JP5876182B1 - Curable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board having the same - Google Patents

Curable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board having the same Download PDF

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Abstract

【課題】 ロープロファイル化された基板に対し、優れた密着性を有し、かつエッチングレジスト、ソルダーレジスト等のレジストに要求される諸特性、例えば強靭性や電気特性等も高水準に維持することが可能な、硬化性組成物、そのドライフィルムおよび硬化物、並びにこれを有するプリント配線板を提供する。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光塩基発生剤、および光重合開始剤の少なくとも一種、および(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物有することを特徴とする硬化性樹脂組成物そのドライフィルムおよび硬化物、並びにこれを有するプリント配線板が得られた。【選択図】 なしPROBLEM TO BE SOLVED: To maintain a high level of various properties required for resists such as an etching resist and a solder resist, such as toughness and electrical properties, with excellent adhesion to a low profile substrate. A curable composition, a dry film and a cured product thereof, and a printed wiring board having the same are provided. A curable resin composition comprising (A) an alkali-soluble resin, (B) at least one of a photobase generator and a photopolymerization initiator, and (C) a thermosetting compound having an oxazolidone ring. As a result, a dry film and a cured product thereof, and a printed wiring board having the same were obtained. [Selection figure] None

Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、特にソルダーレジスト等のレジストとして好適に使用される、硬化性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a curable resin composition, particularly a curable resin composition that is suitably used as a resist such as a solder resist.

更に、本発明は、上記硬化性樹脂組成物のドライフィルムおよび硬化物、並びにこれを有するプリント配線板に関する。   Furthermore, this invention relates to the dry film and hardened | cured material of the said curable resin composition, and a printed wiring board which has this.

現在、民生用プリント配線板や、産業用プリント配線板のレジスト(ソルダーレジスト、エッチングレジスト)において、高精度、高密度の観点から、紫外線照射後、現像することにより画像形成し、熱及び光照射の少なくとも一方で仕上げ硬化(本硬化)する液状現像型フォトレジストが使用されている。   Currently, from printed wiring boards for consumer use and industrial printed wiring boards (solder resist, etching resist), from the viewpoint of high accuracy and high density, images are formed by developing after UV irradiation, and heat and light irradiation. A liquid development type photoresist that is finish-cured (mainly cured) at least on the other side is used.

液状現像型レジストの中でも、環境問題への配慮から、現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型が主流になっており、プリント配線板の製造において大量に使用されている。また、フォトレジストは、強靭性や優れた電気特性に加え、基板との密着性が良好であることが要求される。   Among liquid development resists, an alkali development type using a dilute alkaline aqueous solution as a developing solution has become the mainstream in consideration of environmental problems, and is used in large quantities in the production of printed wiring boards. Further, the photoresist is required to have good adhesion to the substrate in addition to toughness and excellent electrical characteristics.

密着性を向上させる方法の一つとしては、組成物ないしフィルムを基板に施与するに先立ち、化学研磨によって基板(銅箔等)を粗面化処理し、表面積を増やすことによって、アンカー効果を持たせる技術が広く用いられている。これによりレジスト用組成物またはドライフィルムと、基板との密着性が向上する。一方で、エレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、ファインピッチ化が急速に進展している。ファインピッチの基板は、使用する基板も小型薄層とされるために、完全な電気的性能を得るためには、粗面化において凹凸を抑制するいわゆるロープロファイル化も進んでいる(例えば、特許文献1)。   One method of improving adhesion is to roughen the substrate (copper foil, etc.) by chemical polishing before applying the composition or film to the substrate, thereby increasing the surface area, thereby increasing the anchor effect. The technology to have is widely used. This improves the adhesion between the resist composition or dry film and the substrate. On the other hand, fine pitches are rapidly progressing in response to the increase in the density of printed wiring boards accompanying the downsizing of electronic equipment. Since the fine pitch substrate is also a small thin layer, in order to obtain complete electrical performance, so-called low profile that suppresses irregularities in roughening is also progressing (for example, patents) Reference 1).

また近年では、表面実装への移行、また環境問題への配慮に伴う鉛フリー半田の使用などパッケージにかかる温度が非常に高くなる傾向がある。これに伴いパッケージ内外部の到達温度は著しく高くなり、従来の液状感光性レジストでは、熱衝撃により塗膜にクラックが発生したり、基板や封止材から剥離してしまうという問題からその改良が求められている。   In recent years, there is a tendency for the temperature applied to the package to become very high, such as the transition to surface mounting and the use of lead-free solder in consideration of environmental problems. Along with this, the temperature reached inside and outside of the package is remarkably increased, and the conventional liquid photosensitive resist is improved due to the problem that the coating film cracks due to thermal shock or peels off from the substrate or sealing material. It has been demanded.

このような問題を解消すべく、特許文献2には、(A)カルボキシル基含有樹脂(但し、エポキシ樹脂を出発原料とするカルボキシル基含有樹脂を除く)、
(B)光重合開始剤、及び(C)エポキシ化ポリブタジエンを含有することを特徴とする希アルカリ水溶液により現像可能な光硬化性熱硬化性樹脂組成物が提案されている。
In order to solve such a problem, Patent Document 2 includes (A) a carboxyl group-containing resin (however, excluding a carboxyl group-containing resin starting from an epoxy resin),
There has been proposed a photocurable thermosetting resin composition that can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, which contains (B) a photopolymerization initiator and (C) an epoxidized polybutadiene.

特開2008−285751号公報JP 2008-285751 A 特開2010−256728号公報JP 2010-256728 A

しかしながら、特許文献1では、小型薄層基板のロープロファイル化が必要とされるが、ロープロファイル化された粗面化水準では、エッチングレートも低減され、アンカー効果のみによって、レジスト用組成物と基板との密着性が必ずしも十分に得られるものではない。   However, in Patent Document 1, a low profile of a small thin layer substrate is required. However, the etching rate is also reduced at the roughened level of the low profile, and the resist composition and the substrate are obtained only by the anchor effect. Adhesiveness with is not always obtained sufficiently.

しかしながら、特許文献2では、パッケージにかかる温度域が広範にわたる場合、前記特性は十分に満足し得るものとは言えず、さらなる改良の余地があった。   However, in patent document 2, when the temperature range concerning a package is wide, the said characteristic cannot be said to be fully satisfied, but there was room for the further improvement.

本発明の目的は、とりわけプライマー層等の付加的な層を設けることなく、ロープロファイル化された基板に対し、優れた密着性を有し、かつレジスト、特にパッケージ用のソルダーレジストに要求される諸特性、例えば強靭性や電気特性等も高水準に維持することが可能な、硬化性組成物、そのドライフィルムおよび硬化物、並びにこれを有するプリント配線板を提供することにある。   The object of the present invention is particularly required for a resist, particularly a solder resist for a package, having excellent adhesion to a low profile substrate without providing an additional layer such as a primer layer. An object of the present invention is to provide a curable composition, a dry film and a cured product thereof, and a printed wiring board having the same, which can maintain various characteristics such as toughness and electrical characteristics at high levels.

本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下の構成とすることで上記課題を解決しうることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that the above-described problems can be solved by adopting the following configuration, and have completed the present invention.

すなわち、本発明の硬化性樹脂組成物は、
(A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)光塩基発生剤、および光重合開始剤の少なくとも一種、および
(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物、
を含有することを特徴とする。
That is, the curable resin composition of the present invention is
(A) an alkali-soluble resin,
(B) a photobase generator, and at least one of photopolymerization initiators, and (C) a thermosetting compound having an oxazolidone ring,
It is characterized by containing.

本発明の硬化性樹脂組成物は、更に(D)ブロック共重合体を含有してもよい。
上記(D)ブロック共重合体は下記式(I)
X−Y−XまたはX−Y−X´ (I)
(式中、XまたはX´はガラス転移点Tgが0℃以上のポリマー単位であり、Yはガラス転移点Tgが0℃未満のポリマー単位である)
で表されることが好ましい。
The curable resin composition of the present invention may further contain (D) a block copolymer.
The (D) block copolymer has the following formula (I)
X-Y-X or X-Y-X '(I)
(In the formula, X or X ′ is a polymer unit having a glass transition point Tg of 0 ° C. or more, and Y is a polymer unit having a glass transition point Tg of less than 0 ° C.)
It is preferable to be represented by

また、(D)ブロック共重合体のXまたはX´に極性基が含まれることが、さらに好ましい。   Further, it is more preferable that a polar group is contained in X or X ′ of the (D) block copolymer.

さらに、(D)ブロック共重合体の重量平均分子量は、10,000〜500,000とされることが好ましい。   Furthermore, it is preferable that the weight average molecular weight of (D) block copolymer shall be 10,000-500,000.

(A)アルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基含有樹脂、およびフェノール性水酸基含有樹脂の少なくとも一種であることが好ましい。   (A) The alkali-soluble resin is preferably at least one of a carboxyl group-containing resin and a phenolic hydroxyl group-containing resin.

さらに、本発明の硬化性樹脂組成物は、(E)反応性希釈剤を含むことが好ましい。   Furthermore, it is preferable that the curable resin composition of this invention contains (E) reactive diluent.

本発明では、硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥することにより、ドライフィルムが得られ、ドライフィルムを光照射後熱硬化させることにより硬化物が得られる。更にこの硬化物を有するプリント配線板が製造される。   In the present invention, a dry film is obtained by applying and drying the curable resin composition on a film, and a cured product is obtained by thermally curing the dry film after light irradiation. Further, a printed wiring board having this cured product is manufactured.

本発明の硬化性樹脂組成物により、ロープロファイル化された銅箔等の基板に対し高い密着性を有し、ガラス転移点(Tg)、熱膨張係数(CTE)およびTCT(サーマルサイクルテスト)耐性等の物理特性に優れ、強靭性が高く、解像性に優れる他、絶縁抵抗値等の等の電気特性も良好なレジストが形成される。更に、本発明の硬化性樹脂組成物は、アルカリにより現像可能であるため、環境への負荷の小さい現像液によるパターン形成が可能である。   With the curable resin composition of the present invention, it has high adhesion to a substrate such as a low profile copper foil, and has a glass transition point (Tg), thermal expansion coefficient (CTE) and TCT (thermal cycle test) resistance. In addition to excellent physical properties such as high toughness and resolution, a resist having good electrical properties such as insulation resistance is formed. Furthermore, since the curable resin composition of the present invention can be developed with an alkali, it is possible to form a pattern with a developer having a small environmental load.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光塩基発生剤、および光重合開始剤の少なくとも一種、および(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物含むことを特徴とする。   The curable resin composition of the present invention comprises (A) an alkali-soluble resin, (B) at least one of a photobase generator, and a photopolymerization initiator, and (C) a thermosetting compound having an oxazolidone ring. And

本発明の硬化性樹脂組成物(以下、単に組成物ともいう)は、プリント配線板の基板とされる銅箔をはじめとする金属およびポリイミド等のプラスチック素材の双方に対して、極めて優れた密着性を有する。これは、本発明の組成物の各成分全体によりもたらされる効果であるが、特に、イソシアネート変性骨格の一種である(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物を用いることにより、特に硬化したフィルムとしての状態で極めて優れた密着性、及び強靭性を有することとなる。さらに熱硬化性化合物、中でもエポキシ樹脂を用いた場合、エポキシ樹脂との反応率に起因して、高強靭性のフィルムが成形される。反応率としては90%以上が好ましく、95%以上がより好ましい。
更に、本発明の組成物は、(さらにブロック共重合体を配合することにより、TCT(サーマルサイクルテスト)耐性が更に向上する。
The curable resin composition of the present invention (hereinafter also simply referred to as a composition) is extremely excellent adhesion to both a metal such as a copper foil used as a substrate of a printed wiring board and a plastic material such as polyimide. Have sex. This is an effect brought about by all the components of the composition of the present invention, but in particular, by using a thermosetting compound having (C) oxazolidone ring which is a kind of isocyanate-modified skeleton, In this state, it has extremely excellent adhesion and toughness. Furthermore, when a thermosetting compound, especially an epoxy resin is used, a highly tough film is formed due to the reaction rate with the epoxy resin. The reaction rate is preferably 90% or more, and more preferably 95% or more.
Furthermore, the composition of the present invention is further improved in TCT (thermal cycle test) resistance (by adding a block copolymer).

特に、本発明の組成物は、(D)ブロック共重合体として、下式(I):
X−Y−XまたはX−Y−X´ (I)
(式中、XまたはX´はガラス転移点Tgが0℃以上のポリマー単位(ハードセグメント)であり、Yはガラス転移点Tgが0℃未満のポリマー単位(ソフトセグメント)である)で表される(D)ブロック共重合体を含むことが好ましい。
In particular, the composition of the present invention has the following formula (I) as (D) block copolymer:
X-Y-X or X-Y-X '(I)
(Wherein X or X ′ is a polymer unit (hard segment) having a glass transition point Tg of 0 ° C. or higher, and Y is a polymer unit (soft segment) having a glass transition point Tg of less than 0 ° C.) (D) It is preferable to contain a block copolymer.

さらに、その中でも(D)ブロック共重合体のハードセグメント(XまたはX´)に極性基を含有する場合には、(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物との相溶性が向上し、より均一な組成物が得られるために、硬化フィルムとしての高強靭性および高密着性もフィルム全体にわたり均一に得られることとなるため、より好ましい。   Furthermore, among them, when the polar segment is contained in the hard segment (X or X ′) of the (D) block copolymer, the compatibility with the thermosetting compound (C) having an oxazolidone ring is improved. Since a uniform composition is obtained, high toughness and high adhesion as a cured film are also obtained uniformly throughout the film, which is more preferable.

以下、本発明の硬化性樹脂組成物の各構成成分について詳しく説明する。   Hereinafter, each component of the curable resin composition of the present invention will be described in detail.

[成分(A):アルカリ可溶性樹脂]
本発明では、アルカリ可溶性樹脂を成分(A)として用いる。(A)アルカリ可溶性樹脂として、カルボキシル基含有樹脂、およびフェノール性水酸基含有樹脂の少なくとも一種が好ましく使用される。アルカリ可溶性樹脂を用いることにより、硬化性樹脂組成物により形成した塗膜を、現像を介してパターン形成することが可能となる。
[Component (A): Alkali-soluble resin]
In the present invention, an alkali-soluble resin is used as the component (A). (A) As the alkali-soluble resin, at least one of a carboxyl group-containing resin and a phenolic hydroxyl group-containing resin is preferably used. By using the alkali-soluble resin, it is possible to pattern-form the coating film formed from the curable resin composition through development.

カルボキシル基含有樹脂としては、アルカリ現像性を付与する目的で分子中にカルボキシル基を有している公知の各種カルボキシル基含有樹脂を使用できる。特に硬化性樹脂組成物が感光性を有する硬化性樹脂組成物である場合、分子中にエチレン性二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂である方が、硬化性や耐現像性の面において好ましい。そして、そのエチレン性二重結合は、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましい。   As the carboxyl group-containing resin, various known carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule for the purpose of imparting alkali developability can be used. In particular, when the curable resin composition is a curable resin composition having photosensitivity, the carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenic double bond in the molecule is more preferable in terms of curability and development resistance. preferable. The ethylenic double bond is preferably derived from acrylic acid, methacrylic acid or derivatives thereof.

尚、エチレン性二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いる場合、組成物中、光重合開始剤のエチレン性二重結合に対する逐次反応を生じさせるために、後述する反応性希釈剤として、分子中にエチレン性二重結合を含有する基を有する化合物、すなわち光重合性モノマーを併用するとよい。   In addition, when using only the carboxyl group-containing resin which does not have an ethylenic double bond, in order to produce the sequential reaction with respect to the ethylenic double bond of a photoinitiator in a composition, as a reactive diluent mentioned later A compound having a group containing an ethylenic double bond in the molecule, that is, a photopolymerizable monomer may be used in combination.

カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が好ましい。   As specific examples of the carboxyl group-containing resin, the following compounds (any of oligomers and polymers) are preferable.

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、C-Cアルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, C 1 -C 6 alkyl (meth) acrylate, and isobutylene Group-containing resin.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物、及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキサイド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジアルコール化合物と、の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。   (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, and polycarbonate polyols and polyethers -Based polyol, polyester-based polyol, polyolefin-based polyol, acrylic polyol, bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, carboxyl group by polyaddition reaction with a dialcohol compound such as a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group Contains urethane resin.

(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキサイド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジアルコール化合物と、の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に無水プロピオン酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸等の2塩基酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。   (3) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, aromatic diisocyanates, polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A systems Propionic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride at the end of urethane resin by polyaddition reaction with alkylene oxide adduct diol, dialcohol compounds such as compounds having phenolic hydroxyl group and alcoholic hydroxyl group A terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reacting a dibasic acid anhydride such as

(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその一部を無水プロピオン酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸等の2塩基酸無水物により変性させた酸無水物変性物と、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、他のジアルコール化合物と、の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。   (4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( (Meth) acrylate or a part thereof modified with dibasic acid anhydrides such as propionic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride, etc., carboxyl group-containing dialcohol compounds, and others Carboxyl group-containing photosensitive urethane resin by polyaddition reaction with a dialcohol compound.

