JP2017072260A - Guide device and actuator - Google Patents

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ball
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actuator
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近藤 伸樹
Nobuki Kondo
伸樹 近藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a guide device capable of suppressing vibration of a tip part of a rod, and an actuator.SOLUTION: A guide device includes: a slide part that is provided with groove parts 33a, 34a parallel with a Y-axis direction where the slide part slides, and includes a slide body part 32 made of metal and a return 40 with ball circulation passages 43, 44 formed thereinside; a rail part in which a second groove part facing the groove parts 33a, 34a is formed; a ball as a rolling element rolling while being held by the groove parts 33a, 34a, supporting the slide part in a movable manner, and passing through the ball circulation passages 43, 44; and a rod provided in the slide body part 32. In the slide body part 32, a pair of projection parts 33, 34 respectively formed with the groove parts 33a, 34a are formed along the Y-axis direction where the slide part slides, and the return 40 is fitted between the pair of projection parts 33, 34.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、ガイド装置及びアクチュエータに関する。   The present invention relates to a guide device and an actuator.

ロッドタイプのリニアアクチュエータは、例えば、ボールねじを有しており、このボールねじが、モータの回転運動をロッドの直線運動に変換する。この変換により、ロッドが往復運動し、ロッドの先端に取り付けられた任意の工具が、様々な作業を行う。このようなアクチュエータにおいては、モータの回転運動を直線運動に変換しているため、モータの回転運動に起因したトルクがロッドに伝わり、ロッドの先端に振れが生じやすい。この場合、アクチュエータの作業の精度が低下するおそれがある。   The rod-type linear actuator has, for example, a ball screw, and this ball screw converts the rotational motion of the motor into the linear motion of the rod. By this conversion, the rod reciprocates, and an arbitrary tool attached to the tip of the rod performs various operations. In such an actuator, since the rotational motion of the motor is converted into a linear motion, torque resulting from the rotational motion of the motor is transmitted to the rod, and the tip of the rod is likely to be shaken. In this case, there is a possibility that the accuracy of the operation of the actuator is lowered.

これに対して、下記特許文献1には、ロッドの振れを規制する回転規制部材を備えたアクチュエータが開示されている。   On the other hand, the following Patent Document 1 discloses an actuator including a rotation restricting member that restricts the deflection of the rod.

特開2002−130419号公報JP 2002-130419 A

上記特許文献1に記載のアクチュエータの回転規制部材は、樹脂からなる。そのため、モータの回転運動により、回転規制部材にトルクが加わり、回転規制部材が弾性変形をしてしまい、ロッドの先端部に振れが生じるおそれがある。   The rotation restricting member of the actuator described in Patent Document 1 is made of resin. For this reason, torque is applied to the rotation restricting member due to the rotational movement of the motor, the rotation restricting member is elastically deformed, and there is a possibility that the tip of the rod may be shaken.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、ロッドの先端部の振れを抑制できるガイド装置及びアクチュエータを提供することを目的とする。   The present invention has been made under the circumstances described above, and it is an object of the present invention to provide a guide device and an actuator that can suppress the deflection of the tip of the rod.

上述の目的を達成するために、本発明の第1の観点に係るガイド装置は、
スライドする方向に平行に第1溝部が設けられ、金属からなるスライド部本体と、転動体循環路が内部に形成されている転動体収納ユニットと、を有するスライド部と、
前記第1溝部に対向する第2溝部が形成されているレール部と、
前記第1溝部及び前記第2溝部に挟まれつつ転動して、前記スライド部を移動可能に支持すると共に、前記転動体循環路を通過する転動体と、
前記スライド部本体に設けられている作業軸と、
を備え、
前記スライド部本体には、前記第1溝部が形成されている一対の凸部が、前記スライドする方向に沿って形成され、前記転動体収納ユニットは、一対の前記凸部の間に嵌め込まれている。
In order to achieve the above-described object, a guide device according to the first aspect of the present invention includes:
A slide part having a first groove part parallel to the sliding direction, a slide part body made of metal, and a rolling element storage unit in which a rolling element circulation path is formed, and
A rail part in which a second groove part facing the first groove part is formed;
A rolling element that rolls while being sandwiched between the first groove part and the second groove part, supports the slide part movably, and passes through the rolling element circulation path;
A work shaft provided in the slide body,
With
A pair of convex portions in which the first groove portions are formed are formed in the slide portion main body along the sliding direction, and the rolling element storage unit is fitted between the pair of convex portions. Yes.

前記レール部及び前記転動体は、剛性の素材からなっていてもよい。   The rail part and the rolling element may be made of a rigid material.

回転軸を備えたモータと、前記回転軸の回転運動を直線運動に変換するボールねじを有するアクチュエータに用いられる前記ガイド装置であって、
前記スライド部本体には、前記スライドする方向に貫通し、前記作業軸が固定される貫通孔が設けられていてもよい。
A guide device used for an actuator having a motor having a rotating shaft and a ball screw for converting the rotational motion of the rotating shaft into a linear motion,
The slide part main body may be provided with a through hole that penetrates in the sliding direction and to which the work shaft is fixed.

本発明の第2の観点に係るアクチュエータは、
第1の観点に係るガイド装置を備える。
The actuator according to the second aspect of the present invention is:
A guide device according to the first aspect is provided.

回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
を備えていてもよい。
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
May be provided.

前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部本体には、前記スライドする方向に貫通する貫通孔が設けられ、前記貫通孔には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部本体に固定されていてもよい。
The working shaft is formed with a male screw portion,
The slide part body is provided with a through-hole penetrating in the sliding direction, and the through-hole is formed with a female screw part,
The working shaft may be fixed to the slide portion main body by screwing the male screw portion and the female screw portion.

本発明によれば、作業軸(ロッド)は、金属からなるスライド部本体に設けられている。このガイド装置により、モータを接続した場合に生じるトルクが、スライド部を介して、作業軸に伝わりにくく、作業軸の先端部の振れの発生を抑制することができる。   According to the present invention, the work shaft (rod) is provided on the slide part body made of metal. With this guide device, the torque generated when the motor is connected is not easily transmitted to the work shaft via the slide portion, and the occurrence of vibration of the tip end portion of the work shaft can be suppressed.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning an embodiment of the present invention. (A)は、カバーを取り外したときのアクチュエータの斜視図であり、(B)は、カバーを取り外したときのアクチュエータのYZ断面図である。(A) is a perspective view of the actuator when the cover is removed, and (B) is a YZ sectional view of the actuator when the cover is removed. アクチュエータの分解断面図である。It is an exploded sectional view of an actuator. (A)は、ガイド装置の斜視図であり、(B)は、ガイド装置のXZ断面図である。(A) is a perspective view of a guide apparatus, (B) is XZ sectional drawing of a guide apparatus. (A)は、スライド部の斜視図であり、(B)は、スライド部の分解斜視図である。(A) is a perspective view of a slide part, (B) is an exploded perspective view of a slide part. (A)は、スライド部本体の斜視図(その1)であり、(B)は、スライド部本体の斜視図(その2)であり、(C)は、スライド部本体のXZ断面図であり、(D)は、スライド部本体のYZ断面図である。(A) is a perspective view (part 1) of the slide part body, (B) is a perspective view (part 2) of the slide part body, and (C) is an XZ sectional view of the slide part body. , (D) is a YZ sectional view of the slide body. (A)は、スライド部本体のXZ断面における部分拡大図(その1)であり、(B)スライド部本体のXZ断面における部分拡大図(その2)である。(A) is the elements on larger scale in the XZ cross section of the slide part main body (the 1), (B) It is the elements on larger scale in the XZ cross section of the slide part main body (the 2). (A)は、リターンの斜視図であり、(B)は、リターンのXY断面図であり、(C)は、リターンのXZ断面図である。(A) is a perspective view of the return, (B) is an XY sectional view of the return, and (C) is an XZ sectional view of the return. (A)は、スライド部の組み立てを説明するためのXZ断面図であり、(B)は、スライド部の組み立てを説明するための斜視図である。(A) is XZ sectional drawing for demonstrating the assembly of a slide part, (B) is a perspective view for demonstrating the assembly of a slide part. ボールの軌道を説明するためのXY断面図である。It is XY sectional drawing for demonstrating the track | orbit of a ball | bowl. (A)は、レール部の斜視図であり、(B)は、レール部のXZ断面図である。(A) is a perspective view of a rail part, (B) is XZ sectional drawing of a rail part. (A)は、レール部のXZ断面における部分拡大図(その1)であり、(B)レール部のXZ断面における部分拡大図(その2)である。(A) is the elements on larger scale in the XZ section of a rail part (the 1), (B) It is the elements on larger scale in the XZ section of the rail part (the 2). (A)は、ガイド装置の組み立てを説明するためのXZ断面図(その1)であり、(B)は、ガイド装置の組み立てを説明するためのXZ断面図(その2)であり、(C)は、ガイド装置の組み立てを説明するためのXZ断面図(その3)である。(A) is XZ sectional drawing (the 1) for demonstrating the assembly of a guide apparatus, (B) is XZ sectional drawing (the 2) for demonstrating the assembly of a guide apparatus, (C ) Is an XZ sectional view (part 3) for explaining the assembly of the guide device. ロッドのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the attachment to the guide apparatus of a rod. (A)は、ボールねじのYZ断面図であり、(B)は、ボールねじ軸の先端部の斜視図であり、(C)は、ボールねじ軸の先端部のYZ断面図である。(A) is a YZ sectional view of the ball screw, (B) is a perspective view of the tip portion of the ball screw shaft, and (C) is a YZ sectional view of the tip portion of the ball screw shaft. (A)は、弾性部材の斜視図であり、(B)は、弾性部材のXZ断面図である。(A) is a perspective view of an elastic member, (B) is XZ sectional drawing of an elastic member. ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating attachment to the guide apparatus of a ball screw. (A)は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのYZ断面図であり、(B)は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのXZ断面図である。(A) is a YZ sectional view for explaining attachment of the ball screw to the guide device, and (B) is an XZ sectional view for explaining attachment of the ball screw to the guide device. (A)は、ボールねじのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのYZ断面図であり、(B)は、モータユニットのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのYZ断面図である。(A) is a YZ sectional view for explaining attachment of the ball screw to the bearing housing, and (B) is a YZ sectional view for explaining attachment of the motor unit to the bearing housing. (I)、(II)、及び(III)は、アクチュエータの動作を説明するためのYZ断面図である。(I), (II), and (III) are YZ sectional views for explaining the operation of the actuator. (I)及び(II)は、ガイド装置の動作を説明するためのXY断面図である。(I) And (II) is XY sectional drawing for demonstrating operation | movement of a guide apparatus. (I)及び(II)は、弾性部材の作用を説明するためのYZ断面図である。(I) And (II) is YZ sectional drawing for demonstrating the effect | action of an elastic member. (A)は、ボールねじ軸の先端の振れの発生を説明するための比較例であり、(B)は、ボールねじ軸の先端の振れの発生を説明するための本発明の実施形態に係るアクチュエータの断面図である。(A) is a comparative example for explaining the occurrence of the deflection of the tip of the ball screw shaft, and (B) is an embodiment of the present invention for explaining the occurrence of the deflection of the tip of the ball screw shaft. It is sectional drawing of an actuator. アクチュエータの作業台への取り付けを説明するための図である。It is a figure for demonstrating attachment to the work bench | platform of an actuator. 弾性部材の変形例を示すXZ断面図である。It is XZ sectional drawing which shows the modification of an elastic member. (A)、(B)、(C)、及び(D)は、変形例1に係るガイド装置のXZ断面図(その1〜4)である。(A), (B), (C), and (D) are XZ sectional views (parts 1 to 4) of the guide device according to the first modification. (E)、(F)、(G)、及び(H)は、変形例1に係るガイド装置のXZ断面図(その5〜8)である。(E), (F), (G), and (H) are XZ sectional views (Nos. 5 to 8) of the guide device according to the first modification. (I)、(J)、(K)、及び(L)は、変形例1に係るガイド装置のXZ断面図(その9〜12)である。(I), (J), (K), and (L) are XZ sectional views (Nos. 9 to 12) of the guide device according to the first modification. (A)は、変形例2に係るガイド装置の斜視図であり、(B)は、変形例2に係るアクチュエータの斜視図である。(A) is a perspective view of a guide device according to Modification Example 2, and (B) is a perspective view of an actuator according to Modification Example 2. FIG. (A)は、変形例3に係るスライド部等のXY断面図であり、(B)は、変形例3に係るアクチュエータの斜視図である。(A) is XY sectional drawing of the slide part etc. which concern on the modification 3, (B) is a perspective view of the actuator which concerns on the modification 3. FIG. (A)は、変形例4に係るアクチュエータの斜視図であり、(B)は、変形例4に係るボールブッシュ等のXY断面図である。(A) is a perspective view of an actuator according to Modification 4, and (B) is an XY cross-sectional view of a ball bush or the like according to Modification 4. 変形例4に係るアクチュエータの動作を説明するための斜視図である。10 is a perspective view for explaining an operation of an actuator according to Modification 4. FIG. 変形例5に係るアクチュエータの斜視図である。10 is a perspective view of an actuator according to Modification 5. FIG. 変形例6に係るフロントハウジング等のYZ断面図である。It is YZ sectional drawing of the front housing etc. which concern on the modification 6. FIG. (A)は、変形例7に係るスライド部及びロッド等を示したXZ断面図(その1)であり、(B)は、変形例7に係るスライド部及びロッド等を示したXZ断面図(その2)である。(A) is XZ sectional drawing (the 1) which showed the slide part, rod, etc. which concern on the modified example 7, (B) is XZ sectional drawing which showed the sliding part, rod, etc. which concern on the modified example 7 ( Part 2). (A)は、変形例7に係るスライド部及びロッド等を示したXZ断面図(その3)であり、(B)は、変形例7に係るスライド部及びロッド等を示したYZ断面図である。(A) is XZ sectional drawing (the 3) which showed the slide part, rod, etc. which concern on the modification 7, (B) is YZ sectional drawing which showed the slide part, rod, etc. which concern on the modification 7. is there. (A)は、変形例8に係るアクチュエータを示したYZ断面図(その1)であり、(B)は、変形例8に係るアクチュエータを示したYZ断面図(その2)である。(A) is a YZ sectional view (part 1) showing an actuator according to modification example 8, and (B) is a YZ sectional view (part 2) showing an actuator according to modification example 8. 変形例9に係るガイド装置を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the guide apparatus which concerns on the modification 9.

