JP6748106B2 - 基板への金属付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインのためのフラッディング装置 - Google Patents

Description

本発明は、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインのためのフラッディング装置に関する。

本発明は、さらに、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの処理モジュールに関する。

産業界は、数十年来、処理される基板への金属、一般的には銅、錫またはニッケルの付着のための水平方向のガルバニック（電流の適用による手段）または湿式化学（無電極の手段）プロセスラインを既に利用している。

過去には、処理される基板は、現在と比べて比較的厚く、剛性で、重かった。現在では、プリント回路基板分野における現在進行中の世界的規模の技術的微細化の結果、市場は、これまで加工されてきたいかなるものよりも大幅に薄い処理される基板をも安全に処理することができる装置およびプロセスラインをますます要求している。同時に、厚さが減少した結果、処理される各基板の重量は大幅に減少されている一方、処理される基板の柔軟性が大幅に高まっている。

これは、処理される基板の搬送および処理における全く新しい技術的課題につながる。２５マイクロメートルにもなる厚さを有する基板に対する市場の要求は、搬送またはプロセスラインの搬送レベルの下方または上方における個々の搬送ローラまたは車軸の間におけるしわ発生または望ましくない走行によって損傷を受けることなく、薄い柔軟な基板を安全に搬送するという深刻な課題を生じる。

柔軟な材料のこのような案内不良を回避する試みが過去に試されており、主なアプローチは、処理される各基板をクリップ、フックまたはクランプによって両側で固定することであった。

しかしながら、始めに基板が完全に引き延ばされる場合でさえ、このような基板を、プロセスライン全体を通じて安全に走行させることは多くの場合困難である。このアプローチおいて生じる１つの問題は、プロセスラインを通る基板をまだ加工している間に、所定の時間が経過後、基板が曲がるということである。これは、望ましくない質的金属付着結果および分布につながる。最悪の場合、曲がりの効果は、個々の搬送エレメントの間で基板にしわが生じるほど強い。

したがって、従来技術に照らして、本発明の課題は、加工中に処理される薄い基板の一切の損傷を回避しかつ安全な搬送を保証することができる装置を提供することである。

特に、本発明の課題は、一般的にプロセスラインの搬送レベルの上方および下方に配置された個々の搬送エレメントの間を薄い柔軟な基板が走行することができることを回避することができる装置を提供することである。

加えて、特に、本発明の課題は、最も危険な部位において、すなわち、このようなプロセスラインの個々の処理モジュールにおいて処理液体を提供するために必要とされる適用されたフラッディング装置の周囲において、処理される柔軟な薄い基板が、フラッディング装置を通過した直後に個々の搬送エレメントの間で上方または下方へ流れることを回避することができる装置を提供することである。

加えて、課題は、いかなる大きな労力またはコストもなしに、既存のプロセスラインに据え付けることができる装置を提供することである。

これらの課題、および明示的に述べられていないが、導入部によって本明細書において説明された関連技術から即座に導き出すことができるまたは認識することができるその他の課題は、請求項１の全ての特徴を有するフラッディング装置によって達成される。本発明の装置に対する適切な変更は、従属請求項２〜１１において保護されている。さらに、請求項１２は、少なくとも一対の対向して配置されたこのようなフラッディング装置を有する、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの処理モジュールを含む。本発明の処理モジュールに対する適切な変更は、従属請求項１３〜１５において保護されている。

したがって、本発明は、少なくとも１つのフラッディングエレメントと、少なくとも１つの第１の基板案内エレメントとを備え、フラッディングエレメントは少なくとも１つの第１の基板案内エレメントに機械的に接続されており、第１の基板案内エレメントは空間的にフラッディングエレメントの進入側に配置されている、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインのためのフラッディング装置を提供する。

これにより、想到不可能な形式で、加工中の処理される薄い基板のあらゆる損傷を回避することができかつ安全な搬送を保証するフラッディング装置を提供することが可能である。

それに加えて、本発明のフラッディング装置は、一般的にプロセスラインの搬送レベルの上方および下方に配置された個々の搬送エレメントの間を薄い柔軟な基板が走行することを回避する。

さらに、本発明のフラッディング装置は、最も危険な部位において、すなわちフラッディング装置自体の周囲において、処理される柔軟な薄い基板が、フラッディング装置を通過した直後に個々の搬送エレメントの間で上方または下方へ流れることを回避する。

