JP6767829B2 - 対象物載置用部材 - Google Patents
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Description
前記基体の内部に設けられ、前記載置面に形成された開口を通じて外部に連通する通気経路と、
前記基体の内部または前記載置面と反対側の前記基体の裏面の下方に設けられたヒータと、を有する対象物載置用部材であって、
前記通気経路には、前記載置面に対象物が載置されたときの対象物と対向する位置であって、前記ヒータよりも前記載置面側の位置に、通気性を有する通気性部材の少なくとも一部が配置され、
前記基体の載置面には、複数のピン状の凸部が形成されていることを特徴とする。
窒化アルミニウム粉末97質量%、酸化イットリウム粉末3質量%からなる粉末混合物を得て、これを型に充填して一軸加圧処理を施した。これによって、直径350mm、厚さ12mmの第一層を形成した。
作製したセラミックヒータの載置面に黒色化したダミーウエハを載せ、端子に電力を供給してセラミックヒータを昇温し、ダミーウエハ表面の温度をIRカメラで測定した。ダミーウエハの表面温度が500℃に到達した時点から15分間、端子に供給する電力を同じにした。その後のダミーウエハの温度分布を測定した。
通気性部材を、直径0.13mmの細孔貫通孔を4カ所設けたアルミナの保護管(直径:3mm、高さ:5mm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてセラミックヒータを作製し、実施例1と同様に評価した。
通気経路の開口近傍の領域における最大温度と最少温度との温度差は0.4℃と小さく、セラミックヒータの均熱性は良好であることが分った。
通気性部材を用いなかったこと以外は、実施例1と同様にしてセラミックヒータを作製し、実施例1と同様に評価した。
通気経路の開口近傍の領域における最大温度と最少温度との温度差は1.4℃と大きく、セラミックヒータの均熱性は不十分であった。
12 基体
13 発熱抵抗体(ヒータ)
14 凸部
16 環状凸部
18 貫通孔
20 開口
22 通気経路
24 通気性部材
Claims (4)
- 対象物が載置される載置面を有する基体と、
前記基体の内部に設けられ、前記載置面に形成された開口を通じて外部に連通する通気経路と、
前記基体の内部または前記載置面と反対側の前記基体の裏面の下方に設けられたヒータと、を有する対象物載置用部材であって、
前記通気経路には、前記載置面に対象物が載置されたときの対象物と対向する位置であって、前記ヒータよりも前記載置面側の位置に、通気性を有する通気性部材の少なくとも一部が配置され、
前記基体の載置面には、複数のピン状の凸部が形成されていることを特徴とする対象物載置用部材。 - 請求項1に記載の対象物載置用部材において、前記通気性部材の上側周縁位置は、前記載置面において前記開口の周縁部分と同じ高さ位置に配置されていることを特徴とする対象物載置用部材。
- 請求項1又は2に記載の対象物載置用部材において、前記基体には前記通気経路が複数設けられており、前記通気性部材は前記複数の通気経路の少なくとも一部に配置されていることを特徴とする対象物載置用部材。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の対象物載置用部材において、少なくとも1つの前記通気性部材には、前記通気経路と外部とを連通させる貫通孔が設けられていることを特徴とする対象物載置用部材。
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JP2016188384A JP6767829B2 (ja) | 2016-09-27 | 2016-09-27 | 対象物載置用部材 |
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