JP6723788B2 - Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board - Google Patents

Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, a dry film, a cured product and a printed wiring board.

近年の半導体部品の急速な進歩により、電子機器は小型軽量化、高性能化、多機能化される傾向にある。この傾向に追従して、プリント配線板においても、高密度化、部品の表面実装化が進みつつある。高密度プリント配線板の製造においては一般にソルダーレジスト等の形成に感光性組成物が採用されており、ドライフィルム型の組成物や液状の組成物が開発されている。これらの中でも、環境問題への配慮から、現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型の感光性組成物が主流になっており、従来、幾つかの組成系が提案されている。例えば、特許文献1には、特定の活性エネルギー線硬化性樹脂、光重合開始剤および希釈剤を含んでなる感光性組成物が記載されている。また、特許文献2には、アルカリ可溶性樹脂、熱反応性化合物および光塩基発生剤を含み、選択的な光照射で前記アルカリ可溶性樹脂と前記熱反応性化合物が付加反応することにより、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となる樹脂組成物が記載されている。 Due to the rapid progress of semiconductor parts in recent years, electronic devices tend to be smaller and lighter, have higher performance, and have more functions. Following this trend, the density of printed wiring boards and the surface mounting of components are also increasing. In the production of high-density printed wiring boards, a photosensitive composition is generally used for forming a solder resist or the like, and dry film type compositions and liquid compositions have been developed. Among these, an alkali developing type photosensitive composition using a dilute alkaline aqueous solution as a developing solution has become mainstream from the viewpoint of environmental problems, and several composition systems have been proposed in the past. For example, Patent Document 1 describes a photosensitive composition containing a specific active energy ray-curable resin, a photopolymerization initiator and a diluent. Further, Patent Document 2 includes an alkali-soluble resin, a heat-reactive compound and a photobase generator, and the alkali-soluble resin and the heat-reactive compound are subjected to an addition reaction by selective light irradiation, whereby alkali development is performed. A resin composition capable of forming a negative pattern is described.

近年、プリント配線板の中でもICパッケージは、スマートフォン、タブレットPCの台頭により、ますます軽薄短小化が加速している。 In recent years, IC packages, even among printed wiring boards, are becoming lighter, thinner and smaller due to the rise of smartphones and tablet PCs.

特開昭61−243869号公報(特許請求の範囲)Japanese Patent Laid-Open No. 61-243869 (claims) WO2013/172435A1(特許請求の範囲)WO2013/172435A1 (Claims)

ICパッケージの軽薄短小化に伴い、ICパッケージのソルダーレジストに用いる感光性組成物には、ライン間のスペースや開口径を狭くする必要があるため、より優れた解像性が求められている。 As the IC package becomes lighter, thinner, shorter, and smaller, a photosensitive composition used for a solder resist of the IC package needs to have a narrower space between lines and an opening diameter, and therefore, more excellent resolution is required.

そこで本発明の目的は、解像性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板を提供することにある。 Then, the objective of this invention is providing the curable resin composition which can obtain the hardened|cured material excellent in resolution, a dry film, hardened|cured material, and a printed wiring board.

本発明者らは上記課題を解決すべく、例えば特許文献1に記載の感光性組成物のように、光重合を利用する感光性組成物を用いて検討したが、未露光部における光反応の進行、すなわちハレーションが生じ易く、解像性の向上に限界があった。 In order to solve the above problems, the present inventors have studied using a photosensitive composition that utilizes photopolymerization, such as the photosensitive composition described in Patent Document 1, but it has been found that Progression, that is, halation is likely to occur, and there is a limit to improvement of resolution.

また、特許文献2に記載の樹脂組成物の場合、エチレン性不飽和基を有する有機化合物が必要ではないため、信頼性(PCT耐性)が向上し、また、ハレーションが生じにくいが、現像後に樹脂が微妙に流れてしまいパターンの崩れが起きることが分かった(これをレジンフローと言う)。この現象は、特に加熱処理した際に顕著に生じてしまう。そして、パターンが微細になった場合、その崩れによりライン間や開口の大きさが設計値から大きくずれてしまうため、解像性の向上を妨げるものであった。 In addition, in the case of the resin composition described in Patent Document 2, since an organic compound having an ethylenically unsaturated group is not required, reliability (PCT resistance) is improved, and halation is unlikely to occur, but the resin composition does not develop after development. It was found that the pattern flowed slightly and the pattern collapsed (this is called resin flow). This phenomenon remarkably occurs especially when heat treatment is performed. Then, when the pattern becomes fine, the collapse of the pattern causes a large deviation between the lines and the size of the opening from the designed value, which hinders the improvement of the resolution.

本発明者らがさらに検討した結果、エチレン性不飽和基を導入したアルカリ可溶性樹脂と、特定の光重合開始剤と、熱硬化成分と、フィラーとを含有し、実質的にエチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂以外にエチレン性不飽和基を有する有機化合物を含有しない硬化性樹脂組成物とすることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of further studies by the present inventors, an alkali-soluble resin having an ethylenically unsaturated group introduced, a specific photopolymerization initiator, a thermosetting component, and a filler are contained, and the ethylenically unsaturated group is substantially contained. It was found that the above problems can be solved by using a curable resin composition that does not contain an organic compound having an ethylenically unsaturated group in addition to the alkali-soluble resin having the above, and has completed the present invention.

即ち、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)塩基を発生しない少なくとも2種の光重合開始剤、(C)熱硬化成分および(D)フィラーを含有する樹脂組成物であって、実質的に前記(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ現像可溶性以外にエチレン性不飽和基を有する有機化合物を含有しないことを特徴とするものである。 That is, the curable resin composition of the present invention comprises (A) an alkali-soluble resin having an ethylenically unsaturated group, (B) at least two photopolymerization initiators that do not generate a base, (C) a thermosetting component, and ( D) A resin composition containing a filler, which is characterized by containing substantially no (A) an organic compound having an ethylenically unsaturated group other than the above-mentioned (A) soluble in alkali developing having an ethylenically unsaturated group. Is.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(B)塩基を発生しない少なくとも2種の光重合開始剤として、(B1)アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤および(B2)チタノセン系光重合開始剤を含むことが好ましい。 The curable resin composition of the present invention comprises (B1) an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and (B2) a titanocene-based photopolymerization initiator as at least two photopolymerization initiators that do not generate the base (B). It is preferable to include.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(D)フィラーを硬化性樹脂組成物の固形分中30〜90質量%含むことが好ましい。 The curable resin composition of the present invention preferably contains the filler (D) in an amount of 30 to 90 mass% in the solid content of the curable resin composition.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(D)フィラーとして、表面処理フィラーを含むことが好ましい。 The curable resin composition of the present invention preferably contains a surface-treated filler as the (D) filler.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記表面処理フィラーが、エチレン性不飽和基を有するシリカであることが好ましい。 In the curable resin composition of the present invention, the surface treatment filler is preferably silica having an ethylenically unsaturated group.

本発明のドライフィルムは、前記硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。 The dry film of the present invention has a resin layer obtained from the curable resin composition.

本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。 The cured product of the present invention is characterized by being obtained by curing the curable resin composition or the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を有することを特徴とするものである。 The printed wiring board of the present invention is characterized by having the cured product.

