JP2009116111A - Photocurable resin composition, its cured product pattern, and printed wiring board with cured product pattern - Google Patents

Photocurable resin composition, its cured product pattern, and printed wiring board with cured product pattern Download PDF

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信人 伊藤
Kenji Kato
賢治 加藤
Masao Arima
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an alkali-developable photocurable resin composition having high sensitivity to active energy rays, excellent in curability under exposure by direct drawing especially with laser light, excellent in developability, drying property to set to the touch, resistance to the heat of soldering, suitability to electroless gold plating, alkali resistance, PCT and PCBT resistances, and useful as a solder resist. <P>SOLUTION: The alkali-developable photocurable resin composition contains (A) a carboxylic acid-containing photosensitive resin containing a structure represented by general formula (I), (B) a photopolymerization initiator, and (C) a compound containing two or more ethylenically unsaturated groups in a molecule. In the formula, R<SP>1</SP>represents a hydrogen atom or a methyl group; R<SP>2</SP>represents a 2-6C linear, branched or cyclic alkyl; and R<SP>3</SP>represents an acid anhydride residue. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、活性エネルギー線に対する感度に優れ、且つ、ソルダーレジストとして有用なアルカリ現像型の光硬化性樹脂組成物に関するものである。   The present invention relates to an alkali-developable photocurable resin composition that is excellent in sensitivity to active energy rays and is useful as a solder resist.

最近プリント配線板用ソルダーレジストの露光手段として、優れた位置合わせ精度の観点からレーザー走査露光が普及している。レーザー露光はフォトマスクを使用せずパターン形成された配線板上のソルダーレジストを走査しながら画像形成するものであるが、従来からあるソルダーレジストではその適正露光量が200mJ/cm以上であるため露光に非常に時間がかかるという欠点を有しており、レーザー露光に対応するソルダーレジストには非常に高感度化が要求されている。 Recently, laser scanning exposure has become widespread as an exposure means for printed wiring board solder resist from the viewpoint of excellent alignment accuracy. In laser exposure, an image is formed while scanning a solder resist on a patterned wiring board without using a photomask, but a conventional solder resist has an appropriate exposure amount of 200 mJ / cm 2 or more. There is a drawback that it takes a very long time for exposure, and a solder resist corresponding to laser exposure is required to have very high sensitivity.

このような背景から高い光重合能力を発揮することができる感光性組成物の提案がなされてきた(例えば、特許文献1、及び特許文献2参照)。しかしながら、これまで提案されてきた感光性組成物の中には確かに高い光重合能力を発揮することができるものが存在するが、レーザーダイレクト露光が施されるには感度が必ずしも充分とはいえず、また感光性組成物に求められる感度以外の諸特性においても必ずしも充分とはいえない。具体的には、特許文献1に開示されている組成物は、カルボキシル基含有感光性樹脂の形成に用いる1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を併せ持つ化合物としてグリシジルメタアクリレートのみ例示されているが、感度が不充分なだけでなく付加量を多くすると現像性が悪くなる傾向があった。一方、特許文献2で提案されている、アクリレートに対しε−カプロラクトンを連鎖的に反応させ分子伸長したカプロラクトン変性アクリレートを使用する場合は、感度が高くなるが指触乾燥性が極めて悪く、はんだ耐熱性も不充分であった。   From such a background, a photosensitive composition capable of exhibiting high photopolymerization ability has been proposed (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). However, some of the photosensitive compositions that have been proposed so far can certainly exhibit high photopolymerization ability, but the sensitivity is not necessarily sufficient for laser direct exposure. In addition, the properties other than the sensitivity required for the photosensitive composition are not necessarily sufficient. Specifically, in the composition disclosed in Patent Document 1, only glycidyl methacrylate is exemplified as a compound having both a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule used for forming a carboxyl group-containing photosensitive resin. However, not only is the sensitivity insufficient, but there is a tendency for the developability to deteriorate when the added amount is increased. On the other hand, when using caprolactone-modified acrylate, which is proposed in Patent Document 2 and chain-reacted with ε-caprolactone and molecularly extended, the sensitivity is high, but the dryness to touch is extremely poor, and the solder heat resistance is high. Sex was also insufficient.

さらにアルカリ現像型のフォトソルダーレジストは、耐久性の点ではまだまだ問題がある。すなわち従来の熱硬化型、溶剤現像型のものに比べてアルカリ現像型のフォトソルダーレジストは耐薬品性、耐水性、耐熱性等が劣る。これは、アルカリ現像型フォトソルダーレジストはアルカリ現像可能とするために親水性基を有するものが主成分となっていることに起因する。これにより、薬液、水、水蒸気等が浸透しやすく、耐薬品性の低下やレジスト皮膜と銅との密着性を低下させる。結果として耐薬品性としてのアルカリ耐性が弱く、特にBGAやCSP等の半導体パッケージにおいては特に耐湿熱性ともいうべき耐PCT性(耐プレッシャークッカーテスト性)が必要であるがこのような厳しい条件下においては数時間〜十数時間程度しかもたないのが現状である。また、PCT条件下電圧を印加した状態でのPCBT試験ではほとんどの場合、数時間でマイグレーションの発生による不良が確認されているのが現状である。
特開2007−41502号公報(特許請求の範囲) 特開2007−3590号公報(特許請求の範囲)
Furthermore, the alkali development type photo solder resist still has problems in terms of durability. That is, the alkali developing type photo solder resist is inferior in chemical resistance, water resistance, heat resistance and the like as compared with conventional thermosetting type and solvent developing type. This is due to the fact that the alkali development type photo solder resist mainly contains a hydrophilic group in order to enable alkali development. Thereby, a chemical | medical solution, water, water vapor | steam etc. are easy to osmose | permeate, a chemical-resistant fall and the adhesiveness of a resist film and copper are reduced. As a result, alkali resistance as chemical resistance is weak, and especially in semiconductor packages such as BGA and CSP, PCT resistance (pressure cooker resistance) that should be called moisture heat resistance is necessary, but under such severe conditions Is currently only a few hours to a few dozen hours. In most cases, in the PCBT test in which a voltage is applied under the PCT condition, defects due to the occurrence of migration are confirmed within a few hours.
JP 2007-41502 (Claims) JP 2007-3590 A (Claims)

本発明は、上記問題点に鑑み開発されたものであり、活性エネルギー線に対して高感度であって、その直接描画による露光硬化性に優れ、且つ、現像性、指触乾燥性、はんだ耐熱性、無電解金めっき性、耐アルカリ性、PCT及びPCBT耐性に優れソルダーレジストとして有用なアルカリ現像型の光硬化性樹脂組成物を提供することを課題とする。   The present invention has been developed in view of the above-mentioned problems, is highly sensitive to active energy rays, has excellent exposure curability by direct drawing, and developability, touch drying property, solder heat resistance. It is an object of the present invention to provide an alkali development type photo-curable resin composition that is excellent in resistance, electroless gold plating property, alkali resistance, PCT and PCBT resistance, and is useful as a solder resist.

本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、特定のカルボン酸含有感光性樹脂を用い、これに他の成分を組み合わせてなる光硬化性樹脂組成物により上記課題が解決されることを見出し本発明を完成するに至った。   As a result of diligent research to solve the above-mentioned problems, the present inventors have solved the above-described problems by using a specific carboxylic acid-containing photosensitive resin and combining it with other components. As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、(A)一般式(I)で表される構造を含むカルボン酸含有感光性樹脂、(B)光重合開始剤、及び(C)1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を含む化合物を含有することを特徴とするアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物である:

Figure 2009116111
That is, the present invention includes (A) a carboxylic acid-containing photosensitive resin containing a structure represented by the general formula (I), (B) a photopolymerization initiator, and (C) two or more ethylenic groups in one molecule. An alkali-developable photocurable resin composition comprising a compound containing an unsaturated group:
Figure 2009116111

式中、Rは水素原子もしくはメチル基、Rは炭素数2〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル、Rは酸無水物残基を表す。 In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents a linear, branched or cyclic alkyl having 2 to 6 carbon atoms, and R 3 represents an acid anhydride residue.

ここで、カルボン酸含有感光性樹脂は、一態様において、(a)1分子中に2つ以上の環状エーテル基を含む化合物に、(b)不飽和モノカルボン酸を反応させた後、(c)多塩基酸無水物を反応させた樹脂に、さらに(d)1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物を反応させて得ることができる。   Here, in one embodiment, the carboxylic acid-containing photosensitive resin is obtained by reacting (b) an unsaturated monocarboxylic acid with a compound containing two or more cyclic ether groups in one molecule; It can be obtained by further reacting (d) a compound containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule with a resin reacted with a polybasic acid anhydride.

また、(d)1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物は、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルであり得る。   In addition, (d) the compound containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule may be 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether.

また、(B)光重合開始剤は、一般式(II)で表される構造を含むオキシムエステル系光重合開始剤(B−1)、一般式(III)で表される構造を含むアミノアセトフェノン系光重合開始剤(B−2)、および一般式(IV)で表される構造を含むアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(B−3)からなる群から選ばれる1種、又は2種以上の混合物であり得る:

Figure 2009116111
The (B) photopolymerization initiator includes an oxime ester photopolymerization initiator (B-1) including a structure represented by the general formula (II) and an aminoacetophenone including a structure represented by the general formula (III). 1 type, or 2 or more types selected from the group consisting of a series photopolymerization initiator (B-2) and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (B-3) containing a structure represented by the general formula (IV) Can be a mixture of:
Figure 2009116111

一般式(II)〜(IV)中、Rは、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
は、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
およびRは、それぞれ独立に、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
およびRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表し、またはRおよびRは結合して環状アルキルエーテル基を形成してもよく、
およびRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、アルコキシ基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基(ハロゲン原子、アルキル基、若しくはアルコキシ基で置換されていてもよい)、またはR−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表す。但し、RおよびRの双方がR−C(=O)−基である場合を除く。
In General Formulas (II) to (IV), R 1 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom), or 1 to 20 carbon atoms. A linear, branched or cyclic alkyl group (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), 5 to 5 carbon atoms An cycloalkyl group having 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 2 is a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (one Which may be substituted with the above hydroxyl groups and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or Represents a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 3 and R 4 each independently represents a linear, branched or cyclic alkyl group or arylalkyl group having 1 to 12 carbon atoms,
R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or R 5 and R 6 are bonded to form a cyclic alkyl ether group. You may,
R 7 and R 8 are each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl group (halogen atom, alkyl group, or alkoxy group). Or an R—C (═O) — group (where R is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms). However, the case where both R 7 and R 8 are R—C (═O) — groups is excluded.

また、本発明の樹脂組成物は、更に(D)熱硬化性成分を含み得る。   Further, the resin composition of the present invention may further contain (D) a thermosetting component.

また、本発明の樹脂組成物は、更に(E)着色剤を含有してなるソルダーレジストであり得る。   The resin composition of the present invention may be a solder resist further containing (E) a colorant.

本発明は、他の態様において、上記本発明の光硬化性樹脂組成物を、キャリアフィルムに塗布し乾燥して得られる光硬化性のドライフィルムである。   In another aspect, the present invention is a photocurable dry film obtained by applying the photocurable resin composition of the present invention to a carrier film and drying it.

また、本発明は、他の態様において、上記光硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を用いて形成された硬化物パターンであって、パターン形成が活性エネルギー線照射により行われたものである硬化物パターである。ここで、活性エネルギー線照射によるパターン形成は、波長350nm〜410nmの活性エネルギー線を用いた直接描画によるものであり得る。   In another aspect, the present invention is a cured product pattern formed using a resin layer comprising the photocurable resin composition, wherein the pattern formation is performed by irradiation with active energy rays. It is a thing putter. Here, the pattern formation by active energy ray irradiation may be by direct drawing using active energy rays having a wavelength of 350 nm to 410 nm.

