JP6793799B2 - ネガ型硬化性着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、パターン形成方法及び装置 - Google Patents

ネガ型硬化性着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、パターン形成方法及び装置 Download PDF

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Description

本発明は、ネガ型硬化性着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、パターン形成方法及び装置に関する。
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子(CCD)イメージセンサーなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。カラーフィルタは、通常、赤、緑、及び、青の3原色の着色パターンを備えており、透過光を3原色へ分解する役割を果たしている。
例えば、特許文献1〜3には、キサンテン色素を含むネガ型硬化性着色組成物を用いてカラーフィルタを製造することが記載されている。
特開2014−199436号公報 特開2010−249870号公報 特開2015−68962号公報
カラーフィルタは、ネガ型硬化性着色組成物を用いて基材上にネガ型硬化性着色組成物層を形成し、露光及び現像を行って画素(着色パターン)を形成する。この操作を所望の色相分繰り返して、カラーフィルタを製造している。
このため、カラーフィルタ用のネガ型硬化性着色組成物においては、他色との混色が生じにくい硬化膜を形成可能なものが求められており、近年においては、上記性能のさらなる向上が求められている。
よって、本発明の目的は、他色との混色が生じにくい硬化膜を形成できるネガ型硬化性着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、パターン形成方法及び装置を提供することにある。
本発明者らは、種々検討した結果、着色剤と、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む、ネガ型硬化性着色組成物において、更に酸発生剤を含有させることで、他色との混色が生じにくい硬化膜が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は、以下を提供する。
<1> 着色剤と、酸発生剤と、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む、ネガ型硬化性着色組成物。
<2> 酸発生剤は、熱酸発生剤を含む、<1>に記載のネガ型硬化性着色組成物。
<3> 酸発生剤は、pKaが4以下の酸を発生する化合物である、<1>又は<2>に記載のネガ型硬化性着色組成物。
<4> 酸発生剤の分子量が200〜1000である、<1>〜<3>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物。
<5> 酸発生剤の含有量が、ネガ型硬化性着色組成物の全固形分に対して、1〜20質量%である、<1>〜<4>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物。
<6> 酸発生剤と光ラジカル重合性化合物との質量比が、酸発生剤:光ラジカル重合性化合物=1:1〜1:5である、<1>〜<5>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物。
<7> 着色剤は、カチオンとアニオンとを有する色素を含む、<1>〜<6>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物。
<8> カチオンと、アニオンとが、共有結合を介して結合している、<7>に記載のネガ型硬化性着色組成物。
<9> カチオンは、キサンテン構造を有するカチオンである、<7>又は<8>に記載のネガ型硬化性着色組成物。
<10> キサンテン構造を有するカチオンは、下記一般式(1)で表される骨格構造を有する、<9>に記載のネガ型硬化性着色組成物;
式中、Ar及びArは、それぞれ独立に、アリール基を表す。
<11> アニオンが、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンから選択される少なくとも一種である、<7>〜<10>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物。
<12> 着色剤は、色素多量体を含む、<1>〜<11>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物。
<13> <1>〜<12>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物を用いてなる硬化膜。
<14> <13>に硬化膜を有するカラーフィルタ。
<15> <1>〜<12>のいずれかに記載のネガ型硬化性着色組成物を用いて支持体上にネガ型硬化性着色組成物層を形成する工程と、ネガ型硬化性着色組成物をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程と、を含むパターン形成方法。
<16> ネガ型硬化性着色組成物が、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤と、熱酸発生剤とを含み、
着色パターンを形成する工程の後、着色パターンを加熱する工程を更に有する、<15>に記載のパターン形成方法。
<17> ネガ型硬化性着色組成物が、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤と、光酸発生剤とを含み、
着色パターンを形成する工程の後、着色パターンを露光する工程を更に有する、<15>又は<16>に記載のパターン形成方法。
<18> <14>に記載のカラーフィルタを有する装置であって、装置が、固体撮像素子又は画像表示装置である、装置。
本発明によれば、他色との混色が生じにくい硬化膜を形成できるネガ型硬化性着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、パターン形成方法及び装置を提供することが可能になった。
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において光とは、活性光線又は放射線を意味する。また、「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極端紫外線(EUV光)、X線、電子線等を意味する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯、エキシマレーザに代表される遠紫外線、X線、EUV光などを用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、着色組成物の全組成から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、「(メタ)アリル」は、アリル及びメタリルの双方、又は、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルの双方、又は、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ(GPC)測定でのポリスチレン換算値として定義される。
<ネガ型硬化性着色組成物>
本発明のネガ型硬化性着色組成物は、着色剤と、酸発生剤と、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む。
本発明のネガ型硬化性着色組成物は、上記構成とすることにより、他色との混色が生じにくい硬化膜を形成できる。このような効果が得られるメカニズムは、以下によると推測する。
従来のネガ型硬化性着色組成物の場合、露光及び現像を経て硬化膜を製造した際、現像によって着色剤の活性部位が露出することがある。着色剤の活性部位が露出した硬化膜上に、他色のネガ型硬化性着色組成物を適用すると、他色のネガ型硬化性着色組成物が吸着して、混色が生じることがあったが、本発明のネガ型硬化性着色組成物は、酸発生剤を含むので、現像時に着色剤の表面の活性部位が露出しても、酸発生剤によって発生した酸成分が着色剤の表面に吸着できると考えられる。このため、本発明によれば、他色との混色が生じにくい硬化膜を形成することが可能になったと考えられる。
また、他色との混色が生じにくいことから、現像前後の分光変動を抑制することもでき、分光特性に優れた硬化膜を得ることができる。特に、着色剤として、カチオンとアニオンとを有する色素を含むものを用いた場合においては、酸発生剤を含有しない場合に比べて、現像前後の分光変動を効果的に抑制でき、より顕著な効果が得られる。
以下、本発明のネガ型硬化性着色組成物の各成分について説明する。また、以下において、ネガ型硬化性着色組成物を、着色組成物とも記載する。
<<着色剤>>
本発明の着色組成物は、着色剤を含有する。着色剤は、低分子化合物、色素多量体のいずれであってもよいが、他色との混色をより効果的に抑制できるという理由から色素多量体が好ましい。低分子化合物の着色剤の分子量は、2000未満が好ましく、200〜1500がより好ましい。
本発明において、着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。また、顔料と染料とを併用することもできる。
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を挙げることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、平均粒子径がなるべく小さい顔料の使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、0.01〜0.1μmが好ましく、0.01〜0.05μmがより好ましい。
無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色顔料、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び上記金属の複合酸化物を挙げることができる。
有機顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。
カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等、
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等、
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80
C.I.ピグメントブラック 1
これら有機顔料は、単独若しくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。
染料としては、例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、米国特許5667920号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。また、染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開2011−213925号公報、特開2013−041097号公報に記載されている化合物が挙げられる。
また、着色剤として、特開2013−41097号公報の段落0084〜0134の記載、及び特開2011−162760号公報の段落0029〜0136に記載のアゾ色素を用いることもできる。
本発明において、着色剤は、カチオンとアニオンとを有する色素が好ましい。カチオンとアニオンとを有する色素を用いた場合、本発明の効果がより顕著に得られる。
カチオンとアニオンとを有する色素において、アニオンは、カチオンの分子外に有していてもよいが、カチオンと共有結合を介して結合していることが好ましい。なお、アニオンが、カチオンの分子外に有するとは、カチオンとアニオンが共有結合を介して結合せず、別化合物として存在している場合をいう。以下、カチオンの分子外のアニオンを対アニオンともいう。
カチオンとアニオンとを有する色素としては、キサンテン色素、トリアリールメタン色素、ポリメチン色素(オキソノール色素、メロシアニン色素、アリーリデン色素、スチリル色素、シアニン色素、スクアリリウム色素、クロコニウム色素など)などが挙げられ、キサンテン色素、トリアリールメタン色素、が好ましく、キサンテン色素がより好ましい。なお、キサンテン色素は、キサンテン骨格を有するカチオンと、アニオンとを有する色素である。
(キサンテン色素)
本発明において、キサンテン色素としては、下記式(J)で表される構造が例示される。
式(J)中、R81、R82、R83及びR84は、各々独立に、水素原子又は1価の置換基を表し、R85は、各々独立に1価の置換基を表し、mは、0〜5の整数を表す。Xは、対アニオンを表す。Xが存在しない場合は、R81〜R85の少なくとも1つがアニオンを含む。
キサンテン色素が色素多量体である場合、式(J)中、R81〜R85のいずれか1つを介して、色素多量体の他の部位と結合していることが好ましく、より好ましくは、R85を介して色素多量体の他の部位と結合している。
式(J)におけるR81〜R85が取りうる置換基は、後述する置換基群A及び、後述するアニオンを含む基が挙げられる。
(置換基A群)
アルキル基(好ましくは炭素数1〜30)、アルケニル基(好ましくは炭素数2〜30)、アルキニル基(好ましくは炭素数2〜30)、アリール基(好ましくは炭素数6〜30)、アミノ基(好ましくは炭素数0〜30)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6〜30)、芳香族ヘテロ環オキシ基(好ましくは炭素数1〜30)、アシル基(好ましくは炭素数2〜30)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜30)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7〜30)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2〜30)、アシルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30)、アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2〜30)、アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数7〜30)、スルホニルアミノ基(好ましくは炭素数0〜30)、スルファモイル基(好ましくは炭素数0〜30)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1〜30)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1〜30)、アリールチオ基(好ましくは炭素数6〜30)、芳香族ヘテロ環チオ基(好ましくは炭素数1〜30)、スルホニル基(好ましくは炭素数0〜30)、スルフィニル基(好ましくは炭素数0〜30)、ウレイド基(好ましくは炭素数1〜30)、リン酸アミド基(好ましくは炭素数0〜30)、ヒドロキシ基、メルカプト基、ハロゲン原子、シアノ基、スルホ基、カルボキシ基、ニトロ基、ヒドロキサム酸基、スルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基、ヘテロアリール基(好ましくは炭素数1〜30)。
これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、上述した置換基A群で説明した基、及び、後述するアニオンを含む基などが挙げられる。
上記置換基群Aの詳細については、特開2014−237809号公報の段落番号0042〜0053の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれることとする。
式(J)中のR81とR82、R83とR84、及びmが2以上の場合のR85同士は、各々独立に、互いに結合して5員、6員若しくは7員の飽和環、又は5員、6員若しくは7員の不飽和環を形成していてもよい。形成する環としては、例えば、ピロール環、フラン環、チオフェン環、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピロリジン環、ピペリジン環、シクロペンテン環、シクロヘキセン環、ベンゼン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環が挙げられ、好ましくは、ベンゼン環、ピリジン環が挙げられる。
形成される環が、さらに置換可能な基である場合には、R81〜R85で説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
式(J)において、R82及びR84は、それぞれ独立に、水素原子又はアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。R81及びR83は、それぞれ独立に、アルキル基又はアリール基であることが好ましく、アリール基がより好ましい。R85は、ハロゲン原子、アルキル基、スルホ基、スルホンアミド基、カルボキシ基、アミド基であることが好ましく、スルホ基、スルホンアミド基、カルボキシ基、アミド基であることがさらに好ましい。
が、アニオンを表す場合、後述の対アニオンが別分子の場合の記載を参酌できる。
81〜R85の少なくとも1つがアニオンを含む場合、アニオンとしては、−SO 、−COO、−PO 、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンが好ましく、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンがより好ましく、ビス(スルホニル)イミドアニオン及びトリス(スルホニル)メチドアニオンが更に好ましい。
具体的には、R81〜R85の少なくとも1つが、一般式(P)で置換された構造が挙げられる。
一般式(P)
一般式(P)中、Lは単結合又は2価の連結基を表し、Xは、アニオンを表す。
一般式(P)中、Lは単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、−NR10−、−O−、−SO−、フッ素原子を含むアルキレン基、フッ素原子を含むアリーレン基又はこれらの組み合わせからなる基を表すことが好ましい。特に、−NR10−と−SOとフッ素原子を含むアルキレン基との組み合わせからなる基、−O−とフッ素原子を含むアリーレン基との組み合わせからなる基、又は、−NR10−と−SOとフッ素原子を含むアルキレン基との組み合わせからなる基が好ましい。
−NR10−において、R10は、水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、水素原子が好ましい。
フッ素原子を含むアルキレン基の炭素数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜3がさらに好ましい。これらのアルキレン基は、ペルフルオロアルキレン基がより好ましい。フッ素原子を含むアルキレン基の具体例としては、ジフルオロメチレン基、テトラフルオロエチレン基、ヘキサフルオロプロピレン基などが挙げられる。
フッ素原子を含むアリーレン基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。フッ素原子を含むアリーレン基の具体例としては、テトラフルオロフェニレン基、ヘキサフルオロ−1−ナフチレン基、ヘキサフルオロ−2−ナフチレン基などが挙げられる。
一般式(P)中、Xは、アニオンを表し、−SO 、−COO、−PO 、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンから選ばれる1種が好ましく、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンから選ばれる1種がより好ましく、ビス(スルホニル)イミドアニオン又はトリス(スルホニル)メチドアニオンが更に好ましい。
81〜R85の少なくとも1つがアニオンを含む場合、R81〜R85の少なくとも1つが、一般式(P−1)で置換された構造も好ましい。
一般式(P−1)
一般式(P−1)中、Lは、単結合又は2価の連結基を表し、単結合であることが好ましい。Lが表す2価の連結基としては、炭素数1〜6のアルキレン基、炭素数6〜12のアリーレン基、−O−、−S−、又はこれらの組み合わせからなる基等が挙げられる。
は、−SO−又は−CO−を表す。
Gは、炭素原子又は窒素原子を表す。
n1は、Gが炭素原子の場合2を表し、Gが窒素原子の場合1を表す。
は、フッ素原子を含むアルキル基又はフッ素原子を含むアリール基を表す。n1が2の場合、2つのRはそれぞれ同一でも異なっていても良い。
が表すフッ素原子を含むアルキル基の炭素数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜3がさらに好ましい。
が表すフッ素原子を含むアリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。
本発明において、キサンテン構造を有するカチオンは、下記一般式(1)で表される骨格構造を有することが好ましい。下記骨格構造のキサンテン色素を用いた場合、他色との混色及び、現像後の分光変動をより抑制できる。
式中、Ar及びArは、それぞれ独立に、アリール基を表す。
なお、キサンテン色素においてカチオンは、以下のように非局在化して存在している。
(対アニオン)
本発明において、着色剤が、カチオンと対アニオンとで構成される場合、対アニオンとしては特に制限は無いが、耐熱性の観点で非求核性のアニオンであることが好ましい。非求核性のアニオンとしては、特開2007−310315号公報の段落番号0075等に記載の公知の非求核性アニオンが好ましい。ここで、非求核性とは、加熱により色素を求核攻撃しない性質を意味する。
