JP6751071B2 - 放熱モジュールおよび放熱モジュールの製造方法 - Google Patents

放熱モジュールおよび放熱モジュールの製造方法 Download PDF

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本発明は、放熱モジュールおよび放熱モジュールの製造方法に関する。
従来から、下記特許文献1に示されるように、溝部が形成されたベースと、溝部に埋め込まれたヒートパイプと、を備えた放熱モジュールが知られている。この放熱モジュールでは、溝部の開口縁から溝部の内側に向けて突出する突出部によって、溝部からヒートパイプが脱落することを抑止している。
また、下記特許文献1は、放熱モジュールの製造方法として、押出し成型法を用いてベースの溝部を覆うようにバリ状の突起を形成しておき、溝部にヒートパイプを収容した後で突起を変形させる方法を開示している。さらに下記特許文献1は、溝部の開口縁から直立する突起を形成しておき、溝部にヒートパイプを収容した後で、突起を潰す製造方法を開示している。
特開平11−340391号公報
溝部を覆うようにバリ状の突起を形成する場合、ベースを形成する方法として、押出し成型法以外の方法を採用することが難しくなるため、ベースの形状の自由度を大きくすることについて改善の余地があった。
また、溝部の開口縁から直立する突起を潰す方法では、例えば溝部の外側に向けて突起が潰れてしまうおそれがあり、潰れた後の突出部の形状が不安定になりやすかった。
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、ベースの形状の自由度が大きく、かつ突出部の形状がより安定した放熱モジュールを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る放熱モジュールは、溝部が形成された金属製のベースと、前記溝部内に固定されたヒートパイプと、を備え、前記溝部の開口縁には、前記溝部の内側に向けて突出する突出部と、前記突出部に隣接する凹部と、が形成され、前記突出部の上面および前記凹部の底面は、前記溝部の深さ方向において同等の位置にある。
上記第1の態様によれば、溝部の開口縁には突出部および凹部が形成されており、突出部の上面と凹部の底面とが、溝部の深さ方向において同等の位置にある。この構成により、例えば溝部の開口縁にパンチを当接して凹部を形成し、凹部が形成されたことで減少した分のベースの体積を、溝部の内側に向けて突出させることで突出部を形成する製造方法が採用可能となる。従って、押出し成型法以外の方法を用いてベースを成形することが可能となり、ベースの形状の自由度を大きくすることができる。また、例えば溝部の開口縁から直立する突起を潰す場合と比較して、突出部をより確実に溝部内に向けて突出させることが可能となり、突出部の形状を安定させることができる。
ここで、前記溝部が延びる長手方向における前記凹部の幅は、前記溝部の内側に向かうに従って漸次大きくなっていてもよい。
この場合、凹部および突出部を形成するためにベースを塑性変形させる際に、凹部および突出部近傍に生じる応力を低減することができる。これにより、突出部近傍にクラックが発生することが抑えられ、突出部の強度を高めることができる。
また、前記凹部は、前記深さ方向から見て略三角形状に形成されていてもよい。
この場合、長手方向における凹部の幅を、溝部の内側に向かうに従って漸次大きくしつつ、深さ方向から見た凹部の面積を小さくすることができる。このように、凹部の面積を小さくすることで、ベースを塑性変形させる際にベースに加える圧力を小さくして、加工機の大型化を抑えることができる。
また、本発明の第2の態様に係る放熱モジュールは、金属製のベースに形成された溝部内に、ヒートパイプを収容する収容工程と、前記ヒートパイプを前記溝部内で押圧し、前記溝部の溝内底面および溝内側面に沿うように前記ヒートパイプを変形させる押圧工程と、前記溝部の開口縁にパンチを当接し、前記ベースを塑性変形させることで、凹部および前記凹部に隣接して前記溝部の内側に向けて突出する突出部を形成するパンチ工程と、を有する。
