JP6756824B2 - 改良されたエアパージ機構を使用する耐漏性液体冷却システム - Google Patents
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Description
以下の説明では、限定ではなく説明を目的として、本発明の各実施形態を完全な理解を提供するために詳細及び説明が記載される。しかしながら、当業者には、これらの詳細及び説明から逸脱する他の実施形態において本発明が実施されてもよいことは明らかであろう。
図1は、発明の第1実施形態による、電気部品用の耐漏性液体冷却システム1概略側面図である。各構成要素は縮尺通りに図示されてはいない。図1及び図2において、黒矢印は冷却液LCの流れを示す一方で、白矢印は空気の流れを示す。冷却液は、例えば、水である。
図2は、本発明の第2実施形態による、「ターボパージ」機能を含む電気部品用の耐漏性液体冷却システム2の概略側面図である。
他の実施形態では、上述の第1及び第2実施形態における耐漏性液体冷却システムを含む半導体デバイスハンドラが提供される。
Claims (22)
- 少なくとも1つのサーマルユニット用の冷却システムであって、
液溜めチャンバ、前記液溜めチャンバの上方に配置されたパージチャンバ及び前記パージチャンバの上方に配置された貯留チャンバを含むタンク組立体と、
ポンプ、熱交換機及び導管を含み、前記少なくとも1つのサーマルユニット、前記液溜めチャンバ、前記ポンプ、前記熱交換機及び前記貯留チャンバを通して冷却液を循環させるように構成された冷却回路と、
前記タンク組立体の外部に配置された第1の弁であって、前記第1の弁が開いたときに、(i)前記冷却液が前記第1の弁を介して前記パージチャンバから前記液溜めチャンバへ流動可能になり、(ii)同時に空気が前記第1の弁を介して前記液溜めチャンバから前記パージチャンバへ流動可能になるように構成されている第1の弁と、
前記タンク組立体の外部に配置された第2の弁であって、前記第2の弁が開いたときに、(i)前記冷却液が前記第2の弁を介して前記貯留チャンバから前記パージチャンバへ流動可能になり、(ii)同時に空気が前記第2の弁を介して前記パージチャンバから前記貯留チャンバへ流動可能になるように構成されている第2の弁と、
を備える冷却システム。 - 前記液溜めチャンバと前記パージチャンバとが第1の壁によって分離され、
前記パージチャンバと前記貯留チャンバとが第2の壁によって分離され、
前記第1の壁及び前記第2の壁は、それぞれ、弁又は貫通する開口部を有さない連続するシート材から作られている、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記冷却回路は、前記冷却回路内における、前記ポンプと前記貯留チャンバとの間の位置に配置されたフィルタをさらに有する、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記システムの通常の動作中、前記第1の弁は開き、前記第2の弁は閉じている、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記第1及び前記第2の弁に電力が供給されていないときには、前記第1及び前記第2の弁が開いている、
請求項4に記載の冷却システム。 - 前記少なくとも1つのサーマルユニットは、前記貯留チャンバの通常の液面レベルよりも上に配置されている、
請求項5に記載の冷却システム。 - 前記システムの通常の動作中、前記液溜めチャンバ、前記パージチャンバ及び前記少なくとも1つのサーマルユニットにおける前記冷却回路の部分は負圧である一方、前記貯留チャンバは大気圧以上の圧力である、
請求項4に記載の冷却システム。 - 前記システムは、前記冷却回路において漏れが生じた場合、前記液溜めチャンバに流入する空気が減速し前記第1の弁を通って前記パージチャンバまで上昇し、同時に前記パージチャンバ内の冷却液が前記第1の弁を通過して前記液溜めチャンバへ流れるように構成されている、
請求項7に記載の冷却システム。 - 前記貯留チャンバと連通し、前記貯留チャンバ内の前記冷却液が所定のレベルまで下降したときを示す出力信号を生成するように構成されているセンサをさらに備える、
請求項8に記載の冷却システム。 - 前記システムは、前記出力信号が前記パージチャンバ内の前記冷却液が所定のレベルまで下降したことを示すときに、前記第1の弁が閉じて前記第2の弁が開き、それによって冷却液が前記貯留チャンバから前記第2の弁を通って前記パージチャンバ内に流入し、同時に空気が前記パージチャンバから前記第2の弁を通って前記貯留チャンバ内に流入するように構成されている、
請求項9に記載の冷却システム。 - 前記タンク組立体の外部に配置され、前記貯留チャンバを大気圧のままにすることを可能にするように設定されたS字形バブルエアロックをさらに備える、
請求項10に記載の冷却システム。 - 前記S字形バブルエアロックは、前記貯留チャンバを前記外部の環境から遮断するように構成されているが、前記貯留チャンバを大気圧のままにすることを可能にする、
請求項11に記載の冷却システム。 - 前記S字形バブルエアロックは、殺生物剤を含む流体を含有する、
請求項11に記載の冷却システム。 - 前記熱交換機の冷却ファンの速度を調節するために固定パルス幅変調(PWM)が使用されている、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記少なくとも1つのサーマルユニットに供給される冷却液の温度は、温度センサによって監視され、検知された前記温度に基づいて前記熱交換機の冷却ファンの速度を変えることによって所与の設定値に調節される、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記少なくとも1つのサーマルユニットのヒータの電力使用量は監視され、前記少なくとも1つのサーマルユニットに供給される冷却液の温度は前記監視されたヒータ電力使用量に基づいて前記熱交換機の冷却ファンの速度を変えることによって調節される、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記少なくとも1つのサーマルユニットまで延びる少なくとも1つの導管と前記少なくとも1つのサーマルユニットから延びる少なくとも1つの導管との間に、前記少なくとも1つのサーマルユニットに並列に配置された少なくとも1つの圧力逃がし弁であって、前記少なくとも1つのサーマルユニットまで延びる前記導管内の圧力が所定の閾値を超えたときに冷却液が内部を流れることを可能にするように構成されている圧力逃がし弁をさらに備える、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記貯留チャンバ内の冷却液の温度を測定するように構成された温度センサをさらに備える、
請求項1に記載の冷却システム。 - 前記熱交換機まで延びる導管と前記熱交換機から延びる導管との間に配置された差圧センサをさらに備える、
請求項1に記載の冷却システム。 - (i)前記ポンプと前記貯留チャンバとの間に配置された導管と(ii)前記パージチャンバとの間に配置された第3の弁をさらに備え、前記システムは、前記出力信号が前記貯留チャンバ内の前記冷却液が所定のレベルまで下降したことを示すときに、前記第3の弁が開き、それによって冷却液が前記ポンプにより前記パージチャンバに送られるように構成されている、
請求項10に記載の冷却システム。 - 少なくとも1つのサーマルユニットと、請求項1に記載の前記冷却システムとを備える半導体デバイスハンドラであって、前記少なくとも1つのサーマルユニットは、電子デバイスに接触する第1の面及び前記第1の面と向かい合う第2の面を有する電気ヒータと、ヒートシンクとを有し、前記ヒートシンクは前記ヒータが前記ヒートシンクと前記電子デバイスとの間に介在するように前記ヒータの前記第2の面に結合されている、
半導体デバイスハンドラ。 - 前記パージチャンバは前記液溜めチャンバに一体的に取り付けられ、前記貯留チャンバは前記パージチャンバに一体的に取り付けられている、
請求項1に記載の冷却システム。
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