JP6766360B2 - Resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂組成物に関する。 The present invention relates to resin compositions.

これまで半導体素子を封止する封止用樹脂組成物として様々な技術が検討されている。リードフレームとの密着性を高めることを目的として、エポキシ樹脂に硬化剤が配合されている。このような技術としては、特許文献1に記載のものが挙げられる。同文献には、硬化剤(架橋剤)として、シアノール基を有する鎖状のポリカルボジイミド化合物が使用されている。このポリカルボジイミド化合物がエポキシ樹脂と結合し、三次元構造の内に取り込まれるとともに、反応により生成したイソウレア結合がリードフレームとの密着性を向上させることが記載されている。 So far, various techniques have been studied as a sealing resin composition for sealing a semiconductor element. A curing agent is blended in the epoxy resin for the purpose of improving the adhesion to the lead frame. Examples of such a technique include those described in Patent Document 1. In this document, a chain polycarbodiimide compound having a cyanol group is used as a curing agent (crosslinking agent). It is described that this polycarbodiimide compound binds to an epoxy resin and is incorporated into a three-dimensional structure, and the isourea bond generated by the reaction improves the adhesion to the lead frame.

また、特許文献2では、硬化剤として、末端にモノシアネートが導入された鎖状のポリカルボジイミド化合物が使用されている。同文献には、半導体素子を覆う保護膜の耐湿信頼性を向上させるために、平均分子量300〜30万のポリカルボジイミド化合物を用いることが記載されている。 Further, in Patent Document 2, a chain-shaped polycarbodiimide compound having monocyanate introduced at the terminal is used as a curing agent. The document describes that a polycarbodiimide compound having an average molecular weight of 3 to 300,000 is used in order to improve the moisture resistance reliability of the protective film covering the semiconductor element.

特開2006−176549号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-176549 特開平9−8181号公報JP-A-9-8181

本発明者が熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物を検討した結果、次のような事が判明した。
(1)上記文献に記載の鎖状のポリカルボジイミド化合物は、他の硬化剤と競合することがある。このため、低収縮な樹脂組成物の硬化物を安定的に得ることが難しいこと。
(2)また低収縮を抑制する観点から、架橋構造を緻密にし過ぎた場合、樹脂組成物の硬化物の弾性率が高くなること。つまり、本発明者は、熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物においては、低収縮性と低弾性とが互いにトレードオフの関係を有する課題であることを見出した。
As a result of the present inventor examining a resin composition containing a thermosetting resin, the following has been found.
(1) The chain-like polycarbodiimide compound described in the above document may compete with other curing agents. Therefore, it is difficult to stably obtain a cured product of a resin composition having low shrinkage.
(2) From the viewpoint of suppressing low shrinkage, if the crosslinked structure is made too dense, the elastic modulus of the cured product of the resin composition becomes high. That is, the present inventor has found that in a resin composition containing a thermosetting resin, low shrinkage and low elasticity are problems that have a trade-off relationship with each other.

上記のような新たな知見に基づいて更に鋭意研究した結果、環状カルボジイミド化合物が硬化促進剤として利用できること、および当該環状カルボジイミド化合物を利用することにより、低収縮性を安定的に得られる上、上述のトレードオフの関係を改善できることが判明した。
このように本発明者は、低収縮性と低弾性に優れた樹脂組成を安定的に得られること見出し、本発明を完成するに至った。
As a result of further diligent research based on the above-mentioned new findings, the cyclic carbodiimide compound can be used as a curing accelerator, and by using the cyclic carbodiimide compound, low shrinkage can be stably obtained, and the above-mentioned It turned out that the trade-off relationship between the two could be improved.
As described above, the present inventor has found that a resin composition excellent in low shrinkage and low elasticity can be stably obtained, and has completed the present invention.

本発明によれば、
熱硬化性樹脂と、
環状カルボジイミド化合物と、
無機充填材と、
硬化剤と、を含む、樹脂組成物であって、
前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含み、
前記無機充填材がシリカを含み、かつ当該無機充填材の含有量が当該樹脂組成物全体に対して80質量%以上、95質量%以下であり、
前記硬化剤が、多官能型フェノール樹脂、変性フェノール樹脂、フェノールアラルキル型フェノール樹脂、およびビスフェノール化合物からなる群から選択される一種類または二種類以上であり
当該樹脂組成物を175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物のガラス転移温度が、100℃以上である、電子部品に用いる樹脂組成物が提供される。
According to the present invention
Thermosetting resin and
Cyclic carbodiimide compounds and
Inorganic filler and
A resin composition containing a curing agent .
The thermosetting resin contains an epoxy resin and contains
The inorganic filler contains silica, and the content of the inorganic filler is 80% by mass or more and 95% by mass or less with respect to the entire resin composition.
The curing agent is one or more selected from the group consisting of a polyfunctional phenol resin, a modified phenol resin, a phenol aralkyl type phenol resin, and a bisphenol compound .
Provided is a resin composition used for electronic components, wherein the cured product obtained by heat-treating the resin composition at 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours has a glass transition temperature of 100 ° C. or higher.

本発明によれば、低収縮性と低弾性に優れた電子部品に用いる樹脂組成物が提供される。 According to the present invention, there is provided a resin composition used for an electronic component having excellent low shrinkage and low elasticity.

本実施形態に係る電子部品の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the electronic component which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る電子部品の製造方法の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the electronic component which concerns on this embodiment. 実施例および比較例の樹脂組成物における成形収縮率(%)と熱時弾性率(MPa)の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the molding shrinkage rate (%) and the thermal elastic modulus (MPa) in the resin composition of Examples and Comparative Examples.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all drawings, similar components are designated by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.

本実施形態に係る樹脂組成物は、熱硬化性樹脂と環状カルボジイミド化合物とを有している。当該樹脂組成物は、各種の電子部品に幅広く利用することができる。
また、本実施形態に係る環状カルボジイミド化合物は、1つの環状内に1つのカルボジイミド基を有する環状構造を備えるものである。また、当該環状カルボジイミド化合物は、カルボジイミド基を有する構造単位を、1分子内に3以上含むポリカルボジイミド化合物を含まない、カルボジイミド化合物のモノマーを意味する。
The resin composition according to the present embodiment contains a thermosetting resin and a cyclic carbodiimide compound. The resin composition can be widely used for various electronic components.
Further, the cyclic carbodiimide compound according to the present embodiment has a cyclic structure having one carbodiimide group in one cyclic. Further, the cyclic carbodiimide compound means a monomer of a carbodiimide compound that does not contain a polycarbodiimide compound containing 3 or more structural units having a carbodiimide group in one molecule.

本発明者は、種々の実験結果より、本実施形態の環状カルボジイミド化合物が硬化促進剤として作用する、という新規な機能を見出した。詳細なメカニズムは定かでないが、ゲルタイムや溶融粘度などの流動特性が低くならずに、ガラス転移温度(Tg)が高くなることから、本実施形態の環状カルボジイミド化合物は、ポストキュアのときに架橋密度を高める働きをする、と考えられる。また、他の硬化剤と競合することを抑制できる。このため、環状カルボジイミド化合物を硬化促進剤として利用することにより、本実施形態の樹脂組成物の低収縮特性を安定して得られることが可能になった。
また、本発明者がさらに検討を深めた結果、上記環状カルボジイミド化合物を利用することにより、本実施形態の樹脂組成物において、低収縮性と低弾性とのトレードオフの関係を改善できることが新たに見出された。
From various experimental results, the present inventor has found a novel function that the cyclic carbodiimide compound of the present embodiment acts as a curing accelerator. Although the detailed mechanism is not clear, the cyclic carbodiimide compound of the present embodiment has a crosslink density during post-cure because the glass transition temperature (Tg) increases without lowering the flow characteristics such as gel time and melt viscosity. It is thought that it works to increase the temperature. In addition, it is possible to suppress competition with other curing agents. Therefore, by using the cyclic carbodiimide compound as a curing accelerator, it has become possible to stably obtain the low shrinkage characteristics of the resin composition of the present embodiment.
Further, as a result of further study by the present inventor, it has been newly found that the trade-off relationship between low shrinkage and low elasticity can be improved in the resin composition of the present embodiment by using the cyclic carbodiimide compound. Found.

以下、本実施形態に係る樹脂組成物を構成する各成分について詳述する。 Hereinafter, each component constituting the resin composition according to the present embodiment will be described in detail.

(熱硬化性樹脂(A))
本実施形態に係る樹脂組成物は、熱硬化性樹脂(A)を有している。
当該熱硬化性樹脂(A)は、たとえばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、(メタ)アクリレート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、およびマレイミド樹脂からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。これらの中でも、硬化性、保存性、耐熱性、耐湿性、および耐薬品性を向上させる観点から、エポキシ樹脂を含むことがとくに好ましい。
(Thermosetting resin (A))
The resin composition according to this embodiment has a thermosetting resin (A).
The thermosetting resin (A) is one or two types selected from the group consisting of, for example, epoxy resin, phenol resin, oxetane resin, (meth) acrylate resin, unsaturated polyester resin, diallyl phthalate resin, and maleimide resin. Including the above. Among these, it is particularly preferable to contain an epoxy resin from the viewpoint of improving curability, storage stability, heat resistance, moisture resistance, and chemical resistance.

本実施形態において、熱硬化性樹脂(A)に含まれるエポキシ樹脂としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を用いることができ、その分子量や分子構造は特に限定されない。本実施形態において、エポキシ樹脂は、たとえばビフェニル型エポキシ樹脂;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、テトラメチルビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;スチルベン型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂等に例示されるトリスフェノール型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂;フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、フェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のフェノールアラルキル型エポキシ樹脂;ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシナフタレンの2量体をグリシジルエーテル化して得られるエポキシ樹脂等のナフトール型エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート等のトリアジン核含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等の有橋環状炭化水素化合物変性フェノール型エポキシ樹脂からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。成形体の反り抑制や、充填性、耐熱性、耐湿性等の諸特性のバランスを向上させる観点からは、これらのうちビフェニル型エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂、およびフェノールアラルキル型エポキシ樹脂から選択される一種または二種以上を含むことがより好ましく、多官能エポキシ樹脂を少なくとも含むことがとくに好ましい。 In the present embodiment, as the epoxy resin contained in the thermosetting resin (A), a monomer, an oligomer, or a polymer having two or more epoxy groups in one molecule can be used in general, and the molecular weight and molecular structure thereof are particularly high. Not limited. In the present embodiment, the epoxy resin is, for example, a biphenyl type epoxy resin; a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a bisphenol type epoxy resin such as a tetramethyl bisphenol F type epoxy resin; a stillben type epoxy resin; a phenol novolac type epoxy. Novolak type epoxy resin such as resin, cresol novolac type epoxy resin; polyfunctional epoxy resin such as triphenol methane type epoxy resin exemplified by triphenol methane type epoxy resin, alkyl modified triphenol methane type epoxy resin; having a phenylene skeleton Phenol aralkyl type epoxy resin such as phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin having a phenylene skeleton, phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton, naphthol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton; dihydroxynaphthalene type epoxy resin, dihydroxy Naftor-type epoxy resins such as epoxy resins obtained by glycidyl etherification of naphthalene dimer; triazine nuclei-containing epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate and monoallyl diglycidyl isocyanurate; dicyclopentadiene-modified phenol-type epoxy resins and the like Arihashi Cyclic hydrocarbon compound Includes one or more selected from the group consisting of modified phenolic epoxy resins. From the viewpoint of suppressing warpage of the molded body and improving the balance of various properties such as filling property, heat resistance, and moisture resistance, it is selected from among these, biphenyl type epoxy resin, polyfunctional epoxy resin, and phenol aralkyl type epoxy resin. It is more preferable to contain one or more of them, and it is particularly preferable to contain at least one polyfunctional epoxy resin.

本実施形態において、熱硬化性樹脂(A)の含有量は、樹脂組成物全体に対して1質量%以上であることが好ましく、2質量%以上であることがより好ましく、2.5質量%以上であることがとくに好ましい。これにより、成形時における流動性を向上させることができる。このため、充填性や成形安定性の向上を図ることができる。一方で、熱硬化性樹脂(A)の含有量は、樹脂組成物全体に対して15質量%以下であることが好ましく、14質量%以下であることがより好ましく、13質量%以下であることがとくに好ましい。これにより、電子部品の耐湿信頼性や耐リフロー性を向上させることができる。また、熱硬化性樹脂(A)の含有量をこのような範囲に制御することによって、樹脂組成物により電子素子等を封止して得られる成形体の反り抑制に寄与することが可能である。 In the present embodiment, the content of the thermosetting resin (A) is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and 2.5% by mass, based on the entire resin composition. The above is particularly preferable. Thereby, the fluidity at the time of molding can be improved. Therefore, it is possible to improve the filling property and the molding stability. On the other hand, the content of the thermosetting resin (A) is preferably 15% by mass or less, more preferably 14% by mass or less, and 13% by mass or less with respect to the entire resin composition. Is particularly preferable. As a result, the moisture resistance reliability and reflow resistance of the electronic component can be improved. Further, by controlling the content of the thermosetting resin (A) within such a range, it is possible to contribute to the suppression of warpage of the molded product obtained by sealing the electronic element or the like with the resin composition. ..

(硬化剤(B))
本実施形態の樹脂組成物は、たとえば硬化剤(B)を含むことができる。樹脂組成物に含まれる硬化剤(B)としては、たとえば重付加型の硬化剤、触媒型の硬化剤、および縮合型の硬化剤の3タイプに大別することができる。
(Curing agent (B))
The resin composition of the present embodiment can contain, for example, a curing agent (B). The curing agent (B) contained in the resin composition can be roughly classified into three types, for example, a heavy addition type curing agent, a catalytic type curing agent, and a condensation type curing agent.

