JP6781817B2 - 走査範囲を検出するための光学系 - Google Patents

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Description

本発明は、独立請求項の前提部分に記載の走査範囲を検出するための光学系、走査範囲を検出するための光学系を制御するためのシステム、及び走査範囲を検出するための光学系を制御する方法に関する。
走査範囲を検出するための光学系、例えば走査型2軸LIDARセンサ及び2軸3Dスキャナでは、入射する周辺光(例えば、太陽光線)を遮断するために光学帯域フィルタ(干渉フィルタ)が使用される。米国特許第5241315号明細書により、大気中の霧及びエアロゾルの散乱特性を測定するための目に安全で小型のソリッドステート型LIDARシステムが既知である。このシステムでは、太陽光に起因する受信機の光子ノイズが受信機の狭い視野及び狭帯域を有する温度制御された帯域フィルタによって制御される。
狭帯域を備える帯域フィルタとしては一般に干渉フィルタが使用される。しかしながら、これらのフィルタは、受信機の視野を精密に低減するための役割を果たす。したがって、このような低減により、フィルタ表面の垂線に対する光の入射角の増大に伴って帯域フィルタの透過特性が小さい波長の方へ偏移される。
例えばLIDARセンサなど、走査範囲を検出するための光学系は、とりわけ交通環境を検出する車両用運転支援システムで、例えば、先行車又は他の障害物の位置を特定するために使用することができる。このためには、受信機の視野は走査光学系の角度範囲全体に広がっていることが望ましい。このことを保証するために、一般に、異なった入射角によって実現される全ての透過特性の包絡線がフィルタの半値幅として選択される。これらの用途に使用される帯域フィルタは、このような理由で多くの場合には約30〜40nmの半値幅を有する。このことは、不都合な周辺光がフィルタの透過範囲内に位置する全ての走査範囲から受信機の検出器に到達してしまうことがあるという欠点を伴う。これにより検出器のダイナミックレンジ及び信号雑音比が低減される。さらに周囲光が検出器で電流に変換され、これにより、とりわけ検出器もしくは検出器アレイが大きい場合には大きい電力損失、ひいては熱発生がもたらされる。
米国特許第5241315号明細書
本発明は、走査範囲を検出するための光学系であって、
電磁放射線を放出するための少なくとも1つの供給源と、
供給源から走査範囲内に放出される電磁放射線の光路を偏向するための少なくとも1つの偏向ユニットと
を含む少なくとも1つの送信機と、
走査範囲内で後方散乱及び/又は反射された電磁放射線をフィルタ処理するための少なくとも1つの光学フィルタ要素と、
フィルタ処理された電磁放射線を検出するための少なくとも1つの検出要素と
を含む少なくとも1つの光受信機とを備える光学系に関する。
本発明によれば、供給源から放出された電磁放射線の波長は変更可能であり、波長の変更は光路の偏向に依存して行われる。
本発明の利点は、走査角度範囲/走査範囲を減じることなしに光学帯域フィルタの半値幅を著しく低減することができることである。さらに、例えば、一般に使用されるレーザダイオードでは供給源の中心波長は10nmまであってもよいが、製造に基づいた供給源の中心波長のばらつきは波長の調節によって補正することができる。さらに、現在の視線方向だけではなく、同時に波長を順次に変化させることもできるので、複数のセンサが相互に重複する確率が著しく低減される。
走査範囲を検出し、この走査範囲内の物体を検出するために、供給源は既知のように電磁放射線を送信する。本発明の好ましい実施形態では、電磁放射線を放出するための供給源はレーザ、好ましくはダイオードレーザである。この実施形態の利点は、単色又は偏光された電磁放射線を使用して物体検出の信頼性を高めることができることである。
電磁放射線は、走査範囲に位置する物体によって後方散乱及び/又は反射され、続いて検出器要素によって検出される。本発明の別の実施形態では、光受信機の少なくとも1つの光学フィルタ要素は帯域フィルタである。この実施形態の利点は、帯域フィルタの帯域幅の範囲の電磁放射線のみが検出器に到達することである。帯域フィルタの帯域幅の範囲外の波長を有する光線(例えば、有害な周辺光)は遮断され、検出器に到達しない。
本発明の範囲では、走査範囲の検出は、走査範囲の物体を検出できること、光学系と走査範囲に位置する物体との間の間隔を決定できること、及び/又は走査範囲に位置する物体の特性を判定できることとして理解される(例えば、反射率)。
本発明の範囲では、帯域フィルタの帯域幅は、電磁放射線を透過させるフィルタの中心波長の周辺の範囲として理解される。光学系では、半値幅の概念が用いられることが多い。これは、光学フィルタ、特に帯域フィルタの透過率が最大透過率の半分の値に降下したところの2つの波長の差である。
本発明の別の実施形態では、走査範囲の所定の方向を中心とした角度範囲で電磁放射線の偏向が行われる。この実施形態の利点は、どの偏向角度で特定の波長の電磁放射線が走査範囲に放出されるかを正確に確定できることである。
