成されている。このガイドレール６３Ｒ、６３Ｌの溝部を、ボール５０が転動することにより、スライド部３１は、円滑に移動する。 As shown in FIG. 5, the base 60 is a member whose longitudinal direction is the Y-axis direction. The base 60 includes a bottom plate portion 61 and side wall portions 62R and 62L formed on both sides of the bottom plate portion 61. The base 60 is formed, for example, by extruding aluminum. Concave portions are formed in the −X side surface of the side wall portion 62R and the + X side surface of the side wall portion 62L, respectively. Guide rails 63R and 63L having a longitudinal direction in the Y-axis direction are attached to the recess. Grooves are formed in the −X side surface of the guide rail 63R and the + X side surface of the guide rail 63L, respectively. The groove portions are formed to face each other, and the inner surface of the groove portion is configured as a substantially curved surface. As the ball 50 rolls in the groove portions of the guide rails 63R and 63L, the slide portion 31 moves smoothly.

ガイド装置３０は、ベース６０にスライド部３１が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部３１のスライド部本体３２の貫通孔３２ａには、図６に示すように、ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入される。そして、貫通孔３２ａに形成された雌ねじ部３２ｂに、ロッド１１の＋Ｙ側の端部に形成された雄ねじ部１１ｂが螺合されることにより、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に固定される。 The guide device 30 is completed by attaching the slide portion 31 to the base 60. Then, as shown in FIG. 6, the + Y side end of the rod 11 is inserted into the through hole 32 a of the slide part main body 32 of the slide part 31. The rod 11 is fixed to the slide portion 31 of the guide device 30 by screwing the male screw portion 11b formed on the end portion on the + Y side of the rod 11 into the female screw portion 32b formed in the through hole 32a. Is done.

ボールねじ７０は、図７に示すように、ボールねじ軸７１と、ボールねじナット７２とを有する。 As shown in FIG. 7, the ball screw 70 includes a ball screw shaft 71 and a ball screw nut 72.

ボールねじ軸７１は、軸心がＹ軸方向に平行になるように配置されている。ボールねじ軸７１は、外周面が螺旋状の雄ねじ面として構成されたボールねじ軸本体７１ａと、ボールねじ軸本体７１ａの＋Ｙ側の端部に取り付けられた接続部材７３とを有する。接続部材７３は、モータユニット２０の出力軸２３に接続されることで、出力軸２３の回転とともに回転する。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸７１に伝達される。 The ball screw shaft 71 is disposed so that the axis is parallel to the Y-axis direction. The ball screw shaft 71 includes a ball screw shaft main body 71a whose outer peripheral surface is configured as a spiral male screw surface, and a connecting member 73 attached to the + Y side end of the ball screw shaft main body 71a. The connecting member 73 is connected to the output shaft 23 of the motor unit 20, thereby rotating with the rotation of the output shaft 23. Thereby, the rotational motion of the output shaft 23 is transmitted to the ball screw shaft 71.

ボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１のボールねじ軸本体７１ａの外周に配置されている。ボールねじナット７２の内周面には雌ねじ部が形成されている。このボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１に高剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸７１の回転運動が、ボールねじナット７２の直線運動に変換される。 The ball screw nut 72 is disposed on the outer periphery of the ball screw shaft main body 71 a of the ball screw shaft 71. A female screw portion is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut 72. The ball screw nut 72 is fitted into the ball screw shaft 71 via a highly rigid sphere. Thereby, the rotational motion of the ball screw shaft 71 is converted into the linear motion of the ball screw nut 72.

振れ止め機構１００は、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに取り付けられ、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制するために用いられる。振れ止め機構１００は、ローラ１１０の一部が露出する略円柱形状の部材である。振れ止め機構１００は、ローラ１１０と、ローラ１１０を保持する振れ止め機構本体１２０と、振れ止め機構本体１２０とボールねじ軸７１とを接続する固定部１５０とを有する。 As shown in FIGS. 8A and 8B, the steadying mechanism 100 is attached to the tip end portion 71 c of the ball screw shaft 71 and is used to suppress the swinging of the tip portion 71 c of the ball screw shaft 71. The steady rest mechanism 100 is a substantially cylindrical member from which a part of the roller 110 is exposed. The steadying mechanism 100 includes a roller 110, a steadying mechanism main body 120 that holds the roller 110, and a fixing portion 150 that connects the steadying mechanism main body 120 and the ball screw shaft 71.

ローラ１１０は、ボールねじ軸７１の軸心（Ｙ軸方向に平行な軸心）を中心として、振れ止め機構本体１２０の周方向に１２０度毎に３つ配置されている。ローラ１１０は、図９に示すように、ローラ本体１１１と、ローラ軸１１２と、ローラ本体１１１とローラ軸１１２との間に介在されたローラベアリング１１３とを有する。 Three rollers 110 are arranged every 120 degrees in the circumferential direction of the steady-rest mechanism main body 120 around the axial center of the ball screw shaft 71 (axial center parallel to the Y-axis direction). As shown in FIG. 9, the roller 110 includes a roller main body 111, a roller shaft 112, and a roller bearing 113 interposed between the roller main body 111 and the roller shaft 112.

ローラ本体１１１は、円環状の部材であり、例えば、弾性の素材から形成されている。ローラ本体１１１の素材は、好ましくはゴムである。しかしながら、ローラ本体１１１の素材は、これに限らず、弾性の素材以外のものであってもよい。 The roller body 111 is an annular member, and is formed of, for example, an elastic material. The material of the roller body 111 is preferably rubber. However, the material of the roller body 111 is not limited to this and may be other than an elastic material.

ローラベアリング１１３は、例えば、内輪部と、外輪部と、内輪部と外輪部との間に配置された複数のボールとから構成されるボールベアリングである。ローラベアリング１１３の外輪部は、ローラ本体１１１の孔に嵌め込まれて固定されている。また、ローラベアリング１１３の内輪部には、ローラ軸１１２が挿入されて固定されている。このローラベアリング１１３の作用により、ローラ本体１１１は、ローラ軸１１２に回転可能に支持される。 The roller bearing 113 is, for example, a ball bearing composed of an inner ring portion, an outer ring portion, and a plurality of balls arranged between the inner ring portion and the outer ring portion. The outer ring portion of the roller bearing 113 is fixed in a hole of the roller body 111. A roller shaft 112 is inserted and fixed to the inner ring portion of the roller bearing 113. The roller main body 111 is rotatably supported by the roller shaft 112 by the action of the roller bearing 113.

振れ止め機構本体１２０は、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、先端側（−Ｙ側）の分割部材１３０と、後端側（＋Ｙ側）の分割部材１４０と、３枚の板バネ１２１と、分割部材１４０に固定された固定ピン１２２とを有する。ローラ１１０、板バネ１２１、及び固定ピン１２２は、分割部材１３０と分割部材１４０との間に挟まれて保持されている。 As shown in FIGS. 10A and 10B, the steady rest mechanism main body 120 includes a front end side (−Y side) split member 130, a rear end side (+ Y side) split member 140, three leaf springs 121, and the like. And a fixing pin 122 fixed to the dividing member 140. The roller 110, the leaf spring 121, and the fixing pin 122 are sandwiched and held between the divided member 130 and the divided member 140.

