JP6794215B2 - 基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、プローブを基板にプロービングさせるプロービング機構と、プロービングの際の移動量を特定する際に用いる画像を撮像する撮像部とを備えた基板検査装置に関するものである。

この種の基板検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置を含むこの種の基板検査装置では、基板を載置部の載置面に取り付ける際の位置ずれ量（以下、「基板の位置ずれ量」ともいう）を相殺して規定位置にプローブを正確にプロービングさせるために、検査に先立って基板の位置ずれ量を特定する。具体的には、載置面に取り付けた状態において、基板に予め設けられている位置ずれ検出用の標識（マーク）の上方に撮像部を移動させて標識を撮像させ、その撮像画像に基づいて基板の位置ずれ量を特定する。

また、基板上のプロービング位置にプローブを正しくプロービングさせるには、待機位置（初期位置）から載置面に沿ってプロービング機構にプローブを移動させる移動量を正確に特定する必要があるが、この移動量は、例えば、上記のようにして特定した基板の位置ずれ量と、撮像部とプローブとの間のオフセット量とに基づいて特定される。この場合、出願人は、撮像部とプローブとのオフセット量を正確に特定するために、基板に取り付けた打痕シートに形成した打痕を撮像した画像に基づいてこのオフセット量を特定している。

一方、プロービング機構が載置面に対してプローブを接離させる方向（接離方向）と、撮像部の光軸の方向とがずれているときには、上記したオフセット量が基板の厚みによって相違してオフセット量を正確に特定することが困難となる。このため、接離方向と光軸の方向とを一致（または、ほぼ一致）させる作業を、オフセット量の特定に先立って行う。具体的には、標識が付された板状の標識部材をプロービング機構に取り付け、その標識部材を撮像部に撮像させて撮像画像を表示部に表示させる。次いで、プロービング機構に対して接離方向に沿って標識部材を往復移動させて、作業者が撮像画像内における標識の移動状態を確認する。この場合、作業者が、標識部材の移動に伴って撮像画像内における標識の位置が移動していると判定したときには、接離方向と光軸の方向とがずれていることとなるため、撮像部の取り付け角度を調整する。以下、標識部材の移動に伴って撮像画像内における標識の位置が移動しなくなるまでこの作業を繰り返す。

特開平６−３３１６５３号公報（第３頁、第１−３図）

ところが、従来の基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、従来の基板検査装置では、オフセット量を正確に特定するために、撮像画像内における標識の移動状態を確認することによって接離方向と光軸の方向とのずれの有無を特定している。この場合、この種の基板検査装置では、一般的に、単焦点の撮像部が用いられ、かつ撮像部が接離方向には移動しない構成となっている。このため、標識部材を往復移動させたときの撮像部のピントずれによって撮像画像内における標識の画像が不明瞭となり、標識の移動状態の確認が困難となって接離方向と光軸の方向とのずれの有無の判定が困難となることがある。また、撮像画像内において標識が移動しているか否かの判定が作業者の感覚に依存しているため、作業者の熟練度などに起因して接離方向と光軸の方向とのずれの有無の判定結果に個人差が生じることがある。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、プロービング機構によるプローブの移動方向と、プローブの移動量を特定する際に用いる画像を撮像する撮像部の光軸の方向とのずれの有無を正確に把握し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、検査対象の基板が載置される載置面に対して接離する第１方向にプローブを移動させてプロービングを行うプロービング機構と、前記プロービング機構の近傍に配置されると共に光軸の方向を調整可能に構成されて前記基板の画像を撮像する撮像部とを備えた基板検査装置であって、前記第１方向と前記光軸の方向とのずれ量を特定可能な特定用画像を表示部に表示させる表示データを生成する生成処理を行う処理部と、標識が付されると共に前記プロービング機構に取り付け可能に構成されて当該プロービング機構によって前記第１方向に移動させられる標識部材とを備え、前記処理部は、前記生成処理において、前記標識部材が前記プロービング機構によって前記第１方向に往復移動させられている最中に前記撮像部によって撮像された当該標識部材の複数の画像内における前記標識の前記載置面に沿った第２方向の位置をそれぞれ特定し、特定した前記標識の各位置に基づき、前記標識部材の前記往復移動に伴って当該標識の位置が前記第２方向に変位した変位量を特定すると共に、特定した前記変位量および当該変位量の許容範囲を示す前記特定用画像のデータを前記表示データとして生成する。

