JP5113298B2 - Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring board obtained using the same - Google Patents
Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring board obtained using the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP5113298B2 JP5113298B2 JP2012001891A JP2012001891A JP5113298B2 JP 5113298 B2 JP5113298 B2 JP 5113298B2 JP 2012001891 A JP2012001891 A JP 2012001891A JP 2012001891 A JP2012001891 A JP 2012001891A JP 5113298 B2 JP5113298 B2 JP 5113298B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photocurable
- resin composition
- thermosetting resin
- group
- acid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Description
本発明は、希アルカリ水溶液により現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物、その硬化物及びそれを用いて得られるレジストパターンを有するプリント配線板に関する。 The present invention relates to a photocurable / thermosetting resin composition that can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, a cured product thereof, and a printed wiring board having a resist pattern obtained using the same.
最近、プリント配線板用ソルダーレジストの露光において、優れた位置合わせ精度の観点からレーザー走査露光が普及している。
レーザー露光は、フォトマスクを使用せずパターン形成された配線板上のソルダーレジストを走査しながら画像形成するため、従来市販されているソルダーレジストを用いた場合、その適正露光量が200mJ/cm2以上であるため、露光に非常に時間がかかるという欠点を有している。そのため、レーザー露光に対応するソルダーレジストには非常に高感度化が要求されている。
Recently, in the exposure of solder resists for printed wiring boards, laser scanning exposure has become widespread from the viewpoint of excellent alignment accuracy.
Since laser exposure forms an image while scanning a solder resist on a patterned wiring board without using a photomask, when a commercially available solder resist is used, the appropriate exposure amount is 200 mJ / cm 2. As described above, there is a drawback that exposure takes a very long time. Therefore, the solder resist corresponding to laser exposure is required to have very high sensitivity.
上記の点から、これまで、高い光重合能力を発揮することができるオキシム系光重合開始剤やその光重合開始剤を用いた組成物の提案がなされてきた(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。しかしながら、これらの技術は、確かに十分な光重合能力を発揮することができるが、熱処理後に回路上での光重合開始剤の(オキシムエステルと金属銅の反応による)失活が原因で、部分的に光反応が著しく低下し、銅回路上で塗膜の剥離が生じるという問題を抱えている。 From the above points, proposals have been made for oxime-based photopolymerization initiators that can exhibit high photopolymerization ability and compositions using the photopolymerization initiators (for example, Patent Document 1 and Patent Documents). 2). However, these technologies can certainly exhibit sufficient photopolymerization ability, but due to the deactivation of the photopolymerization initiator on the circuit after heat treatment (due to the reaction of oxime ester and copper metal), In particular, there is a problem that the photoreaction is remarkably lowered and the coating film is peeled off on the copper circuit.
一方、光反応を促進する手法として、メルカプト化合物の連鎖移動反応を利用してフォトレジストを高感度化する手法が提案されている(特許文献3、特許文献4参照)。しかしながら、開示されているメルカプトプロピオン酸誘導体は、プリント配線板上に存在する銅配線に対して非常に活性が高く、銅と反応してしまうため、本来現像されるべき部分であっても残渣が残るという現象が起こってしまうことが確認された。また、レジスト保管中においても、これら文献に使用されるメルカプトプロピオン酸由来のメルカプト基は反応性に富んでいるため、不飽和二重結合を有する化合物と反応することが確認され、レジストの現像性を著しく低下させることが確認された。
本発明は、前記したような従来技術の問題を解消すべくなされたものであり、その主たる目的は、紫外線及びレーザー露光において高感度であって、しかも硬化深度が良好であり、さらに従来の保存安定性、作業性に優れると共に、希アルカリ水溶液による現像性に優れ、ソルダーレジストに好適な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を提供することにある。
さらに本発明の目的は、このような光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いることによって得られる、諸特性に優れる硬化物、及びパターン精度に優れるレジストパターンを有するプリント配線板を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its main purpose is high sensitivity in ultraviolet and laser exposure, good curing depth, and further conventional storage. An object of the present invention is to provide a photocurable / thermosetting resin composition that is excellent in stability and workability, is excellent in developability with a dilute alkaline aqueous solution, and is suitable for a solder resist.
Furthermore, the objective of this invention is providing the printed wiring board which has a resist pattern excellent in the cured | curing material excellent in various characteristics obtained by using such a photocurable thermosetting resin composition, and excellent in pattern accuracy. It is in.
前記目的を達成するために、本発明によれば、(A)カルボキシル基含有樹脂、(B)メルカプトブタン酸又はその誘導体、(C)光重合開始剤、(D)分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、及び(E)エポキシ樹脂を含有することを特徴とする光硬化性・熱硬化性樹脂組成物が提供される。 In order to achieve the above object, according to the present invention, (A) a carboxyl group-containing resin, (B) mercaptobutanoic acid or a derivative thereof, (C) a photopolymerization initiator, (D) two or more in a molecule There is provided a photocurable / thermosetting resin composition comprising a compound having an ethylenically unsaturated group and (E) an epoxy resin.
好適な態様においては、前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、ラジカル重合可能な不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有樹脂(A1)であり、特に不飽和二重結合の一部もしくはすべてがメタアクリル酸又はその誘導体に由来するものであることが好ましい。また、前記光重合開始剤(C)は、オキシム系光重合開始剤(C’)であることが好ましく、特に後述する一般式(I)で表されるオキシムエステル系光重合開始剤(C1)、又は、該オキシムエステル系光重合開始剤(C1)と、後述する一般式(II)で表されるアミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)及び/又は一般式(III)で表されるアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)との混合物であることが好ましい。 In a preferred embodiment, the carboxyl group-containing resin (A) is a carboxyl group-containing resin (A1) having an unsaturated double bond capable of radical polymerization, and in particular, part or all of the unsaturated double bond is a meta group. It is preferably derived from acrylic acid or a derivative thereof. The photopolymerization initiator (C) is preferably an oxime photopolymerization initiator (C ′), and particularly an oxime ester photopolymerization initiator (C1) represented by the general formula (I) described later. Or the oxime ester photopolymerization initiator (C1) and the aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) and / or the acyl represented by the general formula (III) represented by the general formula (II) described later. A mixture with a phosphine oxide photopolymerization initiator (C3) is preferred.
別の好適な態様においては、前記メルカプトブタン酸又はその誘導体(B)は、1分子内に2個以上の2−メルカプトイソブタン酸もしくは3−メルカプトブタン酸又はそれらの誘導体を有するものが好ましい。
また、前記エポキシ樹脂(E)は、前記メルカプトブタン酸又はその誘導体(B)が配合された混合物とは別の混合物に配合されている2液型組成物、あるいは少なくとも前記カルボキシル基含有樹脂(A)と前記メルカプトブタン酸又はその誘導体(B)の混合物と、前記光重合開始剤(C)とエポキシ樹脂(E)の混合物からなる2液型組成物であることが好ましい。尚、分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)は、上記いずれの混合物に添加されていてもよい。
さらに、着色剤を含有するソルダーレジスト、特に緑色もしくは青色ソルダーレジストであることが好ましい。
In another preferred embodiment, the mercaptobutanoic acid or derivative (B) thereof preferably has two or more 2-mercaptoisobutanoic acid or 3-mercaptobutanoic acid or derivatives thereof in one molecule.
Further, the epoxy resin (E) is a two-component composition blended in a mixture different from the mixture blended with the mercaptobutanoic acid or its derivative (B), or at least the carboxyl group-containing resin (A ) And the mercaptobutanoic acid or derivative (B) thereof, and a two-component composition comprising a mixture of the photopolymerization initiator (C) and the epoxy resin (E). In addition, the compound (D) which has a 2 or more ethylenically unsaturated group in a molecule | numerator may be added to any said mixture.
Furthermore, a solder resist containing a colorant, particularly a green or blue solder resist is preferred.
さらに本発明によれば、前記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を、キャリアフィルムに塗布・乾燥して得られる光硬化性・熱硬化性のドライフィルムが提供される。
さらに本発明の別の態様においては、前記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物又はドライフィルムを、銅上にて光硬化して得られる硬化物、特に350nm〜410nmのレーザー発振光源にてパターン状に光硬化して得られる硬化物が提供される。さらにまた、前記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物又はドライフィルムを、波長が350nm〜410nmの紫外線の直接描画にてパターン状に光硬化させた後、熱硬化して得られるレジストパターンを有するプリント配線板が提供される。
Furthermore, according to this invention, the photocurable and thermosetting dry film obtained by apply | coating and drying the said photocurable thermosetting resin composition to a carrier film is provided.
Furthermore, in another aspect of the present invention, the photocurable / thermosetting resin composition or dry film is obtained by photocuring on copper, and is patterned with a laser oscillation light source of 350 nm to 410 nm. There is provided a cured product obtained by photocuring into a shape. Furthermore, it has a resist pattern obtained by photocuring the photocurable / thermosetting resin composition or dry film in a pattern by direct drawing of ultraviolet rays having a wavelength of 350 nm to 410 nm and then thermosetting. A printed wiring board is provided.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂、(C)光重合開始剤、(D)分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、及び(E)エポキシ樹脂と共に、(B)メルカプトブタン酸又はその誘導体を含有するものであるため、この化合物の連鎖移動反応を利用して光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の塗膜の高感度化が図れる。特に、光重合開始剤としてのオキシム系開始剤と組み合わせて用いることにより、高い光重合能力を発揮することができると共に、メルカプトブタン酸又はその誘導体はプリント配線板上に存在する銅配線に対してマイルドに反応するため、熱処理後に回路上でのこの光重合開始剤の(オキシムエステルと金属銅の反応による)失活を抑制することができる。従って、紫外線及びレーザー露光において高感度であって、しかも硬化深度が良好であり、さらに保存安定性、作業性に優れると共に、希アルカリ水溶液による現像性に優れており、現像の際に現像残りを生じることがない。
また、このような光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いることによって、諸特性に優れる硬化物、及びパターン精度に優れるレジストパターンを有するプリント配線板を提供することができる。
The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing resin, (C) a photopolymerization initiator, (D) a compound having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule, And (E) an epoxy resin and (B) mercaptobutanoic acid or a derivative thereof, and therefore, by using the chain transfer reaction of this compound, the coating film of the photocurable / thermosetting resin composition is highly coated. Sensitivity can be improved. In particular, when used in combination with an oxime-based initiator as a photopolymerization initiator, high photopolymerization ability can be exhibited, and mercaptobutanoic acid or a derivative thereof can be used for copper wiring existing on a printed wiring board. Since it reacts mildly, the deactivation of the photopolymerization initiator (due to the reaction between the oxime ester and metallic copper) on the circuit after the heat treatment can be suppressed. Therefore, it has high sensitivity in ultraviolet and laser exposure, has a good curing depth, is excellent in storage stability and workability, and is excellent in developability with a dilute alkaline aqueous solution. It does not occur.
