JP6787557B2 - ワイヤレス超音波センサ及び試験対象物 - Google Patents

Description

背景

非破壊検査（ＮＤＴ）は、試験対象物の特性を、試験対象物に損傷を与えることなく評価するために、広範な産業にわたって広く使用されている。試験対象物には例えば、複合的な航空機パネル、ガスタービンエンジン部品、パイプラインおよび圧力容器が含まれている。

例えば、試験対象物を使用しながら信頼性のある再現可能な測定および／またはその場での監視を提供するために、ＮＤＴセンサを試験対象物に組み込むことが公知である。例えば、試験対象物中または試験対象物上に超音波センサを組み込むことが公知である。

しかし、組み込みのＮＤＴセンサへの有線接続を形成することに伴う困難のために、組み込みのＮＤＴセンサを使用して測定を行うことが課題となる場合がある。この問題に取り組むための選択肢の１つは、組み込みのＮＤＴセンサに、それ自体の蓄電装置を設けることであるが、これは、センサがかさばるという結果につながる場合がある。そのうえ、組み込みのセンサに手が届かない場合（例えば、センサが試験対象物内に、部分的または完全に埋め込まれている場合）に、蓄電装置の充電または交換が困難なことがある。

ゆえに、外部の測定装置に誘導的に結合することのできる、ワイヤレスの組み込みのＮＤＴセンサを提供することが公知である。誘導結合により、公知の無線自動識別（ＲＦＩＤ）モジュールに類似した仕方で、組み込みのセンサに、外部の装置から給電することが可能となる。組み込みのセンサから外部の装置への測定情報の再転送のために、誘導結合を使用することもできる。

しかし、本発明者は、公知のワイヤレスＮＤＴセンサが設計の点で、大きく、重く、かつ／または、過度に複雑な場合のあることを確認している。

本発明の第１の態様によれば、試験対象物の非破壊検査に適したワイヤレスセンサであって、
試験対象物の特性を非破壊的に検査するよう構成された変換器と、
包囲部を画定するよう構成され、変換器に電気的に結合されて変換器を遠隔的な装置により誘導的に作動させることを可能にする、導電性の変換器コイルとを備え、
変換器コイルにより画定される包囲部は、変換器の対応する幅寸法よりも広い内部幅寸法を有している、ワイヤレスセンサが提供される。

変換器は、導電性の要素（例えば電極）を備えていてもよい。ワイヤレスセンサが誘導的に給電されると、外部の測定装置の送信器コイルが、変換器の導電性電極に渦電流を生成することがある。渦電流は次いで、送信器コイルからの入射場と破壊的に相互作用する磁場を生成し、磁場は、変換器コイルをソースフィールドから結合解除するよう働き、それにより、変換器の直上に「結合解除空間」を画定する。本発明の第１の態様に係る変換器コイルは、コイルの一部または全体が結合解除空間の外側になり、それにより、保護的なフェライトコアなどを設けて磁場を改善する必要を回避するようなサイズとされた包囲部を画定する。これにより、より軽く、より小型のセンサを提供することが可能となり、このセンサは埋め込みのセンサ用途に特に好適である。例えば、航空機部品などの炭素繊維複合材の試験対象物にセンサを埋め込む場合、構造的な一体性への影響を最小化するために、センサが薄型であること、すなわち、幅方向に垂直な方向に薄いことが重要である。

変換器コイルにより画定される包囲部は、それぞれが変換器の対応する幅寸法よりも広い、複数の別個の内部幅寸法を有していてもよい。これにより、設置面積すなわち幅が小さいセンサ構成を可能にすることができ、変換器の対応する幅寸法よりも広い単独の内部幅寸法を変換器コイルが有している実施形態に比べて、センサと外部の測定装置との間の改善された誘導結合を可能にすることができる。

変換器コイルにより画定される包囲部は、変換器を受け入れるサイズとされていてもよい。これにより、薄型のセンサ構成を可能にすることができ、いくつかの実施形態では、変換器コイルが非結合空間を包囲することを可能にすることができる。

変換器が変換器コイルにより画定される包囲部内に配置された状態で、変換器コイルは、変換器と同じ平面中に取り付けられていてもよい。これにより、最適な薄型のセンサ構成という結果が得られる。