上記第2の態様によれば、パンチ工程において、溝部の開口縁にパンチを当接することで、凹部および突出部を形成する。このような製造方法によれば、例えばベースに予めバリ状の突起などを設けておく場合と比較して、ベースの成形方法の制約が小さくなり、ベースの形状の自由度を高めることができる。また、溝部の開口縁にパンチを当接した場合には、突出部が自ずと溝部の内側に向けて突出することとなるため、突出部の形状を安定させることができる。さらに、押圧工程において、ヒートパイプを溝内底面および溝内側面に沿って変形させることで、ベースとヒートパイプとの接触面積を大きくして、放熱モジュールの放熱性能を高めることができる。
本発明の上記態様によれば、ベースの形状の自由度が大きく、かつ突出部の形状がより安定した放熱モジュールを提供することができる。
(a)は本実施形態の放熱モジュールの上面図である。(b)は(a)のI−I断面矢視図である。 溝部にヒートパイプを収容する前の状態を示す図である。 (a)は溝内でヒートパイプを変形させる様子を示す図である。(b)は、パンチを用いて突出部を形成する際の様子を示す図である。 (a)は突出部近傍の上面図である。(b)は突出部近傍の斜視図である。 (a)は第1の変形例に係る凹部の上面図である。(b)は第2の変形例に係る凹部の上面図である。
以下、本実施形態の放熱モジュールについて図面に基づいて説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、本発明は以下の実施形態に限定されない。
図1(a)、(b)に示すように、放熱モジュール1は、金属製のベース10と、ヒートパイプ20と、を備えている。ベース10には、長尺状の溝部12が形成されており、溝部12内にヒートパイプ20が固定されている。放熱モジュール1は、例えば電気自動車のパワー電源回路近傍などに配置され、発熱部で生じた熱を輸送して放出させるために用いられる。特に、電気自動車などに放熱モジュール1が搭載される場合は、繰り返しの振動を受けたり、大きな加速度を受けたりしても、ヒートパイプ20が溝部12から脱落しないことが求められる。
(方向定義)
本実施形態ではXYZ直交座標系を設定して各構成の位置関係を説明する。X方向は、溝部12およびヒートパイプ20が延びる長手方向である。Z方向は、溝部12の深さ方向である。Y方向は、X方向およびZ方向の双方に直交する方向である。以下、X方向を長手方向といい、Y方向を幅方向といい、Z方向を深さ方向という。また、幅方向に沿って、溝部12の幅方向の中央部に向かう側を幅方向内側といい、溝部12の幅方向の中央部から遠ざかる側を幅方向外側という。また、深さ方向に沿って、溝部12の溝内底面12b側を下方といい、溝部12の開口縁側を上方という。
(ヒートパイプ)
ヒートパイプ20は、図示は省略するが、コンテナと、コンテナ内に封入された作動流体およびウイックと、を備えている。コンテナは、気密性を有する中空の容器であり、銅などを材質として筒状に形成されている。作動流体としては、例えば水、アルコール類、またはアンモニア水などを用いることができる。ウイックとしては、銅などの金属粉末を焼結させて形成された多孔質の構造体を用いることができる。ウイック内には作動流体が含浸しており、作動流体は毛管力によってウイック内を流動する。なお、ヒートパイプ20の構成や各部の材質などは、上記に限らず適宜変更可能である。
ヒートパイプ20は、例えば、一方の端部が蒸発部として機能し、他方の端部が凝縮部として機能する。ヒートパイプ20の蒸発部では、作動流体が熱を受け取ることで蒸発する。蒸発して気体となった作動流体は、ヒートパイプ20内の空洞を通じて凝縮部に移動する。ヒートパイプ20の凝縮部では、作動流体が熱を放出して凝縮する。凝縮して液体となった作動流体は、ヒートパイプ20のウイック内を流動して蒸発部へと還流する。このように、ヒートパイプ20は、作動流体が相変化することで、蒸発部から凝縮部へと熱を繰り返し輸送することができる。
ヒートパイプ20は、溝部12内に収容されるとともに、後述する溝内側面12aおよび溝内底面12bに接している。
(ベース)
ベース10は、長手方向および幅方向に延びる平板状に形成されている。なお、ベース10はブロック状などであってもよい。ベース10の材質としては、アルミニウムなどの金属を用いることができる。
溝部12は、長手方向および幅方向の双方に沿って延びる溝内底面12bと、溝内底面12bの幅方向における両端部から上方に向けて延びる一対の溝内側面12aと、を有している。長手方向に直交する断面における溝部12の形状は、溝内側面12aよりも溝内底面12bが長い長方形状となっている。一対の溝内側面12aは、互いに平行に延びている。一対の溝内側面12aは、溝内底面12bに対して直交している。