分割部材１３０は、略円柱形状に形成されている。分割部材１４０の中央には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔１３１が形成されている。分割部材１３０は、例えば、ポリアセタール樹脂から形成されている。 The dividing member 130 is formed in a substantially cylindrical shape. A through hole 131 that penetrates in the Y-axis direction is formed at the center of the dividing member 140. The dividing member 130 is made of, for example, polyacetal resin.

分割部材１４０は、円形の大径部１４０Ａと、この大径部の＋Ｙ側に形成された円形の小径部１４０Ｂとから構成されている。分割部材１４０の中央には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔１４１が形成されている。この貫通孔１４１は、分割部材１３０の貫通孔１３１と同軸になるように形成されている。分割部材１４０は、分割部材１３０と同様に、例えば、ポリアセタール樹脂から形成されている。 The dividing member 140 includes a circular large-diameter portion 140A and a circular small-diameter portion 140B formed on the + Y side of the large-diameter portion. A through hole 141 that penetrates in the Y-axis direction is formed at the center of the dividing member 140. The through hole 141 is formed so as to be coaxial with the through hole 131 of the dividing member 130. The dividing member 140 is made of, for example, polyacetal resin, like the dividing member 130.

図１１Ａは、分割部材１３０の背面（＋Ｙ側の端面）を示す図である。図１１Ｂは、分割部材１４０の正面（−Ｙ側の端面）を示す図である。図１０Ａ〜図１１Ｂに示すように、分割部材１３０、１４０の端面には、ローラ本体１１１を配置するためのローラ配置用溝部１３２、１４２が形成されている。ローラ配置用溝部１３２、１４２は、分割部材１３０、１４０の中心から放射状に形成されている。 FIG. 11A is a diagram showing the back surface (+ Y side end surface) of the dividing member 130. FIG. 11B is a diagram illustrating a front surface (an end surface on the −Y side) of the dividing member 140. As shown in FIGS. 10A to 11B, roller arrangement grooves 132 and 142 for arranging the roller main body 111 are formed on the end surfaces of the dividing members 130 and 140. The roller arrangement grooves 132 and 142 are formed radially from the center of the dividing members 130 and 140.

また、分割部材１３０、１４０の端面には、板バネ１２１を配置するための板バネ配置用溝部１３３、１４３が形成されている。板バネ配置用溝部１３３、１４３は、貫通孔１３１、１４１の中心を中心とする円Ｃ１に沿うように、円弧状に形成されている。板バネ配置用溝部１３３、１４３は、板バネ１２１の数に対応して３箇所に形成されている。図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、板バネ配置用溝部１３３、１４３は、その端部の幅Ｗが、ローラ軸１１２の直径よりも大きくなるように形成されている。板バネ配置用溝部１３３、１４３の底面には、固定ピン１２２が挿入される挿入孔１３５、１４５が形成されている。板バネ配置用溝部１３３、１４３は、その深さが、ローラ配置用溝部１３２、１４２の深さよりも浅くなるように形成されている。 In addition, leaf spring placement grooves 133 and 143 for placing the leaf springs 121 are formed on the end surfaces of the divided members 130 and 140. The leaf spring arranging grooves 133 and 143 are formed in an arc shape so as to follow a circle C <b> 1 centering on the centers of the through holes 131 and 141. The leaf spring arranging grooves 133 and 143 are formed at three locations corresponding to the number of the leaf springs 121. As shown in FIGS. 11A and 11B, the leaf spring arranging grooves 133, 143 are formed such that the width W of the ends is larger than the diameter of the roller shaft 112. Insert holes 135 and 145 into which the fixing pins 122 are inserted are formed on the bottom surfaces of the leaf spring arranging grooves 133 and 143. The leaf spring arranging grooves 133 and 143 are formed so that the depth thereof is shallower than the depth of the roller arranging grooves 132 and 142.

板バネ１２１は、金属片を略Ｌ字形状に屈曲されることにより形成されている。固定ピン１２２は、金属からなり、略円柱形状に形成されている。 The leaf spring 121 is formed by bending a metal piece into a substantially L shape. The fixing pin 122 is made of metal and has a substantially cylindrical shape.

図１２は、ローラ１１０及び板バネ１２１が配置された分割部材１４０の正面（−Ｙ側の端面）を示す図である。振れ止め機構本体１２０を組み立てる場合、組立ての作業者は、例えば、図１２に示すように、先ず、分割部材１４０にローラ１１０及び板バネ１２１を配置する。詳しくは、分割部材１４０の端面に形成されたローラ配置用溝部１４２に、ローラ本体１１１を配置する。ローラ配置用溝部１４２に、ローラ本体１１１を配置すると、ローラ軸１１２の両端が、板バネ配置用溝部１４３に引っ掛けられる。続いて、作業者は、板バネ配置用溝部１４３に、板バネ１２１が配置する。この状態で、図１０を参照するとわかるように、分割部材１４０に分割部材１３０を取り付ける。すると、分割部材１３０の端面に形成されたローラ配置用溝部１３２にも、ローラ本体１１１が配置され、板バネ配置用溝部１３３にも、板バネ１２１が配置される。そうすると、２つの分割部材１３０、１４０の間に、ローラ１１０及び板バネ１２１が保持される。分割部材１３０、１４０の間に、ローラ１１０及び板バネ１２１が保持されると、図１２に示すように、板バネ１２１の付勢作用により、ローラ軸１１２が外径方向に付勢される。この結果、ローラ１１０が矢印Ａに示す方向に付勢される。以上により、振れ止め機構本体１２０が完成する。 FIG. 12 is a diagram illustrating a front surface (an end surface on the −Y side) of the split member 140 in which the roller 110 and the leaf spring 121 are arranged. When assembling the steady rest mechanism main body 120, for example, as shown in FIG. 12, the assembly operator first arranges the roller 110 and the leaf spring 121 on the dividing member 140, for example. Specifically, the roller body 111 is arranged in the roller arrangement groove 142 formed on the end surface of the dividing member 140. When the roller main body 111 is arranged in the roller arrangement groove 142, both ends of the roller shaft 112 are hooked on the leaf spring arrangement groove 143. Subsequently, the worker places the leaf spring 121 in the leaf spring placement groove 143. In this state, as can be seen with reference to FIG. 10, the dividing member 130 is attached to the dividing member 140. Then, the roller main body 111 is also arranged in the roller arrangement groove 132 formed on the end face of the dividing member 130, and the plate spring 121 is arranged in the plate spring arrangement groove 133. Then, the roller 110 and the leaf spring 121 are held between the two divided members 130 and 140. When the roller 110 and the leaf spring 121 are held between the split members 130 and 140, the roller shaft 112 is biased in the outer diameter direction by the biasing action of the leaf spring 121 as shown in FIG. As a result, the roller 110 is urged in the direction indicated by the arrow A. As described above, the steady rest mechanism main body 120 is completed.