また、本発明は、他の態様において、上記硬化物パターンを銅層上に具備するプリント配線板である。   Moreover, this invention is a printed wiring board which comprises the said hardened | cured material pattern on a copper layer in another aspect.

以下、本発明の光硬化性樹脂組成物の各構成成分について詳しく説明する。
本発明の光硬化性樹脂組成物に含まれるカルボン酸含有感光性樹脂(A)は、一般式(I)で表される構造を含み、さらに分子中にカルボン酸を含有している。

Figure 2009116111
Hereinafter, each component of the photocurable resin composition of the present invention will be described in detail.
The carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) contained in the photocurable resin composition of the present invention includes a structure represented by the general formula (I), and further contains a carboxylic acid in the molecule.
Figure 2009116111

式中、Rは水素原子もしくはメチル基、Rは炭素数2〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル、Rは酸無水物残基を表す。 In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents a linear, branched or cyclic alkyl having 2 to 6 carbon atoms, and R 3 represents an acid anhydride residue.

本発明のカルボン酸含有感光性樹脂(A)は、例えば水酸基含有樹脂に多塩基酸無水物を反応させハーフエステルとしたカルボン酸含有感光性樹脂(A´)の生成したカルボン酸の一部に(d)1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物を反応させることに得られる。   The carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) of the present invention is a part of the carboxylic acid produced from the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A ′) obtained by reacting, for example, a hydroxyl group-containing resin with a polybasic acid anhydride to form a half ester. (D) It is obtained by reacting a compound containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule.

酸無水物でハーフエステル化したカルボン酸含有感光性樹脂(A´)としては、(a)1分子中に2つ以上の環状エーテル基を含む化合物に、(b)不飽和モノカルボン酸を反応させた後、(c)多塩基酸無水物を反応させて得られる樹脂が好ましく、具体的には下記に列挙するような樹脂が挙げられる。   As the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A ′) half-esterified with an acid anhydride, (a) a compound containing two or more cyclic ether groups in one molecule is reacted with (b) an unsaturated monocarboxylic acid. Then, (c) a resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride is preferable, and specific examples thereof include the resins listed below.

(1) 多官能エポキシ化合物(a)と不飽和モノカルボン酸(b)を反応させ、生成した水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(2) 多官能エポキシ化合物(a)と、不飽和モノカルボン酸(b)と、一分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の1個の反応性基を有する化合物との反応生成物に、飽和又は不飽和多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、
(3) 一分子中に少なくとも2個のオキセタン環を有する多官能オキセタン化合物(a)に不飽和モノカルボン酸(b)を反応させ、得られた変性オキセタン樹脂中の第一級水酸基に対して飽和又は不飽和多塩基酸無水物(c)を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂、などが挙げられるが、これらに限定されるものでは無く、他にもポリオール誘導体などの水酸基含有ポリマーに、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた水酸基及びカルボキシル基含有樹脂がある。これらの中で上記(1)(2)(3)は既に不飽和二重結合を有しており感光性の点から好ましい。
(1) Carboxylic acid-containing photosensitivity obtained by reacting a polyfunctional epoxy compound (a) with an unsaturated monocarboxylic acid (b) and reacting the resulting hydroxyl group with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (c) resin,
(2) Polyfunctional epoxy compound (a), unsaturated monocarboxylic acid (b), at least one alcoholic hydroxyl group in one molecule, and one reactivity other than the alcoholic hydroxyl group that reacts with the epoxy group A carboxylic acid-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a compound having a group with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (c),
(3) A polyfunctional oxetane compound (a) having at least two oxetane rings in one molecule is reacted with an unsaturated monocarboxylic acid (b), and the primary hydroxyl group in the resulting modified oxetane resin. Examples thereof include, but are not limited to, carboxylic acid-containing photosensitive resins obtained by reacting saturated or unsaturated polybasic acid anhydrides (c), and other hydroxyl group-containing polymers such as polyol derivatives. And a hydroxyl group- and carboxyl group-containing resin obtained by reacting a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride. Among these, the above (1), (2) and (3) already have an unsaturated double bond and are preferred from the viewpoint of photosensitivity.

上記本発明のカルボン酸含有感光性樹脂(A)の合成に用いられる1分子中に2つ以上の環状エーテル基を持つ化合物(a)としては、公知慣用の各種エポキシ樹脂、例えばビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAのノボラック型エポキシ樹脂などのグリシジルエーテル化合物;テレフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステルなどのグリシジルエステル化合物;トリグリシジルイソシアヌレート、N,N,N’,N’−テトラグリシジルメタキシレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン、N,N−ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン化合物;グリシジル(メタ)アクリレートと、その他の重合性モノマーとの共重合樹脂、更にはオキセタン樹脂、オキセタン含有(メタ)アクリレートとその重合性モノマーの共重合樹脂などが挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、及びクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が、高感度で耐熱性に優れる硬化塗膜を提供できることから、好ましい。さらに、軟化点が60℃以上のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が、指触乾燥性にも優れることから、より好ましい。   Examples of the compound (a) having two or more cyclic ether groups in one molecule used for the synthesis of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) of the present invention include various known and conventional epoxy resins such as bisphenol A type epoxy. Resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolak type Glycidyl ether compounds such as epoxy resin, brominated phenol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin; terephthalic acid diglycidyl ester, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, dimer acid diglycy Glycidyl ester compounds such as ester, triglycidyl isocyanurate, N, N, N ′, N′-tetraglycidylmetaxylenediamine, N, N, N ′, N′-tetraglycidylbisaminomethylcyclohexane, N, N-di Glycidylamine compounds such as glycidylaniline; copolymer resins of glycidyl (meth) acrylate and other polymerizable monomers, oxetane resins, copolymer resins of oxetane-containing (meth) acrylates and polymerizable monomers thereof, etc. . Among these, a phenol novolac type epoxy resin and a cresol novolac type epoxy resin are preferable because they can provide a cured film having high sensitivity and excellent heat resistance. Furthermore, a cresol novolac type epoxy resin having a softening point of 60 ° C. or more is more preferable because it is excellent in dryness to touch.

これらの多官能エポキシ化合物は、単独で又は2種類以上を併用して用いることもできる。   These polyfunctional epoxy compounds can be used alone or in combination of two or more.

なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。   In addition, in this specification, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

不飽和モノカルボン酸(b)としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸などが挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。   Examples of the unsaturated monocarboxylic acid (b) include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, β-styrylacrylic acid, β-furfurylacrylic acid, and the like. Or two or more types can be used in combination.

多塩基酸無水物(c)としては、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水イタコン酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸等が挙げられ、これらを単独で又は2 種以上を組み合わせて使用することができる。   Examples of the polybasic acid anhydride (c) include succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, itaconic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride An acid, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物(d)として、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、3ーヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、2ーヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、2ーヒドロキシペンチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、6ーヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、ヒドロキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル等が挙げられ、特に4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルが好適に用いられる。
このような1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物(d)の付加量は、酸無水物残基に対して5%当量から40%当量が好ましく、更に好ましくは10%当量から30%当量である。付加量が5%当量以上であることが、感度上昇や無電解金めっき耐性の向上の観点から好ましく、一方40%当量を超えると最大現像ライフが短くなったり、指触乾燥性が悪くなる場合があり、好ましくない。
As a compound (d) containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate glycidyl ether, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate glycidyl ether, 3-hydroxypropyl (meth) Acrylate glycidyl ether, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, 2-hydroxypentyl (meth) acrylate glycidyl ether, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate glycidyl ether, hydroxycyclohexyl Examples include (meth) acrylate glycidyl ether, and 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether is particularly preferably used.
The addition amount of the compound (d) containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule is preferably 5% equivalent to 40% equivalent, more preferably 10%, relative to the acid anhydride residue. Equivalent to 30% equivalent. When the added amount is 5% equivalent or more, it is preferable from the viewpoint of increasing sensitivity and improving electroless gold plating resistance. On the other hand, when it exceeds 40% equivalent, the maximum development life is shortened or the dryness to the touch is deteriorated. Is not preferable.

化合物(d)による変性は、一般式(I)で表される構造の形成に必須である。その効果は架橋密度向上による高感度化、耐アルカリ性、PCT並びにPCBT耐性に相乗の効果が確認された。これらの効果は同じく1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物であるグリシジルメタクリレートやグリシジルアクリレートでも得られる効果であるが、同様の変性を行った樹脂は例えばグリシジルメタクリレートの付加量が増すに従い現像性が悪くなり、付加量を減らすと高感度化等の効果が薄くなる。しかしながら、本発明の適度な脂肪鎖を有する1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物を付加したものは付加量を向上させても現像性が良好で且つ高感度化やPCT並びにPCBT耐性が向上したものと考えられる。一方、化1のRの成分が炭素数7以上の長鎖アルキルの場合は指触乾燥性が悪くなったり、逆に現像性が悪くなるので好ましくない。 Modification by the compound (d) is essential for forming the structure represented by the general formula (I). The effect was confirmed to be synergistic with the increase in sensitivity due to improved crosslink density, alkali resistance, PCT and PCBT resistance. These effects are also obtained with glycidyl methacrylate or glycidyl acrylate, which is a compound containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule. As the amount increases, the developability deteriorates, and when the added amount is reduced, the effect of increasing the sensitivity is reduced. However, the compound of the present invention in which a compound containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group is added to one molecule having an appropriate fatty chain has good developability even when the addition amount is improved, and high sensitivity and PCT. In addition, it is considered that PCBBT resistance has been improved. On the other hand, when the R 2 component of Chemical Formula 1 is a long-chain alkyl having 7 or more carbon atoms, it is not preferable because the dryness to touch becomes worse or the developability becomes worse.

上記のようなカルボン酸含有感光性樹脂(A)は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数の遊離のカルボキシル基を有するため、アルカリ現像が可能になる。   Since the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) as described above has a number of free carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, alkali development is possible.

また、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)の酸価は、好ましくは40〜200mgKOH/gの範囲であり、より好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。カルボン酸含有感光性樹脂(A)の酸価が40mgKOH/g未満であるとアルカリ現像が困難となり、一方、200mgKOH/gを超えると現像液による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となるので好ましくない。   Moreover, the acid value of the said carboxylic acid containing photosensitive resin (A) becomes like this. Preferably it is the range of 40-200 mgKOH / g, More preferably, it is the range of 45-120 mgKOH / g. If the acid value of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) is less than 40 mgKOH / g, alkali development becomes difficult. On the other hand, if it exceeds 200 mgKOH / g, dissolution of the exposed portion by the developer proceeds, so the line is more than necessary. In some cases, it is not preferable because it becomes thin or dissolves and peels off with a developer without distinction between an exposed portion and an unexposed portion, and it becomes difficult to draw a normal resist pattern.

また、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000未満であると、タックフリー性能が劣ることがあり、露光後の塗膜の耐湿性が悪く現像時に膜減りが生じ、解像度が大きく劣ることがある。一方、重量平均分子量が150,000を超えると、現像性が著しく悪くなることがあり、貯蔵安定性が劣ることがある。   The weight-average molecular weight of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) varies depending on the resin skeleton, but is generally in the range of 2,000 to 150,000, more preferably 5,000 to 100,000. preferable. When the weight average molecular weight is less than 2,000, the tack-free performance may be inferior, the moisture resistance of the coated film after exposure may be poor, and the film may be reduced during development, and the resolution may be greatly inferior. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may be remarkably deteriorated, and storage stability may be inferior.