加えて、本発明の装置は、いかなる大きな労力またはコストもなしに既存のプロセスラインに容易に据え付けることができる。

本発明のより完全な理解のために、添付の図面に関連して考慮される以下の発明の詳細な説明が参照される。

本発明の第１の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの概略的な側面図を示している。 図１に示された、本発明の第１の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの概略的な側方から見た斜視図を示している。 図１に示された、本発明の第１の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの別の概略的な側方から見た斜視図を示している。 図１に示された、本発明の第１の実施の形態による個々の本発明のフラッディング装置の概略的な上方から見た斜視図を示している。 図１に示された本発明の第１の実施の形態による、図４に示された個々の本発明のフラッディング装置の第１、第２および第３の基板案内エレメントの概略的な上方から見た斜視図を示している。 本発明の第２の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの概略的な側面図を示している。 図６に示された、本発明の第２の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの概略的な側方から見た斜視図を示している。 図６に示された、本発明の第２の実施の形態による個々の本発明のフラッディング装置の概略的な上方から見た斜視図を示している。 本発明の第３の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの概略的な側面図を示している。 図９に示された、本発明の第３の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を備える、本発明の処理モジュールの概略的な側方から見た斜視図を示している。 図９に示された、本発明の第３の実施の形態による個々の本発明のフラッディング装置の概略的な上方から見た斜視図を示している。

本明細書において用いられる場合、「フラッディング装置」という用語は、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの処理モジュール内に処理液体を提供するために必要とされる装置をいう。

本明細書において用いられる場合、「基板案内エレメント」という用語は、処理される基板が、水平方向プロセスラインの２つの隣接する個々の搬送エレメントの間を走行しないように、処理される基板の搬送を支持するために必要とされるエレメント、処理される基板の搬送を支持することを意図されたまたは想定されたエレメントをいう。最終的に、このような基板案内エレメントは、水平方向プロセスラインを通過する間、処理される基板の損傷を回避するという目的を達成する。

本明細書において用いられる場合、「進入側」という用語は、水平方向プロセスラインのフラッディング装置の進入側を指し、処理される基板は、搬送方向で、フラッディング装置に進入する前にフラッディング装置における搬送領域に到達し、その後、処理される基板はフラッディング装置を通って走行する。

本明細書において用いられる場合、「出口側」という用語は、水平方向プロセスラインのフラッディング装置の出口側を指し、処理される基板は、搬送方向で、処理される基板が前に通過したフラッディング装置から出た後にフラッディング装置における搬送領域に到達する。

１つの実施の形態では、フラッディング装置は、少なくとも１つの第２の基板案内エレメントをさらに備え、フラッディング装置は少なくとも１つの第２の基板案内エレメントに機械的に接続されており、第２の基板案内エレメントは空間的にフラッディングエレメントの出口側に配置されている。

１つの実施の形態では、第１の基板案内エレメントおよび第２の基板案内エレメントは、それぞれ複数の突出部を有し、第１の基板案内エレメントの突出部は、処理される基板の搬送方向とは逆にフラッディングエレメントから軸方向に延びており、第２の基板案内エレメントの突出部は、処理される基板の搬送方向にフラッディングエレメントから軸方向に延びている。

複数の突出部は、処理される基板がそれぞれのフラッディング装置およびフラッディングエレメントに進入またはこれらを通過、特に進入することを単純化するために、軸方向で厳密に線形の形式で延びているまたは多かれ少なかれ曲げられていることができる。

突出部の下向きの曲げは、フラッディングエレメントに進入するまたはフラッディングエレメントから出る、特に進入する、処理されるそれぞれの基板を損傷するリスクが高まることにより、不利である。

１つの実施の形態では、第１の基板案内エレメントの複数の突出部は、処理される基板の搬送方向の第２の基板案内エレメントの複数の突出部よりも、処理される基板の搬送方向とは逆に、より長い軸方向寸法を有する。

原則的に、フラッディングエレメントの両側における複数の突出部は、同じ長さであることができるまたは言い換えれば同じ軸方向寸法であることができる。フラッディングエレメントの進入側に、フラッディングエレメントの出口側における突出部よりも長いまたは長い軸方向寸法を有する突出部を提供することは、処理される基板を損傷するリスクをさらに制限するという付加的な利点を提供する。フラッディングエレメントの進入は、フラッディングエレメントの退出よりもはるかに危険である。

