JP6789049B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
以上により、検査対象の表面反射光があった場合においても、異物を検出することが可能となる。
システム制御部112は、第一の電磁波発生部101及び第二の電磁波発生部102の出射及び停止を制御可能であり、検出部108で受光した光強度の情報を蓄えることができ、蓄えた光強度の情報を演算する機能を有する。さらには、ビーム103の照射位置を変更させるため、検査対象109を移動させるためのステージを制御する機能を有する。
本実施例では、一例として電磁波発生部より照射された電磁波をビーム成形し、集光したり、平行光にしたりし、電磁波発生部より照射した電磁波を効率良く検査対象に照射し、効率よく反射光を検出する例を示したが、照射した電磁波の強度が十分強かったり、反射光の強度が十分強い場合で且つ、検査対象を検査する際に必要とされる分解能によっては、必ずしもビーム成形をする必要は無い。従って、本実施例での構成の放物面鏡や、ハーフミラーなどの光学素子は用途や必要性に応じて適宜選択し、必要な素子を使用すれば良い。
検査が終了すると、測定した全領域における演算結果がシステム制御部112に格納されているため、前記情報を確認することで、検査対象に異物が存在したか、さらには検査対象のどの領域に異物が存在したかを確認することができる。
以上により、検査対象の異物検査を、電磁波を発生させる光源1つで実施することができ、光学系の小型化が狙える上に、測定の厳密性向上が狙える。
103:第一の電磁波及び第二の電磁波のビーム、
202、203、204:照射した電磁波ビーム
401:検査対象を透過する電磁波成分、402:表面反射成分
Claims (6)
- 検査対象に照射した電磁波の反射成分を受光することで異物の有無を検査する検査装置であって、
2つ以上の異なる周波数帯の電磁波を照射する照射手段と、
前記検査対象に照射した電磁波の光強度を検出する検出手段と、
前記検出した光強度情報を格納及び演算する演算手段とを有し、
前記検査対象に照射する電磁波は、検査対象を透過することのできる周波数帯である第一の電磁波と、検査対象に対し透過性が低いもしくは第一の電磁波と比べて透過性が低い周波数帯である第二の電磁波を含み、
前記照射手段において検査対象の略同一領域に前記第一の電磁波及び前記第二の電磁波を偏光方向が互いに異なる偏光で照射し、前記演算手段は前記検出手段でそれぞれの反射光から検出された光強度を演算することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記検出手段は、偏光方向毎に別々に光強度を検出し、検査の際に、前記照射手段は、第一の電磁波と第二の電磁波を同時に検査対象に照射することを特徴とする検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置であって、
電磁波を発生させる光源部を有し、
前記光源部は前記第一の電磁波を発生させる第一のホーンと、前記第二の電磁波を発生させる第二のホーンで構成され、
前記第一のホーンに対し、前記第二のホーンは略垂直に配置されることを特徴とする検査装置。 - 検査対象に照射した電磁波の反射成分を受光することで異物の有無を検査する検査方法であって、
2つ以上の異なる周波数帯の電磁波を照射する照射ステップと、
前記検査対象に照射した電磁波の光強度を検出する検出ステップと、
前記検出した光強度情報を格納及び演算する演算ステップと、を有し、
前記検査対象に照射する電磁波は、検査対象を透過することのできる周波数帯である第一の電磁波と、検査対象に対し透過性が低いもしくは第一の電磁波と比べて透過性が低い周波数帯である第二の電磁波を含み、
前記照射ステップにおいて検査対象の略同一領域に前記第一の電磁波及び前記第二の電磁波を偏光方向が互いに異なる偏光で照射し、前記演算ステップは前記検出ステップでそれぞれの反射光から検出された光強度を演算することを特徴とする検査方法。 - 請求項4に記載の検査方法であって、
検査対象に照射する電磁波の周波数を任意に選択するステップを有することを特徴とする検査方法。 - 検査対象に照射した電磁波の反射成分を受光することで異物の有無を検査する検査方法であって、
検査対象の測定領域に位置づけするステップと、
検査対象を透過する波長帯である第一の電磁波と検査対象を透過しない波長帯である第二の電磁波との偏光方向を別々にして同時に検査対象に照射するステップと、
照射された前記第一の電磁波と前記第二の電磁波の検査対象からの反射光の光量とを別々に検出するステップと、
別々に検出された前記第一の電磁波の反射光量情報と、前記第二の電磁波の反射光量情報と、を用い演算するステップと、
を有することを特徴とする検査方法。
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JP2018054392A JP2018054392A (ja) | 2018-04-05 |
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