本発明の別の実施形態では、波長の変更は少なくとも1つの光学フィルタ要素の透過率に依存している。この実施形態の利点は、供給源の電磁放射線の波長が帯域フィルタの透過範囲内に位置することが可能になることである。
本発明の別の実施形態では、偏向ユニットは、走査範囲の方向を中心として、及び/又は2次元で往復運動するように旋回可能な偏向ミラー、好ましくはマイクロミラーである。この実施形態の利点は、光線の偏向を正確に調整可能であること、さらに2つの軸線を中心とした光線の偏向が可能なことである。十分に大きい走査範囲を達成するために、供給源の波長の変更を比較的小さく抑えることができる。
本発明の好ましい実施形態では、供給源から放出された電磁放射線の波長は、往復運動するように旋回可能な偏向ミラーと同期して変更される。この実施形態の利点は、帯域フィルタの中心波長に対応する波長を有する光線を走査範囲の方向に沿って送信できることである。(走査範囲の方向から正又は負の方向に)それぞれ最大に偏向された場合には、最小の波長を有する光線を送信することができる。これにより、供給源の電磁放射線の波長がいずれの時点においても帯域フィルタの透過範囲内に位置することを実現することができる。
本発明の別の実施形態では、偏向ユニットは光フェーズドアレイである。この実施形態の利点は、光線偏向時に、例えばマクロミラーなどの電気機械部品の使用を省略できることである。特に電気機械部品は磨耗しやすい。時間の経過に伴い欠陥やミスアライメントが生じる場合もある。したがって、対応する電気機械部品を省略することにより、光学系の耐久性を高めることができる。さらに機械電気部品の使用時には妨害作用が生じることもある。例えば衝撃又は振動により誤った測定がもたらされる場合もある。光フェーズドアレイを使用することにより、このような妨害作用を防止することができる。さらに光学系の小型の構成を実現することができる。
簡潔に「フェーズドアレイ」とも呼ばれる光フェーズドアレイは、チップに配置されたアンテナからなり、アンテナは、結合された電磁放射線を偏向することができる。とりわけ、フェン等により、光フェーズドアレイと、波長が可変のレーザとの組合せが示されており、レーザの波長を変更することにより光フェーズドアレイの放射方向を変更することができる("Optical Phased-Array Beam Steering Controlled by Wavelength", Applied Optics, Vol. 44, Issue 26, 5429-5433 (2005))。
本発明の好ましい実施形態では、供給源から放出された電磁放射線は分岐及び導波路によって光フェーズドアレイに結合される。この実施形態の利点は、供給源から放出された電磁放射線をほぼ損失なしに光フェーズドアレイに結合し、続いて偏向できることである。
本発明の別の好ましい実施形態では、光学フィルタ要素は、受信ユニットの光軸から所定の角度だけ偏向されているように光受信機内に位置決めされている。
本発明の好ましい実施形態では、角度は光学フィルタ要素の透過率に依存している。この実施形態の利点は、送信されたそれぞれの波長の電磁放射線が受信時にフィルタの透過率最大値に位置していてもよいことである。角度は、好ましくは、最大の波長を有する受信光線がフィルタ表面に正確に垂直に入射するように選択される。このように、最大の波長を有する受信光線がフィルタの透過率最大値に位置していてもよい。受信された小さい波長を有する電磁放射線はフィルタ表面に垂直に入射せず、所定の角度で入射し、これにより、同様にフィルタの透過率最大値に位置することができる。
別の実施形態では、走査範囲を検出するための光学系の受信機は、受信され、光学フィルタ要素によってフィルタ処理された電磁放射線を検出器要素に集束するためのレンズを備える。
本発明によれば、さらに走査範囲を検出するための光学系を制御するためのシステムも請求される。この場合、光学系は、電磁放射線を放出するための少なくとも1つの供給源と、供給源から放出された電磁放射線の光路を走査範囲に偏向するための少なくとも1つの偏向ユニットとを含む少なくとも1つの送信機を備える。光学系は、さらに走査範囲内で後方散乱及び/又は反射された電磁放射線をフィルタ処理するための少なくとも1つの光学フィルタ要素と、フィルタ処理された電磁放射線を検出するための少なくとも1つの検出器要素とを含む少なくとも1つの光受信機を含む。供給源から放出された電磁放射線の波長は変更可能であり、波長の変更は光路の偏向に依存して行われる。
本発明によれば、走査範囲を検出するための光学系を制御する方法が請求される。この場合、光学系は、電磁放射線を放出するための少なくとも1つの供給源と、供給源から放出される電磁放射線の光路を走査範囲に偏向するための少なくとも1つの偏向ユニットとを含む少なくとも1つの送信機を備える。さらに光学系は、走査範囲内で後方散乱及び/又は反射された電磁放射線をフィルタ処理するための少なくとも1つの光学フィルタ要素と、フィルタ処理された電磁放射線を検出するための少なくとも1つの検出器要素とを含む少なくとも1つの光受信機を備える。供給源から放出された電磁放射線の波長は変更可能であり、波長の変更は光路の偏向に依存して行われる。