図１３は、振れ止め機構１００の分解断面図である。図１３に示すように、固定部１５０は、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔１５１が形成された円筒状の部材である。固定部１５０は、例えば、金属から形成されている。固定部１５０の貫通孔１５１には、−Ｙ側からベアリング１５３が嵌め込まれている。ベアリング１５３は、例えば、内輪部及び外輪部と、これらの間に配置された複数のボールとから構成されるボールベアリングである。 FIG. 13 is an exploded cross-sectional view of the steady rest mechanism 100. As shown in FIG. 13, the fixing portion 150 is a cylindrical member in which a through hole 151 penetrating in the Y-axis direction is formed. The fixing part 150 is made of metal, for example. A bearing 153 is fitted into the through hole 151 of the fixed portion 150 from the −Y side. The bearing 153 is a ball bearing composed of, for example, an inner ring portion and an outer ring portion, and a plurality of balls arranged therebetween.

固定部１５０には、振れ止め機構本体１２０が取り付けられる。詳しくは、ベアリング１５３の内輪部に、振れ止め機構本体１２０の分割部材１４０の小径部１４０Ｂが嵌め込まれる。そして、ベアリング１５３の内輪部、分割部材１４０の貫通孔１４１、及び分割部材１３０の貫通孔１３１には、ボルト１０１が挿入される。挿入されたボルト１０１は、ナット１０２に捻じ込まれることにより締結される。このベアリング１５３の作用により、振れ止め機構本体１２０は、固定部１５０にＹ軸回りに回転可能に支持される。 The steadying mechanism main body 120 is attached to the fixing portion 150. Specifically, the small diameter portion 140 </ b> B of the split member 140 of the steady rest mechanism main body 120 is fitted into the inner ring portion of the bearing 153. Then, the bolt 101 is inserted into the inner ring portion of the bearing 153, the through hole 141 of the split member 140, and the through hole 131 of the split member 130. The inserted bolt 101 is fastened by being screwed into the nut 102. Due to the action of the bearing 153, the steady-rest mechanism main body 120 is supported by the fixed portion 150 so as to be rotatable around the Y axis.

また、固定部１５０の貫通孔１５１には、図９に示すように、＋Ｙ側からボールねじ軸７１の先端部７１ｃが挿入される。固定部１５０は、外周から複数の止めねじ１５２が捻じ込まれることにより、先端部７１ｃに回り止め状態で固定される。これにより、固定部１５０は、ボールねじ軸７１の回転とともに回転する。 Further, as shown in FIG. 9, the tip end portion 71c of the ball screw shaft 71 is inserted into the through hole 151 of the fixing portion 150 from the + Y side. The fixing portion 150 is fixed to the distal end portion 71c in a non-rotating state by a plurality of set screws 152 being screwed from the outer periphery. Thereby, the fixed part 150 rotates with the rotation of the ball screw shaft 71.

振れ止め機構１００が取り付けられたボールねじ７０は、図１４に示すように、ガイド装置３０に固定される。具体的には、ボールねじ軸７１の先端が、スライド部本体３２の貫通孔３２ａに＋Ｙ側から挿入されていき、ボールねじナット７２が、貫通孔３２ａ内に配置される。そして、スライド部本体３２に、側方から止めねじ７４がねじ込まれて締結されることにより、ボールねじ７０は、ガイド装置３０に固定される。 As shown in FIG. 14, the ball screw 70 to which the steady rest mechanism 100 is attached is fixed to the guide device 30. Specifically, the tip of the ball screw shaft 71 is inserted into the through hole 32a of the slide portion main body 32 from the + Y side, and the ball screw nut 72 is disposed in the through hole 32a. The ball screw 70 is fixed to the guide device 30 by screwing the set screw 74 into the slide portion main body 32 from the side and fastening it.

また、ボールねじ７０が、ガイド装置３０に固定されると、図１５に示すように、振れ止め機構１００が、ロッド１１の挿入孔１１ａ内に配置される。このとき、図１６に示すように、板バネ１２１の付勢作用により、振れ止め機構１００のローラ本体１１１の外周（外径部）が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に押圧されつつ接触する。これにより、ボールねじ軸７１の先端が、この振れ止め機構１００を介して、挿入孔１１ａの内周面に支持される。 Further, when the ball screw 70 is fixed to the guide device 30, the steadying mechanism 100 is disposed in the insertion hole 11 a of the rod 11 as shown in FIG. 15. At this time, as shown in FIG. 16, the outer periphery (outer diameter portion) of the roller body 111 of the steadying mechanism 100 is pressed against the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11 by the biasing action of the leaf spring 121. Contact. As a result, the tip of the ball screw shaft 71 is supported by the inner peripheral surface of the insertion hole 11a via the steadying mechanism 100.

フロントハウジング８０は、図３に示すように、ガイド装置３０の−Ｙ側に、ボルトによって固定されている。フロントハウジング８０には、ロッド１１を通すための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、オイルレスベアリング８２が配置されている。オイルレスベアリング８２は、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。 As shown in FIG. 3, the front housing 80 is fixed to the −Y side of the guide device 30 with bolts. A through hole for passing the rod 11 is formed in the front housing 80, and an oilless bearing 82 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole. The oilless bearing 82 supports the rod 11 so as to be movable in the Y-axis direction.

リアハウジング９０は、ガイド装置３０の＋Ｙ側に、ボルトによって固定されている。リアハウジング９０は、ボールねじ軸７１を挿入するための貫通孔が形成されており、この貫通孔の内周面には、ボールベアリング９２が配置されている。ボールベアリング９２は、貫通孔の＋Ｙ側から嵌め込まれ、ベアリング押さえによって固定されている。このボールベアリング９２によって、ボールねじ軸７１は回転可能に支持される。 The rear housing 90 is fixed to the + Y side of the guide device 30 with bolts. The rear housing 90 has a through hole into which the ball screw shaft 71 is inserted, and a ball bearing 92 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole. The ball bearing 92 is fitted from the + Y side of the through hole and is fixed by a bearing retainer. The ball screw shaft 71 is rotatably supported by the ball bearing 92.

上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図１７Ａ〜図１８Ｂを用いて説明する。 The operation of the actuator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS. 17A to 18B.

先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図１７Ａに示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転する。出力軸２３が所定の方向に回転（正転）すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１が、出力軸２３とともに回転する。 First, when power is supplied to the motor 21 of the motor unit 20, as shown in FIG. 17A, the output shaft 23 of the motor 21 rotates in a predetermined direction. When the output shaft 23 rotates (forward rotation) in a predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 rotates together with the output shaft 23.

ボールねじ軸７１が回転すると、図１７Ｂに示すように、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、−Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに−Ｙ方向に移動をする。スライド部３１が−Ｙ方向に移動をすると、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに−Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が−Ｙ方向に移動する。 When the ball screw shaft 71 rotates, as shown in FIG. 17B, the ball screw nut 72 linearly moves in the −Y direction, for example, as the ball screw shaft 71 rotates. When the ball screw nut 72 moves in the −Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the −Y direction together with the ball screw nut 72. When the slide part 31 moves in the −Y direction, the rod 11 fixed to the slide part 31 also moves in the −Y direction together with the slide part 31. Thereby, the front-end | tip metal fitting 12 attached to the front-end | tip of the rod 11 moves to -Y direction.