本発明の意味におけるフラッディングエレメントの進入または退出は、もちろん、添付した図１、図２、図３、図６、図７、図９および図１０に典型的に見ることができるように処理モジュールの、対向して配置された２つの個々のフラッディングエレメントの間の領域への処理される基板の進入を意味する。

１つの実施の形態では、第１の基板案内エレメントおよび第２の基板案内エレメントの複数の突出部の各突出部は、フラッディングエレメントに直接に接続されており、隣接する突出部から独立して機能する。

別の実施の形態では、第１の基板案内エレメントおよび／または第２の基板案内エレメントはそれぞれ、少なくとも１つの機械的な接続エレメントによって機械的に接続された少なくとも２つの隣接する突出部の少なくとも１つのセクションを有する。

フラッディングエレメントの各側における接続された突出部の各セクションは、特定の基板材料、厚さまたは組成などの顧客ニーズに個々に適応させることができる。このようなセクションは、プロセスライン条件に応じて第１および／または第２の基板案内エレメントを適応させるためのより大きな柔軟性を有するという利点を提供する。

別の実施の形態では、第１の基板案内エレメントの全ての突出部および／または第２の基板案内エレメントの全ての突出部は、フラッディングエレメントのそれぞれの側における少なくとも１つの機械的な接続エレメントによって機械的に接続されている。

幾つかの図面（図２、図３、図４、図５、図７および図８）に見られるように、このようなケースは、フラッディングエレメントの少なくとも一方の側に、それぞれの第１および／または第２の基板案内エレメントの一種の格子構造を提供する。これにより、第１および／または第２の基板案内エレメントは、搬送エレメントとして車軸を利用する、既に運転しているプロセスラインの既存のフラッディングエレメントに容易に適応させることができる。これにより、搬送システムの高価な改変を回避することができる。唯一の要求は、車軸の車輪のサイズへの、第１および／または第２の基板案内エレメントの隣接する突出部の間の自由空間の適応である。車軸およびローラの双方は、従来技術の公知の個々の搬送エレメントであり、処理される基板の搬送レベルの下方に、少なくとも搬送エレメントの下側の列の形式で一般的に配置されている。極めて多くの場合、処理される基板の搬送レベルの上方にも、このような個々の搬送エレメントの類似の上側の列が配置されている。

本発明の別の実施の形態では、フラッディングエレメントは、フラッディングエレメントの進入側の第１の基板案内エレメントをフラッディングエレメントの出口側の第２の基板案内エレメントと接続する、少なくとも１つの第３の基板案内エレメントをさらに備え、第１、第２および第３の基板案内エレメントは、一体部品としてフラッディングエレメントに機械的に接続されるアタッチメント部分を形成している。

これは、第１、第２および第３の基板案内エレメントから成るアタッチメント部分全体をプロセスラインのそれぞれの処理モジュールのそれぞれのフラッディングエレメントから取り外すことができるという付加的な利点を提供する。これにより、フラッディング装置全体をプロセスラインから取り外す必要なしに、メンテナンスまたは保守のために、アタッチメント部分を容易に交換することができる。これは、時間、コストおよび労力を節約する。

１つの実施の形態では、フラッディングエレメントは、処理される基板の搬送経路に向けられたフラッディングエレメント表面に少なくとも１つの第１の段部および第２の段部を有し、プロセス液体はフラッディングエレメント表面から流出する。

１つの代替的な実施の形態では、第１の基板案内エレメントおよび／または第２の基板案内エレメントは、シートまたはプレートなどの連続的な部材であり、第１の基板案内エレメントは、処理される基板の搬送方向とは逆にフラッディングエレメントから軸方向に延びており、第２の基板案内エレメントは、処理される基板の搬送方向にフラッディングエレメントから軸方向に延びている。

これは、それぞれのプロセスラインにおいて使用される個々の搬送エレメントから独立しているという利点を提供する。２つのサブエレメントの間に自由空間が存在せず、２つのサブエレメントは、それぞれのプロセスラインの既存の搬送エレメントに適応可能であるように精密に製造されなければならない。つまり、これは、少なくとも最小限の基板案内を生じるための安価かつ迅速な可能性であり、これは、それぞれのフラッディングエレメントに進入するまたはそれぞれのフラッディングエレメントから出る間に、処理される基板を損傷させるリスクを最小限に減じることができる。

ここでは、第１の基板案内エレメントが、処理される基板の搬送方向の第２の基板案内エレメントよりも、処理される基板の搬送方向とは逆に、より長い軸方向寸法を有することが好適であり得る。