Further, by using such a photocurable / thermosetting resin composition, it is possible to provide a cured product having various characteristics and a printed wiring board having a resist pattern having excellent pattern accuracy.
本発明者らは、前記した課題を達成するために鋭意研究した結果、同じように連鎖移動反応の開始剤ではあっても、メルカプトプロピオン酸誘導体と本発明で用いるメルカプトブタン酸又はその誘導体(B)との間には、プリント配線板上に存在する銅配線や不飽和二重結合を有する化合物に差異があることを見出した。すなわち、メルカプトプロピオン酸誘導体は、銅配線に対して非常に活性が高く、銅と反応してしまうため、本来現像されるべき部分であっても残渣が残るという現象が起こってしまうのに対し、本発明で用いるメルカプトブタン酸又はその誘導体(B)は銅配線に対してマイルドに反応するため、このような問題を抑制することができ、また、レジスト保管中においても、メルカプトプロピオン酸由来のメルカプト基は反応性に富んでいるため、不飽和二重結合を有する化合物と反応し、レジストの現像性を著しく低下させるが、メルカプトブタン酸又はその誘導体(B)を用いることによってこのような問題を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至ったものである。 As a result of diligent research to achieve the above-described problems, the present inventors have found that a mercaptopropionic acid derivative and a mercaptobutanoic acid or a derivative thereof (B ) And a compound having a copper wiring and an unsaturated double bond present on the printed wiring board. That is, the mercaptopropionic acid derivative is very active against copper wiring and reacts with copper, so that a phenomenon that a residue remains even if it should be originally developed occurs. The mercaptobutanoic acid or its derivative (B) used in the present invention reacts mildly with respect to the copper wiring, so that such problems can be suppressed, and mercaptopropionic acid-derived mercapto can also be stored during resist storage. Since the group is highly reactive, it reacts with a compound having an unsaturated double bond, and the developability of the resist is remarkably lowered. However, such a problem is caused by using mercaptobutanoic acid or its derivative (B). The present inventors have found that it can be suppressed and have completed the present invention.
以下、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の各構成成分について詳しく説明する。
まず、本発明で用いるメルカプトブタン酸又はその誘導体(B)とは、2−メルカプトイソブタン酸もしくは3−メルカプトブタン酸もしくはそれらの誘導体であり、さらに詳しくはその酸がエステル化又はアミド化された化合物である。好ましくはエステル化することにより一分子内に2個以上のメルカプト基が存在するものがよい。具体的には、特開2004−149755号公報に挙げられているようなエチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、プロピレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、ジエチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、オクタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトブチレート)や、1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等が挙げられる。これらの中でも、1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンのような脂環式構造を有するものを用いることにより、はんだ耐熱、無電解金めっき、さらには保存安定性にも優れる光硬化性・熱硬化性樹脂組成物が得られる。
Hereinafter, each component of the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention will be described in detail.
First, the mercaptobutanoic acid or derivative (B) used in the present invention is 2-mercaptoisobutanoic acid or 3-mercaptobutanoic acid or a derivative thereof, and more specifically a compound in which the acid is esterified or amidated. It is. It is preferable that two or more mercapto groups exist in one molecule by esterification. Specifically, ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), propylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), diethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate) as listed in JP-A-2004-149755. , Butanediol bis (3-mercaptobutyrate), octanediol bis (3-mercaptobutyrate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), dipentaerythritol hexa Kiss (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, etc. Is mentioned. Among these, alicyclic structures such as 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione By using one having a photocurable / thermosetting resin composition excellent in solder heat resistance, electroless gold plating and storage stability.
ここで、これらメルカプトブタン酸又はその誘導体の効果を挙げると(1)感度の向上、(2)オキシム系開始剤の銅上での失活の低減による剥がれの防止、(3)レジストの現像ライフ(現像可能な乾燥時間)の向上(延長)がある。特に、上記(2)と(3)の効果は、従来全く知られていない新規な効果である。 Here, the effects of these mercaptobutanoic acids or their derivatives are as follows: (1) improvement of sensitivity, (2) prevention of peeling due to reduction of deactivation of oxime initiator on copper, (3) development life of resist There is improvement (extension) of (developable drying time). In particular, the effects (2) and (3) are novel effects that have not been known at all.
上記(2)の効果について説明すると、オキシム系光重合開始剤は、金属との接触に対して安定性が悪く、ソルダーレジストに使用すると、回路基板上の銅配線に接触した部分の感度が低くなることがある。この現象は加熱すればするほど顕著に表れ、さらにソルダーレジストが薄くなる部分(回路のきわ)などは現像後に剥がれが生じてしまうことが確認される。これは、銅とオキシム化合物の接触によるオキシム化合物の分解によるものと考えられ、オキシム化合物が分解したことによる光重合開始能力の低下(失活)はソルダーレジストにとって重大な問題であった。しかしながら、銅に対して比較的マイルドに反応もしくは配位するメルカプトブタン酸由来のメルカプト基の存在が一種の保護膜的な働きをしてオキシム化合物の失活を防止し、ソルダーレジストの剥がれを防止していると推測している。 The effect of the above (2) will be explained. The oxime photopolymerization initiator has poor stability against contact with metal, and when used for a solder resist, the sensitivity of the portion in contact with the copper wiring on the circuit board is low. May be. It is confirmed that this phenomenon becomes more prominent as heating is performed, and further, a portion where the solder resist becomes thin (circuit wrinkles) or the like is peeled off after development. This is considered to be due to the decomposition of the oxime compound due to contact between copper and the oxime compound, and the decrease (deactivation) of the photopolymerization initiation ability due to the decomposition of the oxime compound was a serious problem for the solder resist. However, the presence of a mercapto group derived from mercaptobutanoic acid that reacts or coordinates relatively mildly with copper acts as a kind of protective film to prevent deactivation of the oxime compound and prevent peeling of the solder resist. I guess that.
上記(3)の効果について説明すると、ソルダーレジストに用いる熱硬化成分がエポキシ樹脂であるときに、特にその効果が見られた。つまり、ソルダーレジスト組成物中にエポキシ樹脂が存在している場合と、ソルダーレジスト組成物中にエポキシ樹脂とメルカプトブタン酸誘導体が共に存在している場合では、明らかにメルカプトブタン酸の存在する組成物の方が現像ライフが延長していた。その詳細な理由は必ずしも明らかではないが、現像ライフの低下は一般にカルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基とエポキシ樹脂のエポキシ基が徐々に反応することにより引き起こされる。ここにメルカプトブタン酸誘導体を添加した場合、おそらくカルボキシル基とエポキシ基の反応の前にメルカプト基がエポキシ基と反応を開始し始めると考えられる。よって、現像性に影響を与えるカルボキシル基が消費されないためであると推測される。 The effect of the above (3) will be described. In particular, when the thermosetting component used for the solder resist is an epoxy resin, the effect was observed. In other words, when the epoxy resin is present in the solder resist composition and when both the epoxy resin and the mercaptobutanoic acid derivative are present in the solder resist composition, the composition in which mercaptobutanoic acid is clearly present. Had a longer development life. Although the detailed reason for this is not always clear, the reduction in development life is generally caused by the gradual reaction of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin and the epoxy group of the epoxy resin. If a mercaptobutanoic acid derivative is added here, it is likely that the mercapto group starts to react with the epoxy group before the reaction between the carboxyl group and the epoxy group. Therefore, it is presumed that the carboxyl group that affects the developability is not consumed.
上記メルカプトブタン酸又はその誘導体(B)の適正な配合量は、以下に述べるカルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して0.05質量部以上、3.0質量部以下の割合であり、さらに好ましくは0.1質量部以上、2.0質量部以下の割合である。 The appropriate blending amount of the mercaptobutanoic acid or its derivative (B) is a ratio of 0.05 parts by mass or more and 3.0 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A) described below. The ratio is more preferably 0.1 parts by mass or more and 2.0 parts by mass or less.
次に、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に含まれるカルボキシル基含有樹脂(A)としては、分子中にカルボン酸を含有している公知慣用の樹脂化合物が使用できる。さらに分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボン酸含有感光性樹脂(A’)が、光硬化性や耐現像性の面からより好ましい。そして、その不飽和基は、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましく、保存安定性の観点からはメタアクリル酸由来のものが有効である。(メルカプトブタン酸又はその誘導体(B)は、アクリル酸由来のエチレン性不飽和二重結合とはマイケル付加反応する傾向があるが、メタアクリル酸由来のエチレン性不飽和二重結合とは反応し難いため)。しかしながら、メタアクリル酸由来のものはアクリル酸由来のものに対して感度の点で劣るため、アクリル酸由来のものとメタアクリル酸由来のもの両方を有している化合物が好ましい。本発明者らの研究によれば、アクリル酸の部分的な導入は保存安定性にあまり影響なく高感度化が可能であった。また、メタアクリル酸の部分的な導入も感度の低下が少なく保存安定性に効果があったので、メタアクリル酸由来のエチレン性不飽和二重結合とアクリル酸由来のエチレン性不飽和二重結合をそれぞれ有している構造が最も好ましいと考えられる。この場合、感度と安定性のバランスの面から、アクリル酸由来のエチレン性不飽和二重結合:メタアクリル酸由来のエチレン性不飽和二重結合の比率は、95〜50:5〜50の割合が好ましい。 Next, as the carboxyl group-containing resin (A) contained in the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention, a known and commonly used resin compound containing a carboxylic acid in the molecule can be used. Furthermore, a carboxylic acid-containing photosensitive resin (A ′) having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is more preferable from the viewpoints of photocurability and development resistance. The unsaturated group is preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or derivatives thereof, and those derived from methacrylic acid are effective from the viewpoint of storage stability. (Mercaptobutanoic acid or its derivative (B) tends to undergo a Michael addition reaction with an ethylenically unsaturated double bond derived from acrylic acid, but reacts with an ethylenically unsaturated double bond derived from methacrylic acid. Because it is difficult). However, since those derived from methacrylic acid are inferior in sensitivity to those derived from acrylic acid, compounds having both those derived from acrylic acid and those derived from methacrylic acid are preferred. According to the study by the present inventors, the partial introduction of acrylic acid was able to increase the sensitivity without significantly affecting the storage stability. In addition, partial introduction of methacrylic acid was effective in storage stability with little decrease in sensitivity, so ethylenically unsaturated double bonds derived from methacrylic acid and ethylenically unsaturated double bonds derived from acrylic acid It is considered that the structure having each of the above is most preferable. In this case, from the balance of sensitivity and stability, the ratio of ethylenically unsaturated double bonds derived from acrylic acid: ethylenically unsaturated double bonds derived from methacrylic acid is a ratio of 95-50: 5-50. Is preferred.