(5)上述した(2)又は(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。   (5) During the synthesis of the resin described in (2) or (4) above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, (Meth) acrylic carboxyl group-containing urethane resin.

(6)上述した(2)又は(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物等、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。   (6) During the synthesis of the resin described in (2) or (4) above, one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated.

(7)後述するような2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。   (7) (meth) acrylic acid is reacted with a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin as described later, and phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride are added to the hydroxyl group present in the side chain. A carboxyl group-containing photosensitive resin to which a dibasic acid anhydride such as

(8)後述するような2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。   (8) A polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin as described later with epichlorohydrin is reacted with (meth) acrylic acid, and the resulting hydroxyl group is subjected to phthalic anhydride or tetrahydroanhydride. A carboxyl group-containing photosensitive resin to which a dibasic acid anhydride such as phthalic acid or hexahydrophthalic anhydride is added.

(9)ノボラックのごとき多官能フェノール化合物にエチレンオキサイドのごとき環状エーテル、プロピレンカーボネートのごとき環状カーボネートを付加させ、得られた水酸基を(メタ)アクリル酸で部分エステル化し、残りの水酸基に多塩基酸無水物を反応させたカルボキシル基含有感光性樹脂。   (9) A cyclic ether such as ethylene oxide or a cyclic carbonate such as propylene carbonate is added to a polyfunctional phenolic compound such as novolak, and the resulting hydroxyl group is partially esterified with (meth) acrylic acid, and the remaining hydroxyl group is polybasic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting an anhydride.

(10)上述した(1)〜(9)の樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。   (10) One epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate and α-methylglycidyl (meth) acrylate are further added to the resins (1) to (9) described above. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having the same.

なお、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、以下他の類似の表現についても同様である。   In addition, (meth) acrylate is a term which generically refers to acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions below.

上記のようなカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数の遊離のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能になる。   Since the carboxyl group-containing resin as described above has many free carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with a dilute alkaline aqueous solution is possible.

このようなカルボキシル基含有樹脂の酸価は、40〜200mgKOH/gが好ましく、より好ましくは45〜120mgKOH/gとされる。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g以上であることによりアルカリ現像が良好に行われ、一方、200mgKOH/g以下であることにより現像液による露光部の溶解は回避されるため、必要以上にラインが痩せたり、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離が生じず、正常なレジストパターンの描画が可能とされる。   The acid value of such a carboxyl group-containing resin is preferably 40 to 200 mgKOH / g, more preferably 45 to 120 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is 40 mgKOH / g or more, alkali development is performed satisfactorily. On the other hand, when it is 200 mgKOH / g or less, dissolution of the exposed portion by the developer is avoided, so that it is more than necessary. Lines do not fade or dissolution and peeling do not occur in the developer without distinction between exposed and unexposed areas, and normal resist patterns can be drawn.

また、カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜500,000が好ましく、4,000〜350,000であるとより好ましい。重量平均分子量が2,000以上であると、実用に見合うタックフリー性能が得られ、露光後の塗膜の耐湿性が良好となり、解像度においても満足な硬化物が得られる。一方、重量平均分子量が500,000以下において、現像性、及び貯蔵安定性も良好となる。   Moreover, although the weight average molecular weight of carboxyl group-containing resin changes with resin frame | skeleton, generally 2,000-500,000 is preferable and it is more preferable in it being 4,000-350,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, tack-free performance commensurate with practical use is obtained, the moisture resistance of the coated film after exposure is improved, and a cured product that is satisfactory in terms of resolution is obtained. On the other hand, when the weight average molecular weight is 500,000 or less, developability and storage stability are also improved.

このようなカルボキシル基含有樹脂の配合量は、全組成物中に、50〜85質量%、特に60〜70質量%であることが好ましい。配合量が50質量%以上であることにより、皮膜強度が十分とされる。一方、85質量%以下とすることより、組成物の粘性が程よく低下し、塗布性等の作業性が良好となる。   It is preferable that the compounding quantity of such carboxyl group-containing resin is 50-85 mass% in the whole composition, especially 60-70 mass%. When the blending amount is 50% by mass or more, the film strength is sufficient. On the other hand, by setting it as 85 mass% or less, the viscosity of a composition falls moderately and workability | operativity, such as applicability | paintability, becomes favorable.

これらカルボキシル基含有樹脂は、列挙したものに限らず使用することができ、1種類でも複数種混合しても使用することができる。   These carboxyl group-containing resins are not limited to those listed, and can be used singly or in combination.

フェノール性水酸基含有樹脂としては、フェノール性水酸基を有する化合物、例えば、ビフェニル骨格、或いはフェニレン骨格、又はその両方の骨格を有する化合物、又はフェノール性水酸基含有化合物、例えばフェノール、オルソクレゾール、パラクレゾール、メタクレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,6−ジメチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、ピロガロール、フロログルシノール等とを用いて合成した、様々な骨格を有するフェノール性水酸基含有樹脂を用いてもよい。   The phenolic hydroxyl group-containing resin includes a compound having a phenolic hydroxyl group, such as a compound having a biphenyl skeleton or a phenylene skeleton, or both, or a phenolic hydroxyl group-containing compound such as phenol, orthocresol, paracresol, meta Cresol, 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, methylhydroquinone, 2,6 -Phenolic hydroxyl group-containing resins having various skeletons synthesized using dimethylhydroquinone, trimethylhydroquinone, pyrogallol, phloroglucinol and the like may be used.

例えばフェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、ビスフェノールF、ビスフェノールS型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物など公知慣用のフェノール樹脂を用いることができる。   For example, phenol novolac resin, alkylphenol volac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene type phenol resin, Xylok type phenol resin, terpene modified phenol resin, polyvinylphenols, bisphenol F, bisphenol S type phenol resin, poly-p-hydroxy Known and commonly used phenol resins such as a condensate of styrene, naphthol and aldehydes, or a condensate of dihydroxynaphthalene and aldehydes can be used.

かかるフェノール性水酸基含有樹脂の市販品としては、HF-1、H-60(明和化成株式会社製)、フェノライトTD−2090、フェノライトTD−2131(大日本印刷株式会社製)、ベスモールCZ−256−A(DIC株式会社製)、シヨウノールBRG−555、シヨウノールBRG−556(昭和電工株式会社製)、CGR−951(丸善石油化学株式会社製)、またはポリビニルフェノールのCST70、CST90、S−1P、S−2P(丸善石油化学株式会社製)等を挙げることができる。これらのフェノール性水酸基含有樹脂は、単独で、あるいは2種類以上を適宜組合せて用いることができる。   Commercially available products of such phenolic hydroxyl group-containing resins include HF-1, H-60 (Maywa Kasei Co., Ltd.), Phenolite TD-2090, Phenolite TD-2131 (Dai Nippon Printing Co., Ltd.), Vesmol CZ- 256-A (manufactured by DIC Corporation), Siyonol BRG-555, Siyonor BRG-556 (manufactured by Showa Denko KK), CGR-951 (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.), or polyvinylphenol CST70, CST90, S-1P And S-2P (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.). These phenolic hydroxyl group-containing resins can be used alone or in appropriate combination of two or more.

このようなフェノール性水酸基含有樹脂としては、上記列挙した以外の材料も使用可能であり、配合量は、全組成物中に、15〜35質量%、特に20〜30質量%であることが好ましい。配合量が15質量%以上であることにより、現像が良好に行われ、組成物のTgが上昇し、皮膜強度が十分とされる。一方、35質量%以下とすることより、組成物の粘度が低下しすぎず作業性が良好となる。   As such a phenolic hydroxyl group-containing resin, materials other than those listed above can also be used, and the blending amount is preferably 15 to 35% by mass, particularly 20 to 30% by mass in the total composition. . When the blending amount is 15% by mass or more, the development is performed well, the Tg of the composition is increased, and the film strength is sufficient. On the other hand, by setting it as 35 mass% or less, the workability | operativity becomes favorable, without the viscosity of a composition falling too much.

本発明では、成分(A)として、カルボキシル基含有樹脂及びフェノール性水酸基含有樹脂のいずれか一方、又はこれらの混合物を用いてもよい。   In the present invention, as the component (A), any one of a carboxyl group-containing resin and a phenolic hydroxyl group-containing resin, or a mixture thereof may be used.

この中でも、現像性の観点から、カルボキシル基含有樹脂を用いることが好ましい。   Among these, it is preferable to use a carboxyl group-containing resin from the viewpoint of developability.

[成分(B):光塩基発生剤および光重合開始剤の少なくとも一種]
本発明の組成物は、成分(B)として、光塩基発生剤及び光重合開始剤の少なくとも1種を含む。
[Component (B): at least one of a photobase generator and a photopolymerization initiator]
The composition of this invention contains at least 1 sort (s) of a photobase generator and a photoinitiator as a component (B).

光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂と熱硬化成分との付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。   The photobase generator functions as a catalyst for the addition reaction between a polyimide resin having a carboxyl group and a thermosetting component when the molecular structure is changed by light irradiation such as ultraviolet light or visible light, or when the molecule is cleaved. It is a compound that produces one or more basic substances. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.

光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。   Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.

この他、光塩基発生剤としては、カルバメート誘導体、4級アンモニウム塩等が挙げられる。   In addition, examples of the photobase generator include carbamate derivatives and quaternary ammonium salts.

その他の光塩基発生剤として、WPBG-018(商品名:9-anthrylmethyl N,N’-diethylcarbamate)、WPBG-027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine)、WPBG-082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate)、 WPBG-140 (商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。   Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethyl N, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2- propenoyl] piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate), and the like can also be used.

さらに、後述の光重合開始剤の一部の物質が光塩基発生剤としても機能する。   Furthermore, a part of the photopolymerization initiator described later also functions as a photobase generator.

本発明において用いられる光重合開始剤としては、公知のいずれのものも用いることができるが、中でも、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤が好ましい。   As the photopolymerization initiator used in the present invention, any known photopolymerization initiator can be used, and among them, an oxime ester photopolymerization initiator having an oxime ester group, an α-aminoacetophenone photopolymerization initiator, an acyl. A phosphine oxide photopolymerization initiator and a titanocene photopolymerization initiator are preferred.

この他、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する光重合開始剤を用いることもできる。これらの光重合開始剤については、以下に説明する。   In addition, a photopolymerization initiator having a substituent such as an acyloxyimino group, an N-formylated aromatic amino group, an N-acylated aromatic amino group, a nitrobenzyl carbamate group, and an alkoxybenzyl carbamate group can also be used. . These photopolymerization initiators will be described below.

光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。   A photoinitiator may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

オキシムエステル系光重合開始剤としては、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ペンタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ヘキサンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ヘプタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(メチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(エチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(ブチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−メチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−プロピル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−ブチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、2−(ベンゾイルオキシイミノ)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1−オクタノン、2−(アセトキシイミノ)−4−(4−クロロフェニルチオ)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−ブタノンが使用可能であり、市販品として、BASFジャパン株式会社製のCGI−325、イルガキュア(登録商標)OXE01、イルガキュアOXE02、ADEKA社製N−1919などが挙げられる。   Examples of the oxime ester photopolymerization initiator include 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-butanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (Phenylthio) phenyl] -1,2-pentanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-hexanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1 -[4- (phenylthio) phenyl] -1,2-heptanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 2- (O-benzoyl) Oxime) -1- [4- (methylphenylthio) phenyl] -1,2-butanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (ethylphenylthio) ) Phenyl] -1,2-butanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (butylphenylthio) phenyl] -1,2-butanedione, 1- (O-acetyloxime) -1- [ 9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-methyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H- Carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-propyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime ) -1- [9-Ethyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2 Butylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 2- (benzoyloxyimino) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1-octanone, 2- (acetoxyimino) -4- (4-chlorophenyl) Thio) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1-butanone can be used, and as a commercial product, CGI-325 manufactured by BASF Japan Ltd. Irgacure (registered trademark) OXE01, Irgacure OXE02, N-1919 manufactured by ADEKA, and the like.

また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式(II)で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。   In addition, a photopolymerization initiator having two oxime ester groups in the molecule can be suitably used, and specific examples include oxime ester compounds having a carbazole structure represented by the following general formula (II). .

Figure 0005876182
(式中、Xは、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換基を有していてもよい)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換基を有していてもよい)を表し、
Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換基を有していてもよい)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換基を有していてもよい)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、
Arは、炭素数1〜10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5−ピロール−ジイル、4,4’−スチルベン−ジイル、4,2’−スチレン−ジイルを表し、
nは0又は1の整数である)。
Figure 0005876182
(In the formula, X is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms). Group, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group which may have a substituent, a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, 1 to 1 carbon atoms). 8 may be substituted with an alkoxy group, an amino group, an alkylamino group having a C 1-8 alkyl group, or a dialkylamino group),
Y and Z are each a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a halogen group, a phenyl group, or a phenyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, or 1 to 8 carbon atoms). An alkoxy group, an amino group, an alkylamino group having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or a dialkylamino group which may have a substituent, a naphthyl group (an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, a carbon number) 1-8 alkoxy group, amino group, alkylamino group having 1-8 carbon atoms or dialkylamino group may have a substituent), anthryl group, pyridyl group, benzofuryl group, benzothienyl Represents a group,
Ar is alkylene having 1 to 10 carbon atoms, vinylene, phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, thiophene, anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl, 4,4′-stilbene-diyl, 4,2 ′. -Represents styrene-diyl,
n is an integer of 0 or 1.

特に、上記式中、X、Yが、それぞれ、メチル基又はエチル基であり、Zがメチル又はフェニルであり、nが0であり、Arが、フェニレン、ナフチレン、チオフェン又はチエニレンであるオキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。   In particular, in the above formula, X and Y are each a methyl group or an ethyl group, Z is methyl or phenyl, n is 0, and Ar is phenylene, naphthylene, thiophene or thienylene. Photoinitiators are preferred.

オキシムエステル系光重合開始剤を使用する場合の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.01〜10質量部、特に、0.5〜5質量部とすることが好ましい。0.01質量部以上10質量部以下とすることにより、塗膜が安定に形成されとともに、耐薬品性などの塗膜特性も保持され、またソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が一定に保たれ、深部硬化性が良好とされる。   When the oxime ester photopolymerization initiator is used, the blending amount is 0.01 to 10 parts by weight, particularly 0.5 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (A) alkali-soluble resin. preferable. By setting the content to 0.01 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, the coating film is stably formed, the coating film properties such as chemical resistance are maintained, and the light absorption on the surface of the solder resist coating film is kept constant. Sagging and deep part curability are considered good.

α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−ブタンー1−オン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン株式会社製のイルガキュア907、イルガキュア369、イルガキュア379などが挙げられる。   Specific examples of the α-aminoacetophenone photopolymerization initiator include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino- 1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -butane-1- ON, N, N-dimethylaminoacetophenone and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by BASF Japan.

アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン株式会社製のルシリン(登録商標)TPO、BASFジャパン株式会社製のイルガキュア819などが挙げられる。   Specific examples of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, and bis (2,6-dimethoxy). And benzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide. Examples of commercially available products include Lucillin (registered trademark) TPO manufactured by BASF Japan, Irgacure 819 manufactured by BASF Japan, and the like.

α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤またはアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤を用いる場合のそれぞれの配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.01〜15質量部、特に0.5〜10質量部であることが好ましい。0.01質量部以上15質量部以下とすることにより、塗膜が安定に形成されるとともに、耐薬品性などの塗膜特性も保持され、また十分なアウトガスの低減効果が得られ、ソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が一定に保たれ、更に深部硬化性が良好とされる。   Each blending amount in the case of using an α-aminoacetophenone photopolymerization initiator or an acylphosphine oxide photopolymerization initiator is 0.01 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of (A) alkali-soluble resin, in particular. It is preferable that it is 0.5-10 mass parts. By setting the content to 0.01 parts by mass or more and 15 parts by mass or less, the coating film can be stably formed, the coating film characteristics such as chemical resistance can be maintained, and a sufficient outgas reduction effect can be obtained. Light absorption on the surface of the coating film is kept constant, and deep part curability is further improved.

チタノセン系光重合開始剤としては、具体的にはビス(シクロペンタジエニル)−ジ−フェニル−チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ジ−クロロ−チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス(2、3、4、5、6ペンタフルオロフェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス(2、6−ジフルオロ−3−(ピロール−1−イル)フェニル)チタニウムなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン株式会社製のイルガキュア784などが挙げられる。   Specific examples of titanocene photopolymerization initiators include bis (cyclopentadienyl) -di-phenyl-titanium, bis (cyclopentadienyl) -di-chloro-titanium, and bis (cyclopentadienyl) -bis. (2, 3, 4, 5, 6 pentafluorophenyl) titanium, bis (cyclopentadienyl) -bis (2,6-difluoro-3- (pyrrol-1-yl) phenyl) titanium and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 784 manufactured by BASF Japan.