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ10について説明する。なお、図中のXY平面は水平な面であり、図中のZ軸の方向は鉛直方向である。   Hereinafter, the actuator 10 according to the embodiment of the present invention will be described. The XY plane in the figure is a horizontal plane, and the direction of the Z axis in the figure is the vertical direction.

アクチュエータ10は、図1に示すように、Y軸方向に往復運動するロッド11(作業軸)を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ10は、ロッド11と、モータユニット20と、フロントハウジング80と、ベアリングハウジング90と、カバー18とを有している。   As shown in FIG. 1, the actuator 10 is a linear actuator having a rod 11 (work axis) that reciprocates in the Y-axis direction. The actuator 10 includes a rod 11, a motor unit 20, a front housing 80, a bearing housing 90, and a cover 18.

カバー18は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー18には、図2(A)に示すように、Z軸方向に貫通する貫通孔18aが形成されており、ボルト19によって、フロントハウジング80及びベアリングハウジング90に固定されている。   The cover 18 is formed, for example, by extruding aluminum. As shown in FIG. 2A, the cover 18 is formed with a through hole 18 a penetrating in the Z-axis direction, and is fixed to the front housing 80 and the bearing housing 90 by bolts 19.

アクチュエータ10は、図2(A)及び図2(B)に示すように、ロッド11等に加えて、ロッド11をY軸方向に案内するガイド装置30と、モータユニット20の回転運動を直線運動に変換するボールねじ70とを有している。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the actuator 10 includes a guide device 30 that guides the rod 11 in the Y-axis direction in addition to the rod 11 and the like, and the rotational motion of the motor unit 20 is linear motion. And a ball screw 70 to be converted into

ロッド11は、図3に示すように、内部に孔11aが形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド11の−Y側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具12がねじ込まれることによって固定されている。また、ロッド11の+Y側の端部の外周には、雄ねじ部11bが形成されている。   As shown in FIG. 3, the rod 11 is a cylindrical member having a hole 11a formed therein, and is made of, for example, stainless steel. A tip end fitting 12 having a male thread formed on the outer periphery is fixed to the end portion on the -Y side of the rod 11 by being screwed. A male screw portion 11b is formed on the outer periphery of the end portion on the + Y side of the rod 11.

モータユニット20は、モータ21と、モータ21を収納するモータハウジング22と、アクチュエータケーブル24とを有する。   The motor unit 20 includes a motor 21, a motor housing 22 that houses the motor 21, and an actuator cable 24.

モータ21は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸23、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ21には、アクチュエータケーブル24を介して電源からの電力が供給される。モータ21に電力が供給されることによって、モータ21のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸23に出力される。また出力軸23の先端は、カップリング(継ぎ手)として構成されている。   The motor 21 is a stepping motor, for example, and includes an output shaft 23, a rotor, a stator, an encoder, a speed reducer, and the like. Electric power from the power source is supplied to the motor 21 via the actuator cable 24. When electric power is supplied to the motor 21, the rotor of the motor 21 rotates. The rotational motion of the rotor is decelerated at a predetermined reduction ratio by a reducer, for example, and is output to the output shaft 23. The tip of the output shaft 23 is configured as a coupling.

モータハウジング22は、略直方体のケースであり、モータハウジング22の−Y側の面には、開口22aが形成されている。モータ21の出力軸23は、この開口22aから外部に露出している。また、開口22aの上側(+Z側)には、Z方向に貫通するねじ孔22bが形成されている。このねじ孔22bには、ボルト25が挿入される。   The motor housing 22 is a substantially rectangular parallelepiped case, and an opening 22 a is formed on the −Y side surface of the motor housing 22. The output shaft 23 of the motor 21 is exposed to the outside through the opening 22a. Further, a screw hole 22b penetrating in the Z direction is formed on the upper side (+ Z side) of the opening 22a. Bolts 25 are inserted into the screw holes 22b.

ガイド装置30は、ロッド11がスライド部31に固定されることにより、ロッド11を+Y方向及び−Y方向の双方向に案内する。このガイド装置30は、図4に示すように、スライド部31と、レール部60と、スライド部31とレール部60との間に配置されたボール50(転動体)とを有する。このボール50は、剛性の素材からなり、具体的には、鋼材からなる。ボール50は、スライド部31とレール部60との間に複数配置されている。   The guide device 30 guides the rod 11 in both the + Y direction and the −Y direction by fixing the rod 11 to the slide portion 31. As illustrated in FIG. 4, the guide device 30 includes a slide portion 31, a rail portion 60, and a ball 50 (rolling element) disposed between the slide portion 31 and the rail portion 60. The ball 50 is made of a rigid material, specifically, a steel material. A plurality of balls 50 are arranged between the slide portion 31 and the rail portion 60.

スライド部31は、図5に示すように、ボール50を介して、レール部60にY軸方向に移動可能に支持されている。なお、スライド部31は、複数のボール50のみでレール部60に支持されている。スライド部31は、スライド部本体32と、スライド部本体32の−Z側の面にボルト49で固定されたリターン40とを有する。   As shown in FIG. 5, the slide portion 31 is supported by the rail portion 60 via the ball 50 so as to be movable in the Y-axis direction. The slide portion 31 is supported by the rail portion 60 with only a plurality of balls 50. The slide portion 31 includes a slide portion main body 32 and a return 40 fixed to the −Z side surface of the slide portion main body 32 with a bolt 49.

スライド部本体32は、図6に示すように、Y方向に貫通する貫通孔32aが形成された略直方体の部材で、例えば、鉄等の金属からなる。貫通孔32aの−Y側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部32bが形成されている。また、スライド部本体32の下端には、−Z方向に突出する一対の凸部33,34が形成されている。この凸部33,34は、Y方向に沿って形成されており、+X側の面及び−X側の面には、ボール50が転動するための溝部33a,34aがそれぞれ形成されている。溝部33a,34aの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図7(A)に示すように、溝部33a,34aの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部33a,34aの内面は、図7(B)に示すように、その曲率半径R1が、ボール50の半径R2と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。   As shown in FIG. 6, the slide part main body 32 is a substantially rectangular parallelepiped member in which a through hole 32a penetrating in the Y direction is formed, and is made of a metal such as iron. A female screw portion 32b is formed on the inner peripheral surface of the through hole 32a in the vicinity of the -Y side opening. In addition, a pair of convex portions 33 and 34 projecting in the −Z direction are formed at the lower end of the slide portion main body 32. The convex portions 33 and 34 are formed along the Y direction, and groove portions 33a and 34a for rolling the ball 50 are formed on the + X side surface and the −X side surface, respectively. The inner surfaces of the grooves 33a and 34a are configured as substantially curved surfaces. Specifically, as shown in FIG. 7A, the inner surfaces of the grooves 33a and 34a are formed in a Gothic arch shape composed of two arc portions. However, the present invention is not limited to this, and the inner surfaces of the grooves 33a and 34a may be formed in curved surfaces in which the radius of curvature R1 is equal to the radius R2 of the ball 50, as shown in FIG.

また、貫通孔32aには、図6に示すように、リング36が嵌め込まれている。また、スライド部本体32の下面(−Z側の面)には、ねじ孔32c及び一対のボス孔32dが形成され、スライド部本体32の+X側の側面には、孔32eが形成されている。   Further, as shown in FIG. 6, a ring 36 is fitted into the through hole 32a. Further, a screw hole 32c and a pair of boss holes 32d are formed on the lower surface (the surface on the −Z side) of the slide portion main body 32, and a hole 32e is formed on the side surface on the + X side of the slide portion main body 32. .

リターン40は、図8に示すように、ボール50が配置される一対のボール循環路43,44が形成された部材であり、リターン40の+X側の面及び−X側の面には凹部45,46が形成されている。このリターン40は、筐体41と、この筐体41の上面に取り付けられる蓋体42とを有する。筐体41及び蓋体42は、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成される。   As shown in FIG. 8, the return 40 is a member in which a pair of ball circulation paths 43 and 44 in which the balls 50 are arranged is formed. The return 40 has a recess 45 on the + X side surface and the −X side surface. , 46 are formed. The return 40 includes a housing 41 and a lid body 42 attached to the upper surface of the housing 41. The casing 41 and the lid body 42 are formed by, for example, injection molding a polyacetal resin.

筐体41には、一対のボール循環路43,44が形成されている。このボール循環路43,44は、ボール50が移動するための通路で、ストレート通路部43a,44aとカーブ通路部43b,44bとから構成されている。ボール循環路43,44は、その断面形状がボール50の直径と同等の直径の円形になるように形成されている。また、筐体41の上面(+Z側の面)には、+Z方向に突出した円筒形状の一対のボス部47が2つ形成されている。このボス部47は、その径が、スライド部本体32のボス孔32dの径と同等になるように形成されている。また、筐体41には、Z方向に貫通する貫通孔41aが4つ形成されている。この貫通孔41aには、ボルト49が挿入される。   The housing 41 is formed with a pair of ball circulation paths 43 and 44. The ball circulation paths 43 and 44 are paths through which the ball 50 moves, and are composed of straight path portions 43a and 44a and curve path portions 43b and 44b. The ball circulation paths 43 and 44 are formed so that the cross-sectional shape thereof is a circle having a diameter equivalent to the diameter of the ball 50. In addition, on the upper surface (the surface on the + Z side) of the housing 41, two pairs of cylindrical boss portions 47 protruding in the + Z direction are formed. The boss portion 47 is formed so that its diameter is equal to the diameter of the boss hole 32 d of the slide portion main body 32. The casing 41 is formed with four through holes 41a penetrating in the Z direction. Bolts 49 are inserted into the through holes 41a.

蓋体42には、Z方向に貫通する一対のボス孔42aが形成されている。ボス孔42aには、筐体41のボス部47が挿入される。また、蓋体42には、Z方向に貫通する一対の貫通孔42bが4つ形成されている。貫通孔42bと、筐体41の貫通孔41aとには、ボルト49が挿入される。また、蓋体42には、グリスを注入するための注入孔48が形成されている。注入孔48は、蓋体42に形成されたグリス通路を介して、ボール循環路43,44に通じている。   The lid body 42 is formed with a pair of boss holes 42a penetrating in the Z direction. The boss portion 47 of the housing 41 is inserted into the boss hole 42a. The lid body 42 has four pairs of through holes 42b penetrating in the Z direction. Bolts 49 are inserted into the through holes 42 b and the through holes 41 a of the housing 41. The lid 42 is formed with an injection hole 48 for injecting grease. The injection hole 48 communicates with the ball circulation paths 43 and 44 through a grease passage formed in the lid body 42.

次に、スライド部31の組み立て方法について、図9を参照して説明する。   Next, the assembly method of the slide part 31 is demonstrated with reference to FIG.

先ず、図9(A)に示すように、スライド部本体32の凸部33,34が、リターン40の凹部45,46に嵌め込まれる。このとき、リターン40の筐体41のボス部47も、スライド部本体32のボス孔32dに嵌め込まれる。ボス部47がボス孔32dに嵌め込まれることにより、図9(B)を参照するとわかるように、スライド部本体32のねじ孔32cと、リターン40の蓋体42の貫通孔42bと、リターン40の筐体41の貫通孔41aとが同軸上に配置される。   First, as shown in FIG. 9A, the convex portions 33 and 34 of the slide portion main body 32 are fitted into the concave portions 45 and 46 of the return 40. At this time, the boss portion 47 of the housing 41 of the return 40 is also fitted into the boss hole 32 d of the slide portion main body 32. As the boss portion 47 is fitted into the boss hole 32d, as can be seen with reference to FIG. 9B, the screw hole 32c of the slide portion main body 32, the through hole 42b of the lid 42 of the return 40, and the return 40 The through hole 41a of the housing 41 is arranged coaxially.

次に、図9(B)に示すように、ボルト49が、貫通孔41aと貫通孔42bとを介して、スライド部本体32のねじ孔32cにねじ込まれる。ボルト49がねじ込まれることにより、リターン40は、スライド部本体32に固定される。   Next, as shown in FIG. 9B, the bolt 49 is screwed into the screw hole 32c of the slide portion main body 32 through the through hole 41a and the through hole 42b. The return 40 is fixed to the slide portion main body 32 by screwing the bolt 49.

リターン40がスライド部本体32に固定されることにより、図10に示すように、リターン40の筐体41に形成されたボール循環路43と、スライド部本体32の凸部33に形成された溝部33aとが、ボール50の軌道T1に沿って配置される。同様に、リターン40の筐体41に形成されたボール循環路44と、スライド部本体32の凸部34に形成された溝部34aとが、ボール50の軌道T2に沿って配置される。これら軌道T1,T2は、ストレート部分とカーブ部分とを有する長円形状に形成される。これにより、スライド部31の組み立てが、完了する。   When the return 40 is fixed to the slide portion main body 32, as shown in FIG. 10, the ball circulation path 43 formed in the housing 41 of the return 40 and the groove portion formed in the convex portion 33 of the slide portion main body 32. 33a is disposed along the trajectory T1 of the ball 50. Similarly, the ball circulation path 44 formed in the housing 41 of the return 40 and the groove 34 a formed in the convex portion 34 of the slide portion main body 32 are arranged along the track T <b> 2 of the ball 50. These tracks T1 and T2 are formed in an oval shape having a straight portion and a curved portion. Thereby, the assembly of the slide part 31 is completed.

ボール50は、リターン40の筐体41に形成されたボール循環路43,44や、スライド部本体32の凸部33に形成された溝部33a、凸部34に形成された溝部34a等に配置される。これにより、ボール50は、図10に示す軌道T1,T2に沿って配置される。   The ball 50 is disposed in the ball circulation paths 43 and 44 formed in the housing 41 of the return 40, the groove portion 33a formed in the convex portion 33 of the slide portion main body 32, the groove portion 34a formed in the convex portion 34, and the like. The Thereby, the ball 50 is disposed along the trajectories T1 and T2 shown in FIG.