カルボキシル基含有樹脂(A)具体的には、下記に列挙するような樹脂が挙げられる。
(1)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の1種類以上との共重合することにより得られるカルボキシル基含有樹脂、
(2)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物の1種類以上との共重合体に、グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物や(メタ)アクリル酸クロライドなどによって、エチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂、
(3)グリシジル(メタ)アクリレートや3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート等のエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸を反応させ、生成した二級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂、
(4)無水マレイン酸などの不飽和二重結合を有する酸無水物と、それ以外の不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートなどの水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂、
(5)多官能エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂、
(6)ポリビニルアルコー誘導体などの水酸基含有ポリマーに、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、生成したカルボン酸に一分子中にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性の水酸基及びカルボキシル基含有樹脂、
(7)多官能エポキシ化合物と、不飽和モノカルボン酸と、一分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の1個の反応性基を有する化合物との反応生成物に、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂、
(8)一分子中に少なくとも2個のオキセタン環を有する多官能オキセタン化合物に不飽和モノカルボン酸を反応させ、得られた変性オキセタン樹脂中の第一級水酸基に対して飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂、及び
(9)(a)多官能エポキシ樹脂に(b)不飽和モノカルボン酸を反応させた後、(c)多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、さらに、(f)分子中に1個のオキシラン環と1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させて得られる感光性のカルボキシル基含有樹脂などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
Specific examples of the carboxyl group-containing resin (A) include the resins listed below.
(1) a carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and one or more other compounds having an unsaturated double bond;
(2) Glycidyl (meth) acrylate or 3,4-epoxycyclohexyl is a copolymer of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and one or more other compounds having an unsaturated double bond. A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by adding an ethylenically unsaturated group as a pendant by a compound having an epoxy group and an unsaturated double bond, such as methyl (meth) acrylate, or (meth) acrylic acid chloride,
(3) Copolymerization of a compound having an unsaturated double bond with an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate or 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, and a compound having an unsaturated double bond other than that A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid with the coalescence and reacting the generated secondary hydroxyl group with a polybasic acid anhydride,
(4) To a copolymer of an acid anhydride having an unsaturated double bond such as maleic anhydride and a compound having an unsaturated double bond other than that, a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting a compound having an unsaturated double bond;
(5) a photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polyfunctional epoxy compound with an unsaturated monocarboxylic acid and reacting the generated hydroxyl group with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride,
(6) After reacting a hydroxyl group-containing polymer such as a polyvinyl alcohol derivative with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, the resulting carboxylic acid is reacted with an epoxy group and a compound having an unsaturated double bond in one molecule. Photosensitive hydroxyl and carboxyl group-containing resins obtained by
(7) a polyfunctional epoxy compound, an unsaturated monocarboxylic acid, at least one alcoholic hydroxyl group in one molecule, and a compound having one reactive group other than an alcoholic hydroxyl group that reacts with an epoxy group A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting a reaction product with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride,
(8) Saturated or unsaturated polybasic with respect to the primary hydroxyl group in the modified oxetane resin obtained by reacting an unsaturated monocarboxylic acid with a polyfunctional oxetane compound having at least two oxetane rings in one molecule. A photosensitive carboxyl group-containing resin obtained by reacting an acid anhydride, and (9) (a) a polyfunctional epoxy resin reacted with (b) an unsaturated monocarboxylic acid, and (c) a polybasic acid anhydride. And (f) a photosensitive carboxyl group obtained by reacting a compound having one oxirane ring and one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule. Examples thereof include, but are not limited to, a containing resin.
上記に例示したカルボキシル基含有樹脂の中で好ましいものとしては、上記(2)、(5)、(7)のカルボキシル基含有樹脂であり、特に上記(9)のカルボン酸含有感光性樹脂が、光硬化性、硬化塗膜特性の面から好ましい。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
上記のようなカルボキシル基含有樹脂(A)は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数の遊離のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能になる。
Among the carboxyl group-containing resins exemplified above, preferred are the carboxyl group-containing resins of (2), (5) and (7), and particularly the carboxylic acid-containing photosensitive resin of (9) above. It is preferable in terms of photocurability and cured coating film characteristics.
In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
Since the carboxyl group-containing resin (A) as described above has a large number of free carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with a dilute aqueous alkali solution is possible.
上記カルボキシル基含有樹脂(A)の酸価は、40〜200mgKOH/gの範囲であり、より好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g未満であるとアルカリ現像が困難となり、一方、200mgKOH/gを超えると現像液による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となるので好ましくない。 The acid value of the carboxyl group-containing resin (A) is in the range of 40 to 200 mgKOH / g, more preferably in the range of 45 to 120 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is less than 40 mgKOH / g, alkali development becomes difficult. On the other hand, when the acid value exceeds 200 mgKOH / g, dissolution of the exposed area by the developer proceeds and the line becomes thinner than necessary. Depending on the case, the exposed portion and the unexposed portion are not distinguished from each other by dissolution and peeling with a developer, which makes it difficult to draw a normal resist pattern.
また、上記カルボキシル基含有樹脂(A)の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000未満であると、タックフリー性能が劣ることがあり、露光後の塗膜の耐湿性が悪く現像時に膜減りが生じ、解像度が大きく劣ることがある。一方、重量平均分子量が150,000を超えると、現像性が著しく悪くなることがあり、貯蔵安定性が劣ることがある。 Moreover, although the weight average molecular weight of the said carboxyl group-containing resin (A) changes with resin frame | skeleton, generally what is in the range of 2,000-150,000, Furthermore, 5,000-100,000 is preferable. When the weight average molecular weight is less than 2,000, the tack-free performance may be inferior, the moisture resistance of the coated film after exposure may be poor, and the film may be reduced during development, and the resolution may be greatly inferior. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may be remarkably deteriorated, and storage stability may be inferior.
このようなカルボキシル基含有樹脂(A)の配合量は、全組成物中に、20〜60質量%、好ましくは30〜50質量%である。上記範囲より少ない場合、塗膜強度が低下したりするので好ましくない。一方、上記範囲より多い場合、粘性が高くなったり、塗布性等が低下するので好ましくない。 The compounding quantity of such carboxyl group-containing resin (A) is 20-60 mass% in all the compositions, Preferably it is 30-50 mass%. When the amount is less than the above range, the coating strength is lowered, which is not preferable. On the other hand, when the amount is larger than the above range, the viscosity becomes high and the coating property and the like deteriorate, which is not preferable.
光重合開始剤(C)としては、下記一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤(C1)、下記一般式(II)で表される基を有するα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)、及び下記式(III)で表される基を有するアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)からなる群から選択される1種以上の光重合開始剤を使用することが好ましい。特に、オキシムエステル系光重合開始剤(C1)、又は、該オキシムエステル系光重合開始剤(C1)と、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)及び/又はアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)との混合物が好ましい。
R2は、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R3及びR4は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基又はアリールアルキル基を表し、
R5及びR6は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、又は2つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、
R7及びR8は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状又は分岐状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状又は分岐状のアルコキシ基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基、又はハロゲン原子、アルキル基若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基を表し、但し、R7及びR8の一方は、R−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表してもよい)。
The photopolymerization initiator (C) includes an oxime ester photopolymerization initiator (C1) having a group represented by the following general formula (I), and an α-amino having a group represented by the following general formula (II). One or more photopolymerization initiators selected from the group consisting of an acetophenone photopolymerization initiator (C2) and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3) having a group represented by the following formula (III): It is preferable to use it. In particular, the oxime ester photopolymerization initiator (C1), or the oxime ester photopolymerization initiator (C1), the α-aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) and / or the acylphosphine oxide photopolymerization start. A mixture with the agent (C3) is preferred.
R 2 is a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups). Well, it may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (having 1 to 6 carbon atoms) Which may be substituted with an alkyl group or a phenyl group of
R 3 and R 4 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an arylalkyl group,
R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a cyclic alkyl ether group in which two are bonded,
R 7 and R 8 are each independently a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a linear or branched alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl Group, or an aryl group substituted with a halogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, provided that one of R 7 and R 8 is an R—C (═O) — group (where R is 1 to 20 hydrocarbon groups).
前記一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤(C1)としては、好ましくは、下記式(IV)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、下記一般式(V)で表される化合物、及び下記一般式(VI)で表される化合物が挙げられる。
R10、R12は、それぞれ独立に、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
R11は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表す)、
R 10 and R 12 are each independently a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (one or more Which may be substituted with a hydroxyl group and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (Which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group),
R 11 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (substituted with one or more hydroxyl groups). And may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (having a carbon number). Which may be substituted with 1 to 6 alkyl groups or phenyl groups)),
R15、R16、R17及びR18は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、及び
nは0〜5の整数を表す)
R 15 , R 16 , R 17 and R 18 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and n represents an integer of 0 to 5)
前記したオキシムエステル系光重合開始剤(C1)の中でも、前記式(IV)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、及び式(V)で表される化合物がより好ましい。市販品としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のCGI−325、イルガキュアー OXE01、イルガキュアー OXE02等が挙げられる。これらのオキシムエステル系光重合開始剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Among the oxime ester photopolymerization initiators (C1) described above, there are 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthen-9-one represented by the formula (IV) and a compound represented by the formula (V). More preferred. Examples of commercially available products include CGI-325, Irgacure OXE01, and Irgacure OXE02 manufactured by Ciba Specialty Chemicals. These oxime ester photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.