上記チタノセン系光重合開始剤を用いる場合の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、好ましくは0.05〜5質量部であり、より好ましくは0.05〜3質量部、特に好ましくは、0.1〜2質量部である。0.05質量部以上5質量部以下とすることにより、深部硬化性が向上し、また大きなハレーションを引き起こすおそれがなくなる。   The amount of the titanocene photopolymerization initiator used is preferably 0.05 to 5 parts by mass, more preferably 0.05 to 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin. Particularly preferred is 0.1 to 2 parts by mass. By setting the content to 0.05 parts by mass or more and 5 parts by mass or less, deep part curability is improved and there is no possibility of causing large halation.

また、アシルオキシイミノ基を有する光重合開始剤の具体例としては,O,O’−コハク酸ジアセトフェノンオキシム,O,O’−コハク酸ジナフトフェノンオキシム、ベンゾフェノンオキシムアクリレートースチレン共重合体などが挙げられる。   Specific examples of the photopolymerization initiator having an acyloxyimino group include O, O'-diacetphenone oxime succinate, O, O'-dinaphthophenone oxime succinate, benzophenone oxime acrylate-styrene copolymer, and the like. Can be mentioned.

N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基を有する光重合開始剤の具体例としては、例えば、ジ−N−(p−ホルミルアミノ)ジフェニルメタン、ジ−N(p−アセエチルアミノ)ジフェニルメラン、ジ−N−(p−ベンゾアミド)ジフェニルメタン、4−ホルミルアミノトルイレン、4−アセチルアミノトルイレン、2,4−ジホルミルアミノトルイレン、1−ホルミルアミノナフタレン、1−アセチルアミノナフタレン、1,5−ジホルミルアミノナフタレン、1−ホルミルアミノアントラセン、1,4−ジホルミルアミノアントラセン、1−アセチルアミノアントラセン、1,4−ジホルミルアミノアントラキノン、1,5−ジホルミルアミノアントラキノン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジホルミルアミノビフェニル、4,4’−ジホルミルアミノベンゾフェノンなどが挙げられる。   Specific examples of the photopolymerization initiator having an N-formylated aromatic amino group and an N-acylated aromatic amino group include, for example, di-N- (p-formylamino) diphenylmethane, di-N (p-acetate). Ethylamino) diphenylmelane, di-N- (p-benzoamido) diphenylmethane, 4-formylaminotoluylene, 4-acetylaminotoluylene, 2,4-diformylaminotoluylene, 1-formylaminonaphthalene, 1-acetyl Aminonaphthalene, 1,5-diformylaminonaphthalene, 1-formylaminoanthracene, 1,4-diformylaminoanthracene, 1-acetylaminoanthracene, 1,4-diformylaminoanthraquinone, 1,5-diformylaminoanthraquinone 3,3′-dimethyl-4,4′-diformylaminobi Eniru, 4,4'-di-formyl-amino benzophenone.

ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基を有する光重合開始剤としては、例えば、ビス{{(2−ニトロベンジル)オキシ}カルボニル}ジアミノジフェニルメタン、2,4−ジ{{(2−ニトロベンジル)オキシ}トルイレン、ビス{{(2−ニトロベンジルオキシ)カルボニル}ヘキサン−1,6−ジアミン、m−キシリジン{{(2−ニトロ−4−クロロベンジル)オキシ}アミド}などが挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator having a nitrobenzyl carbamate group or an alkoxybenzyl carbamate group include bis {{(2-nitrobenzyl) oxy} carbonyl} diaminodiphenylmethane, 2,4-di {{(2-nitrobenzyl) Oxy} toluylene, bis {{(2-nitrobenzyloxy) carbonyl} hexane-1,6-diamine, m-xylidine {{(2-nitro-4-chlorobenzyl) oxy} amide} and the like.

(光開始助剤または増感剤)
光開始助剤または増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、及びキサントン化合物などを挙げることができる。これらの化合物は、光重合開始剤として用いることができる場合もあるが、光重合開始剤と併用して用いることが好ましい。また、光開始助剤または増感剤は1種類を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
(Photoinitiator or sensitizer)
Examples of the photoinitiation assistant or sensitizer include benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, tertiary amine compounds, and xanthone compounds. These compounds may be used as a photopolymerization initiator in some cases, but are preferably used in combination with a photopolymerization initiator. Moreover, a photoinitiator auxiliary or a sensitizer may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

ベンゾイン化合物としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.

アセトフェノン化合物としては、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。   Examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, and the like.

アントラキノン化合物としては、例えば2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどが挙げられる。   Examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone and the like.

チオキサントン化合物としては、例えば2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, and the like.

ケタール化合物としては、例えばアセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。   Examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.

ベンゾフェノン化合物としては、例えばベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドなどが挙げられる。   Examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4-benzoyl diphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-methyl diphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-ethyl diphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-propyl diphenyl sulfide, and the like. .

3級アミン化合物としては、例えばエタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、市販品では、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達株式会社製、ニッソキュアー(登録商標)MABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学株式会社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)などのジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬株式会社製、カヤキュアー(登録商標)EPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセティックス社製、Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製、Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬株式会社製、カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)などが挙げられる。3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜450nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物及びケトクマリン類が特に好ましい。   As the tertiary amine compound, for example, an ethanolamine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure, for example, 4,4′-dimethylaminobenzophenone (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., Nissoure (registered trademark) MABP), 4 , 4'-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and the like, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin ) And other dialkylamino group-containing coumarin compounds, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Kayacure (registered trademark) EPA), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (manufactured by International Bio-Synthetics, Quanta) ure DMB), 4-dimethylaminobenzoic acid (n-butoxy) ethyl (International Bio-Synthetics, Quantacure BEA), p-dimethylaminobenzoic acid isoamylethyl ester (Nippon Kayaku Co., Ltd., Kayacure DMBI) And 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate (Esolol 507 manufactured by Van Dyk). As the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound, a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 450 nm, and ketocoumarins are particularly preferable.

ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンの毒性が低いことから好ましい。ジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が350〜410nmと紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジスト膜を得ることが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。   As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4′-diethylaminobenzophenone is preferable because of low toxicity. Dialkylamino group-containing coumarin compounds have a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region of 350 to 410 nm, so they are less colored, and use colored pigments as well as colorless and transparent photosensitive compositions, and colors that reflect the color of the colored pigments themselves It becomes possible to obtain a solder resist film. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.

これらのうち、チオキサントン化合物及び3級アミン化合物が好ましい。特に、チオキサントン化合物が含まれることにより、深部硬化性を向上させることができる。   Of these, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. In particular, by including a thioxanthone compound, it is possible to improve deep curability.

光開始助剤または増感剤を用いる場合の配合量としては、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましい。光開始助剤または増感剤の配合量が0.1質量部未満であると、十分な増感効果を得ることができない傾向にある。一方、20質量部を超えると、3級アミン化合物による塗膜の表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して0.1〜10質量部である。   As a compounding quantity in the case of using a photoinitiator adjuvant or a sensitizer, it is preferable that it is 0.1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) alkali-soluble resin. When the blending amount of the photoinitiator assistant or sensitizer is less than 0.1 parts by mass, a sufficient sensitizing effect tends to be not obtained. On the other hand, when the amount exceeds 20 parts by mass, light absorption on the surface of the coating film by the tertiary amine compound becomes violent, and the deep curability tends to decrease. More preferably, it is 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) alkali-soluble resin.

光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤の総量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。   The total amount of the photopolymerization initiator, photoinitiator assistant, and sensitizer is preferably 35 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin. When it exceeds 35 parts by mass, the deep curability tends to decrease due to light absorption.

なお、これら光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤は、特定の波長を吸収するため、場合によっては感度が低くなり、紫外線吸収剤として働くことがある。しかしながら、これらは組成物の感度を向上させることだけの目的に用いられるものではない。必要に応じて特定の波長の光を吸収させて、表面の光反応性を高め、レジストのライン形状及び開口を垂直、テーパー状、逆テーパー状に変化させるとともに、ライン幅や開口径の加工精度を向上させることができる。   In addition, since these photopolymerization initiators, photoinitiator assistants, and sensitizers absorb a specific wavelength, in some cases, the sensitivity is lowered, and the photopolymerization initiator, the photoinitiator assistant, and the sensitizer may function as an ultraviolet absorber. However, they are not used only for the purpose of improving the sensitivity of the composition. Absorbs light of a specific wavelength as necessary to improve the photoreactivity of the surface, change the resist line shape and opening to vertical, tapered, reverse taper, and processing accuracy of line width and opening diameter Can be improved.

[成分(C):オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物]
本発明の組成物は、成分(C)として少なくとも1個のオキサゾリドン環および少なくとも1個のグリシジル基を有する熱硬化性化合物を含む。
[Component (C): Thermosetting compound having an oxazolidone ring]
The composition of the present invention comprises a thermosetting compound having at least one oxazolidone ring and at least one glycidyl group as component (C).

(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物は、1〜4個、好ましくは2個のオキサゾリドン環と、1〜4個のグリシジル基、好ましくは2〜4個のグリシジル基を有する化合物であることが好ましい。   (C) The thermosetting compound having an oxazolidone ring is a compound having 1 to 4, preferably 2 oxazolidone rings, and 1 to 4 glycidyl groups, preferably 2 to 4 glycidyl groups. Is preferred.

すなわち、本発明では、下式

Figure 0005876182
(式中、XおよびYは、酸素原子を有し、さらに窒素原子を有してもよい炭化水素基であり、XおよびYの少なくとも一方は少なくとも1個のグリシジル基を有し、更に少なくとも1個のオキサゾリドン環を有してもよい)で表わされる化合物が成分(C)として用いられる。 That is, in the present invention, the following formula
Figure 0005876182
(In the formula, X and Y are hydrocarbon groups having an oxygen atom and further having a nitrogen atom, and at least one of X and Y has at least one glycidyl group, and at least 1 The compound represented by the formula (which may have one oxazolidone ring) is used as component (C).

上記において炭化水素基とは、例えばアルキル基、アルキレン基等の直鎖状の基、または
アリーレン、例えばフェニレン、ビフェニレン、またはビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAF、ビスフェノールAC、ビスフェノールS、フェノールノボラック、クレゾールノボラックから選択される少なくとも1種の基から誘導された骨格を含む環状基を意味する。
In the above, the hydrocarbon group is, for example, a linear group such as an alkyl group or an alkylene group, or an arylene such as phenylene, biphenylene, or bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AF, bisphenol AC, bisphenol S, phenol novolac, cresol. It means a cyclic group containing a skeleton derived from at least one group selected from novolak.

成分(C)としては、特に下式(IV)

Figure 0005876182
で表わされる化合物が好ましく用いられる。 As component (C), in particular the following formula (IV)
Figure 0005876182
The compound represented by is preferably used.

式(IV)中、Rは、置換基を有していてもよい2価の官能基、特に、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、例えばビフェニレン、またはビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAF、ビスフェノールAC、ビスフェノールS、フェノールノボラック、クレゾールノボラックから選択される化合物から誘導された二価の基またはこれらの組み合わせ、それぞれ、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいオキシアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基(例えば、フェニレン基、ナフチレン基)が挙げられる。)、好ましくはビフェニレン基、より好ましくは4,4'-ビフェニレン基を意味し、一方、Rは、単結合、または置換基を有していてもよい2価以上の官能基、特に、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、好ましくはフェニレン基、トルイレン基、より好ましくは1,4−フェニレン基を意味する。 In the formula (IV), R 1 is a divalent functional group which may have a substituent, particularly an alkylene group which may have a substituent, or an arylene group which may have a substituent. A divalent group derived from, for example, biphenylene, or a compound selected from bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AF, bisphenol AC, bisphenol S, phenol novolac, cresol novolac, or combinations thereof, each having a substituent An alkylene group which may be substituted, an oxyalkylene group which may have a substituent, and an arylene group which may have a substituent (for example, a phenylene group or a naphthylene group). ), Preferably a biphenylene group, more preferably a 4,4′-biphenylene group, while R 2 is a single bond or a divalent or higher functional group which may have a substituent, in particular a substituted An alkylene group which may have a group, an arylene group which may have a substituent, preferably a phenylene group or a toluylene group, more preferably a 1,4-phenylene group.

上記において「アルキル基」としては、炭素数が1〜6、好ましくは1〜4の、直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を示し、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。上記の中でも、直鎖状よりも分岐鎖状の方が高耐熱性となる傾向にあるため、好ましくはイソプロピル基、イソブチル基、tert−ブチル基であり、より好ましくはtert−ブチル基である。   In the above, the “alkyl group” represents a linear or branched alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, preferably 1 to 4 carbon atoms, such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, Examples thereof include a butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, and a hexyl group. Among these, since the branched chain tends to have higher heat resistance than the straight chain, it is preferably an isopropyl group, an isobutyl group, or a tert-butyl group, and more preferably a tert-butyl group.

「アルキレン基」とは、前記定義「アルキル基」から任意の位置の水素原子をさらに1個除いて誘導される2価の基を意味し、例えば、炭素原子数1〜6、好ましくは1〜4、特に、メチレン基、エチレン基、メチルエチレン基、エチルエチレン基、1,1−ジメチルエチレン基、1,2−ジメチルエチレン基、トリメチレン基、1−メチルトリメチレン基、2−メチルトリメチレン基、テトラメチレン基等が挙げられ、好ましくは、メチレン基、エチレン基、メチルエチレン基、1,1−ジメチルエチレン基、トリメチレン基等が挙げられる。   The “alkylene group” means a divalent group derived by further removing one hydrogen atom at any position from the above-defined “alkyl group”, and has, for example, 1 to 6 carbon atoms, preferably 1 to 1 carbon atom. 4, In particular, methylene group, ethylene group, methylethylene group, ethylethylene group, 1,1-dimethylethylene group, 1,2-dimethylethylene group, trimethylene group, 1-methyltrimethylene group, 2-methyltrimethylene group And a tetramethylene group, preferably a methylene group, an ethylene group, a methylethylene group, a 1,1-dimethylethylene group, a trimethylene group and the like.

また、上記アリーレン基の「アリーレン基」としては、前記「アリール基」から、任意の位置の水素原子をさらに1個除いて誘導される2価の基、好ましくは炭素原子数6〜12の基を意味する。   The “arylene group” of the arylene group is a divalent group derived from the above “aryl group” by further removing one hydrogen atom at an arbitrary position, preferably a group having 6 to 12 carbon atoms. Means.

置換基を有していてもよい、とは、アミノ基、ニトロ基、カルボキシル基またはハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子)、炭素数1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基)、アリール基、アラルキル基(例えば、ベンジル基、フェネチル基)、アルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基)等を更に有してもよいことを意味する。   An optionally substituted group means an amino group, a nitro group, a carboxyl group or a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom), an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (for example, a methyl group) , Ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group), aryl group, aralkyl group (for example, benzyl group, phenethyl group), alkoxy group (For example, methoxy group, ethoxy group) and the like may be further included.

本実施形態の(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物の重量平均分子量は、好ましくは800以上であり、より好ましくは900以上、さらに好ましくは1000以上である。重量平均分子量が800以上であると、硬化物の耐熱性が高くなると同時に、密着性、強靭性が向上する傾向にある。ここで、重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィーを用いて、ポリスチレン換算により測定した値をいう。   The weight average molecular weight of the (C) thermosetting compound having an oxazolidone ring of this embodiment is preferably 800 or more, more preferably 900 or more, and still more preferably 1000 or more. When the weight average molecular weight is 800 or more, the heat resistance of the cured product is increased, and at the same time, adhesion and toughness tend to be improved. Here, the weight average molecular weight refers to a value measured by gel permeation chromatography in terms of polystyrene.

本実施形態の(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物がエポキシ化合物である場合、エポキシ当量は好ましくは200〜500であり、より好ましくは250〜400である。エポキシ当量が200以上であると、強靭性が大きくなり、500以下とすることにより、現像性が保たれる。エポキシ当量は、JIS−K−7236による電位差滴定法により測定した値をいう。   When the thermosetting compound which has (C) oxazolidone ring of this embodiment is an epoxy compound, Preferably an epoxy equivalent is 200-500, More preferably, it is 250-400. When the epoxy equivalent is 200 or more, the toughness increases, and when it is 500 or less, developability is maintained. Epoxy equivalent refers to a value measured by potentiometric titration according to JIS-K-7236.

このような(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物の配合量は、
アルカリ可溶性樹脂の反応性官能基(a)の(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物の官能基(b)に対する比率が(a):(b)=1:1〜1:3が好ましく、(a):(b)=1:1〜1:2がより好ましい。(a):(b)=1:1以上とすることにより、組成物の密着性、強靭性が向上し、(a):(b)=1:3以下とすることにより組成物の現像性が維持される。
The blending amount of the thermosetting compound having such (C) oxazolidone ring is:
The ratio of the reactive functional group (a) of the alkali-soluble resin to the functional group (b) of the thermosetting compound having the (C) oxazolidone ring is preferably (a) :( b) = 1: 1 to 1: 3, (A) :( b) = 1: 1 to 1: 2 is more preferable. By setting (a) :( b) = 1: 1 or more, the adhesion and toughness of the composition are improved, and by developing (a) :( b) = 1: 3 or less, the developability of the composition. Is maintained.