さらに、本発明は、処理モジュールが、上述のような少なくとも一対の対向して配置されたこのような本発明のフラッディング装置を備え、各フラッディング装置は、少なくとも１つのフラッディングエレメントと、少なくとも１つの第１の基板案内エレメントとを備え、フラッディングエレメントは少なくとも第１の基板案内エレメントに機械的に接続されており、第１の基板案内エレメントは空間的にフラッディングエレメントの進入側に配置されていることを特徴とする、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの処理モジュールにも関する。

このような一対のフラッディング装置は、処理液体の規定された流れを生じさせ、この流れは、これによりそれぞれの処理モジュールに進入する。処理液体の流れは、処理される基板が薄く柔軟であると、問題を生じ得る。このような場合、一般的に、処理される基板は、生じた処理液体流によって影響され、それぞれのフラッディング装置の前方または背後にある第１の搬送エレメントの間を走行することによって、所望の搬送レベルから出てしまう。従来技術のこの問題は、処理モジュールによって解決することができる。

本発明のフラッディング装置の上述の全ての変更、改変および実施の形態は、このような本発明の処理モジュールに含むことができる。

１つの実施の形態では、各フラッディングエレメントは、処理される基板の搬送経路に向けられたフラッディングエレメント表面に少なくとも１つの第１の段部および第２の段部を有し、プロセス液体はフラッディングエレメント表面から流出する。

これは、２つの対向して配置されたフラッディングエレメントの間の領域の断面が搬送方向で２段階に増大しているという付加的な利点を提供する。ここでは、公知のベンチュリ効果が生じ、処理液体の速度が減じられ、このことは、２つのフラッディングエレメントの間のそれぞれの領域から出る間、薄く柔軟な処理される基板の搬送安定性に好ましい影響を与える。

１つの実施の形態では、各フラッディング装置は、少なくとも１つの第２の基板案内エレメントをさらに備え、フラッディングエレメントは少なくとも１つの第２の基板案内エレメントに機械的に接続されており、第２の基板案内エレメントは空間的にフラッディングエレメントの出口側に配置されており、各フラッディングエレメントは、フラッディングエレメントの進入側の第１の基板案内エレメントをフラッディングエレメントの出口側の第２の基板案内エレメントと接続する、少なくとも１つの第３の基板案内エレメントをさらに備え、第１、第２および第３の基板案内エレメントは、一体部品としてフラッディングエレメントに機械的に接続されるアタッチメント部分を形成している。

１つの実施の形態では、第１の基板案内エレメントおよび第２の基板案内エレメントは、それぞれ複数の突出部を有し、第１の基板案内エレメントの突出部は、処理される基板の搬送方向とは逆に各フラッディングエレメントから軸方向に延びており、第２の基板案内エレメントの突出部は、処理される基板の搬送方向に各フラッディングエレメントから軸方向に延びており、第１の基板案内エレメントの全ての突出部および／または第２の基板案内エレメントの全ての突出部は、フラッディングエレメントのそれぞれの側において少なくとも１つの機械的な接続エレメントによって機械的に接続されている。

これにより、本発明は、薄い（２５マイクロメートルにもなる）柔軟な処理される基板を、基板を損傷させることなく水平方向プロセスラインを通って搬送するという課題を解決する。特に一般的に最も危険な部位の周囲、すなわち適用されたフラッディング装置の周囲において、柔軟な薄い処理される基板は、フラッディング装置を通過した直後に個々の搬送エレメントの間でさらに上方または下方へ流れることはできない。

本発明の基板案内エレメントは、金属のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインのより危険でない部位に取り付けられてもよい。例えば、基板案内エレメントは、対応するプロセスラインに設けられた超音波装置に取り付けることができる。

以下の非制限的な例は、本発明の１つの実施の形態を例示しかつ発明の理解を促すために提供されているが、本明細書に添付の請求項によって規定される発明の範囲を限定することは意図されていない。

第１の実施の形態は、以下の図１〜図５に示されている。

ここで図面を参照すると、図１は、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの本発明による処理モジュール１の概略的な側面図を示しており、処理モジュール１は、本発明の第１の実施の形態による、一対の対向して配置されたこのような本発明のフラッディング装置を有する。