前記一般式(II)で表される基を有するα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)としては、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。 As the α-aminoacetophenone photopolymerization initiator (C2) having a group represented by the general formula (II), 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- ( 4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by Ciba Specialty Chemicals.
前記一般式(III)で表される基を有するアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASF社製のルシリンTPO、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアー819などが挙げられる。 Examples of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator (C3) having the group represented by the general formula (III) include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -Phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide and the like. Examples of commercially available products include Lucilin TPO manufactured by BASF and Irgacure 819 manufactured by Ciba Specialty Chemicals.
このような光重合開始剤(C)の配合量は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、0.01〜30質量部、好ましくは0.5〜15質量部の範囲が適当である。0.01質量部未満であると、銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離したり、耐薬品性等の塗膜特性が低下するので好ましくない。一方、30質量部を超えると、光重合開始剤(C)のソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向があるために好ましくない。
なお、前記式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤(C1)の場合、その配合量は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは0.01〜20質量部、より好ましくは0.01〜5質量部の範囲から選ぶことが望ましい。
The blending amount of such a photopolymerization initiator (C) is 0.01 to 30 parts by mass, preferably 0.5 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). Is appropriate. If it is less than 0.01 parts by mass, the photocurability on copper is insufficient, and the coating film is peeled off or the coating film properties such as chemical resistance are deteriorated. On the other hand, if it exceeds 30 parts by mass, light absorption on the surface of the solder resist coating film of the photopolymerization initiator (C) becomes violent, and the deep curability tends to decrease, which is not preferable.
In the case of the oxime ester-based photopolymerization initiator (C1) having the group represented by the formula (I), the blending amount is preferably 0 with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). It is desirable to select from the range of 0.01 to 20 parts by mass, more preferably 0.01 to 5 parts by mass.
前記光重合開始剤(C)の他に本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に好適に用いることができる光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、キサントン化合物、及び3級アミン化合物等を挙げることができる。 In addition to the photopolymerization initiator (C), a photopolymerization initiator, a photoinitiator assistant and a sensitizer that can be suitably used for the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention include a benzoin compound, Examples include acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, xanthone compounds, and tertiary amine compounds.
ベンゾイン化合物の具体例を挙げると、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルである。
アセトフェノン化合物の具体例を挙げると、例えば、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンである。
Specific examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.
Specific examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, and 1,1-dichloroacetophenone.
アントラキノン化合物の具体例を挙げると、例えば、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンである。
チオキサントン化合物の具体例を挙げると、例えば、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンである。
Specific examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, and 1-chloroanthraquinone.
Specific examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone.
ケタール化合物の具体例を挙げると、例えば、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールである。
ベンゾフェノン化合物の具体例を挙げると、例えば、ベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドである。
Specific examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.
Specific examples of the benzophenone compound include, for example, benzophenone, 4-benzoyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-ethyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-propyldiphenyl. Sulfide.
3級アミン化合物の具体例を挙げると、例えば、エタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)等のジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアーEPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)である。 Specific examples of the tertiary amine compound include, for example, an ethanolamine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure, such as 4,4′-dimethylaminobenzophenone (Nisso Cure MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), 4,4′-diethylamino. Dialkylamino benzophenone such as benzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co.), and dialkylamino groups such as 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin) Containing coumarin compound, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (Kayacure EPA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure DMB manufactured by International Bio-Synthetics), 4-dimethylaminobenzoic acid ( -Butoxy) ethyl (Quantacure BEA, manufactured by International Bio-Synthetics), p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ethyl ester (Kayacure DMBI, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate (manufactured by Van Dyk) Esolol 507), 4,4′-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.).
前記した化合物の中でも、チオキサントン化合物及び3級アミン化合物が好ましい。本発明の組成物には、チオキサントン化合物が含まれることが深部硬化性の面から好ましく、中でも、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン化合物が好ましい。 Among the above-mentioned compounds, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferable. The composition of the present invention preferably contains a thioxanthone compound from the viewpoint of deep curable properties. Among them, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone A thioxanthone compound such as
このようなチオキサントン化合物の配合量としては、上記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは20質量部以下、より好ましくは10質量部以下の割合である。チオキサントン化合物の配合量が多すぎると、厚膜硬化性が低下して、製品のコストアップに繋がるので、好ましくない。 The amount of such a thioxanthone compound is preferably 20 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). If the amount of the thioxanthone compound is too large, the thick film curability is lowered and the cost of the product is increased, which is not preferable.
3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物が特に好ましい。ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジスト膜を提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。 As the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound and a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm are particularly preferable. As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is preferable because of its low toxicity. A dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm has a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region, so that it is less colored and contains a colored pigment as well as a colorless and transparent photocurable / thermosetting resin composition. It is possible to provide a colored solder resist film that reflects the color of the colored pigment itself. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.
このような3級アミン化合物の配合量としては、上記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.1〜10質量部の割合である。3級アミン化合物の配合量が0.1質量部以下であると、十分な増感効果を得ることができない傾向にある。一方、20質量部を超えると、3級アミン化合物による乾燥ソルダーレジスト塗膜の表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。 The amount of such a tertiary amine compound is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). It is. When the amount of the tertiary amine compound is 0.1 parts by mass or less, there is a tendency that a sufficient sensitizing effect cannot be obtained. On the other hand, when the amount exceeds 20 parts by mass, light absorption on the surface of the dry solder resist coating film by the tertiary amine compound becomes intense, and the deep curability tends to decrease.
前記したような光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤は、単独で又は2種類以上の混合物として使用することができる。
このような光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤の総量は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して35質量部以下となる範囲であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。
The photopolymerization initiator, photoinitiator aid and sensitizer as described above can be used alone or as a mixture of two or more.
The total amount of such photopolymerization initiator, photoinitiator assistant, and sensitizer is preferably in a range of 35 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). When it exceeds 35 parts by mass, the deep curability tends to decrease due to light absorption.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に用いられる分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)は、活性エネルギー線照射により、光硬化して、未露光部をアルカリ水溶液に不溶化させ、又は不溶化を助けるものである。このような化合物としては、エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;及びメラミンアクリレート、及び/又は上記アクリレートに対応する各メタクリレート類などが挙げられる。 The compound (D) having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule used in the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is photocured by irradiation with active energy rays, and unexposed portions. Is insolubilized in an alkaline aqueous solution, or helps insolubilization. Examples of such compounds include glycol diacrylates such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate, and the like. Polyhydric acrylates such as polyhydric alcohols or their ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts; Phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and polyhydric acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols Glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycy Ethers, polyvalent acrylates of glycidyl ethers such as triglycidyl isocyanurate; and melamine acrylate, and / or the like each methacrylates corresponding to the acrylates.
さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などが、挙げられる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる Further, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, or a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. Examples thereof include an epoxy urethane acrylate compound obtained by reacting a half urethane compound. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.
このような分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(D)の配合量は、前記エチレン性不飽和基含有カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、5〜100質量部、より好ましくは、1〜70質量部の割合である。前記配合量が、5質量部未満の場合、光硬化性が低下し、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像により、パターン形成が困難となるので、好ましくない。一方、100質量部を超えた場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が低下して、塗膜が脆くなるので、好ましくない。 The compounding quantity of the compound (D) which has 2 or more ethylenically unsaturated groups in such a molecule | numerator is 5-100 with respect to 100 mass parts of said ethylenically unsaturated group containing carboxyl group-containing resin (A). It is a ratio of 1 to 70 parts by mass, more preferably 1 part by mass. When the blending amount is less than 5 parts by mass, photocurability is lowered, and pattern formation becomes difficult by alkali development after irradiation with active energy rays, which is not preferable. On the other hand, when the amount exceeds 100 parts by mass, the solubility in an alkaline aqueous solution is lowered, and the coating film becomes brittle.
本発明の光硬化性・熱硬化性組成物には、耐熱性を付与するために、熱硬化性成分を加えることができる。熱硬化性成分として特に好ましいものは、エポキシ樹脂(E)であるが、分子中に2個以上の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化性樹脂を用いることもできる。
このような分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性樹脂は、分子中に3、4又は5員環の環状エーテル基、又は環状チオエーテル基のいずれか一方又は2種類の基を2個以上有する化合物であり、例えば、分子内に少なくとも2つ以上のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物(E−1)、分子内に少なくとも2つ以上のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物(E−2)、分子内に2個以上のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂(E−3)などが挙げられる。
A thermosetting component can be added to the photocurable / thermosetting composition of the present invention in order to impart heat resistance. The epoxy resin (E) is particularly preferable as the thermosetting component, but heat having two or more cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in the molecule. A curable resin can also be used.
Such a thermosetting resin having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule is either one of the three-, four- or five-membered cyclic ether groups in the molecule, or the cyclic thioether group, or two kinds thereof. A compound having at least two epoxy groups in the molecule, for example, a polyfunctional epoxy compound (E-1) having at least two oxetanyl groups in the molecule. Examples thereof include a compound, that is, a polyfunctional oxetane compound (E-2), a compound having two or more thioether groups in the molecule, that is, an episulfide resin (E-3).
