JP6639827B2 - Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board - Google Patents

Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Download PDF

Info

Publication number
JP6639827B2
JP6639827B2 JP2015156431A JP2015156431A JP6639827B2 JP 6639827 B2 JP6639827 B2 JP 6639827B2 JP 2015156431 A JP2015156431 A JP 2015156431A JP 2015156431 A JP2015156431 A JP 2015156431A JP 6639827 B2 JP6639827 B2 JP 6639827B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
curable resin
resin
compound
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015156431A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2016038587A (en
Inventor
文崇 加藤
文崇 加藤
信人 伊藤
信人 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd filed Critical Taiyo Ink Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2015156431A priority Critical patent/JP6639827B2/en
Publication of JP2016038587A publication Critical patent/JP2016038587A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6639827B2 publication Critical patent/JP6639827B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a curable resin composition, a dry film, a cured product, and a printed wiring board.

近年の半導体部品の急速な進歩により、電子機器は小型軽量化、高性能化、多機能化される傾向にある。この傾向に追従して、プリント配線板においても、高密度化、部品の表面実装化が進みつつある。高密度プリント配線板の製造においては一般にソルダーレジスト等の形成に感光性組成物が採用されており、ドライフィルム型の組成物や液状の組成物が開発されている。これらの中でも、環境問題への配慮から、現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型の感光性組成物が主流になっており、従来、幾つかの組成系が提案されている。例えば、特許文献1には、特定の活性エネルギー線硬化性樹脂、光重合開始剤および希釈剤を含んでなる感光性組成物が記載されている。また、特許文献2には、アルカリ現像性樹脂、熱反応性化合物および光塩基発生剤を含み、選択的な光照射で前記アルカリ現像性樹脂と前記熱反応性化合物が付加反応することにより、アルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となる樹脂組成物が記載されている。   2. Description of the Related Art With the rapid progress of semiconductor components in recent years, electronic devices tend to be smaller and lighter, have higher performance, and have more functions. Following this trend, printed wiring boards have also been increasing in density and surface mounting of components. In the production of a high-density printed wiring board, a photosensitive composition is generally used for forming a solder resist or the like, and a dry film type composition or a liquid composition has been developed. Among these, alkali-developing photosensitive compositions using a dilute aqueous alkali solution as a developing solution have become mainstream in consideration of environmental problems, and several composition systems have been proposed in the past. For example, Patent Document 1 describes a photosensitive composition containing a specific active energy ray-curable resin, a photopolymerization initiator, and a diluent. Patent Literature 2 further includes an alkali-developable resin, a heat-reactive compound, and a photobase generator, and the alkali-developable resin and the heat-reactive compound are subjected to an addition reaction by selective light irradiation. A resin composition capable of forming a negative pattern by development is described.

近年、プリント配線板の中でもICパッケージは、スマートフォン、タブレットPCの台頭により、ますます軽薄短小化が加速している。   In recent years, among printed wiring boards, IC packages have become increasingly lighter, thinner and shorter due to the rise of smartphones and tablet PCs.

特開昭61−243869号公報(特許請求の範囲)JP-A-61-243869 (Claims) WO2013/172435A1(特許請求の範囲)WO2013 / 172435A1 (Claims)

ICパッケージの軽薄短小化に伴い、ICパッケージのソルダーレジストに用いる感光性組成物には、ライン間のスペースや開口径を狭くする必要があるため、より優れた解像性が求められている。また、硬化後の特性として、耐湿熱性ともいうべきPCT耐性(プレッシャークッカーテスト耐性)の向上も求められている。   As the IC package becomes lighter and thinner, the photosensitive composition used for the solder resist of the IC package needs to have a smaller space between lines and a smaller opening diameter. Therefore, a higher resolution is required. Further, as a property after curing, improvement in PCT resistance (pressure cooker test resistance), which is also referred to as wet heat resistance, is also required.

そこで本発明の目的は、解像性および硬化物のPCT耐性に優れた硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a curable resin composition, a dry film, a cured product, and a printed wiring board which are excellent in resolution and PCT resistance of the cured product.

本発明者らは上記課題を解決すべく、例えば特許文献1に記載の感光性組成物のように、光重合を利用する感光性組成物を用いて検討したが、未露光部における光反応の進行、すなわちハレーションが生じ易く、解像性の向上に限界があった。   The present inventors have studied using a photosensitive composition utilizing photopolymerization, such as the photosensitive composition described in Patent Document 1, for example, in order to solve the above problem. Progress, that is, halation is likely to occur, and there is a limit to improvement in resolution.

また、特許文献2に記載の樹脂組成物の場合、エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物が必要ではないため、PCT耐性が向上し、また、ハレーションが生じにくいが、現像後に樹脂が微妙に流れてしまいパターンの崩れが起きることが分かった(これをレジンフローと言う)。この現象は、特に加熱処理した際に顕著に生じてしまう。そして、パターンが微細になった場合、その崩れによりライン間や開口の大きさが設計値から大きくずれてしまうため、解像性の向上を妨げるものであった。   Further, in the case of the resin composition described in Patent Document 2, since an organic compound having an ethylenically unsaturated double bond is not required, PCT resistance is improved, and halation does not easily occur. And the pattern collapsed (this is called resin flow). This phenomenon occurs remarkably, particularly when heat treatment is performed. When the pattern becomes fine, the collapse between the lines causes the size of the line and the size of the opening to largely deviate from the design value, thereby hindering improvement in resolution.

本発明者らがさらに検討した結果、エチレン性不飽和二重結合を導入したアルカリ現像性樹脂と、特定の光重合開始剤と、熱硬化成分と、シリカとを含有し、実質的にエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外にエチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しない硬化性樹脂組成物とすることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of further investigations by the present inventors, it contains an alkali-developable resin having an ethylenically unsaturated double bond, a specific photopolymerization initiator, a thermosetting component, and silica, and is substantially ethylenic. By finding that the curable resin composition does not contain an organic compound having an ethylenically unsaturated double bond other than the alkali developable resin having an unsaturated double bond, the above problem can be solved, and the present invention is completed. Reached.

即ち、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂、(B)ラジカルおよび塩基を発生する光重合開始剤、(C)熱硬化成分、および(D)シリカを含有する硬化性樹脂組成物であって、実質的に前記(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しないことを特徴とするものである。   That is, the curable resin composition of the present invention comprises (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond, (B) a photopolymerization initiator that generates a radical and a base, (C) a thermosetting component, And (D) a curable resin composition containing silica, wherein (E) an ethylenically unsaturated double bond is substantially contained in addition to the (A) alkali-developable resin having an ethylenically unsaturated double bond. Characterized in that it does not contain an organic compound.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(D)シリカの含有量が組成物全量の固形分基準で30〜80質量%であることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the content of the silica (D) is preferably 30 to 80% by mass based on the solid content of the entire composition.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(D)シリカが表面処理されていることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the silica (D) is preferably surface-treated.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(C)熱硬化成分がエポキシ化合物であることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the thermosetting component (C) is preferably an epoxy compound.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ソルダーレジスト形成用であることが好ましい。   The curable resin composition of the present invention is preferably used for forming a solder resist.

本発明のドライフィルムは、前記硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。   The dry film of the present invention has a resin layer obtained from the curable resin composition.

本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。   The cured product of the present invention is obtained by curing the curable resin composition or the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を有することを特徴とするものである。   A printed wiring board according to the present invention includes the cured product.

本発明によれば、解像性および硬化物のPCT耐性に優れた硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a curable resin composition, a dry film, a cured product, and a printed wiring board excellent in resolution and PCT resistance of the cured product.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂(以下、(A)アルカリ現像性樹脂と略記する場合がある。)、(B)ラジカルおよび塩基を発生する光重合開始剤(以下、(B)光重合開始剤と略記する場合がある。)、(C)熱硬化成分、および(D)シリカを含有する硬化性樹脂組成物であって、実質的に(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しないことを特徴とするものである。本発明の硬化性樹脂組成物は、選択的な光照射でアルカリ現像によるネガ型のパターン形成が可能となる。ここで、パターン形成とは、パターン状の硬化物、すなわち、パターン層を形成することを言う。
本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層では、(B)光重合開始剤を含有するため、光照射によってラジカルと塩基が発生する。これにより、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂と、他の(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂が重合するとともに、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂と(C)熱硬化成分が付加反応して深部まで樹脂層が硬化する。従って、硬化性樹脂組成物をパターン状に光照射した後、アルカリ現像することより、未照射部を除去して、パターン形成することができる。
The curable resin composition of the present invention comprises (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond (hereinafter sometimes abbreviated as (A) an alkali developable resin), (B) a radical and A curable resin composition containing a photopolymerization initiator that generates a base (hereinafter sometimes abbreviated as (B) photopolymerization initiator), (C) a thermosetting component, and (D) silica. And (E) substantially no organic compound having an ethylenically unsaturated double bond other than the alkali-developable resin having an ethylenically unsaturated double bond. The curable resin composition of the present invention can form a negative pattern by alkali development by selective light irradiation. Here, pattern formation refers to forming a patterned cured product, that is, a pattern layer.
Since the resin layer comprising the curable resin composition of the present invention contains (B) a photopolymerization initiator, radicals and bases are generated by light irradiation. As a result, (A) the alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond and another (A) alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond are polymerized, and (A) the ethylenically unsaturated double bond is polymerized. An alkali-developable resin having a saturated double bond and the thermosetting component (C) undergo an addition reaction to cure the resin layer to a deep portion. Therefore, the pattern can be formed by irradiating the curable resin composition with light in a pattern and then performing alkali development to remove unirradiated portions.

本発明の硬化性樹脂組成物においては、詳しいメカニズムは明らかではないが、アルカリ現像性樹脂がエチレン性不飽和結合を有し、また、(B)光重合開始剤は光照射によって塩基だけでなくラジカルも発生することから、ラジカル重合に起因して、現像後のパターンの崩れが抑制されると考えられる。また、実質的に(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しないことによって、ハレーションが生じにくいと考えられる。さらに、一般的な(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含む硬化性樹脂組成物では、(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物に含まれる加水分解を受けやすいエステル結合によってPCT耐性の向上が困難となっていったが、本発明では(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を実質的に含まないので硬化物のPCT耐性が向上する。   In the curable resin composition of the present invention, although the detailed mechanism is not clear, the alkali-developable resin has an ethylenically unsaturated bond, and (B) the photopolymerization initiator is not only a base by light irradiation but also a base. Since radicals are also generated, it is considered that pattern collapse after development is suppressed due to radical polymerization. Further, it is considered that halation hardly occurs by not containing (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated double bond in addition to (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond substantially. . Further, a curable resin composition containing a general (E) organic compound having an ethylenically unsaturated double bond is susceptible to hydrolysis contained in the (E) organic compound having an ethylenically unsaturated double bond. Although it has been difficult to improve the PCT resistance due to the ester bond, in the present invention, since the (E) organic compound having an ethylenically unsaturated double bond is not substantially contained, the cured product has an improved PCT resistance.