次に本発明の実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。
従来技術による走査範囲を検出するための2軸光学系の構成及び光路を示す図である。 従来技術による走査範囲を検出するための光学システムにおける帯域フィルタのフィルタ特性を示す図である。 マイクロミラーを備える本発明の実施形態による走査範囲を検出するための光学系の構造及び光路を示す図である。 マイクロミラーを備える本発明の実施形態による帯域フィルタの透過特性を示す図である。 往復運動するように旋回可能なマイクロミラーを備える本発明の一実施形態による波長が可変のレーザの波長のための駆動信号の一例を示す図である。 出力光線が光フェーズドアレイに結合される、波長が可変のレーザを示す概略図である。 光フェーズドアレイを備える本発明の実施形態による走査範囲を検出するための光学系の構成及び光路を示す図である。 光フェーズドアレイの波長に依存した放射角を示す概略図である。 光フェーズドアレイを備える本発明の実施形態による帯域フィルタの透過特性を示す図である。
図1は、従来技術による走査範囲を検出するための2軸光学系の構成及び光路の一例を示す。この光学系は、例えば2軸の3Dスキャナであってもよい。図1の左側部分には、送信機/送信ユニット101が示されており、右側部分には光学的な受信機/受信ユニット102が示されている。送信ユニット101は供給源103を含み、この場合はレーザである。レーザ103によってしばしば非常に狭い周波数範囲で電磁放射線、すなわち単色光が放出される。光線は偏向ユニット104に、図1ではマイクロミラーに入射し、マイクロミラーによって、光線は所定の方向106と所定の角度範囲をなす走査範囲105内に偏向される。したがって、マイクロミラーの動きによって、例えばレーザ光線107が走査範囲106の方向に沿って送信され、レーザ光線108は負の角度109だけ走査範囲105の方向106から偏向され、レーザ光線110は正の角度111だけ走査範囲105の方向106から偏向される。この場合、角度109及び111は、角度範囲によって形成される走査範囲105を完全に検出するために最大限に可能な、もしくは必要な角度である。送信ユニット101は電磁放射線を送信し、受信ユニット102は、走査範囲105内で物体112において後方散乱及び/又は反射された電磁放射線を受信する。
受信ユニット102は光軸116に沿って整列されている。これらの光軸116の方向は、この実施例では走査範囲106の方向に相当する。受信ユニット102によって受信された電磁放射線は光学フィルタ要素113、この実施例では帯域フィルタによってフィルタ処理され、レンズ114によって検出素子115に焦点合わせされる。受信ユニット102は光軸116に沿って整列されている。受信ユニット102によって受信された電磁放射線の光路が破線117,118及び120によって示されている。この実施例では、光線117は、受信ユニット102の光軸116に沿って後方散乱及び/又は反射される。光線118は、受信ユニット102の光軸116から負の角度で後方散乱及び/又は反射された光線であり、光線120は、受信ユニット102の光軸116から正の角度121で後方散乱及び/又は反射された光線である。電磁放射線の波長は、走査範囲105内において物体112で後方散乱又は反射されたことによってはほとんど、あるいは全く変化しない。したがって、光線117,118及び120の波長はほぼ同一であり、単色レーザ103によって放出された電磁放射線の波長にほぼ対応する。
既に上述したように、従来技術によって、半値幅が多くの場合に約30〜40nmの範囲である帯域フィルタ113が選択される。図2は、なぜこのようなことが不可欠であるのかをもう一度示している。図2に示した線図では、放出もしくは後方散乱及び/又は反射された光線の波長λに対する光学フィルタ要素113の透過率Tが記入されている。透過率Tは、フィルタ要素113を通過して入射する光線強度の比率を示す。実線201は、受信ユニット102の光軸116に沿って入射する光線117のための光学フィルタ素子113のフィルタ特性/透過率曲線を示す。破線202は、受信ユニット102の光軸116に対して角度119もしくは121で入射する光線118もしくは120のための光学フィルタ要素113のフィルタ特性/透過率曲線を示す。走査範囲105の角度範囲全体をカバーし、そこで後方散乱及び/又は反射された全ての光線を受信ユニット102で検出することができるように、帯域フィルタの半値幅は、多くの場合には約30〜40nmの範囲で選択される必要がある。レーザ103の発光波長として、帯域フィルタ113の中心波長にできるだけ対応するλが選択される。λがレーザの発光波長103として選択された場合には、走査範囲106の方向に沿って送信もしくは後方散乱及び/又は反射される光線107又は117を検出することができる。角度109及び111又は角度119及び121で送信もしくは後方散乱及び/又は反射された光線108及び110もしくは光線118及び120は、例えば、受信ユニット102によって検出することができない。波長λは、レーザ103の発光波長としては全く不適切である。