溝部12の開口縁には、複数の突出部13および複数の凹部14が形成されている。複数の突出部13および複数の凹部14は、長手方向に間隔を空けて配置されている。1つの突出部13には、1つの凹部14が隣接している。各突出部13は、溝部12の開口縁から溝部12の内側に向けて突出している。各凹部14は、ベース10の上面11から下方に向けて窪んでいる。突出部13および凹部14は、幅方向でヒートパイプ20を挟むように、長手方向における同等の位置に一対ずつ配置されている。複数の突出部13が、溝部12の開口縁から溝部12の内側に向けて突出することで、ヒートパイプ20が溝部12内で固定されている。
(製造方法)
次に、以上のように構成された放熱モジュール1の製造方法の一例について説明する。
(収容工程)
まず、図2に示すように、溝部12内にヒートパイプ20を収容する収容工程が行われる。収容工程の際には、ベース10に溝部12が形成されているが、未だ突出部13および凹部14が形成されていない。本実施形態では、収容工程時における、溝部12の深さをH1、溝部12の幅方向における幅をW1、深さ方向におけるヒートパイプ20の厚みをH2、幅方向におけるヒートパイプ20の幅をW2と表す。
図2に示すように、収容工程の際にはW1>W2であるため、ヒートパイプ20と溝内側面12aとの間には、幅方向における隙間ΔWが生じる。従って、収容工程では、ヒートパイプ20を溝部12内に抵抗なく収容することが可能であり、収容工程時にヒートパイプ20に不意に変形などが生じることが抑えられる。隙間ΔWの大きさは、適宜変更可能であるが、例えば0.1mm程度である。
また、収容工程の際には、H1<H2となっている。このため、図示は省略するが、溝部12内にヒートパイプ20を収容すると、ヒートパイプ20の上面がベース10の上面11よりも上方に位置することとなる。
(押圧工程)
次に、押圧工程が行われる。押圧工程では、溝部12内にヒートパイプ20を収容した状態で、図3(a)に示すように、プレス部材2によってヒートパイプ20を下方に押圧する。このとき、プレス部材2の下面は、ベース10の上面に接する状態とする。これにより、ヒートパイプ20のコンテナが、一対の溝内側面12aおよび溝内底面12bに沿うように変形する。また、ヒートパイプ20の上面は、深さ方向において、ベース10の上面11と同等の位置となる。
(パンチ工程)
次に、パンチ工程が行われる。パンチ工程では、溝部12の開口縁にパンチ3を所定の圧力で当接して、ベース10を塑性変形させる。これにより、ベース10に凹部14が形成されるとともに、凹部14が形成されることで減少した分のベース10の体積が溝部12内に押し出され、突出部13が形成される。すなわち、パンチ工程では、凹部14および突出部13が同時に形成される。長手方向若しくは幅方向におけるパンチ3の位置を変えながら、繰り返しパンチ工程を行うことで、溝部12の開口縁に複数の凹部14および突出部13が形成される。
以上の工程により、放熱モジュール1が製造される。
ところで、突出部13および凹部14の形状は、パンチ3の形状によって決まる。以下、突出部13および凹部14の形状について説明する。
本実施形態のパンチ3は、先端部が三角形状となっている。このため、図4(a)、(b)に示すように、深さ方向から見た凹部14の形状も略三角形状となる。より詳しくは、凹部14は、底面14aと、第1側壁14bと、第2側壁14cと、隅部14dと、を有している。底面14aは、ベース10の上面11よりも下方に位置しており、溝部12の溝内底面12bよりも上方に位置している。
図4(a)に示すように、深さ方向から見て、第1側壁14bおよび第2側壁14cは、溝部12から幅方向外側に離れた位置で交わるように延びている。これにより、凹部14の長手方向における幅Lは、溝部12の内側に向かうに従って、漸次大きくなっている。また、第1側壁14bと第2側壁14cとが交わる隅部14dは、幅方向外側に向けて凸となる曲面状を呈している。第1側壁14bが延在する平面および第2側壁14cが延在する平面は、鋭角をなすように互いに交差している。
図4(a)、(b)に示すように、突出部13は、溝部12の内側に向けて突出している。上記のパンチ工程により突出部13および凹部14が形成されるため、突出部13の上面13cおよび凹部14の底面14aは、深さ方向において同等の位置にある。また、突出部13の上面13cおよび凹部14の底面14aは、段差なく連なっている。突出部13の上端縁13aは、溝部12内に位置し、幅方向内側に向けて凸となる曲線状を呈している。突出部13の側面13bは、溝部12内に位置し、幅方向内側に向けて凸となる曲面状を呈している。