変換器コイルは変換器に対して、当該変換器コイルが変換器のわずか５倍、好ましくはわずか３倍、さらにより好ましくはわずか２倍の厚みで変換器から離間されている、概ね同軸で平行な関係に取り付けられていてもよい。厚みは、変換器の平均の厚みまたは最大の厚みを指していてもよい。いくつかの実施形態では、変換器コイルは、わずか６ｍｍ、好ましくはわずか４ｍｍ、好ましくはわずか３ｍｍ、さらにより好ましくはわずか２ｍｍまたは１ｍｍだけ、変換器から離間されている。このような実施形態により、コイルとセンサとの間の動的な分離を実現することができるが、センサがコイルの直下にあるという良好なセンサの局所化が維持されており、これは、埋め込みのセンサ用途において好適である場合がある。

コイルは、それぞれが変換器の対応する外部幅寸法の少なくとも１．１倍である、１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法を有していてもよい。これにより、コイルと非結合空間または変換器との間に緩衝空間を設けることができる。コイルが変換器を受け入れるサイズとされている実施形態では、これにより、変換器への電気結合の提供を簡略化することができる。変換器が非結合空間を発生させる実施形態では、非結合空間とコイルとの間で分離が増大することで、送信器コイルと変換器コイルとの間の誘導結合に対する非結合空間の作用を低減することができる。

１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法は、それぞれが変換器の対応する外部幅寸法の１．０１〜１０倍の間であってもよく、変換器の対応する外部幅寸法の好ましくは１．０１〜５倍の間、より好ましくは１．０１〜２倍の間、より好ましくは１．０１〜１．５倍の間、さらにより好ましくは１．０１〜１．１倍の間であってもよい。このような実施形態により、一方で、緩衝空間の間、コイルと非結合空間または変換器との間の最適な釣り合いを、他方で最適な全体のセンサ幅を提供することができる。

コイルの内部幅寸法は直径であってもよく、変換器の対応する外部幅寸法は直径であってもよい。円盤形状の変換器により、良好な有効範囲で、導波用途において無指向性の測定感度を提供することができる。

センサは、変換器コイルと当該センサの結合面との間に設けられた電磁干渉（ＥＭＩ）吸収体の層を含んでいてもよく、結合面は、試験対象物に結合するよう構成されている。使用時に、結合面は、送信器コイルに対して、センサの反対側にあってもよい。送信器コイルが金属製の構造体の近傍に置かれている場合、構造体の表面に渦電流が誘導される。渦電流により生じる磁場のために、特に変換器コイルが金属製の構造体の表面の直上に置かれている場合に、送信器コイルと変換器コイルとの間の結合が低減される。ＥＭＩ吸収体は、送信器コイルからの入射電磁放射を吸収し、それにより、金属製の構造体中の渦電流を除去することができ、金属製の構造体の表面にセンサを取り付けることを可能にする。

ＥＭＩ吸収体の層は変換器よりも薄くてもよく、ある場合、変換器とコイルとの間の厚みの違いよりも薄くてもよい。これにより、金属製の構造体とともに使用することのできる、小型で薄型のセンサを提供することができる。

ＥＭＩ吸収体および／または変換器コイルおよび／または変換器は、柔軟な材料で形成されていてもよい。これにより、湾曲した構造体にセンサを適用することができる。

変換器は、熱変換器、超音波変換器、ひずみゲージ、化学センサ、および、加速度計、および、電磁変換器の１つを備えていてもよい。

コイルは平面コイルとして構成されていてもよく、ある場合、片面または両面のＰＣＢ上に形成されていてもよい。

本発明の第２の態様によれば、第１の態様に係る１つまたはそれ以上のセンサを含む試験対象物であって、センサは当該試験対象物に結合されている、試験対象物が提供される。

試験対象物は、複合的な航空機パネル、リブもしくはスパ（ｓｐａ）などの複合部品、または、ガスタービンエンジン部品、パイプラインもしくは圧力容器などの金属部品を備えていてもよい。

本発明の実施形態を、添付図面を参照しながら、単なる例として、次に説明する。

ワイヤレスＮＤＴセンサ設計に伴う問題を示す模式図である。 本発明の実施形態に係るＮＤＴセンサの模式図である。 本発明の実施形態に係るＮＤＴセンサの模式図である。 本発明の実施形態に係るＮＤＴセンサの模式図である。 本発明の別の実施形態に係るＮＤＴセンサの模式図である。 本発明の別の実施形態に係るＮＤＴセンサの模式図である。

