JP6763118B2 - 物理的アラインメントマークと仮想的アラインメントマークによるアラインメント - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開2013−11836号公報
−電気デバイスのホール:例えば、そのような穴は、X線処理または他の機械的処理によって形成することができる。
−電気デバイス上の半田パッド:例えば、そのようなパッドは画像処理によって形成することができる。
−切り目マーク(すなわち、レーザー(例えば、UVレーザー、CO2レーザーなど)で削られた領域)
−レーザーターゲット(すなわち、レーザーで穴あけされたターゲット)。
Claims (17)
- 電気デバイスの加工においてアラインメントを行う方法であって、
前記電気デバイス上に少なくとも3つの物理的アラインメントマークを設定し、
設定された少なくとも3つの前記物理的アラインメントマークに基づいて少なくとも1つの仮想的アラインメントマークを決定し、
前記電気デバイスを加工するために、少なくとも3つの前記物理的アラインメントマークおよび少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークを用いてアラインメントを行う、
ことを含む、方法。 - 前記物理的アラインメントマークの輪郭線の少なくとも一部を考慮した上で、少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークを決定することを実施する、請求項1に記載の方法。
- 前記物理的アラインメントマークを閉合する接続線の少なくとも一部を考慮した上で、少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークを決定することを実施する、請求項1又は2に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークを決定することは、
前記物理的アラインメントマークをサブセットにグループ化し、前記サブセットはそれぞれ、前記電気デバイスのそれぞれの区画、特に前記電気デバイスの区画に対応し、
前記サブセットのそれぞれに対して、前記物理的アラインメントマークのそれぞれの前記サブセットによって設定される多角形の角点として補助マークを決定し、前記物理的アラインメントマークのそれぞれの前記サブセットは、前記多角形の他の角点として使用され、対応する前記補助マークを有する前記多角形が事前設定された少なくとも一つの対称基準を満たすようにそれぞれの前記補助マークを決定し、
前記補助マークに基づいて少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークを決定する、
ことを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記多角形は、対称な四角形である、特に長方形、正方形、台形および平行四辺形からなる群のうちの1つである、請求項4に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記対称基準は、前記物理的アラインメントマークのそれぞれの前記サブセットおよび対応する前記補助マークが対称パターンを形成するように配置されるという基準を含む、請求項4又は5に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークを決定することは、
前記補助マークを平均化するステップと、
前記補助マークの重心を計算するステップと、
前記補助マークを使用して統計計算を行うステップと、
前記補助マークからの距離または距離の二乗の合計が最小となる点を決定するステップ
からなる群の少なくとも1つによって実施される、請求項4〜6のいずれか一項に記載の方法。 - 前記方法は、
前記電気デバイスを複数の区画に分割し、特に4つの前記区画に分割し、
各前記区画に関連して特に空間的に関連する前記物理的アラインメントマークのそれぞれのサブセットと、少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークのうちの少なくとも1つに基づいて、対応する前記区画を加工するためにアラインメントを行う、
ことを含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。 - 前記方法は、
少なくとも1つの区画線を決定することによって、特に少なくとも2つの直交区画線によって、前記電気デバイスを複数の区画に分割し、特に4つの前記区画に分割することを含み、
少なくとも1つの前記区画線は、前記電気デバイスの活性領域以外の領域に延びるように決定される、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。 - 前記方法は、
少なくとも3つの前記物理的アラインメントマーク、特に少なくとも8つの前記物理的アラインメントマーク、より具体的にはちょうど8つの前記物理的アラインメントマークを前記電気デバイスの周囲に沿って設定し、
前記電気デバイスの中央領域において、少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマーク、特にちょうど1つの仮想的アラインメントマークを決定する、
ことを含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。 - 決定された少なくとも1つの前記仮想的アラインメントマークは、前記電気デバイスの活性領域に位置する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記物理的アラインメントマークは、前記電気デバイスの活性領域以外の領域に位置する、請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記電気デバイスは、部品キャリアを製造するためのパネル、ウエハ、およびピックアンドプレース装置により処理される部品からなる群から選択される、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記電気デバイスを加工することは、イメージングすること、特に光学イメージングすること、溶接マスク処理すること、スクリーン印刷すること、および前記電気デバイスを機械的処理すること、特に組み立て工程において前記電気デバイスを機械的処理することからなる群の少なくとも1つを含む、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記物理的アラインメントマークは、前記電気デバイスのホール、半田パッド、切り目マーク、角部およびレーザーターゲットから選択される、請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。
- 電気デバイスの加工においてアラインメントを行うコンピュータプログラムが記憶されているコンピュータ可読媒体であって、
前記コンピュータプログラムが1つまたは複数のプロセッサによって実行されるときに、請求項1から15のいずれか一項に記載の方法を実施または制御するように構成される、コンピュータ可読媒体。 - 電気デバイスの加工においてアラインメントを行うプログラムであって、
前記プログラムが1つまたは複数のプロセッサによって実行されるときに、請求項1から15のいずれか一項に記載の方法を実施または制御するように構成される、プログラム。
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