このようなカルボン酸含有感光性樹脂(A)の配合率は、樹脂組成物の全質量に対し好ましくは20〜60質量であり、より好ましくは30〜50質量%である。上記範囲より少ない場合、塗膜強度が低下することがあるので好ましくない。一方、上記範囲より多い場合、粘性が高くなったり、塗布性等が低下することがあるので好ましくない。   The blending ratio of such a carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) is preferably 20 to 60 mass%, more preferably 30 to 50 mass%, based on the total mass of the resin composition. When the amount is less than the above range, the coating film strength may decrease, which is not preferable. On the other hand, when the amount is larger than the above range, the viscosity may be increased or the coating property may be deteriorated.

本発明においては、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)に加え、更に公知慣用のカルボン酸樹脂、特に好ましくは感光性カルボン酸樹脂を加えることができる。   In the present invention, in addition to the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A), a known and commonly used carboxylic acid resin, particularly preferably a photosensitive carboxylic acid resin, can be added.

次に、光重合開始剤(B)について説明する。
光重合開始剤(B)としては、下記一般式(II)で表される構造を含むオキシムエステル系光重合開始剤(B−1)、下記一般式(III)で表される構造を含むα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤(B−2)、および下記一般式(IV)で表される構造を含むアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(B−3)からなる群から選択される1種、又は2種以上の光重合開始剤を使用することが好ましい。

Figure 2009116111
Next, the photopolymerization initiator (B) will be described.
As a photoinitiator (B), the oxime ester type photoinitiator (B-1) containing the structure represented by the following general formula (II), the structure represented by the following general formula (III) (alpha) 1 type selected from the group consisting of an aminoacetophenone photopolymerization initiator (B-2) and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (B-3) containing a structure represented by the following general formula (IV) Or two or more photopolymerization initiators are preferably used.
Figure 2009116111

一般式(II)〜(IV)中、Rは、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
は、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
およびRは、それぞれ独立に、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
およびRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表し、またはRおよびRは結合して環状アルキルエーテル基を形成してもよく、
およびRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、アルコキシ基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基(ハロゲン原子、アルキル基、若しくはアルコキシ基で置換されていてもよい)、またはR−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表す。但し、RおよびRの双方がR−C(=O)−基である場合を除く。
In General Formulas (II) to (IV), R 1 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom), or 1 to 20 carbon atoms. A linear, branched or cyclic alkyl group (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), 5 to 5 carbon atoms An cycloalkyl group having 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 2 is a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (one Which may be substituted with the above hydroxyl groups and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or Represents a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 3 and R 4 each independently represents a linear, branched or cyclic alkyl group or arylalkyl group having 1 to 12 carbon atoms,
R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or R 5 and R 6 are bonded to form a cyclic alkyl ether group. You may,
R 7 and R 8 are each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl group (halogen atom, alkyl group, or alkoxy group). Or an R—C (═O) — group (where R is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms). However, the case where both R 7 and R 8 are R—C (═O) — groups is excluded.

前記一般式(II)で表される構造を含むオキシムエステル系光重合開始剤(B−1)としては、好ましくは、下記式(V)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン:

Figure 2009116111
As the oxime ester photopolymerization initiator (B-1) having a structure represented by the general formula (II), 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthene represented by the following formula (V) is preferable. -9-On:
Figure 2009116111

下記一般式(VI)で表される化合物:

Figure 2009116111
Compounds represented by the following general formula (VI):
Figure 2009116111

(式中、
は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(アルコキシル基を構成するアルキル基の炭素数が2以上の場合、アルキル基は1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、またはフェノキシカルボニル基を表し、
10、R12は、それぞれ独立に、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
11は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表す。);及び
下記一般式(VII)で表される化合物:

Figure 2009116111
(Where
R 9 is a hydrogen atom, a halogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a phenyl group, a benzyl group, a benzoyl group, or an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms. Group, an alkoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms (when the alkyl group constituting the alkoxyl group has 2 or more carbon atoms, the alkyl group may be substituted with one or more hydroxyl groups, and 1 in the middle of the alkyl chain) Which may have more than one oxygen atom), or a phenoxycarbonyl group,
R 10 and R 12 are each independently a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), a linear or branched chain having 1 to 20 carbon atoms, or A cyclic alkyl group (which may be substituted with one or more hydroxyl groups and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, a carbon number Represents an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 11 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. (It may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a C5-C8 cycloalkyl group, a C2-C20 An alkanoyl group or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group) is represented. And a compound represented by the following general formula (VII):
Figure 2009116111

(式中、
13、R14及びR19は、それぞれ独立に、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表し、
15、R16、R17およびR18は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表し、
Mは、O、S又はNHを表し、
m及びnは、それぞれ独立に、0〜5の整数を表す。)
が挙げられる。
(Where
R 13 , R 14 and R 19 each independently represent a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms,
R 15 , R 16 , R 17 and R 18 each independently represents a hydrogen atom or a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms,
M represents O, S or NH;
m and n each independently represents an integer of 0 to 5. )
Is mentioned.

中でも、式(V)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、および式(VI)で表される化合物がより好ましい。市販品としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のCGI−325、イルガキュアー OXE01、イルガキュアー OXE02等が挙げられる。これらのオキシムエステル系光重合開始剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Among these, 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthen-9-one represented by formula (V) and a compound represented by formula (VI) are more preferable. Examples of commercially available products include CGI-325, Irgacure OXE01, and Irgacure OXE02 manufactured by Ciba Specialty Chemicals. These oxime ester photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

一般式(III)で表される構造を含むα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアー907、イルガキュアー369、イルガキュアー379などが挙げられる。   Examples of the α-aminoacetophenone photopolymerization initiator having a structure represented by the general formula (III) include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1,2-benzyl 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) Phenyl] -1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

一般式(IV)で表される構造を含むアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−
ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなど
が挙げられる。市販品としては、BASF社製のルシリンTPO、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアー819などが挙げられる。
Acylphosphine oxide photopolymerization initiators having a structure represented by the general formula (IV) include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide. Bis (2,6-
And dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide. Examples of commercially available products include Lucilin TPO manufactured by BASF and Irgacure 819 manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

このような光重合開始剤(B)の配合率は、前記カルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは0.01〜30質量部、より好ましくは0.5〜15質量部の範囲から選ぶことができる。0.01質量部未満であると、銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離したり、耐薬品性等の塗膜特性が低下するので好ましくない。一方、30質量部を超えると、光重合開始剤(B)のソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向があるために好ましくない。   The blending ratio of such a photopolymerization initiator (B) is preferably 0.01 to 30 parts by mass, more preferably 0.5 to 15 parts with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). It can be selected from the range of parts by mass. If it is less than 0.01 parts by mass, the photocurability on copper is insufficient, and the coating film is peeled off or the coating film properties such as chemical resistance are deteriorated. On the other hand, if it exceeds 30 parts by mass, light absorption on the surface of the solder resist coating film of the photopolymerization initiator (B) becomes violent and the deep curability tends to decrease, which is not preferable.

なお、前記式(II)で表される構造を含むオキシムエステル系光重合開始剤の場合、その配合率は、前記カルボン酸含有樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは0.01〜20質量部、より好ましくは0.01〜5質量部の範囲から選ぶことが望ましい。   In the case of the oxime ester photopolymerization initiator including the structure represented by the formula (II), the blending ratio is preferably 0.01 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing resin (A). It is desirable to select from 20 parts by mass, more preferably from 0.01 to 5 parts by mass.

本発明の組成物には、上述した化合物以外の光重合開始剤や、光重合開始助剤及び増感剤を使用することができ、例えば、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、キサントン化合物、および3級アミン化合物等を挙げることができる。   In the composition of the present invention, photopolymerization initiators other than the above-mentioned compounds, photopolymerization initiation assistants, and sensitizers can be used, for example, benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketals. Examples thereof include compounds, benzophenone compounds, xanthone compounds, and tertiary amine compounds.

ベンゾイン化合物の具体例を挙げると、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルである。
アセトフェノン化合物の具体例を挙げると、例えば、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンである。
Specific examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.
Specific examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, and 1,1-dichloroacetophenone.

アントラキノン化合物の具体例を挙げると、例えば、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンである。   Specific examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, and 1-chloroanthraquinone.

チオキサントン化合物の具体例を挙げると、例えば、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンである。   Specific examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone.

ケタール化合物の具体例を挙げると、例えば、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールである。   Specific examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.

ベンゾフェノン化合物の具体例を挙げると、例えば、ベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドである。   Specific examples of the benzophenone compound include, for example, benzophenone, 4-benzoyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-ethyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-propyldiphenyl. Sulfide.

3級アミン化合物の具体例を挙げると、例えば、エタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)等のジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアーEPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol 507)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)である。   Specific examples of the tertiary amine compound include, for example, an ethanolamine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure, such as 4,4′-dimethylaminobenzophenone (Nisso Cure MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), 4,4′-diethylamino. Dialkylamino benzophenone such as benzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co.), and dialkylamino groups such as 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin) Containing coumarin compound, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (Kayacure EPA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure DMB manufactured by International Bio-Synthetics), 4-dimethylaminobenzoic acid ( -Butoxy) ethyl (Quantacure BEA, manufactured by International Bio-Synthetics), p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ethyl ester (Kayacure DMBI, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate (manufactured by Van Dyk) Esolol 507), 4,4′-diethylaminobenzophenone (EAB manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.).

上記した中でも、チオキサントン化合物および3級アミン化合物が好ましい。チオキサントン化合物が含まれることは、深部硬化性の面から好ましく、中でも、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン化合物が好ましい。   Of the above, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. The inclusion of a thioxanthone compound is preferable from the viewpoint of deep curable properties, and among these, thioxanthone compounds such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone are preferable.

このようなチオキサントン化合物の配合率としては、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは20質量部以下、より好ましくは10質量部以下である。チオキサントン化合物の配合率が多すぎると、厚膜硬化性が低下して、製品のコストアップに繋がるので、好ましくない。   The compounding ratio of such a thioxanthone compound is preferably 20 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). If the mixing ratio of the thioxanthone compound is too large, the thick film curability is lowered and the cost of the product is increased, which is not preferable.

3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物が特に好ましい。ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジスト膜を提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。   As the tertiary amine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound and a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm are particularly preferable. As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is preferable because of its low toxicity. The dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm has a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region, so that it is less colored and uses a colored pigment as well as a colorless and transparent photosensitive composition. A colored solder resist film reflecting the color can be provided. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.

このような3級アミン化合物の配合率としては、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.1〜10質量部である。3級アミン化合物の配合率が0.1質量部未満であると、十分な増感効果を得ることができない傾向にある。20質量部を超えると、3級アミン化合物による乾燥ソルダーレジスト塗膜の表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。   As a compounding ratio of such a tertiary amine compound, it is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). It is. When the mixing ratio of the tertiary amine compound is less than 0.1 parts by mass, a sufficient sensitizing effect tends not to be obtained. When the amount exceeds 20 parts by mass, light absorption on the surface of the dried solder resist coating film by the tertiary amine compound becomes intense, and the deep curability tends to decrease.

これらの光重合開始剤、光重合開始助剤および増感剤は、単独で又は2種類以上の混合物として使用することができる。   These photopolymerization initiators, photopolymerization initiation assistants, and sensitizers can be used alone or as a mixture of two or more.