また、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、ロッド１１が−Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は、−Ｙ方向には移動せずに、振れ止め機構１００の固定部１５０とともに回転する。振れ止め機構本体１２０は、固定部１５０のベアリング１５３に回転可能に支持されている。このため、振れ止め機構本体１２０自体は非回転状態のまま、ローラ本体１１１のみが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対して接触しつつ、ローラ軸１１２回りに回転する。 Further, as shown in FIGS. 18A and 18B, the rod 11 moves in the −Y direction, whereas the ball screw shaft 71 does not move in the −Y direction, but together with the fixing portion 150 of the steady rest mechanism 100. Rotate. The steady rest mechanism main body 120 is rotatably supported by a bearing 153 of the fixed portion 150. Therefore, only the roller body 111 rotates around the roller shaft 112 while contacting the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 while the steady-rest mechanism body 120 itself is not rotated.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の−Ｙ方向への移動が完了する。 Thus, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the −Y direction is completed.

次に、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転（逆転）すると、図１７Ｃに示すように、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１は、出力軸２３とともに回転する。 Next, when the output shaft 23 of the motor unit 20 rotates (reverses) in a direction opposite to a predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 is moved together with the output shaft 23 as shown in FIG. Rotate.

ボールねじ軸７１が回転すると、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに＋Ｙ方向に移動をする。スライド部３１が＋Ｙ方向に移動をすると、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに＋Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が＋Ｙ方向に移動する。 When the ball screw shaft 71 rotates, the ball screw nut 72 linearly moves in the + Y direction as the ball screw shaft 71 rotates. When the ball screw nut 72 moves in the + Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the + Y direction together with the ball screw nut 72. When the slide part 31 moves in the + Y direction, the rod 11 fixed to the slide part 31 also moves in the + Y direction together with the slide part 31. Thereby, the tip metal fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the + Y direction.

また、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、ロッド１１が＋Ｙ方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は＋Ｙ方向には移動せずに、振れ止め機構１００の固定部１５０とともに回転する。そして、振れ止め機構本体１２０自体は非回転状態のまま、ローラ本体１１１のみが、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対して接触しつつ、ローラ軸１１２回りに回転する。 As shown in FIGS. 18A and 18B, the rod 11 moves in the + Y direction, whereas the ball screw shaft 71 does not move in the + Y direction, but rotates together with the fixed portion 150 of the steady rest mechanism 100. Then, while the steady rest mechanism main body 120 itself is not rotated, only the roller main body 111 rotates around the roller shaft 112 while contacting the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11.

以上により、ロッド１１及び先端金具１２の＋Ｙ方向への移動が完了し、ロッド１１及び先端金具１２は、初期位置まで戻る。 As described above, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the + Y direction is completed, and the rod 11 and the tip fitting 12 return to the initial positions.

以上、説明したように、本第１実施形態に係るアクチュエータ１０では、ロッド１１の進退移動に伴い、振れ止め機構１００のローラ本体１１１が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に接触しつつ回転する。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と振れ止め機構１００との間の抵抗を低減することができる。 As described above, in the actuator 10 according to the first embodiment, the roller body 111 of the steadying mechanism 100 is in contact with the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 as the rod 11 moves forward and backward. Rotate. For this reason, the resistance between the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 and the steadying mechanism 100 can be reduced.

これに対して、従来のアクチュエータ（特許文献１に記載のアクチュエータ）の場合、ロッド１１の進退移動に伴い、振れ止め部材が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面を摺動する。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と振れ止め部材との間の摺動抵抗によって、ロッド１１の円滑な移動が阻害されるおそれがある。特にアクチュエータが大型である程、振れ止め部材と挿入孔１１ａの内周面との接触面積が大きくなり、振れ止め部材と挿入孔１１ａの内周面との間の摺動抵抗が大きくなる。このため、アクチュエータの大型化が困難であった。 On the other hand, in the case of a conventional actuator (the actuator described in Patent Document 1), the anti-sway member slides on the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11 as the rod 11 moves forward and backward. For this reason, the smooth movement of the rod 11 may be hindered by the sliding resistance between the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 and the steadying member. In particular, the larger the actuator, the larger the contact area between the steady member and the inner peripheral surface of the insertion hole 11a, and the greater the sliding resistance between the steady member and the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. For this reason, it was difficult to increase the size of the actuator.

しかしながら、本第１実施形態では、振れ止め機構１００のローラ本体１１１が、摺動せずに、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に接触しつつ回転するため、挿入孔１１ａの内周面との間の抵抗を低減することができる。これにより、ロッド１１の進退移動が円滑になる。結果として、アクチュエータ１０の動作の安定性を向上させることができる。また、振れ止め機構１００と挿入孔１１ａの内周面との接触面積を小さくすることができ、振れ止め機構１００と挿入孔１１ａの内周面との間の摺動抵抗を小さくすることができる。結果として、アクチュエータ１０の大型化を実現することができる。 However, in the first embodiment, the roller main body 111 of the steady rest mechanism 100 rotates without contacting the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11, and thus the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. The resistance between the two can be reduced. Thereby, the forward / backward movement of the rod 11 becomes smooth. As a result, the operation stability of the actuator 10 can be improved. Further, the contact area between the steady stop mechanism 100 and the inner peripheral surface of the insertion hole 11a can be reduced, and the sliding resistance between the steady stop mechanism 100 and the inner peripheral surface of the insertion hole 11a can be reduced. . As a result, the actuator 10 can be increased in size.

また、従来のアクチュエータの場合、ロッド１１の進退移動に伴い、振れ止め部材が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面を摺動するため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に滑面処理を施していた。しかしながら、本第１実施形態では、このような滑面処理も不要になる。 Further, in the case of the conventional actuator, as the rod 11 moves forward and backward, the steady member slides on the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11, so that a smooth surface is formed on the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11. We were processing. However, in the first embodiment, such a smooth surface treatment is also unnecessary.

また、本第１実施形態では、板バネ１２１が、挿入孔１１ａの内周面にローラ１１０を付勢している。このため、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ローラ１１０を介して、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制できる。 In the first embodiment, the leaf spring 121 biases the roller 110 toward the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. For this reason, the tip 71c of the ball screw shaft 71 is stably supported by the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 via the roller 110. As a result, resonance is less likely to occur in the ball screw shaft 71, and swinging of the tip portion 71c of the ball screw shaft 71 can be suppressed.