図１は、本発明が、導電性の変換器要素を含むワイヤレスＮＤＴセンサ１００により取り組もうと努める問題を、模式的に示している。ＮＤＴセンサ１００は、圧電変換器１０２と、変換器１０２に電気的に結合されて、電磁気的な送信器コイル１０６を介し、遠隔的な電源（図示せず）により、変換器１０２を誘導的に給電することを可能にする、電磁気的な変換器コイル１０４とを含んでいる。

センサ１００のサイズを最小化するために、本発明者は、変換器１０２と変換器コイル１０４とを、可能な限り互いに近づけて配置するよう試みた。しかし、変換器コイル１０４を変換器１０２の頂部に直接載置すると、センサ１００と遠隔的な電源との間の誘導結合が不十分となる。これは、送信器コイル１０６が、変換器１０２の導電性電極に渦電流１０８を生成し、次いで渦電流１０８が、送信器コイル１０６からの入射場１１２を打ち消す磁場１１０を生成し、それにより、変換器コイル１０４がソースフィールドから結合解除される「非結合空間」１１４が形成されるためである。

上述した問題に対する公知の解決策は、コイル１０４と変換器１０２との間にフェライトコアを取り付けて、磁束を制御することである。例えば、Ｇｒｅｖｅ、Ｈｏｏｎ、ＹｕｅおよびＯｐｐｅｎｈｅｉｍの「Ａｎ Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｌａｍｂ Ｗａｖｅ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ， ＩＥＥＥ ｓｅｎｓｏｒ ｊｏｕｒｎａｌ ｖｏｌ ７ ｎｏ．２ ２００７」を参照されたい。しかし、本発明により、こうした解決策の結果、センサ設計が嵩高くて重いものになることが確認されている。

図２ａ、図２ｂ、図２ｃは、本発明の実施形態に係るワイヤレスＮＤＴセンサ１０を模式的に示している。センサ１０は、変換器１２と、開いた中央部または包囲部１４ａを画定するよう構成され、かつ、変換器１２に電気的に結合されて、従来の外部の測定装置５０を介し、遠隔的な電源（図示せず）により、変換器１２を誘導的に給電することを可能にする、導電性の変換器コイル１４とを含んでいる。図２ａに示すように、センサ１０の変換器コイル１４は、変換器コイル１４が、非結合空間２０の周りで磁場１８を介して送信器コイル１６に誘導的に結合できるよう、構成されている。

図示した実施形態では、変換器１２は、変換器１２の運転周波数に応じて、１６ｍｍの直径ＯＤおよび０．３ｍｍ〜１ｍｍの厚みＴＨを有する、圧電ディスクである。変換器１２は、デンマークのクヴィストゴー所在のＮｏｌｉａｃ Ｇｒｏｕｐが提供するＮＣＥ５１圧電材料で形成されている。

他の実施形態では、熱変換器、ひずみゲージ、化学センサ、加速度計またはＲＦ変換器などの、いずれかの適切な変換器が設けられていてもよい。このように、変換器の中には、導電性電極を含まないものがあってもよく、その場合、上で言及した非結合空間問題は生じないことになる。しかし、そのような実施形態では、変換器を受け入れるサイズとされて薄型のセンサ設計を可能にする変換器コイルを設けるのが好適である。本発明の実施形態における変換器は、いかなる適切なサイズおよび／または形状（例えば、２ｍｍ〜３０ｍｍの間の幅または直径、ならびに、０．２５ｍｍ〜５ｍｍの間の厚み）を有していてもよい。

図示した実施形態では、変換器コイル１４は、変換器ディスク１２を包囲する両面のプリント基板（ＰＣＢ）（図示せず）上に作製された平面コイルとして構成されている。コイルは、ＰＣＢの各側で１９ずつ、３８の巻き数を有している。図示した例では変換器コイル１４はＰＣＢ上に印刷されているが、他の実施形態では、コイルはコイル状ワイヤにより形成されていてもよく、ある場合、支持構造体上に取り付けられていてもよい。

変換器コイル１４の開いた中央部１４ａは、変換器１２よりも広い自由空間の包囲部を画定している。つまり、変換器１２は、変換器１２と同じ平面において、変換器コイル１４の開いた中央部１４ａにより受け入れられ、かつ、変換器コイル１４の開いた中央部１４ａ内に配置することができる。本発明の実施形態では、「同じ平面中に取り付けられ」という用語は、変換器１２の厚みＴＨに対応する平面空間内に少なくとも部分的に、ある場合には完全に、存在するように部品が取り付けられることを意味していてもよい。この空間を、「変換器平面」２１と呼ぶことにする。この例では、変換器コイル１４の内径ＩＤは、変換器１２の直径ＯＤよりも大きくされており、コイル１４を変換器１２に結合するための径方向の隙間を提供している。内径は２４ｍｍである。