図3は、マイクロミラー304を備える本発明の実施形態による走査範囲105を検出するための光学系の構造及び光路を示している。図面の左側部分にはこの実施形態の送信ユニット301が示されており、図面の右側部分には受信ユニット302が示されている。構成及び光路は図1に示した光学系に類似している。しかしながら、光学系が供給源として波長が可変のレーザ303を備えていることが重要な相違点である。このレーザ303によって放出される電磁放射線は、電磁スペクトルの異なった範囲の波長を備えることができる。波長は、例えば可視光の範囲である場合もあり、又は赤外線又は紫外線範囲などの他の範囲である場合もある。レーザ303の波長の可変性に基づいて、走査範囲106の方向に沿って送信されるレーザ光線107は、例えば波長λにより放出し、これに対して、レーザ光線108及び110はλとは異なる波長λによって放出することができる。波長が可変のレーザ303によって放出された電磁放射線はマイクロミラー304によって走査範囲105に送信される。走査範囲105において物体112で散乱及び/又は反射された電磁放射線は受信ユニット302によって検出される。この実施例では、受信ユニット302の光軸116は走査範囲105と同じ方向を有する。対応して、検出された光線117は波長λ4を備え、検出された光線118及び120は波長λを備える。これにより得られる利点が図4に詳細に示されている。
図4は、マイクロミラー304を備える本発明の実施形態による帯域フィルタ113の透過特性を示す。図4に示す線図には、放出もしくは後方散乱及び/又は反射された光線に対する光学フィルタ要素113の透過率Tが記入されている。曲線401は、受信ユニット302の光軸116に沿って入射し、後方散乱及び/又は反射される光線117のための帯域フィルタ113のフィルタ特性を示す。帯域フィルタでは一般的なように、入射する光線118もしくは120が負の角度119又は正の角度121だけ受信ユニット302の光軸116から偏向された場合には透過特性は短い波長の方へ移動する。この場合について帯域フィルタ113のフィルタ特性が曲線402によって示されている。波長が可変のレーザ303を使用することによって、放出もしくは受信された電磁放射線の波長が帯域フィルタの透過範囲に位置することが可能になる。理想的には、電磁放射線の波長はそれぞれできるだけ正確に透過最大値に位置するように選択される。図4では、例えば帯域フィルタ113は、受信ユニット302の光軸116に沿って受信された光線117については波長λで透過率最大値を示している;負の角度119又は正の角度121だけ受信ユニット302の光軸116から偏向されて受信された光線118もしくは120については波長λで透過率最大値を示している。したがって、走査範囲の方向106に沿って送信された光線107のためのレーザ303の波長はできるだけλの近くで選択される。負の角度109又は正の角度110だけ走査範囲105の方向106から偏向された光線108もしくは110にためには、レーザ303の波長はできるだけλ5の近くで選択される。これにより、後方散乱及び/又は反射された電磁放射線ができるだけ正確に帯域フィルタ113のフィルタ特性401もしくは402の透過率最大値に位置していることを保証することができる。帯域フィルタ113の半値幅は狭く選択することができる。
図5は、軸線を中心として往復運動するように旋回可能なマイクロミラー304の場合の、波長が可変のレーザ303の波長のための制御信号を例示する。線図の上部には、方向106を中心とした電磁放射線の偏向の角度501が時間tにわたって記入されている。マイクロミラー304の動きにより、走査範囲105にわたる角度範囲を完全に照明することができるように、それぞれ負の角度109もしくは正の角度111まで光線を偏向することができる。レーザ303の波長は、光線の偏向に同期して変化させることができる。負の角度109もしくは正の角度111でそれぞれ最大限に偏向された場合には、レーザ303は、波長λを備える光線を放出する。偏向角度が0°の場合、すなわちレーザ光線ンが走査範囲106の配向に沿って送信された場合には、レーザ303は、波長λを備える光線を放出する。その間の角度範囲では、レーザ303の光線は偏向に同期して変化させることができる。これにより、レーザ303の波長がいずれの時点においても帯域フィルタの透過範囲内に位置していることを保証することができる。
本発明の一実施形態によれば、偏向ユニット104は光フェーズドアレイ603を備える。図6は、波長が可変であり、出力光線が光フェーズドアレイ603に結合されるレーザ303の概略図を示す。複数のスプリッタ601によって、光線は多数の分光に分割され、導波路602を介して光フェーズドアレイに結合される。