ここでは、２つの図示された各フラッディング装置は、フラッディングエレメント２および第１の基板案内エレメント５を備え、フラッディングエレメント２は第１の基板案内エレメント５に機械的に接続されており、第１の基板案内エレメント５は空間的にフラッディングエレメント２の進入側８に配置されている。

それぞれの示されたフラッディング装置は、第２の基板案内エレメント６をさらに備え、フラッディングエレメント２は第２の基板案内エレメント６に機械的に接続されており、第２の基板案内エレメント６は空間的にフラッディングエレメント２の出口側９に配置されている。

さらに、第１の基板案内エレメント５および第２の基板案内エレメント６は、それぞれ複数の突出部を有し、第１の基板案内エレメント５の突出部は、処理される基板の搬送方向とは逆にフラッディングエレメント２から軸方向に延びている。第２の基板案内エレメント６の突出部は、処理される基板の搬送方向に、フラッディングエレメント２から軸方向に延びている。

この第１の好適な実施の形態では、第１の基板案内エレメント５の複数の突出部は、処理される基板の搬送方向の第２の基板案内エレメント６の複数の突出部よりも、処理される基板の搬送方向とは逆により長い軸方向寸法を有する。

ここでは、第２の基板案内エレメント６の複数の突出部の各突出部は、フラッディングエレメント２に直接に接続されており、隣接する突出部から独立して機能する。

図１に示された各フラッディングエレメント２は、フラッディングエレメント２の進入側８の第１の基板案内エレメント５をフラッディングエレメント２の出口側９の第２の基板案内エレメント６に接続する第３の基板案内エレメント４を備え、第１の基板案内エレメント５、第２の基板案内エレメント６および第３の基板案内エレメント４は、一体部品としてフラッディングエレメント２に機械的に接続されるアタッチメント部分を形成している。

ここでは、フラッディングエレメント２は、処理される基板の搬送経路に向けられたフラッディングエレメント２の表面に、第１の段部７ａおよび第２の段部７ｂを有し、プロセス液体はフラッディングエレメント２の表面から流出する。

処理モジュール１全体をさらに説明するために、処理モジュール１の進入側８および出口側９に一対の対向して配置された搬送エレメント３も示されている。以下の図２および図３から容易に分かるように、第１の好適な実施の形態の搬送エレメント３は車軸である。

図２は、図１に示された本発明の第１の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を有する、本発明の処理モジュールの概略的な側方から見た斜視図を示している。

ここでは、本発明のこの第１の実施の形態において、第１の基板案内エレメント５の全ての突出部が、フラッディングエレメント２の進入側８において、少なくとも１つの機械的な接続エレメント１１によって機械的に接続されていることが容易に分かる。

さらに、第１の基板案内エレメント５、第２の基板案内エレメント６および第３の基板案内エレメント４を含むアタッチメント部分をそれぞれのフラッディングエレメント２に取外し可能に接続するという目的を達成する、固定エレメント１０が示されている。このようなアタッチメント部分は、フラッディングエレメントが、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルまたはポリエチレンなどのポリマ材料から製造されている場合に、フラッディング装置の全体的な剛性を高める補強材として使用することもできる。このような場合、アタッチメント部分は、ステンレス鋼、チタンまたはニッケル合金などの金属または合金から形成される。プラスチック製のフラッディングエレメント２と、金属製のアタッチメント部分とのこのような組合せは、典型的には、水平方向プロセスラインのすすぎモジュールにおいて有利である。

より分かりやすく示すために、それぞれのフラッディング装置の両側８，９における、車軸の形式の搬送エレメント３のそれぞれの上側の列は示されていない。

図３は、図１に示された本発明の第１の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を有する、本発明の処理モジュールの別の概略的な側方から見た斜視図を示している。図３は、ここでは全ての搬送エレメント３が示されているという点以外は、基本的に図２と同じである。

図４は、図１に示された本発明の第１の実施の形態による、個々の本発明のフラッディング装置の概略的な上方から見た斜視図である。

図４および図５は両方とも、第１の基板案内エレメント５、第２の基板案内エレメント６および第３の基板案内エレメント４を含む１つのアタッチメント部分をそれぞれ示すという目的を果たしている。図４では、それぞれのフラッディングエレメント２がまだ含まれているのに対し、図５では、フラッディングエレメント２は、図示のために排除されている。

第２の実施の形態は、以下の図６〜図８に示されている。

図６は、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの本発明による処理モジュール１’の概略的な側面図を示しており、処理モジュール１’は、本発明の第２の実施の形態による、一対の対向して配置されたこのような本発明のフラッディング装置を有する。