上記硬化剤(B)として用いられる重付加型の硬化剤は、たとえばジエチレントリアミン(DETA)、トリエチレンテトラミン(TETA)、メタキシレリレンジアミン(MXDA)などの脂肪族ポリアミン、ジアミノジフェニルメタン(DDM)、m−フェニレンジアミン(MPDA)、ジアミノジフェニルスルホン(DDS)などの芳香族ポリアミンのほか、ジシアンジアミド(DICY)、有機酸ジヒドララジドなどを含むポリアミン化合物;ヘキサヒドロ無水フタル酸(HHPA)、メチルテトラヒドロ無水フタル酸(MTHPA)などの脂環族酸無水物、無水トリメリット酸(TMA)、無水ピロメリット酸(PMDA)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸(BTDA)などの芳香族酸無水物などを含む酸無水物;ノボラック型フェノール樹脂、ポリビニルフェノール、アラルキル型フェノール樹脂などのフェノール樹脂系硬化剤;ポリサルファイド、チオエステル、チオエーテルなどのポリメルカプタン化合物;イソシアネートプレポリマー、ブロック化イソシアネートなどのイソシアネート化合物;カルボン酸含有ポリエステル樹脂などの有機酸類からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。 The heavy addition type curing agent used as the curing agent (B) includes, for example, aliphatic polyamines such as diethylenetriamine (DETA), triethylenetetramine (TETA), and metaxylerylene diamine (MXDA), diaminodiphenylmethane (DDM), and the like. Polyamine compounds containing aromatic polyamines such as m-phenylenediamine (MPDA) and diaminodiphenylsulfone (DDS), as well as dicyandiamide (DICY) and organic acid dihydralide; hexahydrophthalic anhydride (HHPA), methyltetrahydrophthalic anhydride (HHPA) Acid anhydrides containing alicyclic acid anhydrides such as MTHPA), aromatic acid anhydrides such as trimellitic anhydride (TMA), pyromellitic anhydride (PMDA), and benzophenone tetracarboxylic acid (BTDA); novolak type Phenolic resin-based curing agents such as phenol resin, polyvinylphenol and aralkyl type phenol resin; Polymercaptan compounds such as polysulfide, thioester and thioether; Isocyanate compounds such as isocyanate prepolymer and blocked isocyanate; Organic acids such as carboxylic acid-containing polyester resin Includes one or more selected from the group consisting of.

上記硬化剤(B)として用いられる触媒型の硬化剤は、たとえばベンジルジメチルアミン(BDMA)、2,4,6−トリスジメチルアミノメチルフェノール(DMP−30)などの3級アミン化合物;2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール(EMI24)などのイミダゾール化合物;BF3錯体などのルイス酸からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。 The catalytic curing agent used as the curing agent (B) is a tertiary amine compound such as benzyldimethylamine (BDMA), 2,4,6-trisdimethylaminomethylphenol (DMP-30); 2-methyl. Includes one or more selected from the group consisting of imidazole compounds such as imidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole (EMI24); Lewis acids such as the BF3 complex.

上記硬化剤(B)として用いられる縮合型の硬化剤は、たとえばレゾール型フェノール樹脂;メチロール基含有尿素樹脂などの尿素樹脂;メチロール基含有メラミン樹脂などのメラミン樹脂からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。 The condensation type curing agent used as the curing agent (B) is one kind selected from the group consisting of, for example, a resole type phenol resin; a urea resin such as a methylol group-containing urea resin; and a melamine resin such as a methylol group-containing melamine resin. Or include two or more types.

これらの中でも、耐燃性、耐湿性、電気特性、硬化性、および保存安定性等についてのバランスを向上させる観点から、フェノール樹脂系硬化剤を含むことがより好ましい。フェノール樹脂系硬化剤としては、一分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を用いることができ、その分子量、分子構造は特に限定されない。硬化剤(B)として用いられるフェノール樹脂系硬化剤は、たとえばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールノボラック等のノボラック型フェノール樹脂;ポリビニルフェノール、トリフェノールメタン型フェノール樹脂等の多官能型フェノール樹脂;テルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂;フェニレン骨格及び/又はビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレン及び/又はビフェニレン骨格を有するナフトールアラルキル樹脂等のフェノールアラルキル型フェノール樹脂;ビスフェノールA、ビスフェノールF等のビスフェノール化合物からなる群から選択される一種類または二種類以上を含む。これらの中でも、樹脂組成物により電子素子等を封止して得られる成形体の反りを抑制する観点からは、多官能型フェノール樹脂およびフェノールアラルキル型フェノール樹脂のうちの少なくとも一方を含むことがより好ましい。なお、本実施形態においては、熱硬化性樹脂(A)としての多官能エポキシ樹脂と、硬化剤(B)としての多官能フェノール樹脂と、の一方または双方を樹脂組成物中に含む場合を、好ましい態様の例として挙げることができる。 Among these, it is more preferable to contain a phenolic resin-based curing agent from the viewpoint of improving the balance of flame resistance, moisture resistance, electrical properties, curability, storage stability and the like. As the phenolic resin-based curing agent, a monomer, an oligomer, or a polymer having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule can be used in general, and the molecular weight and molecular structure thereof are not particularly limited. The phenolic resin-based curing agent used as the curing agent (B) is, for example, a novolac-type phenolic resin such as phenol novolac resin, cresol novolac resin, or bisphenol novolak; a polyfunctional phenolic resin such as polyvinylphenol or triphenolmethane-type phenolic resin; Modified phenolic resins such as terpene-modified phenolic resins and dicyclopentadiene-modified phenolic resins; phenolal aralkyl resins having a phenylene skeleton and / or biphenylene skeleton, phenolal aralkyl resins such as naphthol aralkyl resins having phenylene and / or biphenylene skeletons; bisphenols Includes one or more selected from the group consisting of bisphenol compounds such as A and bisphenol F. Among these, from the viewpoint of suppressing the warp of the molded product obtained by sealing the electronic element or the like with the resin composition, it is more likely that at least one of the polyfunctional phenol resin and the phenol aralkyl type phenol resin is contained. preferable. In the present embodiment, the resin composition contains one or both of a polyfunctional epoxy resin as a thermosetting resin (A) and a polyfunctional phenol resin as a curing agent (B). An example of a preferred embodiment can be given.

本実施形態において、硬化剤(B)の含有量は、樹脂組成物全体に対して0.5質量%以上であることが好ましく、1質量%以上であることがより好ましく、1.5質量%以上であることがとくに好ましい。これにより、成形時において、優れた流動性を実現し、充填性や成形性の向上を図ることができる。一方で、硬化剤(B)の含有量は、樹脂組成物全体に対して9質量%以下であることが好ましく、8質量%以下であることがより好ましく、7質量%以下であることがとくに好ましい。これにより、電子部品の耐湿信頼性や耐リフロー性を向上させることができる。また、硬化剤(B)の含有量をこのような範囲に制御することによって、樹脂組成物により電子素子等を封止して得られる成形体の反り抑制に寄与することが可能である。 In the present embodiment, the content of the curing agent (B) is preferably 0.5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and 1.5% by mass, based on the entire resin composition. The above is particularly preferable. As a result, excellent fluidity can be realized at the time of molding, and the filling property and moldability can be improved. On the other hand, the content of the curing agent (B) is preferably 9% by mass or less, more preferably 8% by mass or less, and particularly preferably 7% by mass or less, based on the entire resin composition. preferable. As a result, the moisture resistance reliability and reflow resistance of the electronic component can be improved. Further, by controlling the content of the curing agent (B) within such a range, it is possible to contribute to the suppression of warpage of the molded product obtained by sealing the electronic element or the like with the resin composition.

(硬化促進剤(C))
本実施形態に係る樹脂組成物は、たとえば硬化促進剤(C)を含むことができる。硬化促進剤(C)は、熱硬化性樹脂(A)(たとえばエポキシ樹脂)と、硬化剤(B)(たとえばフェノール樹脂系硬化剤)と、の架橋反応を促進させるものであればよい。
(Curing accelerator (C))
The resin composition according to the present embodiment may contain, for example, a curing accelerator (C). The curing accelerator (C) may be any one that promotes the cross-linking reaction between the thermosetting resin (A) (for example, epoxy resin) and the curing agent (B) (for example, phenol resin-based curing agent).

本実施形態において、硬化促進剤(C)は、たとえば有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物等のリン原子含有化合物;1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン−7、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾール等が例示されるアミジンや3級アミン、前記アミジンやアミンの4級塩等の窒素原子含有化合物から選択される1種類または2種類以上を含むことができる。これらの中でも、硬化性を向上させる観点からはリン原子含有化合物を含むことがより好ましい。 In the present embodiment, the curing accelerator (C) contains a phosphorus atom such as an organic phosphine, a tetra-substituted phosphonium compound, a phosphobetaine compound, an adduct of a phosphine compound and a quinone compound, and an adduct of a phosphonium compound and a silane compound. Compounds; 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7, benzyldimethylamine, 2-methylimidazole and the like, such as amidine and tertiary amine, containing nitrogen atoms such as the quaternary salt of amidine and amine. It can contain one or more selected from the compounds. Among these, it is more preferable to contain a phosphorus atom-containing compound from the viewpoint of improving curability.

上記樹脂組成物で用いることができる有機ホスフィンとしては、例えばエチルホスフィン、フェニルホスフィン等の第1ホスフィン;ジメチルホスフィン、ジフェニルホスフィン等の第2ホスフィン;トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の第3ホスフィンが挙げられる。 Examples of the organic phosphine that can be used in the above resin composition include a first phosphine such as ethylphosphine and phenylphosphine; a second phosphine such as dimethylphosphine and diphenylphosphine; trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine, triphenylphosphine and the like. The third phosphine of.

上記樹脂組成物で用いることができるテトラ置換ホスホニウム化合物としては、例えば下記一般式(6)で表される化合物等が挙げられる。 Examples of the tetra-substituted phosphonium compound that can be used in the above resin composition include compounds represented by the following general formula (6).

Figure 0006766360
(上記一般式(6)において、Pはリン原子を表す。R、R、RおよびRは芳香族基またはアルキル基を表す。Aはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸のアニオンを表す。AHはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも1つ有する芳香族有機酸を表す。x、yは1〜3の数、zは0〜3の数であり、かつx=yである。)
Figure 0006766360
In (the general formula (6), P is selected .R 4 representing the phosphorus atom, R 5, .A R 6 and R 7 representing an aromatic group or alkyl group is a hydroxyl group, a carboxyl group, a thiol group Represents an anion of an aromatic organic acid having at least one functional group on the aromatic ring. AH is an aromatic having at least one functional group selected from a hydroxyl group, a carboxyl group, and a thiol group on the aromatic ring. Represents an organic acid. X and y are numbers 1 to 3, z is a number 0 to 3, and x = y.)

一般式(6)で表される化合物は、例えば以下のようにして得られるがこれに限定されるものではない。まず、テトラ置換ホスホニウムハライドと芳香族有機酸と塩基を有機溶剤に混ぜ均一に混合し、その溶液系内に芳香族有機酸アニオンを発生させる。次いで水を加えると、一般式(6)で表される化合物を沈殿させることができる。一般式(6)で表される化合物において、リン原子に結合するR、R、RおよびRがフェニル基であり、かつAHはヒドロキシル基を芳香環に有する化合物、すなわちフェノール類であり、かつAは該フェノール類のアニオンであるのが好ましい。上記フェノール類としては、フェノール、クレゾール、レゾルシン、カテコールなどの単環式フェノール類、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、アントラキノールなどの縮合多環式フェノール類、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールSなどのビスフェノール類、フェニルフェノール、ビフェノールなどの多環式フェノール類などが例示される。 The compound represented by the general formula (6) is obtained, for example, as follows, but is not limited thereto. First, tetra-substituted phosphonium halide, aromatic organic acid and base are mixed with an organic solvent and uniformly mixed to generate an aromatic organic acid anion in the solution system. Then, water can be added to precipitate the compound represented by the general formula (6). In the compound represented by the general formula (6), R 4 , R 5 , R 6 and R 7 bonded to the phosphorus atom are phenyl groups, and AH is a compound having a hydroxyl group in the aromatic ring, that is, phenols. Yes, and A is preferably an anion of the phenols. Examples of the phenols include monocyclic phenols such as phenol, cresol, resorcin and catechol, condensed polycyclic phenols such as naphthol, dihydroxynaphthalene and anthraquinol, and bisphenols such as bisphenol A, bisphenol F and bisphenol S. Examples thereof include polycyclic phenols such as phenylphenol and biphenol.

上記樹脂組成物で用いることができるホスホベタイン化合物としては、例えば、下記一般式(7)で表される化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphobetaine compound that can be used in the above resin composition include compounds represented by the following general formula (7).

Figure 0006766360
(上記一般式(7)において、Rは炭素数1〜3のアルキル基、Rはヒドロキシル基を表す。fは0〜5の数であり、gは0〜3の数である。)
Figure 0006766360
(In the above general formula (7), R 8 represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and R 9 represents a hydroxyl group. F is a number from 0 to 5, and g is a number from 0 to 3.)

一般式(7)で表される化合物は、例えば以下のようにして得られる。まず、第三ホスフィンであるトリ芳香族置換ホスフィンとジアゾニウム塩とを接触させ、トリ芳香族置換ホスフィンとジアゾニウム塩が有するジアゾニウム基とを置換させる工程を経て得られる。しかしこれに限定されるものではない。 The compound represented by the general formula (7) can be obtained, for example, as follows. First, it is obtained through a step of contacting a tri-aromatic substituted phosphine, which is a tertiary phosphine, with a diazonium salt to replace the tri-aromatic substituted phosphine with the diazonium group of the diazonium salt. However, it is not limited to this.

