JP6751061B2

JP6751061B2 - ウエハ載置装置

Info

Publication number: JP6751061B2
Application number: JP2017168403A
Authority: JP
Inventors: 謙悟鳥居
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2016-09-20
Filing date: 2017-09-01
Publication date: 2020-09-02
Anticipated expiration: 2037-09-01
Also published as: JP2018050039A

Description

本発明は、ウエハ載置装置に関する。

プラズマ処理装置としては、例えばプラズマＣＶＤ装置、プラズマエッチング装置、プラズマアッシング装置などが知られている。こうしたプラズマ処理装置では、通常、真空チャンバ内にウエハを載置するためのウエハ載置装置が設置される。ウエハ載置装置は、プラズマ処理を施すウエハを吸着固定するための静電チャックと、この静電チャックを冷却する冷却板とを備えている。静電チャックとしては、絶縁体又は誘電体（多くはセラミックス）に内部電極が埋設されたものが用いられる。このようなウエハ載置装置では、ウエハを静電チャックのウエハ載置面に載置した状態で内部電極に直流電圧を印加して静電力（クーロン力又はジョンソン・ラベック力）を発生させることにより、ウエハをウエハ載置面に吸着固定する。そして、この状態で、ウエハに接するようにプラズマを発生させる。プラズマは、通常、真空チャンバ内に設置される上部電極と静電チャックに埋設された内部電極との間又は上部電極と冷却板との間に印加される高周波電圧によって発生させる。このようにして発生したプラズマは、プラズマ載置装置の一部を腐食させることがある。例えば、静電チャックと冷却板とは樹脂層を介して接着されているが、この樹脂層の側面が腐食することがあるため、樹脂層の側面に沿ってフッ素樹脂製のＯリングを設置することが提案されている（特許文献１参照）。Ｏリングは、静電チャックと冷却板とによって挟み込まれて押し潰された状態で維持されることによりＯリングの内側をシールする。そのため、樹脂層は腐食ガスから保護される。

特開平９−４５７５７号公報

しかしながら、樹脂層の側面に沿ってＯリングを設置する構造では、Ｏリングの押し潰し量を大きくすると、押し潰されたＯリングの復元力が大きくなるため、その復元力によって静電チャックと冷却板とが離間するおそれがあった。そのため、Ｏリングの押し潰し量を十分大きくすることができなかった。その結果、Ｏリングのシール性が低くなり、樹脂層の保護性能が十分得られないという問題があった。

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、静電チャックと冷却板との間の樹脂層の保護性能を高めることを主目的とする。

本発明のウエハ載置装置は、
静電チャックと冷却板とが樹脂層を介して接着されたウエハ載置装置であって、
前記樹脂層の側面に沿って該側面を覆うように設けられたクランプ部材と、
前記クランプ部材と前記静電チャックとの間に配置された弾性変形可能な第１リング部材と、
前記クランプ部材と前記冷却板との間に配置された弾性変形可能な第２リング部材と、
を備え、
前記第１リング部材は、前記クランプ部材と前記静電チャックとによって押し潰された状態で保持され、
前記第２リング部材は、前記クランプ部材と前記冷却板とによって押し潰された状態で保持され、
前記樹脂層の側面は、前記第１リング部材と前記第２リング部材と前記クランプ部材とによって囲まれた閉空間内に配置されている、
ものである。

このウエハ載置装置では、樹脂層の側面は、第１リング部材と第２リング部材とクランプ部材とによって囲まれた閉空間内に配置されているため、周囲の雰囲気から遮断されている。また、押し潰された第１及び第２リング部材が元の形状に戻ろうとする復元力は、静電チャックと冷却板とを離間する方向には働かないため、第１及び第２リング部材の押し潰し量が十分大きくなるようにクランプ部材を締めることができる。その結果、第１及び第２リング部材のシール性が十分高くなり、周囲の雰囲気から樹脂層を保護する性能を高めることができる。

本発明のウエハ載置装置において、前記樹脂層の材質は、シリコーン樹脂、アクリル樹脂又はエポキシ樹脂、前記第１及び第２リング部材の材質は、フッ素樹脂としてもよい。こうすれば、樹脂層によって静電チャック及び冷却板がしっかりと接着される。また、周囲の雰囲気が腐食ガス雰囲気だとしても、第１及び第２リング部材は耐食性に優れているため樹脂層を長期にわたって保護することができる。