レール部60は、図11に示すように、Y軸方向を長手方向とする板状のベース61と、このベース61の+X側及び−X側に形成された側壁62,63とを有する。レール部60は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース61には、Z方向に貫通する複数の貫通孔61aが形成されている。また、側壁62の−X側の面及び側壁63の+X側の面には、凹部62a,63aがそれぞれ形成されている。この凹部62a,63aには、Y軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材64,65が取り付けられている。鋼製部材64の−X側の面及び鋼製部材65の+X側の面には、溝部64a,65aがそれぞれ形成されている。溝部64a,65aは、対向するように形成されており、溝部64a,65aの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図12(A)に示すように、溝部64a,65aの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部64a,65aの内面は、図12(B)に示すように、その曲率半径R3が、ボール50の半径R2と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。   As shown in FIG. 11, the rail portion 60 includes a plate-like base 61 whose longitudinal direction is the Y-axis direction, and side walls 62 and 63 formed on the + X side and the −X side of the base 61. The rail part 60 is formed, for example, by extruding aluminum. The base 61 is formed with a plurality of through holes 61a penetrating in the Z direction. In addition, recesses 62 a and 63 a are respectively formed on the −X side surface of the side wall 62 and the + X side surface of the side wall 63. Steel members 64 and 65 formed in a substantially rectangular parallelepiped with the Y-axis direction as the longitudinal direction are attached to the recesses 62a and 63a. Grooves 64 a and 65 a are formed on the −X side surface of the steel member 64 and the + X side surface of the steel member 65, respectively. The groove portions 64a and 65a are formed so as to face each other, and the inner surfaces of the groove portions 64a and 65a are configured as substantially curved surfaces. Specifically, as shown in FIG. 12A, the inner surfaces of the grooves 64a and 65a are formed in a Gothic arch shape composed of two arc portions. However, the present invention is not limited thereto, and the inner surfaces of the groove portions 64a and 65a may be formed in curved surfaces having a curvature radius R3 equivalent to the radius R2 of the ball 50, as shown in FIG.

レール部60には、図13に示すように、複数のボール50を介して、スライド部31が取り付けられる。レール部60にスライド部31が取り付けられると、レール部60の鋼製部材64の溝部64aと、スライド部31のスライド部本体32の凸部33に形成された溝部33aとにボール50が挟まれる。同様に、レール部60の鋼製部材65の溝部65aと、スライド部31のスライド部本体32の凸部34に形成された溝部34aとにボール50が挟まれる。溝部64aと溝部33aとの間にボール50が挟まれるとともに、溝部65aと溝部34aとの間にボール50が挟まれることにより、スライド部31は、ボール50のみでレール部60に支持される。また、レール部60に対して、Y軸方向に移動可能になる。   As shown in FIG. 13, the slide portion 31 is attached to the rail portion 60 via a plurality of balls 50. When the slide portion 31 is attached to the rail portion 60, the ball 50 is sandwiched between the groove portion 64 a of the steel member 64 of the rail portion 60 and the groove portion 33 a formed on the convex portion 33 of the slide portion main body 32 of the slide portion 31. . Similarly, the ball 50 is sandwiched between the groove portion 65 a of the steel member 65 of the rail portion 60 and the groove portion 34 a formed on the convex portion 34 of the slide portion main body 32 of the slide portion 31. The ball 50 is sandwiched between the groove portion 64 a and the groove portion 33 a, and the ball 50 is sandwiched between the groove portion 65 a and the groove portion 34 a, whereby the slide portion 31 is supported by the rail portion 60 with only the ball 50. Moreover, it becomes movable with respect to the rail part 60 in the Y-axis direction.

ガイド装置30は、レール部60にスライド部31が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部31のスライド部本体32の貫通孔32aには、図14に示すように、ロッド11の+Y側の端部が挿入される。ロッド11の+Y側の端部が挿入されると、貫通孔32aに形成された雌ねじ部32bに、ロッド11の+Y側の端部に形成された雄ねじ部11bが螺合する。これにより、ロッド11は、ガイド装置30のスライド部31に固定される。   The guide device 30 is completed by attaching the slide portion 31 to the rail portion 60. Then, as shown in FIG. 14, the + Y side end of the rod 11 is inserted into the through hole 32 a of the slide part main body 32 of the slide part 31. When the end portion on the + Y side of the rod 11 is inserted, the external thread portion 11b formed on the end portion on the + Y side of the rod 11 is screwed into the internal thread portion 32b formed in the through hole 32a. Thereby, the rod 11 is fixed to the slide part 31 of the guide device 30.

ボールねじ70は、図15、図2(B)、及び図3に示すように、ボールねじ軸71と、ボールねじナット72と、ボールねじ軸71の−Y側の端部に取り付けられた弾性部材110とを有する。   As shown in FIGS. 15, 2 (B), and 3, the ball screw 70 has a ball screw shaft 71, a ball screw nut 72, and an elasticity attached to the −Y side end of the ball screw shaft 71. Member 110.

ボールねじ軸71は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体71aと、ボールねじ軸本体71aの+Y側の端部及び−Y側の端部それぞれに形成された小径部71b,71cとから構成される。小径部71b,71cは、その径がボールねじ軸本体71aの径よりも小さく形成されている。また、ボールねじ軸71の小径部71cには、弾性部材110が嵌め込まれて、抜け止め部材112によって、抜け止めされている。これにより、弾性部材110は、ボールねじ軸71に回転可能に取り付けられる。   The ball screw shaft 71 includes a ball screw shaft main body 71a whose outer peripheral surface is configured as a spiral ball screw surface, and small diameters formed at the + Y side end and the −Y side end of the ball screw shaft main body 71a, respectively. It consists of parts 71b and 71c. The small diameter portions 71b and 71c are formed so that the diameter thereof is smaller than the diameter of the ball screw shaft main body 71a. Further, the elastic member 110 is fitted into the small diameter portion 71 c of the ball screw shaft 71 and is prevented from being detached by the retaining member 112. Thereby, the elastic member 110 is rotatably attached to the ball screw shaft 71.

ボールねじナット72は、ボールねじ軸71のボールねじ軸本体71aの外周に配置されている。ボールねじナット72の内周面にはボールねじ部が形成されている。このボールねじナット72は、ボールねじ軸71に剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸71の回転運動が、ボールねじナット72の直線運動に変換される。   The ball screw nut 72 is disposed on the outer periphery of the ball screw shaft main body 71 a of the ball screw shaft 71. A ball screw portion is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut 72. The ball screw nut 72 is fitted into the ball screw shaft 71 via a rigid sphere. Thereby, the rotational motion of the ball screw shaft 71 is converted into the linear motion of the ball screw nut 72.

また、ボールねじ軸71の小径部71bは、カップリング(継ぎ手)として構成されている。この小径部71bが、カップリングとして構成されたモータユニット20の出力軸23に、出力軸23の回転とともに回転するように接続される。これにより、出力軸23の回転運動がボールねじ軸71に伝達される。   The small diameter portion 71b of the ball screw shaft 71 is configured as a coupling (joint). The small-diameter portion 71 b is connected to the output shaft 23 of the motor unit 20 configured as a coupling so as to rotate with the rotation of the output shaft 23. Thereby, the rotational motion of the output shaft 23 is transmitted to the ball screw shaft 71.

弾性部材110は、例えば、樹脂からなり、図16に示すように、中央に貫通孔110aが形成されたリング形状に形成されている。また、この弾性部材110は、その外径が、ロッド11の孔11aの内径とほぼ同等に形成されている。具体的には、ボールねじ軸71の小径部71cを、ロッド11の孔11aに挿入した場合に、弾性部材110の外周が、孔11aの内周面に接触するように形成されている。弾性部材110の外周が、孔11aの内周面に接触することにより、弾性部材110は、ボールねじ軸71の小径部71cの振れを抑えることができる。すなわち、弾性部材110は、ボールねじ軸71の小径部71cの振れを抑える振れ止め部材として構成されている。また、弾性部材110には、Y軸を中心とした円周上に沿って等間隔に形成された複数の溝111が形成されている。本実施形態のおいては、溝111は、8つ形成されている。   The elastic member 110 is made of, for example, resin, and is formed in a ring shape with a through hole 110a formed in the center as shown in FIG. The elastic member 110 has an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the hole 11 a of the rod 11. Specifically, when the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71 is inserted into the hole 11a of the rod 11, the outer periphery of the elastic member 110 is formed so as to contact the inner peripheral surface of the hole 11a. When the outer periphery of the elastic member 110 contacts the inner peripheral surface of the hole 11a, the elastic member 110 can suppress the deflection of the small diameter portion 71c of the ball screw shaft 71. That is, the elastic member 110 is configured as a steadying member that suppresses the deflection of the small diameter portion 71 c of the ball screw shaft 71. Further, the elastic member 110 is formed with a plurality of grooves 111 formed at equal intervals along the circumference around the Y axis. In the present embodiment, eight grooves 111 are formed.

ボールねじ70は、図17に示すように、ガイド装置30に固定される。具体的には、ボールねじ軸71の−Y側の端部が、スライド部本体32の貫通孔32aに+Y側から挿入され、これにより、ボールねじナット72が、貫通孔32a内に配置される。そして、スライド部本体32の孔32eに挿入されたボルト74がねじ込まれて締結されることにより、ボールねじ70は、ガイド装置30に固定される。   As shown in FIG. 17, the ball screw 70 is fixed to the guide device 30. Specifically, the end portion on the −Y side of the ball screw shaft 71 is inserted into the through hole 32a of the slide portion main body 32 from the + Y side, whereby the ball screw nut 72 is disposed in the through hole 32a. . The ball screw 70 is fixed to the guide device 30 by screwing and fastening the bolt 74 inserted into the hole 32e of the slide portion main body 32.

また、ボールねじ70が、ガイド装置30に固定されると、図18に示すように、ボールねじ軸71の−Y側の小径部71cは、ロッド11の孔11a内まで移動する。このとき、弾性部材110の外周が、ロッド11の孔11aの内周面に接触する。これにより、ボールねじ軸71の−Y側の端部が、この弾性部材110によって支持される。   Further, when the ball screw 70 is fixed to the guide device 30, the small diameter portion 71 c on the −Y side of the ball screw shaft 71 moves into the hole 11 a of the rod 11 as shown in FIG. 18. At this time, the outer periphery of the elastic member 110 is in contact with the inner peripheral surface of the hole 11 a of the rod 11. As a result, the end of the ball screw shaft 71 on the −Y side is supported by the elastic member 110.

フロントハウジング80は、図3に示すように、ガイド装置30の−Y側に、ボルト81によって固定されている。フロントハウジング80は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、フロントハウジング80には、ロッド11を通すための貫通孔80aが形成されており、この貫通孔80aの内周面には、オイルレスベアリング82が配置されている。オイルレスベアリング82は、ロッド11をY軸方向に移動可能に支持する。また、フロントハウジング80は、+Y方向に突出する突出部83が形成されており、この突出部83の上面(+Z側の面)には、ねじ孔が形成されている。この突出部83のねじ孔は、カバー18を固定するために用いられる。突出部83のねじ孔には、カバー18に形成された貫通孔18aを介して、ボルト19が挿入される。   As shown in FIG. 3, the front housing 80 is fixed to the −Y side of the guide device 30 by bolts 81. The front housing 80 is formed by, for example, die casting. Further, the front housing 80 is formed with a through hole 80a for allowing the rod 11 to pass therethrough, and an oilless bearing 82 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole 80a. The oilless bearing 82 supports the rod 11 so as to be movable in the Y-axis direction. Further, the front housing 80 is formed with a protruding portion 83 protruding in the + Y direction, and a screw hole is formed on the upper surface (surface on the + Z side) of the protruding portion 83. The screw hole of the protrusion 83 is used to fix the cover 18. Bolts 19 are inserted into the screw holes of the projecting portions 83 through the through holes 18 a formed in the cover 18.

ベアリングハウジング90は、図3に示すように、ガイド装置30の+Y側に、ボルト91によって固定されている。ベアリングハウジング90は、フロントハウジング80と同様に、ダイカストにより形成されている。また、ベアリングハウジング90は、ボールねじ軸71を挿入するための貫通孔90aが形成されており、この貫通孔90aの内周面には、ベアリング92が配置されている。ベアリング92は、貫通孔90aの+Y側から嵌め込まれ、ベアリング押さえ92aによって固定されている。このベアリング92によって、ボールねじ軸71は回転可能に支持される。   As shown in FIG. 3, the bearing housing 90 is fixed to the + Y side of the guide device 30 with a bolt 91. The bearing housing 90 is formed by die casting in the same manner as the front housing 80. The bearing housing 90 is formed with a through hole 90a for inserting the ball screw shaft 71, and a bearing 92 is disposed on the inner peripheral surface of the through hole 90a. The bearing 92 is fitted from the + Y side of the through hole 90a and is fixed by the bearing retainer 92a. By this bearing 92, the ball screw shaft 71 is rotatably supported.

また、ベアリングハウジング90には、−Y方向に突出する突出部93が形成されており、この突出部93の上面(+Z側の面)には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔は、カバー18を固定するために用いられる。突出部93のねじ孔には、カバー18に形成された貫通孔18aを介して、ボルト19が挿入される。また、突出部93の−Y側の面には、+Y方向に移動してきたスライド部31に接触し、スライド部31からの衝撃を吸収する衝撃吸収部材94が配置されている。衝撃吸収部材94は、弾性の素材からなり、衝撃吸収部材94の素材には、任意の樹脂が用いられる。また、ベアリングハウジング90には、+Y方向に突出する突出部95が形成されている。   Further, the bearing housing 90 is formed with a protruding portion 93 protruding in the −Y direction, and a screw hole is formed on the upper surface (surface on the + Z side) of the protruding portion 93. This screw hole is used to fix the cover 18. Bolts 19 are inserted into the screw holes of the protrusions 93 through the through holes 18 a formed in the cover 18. An impact absorbing member 94 that contacts the slide part 31 that has moved in the + Y direction and absorbs an impact from the slide part 31 is disposed on the surface at the −Y side of the protruding part 93. The shock absorbing member 94 is made of an elastic material, and an arbitrary resin is used for the material of the shock absorbing member 94. The bearing housing 90 is formed with a protruding portion 95 that protrudes in the + Y direction.