これに対して、従来のアクチュエータの場合、振れ止め部材は、弾性変形量が比較的小さい樹脂から形成されている。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面の真円度が比較的低い場合や、挿入孔１１ａの内周面の表面粗さが比較的大きい場合、挿入孔１１ａの内周面に溶接ビードが形成されていた場合には、ボールねじ軸７１の支持が不完全になる。また、挿入孔１１ａの内周面に対する摺動により、振れ止め部材が磨耗しやすいため、この場合にも、ボールねじ軸７１の支持が不完全になるおそれがある。結果的に、ボールねじ７０に共振が生じて、ボールねじ７０の振れ回りの抑制効果が小さくなるおそれが生じる。 On the other hand, in the case of a conventional actuator, the steadying member is made of a resin having a relatively small amount of elastic deformation. For this reason, when the roundness of the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 is relatively low, or when the surface roughness of the inner peripheral surface of the insertion hole 11a is relatively large, welding is performed on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. When the bead is formed, the support of the ball screw shaft 71 is incomplete. In addition, since the steadying member is easily worn by sliding with respect to the inner peripheral surface of the insertion hole 11a, the support of the ball screw shaft 71 may be incomplete in this case as well. As a result, resonance occurs in the ball screw 70, which may reduce the effect of suppressing the swing of the ball screw 70.

しかしながら、本第１実施形態では、板バネ１２１が、挿入孔１１ａの内周面にローラ１１０を付勢している。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面の真円度が比較的低い場合や、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面の表面粗さが比較的大きい場合、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に溶接ビードが形成されていた場合でも、板バネ１２１の付勢作用により、ローラ１１０の外周とロッド１１の挿入孔１１ａの内周との間の隙間が生じにくくなる。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持することができる。結果として、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。また、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りに起因した騒音又は異音を抑制できる。 However, in the first embodiment, the leaf spring 121 biases the roller 110 toward the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. For this reason, when the roundness of the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 is relatively low, or when the surface roughness of the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 is relatively large, the insertion hole 11a of the rod 11 Even when a weld bead is formed on the inner peripheral surface of the roller 11, the biasing action of the leaf spring 121 makes it difficult to generate a gap between the outer periphery of the roller 110 and the inner periphery of the insertion hole 11 a of the rod 11. Thereby, the front-end | tip part 71c of the ball screw shaft 71 can be stably supported by the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11. As a result, the ball screw shaft 71 is less likely to resonate, and the whirling of the tip 71c of the ball screw shaft 71 can be effectively suppressed. Further, noise or abnormal noise caused by the swinging of the tip 71c of the ball screw shaft 71 can be suppressed.

また、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できるため、ボールねじ軸７１の回転を高速化することができる。結果として、ロッド１１及びスライド部３１の移動速度の高速化、高ストローク化を実現することができる。また、アクチュエータ１０のボールねじ軸７１の危険速度を向上させることができる。 Further, since the swinging of the tip 71c of the ball screw shaft 71 can be effectively suppressed, the rotation of the ball screw shaft 71 can be speeded up. As a result, the moving speed of the rod 11 and the slide part 31 can be increased and the stroke can be increased. Further, the critical speed of the ball screw shaft 71 of the actuator 10 can be improved.

また、本第１実施形態では、ローラ１１０は、ボールねじ軸７１の軸心を中心として、振れ止め機構本体１２０の周方向に１２０度毎に３つ配置されている。すなわち、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃは、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に３点支持されている。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。 In the first embodiment, three rollers 110 are arranged every 120 degrees in the circumferential direction of the steady rest mechanism main body 120 around the axis of the ball screw shaft 71. That is, the tip part 71 c of the ball screw shaft 71 is supported at three points on the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11. Thereby, the front-end | tip part 71c of the ball screw shaft 71 is stably supported by the internal peripheral surface of the insertion hole 11a.

また、本第１実施形態では、振れ止め機構本体１２０は、ボールねじ軸７１に固定された固定部１５０にＹ軸回りに回転可能に支持されている。このため、ボールねじ軸７１が回転した場合、固定部１５０は、ボールねじ軸７１とともに回転するが、振れ止め機構本体１２０自体は、ボールねじ軸７１に対して非回転状態に維持される。これにより、ローラ１１０が挿入孔１１ａの内周面に摺動することを防止することができる。また、ローラ１１０の摺動抵抗により、ボールねじ軸７１の回転が阻害されることを防止することができる。 In the first embodiment, the steady rest mechanism main body 120 is supported by the fixed portion 150 fixed to the ball screw shaft 71 so as to be rotatable about the Y axis. For this reason, when the ball screw shaft 71 rotates, the fixing portion 150 rotates together with the ball screw shaft 71, but the steadying mechanism main body 120 itself is maintained in a non-rotating state with respect to the ball screw shaft 71. Thereby, it can prevent that the roller 110 slides on the internal peripheral surface of the insertion hole 11a. Further, it is possible to prevent the rotation of the ball screw shaft 71 from being hindered by the sliding resistance of the roller 110.

図１９は、比較例に係る振れ止め機構３００を示す断面図である。図１９に示すように、振れ止め機構本体１２０は、固定部３５０にＹ軸回りに回転可能に支持されていない場合（固定部３５０がベアリング１５３を具備していない場合）には、振れ止め機構本体１２０及び固定部３５０は、ボールねじ軸７１とともに回転してしまう。すると、振れ止め機構本体１２０がＹ軸回りに回転することで、ローラ１１０が挿入孔１１ａの内周面を摺動する。この摺動抵抗により、ボールねじ軸７１の安定した回転が阻害されるおそれが生じる。 FIG. 19 is a cross-sectional view showing a steady rest mechanism 300 according to a comparative example. As shown in FIG. 19, when the steady rest mechanism main body 120 is not supported by the fixed portion 350 so as to be rotatable around the Y axis (when the fixed portion 350 does not include the bearing 153), the steady rest mechanism The main body 120 and the fixing portion 350 rotate together with the ball screw shaft 71. Then, the steady rest mechanism main body 120 rotates around the Y axis, so that the roller 110 slides on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. Due to this sliding resistance, stable rotation of the ball screw shaft 71 may be hindered.

しかしながら、本第１実施形態では、図１８Ａ及び図１８Ｂに示すように、固定部１５０は、ボールねじ軸７１とともに回転するのに対して、振れ止め機構本体１２０は、ボールねじ軸７１に対して非回転状態に保たれる。このため、ローラ１１０が挿入孔１１ａの内周面に対して摺動することを防ぐことができ、この摺動抵抗により、ボールねじ軸７１の回転が阻害されることを防止することができる。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。結果として、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを効果的に抑制できる。また、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りに起因した騒音又は異音を抑制できる。 However, in the first embodiment, as shown in FIGS. 18A and 18B, the fixing portion 150 rotates together with the ball screw shaft 71, whereas the steady-rest mechanism main body 120 moves relative to the ball screw shaft 71. It is kept in a non-rotating state. For this reason, it is possible to prevent the roller 110 from sliding with respect to the inner peripheral surface of the insertion hole 11a, and it is possible to prevent the rotation of the ball screw shaft 71 from being hindered by this sliding resistance. Thereby, the front-end | tip part 71c of the ball screw shaft 71 is stably supported by the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11. As a result, the ball screw shaft 71 is less likely to resonate, and the whirling of the tip 71c of the ball screw shaft 71 can be effectively suppressed. Further, noise or abnormal noise caused by the swinging of the tip 71c of the ball screw shaft 71 can be suppressed.