以下、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。   Hereinafter, each component of the curable resin composition of the present invention will be described.

[(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂]
(A)アルカリ現像性樹脂は、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基と、エチレン性不飽和二重結合とを含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂であり、好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する感光性樹脂、カルボキシル基含有感光性樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する感光性樹脂、チオール基を2個以上有する感光性樹脂が挙げられる。ここで、「感光性」とは、エチレン性不飽和二重結合を有することを意味する。
(A)アルカリ現像性樹脂はカルボキシル基を有することがより好ましく、エポキシ樹脂を出発原料とするカルボキシル基含有感光性樹脂、フェノール化合物を出発原料とするカルボキシル基含有感光性樹脂、共重合構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂、ウレタン構造を有する感光性カルボキシル基含有樹脂であることがさらに好ましい。エチレン性不飽和二重結合としては、(メタ)アクリル酸もしくは(メタ)アクリル酸誘導体由来のものが好ましい。
(A)アルカリ現像性樹脂の具体例としては、以下に(1)〜(10)として列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられるが、それらに限らない。
[(A) Alkali developable resin having ethylenically unsaturated double bond]
(A) The alkali-developable resin contains at least one functional group of a phenolic hydroxyl group, a thiol group and a carboxyl group, and an ethylenically unsaturated double bond, and is a resin that can be developed with an alkaline solution. Preferable examples include a photosensitive resin having two or more phenolic hydroxyl groups, a carboxyl group-containing photosensitive resin, a photosensitive resin having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a photosensitive resin having two or more thiol groups. Here, "photosensitive" means having an ethylenically unsaturated double bond.
(A) The alkali developable resin more preferably has a carboxyl group, and has a carboxyl group-containing photosensitive resin starting from an epoxy resin, a carboxyl group-containing photosensitive resin starting from a phenol compound, and a copolymerized structure. Carboxyl group-containing photosensitive resins and photosensitive carboxyl group-containing resins having a urethane structure are more preferable. The ethylenically unsaturated double bond is preferably derived from (meth) acrylic acid or a (meth) acrylic acid derivative.
Specific examples of (A) the alkali-developable resin include, but are not limited to, compounds (which may be oligomers or polymers) listed below as (1) to (10).

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂に、グリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる、共重合構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。 (1) To a carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene. Carboxyl group having a copolymerized structure obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups to a molecule such as glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate, etc. Containing photosensitive resin. In addition, lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

(2−1)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂に、さらに上記したような分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(2−2)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(2−3)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
ここで、ジイソシアネートとしては、脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等が挙げられる。
カルボキシル基含有ジアルコール化合物としては、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等が挙げられる。
ジオール化合物としては、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等が挙げられる。
分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物などが挙げられる。
(2-1) A carboxyl group-containing urethane resin obtained by a polyaddition reaction of a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound is further provided with one epoxy group and one or more (meth) ) A carboxyl group-containing photosensitive resin having a urethane structure obtained by adding a compound having an acryloyl group.
(2-2) having a urethane structure obtained by reacting a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, a diol compound, and a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule. Carboxyl group-containing photosensitive resin.
(2-3) A urethane structure obtained by reacting a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, a diol compound, and a compound having one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule. Having a carboxyl group-containing photosensitive resin.
Here, examples of the diisocyanate include an aliphatic diisocyanate, a branched aliphatic diisocyanate, an alicyclic diisocyanate, and an aromatic diisocyanate.
Examples of the carboxyl group-containing dialcohol compound include dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid.
Examples of the diol compound include polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A alkylene oxide adduct diols, compounds having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, and the like. Can be
Examples of the compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule include hydroxyalkyl (meth) acrylate.
Examples of the compound having one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule include an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate.

(3−1)ジイソシアネートと、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3−2)(3−1)のカルボキシル基含有感光性樹脂に、さらに分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3−3)ジイソシアネートと、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3−4)ジイソシアネートと、2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物と、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタン構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂。
(3-1) Carboxyl group-containing urethane structure by polyaddition reaction of diisocyanate, (meth) acrylate of bifunctional epoxy resin or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound Photosensitive resin.
(3-2) a carboxyl having a urethane structure obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule to the carboxyl group-containing photosensitive resin of (3-1). Group-containing photosensitive resin.
(3-3) diisocyanate, (meth) acrylate of a bifunctional epoxy resin or a partial acid anhydride modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound, a diol compound, and one hydroxyl group and one or more A carboxyl group-containing photosensitive resin having a urethane structure obtained by reacting a compound having a (meth) acryloyl group.
(3-4) diisocyanate, (meth) acrylate of bifunctional epoxy resin or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound, diol compound, one isocyanate group and one or more in the molecule A carboxyl group-containing photosensitive resin having a urethane structure obtained by reacting the compound with a compound having a (meth) acryloyl group.

(4)多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸等の不飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (4) A polyfunctional epoxy resin is reacted with an unsaturated monocarboxylic acid such as (meth) acrylic acid, and a hydroxyl group present in a side chain is reacted with a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride or hexahydrophthalic anhydride. Carboxyl group-containing photosensitive resin to which substances are added.

(5)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (5) A carboxyl group obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group. Containing photosensitive resin.

(6)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、不飽和モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) an epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound such as p-hydroxyphenethyl alcohol having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, A carboxylic acid is reacted with a polybasic acid anhydride such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, or adipic acid for the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product. Carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by the reaction.

(7)多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂に、さらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) Glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) is added to a carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a dicarboxylic acid with a polyfunctional oxetane resin and adding a dibasic acid anhydride to a generated primary hydroxyl group. A) a carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as acrylate;

(8)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (8) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide is reacted with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid to obtain a reaction product. Carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.

(9)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (9) An unsaturated group-containing monocarboxylic acid is reacted with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product.

(10)前記(4)〜(9)のカルボキシル基含有感光性樹脂に、さらに上記したような分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) A compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule as described above is added to the carboxyl group-containing photosensitive resin of (4) to (9). Carboxyl group-containing photosensitive resin.

(A)アルカリ現像性樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gの範囲が望ましく、より好ましくは40〜150mgKOH/gの範囲である。(A)アルカリ現像性樹脂の酸価が20mgKOH/g以上の場合、塗膜の密着性が良好で、光硬化性樹脂組成物とした場合にはアルカリ現像が良好となる。一方、酸価が200mgKOH/g以下の場合、現像液による露光部の溶解を抑制できるため、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離したりすることを抑制して、良好にレジストパターンを描画することができる。   (A) The acid value of the alkali-developable resin is preferably in the range of 20 to 200 mgKOH / g, more preferably in the range of 40 to 150 mgKOH / g. (A) When the acid value of the alkali-developable resin is 20 mgKOH / g or more, the adhesion of the coating film is good, and when the photocurable resin composition is used, the alkali development becomes good. On the other hand, when the acid value is 200 mgKOH / g or less, the dissolution of the exposed portion by the developer can be suppressed, so that the line becomes thinner than necessary, and in some cases, the exposed portion and the unexposed portion dissolve and peel with the developer without distinction. And a resist pattern can be satisfactorily drawn.

(A)アルカリ現像性樹脂としては、(4)〜(10)のカルボキシル基含有感光性樹脂が好ましく、HAST耐性の観点から上記(8)、(9)のカルボキシル基含有感光性樹脂がより好ましい。   (A) As the alkali developable resin, the carboxyl group-containing photosensitive resins (4) to (10) are preferable, and the carboxyl group-containing photosensitive resins (8) and (9) are more preferable from the viewpoint of HAST resistance. .

また、(A)アルカリ現像性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、1,500〜50,000、さらには1,500〜30,000の範囲が好ましい。重量平均分子量が1,500以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時の膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が50,000以下の場合、現像性が良好で、貯蔵安定性にも優れる。
(A)アルカリ現像性樹脂の二重結合等量は、例えば、500〜3,500eq./gであり、解像性の観点から700〜3,000eq./gであることが好ましい。
The weight average molecular weight of the alkali developable resin (A) varies depending on the resin skeleton, but is preferably in the range of 1,500 to 50,000, more preferably 1,500 to 30,000. When the weight average molecular weight is 1,500 or more, tack-free performance is good, the moisture resistance of the coating film after exposure is good, film loss during development can be suppressed, and a decrease in resolution can be suppressed. On the other hand, when the weight average molecular weight is 50,000 or less, the developability is good and the storage stability is excellent.
(A) The double bond equivalent of the alkali developable resin is, for example, 500 to 3,500 eq. / G from the viewpoint of resolution. / G.

(A)アルカリ現像性樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。また、本発明の効果を損なわない範囲で、従来公知のエチレン性不飽和二重結合を有しないアルカリ現像性樹脂を併用してもよい。(A)アルカリ現像性樹脂の配合量は、全組成物中に、好ましくは5〜50質量%、より好ましくは10〜50質量%である。5〜50質量%の場合、塗膜強度が良好であり、また、組成物の粘性が適度で塗布性等を向上できる。   (A) The alkali developable resin may be used alone or in combination of two or more. Further, as long as the effects of the present invention are not impaired, a conventionally known alkali developable resin having no ethylenically unsaturated double bond may be used in combination. (A) The compounding amount of the alkali-developable resin is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 50% by mass in the whole composition. In the case of 5 to 50% by mass, the coating film strength is good, and the viscosity of the composition is moderate, and the coating property and the like can be improved.