図7は、光フェーズドアレイ603を備える本発明の実施形態による走査範囲105を検出するためのシステムの光学系の構成及び光路を示す。図7の左側部分には送信ユニット701が示されており、図7の右側部分には受信ユニット702が示されている。送信ユニット701では、図6に示した波長が可変のレーザ303及び光フェーズドアレイ603が、異なる波長の電磁放射線を走査範囲105に送信するために使用される。この実施例では、上記実施例に示したマイクロミラー304とは反対に、光フェーズドアレイ603は可動ではなく走査範囲106の方向に対して垂直に配置されている。ここでは光フェーズドアレイ603の特性に基づいて、送信されたレーザ光線の偏向を行うことができる。図8に基づいてこのことを詳細に説明する。
図8は、光フェーズドアレイ603の、波長に依存した放射角の概略図を示す。レーザ303の波長を変更することにより、光フェーズドアレイ603の放射方向を変更することができる。図7には、どのようにして異なる3つの波長λ、λ及びλの電磁放射線が光フェーズドアレイ603から走査範囲105に放射されるのかが示されている。この場合、波長λは最大値(すなわち、図示の他の2つの波長に対して赤方偏移している)を有し、波長λは最小値(すなわち、図示の他の2つの波長に対して青方偏移している)を有し、波長λはこれらの間に位置する。光フェーズドアレイ603の特性に基づいて、最大の波長λの光線は走査範囲105の方向106から負の角度109だけ偏向された光線108として送信することができる。中間の波長λは、走査範囲105の方向106に沿った光線107として送信されるように選択することができる。最小の波長λは、走査範囲105の方向106から正の角度111だけ偏向された光線110として送信されるように選択することができる。
図7に示した受信ユニット702では、走査範囲105内において電磁放射線が物体112で後方散乱及び/又は反射された後に受信した光線117,118及び120を検出することができる。最大の波長λの光線が90°の角度703でフィルタ113の表面に入射することを保証するために、帯域フィルタ113は、受信ユニットの光軸116に対して角度704だけ傾斜している。
図9は、図7に例示されているような光フェーズドアレイ303を備える本発明の実施形態による帯域フィルタ113の透過特性を示す。線図に示すように、光学フィルタ要素113の透過率Tが放出もしくは後方散乱及び/又は反射された光線の波長λに対して記入されている。曲線901は、フィルタ表面に垂直に入射する光線118のための帯域フィルタ113のフィルタ特性を示す。帯域フィルタ113が上述のように角度704だけ傾いていることにより、電磁放射線が最大の波長λによって帯域フィルタ113に垂直に入射することが保証される。帯域フィルタ113は、フィルタ表面の垂線に対して電磁放射線の入射角が増大するにつれて小さい方の波長に向かって透過特性の特徴的な偏移を再び示す。したがって曲線902は、帯域フィルタ113の垂線に対して角度705で帯域フィルタ113に入射する光線117のための帯域フィルタ113のフィルタ特性曲線を表す。この場合、透過率最大値は波長λに位置する。曲線903は、帯域フィルタ113の垂直に対して角度706で帯域フィルタ113に入射する光線120のための帯域フィルタ113のフィルタ特性を表す。この場合、透過率最大値は波長λに位置する。図6に示すように波長が可変のレーザ303と光フェーズドアレイ603とを組み合せることにより、送信もしくは受信された電磁放射線が常に帯域フィルタ113を透過範囲に位置することが可能になる。フィルタ113の半値幅を狭く選択することができる。

Claims (13)

  1. 走査範囲(105)を検出するための光学系であって、
    電磁放射線(107,108,110)を放出するための、波長が可変の少なくとも1つの供給源(303)と、
    前記供給源(303)から前記走査範囲(105)内に放出される電磁放射線(107,108,110)の光路を偏向(109,111)するための少なくとも1つの偏向ユニット(304,603)と
    を含む少なくとも1つの送信機(301,701)と、
    前記走査範囲(105)内で後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120)をフィルタ処理するための少なくとも1つの光学フィルタ要素(113)と、
    当該フィルタ処理された電磁放射線(117,118,120)を検出するための少なくとも1つの検出要素(115)と
    を含む少なくとも1つの光受信機(302,702)とを備え、
    前記光学フィルタ要素(113)は、当該後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120)を透過させる透過特性を有する帯域フィルタであり、
    前記透過特性の中心波長は、当該後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120の前記帯域フィルタ(113)への入射角に応じて移動し、