また、本第１実施形態では、ローラ本体１１１は、ローラベアリング１１３を介してローラ軸１１２に回転可能に支持されている。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と振れ止め機構１００との間の抵抗を、より低減することができる。これにより、ロッド１１の進退移動が、さらに円滑になり、結果として、アクチュエータ１０の動作の安定性をさらに向上させることができる。 In the first embodiment, the roller body 111 is rotatably supported by the roller shaft 112 via the roller bearing 113. For this reason, the resistance between the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 and the steadying mechanism 100 can be further reduced. Thereby, the forward / backward movement of the rod 11 becomes smoother, and as a result, the operation stability of the actuator 10 can be further improved.

また、本第１実施形態では、ローラ本体１１１は、弾性の素材から形成されている。このため、ローラ本体１１１の弾性変形により、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、ローラ本体１１１を介して、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持される。これにより、ボールねじ軸７１に共振が生じにくくなり、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制できる。 In the first embodiment, the roller body 111 is made of an elastic material. For this reason, the tip 71c of the ball screw shaft 71 is stably supported by the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 via the roller body 111 due to the elastic deformation of the roller body 111. As a result, resonance is less likely to occur in the ball screw shaft 71, and swinging of the tip portion 71c of the ball screw shaft 71 can be suppressed.

以上、本発明の第１実施形態について説明したが、本発明は上記第１実施形態等によって限定されるものではない。 The first embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the first embodiment or the like.

例えば、上記第１実施形態においては、図９に示すように、振れ止め機構本体１２０と固定部１５０とは別体で形成され、振れ止め機構本体１２０は、固定部１５０を介して、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに接続されている。しかしながら、図２０に示す第１の変形例のように、分割部材１４０と固定部１５０とを一体に形成することも可能である。これにより、部品点数を削減することができる。 For example, in the first embodiment, as shown in FIG. 9, the steadying mechanism main body 120 and the fixing part 150 are formed separately, and the steadying mechanism main body 120 is connected to the ball screw via the fixing part 150. It is connected to the tip 71c of the shaft 71. However, as in the first modification shown in FIG. 20, it is also possible to form the dividing member 140 and the fixing portion 150 integrally. Thereby, the number of parts can be reduced.

また、上記第１実施形態では、図９に示すように、振れ止め機構１００の固定部１５０のベアリング１５３は、ボールベアリングである。しかしながら、これに限らず、図２０に示す第１の変形例のように、ベアリング１５３は、スライドベアリングであってもよい。 In the first embodiment, as shown in FIG. 9, the bearing 153 of the fixed portion 150 of the steadying mechanism 100 is a ball bearing. However, the present invention is not limited to this, and the bearing 153 may be a slide bearing as in the first modification shown in FIG.

また、上記第１実施形態に係るローラ１１０では、図９に示すように、ローラ本体１１１とローラ軸１１２との間にローラベアリング１１３が介在されている。しかしながら、これに限らず、図２０に示す第１の変形例のように、ローラ本体１１１にローラ軸１１２が直接固定されていてもよい。この場合、ローラベアリング１１３を割愛することができ、部品点数を削減することができる。しかしながら、ロッド１１の進退移動の円滑化の観点からは、図９に示すように、ローラ本体１１１とローラ軸１１２との間にローラベアリング１１３が介在されていることが好ましい。 In the roller 110 according to the first embodiment, as shown in FIG. 9, a roller bearing 113 is interposed between the roller body 111 and the roller shaft 112. However, the present invention is not limited to this, and the roller shaft 112 may be directly fixed to the roller body 111 as in the first modification shown in FIG. In this case, the roller bearing 113 can be omitted, and the number of parts can be reduced. However, from the viewpoint of facilitating the forward and backward movement of the rod 11, it is preferable that a roller bearing 113 is interposed between the roller body 111 and the roller shaft 112 as shown in FIG.

また、上記第１実施形態においては、図１６に示すように、板バネ１２１が、ローラ１１０を挿入孔１１ａの内周面に付勢している。しかしながら、ローラ１１０を付勢する付勢手段は、これに限られない。例えば、図２１に示す第２の変形例のように、ゴム等の弾性部材１２１ａであってもよい。また、板バネ１２１及び弾性部材１２１ａに限らず、スプリングであってもよい。しかしながら、製造コストや構造の簡素化の観点から、付勢手段は板バネ１２１や弾性部材１２１ａであることが好ましい。 In the first embodiment, as shown in FIG. 16, the leaf spring 121 urges the roller 110 toward the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. However, the biasing means for biasing the roller 110 is not limited to this. For example, an elastic member 121a such as rubber may be used as in the second modification shown in FIG. Moreover, not only the leaf | plate spring 121 and the elastic member 121a but a spring may be sufficient. However, from the viewpoint of manufacturing cost and simplification of the structure, the biasing means is preferably the leaf spring 121 or the elastic member 121a.

また、上記第１実施形態においては、振れ止め機構１００が有するローラ１１０の数は３つである。しかしながら、これに限らず、２つ以下であってもよいし、４つ以上であってもよい。しかしながら、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持するために、ローラ１１０の数は、少なくとも２つ以上であることが好ましく、より好ましくは、上記第１実施形態のように３つである。 In the first embodiment, the steadying mechanism 100 includes three rollers 110. However, the present invention is not limited to this, and may be two or less, or four or more. However, in order to stably support the tip 71c of the ball screw shaft 71 on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11, the number of rollers 110 is preferably at least two, more preferably There are three as in the first embodiment.

《第２実施形態》
以下、本発明の第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａについて、図２２〜図２８を用いて説明する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いる。本第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａは、図２２に示すように、上記第１実施形態に係る振れ止め機構１００とは異なる構造の振れ止め機構２００を有する点で、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と相違する。 << Second Embodiment >>
Hereinafter, an actuator 10A according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the same code | symbol is used about the structure same or equivalent to 1st Embodiment. As shown in FIG. 22, the actuator 10A according to the second embodiment has an anti-sway mechanism 200 having a structure different from that of the anti-skid mechanism 100 according to the first embodiment. 10 and different.

振れ止め機構２００は、上記振れ止め機構１００と同様に、図２３Ａ及び図２３Ｂに示すように、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに取り付けられ、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃの振れ回りを抑制するために用いられる。振れ止め機構２００は、ボール２１０と、ボール２１０を保持する振れ止め機構本体２２０と、振れ止め機構本体２２０とボールねじ軸７１とを接続する固定部１５０とを有する。固定部１５０は、上記第１実施形態に係る振れ止め機構１００の固定部１５０と同様のものである。 As shown in FIGS. 23A and 23B, the anti-sway mechanism 200 is attached to the tip part 71c of the ball screw shaft 71 and suppresses the swing of the tip part 71c of the ball screw shaft 71, as shown in FIGS. 23A and 23B. Used to do. The steadying mechanism 200 includes a ball 210, a steadying mechanism main body 220 that holds the ball 210, and a fixing portion 150 that connects the steadying mechanism main body 220 and the ball screw shaft 71. The fixing part 150 is the same as the fixing part 150 of the steady rest mechanism 100 according to the first embodiment.