本発明によれば、解像性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a curable resin composition, a dry film, a cured product, and a printed wiring board that can provide a cured product having excellent resolution.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂(以下、(A)アルカリ可溶性樹脂と略記する場合がある。)、(B)塩基を発生しない少なくとも2種の光重合開始剤(以下、(B)少なくとも2種の光重合開始剤と略記する場合がある。)、(C)熱硬化成分、および(D)フィラーを含有する硬化性樹脂組成物であって、実質的に(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物を含有しないことを特徴とするものである。本発明の硬化性樹脂組成物は、選択的な光照射でアルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となる。ここで、パターン形成とは、パターン状の硬化物、すなわち、パターン層を形成することを言う。
本発明の硬化性樹脂組成物は、(D)フィラーとして、表面処理フィラー(すなわち、表面処理されたフィラー)を含有することが好ましく、表面処理フィラーはエチレン性不飽和基を有することがより好ましい。ここで、表面処理フィラーがエチレン性不飽和基を有する場合は、本発明の硬化性樹脂組成物が実質的に含有しない(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物には、エチレン性不飽和基を有する表面処理フィラーは含まれないものとする。
The curable resin composition of the present invention comprises (A) an ethylenically unsaturated group-containing alkali-soluble resin (hereinafter sometimes abbreviated as (A) alkali-soluble resin) and (B) at least 2 which does not generate a base. A curable resin composition containing two kinds of photopolymerization initiators (hereinafter sometimes abbreviated as (B) at least two kinds of photopolymerization initiators), (C) a thermosetting component, and (D) a filler. It is characterized in that it does not contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated group other than the alkali-soluble resin having substantially (A) an ethylenically unsaturated double bond. The curable resin composition of the present invention enables negative pattern formation by alkali development by selective light irradiation. Here, the term “pattern formation” means formation of a patterned cured product, that is, a pattern layer.
The curable resin composition of the present invention preferably contains a surface-treated filler (that is, a surface-treated filler) as the (D) filler, and the surface-treated filler more preferably has an ethylenically unsaturated group. .. Here, when the surface treatment filler has an ethylenically unsaturated group, the curable resin composition of the present invention does not substantially contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated group, which is an ethylenically unsaturated group. The surface-treated filler having a group is not included.

本発明の硬化性樹脂組成物においては、詳しいメカニズムは明らかではないが、実質的に(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物を含有しないことによって、ハレーションが生じにくいと考えられる。また、塩基を発生する光重合開始剤を使用すると感度が高すぎて硬化反応が進んでしまうために解像性の向上には限界があったが、塩基を発生しない2種の光重合開始剤を配合することによって解像性が向上できた。 In the curable resin composition of the present invention, the detailed mechanism is not clear, but (E) an ethylenically unsaturated group-containing organic compound other than substantially (A) an ethylenically unsaturated group-containing alkali-soluble resin. It is considered that halation is unlikely to occur by not containing it. Further, when a photopolymerization initiator that generates a base is used, the sensitivity is too high and the curing reaction proceeds, so that there is a limit to the improvement of resolution, but two photopolymerization initiators that do not generate a base. The resolution could be improved by blending.

また、本発明の硬化性樹脂組成物において、さらに(D)フィラーとして表面処理フィラーを用い、また、(D)フィラーの配合量を固形分中30〜90質量%とすることにより、硬化物の弾性率が向上し、CTEが低下する。(D)フィラーの配合量を固形分中50〜90質量%とすることにより、より高弾性かつ低CTEの硬化物を得ることができる。 Further, in the curable resin composition of the present invention, a surface-treated filler is further used as the (D) filler, and the blending amount of the (D) filler is 30 to 90% by mass in the solid content to obtain a cured product. The elastic modulus improves and the CTE decreases. By setting the amount of the filler (D) to be 50 to 90% by mass in the solid content, a cured product with higher elasticity and lower CTE can be obtained.

以下、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。 Hereinafter, each component of the curable resin composition of the present invention will be described.

[(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂]
(A)アルカリ可溶性樹脂は、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基と、エチレン性不飽和基とを含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂であり、好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する感光性樹脂、カルボキシル基含有感光性樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する感光性樹脂、チオール基を2個以上有する感光性樹脂が挙げられる。ここで、「感光性」とは、エチレン性不飽和基を有することを意味する。
(A)アルカリ可溶性樹脂はカルボキシル基を有することがより好ましく、エポキシ樹脂を出発原料とするカルボキシル基含有感光性樹脂、フェノール化合物を出発原料とするカルボキシル基含有感光性樹脂、共重合構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂、ウレタン構造を有する感光性カルボキシル基含有樹脂であることがさらに好ましい。エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリル酸もしくは(メタ)アクリル酸誘導体由来のものが好ましい。
(A)アルカリ可溶性樹脂の具体例としては、以下に(1)〜(10)として列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられるが、それらに限らない。
[(A) Alkali-soluble resin having ethylenically unsaturated group]
The (A) alkali-soluble resin is a resin that contains at least one functional group of a phenolic hydroxyl group, a thiol group and a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group, and is developable in an alkaline solution, and preferably phenol. Examples thereof include a photosensitive resin having two or more functional hydroxyl groups, a carboxyl group-containing photosensitive resin, a photosensitive resin having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a photosensitive resin having two or more thiol groups. Here, "photosensitive" means having an ethylenically unsaturated group.
(A) The alkali-soluble resin more preferably has a carboxyl group, and a carboxyl group-containing photosensitive resin having an epoxy resin as a starting material, a carboxyl group-containing photosensitive resin having a phenol compound as a starting material, and a carboxyl having a copolymer structure The group-containing photosensitive resin and the photosensitive carboxyl group-containing resin having a urethane structure are more preferable. The ethylenically unsaturated group is preferably one derived from (meth)acrylic acid or a (meth)acrylic acid derivative.
Specific examples of the (A) alkali-soluble resin include, but are not limited to, the compounds (both oligomers and polymers) listed as (1) to (10) below.

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂に、グリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる、共重合構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid with an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate and isobutylene A carboxyl group having a copolymer structure, which is obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule, such as glycidyl (meth)acrylate and α-methylglycidyl (meth)acrylate. Contains photosensitive resin. The lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

(2−1)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂に、さらに上記したような分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(2−2)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(2−3)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
ここで、ジイソシアネートとしては、脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等が挙げられる。
カルボキシル基含有ジアルコール化合物としては、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等が挙げられる。
ジオール化合物としては、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等が挙げられる。
分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物などが挙げられる。
(2-1) A carboxyl group-containing urethane resin obtained by a polyaddition reaction of a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound, and further, one epoxy group and one or more (meth ) A carboxyl group-containing photosensitive resin having a urethane structure formed by adding a compound having an acryloyl group.
(2-2) having a urethane structure obtained by reacting a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, a diol compound, and a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule Carboxyl group-containing photosensitive resin.
(2-3) a urethane structure obtained by reacting a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, a diol compound, and a compound having one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule Having a carboxyl group-containing photosensitive resin.
Here, examples of the diisocyanate include aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate, and aromatic diisocyanate.
Examples of the carboxyl group-containing dialcohol compound include dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid.
Examples of the diol compound include polycarbonate-based polyols, polyether-based polyols, polyester-based polyols, polyolefin-based polyols, acrylic-based polyols, bisphenol A-based alkylene oxide adduct diols, compounds having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and the like. To be
Examples of the compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule include hydroxyalkyl (meth)acrylate.
Examples of the compound having one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule include an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate.

(3−1)ジイソシアネートと、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3−2)(3−1)のカルボキシル基含有感光性樹脂に、さらに分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3−3)ジイソシアネートと、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3−4)ジイソシアネートと、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3-1) Carboxyl group-containing urethane structure formed by polyaddition reaction of diisocyanate, (meth)acrylate of bifunctional epoxy resin or partial acid anhydride modified product thereof, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound Photosensitive resin.
(3-2) A carboxyl having a urethane structure obtained by further adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule to the carboxyl group-containing photosensitive resin of (3-2) Group-containing photosensitive resin.
(3-3) Diisocyanate, (meth)acrylate of bifunctional epoxy resin or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound, diol compound, one hydroxyl group and one or more hydroxyl groups in the molecule. A carboxyl group-containing photosensitive resin having a urethane structure, which is obtained by reacting with a compound having a (meth)acryloyl group.
(3-4) Diisocyanate, (meth)acrylate of bifunctional epoxy resin or partial acid anhydride modified product thereof, carboxyl group-containing dialcohol compound, diol compound, one isocyanate group and one or more in the molecule A carboxyl group-containing photosensitive resin having a urethane structure, which is obtained by reacting with the compound having a (meth)acryloyl group.

(4)多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸等の不飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (4) A polyfunctional epoxy resin is reacted with an unsaturated monocarboxylic acid such as (meth)acrylic acid, and the hydroxyl group present in the side chain is dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride. Carboxyl group-containing photosensitive resin with added substances.

(5)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (5) A carboxyl group obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the generated hydroxyl group. Contains photosensitive resin.

(6)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、不飽和モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、無水アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and an unsaturated monoamine. A polybasic acid anhydride such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic anhydride, etc. is reacted with the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with a carboxylic acid. A photosensitive resin containing a carboxyl group obtained by reacting with.