上記樹脂組成物で用いることができるホスフィン化合物とキノン化合物との付加物としては、例えば、下記一般式(8)で表される化合物等が挙げられる。 Examples of the adduct of the phosphine compound and the quinone compound that can be used in the above resin composition include compounds represented by the following general formula (8).

Figure 0006766360
(上記一般式(8)において、Pはリン原子を表す。R10、R11およびR12は炭素数1〜12のアルキル基または炭素数6〜12のアリール基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。R13、R14およびR15は水素原子または炭素数1〜12の炭化水素基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよく、R14とR15が結合して環状構造となっていてもよい。)
Figure 0006766360
(In the above general formula (8), P represents a phosphorus atom. R 10 , R 11 and R 12 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and are identical to each other. R 13 , R 14 and R 15 represent hydrogen atoms or hydrocarbon groups having 1 to 12 carbon atoms, which may be the same or different from each other, and R 14 and R 15 are bonded to each other. It may have a ring structure.)

ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物に用いるホスフィン化合物としては、例えばトリフェニルホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリナフチルホスフィン、トリス(ベンジル)ホスフィン等の芳香環に無置換またはアルキル基、アルコキシル基等の置換基が存在するものが好ましく、アルキル基、アルコキシル基等の置換基としては1〜6の炭素数を有するものが挙げられる。入手しやすさの観点からはトリフェニルホスフィンが好ましい。 Examples of the phosphine compound used as an adjunct to the phosphine compound and the quinone compound include triphenylphosphine, tris (alkylphenyl) phosphine, tris (alkoxyphenyl) phosphine, trinaphthylphosphine, tris (benzyl) phosphine and the like. Substituents or those having a substituent such as an alkyl group or an alkoxyl group are preferable, and examples of the substituent such as an alkyl group and an alkoxyl group include those having 1 to 6 carbon atoms. From the viewpoint of availability, triphenylphosphine is preferable.

また、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物に用いるキノン化合物としては、ベンゾキノン、アントラキノン類が挙げられ、中でもp−ベンゾキノンが保存安定性の点から好ましい。 Examples of the quinone compound used as an adduct of the phosphine compound and the quinone compound include benzoquinone and anthraquinones, and among them, p-benzoquinone is preferable from the viewpoint of storage stability.

ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物の製造方法としては、有機第三ホスフィンとベンゾキノン類の両者が溶解することができる溶媒中で接触、混合させることにより付加物を得ることができる。溶媒としてはアセトンやメチルエチルケトン等のケトン類で付加物への溶解性が低いものがよい。しかしこれに限定されるものではない。 As a method for producing an adduct of a phosphine compound and a quinone compound, the adduct can be obtained by contacting and mixing in a solvent in which both organic tertiary phosphine and benzoquinones can be dissolved. As the solvent, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, which have low solubility in adducts, are preferable. However, it is not limited to this.

一般式(8)で表される化合物において、リン原子に結合するR10、R11およびR12がフェニル基であり、かつR13、R14およびR15が水素原子である化合物、すなわち1,4−ベンゾキノンとトリフェニルホスフィンを付加させた化合物が樹脂組成物の硬化物の熱時弾性率を低下させる点で好ましい。 In the compound represented by the general formula (8), the compounds in which R 10 , R 11 and R 12 bonded to the phosphorus atom are phenyl groups and R 13 , R 14 and R 15 are hydrogen atoms, that is, 1, A compound to which 4-benzoquinone and triphenylphosphine are added is preferable because it reduces the thermal elastic modulus of the cured product of the resin composition.

上記樹脂組成物で用いることができるホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物としては、例えば下記一般式(9)で表される化合物等が挙げられる。 Examples of the adduct of the phosphonium compound and the silane compound that can be used in the above resin composition include compounds represented by the following general formula (9).

Figure 0006766360
(上記一般式(9)において、Pはリン原子を表し、Siは珪素原子を表す。R16、R17、R18およびR19は、それぞれ、芳香環または複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。式中R20は、基YおよびYと結合する有機基である。式中R21は、基YおよびYと結合する有機基である。YおよびYは、プロトン供与性基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。YおよびYはプロトン供与性基がプロトンを放出してなる基を表し、同一分子内の基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。R20、およびR21は互いに同一であっても異なっていてもよく、Y、Y、YおよびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。Zは芳香環または複素環を有する有機基、あるいは脂肪族基である。)
Figure 0006766360
(In the above general formula (9), P represents a phosphorus atom and Si represents a silicon atom. R 16 , R 17 , R 18 and R 19 are organic groups having an aromatic ring or a heterocycle, or an aliphatic compound, respectively. Represents a group group and may be the same or different from each other. In the formula, R 20 is an organic group bonded to the groups Y 2 and Y 3. In the formula, R 21 is a group Y 4 and Y 5 . The organic groups to be bonded. Y 2 and Y 3 represent a group formed by a proton donating group releasing a proton, and the groups Y 2 and Y 3 in the same molecule are bonded to a silicon atom to form a chelate structure. Y 4 and Y 5 represent groups formed by a proton donating group releasing a proton, and groups Y 4 and Y 5 in the same molecule combine with a silicon atom to form a chelate structure. There, R 20 and R 21 may be the same or different from each other, and Y 2 , Y 3 , Y 4 and Y 5 may be the same or different from each other. Z 1 is an aromatic ring. Or an organic group having a heterocycle or an aliphatic group.)

一般式(9)において、R16、R17、R18およびR19としては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ナフチル基、ヒドロキシナフチル基、ベンジル基、メチル基、エチル基、n−ブチル基、n−オクチル基およびシクロヘキシル基等が挙げられ、これらの中でも、フェニル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基等のアルキル基、アルコキシ基、水酸基などの置換基を有する芳香族基もしくは無置換の芳香族基がより好ましい。 In the general formula (9), R 16 , R 17 , R 18 and R 19 include, for example, a phenyl group, a methylphenyl group, a methoxyphenyl group, a hydroxyphenyl group, a naphthyl group, a hydroxynaphthyl group, a benzyl group and a methyl group. , Ethyl group, n-butyl group, n-octyl group, cyclohexyl group and the like. Among these, alkyl group such as phenyl group, methylphenyl group, methoxyphenyl group, hydroxyphenyl group and hydroxynaphthyl group, alkoxy group and the like. , An aromatic group having a substituent such as a hydroxyl group or an unsubstituted aromatic group is more preferable.

また、一般式(9)において、R20は、基YおよびYと結合する有機基である。同様に、R21は、基YおよびYと結合する有機基である。YおよびYはプロトン供与性基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。同様にYおよびYはプロトン供与性基がプロトンを放出してなる基であり、同一分子内の基YおよびYが珪素原子と結合してキレート構造を形成するものである。基R20およびR21は互いに同一であっても異なっていてもよく、基Y、Y、Y、およびYは互いに同一であっても異なっていてもよい。このような一般式(9)中の−Y−R20−Y−、およびY−R21−Y−で表される基は、プロトン供与体が、プロトンを2個放出してなる基で構成されるものであり、プロトン供与体としては、分子内にカルボキシル基、または水酸基を少なくとも2個有する有機酸が好ましく、さらには芳香環を構成する隣接する炭素にカルボキシル基または水酸基を少なくとも2個有する芳香族化合物が好ましく、芳香環を構成する隣接する炭素に水酸基を少なくとも2個有する芳香族化合物がより好ましく、例えば、カテコール、ピロガロール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,2’−ビフェノール、1,1’−ビ−2−ナフトール、サリチル酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、3−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、クロラニル酸、タンニン酸、2−ヒドロキシベンジルアルコール、1,2−シクロヘキサンジオール、1,2−プロパンジオールおよびグリセリン等が挙げられるが、これらの中でも、カテコール、1,2−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレンがより好ましい。 Further, in the general formula (9), R 20 is an organic group bonded to groups Y 2 and Y 3 . Similarly, R 21 is an organic group that binds to groups Y 4 and Y 5 . Y 2 and Y 3 are groups formed by a proton donating group releasing a proton, and the groups Y 2 and Y 3 in the same molecule combine with a silicon atom to form a chelate structure. Similarly, Y 4 and Y 5 are groups formed by a proton donating group releasing a proton, and the groups Y 4 and Y 5 in the same molecule combine with a silicon atom to form a chelate structure. The groups R 20 and R 21 may be the same or different from each other, and the groups Y 2 , Y 3 , Y 4 and Y 5 may be the same or different from each other. In such a group represented by −Y 2- R 20 −Y 3 − and Y 4 −R 21 −Y 5 − in the general formula (9), the proton donor releases two protons. As the proton donor, an organic acid having at least two carboxyl groups or hydroxyl groups in the molecule is preferable, and further, a carboxyl group or a hydroxyl group is added to the adjacent carbon constituting the aromatic ring. An aromatic compound having at least two is preferable, and an aromatic compound having at least two hydroxyl groups on adjacent carbons constituting the aromatic ring is more preferable, for example, catechol, pyrogallol, 1,2-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxy. Naphthalene, 2,2'-biphenol, 1,1'-bi-2-naphthol, salicylic acid, 1-hydroxy-2-naphthoic acid, 3-hydroxy-2-naphthoic acid, chloranilic acid, tannic acid, 2-hydroxybenzyl Alcohol, 1,2-cyclohexanediol, 1,2-propanediol, glycerin and the like can be mentioned, but among these, catechol, 1,2-dihydroxynaphthalene and 2,3-dihydroxynaphthalene are more preferable.

また、一般式(9)中のZは、芳香環または複素環を有する有機基または脂肪族基を表し、これらの具体的な例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基およびオクチル基等の脂肪族炭化水素基や、フェニル基、ベンジル基、ナフチル基およびビフェニル基等の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシプロピル基、メルカプトプロピル基、アミノプロピル基等のグリシジルオキシ基、メルカプト基、アミノ基を有するアルキル基およびビニル基等の反応性置換基等が挙げられるが、これらの中でも、メチル基、エチル基、フェニル基、ナフチル基およびビフェニル基が熱安定性の面から、より好ましい。 Further, Z 1 in the general formula (9) represents an organic group or an aliphatic group having an aromatic ring or a heterocyclic ring, and specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group and a butyl group. An aliphatic hydrocarbon group such as a hexyl group and an octyl group, an aromatic hydrocarbon group such as a phenyl group, a benzyl group, a naphthyl group and a biphenyl group, a glycidyloxy group such as a glycidyloxypropyl group, a mercaptopropyl group and an aminopropyl group. , Reactive substituents such as mercapto group, alkyl group having amino group and vinyl group, etc. Among these, methyl group, ethyl group, phenyl group, naphthyl group and biphenyl group are used from the viewpoint of thermal stability. , More preferred.

ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物の製造方法としては、メタノールを入れたフラスコに、フェニルトリメトキシシラン等のシラン化合物、2,3−ジヒドロキシナフタレン等のプロトン供与体を加えて溶かし、次に室温攪拌下ナトリウムメトキシド−メタノール溶液を滴下する。さらにそこへ予め用意したテトラフェニルホスホニウムブロマイド等のテトラ置換ホスホニウムハライドをメタノールに溶かした溶液を室温攪拌下滴下すると結晶が析出する。析出した結晶を濾過、水洗、真空乾燥すると、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物が得られる。しかし、これに限定されるものではない。 As a method for producing an adduct of a phosphonium compound and a silane compound, a silane compound such as phenyltrimethoxysilane and a proton donor such as 2,3-dihydroxynaphthalene are added to a flask containing methanol and dissolved, and then at room temperature. The sodium methoxide-methanol solution is added dropwise with stirring. Further, when a solution prepared in advance in which a tetra-substituted phosphonium halide such as tetraphenylphosphonium bromide is dissolved in methanol is added dropwise to the solution under stirring at room temperature, crystals are precipitated. When the precipitated crystals are filtered, washed with water and vacuum dried, an adduct of a phosphonium compound and a silane compound is obtained. However, it is not limited to this.

本実施形態において、硬化促進剤(C)の含有量は、樹脂組成物全体に対して0.05質量%以上であることが好ましく、0.10質量%以上であることがより好ましく、0.15質量%以上であることがとくに好ましい。これにより、封止成形時における硬化性を効果的に向上させることができる。一方で、硬化促進剤(C)の含有量は、樹脂組成物全体に対して5.0質量%以下であることが好ましく、4.0質量%以下であることがより好ましく、3.5質量%以下であることがとくに好ましい。これにより、封止成形時における流動性の向上を図ることができる。 In the present embodiment, the content of the curing accelerator (C) is preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0.10% by mass or more, and 0. It is particularly preferable that it is 15% by mass or more. Thereby, the curability at the time of sealing molding can be effectively improved. On the other hand, the content of the curing accelerator (C) is preferably 5.0% by mass or less, more preferably 4.0% by mass or less, and 3.5% by mass, based on the entire resin composition. It is particularly preferable that it is% or less. This makes it possible to improve the fluidity during sealing molding.

本実施形態に係る環状カルボジイミド化合物は、下記一般式(i)で表される環状カルボジイミド化合物であってもよい。なお、下記一般式(i)で示される環状カルボジイミド化合物は、1つの分子中、2つのカルボジイミド基を有してもよく、1つのカルボジイミド基を有してもよい。 The cyclic carbodiimide compound according to the present embodiment may be a cyclic carbodiimide compound represented by the following general formula (i). The cyclic carbodiimide compound represented by the following general formula (i) may have two carbodiimide groups in one molecule or one carbodiimide group.