ボール２１０は、図２４に示すように、ボールねじ軸７１の軸心（Ｙ軸方向に平行な軸心）を中心として、振れ止め機構本体２２０の周方向に６０度毎に６つ配置されている。ボール２１０は、例えば、剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。 As shown in FIG. 24, six balls 210 are arranged at intervals of 60 degrees in the circumferential direction of the steady rest mechanism body 220 around the axial center of the ball screw shaft 71 (axial center parallel to the Y-axis direction). Yes. The ball 210 is made of, for example, a rigid material, specifically, a steel material.

振れ止め機構本体２２０は、２つの分割部材２３０、２４０から構成されている。分割部材２３０、２４０は、例えば、ポリアセタール樹脂から形成されている。分割部材２３０、２４０には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔２３１、２４１が形成されている。分割部材２３０の＋Ｙ側の端面及び分割部材２４０の−Ｙ側の端面には、ボール２１０を配置するための窪み状のボール配置部２３２、２４２が形成されている。ボール配置部２３２、２４２は、ボール２１０の数に対応して、それぞれ６箇所に形成されている。ボール配置部２３２、２４２の内周面は、ボール２１０の外形に対応した湾曲面に形成されている。ボール２１０は、分割部材２３０と分割部材２４０との間に挟まれて、外部に離脱しないように保持されている。 The steady-rest mechanism main body 220 includes two divided members 230 and 240. The dividing members 230 and 240 are made of, for example, polyacetal resin. The dividing members 230 and 240 are formed with through holes 231 and 241 that penetrate in the Y-axis direction. On the + Y side end face of the split member 230 and the −Y side end face of the split member 240, concave ball placement portions 232 and 242 for placing the balls 210 are formed. The ball placement portions 232 and 242 are respectively formed at six locations corresponding to the number of balls 210. The inner peripheral surfaces of the ball placement portions 232 and 242 are formed as curved surfaces corresponding to the outer shape of the ball 210. The ball 210 is held between the split member 230 and the split member 240 so as not to be separated from the outside.

図２５に示すように、ボールねじ７０が、ロッド１１の挿入孔１１ａに挿入されると、振れ止め機構２００が、ロッド１１の挿入孔１１ａ内に配置される。このとき、図２６に示すように、ボール２１０が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に接触する。これにより、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃが、この振れ止め機構２００を介して、挿入孔１１ａの内周面に支持される。 As shown in FIG. 25, when the ball screw 70 is inserted into the insertion hole 11 a of the rod 11, the steadying mechanism 200 is disposed in the insertion hole 11 a of the rod 11. At this time, as shown in FIG. 26, the ball 210 contacts the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11. Thereby, the tip 71c of the ball screw shaft 71 is supported on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a via the steadying mechanism 200.

上述のように構成された振れ止め機構２００の作用について、図２７を用いて説明する。 The operation of the steady rest mechanism 200 configured as described above will be described with reference to FIG.

図２７に示すように、ボールねじ軸７１がＹ軸回りに回転すると、ロッド１１が−Ｙ方向又は＋Ｙ方向のいずれかの方向に移動する。このとき、ロッド１１がＹ軸方向に移動するのに対し、ボールねじ軸７１は、Ｙ軸方向には移動せずに回転する。このため、ボールねじ軸７１に固定された振れ止め機構２００の固定部１５０は、ボールねじ軸７１とともに回転する。しかしながら、振れ止め機構本体２２０は、固定部１５０に回転可能に支持されているため、非回転状態に維持される。そして、振れ止め機構本体２２０に保持されたボール２１０は、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に対して転動する。 As shown in FIG. 27, when the ball screw shaft 71 rotates around the Y axis, the rod 11 moves in either the −Y direction or the + Y direction. At this time, the rod 11 moves in the Y-axis direction, whereas the ball screw shaft 71 rotates without moving in the Y-axis direction. For this reason, the fixed portion 150 of the steadying mechanism 200 fixed to the ball screw shaft 71 rotates together with the ball screw shaft 71. However, since the steady rest mechanism body 220 is rotatably supported by the fixed portion 150, it is maintained in a non-rotating state. Then, the ball 210 held by the steady rest mechanism main body 220 rolls with respect to the inner peripheral surface of the insertion hole 11 a of the rod 11.

以上、説明したように、本第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａでは、ロッド１１の進退移動に伴い、振れ止め機構２００のボール２１０が、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に転動する。このため、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面と振れ止め機構２００との間の抵抗を低減することができる。これにより、ロッド１１の進退移動が円滑になる。結果として、アクチュエータ１０Ａの動作の安定性を向上させることができる。また、本第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａは、上記第１実施形態に係るアクチュエータ１０と効果に準じた効果を奏することができる。 As described above, in the actuator 10A according to the second embodiment, the ball 210 of the steadying mechanism 200 rolls on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 as the rod 11 moves forward and backward. For this reason, the resistance between the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11 and the steadying mechanism 200 can be reduced. Thereby, the forward / backward movement of the rod 11 becomes smooth. As a result, the stability of the operation of the actuator 10A can be improved. Further, the actuator 10A according to the second embodiment can achieve an effect according to the effect of the actuator 10 according to the first embodiment.

以上、本発明の第２実施形態について説明したが、本発明は上記第２実施形態によって限定されるものではない。 Although the second embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the second embodiment.

例えば、上記第２実施形態に係る振れ止め機構２００は、ベアリング１５３を介して、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃに回転可能に接続されている。しかしながら、ボール２１０は、挿入孔１１ａの内周面を転動するため、図２８に示すように、振れ止め機構２００は、ベアリング１５３を備えなくてもよい。この場合、部品点数を削減することもできる。しかしながら、ロッド１１の安定した進退移動のために、振れ止め機構２００は、図２７に示すように、ベアリング１５３を備えていることが好ましい。 For example, the steadying mechanism 200 according to the second embodiment is rotatably connected to the tip 71c of the ball screw shaft 71 via the bearing 153. However, since the ball 210 rolls on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a, the steadying mechanism 200 does not need to include the bearing 153 as shown in FIG. In this case, the number of parts can be reduced. However, in order to stably move the rod 11 back and forth, the steadying mechanism 200 preferably includes a bearing 153 as shown in FIG.

また、上記第２実施形態では、図２６を参照するとわかるように、振れ止め機構本体２２０は、ボール２１０を挿入孔１１ａの内周面に付勢する付勢手段を具備していない。しかしながら、これに限らず、付勢手段を具備してもよい。 In the second embodiment, as can be seen with reference to FIG. 26, the steady-rest mechanism main body 220 does not include a biasing unit that biases the ball 210 toward the inner peripheral surface of the insertion hole 11a. However, the present invention is not limited to this, and biasing means may be provided.