[(B)ラジカルおよび塩基を発生する光重合開始剤]
(B)光重合開始剤は、光反応性の乏しい(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂と(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂との反応を効率良く進行させることができ、同時に塩基を発生させ、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂と(C)熱硬化成分とを反応させるための触媒となることができる。
言い換えると、(B)光重合開始剤を使用するため、反応性の高い(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含まない組成物であっても、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂と(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂との反応を適切に進行させ、光による架橋構造を形成させることにより現像処理後の加熱によるパターンの崩れ(レジンフロー)を起こさず設計値通りのパターンを形成できる。
(B)光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤などがあげられる。
オキシムエステル系光重合開始剤としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアー OXE01(1.2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)])、イルガキュアー OXE02(エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム))、ADEKA社製N−1919、NCI−831、常州強力電子新材料有限公司社製のTR―PBG−304、日本化学工業所社製のTOE−04−A3などが挙げられる。
また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。

Figure 0006639827
(式中、Xは、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)を表し、Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、Arは、結合か、炭素数1〜10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5−ピロール−ジイル、4,4’−スチルベン−ジイル、4,2’−スチレン−ジイルを表し、nは0か1の整数である。) [(B) Photopolymerization initiator generating radical and base]
The (B) photopolymerization initiator comprises a reaction between (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond having poor photoreactivity and (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond. Can efficiently proceed, and at the same time, can generate a base and serve as a catalyst for reacting (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond with (C) a thermosetting component. .
In other words, since (B) a photopolymerization initiator is used, even if the composition does not contain a highly reactive (E) organic compound having an ethylenically unsaturated double bond, (A) ethylenically unsaturated The reaction between the alkali-developable resin having a double bond and (A) the alkali-developable resin having an ethylenically unsaturated double bond proceeds appropriately to form a cross-linked structure by light, so that the resin can be heated after development. A pattern as designed can be formed without causing pattern collapse (resin flow).
(B) Examples of the photopolymerization initiator include oxime ester-based photopolymerization initiators and α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiators.
As the oxime ester-based photopolymerization initiator, as commercial products, CGI-325 and Irgacure OXE01 (1.2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyl) manufactured by BASF Japan Ltd. are available. Oxime)]), Irgacure OXE02 (ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime)), manufactured by ADEKA N-1919, NCI-831, TR-PBG-304 manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd., TOE-04-A3 manufactured by Nippon Chemical Industry Co., Ltd., and the like.
In addition, an initiator having two oxime ester groups in a molecule can also be suitably used, and specific examples thereof include an oxime ester compound having a carbazole structure represented by the following general formula.
Figure 0006639827
(Wherein X represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms) A group, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group, a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, Y and Z are a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, and an alkyl group substituted with an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group having 1 to 8 carbon atoms. To 8 alkoxy groups, halogen groups, phenyl groups, phenyl groups (alkyl groups having 1 to 17 carbon atoms, alkoxy groups having 1 to 8 carbon atoms, amino groups, and alkyl groups having 1 to 8 carbon atoms) An amino group substituted with a mino group or a dialkylamino group, a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkyl group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) Or substituted with a dialkylamino group), an anthryl group, a pyridyl group, a benzofuryl group, a benzothienyl group, and Ar is a bond or an alkylene having 1 to 10 carbon atoms, vinylene, phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, Represents thiophene, anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl, 4,4'-stilbene-diyl, 4,2'-styrene-diyl, and n is an integer of 0 or 1.)

特に、前記一般式中、X、Yが、それぞれメチル基またはエチル基であり、Zはメチル基またはフェニル基であり、nは0であり、Arは、結合か、フェニレン、ナフチレン、チオフェンまたはチエニレンであることが好ましい。   In particular, in the above general formula, X and Y are each a methyl group or an ethyl group, Z is a methyl group or a phenyl group, n is 0, and Ar is a bond, phenylene, naphthylene, thiophene or thienylene. It is preferred that

また、好ましいカルバゾールオキシムエステル化合物として、下記一般式で表すことができる化合物を挙げることもできる。

Figure 0006639827
(式中、Rは、炭素原子数1〜4のアルキル基、または、ニトロ基、ハロゲン原子もしくは炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
は、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、または、炭素原子数1〜4のアルキル基もしくはアルコキシ基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
は、酸素原子または硫黄原子で連結されていてもよく、フェニル基で置換されていてもよい炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基で置換されていてもよいベンジル基を表す。
は、ニトロ基、または、X−C(=O)−で表されるアシル基を表す。Xは、炭素原子数1〜4のアルキル基で置換されていてもよいアリール基、チエニル基、モルホリノ基、チオフェニル基、または、下記式で示される構造を表す。)
Figure 0006639827
Preferred carbazole oxime ester compounds include compounds represented by the following general formula.
Figure 0006639827
(In the formula, R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a phenyl group which may be substituted with a nitro group, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R 2 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group which may be substituted with an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.
R 3 may be connected with an oxygen atom or a sulfur atom, and may be substituted with a phenyl group-substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. Represents a good benzyl group.
R 4 represents a nitro group or an acyl group represented by X—C (= O) —. X represents an aryl group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a thienyl group, a morpholino group, a thiophenyl group, or a structure represented by the following formula. )
Figure 0006639827

その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。   In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-T-2008-509967, Examples thereof include carbazole oxime ester compounds described in JP-T-2009-040762 and JP-A-2011-80036.

α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。   As the α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator, specifically, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N , N-dimethylaminoacetophenone and the like. Commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by BASF Japan.

(B)光重合開始剤は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。(B)光重合開始剤の配合量は、(A)アルカリ現像性樹脂100質量部に対して、0.01〜30質量部とすることが好ましく、0.25〜15質量部とすることがより好ましい。0.01〜30質量部とすることにより、解像性やPCT耐性はより良好となり、光硬化性に優れ、密着性も向上し、さらには無電解金めっき耐性などの耐薬品性にも優れる硬化膜を得ることができる。   As the photopolymerization initiator (B), one type can be used alone, or two or more types can be used in combination. The blending amount of the photopolymerization initiator (B) is preferably 0.01 to 30 parts by mass, and more preferably 0.25 to 15 parts by mass, based on 100 parts by mass of the alkali developable resin (A). More preferred. By setting the content to 0.01 to 30 parts by mass, resolution and PCT resistance are improved, photocurability is improved, adhesion is improved, and further, chemical resistance such as electroless gold plating resistance is also improved. A cured film can be obtained.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(B)光重合開始剤以外に、発明の効果を阻害しない範囲で他の光重合開始剤を含んでもよい。他の光重合開始剤としては、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤からなる群から選択される1種以上の光重合開始剤を好適に使用することができる。上記アルキルフェノン系光重合開始剤の市販品としてはBASFジャパン社製イルガキュアー184、ダロキュアー1173、イルガキュアー2959、イルガキュアー127などのα―ヒドロキシアルキルフェノンタイプが挙げられる。   The curable resin composition of the present invention may contain other photopolymerization initiators other than the photopolymerization initiator (B) as long as the effects of the invention are not impaired. As the other photopolymerization initiator, one or more photopolymerization initiators selected from the group consisting of an alkylphenone-based photopolymerization initiator, an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, and a titanocene-based photopolymerization initiator are preferably used. Can be used. Commercially available alkylphenone-based photopolymerization initiators include α-hydroxyalkylphenone types such as Irgacure 184, Darocure 1173, Irgacure 2959, and Irgacure 127 manufactured by BASF Japan.

アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASF社製のルシリンTPO、BASFジャパン社製のイルガキュアー819などが挙げられる。   As the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, specifically, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxy) Benzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide. Commercially available products include Lucirin TPO manufactured by BASF, and Irgacure 819 manufactured by BASF Japan.

上記硬化性樹脂組成物は、光重合開始剤の他に、光開始助剤、増感剤を用いることができる。上記硬化性樹脂組成物に好適に用いることができる光重合開始剤、光開始助剤および増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、およびキサントン化合物などを挙げることができる。   The curable resin composition may use a photoinitiator and a sensitizer in addition to the photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerization initiator, photoinitiator and sensitizer that can be suitably used in the curable resin composition include benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, and tertiary amines. And xanthone compounds.

ベンゾイン化合物としては、具体的には、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどが挙げられる。   Specific examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.

アセトフェノン化合物としては、具体的には、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。   Specific examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, and 1,1-dichloroacetophenone.

アントラキノン化合物としては、具体的には、例えば2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどが挙げられる。   Specific examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, and the like.

チオキサントン化合物としては、具体的には、例えば2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。   Specific examples of the thioxanthone compound include, for example, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone.

ケタール化合物としては、具体的には、例えばアセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。   Specific examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.

ベンゾフェノン化合物としては、具体的には、例えばベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドなどが挙げられる。   Specific examples of the benzophenone compound include, for example, benzophenone, 4-benzoyldiphenylsulfide, 4-benzoyl-4′-methyldiphenylsulfide, 4-benzoyl-4′-ethyldiphenylsulfide, 4-benzoyl-4′-propyldiphenyl Sulfide and the like.

3級アミン化合物としては、具体的には、例えばエタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、市販品では、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)などのジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアーEPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などが挙げられる。   Specific examples of the tertiary amine compound include, for example, an ethanolamine compound and a compound having a dialkylaminobenzene structure. For example, commercially available products include 4,4′-dimethylaminobenzophenone (Nissocure MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), Dialkylaminobenzophenones such as 4'-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin) and the like Dialkylamino group-containing coumarin compound, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (Kayacure EPA manufactured by Nippon Kayaku), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure DMB manufactured by International Bio-Synthetics), 4-dimethyla (N-butoxy) ethyl benzoate (Quantacure BEA manufactured by International Bio-Synthetics), isoamyl ethyl p-dimethylaminobenzoate (Kayacure DMBI manufactured by Nippon Kayaku), 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate (Esolol 507 manufactured by Van Dyk), 4,4′-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and the like.

これらのうち、チオキサントン化合物および3級アミン化合物が好ましい。特に、チオキサントン化合物が含まれることが、深部硬化性の面から好ましい。中でも、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン化合物を含むことが好ましい。   Of these, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. In particular, it is preferable that a thioxanthone compound is contained from the viewpoint of deep curing. Among them, it is preferable to include a thioxanthone compound such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone.

また、3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜450nmの範囲内にあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物およびケトクマリン類が特に好ましい。   Further, as the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound, a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength in the range of 350 to 450 nm, and ketocoumarins are particularly preferable. .

ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。ジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が350〜410nmと紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジストを提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。   As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is preferable because of its low toxicity. Dialkylamino group-containing coumarin compounds have a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region of 350 to 410 nm, so they are less colored and use not only colorless and transparent photosensitive compositions but also colored pigments, and coloring that reflects the color of the colored pigment itself. It becomes possible to provide a solder resist. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferred because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.

これらの光重合開始剤、光開始助剤および増感剤は、単独でまたは2種類以上の混合物として使用することができる。このような光重合開始剤、光開始助剤および増感剤の総量は、(A)アルカリ現像性樹脂100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部以下であると、これらの光吸収により深部硬化性が低下することを抑制できる。   These photopolymerization initiators, photoinitiation assistants and sensitizers can be used alone or as a mixture of two or more. The total amount of the photopolymerization initiator, photoinitiator and sensitizer is preferably 35 parts by mass or less based on 100 parts by mass of the alkali developable resin (A). When the amount is 35 parts by mass or less, it is possible to suppress a decrease in deep-side curability due to the light absorption.