対アニオンとしては、スルホン酸アニオン、カルボン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン、カルボン酸アニオン、テトラアリールボレートアニオン、−CONCO−、−CONSO−、BF 、PF 、SbF 、B(CN)OCHから選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。より好ましくは、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンから選ばれる少なくとも一種であり、さらに好ましくは、ビス(スルホニル)イミドアニオン及びトリス(スルホニル)メチドアニオンから選ばれる少なくとも一種である。
対アニオンは、下記(AN−1)〜(AN−5)で表される構造を有する非求核性アニオンであることがより好ましい。
式(AN−1)中、X及びXは、それぞれ独立に、フッ素原子又はフッ素原子を有する炭素数1〜10のアルキル基を表す。X及びXは互いに結合して環を形成しても良い。
及びXは、それぞれ独立に、フッ素原子又はフッ素原子を有する炭素数1〜10のアルキル基を表し、フッ素原子又はフッ素原子を有する炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であることがさらに好ましく、トリフルオロメチル基が特に好ましい。
式(AN−2)中、X、X及びXはそれぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜10のフッ素原子を有するアルキル基を表す。
、X及びXは、それぞれ独立に、X及びXと同義であり、好ましい範囲も同義である。
式(AN−3)中、Xは炭素数1〜10のフッ素原子を有するアルキル基を表す。
は、炭素数1〜10のペルフルオロアルキル基であることが好ましく、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であることがさらに好ましい。
式(AN−4)中、Xは炭素数1〜10のフッ素原子を有するアルキレン基を表す。
は、炭素数1〜10のペルフルオロアルキレン基であることが好ましく、炭素数1〜4のペルフルオロアルキレン基であることがさらに好ましい。
式(AN−5)中、Ar、Ar、Ar及びArは、それぞれ独立に、アリール基を表す。
Ar、Ar、Ar及びArは、それぞれ独立に、炭素数6〜20のアリール基が好ましく、炭素数6〜14のアリール基がより好ましく、炭素数6〜10のアリール基がさらに好ましい。
Ar、Ar、Ar及びArが表わすアリール基は、置換基を有しても良い。置換基を有する場合、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルバモイル基、スルホ基、スルホンアミド基、ニトロ基等が挙げられ、ハロゲン原子及びアルキル基が好ましく、フッ素原子、アルキル基がより好ましく、フッ素原子、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基がさらに好ましい。
Ar、Ar、Ar及びArは、それぞれ独立に、ハロゲン原子及び/又はハロゲン原子を有するアルキル基を有するフェニル基がより好ましく、フッ素原子及び/又はフッ素原子を有するアルキル基を有するフェニル基がさらに好ましい。
非求核性の対アニオンは、また、B(CN)n1(OR4−n1(Rは炭素数1〜10のアルキル基又は炭素数6〜10のアリール基を表し、n1は1〜4の整数を表す)であることが好ましい。炭素数1〜10のアルキル基としてのRは、炭素数1〜6のアルキル基が好ましく、炭素数1〜4のアルキル基がより好ましい。炭素数6〜10のアリール基としてのRは、フェニル基、ナフチル基が好ましい。
n1は、1〜3が好ましく、1〜2がより好ましい。
非求核性の対アニオンは、さらにまた、PF (6−n2) (Rは炭素数1〜10のフッ素化アルキル基を表し、n2は1〜6の整数を表す)であることが好ましい。Rは、炭素数1〜6のフッ素原子を有するアルキル基が好ましく、炭素数1〜4のフッ素を有するアルキル基がより好ましく、炭素数1〜3のペルフルオロアルキル基がさらに好ましい。
n2は、1〜4の整数が好ましく、1又は2がより好ましい。
非求核性対アニオンの1分子あたりの質量は、100〜1,000が好ましく、200〜500がより好ましい。
以下に、非求核性の対アニオンの具体例を示すが本発明はこれに限定されるものではない。
(色素多量体)
次に、色素多量体の好ましい実施形態を説明する。色素多量体は、一分子中に、色素構造を2以上有することが好ましく、3以上有することがより好ましい。上限は、特に限定はないが、100以下とすることもできる。一分子中に有する色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。なお、本発明において、異なる色素構造とは、色素骨格が異なる色素構造のみならず、色素骨格が同一であって、かつ、色素骨格に結合している置換基の種類が異なる色素構造を含むこととする。
本発明の色素多量体は、2価以上の連結基に、色素構造が2以上結合してなる構造を有することが好ましい。
また、本発明の色素多量体は、側鎖に色素構造を有する繰り返し単位、及び、主鎖に色素構造を有する繰り返し単位から選ばれる少なくとも1つを含んでなることが好ましい。
また、本発明の色素多量体は、後述する一般式(A)、一般式(B)及び一般式(C)で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含んでなるか、又は後述する一般式(D)で表されることが好ましい。すなわち、本発明の色素多量体は、後述する一般式(A)で表される繰り返し単位を有する色素多量体(色素多量体(A)ともいう)、後述する一般式(B)で表される繰り返し単位を有する色素多量体(色素多量体(B)ともいう)、後述する一般式(C)で表される繰り返し単位を有する色素多量体(色素多量体(C)ともいう)、及び、一般式(D)で表される色素多量体(色素多量体(D)ともいう)が好ましい。色素多量体(A)、色素多量体(C)及び色素多量体(D)がより好ましく、色素多量体(A)及び色素多量体(D)が特に好ましい。
[色素多量体(A)]
色素多量体(A)は、下記式一般式(A)で表される繰り返し単位を含む。色素多量体(A)は、下記一般式(A)で表される繰り返し単位の割合が、色素多量体を構成する全繰り返し単位の10〜100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましく、50質量%以上が特に好ましい。上限は、95質量%以下がより好ましい。
一般式(A)中、Xは繰り返し単位の主鎖を表し、Lは単結合又は2価の連結基を表す。DyeIは、色素構造を表す。
一般式(A)中、Xは繰り返し単位の主鎖を表し、通常、重合反応で形成される連結基を表し、例えば、(メタ)アクリル基、スチレン基、ビニル基、エーテル基を有する化合物由来の主鎖が好ましい。また、主鎖に環状のアルキレン基を有する態様も好ましい。Xとしては、公知の重合可能なモノマーから形成される連結基であれば得に制限ない。下記(XX−1)〜(XX−30)で表される連結基が挙げられ、下記(XX−1)〜(XX−24)で表される連結基が好ましく、(XX−1)、(XX−2)、(XX−10)〜(XX−17)、(XX−18)、(XX−19)及び(XX−24)から選択されることがより好ましく、(XX−1)、(XX−2)、(XX−10)〜(XX−17)及び(XX−24)から選択されることがさらに好ましく、(XX−1)、(XX−2)及び(XX−11)から選択されることが特に好ましい。
式中、*で示された部位でLと連結していることを表す。Meはメチル基を表す。また、(XX−18)及び(XX−19)中のRは、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又はフェニル基を表す。
は単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、炭素数1〜30のアルキレン基、炭素数6〜30のアリーレン基、ヘテロ環連結基、−CH=CH−、−O−、−S−、−C(=O)−、−CO−、−NR−、−CONR−、−OC−、−SO−、−SO−及びこれらを2個以上連結して形成される連結基、式(L−1)で表される基が挙げられる。ここで、Rは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。
アルキレン基及びアルキル基の炭素数は、1〜30が好ましい。上限は、25以下がより好ましく、20以下が更に好ましい。下限は、2以上がより好ましく、3以上が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
アリーレン基及びアリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。
ヘテロ環連結基及びヘテロ環基は、5員環又は6員環が好ましい。ヘテロ環連結基及びヘテロ環基が有するヘテロ原子は、酸素原子、窒素原子及び硫黄原子が好ましい。ヘテロ環連結基及びヘテロ環基が有するヘテロ原子の数は、1〜3個が好ましい。
式中、*1で示された部位で式(A)のXと連結し、*2で示された部位で、式(A)のDyeIと連結する。
11は、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、炭素数1〜6のアルキレン基、炭素数6〜18のアリーレン基、−O−、−CO−、−S−、−SO−、−NR−又はこれらの組み合わせからなる基等が挙げられる。アルキレン基は、直鎖状、分岐状又は環状のいずれであってもよい。アリーレン基は、単環であっても多環であってもよい。−NR−において、R及びRは、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、R及びRが互いに結合して環を形成していてもよい。
12は、−SO−又は−CO−を表す。
13は、2価の連結基を表す。2価の連結基としては、L11で説明した基が挙げられ、炭素数6〜18のアリーレン基(好ましくはフェニレン基)、−O−、−CO−、−S−、−NR−又はこれらの組み合わせからなる基が好ましく、フェニレン基と−O−と−CO−との組み合わせからなる基がより好ましい。
Gは、炭素原子又は窒素原子を表す。
n2は、Gが炭素原子の場合1を表し、Gが窒素原子の場合0を表す。
7Aは、フッ素原子を含むアルキレン基又はフッ素原子を含むアリーレン基を表す。アルキレン基の炭素数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜3がさらに好ましい。アリーレン基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。
7Bは、フッ素原子を含むアルキル基又はフッ素原子を含むアリール基を表す。アルキル基の炭素数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜3がさらに好ましい。アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜14がより好ましく、6〜10がさらに好ましい。
一般式(A)において、DyeIは、色素構造を表す。色素構造としては、キサンテン色素、トリアリールメタン色素、ポリメチン色素、ジピロメテン色素、アゾ色素、ジケトピロロピロール色素、フタロシアニン色素及びナフタロシアニン色素から選ばれる色素化合物に由来する色素構造などが挙げられ、キサンテン色素、トリアリールメタン色素から選ばれる色素化合物に由来する色素構造が好ましく、キサンテン色素に由来する色素構造がより好ましい。
DyeIは、色素化合物の一部が、L又はXと連結していることが好ましい。
DyeIは、色素化合物が有する任意の水素原子を1個以上取り除いた構造が好ましい。
一般式(A)で表される繰り返し単位を含む色素多量体は、(1)色素骨格を有するモノマーを付加重合により合成する方法、(2)イソシアネート基、酸無水物基又はエポキシ基等の高反応性官能基を有するポリマーと、高反応性基と反応可能な官能基(ヒドロキシ基、一級又は二級アミノ基、カルボキシ基等)を有する色素とを反応させる方法により合成できる。
付加重合には公知の付加重合(ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合)が適用できるが、このうち、特にラジカル重合により合成することが反応条件を穏和化でき、色素骨格を分解させないため好ましい。ラジカル重合には、公知の反応条件を適用することができる。
一般式(A)で表される繰り返し単位を有する色素多量体は、耐熱性の観点から、エチレン性不飽和結合を有する色素単量体を用いてラジカル重合して得られたラジカル重合体であることが好ましい。
(他の繰り返し単位)
本発明における色素多量体は、一般式(A)で表される繰り返し単位の他に、他の繰り返し単位を含んでいてもよい。他の繰り返し単位は、硬化性基、酸基等の官能基を含んでいてもよい。官能基を含んでいなくてもよい。色素多量体は、酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
硬化性基としては、ラジカル重合性基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタニル基)、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。ラジカル重合性基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等のエチレン性不飽和結合を含む基が挙げられる。硬化性基は、ラジカル重合性基が好ましい。
硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、色素多量体を構成する全繰り返し単位の0〜50質量%であることが好ましい。下限は、1質量%以上がより好ましく、3質量%以上が更に好ましい。上限は、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
酸基としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基が例示される。酸基は1種のみ含まれていても良いし、2種以上含まれていても良い。
酸基を有する繰り返し単位の割合は、色素多量体を構成する全繰り返し単位の0〜50質量%であることが好ましい。下限は、1質量%以上がより好ましく、3質量%以上が更に好ましい。上限は、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
その他の官能基として、2〜20個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基、ラクトン、酸無水物、アミド、シアノ基等の現像促進基、長鎖及び環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、ポリアルキレンオキシド基、ヒドロキシ基、マレイミド基、アミノ基等の親疏水性調整基等が挙げられ、適宜導入することができる。
2〜20個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基において、アルキレンオキシ鎖の繰り返しの数は、2〜10個が好ましく、2〜15個がより好ましく、2〜10個がさらに好ましい。1つのアルキレンオキシ鎖は、−(CHO−で表され、nは整数であるが、nは1〜10が好ましく、1〜5がより好ましく、2又は3がさらに好ましい。
他の繰り返し単位の具体例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
[色素多量体(B)]
色素多量体(B)は、下記式一般式(B)で表される繰り返し単位を含む。色素多量体(B)は、下記一般式(B)で表される繰り返し単位の割合が、色素多量体を構成する全繰り返し単位の10〜100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましく、50質量%以上が特に好ましい。上限は、95質量%以下がより好ましい。
一般式(B)中、Xは重合によって形成される連結基を表し、Lは単結合又は2価の連結基を表し、DyeIIは、Yとイオン結合もしくは配位結合可能な基を有する色素構造を表し、Yは、DyeIIとイオン結合又は配位結合可能な基を表す。
は、一般式(A)のXと同義であり、好ましい範囲も同様である。
は、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基としては、炭素数1〜30のアルキレン基、炭素数6〜30のアリーレン基、ヘテロ環連結基、−CH=CH−、−O−、−S−、−C(=O)−、−COO−、−NR−、−CONR−、−OCO−、−SO−、−SO−及びこれらを2個以上連結して形成される連結基が挙げられる。ここで、Rは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。2価の連結基の詳細については、一般式(A)のLと同じである。
は、DyeIIとイオン結合もしくは配位結合可能な基であればよく、アニオン性基又はカチオン性基のどちらでもよい。
アニオン性基としては、特に限定はないが、−SO 、−COO、−PO 、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンなどが挙げられる。また、一般式(Z−1)で表される基、一般式(Z−2)で表される基、下記一般式(Z−3)で表される基も好ましい。
一般式(Z−1)
*−Y11−A
一般式(Z−1)中、*は、一般式(B)中のLとの結合部位を表し、Y11はフッ素化アルキレン基を表し、AはSO を表す。
11が表すフッ素化アルキレン基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜10がより好ましく、1〜6がさらに好ましい。また、ペルフルオロアルキレン基であることがより好ましい。
一般式(Z−2)
*−Y12−(A
一般式(Z−2)中、*は、一般式(B)中のLとの結合部位を表す。
12は、ホウ素原子、炭素原子、窒素原子、又はリン原子からなるアニオンを表す。
12がホウ素原子の場合、nは3であり、Aは、ハロゲン原子、シアノ基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアルキル基、又は、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアリール基が好ましい。
12が炭素原子の場合、nは2であり、Aは、ハロゲン原子、シアノ基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアルキル基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアリール基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含んでいてもよいアルキルスルホニル基、又は、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含んでいてもよいアリールスルホニル基が好ましい。2つのAは互いに結合して環を形成していてもよい。
12が窒素原子の場合、nは1であり、Aは、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアルキル基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアリール基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含んでいてもよいアルキルスルホニル基、又は、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含んでいてもよいアリールスルホニル基が好ましい。
12がリン原子の場合、nは1又は3であり、Aは、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアルキル基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含むアリール基、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含んでいてもよいアルキルスルホニル基、又は、フッ素原子及びシアノ基の少なくとも1つを含んでいてもよいアリールスルホニル基が好ましい。
nが2以上の場合、複数のAは、同一であってもよく、異なっていてもよい。
一般式(Z−1)及び一般式(Z−2)がフッ素原子を含む場合、Yを構成する全原子数に対してYに含まれるフッ素原子の割合が5〜80%が好ましく、10〜70%がより好ましい。
一般式(Z−3)
一般式(Z−3)中、*は、一般式(B)中のLとの結合部位を表す。
〜Rは、それぞれ独立してシアノ基又はフッ素化アルキル基が好ましい。
カチオン性基としては、置換又は無置換のオニウムカチオン(例えば、アンモニウム、ピリジニウム、イミダゾリウム及びホスホニウム等)が挙げられ、特にアンモニウムカチオンが好ましい。アンモニウムカチオンとしては、−N(R) が挙げられる。Rは、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表し、Rの少なくとも1つは、アルキル基を表す。アルキル基の炭素数は、1〜10が好ましく、1〜5がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖が好ましい。
DyeIIは、Yとイオン結合もしくは配位結合可能な基を有する色素構造であればよく、色素骨格は特に限定しない。上記DyeIで説明した色素構造が挙げられる。
一般式(B)で表される繰り返し単位の具体例としては、特開2014−199436号公報の段落番号0162〜0166に記載された構造が挙げられる。
色素多量体(B)は、一般式(B)で表される繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。また、上述した一般式(A)で表される繰り返し単位、及び、後述する一般式(C)で表される繰り返し単位を更に含んでいてもよい。
[色素多量体(C)]
色素多量体(C)は、下記一般式(C)で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。色素多量体(C)は、下記一般式(C)で表される繰り返し単位の割合が、色素多量体を構成する全繰り返し単位の10〜100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましく、50質量%以上が特に好ましい。上限は、95質量%以下がより好ましい。