本発明のウエハ載置装置において、前記クランプ部材は、前記クランプ部材の締め付け量を調節する調節部材を有していてもよい。この場合、クランプ部材が強く締まるように調節部材を調節すれば、第１及び第２リング部材の押し潰し量が増え、樹脂層の保護性能が高まる。また、クランプ部材の締め付けを解除するように調節部材を調節すれば、第１リング部材や第２リング部材を容易に交換することができる。

本発明のウエハ載置装置において、前記クランプ部材は、分断箇所を少なくとも１つ有し、前記調節部材は、前記分断箇所の間隔を調節することによって前記クランプ部材の締め付け量を調節するものとしてもよい。こうすれば、クランプ部材の締め付け量を簡単な構造で調節することができる。この場合、前記クランプ部材が前記調節部材によって最も締め付けられた状態では、前記分断箇所の間隔がゼロになるようにしてもよい。こうすれば、クランプ部材を最も締め付けた状態では、第１リング部材と第２リング部材とクランプ部材とによって囲まれた空間は閉空間になる。また、前記クランプ部材が前記調節部材によって所定の締め付け状態から最も締め付けられた状態に至る過程では、前記分断箇所の分断された端部同士は当接した状態を維持して前記クランプ部材の内外の連通を遮断するようにしてもよい。こうすれば、クランプ部材が所定の締め付け状態から最も締め付けられた状態に至る過程では、第１リング部材と第２リング部材とクランプ部材とによって囲まれた空間は絶えず閉空間になる。

本発明のウエハ載置装置において、前記クランプ部材は、分断箇所を少なくとも１つ有し、前記調節部材は、前記分断箇所の間隔を調節することによって前記クランプ部材の締め付け量を調節するものである場合、前記分断箇所には、弾性変形可能なパッキンが配置されていてもよい。こうすれば、クランプ部材を締め付けたときに分断箇所に配置されたパッキンが押し潰された状態になるため、分断箇所の密閉性がより高くなる。

プラズマ処理装置１０の構成の概略を示す説明図。ウエハ載置装置２０の縦断面図。ウエハ載置装置２０の平面図。図３の分断箇所にパッキン４３を配置した形態の部分拡大図。別の実施形態の平面図。図５の分断箇所にパッキン１４３を配置した形態の部分拡大図。別の実施形態の分断箇所の平面図。図７の分断箇所にパッキン１４７を配置した形態の部分拡大図。別の実施形態の平面図。別の実施形態の縦断面図の部分拡大図。別の実施形態の縦断面図の部分拡大図。

次に、本発明のウエハ載置装置の好適な実施形態について以下に説明する。図１は本実施形態のウエハ載置装置２０を含むプラズマ処理装置１０の構成の概略を示す説明図、図２はウエハ載置装置２０の縦断面図、図３はウエハ載置装置２０の平面図である。

プラズマ処理装置１０は、図１に示すように、内圧を調整可能な金属製（例えばアルミニウム合金製）の真空チャンバー１２の内部に、ウエハ載置装置２０とプラズマを発生させるときに用いる上部電極７０とが設置されている。上部電極７０のうちウエハ載置装置２０と対向する面には、反応ガスをウエハー面に供給するための多数の小穴が開いている。真空チャンバー１２は、反応ガス導入路１４から反応ガスを上部電極７０に導入可能であると共に、排気通路１６に接続された真空ポンプによって真空チャンバー１２の内圧を所定の真空度まで減圧可能である。

ウエハ載置装置２０は、図２に示すように、静電チャック２２と冷却板３０とが樹脂層３６を介して接着され、樹脂層３６の外周に沿ってクランプ部材４０を有するものである。

静電チャック２２は、セラミック製（例えばアルミナ製とか窒化アルミニウム製）の円形プレートであり、静電チャック２２の上部が小径部２２ａ、下部が大径部２２ｂとなっている。そのため、静電チャック２２の外周部には、段差２２ｃが形成されている。小径部２２ａは、上面がウエハ載置面２２ｄとなっており、静電電極２４とヒータ電極２６とを内蔵している。静電電極２４は、平面状の電極であり、図示しない給電棒を介して直流電圧が印加される。この静電電極２４に直流電圧が印加されるとウエハＷはクーロン力又はジョンソン・ラーベック力によりウエハ載置面２２ｄに吸着固定され、直流電圧の印加を解除するとウエハＷのウエハ載置面２２ｄへの吸着固定が解除される。ヒータ電極２６は、一端から他端まで一筆書きの要領でウエハ載置面２２ｄの全面にわたって配線されている。このヒータ電極２６は、図示しない給電棒を介して電力が供給される。静電電極２４及びヒータ電極２６の材質としては、例えばＭｏ，Ｗ，Ｍｏ系合金、Ｗ系合金などが挙げられる。