また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記生成処理において、前記標識における重心の位置を前記標識の各位置としてそれぞれ特定する。

また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記標識は、円形に形成されている。

また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置において、前記標識部材は、前記標識の色が白色および黒色のうちのいずれか一方の色に着色され、前記標識の周囲の色が白色および黒色のうちの他方の色に着色されている。

また、請求項５記載の基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記変位量が前記許容範囲内であるか否かを判別し、当該判別の結果を報知する。

請求項１記載の基板検査装置では、処理部が、第１方向に標識部材が移動させられている状態で撮像部によって撮像された標識を含む標識部材の画像内における標識の第２方向の位置を特定し、標識部材の移動に伴う標識の位置の第２方向の変位量および変位量の許容範囲を示す特定用画像のデータを表示データとして生成する。したがって、この基板検査装置によれば、標識の画像を見て標識が移動しているか否かを作業者が判断する従来の構成とは異なり、標識の画像が不明瞭なときに標識の移動状態の確認が困難となる事態や、作業者の熟練度などによって第１方向と光軸の方向とのずれの有無の判定結果に個人差が生じる事態が回避されて、表示データに基づく特定用画像から第１方向と光軸の方向とのずれの有無を正確に把握することができる。

また、請求項２記載の基板検査装置によれば、処理部が、標識における重心の位置を標識の位置として特定することにより、例えば、パターンマッチング手法で標識の位置を特定して位置の変位量を特定する構成と比較して、位置の変位量を正確にかつ短い処理時間で特定することができる。

また、請求項３記載の基板検査装置によれば、標識を円形に形成したことにより、重心サーチ手法を用いて標識の位置としての標識の重心の位置を特定する際に、標識が複雑な形状の場合と比較して、重心の位置をより正確に特定することができる。

また、請求項４記載の基板検査装置によれば、標識部材における標識の色を白色および黒色のうちのいずれか一方の色に着色し、標識部材における標識の周囲の色を白色および黒色のうちの他方の色に着色したことにより、標識を明瞭に撮像することができるため、標識の輪郭を正確に特定することができる。したがって、この基板検査装置によれば、重心サーチ手法を用いて標識の位置としての標識の重心の位置を特定する際に、重心の位置をさらに正確に特定することができる。

また、請求項５記載の基板検査装置によれば、処理部が、標識の位置の第２方向の変位量が許容範囲内であるか否かを判別し、判別の結果を報知することにより、標識の位置の第２方向の変位量が許容範囲内であるか否かを、作業者が表示データに基づく特定用画像から判断して第１方向と光軸の方向とのずれの有無を判定する構成とは異なり、見間違いによる誤判定を確実に防止することができる。

基板検査装置１の構成を示す構成図である。 標識板１５の斜視図である。 プロービング機構１２に取り付けられた標識板１５および撮像部１４の位置関係を説明する説明図である。 生成処理５０のフローチャートである。 表示部１８に表示された特定用画像Ｇｄの第１の表示画面図である。 表示部１８に表示された特定用画像Ｇｄの第２の表示画面図である。 表示部１８に表示された特定用画像Ｇｄの第３の表示画面図である。 表示部１８に表示された特定用画像Ｇｄの第４の表示画面図である。 表示部１８に表示された特定用画像Ｇｄの第５の表示画面図である。