一般式(C)中、Lは単結合又は2価の連結基を表す。DyeIIIは、色素構造を表す。mは0又は1を表す。
一般式(C)中、Lは単結合又は2価の連結基を表す。Lで表される2価の連結基としては、炭素数1〜30のアルキレン基、炭素数6〜30のアリーレン基、ヘテロ環連結基、−CH=CH−、−O−、−S−、−C(=O)−、−CO−、−NR−、−CONR−、−OC−、−SO−、−SO−及びこれらを2個以上連結して形成される連結基が好適に挙げられる。ここで、Rは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。
mは0又は1を表すが、1であることが好ましい。
アルキル基及びアルキレン基の炭素数は、1〜30が好ましい。上限は、25以下がより好ましく、20以下が更に好ましい。下限は、2以上がより好ましく、3以上が更に好ましい。アルキル基及びアルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
アリール基及びアリーレン基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜12がより好ましい。
ヘテロ環連結基及びヘテロ環基は、5員環又は6員環が好ましい。ヘテロ環連結基及びヘテロ環基が有するヘテロ原子は、酸素原子、窒素原子及び硫黄原子が好ましい。ヘテロ環連結基及びヘテロ環基が有するヘテロ原子の数は、1〜3個が好ましい。
アルキレン基、アリーレン基、ヘテロ環連結基、アルキル基、アリール基、及びヘテロ環基は、無置換であってもよく、置換基を有してもよい。置換基としては、硬化性基、酸基が挙げられる。硬化性基としては、エチレン性不飽和結合を含む基等のラジカル重合性基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタニル基)、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基が例示される。また、2〜20個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基、ラクトン、酸無水物、アミド、シアノ基等の現像促進基、長鎖及び環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、ポリアルキレンオキシド基、ヒドロキシ基、マレイミド基、アミノ基等の親疏水性調整基等を置換基として有してもよい。
DyeIIIは、色素構造を表す。DyeIIIが表す色素構造に由来する色素化合物の種類は、特に限定はなく、式(A)のDyeIで説明した色素化合物と同様の色素化合物が挙げられる。DyeIIIが表す色素構造は、色素化合物が有する任意の水素原子を1個以上取り除いた構造が好ましい。
一般式(C)の詳細については、特開2013−29760号公報の段落0165〜0167を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
色素多量体(C)は、一般式(C)で表される繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位を含んでいてもよい。また、上述した一般式(A)で表される繰り返し単位、及び、後述する一般式(B)で表される繰り返し単位を更に含んでいてもよい。
色素多量体(C)は、逐次重合により合成できる。逐次重合とは、重付加(例えば、ジイソシアナート化合物とジオールとの反応、ジエポキシ化合物とジカルボン酸との反応、テトラカルボン酸二無水物とジオールとの反応等)及び重縮合(例えば、ジカルボン酸とジオールとの反応、ジカルボン酸とジアミンとの反応等)が挙げられる。このうち、特に重付加反応により合成することが反応条件を穏和化でき、色素骨格を分解させないため好ましい。逐次重合には、公知の反応条件を適用することができる。
[色素多量体(D)]
色素多量体(D)は、一般式(D)で表されることが好ましい。
一般式(D)中、Lは(n+k)価の連結基を表す。nは2〜20の整数を表し、kは0〜20の整数を表す。DyeIVは、色素構造を表し、Pは、置換基を表す。nが2以上の場合、複数のDyeIVは互いに異なっていても良く、kが2以上の場合、複数のPは互いに異なっていても良い。n+kは、2〜20の整数を表す。
一般式(D)中、nは2〜15が好ましく、2〜14がより好ましく、2〜8がさらにより好ましく、2〜7が特に好ましく、2〜6が一層好ましい。
nとkとの合計は、2〜20が好ましく、2〜15がより好ましく、2〜14が更に好ましく、2〜8がさらにより好ましく、2〜7が特に好ましく、2〜6が一層好ましい。
なお、1つの色素多量体における、n及びkは、それぞれ整数であるが、本発明においては、一般式(D)におけるn、kが異なる色素多量体を複数含んでいてもよい。従って、本発明の着色組成物中の、n及びkの平均値は整数にならない場合がある。
(n+k)価の連結基としては、1から100個までの炭素原子、0個から10個までの窒素原子、0個から50個までの酸素原子、1個から200個までの水素原子、及び0個から20個までの硫黄原子から成り立つ基が含まれる。
(n+k)価の連結基は、具体的な例として、下記の構造単位又は以下の構造単位が2以上組み合わさって構成される基(環構造を形成していてもよい)を挙げることができる。
(n+k)価の連結基の具体的な例を以下に示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。また、特開2008−222950号公報の段落番号0071〜0072に記載された連結基、特開2013−029760号公報の段落番号0176に記載された連結基も挙げられる。
一般式(D)中、Pは、置換基を表す。置換基としては、酸基、硬化性基等が挙げられる。硬化性基としては、エチレン性不飽和結合を含む基等のラジカル重合性基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタニル基)、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。
また、Pが表す置換基は、繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖が好ましい。kが2以上の場合、k個のPは、同一であっても、異なっていてもよい。
Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが1の場合、Pはビニル化合物由来の繰り返し単位を2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)有する1価のポリマー鎖が好ましい。また、Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが2以上の場合、k個のPのビニル化合物由来の繰り返し単位の個数の平均値は、2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)であることが好ましい。
Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖の場合、kが1の場合におけるPの繰り返し単位の数、kが2以上の場合におけるk個のPの繰り返し単位の個数の平均値は、核磁気共鳴(NMR)により求めることができる。
Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖の場合、Pを構成する繰り返し単位としては、上述した色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位が挙げられる。他の繰り返し単位は、上述した酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。酸基を有する繰り返し単位を含む場合は、現像性を向上できる。硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合は、他色との混色や現像後の分光変動をより抑制できる。
Pが、酸基を含む繰り返し単位を含む場合、酸基を含む繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
Pが、硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
一般式(D)中、DyeIVは、色素構造を表す。DyeIVが表す色素構造の種類は、特に限定はなく、式(A)のDyeIで説明した色素構造と同様の色素構造が挙げられる。
一般式(D)において、DyeIVが表す色素構造は、色素化合物が有する任意の水素原子を1個以上取り除いた構造であって、色素化合物の一部がLに結合してなるものであってもよい。また、主鎖又は側鎖に色素構造(色素化合物が有する任意の水素原子を1個以上取り除いた構造)を有する繰り返し単位を含むポリマー鎖であってもよい。上記ポリマー鎖は、色素構造を含んでいれば特に定めるものではないが、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、及び、(メタ)アクリル/スチレン系樹脂から選ばれる1種であるであることが好ましい。ポリマー鎖の繰り返し単位としては、特に定めるものではないが、上述した一般式(A)で表される繰り返し単位、上述した一般式(C)で表される繰り返し単位などが挙げられる。また、ポリマー鎖を構成する全繰り返し単位中における、色素構造を有する繰り返し単位の合計は、5〜60モル%であることが好ましく、10〜50モル%がより好ましく、20〜40モル%がさらに好ましい。
上記ポリマー鎖は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。他の繰り返し単位として、酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
上記ポリマー鎖が硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマー鎖の全繰り返し単位100モルに対し、例えば、5〜50モルが好ましく、10〜40モルがより好ましい。
上記ポリマー鎖が酸基を有する繰り返し単位を含む場合、酸基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマー鎖の全繰り返し単位100モルに対し、例えば、5〜50モルが好ましく、10〜40モルがより好ましい。
上記一般式(D)で表される色素多量体は、下記方法などにより合成することができる。
(1)カルボキシ基、ヒドロキシ基、アミノ基等から選択される官能基を末端に導入した化合物と、色素構造を有する酸ハライド、色素構造を有するアルキルハライド、あるいは色素構造を有するイソシアネート等と、を高分子反応させる方法。
(2)末端に炭素−炭素二重結合を導入した化合物と、色素構造を有するチオール化合物と、をマイケル付加反応させる方法。
(3)末端に炭素−炭素二重結合を導入した化合物と、色素構造を有するチオール化合物と、をラジカル発生剤存在下で反応させる方法。
(4)末端に複数のチオール基を導入した多官能チオール化合物と、炭素−炭素二重結合及び色素構造とを有する化合物と、をラジカル発生剤存在下で反応させる方法。
(5)色素構造を有するチオール化合物の存在下で、ビニル化合物をラジカル重合する方法。
色素多量体(D)は、下記一般式(D−1)で表される構造が好ましい。
(D−L42−L−(L41−P ・・・(D−1)
一般式(D−1)中、Lは(n+k)価の連結基を表す。nは2〜20の整数を表し、kは0〜20の整数を表す。Dは、色素構造を表し、Pは、置換基を表す。nが2以上の場合、複数のDは互いに異なっていても良く、kが2以上の場合、複数のPは互いに異なっていても良い。n+kは、2〜20の整数を表す。
一般式(D−1)中、L、n及びkは、一般式(D)のL、n及びkと同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式(D−1)中、L41及びL42は、それぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表す。L41及びL42が複数存在する場合は、同一であってもよく、異なっていてもよい。
2価の連結基としては、1から100個までの炭素原子、0個から10個までの窒素原子、0個から50個までの酸素原子、1個から200個までの水素原子、及び0個から20個までの硫黄原子から成り立つ基が含まれ、無置換でも置換基を更に有していてもよい。
2価の連結基は、具体的な例として、下記の構造単位又は以下の構造単位が2以上組み合わさって構成される基を挙げることができる。L41及びL42は、−S−を含む基が好ましく、−S−がより好ましい。
一般式(D−1)中、Pは、置換基を表す。
置換基としては、酸基、硬化性基等が挙げられる。硬化性基としては、エチレン性不飽和結合を含む基等のラジカル重合性基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタニル基)、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。
また、Pが表す置換基は、繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖が好ましい。kが2以上の場合、k個のPは、同一であっても、異なっていてもよい。
が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが1の場合、Pはビニル化合物由来の繰り返し単位を2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)有する1価のポリマー鎖が好ましい。また、Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが2以上の場合、k個のPのビニル化合物由来の繰り返し単位の個数の平均値は、2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)であることが好ましい。
が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖を表す場合、Pを構成する繰り返し単位としては、上述した色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位が挙げられる。他の繰り返し単位は、上述した酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
が、酸基を含む繰り返し単位を含む場合、酸基を含む繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
が、硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
一般式(D−1)中、Dは、色素構造を表す。Dが表す色素構造は、色素化合物が有する任意の水素原子を1個以上取り除いた構造であって、色素化合物の一部がL42に結合してなるものであってもよく、主鎖又は側鎖に色素構造を有する繰り返し単位を含むポリマー鎖であってもよい。上記ポリマー鎖は、色素構造を含んでいれば特に定めるものではないが、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、及び、(メタ)アクリル/スチレン系樹脂から選ばれる1種であるであることが好ましい。ポリマー鎖の繰り返し単位としては、特に定めるものではないが、上述した一般式(A)で表される繰り返し単位、上述した一般式(C)で表される繰り返し単位などが挙げられる。また、ポリマー鎖を構成する全繰り返し単位中における、色素構造を有する繰り返し単位の合計は、5〜60モル%であることが好ましく、10〜50モル%がより好ましく、20〜40モル%がさらに好ましい。
上記ポリマー鎖は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。他の繰り返し単位として、酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
色素多量体(D)は、下記一般式(D−2)で表される構造が好ましい。
(D−S−C−B−L−(B−C−S−P ・・・(D−2)
一般式(D−2)中、Lは(n+k)価の連結基を表す。nは2〜20の整数を表し、kは0〜20の整数を表す。Dは、色素構造を表し、Pは、置換基を表す。B及びBは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−CO−、−NR−、−OC−、−CO−、−NROC−、又は、−CONR−を表す。Rは、水素原子、アルキル基又はアリール基を表す。C及びCは、それぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表す。Sは、硫黄原子を表す。nが2以上の場合、複数のDは互いに異なっていても良く、kが2以上の場合、複数のPは互いに異なっていても良い。n+kは、2〜20の整数を表す。
一般式(D−2)中、L、n及びkは、一般式(D)のL、n及びkと同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式(D−2)において、B及びBは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−CO−、−NR−、−OC−、−CO−、−NROC−、又は、−CONR−を表し、単結合、−O−、−CO−、−OC−、−CO−、−NROC−、又は、−CONR−が好ましい。
Rは、水素原子、アルキル基又はアリール基を表す。
Rが表すアルキル基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜10がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。
Rが表すアリール基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜12がより好ましい。
Rは水素原子又はアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
一般式(D−2)において、C及びCは、それぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表す。
2価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、オキシアルキレン基が好ましく、アルキレン基又はオキシアルキレン基がより好ましい。
アルキレン基、オキシアルキレン基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜10がより好ましい。アルキル基、オキシアルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。
アリーレン基の炭素数は、6〜30が好ましく、6〜12がより好ましい。
一般式(D−2)において、Pは置換基を表す。置換基としては、酸基、硬化性基等が挙げられる。硬化性基としては、エチレン性不飽和結合を含む基等のラジカル重合性基、環状エーテル基(エポキシ基、オキセタニル基)、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。また、Pが表す置換基は、繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖が好ましい。kが2以上の場合、k個のPは、同一であっても、異なっていてもよい。
が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが1の場合、Pはビニル化合物由来の繰り返し単位を2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)有する1価のポリマー鎖が好ましい。また、Pが繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖であり、かつ、kが2以上の場合、k個のPのビニル化合物由来の繰り返し単位の個数の平均値は、2〜20個(好ましくは、2〜15個、更に好ましくは2〜10個)であることが好ましい。
が繰り返し単位を有する1価のポリマー鎖を表す場合、Pを構成する繰り返し単位としては、上述した色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位が挙げられる。他の繰り返し単位は、上述した酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
が、酸基を含む繰り返し単位を含む場合、酸基を含む繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
が、硬化性基を有する繰り返し単位を含む場合、硬化性基を有する繰り返し単位の割合は、Pの全繰り返し単位に対して、10〜80モル%が好ましく、10〜65モル%がより好ましい。
一般式(D−2)において、Dは、色素構造を表す。Dが表す色素構造は、色素化合物が有する任意の水素原子を1個以上取り除いた構造であって、色素化合物の一部が、(D−2)中の−S−に結合してなるものであってもよく、主鎖又は側鎖に色素構造を有する繰り返し単位を含むポリマー鎖であってもよい。上記ポリマー鎖は、色素構造を含んでいれば特に定めるものではないが、(メタ)アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、及び、(メタ)アクリル/スチレン系樹脂から選ばれる1種であるであることが好ましい。ポリマー鎖の繰り返し単位としては、特に定めるものではないが、上述した一般式(A)で表される繰り返し単位、上述した一般式(C)で表される繰り返し単位などが挙げられる。また、ポリマー鎖を構成する全繰り返し単位中における、色素構造を有する繰り返し単位の合計は、5〜60モル%であることが好ましく、10〜50モル%がより好ましく、20〜40モル%がさらに好ましい。
上記ポリマー鎖は、色素構造を有する繰り返し単位の他に、色素多量体(A)で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。他の繰り返し単位として、酸基を有する繰り返し単位及び硬化性基を有する繰り返し単位から選ばれる1種以上を有することが好ましい。