本実施形態のオキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物の製造方法としては、特に限定されず、例えば、イソシアネート化合物と、ビフェニル骨格を有するグリシジル化合物とを、オキサゾリドン環形成触媒の存在下で反応させることにより、ほぼ理論量で得ることができる。イソシアネート化合物とグリシジル化合物は、当量比1:2〜1:10の範囲で反応させることが好ましく、これによりエポキシ樹脂硬化物の耐熱性及び耐水性が良好とされる。   The method for producing a thermosetting compound having an oxazolidone ring according to this embodiment is not particularly limited. For example, by reacting an isocyanate compound and a glycidyl compound having a biphenyl skeleton in the presence of an oxazolidone ring-forming catalyst. Can be obtained almost theoretically. The isocyanate compound and the glycidyl compound are preferably reacted in an equivalent ratio of 1: 2 to 1:10, whereby the heat resistance and water resistance of the cured epoxy resin are improved.

本実施形態においては、オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物を得るための原料として、ビフェニル骨格を有するグリシジル化合物以外の他のグリシジル化合物を併用してもよい。その具体例としては、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAD、ビスフェノールS、テトラメチルビスフェノールA、テトラメチルビスフェノールF、テトラメチルビスフェノールAD、テトラメチルビスフェノールS、テトラブロモビスフェノールA等の2価フェノール類をグリシジル化した化合物;1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1,1−(4−ヒドロキシフェニル)エタン、4,4−〔1−〔4−〔1−(4−ヒドロキシフェニル)−1−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール等のトリス(グリシジルオキシフェニル)アルカン類等をグリシジル化した化合物;フェノールノボラック、クレゾールノボラック、ビスフェノールAノボラック等のノボラックをグリシジル化した化合物等が挙げられるが、これらに特に限定されるものではない。   In the present embodiment, as a raw material for obtaining a thermosetting compound having an oxazolidone ring, another glycidyl compound other than the glycidyl compound having a biphenyl skeleton may be used in combination. Specific examples thereof include dihydric phenols such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol AD, bisphenol S, tetramethyl bisphenol A, tetramethyl bisphenol F, tetramethyl bisphenol AD, tetramethyl bisphenol S, and tetrabromobisphenol A. 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) methane, 1,1,1- (4-hydroxyphenyl) ethane, 4,4- [1- [4- [1- (4 Compounds obtained by glycidylating tris (glycidyloxyphenyl) alkanes such as -hydroxyphenyl) -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol; and novolacs such as phenol novolak, cresol novolak, and bisphenol A novolak Rishijiru of the compounds, and the like, but not particularly limited thereto.

原料として用いるイソシアネート化合物の具体例としては、例えば、メタンジイソシアネート、ブタン−1,1−ジイソシアネート、エタン−1,2−ジイソシアネート、ブタン−1,2−ジイソシアネート、トランスビニレンジイソシアネート、プロパン−1,3−ジイソシアネート、ブタン−1,4−ジイソシアネート、2−ブテン−1,4−ジイソシアネート、2−メチルブテン−1,4−ジイソシアネート、2−メチルブタン−1,4−ジイソシアネート、ペンタン−1,5−ジイソシアネート、2,2−ジメチルペンタン−1,5−ジイソシアネート、ヘキサン−1,6−ジイソシアネート、ヘプタン−1,7−ジイソシアネート、オクタン−1,8−ジイソシアネート、ノナン−1,9−ジイソシアネート、デカン−1,10−ジイソシアネート、ジメチルシランジイソシアネート、ジフェニルシランジイソシアネート、ω,ω’−1,3−ジメチルベンゼンジイソシアネート、ω,ω’−1,4−ジメチルベンゼンジイソシアネート、ω,ω’−1,3−ジメチルシクロヘキサンジイソシアネート、ω,ω’−1,4−ジメチルシクロヘキサンジイソシアネート、ω,ω’−1,4−ジメチルナフタレンジイソシアネート、ω,ω’−1,5−ジメチルナフタレンジイソシアネート、シクロヘキサン−1,3−ジイソシアネート、シクロヘキサン−1,4−ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−4,4’−ジイソシアネート、1,3−フェニレンジイソシアネート、1,4−フェニレンジイソシアネート、1−メチルベンゼン−2,4−ジイソシアネート、1−メチルベンゼン−2,5−ジイソシアネート、1−メチルベンゼン−2,6−ジイソシアネート、1−メチルベンゼン−3,5−ジイソシアネート、ジフェニルエーテル−4,4’−ジイソシアネート、ジフェニルエーテル−2,4’−ジイソシアネート、ナフタレン−1,4−ジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、ビフェニル−4,4’−ジイソシアネート、3,3’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジイソシアネート、2,3’−ジメトキシビスフェニル−4,4’−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、3,3’−ジメトキシジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、4,4’−ジメトキシジフェニルメタン−3,3’−ジイソシアネート、ジフェニルサルフアイト−4,4’−ジイソシアネート、ジフェニルスルフォン−4,4’−ジイソシアネート等の2官能イソシアネート化合物;
ポリメチレンポリフェニルイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、トリス(4−フェニルイソシアネートチオフォスフェート)−3,3’、4,4’−ジフェニルメタンテトライソシアネート等の多官能イソシアネート化合物;
上記イソシアネート化合物の2量体や3量体等の多量体、アルコールやフェノールによりマスクされたブロックイソシアネート及びビスウレタン化合物等が挙げられるが、これらに限定されない。これらイソシアネート化合物は2種以上組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of the isocyanate compound used as the raw material include, for example, methane diisocyanate, butane-1,1-diisocyanate, ethane-1,2-diisocyanate, butane-1,2-diisocyanate, transvinylene diisocyanate, propane-1,3- Diisocyanate, butane-1,4-diisocyanate, 2-butene-1,4-diisocyanate, 2-methylbutene-1,4-diisocyanate, 2-methylbutane-1,4-diisocyanate, pentane-1,5-diisocyanate, 2, 2-dimethylpentane-1,5-diisocyanate, hexane-1,6-diisocyanate, heptane-1,7-diisocyanate, octane-1,8-diisocyanate, nonane-1,9-diisocyanate, decane-1,10- Isocyanate, dimethylsilane diisocyanate, diphenylsilane diisocyanate, ω, ω′-1,3-dimethylbenzene diisocyanate, ω, ω′-1,4-dimethylbenzene diisocyanate, ω, ω′-1,3-dimethylcyclohexane diisocyanate, ω , Ω′-1,4-dimethylcyclohexane diisocyanate, ω, ω′-1,4-dimethylnaphthalene diisocyanate, ω, ω′-1,5-dimethylnaphthalene diisocyanate, cyclohexane-1,3-diisocyanate, cyclohexane-1, 4-diisocyanate, dicyclohexylmethane-4,4′-diisocyanate, 1,3-phenylene diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, 1-methylbenzene-2,4-diisocyanate, 1-methylbenzene 2,5-diisocyanate, 1-methylbenzene-2,6-diisocyanate, 1-methylbenzene-3,5-diisocyanate, diphenyl ether-4,4′-diisocyanate, diphenyl ether-2,4′-diisocyanate, naphthalene-1, 4-diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, biphenyl-4,4′-diisocyanate, 3,3′-dimethylbiphenyl-4,4′-diisocyanate, 2,3′-dimethoxybisphenyl-4,4′- Diisocyanate, diphenylmethane-4,4′-diisocyanate, 3,3′-dimethoxydiphenylmethane-4,4′-diisocyanate, 4,4′-dimethoxydiphenylmethane-3,3′-diisocyanate, diphenylsulfite-4,4′- Diisocyanate, di Bifunctional isocyanate compounds such as Enirusurufon-4,4'-diisocyanate;
Polyfunctional isocyanate compounds such as polymethylene polyphenyl isocyanate, triphenylmethane triisocyanate, tris (4-phenylisocyanate thiophosphate) -3,3 ′, 4,4′-diphenylmethane tetraisocyanate;
Examples include, but are not limited to, multimers such as dimers and trimers of the isocyanate compounds, blocked isocyanates masked with alcohol and phenol, and bisurethane compounds. Two or more of these isocyanate compounds may be used in combination.

上記のイソシアネート化合物の中でも、好ましくは2又は3官能イソシアネート化合物、より好ましくは2官能イソシアネート化合物、さらに好ましくはイソホロン、ベンゼン、トルエン、ジフェニルメタン、ナフタレン、ポリメチレンポリフェニレンポリフェニル、ヘキサメチレンから選ばれる骨格を有する2官能イソシアネート化合物が好ましく使用される。これらの材料の使用により耐熱性及び貯蔵安定性が向上する。   Among the above isocyanate compounds, a skeleton selected from a bifunctional or trifunctional isocyanate compound, more preferably a bifunctional isocyanate compound, more preferably isophorone, benzene, toluene, diphenylmethane, naphthalene, polymethylene polyphenylene polyphenyl, and hexamethylene. A bifunctional isocyanate compound having is preferably used. Use of these materials improves heat resistance and storage stability.

本願発明では特に、1,3−フェニレンジイソシアネート、1,4−フェニレンジイソシアネート、1−メチルベンゼン−2,4−ジイソシアネート(別名:トリレン−2,4−ジイソシアネ−ト(2,4−TDI))、1−メチルベンゼン−2,5−ジイソシアネート、1−メチルベンゼン−2,6−ジイソシアネート(別名:トリレン−2,6−ジイソシアネ−ト(2,6−TDI))、1−メチルベンゼン−3,5−ジイソシアネートが好ましく用いられる。   In the present invention, in particular, 1,3-phenylene diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, 1-methylbenzene-2,4-diisocyanate (also known as tolylene-2,4-diisocyanate (2,4-TDI)), 1-methylbenzene-2,5-diisocyanate, 1-methylbenzene-2,6-diisocyanate (also known as tolylene-2,6-diisocyanate (2,6-TDI)), 1-methylbenzene-3,5 -Diisocyanates are preferably used.

オキサゾリドン環形成触媒としては、同目的において従来使用される如何なる触媒も使用可能であり、特に限定されないが、例えば、
塩化リチウム、ブトキシリチウム等のリチウム化合物、3フッ化ホウ素等の錯塩;
テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラメチルアンモニウムヨーダイド、テトラブチルアンモニウムブロマイド等の4級アンモニウム塩;
ジメチルアミノエタノール、トリエチルアミン、トリブチルアミン、ベンジルジメチルアミン、N−メチルモルホリン等の3級アミン;
トリフェニルホスフィン等のホスフィン類;
アリルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ジアリルジフェニルホスホニウムブロマイド、エチルトリフェニルホスホニウムクロライド、エチルトリフェニルホスホニウムヨーダイド、テトラブチルホスホニウムアセテート・酢酸錯体、テトラブチルホスホニウムアセテート、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムブロマイド、テトラブチルホスホニウムヨーダイド等のホスホニウム化合物;
トリフェニルアンチモン及びヨウ素の組み合わせ;
2−フェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;
等が挙げられる。
As the oxazolidone ring-forming catalyst, any catalyst conventionally used for the same purpose can be used, and is not particularly limited.
Lithium compounds such as lithium chloride and butoxylithium; complex salts such as boron trifluoride;
Quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium chloride, tetramethylammonium bromide, tetramethylammonium iodide, tetrabutylammonium bromide;
Tertiary amines such as dimethylaminoethanol, triethylamine, tributylamine, benzyldimethylamine, N-methylmorpholine;
Phosphines such as triphenylphosphine;
Allyltriphenylphosphonium bromide, diallyldiphenylphosphonium bromide, ethyltriphenylphosphonium chloride, ethyltriphenylphosphonium iodide, tetrabutylphosphonium acetate / acetic acid complex, tetrabutylphosphonium acetate, tetrabutylphosphonium chloride, tetrabutylphosphonium bromide, tetrabutylphosphonium Phosphonium compounds such as iodide;
A combination of triphenylantimony and iodine;
Imidazoles such as 2-phenylimidazole and 2-methylimidazole;
Etc.

本発明では、オキサゾリドン環形成触媒として、4級アンモニウム塩が好ましく使用される。   In the present invention, a quaternary ammonium salt is preferably used as the oxazolidone ring-forming catalyst.

これらの触媒は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   These catalysts can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

オキサゾリドン環形成触媒の使用量は、特に限定されるものではなく、通常は原料となるグリシジル化合物とイソシアネート化合物の総量に対して5ppm〜20000ppmの範囲で使用され、好ましくは10ppm〜10000%、より好ましくは20〜5000ppm、さらに好ましくは20〜1000ppmの範囲で使用される。   The amount used of the oxazolidone ring-forming catalyst is not particularly limited, and is usually used in the range of 5 ppm to 20000 ppm, preferably 10 ppm to 10000%, more preferably based on the total amount of glycidyl compound and isocyanate compound as raw materials. Is used in the range of 20 to 5000 ppm, more preferably 20 to 1000 ppm.

[成分(D) : ブロック共重合体]
本発明では、付加的な成分(D)として、ブロック共重合体を用いることができる。
[Component (D): Block copolymer]
In the present invention, a block copolymer can be used as the additional component (D).

(D)ブロック共重合体とは、性質の異なる二種類以上のポリマーが、共有結合で繋がり長い連鎖になった分子構造の共重合体のことである。20℃〜30℃の範囲において固体であるものが好ましい。この範囲内において固体であればよく、この範囲外の温度においても固体であってもよい。上記温度範囲において固体であることによりドライフィルム化したときや基板に塗布し仮乾燥したときのタック性に優れる。   (D) A block copolymer is a copolymer having a molecular structure in which two or more kinds of polymers having different properties are connected by covalent bonds to form a long chain. What is solid in the range of 20 degreeC-30 degreeC is preferable. Any solid may be used within this range, and it may be solid even at a temperature outside this range. Due to being solid in the above temperature range, it is excellent in tackiness when formed into a dry film or applied to a substrate and temporarily dried.

本発明で用いる(D)ブロック共重合体としては、以下の式(I)
X−Y−XまたはX−Y−X´ (I)
で表わされるブロック共重合体が好ましい。
As the block copolymer (D) used in the present invention, the following formula (I)
X-Y-X or X-Y-X '(I)
The block copolymer represented by these is preferable.

上記式中、XまたはX´はガラス転移点Tgが0℃以上であるポリマー単位(ハードセグメント)である。さらにYはガラス転移点が0℃未満のポリマー単位(ソフトセグメント)である(以下これらのガラス転移点について、それぞれTgX/X´≧0℃、Tg<0℃とも表記する)。 In the above formula, X or X ′ is a polymer unit (hard segment) having a glass transition point Tg of 0 ° C. or higher. Further, Y is a polymer unit (soft segment) having a glass transition point of less than 0 ° C. (hereinafter, these glass transition points are also expressed as Tg X / X ′ ≧ 0 ° C. and Tg Y <0 ° C., respectively).

ここで、(D)ブロック共重合体とは一般的に性質の異なる二種類以上のポリマーが、共有結合で繋がり長い連鎖になった分子構造の共重合体を意味する。上記の(D)ブロック共重合体を用いることにより、本発明の硬化性樹脂組成物から得られた硬化物に強靭性が与えられる。   Here, the (D) block copolymer generally means a copolymer having a molecular structure in which two or more kinds of polymers having different properties are connected by a covalent bond to form a long chain. By using said (D) block copolymer, toughness is given to the hardened | cured material obtained from the curable resin composition of this invention.

各ポリマー単位のガラス転移点は、特に-80℃<Tg<0℃、及び0℃≦TgX/X´<150℃であることが好ましい。 The glass transition point of each polymer unit is particularly preferably −80 ° C. <Tg y <0 ° C. and 0 ° C. ≦ Tg X / X ′ <150 ° C.

また、式(I)の構造を含む(D)ブロック共重合体のうち、X及びX’は上述の(A)アルカリ可溶性樹脂との相溶性が高く、Yが(A)アルカリ可溶性樹脂との相溶性が低いものが好ましく、これにより所望の強靭性を有する硬化型組成物を得ることができる。   Moreover, among the (D) block copolymers containing the structure of the formula (I), X and X ′ are highly compatible with the above-mentioned (A) alkali-soluble resin, and Y is Those having low compatibility are preferred, whereby a curable composition having desired toughness can be obtained.

式(I)におけるX及びX’は、ポリメチルメタアクリレート(PMMA(Tg:140℃))等の(C-Cアルキル)メタアクリレート、ポリスチレン(PS)(Tg:100℃)などが好ましく、Yとしてはポリn−ブチルアクリレート(PBA)(Tg:-40℃)等のポリ(C1-Cアルキル)アクリレート、ポリブタジエン(PB)(Tg:-70℃)等C-C6ジエンなどが好ましい。 X and X ′ in the formula (I) are (C 1 -C 3 alkyl) methacrylate such as polymethyl methacrylate (PMMA (Tg x : 140 ° C.)), polystyrene (PS) (Tg x : 100 ° C.), etc. Y is preferably poly (C 1 -C 6 alkyl) acrylate such as poly n-butyl acrylate (PBA) (Tg y : −40 ° C.), C 4 such as polybutadiene (PB) (Tg y : −70 ° C.), etc. -C 6 diene is preferred.