以下、基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、載置台１１、プロービング機構１２、移動機構１３、撮像部１４、標識板１５（図２，３参照）、検査部１６、記憶部１７、表示部１８および処理部１９を備えて、基板１００を検査可能に構成されている。

載置台１１は、図１に示すように、載置面１１ａに載置された基板１００を図外のクランプで固定して保持可能に構成されている。

プロービング機構１２は、処理部１９の制御に従い、載置台１１の載置面１１ａに対して接離する方向（第１方向に相当し、例えば、図３に示すように、載置面１１ａに垂直な方向：以下、「第１方向Ｗ１」ともいう）にプローブ２１（図１参照）を移動させて、基板１００に設けられているプロービングポイントにプローブ２１を接触させるプロービングを行う。また、プロービング機構１２は、処理部１９の制御に従い、プローブ２１に代えてプロービング機構１２に取り付けられた標識板１５（図２，３参照）を第１方向Ｗ１に移動させる。

移動機構１３は、処理部１９の制御に従い、載置台１１の載置面１１ａに沿った方向（第２方向に相当し、図３に示すＸ方向、およびＸ方向に直交するＹ方向：以下、Ｘ方向およびＹ方向を合わせて「ＸＹ方向」ともいう）にプロービング機構１２および撮像部１４を移動させる。この場合、移動機構１３は、プロービング機構１２および撮像部１４をＸＹ方向に一度に（同時に）移動させる。

撮像部１４は、例えば単焦点のカメラで構成され、プロービング機構１２の近傍に配置されて、プロービング機構１２と共に移動機構１３によってＸＹ方向に沿って移動させられる。また、撮像部１４は、処理部１９の制御に従い、載置面１１ａの上方から載置面１１ａ側（載置面１１ａに載置されている基板１００や、載置面１１ａの上に位置している標識板１５の表面１５ａ（図２，３参照））を撮像する。また、撮像部１４は、取り付け姿勢を変更することによって光軸Ｏａ（図３参照）の方向（以下、「光軸方向Ｗ２」ともいう）を調整可能に構成されている。

標識板１５は、標識部材に相当し、上記した第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とにずれが生じているか否かを判定する際に用いられる。具体的には、標識板１５は、一例として、図２に示すように、長方形の板状に形成されると共に、プロービング機構１２に取り付け可能に構成されて、プロービング機構１２によって上記した第１方向Ｗ１に移動させられる。また、標識板１５の表面１５ａには、標識板１５をプロービング機構１２に取り付けた状態において撮像部１４の撮像範囲内に位置する部位に円形の標識Ｍ１が付され（描かれ）ている。また、この標識板１５では、標識Ｍ１が黒色（白色および黒色のうちのいずれか一方の色）に着色され、表面１５ａにおける標識Ｍ１の周囲（標識Ｍ１を除く部分）の色が白色（白色および黒色のうちの他方の色）で着色されている。

検査部１６は、処理部１９の制御に従い、基板１００にプロービングさせられたプローブ２１を介して入力する電気信号に基づき、基板１００の検査を実行する。

記憶部１７は、プロービング機構１２に保持された状態のプローブ２１と撮像部１４とのオフセット量（離間距離）の規定値を示すオフセットデータＤｏを記憶する。また、記憶部１７は、載置台１１に載置された基板１００の位置ずれ量を特定する際に用いる基板１００に設けられている標識Ｍ１の重心の位置を示すデータと、基板１００を検査する際にプローブ２１をプロービングさせるプロービングポイントの位置を示すデータとを含んで構成された基板データＤｂを記憶する。また、記憶部１７は、処理部１９によって実行される後述する生成処理の際に用いる第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれ量の許容範囲Ｓｔ（図５参照）を示す許容範囲データＤｓを記憶する。