冷却板３０は、金属アルミニウムやアルミニウム合金などの金属からなる円形プレートである。冷却板３０の直径は、静電チャック２２の大径部２２ｂの直径と一致している。冷却板３０の内部には、冷媒が循環する冷媒通路３２が形成されている。静電電極２４の図示しない給電棒やヒータ電極２６の図示しない給電棒は、冷却板３０の上下を貫通する図示しない穴に、穴の内壁と電気的に絶縁された状態で挿通されている。

樹脂層３６は、静電チャック２２と冷却板３０とを接着する層であり、シリコーン樹脂接着剤、アクリル樹脂接着剤又はエポキシ樹脂接着剤が固化したものである。樹脂層３６の外周面（側面）は、静電チャック２２の大径部２２ｂの外周面や冷却板３０の外周面と一致している。

クランプ部材４０は、樹脂層３６の外周面に沿ってその外周面を覆うように設けられている。クランプ部材４０の断面は、図２の円内の部分拡大図に示すように、静電チャック２２から樹脂層３６の外周面を経て冷却板３０に至る形状となっている。クランプ部材４０は、アルミニウム製であり、表面にアルマイト加工又は溶射によりアルミナ膜が形成されたものであるが、材質は特にこれに限定されない。クランプ部材４０は、図３に示すように、上方からみたときに略円形の部材であるが、２箇所で分断されていて、略半円状の２つの分割体４２から構成されている。各分割体４２の両端には、図３の円内の部分拡大図に示すように、段差４２ａが形成されている。一方の分割体４２の端部の段差４２ａは半径方向内側の段Ｐが延び出した形状であり、これに対向する他方の分割体４２の端部の段差４２ａは半径方向外側の段Ｑが延び出した形状である。クランプ部材４０が所定の締め付け状態（図３の円内の実線参照）から最も締め付けられた状態（図３の円内の点線参照）までの間にクランプ部材４０の径が変化したとしても、一方の段Ｐと他方の段Ｑとは当接した状態が維持される。そのため、クランプ部材４０の内外に連通する隙間がこの分断箇所に生じることはない。各分割体４２は、２箇所でボルト４４により冷却板３０の外周面のボルト穴３４に締結されている。ボルト４４の締結を強くするにしたがって、分割体４２は静電チャック２２及び冷却板３０に接近するため、クランプ部材４０は強く締まる。ボルト４４の材質としては、表面を絶縁膜でコートした金属やセラミックなどが挙げられる。

クランプ部材４０と静電チャック２２との間には、弾性変形可能なフッ素樹脂製の第１Ｏリング４６が配置され、クランプ部材４０と冷却板３０との間には、弾性変形可能なフッ素樹脂製の第２リング４８が配置されている。第１Ｏリング４６は、クランプ部材４０と静電チャック２２とによって押し潰された状態で保持され、第２Ｏリング４８は、クランプ部材４０と冷却板３０とによって押し潰された状態で保持されている。クランプ部材４０を固定するボルト４４は、第１Ｏリング４６と第２Ｏリング４８との間を通ってボルト穴３４に螺合されている。４つのボルト４４の締結を強くするにしたがってクランプ部材４０の各分割体４２が静電チャック２２及び冷却板３０に近づくため、第１及び第２Ｏリング４６，４８の押し潰し量が増加する。