他の実施形態では、変換器コイルの１つまたはそれ以上の部分が結合解除空間の外側となる（例えば、２０ｍｍ〜３００ｍｍの間の内径ＩＤ）ように、それぞれが変換器の対応する幅寸法よりも広くなる１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法を有する、いずれかの適切な変換器コイル１４が設けられていてもよい。コイルの最も内部の幅寸法がそれぞれ、変換器の対応する幅寸法よりも広いことが好ましく、コイル包囲部が変換器を受け入れるサイズとされているのが、さらにより好ましく、好ましい実施形態は、変換器の外部幅におおよそ適合する内部幅を有している。

図示した実施形態では、変換器コイル１４は、変換器１２と同じ平面２１中に取り付けられている。その結果、複合的な試験対象物に埋め込むのに適した、薄型のセンサ設計となっている。しかし、図３に示すような他の実施形態では、変換器コイル１４を変換器平面２１の外側に取り付けることができる。例えば、変換器コイル１４を変換器１２に対して、変換器コイル１４が少なくとも部分的に、ある場合には完全に、変換器平面２１の外側に来るが、変換器平面２１のごく近傍にある、概ね同軸で平行な関係に取り付けることができる。コイル１４が変換器平面２１の外側に取り付けられている実施形態では、コイル包囲部は自由空間を画定する必要はないが、例えば、コイル１４の一部を画定していないＰＣＢ基板により占有されていてもよい。

コイル１４が変換器１２に接続されていれば、この２つの部品を絶縁被覆中に封入することができる。例えば、この２つの部品を、アクリル接着剤により互いに接合されたポリイミドフィルムのシートの間に封入することができる。

図３は、代替的な実施形態に係るワイヤレスＮＤＴセンサ３０を、断面図で模式的に示している。図３に示す実施形態では、変換器コイル１４を変換器平面２１の外側に取り付けた状態で、変換器コイル１４の中央部および変換器１２の中央部が、軸線３２に沿って軸方向に整列されている。コイル１４を取り付けるために、プラスチック材料で形成されたフレームなどの、いずれかの適切な支持体（図示せず）を設けてもよい。

図４は、本発明の別の実施形態に係るワイヤレスＮＤＴセンサ２２を、断面図で模式的に示している。この実施形態は、金属製の構造体２６上にワイヤレスＮＤＴセンサを組み込むことに関連した問題に取り組むことを目的としている。センサ２２は、図２ａ、図２ｂおよび図２ｃを参照して説明したセンサ１０に類似しており、簡略化のために、ここでは相違点のみを説明することにする。

ワイヤレスＮＤＴセンサを金属製の構造体２６上に取り付ける際、送信器コイル（図示せず）は、金属製の構造体２６の表面に渦電流を誘導する。渦電流は、変換器平面内で変換器の周りに磁場を生成させる。生成された磁場は、金属製の構造体のごく近傍にある変換器平面内に変換器コイル１４が取り付けられている場合に、送信器コイルと変換器コイル１４との間の誘導結合に悪影響を及ぼすことがある。

図示した実施形態は、金属製の構造体２６中での渦電流形成を抑制するために送信器コイルからの入射エネルギーを吸収する、送信器コイルに対してコイル１４の裏側に設けられた、電磁干渉（ＥＭＩ）吸収体２４の層を含んでいる。ＥＭＩ吸収体２４の層は、コイル１４と類似のサイズおよび形状であり、変換器平面内に配置され、変換器平面に対して概ね平行になるように構成されている。しかし、金属製の構造体２６中での渦電流形成を抑制するように送信器コイルからの入射エネルギーをＥＭＩ吸収体が吸収する、いずれかの適切な構成を設けてもよい。ＥＭＩ吸収体２４により、金属製の構造体に適合するよう構成されたＮＤＴセンサ２２用に、変換器コイル１４を変換器平面中に取り付けることが可能になり、薄型で軽量のＮＤＴセンサ２２が提供される。