ベアリングハウジング90には、図19(A)に示すように、ボールねじ軸71の小径部71bが挿入される。これにより、ボールねじ70は、ベアリングハウジング90に回転可能に支持される。また、ベアリングハウジング90の突出部95は、モータユニット20のモータハウジング22の開口22aに嵌め込まれる。このとき、カップリングとして構成されたボールねじ軸71の小径部71bが、カップリングとして構成された出力軸23に、出力軸23の回転とともに回転するように接続される。これにより、モータ21内で生じた回転運動が、ボールねじ軸71に伝達される。そして、図19(B)に示すように、モータハウジング22に形成されたねじ孔22bには、ボルト25がねじ込まれる。これにより、ベアリングハウジング90の突出部95の上面(+Z側の面)が、ボルト25の下端に押し付けられるため、モータユニット20は、ベアリングハウジング90に対して固定される。   As shown in FIG. 19A, the small diameter portion 71 b of the ball screw shaft 71 is inserted into the bearing housing 90. Thereby, the ball screw 70 is rotatably supported by the bearing housing 90. Further, the protruding portion 95 of the bearing housing 90 is fitted into the opening 22 a of the motor housing 22 of the motor unit 20. At this time, the small diameter portion 71 b of the ball screw shaft 71 configured as a coupling is connected to the output shaft 23 configured as a coupling so as to rotate with the rotation of the output shaft 23. Thereby, the rotational motion generated in the motor 21 is transmitted to the ball screw shaft 71. Then, as shown in FIG. 19B, a bolt 25 is screwed into the screw hole 22b formed in the motor housing 22. As a result, the upper surface (+ Z side surface) of the protrusion 95 of the bearing housing 90 is pressed against the lower end of the bolt 25, so that the motor unit 20 is fixed to the bearing housing 90.

上述のように構成されたアクチュエータ10の動作について、図20〜図22を用いて説明する。   The operation of the actuator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS.

先ず、モータユニット20のモータ21に電源が供給されることによって、図20(I)に示すように、モータ21の出力軸23が所定の方向に回転する。出力軸23が所定の方向に回転すると、出力軸23に接続されているボールねじ軸71が、出力軸23とともに回転する。   First, when power is supplied to the motor 21 of the motor unit 20, the output shaft 23 of the motor 21 rotates in a predetermined direction as shown in FIG. When the output shaft 23 rotates in a predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 rotates with the output shaft 23.

ボールねじ軸71が回転すると、図20(II)に示すように、ボールねじ軸71の回転運動に伴って、ボールねじナット72が、例えば、−Y方向に直線運動をする。ボールねじナット72が、−Y方向に移動すると、ボールねじナット72に固定されているガイド装置30のスライド部31も、ボールねじナット72とともに−Y方向に移動をする。   When the ball screw shaft 71 rotates, as shown in FIG. 20 (II), the ball screw nut 72 linearly moves in the −Y direction, for example, as the ball screw shaft 71 rotates. When the ball screw nut 72 moves in the −Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the −Y direction together with the ball screw nut 72.

このとき、図21(I)に示すように、レール部60の鋼製部材64の溝部64aと、スライド部本体32の凸部33の溝部33aと間に配置されたボール50は、溝部64a及び溝部33aに転がり接触しながら転動する。ボール50は、+Y方向に移動していき、溝部64aと溝部33aとの間から、リターン40に形成されたボール循環路43に移動する。ボール循環路43に移動したボール50は、ボール循環路43のカーブ通路部43b、ストレート通路部43aを通過し、再び、ボール循環路43から、溝部64aと溝部33aとの間に移動する。そして、ボール50は、溝部64a及び溝部33aに転がり接触しながら転動する。   At this time, as shown in FIG. 21 (I), the ball 50 disposed between the groove portion 64a of the steel member 64 of the rail portion 60 and the groove portion 33a of the convex portion 33 of the slide portion main body 32 has the groove portion 64a and It rolls while making rolling contact with the groove 33a. The ball 50 moves in the + Y direction, and moves from between the groove 64a and the groove 33a to the ball circulation path 43 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation path 43 passes through the curve passage portion 43b and the straight passage portion 43a of the ball circulation path 43, and again moves between the groove portion 64a and the groove portion 33a from the ball circulation passage 43. The ball 50 rolls while making rolling contact with the groove 64a and the groove 33a.

同様に、レール部60の鋼製部材65の溝部65aと、スライド部本体32の凸部34の溝部34aと間に配置されたボール50は、溝部65a及び溝部34aに転がり接触しながら転動する。ボール50は、+Y方向に移動していき、溝部65aと溝部34aとの間から、リターン40に形成されたボール循環路44に移動する。ボール循環路44に移動したボール50は、ボール循環路44のカーブ通路部44b、ストレート通路部44aを通過し、再び、ボール循環路44から、溝部65aと溝部34aとの間に移動する。そして、ボール50は、溝部65a及び溝部34aに転がり接触しながら転動する。   Similarly, the ball 50 disposed between the groove portion 65a of the steel member 65 of the rail portion 60 and the groove portion 34a of the convex portion 34 of the slide portion main body 32 rolls while making rolling contact with the groove portion 65a and the groove portion 34a. . The ball 50 moves in the + Y direction and moves from between the groove 65a and the groove 34a to the ball circulation path 44 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation path 44 passes through the curved path 44b and the straight path 44a of the ball circulation path 44, and again moves from the ball circulation path 44 between the groove 65a and the groove 34a. The ball 50 rolls while making rolling contact with the groove 65a and the groove 34a.

ボール50が、溝部64a,65a及び溝部33a,34aに転がり接触しながら転動することにより、スライド部31は、レール部60に案内されつつ、−Y方向に移動する。   When the ball 50 rolls while being in rolling contact with the groove portions 64 a and 65 a and the groove portions 33 a and 34 a, the slide portion 31 moves in the −Y direction while being guided by the rail portion 60.

ガイド装置30のスライド部31が−Y方向に移動をすると、図20(II)に示すように、スライド部31に固定されているロッド11も、スライド部31とともに−Y方向に移動する。これにより、ロッド11の先端に取り付けられた先端金具12が−Y方向に移動する。   When the slide portion 31 of the guide device 30 moves in the −Y direction, the rod 11 fixed to the slide portion 31 also moves in the −Y direction together with the slide portion 31 as shown in FIG. Thereby, the front-end | tip metal fitting 12 attached to the front-end | tip of the rod 11 moves to -Y direction.

また、図22(I)に示すように、ロッド11が−Y方向に移動するのに対し、ボールねじ軸71は、−Y方向には移動せずに回転する。このため、ロッド11の孔11aの内周面は、ボールねじ軸71に取り付けられた弾性部材110に対して摺動する。このとき、ロッド11の孔11aと、弾性部材110の−Y側の面とによって規定される空間Sの容積は、ロッド11の−Y方向への移動に伴って大きくなる。これにより、空間S内の空気が、弾性部材110の溝111から流入し、空間Sの内圧を一定に保つ。   Further, as shown in FIG. 22I, the rod 11 moves in the −Y direction, whereas the ball screw shaft 71 rotates without moving in the −Y direction. For this reason, the inner peripheral surface of the hole 11 a of the rod 11 slides with respect to the elastic member 110 attached to the ball screw shaft 71. At this time, the volume of the space S defined by the hole 11a of the rod 11 and the -Y side surface of the elastic member 110 increases as the rod 11 moves in the -Y direction. Thereby, the air in the space S flows from the groove 111 of the elastic member 110, and the internal pressure of the space S is kept constant.

以上により、ロッド11及び先端金具12の−Y方向への移動が完了する。   Thus, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the −Y direction is completed.

次に、モータユニット20の出力軸23が所定の方向とは逆方向に回転すると、図20(III)に示すように、出力軸23に接続されているボールねじ軸71は、出力軸23とともに回転する。   Next, when the output shaft 23 of the motor unit 20 rotates in the direction opposite to the predetermined direction, the ball screw shaft 71 connected to the output shaft 23 is moved together with the output shaft 23 as shown in FIG. Rotate.

ボールねじ軸71が回転すると、ボールねじ軸71の回転運動に伴って、ボールねじナット72が、+Y方向に直線運動をする。ボールねじナット72が、+Y方向に移動すると、ボールねじナット72に固定されているガイド装置30のスライド部31も、ボールねじナット72とともに+Y方向に移動をする。   When the ball screw shaft 71 rotates, the ball screw nut 72 linearly moves in the + Y direction as the ball screw shaft 71 rotates. When the ball screw nut 72 moves in the + Y direction, the slide portion 31 of the guide device 30 fixed to the ball screw nut 72 also moves in the + Y direction together with the ball screw nut 72.

このとき、図21(II)に示すように、レール部60の鋼製部材64,65の溝部64a,65aと、スライド部本体32の凸部33,34の溝部33a,34aと間に配置されたボール50は、溝部64a,65a及び溝部33a,34aに転がり接触しながら転動する。ボール50は、−Y方向に移動していき、やがて、リターン40に形成されたボール循環路43,44に移動する。ボール循環路43,44に移動したボール50は、ボール循環路43,44のカーブ通路部43b,44b、ストレート通路部43a,44aを通過し、再び、溝部64a,65aと溝部33a,34aとの間に移動する。溝部64a,65aと溝部33a,34aとの間に移動したボール50は、転がり接触しながら転動する。   At this time, as shown in FIG. 21 (II), it is disposed between the groove portions 64a and 65a of the steel members 64 and 65 of the rail portion 60 and the groove portions 33a and 34a of the convex portions 33 and 34 of the slide portion main body 32. The ball 50 rolls while being in rolling contact with the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a. The ball 50 moves in the −Y direction and eventually moves to the ball circulation paths 43 and 44 formed in the return 40. The ball 50 that has moved to the ball circulation paths 43 and 44 passes through the curved passage portions 43b and 44b and the straight passage portions 43a and 44a of the ball circulation passages 43 and 44, and is again formed between the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a. Move in between. The ball 50 moved between the groove portions 64a and 65a and the groove portions 33a and 34a rolls while being in rolling contact.

ボール50が、溝部64a,65a及び溝部33a,34aに転がり接触しながら転動することにより、スライド部31は、レール部60に案内されつつ、+Y方向に移動する。   When the ball 50 rolls while being in rolling contact with the groove portions 64 a and 65 a and the groove portions 33 a and 34 a, the slide portion 31 moves in the + Y direction while being guided by the rail portion 60.

ガイド装置30のスライド部31が+Y方向に移動をすると、図20(III)に示すように、スライド部31に固定されているロッド11も、スライド部31とともに+Y方向に移動する。これにより、ロッド11の先端に取り付けられた先端金具12が+Y方向に移動する。   When the slide portion 31 of the guide device 30 moves in the + Y direction, the rod 11 fixed to the slide portion 31 also moves in the + Y direction together with the slide portion 31 as shown in FIG. Thereby, the tip metal fitting 12 attached to the tip of the rod 11 moves in the + Y direction.

また、図22(II)に示すように、ロッド11が+Y方向に移動するのに対し、ボールねじ軸71は+Y方向には移動せずに回転する。このため、空間Sは、ロッド11の+Y方向への移動に伴って小さくなる。これにより、空間S内の空気が、弾性部材110の溝111から流出し、空間Sの内圧を一定に保つ。   Further, as shown in FIG. 22 (II), the rod 11 moves in the + Y direction, whereas the ball screw shaft 71 rotates without moving in the + Y direction. For this reason, the space S becomes smaller as the rod 11 moves in the + Y direction. Thereby, the air in the space S flows out of the groove 111 of the elastic member 110, and the internal pressure of the space S is kept constant.

以上により、ロッド11及び先端金具12の+Y方向への移動が完了し、ロッド11及び先端金具12は、初期位置まで戻る。   As described above, the movement of the rod 11 and the tip fitting 12 in the + Y direction is completed, and the rod 11 and the tip fitting 12 return to the initial positions.

以上、説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ10においては、スライド部31が、鋼製の素材からなるボール50を介してレール部60の鋼製部材64,65に支持されている。これにより、モータユニット20の出力軸23の回転に起因したトルクが、ボールねじ軸71を介して、スライド部31に加わっても、スライド部31は、レール部60に対して、出力軸23周りに動かなくなる。このため、出力軸23の回転に起因したトルクが、ガイド装置30を介して、ロッド11に伝わりにくく、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができる。ひいては、ロッド11に固定された先端金具12の振れを抑制することができ、アクチュエータ10の作業精度の低下を防ぐことができる。   As described above, in the actuator 10 according to this embodiment, the slide portion 31 is supported by the steel members 64 and 65 of the rail portion 60 via the balls 50 made of a steel material. As a result, even if torque due to the rotation of the output shaft 23 of the motor unit 20 is applied to the slide portion 31 via the ball screw shaft 71, the slide portion 31 rotates around the output shaft 23 with respect to the rail portion 60. It stops working. For this reason, it is difficult for torque resulting from the rotation of the output shaft 23 to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30, and it is possible to suppress the occurrence of vibration of the tip portion of the rod 11. As a result, it is possible to suppress the deflection of the end fitting 12 fixed to the rod 11 and to prevent the working accuracy of the actuator 10 from being lowered.

また、このガイド装置30により、ロッド11は、Y軸方向に円滑に往復運動することができる。   Further, the guide device 30 allows the rod 11 to smoothly reciprocate in the Y-axis direction.

また、本実施形態においては、ボールねじ軸71の小径部71cに弾性部材110が取り付けられている。そのため、ボールねじ軸71の−Y側の端部は、この弾性部材110によって、ロッド11の孔11aの内周面に支持される。これにより、ボールねじ軸71の先端部の振れの発生を抑制することができる。   In the present embodiment, the elastic member 110 is attached to the small diameter portion 71 c of the ball screw shaft 71. Therefore, the end portion on the −Y side of the ball screw shaft 71 is supported by the inner peripheral surface of the hole 11 a of the rod 11 by the elastic member 110. Thereby, generation | occurrence | production of the shake of the front-end | tip part of the ball screw shaft 71 can be suppressed.