(7)多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂に、さらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group, and further added with glycidyl (meth)acrylate and α-methylglycidyl (meth). ) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in a molecule such as acrylate.

(8)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (8) Reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.

(9)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (9) Obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate and propylene carbonate. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.

(10)前記(4)〜(9)のカルボキシル基含有感光性樹脂に、さらに上記したような分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) A compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule as described above is added to the carboxyl group-containing photosensitive resin of (4) to (9) above. Carboxyl group-containing photosensitive resin.

(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gの範囲が望ましく、より好ましくは40〜150mgKOH/gの範囲である。(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価が20mgKOH/g以上の場合、塗膜の密着性が良好で、光硬化性樹脂組成物とした場合にはアルカリ現像が良好となる。一方、酸価が200mgKOH/g以下の場合、現像液による露光部の溶解を抑制できるため、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離したりすることを抑制して、良好にレジストパターンを描画することができる。 The acid value of the (A) alkali-soluble resin is preferably in the range of 20 to 200 mgKOH/g, more preferably 40 to 150 mgKOH/g. When the acid value of the (A) alkali-soluble resin is 20 mgKOH/g or more, the adhesion of the coating film is good, and when the photocurable resin composition is used, alkali development is good. On the other hand, when the acid value is 200 mgKOH/g or less, the dissolution of the exposed area by the developer can be suppressed, so the line becomes unnecessarily thin, and in some cases, the exposed area and the unexposed area are not distinguished by dissolution in the developer. It is possible to draw a resist pattern satisfactorily by suppressing this.

(A)アルカリ可溶性樹脂としては、(4)〜(10)のカルボキシル基含有感光性樹脂が好ましく、HAST耐性の観点から上記(8)、(9)のカルボキシル基含有感光性樹脂がより好ましい。 As the alkali-soluble resin (A), the carboxyl group-containing photosensitive resins (4) to (10) are preferable, and the carboxyl group-containing photosensitive resins (8) and (9) are more preferable from the viewpoint of HAST resistance.

また、(A)アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、1,500〜50,000、さらには1,500〜30,000の範囲が好ましい。重量平均分子量が1,500以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時の膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が50,000以下の場合、現像性が良好で、貯蔵安定性にも優れる。
(A)アルカリ可溶性樹脂の二重結合等量は、例えば、500〜3,500eq./gであり、解像性の観点から700〜3,000eq./gであることが好ましい。
The weight average molecular weight of the (A) alkali-soluble resin varies depending on the resin skeleton, but is preferably in the range of 1,500 to 50,000, more preferably 1,500 to 30,000. When the weight average molecular weight is 1,500 or more, tack-free performance is good, moisture resistance of the coating film after exposure is good, film loss during development can be suppressed, and deterioration of resolution can be suppressed. On the other hand, when the weight average molecular weight is 50,000 or less, the developability is good and the storage stability is also excellent.
The double bond equivalent of the (A) alkali-soluble resin is, for example, 500 to 3,500 eq. /G, which is 700 to 3,000 eq. from the viewpoint of resolution. /G is preferable.

(A)アルカリ可溶性樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、本発明の効果を損なわない範囲で、従来公知のエチレン性不飽和基を有しないアルカリ可溶性樹脂を併用してもよい。(A)アルカリ可溶性樹脂の配合量は、全組成物中に、好ましくは5〜50質量%、より好ましくは10〜50質量%である。5〜50質量%の場合、塗膜強度が良好であり、また、組成物の粘性が適度で塗布性等を向上できる。 As the alkali-soluble resin (A), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. Further, a conventionally known alkali-soluble resin having no ethylenically unsaturated group may be used in combination as long as the effect of the present invention is not impaired. The content of the alkali-soluble resin (A) in the entire composition is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 50% by mass. When the amount is 5 to 50% by mass, the coating film strength is good, and the viscosity of the composition is appropriate, so that the coating property and the like can be improved.

[(B)塩基を発生しない少なくとも2種の光重合開始剤]
(B)少なくとも2種の光重合開始剤は、塩基を発生しなければ特に限定されない。(B)少なくとも2種の光重合開始剤として用いることができる光重合開始剤としては、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE819)等のビスアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルホスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE TPO)等のモノアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン系光重合開始剤;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン系光重合開始剤;ベンゾインアルキルエーテル系光重合開始剤;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のアセトフェノン系光重合開始剤;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン系光重合開始剤;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール系光重合開始剤;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル系光重合開始剤;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン系光重合開始剤;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でも、モノアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、ビスアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤等の(B1)アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤と、(B2)チタノセン系光重合開始剤とを組み合わせて用いることが好ましい。
[(B) At least two photopolymerization initiators that do not generate a base]
The (B) at least two photopolymerization initiators are not particularly limited as long as they do not generate a base. Examples of the photopolymerization initiator (B) that can be used as at least two photopolymerization initiators include, for example, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide and bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-. 2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-4-propylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6 -Dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, Bisacylphosphine oxide-based photopolymerization initiators such as bis-(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide (IRGACURE819 manufactured by BASF Japan Ltd.); 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichloro. Benzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (BASF Japan IRGACURE TPO) manufactured by K.K., etc., monoacylphosphine oxide photopolymerization initiator; 1-hydroxy-cyclohexyl phenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1- Propan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2 Hydroxyacetophenone-based photopolymerization initiators such as -methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoin such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether -Based photopolymerization initiator; benzoin alkyl ether-based photopolymerization initiator; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloro Acetophenone-based photopolymerization initiators such as roacetophenone and 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone; anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, Anthraquinone-based photopolymerization initiators such as 2-aminoanthraquinone; Ketal-based photopolymerization initiators such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethylbenzoate, p-dimethylbenzoic acid Benzoate photopolymerization initiators such as acid ethyl ester; bis(η5-2,4-cyclopentadiene-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl ) Titanium-based photopolymerization initiators such as titanium and bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-pyrr-1-yl)ethyl)phenyl]titanium; phenyl disulfide 2 -Nitrofluorene, butyroin, anisoin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethyl thiuram disulfide and the like can be mentioned. The photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. Among them, (B1) an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator such as a monoacylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and a bisacylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, and (B2) a titanocene-based photopolymerization initiator are used in combination. Preferably.

(B)少なくとも2種の光重合開始剤の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対し、5〜30質量部であることが好ましく、10〜20質量部であることがより好ましい。 The blending amount of (B) at least two photopolymerization initiators is preferably 5 to 30 parts by mass, and more preferably 10 to 20 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin. ..

(B1)アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤と(B2)チタノセン系光重合開始剤との配合比は、質量部基準で10:1〜200:1が好ましい。 The compounding ratio of the (B1) acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and the (B2) titanocene-based photopolymerization initiator is preferably 10:1 to 200:1 on a mass basis.

本発明の組成物においては、上記光重合開始剤と組み合わせて増感剤を用いることが好ましい。増感剤としては、例えば、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系化合物;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物が挙げられる。
増感剤の配合量は特に限定されないが、例えば、増感剤と(B)光重合開始剤との配合比としては、質量部基準で1:2〜1:100である。
In the composition of the present invention, it is preferable to use a sensitizer in combination with the photopolymerization initiator. Examples of the sensitizer include thioxanthone compounds such as thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone. And benzophenone compounds such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, and 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone.
The compounding amount of the sensitizer is not particularly limited, but for example, the compounding ratio of the sensitizer and the photopolymerization initiator (B) is 1:2 to 1:100 on a mass part basis.

[(C)熱硬化成分]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(C)熱硬化成分を含む。熱硬化成分を加えることにより耐熱性が向上することが期待できる。(C)熱硬化成分は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。(C)熱硬化成分としては、公知のものをいずれも用いることができる。例えば、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、エポキシ化合物、オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、ビスマレイミド、カルボジイミド樹脂等の公知の熱硬化成分を使用できる。特に好ましいのは、分子中に複数の環状エーテル基または環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化成分である。
[(C) Thermosetting component]
The curable resin composition of the present invention contains (C) a thermosetting component. It can be expected that the heat resistance is improved by adding the thermosetting component. As the thermosetting component (C), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. As the thermosetting component (C), any known one can be used. For example, known thermosetting components such as melamine resins, benzoguanamine resins, melamine derivatives, amino resins such as benzoguanamine derivatives, isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, cyclocarbonate compounds, epoxy compounds, oxetane compounds, episulfide resins, bismaleimide, carbodiimide resins, etc. Can be used. Particularly preferred is a thermosetting component having a plurality of cyclic ether groups or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio)ether groups) in the molecule.