前記多官能エポキシ化合物(E−1)としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製のJER828、JER834、JER1001、JER1004、大日本インキ化学工業社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、東都化成社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社のアラルダイド6071、アラルダイド6084、アラルダイドGY250、アラルダイドGY260、住友化学工業社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成工業社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(何れも商品名)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL903、大日本インキ化学工業社製のエピクロン152、エピクロン165、東都化成社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイド8011、住友化学工業社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成工業社製のA.E.R.711、A.E.R.714等(何れも商品名)のブロム化エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のJER152、JER154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、大日本インキ化学工業社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、東都化成社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドECN1235、アラルダイドECN1273、アラルダイドECN1299、アラルダイドXPY307、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、住友化学工業社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成工業社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299等(何れも商品名)のノボラック型エポキシ樹脂;大日本インキ化学工業社製のエピクロン830、ジャパンエポキシレジン社製JER807、東都化成社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2001、YDF−2004、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドXPY306等(何れも商品名)のビスフェノールF型エポキシ樹脂;東都化成社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(商品名)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のJER604、東都化成社製のエポトートYH−434、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドMY720、住友化学工業社製のスミ−エポキシELM−120等(何れも商品名)のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドCY−350(商品名)等のヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドCY175、CY179等(何れも商品名)の脂環式エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−933、ダウケミカル社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等(何れも商品名)のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、旭電化工業社製EPX−30、大日本インキ化学工業社製のEXA−1514(商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のJER157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−931、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイド163等(何れも商品名)のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドPT810、日産化学工業社製のTEPIC等(何れも商品名)の複素環式エポキシ樹脂;日本油脂社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;東都化成社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄化学社製ESN−190、ESN−360、大日本インキ化学工業社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;大日本インキ化学工業社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日本油脂社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体(例えばダイセル化学工業製PB−3600等)、CTBN変性エポキシ樹脂(例えば東都化成社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂又はそれらの混合物が好ましい。 As the polyfunctional epoxy compound (E-1), for example, JER828, JER834, JER1001, JER1004 manufactured by Japan Epoxy Resins, Epicron 840, Epicron 850, Epicron 1050, Epicron 1050, Epicron 2055, Toto, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Epototo YD-011, YD-013, YD-127, YD-128 manufactured by Kasei Co., Ltd., D.C. E. R. 317, D.E. E. R. 331, D.D. E. R. 661, D.E. E. R. 664, Ciba Specialty Chemicals' Araldide 6071, Araldide 6084, Araldide GY250, Araldide GY260, Sumitomo Chemical Industries Sumi-Epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. A. E. R. 330, A.I. E. R. 331, A.I. E. R. 661, A.I. E. R. Bisphenol A type epoxy resin such as 664 (all trade names); YL903 manufactured by Japan Epoxy Resin, Epicron 152, Epicron 165 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Epototo YDB-400, YDB-500 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd. D. Chemicals manufactured by Dow Chemical Company. E. R. 542, Araldide 8011 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Sumi-epoxy ESB-400, ESB-700 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and A.D. E. R. 711, A.I. E. R. Brominated epoxy resins such as 714 (all trade names); JER152 and JER154 manufactured by Japan Epoxy Resin, and D.C. E. N. 431, D.D. E. N. 438, Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865, Etototo YDCN-701, YDCN-704 from Toto Kasei Co., Ltd., Araldide ECN1235 from Ciba Specialty Chemicals, Araldide ECN1273, Araldide ECN1299, Araldide XPY307, Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-201, EOCN-1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, Sumitomo Chemical Industries Sumi-epoxy ESCN-195X, ESCN- 220, manufactured by Asahi Kasei Corporation. E. R. Novolak type epoxy resins such as ECN-235, ECN-299, etc. (both trade names); Epicron 830 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, JER807 manufactured by Japan Epoxy Resin, Epotot YDF-170 manufactured by Toto Kasei Co., YDF- 175, YDF-2001, YDF-2004, Araldide XPY306 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, etc. (both trade names); Epototo ST-2004, ST-2007, ST- manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd. Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin such as 3000 (trade name); Japan Epoxy Resin JER604, Toto Kasei Epototo YH-434, Ciba Specialty Chemicals Araldide MY720, Sumitomo Chemical Co., Ltd. SUMI-EPOXY ELM Glycidylamine type epoxy resin such as 120 (all trade names); Hydantoin type epoxy resin such as Araldide CY-350 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals; Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ciba Specialty -Alicyclic epoxy resins such as Araldide CY175, CY179, etc. (both trade names) manufactured by Chemicals; YL-933 manufactured by Japan Epoxy Resin; E. N. , EPPN-501, EPPN-502, etc. (all trade names) trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; Japan Epoxy Resin YL-6056, YX-4000, YL-6121 (all trade names), etc. Xylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type such as EBPS-200 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EPX-30 manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd., EXA-1514 (trade name) manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Epoxy resin; Bisphenol A novolak type epoxy resin such as JER157S (trade name) manufactured by Japan Epoxy Resin; YL-931 manufactured by Japan Epoxy Resin, Araldide 163 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, etc. (all trade names) Tetraphenylolethane type epoxy resin; Hexacyclic epoxy resins such as Araldide PT810 manufactured by Ba Specialty Chemicals Co., Ltd., TEPIC manufactured by Nissan Chemical Industries Co., Ltd. (both trade names); Diglycidyl phthalate resins such as Bremer DGT manufactured by NOF Corporation; ZX manufactured by Toto Kasei Tetraglycidylxylenoylethane resin such as -1063; naphthalene group-containing epoxy resins such as Nippon Steel Chemical Co., Ltd. ESN-190, ESN-360, Dainippon Ink and Chemicals, Inc. HP-4032, EXA-4750, EXA-4700; Epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton such as HP-7200 and HP-7200H manufactured by Dainippon Ink &Chemicals; Glycidyl methacrylate copolymer epoxy resins such as CP-50S and CP-50M manufactured by Nippon Oil &Fats; and cyclohexylmaleimide And glycidyl methacrylate Copolymerized epoxy resin; epoxy-modified polybutadiene rubber derivatives (for example, PB-3600 manufactured by Daicel Chemical Industries), CTBN-modified epoxy resins (for example, YR-102, YR-450 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) and the like. However, it is not limited to these. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, a novolac type epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin or a mixture thereof is particularly preferable.
前記多官能オキセタン化合物(E−2)としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。 Examples of the polyfunctional oxetane compound (E-2) include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-Methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3- In addition to polyfunctional oxetanes such as ethyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane Alcohol and novolak resin, poly (p-hydroxystyrene), cardo type Scan phenols, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.
前記分子中に2個以上の環状チオエーテル基を有する化合物(E−3)としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製のビスフェノールA型エピスルフィド樹脂 YL7000などが挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。 Examples of the compound (E-3) having two or more cyclic thioether groups in the molecule include bisphenol A type episulfide resin YL7000 manufactured by Japan Epoxy Resins. Moreover, episulfide resin etc. which replaced the oxygen atom of the epoxy group of the novolak-type epoxy resin with the sulfur atom using the same synthesis method can be used.
前記分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分、特にエポキシ樹脂(E)の配合量は、前記カルボキシル基含有樹脂(A)のカルボキシル基1当量に対して、好ましくは0.6〜2.5当量、より好ましくは、0.8〜2.0当量となる範囲にある。分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分、特にエポキシ樹脂(E)の配合量が0.6未満である場合、ソルダーレジスト膜にカルボキシル基が残り、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性などが低下するので、好ましくない。一方、2.5当量を超える場合、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存することにより、塗膜の強度などが低下するので、好ましくない。 The blending amount of the thermosetting component having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule, particularly the epoxy resin (E), is preferably relative to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin (A). Is in the range of 0.6 to 2.5 equivalents, more preferably 0.8 to 2.0 equivalents. When the blending amount of the thermosetting component having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule, particularly the epoxy resin (E) is less than 0.6, the carboxyl group remains in the solder resist film, and the heat resistance, Since alkali resistance, electrical insulation, etc. will fall, it is not preferable. On the other hand, when the amount exceeds 2.5 equivalents, the low molecular weight cyclic (thio) ether group remains in the dry coating film, which is not preferable because the strength of the coating film decreases.
上記分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分、特にエポキシ樹脂(E)を使用する場合、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物など、また市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)などが挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基及び/又はオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化触媒と併用する。 When using the thermosetting component which has two or more cyclic (thio) ether groups in the said molecule | numerator, especially an epoxy resin (E), it is preferable to contain a thermosetting catalyst. Examples of such thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. Imidazole derivatives such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and those that are commercially available ,example 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., U-CAT3503N, U-CAT3502T (both dimethylamine block isocyanate compounds) Product names), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (both bicyclic amidine compounds and salts thereof), and the like. In particular, it is not limited to these, as long as it is a thermosetting catalyst for epoxy resins or oxetane compounds, or a catalyst that promotes the reaction of epoxy groups and / or oxetanyl groups with carboxyl groups, either alone or in combination of two or more. Can be used. Guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with the thermosetting catalyst.
これら熱硬化触媒の配合量は、通常の量的割合で充分であり、例えばカルボキシル基含有樹脂(A)又は分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分、特にエポキシ樹脂(E)100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。 The blending amount of these thermosetting catalysts is sufficient in the usual quantitative ratio, for example, a carboxyl group-containing resin (A) or a thermosetting component having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule, particularly an epoxy. Preferably it is 0.1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of resin (E), More preferably, it is 0.5-15.0 mass parts.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、その塗膜の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。このようなフィラーとしては、公知慣用の無機又は有機フィラーが使用できるが、特に硫酸バリウム、球状シリカ及びタルクが好ましく用いられる。さらに、1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物や前記多官能エポキシ樹脂(D−1)にナノシリカを分散したHanse−Chemie社製のNANOCRYL(商品名) XP 0396、XP 0596、XP 0733、XP 0746、XP 0765、XP 0768、XP 0953、XP 0954、XP 1045(何れも製品グレード名)や、Hanse−Chemie社製のNANOPOX(商品名) XP 0516、XP 0525、XP 0314(何れも製品グレード名)も使用できる。これらを単独で又は2種以上配合することができる。 The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention can be blended with a filler as necessary in order to increase the physical strength of the coating film. As such a filler, known and commonly used inorganic or organic fillers can be used. In particular, barium sulfate, spherical silica and talc are preferably used. Furthermore, NANOCRYL (trade name) XP 0396, XP 0596, XP 0733 manufactured by Hanse-Chemie, in which nano silica is dispersed in the compound having one or more ethylenically unsaturated groups or the polyfunctional epoxy resin (D-1), XP 0746, XP 0765, XP 0768, XP 0953, XP 0954, XP 1045 (all are product grade names), NANOPOX (trade name) manufactured by Hanse-Chemie, Inc. XP 0516, XP 0525, XP 0314 (all are product grades) Name) can also be used. These may be used alone or in combination of two or more.
これらフィラーの配合量は、上記カルボキシル基含有樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは300質量部以下、より好ましくは0.1〜300質量部、特に好ましくは、0.1〜150質量部である。フィラーの配合量が、300質量部を超えた場合、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の粘度が高くなり印刷性が低下したり、硬化物が脆くなるので好ましくない。 The blending amount of these fillers is preferably 300 parts by mass or less, more preferably 0.1 to 300 parts by mass, and particularly preferably 0.1 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (A). Part. When the blending amount of the filler exceeds 300 parts by mass, the viscosity of the photocurable / thermosetting resin composition is increased, the printability is lowered, and the cured product becomes brittle.