また本発明に用いる(D)ブロック共重合体としては3元以上のブロック共重合体が好ましく、リビング重合法により合成された分子構造が精密にコントロールされたブロック共重合体が本発明の効果を得る上でより好ましい。これは、リビング重合法により合成されたブロック共重合体は分子量分布が狭く、それぞれのユニットの特徴が明確になったためであると考えられる。用いるブロック共重合体の分子量分布は2.5以下が好ましく、更に好ましくは2.0以下である。   The block copolymer (D) used in the present invention is preferably a terpolymer or more block copolymer, and a block copolymer with a precisely controlled molecular structure synthesized by a living polymerization method is effective for the present invention. It is more preferable in obtaining. This is considered to be because the block copolymer synthesized by the living polymerization method has a narrow molecular weight distribution, and the characteristics of each unit have been clarified. The molecular weight distribution of the block copolymer used is preferably 2.5 or less, more preferably 2.0 or less.

(D)ブロック共重合体の製造方法としては、例えば、特表2005−515281号、特表2007−516326号に記載の方法が挙げられる。   (D) As a manufacturing method of a block copolymer, the method as described in a special table 2005-515281 and a special table 2007-516326 is mentioned, for example.

本発明に適用可能な(D)ブロック共重合体の市販品としては、3元系以上のものとしては、アルケマ社製のリビング重合を用いて製造されるアクリル系トリブロックコポリマーが挙げられる。具体例としては、ポリスチレン(Tgx1:100℃)−ポリブタジエン(Tg:-70℃)−ポリメチルメタアクリレート(Tgx2:140℃)に代表されるSBMタイプ、ポリメチルメタアクリレート(Tgx1:140℃)−ポリn−ブチルアクリレート(Tg:-40℃)−ポリメチルメタアクリレート(Tgx2:140℃)に代表されるMAMタイプ、更にはカルボン酸変性や親水基変性処理されたMAM NタイプやMAM Aタイプが挙げられる。SBMタイプとしてはE41、E40、E21、E20等が挙げられ、MAMタイプとしてはM51、M52、M53、M22、SM6290XD30等が挙げられ、MAM Nタイプとしては52N、22N、MAM AタイプとしてはSM4032XM10等が挙げられる。 Examples of commercially available (D) block copolymers that can be applied to the present invention include acrylic triblock copolymers manufactured using living polymerization manufactured by Arkema Co., Ltd. As specific examples, polystyrene (Tg x1 : 100 ° C)-polybutadiene (Tg y : -70 ° C)-SBM type represented by polymethyl methacrylate (Tg x2 : 140 ° C), polymethyl methacrylate (Tg x1 : 140 ° C.)-MAM type represented by poly n-butyl acrylate (Tg y : -40 ° C.)-Polymethyl methacrylate (Tg x2 : 140 ° C.), and MAM N modified with carboxylic acid modification or hydrophilic group modification Type and MAM A type. The SBM type includes E41, E40, E21, E20, the MAM type includes M51, M52, M53, M22, SM6290XD30, the MAM N type includes 52N, 22N, and the MAM A type includes SM4032XM10. Is mentioned.

また、クラレ社製のクラリティ等のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルより誘導されるブロック共重合を用いることも可能である。市販品としては、LA1114、LA2250、LA2140e、LA2330等が挙げられる。   It is also possible to use a block copolymer derived from methyl methacrylate and butyl acrylate such as Kuraray's clarity. Commercially available products include LA1114, LA2250, LA2140e, LA2330, and the like.

(D)ブロック共重合体の重量平均分子量は、10,000〜500,000が好ましく、20,000〜400,000がより好ましく、50,000〜300,000とされると更に好ましい。重量平均分子量が10,000以上であると、目的とする強靭性が得られる。   (D) The weight average molecular weight of the block copolymer is preferably 10,000 to 500,000, more preferably 20,000 to 400,000, and even more preferably 50,000 to 300,000. When the weight average molecular weight is 10,000 or more, the intended toughness can be obtained.

一方、重量平均分子量が500,000以下であると、硬化性樹脂組成物の粘度が適当となり、印刷性、現像性が良好となる。   On the other hand, when the weight average molecular weight is 500,000 or less, the viscosity of the curable resin composition becomes appropriate, and the printability and developability become good.

上記(D)ブロック共重合体の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂と(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物の固形分重量総和に対して0.5〜30質量%が好ましく、1〜20%がより好ましい。0.5質量%以上ではクラック耐性向上が期待でき、30質量%以下では硬化性樹脂組成物として現像性や塗布性が維持できるため好ましい。   The blending amount of the (D) block copolymer is preferably 0.5 to 30% by mass with respect to the total solid weight of the (A) alkali-soluble resin and (C) the thermosetting compound having an oxazolidone ring. -20% is more preferable. If it is 0.5% by mass or more, improvement in crack resistance can be expected, and if it is 30% by mass or less, it is preferable because developability and coating property can be maintained as a curable resin composition.

本発明において、特に上記式(I)の構造を含むブロック共重合体を用いることにより、本発明の硬化性樹脂組成物から得られた硬化物に、特に優れた強靭性を付与することが可能とされる。本発明の硬化物は、現像によりレジストとしてパターニングされる工程、及びレジストとして適用される場合にも、上記式(I)の構造を含むブロック共重合体を含むことによりレジストの強靭性を保持するため、アルカリ現像や、ソルダーレジストとしての過酷な適用環境においてもクラックの発生、及びクラックが進行しにくく、基板を良好に保護する。   In the present invention, particularly excellent toughness can be imparted to the cured product obtained from the curable resin composition of the present invention by using a block copolymer containing the structure of the above formula (I). It is said. The cured product of the present invention maintains the toughness of the resist by including a block copolymer containing the structure of the above formula (I) even when applied as a resist, and a step of patterning as a resist by development. Therefore, even in the harsh application environment as an alkali development or a solder resist, the generation of cracks and the progress of cracks are difficult, and the substrate is well protected.

特に、組成物の硬化処理温度を、ハードセグメントのTg以上の温度とすることにより、強靭性に優れたレジストを得ることができる。   In particular, by setting the curing temperature of the composition to a temperature equal to or higher than the Tg of the hard segment, a resist having excellent toughness can be obtained.

さらに、本発明の硬化性樹脂組成物は、(E)反応性希釈剤を含むことが好ましい。   Furthermore, it is preferable that the curable resin composition of this invention contains (E) reactive diluent.

[成分(E):反応性希釈剤]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(E)反応性希釈剤を用いることができる。特に硬化性樹脂組成物が感光性を有する硬化性樹脂組成物である場合、硬化性や耐現像性の面において好ましい。本発明における反応性希釈剤は、分子中にエチレン性不飽和基を有する化合物であり、硬化性樹脂組成物の粘度調整、硬化性の促進や現像性の向上の為に用いられる。
[Component (E): Reactive Diluent]
In the curable resin composition of the present invention, (E) a reactive diluent can be used. In particular, when the curable resin composition is a photosensitive curable resin composition, it is preferable in terms of curability and development resistance. The reactive diluent in the present invention is a compound having an ethylenically unsaturated group in the molecule, and is used for adjusting the viscosity of the curable resin composition, promoting curability and improving developability.

このような化合物としては、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートが使用でき、具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;上記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、および上記アクリレートに対応する各メタクリレート類の少なくとも1種などが挙げられる。   As such a compound, conventionally known polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate can be used, Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide , N-methylolacrylamide, N, N-dimethylaminopropylacrylamide and other acrylamides; N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N Aminoalkyl acrylates such as N-dimethylaminopropyl acrylate; polyhydric alcohols such as hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethylisocyanurate, or their ethylene oxide adducts, propylene oxide adducts Or polyhydric acrylates such as ε-caprolactone adduct; polyhydric acrylates such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene oxide adduct or propylene oxide adduct of these phenols; glycerin diglycidyl ether, glycerin Triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, etc. Polyacid acrylates of sidyl ether; not limited to the above, acrylates and melamine acrylates obtained by directly acrylated polyols such as polyether polyols, polycarbonate diols, hydroxyl-terminated polybutadienes, polyester polyols, or urethane acrylates via diisocyanates, And at least one of each methacrylate corresponding to the acrylate.

さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネート等のジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物等が挙げられる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、硬化性を向上させることができる。   Furthermore, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, and further a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. The epoxy urethane acrylate compound etc. which made the half urethane compound react are mentioned. Such an epoxy acrylate resin can improve curability without deteriorating the touch drying property.

本発明では、(E)反応性希釈剤を用いる場合、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   In the present invention, when the reactive diluent (E) is used, one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

上記のような反応性希釈剤の配合量は、前記(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、5〜100質量部が好ましく、5〜30質量部がより好ましい。配合量が、5質量部以上の場合、表面硬化性が向上しアルカリ現像の際に露光部へのダメージを低減する。一方、100質量部以下の場合、希アルカリ水溶液に対する溶解性を維持しつつ、ハレーションのない良好な解像性が得られる。   5-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of said (A) alkali-soluble resin, and, as for the compounding quantity of the above reactive diluents, 5-30 mass parts is more preferable. When the amount is 5 parts by mass or more, the surface curability is improved and damage to the exposed part is reduced during alkali development. On the other hand, when the amount is 100 parts by mass or less, good resolution without halation can be obtained while maintaining solubility in a dilute aqueous alkali solution.

[熱硬化性化合物]
本発明では、上記各成分の他、更に上記(C)以外の熱硬化性化合物を用いることができる。具体例としては、上記以外、すなわちオキサゾリドン環を有さないエポキシ化合物、または多官能オキセタン化合物を用いることが好ましい。その中でも、エポキシ樹脂が好適に用いられる。
[Thermosetting compound]
In the present invention, in addition to the above components, thermosetting compounds other than the above (C) can be used. As specific examples, it is preferable to use an epoxy compound or a polyfunctional oxetane compound other than the above, that is, an epoxy compound having no oxazolidone ring. Among these, an epoxy resin is preferably used.

上記エポキシ化合物としては、液状、結晶性低分子量、半固形、固形の各材料を用いることができ、具体例としては、上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。   As the epoxy compound, liquid, crystalline low molecular weight, semi-solid, and solid materials can be used. As specific examples, the epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Can be used. Examples include polyfunctional epoxy resins having two or more epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.

多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。   Polyfunctional epoxy compounds include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic ring Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or mixtures thereof, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy Resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl meta Acrylate copolymer epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.

その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。   Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate.

エポキシ化合物は、市販の製品を用いることも可能であり、例えばHP4032(DIC社製、ナフタレン型2官能エポキシ樹脂、Tg:-5℃)、NC3000H、NC3000L(日本化薬社製、ビフェニル型エポキシ化合物、順にTg:20℃、30℃)、EPPN501H(日本化薬社製、トリフェニルグリジジルエーテル型エポキシ樹脂、Tg:20℃)、jER828、jER834、jER1001(三菱化学社、順に液状、半固形、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂、順にTg:−20℃、0℃、30℃)、DEN431、DEN438(ダウケミカル社製、エポキシノボラック樹脂、順にTg:-10℃、0℃)、P201(日本化薬社製、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、Tg:5℃)、N870(DIC社製、変性ノボラック型樹脂、Tg:20℃)を用いることができる。   As the epoxy compound, a commercially available product can be used. For example, HP4032 (manufactured by DIC, naphthalene type bifunctional epoxy resin, Tg: −5 ° C.), NC3000H, NC3000L (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., biphenyl type epoxy compound) , Tg: 20 ° C., 30 ° C. in order, EPPN501H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., triphenylglycidyl ether type epoxy resin, Tg: 20 ° C.), jER828, jER834, jER1001 (Mitsubishi Chemical Corporation, in order liquid, semi-solid, Solid bisphenol A type epoxy resin, in order Tg: -20 ° C, 0 ° C, 30 ° C), DEN431, DEN438 (manufactured by Dow Chemical Co., epoxy novolac resin, in order Tg: -10 ° C, 0 ° C), P201 (Nippon Kayaku) Phenol novolac epoxy resin, Tg: 5 ° C., N870 (manufactured by DIC, modified A novolak-type resin, Tg: 20 ° C.).

上記多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl -3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin, Poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenol Le ethers, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

ここで、熱反応性成分がベンゼン骨格を有する場合、耐熱性が向上するので、好ましい。また、熱硬化性樹脂組成物が白色顔料を含有する場合、熱反応性成分は脂環式骨格であることが好ましい。これにより、光反応性を向上できる。   Here, it is preferable that the heat-reactive component has a benzene skeleton because heat resistance is improved. Moreover, when a thermosetting resin composition contains a white pigment, it is preferable that a thermoreactive component is an alicyclic skeleton. Thereby, photoreactivity can be improved.

熱反応性成分は1種または2種以上組み合わせて使用してもよい。   You may use a heat-reactive component 1 type or in combination of 2 or more types.

[熱硬化触媒]
本発明では、さらに熱硬化触媒を用いることが好ましく、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などを使用することができる。
[Thermosetting catalyst]
In the present invention, it is preferable to use a thermosetting catalyst, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl. Imidazole derivatives such as 2-phenylimidazole, 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4- Use amine compounds such as methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine, etc. But Kill.

また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT(登録商標)3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)などが挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ化合物やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基及び/又はオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。   Examples of commercially available products include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., and U-CAT (registered by San Apro). Trademarks) 3503N, U-CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof), and the like. In particular, the present invention is not limited to these, as long as it is a thermosetting catalyst for epoxy compounds or oxetane compounds, or a catalyst that promotes the reaction of epoxy groups and / or oxetanyl groups with carboxyl groups, either alone or in combination of two or more. Can be used.

また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。   Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with a thermosetting catalyst.

これら熱硬化触媒の配合量は、熱硬化性化合物(成分(C)以外)の100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。0.1質量部以上の場合、熱硬化成分の反応性が向上し、Tgの向上、CTEの低下が期待できる。一方、20質量部以下の場合、現像性を維持することができる。   The blending amount of these thermosetting catalysts is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 0.5 to 15.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting compound (other than component (C)). It is. In the case of 0.1 mass part or more, the reactivity of a thermosetting component improves and it can anticipate the improvement of Tg and the fall of CTE. On the other hand, in the case of 20 parts by mass or less, developability can be maintained.

[その他の任意成分]
本発明の硬化性組成物にはさらに、連鎖移動剤、密着促進剤、酸化防止剤、防錆剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、増粘剤、消泡剤及びレベリング剤の少なくとも1種、シランカップリング剤、フィラー、バインダー、難燃剤、チキソ化剤、防錆剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
[Other optional ingredients]
The curable composition of the present invention further includes at least one of a chain transfer agent, an adhesion promoter, an antioxidant, a rust inhibitor, a polymerization inhibitor, an ultraviolet absorber, a thickener, an antifoaming agent, and a leveling agent, Components such as a silane coupling agent, a filler, a binder, a flame retardant, a thixotropic agent, and a rust inhibitor can be blended. As these, those known in the field of electronic materials can be used.

さらに、本発明の硬化性樹脂組成物は、上記カルボキシル基含有樹脂の合成や組成物の調製のため、又は基板に塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。   Furthermore, the curable resin composition of the present invention can use an organic solvent for the synthesis of the carboxyl group-containing resin, the preparation of the composition, or the viscosity adjustment for application to the substrate.

本発明の硬化性樹脂組成物は、支持体(キャリアフィルム等)と、支持体上に形成された上記硬化性樹脂組成物からなる層とを備えたドライフィルムの形態とすることもできる。   The curable resin composition of this invention can also be made into the form of the dry film provided with the support body (carrier film etc.) and the layer which consists of the said curable resin composition formed on the support body.

ドライフィルム化に際しては、本発明の硬化性樹脂組成物を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、5〜150μm、好ましくは10〜60μmの範囲で適宜選択される。   In forming a dry film, the curable resin composition of the present invention is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater, a reverse coater, a transfer roll coater, A film can be obtained by applying a uniform thickness on a carrier film with a gravure coater, spray coater or the like, and usually drying at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes. Although there is no restriction | limiting in particular about a coating film thickness, Generally, it is a film thickness after drying, 5-150 micrometers, Preferably it selects suitably in the range of 10-60 micrometers.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。   As the carrier film, a plastic film is used, and a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, or a polystyrene film is preferably used. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を成膜した後、さらに、膜の表面に塵が付着防止等の目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。   After forming the curable resin composition of the present invention on the carrier film, it is preferable to further laminate a peelable cover film on the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film.

剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離するときに膜とキャリアフィルムとの接着力よりも膜とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。   As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper or the like can be used, and when the cover film is peeled off, the adhesive strength between the film and the carrier film is exceeded. What is necessary is just to have a smaller adhesive force between the membrane and the cover film.

本発明の硬化性樹脂組成物は、例えば有機溶剤で塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布し、約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることにより、タックフリーの塗膜を形成できる。また、上記組成物をキャリアフィルム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったドライフィルムの場合、ラミネーター等により硬化性樹脂組成物層が基材と接触するように基材上に張り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、樹脂絶縁層を形成できる。   The curable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for a coating method using, for example, an organic solvent, and on a substrate, a dip coating method, a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, a curtain A tack-free coating film can be formed by coating by a method such as a coating method and volatilizing and drying (temporary drying) an organic solvent contained in the composition at a temperature of about 60 to 100 ° C. Further, in the case of a dry film obtained by applying the above composition on a carrier film and drying and winding it as a film, after laminating the curable resin composition layer on the substrate with a laminator or the like The resin insulating layer can be formed by peeling off the carrier film.