[(C)熱硬化成分]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(C)熱硬化成分を含む。熱硬化成分を加えることにより耐熱性が向上することが期待できる。(C)熱硬化成分は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。(C)熱硬化成分としては、公知のものをいずれも用いることができる。例えば、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、エポキシ化合物、オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、ビスマレイミド、カルボジイミド樹脂等の公知の熱硬化成分を使用できる。特に好ましいのは、分子中に複数の環状エーテル基または環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化成分である。
[(C) thermosetting component]
The curable resin composition of the present invention contains (C) a thermosetting component. It can be expected that the heat resistance will be improved by adding a thermosetting component. As the thermosetting component (C), one type can be used alone, or two or more types can be used in combination. As the thermosetting component (C), any known component can be used. For example, known thermosetting components such as melamine resin, benzoguanamine resin, melamine derivative, amino resin such as benzoguanamine derivative, isocyanate compound, blocked isocyanate compound, cyclocarbonate compound, epoxy compound, oxetane compound, episulfide resin, bismaleimide, and carbodiimide resin. Can be used. Particularly preferred are thermosetting components having a plurality of cyclic ether groups or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in the molecule.

上記の分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分は、分子中に3、4または5員環の環状(チオ)エーテル基を複数有する化合物であり、例えば、分子内に複数のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子内に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子内に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂等が挙げられる。   The thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule is a compound having a plurality of 3, 4 or 5-membered cyclic (thio) ether groups in the molecule. A compound having an epoxy group, ie, a polyfunctional epoxy compound, a compound having a plurality of oxetanyl groups in a molecule, ie, a polyfunctional oxetane compound, a compound having a plurality of thioether groups in a molecule, ie, an episulfide resin.

多官能エポキシ化合物としては、エポキシ化植物油;ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ハイドロキノン型エポキシ樹脂;ビスフェノール型エポキシ樹脂;チオエーテル型エポキシ樹脂;ブロム化エポキシ樹脂;ノボラック型エポキシ樹脂;ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂;ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂;ジグリシジルフタレート樹脂;テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;ナフタレン基含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体;CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂またはそれらの混合物が好ましい。   Examples of the polyfunctional epoxy compound include epoxidized vegetable oil; bisphenol A epoxy resin; hydroquinone epoxy resin; bisphenol epoxy resin; thioether epoxy resin; brominated epoxy resin; novolak epoxy resin; biphenol novolak epoxy resin; Type epoxy resin; hydrogenated bisphenol A type epoxy resin; glycidylamine type epoxy resin; hydantoin type epoxy resin; alicyclic epoxy resin; trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; Bisphenol S epoxy resin; bisphenol A novolak epoxy resin; tetraphenylolethane epoxy resin; heterocyclic epoxy resin; diglycidyl Tartrate resin; Tetraglycidylxylenoylethane resin; Naphthalene group-containing epoxy resin; Epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton; Glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin; Copolymer epoxy resin of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate; A polybutadiene rubber derivative; a CTBN-modified epoxy resin; and the like, but not limited thereto. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, a novolak-type epoxy resin, a bisphenol-type epoxy resin, a bixylenol-type epoxy resin, a biphenol-type epoxy resin, a biphenol novolak-type epoxy resin, a naphthalene-type epoxy resin, and a mixture thereof are particularly preferable.

多官能オキセタン化合物としては、例えば、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂とのエーテル化物等が挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体等も挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, and 1,4-bis [(3- Methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3- Oxetane alcohol and novolak resin, in addition to polyfunctional oxetanes such as (oxetanyl) methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and their oligomers and copolymers , Poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bis Phenol ethers, calixarenes, calix resorcin arenes or etherified products such as the resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. Other examples include a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate.

分子中に複数の環状チオエーテル基を有する化合物としては、ビスフェノールA型エピスルフィド樹脂等が挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分の配合量は、環状(チオ)エーテル基が(A)アルカリ現像性樹脂のカルボキシル基やフェノール性水酸基等のアルカリ溶解性基1当量に対して、0.6〜2.5当量であることが好ましく、より好ましくは、0.8〜2.0当量である。   Examples of the compound having a plurality of cyclic thioether groups in the molecule include a bisphenol A-type episulfide resin. In addition, an episulfide resin in which an oxygen atom of an epoxy group of a novolak type epoxy resin is replaced with a sulfur atom using a similar synthesis method can also be used. The compounding amount of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule is such that the cyclic (thio) ether group is (A) an alkali-soluble resin such as a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group of an alkali-developable resin. It is preferably 0.6 to 2.5 equivalents, more preferably 0.8 to 2.0 equivalents, per equivalent of the group.

メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂としては、メチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物等が挙げられる。   Examples of the amino resin such as a melamine derivative and a benzoguanamine derivative include a methylol melamine compound, a methylol benzoguanamine compound, a methylol glycoluril compound, and a methylol urea compound.

イソシアネート化合物として、ポリイソシアネート化合物を配合することができる。ポリイソシアネート化合物としては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネートおよび2,4−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート;テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)およびイソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート;ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート;並びに先に挙げたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体等が挙げられる。   A polyisocyanate compound can be blended as the isocyanate compound. Examples of the polyisocyanate compound include 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate and Aromatic polyisocyanates such as 2,4-tolylene dimer; aliphatic polyisocyanates such as tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate) and isophorone diisocyanate; Alicyclic polyisocyanates such as heptane triisocyanate; and adducts of the above-mentioned isocyanate compounds; Yuretto body and isocyanurate products thereof.

ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物が用いることができる。イソシアネートブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、例えば、上述のポリイソシアネート化合物等が挙げられる。イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール系ブロック剤;ラクタム系ブロック剤;活性メチレン系ブロック剤;アルコール系ブロック剤;オキシム系ブロック剤;メルカプタン系ブロック剤;酸アミド系ブロック剤;イミド系ブロック剤;アミン系ブロック剤;イミダゾール系ブロック剤;イミン系ブロック剤等が挙げられる。   As the blocked isocyanate compound, an addition reaction product of an isocyanate compound and an isocyanate blocking agent can be used. Examples of the isocyanate compound capable of reacting with the isocyanate blocking agent include the above-described polyisocyanate compounds. Examples of the isocyanate blocking agent include a phenol blocking agent; a lactam blocking agent; an active methylene blocking agent; an alcohol blocking agent; an oxime blocking agent; a mercaptan blocking agent; an acid amide blocking agent; Amine blocking agents; imidazole blocking agents; imine blocking agents and the like.

(C)熱硬化成分の配合量は、(A)アルカリ現像性樹脂100質量部に対して、1〜100質量部が好ましい。より好ましくは、2〜70質量部である。   The amount of the thermosetting component (C) is preferably from 1 to 100 parts by mass based on 100 parts by mass of the alkali developable resin (A). More preferably, it is 2 to 70 parts by mass.

[(D)シリカ]
本発明の硬化性樹脂組成物は、フィラーとして(D)シリカを含む。(D)シリカは、硬化性樹脂組成物の硬化物の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために使用される。シリカとしては、溶融シリカ、球状シリカ、無定形シリカ、結晶性シリカなどが挙げられる。
[(D) silica]
The curable resin composition of the present invention contains (D) silica as a filler. (D) Silica is used for suppressing curing shrinkage of a cured product of the curable resin composition and improving properties such as adhesion and hardness. Examples of the silica include fused silica, spherical silica, amorphous silica, and crystalline silica.

(D)シリカは、表面処理されたシリカであることが好ましく、カップリング剤で表面処理されたシリカであることがさらに好ましい。
カップリング剤としては、シラン系、チタネート系、アルミネート系およびジルコアルミネート系等のカップリング剤が使用できる。中でもシラン系カップリング剤が好ましい。かかるシラン系カップリング剤の例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、N−(2−アミノメチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アニリノプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができ、これらは単独で、あるいは併用して使用することができる。これらのシラン系カップリング剤は、予めシリカの表面に吸着あるいは反応により固定化されていることが好ましい。なお、本発明において、シリカに施されたカップリング剤は、(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物には含まれないものとする。
また、本発明の効果を阻害しない範囲で(D)シリカ以外のフィラーを加えてもよい。シリカ以外のフィラーは、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、ノイブルグ珪土、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機フィラーが挙げられる。また、フィラーとして有機フィラーを配合してもよい。フィラーは、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(D) The silica is preferably surface-treated silica, more preferably silica surface-treated with a coupling agent.
As the coupling agent, silane-based, titanate-based, aluminate-based, and zircoaluminate-based coupling agents can be used. Among them, a silane coupling agent is preferable. Examples of such a silane coupling agent include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, N- (2-aminomethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, and N- (2-aminoethyl) -3-amino Propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-anilinopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxy Cyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination. It is preferable that these silane coupling agents are previously fixed to the surface of silica by adsorption or reaction. In the present invention, the coupling agent applied to the silica is not included in (E) the organic compound having an ethylenically unsaturated double bond.
Further, a filler other than (D) silica may be added as long as the effect of the present invention is not impaired. Fillers other than silica include, for example, inorganic fillers such as barium sulfate, barium titanate, Neuburg silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, titanium oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, and aluminum nitride. Can be Moreover, you may mix | blend an organic filler as a filler. As the filler, one type can be used alone, or two or more types can be used in combination.

(D)シリカの平均粒子径は5μm以下であることが好ましい。(D)シリカの配合量は、上記硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として20〜90質量%が好ましい。また、(D)シリカの配合量はパターン形状の安定性、すなわち解像性と線膨張係数の低減とのバランスを考慮して、上記硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として30〜80質量%であることがより好ましく、40〜80質量%であることがさらに好ましく、50〜70質量%であることが特に好ましい。
(D)シリカの含有量が全固形分を基準として30〜80質量%の場合、組成物の塗布性が良好であり、ICパッケージ用ソルダーレジストとして優れた特性を有する硬化物が得られるため好ましい。
(D) The silica preferably has an average particle size of 5 μm or less. (D) The compounding amount of silica is preferably 20 to 90% by mass based on the total solid content of the curable resin composition. The amount of the silica (D) is from 30 to 80 based on the total solid content of the curable resin composition in consideration of the stability of the pattern shape, that is, the balance between the resolution and the reduction of the linear expansion coefficient. %, More preferably from 40 to 80% by mass, even more preferably from 50 to 70% by mass.
(D) When the content of silica is 30 to 80% by mass on the basis of the total solid content, the coatability of the composition is good, and a cured product having excellent properties as a solder resist for IC package is obtained, which is preferable. .

[(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を実質的に含有しない。(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物の例としては、光反応性モノマーとして従来の硬化性樹脂組成物に配合されるアクリレート化合物等が挙げられる。
[(E) Organic compound having ethylenically unsaturated double bond]
The curable resin composition of the present invention does not substantially contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated double bond in addition to (A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond. (E) Examples of the organic compound having an ethylenically unsaturated double bond include acrylate compounds and the like, which are blended as a photoreactive monomer in a conventional curable resin composition.

ここで、「実質的に含有しない」とは、構成成分として積極的に配合されていないことであり、本発明の効果を損なわない範囲で少量含まれることは排除されない。例えば、(A)アルカリ現像性樹脂100質量部に対して、5質量部以下、より好ましくは3質量部以下、さらに好ましくは1質量部以下である。   Here, "substantially does not contain" means that it is not positively compounded as a constituent, and it is not excluded that a small amount is contained as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, the amount is 5 parts by mass or less, more preferably 3 parts by mass or less, and still more preferably 1 part by mass or less, per 100 parts by mass of the alkali developable resin (A).