表示部１８は、処理部１９によって生成される後述する表示データＤｄに基づく特定用画像Ｇｄ（図５，６参照）を表示する。

処理部１９は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。また、処理部１９は、図４に示す生成処理５０を実行して、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれ量を特定可能な画像としての図５，６に示す特定用画像Ｇｄを表示部１８に表示させるための表示データＤｄを生成する。この場合、処理部１９は、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれ量が許容範囲Ｓｔ内であるか否かを判別してその判別結果を特定用画像Ｇｄ内に含める。また、処理部１９は、プローブ２１をプロービングポイントにプロービングさせる際のプローブ２１の移動量を特定する。

次に、基板検査装置１を用いて基板１００についての検査を行う検査方法について、添付図面を参照して説明する。

ここで、図３に示すように、第１方向Ｗ１が載置台１１の載置面１１ａに対して垂直で、光軸方向Ｗ２が載置面１１ａに対して傾斜している場合、つまり第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とがずれている場合を想定する。この場合には、プロービング機構１２にプローブ２１を取り付けたときのプローブ２１と撮像部１４とのオフセット量（ＸＹ方向の離間距離）が第１方向Ｗ１のプローブ２１の位置（プローブ２１の高さ）によって相違することとなり、後述するオフセット量の特定を正確に行うことが困難となる。このため、検査に先立ち、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とにずれが生じているか否かを判定し、ずれが生じているときには、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とを一致（または、ほぼ一致）させる作業を行う。具体的には、図３に示すように、プローブ２１に代えて標識板１５をプロービング機構１２に取り付ける。次いで、図外の操作部を操作して生成処理の実行を指示し、これに応じて、処理部１９が図４に示す生成処理５０を実行する。

この生成処理５０では、処理部１９は、撮像部１４を制御して、標識板１５の表面１５ａ（表面１５ａにおける標識Ｍ１を含む領域）の撮像を開始させる（ステップ５１）。この場合、撮像部１４は、予め決められた時間Ｔ１（例えば、１／３０秒）間隔で標識板１５の表面１５ａを撮像して画像データＤｇを処理部１９に出力する。

続いて、処理部１９は、プロービング機構１２を制御して、標識板１５を第１方向Ｗ１に沿って往復移動（上下動）させる（ステップ５２）。次いで、処理部１９は、撮像部１４から出力された画像データＤｇに基づいて、標識板１５の画像内における標識Ｍ１のＸＹ方向（載置面１１ａに沿った第２方向）についての時間Ｔ１毎の位置を特定する（ステップ５３）。

この場合、処理部１９は、標識板１５の画像内における標識Ｍ１の位置として、標識Ｍ１の重心Ｃｇの位置を特定する。具体的には、処理部１９は、標識Ｍ１の輪郭を特定し、特定した輪郭の重心Ｃｇを重心サーチ手法を用いて特定する。この場合、この標識板１５では、標識Ｍ１が黒色に着色され、標識Ｍ１の周囲が白色に着色されているため、標識Ｍ１が明瞭に撮像される。したがって、この基板検査装置１では、標識Ｍ１の輪郭を正確に特定することが可能となっている。また、この標識板１５では、標識Ｍ１が円形のため、標識Ｍ１が複雑な形状をなしている場合と比較して、重心サーチ手法を用いた重心Ｃｇの位置を正確にかつ短い処理時間で特定することが可能となっている。

続いて、処理部１９は、許容範囲データＤｓを記憶部１７から読み出し、次いで、許容範囲データＤｓに基づいて第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれ量の許容範囲Ｓｔを特定する（ステップ５４）。