Figure 0006766360
(一般式(i)中、Xは、下記一般式(i−1)〜(i−3)で表される2価の基または下記式(i−4)で表される4価の基である。Xが2価のときqは0で、Xが4価のときqは1である。Ar〜Arは各々独立に芳香族基である。これらの芳香族基は炭素数1〜6のアルキル基またはフェニル基で置換されていてもよい。)
Figure 0006766360
(In the general formula (i), X is a divalent group represented by the following general formulas (i-1) to (i-3) or a tetravalent group represented by the following formula (i-4). When X is divalent, q is 0, and when X is tetravalent, q is 1. Ar 1 to Ar 4 are independently aromatic groups. These aromatic groups have 1 to 1 carbon atoms. It may be substituted with an alkyl group or a phenyl group of 6).

Figure 0006766360
(上記式(i−1)中、nは1〜6の整数である。)
Figure 0006766360
(In the above formula (i-1), n is an integer of 1 to 6).

Figure 0006766360
(上記式(i−2)中、mおよびnは各々独立に0〜3の整数である。)
Figure 0006766360
(In the above formula (i-2), m and n are each independently an integer of 0 to 3.)

Figure 0006766360
(上記式(i−3)中、RおよびRは各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基を表す。)
Figure 0006766360
(In the above formula (i-3), R 1 and R 2 independently represent an alkyl group and a phenyl group having 1 to 6 carbon atoms, respectively.)

Figure 0006766360
Figure 0006766360

また、上記一般式(i)で表される環状カルボジイミド化合物としては、以下の構造式を有する化合物がいくつか例示される。

Figure 0006766360
Further, as the cyclic carbodiimide compound represented by the general formula (i), some compounds having the following structural formulas are exemplified.
Figure 0006766360

本実施形態に係る環状カルボジイミド化合物の製造方法としては、たとえば、次のような手法を用いることができる。
(i)単環の環状カルボジイミド化合物は、たとえば、下記工程(1)から工程(3)を含む製造工程により製造することができる。まず、上記ArおよびArを含むニトロ体を準備する(工程(1))。続いて、ニトロ体からアミン体を製造する(工程(2))。その後、アミン体から、トリフェニルホスフィン体またはウレア体を経由して、単環の環状カルボジイミド化合物を製造することができる(工程(3))。
(ii)複環の環状カルボジイミド化合物は、たとえば、上記工程(1)において、上記Ar〜Arを含むニトロ体を準備する点を除いて、(i)と同様にして、製造することができる。
As a method for producing the cyclic carbodiimide compound according to the present embodiment, for example, the following method can be used.
(I) The monocyclic cyclic carbodiimide compound can be produced, for example, by a production process including the following steps (1) to (3). First, a nitro compound containing Ar 1 and Ar 2 is prepared (step (1)). Subsequently, an amine compound is produced from the nitro compound (step (2)). Then, a monocyclic cyclic carbodiimide compound can be produced from the amine compound via the triphenylphosphine compound or the urea compound (step (3)).
(Ii) The compound ring cyclic carbodiimide compound can be produced in the same manner as in (i), except that, for example, in the above step (1), a nitro compound containing the above Ar 1 to Ar 4 is prepared. it can.

また、本実施形態に係る環状カルボジイミド化合物は従来公知の方法により製造することができる。例として、アミン体からイソシアネート体を経由して製造する方法、アミン体からイソチオシアネート体を経由して製造する方法、カルボン酸体からイソシアネート体を経由して製造する方法等が挙げられる。 Further, the cyclic carbodiimide compound according to the present embodiment can be produced by a conventionally known method. Examples thereof include a method of producing from an amine substance via an isocyanate body, a method of producing from an amine substance via an isothiocyanate compound, a method of producing from a carboxylic acid compound via an isocyanate compound, and the like.

本実施形態において、環状カルボジイミド化合物の含有量の下限値は、特に限定されないが、本実施形態に係る樹脂組成物の全体に対して0.1質量%以上が好ましく、0.15質量%以上がより好ましく、0.2質量%以上が特に好ましい。一方、当該環状カルボジイミド化合物の含有量の上限値は、特に限定されないが、2.0質量%以下が好ましく、1.8質量%以下がより好ましく、1.5質量%以下が特に好ましい。環状カルボジイミド化合物の含有量を上記範囲内とすることにより、低収縮特性が得られるだけでなく、低弾性と流動特性のバランスに優れた樹脂組成物が得られる。 In the present embodiment, the lower limit of the content of the cyclic carbodiimide compound is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, preferably 0.15% by mass or more, based on the whole resin composition according to the present embodiment. More preferably, 0.2% by mass or more is particularly preferable. On the other hand, the upper limit of the content of the cyclic carbodiimide compound is not particularly limited, but is preferably 2.0% by mass or less, more preferably 1.8% by mass or less, and particularly preferably 1.5% by mass or less. By setting the content of the cyclic carbodiimide compound within the above range, not only low shrinkage characteristics can be obtained, but also a resin composition having an excellent balance between low elasticity and flow characteristics can be obtained.

本実施形態において、上記硬化促進剤(C)に加えて、上記環状カルボジイミド化合物を併用することにより、樹脂組成物の樹脂設計の制御をより容易に実現できることができる。このため、たとえば、低収縮性と低弾性のバランスを高めることができる。 In the present embodiment, by using the cyclic carbodiimide compound in combination with the curing accelerator (C), it is possible to more easily control the resin design of the resin composition. Therefore, for example, the balance between low shrinkage and low elasticity can be improved.

(充填材(D))
本実施形態の樹脂組成物は、充填材(D)を含むことができる。充填材(D)は、たとえば、溶融破砕シリカ及び溶融球状シリカ等の溶融シリカ、結晶シリカ等のシリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、窒化珪素、および窒化アルミからなる群から選択される一種類または二種類以上の無機充填材を含むことができる。この中でも、好ましくは、溶融破砕シリカ、溶融球状シリカ、結晶シリカ等のシリカであり、より好ましくは溶融球状シリカを使用することができる。
(Filler (D))
The resin composition of the present embodiment may contain a filler (D). The filler (D) is one or two selected from the group consisting of fused silica such as molten crushed silica and fused spherical silica, silica such as crystalline silica, alumina, aluminum hydroxide, silicon nitride, and aluminum nitride. More than one kind of inorganic filler can be included. Among these, silica such as molten crushed silica, molten spherical silica, and crystalline silica is preferable, and fused spherical silica can be used more preferably.

本実施形態において、充填材(D)の平均粒径(D50)は、0.01μm以上1μm以下であることが好ましく、1μmより大きく50μm以下であることがより好ましい。平均粒径を上記下限値以上とすることにより、樹脂組成物の流動性を良好なものとし、成形性をより効果的に向上させることが可能となる。また、平均粒径を上記上限値以下とすることにより、ゲート詰まり等が生じることを確実に抑制できる。なお、本実施形態において、充填材(D)の平均粒径(D50)は、市販のレーザー回折式粒度分布測定装置(例えば、島津製作所社製、SALD−7000)を用いて粒子の粒度分布を体積基準で測定し、そのメディアン径(D50)を平均粒径とすることができる。 In the present embodiment, the average particle size (D 50 ) of the filler (D) is preferably 0.01 μm or more and 1 μm or less, and more preferably larger than 1 μm and 50 μm or less. By setting the average particle size to the above lower limit value or more, the fluidity of the resin composition can be improved and the moldability can be improved more effectively. Further, by setting the average particle size to the above upper limit value or less, it is possible to reliably suppress the occurrence of gate clogging and the like. In the present embodiment, the average particle size (D 50 ) of the filler (D) is the particle size distribution of the particles using a commercially available laser diffraction type particle size distribution measuring device (for example, SALD-7000 manufactured by Shimadzu Corporation). Can be measured on a volume basis, and its median diameter (D 50 ) can be used as the average particle size.

上記充填材(D)の含有量は、樹脂組成物全体に対して80質量%以上であることが好ましく、83質量%以上であることがより好ましく、85質量%以上であることがとくに好ましい。これにより、低吸湿性および低熱膨張性を向上させ、電子部品の耐湿信頼性や耐リフロー性をより効果的に向上させることができる。一方で、充填材(D)の含有量は、樹脂組成物全体に対して95質量%以下であることが好ましく、93質量%以下であることがより好ましく、90質量%以下であることがとくに好ましい。これにより、樹脂組成物の成形時における流動性や充填性をより効果的に向上させることが可能となる。また、充填材(D)の含有量をこのような範囲に制御することによって、樹脂組成物により電子素子等を封止して得られる成形体の反り抑制に寄与することが可能である。 The content of the filler (D) is preferably 80% by mass or more, more preferably 83% by mass or more, and particularly preferably 85% by mass or more with respect to the entire resin composition. As a result, low hygroscopicity and low thermal expansion can be improved, and the moisture resistance reliability and reflow resistance of electronic components can be more effectively improved. On the other hand, the content of the filler (D) is preferably 95% by mass or less, more preferably 93% by mass or less, and particularly preferably 90% by mass or less, based on the entire resin composition. preferable. This makes it possible to more effectively improve the fluidity and filling property of the resin composition during molding. Further, by controlling the content of the filler (D) within such a range, it is possible to contribute to the suppression of warpage of the molded product obtained by sealing the electronic element or the like with the resin composition.

また、充填材(D)は、たとえば異なる平均粒径(D50)の充填材を二種以上併用することができる。これにより、樹脂組成物全体に対する充填材(D)の充填性をより効果的に高めることができる。このため、成形体の反りの抑制に寄与することも可能となる。また、本実施形態においては、平均粒径0.01μm以上1μm以下の第一充填材と、平均粒径1μmより大きく50μm以下の第二充填材とを含むことが、樹脂組成物の充填性を向上させる観点や、成形体の反りを抑制する観点から、好ましい態様の一つとして挙げられる。 Further, as the filler (D), for example, two or more kinds of fillers having different average particle diameters (D50) can be used in combination. Thereby, the filling property of the filler (D) with respect to the entire resin composition can be more effectively enhanced. Therefore, it is possible to contribute to the suppression of warpage of the molded product. Further, in the present embodiment, the filling property of the resin composition is improved by including the first filler having an average particle diameter of 0.01 μm or more and 1 μm or less and the second filler having an average particle diameter of more than 1 μm and 50 μm or less. It is mentioned as one of the preferable aspects from the viewpoint of improving and suppressing the warp of the molded product.

本実施形態において、平均粒径0.01μm以上1μm以下の第一充填材と、平均粒径1μmより大きく50μm以下の第二充填材とを含む場合、充填材(D)全体に対する平均粒径1μmより大きく50μm以下の第二充填材の含有量は、たとえば70質量%以上であることが好ましく、75質量%以上であることがより好ましい。これにより、成形体の反りをより効果的に抑制することが可能となる。一方で、充填材(D)全体に対する平均粒径1μmより大きく50μm以下の第二充填材の含有量の上限値は、とくに限定されず、たとえば99質量%以下とすることができる。 In the present embodiment, when the first filler having an average particle size of 0.01 μm or more and 1 μm or less and the second filler having an average particle size of more than 1 μm and 50 μm or less are included, the average particle size of the entire filler (D) is 1 μm. The content of the second filler, which is larger and 50 μm or less, is preferably, for example, 70% by mass or more, and more preferably 75% by mass or more. This makes it possible to more effectively suppress the warpage of the molded product. On the other hand, the upper limit of the content of the second filler having an average particle size of more than 1 μm and 50 μm or less with respect to the entire filler (D) is not particularly limited and may be, for example, 99% by mass or less.

(その他の成分)
本実施形態の樹脂組成物には、必要に応じて、たとえば、カップリング剤、離型剤、難燃剤、イオン捕捉剤、着色剤、低応力剤および酸化防止剤等の各種添加剤のうち一種または二種以上を適宜配合することができる。
(Other ingredients)
The resin composition of the present embodiment is, if necessary, one of various additives such as a coupling agent, a mold release agent, a flame retardant, an ion scavenger, a colorant, a low stress agent and an antioxidant. Alternatively, two or more kinds can be appropriately blended.

本実施形態の樹脂組成物において、エポキシ樹脂と無機充填材との密着性を向上させるため、シランカップリング剤等のカップリング剤を添加することができる。カップリング剤としては、エポキシ樹脂と無機充填材との間で反応し、エポキシ樹脂と無機充填材の界面強度を向上させるものであればよく、特に限定されるものではないが、例えばエポキシシラン、アミノシラン、ウレイドシラン、メルカプトシラン等が挙げられる。 In the resin composition of the present embodiment, a coupling agent such as a silane coupling agent can be added in order to improve the adhesion between the epoxy resin and the inorganic filler. The coupling agent may be any one that reacts between the epoxy resin and the inorganic filler to improve the interfacial strength between the epoxy resin and the inorganic filler, and is not particularly limited, but for example, epoxysilane. Examples thereof include aminosilane, epoxysilane, and mercaptosilane.

上記エポキシシランとしては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。また、アミノシランとしては、例えば、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(6−アミノヘキシル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(3−(トリメトキシシリルプロピル)−1,3−ベンゼンジメタナン等が挙げられる。また、ウレイドシランとしては、例えば、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン等が挙げられる。アミノシランの1級アミノ部位をケトン又はアルデヒドを反応させて保護した潜在性アミノシランカップリング剤として用いてもよい。また、アミノシランとしては、2級アミノ基を有してもよい。また、メルカプトシランとしては、例えば、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシランのほか、ビス(3−トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(3−トリエトキシシリルプロピル)ジスルフィドのような熱分解することによってメルカプトシランカップリング剤と同様の機能を発現するシランカップリング剤など、が挙げられる。またこれらのシランカップリング剤は予め加水分解反応させたものを配合してもよい。これらのシランカップリング剤は1種類を単独で用いても2種類以上を併用してもよい。 Examples of the epoxysilane include γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, and β- (3,4 epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy. Examples include silane. Examples of aminosilane include γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, and N-β (aminoethyl) γ-aminopropyl. Methyldimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, N- (6-aminohexyl) ) 3-Aminopropyltrimethoxysilane, N- (3- (trimethoxysilylpropyl) -1,3-benzenedimethanan and the like. Examples of the ureidosilane include γ-ureidopropyltriethoxysilane. , Hexamethyldisilazane and the like. A primary amino moiety of aminosilane may be used as a latent aminosilane coupling agent protected by reacting with ketone or aldehyde. Further, the aminosilane has a secondary amino group. As the mercaptosilane, for example, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, bis (3-triethoxysilylpropyl) tetrasulfide, and bis (3-triethoxy) may be used. Examples thereof include silane coupling agents that exhibit the same functions as mercaptosilane coupling agents by thermal decomposition such as silylpropyl) disulfide. These silane coupling agents are those that have been hydrolyzed in advance. These silane coupling agents may be blended alone or in combination of two or more.

