JP6786244B2 - 定圧加工装置 - Google Patents
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Description
被加工体を加工する加工部と、
前記加工部を支持する支持体と、
前記加工部に加わる荷重を、前記支持体を介して測定する荷重測定部と、
前記支持体を回転自在に支持する回転軸部材と、
前記回転軸部材に連結され、当該回転軸部材を上下方向に移動させる駆動機構と、
を備え、
前記荷重測定部と前記回転軸部材の回転軸線との離間距離が調整可能である。
11 スピンドル
12 研磨パッド
20 装置本体
21 コラム
21a コラムの一側面
22 アーム
23 ベース
23a ベースの上面
30 ヘッド
31 静圧気体軸受
32 プレート
32a 第1凸部
32b 第2凸部
33 ブラケット
33a 本体部
33b 折り曲げ部
34 回転駆動機構
35 第1コイルバネ
36 第2コイルバネ
37 ロードセル
50 制御装置
51 検出部
52 記憶部
54 圧力評価部
60 テーブル
60a 載置面
61 支持ブロック
62 突条
70 ベッド
71 平行溝
100 研磨装置
W ウェハ
Claims (7)
- 被加工体を加工する加工部と、
前記加工部を支持する支持体と、
前記加工部に加わる荷重を、前記支持体を介して測定する荷重測定部と、
前記支持体を回転自在に支持する回転軸部材と、
前記回転軸部材に連結され、当該回転軸部材を上下方向に移動させる駆動機構と、
を備え、
前記荷重測定部と前記回転軸部材の回転軸線との離間距離が調整可能である
ことを特徴とする定圧加工装置。 - 前記回転軸部材は、静圧気体軸受である
ことを特徴とする請求項1に記載の定圧加工装置。 - 前記回転軸部材は、回転軸と当該回転軸を支持する支持部とを有し、
前記支持部には、前記支持体を前記回転軸まわりに付勢する弾性機構が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の定圧加工装置。 - 前記弾性機構は、コイルバネである
ことを特徴とする請求項3に記載の定圧加工装置。 - 前記荷重測定部は、ロードセルである
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の定圧加工装置。 - 前記荷重測定部は、スケールである
ことを特徴とする請求項3または4に記載の定圧加工装置。 - 前記支持体は、前記回転軸部材の回転軸線を通る水平面に対して傾斜した本体部を有している
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の定圧加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016076641A JP6786244B2 (ja) | 2016-04-06 | 2016-04-06 | 定圧加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016076641A JP6786244B2 (ja) | 2016-04-06 | 2016-04-06 | 定圧加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017185590A JP2017185590A (ja) | 2017-10-12 |
JP6786244B2 true JP6786244B2 (ja) | 2020-11-18 |
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ID=60045241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016076641A Active JP6786244B2 (ja) | 2016-04-06 | 2016-04-06 | 定圧加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6786244B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114589597B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-06-27 | 业成科技(成都)有限公司 | 压力控制装置、除胶装置以及显示装置制造系统 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06285761A (ja) * | 1993-04-02 | 1994-10-11 | Nippon Steel Corp | 力制御ロボット |
JPH1058285A (ja) * | 1996-08-09 | 1998-03-03 | Okuma Mach Works Ltd | 自動キサゲ装置 |
-
2016
- 2016-04-06 JP JP2016076641A patent/JP6786244B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017185590A (ja) | 2017-10-12 |
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