また、上記第２実施形態においては、振れ止め機構２００が有するボール２１０の数は６つであるが、これに限らず、５つ以下であってもよいし、７つ以上であってもよい。しかしながら、ボールねじ軸７１の先端部７１ｃを、ロッド１１の挿入孔１１ａの内周面に安定して支持するために、ボール２１０の数は、少なくとも２つ以上であることが好ましい。 In the second embodiment, the number of balls 210 included in the steady rest mechanism 200 is six. However, the number is not limited to this, and may be five or less, or may be seven or more. . However, in order to stably support the tip 71c of the ball screw shaft 71 on the inner peripheral surface of the insertion hole 11a of the rod 11, the number of balls 210 is preferably at least two.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。 Various embodiments and modifications can be made to the present invention without departing from the broad spirit and scope of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

１０、１０Ａアクチュエータ
１１ロッド
１１ａ挿入孔
１１ｂ雄ねじ部
１２先端金具
１８カバー
１９ボルト
２０モータユニット
２１モータ
２２モータハウジング
２３出力軸（回転軸）
２４アクチュエータケーブル
２５ボルト
３０ガイド装置
３１スライド部（移動体）
３２スライド部本体
３２ａ貫通孔
３２ｂ雌ねじ部
４０転動体収納ユニット
４１転動体循環路
５０ボール
６０ベース
６１底板部
６２Ｒ、６２Ｌ側壁部
６３Ｒ、６３Ｌガイドレール
７０ボールねじ
７１ボールねじ軸
７１ａボールねじ軸本体
７１ｃ先端部
７２ボールねじナット
７３接続部材
７４止めねじ
８０フロントハウジング
８２オイルレスベアリング
９０リアハウジング
９２ボールベアリング
１００、３００振れ止め機構
１０１ボルト
１０２ナット
１１０ローラ（回転体）
１１１ローラ本体
１１２ローラ軸
１１３ローラベアリング
１２０振れ止め機構本体
１２１板バネ（付勢手段）
１２１ａ弾性部材（付勢手段）
１２２固定ピン
１３０、１４０分割部材
１３１、１４１貫通孔
１３２、１４２ローラ配置用溝部
１３３、１４３板バネ配置用溝部
１３５、１４５挿入孔
１４０Ａ大径部
１４０Ｂ小径部
１５０、３５０固定部
１５１貫通孔
１５２止めねじ
１５３ベアリング
２００振れ止め機構
２１０ボール（回転体）
２２０振れ止め機構本体
２３０、２４０分割部材
２３１、２４１貫通孔
２３２、２４２ボール配置部
Ｗ幅
Ｃ１円 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10A Actuator 11 Rod 11a Insertion hole 11b Male thread part 12 End metal fitting 18 Cover 19 Bolt 20 Motor unit 21 Motor 22 Motor housing 23 Output shaft (rotary shaft)
24 Actuator cable 25 Bolt 30 Guide device 31 Slide part (moving body)
32 Slide part main body 32a Through hole 32b Female thread part 40 Rolling body storage unit 41 Rolling body circulation path 50 Ball 60 Base 61 Bottom plate part 62R, 62L Side wall part 63R, 63L Guide rail 70 Ball screw 71 Ball screw shaft 71a Ball screw shaft main body 71c Tip portion 72 Ball screw nut 73 Connection member 74 Set screw 80 Front housing 82 Oilless bearing 90 Rear housing 92 Ball bearing 100, 300 Stabilizing mechanism 101 Bolt 102 Nut 110 Roller (rotating body)
111 Roller body 112 Roller shaft 113 Roller bearing 120 Stabilizing mechanism body 121 Leaf spring (biasing means)
121a Elastic member (biasing means)
122 Fixing pin 130, 140 Dividing member 131, 141 Through hole 132, 142 Roller disposition groove 133, 143 Leaf spring disposition groove 135, 145 Insertion hole 140A Large diameter portion 140B Small diameter portion 150, 350 Fixed portion 151 Through hole 152 Stop Screw 153 Bearing 200 Stabilization mechanism 210 Ball (rotating body)
220 Stabilizing mechanism main body 230, 240 Split member 231, 241 Through hole 232, 242 Ball arrangement portion W width C1 circle

Claims

A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
A movable body fixed to the ball screw nut and moving linearly with the ball screw nut;
A rod fixed to the moving body, linearly moving with the moving body, and having an insertion hole for inserting a tip of the ball screw shaft;
An anti-sway mechanism attached to the tip of the ball screw shaft and for suppressing the whirling of the ball screw;
Have
The steady-rest mechanism includes a steady-rest mechanism main body that is connected to the ball screw shaft so as to be rotatable about an axis thereof, and is rotatably held by the steady-rest mechanism main body, and is provided on an inner peripheral surface of the insertion hole. by contacting, have a, a rotating body that rotates in forward and backward direction of the rod with the linear movement of said rod,
The ball screw shaft includes a ball screw shaft main body having an outer peripheral surface configured as a screw surface, and a tip portion which is provided at a tip of the ball screw shaft main body and to which the steadying mechanism is attached. ,
The actuator according to claim 1, wherein the steadying mechanism is configured such that the rotating body is disposed closer to a tip side than the tip portion of the ball screw shaft .

2. The actuator according to claim 1, wherein at least two of the rotating bodies are arranged at equal intervals in a circumferential direction of the steady-rest mechanism body with the axis of the ball screw shaft as a center.

3. The steady rest mechanism main body is maintained in a non-rotating state with respect to the ball screw shaft with the rotational motion of the ball screw shaft and the linear motion of the rod. Actuator.

A bearing that rotatably supports the steady-rest mechanism body, and a fixing portion that is fixed to the ball screw shaft;
The actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the steady-rest mechanism body is rotatably connected to the ball screw shaft by the bearing.

The actuator according to claim 1, wherein the rotating body is a roller.

The actuator according to claim 5, wherein the roller includes a roller main body, a roller shaft, and a roller bearing interposed between the roller main body and the roller shaft.

The actuator according to claim 6, wherein the roller body is made of an elastic material.

The actuator according to claim 6 or 7, wherein the steady-rest mechanism main body includes a biasing unit that biases the roller to the inner peripheral surface of the insertion hole.

The biasing means is configured by a leaf spring that contacts the roller shaft without contacting the roller body,
The actuator according to claim 8, wherein the roller body biases the roller shaft to the inner peripheral surface of the insertion hole by biasing the roller shaft.

The actuator according to claim 1, wherein the rotating body is a ball.

The actuator according to claim 10, wherein the steady-rest mechanism main body includes a biasing unit that biases the ball to the inner peripheral surface of the insertion hole.

The actuator according to claim 11, wherein the urging unit is configured by a leaf spring.

A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
A movable body fixed to the ball screw nut and moving linearly with the ball screw nut;
A rod fixed to the moving body, linearly moving with the moving body, and having an insertion hole for inserting a tip of the ball screw shaft;
An anti-sway mechanism that is attached to a tip of the ball screw shaft of an actuator having
An anti-skid mechanism body connected to the ball screw shaft so as to be rotatable around an axis,
A rotating body that is rotatably supported by the steady-rest mechanism body and rotates in the forward and backward direction of the rod along with the linear motion of the rod by contacting the inner peripheral surface of the insertion hole;
Have a,
The ball screw shaft includes a ball screw shaft main body having an outer peripheral surface configured as a screw surface, and a tip portion which is provided at a tip of the ball screw shaft main body and to which the steadying mechanism is attached. ,
The anti-sway mechanism according to claim 1, wherein the rotating body is disposed closer to a tip side than the tip portion of the ball screw shaft .