JP6758318B2 - 放射バーナー - Google Patents
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Claims (9)
- 製造工程ツールからの流出ガスストリームを処理するための放射バーナーであって、
少なくとも部分的に処理チャンバを定め、該処理チャンバ内への導入のために処理材料が通過する多孔質スリーブと、
前記多孔質スリーブに結合され、前記処理材料をそれらが該多孔質スリーブを通過して前記処理チャンバ内に入る時に加熱する該多孔質スリーブを加熱する電気エネルギを提供するように作動可能な電気エネルギデバイスと、を備え、
前記電気エネルギデバイスは、無線周波数電源、電気的電源、及びマイクロ波発生器のうちの少なくとも1つを備え、
前記電気エネルギデバイスは、前記多孔質スリーブに結合されたカプリングを含み、該カプリングは、無線周波数導体、電気導体、及び導波管のうちの少なくとも1つを備え、
前記無線周波数電源は、前記導電材料を誘導的に加熱するために前記無線周波数導体を使用して無線周波数電気エネルギを提供し、
前記無線周波数導体は、冷却流体を受け入れて該無線周波数導体を冷却するように中空であり、
加湿空気を前記処理材料として提供するように作動可能な加湿器を含み、
前記冷却流体は、前記加湿器を通して循環されて該加湿器に与えられる水を加熱する、
ことを特徴とする放射バーナー。 - 前記多孔質スリーブは、導電材料、セラミック材料、及び誘電材料のうちの少なくとも1つを備えている、
請求項1に記載の放射バーナー。 - 前記多孔質スリーブは、焼結金属及び織り金属布のうちの一方を備えている、
請求項1又は2に記載の放射バーナー。 - 前記無線周波数導体、前記電気導体、及び前記導波管のうちの前記少なくとも1つは、前記処理材料が通過するプレナム内に配置され、該プレナムは、前記多孔質スリーブを取り囲む、
請求項1に記載の放射バーナー。 - 前記無線周波数導体、前記電気導体、及び前記導波管のうちの前記少なくとも1つは、前記多孔質スリーブの上を延びてその区域にわたって加熱する、
請求項1または4に記載の放射バーナー。 - 前記無線周波数電気エネルギは、500Hzと500KHzの間、20KHzと50KHzの間、及び30KHz付近のうちの1つの周波数を有する、
請求項1に記載の放射バーナー。 - 前記多孔質スリーブは、円筒形であり、前記無線周波数導体は、該多孔質スリーブに巻き付く、
請求項1ないし6のいずれか1項に記載の放射バーナー。 - 前記加湿器に与えられる前記水は、前記冷却流体の少なくとも一部を含む、
請求項1に記載の放射バーナー。 - 前記処理材料が通過する多孔質断熱材を含み、
前記多孔質断熱材は、前記多孔質スリーブと前記電気エネルギデバイスの間のプレナムに設けられる、
請求項1から8のいずれか1項に記載の放射バーナー。
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US7569193B2 (en) * | 2003-12-19 | 2009-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants |
EP1954926A2 (en) * | 2005-10-31 | 2008-08-13 | Applied Materials, Inc. | Process abatement reactor |
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