連続成形性という観点では、メルカプトシランが好ましく、流動性の観点では、アミノシランが好ましく、密着性という観点ではエポキシシランが好ましい。 From the viewpoint of continuous moldability, mercaptosilane is preferable, from the viewpoint of fluidity, aminosilane is preferable, and from the viewpoint of adhesion, epoxysilane is preferable.

上記カップリング剤の含有量の下限値としては、樹脂組成物全体に対して、0.01質量%以上が好ましく、より好ましくは0.05質量%以上、特に好ましくは0.1質量%以上である。カップリング剤の含有量が上記下限値以上であれば、エポキシ樹脂と無機充填材との界面強度が低下することがなく、良好な耐振動性を得ることができる。また、カップリング剤の含有量の上限値としては、樹脂組成物全体に対して、1質量%以下が好ましく、より好ましくは0.8質量%以下、特に好ましくは0.6質量%以下である。カップリング剤の含有量が上記上限値以下であれば、エポキシ樹脂と無機充填材との界面強度が低下することがなく、良好な耐振動性を得ることができる。また、シランカップリング剤等のカップリング剤の含有量が上記範囲内であれば、固定用樹脂組成物の硬化物の吸水性が増大することがなく、良好な防錆性を得ることができる。 The lower limit of the content of the coupling agent is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and particularly preferably 0.1% by mass or more, based on the entire resin composition. is there. When the content of the coupling agent is at least the above lower limit value, the interface strength between the epoxy resin and the inorganic filler does not decrease, and good vibration resistance can be obtained. The upper limit of the content of the coupling agent is preferably 1% by mass or less, more preferably 0.8% by mass or less, and particularly preferably 0.6% by mass or less, based on the entire resin composition. .. When the content of the coupling agent is not more than the above upper limit value, the interface strength between the epoxy resin and the inorganic filler does not decrease, and good vibration resistance can be obtained. Further, when the content of the coupling agent such as the silane coupling agent is within the above range, the water absorption of the cured product of the fixing resin composition does not increase, and good rust prevention can be obtained. ..

上記離型剤は、たとえばカルナバワックス等の天然ワックス、モンタン酸エステルワックスや酸化ポリエチレンワックス等の合成ワックス、ステアリン酸亜鉛等の高級脂肪酸およびその金属塩類、ならびにパラフィンから選択される1種類または2種類以上を含むことができる。
上記難燃剤は、たとえば水酸化マグネシウム、ホウ酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛、ホスファゼンから選択される1種類または2種類以上を含むことができる。着色剤は、たとえばカーボンブラックを含むことができる。
上記イオン捕捉剤は、ハイドロタルサイト類またはマグネシウム、アルミニウム、ビスマス、チタン、ジルコニウムから選ばれる元素の含水酸化物から選択される1種類または2種類以上を含むことができる。
上記着色剤は、カーボンブラック、ベンガラ、酸化チタンから選択される1種類または2種類以上を含むことができる。
上記低応力剤は、ポリブタジエン化合物、アクリロニトリルブタジエン共重合化合物、シリコーンオイル、シリコーンゴム等のシリコーン化合物から選択される1種類または2種類以上を含むことができる。
The release agent may be one or two selected from natural waxes such as carnauba wax, synthetic waxes such as montanic acid ester wax and polyethylene oxide wax, higher fatty acids such as zinc stearate and their metal salts, and paraffin. The above can be included.
The flame retardant may contain, for example, one or more selected from magnesium hydroxide, zinc borate, zinc molybdate, and phosphazene. The colorant can include, for example, carbon black.
The ion scavenger may contain one or more selected from hydrotalcites or hydrous oxides of elements selected from magnesium, aluminum, bismuth, titanium and zirconium.
The colorant may contain one or more selected from carbon black, red iron oxide, and titanium oxide.
The low stress agent may contain one or more selected from silicone compounds such as polybutadiene compounds, acrylonitrile butadiene copolymer compounds, silicone oils, and silicone rubbers.

本実施形態において、樹脂組成物の硬化物中のハロゲンイオン(イオン性不純物)の含有量の上限値は、樹脂組成物全体に対して、好ましくは20ppm以下であり、より好ましくは15ppm以下であり、さらに好ましくは10ppm以下である。ハロゲンイオンの含有量の下限値は、特に限定されないが、例えば、樹脂組成物全体に対して、0ppb以上であり、より好ましくは10ppb以上であり、より好ましくは100ppb以上である。本実施の形態においては、例えば、純度の高いエポキシ樹脂または本実施形態のカルボジイミド化合物を使用することにより、ハロゲンイオンを低減することができる。ハロゲンイオンの含有量を上限値以下とすることにより、耐久性に優れた樹脂組成物の硬化物を得られる。
一般的に硬化促進剤としてイミダゾールを使用した場合、塩素が増加することが知られている。詳細なメカニズムは定かでないが、本実施形態のカルボジイミド化合物は、例えばイミダゾールと異なる反応機構を有しているために、エポキシ樹脂内の結合性塩素が脱離しないものと考えられる。
In the present embodiment, the upper limit of the content of halogen ions (ionic impurities) in the cured product of the resin composition is preferably 20 ppm or less, more preferably 15 ppm or less, based on the entire resin composition. , More preferably 10 ppm or less. The lower limit of the halogen ion content is not particularly limited, but is, for example, 0 ppb or more, more preferably 10 ppb or more, and more preferably 100 ppb or more with respect to the entire resin composition. In the present embodiment, halogen ions can be reduced by using, for example, a high-purity epoxy resin or the carbodiimide compound of the present embodiment. By setting the halogen ion content to the upper limit or less, a cured product of a resin composition having excellent durability can be obtained.
It is generally known that chlorine increases when imidazole is used as a curing accelerator. Although the detailed mechanism is not clear, it is considered that the carbodiimide compound of the present embodiment has a reaction mechanism different from that of imidazole, for example, so that the binding chlorine in the epoxy resin is not eliminated.

上記ハロゲンイオンの濃度は、下記のようにして求めることができる。まず、本実施形態の樹脂組成物を175℃180秒で成形硬化後、粉砕機で粉砕し硬化物の粉末を得る。得られた硬化物粉末を純水中で120℃、24時間処理し、純水中にイオンを抽出した後、ICP−MS(誘導結合プラズマイオン源質量分析装置)を用い測定できる。本実施形態において、ハロゲン原子は、樹脂組成物のエポキシ樹脂に含有される結合性のハロゲン成分と、エポキシ樹脂から遊離しているハロゲン成分とを含む。濃度測定されるハロゲンイオンは、この2つのうち、遊離しているハロゲン成分由来を指す。 The concentration of the halogen ion can be obtained as follows. First, the resin composition of the present embodiment is molded and cured at 175 ° C. for 180 seconds, and then pulverized with a pulverizer to obtain a powder of the cured product. The obtained cured product powder is treated in pure water at 120 ° C. for 24 hours, ions are extracted in pure water, and then measurement can be performed using ICP-MS (inductively coupled plasma ion source mass spectrometer). In the present embodiment, the halogen atom contains a binding halogen component contained in the epoxy resin of the resin composition and a halogen component freed from the epoxy resin. The halogen ion whose concentration is measured refers to the derivative of the free halogen component of the two.

以下、封止樹脂組成物に関する特性を評価する手法について説明する。 Hereinafter, a method for evaluating the characteristics of the sealing resin composition will be described.

本実施形態において、樹脂組成物に対し、例えば175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物のガラス転移温度が、100℃以上であることが好ましく、120℃以上であることがより好ましく、135℃以上であることがとくに好ましい。これにより、電子部品の耐熱性をより効果的に向上させることができる。一方で、上記ガラス転移温度の上限値は、とくに限定されないが、たとえば250℃以下とすることができる。本実施の形態においては、例えば、エポキシ樹脂、硬化剤の軟化点を上げることにより、上記ガラス転移温度(Tg)を増加することができる。 In the present embodiment, the glass transition temperature of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at, for example, 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours is preferably 100 ° C. or higher, preferably 120 ° C. The above is more preferable, and 135 ° C. or higher is particularly preferable. Thereby, the heat resistance of the electronic component can be improved more effectively. On the other hand, the upper limit of the glass transition temperature is not particularly limited, but can be, for example, 250 ° C. or lower. In the present embodiment, the glass transition temperature (Tg) can be increased by increasing the softening point of the epoxy resin or the curing agent, for example.

本実施形態においては、樹脂組成物に対し、たとえば175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物の、ガラス転移温度以下における線膨張係数(CTE1)が、15ppm/℃以下であることが好ましく、12ppm/℃以下であることがより好ましい。また、ガラス転移温度以下における線膨張係数(CTE1)は、たとえば1ppm/℃以上であることが好ましい。CTE1をこのように制御することによって、電子素子と封止樹脂の線膨張係数の差に起因した成形体の反りを、より確実に抑制することができる。本実施の形態においては、例えば、充填材の配合量を増やすことにより、上記線膨張係数(CTE1)を低減することができる。 In the present embodiment, the linear expansion coefficient (CTE1) of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at, for example, 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours at a glass transition temperature or lower is 15 ppm. It is preferably / ° C. or lower, and more preferably 12 ppm / ° C. or lower. The coefficient of linear expansion (CTE1) below the glass transition temperature is preferably 1 ppm / ° C. or higher, for example. By controlling CTE1 in this way, it is possible to more reliably suppress the warp of the molded product due to the difference in the linear expansion coefficient between the electronic element and the sealing resin. In the present embodiment, for example, the coefficient of linear expansion (CTE1) can be reduced by increasing the blending amount of the filler.

本実施形態においては、樹脂組成物に対し、例えば175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物の、ガラス転移温度超過における線膨張係数(CTE2)が、40ppm/℃以下であることが好ましく、38ppm/℃以下であることがより好ましい。また、ガラス転移温度超過における線膨張係数(CTE2)は、たとえば5ppm/℃以上であることが好ましい。CTE2をこのように制御することによって、とくに高温環境下において、電子素子と封止樹脂の線膨張係数の差に起因した成形体の反りを、より確実に抑制することができる。本実施の形態においては、例えば、充填材の配合量を増やすことにより、上記線膨張係数(CTE2)を低減することができる。 In the present embodiment, the linear expansion coefficient (CTE2) of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at, for example, 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours when the glass transition temperature is exceeded is 40 ppm. It is preferably / ° C. or lower, and more preferably 38 ppm / ° C. or lower. Further, the coefficient of linear expansion (CTE2) when the glass transition temperature is exceeded is preferably 5 ppm / ° C. or higher, for example. By controlling CTE2 in this way, warpage of the molded product due to the difference in linear expansion coefficient between the electronic element and the sealing resin can be more reliably suppressed, particularly in a high temperature environment. In the present embodiment, for example, the coefficient of linear expansion (CTE2) can be reduced by increasing the blending amount of the filler.

本実施形態の樹脂組成物の上記ガラス転移温度および上記線膨張係数(CTE1、CTE2)は、たとえば次のように測定することができる。まず、低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製「KTS−15」)を用いて金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒で樹脂組成物を注入成形し、10mm×4mm×4mmの試験片を得る。次いで、得られた試験片を175℃、4時間で後硬化した後、熱機械分析装置(セイコー電子工業(株)製、TMA100)を用いて、測定温度範囲0℃〜320℃、昇温速度5℃/分の条件下で測定を行う。この測定結果から、ガラス転移温度、ガラス転移温度以下における線膨張係数(CTE1)、ガラス転移温度超過における線膨張係数(CTE2)を算出する。 The glass transition temperature and the coefficient of linear expansion (CTE1, CTE2) of the resin composition of the present embodiment can be measured, for example, as follows. First, the resin composition was injection-molded using a low-pressure transfer molding machine (“KTS-15” manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.) at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.9 MPa, and a curing time of 120 seconds, and 10 mm × 4 mm. Obtain a x4 mm test piece. Then, after the obtained test piece was post-cured at 175 ° C. for 4 hours, a thermomechanical analyzer (TMA100 manufactured by Seiko Electronics Co., Ltd.) was used to measure the temperature range from 0 ° C. to 320 ° C. and the heating rate. The measurement is performed under the condition of 5 ° C./min. From this measurement result, the glass transition temperature, the coefficient of linear expansion below the glass transition temperature (CTE1), and the coefficient of linear expansion above the glass transition temperature (CTE2) are calculated.