上記の分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分は、分子中に3、4または5員環の環状(チオ)エーテル基を複数有する化合物であり、例えば、分子内に複数のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子内に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子内に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂等が挙げられる。 The thermosetting component having a plurality of cyclic (thio)ether groups in the molecule is a compound having a plurality of three-, four-, or five-membered cyclic (thio)ether groups in the molecule. A compound having an epoxy group, that is, a polyfunctional epoxy compound, a compound having a plurality of oxetanyl groups in the molecule, that is, a polyfunctional oxetane compound, a compound having a plurality of thioether groups in the molecule, that is, an episulfide resin.

多官能エポキシ化合物としては、エポキシ化植物油;ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ハイドロキノン型エポキシ樹脂;ビスフェノール型エポキシ樹脂;チオエーテル型エポキシ樹脂;ブロム化エポキシ樹脂;ノボラック型エポキシ樹脂;ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂;ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂;ジグリシジルフタレート樹脂;テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;ナフタレン基含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体;CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂またはそれらの混合物が好ましい。 As the polyfunctional epoxy compound, epoxidized vegetable oil; bisphenol A type epoxy resin; hydroquinone type epoxy resin; bisphenol type epoxy resin; thioether type epoxy resin; brominated epoxy resin; novolac type epoxy resin; biphenol novolac type epoxy resin; bisphenol F Type epoxy resin; hydrogenated bisphenol A type epoxy resin; glycidyl amine type epoxy resin; hydantoin type epoxy resin; alicyclic epoxy resin; trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; Bisphenol S type epoxy resin; Bisphenol A novolac type epoxy resin; Tetraphenylolethane type epoxy resin; Heterocyclic epoxy resin; Diglycidyl phthalate resin; Tetraglycidyl xylenoyl ethane resin; Naphthalene group-containing epoxy resin; Dicyclopentadiene skeleton Examples of the epoxy resin include a glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, a cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin, an epoxy-modified polybutadiene rubber derivative, a CTBN-modified epoxy resin, and the like, but are not limited thereto. .. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. Among these, novolac type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, biphenol novolac type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin or a mixture thereof is particularly preferable.

多官能オキセタン化合物としては、例えば、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂とのエーテル化物等が挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体等も挙げられる。 Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis[(3-methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, 1,4-bis[(3- Methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, 1,4-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl acrylate, (3-ethyl-3-) Oxetanyl)methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, polyfunctional oxetanes such as oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin , Poly(p-hydroxystyrene), cardo type bisphenols, calixarenes, calixresorcinarenes, etherified products with resins having a hydroxyl group such as silsesquioxane, and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth)acrylate may be used.

分子中に複数の環状チオエーテル基を有する化合物としては、ビスフェノールA型エピスルフィド樹脂等が挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分の配合量は、環状(チオ)エーテル基が(A)アルカリ可溶性樹脂のカルボキシル基やフェノール性水酸基等のアルカリ可溶性基1当量に対して、0.6〜2.5当量であることが好ましく、より好ましくは、0.8〜2.0当量である。 Examples of the compound having a plurality of cyclic thioether groups in the molecule include bisphenol A type episulfide resin. Further, an episulfide resin in which an oxygen atom of an epoxy group of a novolac type epoxy resin is replaced with a sulfur atom by using the same synthetic method can be used. The amount of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio)ether groups in the molecule is such that the cyclic (thio)ether group is an alkali-soluble group 1 such as a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group of the (A) alkali-soluble resin. It is preferably 0.6 to 2.5 equivalents, and more preferably 0.8 to 2.0 equivalents, relative to the equivalents.

メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂としては、メチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物等が挙げられる。 Examples of amino resins such as melamine derivatives and benzoguanamine derivatives include methylolmelamine compounds, methylolbenzoguanamine compounds, methylolglycoluril compounds and methylolurea compounds.

イソシアネート化合物として、ポリイソシアネート化合物を配合することができる。ポリイソシアネート化合物としては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネートおよび2,4−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート;テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)およびイソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート;ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート;並びに先に挙げたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体等が挙げられる。 As the isocyanate compound, a polyisocyanate compound can be blended. Examples of the polyisocyanate compound include 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate and Aromatic polyisocyanates such as 2,4-tolylene dimer; aliphatic polyisocyanates such as tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis(cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate; bicyclo Examples thereof include alicyclic polyisocyanates such as heptane triisocyanate; and adducts, burettes and isocyanurates of the above-mentioned isocyanate compounds.

ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物が用いることができる。イソシアネートブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、例えば、上述のポリイソシアネート化合物等が挙げられる。イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール系ブロック剤;ラクタム系ブロック剤;活性メチレン系ブロック剤;アルコール系ブロック剤;オキシム系ブロック剤;メルカプタン系ブロック剤;酸アミド系ブロック剤;イミド系ブロック剤;アミン系ブロック剤;イミダゾール系ブロック剤;イミン系ブロック剤等が挙げられる。 As the blocked isocyanate compound, an addition reaction product of an isocyanate compound and an isocyanate blocking agent can be used. Examples of the isocyanate compound capable of reacting with the isocyanate blocking agent include the above-mentioned polyisocyanate compound and the like. As the isocyanate blocking agent, for example, phenol blocking agent; lactam blocking agent; active methylene blocking agent; alcohol blocking agent; oxime blocking agent; mercaptan blocking agent; acid amide blocking agent; imide blocking agent; Amine blocking agents; imidazole blocking agents; imine blocking agents and the like.

(C)熱硬化成分の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、1〜100質量部が好ましい。より好ましくは、2〜70質量部である。 The blending amount of the (C) thermosetting component is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin. More preferably, it is 2 to 70 parts by mass.

[(D)フィラー]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(D)フィラーを含む。(D)フィラーを配合することによって、硬化物の弾性率が向上し、CTEを低下させることができる。(D)フィラーは、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。(D)フィラーは有機フィラーでも無機フィラーでもよいが、無機フィラーが好ましい。また、(D)フィラーは、表面処理されたフィラー(表面処理フィラー)であることが好ましく、解像性を損なわずにより高弾性かつ低CTEの硬化物を得ることができる。
ここで、(D)フィラーの表面処理とは、(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂、または(C)熱硬化成分との相溶性を向上させるための処理のことを言う。(D)フィラーの表面処理は特に限定されるものではなく、フィラーの表面に硬化性反応基を導入可能な表面処理が好ましい。
[(D) Filler]
The curable resin composition of the present invention contains (D) a filler. By blending the (D) filler, the elastic modulus of the cured product can be improved and the CTE can be lowered. The filler (D) may be used alone or in combination of two or more. The filler (D) may be an organic filler or an inorganic filler, but an inorganic filler is preferable. Further, the (D) filler is preferably a surface-treated filler (surface-treated filler), and a cured product having high elasticity and low CTE can be obtained without impairing the resolution.
Here, the surface treatment of the (D) filler means a treatment for improving the compatibility with the (A) ethylenically unsaturated group-containing alkali-soluble resin or (C) thermosetting component. The surface treatment of the (D) filler is not particularly limited, and a surface treatment capable of introducing a curable reactive group onto the surface of the filler is preferable.

無機フィラーとしては、例えば、シリカ、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、ノイブルグ珪土、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられる。中でもシリカが好ましく、硬化性樹脂組成物の硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させる。シリカとしては、溶融シリカ、球状シリカ、無定形シリカ、結晶性シリカなどが挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, barium sulfate, barium titanate, Neuburg silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, titanium oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride and the like. Among them, silica is preferable, and it suppresses the curing shrinkage of the cured product of the curable resin composition and improves the properties such as adhesion and hardness. Examples of silica include fused silica, spherical silica, amorphous silica, and crystalline silica.