(着色剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。具体的には、カラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しない着色剤であることが好ましい。
(Colorant)
The curable resin composition of the present invention may contain a coloring agent. As the coloring agent, commonly used coloring agents such as red, blue, green, yellow, white, and black can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used. Specifically, those having a color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists) can be cited. However, it is preferable that the coloring agent does not contain a halogen from the viewpoint of reducing the environmental load and affecting the human body.

赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などが挙げられる。青色着色剤としては金属置換もしくは無置換のフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物がある。緑色着色剤としては、同様に金属置換もしくは無置換のフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系がある。黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等が挙げられる。白色着色剤としては、ルチル型、アナターゼ型等の酸化チタン等が挙げられる。黒色着色剤としては、チタンブラック系、カーボンブラック系、黒鉛系、酸化鉄系、アンスラキノン系、酸化コバルト系、酸化銅系、マンガン系、酸化アンチモン系、酸化ニッケル系、ペリレン系、アニリン系の顔料、硫化モリブデン、硫化ビスマス等が挙げられる。その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色などの着色剤を加えてもよい。   Examples of the red colorant include monoazo, diazo, azo lake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone, and quinacridone. Examples of blue colorants include metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine-based and anthraquinone-based pigments, and pigment-based compounds include compounds classified as Pigment. Green colorants include phthalocyanine-based, anthraquinone-based, and perylene-based, similarly substituted or unsubstituted metals. Examples of yellow colorants include monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, and anthraquinone. Examples of the white colorant include rutile-type and anatase-type titanium oxide. Black colorants include titanium black, carbon black, graphite, iron oxide, anthraquinone, cobalt oxide, copper oxide, manganese, antimony oxide, nickel oxide, perylene, and aniline. Pigment, molybdenum sulfide, bismuth sulfide and the like can be mentioned. In addition, a coloring agent such as purple, orange, or brown may be added for the purpose of adjusting the color tone.

着色剤は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。着色剤の配合量は特に限定されないが、(A)アルカリ現像性樹脂100質量部に対して、10質量部以下とすることが好ましい。より好ましくは0.1〜5質量部である。   The coloring agents can be used alone or in combination of two or more. The amount of the colorant is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or less based on 100 parts by mass of the alkali developable resin (A). More preferably, it is 0.1 to 5 parts by mass.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、(A)アルカリ現像性樹脂の合成や組成物の調製のため、または基材やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテート等のエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等である。このような有機溶剤は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
An organic solvent is used in the curable resin composition of the present invention for the purpose of (A) synthesizing an alkali-developable resin, preparing the composition, or adjusting the viscosity for applying to a substrate or a carrier film. Can be. Examples of the organic solvent include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, and petroleum solvents. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl Glycol ethers such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, and triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate , Propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol butyl ether Esters such as acetate; alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, solvent naphtha, etc. is there. Such organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

(その他の任意成分)
本発明の硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、シアネート化合物、エラストマー、メルカプト化合物、熱硬化触媒、ウレタン化触媒、チキソ化剤、密着促進剤、ブロック共重合体、連鎖移動剤、重合禁止剤、銅害防止剤、酸化防止剤、防錆剤、紫外線吸収剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイト等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤および/またはレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、ホスフィン酸塩、燐酸エステル誘導体、フォスファゼン化合物等のリン化合物等の難燃剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
(Other optional components)
The curable resin composition of the present invention further comprises a cyanate compound, an elastomer, a mercapto compound, a thermosetting catalyst, a urethanization catalyst, a thixolating agent, an adhesion promoter, a block copolymer, a chain transfer agent, if necessary. Polymerization inhibitors, copper damage inhibitors, antioxidants, rust inhibitors, ultraviolet absorbers, thickening agents such as finely divided silica, organic bentonite, montmorillonite, silicone-based, fluorine-based, polymer-based antifoaming agents and / or Alternatively, components such as a leveling agent, a silane coupling agent such as an imidazole type, a thiazole type, and a triazole type, and a flame retardant such as a phosphorus compound such as a phosphinate, a phosphate ester derivative, and a phosphazene compound can be added. As these, those known in the field of electronic materials can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ソルダーレジスト、カバーレイ、層間絶縁層等のプリント配線板の永久被膜としてのパターン層を形成するために有用であり、特にソルダーレジストの形成に有用である。また、本発明の硬化性樹脂組成物は、解像性に優れることから、微細なパターンの形成が求められるICパッケージのパターン層の形成にも好適に用いることができる。   The curable resin composition of the present invention is useful for forming a pattern layer as a permanent coating of a printed wiring board such as a solder resist, a coverlay, and an interlayer insulating layer, and is particularly useful for forming a solder resist. Further, since the curable resin composition of the present invention has excellent resolution, it can be suitably used for forming a pattern layer of an IC package which requires formation of a fine pattern.

本発明の硬化性樹脂組成物は、キャリアフィルム(支持体)と、該キャリアフィルム上に形成された上記硬化性樹脂組成物からなる樹脂層とを備えたドライフィルムの形態とすることもできる。ドライフィルム化に際しては、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、1〜150μm、好ましくは10〜60μmの範囲で適宜選択される。   The curable resin composition of the present invention may be in the form of a dry film including a carrier film (support) and a resin layer formed of the curable resin composition formed on the carrier film. In forming a dry film, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above-mentioned organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, transfer roll coater , A gravure coater, a spray coater, or the like, is applied to a uniform thickness on a carrier film, and is usually dried at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to obtain a film. The thickness of the applied film is not particularly limited, but is generally selected appropriately in the range of 1 to 150 μm, preferably 10 to 60 μm in terms of the thickness after drying.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。   As the carrier film, a plastic film is used, and it is preferable to use a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, and a polystyrene film. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally appropriately selected in the range of 10 to 150 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を成膜した後、さらに、膜の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離するときに膜とキャリアフィルムとの接着力よりも膜とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。   After the curable resin composition of the present invention is formed on a carrier film, a peelable cover film may be further laminated on the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film. preferable. As the peelable cover film, for example, polyethylene film, polytetrafluoroethylene film, polypropylene film, surface-treated paper and the like can be used. It is only necessary that the adhesive strength between the film and the cover film is smaller.

[パターン形成方法]
本発明の硬化性樹脂組成物を好適に用いることができるパターン形成方法は、基材に硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程(A)、ネガ型のパターン状の光照射にて硬化性樹脂組成物に含まれる(B)光重合開始剤を活性化して光照射部を硬化する工程(B)、現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成する工程(C)を含む。
パターン状の光照射により硬化性樹脂組成物の光照射部内に塩基を発生させることにより、光照射部を硬化させる。その後、有機溶剤またはアルカリ水溶液にて現像することで、未照射部を除去し、ネガ型のパターン層を形成する。
ここで、本発明では、工程(B)の後、樹脂層を加熱する工程(B1)を有することが好ましい。これにより、樹脂層を十分に硬化して、さらに硬化特性に優れたパターン層を得ることができる。
[Pattern forming method]
The pattern forming method in which the curable resin composition of the present invention can be preferably used includes a step (A) of forming a resin layer composed of the curable resin composition on a substrate, and a negative pattern light irradiation. (B) a step of activating the photopolymerization initiator contained in the curable resin composition to cure the light-irradiated part (B), and a step of forming a negative-type pattern layer by removing the unirradiated part by development ( C).
The light irradiation part is cured by generating a base in the light irradiation part of the curable resin composition by pattern light irradiation. Thereafter, by developing with an organic solvent or an aqueous alkali solution, the unirradiated portion is removed, and a negative pattern layer is formed.
Here, in the present invention, it is preferable to include a step (B1) of heating the resin layer after the step (B). This makes it possible to sufficiently cure the resin layer and obtain a pattern layer having further excellent curing properties.

[工程(A)]
工程(A)は、基材に硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程である。樹脂層を形成する方法は、液状の硬化性樹脂組成物を基材上に、塗布、乾燥する方法や、硬化性樹脂組成物をドライフィルムにしたものを基材上にラミネートする方法によることができる。
[Step (A)]
Step (A) is a step of forming a resin layer made of a curable resin composition on a substrate. The method of forming the resin layer may be a method of applying and drying a liquid curable resin composition on a substrate, or a method of laminating a dry film of the curable resin composition on a substrate. it can.

硬化性樹脂組成物の基材への塗布方法は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等の公知の方法を適宜採用することができる。また、乾燥方法は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより支持体に吹き付ける方法等、公知の方法が適用できる。
基材としては、予め回路形成されたプリント配線基板やフレキシブルプリント配線基板の他、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布−エポキシ樹脂、ガラス−ポリイミド、ガラス布/不繊布−エポキシ樹脂、ガラス布/紙−エポキシ樹脂、合成繊維−エポキシ樹脂、フッ素・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等の複合材を用いた全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基材、セラミック基材、ウエハ基材等を用いることができる。
As a method for applying the curable resin composition to the substrate, a known method such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, or a film coater can be appropriately used. The drying method is a method using a hot air circulation type drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, etc. equipped with a heat source of a heating method using steam, a method in which hot air in the dryer is brought into countercurrent contact, and a method supported by a nozzle. A known method such as a method of spraying on a body can be applied.
As the base material, in addition to a printed circuit board or a flexible printed circuit board on which a circuit is formed in advance, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / non-woven cloth-epoxy resin, Glass cloth / paper-epoxy resin, synthetic fiber-epoxy resin, copper-clad laminates of all grades (FR-4 etc.) using composite materials such as fluorine, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, polyimide film, A PET film, a glass substrate, a ceramic substrate, a wafer substrate, or the like can be used.

[工程(B)]
工程(B)は、ネガ型のパターン状に光照射して硬化性樹脂組成物に含まれる(B)光重合開始剤を活性化して光照射部を硬化する工程である。工程(B)は、光照射部で塩基とラジカルが発生し、その発生した塩基により(B)光重合開始剤が不安定化し、さらに塩基が発生すると考えられる。このように塩基が化学的に増殖することにより、光照射部の深部まで十分硬化できる。
光照射に用いられる光照射機としては、例えば、レーザー光、ランプ光、LED光を照射可能な直接描画装置を用いることができる。パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクを用いることができる。
[Step (B)]
The step (B) is a step of irradiating light in a negative pattern to activate the (B) photopolymerization initiator contained in the curable resin composition to cure the light-irradiated portion. In the step (B), it is considered that a base and a radical are generated in the light irradiation section, the generated base destabilizes the (B) photopolymerization initiator, and further generates a base. As a result of the base multiplying chemically, the base can be sufficiently cured to the deep part of the light irradiation part.
As a light irradiator used for light irradiation, for example, a direct drawing device capable of irradiating laser light, lamp light, or LED light can be used. A negative mask can be used as the pattern-shaped light irradiation mask.