続いて、処理部１９は、ステップ５３において特定した時間Ｔ１毎の重心Ｃｇの位置（標識Ｍ１の位置）に基づいて、予め決められた時間Ｔ２（プロービング機構１２によって移動させられている標識板１５が移動開始位置に復帰するまでに要する時間（１周期））内における重心Ｃｇの位置のＸ方向の最大の変位量（以下、「変位量Ｍｘ」ともいう）、および時間Ｔ２内における重心Ｃｇの位置のＹ方向の最大の変位量（以下、「変位量Ｍｙ」ともいう）を特定する（ステップ５５）。この場合、処理部１９は、図５に示すように、時間Ｔ２の開始時点における重心Ｃｇの位置を原点として、Ｘ方向における原点から正の向きに最も離間した重心Ｃｇの位置と原点から負の向きに最も離間した重心Ｃｇの位置との間の距離を変位量Ｍｘとして特定し、Ｙ方向における原点から正の向きに最も離間した重心Ｃｇの位置と原点から負の向きに最も離間した重心Ｃｇの位置との間の距離を変位量Ｍｙとして特定する。次いで、処理部１９は、変位量Ｍｘおよび変位量Ｍｙがそれぞれ許容範囲Ｓｔ内であるか否かを判別する（ステップ５６）。なお、変位量Ｍｘが、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのＸ方向のずれ量に相当し、変位量Ｍｙが、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのＹ方向のずれ量に相当する。

続いて、処理部１９は、ステップ５３において特定した時間Ｔ１毎の（標識板１５の移動に伴う）重心Ｃｇの位置のＸ方向の変位量を示す画像Ｇ１ｘ、時間Ｔ１毎の重心Ｃｇの位置のＹ方向の変位量を示す画像Ｇ１ｙ、ステップ５４において特定した許容範囲Ｓｔを示す画像Ｇ２、およびステップ５６において判別した判別結果を示す画像Ｇ３を含む特定用画像Ｇｄ（図５参照）のデータを表示データＤｄとして生成して表示部１８に出力する（ステップ５７）。この場合、処理部１９は、同図に示すように、変位量Ｍｘ（Ｘ方向の最大の変位量）の中央値と許容範囲Ｓｔの中央値とが一致し、変位量Ｍｙ（Ｙ方向の最大の変位量）の中央値と許容範囲Ｓｔの中央値とが一致するように、特定用画像Ｇｄ内における画像Ｇ１ｘ、画像Ｇ１ｙおよび画像Ｇ２の配置位置を規定する。これにより、同図に示すように、表示部１８に表示データＤｄに基づく特定用画像Ｇｄが表示される。

次いで、処理部１９は、プロービング機構１２による標識板１５の移動を停止させると共に、撮像部１４による撮像を終了させて（ステップ５８）、この生成処理５０を終了する。

続いて、作業者が、特定用画像Ｇｄに基づき、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とにずれが生じているか否か、およびずれが生じているときにそのずれ量が許容範囲Ｓｔ内か否かを判断する。この場合、図５に示すように、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とにずれが生じていて、そのずれ量（変位量Ｍｘ，Ｍｙ）が許容範囲Ｓｔを超えていることが特定用画像Ｇｄから明確に視認される。この際には、撮像部１４の取り付け姿勢を変更して光軸方向Ｗ２を調整し、次いで、操作部を操作して処理部１９に生成処理５０を再実行させることにより、光軸方向Ｗ２の調整後における特定用画像Ｇｄを表示部１８に表示させる。

続いて、上記したように、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれの有無、およびずれ量が許容範囲Ｓｔ内か否かの判断を特定用画像Ｇｄに基づいて行い、ずれ量が許容範囲Ｓｔを超えていると判断したときには、撮像部１４の取り付け姿勢を再度変更して光軸方向Ｗ２を調整する。以下、図６に示すように、ずれ量（変位量Ｍｘ，Ｍｙ）が許容範囲Ｓｔ内となるまで上記した操作を繰り返して実行する。以上により、第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とを一致（または、ほぼ一致）させる作業が終了する。

次いで、プロービング機構１２から標識板１５を取り外し、プローブ２１をプロービング機構１２に取り付ける。続いて、プローブ２１と撮像部１４とのオフセット量の特定を行う。具体的には、図１に示すように、表面に図外の打痕シート（感圧シート）を取り付けた基板１００を載置台１１の載置面１１ａに載置して図外のクランプで基板１００を固定する。

