JP6766897B2 - 搬送装置、搬送装置の異常検出方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
モータと、前記支持部が設けられると共に当該モータの回転駆動力により直線移動する直動体と、を含む駆動機構と、
前記支持部の移動中に前記モータのトルクについての時系列データを取得し、当該時系列データをフーリエ変換して得られる周波数スペクトルに基づいて搬送状態の異常を検出する異常検出部と、
を備え、
前記駆動機構によって前記支持部または直動体が移動する移動領域に、当該支持部または直動体の位置を検出するための位置検出センサが設けられ、
当該位置検出センサによる検出結果と、前記モータのシャフトの向きとに基づいて、前記搬送状態の異常を検出することを特徴とする。
前記支持部の移動中に前記モータのトルクについての時系列データを取得する工程と、
当該時系列データをフーリエ変換して得られる周波数スペクトルに基づいて搬送状態の異常を検出する工程と、
を備え、
前記駆動機構によって前記支持部または直動体が移動する移動領域に、当該支持部または直動体の位置を検出するための位置検出センサが設けられ、
前記搬送状態の異常を検出する工程は、当該位置検出センサによる検出結果と、前記モータのシャフトの向きとに基づいて、前記搬送状態の異常を検出することを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、本発明の搬送方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
・・・式1
エンコーダ値の補正量は、初回値の設定直後は0であり、後に図11〜図13でパターン1〜パターン3として例示するように、0以外の値が設定される場合が有り、各センサの1回転内位置情報についての初回値と診断値との差分に基づいてこの設定が行われる。
振幅=(FFTにより得られた実数部)/(トルクのサンプリング数(=128)/2)/0.5・・・式2
[パターン1]センサ51の検出位置、センサ52の検出位置が夫々、センサ51の設定位置、センサ52の設定位置に対して41同じ方向に同じ量ずれている。このパターン1のずれの場合、歯付きベルトであるベルト34について、歯飛びが起きたことが考えられる。そのように歯飛びが起きると、単位ブロックE3内の全ての構成物の設定位置が、実際の位置に対して同じ方向に同じ量、ずれたことになる。
[パターン2]センサ51の検出位置がセンサ51の設定位置よりも後方へ、センサ52の検出位置がセンサ52の設定位置よりも前方へ夫々ずれており、検出位置と設定位置とのずれ量は、センサ51よりもセンサ52の方が大きい。このパターン2のずれの場合、ベルト34が伸びた状態となったことが考えられる。なお、前後移動体24を前方側に移動させるときと、前後移動体24を後方側に移動させるときとの比較で、駆動側プーリ32からベルト34の回動方向の上流側に、当該ベルト34の周に沿って前後移動体24に至るまでの距離を見ると、前後移動体24を後方側に移動させるときの方が長い。より詳しく説明すると、図2のベルト34を横から見ると駆動側プーリ32及び従動側プーリ33に掛けられて輪状となっており、その輪の一部に移動体30を介して前後移動体24が取り付けられている。駆動側プーリ32の回転によって当該駆動側プーリ32にベルト34を介して引っ張られるように前後移動体24が移動するが、前後移動体24を前方側に移動させるときよりも前後移動体24を後方側に移動させるときの方が、このベルト34において前後移動体24を引っ張るように駆動側プーリ32と前後移動体24との間に介在している部位の長さが長い。従って、単位ブロックE3の前方側の各部よりも後方側の各部がベルト34の伸びの影響を大きく受け、設定位置と検出位置とのずれ量が大きくなり、上記のようにセンサ51のずれ量よりもセンサ52のずれ量が大きくなる。
[パターン3]センサ51、52の検出位置は設定位置に一致し、センサ54の検出位置が設定位置に対してずれている。このパターン3のずれの場合、センサ54を設けたレジスト膜形成モジュール13A、13Bを構成するフレームが、装置内の熱の影響で伸びたことが考えられる。このパターン3のずれの対処として、そして、各センサ54の設定位置が検出位置に一致するように、XY座標系にプロットし、このプロットに対してカーブフィッティングを行い、曲線Rを算出する。レジスト膜形成モジュール13A、13Bの設定位置及び各センサ54の設定位置については、この曲線R上に位置するように補正量を算出する。なお上記のレジスト膜形成モジュール13A、13Bに固有の異常であるため、センサ51、52、受け渡しモジュールTRS3、TRS31、加熱モジュール12の各設定位置については補正を行わない。
W ウエハ
21 フォーク
24 前後移動体
3 駆動機構
32 駆動側プーリ
33 従動側プーリ
35 モータ
51、52、54 センサ
6 制御部
Claims (13)
- 被搬送体を支持部により支持して搬送する搬送装置において、