活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光または散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく硬化性樹脂組成物の熱反応性を向上させることができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には20〜1000mJ/cm、好ましくは20〜300mJ/cmの範囲内とすることができる。 It is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm as the active energy ray. By setting the maximum wavelength in this range, the thermal reactivity of the curable resin composition can be efficiently improved. Either a gas laser or a solid-state laser may be used as long as the laser light in this range is used. The light irradiation amount varies depending on the film thickness and the like, but can be generally in the range of 20 to 1000 mJ / cm 2 , preferably 20 to 300 mJ / cm 2 .

直接描画装置としては、例えば、日本オルボテック社製、ペンタックス社製等のものを使用することができ、最大波長が350〜410nmのレーザー光を発振する装置であればいずれの装置を用いてもよい。   As the direct drawing apparatus, for example, those manufactured by Nippon Orbotech Co., Ltd., Pentax Co., etc. can be used, and any apparatus that oscillates laser light having a maximum wavelength of 350 to 410 nm may be used. .

[工程(B1)]
工程(B1)は、加熱により光照射部を硬化する。工程(B1)は、工程(B)で発生した塩基により深部まで硬化できる。
加熱温度は、硬化性樹脂組成物のうち光照射部は熱硬化するが、未照射部は熱硬化しない温度であることが好ましい。
例えば、工程(B1)は、未照射の硬化性樹脂組成物の発熱開始温度または発熱ピーク温度よりも低く、かつ、光照射した硬化性樹脂組成物の発熱開始温度または発熱ピーク温度よりも高い温度で加熱することが好ましい。このように加熱することにより、光照射部のみを選択的に硬化することができる。
ここで、加熱温度は、例えば、70〜140℃である。加熱温度を70℃以上とすることにより、光照射部を十分に硬化できる。一方、加熱温度を140℃以下とすることにより、光照射部のみを選択的に硬化できる。加熱時間は、例えば、5〜100分である。加熱方法は、上記乾燥方法と同様である。
なお、未照射部では、光重合開始剤から塩基が発生しないため、熱硬化が抑制される。
[Step (B1)]
In the step (B1), the light irradiation part is cured by heating. In the step (B1), the base can be cured to a deep part by the base generated in the step (B).
The heating temperature is preferably a temperature at which the light-irradiated portion of the curable resin composition is thermally cured, but the unirradiated portion is not thermally cured.
For example, in the step (B1), the temperature is lower than the exothermic start temperature or exothermic peak temperature of the unirradiated curable resin composition, and is higher than the exothermic start temperature or exothermic peak temperature of the light-irradiated curable resin composition. It is preferred to heat with. By heating as described above, only the light irradiation part can be selectively cured.
Here, the heating temperature is, for example, 70 to 140 ° C. By setting the heating temperature to 70 ° C. or higher, the light irradiation part can be sufficiently cured. On the other hand, by setting the heating temperature to 140 ° C. or lower, only the light irradiation part can be selectively cured. The heating time is, for example, 5 to 100 minutes. The heating method is the same as the above-mentioned drying method.
In the unirradiated portion, no base is generated from the photopolymerization initiator, so that thermal curing is suppressed.

[工程(C)]
工程(C)は、現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成する工程である。現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等公知の方法によることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、エタノールアミン等のアミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
[Step (C)]
Step (C) is a step of forming a negative pattern layer by removing unirradiated portions by development. As a developing method, a known method such as a dipping method, a shower method, a spray method, and a brush method can be used. Examples of the developing solution include amines such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, and ethanolamine, and an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH). ) Or a mixture thereof.

[工程(D)]
上記パターン形成方法は、工程(C)の後に、さらに、紫外線照射工程(D)を含むことが好ましい。工程(C)の後にさらに紫外線照射を行うことで、光照射時に活性化せずに残った(B)光重合開始剤を活性化させることができる。工程(C)の後の紫外線照射工程(D)における紫外線の波長および光照射量(露光量)は、工程(B)と同じであってもよく、異なっていてもよい。好適な光照射量(露光量)は、150〜2000mJ/cmである。
[Step (D)]
It is preferable that the pattern forming method further includes an ultraviolet irradiation step (D) after the step (C). By further performing ultraviolet irradiation after the step (C), it is possible to activate the photopolymerization initiator (B) remaining without being activated at the time of light irradiation. In the ultraviolet irradiation step (D) after the step (C), the ultraviolet wavelength and the light irradiation amount (exposure amount) may be the same as or different from the step (B). A suitable light irradiation amount (exposure amount) is 150 to 2000 mJ / cm 2 .

[工程(E)]
上記パターン形成方法は、工程(C)の後に、さらに、熱硬化(ポストキュア)工程(E)を含むことが好ましい。
工程(C)の後に工程(D)と工程(E)をともに行う場合、工程(E)は、工程(D)の後に行うことが好ましい。
工程(E)は、工程(B)、または工程(B)および工程(D)により(B)光重合開始剤から発生した塩基により、パターン層を十分に熱硬化させる。工程(E)の時点では、未照射部を既に除去しているため、工程(E)は、未照射の硬化性樹脂組成物の硬化反応開始温度以上の温度で行うことができる。これにより、パターン層を十分に熱硬化させることができる。加熱温度は、例えば、160℃以上である。なお、工程(E)の後に、さらに紫外線照射工程を含んでもよい。
[Step (E)]
It is preferable that the pattern formation method further includes a thermosetting (post-curing) step (E) after the step (C).
When both the step (D) and the step (E) are performed after the step (C), the step (E) is preferably performed after the step (D).
In the step (E), the pattern layer is sufficiently thermoset with the base generated from the photopolymerization initiator (B) in the step (B) or the steps (B) and (D). At the time of the step (E), since the unirradiated portion has already been removed, the step (E) can be performed at a temperature equal to or higher than the curing reaction starting temperature of the unirradiated curable resin composition. Thereby, the pattern layer can be sufficiently thermoset. The heating temperature is, for example, 160 ° C. or higher. After the step (E), an ultraviolet irradiation step may be further included.

以下に実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではない。尚、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. In the following, “parts” and “%” are all based on mass unless otherwise specified.

(合成例1:エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂A−1の合成)
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、ビスフェノールA456部、水228部、37%ホルマリン649部を仕込み、40℃以下の温度を保ち、25%水酸化ナトリウム水溶液228部を添加した、添加終了後50℃で10時間反応した。反応終了後40℃まで冷却し、40℃以下を保ちながら37.5%リン酸水溶液でpH4まで中和した。その後静置し水層を分離した。分離後メチルイソブチルケトン300部を添加し均一に溶解した後、蒸留水500部で3回洗浄し、50℃以下の温度で減圧下、水、溶媒等を除去した。得られたポリメチロール化合物をメタノール550部に溶解し、ポリメチロール化合物のメタノール溶液1230部を得た。
得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液の一部を真空乾燥機中室温で乾燥したところ、固形分が55.2%であった。
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液500部、2,6−キシレノール440部を仕込み、50℃で均一に溶解した。均一に溶解した後50℃以下の温度で減圧下メタノールを除去した。その後シュウ酸8部を加え、100℃で10時間反応した。反応終了後180℃、50mmHgの減圧下で溜出分を除去し、ノボラック樹脂A 550部を得た。
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック樹脂A 130部、50%水酸化ナトリウム水溶液2.6部、トルエン/メチルイソブチルケトン(質量比=2/1)100部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、次に加熱昇温し、150℃、8kg/cmでプロピレンオキシド60部を徐々に導入し反応させた。反応はゲージ圧0.0kg/cmとなるまで約4時間を続けた後、室温まで冷却した。この反応溶液に3.3部の36%塩酸水溶液を添加混合し、水酸化ナトリウムを中和した。この中和反応生成物をトルエンで希釈し、3回水洗し、エバポレーターにて脱溶剤して、水酸基価が189g/eq.であるノボラック樹脂Aのプロピレンオキシド付加物を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りプロピレンオキシドが平均1モル付加しているものであった。
得られたノボラック樹脂Aのプロピレンオキシド付加物189部、アクリル酸36部、p−トルエンスルホン酸3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トルエン140部を撹拌機、温度計、空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を吹き込みながら攪拌して、115℃に昇温し、反応により生成した水をトルエンと共沸混合物として留去しながら、さらに4時間反応させたのち、室温まで冷却した。得られた反応溶液を5%NaCl水溶液を用いて水洗し、減圧留去にてトルエンを除去したのち、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを加えて、不揮発分67%のアクリレート樹脂溶液を得た。
次に、撹拌器および還流冷却器の付いた4つ口フラスコに、得られたアクリレート樹脂溶液322部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トリフェニルホスフィン0.3部を仕込み、この混合物を110℃に加熱し、テトラヒドロ無水フタル酸60部を加え、4時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られたカルボキシル基含有感光性樹脂は、不揮発分70%、固形分酸価81mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A−1と称す。
(Synthesis example 1: Synthesis of alkali developable resin A-1 having an ethylenically unsaturated double bond)
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 456 parts of bisphenol A, 228 parts of water and 649 parts of 37% formalin, kept at a temperature of 40 ° C. or lower, and added 228 parts of a 25% aqueous sodium hydroxide solution. Reaction was performed at 10 ° C. for 10 hours. After completion of the reaction, the mixture was cooled to 40 ° C., and neutralized to pH 4 with a 37.5% phosphoric acid aqueous solution while maintaining the temperature at 40 ° C. or lower. Thereafter, the mixture was allowed to stand, and the aqueous layer was separated. After the separation, 300 parts of methyl isobutyl ketone was added and uniformly dissolved, followed by washing three times with 500 parts of distilled water, and removing water, solvent and the like under a reduced pressure at a temperature of 50 ° C. or lower. The obtained polymethylol compound was dissolved in 550 parts of methanol to obtain 1230 parts of a methanol solution of the polymethylol compound.
A part of the obtained methanol solution of the polymethylol compound was dried in a vacuum dryer at room temperature, and the solid content was 55.2%.
In a flask equipped with a condenser and a stirrer, 500 parts of a methanol solution of the obtained polymethylol compound and 440 parts of 2,6-xylenol were charged and uniformly dissolved at 50 ° C. After uniform dissolution, methanol was removed under reduced pressure at a temperature of 50 ° C. or less. Thereafter, 8 parts of oxalic acid was added, and the mixture was reacted at 100 ° C. for 10 hours. After the completion of the reaction, the distillate was removed at 180 ° C. under a reduced pressure of 50 mmHg to obtain 550 parts of novolak resin A.
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device, an alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 130 parts of novolak resin A, 2.6 parts of a 50% aqueous sodium hydroxide solution, and toluene / methyl isobutyl ketone (mass ratio = 2/1) 100 parts were charged, the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, then the temperature was increased by heating, and 60 parts of propylene oxide was gradually introduced at 150 ° C. and 8 kg / cm 2 to cause a reaction. The reaction was continued for about 4 hours until the gauge pressure became 0.0 kg / cm 2, and then cooled to room temperature. To this reaction solution, 3.3 parts of a 36% hydrochloric acid aqueous solution was added and mixed to neutralize sodium hydroxide. The neutralized reaction product was diluted with toluene, washed three times with water, and the solvent was removed with an evaporator to give a hydroxyl value of 189 g / eq. Of novolak resin A was obtained. This was one in which propylene oxide was added on average to 1 mole per equivalent of phenolic hydroxyl group.
189 parts of propylene oxide adduct of the obtained novolak resin A, 36 parts of acrylic acid, 3.0 parts of p-toluenesulfonic acid, 0.1 part of hydroquinone monomethyl ether, and 140 parts of toluene were stirred with a stirrer, a thermometer, and an air blowing tube. The mixture was stirred while blowing in air, heated to 115 ° C., reacted for another 4 hours while distilling off water produced by the reaction as an azeotrope with toluene, and then allowed to reach room temperature. Cool. The obtained reaction solution was washed with 5% aqueous NaCl solution, and toluene was removed by distillation under reduced pressure. Then, diethylene glycol monoethyl ether acetate was added to obtain an acrylate resin solution having a nonvolatile content of 67%.
Next, 322 parts of the obtained acrylate resin solution, 0.1 part of hydroquinone monomethyl ether and 0.3 part of triphenylphosphine were charged into a four-necked flask equipped with a stirrer and a reflux condenser. , 60 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added, and the mixture was reacted for 4 hours. After cooling, it was taken out. The carboxyl group-containing photosensitive resin thus obtained had a nonvolatile content of 70% and a solid content acid value of 81 mgKOH / g. Hereinafter, this solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as a resin solution A-1.