以上説明した本実施形態の放熱モジュール1によれば、溝部12の開口縁から溝部12の内側に向けて突出する複数の突出部13によって、ヒートパイプ20が溝部12内に固定されている。この構成により、例えば接着剤を用いてヒートパイプ20を固定する場合と比較して、接着剤が劣化することでヒートパイプ20の固定が外れてしまうことが抑えられる。また、例えばネジや留め具などを用いてヒートパイプ20を固定する場合と比較して、振動によりネジや留め具が外れてしまうことが抑えられる。従って、これらの方法と比較して、本実施形態によればヒートパイプ20が溝部12内で固定された状態を確実に維持することができる。
また、溝部12の開口縁にパンチ3を当接し、凹部14および突出部13を同時に形成することで、突出部13を確実に溝部12の内側に向けて突出させて、突出部13の形状を安定させることができる。
また、ヒートパイプ20を溝部12内に収容する前に、予めベース10に突起などを形成しておく場合と比較して、ベース10の成形方法の制約が少なくなり、ベース10の形状の自由度を高めることができる。
また、凹部14の長手方向における幅Lが、幅方向の内側に向かうに従って漸次大きくなっている。このため、パンチ工程においてベース10を塑性変形させる際に、凹部14および突出部13近傍に生じる応力を低減することができる。これにより、突出部13近傍にクラックが発生することが抑えられ、突出部13の強度を高めることができる。
さらに、凹部14が略三角形状に形成されているため、凹部14の幅Lを幅方向内側に向かうに従って漸次大きくしつつ、深さ方向から見た凹部14の面積を比較的小さくすることができる。このように凹部14の面積を小さくすることで、パンチ加工を行う際にベース10に加える圧力を小さくして、加工機の大型化を抑えることができる。
また、凹部14の隅部14dが、幅方向外側に向けて凸となる曲面状を呈しているため、パンチ工程の際に、隅部14dに生じる応力を小さくすることができる。従って、この隅部14dにクラックが発生するのを抑制することができる。
また、収容工程において、ヒートパイプ20の深さ方向の厚みH2が溝部12の深さH1よりも大きい。このため、押圧工程によって、ヒートパイプ20を容易かつ確実に溝内側面12aおよび溝内底面12bに沿うように変形させることができる。これにより、ヒートパイプ20とベース10との接触面積が大きくなり、放熱モジュール1の放熱性能を高めることができる。
また、例えば収容工程の際に、ヒートパイプ20の幅W2が溝部12の幅W1よりも大きいと、ヒートパイプ20を溝部12内に押し込む際に、ヒートパイプ20の上面が窪むように変形してしまう場合がある。これに対して本実施形態では、収容工程時において、ヒートパイプ20の幅W2が溝部12の幅W1よりも小さいため、上記したヒートパイプ20の上面の変形を抑えることができる。また、ヒートパイプ20をスムーズに溝部12内に収容できるため、放熱モジュール1の製造効率を高めることができる。
なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、前記実施形態では、ベース10が矩形の板状に形成されていたが、ベース10の形状は適宜変更可能である。例えばベース10の形状は、円板状、ブロック状、棒状などであってもよい。
また、凹部14の形状は適宜変更可能である。
例えば図5(a)に示すように、深さ方向から見て略台形状の凹部15を採用してもよい。凹部15は、長手方向に延びる第1側壁15dと、第1側壁15dの長手方向における両端部からそれぞれ溝部12に向けて延びる第2側壁15bおよび第3側壁15cと、を有している。第1側壁15dと第2側壁15b、および第1側壁15dと第3側壁15cは、それぞれの延在する平面が互いに鈍角で交わるように配置されている。これにより、凹部15の長手方向における幅Lは、溝部12の内側に向かうに従って漸次大きくなっており、前記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、第1側壁15dと第2側壁15bとの隅部15e、および第1側壁15dと第3側壁15cとの隅部15fは、幅方向の外側に向けて凸となる曲面状を呈している。これにより、パンチ加工の際に、隅部15e、15fに生じる応力を低減して、クラックの発生を抑えることができる。なお、図示は省略するが、凹部15の底面15aは、深さ方向において、突出部13の上面13cと同等の位置にある。