例えば、図23(A)を参照するとわかるように、ボールねじ軸71の先端に弾性部材110が取り付けられていない場合は、ボールねじ軸71の−Y側の端部が、ロッド11の孔11aの内周面に対して支持されないため、ボールねじ軸71の先端部の振れが発生しやすくなる。特に、ボールねじナット72が、+Y方向に大きく移動している場合には、ボールねじナット72から出力軸23までの距離L2に対して、ボールねじナット72からボールねじ軸71の先端部までの距離L1が大きくなり、大きな振れが発生するおそれがある。   For example, as can be seen with reference to FIG. 23A, when the elastic member 110 is not attached to the tip of the ball screw shaft 71, the end of the ball screw shaft 71 on the −Y side is the hole 11a of the rod 11. Therefore, the tip end portion of the ball screw shaft 71 is likely to be shaken. In particular, when the ball screw nut 72 has moved greatly in the + Y direction, the distance from the ball screw nut 72 to the output shaft 23 from the ball screw nut 72 to the tip of the ball screw shaft 71 is large. There is a possibility that the distance L1 becomes large and a large shake occurs.

これに対し、本実施形態においては、図23(B)を参照するとわかるように、ボールねじ軸71の−Y側の端部が、弾性部材110によって支持されているため、ボールねじナット72が+Y方向に大きく移動している場合においても、ボールねじ軸71の先端部の振れの発生を抑制することができる。これにより、ボールねじ軸71の先端部の振れに起因したロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができ、ひいては、アクチュエータ10の作業精度の低下を防ぐことができる。   On the other hand, in this embodiment, as can be seen with reference to FIG. 23B, the end portion on the -Y side of the ball screw shaft 71 is supported by the elastic member 110, so that the ball screw nut 72 is Even in the case of a large movement in the + Y direction, the occurrence of deflection at the tip of the ball screw shaft 71 can be suppressed. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of the deflection of the tip end of the rod 11 due to the deflection of the tip end of the ball screw shaft 71, and thus to prevent the working accuracy of the actuator 10 from being lowered.

また、弾性部材110には、溝111が形成されているため、ロッド11の移動時における空間Sの内圧の変化を防ぐことができる。例えば、弾性部材110に、溝111が形成されていない場合には、空間Sは、ロッド11の孔11aと、弾性部材110の−Y側の面とによって規定された密閉空間となってしまう。このため、ロッド11のY軸方向への移動に伴い、空間Sの内圧が変化し、ロッド11の円滑な動きが阻害されてしまう。   In addition, since the groove 111 is formed in the elastic member 110, a change in the internal pressure of the space S during the movement of the rod 11 can be prevented. For example, when the groove 111 is not formed in the elastic member 110, the space S becomes a sealed space defined by the hole 11 a of the rod 11 and the surface on the −Y side of the elastic member 110. For this reason, with the movement of the rod 11 in the Y-axis direction, the internal pressure of the space S changes, and the smooth movement of the rod 11 is hindered.

これに対し、本実施形態の弾性部材110には、溝111が形成されているため、空間S内の空気が、弾性部材110の溝111を介して流入出するため、空間Sの内圧を一定に保つことができ、空間Sの内圧変化によるロッド11の動きへの影響を排除することができる。ひいては、アクチュエータ10の作業精度の低下を防ぐことができる。   On the other hand, since the groove 111 is formed in the elastic member 110 of the present embodiment, the air in the space S flows in and out through the groove 111 of the elastic member 110, so the internal pressure of the space S is constant. Thus, the influence on the movement of the rod 11 due to the change in the internal pressure of the space S can be eliminated. As a result, the working accuracy of the actuator 10 can be prevented from being lowered.

また、溝111が、ボールねじ軸71の中心とする円周に沿って等間隔に複数形成されているため、ロッド11の孔11aと弾性部材110との接触面積を小さくすることができる。これにより、ロッド11の弾性部材110に対する摩擦係数を小さくすることができ、ロッド11と弾性部材110との摩擦によるロッド11の動きへの影響を小さくすることができる。ひいては、アクチュエータ10の作業精度の低下を防ぐことができる。   Further, since the plurality of grooves 111 are formed at equal intervals along the circumference of the center of the ball screw shaft 71, the contact area between the hole 11a of the rod 11 and the elastic member 110 can be reduced. Thereby, the friction coefficient with respect to the elastic member 110 of the rod 11 can be made small, and the influence on the motion of the rod 11 by the friction of the rod 11 and the elastic member 110 can be made small. As a result, the working accuracy of the actuator 10 can be prevented from being lowered.

また、アクチュエータ10は、カバー18を有している。このため、このカバー18を取り外すことにより、アクチュエータ10の上側(+Z側)から、アクチュエータ10をボルトで固定することが可能になる。詳しくは、図24に示すように、アクチュエータ10を作業台120に固定する場合、カバー18を取り外すことにより、アクチュエータ10の上側(+Z側)から、レール部60のベース61に形成された貫通孔61aを介して、ボルト121を作業台120のねじ孔120aに挿入することができる。これにより、アクチュエータ10の作業台120への取り付けがしやすくなる。   The actuator 10 has a cover 18. For this reason, by removing this cover 18, it becomes possible to fix the actuator 10 with a bolt from the upper side (+ Z side) of the actuator 10. Specifically, as shown in FIG. 24, when the actuator 10 is fixed to the work table 120, a through hole formed in the base 61 of the rail portion 60 from the upper side (+ Z side) of the actuator 10 by removing the cover 18. The bolt 121 can be inserted into the screw hole 120a of the work table 120 through 61a. Thereby, it becomes easy to attach the actuator 10 to the work table 120.

これに対して、カバーを有さないアクチュエータの場合は、作業台に固定する場合、作業者が、作業台の下に潜り込んで下方(−Z側)からアクチュエータを取り付けなければならない。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ10においては、上側(+Z側)から作業台120に取り付けることができるため、アクチュエータ10の取り付けの作業性を向上させることができる。   On the other hand, in the case of an actuator that does not have a cover, when it is fixed to the work table, the operator has to go under the work table and attach the actuator from below (−Z side). However, since the actuator 10 according to the present embodiment can be attached to the work table 120 from the upper side (+ Z side), the workability of attaching the actuator 10 can be improved.

また、同様に、アクチュエータ10は、カバー18を有しているため、このカバー18を取り外すことにより、上側(+Z側)から、ボール50のグリスを、ガイド装置30のリターン40に形成された注入孔48から注入することができる。これに対して、カバーを有さないアクチュエータの場合は、ボール50のグリスを注入するためには、筐体等を分解する必要があり、グリスの注入作業が煩雑なものとなってしまう。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ10においては、このカバー18を取り外すことにより、上側(+Z側)から、グリスを注入孔48から注入することができるため、グリスの注入作業の作業性を良好とすることができる。   Similarly, since the actuator 10 has the cover 18, by removing the cover 18, the grease of the ball 50 is injected into the return 40 of the guide device 30 from the upper side (+ Z side). It can be injected from hole 48. On the other hand, in the case of an actuator having no cover, in order to inject the grease of the ball 50, it is necessary to disassemble the casing and the like, and the operation of injecting the grease becomes complicated. However, in the actuator 10 according to the present embodiment, since the grease can be injected from the injection hole 48 from the upper side (+ Z side) by removing the cover 18, the workability of the grease injection work is good. can do.

また、ロッド11は、ガイド装置30のスライド部31に螺合により固定されている。このため、ボルト等で固定する場合と比べて、強固に固定できるとともに、ボルト等の部品を別途用意する必要はなくなる。   The rod 11 is fixed to the slide portion 31 of the guide device 30 by screwing. For this reason, compared with the case where it fixes with a volt | bolt etc., while being able to fix firmly, parts, such as a volt | bolt, do not need to prepare separately.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited by the said embodiment etc.

例えば、本実施形態においては、弾性部材110には、8つの溝111が形成されているが、これに限らず、図25に示すように、4つの溝111を形成してもよい。また溝111を1つのみ形成してもよいし、8つよりも多くの溝111を形成してもよい。   For example, in the present embodiment, eight grooves 111 are formed in the elastic member 110, but the present invention is not limited to this, and four grooves 111 may be formed as shown in FIG. Further, only one groove 111 may be formed, or more than eight grooves 111 may be formed.

また、ガイド装置30のスライド部31とリターン40との間には、複数のボール50が配置されているが、これに限らず、ころ(ローラ)を配置してもよい。   Moreover, although the some ball | bowl 50 is arrange | positioned between the slide part 31 and the return 40 of the guide apparatus 30, you may arrange | position not only this but a roller (roller).

また、ロッド11は、スライド部31に螺合により固定されているが、これに限らず、ボルト等で固定してもよい。   Moreover, although the rod 11 is being fixed to the slide part 31 by screwing, it is not restricted to this, You may fix with a volt | bolt etc.

また、レール部60の鋼製部材64,65には、溝部64a,65bが形成されているが、レール部60の側壁62,63に直接溝部を形成してもよい。   Moreover, although the groove parts 64a and 65b are formed in the steel members 64 and 65 of the rail part 60, you may form a groove part in the side walls 62 and 63 of the rail part 60 directly.

《変形例1》
上述した図1〜24に示す実施形態においては、鋼製部材64,65は、レール部60の凹部62a,63aに取り付けられている。しかしながら、これに限らず、図26(A)に示すように、鋼製部材64,65が、ガイド装置30のレール部60と一体に形成されていてもよい。この場合、ボール50が転動するための溝部64a,65aは、レール部60の側壁62,63に、直接、形成される。このような場合においても、上記実施形態と同様に、出力軸23の回転に起因したトルクが、ガイド装置30を介して、ロッド11に伝わりにくく、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができる。
<< Modification 1 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the steel members 64 and 65 are attached to the recesses 62 a and 63 a of the rail portion 60. However, the present invention is not limited thereto, and the steel members 64 and 65 may be formed integrally with the rail portion 60 of the guide device 30 as shown in FIG. In this case, the groove portions 64 a and 65 a for rolling the ball 50 are formed directly on the side walls 62 and 63 of the rail portion 60. Even in such a case, the torque caused by the rotation of the output shaft 23 is not easily transmitted to the rod 11 via the guide device 30 as in the above embodiment, and the occurrence of the vibration of the tip of the rod 11 is suppressed. be able to.

また、図26(A)に示す変形例では、スライド部31は、レール部60の側壁62と側壁63との間に嵌め込まれて、レール部60に取り付けられている。しかしながら、これに限られない。図26(B)に示す変形例では、側壁62,63の代わりに、Y軸方向に沿った線状の凸部130が、レール部60に形成されている。この凸部130が、スライド部本体32の凸部33と凸部34との間に嵌め込まれることで、スライド部31は、レール部60に取り付けられていてもよい。   In the modification shown in FIG. 26A, the slide portion 31 is fitted between the side wall 62 and the side wall 63 of the rail portion 60 and attached to the rail portion 60. However, it is not limited to this. In the modification shown in FIG. 26 (B), instead of the side walls 62 and 63, linear convex portions 130 along the Y-axis direction are formed on the rail portion 60. The slide part 31 may be attached to the rail part 60 by fitting the convex part 130 between the convex part 33 and the convex part 34 of the slide part main body 32.

また、図26(A)及び(B)では、スライド部本体32及びリターン40は、別の部材に構成されている。しかしながら、これに限らず、図26(C)に示すように、スライド部本体32及びリターン40が、一体に構成されていてもよい。   Moreover, in FIG. 26 (A) and (B), the slide part main body 32 and the return 40 are comprised by another member. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 26C, the slide portion main body 32 and the return 40 may be integrally formed.

上述した図1〜24に示す実施形態や、図26(A)〜(C)に示す変形例では、ボール50を転動するための溝部33a,34a,64a,65aは、スライド部本体32と、レール部60とにそれぞれ2つずつ形成されている。これにより、ボール50は、2つの軌道(図10における軌道T1、T2)に沿って転動する。しかしながら、これに限らず、ボール50は、図26(D)に示すように、3つの軌道に沿って転動してもよい。ボール50が転動する軌道の数が増加することにより、ロッド11の先端部の振れの発生を、より効果的に抑制できるようになる。なお、ボール50が転動する軌道の数は、4つ以上であってもよい。   In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above and the modifications shown in FIGS. 26A to 26C, the grooves 33a, 34a, 64a, and 65a for rolling the ball 50 are formed with the slide part main body 32. Two rails 60 are formed on each of the rail portions 60. Thereby, the ball 50 rolls along two tracks (tracks T1 and T2 in FIG. 10). However, the present invention is not limited to this, and the ball 50 may roll along three orbits as shown in FIG. By increasing the number of tracks on which the ball 50 rolls, the occurrence of deflection of the tip of the rod 11 can be more effectively suppressed. Note that the number of tracks on which the ball 50 rolls may be four or more.

また、ガイド装置30は、図27(E)に示すように、スライド部31の直線運動に伴って、レール部60上を回転するローラ131を備えていてもよい。これにより、スライド部31のY軸方向への直線運動が安定し、結果的に、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制できるようになる。また、この場合、図27(F)に示すように、ボール50が転動する軌道の数を、1つのみにすることもできる。   Moreover, the guide apparatus 30 may be provided with the roller 131 which rotates on the rail part 60 with the linear motion of the slide part 31, as shown in FIG.27 (E). Thereby, the linear motion to the Y-axis direction of the slide part 31 becomes stable, and it becomes possible to suppress generation | occurrence | production of the deflection | deviation of the front-end | tip part of the rod 11 as a result. In this case, as shown in FIG. 27F, the number of tracks on which the ball 50 rolls can be limited to one.

また、図27(G)に示す変形例では、スライド部31の凸部33の+X側の面には、Y軸方向に沿った線上の突起132が形成され、スライド部31の凸部34の−X側の面には、Y軸方向に沿った線上の突起133が形成されている。そして、これらの突起132,133が、レール部の凹部62a,63aに摺動可能に嵌め込まれている。この場合、ボール50が転動する軌道の数を、1つのみにすることもできる。   In the modification shown in FIG. 27G, a protrusion 132 on the line along the Y-axis direction is formed on the surface on the + X side of the convex portion 33 of the slide portion 31, and the convex portion 34 of the slide portion 31 is formed. On the −X side surface, a protrusion 133 is formed on a line along the Y-axis direction. These protrusions 132 and 133 are slidably fitted in the recesses 62a and 63a of the rail portion. In this case, the number of tracks on which the ball 50 rolls can be limited to one.