上記一般式(D−2)で表される色素多量体は、特に制限されないが、一分子中に3〜10個のチオール基を有する多官能チオール化合物と、色素骨格及びラジカル重合性基を有す化合物(ラジカル重合性色素化合物)とをラジカル重合する方法により製造できる。
多官能チオール化合物と、ラジカル重合性色素化合物とのラジカル重合は、例えば、多官能チオール化合物と、ラジカル重合性色素化合物とを適当な溶媒中に溶解し、ここにラジカル発生剤を添加して、約50℃〜100℃で、付加させる方法(チオール−エン反応法)を利用して行うことができる。
<<<色素多量体の諸性質>>>
色素多量体の重量平均分子量(Mw)は、2000〜40000が好ましい。下限は、3000以上がより好ましく、4000以上がさらに好ましい。上限は、35000以下がより好ましく、30000以下がさらに好ましい。上記範囲を満たすことにより、耐溶剤性及び色移り性がより良好となる。
また、色素多量体が、色素構造としてキサンテン色素構造を含む場合、色素多量体の重量平均分子量は、2000〜40000が好ましい。下限は、3000以上がより好ましく、4000以上がさらに好ましい。上限は、35000以下がより好ましく、30000以下がさらに好ましい。
なお、本発明において、色素多量体の重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)測定でのポリスチレン換算値であり、具体的には、後述する実施例に記載の方法で測定した値である。
色素多量体の酸価は、10mgKOH/g以上が好ましく、20mgKOH/g以上がより好ましく、27mgKOH/g以上がさらに好ましく、30mgKOH/g以上が特に好ましい。また、酸価の上限は300mgKOH/g以下が好ましく、200mgKOH/g以下がより好ましく、180mgKOH/g以下がさらに好ましく、130mgKOH/g以下が一層好ましく、120mgKOH/g以下がより一層好ましい。上記範囲を満たすことにより、現像性がより向上して、現像残渣をより低減できる。
色素多量体の重量平均分子量(Mw)と、数平均分子量(Mn)との比〔(Mw)/(Mn)〕は1.0〜3.0であることが好ましく、1.0〜2.5であることがさらに好ましく、1.0〜2.0であることが特に好ましい。
本発明の着色組成物は、着色組成物中の全固形分に対する着色剤の含有量は、10〜60質量%が好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましい。上限は、55質量%以下がより好ましい。着色剤の含有量が上述した範囲であれば、着色剤以外の成分の含有量を高めることができ、現像性をより向上できる。
本発明の着色組成物において、着色剤として、カチオンとアニオンとを有する色素を含有する場合、カチオンとアニオンとを有する色素の含有量は、着色剤の全量に対し1〜70質量%が好ましい。上限は、60質量%以下がより好ましく、50質量%以下が更に好ましく、45質量%以下が一層好ましい。下限は、5質量%以上がより好ましく、10質量%以上が更に好ましく、15質量%以上が一層好ましい。
本発明の着色組成物において、着色剤として、色素多量体を含有する場合、色素多量体の含有量は、着色剤の全量に対し、1〜75質量%が好ましい。上限は、70質量%以下がより好ましく、65質量%以下が更に好ましく、60質量%以下が一層好ましい。下限は、5質量%以上がより好ましく、10質量%以上が更に好ましく、15質量%以上が一層好ましい。
<<酸発生剤>>
本発明の着色組成物は、酸発生剤を含有する。酸発生剤は、光酸発生剤及び熱酸発生剤が挙げられ、何れも好ましく用いることができる。また、光酸発生剤と熱酸発生剤とを併用することもできる。また、酸発生剤は、実質的に光酸発生剤のみを用いてもよく、実質的に熱酸発生剤のみを用いてもよい。熱酸発生剤と光酸発生剤とを併用する場合は、熱酸発生剤と光酸発生剤との質量比は、熱酸発生剤:光酸発生剤=95:5〜25:75が好ましく、90:10〜40:60がより好ましい。
なお、本発明において、酸発生剤として、実質的に光酸発生剤のみを用いる場合とは、酸発生剤の全質量中における光酸発生剤の含有量が99質量%以上であることが好ましく、99.9質量%以上がより好ましく、100質量%(光酸発生剤のみからなる)が更に好ましい。また、本発明において、酸発生剤として、実質的に熱酸発生剤のみを用いる場合とは、酸発生剤の全質量中における熱酸発生剤の含有量が99質量%以上であることが好ましく、99.9質量%以上がより好ましく、100質量%(熱酸発生剤のみからなる)が更に好ましい。
なお、本発明において、酸発生剤とは、熱や光などのエネルギーを加えることで酸を発生する化合物を意味する。また、熱酸発生剤とは、熱分解により酸を発生する化合物を意味する。また、光酸発生剤とは、光照射により酸を発生する化合物を意味する。
本発明において、酸発生剤は、pKaが4以下の酸を発生する化合物が好ましく、pKaが3以下の酸を発生する化合物がより好ましく、2以下の酸を発生する化合物が最も好ましい。この態様によれば、他色との混色が生じにくい硬化膜を形成しやすい。更には、現像前後の分光変動を効果的に抑制でき、分光特性に優れた硬化膜を形成しやすい。なお本発明において、pKaは、基本的に25℃の水中におけるpKaを指す。水中で測定できないものは、測定に適する溶剤に変更し測定したものを指す。具体的には、化学便覧等に記載のpKaが参考にできる。pKaが3以下の酸としては、スルホン酸又はホスホン酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましい。
本発明において、酸発生剤の分子量は、200〜1000が好ましい。下限は、230以上が好ましい。上限は、800以下が好ましい。酸発生剤の分子量が上記範囲であれば、硬化膜の製造時におけるベーク等の際に、酸発生剤が揮発しにくくできる。
本発明の着色組成物において、酸発生剤の含有量は、着色組成物の全固形成分に対して、0.1〜20質量%が好ましい。下限は、例えば、1質量%以上がより好ましく、2質量%以上がさらに好ましい。上限は、例えば、10質量%以下がより好ましく、8質量%以下がさらに好ましい。
また、酸発生剤とラジカル重合性化合物との質量比は、酸発生剤:光ラジカル重合性化合物=1:1〜1:10が好ましく、1:1〜1:7.5がより好ましく、1:1〜1:5がさらに好ましい。
酸発生剤は、1種のみであってもよく、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計が上記含有量であることが好ましい。
(熱酸発生剤)
本発明において、熱酸発生剤は、好ましくは熱分解温度が130℃〜250℃の範囲、より好ましくは150℃〜220℃の範囲の化合物が挙げられる。
熱酸発生剤としては、例えば、加熱によりスルホン酸、カルボン酸、ジスルホニルイミドなどの低求核性の酸を発生する化合物が挙げられる。熱酸発生剤から発生する酸としては、pKaが4以下の酸が好ましく、pKaが3以下の酸がより好ましく、pKaが2以下の酸が更に好ましい。例えば、スルホン酸や電子求引基で置換されたアルキルカルボン酸、アリールカルボン酸、ジスルホニルイミドなどが好ましい。電子求引基としてはフッ素原子などのハロゲン原子、トリフルオロメチル基等のハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基を挙げることができる。
熱酸発生剤は、活性光線又は放射線の照射によって実質的に酸を発生せず、熱によって酸を発生するスルホン酸エステルが好ましい。活性光線又は放射線の照射によって実質的に酸を発生していないことは、化合物の露光前後での赤外線吸収(IR)スペクトル、核磁気共鳴(NMR)スペクトル測定により、スペクトルに変化がないことで判定することができる。
スルホン酸エステルの分子量は、230〜1,000が好ましく、230〜800がより好ましい。
スルホン酸エステルは、市販のものを用いてもよいし、公知の方法で合成したものを用いてもよい。スルホン酸エステルは、例えば、塩基性条件下、スルホニルクロリド又はスルホン酸無水物を対応する多価アルコールと反応させることにより合成することができる。
熱酸発生剤としては、例えば、ハロゲン含有化合物、ジアゾメタン化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、カルボン酸エステル化合物、リン酸エステル化合物、スルホンイミド化合物、スルホンベンゾトリアゾール化合物等が挙げられる。これらのうち、スルホン酸エステル化合物及びスルホンイミド化合物が好ましい。
スルホン酸エステル化合物としては、例えば、テトラエチレングリコールビス(パラトルエンスルホナート)、パラトルエンスルホン酸ブチルなどが挙げられる。
スルホンイミド化合物としては、例えば、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド(商品名「SI−105」、みどり化学社)、N−(カンファスルホニルオキシ)スクシンイミド(商品名「SI−106」、みどり化学社)、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド(商品名「SI−101」、みどり化学社)、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(カンファスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(2−フルオロフェニルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド(商品名「PI−105」、みどり化学社)、N−(カンファスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、4−メチルフェニルスルホニルオキシジフェニルマレイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(フェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド(商品名「NDI−100」、みどり化学社)、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド(商品名「NDI−101」、みどり化学社)、N−(トリフルオロメタンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド(商品名「NDI−105」、みどり化学社)、N−(ノナフルオロブタンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド(商品名「NDI−109」、みどり化学社)、N−(カンファスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド(商品名「NDI−106」、みどり化学社)、N−(カンファスルホニルオキシ)−7−オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)−7−オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)−7−オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)−7−オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)−7−オキサビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(カンファスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド(商品名「NAI−105」、みどり化学社)、N−(カンファスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド(商品名「NAI−106」、みどり化学社)、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド(商品名「NAI−101」、みどり化学社)、N−(フェニルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド(商品名「NAI−100」、みどり化学社)、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ペンタフルオロエチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ヘプタフルオロプロピルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ノナフルオロブチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド(商品名「NAI−109」、みどり化学社)、N−(エチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(プロピルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ブチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド(商品名「NAI−1004」、みどり化学社)、N−(ペンチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ヘキシルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ヘプチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(オクチルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド、N−(ノニルスルホニルオキシ)ナフチルジカルボキシルイミド等が挙げられる。
その他の熱酸発生剤としては、例えば、下記化合物が挙げられる。以下の式中、iPrはイソプロピル基である。
本発明の着色組成物が熱酸発生剤を含有する場合、熱酸発生剤の含有量は、着色組成物の全固形成分に対して、0.1〜20質量%が好ましい。下限は、例えば、1質量%以上がより好ましく、2質量%以上がさらに好ましい。上限は、例えば、10質量%以下がより好ましく、8質量%以下がさらに好ましい。
また、熱酸発生剤とラジカル重合性化合物との質量比は、熱酸発生剤:光ラジカル重合性化合物=1:1〜1:10が好ましく、1:1〜1:7.5がより好ましく、1:1〜1:5がさらに好ましい。
熱酸発生剤は、1種のみであってもよく、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計が上記含有量であることが好ましい。
(光酸発生剤)
本発明において、光酸発生剤は、波長250nm以上、好ましくは波長250〜350nmの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、光酸発生剤の極大吸収波長は、260〜320nmの範囲に有することが好ましく、270〜300nmの範囲に有することがより好ましい。
光酸発生剤は、pKaが4以下の酸を発生する化合物が好ましく、pKaが3以下の酸を発生する化合物がより好ましく、2以下の酸を発生する化合物が最も好ましい。
光酸発生剤の例として、オニウム塩化合物、トリクロロメチル−s−トリアジン類、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及び、オキシムスルホネート化合物などを挙げることができる。これらの中でも、オニウム塩化合物、イミドスルホネート化合物、オキシムスルホネート化合物が好ましく、オニウム塩化合物、オキシムスルホネート化合物が特に好ましい。光酸発生剤は、1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
トリクロロメチル−s−トリアジン類、ジアリールヨードニウム塩類、トリアリールスルホニウム塩類、第四級アンモニウム塩類、及びジアゾメタン化合物の具体例としては、特開2011−221494号公報の段落番号0083〜0088に記載の化合物や、特開2011−105645号公報の段落番号0013〜0049に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
イミドスルホネート化合物の具体例としてはWO2011/087011号公報の段落番号0065〜0075に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
オニウム塩としては、ジアリールヨードニウム塩類やトリアリールスルホニウム塩類が好ましく例示できる。ジアリールヨードニウム塩類としては、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、フェニル,4−(2’−ヒドロキシ−1’−テトラデカオキシ)フェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−(2’−ヒドロキシ−1’−テトラデカオキシ)フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモナート、フェニル,4−(2’−ヒドロキシ−1’−テトラデカオキシ)フェニルヨードニウム−p−トルエンスルホナートが好ましく挙げられる。トリアリールスルホニウム塩類としては、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、又は、4−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテートが好ましく挙げられる。
オキシムスルホネート化合物、すなわち、オキシムスルホネート構造を有する化合物としては、下記一般式(B1−1)で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物が好ましく例示できる。
一般式(B1−1)
一般式(B1−1)中、R21は、アルキル基又はアリール基を表す。波線は他の基との結合を表す。
一般式(B1−1)中、R21が表すアルキル基およびアリール基は、置換されてもよい。R21におけるアルキル基は直鎖状でも分岐状でも環状でもよい。許容される置換基は以下に説明する。
21のアルキル基としては、炭素数1〜10の、直鎖又は分岐のアルキル基が好ましい。R21のアルキル基は、ハロゲン原子、炭素数6〜11のアリール基、炭素数1〜10のアルコキシ基、又は、環状のアルキル基(7,7−ジメチル−2−オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等)で置換されてもよい。
21のアリール基としては、炭素数6〜11のアリール基が好ましく、フェニル基又はナフチル基がより好ましい。R21のアリール基は、低級アルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。
上記一般式(B1−1)で表されるオキシムスルホネート構造を含有する上記化合物は特開2014−238438号公報の段落番号0108〜0133に記載のオキシムスルホネート化合物であることも好ましい。
イミドスルホネート系化合物としては、ナフタレンイミド系化合物が好ましく、国際公開WO11/087011号パンフレットの記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。本発明では特に、トリフルオロメチルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−ジカルボキシイミド、スクシンイミドトリフルオロメチルスルホネート、フタルイミドトリフルオロメチルスルホネート、N−ヒドロキシナフタルイミドメタンスルホネート、N−ヒドロキシ−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミドプロパンスルホネートが好ましく挙げられる。
光酸発生剤は市販品を用いてもよい。市販品としては、みどり化学社から販売されているDS−101、MBZ−201、PI−105、MBZ−101、TAZ−101などが挙げられる。
本発明において、光酸発生剤は、下記一般式(ZI)、(ZII)、(ZIII)で表される化合物を用いることもできる。
一般式(ZI)において、R201、R202及びR203は、各々独立に、有機基を表す。
201、R202及びR203としての有機基の炭素数は、1〜30が好ましく、1〜20がより好ましい。
201〜R203のうち2つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合、カルボニル基を含んでいてもよい。R201〜R203の内の2つが結合して形成する基としては、アルキレン基(例えば、ブチレン基、ペンチレン基)を挙げることができる。
は、非求核性アニオン(求核反応を起こす能力が著しく低いアニオン)を表す。
201、R202及びR203の有機基としては、アリール基、アルキル基、シクロアルキル基などが挙げられる。
201、R202及びR203のうち、少なくとも1つがアリール基であることが好ましく、三つ全てがアリール基であることがより好ましい。アリール基としては、フェニル基、ナフチル基などの他に、インドール残基、ピロール残基などのヘテロアリール基であってもよい。
201〜R203のアルキル基及びシクロアルキル基としては、好ましくは、炭素数1〜10の直鎖状又は分岐状のアルキル基、炭素数3〜10の環状のアルキル基を挙げることができる。
これらの基はさらに置換基を有していてもよい。その置換基としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシ基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜15)、環状のアルキル基(好ましくは炭素数3〜15)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜7)、アシル基(好ましくは炭素数2〜12)、アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2〜7)等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
非求核性アニオンとしては、例えば、スルホン酸アニオン(脂肪族スルホン酸アニオン、芳香族スルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオンなど)、カルボン酸アニオン(脂肪族カルボン酸アニオン、芳香族カルボン酸アニオン、アラルキルカルボン酸アニオンなど)、スルホニルイミドアニオン、ビス(アルキルスルホニル)イミドアニオン、トリス(アルキルスルホニル)メチドアニオン等が挙げられる。