このような光重合開始剤(B)、光重合開始助剤、および増感剤の総量は、前記カルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して35質量部以下となる範囲であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。   The total amount of such photopolymerization initiator (B), photopolymerization initiation assistant, and sensitizer is in a range of 35 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). It is preferable. When it exceeds 35 parts by mass, the deep curability tends to decrease due to light absorption.

次に、分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(C)について説明する。   Next, the compound (C) having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule will be described.

本発明の光硬化性樹脂組成物に用いられる分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(C)は、活性エネルギー線照射により、光硬化して、前記エチレン性不飽和基含有カルボン酸含有感光性樹脂(A)を、アルカリ水溶液に不溶化、又は不溶化を助けるものである。このような化合物としては、エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;及びメラミンアクリレート、及び/又は上記アクリレートに対応する各メタクリレート類などが挙げられる。   The compound (C) having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule used in the photocurable resin composition of the present invention is photocured by irradiation with active energy rays and contains the ethylenically unsaturated groups. The carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) is insolubilized or assists insolubilization in an alkaline aqueous solution. Examples of such compounds include glycol diacrylates such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate, and the like. Polyhydric alcohols or polyvalent acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts; phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and polyvalent acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols Glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglyceride Jill ethers, polyvalent acrylates of glycidyl ethers such as triglycidyl isocyanurate; and melamine acrylate, and / or the like each methacrylates corresponding to the acrylates.

さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などが挙げられる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。   Further, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, and further, a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. Examples thereof include an epoxy urethane acrylate compound obtained by reacting a half urethane compound. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.

このような分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(C)の配合率は、前記カルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは1〜100質量部、より好ましくは5〜70質量部の割合である。前記配合率が1質量部未満の場合、光硬化性が低下し、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像によるパターン形成が困難となるので好ましくない。一方、100質量部を超える場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が低下して塗膜が脆くなる傾向があるので好ましくない。   The compounding ratio of the compound (C) having two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). The ratio is more preferably 5 to 70 parts by mass. When the blending ratio is less than 1 part by mass, the photocurability is lowered, and pattern formation by alkali development after irradiation with active energy rays becomes difficult, which is not preferable. On the other hand, when it exceeds 100 mass parts, since the solubility with respect to aqueous alkali solution falls and a coating film tends to become weak, it is unpreferable.

次に、熱硬化性成分(D)について説明する。
本発明の光硬化性樹脂組成物には、耐熱性を付与するために、熱硬化性成分(D)を加えることができる。特に好ましいのは分子中に2個以上の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化性成分(D)である。
Next, the thermosetting component (D) will be described.
A thermosetting component (D) can be added to the photocurable resin composition of the present invention in order to impart heat resistance. Particularly preferred is a thermosetting component (D) having two or more cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in the molecule.

このような分子中に2個以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分(D)としては、分子中に3、4または5員環の環状エーテル基、又は環状チオエーテル基のいずれか一方又は2種類の基を2個以上有する化合物を挙げることができ、例えば、分子内に少なくとも2つ以上のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物(D−1)、分子内に少なくとも2つ以上のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物(D−2)、分子内に2個以上の環状チオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド化合物(D−3)などが挙げられる。   As the thermosetting component (D) having two or more cyclic (thio) ether groups in such a molecule, either a three-, four- or five-membered cyclic ether group or a cyclic thioether group is included in the molecule. Examples thereof include compounds having two or more groups of one or two types. For example, a compound having at least two epoxy groups in the molecule, that is, a polyfunctional epoxy compound (D-1), at least 2 in the molecule. Examples thereof include a compound having two or more oxetanyl groups, that is, a polyfunctional oxetane compound (D-2), a compound having two or more cyclic thioether groups in the molecule, that is, an episulfide compound (D-3).

前記多官能エポキシ化合物(D−1)としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製のエピコート828、エピコート834、エピコート1001、エピコート1004、大日本インキ化学工業社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、東都化成社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社のアラルダイド6071、アラルダイド6084、アラルダイドGY250、アラルダイドGY260、住友化学工業社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成工業社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(何れも商品名)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコートYL903、大日本インキ化学工業社製のエピクロン152、エピクロン165、東都化成社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイド8011、住友化学工業社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成工業社製のA.E.R.711、A.E.R.714等(何れも商品名)のブロム化エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコート152、エピコート154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、大日本インキ化学工業社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、東都化成社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドECN1235、アラルダイドECN1273、アラルダイドECN1299、アラルダイドXPY307、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、住友化学工業社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成工業社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299等(何れも商品名)のノボラック型エポキシ樹脂;大日本インキ化学工業社製のエピクロン830、ジャパンエポキシレジン社製エピコート807、東都化成社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドXPY306等(何れも商品名)のビスフェノールF型エポキシ樹脂;東都化成社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(商品名)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコート604、東都化成社製のエポトートYH−434、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドMY720、住友化学工業社製のスミ−エポキシELM−120等(何れも商品名)のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドCY−350(商品名)等のヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドCY175、CY179等(何れも商品名)の脂環式エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−933、ダウケミカル社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等(何れも商品名)のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、旭電化工業社製EPX−30、大日本インキ化学工業社製のEXA−1514(商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコート157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコートYL−931、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイド163等(何れも商品名)のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドPT810、日産化学工業社製のTEPIC等(何れも商品名)の複素環式エポキシ樹脂;日本油脂社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;東都化成社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄化学社製ESN−190、ESN−360、大日本インキ化学工業社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;大日本インキ化学工業社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日本油脂社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体(例えばダイセル化学工業製PB−3600等)、CTBN変性エポキシ樹脂(例えば東都化成社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂又はそれらの混合物が好ましい。   Examples of the polyfunctional epoxy compound (D-1) include, for example, Epicoat 828, Epicoat 834, Epicoat 1001, Epicoat 1004, Epicron 840, Epicron 850, Epicron 1050, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Epicron 2055, Epototo YD-011, YD-013, YD-127, YD-128 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., D.C. E. R. 317, D.E. E. R. 331, D.D. E. R. 661, D.D. E. R. 664, Ciba Specialty Chemicals' Araldide 6071, Araldide 6084, Araldide GY250, Araldide GY260, Sumitomo Chemical Industries Sumi-Epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, Asahi Kasei Corporation A. E. R. 330, A.I. E. R. 331, A.I. E. R. 661, A.I. E. R. Bisphenol A type epoxy resin such as 664 (all trade names); Epicoat YL903 manufactured by Japan Epoxy Resin, Epicron 152, Epicron 165 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Epototo YDB-400, YDB- manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd. 500, D.C. E. R. 542, Araldide 8011 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Sumi-epoxy ESB-400, ESB-700 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and A.D. E. R. 711, A.I. E. R. Brominated epoxy resins such as 714 (all trade names); Epicoat 152 and Epicoat 154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., D.C. E. N. 431, D.D. E. N. 438, Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865, Etototo YDCN-701, YDCN-704 from Toto Kasei Co., Ltd., Araldide ECN1235 from Ciba Specialty Chemicals, Araldide ECN1273, Araldide ECN1299, Araldide XPY307, EPPN-201, EOCN-1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Sumi-epoxy ESCN-195X, ESCN- manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. 220, manufactured by Asahi Kasei Corporation. E. R. Novolak type epoxy resins such as ECN-235, ECN-299, etc. (both trade names); Epicron 830 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Epicoat 807 manufactured by Japan Epoxy Resin, Epototo YDF-170 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., YDF -175, YDF-2004, bisphenol F type epoxy resin such as Araldide XPY306 manufactured by Ciba Specialty Chemicals (all trade names); Epotot ST-2004, ST-2007, ST-3000 manufactured by Toto Kasei Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, such as Epicoat 604 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epotot YH-434 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., Araldide MY720 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., and Sumitomo Chemical Industries Epoxy ELM-120 etc. All are trade names) glycidylamine type epoxy resin; Hydantoin type epoxy resins such as Araldide CY-350 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals; Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ciba Specialty Chemicals Alicyclic epoxy resins such as Araldide CY175, CY179, etc. (both trade names) manufactured by YL-933 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. E. N. , EPPN-501, EPPN-502, etc. (all trade names) trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; Japan Epoxy Resin YL-6056, YX-4000, YL-6121 (all trade names), etc. Xylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type such as EBPS-200 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EPX-30 manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd., EXA-1514 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Epoxy resin; Bisphenol A novolac type epoxy resin such as Epicoat 157S (trade name) manufactured by Japan Epoxy Resin; Epicoat YL-931 manufactured by Japan Epoxy Resin, Araldide 163 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, etc. Name) Tetraphenylolethane type Poxy resin; Araldide PT810 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, TEPIC manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. (both trade names); diglycidyl phthalate resin such as Bremer DGT manufactured by Nippon Oil &Fats; Tetraglycidylxylenoylethane resin such as ZX-1063 manufactured by Nippon Steel; ESN-190 and ESN-360 manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Naphthalene groups such as HP-4032, EXA-4750 and EXA-4700 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Epoxy resin; Epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton such as HP-7200 and HP-7200H manufactured by Dainippon Ink &Chemicals; Glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin such as CP-50S and CP-50M manufactured by Nippon Oil &Fats; In addition, cyclohexylmaleimide and glycidyl Methacrylate copolymerized epoxy resins; epoxy-modified polybutadiene rubber derivatives (for example, PB-3600 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), CTBN-modified epoxy resins (for example, YR-102, YR-450 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), etc. However, it is not limited to these. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, a novolac type epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin or a mixture thereof is particularly preferable.

前記多官能オキセタン化合物(D−2)としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compound (D-2) include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-Methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3- In addition to polyfunctional oxetanes such as ethyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane Alcohol and novolak resin, poly (p-hydroxystyrene), cardo type Scan phenols, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

前記エピスルフィド化合物(D−3)としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製のビスフェノールA型エピスルフィド樹脂 YL7000などが挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。   Examples of the episulfide compound (D-3) include bisphenol A type episulfide resin YL7000 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Moreover, episulfide resin etc. which replaced the oxygen atom of the epoxy group of the novolak-type epoxy resin with the sulfur atom using the same synthesis method can be used.

前記分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分(D)の配合率は、前記カルボン酸含有感光性樹脂(A)のカルボキシル基1当量に対して、好ましくは0.6〜2.5当量、より好ましくは、0.8〜2.0当量となる範囲である。分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分(D)の配合率が0.6当量未満である場合、ソルダーレジスト膜にカルボキシル基が残る原因となり、その場合には耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性などが低下するので好ましくない。一方、2.5当量を超える場合、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存することにより、塗膜の強度などが低下する場合があるので好ましくない。   The blending ratio of the thermosetting component (D) having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule is preferably 0 with respect to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). .6 to 2.5 equivalents, and more preferably 0.8 to 2.0 equivalents. When the blending ratio of the thermosetting component (D) having two or more cyclic (thio) ether groups in the molecule is less than 0.6 equivalent, it causes a carboxyl group to remain in the solder resist film. It is not preferable because heat resistance, alkali resistance, electrical insulation and the like are lowered. On the other hand, when the amount exceeds 2.5 equivalents, the low molecular weight cyclic (thio) ether group remains in the dry coating film, which is not preferable because the strength of the coating film may decrease.