    前記供給源(303)から放出され電磁放射線(107,108,110)の波長(λ,λ,λ,λ,λ)が変更可能であり、当該放出される電磁放射線の波長(λ,λ,λ,λ,λ)の変更が前記光路の偏向(109,111)に依存して行われるとともに、当該放出される電磁放射線の波長(λ ,λ ,λ ,λ ,λ )として、前記透過特性の中心波長に対応する波長が選択されることを特徴とする、走査範囲(105)を検出するための光学系。
  2. 請求項1に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記電磁放射線(117,118,120)を放出するための前記供給源(303)がレーザ、好ましくはダイオードレーザである光学系。
  3. 請求項1に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記走査範囲(105)の所定の方向(106)を中心とした角度範囲で前記電磁放射線(117,118,120)の前記偏向(109,111)が行われる光学系。
  4. 請求項1に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記波長(λ,λ,λ,λ,λ)の変更が少なくとも1つの光学フィルタ要素(113)の透過率(T)に依存している光学系。
  5. 請求項1に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記偏向ユニットが、前記走査範囲(105)の方向(106)を中心として、及び/又は2次元で往復運動するように旋回可能な偏向ミラー(304)、好ましくはマイクロミラーである光学系。
  6. 請求項に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記供給源(303)から放出され前記前記電磁放射線(117,118,120)の前記波長(λ,λ)が、往復運動するように旋回可能な前記偏向ミラー(304)と同期して変更される光学系。
  7. 請求項1に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記偏向ユニットが光フェーズドアレイ(603)である光学系。
  8. 請求項に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記供給源(303)から放出された前記電磁放射線(117,118,120)が分岐(601)及び導波路(602)によって光フェーズドアレイ(603)に結合される光学系。
  9. 請求項に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記光学フィルタ要素(113)が、前記光受信の光軸(116)から角度(704)だけ偏向されるように前記光受信機(702)内に位置決めされている光学系。
  10. 請求項に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記角度(704)が前記光学フィルタ要素(113)の透過率(T)に依存している光学系。
  11. 請求項1から10までのいずれか一項に記載の走査範囲(105)を検出するための光学系において、
    前記光受信機(302,702)が、受信され、前記光学フィルタ要素(113)によってフィルタ処理された前記電磁放射線(117,118,120)を検出器要素(115)に集束するためのレンズ(114)を備える光学系。
  12. 走査範囲(105)を検出するための光学系を制御するためのシステムであって、前記光学系が、
    電磁放射線(107,108,110)を放出するための、波長が可変の少なくとも1つの供給源(303)と、
    前記供給源(303)から放出された電磁放射線(107,108,110)の光路を前記走査範囲(105)に偏向(109,111)するための少なくとも1つの偏向ユニット(304,603)と
    を含む少なくとも1つの送信機(301,701)と、
    前記走査範囲(105)内で後方散乱及び/又は反射された電磁放射線線(117,118,120)をフィルタ処理するための少なくとも1つの光学フィルタ要素(113)と、
    当該フィルタ処理された電磁放射線(117,118,120)を検出するための少なくとも1つの検出器要素(115)と
    を含む少なくとも1つの光受信機(302,307)とを備え、
    前記光学フィルタ要素(113)は、当該後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120)を透過させる透過特性を有する帯域フィルタ(113)であり、
    前記透過特性の中心波長は、当該後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120の前記帯域フィルタ(113)への入射角に応じて移動し、