脂肪族スルホン酸アニオン及び脂肪族カルボン酸アニオンにおける脂肪族部位は、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基のいずれであってもよく、好ましくは炭素数1〜30の直鎖状又は分岐状のアルキル基及び炭素数3〜30の環状のアルキル基が挙げられる。
芳香族スルホン酸アニオン及び芳香族カルボン酸アニオンにおける芳香族基としては、好ましくは炭素数6〜14のアリール基、例えば、フェニル基、トリル基、ナフチル基等を挙げることができる。
上述した直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、及び、アリール基は、置換基を有していてもよい。置換基の具体例としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシ基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基(好ましくは炭素数1〜15)、環状のアルキル基(好ましくは炭素数3〜15)、アリール基(好ましくは炭素数6〜14)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2〜7)、アシル基(好ましくは炭素数2〜12)、アルコキシカルボニルオキシ基(好ましくは炭素数2〜7)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1〜15)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1〜15)、アルキルイミノスルホニル基(好ましくは炭素数2〜15)、アリールオキシスルホニル基(好ましくは炭素数6〜20)、アルキルアリールオキシスルホニル基(好ましくは炭素数7〜20)、アルキルオキシアルキルオキシ基(好ましくは炭素数5〜20)等を挙げることができる。
アラルキルカルボン酸アニオンにおけるアラルキル基としては、好ましくは炭素数7〜12のアラルキル基、例えば、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、ナフチルブチル基等を挙げることができる。
スルホニルイミドアニオンとしては、例えば、サッカリンアニオンを挙げることができる。
ビス(アルキルスルホニル)イミドアニオン、トリス(アルキルスルホニル)メチドアニオンにおけるアルキル基は、炭素数1〜5のアルキル基が好ましい。これらのアルキル基の置換基としてはハロゲン原子、ハロゲン原子で置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシスルホニル基、アリールオキシスルホニル基、シクロアルキルアリールオキシスルホニル基等を挙げることができ、フッ素原子又はフッ素原子で置換されたアルキル基が好ましい。
また、ビス(アルキルスルホニル)イミドアニオンにおけるアルキル基は、互いに結合して環構造を形成してもよい。
非求核性アニオンは、特に、脂肪族スルホン酸アニオンであって、脂肪族部位が、炭素数1〜30の直鎖状又は分岐状のアルキル基であり、このアルキル基が全てフッ素原子で置換されているものが好ましい。
一般式(ZII)、(ZIII)中、R204〜R207は、各々独立に、アリール基、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表す。
204〜R207のアリール基、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基としては、化合物(ZI)におけるR201〜R203と同義であり、好ましい範囲も同様である。
204〜R207のアリール基、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基は、置換基を有していてもよい。この置換基は、化合物(ZI)におけるR201〜R203と同義であり、好ましい範囲も同様である。
は、非求核性アニオンを表し、一般式(ZI)におけるZと同義であり、好ましい範囲も同様である。
光酸発生剤の具体例としては、例えば、特開2012−137686号公報の段落番号0149〜0151、段落番号0170〜0171及び特開2012−208447号公報の段落番号0243〜0247に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物が光酸発生剤を含有する場合、光酸発生剤の含有量は、着色組成物の全固形成分に対して、0.1〜20質量%が好ましい。下限は、例えば、1質量%以上がより好ましく、2質量%以上がさらに好ましい。上限は、例えば、10質量%以下がより好ましく、8質量%以下がさらに好ましい。
また、光酸発生剤とラジカル重合性化合物との質量比は、光酸発生剤:光ラジカル重合性化合物=1:1〜1:10が好ましく、1:1〜1:7.5がより好ましく、1:1〜1:5がさらに好ましい。
また、光酸発生剤と、光ラジカル重合開始剤との質量比は、光酸発生剤:光ラジカル重合開始剤=1:1〜1:10が好ましく、1:1〜1:7.5がより好ましく、1:1〜1:5がさらに好ましい。
光酸発生剤は、1種のみであってもよく、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計が上記含有量であることが好ましい。
<<光ラジカル重合性化合物>>
本発明の着色組成物は、光ラジカル重合性化合物(以下、重合性化合物ともいう)を含有する。光ラジカル重合性化合物としては、ラジカルにより架橋可能な公知の化合物を用いることができる。例えば、エチレン性不飽和結合を有する基等のラジカル重合性基を有する化合物が挙げられる。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
本発明において、重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。モノマーが好ましい。
重合性化合物の分子量は、100〜3000が好ましい。上限は、2000以下が好ましく、1500以下が更に好ましい。下限は、150以上が好ましく、250以上が更に好ましい。
重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落番号0095〜0108、特開2013−29760号公報の段落番号0227、特開2008−292970号公報の段落番号0254〜0257に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−330;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−320;日本化薬株式会社製)ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D−310;日本化薬株式会社製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA;日本化薬株式会社製、A−DPH−12E;新中村化学工業社製)、及びこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介して結合している構造(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、KAYARAD RP−1040、DPCA−20(日本化薬株式会社製)を使用することもできる。
重合性化合物は、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等の酸基を有していてもよい。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製の多塩基酸変性アクリルオリゴマーとして、M−305、M−510、M−520などが挙げられる。
酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、0.1〜40mgKOH/gであり、特に好ましくは5〜30mgKOH/gである。重合性化合物の酸価が0.1mgKOH/g以上であれば、現像溶解特性が良好であり、40mgKOH/g以下であれば、製造や取扱い上、有利である。さらには、光重合性が良好で、硬化性に優れる。
重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物も好ましい態様である。
カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬(株)からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA−20、DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120等が挙げられる。
重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基及び/又はプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物が更に好ましく、エチレンオキシ基を4〜20個有する3〜6官能(メタ)アクリレート化合物がより好ましい。
アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を4個有する4官能アクリレートであるSR−494、日本化薬株式会社製のペンチレンオキシ基を6個有する6官能アクリレートであるDPCA−60、イソブチレンオキシ基を3個有する3官能アクリレートであるTPA−330などが挙げられる。
重合性化合物としては、特公昭48−41708号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。また、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによって、非常に感光スピードに優れた着色組成物を得ることができる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学工業社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学(株)製)などが挙げられる。
<<カチオン重合性化合物>>
本発明の着色組成物は、硬化性化合物として、カチオン重合性化合物を含有することもできる。カチオン重合性化合物は、エポキシ基、オキセタニル基などの環状エーテル基を有する化合物が挙げられる。
カチオン重合性化合物は、低分子化合物(例えば、分子量2000未満、さらには、分子量1000未満)でもよいし、高分子化合物(macromolecule)(例えば、分子量1000以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が1000以上)のいずれでもよい。カチオン重合性化合物の重量平均分子量は、200〜100000が好ましく、500〜50000がより好ましい。重量平均分子量の上限は、3000以下が好ましく、2000以下がより好ましく、1500以下が更に好ましい。
カチオン重合性化合物は、特開2013−011869号公報の段落番号0034〜0036、特開2014−043556号公報の段落番号0147〜0156、特開2014−089408号公報の段落番号0085〜0092に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれることとする。市販品としては、例えば、「EHPE3150、(株)ダイセル製」、「EPICLON N660、DIC(株)製」、「デナコールEX−614B、ナガセケムテックス製」、「jER1031S、三菱化学社製」などが挙げられる。
本発明の着色組成物がカチオン重合性化合物を含有する場合、カチオン重合性化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、0.1〜40質量%が好ましい。下限は、例えば0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上が更に好ましい。上限は、例えば、30質量%以下がより好ましく、20質量%以下が更に好ましい。カチオン重合性化合物は、1種単独であってもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
また、本発明の着色組成物は、カチオン重合性化合物を実質的に含まない態様とすることもできる。カチオン重合性化合物を実質的に含まないとは、例えば、着色組成物の全固形分に対し、0.05質量%以下が好ましく、0.01質量%以下が更に好ましく、含有しないこともできる。
<<多官能チオール化合物>>
本発明の着色組成物は、重合性化合物の反応を促進させることなどを目的として、分子内に2個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物を含んでいてもよい。多官能チオール化合物は、2級のアルカンチオール類であることが好ましく、特に下記一般式(T1)で表される構造を有する化合物であることが好ましい。
一般式(T1)
(式(T1)中、nは2〜4の整数を表し、Lは2〜4価の連結基を表す。)
上記一般式(T1)において、連結基Lは炭素数2〜12の脂肪族基であることが好ましく、nが2であり、Lが炭素数2〜12のアルキレン基であることが特に好ましい。多官能チオール化合物の具体例としては、下記の構造式(T2)〜(T4)で表される化合物が挙げられ、式(T2)で表される化合物が特に好ましい。多官能チオール化合物は1種又は複数組み合わせて使用することが可能である。
多官能チオール化合物の含有量は、着色組成物の全固形分に対して0.3〜8.9質量%が好ましく、0.8〜6.4質量%がより好ましい。また、多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。
<<光ラジカル重合開始剤>>
本発明の着色組成物は、光ラジカル重合開始剤を含有する。以下、光ラジカル重合開始剤を、光重合開始剤ともいう。
光重合開始剤としては、光ラジカル重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよい。
また、光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するものなど)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53−133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)記載の化合物、特開昭62−58241号公報記載の化合物、特開平5−281728号公報記載の化合物、特開平5−34920号公報記載の化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物などが挙げられる。
また、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。
さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物であり、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が特に好ましい。
特に、本発明の膜を固体撮像素子に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、光重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細パターンを形成するには光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが特に好ましい。また、オキシム化合物を用いることにより、色移り性をより良化できる。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0265〜0268を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
光重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィン系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及び、IRGACURE−379EG(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤は、365nm又は405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179号公報に記載の化合物も用いることができる。
アシルホスフィン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。
オキシム化合物の具体例としては、特開2001−233842号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報記載の化合物、特開2006−342166号公報記載の化合物を用いることができる。
本発明において、好適に用いることのできるオキシム化合物としては、例えば、3−ベンゾイルオキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、及び2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどが挙げられる。
また、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653−1660、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、特開2006−342166号公報の各公報に記載の化合物等も挙げられる。
市販品ではIRGACURE OXE01(BASF社製)、IRGACURE OXE02(BASF社製)も好適に用いられる。また、TR−PBG−304(常州強力電子新材料有限公司製)、アデカアークルズNCI−831及びアデカアークルズNCI−930(ADEKA社製)も用いることができる。
また上記記載以外のオキシム化合物として、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報及び米国特許公開2009−292039号記載の化合物、国際公開WO2009/131189号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報記載の化合物、特開2014−137466号公報の段落番号0076〜0079に記載された化合物などを用いてもよい。
好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落番号0274〜0275を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記式(OX−1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのN−O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
一般式(OX−1)中、R及びBは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。
一般式(OX−1)中、Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
一般式(OX−1)中、Bで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
一般式(OX−1)中、Aで表される二価の有機基としては、炭素数1〜12のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルキニレン基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
本発明は、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物(含フッ素オキシムエステル系光重合開始剤)を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010−262028号公報記載の化合物、特表2014−500852号公報記載の化合物24、36〜40、特開2013−164471号公報記載の化合物(C−3)などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれることとする。
本発明において、含フッ素オキシムエステル系光重合開始剤は、下記式(1)で表される化合物が好ましい。
式(1)において、Ar及びArは、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表し、Rは、フッ素原子を含む基を有するアリール基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、アルキル基又はアリール基を表す。
Ar及びArは、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表す。
芳香族炭化水素環は、単環でもよく、縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環の環を構成する炭素原子数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が特に好ましい。芳香族炭化水素環は、ベンゼン環及びナフタレン環が好ましい。なかでも、Ar及びArの少なくとも一方がベンゼン環であることが好ましく、Arがベンゼン環であることがより好ましい。Arは、ベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、ナフタレン環がより好ましい。
Arは、無置換の芳香族炭化水素環であることが好ましい。Arは、無置換の芳香族炭化水素環であってもよく、置換基を有する芳香族炭化水素環であってもよい。置換基としては、−CORX1が好ましい。RX1は、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基が好ましく、アリール基がより好ましい。アリール基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、炭素数1〜10のアルキル基などが挙げられる。