上述した図1〜24に示す実施形態や変形例では、ボール50を転動するための溝部33a,34a,64a,65aは、スライド部本体32と、レール部60とに形成されている。しかしながら、これに限らず、図27(H)に示すように、カバー18に、ボール50を転動するための溝部が形成されていてもよい。   1 to 24 described above, the groove portions 33a, 34a, 64a, 65a for rolling the ball 50 are formed in the slide portion main body 32 and the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this, and a groove for rolling the ball 50 may be formed in the cover 18 as shown in FIG.

上述した図1〜24に示す実施形態や、図26(A)に示す変形例では、ボール50が転動する軌道は、スライド部本体32の+X側と−X側とに、それぞれ1つずつ形成されている。しかしながら、これに限らず、ボール50が転動する軌道は、図28(I)に示すように、スライド部本体32の+X側と−X側とに、それぞれ2つずつ形成されていてもよい。ボール50が転動する軌道が、それぞれ2つずつ形成されることにより、ロッド11の先端部の振れの発生を、より効果的に抑制できるようになる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above and the modification shown in FIG. 26 (A), the balls 50 roll one on each of the + X side and the −X side of the slide body 32. Is formed. However, the present invention is not limited to this, and two trajectories on which the ball 50 rolls may be formed on each of the + X side and the −X side of the slide portion main body 32 as shown in FIG. . By forming two tracks on which the balls 50 roll, it is possible to more effectively suppress the occurrence of deflection of the tip of the rod 11.

また、図28(I)に示す変形例では、スライド部31は、レール部60の側壁62と側壁63との間に嵌め込まれて、レール部60に取り付けられる。しかしながら、これに限らず、図28(J)に示すように、レール部60に形成された凸部130が、スライド部本体32の凸部33と凸部34との間に嵌め込まれることで、スライド部31は、レール部60に取り付けられていてもよい。また、図28(I)及び(J)においては、ボール50が転動する軌道は、スライド部本体32の+X側と−X側とに、それぞれ2つずつ形成されているが、3つ以上形成されていてもよい。   In the modification shown in FIG. 28I, the slide portion 31 is fitted between the side wall 62 and the side wall 63 of the rail portion 60 and attached to the rail portion 60. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 28 (J), the convex portion 130 formed on the rail portion 60 is fitted between the convex portion 33 and the convex portion 34 of the slide portion main body 32. The slide part 31 may be attached to the rail part 60. In FIGS. 28I and 28J, two orbits on which the ball 50 rolls are formed on the + X side and the −X side of the slide portion main body 32, respectively. It may be formed.

また、図26(B)に示す変形例に係るスライド部31は、1つのリターン40を有している。しかしながら、これに限らず、図28(K)に示すように、2つのリターン40を有していてもよい。また、スライド部31は、3つ以上のリターン40を有していてもよい。   In addition, the slide portion 31 according to the modification shown in FIG. 26B has one return 40. However, the present invention is not limited to this, and two returns 40 may be provided as shown in FIG. The slide portion 31 may have three or more returns 40.

また、図28(K)に示す変形例では、2つのリターン40は、いずれも、スライド部本体32の下面(−Z側の面)に固定されているが、これに限られない。例えば、図28(L)に示すように、スライド部本体32の下面(−Z側の面)と、側面(−X側の面)とに固定されていてもよい。   In the modification shown in FIG. 28K, the two returns 40 are both fixed to the lower surface (the surface on the −Z side) of the slide portion main body 32, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 28 (L), the slide unit body 32 may be fixed to the lower surface (the surface on the −Z side) and the side surface (the surface on the −X side).

また、上述した実施形態等では、ボール50が転動する溝部の内面は、図7(A)、図12(A)及び図13に示すように、ゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、ボール等の転動体の曲率半径よりも大きな曲率半径で形成されたサーキュラー形状であってもよい。   Further, in the above-described embodiment, the inner surface of the groove portion on which the ball 50 rolls is formed in a Gothic arch shape as shown in FIGS. 7 (A), 12 (A), and 13. However, the present invention is not limited to this, and a circular shape formed with a radius of curvature larger than the radius of curvature of a rolling element such as a ball may be used.

《変形例2》
上述した図1〜24に示す実施形態においては、ガイド装置30は、1つのスライド部31を有しているが、スライド部31の数は任意である。以下、2つのスライド部31を有している変形例2について、図29を用いて説明する。
<< Modification 2 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the guide device 30 has one slide portion 31, but the number of slide portions 31 is arbitrary. Hereinafter, Modification 2 having two slide portions 31 will be described with reference to FIG.

本変形例2に係るガイド装置30では、図29(A)に示すように、2つのスライド部31が、レール部60に取り付けられている。ロッド11は、図29(B)に示すように、2つのスライド部31に跨って固定される。   In the guide device 30 according to the second modification, two slide portions 31 are attached to the rail portion 60 as shown in FIG. The rod 11 is fixed across the two slide portions 31 as shown in FIG.

これにより、モータユニット20の出力軸の回転に起因したトルクが、上記実施形態(図1〜図24に示す実施形態)のものよりも、ガイド装置30を介して、ロッド11に伝わりにくく、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができる。ひいては、ロッド11に固定された先端金具12の振れを抑制することができ、アクチュエータ10の作業精度の低下を防ぐことができる。   Thereby, the torque resulting from the rotation of the output shaft of the motor unit 20 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30 than in the above embodiment (the embodiment shown in FIGS. 1 to 24). 11 can be prevented from wobbling. As a result, it is possible to suppress the deflection of the end fitting 12 fixed to the rod 11 and to prevent the working accuracy of the actuator 10 from being lowered.

また、2つのスライド部31が、レール部60に取り付けられているため、ロッド11は、より円滑に、かつ、安定して、Y軸方向に往復運動することができる。   Moreover, since the two slide parts 31 are attached to the rail part 60, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

本変形例2においては、スライド部31は、レール部60に2つ取り付けられているが、これに限らず、3つ以上取り付けられていてもよい。   In the second modification, two slide parts 31 are attached to the rail part 60, but the present invention is not limited thereto, and three or more slide parts 31 may be attached.

《変形例3》
本変形例3に係るガイド装置30及びアクチュエータ10では、図30(A)及び(B)に示すように、スライド部31が、上記実施形態(図1〜図24に示す実施形態)のものよりも、Y軸方向に長く形成されている。このため、ロッド11が、スライド部31に固定された場合、モータユニット20の出力軸の回転に起因したトルクが、上記実施形態のものよりも、ガイド装置30を介して、ロッド11に伝わりにくくなる。結果的に、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができる。
<< Modification 3 >>
In the guide device 30 and the actuator 10 according to the third modification, as shown in FIGS. 30A and 30B, the slide portion 31 is more than that of the above-described embodiment (the embodiment shown in FIGS. Is also formed long in the Y-axis direction. For this reason, when the rod 11 is fixed to the slide part 31, the torque resulting from the rotation of the output shaft of the motor unit 20 is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30 than in the above embodiment. Become. As a result, it is possible to suppress the occurrence of deflection of the tip portion of the rod 11.

また、スライド部31が、Y軸方向に長く形成されているため、ロッド11は、より円滑に、かつ、安定して、Y軸方向に往復運動することができる。   Moreover, since the slide part 31 is formed long in the Y-axis direction, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

また、スライド部31のY軸方向の長さを長くするだけでなく、スライド部31とレール部60との間に配置されたボール50の径を大きくすることによっても、モータユニット20の出力軸の回転に起因したトルクが、ガイド装置30を介して、ロッド11に伝わりにくくなる。結果的に、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができる。また、ロッド11は、より円滑に、かつ、安定して、Y軸方向に往復運動することができる。   In addition to increasing the length of the slide portion 31 in the Y-axis direction, the output shaft of the motor unit 20 is also increased by increasing the diameter of the ball 50 disposed between the slide portion 31 and the rail portion 60. Torque resulting from the rotation of the rod is less likely to be transmitted to the rod 11 via the guide device 30. As a result, it is possible to suppress the occurrence of deflection of the tip portion of the rod 11. Further, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

《変形例4》
本変形例4に係るアクチュエータ10は、図31(A)及び(B)に示すように、ガイドロッドユニット140を有している。ガイドロッドユニット140は、ガイドロッド141と、ブッシュハウジング142と、ボールブッシュ143と、連結部材144とを有する。
<< Modification 4 >>
The actuator 10 according to the fourth modification includes a guide rod unit 140 as shown in FIGS. 31 (A) and (B). The guide rod unit 140 includes a guide rod 141, a bush housing 142, a ball bush 143, and a connecting member 144.

ガイドロッド141は、作業軸であるロッド11とともにY軸方向に移動することにより、ロッド11を案内する。ガイドロッド141は、ボールブッシュ143にY軸方向に移動可能に支持されている。また、ガイドロッド141の−Y側の端部は、連結部材144によって、ロッド11の先端金具12に連結されている。ガイドロッド141の−Y側の端部は、ボルト等によって、連結部材144に固定される。ロッド11の先端金具12は、ナット等によって、連結部材144に固定される。   The guide rod 141 guides the rod 11 by moving in the Y-axis direction together with the rod 11 that is a work shaft. The guide rod 141 is supported by the ball bush 143 so as to be movable in the Y-axis direction. Further, the end portion on the −Y side of the guide rod 141 is connected to the end fitting 12 of the rod 11 by a connecting member 144. The end portion on the −Y side of the guide rod 141 is fixed to the connecting member 144 with a bolt or the like. The end fitting 12 of the rod 11 is fixed to the connecting member 144 with a nut or the like.

ブッシュハウジング142は、フロントハウジング80に固定されている。ブッシュハウジング142には、貫通孔142aが形成されており、この貫通孔142aには、ボールブッシュ143が嵌め込まれている。ボールブッシュ143は、例えば、C形状に形成されたリング等によって、ブッシュハウジング142から抜け止めされている。   The bush housing 142 is fixed to the front housing 80. A through hole 142a is formed in the bush housing 142, and a ball bush 143 is fitted into the through hole 142a. The ball bush 143 is prevented from coming off from the bush housing 142 by, for example, a ring formed in a C shape.

ボールブッシュ143は、内部に配置されたボール145の転動により、ガイドロッド141を円滑に移動させる部材である。ボールブッシュ143は、貫通孔が形成された略円筒形状に形成されている。この貫通孔の内周面には、Y軸方向に沿って、複数のスリット143aが形成されている。スリット143aには、ボール145が配置される。スリット143aに配置されたボール145は、スリット143aの内周面と、ガイドロッド141の外周面との間に挟まれることで、ガイドロッド141の移動に伴って転動する。また、ボールブッシュ143の内部には、ボール循環路143bが形成されている。スリット143aの内周面とガイドロッド141の外周面との間を転動したボール145は、このボール循環路143bを通過することで、再び、スリット143aの内周面とガイドロッド141の外周面との間に移動する。   The ball bush 143 is a member that smoothly moves the guide rod 141 by the rolling of the ball 145 disposed inside. The ball bush 143 is formed in a substantially cylindrical shape having a through hole. A plurality of slits 143a are formed on the inner peripheral surface of the through hole along the Y-axis direction. A ball 145 is disposed in the slit 143a. The ball 145 disposed in the slit 143a rolls with the movement of the guide rod 141 by being sandwiched between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141. A ball circulation path 143b is formed inside the ball bush 143. The ball 145 rolled between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 passes through this ball circulation path 143b, so that the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 again. Move between and.

本変形例4に係るアクチュエータ10において、作業軸であるロッド11が−Y方向に移動すると、連結部材144によって、ロッド11にガイドロッド141が連結されているため、図32に示すように、ガイドロッド141も、−Y方向に移動する。このとき、ガイドロッド141が−Y方向に移動することにより、スリット143aの内周面とガイドロッド141の外周面との間を、ボール145が転動する。スリット143aの内周面とガイドロッド141の外周面との間を転動したボール145は、ボール循環路143bに移動する。そして、ボール循環路143bを通過して、再び、スリット143aの内周面とガイドロッド141の外周面との間に移動し、転動する。   In the actuator 10 according to the fourth modification, when the rod 11 that is the work shaft moves in the −Y direction, the guide rod 141 is coupled to the rod 11 by the coupling member 144. Therefore, as illustrated in FIG. The rod 141 also moves in the −Y direction. At this time, when the guide rod 141 moves in the −Y direction, the ball 145 rolls between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141. The ball 145 rolling between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141 moves to the ball circulation path 143b. Then, the ball passes through the ball circulation path 143b and again moves between the inner peripheral surface of the slit 143a and the outer peripheral surface of the guide rod 141, and rolls.

本変形例4に係るアクチュエータ10によれば、ガイドロッドユニット140を有しているため、ロッド11の先端部(−Y側の端部)の剛性を高くすることができる。このため、ロッド11の先端部の振れの発生を抑制することができる。また。ロッド11は、円滑に、かつ、安定して、Y軸方向に往復運動することができる。   According to the actuator 10 according to the fourth modification, since the guide rod unit 140 is provided, the rigidity of the distal end portion (the end portion on the −Y side) of the rod 11 can be increased. For this reason, generation | occurrence | production of the shake of the front-end | tip part of the rod 11 can be suppressed. Also. The rod 11 can reciprocate smoothly and stably in the Y-axis direction.

本変形例4に係るアクチュエータ10においては、ブッシュハウジング142に、ボールブッシュ143が嵌め込まれている。しかしながら、これに限らず、オイルレスベアリング等のすべり軸受が嵌めこまれていてもよい。   In the actuator 10 according to the fourth modification, the ball bush 143 is fitted in the bush housing 142. However, the present invention is not limited to this, and a sliding bearing such as an oilless bearing may be fitted.

《変形例5》
本変形例5に係るアクチュエータ10は、図33に示すように、一対のガイドロッドユニット140を有している。これにより、本変形例4に係るアクチュエータ10よりも、ロッド11の先端部(−Y側の端部)の剛性を、さらに高くすることができる。結果として、ロッド11の先端部の振れの発生を、さらに抑制することができる。また、ロッド11は、さらに円滑に、かつ、安定して、Y軸方向に往復運動することができる。
<< Modification 5 >>
The actuator 10 according to the fifth modification has a pair of guide rod units 140 as shown in FIG. Thereby, the rigidity of the tip end portion (the end portion on the −Y side) of the rod 11 can be further increased as compared with the actuator 10 according to the fourth modification. As a result, it is possible to further suppress the occurrence of the deflection of the tip portion of the rod 11. Further, the rod 11 can reciprocate in the Y-axis direction more smoothly and stably.