あるいは図5(b)に示すように、深さ方向から見て略半円形状の凹部16を採用してもよい。凹部16は、幅方向の外側に向けて凸となる円弧上の側壁16bを有している。これにより、凹部16の長手方向における幅Lは、溝部12の内側に向かうに従って漸次大きくなっており、前記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。なお、図示は省略するが、凹部16の底面16aは、深さ方向において、突出部13の上面13cと同等の位置にある。
また、凹部14(突出部13)の配置は、図1(a)の例に限られず、適宜変更してもよい。例えば、溝部12から見て、幅方向(Y方向)の一方側と他方側とで、凹部14(突出部13)の数が異なっていてもよい。あるいは、幅方向(Y方向)の一方側と他方側とで、長手方向(X方向)における凹部14(突出部13)の位置が異なっていてもよい。
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。
1…放熱モジュール 3…パンチ 10…ベース 12…溝部 13…突出部 13c…上面 14、15、16…凹部 14a、15a、16a…底面 X…長手方向 Y…幅方向 Z…深さ方向

Claims (2)

  1. 溝部が形成された金属製のベースと、
    前記溝部内に固定されたヒートパイプと、を備え、
    前記溝部の開口縁には、
    前記溝部の内側に向けて突出する突出部と、
    前記突出部に隣接する凹部と、が形成され、
    前記突出部の上面および前記凹部の底面は、前記溝部の深さ方向において同等の位置にあり、
    前記溝部が延びる長手方向における前記凹部の幅は、前記溝部の内側に向かうに従って漸次大きくなっており、
    前記凹部は、前記深さ方向から見て略三角形状に形成されている、放熱モジュール。
  2. 金属製のベースに形成された溝部内に、ヒートパイプを収容する収容工程と、
    前記ヒートパイプを前記溝部内で押圧し、前記溝部の溝内底面および溝内側面に沿うように前記ヒートパイプを変形させ、前記ヒートパイプの上面を前記溝部の深さ方向において前記ベースの上面と同等の位置とする押圧工程と、
    前記溝部の開口縁にパンチを当接し、前記ベースを塑性変形させることで、凹部および前記凹部に隣接して前記溝部の内側に向けて突出する突出部を形成し、前記突出部の上面および前記凹部の底面を前記深さ方向において同等の位置とするパンチ工程と、
    を有する、放熱モジュールの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001135966A (ja) * 1999-11-10 2001-05-18 Diamond Electric Mfg Co Ltd ヒートパイプとプレートの接合方法
JP2007218439A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Sumitomo Light Metal Ind Ltd ヒートパイプの固定方法
US20110162206A1 (en) * 2010-01-07 2011-07-07 Shyh-Ming Chen Method for connecting heat-dissipating fin and heat pipe
CN102122621B (zh) * 2010-01-08 2012-10-24 陈世明 散热鳍片与热管紧结方法
JP5546280B2 (ja) * 2010-02-18 2014-07-09 古河電気工業株式会社 ヒートパイプ受熱部の接続部およびヒートパイプ受熱部の接続方法
CN202210918U (zh) * 2011-08-19 2012-05-02 陈世明 热管与基座的结合结构
CN203369019U (zh) * 2013-06-04 2013-12-25 佳承精工股份有限公司 散热器的热管埋设固定结构
CN103796491A (zh) * 2014-01-24 2014-05-14 东莞汉旭五金塑胶科技有限公司 携带式电子装置之散热装置
CN205491606U (zh) * 2016-01-29 2016-08-17 奇鋐科技股份有限公司 散热模组组合结构

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