前記表面処理フィラーは、カップリング剤で表面処理されたフィラーであることが好ましい。
カップリング剤としては、シラン系、チタネート系、アルミネート系およびジルコアルミネート系等のカップリング剤が使用できる。中でもシラン系カップリング剤が好ましい。かかるシラン系カップリング剤の例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、N−(2−アミノメチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アニリノプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができ、これらは単独で、あるいは併用して使用することができる。これらのシラン系カップリング剤は、予めフィラーの表面に吸着あるいは反応により固定化されていることが好ましい。なお、本発明において、フィラーに施されたカップリング剤は、(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物には含まれないものとする。
The surface-treated filler is preferably a filler surface-treated with a coupling agent.
As the coupling agent, silane-based, titanate-based, aluminate-based and zircoaluminate-based coupling agents can be used. Of these, silane coupling agents are preferred. Examples of such silane coupling agents include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, N-(2-aminomethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-(2-aminoethyl)-3-amino. Propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-anilinopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2-(3,4-epoxy) Examples thereof include cyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane. These can be used alone or in combination. These silane coupling agents are preferably immobilized on the surface of the filler in advance by adsorption or reaction. In the present invention, the coupling agent applied to the filler is not included in the organic compound (E) having an ethylenically unsaturated group.

前記表面処理フィラーは、硬化性反応基を有することが好ましい。硬化性反応基は、熱硬化性反応基でも光硬化性反応基でもよい。熱硬化性反応基としては、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。光硬化性反応基としては、ビニル基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基等が挙げられる。中でも、ビニル基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基等のエチレン性不飽和基を有することが好ましく、より解像性に優れた硬化性樹脂組成物を得ることができる。前記表面処理フィラーは、エチレン性不飽和基を有するシリカであることがより好ましい。 The surface-treated filler preferably has a curable reactive group. The curable reactive group may be a thermosetting reactive group or a photocurable reactive group. As the thermosetting reactive group, hydroxyl group, carboxyl group, isocyanate group, amino group, imino group, epoxy group, oxetanyl group, mercapto group, methoxymethyl group, methoxyethyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, oxazoline group, etc. Are listed. Examples of the photocurable reactive group include a vinyl group, a styryl group, a methacryl group, and an acryl group. Above all, it is preferable to have an ethylenically unsaturated group such as a vinyl group, a styryl group, a methacryl group, and an acryl group, and a curable resin composition having more excellent resolution can be obtained. The surface-treated filler is more preferably silica having an ethylenically unsaturated group.

(D)フィラーの平均粒子径は5μm以下であることが好ましい。(D)フィラーの配合量は、上記硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として30〜90質量%が好ましく、より高弾性かつ低CTEの硬化物を得ることができる。より好ましくは50〜90質量%である。 The average particle diameter of the (D) filler is preferably 5 μm or less. The compounding amount of the (D) filler is preferably 30 to 90% by mass based on the total solid content of the curable resin composition, and a cured product having higher elasticity and lower CTE can be obtained. More preferably, it is 50 to 90 mass %.

[(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物を実質的に含有しない。(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物の例としては、光反応性モノマーとして従来の硬化性樹脂組成物に配合されるアクリレート化合物等が挙げられる。
[(E) Organic compound having an ethylenically unsaturated group]
The curable resin composition of the present invention does not substantially contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated group other than (A) an alkali-soluble resin having an ethylenically unsaturated group. Examples of the (E) organic compound having an ethylenically unsaturated group include acrylate compounds and the like that are blended with conventional curable resin compositions as photoreactive monomers.

ここで、「実質的に含有しない」とは、構成成分として積極的に配合されていないことであり、本発明の効果を損なわない範囲で少量含まれることは排除されない。例えば、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、3質量部以下であり、好ましくは1質量部以下であり、(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物を含まないことが最も好ましい。(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物の含有量が少ないほど、解像性に優れる。 Here, “substantially free from” means that it is not positively blended as a constituent, and it is not excluded that it is contained in a small amount within a range that does not impair the effects of the present invention. For example, it is 3 parts by mass or less, preferably 1 part by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin, and it is most preferable that the (E) organic compound having an ethylenically unsaturated group is not contained. .. The lower the content of the organic compound (E) having an ethylenically unsaturated group, the better the resolution.

(着色剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。具体的には、カラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ
ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しない着色剤であることが好ましい。
(Colorant)
The curable resin composition of the present invention may contain a colorant. As the colorant, a commonly known colorant such as red, blue, green, yellow, white and black can be used, and any of pigments, dyes and pigments may be used. Specific examples include color index (C.I.; issued by The Society of Dyers and Colorists) numbers. However, from the viewpoint of reducing the environmental load and affecting the human body, it is preferable to use a halogen-free colorant.

赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などが挙げられる。青色着色剤としては金属置換もしくは無置換のフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物がある。緑色着色剤としては、同様に金属置換もしくは無置換のフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系がある。黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等が挙げられる。白色着色剤としては、ルチル型、アナターゼ型等の酸化チタン等が挙げられる。黒色着色剤としては、チタンブラック系、カーボンブラック系、黒鉛系、酸化鉄系、アンスラキノン系、酸化コバルト系、酸化銅系、マンガン系、酸化アンチモン系、酸化ニッケル系、ペリレン系、アニリン系の顔料、硫化モリブデン、硫化ビスマス等が挙げられる。その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色などの着色剤を加えてもよい。 Examples of the red colorant include monoazo type, diazo type, azo lake type, benzimidazolone type, perylene type, diketopyrrolopyrrole type, condensed azo type, anthraquinone type and quinacridone type. Blue colorants include metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine-based and anthraquinone-based colorants, and pigment-based compounds include compounds classified as pigments. Similarly, the green colorants include metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine-based, anthraquinone-based, and perylene-based. Examples of the yellow colorant include monoazo type, disazo type, condensed azo type, benzimidazolone type, isoindolinone type and anthraquinone type. Examples of the white colorant include rutile type and anatase type titanium oxides. As the black colorant, titanium black-based, carbon black-based, graphite-based, iron oxide-based, anthraquinone-based, cobalt oxide-based, copper oxide-based, manganese-based, antimony oxide-based, nickel oxide-based, perylene-based, aniline-based Pigments, molybdenum sulfide, bismuth sulfide, etc. may be mentioned. In addition, colorants such as purple, orange and brown may be added for the purpose of adjusting the color tone.

着色剤は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。着色剤の配合量は特に限定されないが、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、10質量部以下とすることが好ましい。より好ましくは0.1〜5質量部である。 The colorants may be used alone or in combination of two or more. The blending amount of the colorant is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin. It is more preferably 0.1 to 5 parts by mass.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、(A)アルカリ可溶性樹脂の合成や組成物の調製のため、または基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテート等のエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等である。このような有機溶剤は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
An organic solvent may be used in the curable resin composition of the present invention for the purpose of synthesizing (A) an alkali-soluble resin, preparing a composition, or adjusting the viscosity for applying to a substrate or a carrier film. it can. Examples of the organic solvent include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents and the like. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl. Glycol ethers such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate , Esters such as propylene glycol ethyl ether acetate and propylene glycol butyl ether acetate; alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha , Petroleum-based solvents such as solvent naphtha. Such organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