次に、こうして構成されたウエハ載置装置２０の使用例について説明する。まず、真空チャンバー１２内にウエハ載置装置２０を設置した状態で、ウエハＷを静電チャック２２のウエハ載置面２２ｄに載置する。そして、真空チャンバー１２内を真空ポンプにより減圧して所定の真空度になるように調整し、静電チャック２２の静電電極２４に直流電圧をかけてクーロン力又はジョンソン・ラーベック力を発生させ、ウエハＷを静電チャック２２のウエハ載置面２２ｄに吸着固定する。次に、真空チャンバー１２内を所定圧力（例えば数１０〜数１００Ｐａ）の反応ガス雰囲気とし、この状態で、真空チャンバー１２内の上部電極７０と静電チャック２２の静電電極２４との間に高周波電圧を印加し、プラズマを発生させる。なお、静電電極２４には静電気力を発生させるための直流電圧と高周波電圧の両方が印加されるものとしたが、高周波電圧は静電電極２４の代わりに冷却板３０に印加されるものとしてもよい。そして、発生したプラズマによってウエハＷの表面がエッチングされる。Ｓｉ膜や種々の絶縁膜等をエッチングする場合、反応ガスとしてＮＦ₃、Ｃｌ₂、ＣＦ₄、ＣＣｌ₄、ＨＦ、ＣｌＦ₃、ＨＣｌ等のハロゲンガスが使用される。ヒータ電極２６には、ウエハＷの温度が予め設定された目標温度となるように電力が供給される。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のウエハ載置装置２０が本発明のウエハ載置装置に相当し、本実施形態の静電チャック２２、冷却板３０、樹脂層３６がそれぞれ本発明の静電チャック、冷却板、樹脂層に相当する。また、クランプ部材４０がクランプ部材に相当し、第１Ｏリング４６が第１リング部材に相当し、第２Ｏリング４８が第２リング部材に相当し、ボルト４４が調節部材に相当する。

以上詳述したウエハ載置装置２０では、樹脂層３６の外周面は、第１Ｏリング４６と第２リング４８とクランプ部材４０とによって囲まれた閉空間Ｓの内部に配置されているため、周囲の雰囲気（例えばハロゲンガスなどの腐食ガス雰囲気）から遮断されている。また、押し潰された第１及び第２Ｏリング４６，４８が元の形状に戻ろうとする復元力は、静電チャック２２と冷却板３０とを離間する方向には働かないため、第１及び第２Ｏリング４６，４８の押し潰し量が十分大きくなるようにクランプ部材４０をボルト４４で締め付けることができる。その結果、第１及び第２Ｏリング４６，４８のシール性が十分高くなり、周囲の雰囲気から樹脂層３６を保護する性能を高めることができる。

また、樹脂層３６の材質は、シリコーン樹脂、アクリル樹脂又はエポキシ樹脂であるため、静電チャック２２と冷却板３０とはしっかりと接着される。第１及び第２Ｏリング４６，４８の材質は、耐食性に優れるフッ素樹脂であるため、周囲の雰囲気が腐食ガス雰囲気だとしても、樹脂層３６を長期にわたって保護することができる。

更に、クランプ部材４０は、クランプ部材４０締め付け量を調節するボルト４４を有している。そのため、クランプ部材４０が強く締まるようにボルト４４を調節すれば、第１及び第２Ｏリング４６，４８の押し潰し量が増え、樹脂層３６を保護する性能が高まる。また、クランプ部材４０の締め付けを解除するようにボルト４４を調節すれば、第１及び第２Ｏリング４６，４８を容易に交換することができる。

更にまた、クランプ部材４０は２つの分断箇所を有していて略半円状の２つの分割体４２から構成されており、ボルト４４は静電チャック２２及び冷却板３０に対する分割体４２の接近・離間を調節することで２つの分断箇所の間隔を調節してクランプ部材４０の締め付け量を調節する。そのため、クランプ部材４０の締め付け量を比較的簡単な構造で調節することができる。

そしてまた、クランプ部材４０が所定の締め付け状態から最も締め付けられた状態に至る過程でクランプ部材４０の径が変化したとしても、一方の分割体４２の段Ｐと他方の分割体４２の段Ｑとは当接した状態が維持されるため、クランプ部材４０の内外を連通する隙間が分断箇所に生じることはない。したがって、この過程では、第１Ｏリング４６と第２Ｏリング４８とクランプ部材４０とによって囲まれた空間Ｓは絶えず閉空間になる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、クランプ部材４０を構成する２つの分割体４２をボルト４４で冷却板３０に締結したが、冷却板３０ではなく静電チャック２２に締結してもよい。