は、フッ素原子を含む基を有するアリール基を表す。
アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。
フッ素原子を含む基は、フッ素原子を有するアルキル基(含フッ素アルキル基)、及び/又は、フッ素原子を有するアルキル基を含む基(含フッ素基)が好ましい。
含フッ素基は、−ORX11、−SRX11、−CORX11、−COORX11、−OCORX11、−NRX11X12、−NHCORX11、−CONRX11X12、−NHCONRX11X12、−NHCOORX11、−SOX11、−SOORX11及び−NHSOX11から選ばれる少なくとも1種の基が好ましく、−ORX11がより好ましい。RX11は、含フッ素アルキル基を表し、RX12は、水素原子、アルキル基、含フッ素アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。
フッ素原子を含む基は、含フッ素アルキル基、及び/又は、−ORX11が好ましい。
含フッ素アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましく、1〜4が特に好ましい。含フッ素アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖又は分岐が好ましい。
含フッ素アルキル基は、フッ素原子の置換率が、40〜100%であることが好ましく、50〜100%であることがより好ましく、60〜100%であることがさらに好ましい。
X12が表すアルキル基、アリール基及びヘテロ環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。
は、アルキル基又はアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基及びアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、置換基A群で挙げた置換基が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましく、1〜4が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖又は分岐が好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。
は、アルキル基又はアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基及びアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、置換基A群で挙げた置換基が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖又は分岐が好ましい。
アリール基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。
式(1)で表される化合物の具体例としては、例えば、下記化合物が挙げられる。
本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
オキシム化合物は、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものが好ましく、360nm〜480nmの波長領域に吸収波長を有するものがより好ましく、365nm及び405nmの吸光度が高いものが特に好ましい。
オキシム化合物は、365nm又は405nmにおけるモル吸光係数が、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができるが、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary−5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明に用いられる光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。
光重合開始剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対し0.1〜50質量%が好ましく、より好ましくは0.5〜30質量%であり、さらに好ましくは1〜20質量%である。この範囲で、より良好な感度とパターン形成性が得られる。本発明の着色組成物は、光重合開始剤を、1種のみを含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。2種以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<樹脂>>
本発明の着色組成物は、樹脂を含むことが好ましい。樹脂は、例えば、顔料などを組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などを分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外を目的で使用することもできる。
樹脂の重量平均分子量(Mw)は、2000〜100,000が好ましい。下限は、3,000以上が好ましく、5,000以上がより好ましい。
また、樹脂の数平均分子量(Mn)は、1000〜20,000が好ましい。
本発明の着色組成物において、樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対し、5〜90質量%が好ましく、10〜80質量%がより好ましい。着色組成物は、樹脂を、1種のみを含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。2種以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
(分散剤)
本発明の着色組成物は、顔料を含む場合、分散剤を含有することが好ましい。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等が挙げられる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
末端変性型高分子としては、例えば、特開平3−112992号公報、特表2003−533455号公報等に記載の末端にりん酸基を有する高分子、特開2002−273191号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平9−77994号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子などが挙げられる。また、特開2007−277514号公報に記載の高分子末端に2個以上の顔料表面へのアンカー部位(酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等)を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。
例えば、以下の樹脂が挙げられる。Lの波線は、窒素原子との結合部を表す。
グラフト型高分子としては、例えば、ポリエステル系分散剤等が挙げられる。具体的には、特開昭54−37082号公報、特表平8−507960号公報、特開2009−258668号公報等に記載のポリ(低級アルキレンイミン)とポリエステルの反応生成物、特開平9−169821号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開平10−339949号公報、特開2004−37986号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子を有するモノマーとの共重合体、特開2003−238837号公報、特開2008−9426号公報、特開2008−81732号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開2010−106268号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーの共重合体、特開2009−203462号公報に記載の塩基性基と酸基を有する両性分散樹脂などが挙げられる。
グラフト型高分子をラジカル重合で製造する際に用いるマクロモノマーとしては、公知のマクロモノマーを用いることができ、東亞合成(株)製のマクロモノマーAA−6(末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル)、AS−6(末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン)、AN−6S(末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体)、AB−6(末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル)、(株)ダイセル製のプラクセルFM5(メタクリル酸2−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン5モル当量付加品)、FA10L(アクリル酸2−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン10モル当量付加品)、及び特開平2−272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。
ブロック型高分子としては、特開2003−49110号公報、特開2009−52010号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。
顔料分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、楠本化成株式会社製「DA−7301」、BYKChemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)」、EFKA社製「EFKA4047、4050〜4165(ポリウレタン系)、EFKA4330〜4340(ブロック共重合体)、4400〜4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール(株)製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカルズ社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル(株)製「ヒノアクトT−8000E」、森下産業(株)製「EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ(株)製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」、(株)ADEKA製「アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123」、及び三洋化成(株)製「イオネットS−20」等が挙げられる。
着色組成物において、分散剤を含有する場合、分散剤の含有量は、顔料100質量部に対して、1〜80質量部であることが好ましく、5〜70質量部がより好ましく、10〜60質量部であることがさらに好ましい。
(アルカリ可溶性樹脂)
本発明の着色組成物は、樹脂としてアルカリ可溶性樹脂を含有することができる。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性及びパターン形成性が向上する。なお、アルカリ可溶性樹脂は、分散剤やバインダーとして用いることもできる。
アルカリ可溶性樹脂の分子量としては、特に定めるものではないが、重量平均分子量(Mw)が2000〜100,000であることが好ましい。下限は、3,000以上が好ましく、5,000以上がより好ましい。また、数平均分子量(Mn)は、1000〜20,000であることが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であってもよく、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシ基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶剤の種類等の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
アルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましく、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂等、並びに側鎖にカルボキシ基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシ基を有するポリマーに酸無水物を付加させたアルカリ可溶性樹脂が挙げられる。特に、(メタ)アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル(メタ)アクリレート及びアリール(メタ)アクリレートとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。また、他のモノマーは、特開平10−300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマー(例えば、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等)を用いることもできる。なお、これらの(メタ)アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
また、本発明における着色組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。重合性基としては、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に含有したアルカリ可溶性樹脂等が有用である。
重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン株式会社製)、Photomer6173(COOH含有 polyurethane acrylic oligomer.Diamond Shamrock Co.,Ltd.製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業株式会社製)、サイクロマーPシリーズ(例えば、ACA230AA)、プラクセル CF200シリーズ(いずれも(株)ダイセル製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)、アクリキュアーRD−F8(日本触媒社製)などが挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂は、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他のモノマーからなる多元共重合体が好ましく用いることができる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートを共重合したもの、特開平7−140654号公報に記載の、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。
また、市販品としては、例えばFF−426(藤倉化成社製)などを用いることもできる。
アルカリ可溶性樹脂は、下記一般式(ED1)で示される化合物及び/又は特開2010−168539号公報の一般式(1)で表される化合物(以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。)を含むモノマー成分を重合してなるポリマー(a)を含むことも好ましい。
一般式(ED1)中、R及びRで表される置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル、イソブチル、tert−ブチル、tert−アミル、ステアリル、ラウリル、2−エチルヘキシル等の直鎖状又は分岐状のアルキル基;フェニル等のアリール基;シクロヘキシル、tert−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、2−メチル−2−アダマンチル等の脂環式基;1−メトキシエチル、1−エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基;ベンジル基等のアリール基で置換されたアルキル基;等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい1級又は2級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0317を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
アルカリ可溶性樹脂は、下記式(X)で示される化合物に由来する構造単位を含んでいてもよい。
式(X)において、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Rは炭素数1〜10のアルキレン基を表し、Rは、水素原子又はベンゼン環を含んでもよい炭素数1〜20のアルキル基を表す。nは1〜15の整数を表す。
上記式(X)において、Rのアルキレン基の炭素数は、2〜3が好ましい。また、Rのアルキル基の炭素数は1〜20であるが、より好ましくは1〜10であり、Rのアルキル基はベンゼン環を含んでもよい。Rで表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、2−フェニル(イソ)プロピル基等を挙げることができる。
アルカリ可溶性樹脂は、特開2012−208494号公報の段落番号0558〜0571(対応する米国特許出願公開第2012/0235099号明細書の段落番号0685〜0700)の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
さらに、特開2012−32767号公報の段落番号0029〜0063に記載の共重合体(B)及び実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開2012−208474号公報の段落番号0088〜0098に記載のバインダー樹脂及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−137531号公報の段落番号0022〜0032に記載のバインダー樹脂及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2013−024934号公報の段落番号0132〜0143に記載のバインダー樹脂及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2011−242752号公報の段落番号0092〜0098及び実施例で用いられているバインダー樹脂、特開2012−032770号公報の段落番号0030〜0072に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、30〜500mgKOH/gが好ましい。下限は、50mgKOH/g以上がより好ましく、70mgKOH/g以上が更に好ましい。上限は、400mgKOH/g以下がより好ましく、200mgKOH/g以下がさらに好ましく、150mgKOH/g以下が特に好ましく、120mgKOH/g以下が一層好ましい。
着色組成物がアルカリ可溶性樹脂を含有する場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、1〜15質量%が好ましく、2〜12質量%がより好ましく、3〜10質量%が更に好ましい。本発明の着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、1種のみを含んでいてもよいし、2種以上含んでいてもよい。2種以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
<<顔料誘導体>>
本発明の着色組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体は、分散性及び分散安定性の観点から、酸性基又は塩基性基を有する顔料誘導体を含有することが好ましい。
顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ピロロピロール顔料、ジケトピロロピロール顔料、アゾ顔料、フタロシアニン顔料、アントラキノン顔料、キナクリドン顔料、ジオキサジン顔料、ペリノン顔料、ペリレン顔料、チオインジゴ顔料、イソインドリン顔料、イソインドリノン顔料、キノフタロン顔料、スレン顔料、金属錯体顔料等が挙げられる。
また、顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸、カルボン酸及びその4級アンモニウム塩が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基がさらに好ましく、スルホン酸基が特に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、特に三級アミノ基が好ましい。
顔料誘導体としては、ピロロピロール顔料誘導体、キノリン顔料誘導体、ベンズイミダゾロン顔料誘導体、イソインドリン顔料誘導体が好ましく、ピロロピロール顔料誘導体が特に好ましい。
顔料誘導体の含有量は、顔料の全質量に対し、1〜50質量%が好ましく、3〜30質量%がさらに好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
<<有機溶剤>>
本発明の着色組成物は、有機溶剤を含有することができる。有機溶剤は、各成分の溶解性や着色組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、着色組成物の塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
有機溶剤の例としては、例えば、以下のものが挙げられる。
エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル(例えば、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル(例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等))、3−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−アルキルオキシプロピオン酸メチル、3−アルキルオキシプロピオン酸エチル等(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等))、2−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類(例:2−アルキルオキシプロピオン酸メチル、2−アルキルオキシプロピオン酸エチル、2−アルキルオキシプロピオン酸プロピル等(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル))、2−アルキルオキシ−2−メチルプロピオン酸メチル及び2−アルキルオキシ−2−メチルプロピオン酸エチル(例えば、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル等)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。
有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
有機溶剤を2種以上組みあわせて用いる場合、特に好ましくは、上記の3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液である。
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が0.8mmol/L以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。
着色組成物に含まれる有機溶剤の量としては、着色組成物の全量に対し、10〜90質量%であることが好ましく、20〜80質量%であることがより好ましく、25〜75質量%であることが更に好ましい。
<<重合禁止剤>>
本発明の着色組成物は、着色組成物の製造中又は保存中において、光ラジカル重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、重合禁止剤を含有させてもよい。
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、パラメトキシフェノール、ジ−tert−ブチル−パラクレゾール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。中でも、パラメトキシフェノールが好ましい。
重合禁止剤の添加量は、着色組成物の質量に対して、0.01〜5質量%が好ましい。
<<基板密着剤>>
本発明の着色組成物は、基板密着剤を含有することができる。
基板密着剤としては、シラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤を用いることが好ましい。
シラン系カップリング剤としては、例えば、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン等が挙げられる。中でも、基板密着剤としては、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましい。
基板密着剤の含有量は、着色組成物の全固形分に対して、0.1〜30質量%が好ましく、0.5〜20質量%がより好ましく、1〜10質量%が特に好ましい。
<<界面活性剤>>
本発明の着色組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
本発明の着色組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性(特に、流動性)がより向上し、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力が低下して、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行うことができる。
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好適であり、より好ましくは5〜30質量%であり、特に好ましくは7〜25質量%である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、RS−72−K(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC1068、同SC−381、同SC−383、同S393、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(OMNOVA社製)等が挙げられる。フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開2011−89090号公報に記載された化合物が挙げられる。
フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する繰り返し単位とを、含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができ、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜50,000であり、例えば、14,000である。また、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体をフッ素系界面活性剤として用いることもできる。具体例としては、特開2010−164965号公報0050〜0090段落及び0289〜0295段落に記載された化合物、例えばDIC社製のメガファックRS−101、RS−102、RS−718K等が挙げられる。
ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1)、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製)等が挙げられる。また、和光純薬工業社製の、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002を使用することもできる。
カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体(商品名:EFKA−745、森下産業(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株)製)等が挙げられる。
アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017(裕商(株)製)等が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA、トーレシリコーンSH21PA、トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400(以上、東レ・ダウコーニング(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4460、TSF−4452(以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)、KP341、KF6001、KF6002(以上、信越シリコーン株式会社製)、BYK307、BYK323、BYK330(以上、ビックケミー社製)等が挙げられる。
界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を組み合わせてもよい。
界面活性剤の添加量は、着色組成物の全質量に対して、0.001〜2.0質量%が好ましく0.005〜1.0質量%がより好ましい。
<<その他成分>>
本発明の着色組成物は、アゾ系化合物や過酸化物系化合物などの熱重合開始剤、熱重合成分、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤、ジオクチルフタレートなどの可塑剤、低分子量有機カルボン酸などの現像性向上剤、その他充填剤、酸化防止剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することができる。
また、現像後に後加熱で膜の硬化度を上げるために熱硬化剤を添加することができる。熱硬化剤としては、アゾ化合物、過酸化物等の熱重合開始剤、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、エポキシ化合物、スチレン化合物等があげられる。
用いる原料等により組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、着色組成物中の第2族元素(カルシウム、マグネシウム等)の含有量は50ppm以下であることが好ましく、0.01〜10ppmに制御することが好ましい。また、着色組成物中の無機金属塩の総量は100ppm以下であることが好ましく、0.5〜50ppmに制御することがより好ましい。
(着色組成物の調製方法)
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。
着色組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解・分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解・分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液・分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
また、着色剤として顔料を用いる場合、顔料を必要により、樹脂、有機溶剤、顔料誘導体等のその他の成分等と共に分散して、顔料分散液を調製し、得られた顔料分散液を、着色組成物のその他の成分と混合して調製することが好ましい。
着色組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素樹脂、ナイロン(例えばナイロン−6、ナイロン−6,6)等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度及び/又は超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む)等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)及びナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.01〜7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01〜3.0μm程度、さらに好ましくは0.05〜0.5μm程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一及び平滑な組成物の調製を阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましく、ろ材としては例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられ、具体的にはロキテクノ社製のSBPタイプシリーズ(SBP008など)、TPRタイプシリーズ(TPR002、TPR005など)、SHPXタイプシリーズ(SHPX003など)のフィルタカートリッジを用いることができる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。
また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社(DFA4201NXEYなど)、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
例えば、第1のフィルタでのフィルタリングは、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタでのフィルタリングを行ってもよい。
<硬化膜、カラーフィルタ>
次に、本発明の硬化膜及びカラーフィルタについて説明する。
本発明の硬化膜は、上述した本発明の着色組成物を硬化してなるものである。本発明の膜は、カラーフィルタとして好ましく用いられる。
また、本発明のカラーフィルタは、本発明の硬化膜を有するものである。
<パターン形成方法>
次に、本発明のパターン形成方法について説明する。
本発明のパターン形成方法は、着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、着色組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程とを含む。
このようなパターン形成方法は、カラーフィルタの製造に用いられる。すなわち、本発明では、本発明のパターン形成方法を含むカラーフィルタの製造方法についても開示する。以下これらの詳細を述べる。
<<着色組成物層を形成する工程>>
着色組成物層を形成する工程では、支持体上に、本発明の着色組成物を適用して着色組成物層を形成する。
支持体としては、例えば、シリコン、無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスなどの材質で構成された基板が挙げられる。これらの基板上に電荷結合素子(CCD)、相補型金属酸化膜半導体素子(CMOS)、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。支持体には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
支持体上への着色組成物の適用方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布(スピンコート)、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
支持体上に塗布された着色組成物層は、乾燥(プリベーク)することが好ましい。
プリベーク温度は、150℃以下が好ましく、120℃以下がより好ましく、100℃以下が更に好ましく、90℃以下が特に好ましい。下限は、例えば、50℃以上とすることができる。
また、酸発生剤として熱酸発生剤を用いた場合、プリベークは、熱酸発生剤の熱分解温度未満の温度(好ましくは、熱酸発生剤の熱分解温度よりも30〜100℃低い温度)で行うことが好ましい。これによれば、プリベーク時における、熱酸発生剤から酸の発生を抑制できる。
プリベーク時間は、10秒〜300秒が好ましく、40〜250秒がより好ましく、80〜220秒がさらに好ましい。加熱は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
着色層の乾燥後(プリベーク後)の膜厚としては、0.55〜10μmが好ましい。上限は、例えば、7μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。下限は、例えば、0.60μm以上がより好ましく、0.70μm以上が更に好ましく、0.80μm以上が特に好ましい。
<<露光工程>>
次に、着色組成物層を、パターン状に露光する(露光工程)。例えば、着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、g線、i線等の紫外線が好ましく、i線がより好ましい。
また、酸発生剤として光酸発生剤を用いた場合、露光に用いる光の波長と、光酸発生剤の極大吸収波長との差の絶対値は、30〜200nmが好ましく、50〜150nmがより好ましい。これによれば、露光時における、光酸発生剤から酸の発生を抑制できる。
照射量(露光量)は30〜1500mJ/cmが好ましく、50〜1000mJ/cmがより好ましく、80〜500mJ/cmが特に好ましい。
<<現像工程>>
次に、未露光部を現像除去してパターンを形成する。未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の着色組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像方式は、デイップ方式、シャワー方式、スプレー方式、パドル方式などいずれでもよく、これらにスウィング方式、スピン方式、超音波方式などを組み合わせてもよい。
現像液に触れる前に、被現像面を予め水等で湿しておいて、現像むらを防ぐこともできる。
現像液としては、下地の固体撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。
現像液の温度は、例えば、20〜30℃が好ましい。現像時間は、20〜180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。これらのアルカリ剤を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。
また、現像液には無機アルカリを用いてもよい。無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどが好ましい。
また、現像液には、界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤の例としては、上述した着色組成物で説明した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液が界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の含有量は、現像液の全質量に対して、0.001〜2.0質量%が好ましく、より好ましくは0.01〜1.0質量%である。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)することが好ましい。
本発明においては、現像工程後に、乾燥を施した後、加熱処理(ポストベーク)や後露光処理を行ってもよい。ポストベークと後露光とを併用してもよい。
特に、本発明の着色組成物において、酸発生剤として熱酸発生剤を用いた場合は、現像後の着色パターンに対し、加熱処理(ポストベーク)を行うことが好ましい。
また、本発明の着色組成物において、熱酸発生剤として光酸発生剤を用いた場合は、現像後の着色パターンに対し、後露光処理を行うことが好ましい。
ポストベークでの加熱温度は、例えば100〜280℃が好ましく、200〜250℃がより好ましい。
また、酸発生剤として熱酸発生剤を用いた場合は、酸発生剤の熱分解温度以上の温度で行うこともできる。より好ましくは、酸発生剤の熱分解温度よりも30℃以上高い温度であり、さらに好ましくは、酸発生剤の熱分解温度よりも50℃以上高い温度である。上限は、例えば、熱分解温度+80℃以下が好ましい。
ポストベーク処理は、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
酸発生剤として熱酸発生剤を用いた場合、ポストベークにより、現像後の着色層中に酸を発生させて、混色のないカラーフィルタを得ることができる。
また、後露光処理を行う場合、後露光に用いる光は、g線、h線、i線、KrFやArFなどのエキシマレーザ、電子線、X線等により行うことができる。また、既存の高圧水銀灯で20〜50℃程度の低温で行うこともできる。照射時間としては、10秒〜180秒、好ましくは30秒〜60秒である。
また、酸発生剤として光酸発生剤を用いた場合は、光酸発生剤が極大吸収波長に近い波長の光を選択することが好ましい。例えば、後露光に用いる光の波長と、光酸発生剤の極大吸収波長との差の絶対値は、30nm以下が好ましく、20nm以下がより好ましい。
また、上述した現像工程前の露光で用いられる光の波長と、現像工程後の露光(後露光)で用いられる光の波長の差の絶対値は、50〜200nmが好ましく、100〜150nmがより好ましい。
また、後露光での露光量は、10〜100000mJ/cmが好ましく、50〜50000mJ/cmがより好ましく、100〜10000mJ/cmが特に好ましい。
具体的な一例をあげると、上記露光工程では、波長350nmを超え380nm以下の光(好ましくは、波長355〜370nmの光、特に好ましくはi線)で露光を行い、後露光は、波長254〜350nmの光(好ましくは波長254nmの光)で露光を行うことが好ましい。
酸発生剤として光酸発生剤を用いた場合、現像工程前及び現像工程後の2段階で着色組成物層を露光することにより、最初の露光で着色組成物を適度に硬化させることができ、現像後の露光で着色層中に酸を発生させ、混色のないカラーフィルタを得ることができる。
本発明のパターン形成方法は、塗布装置吐出部のノズルや配管部の目詰まり、塗布機内への組成物の付着・沈降・乾燥に起因した汚染等を効率よく洗浄するためには、本発明の着色組成物に関する溶剤を洗浄液として用いることが好ましい。また、特開平7−128867号公報、特開平7−146562号公報、特開平8−278637号公報、特開2000−273370号公報、特開2006−85140号公報、特開2006−291191号公報、特開2007−2101号公報、特開2007−2102号公報、特開2007−281523号公報などに記載の洗浄液を好適に用いることができる。
上記のうち、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート及びアルキレングリコールモノアルキルエーテルが好ましい。
これら溶媒は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合する場合、ヒドロキシ基を有する溶剤とヒドロキシ基を有しない溶剤とを混合することが好ましい。ヒドロキシ基を有する溶剤とヒドロキシ基を有しない溶剤との質量比は、1/99〜99/1、好ましくは10/90〜90/10、さらに好ましくは20/80〜80/20である。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)とプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。なお、汚染物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には上述した本発明の着色組成物に関する界面活性剤を添加してもよい。