モータと、前記支持部が設けられると共に当該モータの回転駆動力により直線移動する直動体と、を含む駆動機構と、
前記支持部の移動中に前記モータのトルクについての時系列データを取得し、当該時系列データをフーリエ変換して得られる周波数スペクトルに基づいて搬送状態の異常を検出する異常検出部と、
を備え、
前記駆動機構によって前記支持部または直動体が移動する移動領域に、当該支持部または直動体の位置を検出するための位置検出センサが設けられ、
当該位置検出センサによる検出結果と、前記モータのシャフトの向きとに基づいて、前記搬送状態の異常を検出することを特徴とする搬送装置。 - 前記位置検出センサは、前記被搬送体が搬送されるモジュールに設けられ
当該位置検出センサによる検出結果に基づいて、前記支持部が当該モジュールに前記被搬送体を受け渡すための設定位置が補正されることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記位置検出センサは、前記モジュールと、当該モジュールとは独立した前記移動領域の一端部及び他端部と、に各々設けられ、各位置検出センサによる検出結果に基づいて前記支持部が当該モジュールに被搬送体を受け渡すための設定位置が補正されることを特徴とする請求項2記載の搬送装置。
- 前記位置検出センサによる検出結果と、前記周波数スペクトルとに基づいて、前記駆動機構を構成する複数の部品の中から故障したと推定される部品を選択する選択部が設けられることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の搬送装置。
- 前記駆動機構は、駆動側プーリと、従属側プーリと、当該駆動側プーリ及び従属側プーリに掛け渡されると共に前記直動体が接続されるベルトを備え、
前記モータにより前記駆動側プーリを回転させることによって、前記直動体を移動させることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の搬送装置。 - 搬送元のモジュールから搬送先のモジュールへ前記被搬送体を搬送することに並行して、前記時系列データの取得が行われることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の搬送装置。
- モータと、支持部が設けられると共に当該モータの回転駆動力により直線移動する直動体と、を含む駆動機構を備え、被搬送体を前記支持部により支持して搬送する搬送装置の異常検出方法において、
前記支持部の移動中に前記モータのトルクについての時系列データを取得する工程と、
当該時系列データをフーリエ変換して得られる周波数スペクトルに基づいて搬送状態の異常を検出する工程と、
を備え、
前記駆動機構によって前記支持部または直動体が移動する移動領域に、当該支持部または直動体の位置を検出するための位置検出センサが設けられ、
前記搬送状態の異常を検出する工程は、前記周波数スペクトルと、当該位置検出センサによる検出結果と、前記モータのシャフトの向きとに基づいて、前記搬送状態の異常を検出することを特徴とする搬送装置の異常検出方法。 - 前記位置検出センサは、前記被搬送体が搬送されるモジュールに設けられ
当該位置検出センサによる検出結果に基づいて、前記支持部が当該モジュールに前記被搬送体を受け渡すための設定位置を補正する工程を含むことを特徴とする請求項7記載の搬送装置の異常検出方法。 - 前記位置検出センサは、前記モジュールと、当該モジュールとは独立した前記移動領域の一端部及び他端部と、に各々設けられ、
前記設定位置を補正する工程は、各位置検出センサによる検出結果に基づいて、前記支持部が当該モジュールに被搬送体を受け渡すための設定位置を補正する工程を含むことを特徴とする請求項8記載の搬送装置の異常検出方法。 - 前記位置検出センサによる検出結果と、前記周波数スペクトルとに基づいて、前記駆動機構を構成する複数の部品の中から故障したと推定される部品を選択する工程が含まれることを特徴とする請求項7ないし9のいずれか一つに記載の搬送装置の異常検出方法。
- 前記駆動機構は、駆動側プーリと、従属側プーリと、当該駆動側プーリ及び従属側プーリに掛け渡されると共に前記直動体が接続されるベルトを備え、
前記モータにより前記駆動側プーリを回転させることによって、前記直動体を移動させる工程を含むことを特徴とする請求項7ないし10のいずれか一つに記載の搬送装置の異常検出方法。 - 前記時系列データを取得する工程は、
搬送元のモジュールから搬送先のモジュールへ前記被搬送体を搬送することに並行して行われることを特徴とする請求項7ないし11のいずれか一つに記載の搬送装置の異常検出方法。 - 被搬送体を支持部により支持して搬送する搬送装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7ないし12のいずれか一つに記載の搬送装置の異常検出方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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