本願発明の光硬化性樹脂組成物に熱硬化性成分(D)を使用する場合、熱硬化触媒を併用することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物など、また市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)などが挙げられる。ただし、特にこれらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基及び/又はオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化触媒と併用する。   When using a thermosetting component (D) for the photocurable resin composition of this invention, it is preferable to use a thermosetting catalyst together. Examples of such thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. Imidazole derivatives such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and those that are commercially available ,example 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., U-CAT3503N, U-CAT3502T (both dimethylamine block isocyanate compounds manufactured by San Apro) Product names), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (both bicyclic amidine compounds and salts thereof), and the like. However, it is not particularly limited to these, as long as it is a thermosetting catalyst for an epoxy resin or an oxetane compound, or an epoxy group and / or an oxetanyl group and a carboxyl group, and may be used alone or in combination of two or more. You may mix and use. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with the thermosetting catalyst.

これら熱硬化触媒の配合率は、通常の量的割合で充分であり、例えばカルボン酸含有感光性樹脂(A)または熱硬化性成分(D)100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。   The blending ratio of these thermosetting catalysts is sufficient at a normal quantitative ratio, and for example, preferably 0.1 to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) or thermosetting component (D). It is 20 mass parts, More preferably, it is 0.5-15.0 mass parts.

次に、本発明の光硬化性樹脂組成物において用いることができる着色剤(E)について説明する。
本発明の光硬化性樹脂組成物には、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄、黒などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンおよびアゾ化合物を含有しないことが好ましい。
Next, the colorant (E) that can be used in the photocurable resin composition of the present invention will be described.
A coloring agent can be mix | blended with the photocurable resin composition of this invention. As the colorant, conventionally known colorants such as red, blue, green, yellow and black can be used, and any of pigments, dyes and dyes may be used. However, it is preferable not to contain a halogen and an azo compound from the viewpoint of reducing environmental burden and affecting the human body.

青色着色剤:
青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる:Pigment Blue 15、Pigment Blue 15:1、Pigment Blue 15:2、Pigment Blue 15:3、Pigment Blue 15:4、Pigment Blue 15:6、Pigment Blue 16、Pigment Blue 60。
Blue colorant:
Blue colorants include phthalocyanine-based and anthraquinone-based compounds, and pigment-based compounds classified as Pigment, specifically, the following color index (CI; The Society of Dyers and Colorists) (Issued by The Society of Dyers and Colorists) can be listed with numbers: Pigment Blue 15, Pigment Blue 15: 1, Pigment Blue 15: 2, Pigment Blue 15: 3, Pigment Blue 15: 4 , Pigment Blue 15: 6, Pigment Blue 16, Pigment Blue 60.

染料系としては、Solvent Blue 35、Solvent Blue 63、Solvent Blue 68、Solvent Blue 70、Solvent Blue 83、Solvent Blue 87、Solvent Blue 94、Solvent Blue 97、Solvent Blue 122、Solvent Blue 136、Solvent Blue 67、Solvent Blue 70等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。   The dye systems include Solvent Blue 35, Solvent Blue 63, Solvent Blue 68, Solvent Blue 70, Solvent Blue 83, Solvent Blue 87, Solvent Blue 94, Solvent Blue 97, Solvent Blue 122, Solvent Blue 136, Solvent Blue 67, Solvent Blue 70 etc. can be used. In addition to the above, a metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compound can also be used.

緑色着色剤:
緑色着色剤としては、同様にフタロシアニン系、アントラキノン系があり、具体的にはPigment Green 7、Pigment Green 36、Solvent Green 3、Solvent Green 5、Solvent Green 20、Solvent Green 28等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
Green colorant:
Similarly, as the green colorant, there are phthalocyanine type and anthraquinone type, and specifically, Pigment Green 7, Pigment Green 36, Solvent Green 3, Solvent Green 5, Solvent Green 20, Solvent Green 28, etc. can be used. . In addition to the above, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used.

黄色着色剤:
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等があり、具体的には以下のものが挙げられる。
Yellow colorant:
Examples of yellow colorants include monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, anthraquinone, and the like.

アントラキノン系:Solvent Yellow 163、Pigment Yellow 24、Pigment Yellow 108、Pigment Yellow 193、Pigment Yellow 147、Pigment Yellow 199、Pigment Yellow 202。   Anthraquinone series: Solvent Yellow 163, Pigment Yellow 24, Pigment Yellow 108, Pigment Yellow 193, Pigment Yellow 147, Pigment Yellow 199, Pigment Yellow 202.

イソインドリノン系:Pigment Yellow 110、Pigment Yellow 109、Pigment Yellow 139、Pigment Yellow 179、Pigment Yellow 185。   Isoindolinone type: Pigment Yellow 110, Pigment Yellow 109, Pigment Yellow 139, Pigment Yellow 179, Pigment Yellow 185.

縮合アゾ系:Pigment Yellow 93、Pigment Yellow 94、Pigment Yellow 95、Pigment Yellow 128、Pigment Yellow 155、Pigment Yellow 166、Pigment Yellow 180。   Condensed azo series: Pigment Yellow 93, Pigment Yellow 94, Pigment Yellow 95, Pigment Yellow 128, Pigment Yellow 155, Pigment Yellow 166, Pigment Yellow 180.

ベンズイミダゾロン系:Pigment Yellow 120、Pigment Yellow 151、Pigment Yellow 154、Pigment Yellow 156、Pigment Yellow 175、Pigment Yellow 181。   Benzimidazolone series: Pigment Yellow 120, Pigment Yellow 151, Pigment Yellow 154, Pigment Yellow 156, Pigment Yellow 175, Pigment Yellow 181.

モノアゾ系:Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62:1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183。   Monoazo: Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62: 1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116 , 167, 168, 169, 182, 183.

ジスアゾ系:Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198。   Disazo: Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198.

赤色着色剤:
赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などがあり、具体的には以下のものが挙げられる。
Red colorant:
Examples of red colorants include monoazo, diazo, azo lake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone, and quinacridone. It is done.

モノアゾ系:Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269。   Monoazo: Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151 , 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269.

ジスアゾ系:Pigment Red 37, 38, 41。   Disazo: Pigment Red 37, 38, 41.

モノアゾレーキ系:Pigment Red 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53:1, 53:2, 57:1, 58:4, 63:1, 63:2, 64:1,68。   Monoazo lakes: Pigment Red 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 53: 2, 57 : 1, 58: 4, 63: 1, 63: 2, 64: 1,68.

ベンズイミダゾロン系:Pigment Red 171、Pigment Red 175、Pigment Red 176、Pigment Red 185、Pigment Red 208。   Benzimidazolone series: Pigment Red 171, Pigment Red 175, Pigment Red 176, Pigment Red 185, Pigment Red 208.

ぺリレン系:Solvent Red 135、Solvent Red 179、Pigment Red 123、Pigment Red 149、Pigment Red 166、Pigment Red 178、Pigment Red 179、Pigment Red 190、Pigment Red 194、Pigment Red 224。   Perylene series: Solvent Red 135, Solvent Red 179, Pigment Red 123, Pigment Red 149, Pigment Red 166, Pigment Red 178, Pigment Red 179, Pigment Red 190, Pigment Red 194, Pigment Red 224.

ジケトピロロピロール系:Pigment Red 254、Pigment Red 255、Pigment Red 264、Pigment Red 270、Pigment Red 272。   Diketopyrrolopyrrole series: Pigment Red 254, Pigment Red 255, Pigment Red 264, Pigment Red 270, Pigment Red 272.

縮合アゾ系:Pigment Red 220、Pigment Red 144、Pigment Red 166、Pigment Red 214、Pigment Red 220、Pigment Red 221、Pigment Red 242。   Condensed azo series: Pigment Red 220, Pigment Red 144, Pigment Red 166, Pigment Red 214, Pigment Red 220, Pigment Red 221 and Pigment Red 242.

アンスラキノン系:Pigment Red 168、Pigment Red 177、Pigment Red 216、Solvent Red 149、Solvent Red 150、Solvent Red 52、Solvent Red 207。   Anthraquinone series: Pigment Red 168, Pigment Red 177, Pigment Red 216, Solvent Red 149, Solvent Red 150, Solvent Red 52, Solvent Red 207.

キナクリドン系:Pigment Red 122、Pigment Red 202、Pigment Red 206、Pigment Red 207、Pigment Red 209。   Kinacridone series: Pigment Red 122, Pigment Red 202, Pigment Red 206, Pigment Red 207, Pigment Red 209.

その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色、黒などの着色剤を加えても良い。   In addition, colorants such as purple, orange, brown, and black may be added for the purpose of adjusting the color tone.

具体的に例示すれば、Pigment Violet 19、23、29、32、36、38、42、Solvent Violet 13、36、C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7等がある。   Specifically, Pigment Violet 19, 23, 29, 32, 36, 38, 42, Solvent Violet 13, 36, CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI CI Pigment Orange 16, CI Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 24, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49, CI CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 63, CI Pigment Orange 64, CI Pigment Orange 71, CI Pigment Orange 73, CI Pigment Brown 23, CI Pigment Brown 25, CI Pigment Rack 1, there is a C.I. Pigment Black 7 and the like.

着色剤の具体的な配合比率は、用いる着色剤の種類や他の添加剤等の種類にも影響されるので一概には言えないが、本発明の感光性樹脂組成物のカルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して0質量部から5質量部配合することが好ましい。より好ましくは0.05質量部から3部で用いることができる特に好ましい着色剤は、青と緑はフタロシアニン系、アントラキノン系、黄はアントラキノン系、赤はジケトピロロピロール系、アントラキノン系で、且つハロゲン原子を含まないものである。また、顔料系の青および緑は耐熱性の観点から好ましく、染料系の青、緑、及び赤色着色剤は感度及び解像性の観点で好ましい。   Although the specific blending ratio of the colorant is influenced by the type of the colorant used and the type of other additives, it cannot be generally stated, but the carboxylic acid-containing photosensitivity of the photosensitive resin composition of the present invention. It is preferable to mix 0 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin (A). More particularly preferred colorants that can be used at 0.05 to 3 parts by weight are blue and green phthalocyanine, anthraquinone, yellow anthraquinone, red diketopyrrolopyrrole, anthraquinone, and It does not contain a halogen atom. Further, pigment-based blue and green are preferable from the viewpoint of heat resistance, and dye-based blue, green, and red colorants are preferable from the viewpoint of sensitivity and resolution.

本発明の光硬化性樹脂組成物は、その塗膜の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。このようなフィラーとしては、公知慣用の無機又は有機フィラーを使用することができるが、特に硫酸バリウム、球状シリカおよびタルクが好ましく用いられる。さらに、1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物や前記多官能エポキシ樹脂(D−1)にナノシリカを分散したHanse−Chemie社製のNANOCRYL(商品名) XP 0396、XP 0596、XP 0733、XP 0746、XP 0765、XP 0768、XP 0953、XP 0954、XP 1045(何れも製品グレード名)や、Hanse−Chemie社製のNANOPOX(商品名)XP 0516、XP 0525、XP 0314(何れも製品グレード名)なども使用できる。これらを単独で又は2種以上配合して使用することができる。   The photocurable resin composition of the present invention can be blended with a filler as necessary in order to increase the physical strength of the coating film. As such a filler, publicly known and commonly used inorganic or organic fillers can be used, and barium sulfate, spherical silica and talc are particularly preferably used. Furthermore, NANOCRYL (trade name) XP 0396, XP 0596, XP 0733 manufactured by Hanse-Chemie, in which nano silica is dispersed in the compound having one or more ethylenically unsaturated groups or the polyfunctional epoxy resin (D-1), XP 0746, XP 0765, XP 0768, XP 0953, XP 0954, XP 1045 (all product grade names) and NANOOX (trade name) XP 0516, XP 0525, XP 0314 (all product grades) manufactured by Hanse-Chemie Name) etc. can also be used. These may be used alone or in combination of two or more.