上述した実施形態において、図４に示すように、クランプ部材４０の分断箇所のうち、半径方向内側の段Ｐの先端に生じる隙間に、弾性変形可能なパッキン４３を配置してもよい。パッキン４３としては、第１及び第２Ｏリング４６，４８と同じ材料製（例えばフッ素樹脂製）の板材を用いることができる。こうすれば、２つの分割体４２，４２からなるクランプ部材４０を締め付けたときにパッキン４３が押し潰された状態になるため、分断箇所の密閉性がより高くなる。

上述した実施形態のクランプ部材４０の代わりに、図５に示すように、分断箇所を１箇所有するＣ字状のクランプ部材１４０を用いてもよい。クランプ部材１４０は、樹脂層３６の側面に沿って樹脂層３６を覆うように設けられている。このクランプ部材１４０は、分断された端部に半径外方向に延びる爪１４２，１４２を備えており、両方の爪１４２，１４２の間隔つまり分断箇所の間隔をボルト１４４及びナット１４６の締結具合によって調節できるようにする。この場合、ボルト１４４及びナット１４６が本発明の調節部材に相当する。また、クランプ部材１４０がボルト１４４及びナット１４６によって最も締め付けられた状態では、分断箇所の間隔がゼロになるようにする。こうすれば、クランプ部材１４０を最も締め付けた状態にすると、第１Ｏリング４６と第２リング部材４８とクランプ部材１４０とによって囲まれた空間は閉空間になる。こうしたクランプ部材１４０を上述した実施形態のクランプ部材４０の代わりに採用したとしても、上述した実施形態と同様の効果が得られる。また、図６に示すように、クランプ部材１４０の分断箇所つまり両方の爪１４２，１４２の隙間に、弾性変形可能なパッキン１４３を配置してもよい。パッキン１４３としては、パッキン４３と同様の部材を用いることができる。こうすれば、ボルト１４４及びナット１４６を締結して両方の爪１４２，１４２の間隔が狭めるとパッキン１４３が押し潰された状態になるため、分断箇所の密閉性がより高くなる。

なお、クランプ部材１４０の分断箇所において、図７に示すように、互いに対向する端部に段差１４０ａを設け、一方の段差１４０ａは半径方向内側の段Ｐが延び出した形状であり、これに対向する他方の端部の段差１４０ａは半径方向外側の段Ｑが延び出した形状としてもよい。こうすれば、クランプ部材１４０が所定の締め付け状態から最も締め付けられた状態までの間にクランプ部材１４０の径が変化したとしても、一方の段Ｐと他方の段Ｑとは当接した状態が維持されるため、クランプ部材１４０の内外を通じる隙間が分断箇所に生じることはない。また、図８に示すように、クランプ部材１４０の分断箇所のうち、半径方向内側の段Ｐの先端に生じる隙間に、弾性変形可能なパッキン１４７を配置してもよい。パッキン１４７としては、パッキン４３と同様の部材を用いることができる。こうすれば、クランプ部材１４０を締め付けたときにパッキン１４７が押し潰された状態になるため、分断箇所の密閉性がより高くなる。

あるいは、上述した実施形態のクランプ部材４０の代わりに、図９に示すように、分断箇所を２箇所有するクランプ部材２４０を採用してもよい。このクランプ部材２４０は、半円状の２つの分割リング２４２，２４２で構成され、各分断箇所は図５に示したクランプ部材１４０の分断箇所と同様の構成になっている。このクランプ部材２４０を採用した場合も、上述した実施形態と同様の効果が得られる。なお、各分断箇所に図６に示したパッキン１４３を配置してもよく、その場合には分断箇所の密閉性がより高くなる。

上述した実施形態では、クランプ部材４０として、静電チャック２２の大径部２２ｂの外周面と樹脂層３６の外周面と冷却板３０の外周面の上部とを覆う形状のものを採用したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、図１０に示すように、冷却板３０の直径が静電チャック２２の大径部２２ｂの直径や樹脂層３６の直径よりも大きい場合、冷却板３０の外側には静電チャック２２の載っていないツバ部３０ａが現れる。その場合、クランプ部材３４０を採用してもよい。クランプ部材３４０は、静電チャック２２の大径部２２ｂの側面と対向する静電チャック対向面３４０ａと、その静電チャック対向面３４０ａと直交しツバ部３０ａと対向するツバ部対向面３４０ｂとを有している。ボルト３４４は、静電チャック対向面３４０ａとツバ部対向面３４０ｂの両方に対して角度（例えば３０〜６０°）を持つようにして冷却板３０のボルト穴にねじ込まれている。そのボルト３４４の締め具合をきつくするにしたがって、静電チャック対向面３４０ａが静電チャック２２の大径部２２ｂの側面に近づくと同時にツバ部対向面３４０ｂがツバ部３０ａに近づくため、第１及び第２Ｏリング４６，４８の押し潰し量が増える。図１０の構成を採用した場合でも、上述した実施形態と同様の効果が得られる。