２４のＥＭＩ材料は、アメリカ合衆国ミズーリ州所在のＬａｉｒｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社が提供するＣＡ１９材料で形成されている。他の実施形態では、アメリカ合衆国カリフォルニア州所在のＩｎｔｅｒｍａｒｋ社が提供するＭＧシリーズＥＭＩ吸収体およびアメリカ合衆国ミネソタ州所在の３Ｍ社が提供するＡＢシリーズＥＭＩ吸収体などの、いずれかの適切なＥＭＩ吸収体材料を設けてもよい。ＥＭＩ層は、０．２〜０．５ｍｍなどの、いずれかの適切な厚みＥＴを有していてもよい。厚みは、通電波の運転周波数に依存する場合がある。

ＥＭＩ吸収体は柔軟であってもよい。例えば、アメリカ合衆国ミズーリ州所在のＬａｉｒｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社が提供するＣＡ１９材料である。これにより、センサを金属製のパイプなどの湾曲した構造体に適用することが可能となり、または、他の湾曲した試験対象物に組み込むことが可能となる。無論、このような実施形態では、変換器コイルも柔軟であるのが好ましい。

本発明の実施形態に係るワイヤレスＮＤＴセンサは、さまざまな試験対象物に埋め込むこと、または、他のやり方で組み込むことができ、優れた試験エネルギー結合およびセンサ寿命を有する、迅速かつ簡単な仕方で、試験対象物の特性を評価することを可能にする。そのうえ、センサを、公知のワイヤレスの組み込みのＮＤＴセンサよりも、小型、軽量かつ簡単にすることができる。

１つまたはそれ以上の好ましい実施形態を参照して、本発明を説明してきたが、添付の特許請求の範囲に規定されている本発明の範囲を逸脱することなく、さまざまな変更または修正を行えることを理解されたい。「備える」という語は「含む」または「からなる」を意味していてもよく、それゆえに、いずれかの請求項または明細書全体に記載されたもの以外の要素またはステップの存在を排除しない。相互に異なる従属請求項に特定の方策が挙げられているという単なる事実は、これらの方策の組み合わせを好適に使用できないということを意味しない。
［発明の項目］
［項目１］
試験対象物の非破壊検査に適したワイヤレスセンサであって、
変換器と、
包囲部を画定するよう構成され、前記変換器に電気的に結合されて前記変換器を遠隔的な装置により誘導的に作動させることを可能にする導電性の変換器コイルと
を備え、
前記変換器コイルにより画定される前記包囲部は、前記変換器の対応する幅寸法よりも広い内部幅寸法を有している、ワイヤレスセンサ。
［項目２］
前記変換器コイルにより画定される前記包囲部は複数の別個の内部幅寸法を有しており、前記内部幅寸法のそれぞれが前記変換器の対応する幅寸法よりも広い、複数の別個の内部幅寸法を有している、項目１に記載のワイヤレスセンサ。
［項目３］
前記変換器コイルにより画定される前記包囲部は、前記変換器を受け入れるサイズとされている、項目２に記載のワイヤレスセンサ。
［項目４］
前記変換器が前記変換器コイルにより画定される前記包囲部内に配置された状態で、前記変換器コイルは、前記変換器と同じ平面中に取り付けられている、項目３に記載のワイヤレスセンサ。
［項目５］
前記変換器コイルは前記変換器に対して、当該変換器コイルが前記変換器のわずか５倍の厚みで前記変換器から離間されている概ね同軸で平行な関係で、取り付けられている、項目１〜４のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目６］
前記変換器コイルは１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法を有しており、前記内部幅寸法のそれぞれが前記変換器の対応する外部幅の１．０１〜２０倍の間である、項目１〜５のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目７］
前記変換器コイルは１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法を有しており、前記内部幅寸法のそれぞれが前記変換器の前記対応する外部幅の少なくとも１．１倍である、項目１〜６のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目８］
前記変換器コイルの内部幅寸法が直径であってもよく、前記変換器の前記対応する外部幅が直径であってもよい、項目６または７に記載のワイヤレスセンサ。
［項目９］
前記変換器コイルと当該ワイヤレスセンサの結合面との間に設けられた電磁干渉（ＥＭＩ）吸収体の層を含み、前記結合面は、前記試験対象物に結合するよう構成されている、項目１〜８のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目１０］
前記ＥＭＩ吸収体の層は前記変換器よりも薄い、項目９に記載のワイヤレスセンサ。
［項目１１］
前記ＥＭＩ吸収体は柔軟な材料で形成されている、項目９または１０に記載のワイヤレスセンサ。
［項目１２］
前記変換器コイルは柔軟な材料で形成されている、項目１〜１１のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目１３］
前記変換器は、熱変換器、超音波変換器、ひずみゲージ、化学センサ、加速度計および電磁変換器の１つを備えている、項目１〜１２のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目１４］
前記変換器コイルは平面コイルとして構成されている、項目１〜１３のいずれか１項に記載のワイヤレスセンサ。
［項目１５］
図２ａ〜図４を参照して実質的に本明細書に記載された、ワイヤレスセンサ。
［項目１６］
項目１〜１５のいずれか１項に記載の１つまたはそれ以上のワイヤレスセンサを含む試験対象物であって、前記ワイヤレスセンサは当該試験対象物に結合されている、試験対象物。
［項目１７］
複合部品または金属部品を備える、項目１６に記載の試験対象物。