これらフィラーの配合率は、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは300質量部以下、より好ましくは0.1〜300質量部、特に好ましくは、0.1〜150質量部である。フィラーの配合率が300質量部を超える場合、感光性組成物の粘度が高くなり印刷性が低下したり、硬化物が脆くなる場合があるので好ましくない。   The blending ratio of these fillers is preferably 300 parts by mass or less, more preferably 0.1 to 300 parts by mass, and particularly preferably 0.1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A). 150 parts by mass. When the blending ratio of the filler exceeds 300 parts by mass, the viscosity of the photosensitive composition is increased, the printability may be lowered, and the cured product may be brittle, which is not preferable.

さらに、本発明の光硬化性樹脂組成物は、上記カルボン酸含有感光性樹脂(A)の合成や組成物の調製のため、又は基板やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。   Further, the photocurable resin composition of the present invention is an organic solvent for the synthesis of the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) and for the preparation of the composition, or for adjusting the viscosity for application to a substrate or carrier film. Can be used.

このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられる。このような有機溶剤は、単独で又は2種以上の混合物として用いられる。   Examples of such organic solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl Glycol ethers such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate , Esters such as propylene glycol butyl ether acetate; ethanol, propano , Ethylene glycol, alcohols such as propylene glycol; octane, aliphatic hydrocarbons decane; petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and petroleum solvents such as solvent naphtha. Such organic solvents are used alone or as a mixture of two or more.

本発明の光硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、t−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の熱重合禁止剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、酸化防止剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。   The photo-curable resin composition of the present invention may further contain, as necessary, known and commonly used thermal polymerization inhibitors such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, t-butylcatechol, pyrogallol, and phenothiazine, finely divided silica, organic bentonite, and montmorillonite. Known and commonly used thickeners, silicone-based, fluorine-based and polymer-based antifoaming agents and / or leveling agents, imidazole-based, thiazole-based, triazole-based silane coupling agents, antioxidants, rust inhibitors, etc. The known and conventional additives such as can be blended.

本発明の光硬化性樹脂組成物は、例えば前記有機溶剤で塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等により塗布した後、約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることにより、タックフリーの塗膜に形成される。または、本発明の組成物をキャリアフィルム上に塗布し、乾燥させてドライフィルムとし、これを巻き取ったものを基材上に張り合わせることにより、樹脂絶縁層を形成できる。   The photocurable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for a coating method using, for example, the organic solvent, and on a substrate, a dip coating method, a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method. After coating by a curtain coating method or the like, a tack-free coating film is formed by volatile drying (temporary drying) of an organic solvent contained in the composition at a temperature of about 60 to 100 ° C. Alternatively, the resin insulating layer can be formed by applying the composition of the present invention on a carrier film, drying it to obtain a dry film, and laminating the wound film on a substrate.

上記のようにして得られた塗膜、又はキャリアフィルム上の樹脂層(前記「塗膜」と共にこれらを「樹脂層」と称する。)を、活性エネルギー線の照射により露光し、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)を硬化させる。   The coating film obtained as described above, or the resin layer on the carrier film (along with the “coating film”, these are referred to as “resin layer”) is exposed by irradiation with active energy rays, and an exposed portion (active The portion irradiated by the energy rays is cured.

具体的には、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光、もしくはレーザーダイレクト露光機等を用い活性エネルギー線の直接描画によりパターン露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば0.3〜3%炭酸ソーダ水溶液)により現像してレジストパターンが形成される。さらに、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、前記カルボン酸含有樹脂(A)のカルボキシル基と、分子中に2個以上の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基を有する熱硬化性成分が反応し、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性などの諸特性に優れた硬化塗膜を形成することができる。   Specifically, contact exposure (or non-contact method), exposure with active energy rays selectively through a photomask on which a pattern is formed, or pattern exposure by direct drawing of active energy rays using a laser direct exposure machine or the like, The unexposed portion is developed with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3% sodium carbonate aqueous solution) to form a resist pattern. Furthermore, for example, by heating to a temperature of about 140 to 180 ° C. and thermosetting, the carboxyl group of the carboxylic acid-containing resin (A) and two or more cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups in the molecule are obtained. The thermosetting component which it has reacts and can form the cured coating film excellent in various characteristics, such as heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesiveness, and an electrical property.

上記基材としては、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素・ポリエチレン・PPO・シアネートエステル等を用いた高周波回路用銅張積層版等の材質を用いたもので全てのグレード(FR−4等)の銅張積層版、その他ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。   High frequency circuit using paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, glass cloth / paper epoxy, synthetic fiber epoxy, fluorine / polyethylene / PPO / cyanate ester, etc. Examples include materials such as copper clad laminates, and copper graded laminates of all grades (FR-4, etc.), other polyimide films, PET films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like.

本発明の光硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥としては、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブンなど(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。   The volatile drying performed after the application of the photocurable resin composition of the present invention includes a hot air circulation drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, etc. And a method of spraying the hot air against the support from a nozzle).

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、紫外線照射装置、及び直接描画装置(コンピューターからのCADデータにより直接活性エネルギー線照射で画像を描くダイレクトイメージング装置)を用いることができる。活性エネルギー線としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光、あるいは水銀蒸気の放電によって発光する光源、例えばショートアークランプや(超)高圧水銀灯を用いていればよく、レーザーの種類はガスレーザー、固体レーザーどちらでもよい。また、その露光量は膜厚等によって異なるが、一般には5〜200mJ/cm、好ましくは5〜100mJ/cm、さらに好ましくは5〜50mJ/cmの範囲内とすることができる。上記直接描画装置としては、例えば日本オルボテック社製、日立ビアメカニクス社製、富士フイルム社製、大日本スクリーン製造性、ORC製作所製等のものを使用することができ、最大波長が350〜410nmのレーザー光を発振する、あるいは水銀蒸気の放電によって発光する光源、例えばショートアークランプや(超)高圧水銀灯を用いた装置であればいずれの装置を用いてもよい。 As the exposure apparatus used for the active energy ray irradiation, an ultraviolet irradiation device and a direct drawing device (a direct imaging device that draws an image by direct active energy ray irradiation using CAD data from a computer) can be used. As the active energy ray, a laser beam having a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm, or a light source that emits light by discharge of mercury vapor, for example, a short arc lamp or a (super) high pressure mercury lamp may be used. Either gas laser or solid state laser may be used. Further, the exposure amount varies depending the thickness or the like, typically 5 to 200 mJ / cm 2, preferably from 5 to 100 mJ / cm 2, more preferably be in the range of 5~50mJ / cm 2. As the direct drawing apparatus, for example, those manufactured by Nippon Orbotech, Hitachi Via Mechanics, Fujifilm, Dainippon Screen Manufacturability, ORC Manufacturing, etc. can be used, and the maximum wavelength is 350 to 410 nm. Any device may be used as long as the device uses a light source that oscillates laser light or emits light by discharge of mercury vapor, for example, a short arc lamp or a (super) high pressure mercury lamp.

前記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。 The developing method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method or the like, and as a developer, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.

以下に実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではないことはもとよりである。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

<カルボン酸含有感光性樹脂の合成>
樹脂合成例1:4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルの構造を有するカルボン酸含有感光性樹脂(ワニス(A−1))の合成例
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、ジエレングリコールモノエチルエーテルアセテート197 g にオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EPICLON N− 695」214 g(グリシジル基数(芳香環総数): 1.0モル) 、アクリル酸72g (1.0モル) 、及びハイドロキノン0.29gを仕込み、攪拌しながら100℃に攪拌し、均一な溶液を得た。次いで、トリフェニルホスフィン0.86g を仕込み、110 ℃ に加熱して2 時間反応させた後、更にトリフェニルホスフィン0.23gを加え、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液にソルベッソ150 197g 、テトラヒドロ無水フタル酸144g(0.95モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行った。さらに、得られた反応液に4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル40.05g (0.2モル)およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテート45.9gを加え、撹拌しつつ110℃まで加熱し、110℃を保ったまま6時間反応を続けた。この反応生成物を室温まで冷却したところ、粘調な溶液が得られた。このようにして、不揮発分52質量%、固形分酸価90mgKOH/gのカルボン酸含有感光性樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボン酸含有感光性樹脂の溶液を、ワニス(A−1)と称す。
<Synthesis of carboxylic acid-containing photosensitive resin>
Resin synthesis example 1: Synthesis example of carboxylic acid-containing photosensitive resin (varnish (A-1)) having a structure of 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether A stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel, and nitrogen introduction pipe In a 2 liter separable flask, 197 g of diene glycol monoethyl ether acetate and 214 g of orthocresol novolac type epoxy resin “EPICLON N-695” (number of glycidyl groups (total number of aromatic rings): 1.0 mol), acrylic acid 72 g (1.0 mol) and 0.29 g of hydroquinone were charged and stirred at 100 ° C. with stirring to obtain a uniform solution. Next, 0.86 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110 ° C. and reacted for 2 hours, further 0.23 g of triphenylphosphine was added, the temperature was raised to 120 ° C., and the reaction was further performed for 12 hours. The obtained reaction solution was charged with 197 g of Solvesso 150 and 144 g (0.95 mol) of tetrahydrophthalic anhydride, and reacted at 110 ° C. for 4 hours. Furthermore, 40.05 g (0.2 mol) of 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether and 45.9 g of propylene glycol methyl ether acetate were added to the resulting reaction solution, and the mixture was heated to 110 ° C. with stirring, and kept at 110 ° C. for 6 hours. The reaction continued. When the reaction product was cooled to room temperature, a viscous solution was obtained. In this way, a solution of a carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) having a nonvolatile content of 52% by mass and a solid content acid value of 90 mgKOH / g was obtained. Hereinafter, this carboxylic acid-containing photosensitive resin solution is referred to as varnish (A-1).

比較合成例1 (ワニス(R−1))
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート700gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔大日本インキ化学工業株式会社製、EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6〕1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、及びハイドロキノン1.5gを仕込み、攪拌しながら100℃に加熱し、均一な溶液を得た。次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、更にトリフェニルホスフィン1.6gを追加し、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)562g、テトラヒドロ無水フタル酸684g(4.5モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行った。さらに、得られた反応液にグリシジルメタクリレート142.0g(1.0モル)を仕込み、115℃で4時間反応を行い、固形分酸価87mgKOH/g、固形分65%の樹脂溶液を得た。これをワニス(R−1)とする。
Comparative Synthesis Example 1 (Varnish (R-1))
700 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate and 1070 g of orthocresol novolac type epoxy resin (Dainippon Ink & Chemicals, EPICLON N-695, softening point 95 ° C., epoxy equivalent 214, average functional group number 7.6) (number of glycidyl groups (fragrance) Total number of rings): 5.0 mol), 360 g of acrylic acid (5.0 mol), and 1.5 g of hydroquinone were charged and heated to 100 ° C. with stirring to obtain a uniform solution. Next, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110 ° C. and reacted for 2 hours, and further 1.6 g of triphenylphosphine was added, and the temperature was raised to 120 ° C. and reacted for another 12 hours. To the obtained reaction solution, 562 g of aromatic hydrocarbon (Sorvesso 150) and 684 g (4.5 mol) of tetrahydrophthalic anhydride were charged and reacted at 110 ° C. for 4 hours. Furthermore, 142.0 g (1.0 mol) of glycidyl methacrylate was added to the obtained reaction solution and reacted at 115 ° C. for 4 hours to obtain a resin solution having a solid content acid value of 87 mgKOH / g and a solid content of 65%. This is called varnish (R-1).