次いで、操作部を操作して、処理部１９に対してプローブ２１と撮像部１４との間の実際のオフセット量を特定する特定処理の実行を指示する。この特定処理では、処理部１９は、プロービング機構１２および移動機構１３を制御して、予め決められたプロービングポイントにプローブ２１をプロービングさせる。この際に、プローブ２１のプロービングによって打痕シートに打痕が形成される。

続いて、処理部１９は、記憶部１７からオフセットデータＤｏを読み出して、プローブ２１と撮像部１４とのオフセット量の規定値をオフセットデータＤｏに基づいて特定する。次いで、処理部１９は、プロービングポイントの上方に撮像部１４を位置させるのに必要なＸＹ方向の移動量を、プロービングポイントの位置とオフセット量の規定値とに基づいて特定する。続いて、処理部１９は、移動機構１３を制御して、プロービング位置の上方に撮像部１４を移動させる。次いで、処理部１９は、撮像部１４を制御して基板１００の上面を撮像させる。

続いて、処理部１９は、撮像部１４によって撮像された撮像画像に基づいて撮像部１４の中心の位置と打痕の中心の位置との位置ずれ量を特定し、プローブ２１と撮像部１４との間のオフセット量の規定値を、特定した位置ずれ量に基づいて補正して実際のオフセット量を特定する。以上により、特定処理が終了する。

次いで、打痕シートを取り付けた基板１００に代えて、検査対象の基板１００を載置台１１の載置面１１ａに載置して固定し、続いて、操作部を操作して、処理部１９に対して検査処理の実行を指示する。この検査処理では、処理部１９は、記憶部１７から基板データＤｂを読み出して、基板データＤｂに基づいて標識Ｍ１の位置を特定する。次いで、処理部１９は、移動機構１３を制御して、標識Ｍ１の上方の位置に撮像部１４を移動させ、続いて、撮像部１４を制御して、基板１００の表面における標識Ｍ１を含む領域を撮像させる。次いで、処理部１９は、撮像部１４によって撮像された撮像画像に基づいて標識Ｍ１の重心の位置と撮像部１４の中心の位置との位置ずれ量（基板１００の位置ずれ量に相当する）を特定して記憶部１７に記憶させる。

続いて、処理部１９は、基板データＤｂに基づいてプロービングポイントの位置を特定し、そのプロービングポイントの位置にプローブ２１をプロービングさせるのに必要な移動量を、基板１００の位置ずれ量、およびプローブ２１と撮像部１４との間の実際のオフセット量に基づいて特定する。次いで、処理部１９は、プロービング機構１２および移動機構１３を制御して、特定した移動量だけプローブ２１を移動させてプロービングポイントにプローブ２１をプロービングさせる。

続いて、処理部１９は、検査部１６に対して検査の実行を指示する。これに応じて、検査部１６が、プローブ２１を介して入出力した電気信号に基づき、基板１００についての検査を実行する。次いで、処理部１９は、検査部１６による検査の結果を表示部１８に表示させる。以上により、基板１００の検査が終了する。

このように、この基板検査装置１では、処理部１９が、第１方向Ｗ１に標識板１５が移動させられている状態で撮像部１４によって撮像された標識Ｍ１を含む標識板１５の画像内における標識Ｍ１のＸＹ方向の位置を特定し、標識板１５の移動に伴う標識Ｍ１の位置のＸＹ方向の変位量および変位量の許容範囲Ｓｔを示す特定用画像Ｇｄのデータを表示データＤｄとして生成する。したがって、この基板検査装置１によれば、標識Ｍ１の画像を見て標識Ｍ１が移動しているか否かを作業者が判断する従来の構成とは異なり、標識Ｍ１の画像が不明瞭なときに標識Ｍ１の移動状態の確認が困難となる事態や、作業者の熟練度などによって第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれの有無の判定結果に個人差が生じる事態が回避されて、表示データＤｄに基づく特定用画像Ｇｄから第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれの有無を正確に把握することができる。