本発明の硬化性組成物は、プリント配線板のパターン層の形成の各種レジストないし絶縁性材料として好適に用いることができ、中でもソルダーレジストや層間絶縁層の材料として有用である。   The curable composition of the present invention can be suitably used as various resists or insulating materials for forming a pattern layer of a printed wiring board, and is particularly useful as a material for a solder resist or an interlayer insulating layer.

本発明の硬化性樹脂組成物は、基材に対するスクリーン印刷、又はパターン状の光照射によりパターン形成・硬化させることができる。   The curable resin composition of the present invention can be subjected to pattern formation / curing by screen printing on a substrate or pattern-shaped light irradiation.

本発明の硬化性組成物によるパターン形成方法では、
基材上に硬化性組成物を施与する工程(a)、
パターン状の光照射にて硬化性組成物に含まれる光重合開始剤を活性化して光照射部を硬化する工程(b)、及び
現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成する工程(c)により、ネガ型パターンが形成される。
In the pattern forming method using the curable composition of the present invention,
Applying a curable composition on a substrate (a),
A step (b) of activating the photopolymerization initiator contained in the curable composition by pattern-shaped light irradiation to cure the light-irradiated part, and a negative pattern layer by removing the unirradiated part by development. A negative pattern is formed by the forming step (c).

[工程(a):組成物層形成工程]
上記工程(a)は、基材に硬化性組成物からなる組成物層を形成する工程である。組成物層を形成する方法は、液状の硬化性組成物を基材上に、塗布、乾燥する方法や、硬化性組成物をドライフィルムにしたものを基材上にラミネートする方法によることができる。
[Step (a): Composition layer forming step]
The said process (a) is a process of forming the composition layer which consists of a curable composition in a base material. The method of forming the composition layer can be based on a method of applying and drying a liquid curable composition on a substrate, or a method of laminating a curable composition in a dry film on a substrate. .

硬化性組成物の基材への塗布方法は、ブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等の公知の方法を適宜採用することができる。また、乾燥方法は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより支持体に吹き付ける方法等、公知の方法が適用できる。   As a method for applying the curable composition to the substrate, known methods such as a blade coater, a lip coater, a comma coater, and a film coater can be appropriately employed. Also, the drying method is a method using a hot-air circulation type drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven, etc., equipped with a heat source of the heating method by steam, and the hot air in the dryer is counter-contacted and supported by the nozzle Known methods such as a method of spraying on the body can be applied.

基材としては、予め回路形成されたプリント配線基材やフレキシブルプリント配線基材の他、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布−エポキシ樹脂、ガラス−ポリイミド、ガラス布/不繊布−エポキシ樹脂、ガラス布/紙−エポキシ樹脂、合成繊維−エポキシ樹脂、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネートエステル等の複合材を用いた全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基材、セラミック基材、ウエハ基材等を用いることができる。   As the substrate, in addition to a printed wiring substrate and a flexible printed wiring substrate in which a circuit is formed in advance, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / non-woven cloth-epoxy Copper-clad laminates of all grades (FR-4 etc.) using composite materials such as resin, glass cloth / paper-epoxy resin, synthetic fiber-epoxy resin, fluororesin / polyethylene / polyphenylene ether, polyphenylene oxide / cyanate ester Polyimide film, PET film, glass substrate, ceramic substrate, wafer substrate and the like can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブンなど(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法及びノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。   Volatile drying performed after the application of the curable resin composition of the present invention is performed by using a hot-air circulating drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, or the like (with a steam-heated air source). Can be carried out by using a counter-current contact method and a method of spraying a nozzle on a support.

[工程(b):硬化工程]
工程(b)では、上記工程(a)の後に溶剤を揮発乾燥し、得られた塗膜に対し、露光(活性エネルギー線、特に紫外線等の光照射)を行うことにより、パターニングが行われる。一態様(b−1)として硬化性樹脂組成物中の光重合開始剤がエチレン性不飽和二重結合に対して逐次反応をすることにより、露光部(活性エネルギー線、特に紫外線等によりにより光照射された部分)が硬化する。かかる態様の場合、その後、アルカリ現像液に対してネガ型のパターン形成が可能となり、また、熱硬化も併せて行なうことで硬化性が向上する点で好ましい。
[Step (b): Curing step]
In the step (b), patterning is performed by evaporating and drying the solvent after the step (a) and exposing the coating film obtained (irradiation with active energy rays, particularly light such as ultraviolet rays). As one aspect (b-1), the photopolymerization initiator in the curable resin composition sequentially reacts with the ethylenically unsaturated double bond, thereby causing light exposure by an exposed part (active energy rays, particularly ultraviolet rays). The irradiated part is cured. In the case of such an embodiment, it is possible to form a negative pattern with respect to the alkaline developer, and it is preferable from the viewpoint that the curability is improved by performing thermosetting together.

また、かかる態様においては、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光もしくは直接描画装置により直接パターン露光する。これにより、露光部分の硬化性組成物に含まれる光塩基発生成分が塩基を発生させることにより、光照射部を硬化させる。   Further, in such an embodiment, the exposure is selectively carried out by the active energy rays or directly by the direct drawing apparatus through the photomask on which the pattern is formed by the contact method (or the non-contact method). Thereby, a photoirradiation part is hardened because the photobase generation component contained in the curable composition of an exposure part generates a base.

また他の態様(b−2)としてはネガ型のパターン状に光照射されることにより、硬化性組成物に含まれる光重合開始剤を活性化して光照射部が硬化する際に、光照射部で発生した塩基により、光重合開始剤が不安定化し、さらに塩基が発生、増殖することにより、光照射部の深部まで十分硬化する。   Moreover, as another aspect (b-2), light irradiation is performed when the light irradiation part hardens | cures by activating the photoinitiator contained in a curable composition by irradiating light in a negative pattern shape. The base generated in the part destabilizes the photopolymerization initiator, and further, the base is generated and proliferated, so that the deep part of the light irradiation part is sufficiently cured.

光照射に用いられる光照射機としては、直接描画装置(例えばコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)、メタルハライドランプを搭載した光照射機、(超)高圧水銀ランプを搭載した光照射機、水銀ショートアークランプを搭載した光照射機、もしくは(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプ、LEDを使用した直接描画装置を用いることができる。   As the light irradiator used for light irradiation, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that directly draws an image with a laser using CAD data from a computer), a light irradiator equipped with a metal halide lamp, and an (ultra) high pressure mercury lamp It is possible to use a light irradiator mounted, a light irradiator equipped with a mercury short arc lamp, an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp, or a direct drawing device using LEDs.

活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光又は散乱光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、効率よく硬化性組成物の光反応性を向上させることができる。この範囲を用いていれば、レーザー光の場合、ガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には100〜1500mJ/cm、好ましくは300〜1500mJ/cmの範囲内とすることができる。 As the active energy ray, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. By setting the maximum wavelength within this range, the photoreactivity of the curable composition can be improved efficiently. As long as this range is used, in the case of laser light, either a gas laser or a solid laser may be used. Moreover, the light irradiation amount varies depending on the film thickness, etc., generally 100~1500mJ / cm 2, preferably be in the range of 300~1500mJ / cm 2.

なお、パターン状の光照射用のマスクは、ネガ型のマスクを用いることができる。   Note that a negative mask can be used as the patterned light irradiation mask.

工程(b)において、b−2の態様、すなわち、ネガ型のパターン状に光照射されることにより、硬化性組成物に含まれる光重合開始剤を活性化して光照射部が硬化する際に、光照射部で発生した塩基により、光重合開始剤が不安定化し、さらに塩基が発生、増殖することにより、光照射部の深部まで十分硬化した場合、更に加熱により光照射部を硬化することが好ましい(PEB:Post Exposure Bake)。これにより、工程(b)で発生した塩基が熱硬化成分に対して付加反応することより、深部まで硬化できる。   In the step (b), when the light irradiation part is cured by activating the photopolymerization initiator contained in the curable composition by light irradiation in the form of b-2, that is, a negative pattern. When the photopolymerization initiator is destabilized by the base generated in the light irradiation part, and further the base is generated and proliferated to sufficiently cure the deep part of the light irradiation part, the light irradiation part is further cured by heating. Is preferred (PEB: Post Exposure Bake). Thereby, it can harden | cure to a deep part from the base which generate | occur | produced at the process (b) carries out an addition reaction with respect to a thermosetting component.

ただし、パターニングおいて、50μmレベルの小径の開口を設ける場合には、PEB処理を行わないほうが、開口にハレーションやアンダーカットが発生せず、解像度が良好となる。   However, in the case of providing a small-diameter opening having a 50 μm level in patterning, halation or undercut does not occur in the opening and the resolution is improved when the PEB process is not performed.

加熱温度は、硬化性組成物のうち、光照射部は光照射後に熱硬化するが、未照射部は熱硬化しない温度であることが好ましい。   In the curable composition, the heating temperature is preferably a temperature at which the light-irradiated portion is thermally cured after the light irradiation, but the non-irradiated portion is not thermally cured.

例えば、未照射の硬化性組成物の発熱開始温度又は発熱ピーク温度よりも低く、かつ、光照射した硬化性組成物の発熱開始温度又は発熱ピーク温度よりも高い温度で加熱することが好ましい。このように加熱することにより、光照射部のみを選択的に硬化することができる。   For example, it is preferable to heat at a temperature lower than the heat generation start temperature or heat generation peak temperature of the unirradiated curable composition and higher than the heat generation start temperature or heat generation peak temperature of the light irradiated curable composition. By heating in this way, only the light irradiation part can be selectively cured.

ここで、加熱温度は、例えば、40〜140℃、好ましくは60〜120℃である。加熱温度を40℃以上とすることにより、光照射部を十分に硬化できる。一方、加熱温度を140℃以下とすることにより、光照射部のみを選択的に硬化できる。加熱時間は、例えば、1〜120分、好ましくは10-80分である。加熱方法は、上記乾燥方法と同様である。   Here, heating temperature is 40-140 degreeC, for example, Preferably it is 60-120 degreeC. By setting the heating temperature to 40 ° C. or higher, the light irradiation part can be sufficiently cured. On the other hand, by setting the heating temperature to 140 ° C. or lower, only the light irradiation part can be selectively cured. The heating time is, for example, 1 to 120 minutes, preferably 10 to 80 minutes. The heating method is the same as the drying method.

なお、未照射部では、光重合開始剤から塩基が発生しないため、熱硬化が抑制される。   In the unirradiated portion, no base is generated from the photopolymerization initiator, so that thermosetting is suppressed.

[工程(c):現像工程]
工程(c)は、現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成する工程である。現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等公知の方法によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、エタノールアミンなどのアミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
[Step (c): Development step]
Step (c) is a step of forming a negative pattern layer by removing unirradiated portions by development. As a developing method, a known method such as a dipping method, a shower method, a spray method, or a brush method can be used. As a developing solution, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, silicic acid can be used. An amine such as sodium, ammonia or ethanolamine, an alkali aqueous solution such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH) or a mixture thereof can be used.

環境への配慮から、本発明の樹脂組成物はpH12未満の現像液により現像可能であることが好ましい。   In consideration of the environment, the resin composition of the present invention is preferably developable with a developer having a pH of less than 12.

[工程(d)]
上記パターン形成方法は、工程(c)の後に、さらなる光照射程(d)を含むことが好ましい。工程(c)の後にさらに紫外線照射等の光照射を行うことで、露光時に反応せずに残った反応性希釈剤等の光反応性成分を反応させることができる。光照射工程(d)における照射光の波長および光照射量(露光量)は、工程(b)と同じであってもよく、異なっていてもよい。好適な光照射量(露光量)は、150〜2000mJ/cmである。
[Step (d)]
It is preferable that the said pattern formation method includes the further light irradiation process (d) after a process (c). By performing light irradiation such as ultraviolet irradiation after the step (c), photoreactive components such as reactive diluent remaining without reacting at the time of exposure can be reacted. The wavelength of irradiation light and the light irradiation amount (exposure amount) in the light irradiation step (d) may be the same as or different from those in the step (b). A suitable light irradiation amount (exposure amount) is 150 to 2000 mJ / cm 2 .

[工程(e)]
上記パターン形成方法は、工程(c)の後に、さらに、熱硬化(ポストキュア)工程(e)を含むことが好ましい。
[Step (e)]
The pattern forming method preferably further includes a thermosetting (post-cure) step (e) after the step (c).

工程(c)の後に工程(d)と工程(e)をともに行う場合、工程(e)は、工程(d)の後に行うことが好ましいが、工程(d)の前に行っても良い。   When both the step (d) and the step (e) are performed after the step (c), the step (e) is preferably performed after the step (d), but may be performed before the step (d).

工程(e)は、工程(b)、または工程(b)および工程(d)により光重合開始剤から発生した塩基により、パターン層を十分に熱硬化させる。工程(e)の時点では、未照射部を既に除去しているため、工程(e)は、未照射の硬化性組成物の硬化反応開始温度以上の温度で行うことができる。これにより、パターン層を十分に熱硬化させることができる。加熱温度は、例えば、150℃以上である。   In the step (e), the pattern layer is sufficiently heat-cured by the base generated from the photopolymerization initiator in the step (b) or the steps (b) and (d). Since the unirradiated part has already been removed at the time of the step (e), the step (e) can be performed at a temperature equal to or higher than the curing reaction start temperature of the unirradiated curable composition. Thereby, a pattern layer can fully be thermosetted. The heating temperature is, for example, 150 ° C. or higher.

以下、本発明を実施例等により具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下において特に断りのない限り、「部」、「%」は質量基準であるものとする。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example etc. demonstrate this invention concretely, this invention is not limited to these Examples. In the following, “part” and “%” are based on mass unless otherwise specified.

[実施例1〜20、および比較例1〜4]
<硬化性組成物の調製>
下記表1−1〜表1−3に記載した配合に従って、実施例1〜20、および比較例1〜4の材料をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合することにより、各実施例及び比較例に係る硬化性樹脂組成物を調製した。
[Examples 1 to 20 and Comparative Examples 1 to 4]
<Preparation of curable composition>
In accordance with the formulation described in Table 1-1 to Table 1-3 below, the materials of Examples 1 to 20 and Comparative Examples 1 to 4 were blended, and each of the examples and comparative examples was premixed with a stirrer. A curable resin composition was prepared.

なお、本実施例および比較例で使用した(A)アルカリ可溶性樹脂1〜3、(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物A〜Cは以下のように合成した。この他の成分の詳細は表1−3の下方に付記する。   In addition, the thermosetting compounds A to C having (A) alkali-soluble resins 1 to 3 and (C) oxazolidone rings used in Examples and Comparative Examples were synthesized as follows. Details of the other components are added below Table 1-3.

<アルカリ可溶性樹脂の合成例>
アルカリ可溶性樹脂1の合成:
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置、および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工株式会社製、ショーノールCRG951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部及びトルエン119.4部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。
<Example of synthesis of alkali-soluble resin>
Synthesis of alkali-soluble resin 1:
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device / alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 119.4 parts of a novolac type cresol resin (Showa Denko KK, Shonor CRG951, OH equivalent: 119.4), hydroxylation 1.19 parts of potassium and 119.4 parts of toluene were charged, the system was purged with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating.

次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cmで16時間反応させた。 Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125 to 132 ° C. and 0 to 4.8 kg / cm 2 for 16 hours.

その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。   Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with the reaction solution to neutralize potassium hydroxide. A novolak-type cresol resin propylene oxide reaction solution was obtained. This was an average of 1.08 moles of alkylene oxide added per equivalent of phenolic hydroxyl group.

得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部及びトルエン252.9部を、撹拌機、温度計及び空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。   293.0 parts of an alkylene oxide reaction solution of the obtained novolak-type cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 part of methylhydroquinone and 252.9 parts of toluene were mixed with a stirrer and a temperature. A reactor equipped with a meter and an air blowing tube was charged, air was blown at a rate of 10 ml / min, and the reaction was carried out at 110 ° C. for 12 hours while stirring.

反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。   12.6 parts of water was distilled from the water produced by the reaction as an azeotrope with toluene.

その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。   Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water.

その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(カルビトールアセテート)118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。   Thereafter, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate (carbitol acetate) with an evaporator to obtain a novolak acrylate resin solution.

次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部及びトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計及び空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、固形物の酸価88mgKOH/g、固形分65%のカルボキシル基含有樹脂1を得た。   Next, 332.5 parts of the obtained novolak acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was supplied at a rate of 10 ml / min. While blowing and stirring, 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added and reacted at 95 to 101 ° C. for 6 hours. After cooling, the solid had an acid value of 88 mg KOH / g and a solid content of 65% containing a carboxyl group Resin 1 was obtained.