(その他の任意成分)
本発明の硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、光開始助剤、シアネート化合物、エラストマー、メルカプト化合物、熱硬化触媒、ウレタン化触媒、チキソ化剤、密着促進剤、ブロック共重合体、連鎖移動剤、重合禁止剤、銅害防止剤、酸化防止剤、防錆剤、紫外線吸収剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイト等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤および/またはレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、ホスフィン酸塩、燐酸エステル誘導体、フォスファゼン化合物等のリン化合物等の難燃剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
(Other optional ingredients)
If necessary, the curable resin composition of the present invention further comprises a photoinitiator aid, a cyanate compound, an elastomer, a mercapto compound, a thermosetting catalyst, a urethanization catalyst, a thixotropic agent, an adhesion promoter, and a block copolymer. , Chain transfer agents, polymerization inhibitors, copper damage inhibitors, antioxidants, rust inhibitors, UV absorbers, thickening agents such as finely divided silica, organic bentonite, montmorillonite, silicone-based, fluorine-based, polymer-based, etc. Defoaming agents and/or leveling agents, imidazole-based, thiazole-based, and triazole-based silane coupling agents, phosphinates, phosphoric acid ester derivatives, and flame retardants such as phosphorus compounds such as phosphazene compounds may be added. it can. As these, those known in the field of electronic materials can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ソルダーレジスト、カバーレイ、層間絶縁層等のプリント配線板の永久被膜としてのパターン層を形成するために有用であり、特にソルダーレジストの形成に有用である。また、本発明の硬化性樹脂組成物は、解像性に優れることから、微細なパターンの形成が求められるICパッケージのパターン層の形成にも好適に用いることができる。さらに、本発明の硬化性樹脂組成物から得られる硬化物は、高弾性率で低CTEとなることから、例えば、総厚みが薄く剛性の不足するICパッケージ基板(ICパッケージに用いられるプリント配線板)におけるパターン層の形成に好適に用いることができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The curable resin composition of the present invention is useful for forming a pattern layer as a permanent film of a printed wiring board such as a solder resist, a coverlay, and an interlayer insulating layer, and particularly useful for forming a solder resist. Moreover, since the curable resin composition of the present invention has excellent resolution, it can be suitably used for forming a pattern layer of an IC package which requires formation of a fine pattern. Further, since the cured product obtained from the curable resin composition of the present invention has a high elastic modulus and a low CTE, for example, an IC package substrate (printed wiring board used for an IC package having a small total thickness and insufficient rigidity). It can be preferably used for the formation of the pattern layer in (1).

本発明の硬化性樹脂組成物は、キャリアフィルム(支持体)と、該キャリアフィルム上に形成された上記硬化性樹脂組成物からなる樹脂層とを備えたドライフィルムの形態とすることもできる。ドライフィルム化に際しては、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、1〜150μm、好ましくは10〜60μmの範囲で適宜選択される。 The curable resin composition of the present invention may be in the form of a dry film provided with a carrier film (support) and a resin layer formed on the carrier film, the resin layer comprising the curable resin composition. At the time of forming a dry film, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate value, and a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater, a reverse coater, a transfer roll coater. , A gravure coater, a spray coater or the like to apply a uniform thickness on the carrier film, and usually dried at a temperature of 50 to 130° C. for 1 to 30 minutes to obtain a film. The coating film thickness is not particularly limited, but in general, the film thickness after drying is appropriately selected within the range of 1 to 150 μm, preferably 10 to 60 μm.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。 A plastic film is used as the carrier film, and it is preferable to use a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, or a polystyrene film. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but generally, it is appropriately selected within the range of 10 to 150 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を成膜した後、さらに、膜の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離するときに膜とキャリアフィルムとの接着力よりも膜とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。 After depositing the curable resin composition of the present invention on a carrier film, a peelable cover film may be laminated on the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film. preferable. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used, and the peeling force is more than the adhesive force between the membrane and the carrier film when peeling the cover film. It is sufficient if the adhesive force between the film and the cover film is smaller.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, a resin layer may be formed by applying the curable resin composition of the present invention on the cover film and drying the resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface of the resin layer. That is, as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied when producing the dry film in the present invention, either a carrier film or a cover film may be used.

本発明のプリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。 The printed wiring board of the present invention has a curable resin composition of the present invention or a cured product obtained from a resin layer of a dry film. As the method for producing a printed wiring board of the present invention, for example, the curable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for a coating method using the organic solvent, and a dip coating method on a substrate, After applying by a method such as a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, or a curtain coating method, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (temporary drying) at a temperature of 60 to 100°C. By doing so, a tack-free resin layer is formed. In the case of a dry film, the resin layer is formed on the substrate by sticking the resin layer on the substrate with a laminator or the like so that the resin layer contacts the substrate and then peeling off the carrier film.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 Examples of the base material include a printed wiring board and a flexible printed wiring board on which circuits are previously formed of copper, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/non-woven cloth epoxy, glass cloth/paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin/polyethylene/polyphenylene ether, polyphenylene oxide/cyanate, etc. copper clad laminates for high frequency circuits, etc., all grades (FR-4 etc.) Plates and the like, metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be mentioned.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatile drying performed after applying the curable resin composition of the present invention, hot air circulation type drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven and the like (in the dryer using a heat source of air heating system by steam It is possible to use a method in which hot air is brought into countercurrent contact and a method in which hot air is blown onto the support from a nozzle).

プリント配線板上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像して硬化物のパターンを形成する。さらに、硬化物に活性エネルギー線を照射後加熱硬化(例えば、100〜220℃)、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射、または、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化(本硬化) させることにより、密着性、硬度等の諸特性に優れた硬化膜を形成する。 After a resin layer is formed on the printed wiring board, it is selectively exposed to an active energy ray through a photomask on which a predetermined pattern is formed, and the unexposed portion is diluted with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution). ) To form a cured product pattern. Further, the cured product is irradiated with an active energy ray and then heat-cured (for example, 100 to 220° C.), or after the heat-curing is irradiated with an active energy ray, or only the heat-curing is used for final finish curing (main curing) to bring about adhesion. A cured film having excellent properties such as properties and hardness is formed.

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。 As the exposure machine used for the irradiation of active energy rays, a high-pressure mercury lamp lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, or the like may be mounted, and an apparatus that irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm may be used. Further, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that draws an image directly with a laser using CAD data from a computer) can also be used. A lamp light source or a laser light source for a direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The exposure amount for image formation varies depending on the film thickness and the like, but it can be generally in the range of 10 to 1000 mJ/cm 2 , and preferably 20 to 800 mJ/cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 The developing method may be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like, and as a developing solution, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, Aqueous alkaline solutions such as ammonia and amines can be used.

以下に実施例、参考例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではない。尚、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 The present invention will be specifically described below with reference to Examples , Reference Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. In the following, "parts" and "%" are based on mass unless otherwise specified.

(合成例1:エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂A−1の合成)
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工社製、ショーノールCRG951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を導入し、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cmで16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2mgKOH/g(307.9g/eq.)であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りプロピレンオキシドが平均1.08モル付加したものであった。
得られたノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして、不揮発分65%、固形物の酸価87.7mgKOH/gのカルボキシル基含有感光性樹脂溶液A−1を得た。
(Synthesis Example 1: Synthesis of alkali-soluble resin A-1 having ethylenically unsaturated group)
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introducing device and an alkylene oxide introducing device, and a stirring device, 119.4 parts of a novolac-type cresol resin (Showa Denko KK, Shonor CRG951, OH equivalent: 119.4), potassium hydroxide 1 0.19 parts and toluene 119.4 parts were introduced, the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125 to 132° C. and 0 to 4.8 kg/cm 2 for 16 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with this reaction solution to neutralize potassium hydroxide, and the nonvolatile content was 62.1% and the hydroxyl value was 182.2 mgKOH/g (307. A propylene oxide reaction solution of a novolac type cresol resin having a concentration of 9 g/eq.) was obtained. This was an average of 1.08 mol of propylene oxide added per equivalent of the phenolic hydroxyl group.
The obtained propylene oxide reaction solution of novolac type cresol resin 293.0 parts, acrylic acid 43.2 parts, methanesulfonic acid 11.53 parts, methylhydroquinone 0.18 parts and toluene 252.9 parts were stirred with a stirrer and a temperature. It was introduced into a reactor equipped with a meter and an air blowing tube, air was blown at a rate of 10 ml/min, and the reaction was carried out at 110°C for 12 hours while stirring. The water produced by the reaction was an azeotropic mixture with toluene, and 12.6 parts of water was distilled out. Then, it was cooled to room temperature, the resulting reaction solution was neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. Then, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate with an evaporator to obtain a novolac type acrylate resin solution. Next, 332.5 parts of the resulting novolac type acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was supplied at a rate of 10 ml/min. Was blown in, and 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added while stirring, and the mixture was reacted at 95 to 101° C. for 6 hours, cooled, and taken out. In this way, a carboxyl group-containing photosensitive resin solution A-1 having a nonvolatile content of 65% and a solid acid value of 87.7 mgKOH/g was obtained.