本実施形態において、樹脂組成物の成形収縮率の上限値は、0.12%以下とすることが好ましく、0.125%以下とすることがより好ましく、0.11%以下とすることがとくに好ましい。上記成形収縮率の上限値を低く抑えることにより、成形体の反りを抑制することができる。一方、樹脂組成物の成形収縮率の下限値は、たとえば−0.5%以上とすることが好ましく、−0.3%以上とすることがより好ましい。上記成形収縮率の収縮率を上記範囲内とすることにより、成形体の脱型をより容易にすることができる。上記成形収縮率の測定は、たとえば樹脂組成物を用いて、低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製「KTS−15」)により金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒の条件で作製した試験片に対して、JIS K 6911に準じて行うことができる。本実施の形態においては、例えば、樹脂組成物中の熱硬化性樹脂の配合組成に応じて、カルボジイミド化合物の添加量を調整することにより、上記成形収縮率を所望の数値に抑えることができる。 In the present embodiment, the upper limit of the molding shrinkage of the resin composition is preferably 0.12% or less, more preferably 0.125% or less, and particularly preferably 0.11% or less. preferable. By keeping the upper limit of the molding shrinkage rate low, it is possible to suppress the warpage of the molded product. On the other hand, the lower limit of the molding shrinkage of the resin composition is preferably, for example, −0.5% or more, and more preferably −0.3% or more. By setting the shrinkage rate of the molding shrinkage within the above range, it is possible to more easily demold the molded body. The molding shrinkage is measured by using a low-pressure transfer molding machine (“KTS-15” manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.) using, for example, a resin composition, with a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.9 MPa, and a curing time of 120 seconds. It can be carried out according to JIS K 6911 for the test piece prepared under the above conditions. In the present embodiment, for example, the molding shrinkage ratio can be suppressed to a desired value by adjusting the addition amount of the carbodiimide compound according to the blending composition of the thermosetting resin in the resin composition.

本実施形態においては、樹脂組成物に対し、たとえば175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物の、260℃で測定した際の貯蔵弾性率(E')の下限値は、特に限定されないが、例えば、500MPa以上が好ましく、600MPa以上がより好ましく、700MPa以上がさらに好ましい。一方、上記貯蔵弾性率(E')の上限値は、特に限定されないが、例えば、1500MPa以下が好ましく、1200MPa以下がより好ましく、1100MPa以下がさらに好ましい。本実施形態の樹脂組成物の熱時弾性率(260℃時の貯蔵弾性率(E'))を上記範囲内とすることにより、基板の反りを抑制することができ、信頼性に優れた半導体装置の構造を実現できる。 In the present embodiment, the storage elastic modulus (E') of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at, for example, 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours, as measured at 260 ° C. The lower limit value of is not particularly limited, but for example, 500 MPa or more is preferable, 600 MPa or more is more preferable, and 700 MPa or more is further preferable. On the other hand, the upper limit of the storage elastic modulus (E') is not particularly limited, but is preferably 1500 MPa or less, more preferably 1200 MPa or less, still more preferably 1100 MPa or less. By setting the thermal elastic modulus (storage elastic modulus (E') at 260 ° C.) of the resin composition of the present embodiment within the above range, the warpage of the substrate can be suppressed and the semiconductor has excellent reliability. The structure of the device can be realized.

本実施形態の熱時弾性率の測定方法としては、例えば、次の手法が挙げられる。本実施形態の樹脂組成物を用いてトランスファー成形を行い、幅4mm、長さ20mm、厚み0.1mmの試験片を得た。トランスファー成形の条件は、成形温度125℃、硬化時間7分とした。得られた試験片を、三点曲げモード、周波数10Hz、測定温度260℃の条件で、DMA(Dynamic mechanical analysis/動的粘弾性測定器)を用いて測定した際の、260℃における貯蔵弾性率(E')を求める。単位はMPaである。 Examples of the method for measuring the thermal elastic modulus of the present embodiment include the following methods. Transfer molding was performed using the resin composition of the present embodiment to obtain a test piece having a width of 4 mm, a length of 20 mm, and a thickness of 0.1 mm. The conditions for transfer molding were a molding temperature of 125 ° C. and a curing time of 7 minutes. The storage elastic modulus at 260 ° C. when the obtained test piece was measured using a DMA (Dynamic mechanical analysis / dynamic viscoelasticity measuring instrument) under the conditions of a three-point bending mode, a frequency of 10 Hz, and a measurement temperature of 260 ° C. Find (E'). The unit is MPa.

また、本実施形態の樹脂組成物において、次の条件(1)を満たすことが好ましく、(2)を満たすことがさらに好ましい。
(1)成形収縮率が上記上限値以下であり、かつ熱時弾性率が上記上限値以下であること。
(2)(1)を満たし、かつ、成形収縮率と熱時弾性率の関係式である「Y(%)+αX(MPa)」が0.15%以下である、ことを満たすこと。
なお、上記(2)の関係式において、Yは成形収縮率を示し、Xは熱時弾性率を示す。また、比例定数α(%/Mpa)が、たとえば、3.5×10−5であり、好ましくは4.0×10−5であり、さらに好ましくは4.5×10−5である。
Further, in the resin composition of the present embodiment, the following condition (1) is preferably satisfied, and (2) is more preferably satisfied.
(1) The molding shrinkage ratio is not more than the above upper limit value, and the thermal elastic modulus is not more than the above upper limit value.
(2) Satisfy (1) and satisfy that "Y (%) + αX (MPa)", which is a relational expression between the molding shrinkage rate and the thermal elastic modulus, is 0.15% or less.
In the relational expression of (2) above, Y indicates a molding shrinkage rate, and X indicates a thermal elastic modulus. The proportionality constant α (% / Mpa) is, for example, 3.5 × 10-5 , preferably 4.0 × 10-5 , and more preferably 4.5 × 10-5 .

ここで、上記(2)の関係式について技術的な意味について説明する。
本発明者が検討したところ、成形収縮率と熱時弾性率との間に一定の関係を見出した。
具体的には、図3に示すように、環状カルボジイミド化合物を含まない通常の樹脂組成物の比較例から、成形収縮率と熱時弾性率との関係を示す検量線が得られることが判明した。この検量線よりも、成形収縮率が小さくかつ熱時弾性率が小さい場合は、低収縮性と低弾性に優れた樹脂組成物が得られたこと示す事が分かる。つまり、図3に示す検量線は、低収縮性かつ低弾性の両立を示す指標となる。
この指標を具体的に検討した結果、「Y(%)+αX(MPa)」が0.15%以下である、という関係式が導き出される。
0.15%は、たとえば、半導体分野における封止用樹脂組成物の硬化物が求められる収縮性の一般的な技術水準を示す。
また、比例定数αは、環状カルボジイミド化合物を含まない通常の樹脂組成物における成形収縮率と熱時弾性率との比例関係を示しており、実験データより算出された数値である。比例定数αが大きい程、低収縮性と低弾性とのバランスが向上する。
したがって、上記(2)の関係式を満たすということは、所定の技術分野で求められる低収縮性を満たすとともに、環状カルボジイミド化合物を含まない通常の樹脂組成物よりも、低収縮性と低弾性に優れた樹脂組成物が得られたことが分かる。
Here, the technical meaning of the relational expression (2) above will be described.
As a result of examination by the present inventor, a certain relationship was found between the molding shrinkage rate and the thermal elastic modulus.
Specifically, as shown in FIG. 3, it was found that a calibration curve showing the relationship between the molding shrinkage and the thermal elastic modulus can be obtained from a comparative example of a normal resin composition containing no cyclic carbodiimide compound. .. When the molding shrinkage is smaller and the thermal elastic modulus is smaller than this calibration curve, it can be seen that a resin composition having excellent low shrinkage and low elasticity was obtained. That is, the calibration curve shown in FIG. 3 is an index showing both low shrinkage and low elasticity.
As a result of concretely examining this index, a relational expression that "Y (%) + αX (MPa)" is 0.15% or less is derived.
0.15% indicates, for example, the general technical level of shrinkage required for a cured product of a sealing resin composition in the semiconductor field.
The proportionality constant α indicates the proportional relationship between the molding shrinkage and the thermal elastic modulus in a normal resin composition containing no cyclic carbodiimide compound, and is a numerical value calculated from experimental data. The larger the proportionality constant α, the better the balance between low shrinkage and low elasticity.
Therefore, satisfying the relational expression (2) above satisfies the low shrinkage property required in a predetermined technical field, and has lower shrinkage property and lower elasticity than a normal resin composition containing no cyclic carbodiimide compound. It can be seen that an excellent resin composition was obtained.

本実施形態において、樹脂組成物は、スパイラルフローの流動長が90cm以上であることが好ましく、100cm以上であることがより好ましく、110cm以上であることがとくに好ましい。これにより、樹脂組成物を成形する際の充填性をより効果的に向上させることができる。スパイラルフローの流動長の上限値は、とくに限定されないが、たとえば200cm以下とすることができる。上記スパイラルフローの測定は、たとえば低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製「KTS−15」)を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型に金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒の条件で樹脂組成物を注入し、流動長を測定することにより行うことができる。本実施の形態においては、例えば、充填材として溶融球状シリカを用いる、エポキシ樹脂、硬化剤の軟化点を下げる、硬化促進剤の量を減らすなどにより、上記スパイラルフローを増加することができる。 In the present embodiment, the flow length of the spiral flow of the resin composition is preferably 90 cm or more, more preferably 100 cm or more, and particularly preferably 110 cm or more. Thereby, the filling property at the time of molding the resin composition can be improved more effectively. The upper limit of the flow length of the spiral flow is not particularly limited, but can be, for example, 200 cm or less. For the measurement of the spiral flow, for example, a low-pressure transfer molding machine (“KTS-15” manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.) is used, and the mold temperature is 175 ° C. for a mold for measuring the spiral flow according to EMMI-1-66. The resin composition can be injected under the conditions of an injection pressure of 6.9 MPa and a curing time of 120 seconds, and the flow length can be measured. In the present embodiment, the spiral flow can be increased by, for example, using molten spherical silica as a filler, lowering the softening point of the epoxy resin and the curing agent, and reducing the amount of the curing accelerator.

本実施形態において、樹脂組成物は、たとえばゲルタイムが10秒以上50秒以下であることが好ましく、15秒以上45秒以下であることがより好ましい。これにより、樹脂組成物の成形性の向上を図りつつ、成形サイクルを速くすることができる。ゲルタイムの測定は、175℃に加熱した熱板上で樹脂組成物を溶融した後、へらで練りながら硬化するまでの時間(ゲルタイム)を測定することにより行うことができる。本実施の形態においては、例えば、硬化促進剤やカルボジイミド化合物の量を増やすことにより、上記ゲルタイムを低減することができる。 In the present embodiment, the resin composition preferably has, for example, a gel time of 10 seconds or more and 50 seconds or less, and more preferably 15 seconds or more and 45 seconds or less. As a result, the molding cycle can be speeded up while improving the moldability of the resin composition. The gel time can be measured by measuring the time (gel time) from melting the resin composition on a hot plate heated to 175 ° C. to curing while kneading with a spatula. In the present embodiment, the gel time can be reduced, for example, by increasing the amount of the curing accelerator or the carbodiimide compound.

本実施形態において、ガラス転移温度、成形収縮率、スパイラルフロー、ゲルタイムおよび熱時弾性率は、たとえば樹脂組成物の各成分の種類や配合割合、樹脂組成物の調製方法等をそれぞれ適切に調整することによって制御することができる。この中でも、例えば、環状カルボジイミド化合物を使用することにより、上記スパイラルフローおよびゲルタイムを所望の数値範囲とするための要素として挙げられる。また、環状カルボジイミド化合物の使用と配合量、他の硬化促進剤の併用、樹脂の選択などが、成形収縮率を低くかつ熱時弾性率を低くするための要素として挙げられる。 In the present embodiment, the glass transition temperature, molding shrinkage rate, spiral flow, gel time, and thermal elastic modulus are appropriately adjusted, for example, by appropriately adjusting the type and blending ratio of each component of the resin composition, the method of preparing the resin composition, and the like. Can be controlled by Among these, for example, by using a cyclic carbodiimide compound, it can be mentioned as an element for setting the spiral flow and gel time in a desired numerical range. Further, the use and blending amount of the cyclic carbodiimide compound, the combined use of other curing accelerators, the selection of the resin, and the like are mentioned as factors for lowering the molding shrinkage rate and the thermal elastic modulus.

以下、本実施形態に係る樹脂組成物の製造方法について説明する。 Hereinafter, a method for producing the resin composition according to the present embodiment will be described.

本実施形態の樹脂組成物の製造方法は、とくに限定されないが、たとえば上述の各成分を、公知の手段で混合し、さらにロール、ニーダーまたは押出機等の混練機で溶融混練し、冷却した後に粉砕した顆粒状のものや、粉砕後にタブレット状に打錠成型したもの、また必要に応じて、上記粉砕したものを篩分したり、遠心製粉法、ホットカット法などで適宜分散度や流動性等を調整した造顆方法により製造した顆粒状のもの等を樹脂組成物として用いることができる。 The method for producing the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but for example, after each of the above-mentioned components is mixed by a known means, further melt-kneaded by a kneader such as a roll, a kneader or an extruder, and cooled. Crushed granules, tablet-shaped after crushing, and if necessary, the crushed ones can be sieved, and the dispersibility and fluidity can be appropriately determined by centrifugal milling or hot-cutting. Granules or the like produced by a condyle-building method in which the above are adjusted can be used as the resin composition.

本実施形態に係る樹脂組成物においては、様々な電子部品に用いることが可能である。このような電子部品に用いる樹脂組成物の用途の一例として、半導体素子や電子素子などの電子部品を封止するための封止材料(封止用樹脂組成物)、基板の材料(コア層、ビルドアップ層、最外層のソルダーレジスト層など)、白色ダイオード等の受光素子に用いられる絶縁層、等が挙げられる。 In the resin composition according to this embodiment, it can be used for various electronic components. As an example of the use of the resin composition used for such electronic parts, a sealing material for sealing electronic parts such as semiconductor elements and electronic elements (sealing resin composition), a substrate material (core layer, A build-up layer, a solder resist layer on the outermost layer, etc.), an insulating layer used for a light receiving element such as a white diode, and the like.