本変形例5に係るアクチュエータ10は、一対のガイドロッドユニット140を有しているが、これに限らず、3つ以上のガイドロッドユニット140を有していてもよい。この場合、ロッド11の先端部(−Y側の端部)の剛性を、さらに高くすることができる。   The actuator 10 according to Modification 5 includes a pair of guide rod units 140, but is not limited thereto, and may include three or more guide rod units 140. In this case, the rigidity of the tip end portion (end portion on the −Y side) of the rod 11 can be further increased.

《変形例6》
上述した図1〜24に示す実施形態においては、フロントハウジング80にオイルレスベアリング82が配置されることにより、ロッド11は、Y軸方向に移動可能に支持されているが、支持構造自体は任意である。以下、ロッド11の支持構造として、ボールブッシュ150を使用する変形例6について、図34を用いて説明する。
<< Modification 6 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, the oilless bearing 82 is disposed in the front housing 80, so that the rod 11 is supported so as to be movable in the Y-axis direction. However, the support structure itself is arbitrary. It is. Hereinafter, Modification 6 using the ball bush 150 as the support structure of the rod 11 will be described with reference to FIG.

ボールブッシュ150は、内部に配置されたボール151の転動により、ロッド11を円滑に移動させる。ボールブッシュ150は、上述の変形例4に係るガイドロッドユニット140のボールブッシュ143と同等の構造を有している。ボール151が、ボールブッシュ150の貫通孔の内周面に形成されたスリット150aの内周面と、ロッド11の外周面との間に挟まれつつ、転動することにより、ロッド11は、Y軸方向に移動する。   The ball bush 150 moves the rod 11 smoothly by the rolling of the ball 151 disposed inside. The ball bush 150 has a structure equivalent to that of the ball bush 143 of the guide rod unit 140 according to Modification 4 described above. When the ball 151 rolls while being sandwiched between the inner peripheral surface of the slit 150a formed on the inner peripheral surface of the through hole of the ball bush 150 and the outer peripheral surface of the rod 11, the rod 11 Move in the axial direction.

本変形例6によれば、フロントハウジング80にボールブッシュ150が配置されることにより、ロッド11は、円滑に、かつ、安定して、Y軸方向に往復運動することができる。   According to the sixth modification, the ball bush 150 is disposed in the front housing 80, whereby the rod 11 can reciprocate smoothly and stably in the Y-axis direction.

《変形例7》
上述した図1〜24に示す実施形態においては、図14を参照するとわかるように、ロッド11は、スライド部31に螺合により固定されているが、固定方法は任意である。以下、ロッド11の別の固定方法の例について、図35及び図36を用いて説明する。
<< Modification 7 >>
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 24 described above, as can be seen with reference to FIG. 14, the rod 11 is fixed to the slide portion 31 by screwing, but the fixing method is arbitrary. Hereinafter, another example of the fixing method of the rod 11 will be described with reference to FIGS. 35 and 36.

図35(A)に示すガイド装置30では、スライド部本体32の上方に割り溝161と、割り溝161を貫通するようにねじ孔162とが形成されている。そして、ロッド11を、スライド部31に固定する場合は、先ず、ロッド11を、スライド部本体32に形成された貫通孔32aに挿入する。そして、ボルト160を、ねじ孔162に捻じ込む。ボルト160を捻じ込んでいくことにより、割り溝161の溝幅が小さくなっていき、これに伴い、スライド部本体32に形成された貫通孔32aの径も小さくなる。この結果、ロッド11が、スライド部31に固定される。このような固定方法でも、ロッド11を強固に固定することができる。   In the guide device 30 shown in FIG. 35A, a split groove 161 and a screw hole 162 are formed above the slide part main body 32 so as to penetrate the split groove 161. When the rod 11 is fixed to the slide portion 31, first, the rod 11 is inserted into a through hole 32 a formed in the slide portion main body 32. Then, the bolt 160 is screwed into the screw hole 162. By screwing the bolt 160, the groove width of the split groove 161 is reduced, and accordingly, the diameter of the through hole 32a formed in the slide portion main body 32 is also reduced. As a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31. Even with such a fixing method, the rod 11 can be firmly fixed.

図35(B)に示すガイド装置30では、スライド部本体32の上面(+Z側の面)には、貫通孔32aに通じるねじ孔163が形成されている。ロッド11を、スライド部31に固定する場合は、先ず、ロッド11を、スライド部31のスライド部本体32に形成された貫通孔32aに挿入し、押しねじ164を、ねじ孔163に捻じ込む。押しねじ164を捻じ込んでいくことにより、押しねじ164の先端部が、ロッド11の外周面に当接し、この結果、ロッド11が、スライド部31に固定される。押しねじ164には、例えば、いもねじが用いられる。   In the guide device 30 shown in FIG. 35 (B), a screw hole 163 communicating with the through hole 32a is formed on the upper surface (+ Z side surface) of the slide portion main body 32. When fixing the rod 11 to the slide portion 31, first, the rod 11 is inserted into the through hole 32 a formed in the slide portion main body 32 of the slide portion 31, and the push screw 164 is screwed into the screw hole 163. By screwing the push screw 164, the tip of the push screw 164 comes into contact with the outer peripheral surface of the rod 11, and as a result, the rod 11 is fixed to the slide portion 31. For example, a potato screw is used as the push screw 164.

図36(A)に示すガイド装置30では、スライド部本体32が、2つの部材から構成されている。詳しくは、スライド部本体32は、下側部材165と、下側部材165の+Z側に取り付けられた上側部材166とを有する。下側部材165には、ボルト160を螺合するねじ孔165aが、形成されている。また、上側部材166には、ボルト160を挿通する挿通孔166aが、ねじ孔165aと同軸上に形成されている。そして、ロッド11を固定する場合は、ボルト160を、ねじ孔165aに捻じ込み、下側部材165と上側部材166との間でロッド11を挟み込む。これにより、ロッド11が、スライド部31に固定される。   In the guide device 30 shown in FIG. 36A, the slide portion main body 32 is composed of two members. Specifically, the slide part main body 32 includes a lower member 165 and an upper member 166 attached to the + Z side of the lower member 165. The lower member 165 is formed with a screw hole 165a into which the bolt 160 is screwed. The upper member 166 has an insertion hole 166a through which the bolt 160 is inserted, coaxially with the screw hole 165a. When fixing the rod 11, the bolt 160 is screwed into the screw hole 165 a and the rod 11 is sandwiched between the lower member 165 and the upper member 166. Thereby, the rod 11 is fixed to the slide part 31.

ロッド11の固定方法は、図35(A)、図35(B)、及び図36(A)に示すものに限られない。例えば、ロッド11は、溶接によって、スライド部31に固定されていてもよい。また、ロッド11は、摩擦接合、かしめ、圧入、焼きばめ、冷やしばめ、クランプ等によって、スライド部31に固定されていてもよい。さらに、図36(B)に示すように、ロッド11とスライド部本体32とは、一体に形成されていてもよい。   The method of fixing the rod 11 is not limited to that shown in FIGS. 35 (A), 35 (B), and 36 (A). For example, the rod 11 may be fixed to the slide portion 31 by welding. The rod 11 may be fixed to the slide portion 31 by friction welding, caulking, press-fitting, shrink fitting, cold fitting, clamping, or the like. Furthermore, as shown in FIG. 36 (B), the rod 11 and the slide part main body 32 may be integrally formed.

《変形例8》
また、図24に示すように、上述した実施形態に係るアクチュエータ10は、カバー18を取り外すことにより、アクチュエータ10の上側(+Z側、アクチュエータ10の表側)から、ボルト121で、作業台120に固定されている。しかしながら、アクチュエータ10の固定方法は、任意である。例えば、作業台120の下側(アクチュエータ10の裏側)から、ボルトを、作業台120の孔と、レール部60のベース61に形成された貫通孔61aとにそれぞれ挿入した上で、ナットに螺合することによって、アクチュエータ10は、作業台120に固定されていてもよい。また、貫通孔61aの内周面を、ねじ面から構成し、作業台120の下側から、ボルトを、作業台120の孔に挿入した上で、ベース61に形成された貫通孔61aに螺合することによって、アクチュエータ10は、作業台120に固定されていてもよい。
<< Modification 8 >>
Further, as shown in FIG. 24, the actuator 10 according to the above-described embodiment is fixed to the work table 120 with the bolt 121 from the upper side of the actuator 10 (+ Z side, front side of the actuator 10) by removing the cover 18. Has been. However, the fixing method of the actuator 10 is arbitrary. For example, bolts are inserted into the holes of the work table 120 and the through holes 61a formed in the base 61 of the rail portion 60 from the lower side of the work table 120 (the back side of the actuator 10), and then screwed into the nuts. By combining, the actuator 10 may be fixed to the work table 120. Further, the inner peripheral surface of the through hole 61a is constituted by a threaded surface, and a bolt is inserted into the hole of the work table 120 from the lower side of the work table 120 and then screwed into the through hole 61a formed in the base 61. By combining, the actuator 10 may be fixed to the work table 120.

また、レール部60のベース61に形成された貫通孔61aは、図37に示すように、内周面が円滑な面で構成された挿通孔170と、内周面がねじ面で構成されたねじ孔171との2種類の孔を含んで構成されていてもよい。例えば、貫通孔61aが、合計で10個形成されている場合は、挿通孔170を6個形成し、ねじ孔171を4個形成してもよい。   Moreover, as shown in FIG. 37, the through hole 61a formed in the base 61 of the rail portion 60 has an insertion hole 170 having a smooth inner peripheral surface and a thread surface on the inner peripheral surface. You may be comprised including two types of holes with the screw hole 171. For example, when ten through holes 61a are formed in total, six insertion holes 170 and four screw holes 171 may be formed.

例えば、貫通孔61aが、ねじ孔の1種類のみで構成されている場合は、作業台120の下側から、ボルトを、作業台120の孔に挿入した上で、アクチュエータ10を作業台120に固定することになる。この場合、貫通孔61aが、ねじ孔であるため、作業台120の上側から、ボルトを貫通孔61aに挿入して、アクチュエータ10を作業台120に固定することが困難である。   For example, when the through-hole 61a is configured by only one type of screw hole, a bolt is inserted into the hole of the work table 120 from the lower side of the work table 120, and then the actuator 10 is attached to the work table 120. It will be fixed. In this case, since the through hole 61 a is a screw hole, it is difficult to fix the actuator 10 to the work table 120 by inserting a bolt into the through hole 61 a from above the work table 120.

しかしながら、貫通孔61aが、挿通孔170と、ねじ孔171との2種類の孔を含んで構成されている場合は、アクチュエータ10を取り付ける作業者は、アクチュエータ10の設置環境に合わせて、図37(A)に示すように、アクチュエータ10の上側(表側)から取り付けたり、図37(B)に示すように、作業台120の裏側(下側)から取り付けたりすることができる。   However, when the through-hole 61a is configured to include two types of holes, that is, the insertion hole 170 and the screw hole 171, the operator who installs the actuator 10 matches the installation environment of the actuator 10 with reference to FIG. As shown to (A), it can attach from the upper side (front side) of the actuator 10, or it can attach from the back side (lower side) of the work table 120 as shown in FIG.

《変形例9》
変形例9に係るガイド装置30では、スライド部31のスライド部本体32に、グリスを注入するための注入孔180が形成されている。注入孔180は、スライド部本体32の内部に形成されたグリス通路を介して、貫通孔32aに通じている。この注入孔180からグリスが注入されることにより、グリスが、ボールねじナット72とボールねじ軸71との間に嵌め込まれた剛性の球体に供給される。
<< Modification 9 >>
In the guide device 30 according to Modification 9, an injection hole 180 for injecting grease is formed in the slide portion main body 32 of the slide portion 31. The injection hole 180 communicates with the through hole 32 a through a grease passage formed inside the slide part main body 32. By injecting grease from the injection hole 180, the grease is supplied to a rigid sphere fitted between the ball screw nut 72 and the ball screw shaft 71.

変形例9に係るガイド装置30を有するアクチュエータ10においては、ボールねじ70の剛性の球体のグリスを、スライド部本体32に形成された注入孔180から注入することができる。例えば、カバーを有さないアクチュエータの場合は、ボールねじ70の球体のグリスを注入するためには、筐体等を分解する必要があり、グリスの注入作業が煩雑なものとなってしまう。しかしながら、変形例9においては、カバー18を取り外すことにより、注入孔180から、ボールねじ70の球体に、グリスを注入することができる。これにより、グリスの注入作業の作業性を良好とすることができる。また、スライド部31のリターン40には、ガイド装置30のボール50へグリスを注入するための注入孔48も形成されているため、カバー18を取り外すことにより、ボールねじ70の球体と、ガイド装置30のボール50とのいずれにも、グリスを注入することができる。これにより、グリスの注入作業の作業性を、さらに良好とすることができる。   In the actuator 10 having the guide device 30 according to the modified example 9, the rigid spherical grease of the ball screw 70 can be injected from the injection hole 180 formed in the slide portion main body 32. For example, in the case of an actuator having no cover, in order to inject the grease of the ball of the ball screw 70, it is necessary to disassemble the housing and the like, and the grease injection operation becomes complicated. However, in the modified example 9, the grease can be injected from the injection hole 180 into the sphere of the ball screw 70 by removing the cover 18. Thereby, workability | operativity of the injection | pouring operation | work of grease can be made favorable. Further, since the return 40 of the slide portion 31 is also formed with an injection hole 48 for injecting grease into the ball 50 of the guide device 30, when the cover 18 is removed, the sphere of the ball screw 70 and the guide device are removed. Grease can be injected into any of the 30 balls 50. Thereby, the workability | operativity of the grease injection | pouring operation | work can be made further favorable.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。   Various embodiments and modifications can be made to the present invention without departing from the broad spirit and scope of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

(付記1)
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
前記ボールねじナットとともに直線運動するように前記ボールねじナットに接続され、先端に工具が取り付けられる作業軸と、
前記作業軸に固定され、前記作業軸の運動方向に沿って第1溝部が形成されたスライド部と、
前記第1溝部に対向し、前記作業軸の運動方向に沿って第2溝部が形成され、剛性の素材からなるレール部と、
剛性の素材からなり、前記第1溝部及び前記第2溝部に挟まれることにより前記第1溝部及び前記第2溝部を転動して、前記スライド部を移動可能に支持する転動体と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
(Appendix 1)
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
A work shaft that is connected to the ball screw nut so as to move linearly with the ball screw nut, and a tool is attached to the tip;
A slide portion fixed to the work shaft and having a first groove formed along the direction of movement of the work shaft;
A rail part made of a rigid material, facing the first groove part, a second groove part is formed along the movement direction of the work shaft,
A rolling element made of a rigid material, rolling the first groove part and the second groove part by being sandwiched between the first groove part and the second groove part, and movably supporting the slide part;
An actuator comprising:

(付記2)
前記スライド部は、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットを有し、
前記第1溝部と前記第2溝部との間を転動した前記転動体は、前記転動体循環路を通過して、前記第1溝部と前記第2溝部との間に移動し、再び、前記第1溝部と前記第2溝部との間を転動することを特徴とする付記1に記載のアクチュエータ。
(Appendix 2)
The slide portion has a rolling element storage unit in which a rolling element circulation path through which the rolling element passes is formed,
The rolling element that has rolled between the first groove portion and the second groove portion passes through the rolling element circulation path, moves between the first groove portion and the second groove portion, and again, The actuator according to appendix 1, wherein the actuator rolls between the first groove and the second groove.