比較合成例2 (ワニス(R−2))
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート685gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔大日本インキ化学工業株式会社製、EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6〕1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、及びハイドロキノン1.5gを仕込み、攪拌しながら100℃に加熱し、均一な溶液を得た。次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、更にトリフェニルホスフィン1.6gを追加し、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)535g、テトラヒドロ無水フタル酸684g(4.5モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行った。さらに、得られた反応液にグリシジルメタクリレート71.0g(0.5モル)を仕込み、115℃で4時間反応を行い、固形分酸価103mgKOH/g、固形分65%の樹脂溶液を得た。これをワニス(R−2)とする。
Comparative Synthesis Example 2 (Varnish (R-2))
1070 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate and orthocresol novolak type epoxy resin (Dainippon Ink & Chemicals, EPICLON N-695, softening point 95 ° C., epoxy equivalent 214, average functional group number 7.6) (glycidyl group number (aromatic Total number of rings): 5.0 mol), 360 g of acrylic acid (5.0 mol), and 1.5 g of hydroquinone were charged and heated to 100 ° C. with stirring to obtain a uniform solution. Next, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110 ° C. and reacted for 2 hours, and further 1.6 g of triphenylphosphine was added, and the temperature was raised to 120 ° C. and reacted for another 12 hours. To the obtained reaction solution, 535 g of aromatic hydrocarbon (Sorvesso 150) and 684 g (4.5 mol) of tetrahydrophthalic anhydride were charged and reacted at 110 ° C. for 4 hours. Furthermore, 71.0 g (0.5 mol) of glycidyl methacrylate was added to the obtained reaction solution and reacted at 115 ° C. for 4 hours to obtain a resin solution having a solid content acid value of 103 mgKOH / g and a solid content of 65%. This is called varnish (R-2).

比較合成例3(ワニス(R−3))
攪拌機、温度計、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えた2リットルのセパラブルフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EOCN−104S、軟化点92℃、エポキシ当量220)660g、カルビトールアセテート 421.3g、及びソルベントナフサ 180.6gを導入し、90℃に加熱・攪拌し、溶解した。次に、一旦60℃まで冷却し、アクリル酸216g、トリフェニルホスフィン 4.0g、メチルハイドロキノン1.3gを加えて、100℃で12時間反応させ、酸価が0.2mgKOH/gの反応生成物を得た。これにテトラヒドロ無水フタル酸 241.7gを仕込み、90℃に加熱し、6時間反応させた。これにより、酸価50mgKOH/g、二重結合当量(不飽和基1モル当りの樹脂のg質量)400、重量平均分子量7,000のカルボン酸含有樹脂(A)の溶液を得た。以下、このカルボン酸含有樹脂の溶液を、ワニス(R−3)と称す。
Comparative Synthesis Example 3 (Varnish (R-3))
To a 2 liter separable flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen introduction tube, a cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN-104S, softening point 92 ° C., epoxy Equivalent 220) 660 g, carbitol acetate 421.3 g, and solvent naphtha 180.6 g were introduced, heated and stirred at 90 ° C., and dissolved. Next, it is once cooled to 60 ° C., 216 g of acrylic acid, 4.0 g of triphenylphosphine and 1.3 g of methylhydroquinone are added and reacted at 100 ° C. for 12 hours, and a reaction product having an acid value of 0.2 mgKOH / g. Got. This was charged with 241.7 g of tetrahydrophthalic anhydride, heated to 90 ° C. and reacted for 6 hours. As a result, a solution of a carboxylic acid-containing resin (A) having an acid value of 50 mg KOH / g, a double bond equivalent (g mass of resin per mole of unsaturated groups) of 400, and a weight average molecular weight of 7,000 was obtained. Hereinafter, this carboxylic acid-containing resin solution is referred to as varnish (R-3).

実施例1
上記合成例の樹脂溶液を用い、表1に示す各種成分を各割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、光硬化性感光性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた光硬化性感光性樹脂組成物の分散度をエリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ15μm以下であった。

Figure 2009116111
Example 1
Using the resin solution of the above synthesis example, various components shown in Table 1 were blended in various proportions (parts by mass), premixed with a stirrer, kneaded with a three-roll mill, and photocurable photosensitive resin composition Was prepared. Here, when the dispersion degree of the obtained photocurable photosensitive resin composition was evaluated by particle size measurement using a grindometer manufactured by Erichsen, it was 15 μm or less.
Figure 2009116111

性能評価
<最適露光量>
調製した上記光硬化性樹脂組成物各々を、銅厚35μmの回路パターン基板上に、当該基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥してからスクリーン印刷法により全面に塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させる。乾燥後、最大波長355nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置(オルボテック社製Paragon8000)、高圧水銀灯を搭載した直接描画露光機(超高圧水銀灯ランプ搭載直描露光機大日本スクリーン社製Marculex)または高圧水銀灯搭載の露光装置(水銀ショートアークランプ搭載ORC社製露光機)を用いてステップタブレット(KodakNo2)を介して露光し、現像(30℃、0.2MPa、1質量%炭酸ナトリウム水溶液)を60秒で行った際残存するステップタブレットのパターンが7段の時を最適露光量とした。
Performance evaluation <Optimum exposure amount>
Each of the prepared photocurable resin compositions is applied to the entire surface of a circuit pattern substrate having a copper thickness of 35 μm after polishing with buffalo, washed with water, dried, and then screen-printed to circulate at 80 ° C. Dry in an oven for 30 minutes. After drying, direct drawing device (Parbot 8000 made by Orbotech) equipped with a semiconductor laser with a maximum wavelength of 355 nm, direct drawing exposure machine equipped with a high-pressure mercury lamp (direct drawing exposure machine equipped with an ultra-high pressure mercury lamp lamp, Marculex made by Dainippon Screen) or high pressure Exposure through a step tablet (Kodak No 2) using an exposure apparatus equipped with a mercury lamp (ORC Co., Ltd. mounted with a mercury short arc lamp), and development (30 ° C., 0.2 MPa, 1 mass% sodium carbonate aqueous solution) for 60 seconds The amount of exposure of the step tablet remaining at the time of 7 was determined as the optimum exposure amount when the pattern was 7 steps.

<指触乾燥性>
調製した上記光硬化性樹脂組成物各々を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で20分乾燥し、室温まで放冷する。この基板にPET製ネガフィルムを当て、ORC社製(HMW680−GW20)で一分間減圧条件下圧着させ、その後ネガフィルムを剥がしたときのフィルムの張り付き状態を評価した。
<Dry touch dryness>
Each of the prepared photocurable resin compositions is applied onto the patterned copper foil substrate by screen printing, dried at 80 ° C. for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. A negative film made of PET was applied to this substrate, and pressure-bonded under reduced pressure with ORC (HMW680-GW20) for 1 minute, and then the sticking state of the film when the negative film was peeled off was evaluated.

○:フィルムは抵抗無く剥がれる。 ○: The film peels without resistance.

△:フィルムは剥がれるが塗膜に跡が少しついている。 (Triangle | delta): Although a film peels, a trace is attached to the coating film.

×:フィルムを剥がすときに抵抗があり、塗膜に跡がはっきりとついている。 X: There is resistance when the film is peeled off, and the coating film has a clear mark.

<最大現像ライフ>
調製した上記光硬化性樹脂組成物各々を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で乾燥する。当該乾燥開始後20分から80分までの間、10分おきに基板を取り出し室温まで放冷する。この基板に30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧2kg/cmの条件で60秒間現像を行い、残渣が残らない最大許容乾燥時間を最大現像ライフとした。
<Maximum development life>
Each prepared said photocurable resin composition is apply | coated whole surface by screen printing on the copper foil board | substrate with which pattern formation was carried out, and it dries at 80 degreeC. From 20 minutes to 80 minutes after the start of the drying, the substrate is taken out every 10 minutes and allowed to cool to room temperature. The substrate was developed with a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. under a spray pressure of 2 kg / cm 2 for 60 seconds, and the maximum allowable drying time in which no residue remained was defined as the maximum development life.

特性試験:
(塗膜特性評価基板の作製)
上記光硬化性樹脂組成物各々を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で20分乾燥し、室温まで放冷する。この基板に最大波長355nmの半導体レーザーを搭載した直接描画装置をもちいて最適露光量でソルダーレジストパターンを露光し、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧2kg/cmの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント基板(評価基板)に対して以下のように特性を評価した。
Characteristic test:
(Preparation of coating film property evaluation board)
Each of the photocurable resin compositions is applied on the entire surface of a patterned copper foil substrate by screen printing, dried at 80 ° C. for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. This substrate is exposed to a solder resist pattern at an optimum exposure amount using a direct writing apparatus equipped with a semiconductor laser having a maximum wavelength of 355 nm, and a 1% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. is applied under a spray pressure of 2 kg / cm 2. Development was performed for 2 seconds to obtain a resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. The characteristics of the obtained printed circuit board (evaluation board) were evaluated as follows.

<はんだ耐熱性>
ロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260℃に設定したはんだ槽に浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ・剥がれについて評価した。判定基準は以下のとおりである。
<Solder heat resistance>
The evaluation board | substrate which apply | coated the rosin-type flux was immersed in the solder tank previously set to 260 degreeC, and after washing | cleaning the flux with denatured alcohol, the swelling / peeling of the resist layer by visual observation was evaluated. The judgment criteria are as follows.

○:10秒間浸漬を3回以上繰り返しても剥がれが認められない。 ○: No peeling is observed even if the immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.

△:10秒間浸漬を3回以上繰り返すと少し剥がれる。 (Triangle | delta): It peels for a while when immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.

×:10秒間浸漬を3回以内にレジスト層に膨れ、剥がれがある。 X: The resist layer swells and peels off within 3 times for 10 seconds.

<耐無電解金めっき性>
市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル0.5μm、金0.03μmの条件でめっきを行い、目視によりレジスト層の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した後、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
<Electroless gold plating resistance>
Using a commercially available electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath, plating is performed under the conditions of nickel 0.5 μm and gold 0.03 μm, and the presence or absence of peeling of the resist layer or penetration of the plating is visually confirmed. After the evaluation, the presence or absence of peeling of the resist layer was evaluated by tape peeling. The judgment criteria are as follows.

:染み込み、剥がれが見られない。 * : No soaking or peeling is observed.

○:めっき後に少し染み込みが確認されるが、テープピール後は剥がれない。 ○: Slight penetration is confirmed after plating, but does not peel off after tape peeling.

△:めっき後にほんの僅かしみ込みが見られ、テープピール後に剥がれも見られる。 Δ: Slight penetration after plating and peeling after tape peel.

×:めっき後に剥がれが有る。 X: There is peeling after plating.

<耐アルカリ性>
評価基板を10vol%NaOH水溶液に室温で30分間浸漬し、染み込みや塗膜の溶け出しを目視にて確認し、さらにテープビールによる剥がれを確認した。
<Alkali resistance>
The evaluation substrate was immersed in a 10 vol% NaOH aqueous solution at room temperature for 30 minutes, and the infiltration and dissolution of the coating film were visually confirmed. Further, peeling by tape beer was confirmed.

○:染み込みや溶け出しが無く、さらにテープピール後に剥がれが確認されない。 ○: There is no penetration or dissolution, and no peeling is confirmed after the tape peel.

△:染み込みや溶け出しが無く、テープピール後、僅かに剥がれが認められる。 (Triangle | delta): There is no bleed-in and melt-out, and a slight peeling is recognized after a tape peel.