アルカリ可溶性樹脂2の合成:
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、ビスフェノールA456部、水228部、37%ホルマリン649部を仕込み、40℃以下の温度を保ち、25%水酸化ナトリウム水溶液228部を添加した、添加終了後50℃で10時間反応した。反応終了後40℃まで冷却し、40℃以下を保ちながら37.5%リン酸水溶液でpH4まで中和した。その後静置し水層を分離した。分離後メチルイソブチルケトン300部を添加し均一に溶解した後、蒸留水500部で3回洗浄し、50℃以下の温度で減圧下、水、溶媒等を除去した。得られたポリメチロール化合物をメタノール550部に溶解し、ポリメチロール化合物のメタノール溶液1230部を得た。
Synthesis of alkali-soluble resin 2:
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 456 parts of bisphenol A, 228 parts of water, and 649 parts of 37% formalin, and kept at a temperature of 40 ° C. or lower, and 228 parts of 25% aqueous sodium hydroxide solution was added. The reaction was carried out at 0 ° C. for 10 hours. After completion of the reaction, the reaction mixture was cooled to 40 ° C. and neutralized to pH 4 with a 37.5% phosphoric acid aqueous solution while maintaining the temperature at 40 ° C. or lower. Thereafter, the mixture was allowed to stand to separate the aqueous layer. After separation, 300 parts of methyl isobutyl ketone was added and dissolved uniformly, and then washed three times with 500 parts of distilled water, and water, solvent, and the like were removed under reduced pressure at a temperature of 50 ° C. or lower. The obtained polymethylol compound was dissolved in 550 parts of methanol to obtain 1230 parts of a methanol solution of the polymethylol compound.

得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液の一部を真空乾燥機中室温で乾燥したところ、固形分が55.2%であった。   When a part of the methanol solution of the obtained polymethylol compound was dried at room temperature in a vacuum dryer, the solid content was 55.2%.

得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液500部、2,6−キシレノール440部を仕込み、50℃で均一に溶解した。均一に溶解した後50℃以下の温度で減圧下メタノールを除去した。その後シュウ酸8部を加え、100℃で10時間反応した。反応終了後180℃、50mmHgの減圧下で溜出分を除去し、ノボラック樹脂A 550部を得た。   500 parts of a methanol solution of the obtained polymethylol compound and 440 parts of 2,6-xylenol were charged and dissolved uniformly at 50 ° C. After dissolving uniformly, methanol was removed under reduced pressure at a temperature of 50 ° C. or lower. Thereafter, 8 parts of oxalic acid was added and reacted at 100 ° C. for 10 hours. After completion of the reaction, the distillate was removed under reduced pressure at 180 ° C. and 50 mmHg to obtain 550 parts of novolak resin A.

更に、温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置及び撹拌装置を備えたオートクレーブに、上記のノボラック樹脂Aを130部、50%水酸化ナトリウム水溶液2.6部、トルエン/メチルイソブチルケトン(質量比=2/1)100部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、次に加熱昇温し、150℃、8kg/cmでエチレンオキシド45部を徐々に導入し反応させた。反応はゲージ圧0.0kg/cmとなるまで約4時間を続けた後、室温まで冷却した。この反応溶液に3.3部の36%塩酸水溶液を添加混合し、水酸化ナトリウムを中和した。この中和反応生成物をトルエンで希釈し、3回水洗し、エバポレーターにて脱溶剤して、水酸基価が175g/eq.であるノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りエチレンオキシドが平均1モル付加しているものであった。 Furthermore, in an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device / alkylene oxide introduction device and a stirring device, 130 parts of the above-mentioned novolak resin A, 2.6 parts of 50% aqueous sodium hydroxide solution, toluene / methyl isobutyl ketone (mass ratio) = 2/1) 100 parts were charged, and the system was purged with nitrogen while stirring. Next, the temperature was raised by heating, and 45 parts of ethylene oxide was gradually introduced and reacted at 150 ° C. and 8 kg / cm 2 . The reaction was continued for about 4 hours until the gauge pressure reached 0.0 kg / cm 2, and then cooled to room temperature. To this reaction solution, 3.3 parts of 36% aqueous hydrochloric acid was added and mixed to neutralize sodium hydroxide. The neutralized reaction product was diluted with toluene, washed with water three times, and the solvent was removed with an evaporator. The hydroxyl value was 175 g / eq. An ethylene oxide adduct of novolak resin A was obtained. This was an average of 1 mole of ethylene oxide added per equivalent of phenolic hydroxyl group.

このように得られたノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物175部、アクリル酸50部、p−トルエンスルホン酸3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トルエン130部を撹拌機、温度計、空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を吹き込みながら攪拌して、115℃に昇温し、反応により生成した水をトルエンと共沸混合物として留去しながら、さらに4時間反応させたのち、室温まで冷却した。得られた反応溶液を5%NaCl水溶液を用いて水洗し、減圧留去にてトルエンを除去したのち、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを加えて、不揮発分68%のアクリレート樹脂溶液を得た。   175 parts of the ethylene oxide adduct of the novolak resin A thus obtained, 50 parts of acrylic acid, 3.0 parts of p-toluenesulfonic acid, 0.1 part of hydroquinone monomethyl ether, 130 parts of toluene, a stirrer, thermometer, air A reactor equipped with a blowing tube was charged, stirred while blowing air, heated to 115 ° C., and reacted for another 4 hours while distilling off the water produced by the reaction as an azeotrope with toluene. Cooled to room temperature. The obtained reaction solution was washed with 5% NaCl aqueous solution and toluene was removed by distillation under reduced pressure. Diethylene glycol monoethyl ether acetate was added to obtain an acrylate resin solution having a nonvolatile content of 68%.

次に、撹拌器及び還流冷却器の付いた4つ口フラスコに、得られたアクリレート樹脂溶液312部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トリフェニルホスフィン0.3部を仕込み、この混合物を110℃に加熱し、テトラヒドロ無水フタル酸45部を加え、4時間反応させ、冷却後、不揮発分72%、固形分酸価65mgKOH/gのカルボキシル基含有樹脂2を得た。   Next, 312 parts of the resulting acrylate resin solution, 0.1 part of hydroquinone monomethyl ether and 0.3 part of triphenylphosphine were charged into a four-necked flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, and this mixture was charged at 110 ° C. Then, 45 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted for 4 hours. After cooling, a carboxyl group-containing resin 2 having a nonvolatile content of 72% and a solid content acid value of 65 mgKOH / g was obtained.

アルカリ可溶性樹脂3の合成:
210部を撹拌機及び還流冷却器の付いた四つ口フラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製、“エピクロン”(登録商標)N−680、エポキシ当量:210)を装填し、カルビトールアセテート96.4部を加え、加熱溶解した。次に、重合禁止剤としてハイドロキノン0.46部と、反応触媒としてトリフェニルホスフィン1.38部を加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸72部を徐々に滴下し、酸価が3.0mgKOH/g以下になるまで約16時間反応させた。
Synthesis of alkali-soluble resin 3:
A four-necked flask equipped with a stirrer and a reflux condenser was charged with 210 parts of a cresol novolac type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, “Epicron” (registered trademark) N-680, epoxy equivalent: 210). 96.4 parts of tall acetate was added and dissolved by heating. Next, 0.46 part of hydroquinone as a polymerization inhibitor and 1.38 parts of triphenylphosphine as a reaction catalyst were added. This mixture was heated to 95 to 105 ° C., 72 parts of acrylic acid was gradually added dropwise, and the mixture was allowed to react for about 16 hours until the acid value became 3.0 mgKOH / g or less.

この反応生成物を80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物76部を加え、8時間反応させ、冷却後、固形物の酸価78mgKOH/g、不揮発分65%のカルボキシル基含有樹脂3を得た。   The reaction product was cooled to 80 to 90 ° C., 76 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted for 8 hours. After cooling, the carboxyl group-containing resin 3 having a solid acid value of 78 mgKOH / g and a nonvolatile content of 65% was obtained. Got.

<(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物の合成例>
オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物Aの合成:
反応器内に、ビフェニル型エポキシ樹脂(商品名:YX4000、三菱化学(株)製、エポキシ当量185g/eq)100質量部、及び、テトラブチルアンモニウムブロマイド(商品名:臭化テトラ−n−ブチルアンモニウム、和光純薬工業(株)製)0.04質量部を投入し、撹拌加熱し、内温を175℃にした。さらに、原料イソシアネート化合物としてトリレンジイソシアネート(商品名:コロネートT80(登録商標)、日本ポリウレタン(株)製)11.8質量部を90分かけて反応器内に投入した。投入終了後、反応温度を175℃に保ち、4時間撹拌し、式(IV)で表される反応生成物を得た。
<(C) Synthesis Example of Thermosetting Compound Having Oxazolidone Ring>
Synthesis of thermosetting compound A having an oxazolidone ring:
In the reactor, 100 parts by mass of a biphenyl type epoxy resin (trade name: YX4000, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 185 g / eq) and tetrabutylammonium bromide (trade name: tetra-n-butylammonium bromide) 0.04 part by mass, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added, and the mixture was stirred and heated to adjust the internal temperature to 175 ° C. Furthermore, 11.8 parts by mass of tolylene diisocyanate (trade name: Coronate T80 (registered trademark), manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) as a raw material isocyanate compound was charged into the reactor over 90 minutes. After completion of the addition, the reaction temperature was kept at 175 ° C. and the mixture was stirred for 4 hours to obtain a reaction product represented by the formula (IV).

前記反応生成物をIR測定したところ、1750cm−1と910cm−1にピークが観測され、オキサゾリドン環とエポキシ基を含むことを確認した。更に、前記反応生成物のエポキシ当量を測定したところ、測定値250g/eqが求められた(オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物Aの生成)。 As a result of IR measurement of the reaction product, peaks were observed at 1750 cm −1 and 910 cm −1 , and it was confirmed that the reaction product contained an oxazolidone ring and an epoxy group. Furthermore, when the epoxy equivalent of the said reaction product was measured, the measured value 250g / eq was calculated | required (production | generation of the thermosetting compound A which has an oxazolidone ring).

オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物Bの合成:
反応器内に、ビフェニル型エポキシ樹脂(商品名:YX4000、三菱化学(株)製、エポキシ当量185g/eq)100質量部、及び、テトラブチルアンモニウムブロマイド(商品名:臭化テトラ−n−ブチルアンモニウム、和光純薬工業(株)製)0.04質量部を投入し、撹拌加熱し、内温を175℃にした。さらに、原料イソシアネート化合物としてトリレンジイソシアネート(商品名:コロネートT80(登録商標)、日本ポリウレタン(株)製)11.8質量部を90分かけて反応器内に投入した。投入終了後、反応温度を175℃に保ち、8時間撹拌し、式(IV)で表される反応生成物を得た。
Synthesis of thermosetting compound B having an oxazolidone ring:
In the reactor, 100 parts by mass of a biphenyl type epoxy resin (trade name: YX4000, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 185 g / eq) and tetrabutylammonium bromide (trade name: tetra-n-butylammonium bromide) 0.04 part by mass, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added, and the mixture was stirred and heated to adjust the internal temperature to 175 ° C. Furthermore, 11.8 parts by mass of tolylene diisocyanate (trade name: Coronate T80 (registered trademark), manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) as a raw material isocyanate compound was charged into the reactor over 90 minutes. After completion of the addition, the reaction temperature was kept at 175 ° C. and the mixture was stirred for 8 hours to obtain a reaction product represented by the formula (IV).

前記反応生成物をIR測定したところ、1750cm−1と910cm−1にピークが観測され、オキサゾリドン環とエポキシ基を含むことを確認した。更に、前記反応生成物のエポキシ当量を測定したところ、測定値292g/eqが求められた(オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物Bの生成)。 As a result of IR measurement of the reaction product, peaks were observed at 1750 cm −1 and 910 cm −1 , and it was confirmed that the reaction product contained an oxazolidone ring and an epoxy group. Furthermore, when the epoxy equivalent of the said reaction product was measured, the measured value 292g / eq was calculated | required (production | generation of the thermosetting compound B which has an oxazolidone ring).

オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物Cの合成:
反応器内に、ビフェニル型エポキシ樹脂(商品名:YX4000、三菱化学(株)製、エポキシ当量185g/eq)100質量部、及び、テトラブチルアンモニウムブロマイド(商品名:臭化テトラ−n−ブチルアンモニウム、和光純薬工業(株)製)0.04質量部を投入し、撹拌加熱し、内温を175℃にした。さらに、原料イソシアネート化合物としてトリレンジイソシアネート(商品名:コロネートT80(登録商標)、日本ポリウレタン(株)製)11.8質量部を90分かけて反応器内に投入した。投入終了後、反応温度を175℃に保ち、15時間撹拌し、式(IV)で表される反応生成物を得た。
Synthesis of thermosetting compound C having an oxazolidone ring:
In the reactor, 100 parts by mass of a biphenyl type epoxy resin (trade name: YX4000, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 185 g / eq) and tetrabutylammonium bromide (trade name: tetra-n-butylammonium bromide) 0.04 part by mass, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added, and the mixture was stirred and heated to adjust the internal temperature to 175 ° C. Furthermore, 11.8 parts by mass of tolylene diisocyanate (trade name: Coronate T80 (registered trademark), manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) as a raw material isocyanate compound was charged into the reactor over 90 minutes. After completion of the addition, the reaction temperature was kept at 175 ° C. and the mixture was stirred for 15 hours to obtain a reaction product represented by the formula (IV).

前記反応生成物をIR測定したところ、1750cm−1と910cm−1にピークが観測され、オキサゾリドン環とエポキシ基を含むことを確認した。更に、前記反応生成物のエポキシ当量を測定したところ、測定値395g/eqが求められた(オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物Cの生成)。 As a result of IR measurement of the reaction product, peaks were observed at 1750 cm −1 and 910 cm −1 , and it was confirmed that the reaction product contained an oxazolidone ring and an epoxy group. Furthermore, when the epoxy equivalent of the said reaction product was measured, measured value 395g / eq was calculated | required (production | generation of the thermosetting compound C which has an oxazolidone ring).

得られたすべての硬化性樹脂組成物に関し、下記1.〜6.の試験を実施した。   Regarding all the obtained curable resin compositions, the following 1. ~ 6. The test was conducted.

<1.ガラス転移点(Tg)、及び線膨張係数(CTEα1)の評価>
銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物を、それぞれスクリーン印刷により乾燥膜厚約40μmになるように全面塗布した。これを、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、ORC社製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量(1000mJ/cm)にて、50mm×3mmの短冊状のネガマスクを施した状態で露光を行った。その後、30℃の1wt.%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で120秒間噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターン層を得た。更に150℃にて60分加熱して、パターン層を硬化した。
<1. Evaluation of Glass Transition Point (Tg) and Linear Expansion Coefficient (CTEα1)>
On the copper foil substrate, the entire surface of the curable resin composition was applied by screen printing to a dry film thickness of about 40 μm. This was dried at 80 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature, thereby forming a resin layer made of a curable resin composition. On the other hand, exposure was performed with a strip-shaped negative mask of 50 mm × 3 mm at an optimal exposure (1000 mJ / cm 2 ) using an HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) manufactured by ORC. Thereafter, 1 wt. Development was performed by spraying a 120% aqueous sodium carbonate solution under a spray pressure of 0.2 MPa for 120 seconds to obtain a pattern layer of a cured coating. Further, the pattern layer was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes.

上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。   The cured film of the evaluation board | substrate obtained by the above was peeled off from copper foil, and evaluation was implemented.

測定は、TMA測定装置(株式会社島津製作所 機種名:TMA/SS6000)を用いて行い、TgとCTEα1(線膨張係数)(0℃−50℃)について評価を行った。評価基準は以下の通りである。   The measurement was performed using a TMA measuring apparatus (Shimadzu Corporation model name: TMA / SS6000), and Tg and CTEα1 (linear expansion coefficient) (0 ° C.-50 ° C.) were evaluated. The evaluation criteria are as follows.

Tgの評価基準
◎…140℃以上
○…135℃以上140℃未満
△…125℃以上135℃未満
×…125℃未満
Evaluation criteria for Tg ◎… 140 ° C. or higher ○… 135 ° C. or higher and lower than 140 ° C. Δ ... 125 ° C. or higher and lower than 135 ° C.

CTEα1の評価基準
◎…50ppm未満
○…50ppm以上60ppm未満
×…60ppm以上
Evaluation criteria for CTE α1 ◎… less than 50 ppm ○… 50 ppm or more and less than 60 ppm ×… 60 ppm or more

<2.解像性評価>
めっき銅基板を、CZ8101を用い、エッチングレート1μmの条件にて粗面化処理し、粗面化された基板に対し、硬化性樹脂組成物を乾燥膜厚約20μmになるようにスクリーン印刷により全面塗布した。これを、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、ORC社製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量(1000mJ/cm)にて、パターン露光を行った。その後、30℃の1wt.%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターン層を得た。更に150℃にて60分加熱して、パターン層を硬化した。
<2. Evaluation of resolution>
The plated copper substrate is roughened using CZ8101 at an etching rate of 1 μm, and the entire surface of the roughened substrate is screen-printed so that the dry film thickness is about 20 μm. Applied. This was dried at 80 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature, thereby forming a resin layer made of a curable resin composition. On the other hand, pattern exposure was performed with an optimum exposure (1000 mJ / cm 2 ) using ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). Thereafter, 1 wt. Development was performed by spraying a 60% aqueous sodium carbonate solution under a spray pressure of 0.2 MPa for 60 seconds to obtain a pattern layer of a cured film. Further, the pattern layer was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes.