本発明のカラーフィルタは、電荷結合素子(CCD)、相補型金属酸化膜半導体素子(CMOS)等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCDやCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCD又はCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
また、本発明のカラーフィルタは、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子用として好ましく用いることができる。有機EL素子としては、白色有機EL素子が好ましい。白色有機EL素子は、タンデム構造であることが好ましい。有機EL素子のタンデム構造については、特開2003−45676号公報、三上明義監修、「有機EL技術開発の最前線−高輝度・高精度・長寿命化・ノウハウ集−」、技術情報協会、326−328ページ、2008年などに記載されている。有機EL素子のタンデム構造としては、例えば、基板の一面において、光反射性を備えた下部電極と光透過性を備えた上部電極との間に有機EL層を設けた構造などが挙げられる。下部電極は、可視光の波長域において十分な反射率を有する材料により構成されていることが好ましい。有機EL層は、複数の発光層を含み、それら複数の発光層が積層された積層構造(タンデム構造)を有していることが好ましい。有機EL層は、例えば、複数の発光層には、赤色発光層、緑色発光層及び青色発光層を含むことができる。そして、複数の発光層とともに、それらは発光層を発光させるための複数の発光補助層を併せて有することが好ましい。有機EL層は、例えば、発光層と発光補助層とが交互に積層する積層構造とすることができる。こうした構造の有機EL層を有する有機EL素子は、白色光を発光することができる。その場合、有機EL素子が発光する白色光のスペクトルは、青色領域(430nm−485nm)、緑色領域(530nm−580nm)及び黄色領域(580nm−620nm)に強い極大発光ピークを有するものが好ましい。これらの発光ピークに加え更に赤色領域(650nm−700nm)に極大発光ピークを有するものがより好ましい。白色光を発光する有機EL素子(白色有機EL素子)と、本発明のカラーフィルタとを組み合わせることにより、色再現性上優れた分光が得られ、より鮮明な映像や画像を表示可能である。
本発明のカラーフィルタにおける着色パターン(着色画素)の膜厚は、2.0μm以下が好ましく、1.0μm以下がより好ましく、0.7μm以下がさらに好ましい。下限は、例えば0.1μm以上とすることができ、0.2μm以上とすることもできる。
また、着色パターン(着色画素)のサイズ(パターン幅)としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。下限は、例えば0.1μm以上とすることができ、0.2μm以上とすることもできる。
<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明のカラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
支持体上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサー等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオード及び転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを有する構成である。
さらに、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
<画像表示装置>
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。
表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
本発明のカラーフィルタは、カラーTFT(Thin Film Transistor)方式の液晶表示装置に用いてもよい。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに、本発明はIPS(In Plane Switching)などの横電界駆動方式、MVA(Multi−domain Vertical Alignment)などの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN(Super−Twist Nematic)、TN(Twisted Nematic)、VA(Vertical Alignment)、OCS(on−chip spacer)、FFS(fringe field switching)、及び、R−OCB(Reflective Optically Compensated Bend)等にも適用できる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color−filter On Array)方式にも供することが可能である。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。
本発明におけるカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、本発明におけるカラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなど様々な部材から構成される。本発明のカラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「'94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
本発明におけるカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、さらに、赤、緑、青のダイオード光源をバックライトとすることによって輝度が高く、また、色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「%」は、質量基準である。
<重量平均分子量の測定>
重量平均分子量は、以下の方法で測定した。
カラムの種類:東ソー製 TSKgel Super HZM−Hと、TOSOH TSKgel Super HZ4000と、TOSOH TSKgel Super HZ2000とを連結したカラム
展開溶媒:テトラヒドロフラン
カラム温度:40℃
流量(サンプル注入量):1.0μL(サンプル濃度:0.1質量%)
装置名:東ソー製 HLC−8220GPC
検出器:RI(屈折率)検出器
検量線ベース樹脂:ポリスチレン樹脂
<使用した原料>
以下の実施例及び比較例で使用した原料は以下の通りである。
(顔料分散液A)
顔料としてピグメントブルー15:6 10質量部と、樹脂A(下記構造)を16.7質量部と、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 73.3質量部とからなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合及び分散して、顔料分散液Aを調製した。
(顔料分散液B)
ピグメントバイオレット23 10質量部と、樹脂Aを16.7部と、溶剤としてPGMEA 73.3質量部とからなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合及び分散して、顔料分散液Bを調製した。
・樹脂A:下記構造(Lの波線は、硫黄原子との結合部を表す。a=3.5、b=2.5、酸価=30mgKOH/g、Mw=2000、固形分30質量%PGMEA溶液)
・キサンテン色素C:下記構造(色素多量体、重量平均分子量=12000、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
・キサンテン色素D:下記構造(色素多量体、重量平均分子量=13200、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
・キサンテン色素E:(色素多量体、重量平均分子量=12000、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
・キサンテン色素F:(色素多量体、重量平均分子量=12000、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
・キサンテン色素G
・キサンテン色素H(色素多量体、重量平均分子量=13200、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
・キサンテン色素I(色素多量体、重量平均分子量=10000、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
・キサンテン色素J(色素多量体、重量平均分子量=10000、主鎖の繰り返し単位に併記される数値は質量比である。)
(光酸発生剤)
・光酸発生剤A:DS−101(スルホン酸エステル化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・光酸発生剤B:MBZ−201(スルホン酸エステル化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・光酸発生剤C:PI−105(スルホン酸エステル化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・光酸発生剤D:PAI−101(スルホン酸エステル化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・光酸発生剤E:TAZ−101(トリアジン化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・光酸発生剤F:TAZ−109(トリアジン化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・光酸発生剤G:TAZ−201(トリアジン化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
(熱酸発生剤)
・熱酸発生剤A:テトラエチレングリコールビス(パラトルエンスルホナート)、TCI製、分子量=502、pKaが4以下の酸を発生する化合物
熱酸発生剤B パラトルエンスルホン酸ブチル:TCI製、分子量=228、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・熱酸発生剤C:下記化合物(分子量=443、pKaが4以下の酸を発生する化合物)
・熱酸発生剤D:SI−105(スルホンイミド化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・熱酸発生剤E:NDI−101(スルホンイミド化合物)、みどり化学製、pKaが4以下の酸を発生する化合物
・樹脂1:アクリキュアーRD−F8(日本触媒(株)製、重量平均分子量=11000)
・ラジカル重合性化合物:KAYARAD DPHA (日本化薬(株)製、モノマー、分子量=562)
・硬化性化合物:jER1031S(三菱化学社製)
・光ラジカル重合開始剤:IRGACURE OXE−01(BASF社製)、極大吸収波長=325nm
・界面活性剤:下記混合物(Mw=14000)
有機溶剤:PGMEA
(試験例1)
<ネガ型硬化性着色組成物の調製>
表1に示す各成分を混合して、ネガ型硬化性着色組成物を得た。
<硬化膜の製造方法>
ネガ型硬化性着色組成物を、下塗り層付ガラスウエハ上に、乾燥膜厚が0.6μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行い、ガラスウエハ上に着色膜を形成した。
次いで、この着色膜に対して、1μmの正方ピクセルが配列されたマスクパターンを介してi線ステッパー露光装置(キャノン(株)製、FPA−3000i5+)を使用して、365nmの波長の光(i線)で、200mJ/cmの露光量で露光した。
次いで、露光された塗布膜が形成されているガラスウェハを、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。
その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗し、200℃のホットプレートを用いて300秒間加熱処理(ポストベーク)を行い、硬化膜(カラーフィルタ)を得た。
<混色評価>
得られた硬化膜の分光特性として、MCPD−3000(大塚電子(株)製)を使用して、400〜700nmの波長範囲における最大透過率T0を測定した。
次に、各硬化膜上に、以下に示す混色評価用赤色着色組成物を、乾燥後の膜厚が0.6μmになるようにスピン塗布し、100℃で120秒間加熱処理(プリベーク)を行った。次いで、i線ステッパー露光装置での露光を行わずに、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いたスピンシャワーにてリンスを行い、混色評価用赤色着色組成物を現像除去した。
混色評価用赤色着色組成物を現像除去後の硬化膜の分光特性として、MCPD−3000(大塚電子(株)製)を使用して、400〜700nmの波長範囲における最大透過率T1を測定した。
最大透過率変化(ΔT=T0−T1)を算出し、以下の基準に基づいて判定した。ΔTが小さいほど混色が少なく、より望ましい。
−評価基準−
5:最大透過率変化が1%未満である。
4:最大透過率変化が1%以上3%未満である。
3:最大透過率変化が3%以上5%未満である。
2:最大透過率変化が5%以上10%未満である。
1:最大透過率変化が10%以上である。
<混色評価用赤色着色組成物>
C.I.ピグメントレッド254 9.9質量部、C.I.ピグメントイエロー139 4.4質量部、顔料誘導体A 1.4質量部、分散剤Aを30質量%含有するPGMEA溶液 15.6質量部、PGMEA 41.5質量部とからなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合・分散して、Red顔料分散液を調製した。
上記Red顔料分散液 37.7質量部、上記アルカリ可溶性樹脂1 5.6部、上記ラジカル重合性化合物1 7質量部、上記光ラジカル重合開始剤1 3.92質量部、上記界面活性剤1 0.28質量部、PGMEA 51.47質量部を均一に混合し、混色評価用Red顔料含有組成物を調製した。
・顔料誘導体A:以下に示す構造
・分散剤A:以下に示す構造
<膜面荒れ評価>
混色試験後の硬化膜の表面(測定範囲:5cm×5cm)を、光学顕微鏡(倍率:100倍)を用い、観察した。
−評価基準−
5:表面に異常は見られない(表面が滑らか)。
4:表面にごく小さな点状の凹凸物が数個見られる。
3:表面に小さな点状の凹凸物が数十個見られる。
2:表面に凹凸物が多く付着している。
1:面内一面に凹凸物が付着している。
<分光評価>
得られた硬化膜の透過光を、分光光度計MCPD−3000(大塚電子(株)製)で測定した。
−評価基準−
5:波長500nmの透過率が40%未満で、波長450nmの透過率が85%以上である。
4:波長500nmの透過率が40%未満で、波長450nmの透過率が82.5%以上85%未満である。
3:波長500nmの透過率が40%未満で、波長450nmの透過率が80%以上82.5%未満である。
2:波長500nmの透過率が40%未満で、波長450nmの透過率が77.5%以上80%未満である。
1:波長500nmの透過率が40%未満で、波長450nmの透過率が77.5%未満である。又は、波長500nmの透過率が40%を超える。
上記結果より、実施例は、混色の抑制された硬化膜を形成することができた。また、混色試験後の膜面は良好であった。更には、キサンテン色素を使用した実施例1−1〜1−5は、分光も良好であった。
一方、比較例は、混色が生じ易かった。更には、混色試験後の膜面が実施例に比べて劣っていた。
(試験例2)
<ネガ型硬化性着色組成物の調製>
表2、3に示す各成分を混合して、ネガ型硬化性着色組成物を得た。
<硬化膜の製造方法>
ネガ型硬化性着色組成物を、下塗り層付ガラスウエハ上に、乾燥膜厚が0.6μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行い、ガラスウエハ上に着色膜を形成した。
次いで、この着色膜に対して、1μmの正方ピクセルが配列されたマスクパターンを介してi線ステッパー露光装置(キャノン(株)製のFPA−3000i5+)を使用して、365nmの波長の光(i線)で、200mJ/cmの露光量で露光した。
次いで、露光された塗布膜が形成されているガラスウェハを、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH) 0.3%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。
次いで、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。
次いで、現像後の塗布膜に対して、UV照射装置(ウシオ電機(株)製のUMA−802−HC552FFAL)を使用して、5000mJ/cmの露光量で露光した後硬化膜(カラーフィルタ)を得た。
<評価>
試験例1と同様の方法で、混色、膜面及び分光を評価した。
上記結果より、実施例は、混色の抑制された硬化膜を形成することができた。また、混色試験後の膜面は良好であった。
一方、比較例は、混色が生じ易かった。更には、混色試験後の膜面が実施例に比べて劣っていた。

Claims (16)

  1. 着色剤と、酸発生剤と、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む、ネガ型硬化性着色組成物であって、
    前記着色剤は、カチオンとアニオンとを有する色素を含み、
    前記カチオンが、下記一般式(1)で表される骨格構造を有するカチオンであり、
    前記酸発生剤が熱酸発生剤のみからなり、
    熱酸発生剤がスルホン酸エステル化合物及びスルホンイミド化合物から選ばれる少なくとも1種であり、
    前記酸発生剤の含有量が、前記ネガ型硬化性着色組成物の全固形分に対して、1〜20質量%であり、
    前記ネガ型硬化性着色組成物は、カチオン重合性化合物を含有しない、
    カラーフィルタ用のネガ型硬化性着色組成物。
    (式中、Ar 及びAr は、それぞれ独立に、アリール基を表す。)
  2. 着色剤と、酸発生剤と、光ラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤とを含む、ネガ型硬化性着色組成物であって、
    前記着色剤は、カチオンとアニオンとを有する色素を含み、
    前記カチオンが、キサンテン構造を有するカチオンであり、
    前記アニオンが、ビス(スルホニル)イミドアニオン、トリス(スルホニル)メチドアニオン及びテトラアリールボレートアニオンから選択される少なくとも一種であり、
    前記酸発生剤が熱酸発生剤のみからなり、
    熱酸発生剤がスルホン酸エステル化合物及びスルホンイミド化合物から選ばれる少なくとも1種であり、
    前記酸発生剤の含有量が、前記ネガ型硬化性着色組成物の全固形分に対して、1〜20質量%であり、
    前記ネガ型硬化性着色組成物は、カチオン重合性化合物を含有しない、
    カラーフィルタ用のネガ型硬化性着色組成物。
  3. 前記酸発生剤は、pKaが4以下の酸を発生する化合物である、請求項1または2に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  4. 前記酸発生剤の分子量が200〜1000である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  5. 熱酸発生剤がスルホンイミド化合物である、請求項1〜のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  6. 熱酸発生剤がスルホン酸エステル化合物である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  7. 前記酸発生剤と前記光ラジカル重合性化合物との質量比が、酸発生剤:光ラジカル重合性化合物=1:1〜1:5である、請求項1〜のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  8. 前記カチオンと、前記アニオンとが、共有結合を介して結合している、請求項1〜のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  9. 前記アニオンが、ビス(スルホニル)イミドアニオンまたはトリス(スルホニル)メチドアニオンである、請求項1〜のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  10. 前記着色剤は、色素多量体を含む、請求項1〜のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  11. 前記酸発生剤の含有量が、前記ネガ型硬化性着色組成物の全固形分に対して、1〜10質量%である、請求項1〜10のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物。
  12. 請求項1〜11のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物を用いてなる硬化膜。
  13. 請求項12に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
  14. 請求項1〜11のいずれか1項に記載のネガ型硬化性着色組成物を用いて支持体上にネガ型硬化性着色組成物層を形成する工程と、
    前記ネガ型硬化性着色組成物をパターン状に露光する工程と、
    未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程と、
    を含むパターン形成方法。
  15. 前記着色パターンを形成する工程の後、前記着色パターンを加熱する工程を更に有する、請求項14に記載のパターン形成方法。
  16. 請求項13に記載のカラーフィルタを有する装置であって、前記装置が、固体撮像素子又は画像表示装置である、装置。
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