ここでは、２つの図示された各フラッディング装置は、フラッディングエレメント２’および第１の基板案内エレメント５’を備え、フラッディングエレメント２’は第１の基板案内エレメント５’に機械的に接続されており、第１の基板案内エレメント５’は空間的にフラッディングエレメント２’の進入側８’に配置されている。

それぞれの示されたフラッディング装置は、第２の基板案内エレメント６’をさらに備え、フラッディングエレメント２’は第２の基板案内エレメント６’に機械的に接続されており、第２の基板案内エレメント６’は空間的にフラッディングエレメント２’の出口側９’に配置されている。

さらに、第１の基板案内エレメント５’および第２の基板案内エレメント６’は、それぞれ複数の突出部を有し、第１の基板案内エレメント５’の突出部は、処理される基板の搬送方向とは逆にフラッディングエレメント２’から軸方向に延びている。第２の基板案内エレメント６’の突出部は、処理される基板の搬送方向にフラッディングエレメント２’から軸方向に延びている。

処理モジュール１’全体をさらに説明するために、処理モジュール１’の進入側８’および出口側９’における、一対の対向して配置された搬送エレメント３’も示されている。以下の図７から容易に分かるように、第２の好適な実施の形態の搬送エレメント３’は車軸である。

図１〜図５に示された第１の実施の形態とは対照的に、交換することができるまたは補強材として使用することができるアタッチメント部分は設けられていない。つまり、この第２の実施の形態は、処理モジュール１’がそれぞれの処理モジュール１’内でより高い温度の適用を必要とする場合または処理モジュール１’が過マンガン酸塩などのアグレッシブな化学物質もしくは酸化化学物質の適用を必要とする場合に、好適には使用される。これらの場合、一方ではフラッディング装置の材料の優れた化学的耐性を提供し、他方では材料ゆがみを回避するための十分な機械的剛性を提供するために、フラッディング装置全体が金属、好適にはステンレス鋼から形成されている。このようなゆがみは、典型的には、プラスチック材料から形成されたフラッディング装置がより高いプロセス液体温度において使用されると生じる。

図７は、図６に示された本発明の第２の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を有する、本発明の処理モジュール１’の概略的な側方から見た斜視図を示している。

この場合、第１の基板案内エレメント５’の全ての突出部および第２の基板案内エレメント６’の全ての突出部は、フラッディングエレメント２’のそれぞれの側において機械的な接続エレメント１１’によって機械的に接続されている。

図８は、図６に示された本発明の第２の実施の形態による、個々の本発明のフラッディング装置の概略的な上方から見た斜視図である。

より分かりやすく示すために、それぞれのフラッディング装置の両側８’，９’における、車軸の形式の搬送エレメント３’のそれぞれの上側の列は示されていない。

第３の実施の形態は、以下の図９〜図１１に示されている。

図９は、処理される基板への金属、特に銅の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインの本発明による処理モジュール１’’の概略的な側面図を示しており、処理モジュール１’’は、本発明の第３の実施の形態による、一対の対向して配置されたこのような本発明のフラッディング装置を有する。

ここでは、２つの図示された各フラッディング装置は、フラッディングエレメント２’’および第１の基板案内エレメント５’’を備え、フラッディングエレメント２’’は第１の基板案内エレメント５’’に機械的に接続されており、第１の基板案内エレメント５’’は空間的にフラッディングエレメント２’’の進入側８’’に配置されている。

それぞれの示されたフラッディング装置は、第２の基板案内エレメント６’’をさらに備え、フラッディング装置２’’は第２の基板案内エレメント６’’に機械的に接続されており、第２の基板案内エレメント６’’は空間的にフラッディングエレメント２’’の出口側９’’に配置されている。

さらに、第１の基板案内エレメント５’’および第２の基板案内エレメント６’’は、それぞれ複数の突出部を有し、第１の基板案内エレメント５’’の突出部は、処理される基板の搬送方向とは逆にフラッディングエレメント２’’から軸方向に延びている。第２の基板案内エレメント６’’の突出部は、処理される基板の搬送方向でフラッディングエレメント２’’から軸方向に延びている。

ここでは、フラッディングエレメント２’’は、処理される基板の搬送経路に向けられたフラッディングエレメント２’’の表面に第１の段部７ａ’および第２の段部７ｂ’を有し、プロセス液体はフラッディングエレメント２’’の表面から流出する。