    前記供給源(303)から放出され電磁放射線(107,108,110)の波長(λ,λ,λ,λ,λ)が変更可能であり、当該放出される電磁放射線の波長(λ,λ,λ,λ,λ)の変更が前記光路の偏向(109,111)に依存して行われるとともに、当該放出される電磁放射線の波長(λ ,λ ,λ ,λ ,λ )として、前記透過特性の中心波長に対応する波長が選択されることを特徴とする、走査範囲(105)を検出するための光学系を制御するためのシステム。
  13. 走査範囲(105)を検出するための光学系を制御する方法であって、前記光学系が
    電磁放射線(107,108,110)を放出するための、波長が可変の少なくとも1つの供給源(303)と、
    前記供給源(303)から放出される電磁放射線(107,108,110)の光路を前記走査範囲(105)に偏向するための少なくとも1つの偏向ユニット(304,603)と
    を含む少なくとも1つの送信機(301,701)と、
    前記走査範囲(105)内で後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120)をフィルタ処理するための少なくとも1つの光学フィルタ要素(113)と、
    当該フィルタ処理された電磁放射線(117,118,120)を検出するための少なくとも1つの検出器要素(115)と
    を含む少なくとも1つの光受信機(302,702)とを備え、
    前記光学フィルタ要素(113)は、当該後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120)を透過させる透過特性を有する帯域フィルタ(113)であり、
    前記透過特性の中心波長は、当該後方散乱及び/又は反射された電磁放射線(117,118,120の前記帯域フィルタ(113)への入射角に応じて移動し、
    前記供給源(303)から放出され電磁放射線(107,108,110)の波長(λ,λ,λ,λ,λ)が変更可能であり、
    当該方法は、前記光路の偏向(109,111)に依存して、当該放出される電磁放射線の波長(λ,λ,λ,λ,λ)の変更を行うとともに、当該放出される電磁放射線の波長(λ ,λ ,λ ,λ ,λ )として、前記透過特性の中心波長に対応する波長を選択することを特徴とする走査範囲(105)を検出するための光学系を制御する方法。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10845470B2 (en) * 2016-11-16 2020-11-24 Waymo Llc Methods and systems for protecting a light detection and ranging (LIDAR) device
DE102018201506A1 (de) 2018-02-01 2019-08-01 Robert Bosch Gmbh Sendeeinheit und LIDAR-Vorrichtung zum Abtasten eines Abtastbereichs
DE102018206893A1 (de) * 2018-05-04 2019-11-07 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Bereitstellung einer Phasenverschiebung für ein Phasenarray
DE102018209995A1 (de) 2018-06-20 2019-12-24 Robert Bosch Gmbh Stabilisiertes LiDAR-System und Verfahren zur Stabilisierung
DE102018216142A1 (de) * 2018-09-21 2020-03-26 Robert Bosch Gmbh Optische Anordnung
DE102018217731A1 (de) * 2018-10-17 2020-04-23 Robert Bosch Gmbh LiDAR-Vorrichtung
EP3699640B1 (de) * 2019-02-19 2022-01-26 Sick Ag Optoelektronischer sensor und verfahren zur erfassung eines objekts
KR20220012319A (ko) * 2019-05-28 2022-02-03 센스 포토닉스, 인크. 필드 각도에 따라 조명 파장을 변화시키기 위한 능동 조명 시스템들
JP6991413B2 (ja) * 2019-11-05 2022-01-12 三菱電機株式会社 ライダ制御装置、ライダ制御方法、及び、ライダ装置
CN110989480B (zh) * 2019-12-26 2021-02-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置
WO2023137565A1 (en) * 2022-01-24 2023-07-27 Leddartech Inc. System and method for optical signal spectrum management, in particular for lidar