上記により得られた評価基板の開口径を観測し、直径ごとにハレーション、アンダーカットの発生がないかを観察した。以下、観察結果において、ハレーション、アンダーカットのいずれも発生のない場合を「良好」とする。   The opening diameter of the evaluation substrate obtained as described above was observed, and it was observed whether halation and undercut were generated for each diameter. Hereinafter, in the observation result, a case where neither halation nor undercut occurs is defined as “good”.

◎…直径50μmにて良好な開口形成
○…直径70μmにて良好な開口形成
△…直径100μmにて良好な開口形成
×…直径100μmにて良好な開口の形成不可、または現像不可
◎ ... Good opening formation with a diameter of 50 μm ○ ... Good opening formation with a diameter of 70 μm △ ... Good opening formation with a diameter of 100 μm × ...

<3.密着性評価>
18μmの銅箔を、CZ8101によりエッチングレート(i)0.7μm、(ii)1μmでそれぞれ粗面化処理し、粗面化された銅箔面に、硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥膜厚約40μmになるように全面塗布した。
<3. Adhesion evaluation>
18 μm copper foil was roughened with CZ8101 at an etching rate of (i) 0.7 μm and (ii) 1 μm, respectively, and the curable resin composition was screen-printed on the roughened copper foil surface to dry film The entire surface was coated to a thickness of about 40 μm.

更に、ポリイミド(カプトン(登録商標))に対しても、硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥膜厚約40μmになるように全面塗布した。   Further, the entire surface of the curable resin composition was applied to polyimide (Kapton (registered trademark)) so as to have a dry film thickness of about 40 μm by screen printing.

上記塗布された硬化性樹脂組成物を、それぞれ80℃で30分乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、ORC社製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量(1000mJ/cm)にて、全面露光を行った。その後、30℃の1wt.%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターン層を得た。更に150℃にて60分加熱して、パターン層を硬化した。上記銅箔を有するサンプル及びポリイミドを有するサンプルの双方を評価基板とした。 The applied curable resin composition was dried at 80 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature, thereby forming a resin layer made of the curable resin composition. On the other hand, whole surface exposure was performed with an optimum exposure (1000 mJ / cm 2 ) using ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). Thereafter, 1 wt. Development was performed by spraying a 60% aqueous sodium carbonate solution under a spray pressure of 0.2 MPa for 60 seconds to obtain a pattern layer of a cured film. Further, the pattern layer was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. Both the sample having the copper foil and the sample having polyimide were used as evaluation boards.

上記硬化後の評価基板の組成物側に2液性エポキシ系接着剤(アラルダイト)を塗布し、その上にエッチアウト基板を張り合わせた。   A two-component epoxy adhesive (Araldite) was applied to the composition side of the evaluation substrate after curing, and an etch-out substrate was laminated thereon.

エポキシ系接着剤硬化後、絶縁層に接着している銅箔を1cm幅で切り出し、JIS K6854−1に準じ、90度剥離試験に付した。ピールゲージを用いてピール強度を測定した。   After the epoxy adhesive was cured, the copper foil adhered to the insulating layer was cut out with a width of 1 cm and subjected to a 90-degree peel test according to JIS K6854-1. Peel strength was measured using a peel gauge.

◎…ピール強度6N/m以上。
○…ピール強度5N/m以上、6N/m未満。
△…ピール強度4N/m以上、5N/m未満。
×…ピール強度4N/m未満。
A: Peel strength of 6 N / m 2 or more.
○: Peel strength of 5 N / m 2 or more and less than 6 N / m 2 .
Δ: Peel strength 4 N / m 2 or more and less than 5 N / m 2 .
X: Peel strength of less than 4 N / m 2

<4.強靭性評価>
銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥膜厚約40μmになるように全面塗布した。これを、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、ORC社製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量(1000mJ/cm)にて、80mm×10mmの短冊状のネガマスクを施した状態で露光を行った。その後、30℃の1wt.%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で90秒間噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターン層を得た。更に150℃にて60分加熱して、パターン層を硬化した。
<4. Evaluation of toughness>
On the copper foil substrate, the entire surface of the curable resin composition was applied by screen printing to a dry film thickness of about 40 μm. This was dried at 80 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature, thereby forming a resin layer made of a curable resin composition. On the other hand, exposure was performed in a state where a strip-shaped negative mask of 80 mm × 10 mm was applied at an optimum exposure amount (1000 mJ / cm 2 ) by using HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) manufactured by ORC. Thereafter, 1 wt. Development was performed by spraying a 90% aqueous sodium carbonate solution under a spray pressure of 0.2 MPa for 90 seconds to obtain a pattern layer of a cured coating. Further, the pattern layer was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes.

上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、引張試験機(株式会社島津製作所 機種名:AGS-G 100N)を用いて行い、破断点伸び率について評価を行った。評価基準は以下の通りである。   The cured film of the evaluation board | substrate obtained by the above was peeled off from copper foil, and evaluation was implemented. The measurement was performed using a tensile testing machine (Shimadzu Corporation model name: AGS-G 100N), and the elongation at break was evaluated. The evaluation criteria are as follows.

◎…破断点伸び率6%以上
○…破断点伸び率4%以上6%未満
△…破断点伸び率2%以上4%未満
×…破断点伸び率2%未満
◎ ... Elongation at break 6% or more ○ ... Elongation at break 4% or more and less than 6% △ Elongation at break 2% or more and less than 4% × ... Elongation at break 2% or less

<5.TCT(サーマルサイクルテスト)耐性>
2mmの銅ラインパターンが形成された基板に対し、硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥膜厚約20μmになるように全面塗布した。これを、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、ORC社製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量(1000mJ/cm)にて、銅ライン上に3mm角のレジストパターンのネガマスクを施した状態で露光を行った。
<5. TCT (thermal cycle test) resistance>
A curable resin composition was applied to the entire surface of the substrate on which a 2 mm copper line pattern was formed by screen printing so as to have a dry film thickness of about 20 μm. This was dried at 80 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature, thereby forming a resin layer made of a curable resin composition. On the other hand, exposure was performed in a state where a negative mask of a 3 mm square resist pattern was applied on a copper line at an optimal exposure amount (1000 mJ / cm 2 ) by ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). .

その後、30℃の1wt.%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で90秒間噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターン層を得た。更に150℃にて60分加熱して、パターン層を硬化した。 Thereafter, 1 wt. Development was performed by spraying a 90% aqueous sodium carbonate solution under a spray pressure of 0.2 MPa for 90 seconds to obtain a pattern layer of a cured coating. Further, the pattern layer was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes.

上記により得られた評価基板を、−40℃〜120℃の温度サイクルが循環設定される冷熱サイクル機に入れ、TCTを行った。そして、500サイクル時、800サイクル時および1000サイクル時の評価基板の外観を目視にて観察した。評価基準は以下の通りである。   The evaluation board | substrate obtained by the above was put into the thermal cycle machine by which the temperature cycle of -40 degreeC-120 degreeC is set cyclically, and TCT was performed. And the external appearance of the evaluation board | substrate at the time of 500 cycles, 800 cycles, and 1000 cycles was observed visually. The evaluation criteria are as follows.

◎:1000サイクルで異常なし
○:800サイクルで異常なし、1000サイクルでクラック発生
△:500サイクルで異常なし、800サイクルでクラック発生
×:500サイクルでクラック発生
◎: No abnormality at 1000 cycles ○: No abnormality at 800 cycles, crack generation at 1000 cycles △: No abnormality at 500 cycles, crack generation at 800 cycles ×: Crack generation at 500 cycles

<6.電気特性(絶縁抵抗値)測定>
IPC B−25テストパターンのクシ型電極Bクーポンに対し、硬化性樹脂組成物をスクリーン印刷により乾燥膜厚約20μmになるように全面塗布した。これを、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、ORC社製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量(1000mJ/cm)にて、80mm×10mmの短冊状のネガマスクを施した状態で露光を行った。その後、30℃の1wt.%炭酸ナトリウム水溶液を、スプレー圧0.2MPaの条件で90秒間噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターン層を得た。更に150℃にて60分加熱して、パターン層を硬化した。
<6. Electrical characteristics (insulation resistance) measurement>
The entire surface of the curable resin composition was applied to the comb-shaped electrode B coupon of the IPC B-25 test pattern so as to have a dry film thickness of about 20 μm by screen printing. This was dried at 80 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature, thereby forming a resin layer made of a curable resin composition. On the other hand, exposure was performed in a state where a strip-shaped negative mask of 80 mm × 10 mm was applied at an optimum exposure amount (1000 mJ / cm 2 ) by using HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) manufactured by ORC. Thereafter, 1 wt. Development was performed by spraying a 90% aqueous sodium carbonate solution for 90 seconds under the condition of a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a pattern layer of a cured coating. Further, the pattern layer was cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes.

上記により得られた評価基板のクシ型電極にDC100Vのバイアス電圧を印加し、85℃、85%R.H.の恒温恒湿槽にて1,000時間後の絶縁抵抗値を測定した。   A bias voltage of DC 100 V was applied to the comb-shaped electrode of the evaluation substrate obtained as described above, and 85 ° C., 85% R.D. H. The insulation resistance value after 1,000 hours was measured in a constant temperature and humidity chamber.

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表中に記載の成分は以下の通りである。   The components described in the table are as follows.

アルカリ可溶性樹脂4: HF-1(フェノールノボラック樹脂(明和化成株式会社製)をシクロヘキサノンで溶解したもの(固形分60%)
IrgOXE02: エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム)、BASFジャパン株式会社製
WPBG−0018:9−アントリルメチル‐N,N’-ジエチルカルバメイト)、和光純薬株式会社製 Irg907: 2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、BASFジャパン株式会社製
ルシリン(登録商標)TPO: 2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、BASFジャパン株式会社製
jER828: Bis−A型液状エポキシ樹脂、三菱化学株式会社製
DEN431: エポキシノボラック樹脂、ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー製
M52NDPM50: ブロック共重合ポリアクリル酸樹脂、ナノストレングスM52N(X‐Y‐X型(アクリルアミド含有)、Mw=100,000程度、アルケマ株式会社製)をDPMで溶解、固形分50%。
Alkali-soluble resin 4: HF-1 (phenol novolak resin (Maywa Kasei Co., Ltd.) dissolved in cyclohexanone (solid content 60%)
IrgOXE02: Etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (o-acetyloxime), manufactured by BASF Japan Ltd. WPBG-0018: 9-An Trilmethyl-N, N′-diethylcarbamate), Irg907 manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd .: 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, lucillin manufactured by BASF Japan Ltd. (Registered trademark) TPO: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, manufactured by BASF Japan Ltd. jER828: Bis-A type liquid epoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation DEN431: epoxy novolac resin, The Dow・ Made by Chemical Company
M52NDPM50: Block copolymerized polyacrylic acid resin, Nanostrength M52N (XYX type (containing acrylamide), Mw = 100,000, manufactured by Arkema Co., Ltd.) dissolved in DPM, solid content 50%.

M53DPM30: ブロック共重合ポリアクリル酸樹脂、ナノストレングスM53(X‐Y‐X型(アクリルアミド非含有)、Mw=100,000〜300,000程度、アルケマ株式会社製)をジプロピレングリコールモノメチルエーテル(DPM)で溶解、固形分30%。   M53DPM30: A block copolymerized polyacrylic acid resin, Nanostrength M53 (XY type (containing no acrylamide), Mw = 100,000 to 300,000, manufactured by Arkema Corporation) is dissolved in dipropylene glycol monomethyl ether (DPM), Solid content 30%.

M53GDPM30:ブロック共重合ポリアクリル酸樹脂、ナノストレングスM53G(X−Y−X‘型(アクリルアミド非含有、ポリメチルメタクリレート(PMMA)に対し、10%のグリシジルメタクリレート(GMA)を含有)、Mw=100,000〜300,000、アルケマ株式会社製)をDPMで溶解、固形分30%。   M53GDPM30: block copolymerized polyacrylic acid resin, nano-strength M53G (XYX ′ type (not containing acrylamide, containing 10% glycidyl methacrylate (GMA) with respect to polymethyl methacrylate (PMMA)), Mw = 100,000 ~ 300,000, manufactured by Arkema Co., Ltd.) with DPM, solid content 30%.

エポリードPB3600: エポキシ化ポリブタジエン、株式会社ダイセル製
KAYARAD DPHA: ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬株式会社製
2E4MZ: 2-エチル-4-メチルイミダゾール、四国化成工業株式会社製
Epolide PB3600: Epoxidized polybutadiene, manufactured by Daicel Corporation KAYARAD DPHA: Dipentaerythritol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. 2E4MZ: 2-ethyl-4-methylimidazole, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

上記表中に示すように、実施例はいずれもガラス転移点(Tg)、及び線膨張係数(CTEα1)、解像性、密着性、強靭性、TCT(サーマルサイクルテスト)耐性、電気特性(絶縁抵抗値)の全ての特性においてバランス良く優れていることが確認された。これに対し、(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物を含まない比較例1、2は銅やポリイミドに対する密着性が悪く、さらに比較例はガラス転移点(Tg)が低く、線膨張係数(CTEα1)が高いことが確認された。
また、実施例1〜15、および比較例1および2と異なり、実施例16〜20および比較例3および4では、各組成物に(D)ブロック共重合体を添加した。(D)ブロック共重合体を含む実施例16〜20では、TCT耐性が一貫して向上していることが確認された。
As shown in the above table, in all examples, the glass transition point (Tg), linear expansion coefficient (CTEα1), resolution, adhesion, toughness, TCT (thermal cycle test) resistance, electrical characteristics (insulation) It was confirmed that all the characteristics of the resistance value were excellent in good balance. In contrast, Comparative Examples 1 and 2 that do not contain (C) a thermosetting compound having an oxazolidone ring have poor adhesion to copper and polyimide, and the Comparative Example has a low glass transition point (Tg) and a linear expansion coefficient ( It was confirmed that CTEα1) was high.
Further, unlike Examples 1 to 15 and Comparative Examples 1 and 2, in Examples 16 to 20 and Comparative Examples 3 and 4, (D) block copolymer was added to each composition. (D) In Examples 16 to 20 including a block copolymer, it was confirmed that TCT resistance was consistently improved.

Claims (10)

(A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)光塩基発生剤、および光重合開始剤の少なくとも一種、および
(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物、
を含有し、
前記(C)オキサゾリドン環を有する熱硬化性化合物が下記式(IV)
Figure 0005876182
(式中、R は、置換基を有していてもよい2価の官能基を表し、R は、単結合、または置換基を有していてもよい2価以上の官能基を表す。)
で表わされる化合物であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
(A) an alkali-soluble resin,
(B) a photobase generator, and at least one of photopolymerization initiators, and (C) a thermosetting compound having an oxazolidone ring,
Contain,
The thermosetting compound having the (C) oxazolidone ring is represented by the following formula (IV):
Figure 0005876182
(In the formula, R 1 represents a divalent functional group which may have a substituent, and R 2 represents a single bond or a divalent or higher functional group which may have a substituent. .)
A curable resin composition characterized by being represented by the formula:
さらに、(D)ブロック共重合体を含有することを特徴とする請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。   Furthermore, (D) block copolymer is contained, The curable resin composition of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記(D)ブロック共重合体が下記式(I)

X−Y−XまたはX−Y−X´ (I)

(式中、XまたはX´はガラス転移点Tgが0℃以上のポリマー単位であり、Yはガラス転移点Tgが0℃未満のポリマー単位である)
で表されることを特徴とする請求項に記載の硬化性樹脂組成物。
The (D) block copolymer is represented by the following formula (I)

X-Y-X or X-Y-X '(I)

(In the formula, X or X ′ is a polymer unit having a glass transition point Tg of 0 ° C. or more, and Y is a polymer unit having a glass transition point Tg of less than 0 ° C.)
It is represented by these. The curable resin composition of Claim 2 characterized by the above-mentioned.
前記(D)ブロック共重合体のXまたはX´に極性基が含まれることを特徴とする請求項に記載の硬化性樹脂組成物。 4. The curable resin composition according to claim 3 , wherein a polar group is contained in X or X ′ of the (D) block copolymer. 前記(D)ブロック共重合体の重量平均分子量が10,000〜500,000であることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   The weight average molecular weight of said (D) block copolymer is 10,000-500,000, The curable resin composition of any one of Claims 2-4 characterized by the above-mentioned. 前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、カルボキシル基含有樹脂、およびフェノール性水酸基含有樹脂の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   The curable resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the (A) alkali-soluble resin is at least one of a carboxyl group-containing resin and a phenolic hydroxyl group-containing resin. さらに、(E)反応性希釈剤を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物。   Furthermore, (E) a reactive diluent is included, The curable resin composition of any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥して得られることを特徴とするドライフィルム。   A dry film obtained by applying and drying the curable resin composition according to any one of claims 1 to 7 on a film. 請求項1〜7のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物または請求項に記載のドライフィルムを構成する硬化性組成物の硬化物。 The cured product of the curable composition is a curable resin composition monomers other according to any one constituting the dry film according to claim 8 of claims 1-7. 請求項9に記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the cured product according to claim 9.
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