処理モジュール１’’全体をさらに説明するために、処理モジュール１’’の進入側８’’および出口側９’’に一対の対向して配置された搬送エレメント３’’も示されている。以下の図１０から容易に分かるように、第１の好適な実施の形態の搬送エレメント３’’はローラであり、各ローラは複数の凹部１３を有する。凹部は、（凹部と、凹部を備えるローラと、対応する突出部とが、処理される基板の搬送レベルよりも上方または下方に配置されているかに応じて）上方または下方へ流れることができるプロセス液体の量を最小限にするために、対応する突出部に関連するという目的を果たす。

この場合、フラッディング装置は、フラッディングエレメント２’’がプラスチックから形成されている場合、剛性を高めるために必要となり得る、フラッディングエレメント２’’のための補強エレメント１２を提供する。ダムローラ１４もまた、例示目的のために示されている。

図１０は、図９に示された本発明の第３の実施の形態による、一対の対向して配置された本発明のフラッディング装置を有する、本発明の処理モジュールの概略的な側方から見た斜視図を示している。

この場合、第１の基板案内エレメント５’’および第２の基板案内エレメント６’’の複数の突出部の各突出部は、フラッディングエレメント２’’に直接に接続されており、隣接する突出部から独立して機能する、ということが図１０から分かる。

図１１は、図９に示された本発明の第３の実施の形態による個々の本発明のフラッディング装置の概略的な上方から見た斜視図である。

本発明の原理が特定の実施の形態に関連して説明されており、例示の目的で提供されているが、その様々な変更が、本明細書を読んだ当業者には明らかになることが理解されるべきである。したがって、本明細書に開示された発明は、添付の請求項の範囲に該当するこのような変更をも網羅することが意図されていることが理解されるべきである。発明の範囲は、添付の請求項の範囲によってのみ限定される。

１，１’，１’’ 処理モジュール
２，２’，２’’ フラッディングエレメント
３，３’，３’’ 搬送エレメント
４ 第３の基板案内エレメント
５，５’，５’’ 第１の基板案内エレメント
６，６’，６’’ 第２の基板案内エレメント
７ａ，７ａ’ フラッディングエレメントの第１の段部
７ｂ，７ｂ’ フラッディングエレメントの第２の段部
８，８’，８’’ フラッディングエレメントの進入側
９，９’，９’’ フラッディングエレメントの出口側
１０ 固定エレメント
１１，１１’ 機械的な接続エレメント
１２ 補強エレメント
１３ 凹部
１４ ダムローラ

Claims (10)

