JP6730168B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
この成膜装置によれば、メンテナンスのために、チャンバーに対してカバーを開くと共にカバーの重なりを解除すると、各電極の隣りに空きスペースが存在する。この空きスペースが用いられることによって各電極のメンテナンス作業が容易となる。
また、この成膜装置において、チャンバー側のカバーは、前記開口を広く閉じるための大きさが必要であるが、このカバーに重なる別のカバーは、前記貫通孔を塞ぐ程度の大きさであれば充分である。そこで、前記チャンバー側の前記カバーよりも前記別のカバーの方が小さい構成とすることができ、これにより、成膜装置が不要に大きくなるのを防ぐことができる。
電極25は、チャンバー10内において所定の配設方向に沿って並んで設けられている。本実施形態では、図1に示すように、基板Wをガイドするメインロール63の中心線と一致する仮想線Lを中心とする周方向に沿って、4つの電極25が並んで設けられている。つまり、前記所定の配設方向は、水平な前後方向の前記仮想線Lを中心とする周方向である。また、本実施形態の場合、4つの電極25は等間隔となって、しかも相互が接近した状態で配置されている。そして、これら4つの電極25は、2つのカバー51,52に別れて取り付けられている(図4参照)。図4は、チャンバー10に対して第一カバー51が離れた状態にあり、この第一カバー51に対して第二カバー52が離れた状態にある説明図である。図4に示す状態(分解状態)で、成膜装置7のメンテナンスが作業者によって行われる。
これに対して、前記各形態の成膜装置7によれば、例えば図4に示すように、メンテナンスのために、チャンバー10に対してカバー51,52を開くと共にカバー51,52の重なりを解除すると、各電極25の隣りに空きスペースKが必ず存在する。この結果、各空きスペースKが用いられることにより、各電極25へのアクセス(つまり、作業者の接近)が容易となり、メンテナンス作業が行い易い。
12:フランジ 25:電極 25a:第一電極
25b:第二電極 25c:第三電極 25d:第四電極
25e:第五電極 25f:第六電極 25g:第七電極
25h:第八電極 51:第一カバー 52:第二カバー
53b,53c,53d,53f,53g,53h:貫通孔
Claims (6)
- 基材を収容可能であり一方に向かって開口するチャンバーと、
前記チャンバー内において所定の配設方向に沿って並んで設けられている4つ以上の電極と、
前記電極の数よりも少ない数について設けられ相互が重なった状態で前記開口を覆うことができる複数のカバーと、
を備え、
前記4つ以上の電極は、前記複数のカバーに別れて取り付けられており、当該カバーそれぞれにおいて、前記配設方向に沿って連続して並んで取り付けられている前記電極の数の最大値は2である、成膜装置。 - 前記カバーの数は2つである、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記チャンバー側の前記カバーには、当該カバーに重なる別の前記カバーに取り付けられている前記電極を挿通させる貫通孔が形成されている、請求項1又は2に記載の成膜装置。
- 前記チャンバー側の前記カバーよりも前記別のカバーの方が小さい、請求項3に記載の成膜装置。
- 相互で重なる前記カバーのうち、一方の前記カバーに取り付けられている前記電極それぞれの前記配設方向の少なくとも一方側には、他方の前記カバーに取り付けられている前記電極が存在し得るスペースが存在する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 相互で重なる前記カバーのうち、一方の前記カバーに不連続で取り付けられている2つの前記電極の間には、他方の前記カバーに連続して並んで取り付けられている2つの前記電極が存在し得るスペースが存在する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の成膜装置。
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JP2016220213A JP6730168B2 (ja) | 2016-11-11 | 2016-11-11 | 成膜装置 |
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JP2016220213A JP6730168B2 (ja) | 2016-11-11 | 2016-11-11 | 成膜装置 |
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JP2018076569A JP2018076569A (ja) | 2018-05-17 |
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