JP6751079B2 - 補正光学変数を求める方法及び装置 - Google Patents
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Description
さらに、
が当てはまる。すなわち、各像点が厳密に1つの部分視野Flに属する。
[数2]
fi=f(xi,yi)、式中、i=1、2、…、N (2)
したがって、fiは、空間依存関数の値である。さらに、以下の定義を利用する。
に従った平均値と、ノルム
とであり、正準スカラー積「・」を用いる。
ここで、μ=0、1、2、…、wx及びv=0、1、2、…、wyが当てはまる。
ここで、i=1、2、…、N及びl=1、2、…、nである。
測定において測定誤差により改竄され得る。これらは、実際の結像収差
を次項により改竄する、像視野150の部分視野Flにおける矯正すべき上記(不正確な)オフセットを含む。
オフセット誤差の共通の平均値、
は、像視野150における結像収差の推移の形態に関して何も変化させず、視野150における滑らかな推移の要件から求めることができない。しかしながら、オフセット誤差が引き起こす像視野150の部分領域Fl毎の変動を、そこから求めてそれにより補正することができる。
で示す測定結像収差又は対応する測定値に近似させる。このために、以下の手順を考慮することができ、最初に、行列すなわち部分領域関数の行列、
及び滑らかな関数の基底関数の行列、
が定義される。上記行列は、以下の関数行列で結合される。
[数17]
M=(T P) (17)
のこのような近似が求められ、その後には最小偏差のみが依然として残る。これは、近似又はフィッティング問題により記述することができ、
式中、
は、関数行列Mに属する係数ベクトルである。ここで、ベクトル
は、部分領域関数に属する係数を含み、ベクトル
は、滑らかな関数の基底関数に属する係数を含む。これらの係数により個々の関数の重み付けを設定又は再現することが可能である。
からそれぞれ減算することにより、又は調整計算の場合に結像収差の平均値を考慮に入れないことにより、像視野150の部分領域Flにおいて、オフセット誤差で消えるので最初は測定不可能である関心の結像収差の平均値を排除するというより単純な解決手段と比べて、上述した手順は、これらの変数が結像光学ユニット130の調整時にも考慮され得るという点で有利である。しかしながら、より単純な解決手段の適用が考慮され得るのは、結像収差の平均値の便宜的補正、したがって再構成が部分領域Flで可能でなくなる程度にまで、結像収差の視野推移の規則性が他の測定誤差寄与により乱される場合である。これにより防止され得るのは、結像光学ユニット130の調整が測定誤差又は測定雑音に基づいて実行されることである。
結果として、近似は非一意的であり得る。
に基づいて実行することができる。近似を用いた上記手法に従った第2結像収差の誤差補正は、追加補正の前又は後に実行することができる。
110 照明系
115 放射線
120 物体平面
121、122 物体、レチクル
130 結像光学ユニット
140 像平面
141、143 センサ
145 所期の測定位置
150 像視野
151、152 部分領域
160 評価デバイス
165 歪
dx、dy、dz 偏差
x、y、z 空間座標
Z2、Z3、Z4 波面収差
Zs 実際の波面収差
Zm 測定波面収差
Zz 再構成波面収差
Claims (19)
- 少なくとも1つのパラメータ(x,y)のパラメータ範囲(150)で、前記少なくとも1つのパラメータ(x,y)に応じた補正光学変数を求める方法であって、
測定を実行するステップであり、前記測定は、空間分解センサ(141,143)を用いて実行される放射線測定であり、前記空間分解センサ(143)は種々の測定位置に配置され、または前記空間分解センサ(141)は複数の部分センサを有し、光学変数の測定値を前記パラメータ範囲(150)の複数の別個の非重複部分領域(151)で提供するステップと、
前記光学変数の測定値を滑らかな関数と前記パラメータ範囲(150)の前記非重複部分領域(151)に割り当てられた部分領域関数とにより近似する近似を用いて、前記光学変数の測定値の補正を実行するステップと、
を含み、前記近似の範囲内で、前記滑らかな関数を用いて、前記光学変数を反映する関数の推移を前記パラメータ範囲(150)において再現可能であり、前記近似の範囲内で、前記部分領域関数が、関連する前記非重複部分領域(151)のそれぞれにおいて、他の非重複部分領域(151)とは無関係に、前記光学変数の個別変化を引き起こすことによって、前記部分領域関数を用いて、前記パラメータ範囲(150)の前記非重複部分領域(151)における個別の測定誤差の発生を再現可能である方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記少なくとも1つのパラメータは空間座標(x,y)である方法。 - 請求項1又は2に記載の方法において、
前記パラメータ範囲は像視野(150)を表す方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法において、
前記部分領域関数を用いて、前記光学変数を関連する非重複部分領域(151)それぞれで同じ値だけ変更可能である方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法において、
前記補正は前記光学変数の補正値の形成を含む方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法において、
前記近似は前記部分領域関数の係数を求めることを含み、前記光学変数の測定値を前記部分領域関数の前記係数を用いて補正する方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法において、前記近似は、
前記部分領域関数及び前記滑らかな関数の基底関数から関数行列を形成するステップと、
前記関数行列の擬似逆行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列に前記光学変数の測定値のベクトルを乗算して、前記部分領域関数の係数及び前記滑らかな関数の前記基底関数の係数を含む係数ベクトルを形成するステップと
を含む方法。 - 請求項7に記載の方法において、
前記補正は、
前記部分領域関数の行列に前記部分領域関数の係数のベクトルを乗算して積を形成するステップと、
前記積を前記積の平均値を除いて前記光学変数の測定値のベクトルから減算するステップと