Claims (14)

1. 試験対象物の非破壊検査用のワイヤレス超音波センサであって、
   超音波変換器と、
   包囲部を画定するよう構成され、前記超音波変換器に直接電気的に結合されて前記超音波変換器を遠隔的な装置により誘導的に作動させることを可能にする導電性の平面変換器コイルとを備え、
   前記平面変換器コイルにより画定される前記包囲部は、前記超音波変換器の対応する幅寸法よりも広い内部幅寸法を有しており、前記平面変換器コイルの中央部が前記超音波変換器の中央部と軸方向に整列されており、
   前記平面変換器コイルは、前記超音波変換器と同じ平面中に取り付けられるか、又はある離間距離で前記超音波変換器から軸方向に離間されるように取り付けられ、前記離間距離は、前記超音波変換器の５倍の厚み以下であるか又は６ｍｍ以下である、ワイヤレス超音波センサ。
2. 前記平面変換器コイルにより画定される前記包囲部は複数の別個の内部幅寸法を有しており、前記内部幅寸法のそれぞれが前記超音波変換器の対応する幅寸法よりも広い、複数の別個の内部幅寸法を有している、請求項１に記載のワイヤレス超音波センサ。
3. 前記平面変換器コイルにより画定される前記包囲部は、前記超音波変換器を受け入れるサイズとされている、請求項２に記載のワイヤレス超音波センサ。
4. 前記超音波変換器が前記平面変換器コイルにより画定される前記包囲部内に配置された状態で、前記平面変換器コイルは、前記超音波変換器と同じ平面中に取り付けられている、請求項３に記載のワイヤレス超音波センサ。
5. 前記平面変換器コイルは前記超音波変換器に対して、当該平面変換器コイルが前記超音波変換器のわずか５倍の厚みで前記超音波変換器から離間されている概ね同軸で平行な関係で、取り付けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のワイヤレス超音波センサ。
6. 前記平面変換器コイルは１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法を有しており、前記内部幅寸法のそれぞれが前記超音波変換器の対応する外部幅の１．０１〜２０倍の間である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のワイヤレス超音波センサ。
7. 前記平面変換器コイルは１つまたはそれ以上の別個の内部幅寸法を有しており、前記内部幅寸法のそれぞれが前記超音波変換器の前記対応する外部幅の少なくとも１．１倍である、請求項１〜６のいずれか１項に記載のワイヤレス超音波センサ。
8. 前記平面変換器コイルの内部幅寸法が直径であってもよく、前記超音波変換器の前記対応する外部幅が直径であってもよい、請求項６または７に記載のワイヤレス超音波センサ。
9. 前記平面変換器コイルと当該ワイヤレス超音波センサの結合面との間に設けられた電磁干渉（ＥＭＩ）吸収体の層を含み、前記結合面は、前記試験対象物に結合するよう構成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載のワイヤレス超音波センサ。
10. 前記ＥＭＩ吸収体の層は前記超音波変換器よりも薄い、請求項９に記載のワイヤレス超音波センサ。
11. 前記ＥＭＩ吸収体は柔軟な材料で形成されている、請求項９または１０に記載のワイヤレス超音波センサ。
12. 前記平面変換器コイルは柔軟な材料で形成されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のワイヤレス超音波センサ。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の１つまたはそれ以上のワイヤレス超音波センサを含む試験対象物であって、前記ワイヤレス超音波センサは当該試験対象物に結合されている、試験対象物。
14. 複合部品または金属部品を備える、請求項１３に記載の試験対象物。

Images