(合成例2:エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂A−2の合成)
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート700gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製、EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6)1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。
次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、更にトリフェニルホスフィン1.6gを追加し、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)562g、テトラヒドロ無水フタル酸684g(4.5モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行った。さらに、得られた反応液にグリシジルメタクリレート142.0g(1.0モル)を仕込み、115℃で4時間反応を行い、カルボキシル基含有感光性樹脂溶液A−2を得た。このようにして得られた感光性樹脂溶液A−2の固形分は65%、固形分の酸価は87mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 2: Synthesis of alkali-soluble resin A-2 having ethylenically unsaturated group)
Orthocresol novolac type epoxy resin (manufactured by DIC, EPICLON N-695, softening point 95° C., epoxy equivalent 214, average functional group number 7.6) 1070 g (glycidyl group number (total aromatic ring number): 5) 0.0 mol), 360 g (5.0 mol) of acrylic acid, and 1.5 g of hydroquinone were charged, and the mixture was heated and stirred at 100° C. to be uniformly dissolved.
Then, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110° C. and reacted for 2 hours, 1.6 g of triphenylphosphine was further added, the temperature was raised to 120° C., and the reaction was further performed for 12 hours. Aromatic hydrocarbon (Solveso 150) 562 g and tetrahydrophthalic anhydride 684 g (4.5 mol) were charged into the obtained reaction liquid, and the reaction was carried out at 110° C. for 4 hours. Further, 142.0 g (1.0 mol) of glycidyl methacrylate was charged into the obtained reaction liquid, and the reaction was carried out at 115° C. for 4 hours to obtain a carboxyl group-containing photosensitive resin solution A-2. The solid content of the photosensitive resin solution A-2 thus obtained was 65%, and the acid value of the solid content was 87 mgKOH/g.

(表面処理されたフィラー(メタクリルシラン処理したシリカ)の調整)
球状シリカ(デンカ社製SFP−30M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、シランカップリング剤として信越化学工業社製KBM−503を2gとを均一分散させて、シリカ溶剤分散品D−1を得た。
(Preparation of surface-treated filler (methacrylsilane-treated silica))
70 g of spherical silica (SFP-30M manufactured by Denka), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as a silane coupling agent are uniformly dispersed, A silica solvent dispersion D-1 was obtained.

(表面処理されたフィラー(アミノシラン処理したシリカ)の調整)
球状シリカ(デンカ社製SFP−30M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、シランカップリング剤として信越化学工業社製KBM−603を2gとを均一分散させて、シリカ溶剤分散品D−2を得た。
(Preparation of surface-treated filler (aminosilane-treated silica))
70 g of spherical silica (SFP-30M manufactured by Denka), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of KBM-603 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as a silane coupling agent are uniformly dispersed, A silica solvent dispersion D-2 was obtained.

(実施例1〜7、9、10、参考例8および比較例1〜3)
下記表1〜3に示す種々の成分と共に表1〜3に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、ビーズミルで混練し、硬化性樹脂組成物を調製した。
(Examples 1 to 7, 9, 10 , Reference Example 8 and Comparative Examples 1 to 3)
With various components shown in the following Table 1-3 were blended at proportions shown in Tables 1 to 3 (parts by weight), were preliminarily mixed using a stirrer and kneaded with bi Zumiru, to prepare a curable resin composition.

Figure 0006723788
*1:上記で合成したエチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂溶液A−1
*2:上記で合成したエチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂溶液A−2
*3:BASFジャパン社製イルガキュアTPO(2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド)
*4:岳陽市金茂泰科技有限公司社製JMT784(チタノセン系光重合開始剤)
*5:BASFジャパン社製イルガキュアOXE02(エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム)
*6:DIC社製エピクロンN−730A(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)
*7:三菱化学社製jER828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)
*8:DIC社製エピクロンN−870(ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂)
*9:日本化薬社製NC−3000L(ビフェニル/フェノールノボラック型エポキシ樹脂)
*10:上記で調整したメタクリルシランで表面処理されたシリカの溶剤分散品D−1
*11:上記で調整したアミノシランで表面処理されたシリカの溶剤分散品D−2
*12:ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
*13:日本化薬社製カヤキュアDETX−S(2,4−ジエチルチオキサントン)
*14:青色顔料および黄色顔料
Figure 0006723788
*1: Alkali-soluble resin solution A-1 having an ethylenically unsaturated group synthesized above
*2: Alkali-soluble resin solution A-2 having an ethylenically unsaturated group synthesized above
*3: Irgacure TPO (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide) manufactured by BASF Japan Ltd.
*4: Yueyang Jinmo Tai Technology Co., Ltd. JMT784 (titanocene-based photopolymerization initiator)
*5: BASF Japan Irgacure OXE02 (ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-1-(o-acetyloxime)
*6: DIC Corporation Epicron N-730A (phenol novolac type epoxy resin)
*7: Mitsubishi Chemical Corporation jER828 (bisphenol A type epoxy resin)
*8: DIC Corporation Epicron N-870 (bisphenol A novolac type epoxy resin)
*9: NC-3000L (biphenyl/phenol novolac type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
*10: Solvent dispersion product D-1 of silica surface-treated with methacrylsilane prepared above
*11: Solvent dispersion product D-2 of silica surface-treated with aminosilane prepared above.
*12: Dipentaerythritol pentaacrylate *13: Nippon Kayaku Co., Ltd. Kayacure DETX-S (2,4-diethylthioxanthone)
*14: Blue pigment and yellow pigment

Figure 0006723788
Figure 0006723788

Figure 0006723788
Figure 0006723788

表1〜3に示す実施例、参考例および比較例の硬化性樹脂組成物について、以下に示す方法にて評価を行った。評価結果を表1〜3に示す The curable resin compositions of Examples , Reference Examples and Comparative Examples shown in Tables 1 to 3 were evaluated by the methods shown below. The evaluation results are shown in Tables 1 to 3.

(ドライフィルムの作製)
実施例1〜7、9、10、参考例8および比較例1〜3の硬化性樹脂組成物をそれぞれアプリケーターを用いて38μmのポリエステルフィルム上に塗布し、80℃で20分乾燥して作製した。
(Production of dry film)
The curable resin compositions of Examples 1 to 7, 9, 10 and Reference Example 8 and Comparative Examples 1 to 3 were applied on a 38 μm polyester film using an applicator, respectively, and dried at 80° C. for 20 minutes to prepare. ..

(最適露光量)
銅厚15μmの回路が形成されている片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。この基板に上記で作製した実施例、参考例および比較例にかかる各ドライフィルムを、樹脂層が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて張り合わせることにより、基板上に樹脂層を形成した。この基板を高圧水銀ショートアークランプ搭載の露光装置を用いてステップタブレット(Kodak No.2)を介して露光し、現像(30℃、0.2MPa、1質量%NaCO水溶液)を60秒で行った際に残存するステップタブレットのパターンが3段の時を最適露光量とした。
(Optimal exposure amount)
A single-sided printed wiring board on which a circuit having a copper thickness of 15 μm was formed was prepared and subjected to pretreatment using CZ8100 manufactured by MEC. Each of the dry films according to the examples , reference examples, and comparative examples prepared above was laminated on this substrate using a vacuum laminator so that the resin layer was in contact with the substrate, thereby forming a resin layer on the substrate. This substrate was exposed through a step tablet (Kodak No. 2) using an exposure device equipped with a high-pressure mercury short arc lamp, and developed (30° C., 0.2 MPa, 1% by mass Na 2 CO 3 aqueous solution) for 60 seconds. When the pattern of the step tablet remaining when the above procedure was carried out was 3 stages, the optimum exposure amount was determined.