また、この基板検査装置１によれば、処理部１９が、標識Ｍ１における重心Ｃｇの位置を標識Ｍ１の位置として特定することにより、例えば、パターンマッチング手法で標識Ｍ１の位置を特定して位置の変位量を特定する構成と比較して、位置の変位量を正確にかつ短い処理時間で特定することができる。

また、この基板検査装置１によれば、標識Ｍ１を円形に形成したことにより、重心サーチ手法を用いて標識Ｍ１の位置としての標識Ｍ１の重心Ｃｇの位置を特定する際に、標識Ｍ１が複雑な形状の場合と比較して、重心Ｃｇの位置をより正確に特定することができる。

また、この基板検査装置１によれば、標識板１５における標識Ｍ１の色を黒色（白色および黒色のうちのいずれか一方の色）に着色し、標識板１５における標識Ｍ１の周囲の色を白色（白色および黒色のうちの他方の色）に着色したことにより、標識Ｍ１を明瞭に撮像することができるため、標識Ｍ１の輪郭を正確に特定することができる。したがって、この基板検査装置１によれば、重心サーチ手法を用いて標識Ｍ１の位置としての標識Ｍ１の重心Ｃｇの位置を特定する際に、重心Ｃｇの位置をさらに正確に特定することができる。

また、この基板検査装置１によれば、処理部１９が、標識Ｍ１の位置のＸＹ方向の変位量が許容範囲Ｓｔ内であるか否かを判別し、判別の結果を表示部１８に表示させることにより、標識Ｍ１の位置のＸＹ方向の変位量が許容範囲Ｓｔ内であるか否かを、作業者が表示データＤｄに基づく特定用画像Ｇｄから判断して第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれの有無を判定する構成とは異なり、見間違いによる誤判定を確実に防止することができる。

なお、基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、特定用画像Ｇｄの表示態様は、上記した表示態様（図５，６に示す表示態様）に限定されない。例えば、図７に示すように、標識Ｍ１の位置のＸ方向の変位量を示す画像Ｇ１ｘと、標識Ｍ１の位置のＹ方向の変位量を示す画像Ｇ１ｙとを重ねて表示する構成を採用することもできる。

また、図８に示すように、標識Ｍ１の位置のＸ方向の変位量、Ｙ方向の変位量、および許容範囲Ｓｔをそれぞれ文字の画像で表示する構成を採用することもできる。

また、処理部１９が、重心Ｃｇの位置のＸＹ方向の変位量が許容範囲Ｓｔであるか否かを判別し、判別結果を示す画像Ｇ３を特定用画像Ｇｄに含める例について上記したが、判別結果を画像Ｇ３とは異なる形態で報知する構成を採用することもできる。一例として、判別結果を音で報知したり、発光体を設けて、この発光体を発光させて判別結果を光で報知したりする構成を採用することができる。また、音および光を組み合わせて報知する構成を採用することもできる。また、処理部１９が判定を行わない（つまり、判定結果を報知しない）構成を採用することもできる。

また、標識Ｍ１の位置の変位量をＸ方向およびＹ方向に分けて表示する例について上記したが、標識Ｍ１の位置の変位量をＸ方向およびＹ方向に分けて表示させることなく、図９に示すように、標識Ｍ１の重心Ｃｇの位置の移動軌跡を示す画像Ｇ４をＸＹ方向の変位量を示す画像として表示する構成を採用することもできる。

また、標識Ｍ１を円形に形成した例について上記したが、円形以外の形状、例えば、三角形および四角形などの多角形や、十字形などの形状に形成した標識Ｍ１を採用することもできる。