以下、本実施形態に係る電子装置の構成について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係る電子部品100の一例を示す断面図である。
本実施形態の電子装置は、上述の樹脂組成物の硬化物を備えるものである。
Hereinafter, the configuration of the electronic device according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the electronic component 100 according to the present embodiment.
The electronic device of the present embodiment includes a cured product of the above-mentioned resin composition.

本実施形態に係る電子装置(電子部品100)の概要を説明する。
本実施形態に係る電子部品100は、電子素子10または金属部材、を封止する封止樹脂20を備えている。封止樹脂20は、本実施形態に係る樹脂組成物の硬化物により構成されている。また、電子素子10および金属部材としては、たとえば上記において例示したものを用いることができる。
The outline of the electronic device (electronic component 100) according to the present embodiment will be described.
The electronic component 100 according to the present embodiment includes a sealing resin 20 that seals the electronic element 10 or the metal member. The sealing resin 20 is composed of a cured product of the resin composition according to the present embodiment. Further, as the electronic element 10 and the metal member, for example, those exemplified above can be used.

本実施形態に係る樹脂組成物は、ウェハの回路面を樹脂封止することにより得られるウェハレベルパッケージを構成する封止樹脂に好ましく用いられるものであるが、以下に説明する疑似ウェハに用いられる封止樹脂にも適用可能なものである。 The resin composition according to the present embodiment is preferably used as a sealing resin constituting a wafer level package obtained by resin-sealing the circuit surface of a wafer, but is used for a pseudo wafer described below. It is also applicable to sealing resins.

次いで、本実施形態に係る電子部品100の詳細を説明する。図1に例示される電子部品100は、半導体素子である電子素子10と、電子素子10を封止する封止樹脂20と、を備える半導体パッケージである。図1では、とくにウェハレベルパッケージである電子部品100が示されている。なお、本実施形態に係る電子部品100は、図1に示すものに限定されるものではない。電子部品100は、たとえば有機基板やリードフレーム上に搭載された電子素子10(半導体素子)を樹脂組成物によって封止して得られる半導体パッケージであってもよい。また、電子部品100は、たとえば配線基板と、配線基板上に搭載された複数の電子素子10と、を樹脂組成物によってともに封止して得られる車載用電子制御ユニットであってもよい。
また、電子部品100は、金属部材と、金属部材を封止する封止樹脂20と、を備えていてもよい。このような電子部品100としては、たとえば金属配線を樹脂組成物により封止して形成される樹脂基板が挙げられる。
以上から、本実施形態に係る樹脂組成物は、一般的な電子装置に限らず、上記半導体パッケージに用いられる半導体封止樹脂組成物、上記車載用電子制御ユニット(ECU)に用いられるECU封止樹脂組成物、または上記樹脂基盤に用いられる樹脂基板用封止樹脂組成物に適用可能である。
Next, the details of the electronic component 100 according to the present embodiment will be described. The electronic component 100 exemplified in FIG. 1 is a semiconductor package including an electronic element 10 which is a semiconductor element and a sealing resin 20 for sealing the electronic element 10. In FIG. 1, an electronic component 100, which is a wafer level package, is shown in particular. The electronic component 100 according to the present embodiment is not limited to the one shown in FIG. The electronic component 100 may be, for example, a semiconductor package obtained by sealing an electronic element 10 (semiconductor element) mounted on an organic substrate or a lead frame with a resin composition. Further, the electronic component 100 may be an in-vehicle electronic control unit obtained by sealing, for example, a wiring board and a plurality of electronic elements 10 mounted on the wiring board together with a resin composition.
Further, the electronic component 100 may include a metal member and a sealing resin 20 for sealing the metal member. Examples of such an electronic component 100 include a resin substrate formed by sealing a metal wiring with a resin composition.
From the above, the resin composition according to the present embodiment is not limited to general electronic devices, but is the semiconductor encapsulating resin composition used for the semiconductor package and the ECU encapsulation used for the in-vehicle electronic control unit (ECU). It can be applied to a resin composition or a sealing resin composition for a resin substrate used for the above resin substrate.

図1に示す電子部品100は、一面に電極12が設けられた電子素子10と、電子素子10の一面以外を覆うように設けられた封止樹脂20と、を備えている。電子素子10の一面上には、たとえば電極12に接続するビア40が埋め込まれた絶縁層30が設けられている。絶縁層30上には、再配線層を構成する配線42が、ビア40と接続するように設けられている。また、絶縁層30上および配線42上には、ソルダーレジスト層である絶縁層32が設けられている。また、絶縁層32には配線42に接続する開口が設けられており、当該開口内に半田ボール44が設けられている。図1に示す電子部品100は、半田ボール44を介して外部と電気的に接続することとなる。 The electronic component 100 shown in FIG. 1 includes an electronic element 10 provided with an electrode 12 on one surface thereof, and a sealing resin 20 provided so as to cover other than one surface of the electronic element 10. On one surface of the electronic element 10, for example, an insulating layer 30 in which a via 40 connected to the electrode 12 is embedded is provided. A wiring 42 forming a rewiring layer is provided on the insulating layer 30 so as to connect to the via 40. Further, an insulating layer 32, which is a solder resist layer, is provided on the insulating layer 30 and the wiring 42. Further, the insulating layer 32 is provided with an opening for connecting to the wiring 42, and a solder ball 44 is provided in the opening. The electronic component 100 shown in FIG. 1 is electrically connected to the outside via a solder ball 44.

次に、電子部品100の製造方法について説明する。
電子部品100の製造方法は、上述の樹脂組成物を用いて電子素子10または金属部材を封止成形する工程を備えている。これにより、電子素子10または金属部材を封止して得られる成形体において反りが発生することを抑制することができる。
Next, a method of manufacturing the electronic component 100 will be described.
The method for manufacturing the electronic component 100 includes a step of sealing and molding the electronic element 10 or the metal member using the above-mentioned resin composition. As a result, it is possible to suppress the occurrence of warpage in the molded product obtained by sealing the electronic element 10 or the metal member.

図2は、本実施形態に係る電子部品100の製造方法の一例を示す断面図である。図2においては、キャリア50上に半導体素子である複数の電子素子10をマウントして形成した疑似ウェハを用いて、ウェハレベルパッケージを形成する方法が例示されている。図2に示す製造方法によれば、電子部品100の薄型化を図ることが可能である。なお、本実施形態に係る電子部品100の製造方法は、図2に示すものに限定されない。電子部品100は、たとえば有機基板やリードフレーム上に搭載された電子素子10を樹脂組成物によって封止することにより製造されてもよい。また、電子部品100は、たとえばMAP(Mold Array Package)成形等によって製造されるものであってもよい。
以下、図2に示す電子部品100の製造方法の一例について詳述する。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a method for manufacturing the electronic component 100 according to the present embodiment. In FIG. 2, a method of forming a wafer level package by using a pseudo wafer formed by mounting a plurality of electronic elements 10 which are semiconductor elements on a carrier 50 is illustrated. According to the manufacturing method shown in FIG. 2, it is possible to reduce the thickness of the electronic component 100. The method for manufacturing the electronic component 100 according to the present embodiment is not limited to that shown in FIG. The electronic component 100 may be manufactured, for example, by sealing the electronic element 10 mounted on an organic substrate or a lead frame with a resin composition. Further, the electronic component 100 may be manufactured by, for example, MAP (Mold Array Package) molding or the like.
Hereinafter, an example of a method for manufacturing the electronic component 100 shown in FIG. 2 will be described in detail.

まず、図2(a)に示すように、キャリア50上に形成されたマウントフィルム52上に、複数の電子素子10を配置する。これにより、疑似ウェハが形成されることとなる。キャリア50は、たとえば板状である。マウントフィルム52は、たとえば加熱により電子素子10に対する接着性が低下する熱剥離性フィルムである。本実施形態においては、たとえば電子素子10のうちの外部電極が設けられた一面がマウントフィルム52と対向するよう、マウントフィルム52上に電子素子10を配置することができる。 First, as shown in FIG. 2A, a plurality of electronic elements 10 are arranged on the mount film 52 formed on the carrier 50. As a result, a pseudo wafer is formed. The carrier 50 has, for example, a plate shape. The mount film 52 is a heat-removable film whose adhesiveness to the electronic element 10 is lowered by heating, for example. In the present embodiment, for example, the electronic element 10 can be arranged on the mount film 52 so that one side of the electronic element 10 provided with the external electrode faces the mount film 52.

次に、図2(b)に示すように、樹脂組成物を用いて電子素子10を封止成形する。封止成形する当該工程は、たとえば電子素子10に対してウェハレベルにおいて行われる。なお、ウェハレベルにおいて封止成形を行うとは、図2(b)に示すように疑似ウェハを構成する複数の電子素子10を樹脂組成物によって一括で封止することや、ウェハ上の回路面を樹脂組成物によって一括で封止することを含む概念である。これにより、複数の電子素子10と、複数の電子素子10を封止する封止樹脂20と、により構成される成形体200が形成されることとなる。本実施形態においては、上述の樹脂組成物を用いて成形体200が形成される。このため、大面積であり、かつ膜厚の薄い成形体200であっても、反りを抑制することが可能となる。 Next, as shown in FIG. 2B, the electronic element 10 is hermetically sealed and molded using the resin composition. The step of sealing and molding is performed, for example, on the electronic element 10 at the wafer level. In addition, performing sealing molding at the wafer level means that a plurality of electronic elements 10 constituting the pseudo wafer are collectively sealed with a resin composition as shown in FIG. 2 (b), or a circuit surface on the wafer is performed. Is a concept including encapsulating the wafers collectively with a resin composition. As a result, the molded body 200 composed of the plurality of electronic elements 10 and the sealing resin 20 for sealing the plurality of electronic elements 10 is formed. In the present embodiment, the molded body 200 is formed by using the above-mentioned resin composition. Therefore, it is possible to suppress warpage even in the molded body 200 having a large area and a thin film thickness.

本実施形態の樹脂組成物による封止成形は、とくに限定されないが、たとえば圧縮成形により行うことができる。この場合、圧縮成形は、たとえば120℃以上160℃以下の温度条件により行うことがより好ましい。これにより、樹脂組成物を十分に硬化させることができる。また、成形体200を冷却した際に、封止樹脂20の収縮によって成形体200に反りが生じてしまうことを抑制することが可能となる。 The sealing molding with the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but can be performed by, for example, compression molding. In this case, compression molding is more preferably performed under temperature conditions of, for example, 120 ° C. or higher and 160 ° C. or lower. Thereby, the resin composition can be sufficiently cured. Further, when the molded body 200 is cooled, it is possible to prevent the molded body 200 from being warped due to the shrinkage of the sealing resin 20.

次に、図2(c)に示すように、成形体200をマウントフィルム52から剥離する。 Next, as shown in FIG. 2C, the molded body 200 is peeled off from the mount film 52.

次に、図2(d)に示すように、成形体200のうちの電子素子10が露出した一面上に、再配線層を形成する。再配線層は、たとえば上述した絶縁層30と、絶縁層30に埋め込まれたビア40と、絶縁層30上に設けられた配線42と、絶縁層30上および配線42上に設けられた絶縁層32と、により構成される。次いで、再配線層上に、配線42に接続する複数の半田ボール44を形成する。その後、成形体200をダイシングして、各電子部品100に個片化する。
本実施形態においては、たとえばこのようにして電子部品100が形成される。
Next, as shown in FIG. 2D, a rewiring layer is formed on one surface of the molded body 200 where the electronic element 10 is exposed. The rewiring layer includes, for example, the above-mentioned insulating layer 30, the via 40 embedded in the insulating layer 30, the wiring 42 provided on the insulating layer 30, and the insulating layer provided on the insulating layer 30 and the wiring 42. 32 and. Next, a plurality of solder balls 44 connected to the wiring 42 are formed on the rewiring layer. After that, the molded body 200 is diced and individualized into each electronic component 100.
In the present embodiment, for example, the electronic component 100 is formed in this way.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
以下、本発明の参考形態の一例を示す。
<1>
熱硬化性樹脂と、
環状カルボジイミド化合物と、
無機充填材を含む、樹脂組成物であって、
前記無機充填材がシリカを含み、かつ当該無機充填材の含有量が当該樹脂組成物全体に対して80質量%以上、95質量%以下であり、
当該樹脂組成物を175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物のガラス転移温度が、100℃以上である、電子部品に用いる樹脂組成物。
<2>
<1>に記載の樹脂組成物であって、
硬化剤をさらに含む、樹脂組成物。
<3>
<1>または<2>に記載の樹脂組成物であって、
無機充填材をさらに含む、樹脂組成物。
<4>
<3>に記載の樹脂組成物であって、
前記無機充填材がシリカを含む、樹脂組成物。
<5>
<1>から<4>のいずれか1つに記載の樹脂組成物であって、
硬化促進剤をさらに含む、樹脂組成物。
<6>
<1>から<5>のいずれか1つに記載の樹脂組成物であって、
前記環状カルボジイミド化合物の含有量は、当該樹脂組成物の全体に対して0.1質量%以上2.0質量%以下である、樹脂組成物。
<7>
<1>から<6>のいずれか1つに記載の樹脂組成物であって、
前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含む、樹脂組成物。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the range in which the object of the present invention can be achieved are included in the present invention.
Hereinafter, an example of the reference embodiment of the present invention will be shown.
<1>
Thermosetting resin and
Cyclic carbodiimide compounds and
A resin composition containing an inorganic filler.
The inorganic filler contains silica, and the content of the inorganic filler is 80% by mass or more and 95% by mass or less with respect to the entire resin composition.
A resin composition used for electronic parts, wherein the glass transition temperature of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours is 100 ° C. or higher.
<2>
The resin composition according to <1>.
A resin composition further comprising a curing agent.
<3>
The resin composition according to <1> or <2>.
A resin composition further comprising an inorganic filler.
<4>
The resin composition according to <3>.
A resin composition in which the inorganic filler contains silica.
<5>
The resin composition according to any one of <1> to <4>.
A resin composition further comprising a curing accelerator.
<6>
The resin composition according to any one of <1> to <5>.
A resin composition in which the content of the cyclic carbodiimide compound is 0.1% by mass or more and 2.0% by mass or less with respect to the entire resin composition.
<7>
The resin composition according to any one of <1> to <6>.
A resin composition in which the thermosetting resin contains an epoxy resin.