(合成例2:エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂A−2の合成)
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート600gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔DIC社製、EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6〕1070g、アクリル酸360g、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、テトラヒドロ無水フタル酸456.0gを仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却後、固形分酸価89mgKOH/g、固形分70%の樹脂溶液を得た。これを樹脂溶液A−2と称す。
(Synthesis Example 2: Synthesis of alkaline developable resin A-2 having an ethylenically unsaturated double bond)
Orthocresol novolak type epoxy resin [manufactured by DIC, EPICLON N-695, softening point 95 ° C, epoxy equivalent 214, average functional group number 7.6] 1070 g, diethylene glycol monoethyl ether acetate 600 g, acrylic acid 360 g, and hydroquinone 1.5 g And heated and stirred at 100 ° C. to dissolve uniformly. Next, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated at 110 ° C., reacted for 2 hours, and then heated to 120 ° C., and further reacted for 12 hours. To the obtained reaction solution, 415 g of an aromatic hydrocarbon (Solvesso 150) and 456.0 g of tetrahydrophthalic anhydride were charged and reacted at 110 ° C. for 4 hours. After cooling, the solid content acid value was 89 mg KOH / g and the solid content was 70 % Resin solution was obtained. This is called resin solution A-2.

(二重結合当量の測定)
上記で得られたエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂A−1、A−2にモルホリンを反応させた後、無水酢酸を加えて未反応のモルホリンと反応させた。二重結合を有するアルカリ現像性樹脂とモルホリンとの反応体を過塩素酸で滴定することにより、二重結合当量を算出した。二重結合当量は固形分100%換算でそれぞれ、A−1が1255eq./g、A−2が979eq./gであった。
(Measurement of double bond equivalent)
After reacting morpholine with the alkali developable resins A-1 and A-2 having an ethylenically unsaturated double bond obtained above, acetic anhydride was added to react with unreacted morpholine. The double bond equivalent was calculated by titrating the reactant of the alkali developable resin having a double bond with morpholine with perchloric acid. The double bond equivalent was 1255 eq. For A-1 in terms of 100% solid content. / G, 979 eq. / G.

(実施例1〜18および比較例1〜7)
下記表1〜4に示す種々の成分と共に表1〜4に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、硬化性樹脂組成物を調製した。
(Examples 1 to 18 and Comparative Examples 1 to 7)
The components were mixed in the proportions (parts by mass) shown in Tables 1 to 4 together with the various components shown in Tables 1 to 4 below, preliminarily mixed with a stirrer, and kneaded with a three-roll mill to prepare a curable resin composition. .

Figure 0006639827
*1:オキシムエステル系光重合開始剤、BASFジャパン社製
*2:オキシムエステル系光重合開始剤、常州強力電子新材料有限公司社製
*3:オキシムエステル系光重合開始剤、日本化学工業所社製
*4〜*6:α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、BASFジャパン社製
*7:アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、BASFジャパン社製
*8:ノボラック型エポキシ樹脂、ダウ・ケミカル社製
*9:ビフェニル型エポキシ樹脂、三菱化学社製
*10:ナフトール変性エポキシ樹脂エポキシ樹脂、日本化薬社製
*11:フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、日本化薬社製
*12、13:CIKナノテック社製
*14:ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
*15:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート
Figure 0006639827
* 1: Oxime ester photopolymerization initiator, manufactured by BASF Japan * 2: Oxime ester photopolymerization initiator, manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd. * 3: Oxime ester photopolymerization initiator, Nippon Chemical Industry Co., Ltd. * 4 to * 6: α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator, manufactured by BASF Japan * 7: Acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, manufactured by BASF Japan * 8: Novolac epoxy resin, Dow Chemical * 9: Biphenyl type epoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation * 10: Naphthol-modified epoxy resin epoxy resin, manufactured by Nippon Kayaku * 11: Phenol aralkyl type epoxy resin, manufactured by Nippon Kayaku * 12, 13: CIK Nanotech * 14: dipentaerythritol pentaacrylate * 15: tricyclodecane dimethanol diacrylate

Figure 0006639827
Figure 0006639827

Figure 0006639827
Figure 0006639827

Figure 0006639827
Figure 0006639827

表1〜4に示す実施例および比較例の硬化性樹脂組成物について、以下に示す方法にて評価を行った。評価結果を表5〜8に示す。   The curable resin compositions of Examples and Comparative Examples shown in Tables 1 to 4 were evaluated by the following methods. The evaluation results are shown in Tables 5 to 8.

[実施例1〜18および比較例1〜7]
(ドライフィルムの作製)
実施例1〜18および比較例1〜7の硬化性樹脂組成物をそれぞれ用いて、樹脂層を有するドライフィルムを作製した。ドライフィルムは、キャリアフィルムとして38μmの厚みのポリエステルフィルムを用いて、硬化性樹脂組成物をアプリケーターを用いてキャリアフィルム上に塗布し、80℃で10分乾燥して作製した。
[Examples 1 to 18 and Comparative Examples 1 to 7]
(Production of dry film)
A dry film having a resin layer was produced using each of the curable resin compositions of Examples 1 to 18 and Comparative Examples 1 to 7. The dry film was prepared by using a polyester film having a thickness of 38 μm as a carrier film, applying the curable resin composition on the carrier film using an applicator, and drying the coating at 80 ° C. for 10 minutes.

(最適露光量)
銅厚15μmの回路が形成されている片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。この基板に前記各実施例および比較例にかかるドライフィルムを、樹脂層が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて張り合わせることにより、基板上に樹脂層を形成した。この基板を高圧水銀ショートアークランプ搭載の露光装置を用いてステップタブレット(Kodak No.2)を介して露光し、現像(30℃、0.2MPa、1質量%NaCO水溶液)を60秒で行った際に残存するステップタブレットのパターンが3段の時を最適露光量とした。
(Optimal exposure)
A single-sided printed circuit board on which a circuit having a copper thickness of 15 μm was formed was prepared, and pre-processed using CZ8100 manufactured by MEC. The resin film was formed on the substrate by bonding the dry film according to each of the examples and the comparative examples to the substrate using a vacuum laminator so that the resin layer was in contact with the substrate. This substrate was exposed through a step tablet (Kodak No. 2) using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury short arc lamp, and developed (30 ° C., 0.2 MPa, 1% by mass Na 2 CO 3 aqueous solution) for 60 seconds. When the pattern of the step tablet remaining after performing the above was three steps, it was determined as the optimum exposure amount.

(特性試験)
銅厚15μmの回路が形成してある片面プリント配線基板を用意し、メック社製CZ8100を使用して前処理を行った。この基板に前記各実施例および比較例にかかるドライフィルムを、樹脂層が基板に接するように、真空ラミネーターを用いて張り合わせることにより、基板上に層構造の樹脂層を形成した。この基板に、高圧水銀ショートアークランプ灯を搭載した露光装置を用いて上記最適露光量でソルダーレジストパターンを露光した後、キャリアフィルムを剥離し、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液によりスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、ソルダーレジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、160℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント配線板(評価基板)について以下のように特性を評価した。
(Characteristic test)
A single-sided printed wiring board on which a circuit having a copper thickness of 15 μm was formed was prepared, and pre-processed using CZ8100 manufactured by MEC. The resin film having a layer structure was formed on the substrate by bonding the dry film according to each of the examples and the comparative examples to the substrate using a vacuum laminator so that the resin layer was in contact with the substrate. After exposing the solder resist pattern to the substrate at an optimum exposure amount using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury short arc lamp, the carrier film was peeled off, and a spray pressure of 0% with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. Development was performed for 60 seconds under the condition of 0.2 MPa to obtain a solder resist pattern. The substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 , and then cured by heating at 160 ° C. for 60 minutes. The characteristics of the obtained printed wiring board (evaluation substrate) were evaluated as follows.

<解像性>
上記評価基板のパターン開口形状を観察し評価した。判定基準は以下のとおりである。なお、開口径の設計値は80μmとした。
◎:開口径が設定開口径の±5%未満かつ開口上部と底部の開口径の比が0.95超1.05未満
○:開口径が設定開口径の±5〜10%かつ開口上部と底部の開口径の比が0.90〜0.95以内か1.05〜1.10以内
△:開口径が設定開口径の±10%を超えるか開口上部と底部の開口径の比が0.9〜1.10の範囲を超える
×:開口径が設定開口径の±10%を超え、かつ開口上部と底部の開口径の比が0.9〜1.10の範囲を超える
<Resolution>
The pattern opening shape of the evaluation substrate was observed and evaluated. The criteria are as follows. The design value of the opening diameter was 80 μm.
◎: The opening diameter is less than ± 5% of the set opening diameter and the ratio of the opening diameter of the opening upper part to the bottom part is more than 0.95 and less than 1.05. The ratio of the opening diameter at the bottom is within 0.90 to 0.95 or within 1.05 to 1.10. Δ: The opening diameter exceeds ± 10% of the set opening diameter or the ratio of the opening diameter at the top and bottom of the opening is 0. X: Exceeding the range of 9.1 to 1.10. ×: The opening diameter exceeds ± 10% of the set opening diameter, and the ratio of the opening diameter at the top and bottom of the opening exceeds 0.9 to 1.10.