また、標識板１５における標識Ｍ１を黒色に着色し、標識板１５における標識Ｍ１の周囲を白色に着色した例について上記したが、標識Ｍ１を白色に着色し、標識Ｍ１の周囲を黒色に着色する構成を採用することもできる。また、白色および黒色以外の色で標識Ｍ１および標識Ｍ１の周囲を着色する（ただし、標識Ｍ１と標識Ｍ１の周囲とは異なる色とする）構成を採用することもできる。

また、標識部材として長方形の板状に形成した標識板１５を用いる例について上記したが、円形、および長方形以外の多角形の板状や、柱状等の各種の形状の標識部材を用いることができる。

また、重心サーチ手法を用いて特定した重心Ｃｇの位置を標識Ｍ１の位置とする例について上記したが、パターンマッチング手法で標識Ｍ１を特定する採用することもできる。

また、第１方向Ｗ１が載置台１１の載置面１１ａに対して垂直で、光軸方向Ｗ２が載置面１１ａに対して傾斜している場合（図３参照）に適用した例について上記したが、第１方向Ｗ１が載置面１１ａに対して傾斜し、光軸方向Ｗ２が載置面１１ａに対して垂直な場合や、第１方向Ｗ１および光軸方向Ｗ２の双方が載置面１１ａに対して傾斜している場合に適用することもでき、これらの場合においても、表示データＤｄに基づく特定用画像Ｇｄから第１方向Ｗ１と光軸方向Ｗ２とのずれの有無を正確に把握することができる。

１ 基板検査装置
１１ 載置台
１１ａ 載置面
１２ プロービング機構
１４ 撮像部
１５ 標識板
１８ 表示部
１９ 処理部
２１ プローブ
５０ 生成処理
１００ 基板
Ｃｇ 重心
Ｄｄ 表示データ
Ｍｘ，Ｍｙ 変位量
Ｇ１ｘ，Ｇ１ｙ，Ｇ２〜Ｇ４ 画像
Ｇｄ 特定用画像
Ｍ１ 標識
Ｏａ 光軸
Ｓｔ 許容範囲
Ｘ，Ｙ 第２方向
Ｗ１ 第１方向
Ｗ２ 光軸方向

Claims (5)

1. 検査対象の基板が載置される載置面に対して接離する第１方向にプローブを移動させてプロービングを行うプロービング機構と、前記プロービング機構の近傍に配置されると共に光軸の方向を調整可能に構成されて前記基板の画像を撮像する撮像部とを備えた基板検査装置であって、
   前記第１方向と前記光軸の方向とのずれ量を特定可能な特定用画像を表示部に表示させる表示データを生成する生成処理を行う処理部と、標識が付されると共に前記プロービング機構に取り付け可能に構成されて当該プロービング機構によって前記第１方向に移動させられる標識部材とを備え、
   前記処理部は、前記生成処理において、前記標識部材が前記プロービング機構によって前記第１方向に往復移動させられている最中に前記撮像部によって撮像された当該標識部材の複数の画像内における前記標識の前記載置面に沿った第２方向の位置をそれぞれ特定し、特定した前記標識の各位置に基づき、前記標識部材の前記往復移動に伴って当該標識の位置が前記第２方向に変位した変位量を特定すると共に、特定した前記変位量および当該変位量の許容範囲を示す前記特定用画像のデータを前記表示データとして生成する基板検査装置。
2. 前記処理部は、前記生成処理において、前記標識における重心の位置を前記標識の各位置としてそれぞれ特定する請求項１記載の基板検査装置。
3. 前記標識は、円形に形成されている請求項１または２記載の基板検査装置。
4. 前記標識部材は、前記標識の色が白色および黒色のうちのいずれか一方の色に着色され、前記標識の周囲の色が白色および黒色のうちの他方の色に着色されている請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置。
5. 前記処理部は、前記変位量が前記許容範囲内であるか否かを判別し、当該判別の結果を報知する請求項１から４のいずれかに記載の基板検査装置。

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