さらに、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、上記カルボキシル基含有樹脂(A)の合成や組成物の調製のため、又は基板やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。 Furthermore, the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is used for the synthesis of the carboxyl group-containing resin (A) and the preparation of the composition, or for adjusting the viscosity for application to a substrate or a carrier film. Organic solvents can be used.
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などである。このような有機溶剤は、単独で又は2種以上の混合物として用いられる。 Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl Glycol ethers such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate , Esters such as propylene glycol butyl ether acetate; ethanol, propano , Ethylene glycol, alcohols such as propylene glycol; octane, aliphatic hydrocarbons decane; petroleum ether is petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and petroleum solvents such as solvent naphtha. Such organic solvents are used alone or as a mixture of two or more.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、t−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の熱重合禁止剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、酸化防止剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。 The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention may further comprise, as necessary, known and commonly used thermal polymerization inhibitors such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, t-butylcatechol, pyrogallol, phenothiazine, fine silica, and organic bentonite. , Known and commonly used thickeners such as montmorillonite, silicone-based, fluorine-based, polymer-based antifoaming agents and / or leveling agents, imidazole-based, thiazole-based, triazole-based silane coupling agents, antioxidants, Known and commonly used additives such as rust preventives can be blended.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、キャリアフィルムと、該キャリアフィルム上に形成された上記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物からなる層とを備えたドライフィルムの形態とすることもできる。
ドライフィルム化に際しては、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を適切な粘度に前記有機溶剤で希釈し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等で支持体上に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、10〜150μm、好ましくは20〜60μmの範囲で適宜選択される。
The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention has a form of a dry film comprising a carrier film and a layer formed of the photocurable / thermosetting resin composition formed on the carrier film. You can also
When forming a dry film, the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is diluted with the above-mentioned organic solvent to an appropriate viscosity, followed by a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater, a reverse coater, a transfer coater. A film can be obtained by applying a uniform thickness on a support with a roll coater, gravure coater, spray coater or the like, and drying usually at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes. Although there is no restriction | limiting in particular about a coating film thickness, Generally, it is 10-150 micrometers by the film thickness after drying, Preferably it selects suitably in the range of 20-60 micrometers.
キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。 As the carrier film, a plastic film is used, and a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, or a polystyrene film is preferably used. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of a carrier film, Generally, it selects suitably in the range of 10-150 micrometers.
キャリアフィルム上に成膜した後、さらに、膜の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが望ましい。
剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離するときに膜と支持体との接着力よりも膜とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。
After the film is formed on the carrier film, it is desirable to further laminate a peelable cover film on the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film.
As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper or the like can be used, and when the cover film is peeled off, the adhesive strength between the film and the support is more than What is necessary is just to have a smaller adhesive force between the membrane and the cover film.
以上のような組成を有する本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じて希釈して塗布方法に適した粘度に調整し、これを例えば、回路形成されたプリント配線板にスクリーン印刷法、カーテンコート法、スプレーコート法、ロールコート法等の方法により塗布し、例えば約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥させることにより、タックフリーの塗膜を形成できる。 The photo-curable / thermosetting resin composition of the present invention having the above composition is diluted as necessary to adjust the viscosity to be suitable for the coating method. It is applied by a screen printing method, a curtain coating method, a spray coating method, a roll coating method, etc. and, for example, the organic solvent contained in the composition is evaporated and dried at a temperature of about 60 to 100 ° C. A coating film can be formed.
回路形成されたプリント配線板上に塗膜を形成した後(上記ドライフィルムを用いた場合は、回路形成されたプリント配線板上にラミネート後、支持体を剥がさず)、レーザー光等の活性エネルギー線をパターン通りに直接照射するか、又はパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液により現像してレジストパターンを形成できる(上記ドライフィルムを用いた場合、露光後、支持体を剥がし、現像する)。その後さらに、加熱硬化のみ、又は活性エネルギー線の照射後加熱硬化もしくは加熱硬化後活性エネルギー線の照射で最終硬化(本硬化)させることにより、電気絶縁性、PCT耐性,密着性、はんだ耐熱性、耐薬品性、無電解金めっき耐性などに優れた硬化膜(硬化物)が形成される。 After forming a coating film on the printed circuit board on which the circuit is formed (when the above dry film is used, after laminating on the printed circuit board on which the circuit has been formed, the support is not peeled off), and then the active energy such as laser light A resist pattern can be formed by directly irradiating a line as a pattern or selectively exposing with an active energy ray through a photomask on which a pattern is formed, and developing an unexposed portion with a dilute alkaline aqueous solution (using the above dry film). If it is, the support is peeled off and developed after exposure). Thereafter, only by heat curing, or by heat curing after irradiation of active energy rays or final curing (main curing) by irradiation of active energy rays after heat curing, electrical insulation, PCT resistance, adhesion, solder heat resistance, A cured film (cured product) excellent in chemical resistance, electroless gold plating resistance and the like is formed.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、例えば前記有機溶剤で塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布し、約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることにより、タックフリーの塗膜を形成できる。また、前記ドライフィルムの形態の場合、基材上にホットロールラミネーター等を用いて貼り合わせる(前記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物層と基材とが接触するように貼り合わせる)。上記フィルムの光硬化性・熱硬化性樹脂組成物層上に、さらに剥離可能なカバーフィルムを備えたドライフィルムの場合、カバーフィルムを剥がした後、上記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物層と基材とが接触するようにホットロールラミネーター等を用いて貼り合わせる。 The photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using, for example, the organic solvent, and the dip coating method, flow coating method, roll coating method, bar coater method on the base material. A tack-free coating film can be formed by applying the organic solvent contained in the composition at a temperature of about 60 to 100 ° C. by volatile drying (preliminary drying). . Moreover, in the case of the said dry film form, it bonds together on a base material using a hot roll laminator etc. (It bonds so that the said photocurable thermosetting resin composition layer and a base material may contact). In the case of a dry film provided with a peelable cover film on the photocurable / thermosetting resin composition layer of the film, after the cover film is peeled off, the photocurable / thermosetting resin composition layer Bonding is performed using a hot roll laminator or the like so that the substrate contacts the substrate.
その後、得られた塗膜(光硬化性・熱硬化性樹脂組成物層)に対し、露光(活性エネルギー線の照射)を行う。露光は、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光する方法、あるいはレーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する方法のいずれでもよい。この露光により、塗膜は、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)が硬化する。次いで、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば0.3〜3%炭酸ソーダ水溶液)により現像してレジストパターンが形成される。さらに、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、前記カルボキシル基含有樹脂(A)のカルボキシル基と、分子中に2個以上の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基を有する熱硬化性成分が反応し、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性などの諸特性に優れた硬化塗膜を形成することができる。 Then, exposure (irradiation of an active energy ray) is performed with respect to the obtained coating film (photocurable and thermosetting resin composition layer). The exposure may be either a contact type (or non-contact type) method of selectively exposing with an active energy ray through a photomask on which a pattern has been formed, or a method of direct pattern exposure using a laser direct exposure machine. By this exposure, the exposed portion (portion irradiated with active energy rays) of the coating film is cured. Next, the unexposed portion is developed with a dilute alkaline aqueous solution (for example, a 0.3 to 3% sodium carbonate aqueous solution) to form a resist pattern. Furthermore, for example, by heating to a temperature of about 140 to 180 ° C. and thermosetting, the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin (A) and two or more cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups in the molecule are obtained. The thermosetting component which it has reacts and can form the cured coating film excellent in various characteristics, such as heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesiveness, and an electrical property.
上記基材としては、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布−エポキシ樹脂、ガラス−ポリイミド、ガラス布/不繊布−エポキシ樹脂、ガラス布/紙−エポキシ樹脂、合成繊維−エポキシ樹脂、フッ素樹脂・ポリエチレン・PPO・シアネートエステル等の複合材を用いた全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板や、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を用いることができる。 As the substrate, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / non-woven cloth-epoxy resin, glass cloth / paper-epoxy resin, synthetic fiber-epoxy resin, fluorine Use copper graded laminates of all grades (FR-4 etc.) using composite materials such as resin, polyethylene, PPO, cyanate ester, polyimide film, PET film, glass substrate, ceramic substrate, wafer plate, etc. it can.
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブンなど(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法や、ノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatile drying performed after the photocurable / thermosetting resin composition of the present invention is applied may be a hot air circulation drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, or the like (having a heat source of an air heating method using steam). It can be performed using a method in which hot air in the dryer is brought into countercurrent contact, or a method in which the hot air in the dryer is blown to the support from the nozzle.
上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)を用いることができる。活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光を用いていれば、ガスレーザー、固体レーザーのどちらでもよい。また、その露光量は膜厚等によって異なるが、一般には5〜200mJ/cm2、好ましくは5〜100mJ/cm2、さらに好ましくは5〜50mJ/cm2の範囲内とすることができる。上記直接描画装置としては、例えば日本オルボテック社製、ペンタックス社製等のものを使用することができ、最大波長が350〜410nmのレーザー光を発振する装置であればいずれの装置を用いてもよい。 As the exposure apparatus used for the active energy ray irradiation, a direct drawing apparatus (for example, a laser direct imaging apparatus that directly draws an image with a laser using CAD data from a computer) can be used. As the active energy ray, either a gas laser or a solid laser may be used as long as laser light having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm is used. Further, the exposure amount varies depending the thickness or the like, typically 5 to 200 mJ / cm 2, preferably from 5 to 100 mJ / cm 2, more preferably be in the range of 5~50mJ / cm 2. As the direct drawing device, for example, those manufactured by Nippon Orbotech, Pentax, etc. can be used, and any device may be used as long as it oscillates laser light having a maximum wavelength of 350 to 410 nm. .
前記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。 The developing method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method or the like, and as a developer, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.
以下に実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではないことはもとよりである。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.