1. 処理される基板への金属の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインのためのフラッディング装置であって、
   少なくとも１つのフラッディングエレメント（２，２’，２’’）と、少なくとも１つの第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）とを備え、前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）は前記少なくとも１つの第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）に機械的に接続されており、該第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）は空間的に前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）の進入側（８，８’，８’’）に配置されており、
   前記フラッディング装置は、少なくとも１つの第２の基板案内エレメント（６，６’，６’’）をさらに備え、前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）は前記少なくとも１つの第２の基板案内エレメント（６，６’，６’’）に機械的に接続されており、該第２の基板案内エレメント（６，６’，６’’）は空間的に前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）の出口側（９，９’，９’’）に配置されており、
   前記第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）および前記第２の基板案内エレメント（６，６’，６’’）は、それぞれ複数の突出部を有し、前記第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）の前記突出部は、前記処理される基板の搬送方向とは逆に前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）から軸方向に延びており、前記第２の基板案内エレメント（６，６’，６’’）の前記突出部は、前記処理される基板の前記搬送方向に前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）から軸方向に延びていることを特徴とする、フラッディング装置。
2. 前記第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）の前記複数の突出部は、前記処理される基板の前記搬送方向での前記第２の基板案内エレメント（６，６’，６’’）の前記複数の突出部よりも、前記処理される基板の前記搬送方向とは逆により長い軸方向寸法を有することを特徴とする、請求項１記載のフラッディング装置。
3. 前記第１の基板案内エレメント（５，５’）および／または前記第２の基板案内エレメント（６，６’）はそれぞれ、少なくとも１つの機械的な接続エレメント（１１，１１’）によって機械的に接続された少なくとも２つの隣接する突出部の少なくとも１つのセクションを有することを特徴とする、請求項１または２記載のフラッディング装置。
4. 前記第１の基板案内エレメント（５，５’）の全ての突出部および／または前記第２の基板案内エレメント（６，６’）の全ての突出部は、前記フラッディングエレメント（２，２’）のそれぞれの側における少なくとも１つの機械的な接続エレメント（１１，１１’）によって機械的に接続されていることを特徴とする、請求項１または２記載のフラッディング装置。
5. 前記フラッディングエレメント（２）は、前記フラッディングエレメント（２）の前記進入側（８）の前記第１の基板案内エレメント（５）を前記フラッディングエレメント（２）の前記出口側（９）の前記第２の基板案内エレメント（６）と接続する、少なくとも１つの第３の基板案内エレメント（４）をさらに備え、前記第１の基板案内エレメント（５）、前記第２の基板案内エレメント（６）および前記第３の基板案内エレメント（４）は、一体部品として前記フラッディングエレメント（２）に機械的に接続されるアタッチメント部分を形成していることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項記載のフラッディング装置。
6. 前記フラッディングエレメント（２，２’’）は、前記処理される基板の搬送経路に向けられた前記フラッディングエレメント（２，２’’）の表面に少なくとも１つの第１の段部（７ａ，７ａ’）および第２の段部（７ｂ，７ｂ’）を有し、プロセス液体が前記フラッディングエレメント（２，２’）の前記表面から流出することを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載のフラッディング装置。
7. 処理される基板への金属の付着のための水平方向のガルバニックまたは湿式化学プロセスラインのための処理モジュール（１，１’，１’’）であって、
   請求項１から６までのいずれか１項記載の、少なくとも一対の対向して配置されたフラッディング装置を備え、各フラッディング装置は、少なくとも１つのフラッディングエレメント（２，２’，２’’）と、少なくとも１つの第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）とを有し、前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）は前記少なくとも１つの第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）に機械的に接続されており、該第１の基板案内エレメント（５，５’，５’’）は空間的に前記フラッディングエレメント（２，２’，２’’）の進入側（８，８’，８’’）に配置されていることを特徴とする、処理モジュール（１，１’，１’’）。
8. 前記各フラッディングエレメント（２，２’’）は、前記処理される基板の搬送経路に向けられた前記フラッディングエレメント（２，２’’）の表面に少なくとも１つの第１の段部（７ａ，７ａ’）および第２の段部（７ｂ，７ｂ’）を有し、プロセス液体が前記フラッディングエレメント（２，２’）の前記表面から流出することを特徴とする、請求項７記載の処理モジュール（１，１’）。
9. 前記各フラッディング装置は、少なくとも１つの第２の基板案内エレメント（６）をさらに備え、前記フラッディングエレメント（２）は前記少なくとも１つの第２の基板案内エレメント（６）に機械的に接続されており、該第２の基板案内エレメント（６）は空間的に前記フラッディングエレメント（２）の出口側（９）に配置されており、前記各フラッディングエレメント（２）は、前記フラッディングエレメント（２）の前記進入側（８）の前記第１の基板案内エレメント（５）を前記フラッディングエレメント（２）の前記出口側（９）の前記第２の基板案内エレメント（６）と接続する、少なくとも１つの第３の基板案内エレメント（４）をさらに備え、前記第１の基板案内エレメント（５）、前記第２の基板案内エレメント（６）および前記第３の基板案内エレメント（４）は、一体部品として前記フラッディングエレメント（２）に機械的に接続されるアタッチメント部分を形成していることを特徴とする、請求項７または８記載の処理モジュール（１）。
10. 前記第１の基板案内エレメント（５，５’）および前記第２の基板案内エレメント（６，６’）は、それぞれ複数の突出部を有し、前記第１の基板案内エレメント（５，５’）の前記突出部は、前記処理される基板の搬送方向とは逆に前記各フラッディングエレメント（２，２’）から軸方向に延びており、前記第２の基板案内エレメント（６，６’）の前記突出部は、前記処理される基板の前記搬送方向に前記各フラッディングエレメント（２，２’）から軸方向に延びており、前記第１の基板案内エレメント（５，５’）の全ての前記突出部および／または前記第２の基板案内エレメント（６，６’）の全ての前記突出部は、前記フラッディングエレメント（２，２’）のそれぞれの側において少なくとも１つの機械的な接続エレメント（１１，１１’）によって機械的に接続されている、請求項７から９までのいずれか１項記載の処理モジュール（１，１’）。

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