(付記3)
前記転動体は、球形状に形成され、
前記第1溝部及び前記第2溝部の内面は、湾曲面として構成されており、
前記湾曲面の曲率半径は、前記転動体の半径と同等であることを特徴とする付記2に記載のアクチュエータ。
(Appendix 3)
The rolling element is formed in a spherical shape,
The inner surfaces of the first groove portion and the second groove portion are configured as curved surfaces,
The actuator according to appendix 2, wherein a radius of curvature of the curved surface is equal to a radius of the rolling element.

(付記4)
前記スライド部の前記第1溝部、前記レール部の前記第2溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ2つずつ形成され、
前記転動体は、前記第1溝部と前記第2溝部とに、前記作業軸の運動方向と直交する方向に挟まれることを特徴とする付記3に記載のアクチュエータ。
(Appendix 4)
Two each of the first groove part of the slide part, the second groove part of the rail part, and the rolling element circulation path are formed,
4. The actuator according to appendix 3, wherein the rolling element is sandwiched between the first groove portion and the second groove portion in a direction orthogonal to the movement direction of the work shaft.

(付記5)
前記作業軸は、前記ボールねじ軸の先端部が挿入されるための孔が形成された円筒形状に形成され、
前記ボールねじ軸の前記先端部には、前記作業軸の前記孔の内周面と接触する弾性部材が配置されていることを特徴とする付記1乃至4のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
(Appendix 5)
The working shaft is formed in a cylindrical shape in which a hole for inserting a tip portion of the ball screw shaft is formed,
The actuator according to any one of appendices 1 to 4, wherein an elastic member that contacts an inner peripheral surface of the hole of the work shaft is disposed at the tip portion of the ball screw shaft.

(付記6)
前記弾性部材には、前記作業軸の運動方向に沿って、溝が形成されていることを特徴とする付記5に記載のアクチュエータ。
(Appendix 6)
The actuator according to claim 5, wherein a groove is formed in the elastic member along a movement direction of the work shaft.

(付記7)
前記弾性部材に形成された前記溝は、前記ボールねじ軸の中心とする円周に沿って等間隔に複数形成されていることを特徴とする付記6に記載のアクチュエータ。
(Appendix 7)
The actuator according to claim 6, wherein a plurality of the grooves formed in the elastic member are formed at equal intervals along a circumference centered on the ball screw shaft.

(付記8)
前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記1乃至7のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
(Appendix 8)
The working shaft is formed with a male screw portion,
The slide portion is formed with a female screw portion,
The actuator according to any one of appendices 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by screwing the male screw portion and the female screw portion.

(付記9)
前記スライド部には、割り溝が形成されており、
前記割り溝の溝幅を小さくすることにより、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記1乃至7のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
(Appendix 9)
The slide part is formed with a split groove,
The actuator according to any one of appendices 1 to 7, wherein the work shaft is fixed to the slide portion by reducing a groove width of the split groove.

(付記10)
前記スライド部には、押しねじを挿入するためのねじ孔が形成されており、
前記ねじ孔に挿入された前記押しねじの当接により、前記作業軸は、前記スライド部に固定されていることを特徴とする付記1乃至7のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
(Appendix 10)
The slide part is formed with a screw hole for inserting a push screw,
The actuator according to any one of appendices 1 to 7, wherein the working shaft is fixed to the slide portion by contact of the push screw inserted into the screw hole.

(付記11)
前記作業軸の前記先端近傍に配置され、前記作業軸を直線運動可能に支持する作業軸支持手段を有し、
前記作業軸支持手段は、前記作業軸支持手段と前記作業軸との間を転動する転動体を有することを特徴とする付記10に記載のアクチュエータ。
(Appendix 11)
A work shaft support means disposed near the tip of the work shaft and supporting the work shaft so as to be linearly movable;
The actuator according to appendix 10, wherein the work shaft support means includes a rolling element that rolls between the work shaft support means and the work shaft.

(付記12)
前記作業軸の直線運動に伴って直線運動することにより、前記作業軸の直線運動を案内する案内軸と、前記案内軸を直線運動可能に支持する案内軸支持手段とを有する案内軸ユニットを有することを特徴とする付記1乃至11のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
(Appendix 12)
A guide shaft unit having a guide shaft for guiding the linear motion of the work shaft by linear motion along with the linear motion of the work shaft, and a guide shaft support means for supporting the guide shaft so as to be linearly movable; The actuator according to any one of appendices 1 to 11, characterized in that:

(付記13)
前記案内軸ユニットは、前記作業軸を挟み込むように、前記作業軸の両側に形成されていることを特徴とする付記12に記載のアクチュエータ。
(Appendix 13)
13. The actuator according to appendix 12, wherein the guide shaft unit is formed on both sides of the work shaft so as to sandwich the work shaft.

(付記14)
前記案内軸支持手段は、前記案内軸支持手段と前記案内軸との間を転動する転動体を有することを特徴とする付記13に記載のアクチュエータ。
(Appendix 14)
14. The actuator according to appendix 13, wherein the guide shaft support means includes a rolling element that rolls between the guide shaft support means and the guide shaft.

(付記15)
前記作業軸には、2つのスライド部が固定されていることを特徴とする付記1乃至14のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
(Appendix 15)
The actuator according to any one of appendices 1 to 14, wherein two slide portions are fixed to the work shaft.

(付記16)
前記アクチュエータは、
前記レール部に脱着可能に取り付けられ、前記スライド部を覆うカバーをさらに有していてもよい。
(Appendix 16)
The actuator is
A cover that is detachably attached to the rail portion and covers the slide portion may be further included.

10 アクチュエータ
11 ロッド(作業軸)
11a 孔
11b 雄ねじ部
12 先端金具
18 カバー
18a 貫通孔
19 ボルト
20 モータユニット
21 モータ
22 モータハウジング
22a 開口
22b ねじ孔
23 出力軸(回転軸)
24 アクチュエータケーブル
25 ボルト
30 ガイド装置
31 スライド部
32 スライド部本体
32a 貫通孔
32b 雌ねじ部
32c ねじ孔
32d ボス孔
32e 孔
33、34 凸部
33a、34a 溝部(第1溝部)
36 リング
40 リターン
41 筐体
41a 貫通孔
42 蓋体
42a ボス孔
42b 貫通孔
43、44 ボール循環路
43a、44a ストレート通路部
43b、44b カーブ通路部
45、46 凹部
47 ボス部
48 注入孔
49 ボルト
50 ボール(転動体)
60 レール部
61 ベース
61a 貫通孔
62、63 側壁
62a、63a 凹部
64、65 鋼製部材
64a、65a 溝部(第2溝部)
70 ボールねじ
71 ボールねじ軸
71a ボールねじ軸本体
71b、71c 小径部
72 ボールねじナット
74 ボルト
80 フロントハウジング
80a 貫通孔
81 ボルト
82 オイルレスベアリング
83 突出部
90 ベアリングハウジング
90a 貫通孔
91 ボルト
92 ベアリング
92a ベアリング押さえ
93、95 突出部
94 衝撃吸収部材
110 弾性部材
110a 貫通孔
111 溝
112 抜け止め部材
120 作業台
120a ねじ孔
121 ボルト
130 凸部
131 ローラ
132、133 突起
140 ガイドロッドユニット(案内軸ユニット)
141 ガイドロッド(案内軸)
142 ブッシュハウジング
143 ボールブッシュ(案内軸支持手段)
143a スリット
143b ボール循環路
144 連結部材
145 ボール(転動体)
150 ボールブッシュ(作業軸支持手段)
150a スリット
151 ボール
160 ボルト
161 割り溝
162 ねじ孔
163 ねじ孔
164 押しねじ
165 下側部材
165a ねじ孔
166 上側部材
166a 挿通孔
170 挿通孔
171 ねじ孔
180 注入孔
T1、T2 軌道
R1、R3 曲率半径
R2 半径
S 空間
10 Actuator 11 Rod (Work axis)
11a hole 11b male screw part 12 tip metal fitting 18 cover 18a through hole 19 bolt 20 motor unit 21 motor 22 motor housing 22a opening 22b screw hole 23 output shaft (rotating shaft)
24 Actuator cable 25 Bolt 30 Guide device 31 Slide portion 32 Slide portion main body 32a Through hole 32b Female screw portion 32c Screw hole 32d Boss hole 32e Hole 33, 34 Convex portion 33a, 34a Groove portion (first groove portion)
36 Ring 40 Return 41 Case 41a Through-hole 42 Lid 42a Boss hole 42b Through-hole 43, 44 Ball circulation path 43a, 44a Straight passage 43b, 44b Curve passage 45, 46 Recess 47 Boss 48 Injection hole 49 Bolt 50 Ball (rolling element)
60 Rail part 61 Base 61a Through hole 62, 63 Side wall 62a, 63a Recess 64, 65 Steel member 64a, 65a Groove (second groove)
70 Ball screw 71 Ball screw shaft 71a Ball screw shaft main body 71b, 71c Small diameter portion 72 Ball screw nut 74 Bolt 80 Front housing 80a Through hole 81 Bolt 82 Oilless bearing 83 Protruding portion 90 Bearing housing 90a Through hole 91 Bolt 92 Bearing 92a Bearing Presser 93, 95 Protruding portion 94 Shock absorbing member 110 Elastic member 110a Through hole 111 Groove 112 Retaining member 120 Work table 120a Screw hole 121 Bolt 130 Protruding portion 131 Roller 132, 133 Protrusion 140 Guide rod unit (guide shaft unit)
141 Guide rod (guide shaft)
142 Bush housing 143 Ball bush (guide shaft support means)
143a Slit 143b Ball circulation path 144 Connecting member 145 Ball (rolling element)
150 Ball bushing (work shaft support means)
150a slit 151 ball 160 bolt 161 split groove 162 screw hole 163 screw hole 164 push screw 165 lower member 165a screw hole 166 upper member 166a insertion hole 170 insertion hole 171 screw hole 180 injection hole T1, T2 track radius R1, R2 curvature radius Radius S space

Claims (6)

スライドする方向に平行に第1溝部が設けられ、金属からなるスライド部本体と、転動体循環路が内部に形成されている転動体収納ユニットと、を有するスライド部と、
前記第1溝部に対向する第2溝部が形成されているレール部と、
前記第1溝部及び前記第2溝部に挟まれつつ転動して、前記スライド部を移動可能に支持すると共に、前記転動体循環路を通過する転動体と、
前記スライド部本体に設けられている作業軸と、
を備え、
前記スライド部本体には、前記第1溝部が形成されている一対の凸部が、前記スライドする方向に沿って形成され、前記転動体収納ユニットは、一対の前記凸部の間に嵌め込まれていることを特徴とするガイド装置。
A slide part having a first groove part parallel to the sliding direction, a slide part body made of metal, and a rolling element storage unit in which a rolling element circulation path is formed, and
A rail part in which a second groove part facing the first groove part is formed;
A rolling element that rolls while being sandwiched between the first groove part and the second groove part, supports the slide part movably, and passes through the rolling element circulation path;
A work shaft provided in the slide body,
With
A pair of convex portions in which the first groove portions are formed are formed in the slide portion main body along the sliding direction, and the rolling element storage unit is fitted between the pair of convex portions. A guide device.
前記レール部及び前記転動体は、剛性の素材からなることを特徴とする請求項1に記載のガイド装置。   The guide device according to claim 1, wherein the rail portion and the rolling element are made of a rigid material. 回転軸を備えたモータと、前記回転軸の回転運動を直線運動に変換するボールねじを有するアクチュエータに用いられる前記ガイド装置であって、
前記スライド部本体には、前記スライドする方向に貫通し、前記作業軸が固定される貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガイド装置。
A guide device used for an actuator having a motor having a rotating shaft and a ball screw for converting the rotational motion of the rotating shaft into a linear motion,
3. The guide device according to claim 1, wherein the slide portion main body is provided with a through-hole penetrating in the sliding direction and fixing the work shaft.
請求項1から3のいずれか一項に記載のガイド装置を備えることを特徴とするアクチュエータ。   The actuator provided with the guide apparatus as described in any one of Claim 1 to 3. 回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
を備えることを特徴とする請求項4に記載のアクチュエータ。
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
The actuator according to claim 4, further comprising:
前記作業軸には、雄ねじ部が形成され、
前記スライド部本体には、前記スライドする方向に貫通する貫通孔が設けられ、前記貫通孔には、雌ねじ部が形成されており、
前記雄ねじ部と前記雌ねじ部との螺合により、前記作業軸は、前記スライド部本体に固定されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のアクチュエータ。
The working shaft is formed with a male screw portion,
The slide part body is provided with a through-hole penetrating in the sliding direction, and the through-hole is formed with a female screw part,
The actuator according to claim 4 or 5, wherein the working shaft is fixed to the slide portion main body by screwing the male screw portion and the female screw portion.
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