合成例1
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EOCN−104S、軟化点92℃、エポキシ当量220)660g、カルビトールアセテート 421.3g、及びソルベントナフサ 180.6gを導入し、90℃に加熱・攪拌し、溶解した。次に、一旦60℃まで冷却し、アクリル酸 216g、トリフェニルホスフィン 4.0g、メチルハイドロキノン1.3gを加えて、100℃で12時間反応させ、酸価が0.2mgKOH/gの反応生成物を得た。これにテトラヒドロ無水フタル酸 241.7gを仕込み、90℃に加熱し、6時間反応させた。これにより、酸価50mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モル当りの樹脂のg重量)400、重量平均分子量7,000のカルボキシル基含有樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有樹脂の溶液を、A−1ワニスと称す。
Synthesis example 1
To a 2 liter separable flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen introduction tube, a cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN-104S, softening point 92 ° C., epoxy Equivalent 220) 660 g, carbitol acetate 421.3 g, and solvent naphtha 180.6 g were introduced, heated and stirred at 90 ° C., and dissolved. Next, it is once cooled to 60 ° C., 216 g of acrylic acid, 4.0 g of triphenylphosphine and 1.3 g of methylhydroquinone are added and reacted at 100 ° C. for 12 hours, and a reaction product having an acid value of 0.2 mgKOH / g. Got. This was charged with 241.7 g of tetrahydrophthalic anhydride, heated to 90 ° C. and reacted for 6 hours. As a result, a solution of a carboxyl group-containing resin (A) having an acid value of 50 mg KOH / g, a double bond equivalent (g weight of resin per mole of unsaturated groups) of 400, and a weight average molecular weight of 7,000 was obtained. Hereinafter, this carboxyl group-containing resin solution is referred to as A-1 varnish.
合成例2
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量215、1分子中に平均して6個のフェノール核を有する)430g及びアクリル酸144g(2モル)を仕込んだ。撹拌しつつ120℃まで加熱し、120℃を保ったまま10時間反応を続けた。いったん反応生成物を室温まで冷却し、無水コハク酸190g(1.9モル)を加え、80℃に加熱して4時間反応した。ふたたび、この反応生成物を室温まで冷却した。この生成物固形分の酸価は、139mgKOH/gであった。
この溶液にグリシジルメタクリレート85.2g(0.6モル)及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテート45.9gを加え、撹拌しつつ110℃まで加熱し、110℃を保ったまま6時間反応を続けた。この反応生成物を室温まで冷却したところ、粘調な溶液が得られた。このようにして、不揮発分65質量%、固形分酸価86mgKOH/gのカルボキシル基含有樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有樹脂の溶液を、A−2ワニスと称す。
Synthesis example 2
To a 2 liter separable flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen inlet tube, an o-cresol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent 215, 6 phenol nuclei on average in one molecule). ) And acrylic acid 144 g (2 mol). The mixture was heated to 120 ° C. with stirring, and the reaction was continued for 10 hours while maintaining 120 ° C. Once the reaction product was cooled to room temperature, 190 g (1.9 mol) of succinic anhydride was added, heated to 80 ° C., and reacted for 4 hours. Again, the reaction product was cooled to room temperature. The acid value of this product solid was 139 mg KOH / g.
To this solution, 85.2 g (0.6 mol) of glycidyl methacrylate and 45.9 g of propylene glycol methyl ether acetate were added and heated to 110 ° C. with stirring, and the reaction was continued for 6 hours while maintaining 110 ° C. When the reaction product was cooled to room temperature, a viscous solution was obtained. Thus, a solution of a carboxyl group-containing resin (A) having a nonvolatile content of 65% by mass and a solid content acid value of 86 mgKOH / g was obtained. Hereinafter, the solution of this carboxyl group-containing resin is referred to as A-2 varnish.
合成例3
上記合成例1のアクリル酸をメタアクリル酸に代える以外は同様にして、カルボキシル基含有樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有樹脂の溶液を、A−3ワニスと称す。
Synthesis example 3
A solution of the carboxyl group-containing resin (A) was obtained in the same manner except that the acrylic acid of Synthesis Example 1 was replaced with methacrylic acid. Hereinafter, this carboxyl group-containing resin solution is referred to as A-3 varnish.
実施例1〜7、比較例1,2
上記各合成例の樹脂溶液を用い、表1に示す種々の成分と共に表1に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、ソルダーレジスト用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の分散度をエリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ15μm以下であった。
Using the resin solutions of the above synthesis examples, blended in the proportions (parts by mass) shown in Table 1 together with various components shown in Table 1, premixed with a stirrer, kneaded with a three-roll mill, and used for solder resist A photocurable and thermosetting resin composition was prepared. Here, when the degree of dispersion of the obtained photocurable / thermosetting resin composition was evaluated by particle size measurement using a grindometer manufactured by Eriksen, it was 15 μm or less.
性能評価:
<最適露光量>
前記実施例及び比較例の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を、銅厚35μmの回路パターン基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥してからスクリーン印刷法により全面に塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で60分間乾燥させる。乾燥後、最大波長355nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置、高圧水銀灯ランプを搭載した直描露光機又は高圧水銀灯搭載の露光装置を用いてステップタブレット(コダックNo.2)を介して露光し、現像(30℃、0.2MPa、1質量%炭酸ナトリウム水溶液)を60秒で行った際残存するステップタブレットのパターンが7段の時を最適露光量とした。
Performance evaluation:
<Optimum exposure amount>
The photocurable / thermosetting resin compositions of the examples and comparative examples were coated on the entire surface by screen printing after the circuit pattern substrate with a copper thickness of 35 μm was buffed, washed with water and dried. Dry in a hot air circulating drying oven for 60 minutes. After drying, exposure is performed via a step tablet (Kodak No. 2) using a direct drawing apparatus equipped with a semiconductor laser having a maximum wavelength of 355 nm, a direct drawing exposure machine equipped with a high pressure mercury lamp lamp or an exposure apparatus equipped with a high pressure mercury lamp, When the development (30 ° C., 0.2 MPa, 1 mass% sodium carbonate aqueous solution) was carried out in 60 seconds, the optimal exposure amount was obtained when the pattern of the step tablet remaining was 7 steps.
<解像性>
実施例及び比較例の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を、ライン/スペースが300/300μm、銅厚35μmの回路パターン基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥してからスクリーン印刷法により塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させる。乾燥後、最大波長355nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置を用いて露光した。露光パターンはスペース部に20/30/40/50/60/70/80/90/100μmのラインを描画させる直描用データを使用した。露光量は光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の最適露光量となるように活性エネルギー線を照射した。露光後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液によって現像を行ってパターンを描き、150℃×60分の熱硬化をすることにより硬化塗膜を得た。
得られたソルダーレジスト用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の硬化塗膜の最小残存ラインを200倍に調整した光学顕微鏡を用いて求めた(解像性)。
<Resolution>
A circuit pattern substrate having a line / space of 300/300 μm and a copper thickness of 35 μm was applied to the photocurable / thermosetting resin compositions of Examples and Comparative Examples by buffing, washing with water, drying and then applying by screen printing. And dried for 30 minutes in a hot air circulation drying oven at 80 ° C. After drying, exposure was performed using a direct drawing apparatus equipped with a semiconductor laser having a maximum wavelength of 355 nm. As the exposure pattern, direct drawing data for drawing a 20/30/40/50/60/70/80/90/100 μm line in the space portion was used. The active energy rays were irradiated so that the exposure amount was the optimum exposure amount of the photocurable / thermosetting resin composition. After the exposure, development was performed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. to draw a pattern, and a cured coating film was obtained by heat curing at 150 ° C. for 60 minutes.
It calculated | required using the optical microscope which adjusted the minimum residual line of the cured coating film of the obtained photocurable and thermosetting resin composition for solder resists 200 times (resolution).
特性試験:
上記各実施例及び比較例の組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で20分乾燥し、室温まで放冷する。この基板に最大波長355nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置をもちいて最適露光量でソルダーレジストパターンを露光し、30℃の1%Na2CO3水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cm2の条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント基板(評価基板)に対して以下のように特性を評価した。
Characteristic test:
The composition of each of the above Examples and Comparative Examples is applied on the entire surface of a patterned copper foil substrate by screen printing, dried at 80 ° C. for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. This substrate is exposed to a solder resist pattern with an optimum exposure amount using a direct writing apparatus equipped with a semiconductor laser having a maximum wavelength of 355 nm, and a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is applied for 60 seconds under a spray pressure of 0.2 MPa. Development was performed to obtain a resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. The characteristics of the obtained printed circuit board (evaluation board) were evaluated as follows.
<塗膜の色>
上記実施例及び比較例のアルカリ現像型ソルダーレジストを、硬化物の色を目視にて、判断した。
<Color of coating film>
The color of a hardened | cured material was judged visually for the alkali development type solder resist of the said Example and comparative example.
<はんだ耐熱性>
ロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260℃に設定したはんだ槽に浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ・剥がれについて評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:10秒間浸漬を6回以上繰り返しても剥がれが認められない。
○:10秒間浸漬を3回以上繰り返しても剥がれが認められない。
△:10秒間浸漬を3回以上繰り返すと少し剥がれる。
×:10秒間浸漬を3回以内にレジスト層に膨れ、剥がれがある。
<Solder heat resistance>
The evaluation board | substrate which apply | coated the rosin-type flux was immersed in the solder tank previously set to 260 degreeC, and after washing | cleaning the flux with denatured alcohol, the swelling / peeling of the resist layer by visual observation was evaluated. The judgment criteria are as follows.
A: Peeling is not observed even after 10 seconds of immersion for 6 or more times.
○: No peeling is observed even if the immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.
(Triangle | delta): It peels for a while when immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.
X: The resist layer swells and peels off within 3 times for 10 seconds.
<耐無電解金めっき性>
評価基板に、市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル0.5μm、金0.03μmの条件でめっきを行い、テープピーリングにより、レジスト層の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した後、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:染み込み、剥がれが見られない。
○:めっき後に少し染み込みが確認されるが、テープピール後は剥がれない。
△:めっき後にほんの僅かしみ込みが見られ、テープピール後に剥がれも見られる。
×:めっき後に剥がれが有る。
<Electroless gold plating resistance>
The evaluation substrate is plated using commercially available electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath under the conditions of nickel 0.5 μm and gold 0.03 μm. After evaluating the presence or absence of penetration, the presence or absence of peeling of the resist layer was evaluated by tape peeling. The judgment criteria are as follows.
A: No soaking or peeling is observed.
○: Slight penetration is confirmed after plating, but does not peel off after tape peeling.
Δ: Slight penetration after plating and peeling after tape peel.
X: There is peeling after plating.