(特性試験)
銅厚15μmの回路が形成してある片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。この基板に上記で作製した実施例、参考例および比較例にかかる各ドライフィルムを、樹脂層が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて張り合わせることにより、基板上に層構造の樹脂層を形成した。この基板に、高圧水銀ショートアークランプ灯を搭載した露光装置を用いて上記最適露光量でソルダーレジストパターンを露光した後、キャリアフィルムを剥離し、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液によりスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、パターン状の硬化物を得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、160℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント配線板(評価基板)について以下のように特性を評価した。
(解像性)
上記評価基板のパターン開口形状を観察し評価した。判定基準は以下のとおりである。◎:開口底部径40μmで、底部を確認できる状態。
○:開口底部径60μmで、底部を確認できる状態。
×:開口底部径60μmで、底部を確認できない状態。
(Characteristic test)
A single-sided printed wiring board on which a circuit having a copper thickness of 15 μm was formed was prepared and subjected to pretreatment using CZ8100 manufactured by MEC. Each of the dry films according to the example , the reference example and the comparative example produced above on this substrate, so that the resin layer is in contact with the substrate, by laminating using a vacuum laminator, the resin layer of the layer structure on the substrate Formed. This substrate was exposed to the solder resist pattern with the above-mentioned optimum exposure amount using an exposure device equipped with a high-pressure mercury short arc lamp, and then the carrier film was peeled off. Development was performed for 60 seconds under a condition of 0.2 MPa to obtain a patterned cured product. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 160° C. for 60 minutes to be cured. The characteristics of the obtained printed wiring board (evaluation substrate) were evaluated as follows.
(Resolution)
The pattern opening shape of the evaluation substrate was observed and evaluated. The judgment criteria are as follows. A: The diameter of the bottom of the opening is 40 μm, and the bottom can be confirmed.
○: The bottom diameter is 60 μm, and the bottom can be confirmed.
X: The diameter of the opening bottom is 60 μm, and the bottom cannot be confirmed.

(貯蔵弾性率)
GTS−MP箔(古河サーキットフォイル社製)の光沢面側(銅箔)上にして、上記で作製した実施例、参考例および比較例にかかる各ドライフィルムを、樹脂層が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて張り合わせることにより、銅箔上に樹脂層を形成した。これに、高圧水銀ショートアークランプ灯を搭載した露光装置を用いて上記最適露光量で露光した後、キャリアフィルムを剥離した。これを、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、160℃で60分加熱して硬化した。その後、硬化膜を銅箔より剥離した後、測定サイズ(5mm×50mm、40μmのサイズ)にサンプルを切り出した。サンプルをDMS6100(日立ハイテクサイエンス社製)に供し、周波数を1Hzとして25℃における貯蔵弾性率を測定した。
◎:25℃において貯蔵弾性率が10GPa以上。
○:25℃において貯蔵弾性率が7GPa以上10GPa未満。
×:25℃において貯蔵弾性率が7GPa未満。
(Storage elastic modulus)
GTS-MP foil (manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) was placed on the shiny side (copper foil) of each of the dry films according to the examples , reference examples and comparative examples prepared above so that the resin layer was in contact with the substrate. A resin layer was formed on the copper foil by laminating with a vacuum laminator. An exposure device equipped with a high-pressure mercury short arc lamp was used for this, and the carrier film was peeled off after exposure with the above optimum exposure amount. This was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 160° C. for 60 minutes to be cured. Then, the cured film was peeled off from the copper foil, and then a sample was cut into a measurement size (5 mm×50 mm, 40 μm size). The sample was subjected to DMS6100 (manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.) and the storage elastic modulus at 25° C. was measured at a frequency of 1 Hz.
⊚: Storage elastic modulus at 25° C. is 10 GPa or more.
Good: Storage elastic modulus at 25° C. is 7 GPa or more and less than 10 GPa.
X: Storage elastic modulus at 25° C. is less than 7 GPa.

(CTE)
GTS−MP箔(古河サーキットフォイル社製)の光沢面側(銅箔)上にして、上記で作製した実施例、参考例および比較例にかかる各ドライフィルムを、樹脂層が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて張り合わせることにより、銅箔上に樹脂層を形成した。これに、高圧水銀ショートアークランプ灯を搭載した露光装置を用いて上記最適露光量で露光した後、キャリアフィルムを剥離した。これを、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、160℃で60分加熱して硬化した。その後、硬化膜を銅箔より剥離した後、測定サイズ(5mm×50mmのサイズ)にサンプルを切り出し、セイコーインスツル社製TMA6100に供した。TMA測定は、試験加重5g、サンプルを10℃/分の昇温速度で室温より昇温、連続して2回測定した。2回目における線膨張係数の異なる2接線の交点をガラス転移温度(Tg)とし、Tg以下の領域における線膨張係数(CTE(α1))として評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:Tg温度以下でのCTEが20ppm以下。
○:Tg温度以下でのCTEが50ppm以下。
△:Tg温度以下でのCTEが80ppm以下。
×:Tg温度以下でのCTEが80ppm超。
(CTE)
GTS-MP foil (manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) was placed on the shiny side (copper foil) of each of the dry films according to the examples , reference examples and comparative examples prepared above so that the resin layer was in contact with the substrate. A resin layer was formed on the copper foil by laminating with a vacuum laminator. An exposure device equipped with a high-pressure mercury short arc lamp was used for this, and the carrier film was peeled off after exposure with the above optimum exposure amount. This was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ/cm 2 and then heated at 160° C. for 60 minutes to be cured. After that, the cured film was peeled off from the copper foil, and a sample was cut into a measurement size (5 mm×50 mm size), and the sample was applied to TMA6100 manufactured by Seiko Instruments Inc. In the TMA measurement, the test load was 5 g, and the sample was heated from room temperature at a temperature rising rate of 10° C./min and continuously measured twice. The glass transition temperature (Tg) was defined as the intersection of two tangents having different linear expansion coefficients in the second time, and the coefficient of linear expansion (CTE(α1)) in the region of Tg or less was evaluated. The judgment criteria are as follows.
A: CTE at Tg temperature or lower is 20 ppm or lower.
◯: CTE at Tg temperature or less is 50 ppm or less.
Δ: CTE at Tg temperature or lower is 80 ppm or lower.
X: CTE at Tg temperature or lower exceeds 80 ppm.

上記表中に示す結果から、本発明の実施例1〜7、9、10の硬化性樹脂組成物により、高解像性、高弾性かつ低CTEに優れた硬化物を得ることができることがわかる。
From the results shown in the above table, it can be seen that the curable resin compositions of Examples 1 to 7, 9 and 10 of the present invention can give a cured product excellent in high resolution, high elasticity and low CTE. ..

Claims (6)

(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)塩基を発生しない少なくとも2種の光重合開始剤、(C)熱硬化成分および(D)フィラーを含有
実質的に前記(A)エチレン性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物を含有しない樹脂組成物であって、
前記(B)塩基を発生しない少なくとも2種の光重合開始剤は、(B1)アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤と(B2)チタノセン系光重合開始剤を質量部基準で10:1〜200:1の配合比で含み、
前記(D)フィラーは、硬化性反応基としてエチレン性不飽和基を有するカップリング剤で表面処理された表面処理フィラーを含むことを特徴とする硬化性樹脂組成物(但し、前記(D)フィラーに施されたカップリング剤は(E)エチレン性不飽和基を有する有機化合物には含まれない)
(A) an alkali-soluble resin having an ethylenically unsaturated group, (B) does not generate a base of at least two kinds of the photopolymerization initiator contains (C) a thermosetting component and (D) a filler,
A resin composition which does not substantially contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated group other than the alkali-soluble resin having the above (A) ethylenically unsaturated group ,
The at least two photopolymerization initiators which do not generate the (B) base include (B1) an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator and (B2) a titanocene-based photopolymerization initiator in a weight ratio of 10:1 to 200: Included in the compounding ratio of 1,
The (D) filler contains a surface-treated filler surface-treated with a coupling agent having an ethylenically unsaturated group as a curable reactive group , wherein the curable resin composition (provided that the (D) filler is used. (E) is not included in the organic compound having an ethylenically unsaturated group) .
前記(D)フィラーを硬化性樹脂組成物の固形分中30〜90質量%含む請求項1記載の硬化性樹脂組成物。 Wherein (D) The curable resin composition according to claim 1 Symbol mounting comprises solids in 30-90 wt% of a filler curable resin composition. 前記表面処理フィラーが、硬化性反応基としてエチレン性不飽和基を有するカップリング剤で表面処理されたシリカである請求項1または2記載の硬化性樹脂組成物。 The surface treatment filler, the curable resin composition according to claim 1 or 2, wherein the surface-treated silica with the coupling agent having an ethylenically unsaturated group as the curable reactive group. 請求項1〜のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 Dry film characterized by having a resin layer obtained from the curable resin composition according to any one of claims 1-3. 請求項1〜のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物または請求項記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 Curable resin composition or claim 4 cured product characterized by being obtained by curing the resin layer of the dry film according to according to any one of claims 1-3. 請求項記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。 A printed wiring board comprising the cured product according to claim 5 .
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