あるいは、クランプ部材３４０の代わりに、図１１に示すクランプ部材４４０を採用してもよい。クランプ部材４４０は、静電チャック２２の段差２２ｃと対向する静電チャック対向面４４０ａと、その静電チャック対向面４４０ａに平行でツバ部３０ａと対向するツバ部対向面４４０ｂとを有している。ボルト４４４は、ボルト足が静電チャック対向面４４０ａやツバ部対向面４４０ｂと直交するようにボルト穴にねじ込まれている。そのボルト４４４の締め具合をきつくするにしたがって、静電チャック対向面４４０ａが静電チャック２２の段差２２ｃに近づくと同時にツバ部対向面４４０ｂがツバ部３０ａに近づくため、第１及び第２Ｏリング４６，４８の押し潰し量が増える。図１１の構成を採用した場合でも、上述した実施形態と同様の効果が得られる。

１０プラズマ処理装置、１２真空チャンバー、１４反応ガス導入路、１６排気通路、２０ウエハ載置装置、２２静電チャック、２２ａ小径部、２２ｂ大径部、２２ｃ段差、２２ｄウエハ載置面、２４静電電極、２６ヒータ電極、３０冷却板、３０ａツバ部、３２冷媒通路、３４ボルト穴、３６樹脂層、４０クランプ部材、４２分割体、４２ａ段差、４３パッキン、４４ボルト、４６第1Ｏリング、４８第２Ｏリング、７０上部電極、１４０クランプ部材、１４０ａ段差、１４２爪、１４３パッキン、１４４ボルト、１４６ナット、１４７パッキン、２４０クランプ部材、２４２分割リング、３４０クランプ部材、３４０ａ静電チャック対向面、３４０ｂツバ部対向面、３４４ボルト、４４０クランプ部材、４４０ａ静電チャック対向面、４４０ｂツバ部対向面、４４４ボルト。

Claims

静電チャックと冷却板とが樹脂層を介して接着されたウエハ載置装置であって、
前記樹脂層の側面に沿って該側面を覆うように設けられたクランプ部材と、
前記クランプ部材の締め付け量を調節する調節部材と、
前記クランプ部材と前記静電チャックとの間に配置された弾性変形可能な第１リング部材と、
前記クランプ部材と前記冷却板との間に配置された弾性変形可能な第２リング部材と、
を備え、
前記第１リング部材は、前記クランプ部材と前記静電チャックとによって押し潰された状態で保持され、
前記第２リング部材は、前記クランプ部材と前記冷却板とによって押し潰された状態で保持され、
前記樹脂層の側面は、前記第１リング部材と前記第２リング部材と前記クランプ部材とによって囲まれた閉空間内に配置され、
前記クランプ部材は、分断箇所を少なくとも１つ有し、
前記調節部材は、前記分断箇所の間隔を調節することによって前記クランプ部材の締め付け量を調節する、
ウエハ載置装置。
前記樹脂層の材質は、シリコーン樹脂、アクリル樹脂又はエポキシ樹脂であり、
前記第１及び第２リング部材の材質は、フッ素樹脂である、
請求項１に記載のウエハ載置装置。
前記クランプ部材が前記調節部材によって最も締め付けられた状態では、前記分断箇所の間隔がゼロになる、
請求項１又は２に記載のウエハ載置装置。
前記クランプ部材が前記調節部材によって所定の締め付け状態から最も締め付けられた状態に至る過程では、前記分断箇所の分断された端部同士は接触した状態を維持して前記クランプ部材の内外の連通を遮断する
請求項１〜３のいずれか１項に記載のウエハ載置装置。
前記分断箇所には、弾性変形可能なパッキンが配置されている、
請求項１又は２に記載のウエハ載置装置。