×:染み込み溶け出し、もしくはテープピール後に剥がれがある。 X: Permeation and dissolution, or peeling after tape peeling.

<PCT耐性>
評価基板を、PCT装置(エスペック株式会社製 HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて、121℃、飽和、0.2MPaの条件で50時間処理し、塗膜の状態を目視にて確認し、さらにテープピールによる剥がれを確認した。判定基準は以下の通りである。
<PCT resistance>
The evaluation substrate was treated for 50 hours under the conditions of 121 ° C., saturation and 0.2 MPa using a PCT device (HEST SYSTEM TPC-412MD manufactured by ESPEC CORP.), And the state of the coating film was visually confirmed, and further the tape The peeling due to the peel was confirmed. Judgment criteria are as follows.

○:染み込みや溶け出しが無く、さらにテープピール後に剥がれが確認されない。 ○: There is no penetration or dissolution, and no peeling is confirmed after the tape peel.

△:染み込みや溶け出しが無く、テープピール後、僅かに剥がれが認められる。 (Triangle | delta): There is no bleed-in and melt-out, and a slight peeling is recognized after a tape peel.

×:染み込み溶け出し、もしくはテープピール後に剥がれがある。 X: Permeation and dissolution, or peeling after tape peeling.

<PCBT耐性>
銅箔基板に代えてIPC B−25のクシ型電極Bクーポンを用い、上記の条件で評価基板を作製し、このクシ型電極にDC30Vのバイアス電圧を印加し、PCT装置(エスペック株式会社製 HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて、121℃、湿度97%の条件で96時間処理し、変色、マイグレーションの有無を評価した。判定基準は以下の通りである。
<PCBT resistance>
An evaluation board was produced under the above conditions using IPC B-25 comb-type electrode B coupon instead of the copper foil substrate, and a bias voltage of DC 30 V was applied to the comb-type electrode. System TPC-412MD) was used for 96 hours under the conditions of 121 ° C. and 97% humidity, and the presence or absence of discoloration or migration was evaluated. Judgment criteria are as follows.

:変色、マイグレーションが発生していないもの。 * : No discoloration or migration.

○:ほんの僅か変色、マイグレーションが発生しているもの。 ○: Only slight discoloration or migration has occurred.

△:変色、マイグレーションが発生しているもの。 Δ: Discoloration or migration has occurred.

×:変色が著しく、マイグレーションが一方の電極から他の電極まで達しているもの。 X: Discoloration is remarkable and migration reaches from one electrode to the other.

<電気特性>
銅箔基板に代えてIPC B−25のクシ型電極Bクーポンを用い、上記の条件で評価基板を作製し、このクシ型電極にDC100Vのバイアス電圧を印加し、85℃、湿度85%の恒温恒湿槽にて1,000時間後のマイグレーションの有無を確認した。判定基準は以下のとおりである。
<Electrical characteristics>
An evaluation board was produced under the above conditions using IPC B-25 comb electrode B coupon instead of the copper foil substrate, and a bias voltage of DC 100 V was applied to the comb electrode, and a constant temperature of 85 ° C. and humidity 85%. The presence or absence of migration after 1,000 hours was confirmed in a constant humidity bath. The judgment criteria are as follows.

○:全く変化が認められないもの。 ○: No change is observed at all.

△:ほんの僅か変化したもの。 Δ: Slightly changed.

×:マイグレーションが発生しているもの。 ×: Migration has occurred.

<塗膜の色>
硬化物の色を目視にて判断した。
<Color of coating film>
The color of the cured product was judged visually.

結果を表2に示す。

Figure 2009116111
The results are shown in Table 2.
Figure 2009116111

実施例2
<ドライフィルム評価>
実施例1において使用した組成物例をメチルエチルケトンにて希釈し、PETフィルム上に塗布して80℃で30分乾燥し、厚さ20μmの感光性樹脂組成物層を形成した。さらにその上にカバーフィルムを貼り合わせてドライフィルムを得た。その後、カバーフィルムを剥がし、パターン形成された銅箔基板に、フィルムを熱ラミネートし、次いで、実施例1の塗膜特性評価に用いられた基板と同様の条件で露光した。露光後キャリアフィルムを剥がし、150℃の熱風乾燥器で60分加熱硬化を行い、試験基板を作製した。得られた硬化皮膜を有する試験基板について、前述した試験方法及び評価方法にて、各特性の評価試験を行なった。結果を表3に示す。

Figure 2009116111
Example 2
<Dry film evaluation>
The composition example used in Example 1 was diluted with methyl ethyl ketone, applied onto a PET film, and dried at 80 ° C. for 30 minutes to form a photosensitive resin composition layer having a thickness of 20 μm. Further, a cover film was laminated thereon to obtain a dry film. Then, the cover film was peeled off, the film was heat-laminated on the patterned copper foil substrate, and then exposed under the same conditions as the substrate used for the coating film property evaluation of Example 1. After the exposure, the carrier film was peeled off, and heat-cured for 60 minutes with a hot air dryer at 150 ° C. to prepare a test substrate. About the test substrate which has the obtained cured film, the evaluation test of each characteristic was done with the test method and evaluation method which were mentioned above. The results are shown in Table 3.
Figure 2009116111

実施例1および2における表2および表3に示された結果からわかるように、本発明のカルボン酸含有感光性樹脂(A)を含有してなる光硬化性樹脂組成物は、従来の樹脂と比較して高感度であり、且つ、現像性、指触乾燥性、はんだ耐熱性、無電解金めっき耐性、耐アルカリ性、PCT耐性、PCBT耐性に優れ、レジスト用インキとして有用である。また、本発明の光硬化性樹脂組成物は、i線やh線などの単色光もしくはレーザー光に対しても、又高圧水銀灯などの紫外線光源に対しても、高感度で対応が可能なことが判る。   As can be seen from the results shown in Tables 2 and 3 in Examples 1 and 2, the photocurable resin composition containing the carboxylic acid-containing photosensitive resin (A) of the present invention is a conventional resin. Compared with high sensitivity, it has excellent developability, dryness to touch, solder heat resistance, electroless gold plating resistance, alkali resistance, PCT resistance, and PCBT resistance, and is useful as a resist ink. In addition, the photocurable resin composition of the present invention can be applied with high sensitivity to monochromatic light such as i-line and h-line or laser light, and also to an ultraviolet light source such as a high-pressure mercury lamp. I understand.

Claims (10)

(A)一般式(I)で表される構造を含むカルボン酸含有感光性樹脂、(B)光重合開始剤、及び(C)1分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を含む化合物を含有することを特徴とするアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物:
Figure 2009116111
式中、Rは水素原子もしくはメチル基、Rは炭素数2〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル、Rは酸無水物残基を表す。
(A) a carboxylic acid-containing photosensitive resin having a structure represented by the general formula (I), (B) a photopolymerization initiator, and (C) a compound containing two or more ethylenically unsaturated groups in one molecule. A photocurable resin composition capable of alkali development, comprising:
Figure 2009116111
In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents a linear, branched or cyclic alkyl having 2 to 6 carbon atoms, and R 3 represents an acid anhydride residue.
前記(A)カルボン酸含有感光性樹脂が、(a)1分子中に2つ以上の環状エーテル基を含む化合物に、(b)不飽和モノカルボン酸を反応させた後、(c)多塩基酸無水物を反応させた樹脂に、さらに(d)1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物を反応させて得られるカルボン酸含有感光性樹脂であることを特徴とする、請求項1に記載のアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物。   The (A) carboxylic acid-containing photosensitive resin is obtained by reacting (a) a compound containing two or more cyclic ether groups in one molecule with (b) an unsaturated monocarboxylic acid, and (c) polybasic. It is a carboxylic acid-containing photosensitive resin obtained by further reacting (d) a compound containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule with a resin reacted with an acid anhydride. The photocurable resin composition capable of alkali development according to claim 1. 前記(d)1分子中に環状エーテル基とエチレン性不飽和基を含む化合物が、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルであることを特徴とする、請求項2に記載のアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物。   The alkali-developable photocurability according to claim 2, wherein the compound (d) containing a cyclic ether group and an ethylenically unsaturated group in one molecule is 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether. Resin composition. 前記(B)光重合開始剤が、下記一般式(II)で表される構造を含むオキシムエステル系光重合開始剤(B1)、下記一般式(III)で表される構造を含むアミノアセトフェノン系光重合開始剤(B2)、および下記一般式(IV)で表される構造を含むアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(B3)からなる群から選ばれる1種、又は2種以上の混合物であることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物:
Figure 2009116111
一般式(II)〜(IV)中、Rは、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
は、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基またはベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、
およびRは、それぞれ独立に、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基またはアリールアルキル基を表し、
およびRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を表し、またはRおよびRは結合して環状アルキルエーテル基を形成してもよく、
およびRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、アルコキシ基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基(ハロゲン原子、アルキル基、若しくはアルコキシ基で置換されていてもよい)、またはR−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表す。但し、RおよびRの双方がR−C(=O)−基である場合を除く。
The (B) photopolymerization initiator is an oxime ester photopolymerization initiator (B1) containing a structure represented by the following general formula (II), an aminoacetophenone series containing a structure represented by the following general formula (III) It is one or a mixture of two or more selected from the group consisting of a photopolymerization initiator (B2) and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator (B3) containing a structure represented by the following general formula (IV). The photocurable resin composition capable of alkali development according to any one of claims 1 to 3, wherein:
Figure 2009116111
In General Formulas (II) to (IV), R 1 is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom), or 1 to 20 carbon atoms. A linear, branched or cyclic alkyl group (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), 5 to 5 carbon atoms An cycloalkyl group having 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 2 is a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (one Which may be substituted with the above hydroxyl groups and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or Represents a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group);
R 3 and R 4 each independently represents a linear, branched or cyclic alkyl group or arylalkyl group having 1 to 12 carbon atoms,
R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or R 5 and R 6 are bonded to form a cyclic alkyl ether group. You may,
R 7 and R 8 are each independently a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl group (halogen atom, alkyl group, or alkoxy group). Or an R—C (═O) — group (where R is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms). However, the case where both R 7 and R 8 are R—C (═O) — groups is excluded.
更に(D)熱硬化性成分を含むことを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物。   The alkali-developable photocurable resin composition according to any one of claims 1 to 4, further comprising (D) a thermosetting component. 更に(E)着色剤を含有してなるソルダーレジストであることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能な光硬化性樹脂組成物。   Furthermore, (E) It is a soldering resist containing a coloring agent, The alkali-developable photocurable resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 5 characterized by the above-mentioned. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂組成物を、キャリアフィルムに塗布し乾燥して得られる光硬化性のドライフィルム。   The photocurable dry film obtained by apply | coating the photocurable resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 6 to a carrier film, and drying. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を用いて形成された硬化物パターンであって、パターン形成が活性エネルギー線照射により行われたものである硬化物パターン。   It is a hardened material pattern formed using the resin layer which consists of a photocurable resin composition as described in any one of Claims 1 thru | or 6, Comprising: Pattern formation was performed by active energy ray irradiation. Hardened product pattern. 請求項8に記載の活性エネルギー線照射によるパターン形成が、波長350nm〜410nmの活性エネルギー線を用いた直接描画によるものである硬化物パターン。   A cured product pattern in which pattern formation by active energy ray irradiation according to claim 8 is by direct drawing using an active energy ray having a wavelength of 350 nm to 410 nm. 請求項8又は9に記載の硬化物パターンを銅層上に具備するプリント配線板。   The printed wiring board which comprises the hardened | cured material pattern of Claim 8 or 9 on a copper layer.
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