次に、本発明の実施例について説明する。 Next, examples of the present invention will be described.

(樹脂組成物の調製)
各実施例について、次のように樹脂組成物を調製した。まず、表1に示す配合に従い、熱硬化性樹脂(A)、硬化剤(B)、環状カルボジイミド化合物、硬化促進剤(C)、シランカップリング剤、離型剤、および着色剤を、ミキサーを用いて混合して混合物を得た。次いで、上記混合物に対し、表1に示す配合に従い充填材(D)を添加した後、ミキサーを用いて混合した。次いで、得られた混合物を、70〜100℃でロール混練した。次いで、混練後の混合物を冷却し、粉砕して、粉粒状の樹脂組成物を得た。
(Preparation of resin composition)
For each example, a resin composition was prepared as follows. First, according to the formulation shown in Table 1, a mixer is used to mix a thermosetting resin (A), a curing agent (B), a cyclic carbodiimide compound, a curing accelerator (C), a silane coupling agent, a mold release agent, and a coloring agent. Used to mix to give a mixture. Next, the filler (D) was added to the above mixture according to the formulation shown in Table 1, and then the mixture was mixed using a mixer. The resulting mixture was then roll-kneaded at 70-100 ° C. Then, the mixture after kneading was cooled and pulverized to obtain a powdery resin composition.

各比較例について、次のように樹脂組成物を調製した。まず、表1に示す配合に従い、熱硬化性樹脂(A)、硬化剤(B)、硬化促進剤(C)、シランカップリング剤、離型剤、および着色剤を、ミキサーを用いて混合して混合物を得た。次いで、上記混合物に対し、表1に示す配合に従い充填材(D)を添加した後、ミキサーを用いて混合した。次いで、得られた混合物を、70〜100℃でロール混練した。次いで、混練後の混合物を冷却し、粉砕して、粉粒状の樹脂組成物を得た。 For each comparative example, a resin composition was prepared as follows. First, according to the formulation shown in Table 1, the thermosetting resin (A), the curing agent (B), the curing accelerator (C), the silane coupling agent, the mold release agent, and the coloring agent are mixed using a mixer. Obtained a mixture. Next, the filler (D) was added to the above mixture according to the formulation shown in Table 1, and then the mixture was mixed using a mixer. The resulting mixture was then roll-kneaded at 70-100 ° C. Then, the mixture after kneading was cooled and pulverized to obtain a powdery resin composition.

なお、表1中における各成分の配合割合の単位は質量%である。また、表1中における各成分の詳細は下記のとおりである。 The unit of the blending ratio of each component in Table 1 is mass%. The details of each component in Table 1 are as follows.

(A)熱硬化性樹脂
熱硬化性樹脂1:ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂(NC−3000、日本化薬(株)製)
熱硬化性樹脂2:ビフェニル型エポキシ樹脂(YX−4000H、三菱化学(株)製)
(A) Thermosetting resin Thermosetting resin 1: Phenolic aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton (NC-3000, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Thermosetting resin 2: Biphenyl type epoxy resin (YX-4000H, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

(B)硬化剤
硬化剤1:ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂(MEH−7851SS、明和化成(株)製)
硬化剤2:フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂を(XLC−3L、三井化学(株)製、)
(B) Hardener Hardener 1: Phenolic aralkyl resin having a biphenylene skeleton (MEH-7851SS, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.)
Hardener 2: Phenolic aralkyl resin having a phenylene skeleton (XLC-3L, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)

環状カルボジイミド化合物:環状カルボジイミド化合物(TCC、帝人(株)製) Cyclic carbodiimide compound: Cyclic carbodiimide compound (TCC, manufactured by Teijin Limited)

(C)硬化促進剤
トリフェニルホスフィン(PP360、ケイ・アイ化成(株)製)
(C) Curing accelerator triphenylphosphine (PP360, manufactured by Keiai Kasei Co., Ltd.)

(D)充填材
無機充填材1:球状溶融シリカ(電気化学工業(株)製、FB−950FC、平均粒径D50:24μm)
無機充填材2:球状溶融シリカ(アドマテックス(株)製、SO−25R、平均粒径D50:0.5μm)
なお、充填材(D)の平均粒径(D50)は、レーザー回折式粒度分布測定装置(島津製作所社製、SALD−7000)を用いて粒子の粒度分布を体積基準で測定し、そのメディアン径(D50)を平均粒径とした。
(D) Filler Inorganic filler 1: Spherical fused silica (manufactured by Electrochemical Industry Co., Ltd., FB-950FC, average particle size D 50 : 24 μm)
Inorganic filler 2: Spherical fused silica (manufactured by Admatex Co., Ltd., SO-25R, average particle size D 50 : 0.5 μm)
The average particle size (D 50 ) of the filler (D) is measured by measuring the particle size distribution of the particles using a laser diffraction type particle size distribution measuring device (SALD-7000, manufactured by Shimadzu Corporation) on a volume basis, and the median thereof. The diameter (D 50 ) was taken as the average particle size.

シランカップリング剤:N−フェニルγ−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学(株)製、商品名KBM−573) Silane coupling agent: N-phenylγ-aminopropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name KBM-573)

離型剤:カルナバワックス(日興ファイン(株)製、ニッコウカルナバ)
着色剤:カーボンブラック(三菱化学(株)製、MA600)
Release agent: Carnauba wax (Nikko Fine Co., Ltd., Nikko Carnauba)
Colorant: Carbon black (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MA600)

(スパイラルフロー)
各実施例および各比較例について、得られた樹脂組成物に対しスパイラルフロー測定を行った。スパイラルフロー測定は、低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製「KTS−15」)を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型に金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒の条件で樹脂組成物を注入し、流動長を測定することにより行った。結果を表1に示す。
(Spiral flow)
Spiral flow measurement was performed on the obtained resin composition for each Example and each Comparative Example. Spiral flow measurement uses a low-pressure transfer molding machine (“KTS-15” manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.) to mold for spiral flow measurement according to EMMI-1-66 at a mold temperature of 175 ° C and injection pressure. The resin composition was injected under the conditions of 6.9 MPa and a curing time of 120 seconds, and the flow length was measured. The results are shown in Table 1.

(ガラス転移温度、線膨張係数)
各実施例および各比較例について、得られた樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)、線膨張係数(CTE1、CTE2)を、以下のように測定した。まず、低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製「KTS−15」)を用いて金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒で樹脂組成物を注入成形し、10mm×4mm×4mmの試験片を得た。次いで、得られた試験片を175℃、4時間で後硬化した後、熱機械分析装置(セイコー電子工業(株)製、TMA100)を用いて、測定温度範囲0℃〜320℃、昇温速度5℃/分の条件下で測定を行った。この測定結果から、ガラス転移温度(Tg)、ガラス転移温度以下における線膨張係数(CTE1)、ガラス転移温度超過における線膨張係数(CTE2)を算出した。結果を表1に示す。
(Glass transition temperature, coefficient of linear expansion)
For each Example and each Comparative Example, the glass transition temperature (Tg) and the coefficient of linear expansion (CTE1, CTE2) of the cured product of the obtained resin composition were measured as follows. First, the resin composition was injection-molded using a low-pressure transfer molding machine (“KTS-15” manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.) at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.9 MPa, and a curing time of 120 seconds, and 10 mm × 4 mm. A test piece of × 4 mm was obtained. Then, after the obtained test piece was post-cured at 175 ° C. for 4 hours, a thermomechanical analyzer (TMA100 manufactured by Seiko Electronics Co., Ltd.) was used to measure the temperature range from 0 ° C. to 320 ° C. and the heating rate. The measurement was carried out under the condition of 5 ° C./min. From this measurement result, the glass transition temperature (Tg), the coefficient of linear expansion below the glass transition temperature (CTE1), and the coefficient of linear expansion above the glass transition temperature (CTE2) were calculated. The results are shown in Table 1.

(成形収縮率)
各実施例および各比較例について、得られた樹脂組成物の成形収縮率を測定した。測定は、低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製「KTS−15」)を用いて金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間120秒の条件で作製した試験片に対して、JIS K 6911に準じて行った。結果を表1に示す。
(Molding shrinkage rate)
For each Example and each Comparative Example, the molding shrinkage of the obtained resin composition was measured. The measurement was performed on a test piece prepared using a low-pressure transfer molding machine (“KTS-15” manufactured by Kotaki Seiki Co., Ltd.) under the conditions of a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.9 MPa, and a curing time of 120 seconds. The procedure was performed according to JIS K 6911. The results are shown in Table 1.

各実施例および各比較例について、得られた樹脂組成物の熱時弾性率を測定した。上記樹脂組成物を用いてトランスファー成形を行い、幅4mm、長さ20mm、厚み0.1mmの試験片を得た。トランスファー成形の条件は、成形温度125℃、硬化時間7分とした。得られた試験片を、三点曲げモード、周波数10Hz、測定温度260℃の条件で、DMA(Dynamic mechanical analysis/動的粘弾性測定器)を用いて測定した際の、熱時弾性率である「260℃における貯蔵弾性率(E')」を求めた。単位はMPaである。
また、図3に各実施例と各比較例の樹脂組成物における成形収縮率(%)と熱時弾性率(MPa)の関係を示す。図3中、ひし形は実施例を示し、四角は比較例を示す。
For each Example and each Comparative Example, the thermal elastic modulus of the obtained resin composition was measured. Transfer molding was performed using the above resin composition to obtain a test piece having a width of 4 mm, a length of 20 mm, and a thickness of 0.1 mm. The conditions for transfer molding were a molding temperature of 125 ° C. and a curing time of 7 minutes. This is the thermal elastic modulus when the obtained test piece was measured using a DMA (Dynamic mechanical analysis / dynamic viscoelasticity measuring instrument) under the conditions of a three-point bending mode, a frequency of 10 Hz, and a measurement temperature of 260 ° C. The "storage elastic modulus (E') at 260 ° C." was determined. The unit is MPa.
Further, FIG. 3 shows the relationship between the molding shrinkage (%) and the thermal elastic modulus (MPa) in the resin compositions of each Example and each Comparative Example. In FIG. 3, diamonds show examples and squares show comparative examples.

Figure 0006766360
Figure 0006766360

以上、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明したが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 Although the present invention has been described more specifically based on the above examples, these are examples of the present invention, and various configurations other than the above can be adopted.

10 電子素子
12 電極
20 封止樹脂
30、32 絶縁層
40 ビア
42 配線
44 半田ボール
50 キャリア
52 マウントフィルム
100 電子部品
200 成形体
10 Electronic element 12 Electrode 20 Encapsulating resin 30, 32 Insulation layer 40 Via 42 Wiring 44 Solder ball 50 Carrier 52 Mount film 100 Electronic component 200 Molded body

Claims (5)

熱硬化性樹脂と、
環状カルボジイミド化合物と、
無機充填材と、
硬化剤と、を含む、樹脂組成物であって、
前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含み、
前記無機充填材がシリカを含み、かつ当該無機充填材の含有量が当該樹脂組成物全体に対して80質量%以上、95質量%以下であり、
前記硬化剤が、多官能型フェノール樹脂、変性フェノール樹脂、フェノールアラルキル型フェノール樹脂、およびビスフェノール化合物からなる群から選択される一種類または二種類以上であり、
当該樹脂組成物を175℃で120秒間熱処理した後、175℃で4時間熱処理して得られる硬化物のガラス転移温度が、100℃以上である、電子部品に用いる樹脂組成物。
Thermosetting resin and
Cyclic carbodiimide compounds and
Inorganic filler and
A resin composition containing a curing agent .
The thermosetting resin contains an epoxy resin and contains
The inorganic filler contains silica, and the content of the inorganic filler is 80% by mass or more and 95% by mass or less with respect to the entire resin composition.
The curing agent is one or more selected from the group consisting of a polyfunctional phenol resin, a modified phenol resin, a phenol aralkyl type phenol resin, and a bisphenol compound.
A resin composition used for electronic parts, wherein the glass transition temperature of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at 175 ° C. for 120 seconds and then heat-treating at 175 ° C. for 4 hours is 100 ° C. or higher.
請求項1に記載の樹脂組成物であって、
硬化促進剤をさらに含む、樹脂組成物。
The resin composition according to claim 1 .
A resin composition further comprising a curing accelerator.
請求項1または2に記載の樹脂組成物であって、
前記環状カルボジイミド化合物の含有量は、当該樹脂組成物の全体に対して0.1質量%以上2.0質量%以下である、樹脂組成物。
The resin composition according to claim 1 or 2 .
A resin composition in which the content of the cyclic carbodiimide compound is 0.1% by mass or more and 2.0% by mass or less with respect to the entire resin composition.
請求項1からのいずれか1項に記載の樹脂組成物であって、
封止用樹脂組成物である、樹脂組成物。
The resin composition according to any one of claims 1 to 3 .
A resin composition which is a resin composition for sealing.
請求項1からのいずれか1項に記載の樹脂組成物であって、
前記エポキシ樹脂が、ビフェニル型エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂、およびフェノールアラルキル型エポキシ樹脂から選択される一種または二種以上を含む、樹脂組成物。
The resin composition according to any one of claims 1 to 4 .
A resin composition in which the epoxy resin comprises one or more selected from a biphenyl type epoxy resin, a polyfunctional epoxy resin, and a phenol aralkyl type epoxy resin.
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