<PCT耐性>
上記硬化物のパターンに無電解金めっきを施し評価基板を得た。この評価基板を、PCT装置(エスペック社製HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて、121℃、飽和、0.2MPaの条件で300時間処理し、パターンの状態によりPCT耐性を評価した。
判定基準は以下のとおりである。
◎:膨れ、剥がれ、変色のないもの
○:膨れ、剥がれはなく、変色が有り
△:膨れ、剥がれがわずかにあるもの
×:膨れ、剥がれが多く見られるもの
<PCT resistance>
The pattern of the cured product was subjected to electroless gold plating to obtain an evaluation substrate. This evaluation substrate was treated for 300 hours under the conditions of 121 ° C., saturation, and 0.2 MPa using a PCT apparatus (HAST SYSTEM TPC-412MD manufactured by Espec Corporation), and the PCT resistance was evaluated based on the state of the pattern.
The criteria are as follows.
◎: No swelling, peeling, discoloration ○: No swelling, peeling, discoloration △: Slight swelling, slight peeling X: Swelling, peeling often observed

<線膨張係数(CTE)>
GTS−MP箔(古河サーキットフォイル社製)の光沢面側(銅箔)上に上記で作製したドライフィルムをラミネートして、銅箔上に樹脂層を形成した。次いで、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で樹脂層を紫外線照射した後、160℃で60分加熱して樹脂層を硬化させて硬化膜を得た。その後、硬化膜を銅箔より剥離した後、測定サイズ(3mm×10mmのサイズ)にサンプルを切り出し、セイコーインスツル社製TMA6100に供した。TMA測定は、試験加重5g、サンプルを10℃/分の昇温速度で室温より昇温、連続して2回測定した。2回目における線膨張係数の異なる2接線の交点をガラス転移温度(Tg)とし、Tg以下の領域における線膨張係数(CTE(α1))として評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:Tg温度以下でのCTEが20ppm以下
○:Tg温度以下でのCTEが20ppm超、50ppm以下
△:Tg温度以下でのCTEが50ppm超、80ppm以下
×:Tg温度以下でのCTEが80ppm超
<Linear expansion coefficient (CTE)>
The dry film prepared above was laminated on the glossy side (copper foil) of GTS-MP foil (made by Furukawa Circuit Foil) to form a resin layer on the copper foil. Next, the resin layer was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the conditions of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 , and then heated at 160 ° C. for 60 minutes to cure the resin layer to obtain a cured film. Thereafter, after the cured film was peeled off from the copper foil, a sample was cut out to a measurement size (3 mm × 10 mm size) and supplied to TMA6100 manufactured by Seiko Instruments Inc. In the TMA measurement, the test weight was 5 g, the sample was heated from room temperature at a heating rate of 10 ° C./min, and measured continuously twice. The intersection of two tangents having different linear expansion coefficients at the second time was defined as the glass transition temperature (Tg), and evaluated as the linear expansion coefficient (CTE (α1)) in a region equal to or lower than Tg. The criteria are as follows.
◎: CTE at Tg temperature or lower is 20 ppm or less :: CTE at Tg temperature or lower is higher than 20 ppm or 50 ppm △: CTE at Tg temperature or lower is higher than 50 ppm or 80 ppm or lower X: CTE at Tg temperature or lower is higher than 80 ppm

Figure 0006639827
Figure 0006639827

Figure 0006639827
Figure 0006639827

Figure 0006639827
Figure 0006639827

Figure 0006639827
Figure 0006639827

上記表5〜8に示す結果から、(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂と(B)ラジカルおよび塩基を発生する光重合開始剤とを含み、(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しない実施例1〜18の硬化性樹脂組成物では、解像性および硬化物のPCT耐性に優れることが分かった。また、(D)シリカの配合量が30質量%を超える場合、線膨張係数を低減できることが分かった。
これに対して、(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有する比較例1〜7の硬化性樹脂組成物では、解像性および硬化物のPCT耐性が不十分であることが分かった。
From the results shown in the above Tables 5 to 8, it can be seen that (E) an ethylenically unsaturated double bond comprising an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond and (B) a photopolymerization initiator which generates a radical and a base. It was found that the curable resin compositions of Examples 1 to 18 containing no organic compound having a saturated double bond had excellent resolution and excellent PCT resistance of the cured product. In addition, it was found that when the compounding amount of (D) silica exceeds 30% by mass, the coefficient of linear expansion can be reduced.
On the other hand, in the curable resin compositions of Comparative Examples 1 to 7 containing (E) the organic compound having an ethylenically unsaturated double bond, the resolution and the PCT resistance of the cured product are insufficient. I understood.

Claims (6)

(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂、
(B)ラジカルおよび塩基を発生する光重合開始剤、
(C)熱硬化成分、および、
(D)シリカを含有する硬化性樹脂組成物であって、
前記(D)シリカの配合量が組成物全量の固形分基準で30〜80質量%であり、
実質的に前記(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しないことを特徴とするソルダーレジスト形成用であるアルカリ現像型の硬化性樹脂組成物。
(A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond,
(B) a photopolymerization initiator that generates a radical and a base,
(C) a thermosetting component, and
(D) a curable resin composition containing silica,
(D) the amount of silica is 30 to 80% by mass based on the solid content of the total amount of the composition;
It is for forming a solder resist characterized in that it does not substantially contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated double bond other than the (A) alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond. An alkali developing type curable resin composition.
(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂、(A) an alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond,
(B)ラジカルおよび塩基を発生する光重合開始剤、(B) a photopolymerization initiator that generates a radical and a base,
(C)熱硬化成分、および、(C) a thermosetting component, and
(D)シリカを含有する硬化性樹脂組成物であって、(D) a curable resin composition containing silica,
前記(D)シリカが表面処理されており、(D) the silica is surface-treated,
実質的に前記(A)エチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ現像性樹脂以外に(E)エチレン性不飽和二重結合を有する有機化合物を含有しないことを特徴とするソルダーレジスト形成用であるアルカリ現像型の硬化性樹脂組成物。It is for forming a solder resist characterized in that it does not substantially contain (E) an organic compound having an ethylenically unsaturated double bond other than the (A) alkali developable resin having an ethylenically unsaturated double bond. An alkali developing type curable resin composition.
前記(C)熱硬化成分がエポキシ化合物である請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物。 Wherein (C) The curable resin composition according to claim 1 or 2 thermosetting component is an epoxy compound. 請求項1〜のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 Dry film characterized by having a resin layer obtained from the curable resin composition according to any one of claims 1-3. 請求項1〜のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物または請求項記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the curable resin composition according to any one of claims 1 to 3 or the resin layer of the dry film according to claim 4 . 請求項記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。
A printed wiring board comprising the cured product according to claim 5 .
JP2015156431A 2014-08-08 2015-08-06 Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Active JP6639827B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015156431A JP6639827B2 (en) 2014-08-08 2015-08-06 Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014162399 2014-08-08
JP2014162399 2014-08-08
JP2015156431A JP6639827B2 (en) 2014-08-08 2015-08-06 Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016038587A JP2016038587A (en) 2016-03-22
JP6639827B2 true JP6639827B2 (en) 2020-02-05

Family

ID=55529651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015156431A Active JP6639827B2 (en) 2014-08-08 2015-08-06 Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6639827B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6967508B2 (en) * 2016-03-31 2021-11-17 太陽インキ製造株式会社 Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
JP6434544B2 (en) * 2016-05-26 2018-12-05 太陽インキ製造株式会社 Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
KR102294518B1 (en) * 2016-09-30 2021-08-27 후지필름 가부시키가이샤 Metal nitride-containing particles, dispersion composition, curable composition, cured film, and their manufacturing method and color filter, solid-state imaging device, solid-state imaging device, infrared sensor
JP7147197B2 (en) * 2018-03-16 2022-10-05 大日本印刷株式会社 Wiring board and method for manufacturing wiring board
JP2020013107A (en) 2018-07-05 2020-01-23 日本化薬株式会社 Photosensitive resin composition
CN113156762A (en) 2019-12-24 2021-07-23 日本化药株式会社 Photosensitive resin composition, dry film, cured product and printed wiring board

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040063849A1 (en) * 2002-09-26 2004-04-01 Nippon Paint Co., Ltd. Photosolder resist composition
JP2013115170A (en) * 2011-11-28 2013-06-10 Hitachi Chemical Co Ltd Printed wiring board, manufacturing method thereof, and photosensitive resin composition
JP6073007B2 (en) * 2012-02-08 2017-02-01 株式会社タムラ製作所 Curable resin composition
JP2014086598A (en) * 2012-10-24 2014-05-12 Hitachi Chemical Co Ltd Method of manufacturing semiconductor device, semiconductor device, and photosensitive resin composition

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016038587A (en) 2016-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5882510B2 (en) Photosensitive dry film and method for producing printed wiring board using the same
JP6639827B2 (en) Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
KR102315804B1 (en) Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
TWI704169B (en) Curable resin composition, dry film, cured product and printed circuit board
JP6258547B2 (en) Photosensitive dry film and method for producing printed wiring board using the same
JP5941180B1 (en) Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
KR20160003294A (en) Photocurable resin composition, dry film and cured object obtained therefrom, and printed wiring board obtained using these
JP2013539072A (en) Photosensitive resin composition, dry film solder resist and circuit board
JP7181094B2 (en) Photocurable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
JP6852234B2 (en) Photoresist composition and its cured product
JP6215497B1 (en) Photosensitive film laminate and cured product formed using the same
JP7187538B2 (en) Alkali developable photocurable thermosetting resin composition
JP2020166207A (en) Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
JP7066634B2 (en) Curable composition, main agent and curing agent, dry film, cured product, and printed wiring board
JP6329738B2 (en) Curable resin composition, dry film and printed wiring board
JP5986157B2 (en) Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board
JP2018136522A (en) Photosensitive film laminate and cured product formed therewith
WO2021210570A1 (en) Curable resin composition, dry film, cured article, and printed wiring board
JP7101513B2 (en) Curable resin compositions, dry films, cured products, and electronic components
JP2020050684A (en) Photocurable thermosetting resin composition, dry film, cured product and electronic component
JP6650076B1 (en) Alkali-developing photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
JP2020166211A (en) Curable resin composition, dry film, cured product, printed wiring board, and electronic component
WO2022176875A1 (en) Photosensitive film laminate, cured product, and printed wiring board
JP2024054101A (en) Curable resin composition, dry film, cured material and printed wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180725

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190611

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190618

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190814

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191225

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6639827

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250