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0390969A3 (en) * 1988-11-17 1992-04-29 Charles Nater Positioning system
US5241315A (en) 1992-08-13 1993-08-31 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Micro pulse laser radar
JP3231968B2 (ja) 1995-01-30 2001-11-26 株式会社東芝 高さ測定装置
GB2300325A (en) * 1995-04-27 1996-10-30 Loral Vought Systems Corp Solid-state beam scanner for ladar systems
US6636310B1 (en) * 1998-05-12 2003-10-21 Metroptic Technologies, Ltd. Wavelength-dependent surface contour measurement system and method
JP3832101B2 (ja) * 1998-08-05 2006-10-11 株式会社デンソー 距離測定装置
DE102006040813B4 (de) * 2005-08-31 2015-11-26 Zoller & Fröhlich GmbH Laserscanner mit Sende- und Empfangseinrichtung
JP2007085832A (ja) 2005-09-21 2007-04-05 Omron Corp 光学式レーダ装置
JP2007279017A (ja) 2006-03-15 2007-10-25 Omron Corp レーダ装置
WO2012070314A1 (ja) * 2010-11-22 2012-05-31 横河電機株式会社 顕微鏡用分光分析装置、光軸ズレ補正装置、分光装置とそれを用いた顕微鏡
JP5822063B2 (ja) 2011-07-12 2015-11-24 株式会社Ihi レーザレーダ装置
US9851443B2 (en) * 2012-03-16 2017-12-26 Alcatel Lucent Optical beam sweeper
JP6169339B2 (ja) 2012-10-04 2017-07-26 株式会社日立製作所 形状計測方法及び装置
JP2014095594A (ja) * 2012-11-08 2014-05-22 Yokogawa Electric Corp 分光装置および分光用光源
JP6425113B2 (ja) * 2014-03-04 2018-11-21 株式会社リコー 測距検出システム、タッチセンサーパネルの測距検出システム、レーザレーダの測距検出システム、レーザレーダ装置、光学式タッチパネルおよび測距検出方法
US9377533B2 (en) * 2014-08-11 2016-06-28 Gerard Dirk Smits Three-dimensional triangulation and time-of-flight based tracking systems and methods
FR3027654B1 (fr) * 2014-10-24 2019-08-02 Valeo Vision Systeme d'eclairage et/ou de signalisation comprenant des moyens de telemetrie
US10288736B2 (en) * 2015-05-07 2019-05-14 GM Global Technology Operations LLC Multi-wavelength array lidar
JP6597150B2 (ja) * 2015-10-09 2019-10-30 富士通株式会社 距離測定装置、距離測定方法、距離測定プログラムおよびテーブルの作成方法
WO2017151843A1 (en) * 2016-03-02 2017-09-08 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Naval Chip-scale two-dimensionai optical phased array with simplified controls
JP2017161292A (ja) * 2016-03-08 2017-09-14 富士通株式会社 光測距システムおよび光測距方法
WO2017223299A1 (en) * 2016-06-22 2017-12-28 Massachusetts Institute Of Technology Methods and systems for optical beam steering

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