を含む方法。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法において、
ゼロ平均値を有する部分領域関数を利用する方法。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法において、前記近似及び前記補正は、
前記部分領域関数及び前記滑らかな関数の基底関数から関数行列を形成するステップと、
前記関数行列の擬似逆行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列から、前記部分領域関数の係数を生成可能にする部分行列を形成するステップと、
前記部分領域関数の行列に前記部分行列を乗算して積を形成するステップと、
前記積を恒等行列から減算して補正行列を形成するステップと、
前記補正行列に前記光学変数の測定値のベクトルを乗算するステップと
を含む方法。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法において、
前記補正は、前記光学変数を反映する近似的な関数の推移の形成を含む方法。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法において、
前記補正は、前記光学変数の少なくとも1つの補完値の形成を含み、
前記光学変数の前記補完値は、前記光学変数の測定値が得られない前記少なくとも1つのパラメータの値に属する方法。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法において、
前記近似及び前記補正は、
前記部分領域関数及び前記滑らかな関数の基底関数から関数行列を形成するステップと、
前記関数行列の擬似逆行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列から、前記滑らかな関数の前記基底関数の係数を生成可能にする部分行列を形成するステップと、
前記滑らかな関数の基底関数の行列に前記部分行列を乗算して推移生成行列を形成するステップと、
前記推移生成行列に前記光学変数の測定値のベクトルを乗算するステップと
を含む方法。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法において、
前記光学変数の測定値を、前記パラメータ範囲(150)の少なくとも1つのさらに別の部分領域(152)で提供し、該さらに別の部分領域(152)は、前記別個の非重複部分領域(151)の少なくとも1つと重複し、前記近似を、前記さらに別の部分領域(152)に割り当てられたさらに別の部分領域関数で実行し、前記さらに別の部分領域関数が、関連する前記さらに別の部分領域(152)において、他の非重複部分領域(151)とは無関係に、前記光学変数の個別変化を引き起こすことによって、前記さらに別の部分領域関数を用いて、前記パラメータ範囲(150)の前記さらに別の部分領域(152)における個別の測定誤差の発生を再現することができる方法。 - 光学系(100,101)の結像光学ユニット(130)を調整する方法であって、
前記結像光学ユニット(130)からの放射線(115)によって照射され得る空間分解センサ(141,143)を用いて、補正光学変数を求めるために請求項1〜14のいずれか1項に記載の方法を実行し、
前記結像光学ユニット(130)を、前記補正光学変数に基づいて調整する方法。 - 少なくとも1つのパラメータ(x,y)のパラメータ範囲(150)で前記少なくとも1つのパラメータ(x,y)に応じた補正光学変数を求める装置であって、
前記パラメータ範囲(150)の複数の別個の非重複部分領域(151)で光学変数の測定値を提供することができる、空間分解センサ(141,143)を用いる放射線測定装置(141,143,160)であって、前記空間分解センサ(143)は種々の測定位置に配置され、前記空間分解センサ(141)は複数の部分センサを有する、放射線測定装置(141,143,160)と、
前記光学変数の測定値を補正する評価デバイス(160)であり、前記光学変数の測定値を滑らかな関数と前記非重複部分領域(151)に割り当てられた部分領域関数とにより近似する近似を用いて補正を実行するよう具現された評価デバイス(160)と
を備え、前記近似の範囲内で、前記滑らかな関数を用いて、前記光学変数を反映する関数の推移を前記パラメータ範囲(150)において再現可能であり、前記近似の範囲内で、前記部分領域関数が、関連する前記非重複部分領域(151)のそれぞれにおいて、他の非重複部分領域(151)とは無関係に、前記光学変数の個別変化を引き起こすことによって、前記部分領域関数を用いて、前記パラメータ範囲(150)の前記非重複部分領域(151)における個別の測定誤差の発生を再現可能である装置。 - 2つの空間座標(x,y)に応じた複数の補正波面収差を像視野(150)で求める方法であって、
空間分解センサ(141,143)を用いて放射線測定を実行するステップであり、複数の波面収差の測定値を前記像視野(150)の複数の別個の非重複部分領域(151)で提供するステップと、
前記波面収差の測定値を前記波面収差に割り当てられた複数の滑らかな関数と前記像視野(150)の前記非重複部分領域(151)に割り当てられた部分領域関数とにより近似する近似を用いて、前記複数の波面収差の測定値の共通補正を実行するステップと
を含み、前記近似の範囲内で、前記滑らかな関数を用いて、前記像視野(150)における前記複数の波面収差を反映する関数の推移を再現可能であり、前記近似の範囲内で、前記部分領域関数を用いて、前記複数の波面収差の測定値に対する前記空間分解センサ(141,143)の不正確な位置決めの影響を再現可能である方法であって、
前記空間分解センサ(143)は種々の測定位置に配置され、又は前記空間分解センサ(141)は複数の部分センサを有する方法。 - 請求項17に記載の方法において、
前記共通補正を実行するステップは、
前記複数の波面収差の補正値の形成、
前記複数の波面収差を反映する近似的な関数の推移の形成、
前記波面収差の少なくとも1つの、前記波面収差の測定値が得られない空間座標に属する少なくとも1つの補完値の形成
の少なくとも1つを含む方法。 - 請求項1〜14のいずれか1項に記載の方法において、前記滑らかな関数は、多項式関数、および多項式基底関数を含む多項式関数のうちいずれか一つである方法。
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