<電気特性>
銅箔基板に代えてIPC B−25のクシ型電極Bクーポンを用い、上記の条件で評価基板を作製し、このクシ型電極にDC100Vのバイアス電圧を印加し、85℃、85%R.H.の恒温恒湿槽にて1,000時間後のマイグレーションの有無を確認した。判定基準は以下のとおりである。
○:全く変化が認められないもの
△:ほんの僅か変化したもの
×:マイグレーションが発生しているもの
<Electrical characteristics>
Using an IPC B-25 comb-type electrode B coupon instead of a copper foil substrate, an evaluation board was prepared under the above conditions, and a bias voltage of DC 100 V was applied to the comb-type electrode, and 85 ° C., 85% R.D. H. The presence or absence of migration after 1,000 hours was confirmed in a constant temperature and humidity chamber. The judgment criteria are as follows.
○: No change at all △: Only a slight change ×: Migration has occurred
<耐酸性>
評価基板を10vol%H2SO4水溶液に室温で30分間浸漬し、染み込みや塗膜の溶け出し、さらにテープビールによる剥がれを確認した。判定基準は以下のとおり。
○:染み込み、溶け出し、剥がれなし。
△:染み込み、溶け出し、もしくは剥がれが少し確認される。
×:染み込み、溶け出し、もしくは剥がれが大きく確認される。
<Acid resistance>
The evaluation substrate was immersed in a 10 vol% H 2 SO 4 aqueous solution at room temperature for 30 minutes, and soaking and dissolution of the coating film were confirmed. Further, peeling by tape beer was confirmed. Judgment criteria are as follows.
○: No soaking, melting or peeling.
Δ: Slight penetration, dissolution or peeling is confirmed.
X: Significant infiltration, dissolution or peeling.
<最大現像ライフ>
各実施例及び比較例の組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で乾燥し20分から80分まで10分おきに基板を取り出し室温まで放冷する。この基板に30℃の1%Na2CO3水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、残渣が残らない最大許容乾燥時間を最大現像ライフとした。
<Maximum development life>
The composition of each example and comparative example is applied onto the patterned copper foil substrate by screen printing, dried at 80 ° C., taken out every 20 minutes from 20 to 80 minutes, and allowed to cool to room temperature. The substrate was developed with a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. under a spray pressure of 0.2 MPa for 60 seconds, and the maximum allowable drying time in which no residue remained was defined as the maximum development life.
前記各評価試験の結果を表2にまとめて示す。
安定性試験:
表3に示す配合例に従い、主剤と硬化剤に分けて、各成分を表3に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、ソルダーレジスト用光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の分散度をエリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ15μm以下であった。
In accordance with the formulation example shown in Table 3, the main component and the curing agent are divided into proportions (parts by mass) shown in Table 3, premixed with a stirrer, kneaded with a three-roll mill, and solder resist. A photocurable thermosetting resin composition was prepared. Here, when the degree of dispersion of the obtained photocurable / thermosetting resin composition was evaluated by particle size measurement using a grindometer manufactured by Eriksen, it was 15 μm or less.
得られた主剤と硬化剤に関して、表4のように355nmレーザー露光機による感度と最大現像ライフの評価を行った。保存安定性に関しては、得られた主剤と硬化剤をそれぞれポリエチレン製の密封容器に入れ30℃の恒温機に入れて30日後60日後の評価を行った。
得られた結果を表4に示す。
With respect to the obtained main agent and curing agent, as shown in Table 4, the sensitivity and the maximum development life were evaluated by a 355 nm laser exposure machine. Regarding storage stability, the obtained main agent and curing agent were each put in a polyethylene sealed container and placed in a thermostat at 30 ° C., and evaluation was performed 30 days and 60 days later.
Table 4 shows the obtained results.
比較例4
表3に示す配合例5において、主剤と硬化剤を調整後、直ちに混合し、30℃で60日保管したものは、現像ライフが30分と著しく短くなっていた。
Comparative Example 4
In Formulation Example 5 shown in Table 3, after adjusting the main agent and curing agent, they were mixed immediately and stored at 30 ° C. for 60 days, the development life was remarkably shortened to 30 minutes.
比較例5
表3に示す配合例5において、(B2)ペンタエリスリトール テトラキス(3−メルカプトブチレート)を硬化剤側に配合して調整したものは、30℃で30日保管した後、混合して試験したが、現像が出来なかった。
Comparative Example 5
In Formulation Example 5 shown in Table 3, (B2) pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) blended and prepared on the curing agent side was stored at 30 ° C. for 30 days, then mixed and tested. I couldn't develop.
実施例18
表1に示す実施例3に従って調製した光硬化性・熱硬化性樹脂組成物をメチルエチルケトンで希釈し、キャリアフィルム上に塗布し、加熱乾燥して、厚さ20μmの光硬化性・熱硬化性樹脂組成物層を形成し、その上にカバーフィルムを貼り合わせてドライフィルムを得た。その後、カバーフィルムを剥がし、パターン形成された銅箔基板に、フィルムを貼り合わせ、次いで、キャリアフィルムを剥がし、80℃の熱風乾燥器で30分、乾燥させ、その後、150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化を行ない、試験基板を作製した。得られた硬化皮膜を有する試験基板について、前述した試験方法及び評価方法にて、各特性の評価試験を行なった。結果は、実施例3と同等であった。
Example 18
A photocurable / thermosetting resin composition prepared according to Example 3 shown in Table 1 was diluted with methyl ethyl ketone, coated on a carrier film, dried by heating, and a 20 μm thick photocurable / thermosetting resin. A composition layer was formed, and a cover film was laminated thereon to obtain a dry film. Thereafter, the cover film is peeled off, the film is bonded to the patterned copper foil substrate, and then the carrier film is peeled off and dried in a hot air dryer at 80 ° C. for 30 minutes, and then in a hot air dryer at 150 ° C. Heat curing was performed for 60 minutes to prepare a test substrate. About the test substrate which has the obtained cured film, the evaluation test of each characteristic was done with the test method and evaluation method which were mentioned above. The result was equivalent to Example 3.
Claims (11)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012001891A JP5113298B2 (en) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring board obtained using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012001891A JP5113298B2 (en) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring board obtained using the same |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007148648A Division JP5043516B2 (en) | 2007-06-04 | 2007-06-04 | Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring obtained using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012078869A JP2012078869A (en) | 2012-04-19 |
JP5113298B2 true JP5113298B2 (en) | 2013-01-09 |
Family
ID=46239099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012001891A Active JP5113298B2 (en) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring board obtained using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5113298B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109890921A (en) * | 2016-08-25 | 2019-06-14 | 莫赛纳实验室公司 | A method of three-dimensional structure is made using photoetching and adhesive ground binding material |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5690973B2 (en) * | 2012-04-27 | 2015-03-25 | 太陽インキ製造株式会社 | Photo-curing thermosetting resin composition, cured product, and printed wiring board |
JP6240399B2 (en) * | 2012-05-29 | 2017-11-29 | 太陽インキ製造株式会社 | Photosensitive composition and printed wiring board having cured layer thereof |
WO2013179863A1 (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 太陽インキ製造株式会社 | Photosensitive composition and printed circuit board having hardened layer thereof |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003255121A (en) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Toppan Printing Co Ltd | Method for manufacturing color filter and color filter |
JP4218828B2 (en) * | 2002-02-28 | 2009-02-04 | 昭和電工株式会社 | Thiol compound, photopolymerization initiator composition, and photosensitive composition |
JP2006285174A (en) * | 2004-12-08 | 2006-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photosensitive composition, photosensitive film, permanent pattern and method for forming same |
JP2006259150A (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Tamura Kaken Co Ltd | Photosensitive resin composition and printed wiring board |
-
2012
- 2012-01-10 JP JP2012001891A patent/JP5113298B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109890921A (en) * | 2016-08-25 | 2019-06-14 | 莫赛纳实验室公司 | A method of three-dimensional structure is made using photoetching and adhesive ground binding material |
CN109890921B (en) * | 2016-08-25 | 2022-01-11 | 莫赛纳实验室公司 | Method for making three-dimensional structures using photolithography and adherable bonding materials |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012078869A (en) | 2012-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5043516B2 (en) | Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring obtained using the same | |
JP4616863B2 (en) | Photosensitive resin composition and flexible wiring board obtained using the same | |
JP4999685B2 (en) | Photocurable / thermosetting resin composition, cured product thereof, and printed wiring board obtained using the same | |
KR101073792B1 (en) | Photocurable thermosetting resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using the same | |
JP5301915B2 (en) | Flame-retardant photocurable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them | |
JP5449688B2 (en) | Photo-curable thermosetting resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them | |
JP5567543B2 (en) | Resin composition, cured product thereof and printed wiring board obtained using the same | |
JP5632146B2 (en) | Curable resin composition | |
JP4831786B2 (en) | Photocurable / thermosetting resin composition, cured product and printed wiring board | |
JP5276831B2 (en) | Photosensitive composition | |
JP5183425B2 (en) | Flame-retardant photocurable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them | |
JP5384785B2 (en) | Resin composition, cured product thereof and printed wiring board obtained using the same | |
JPWO2007111336A1 (en) | Photocurable / thermosetting resin composition, cured product thereof, and printed wiring board obtained using the same | |
JP2009086414A (en) | Photosensitive resin composition and cured product thereof | |
JP5043775B2 (en) | Flame-retardant photocurable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them | |
JP2010113241A (en) | Photosetting resin composition, dry film and cured product of the same, and printed wiring board using them | |
JP5376793B2 (en) | Photocurable resin composition, cured product pattern thereof, and printed wiring board comprising the cured product pattern | |
JP5193565B2 (en) | Photocurable resin composition, cured product pattern thereof, and printed wiring board comprising the cured product pattern | |
JP5113298B2 (en) | Photocurable / thermosetting resin composition and printed wiring board obtained using the same | |
JP2009116111A (en) | Photocurable resin composition, its cured product pattern, and printed wiring board with cured product pattern | |
JP2008146044A (en) | Photosensitive composition | |
JP2009116113A (en) | Photocurable resin composition, its cured product pattern, and printed wiring board with the cured product pattern | |
JP5433209B2 (en) | Photocurable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them | |
JP5575858B2 (en) | Flame-retardant photocurable resin composition, dry film and cured product thereof, and printed wiring board using them |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120127 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120127 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121002 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121011 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5113298 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |