JP6722232B2 - ミラー - Google Patents

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Description

独国特許出願第10 2012 215 502.9号の内容が、参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、ミラー、およびこのタイプのミラーを含む光学構成要素に関する。その上、本発明は、このタイプのミラーを含む投影光学ユニット、このタイプの投影光学ユニットを含む光学システム、およびこのタイプの投影光学ユニットを含む投影露光装置に関する。なおまた、本発明は、ミラーの設計を最適化する方法に関する。最後に、本発明は、マイクロまたはナノ構造構成要素を生成する方法に関する。
特にEUV投影露光装置のためのEUV放射用のミラーは、例えば、独国特許出願公開第10 2010 041 632号から知られている。
本発明の目的は、投影露光装置、特にEUV投影露光装置の光学的品質を改善できるように、ミラー、特にEUV放射用のミラーを開発することである。
この目的は、請求項1に記載のミラーによって達成される。
第1に、リソグラフィマスクとしての役割を果たすレチクルの反射率は、照明で使用されるEUV放射の特定の入射角から始まって大幅に減少する。第2に、小さい入射角を用いたレチクルの照明の場合には、特にレチクルの垂直照明の場合には、すなわち、光軸に平行な照明光学ユニットの主光線の進路および光軸に対するレチクルの垂直方位の場合には、照明および/または投影光学ユニットのビーム経路の掩蔽(obscuration)が、構造上の指針のために生じる。特に、物体側開口数が増加するとき、主光線角度の対応する増加は、レチクルの反射率のかなりの損失なしにはもはや可能ではない。この問題を解決するための本発明による1つの手法は、分断化された(fragmented)全表面区域をもつミラーを具現することにある。ミラーは、特に、多数の第1の領域を含み、第1の領域は各々少なくとも1つの第2の領域から構造的に区切られ、それによって周辺を取り巻くように囲まれる。第1の領域は、第2の放射反射領域に関して多数の掩蔽を形成する。言い換えれば、第1の領域の総計は、ミラーの、特に第2の放射反射領域の分断化された掩蔽を形成する。個々の第1の領域は、ここで、いずれの場合にも、単連結に具現されることが好ましい。2つの異なる第1の領域はそれぞれ離ればなれに具現される。特に、それらは第2の領域によって互いに分離される。
その上、本発明によれば、ミラーの第1の領域の配列は、光学品質、特に、テレセントリシティ、正規化画像対数勾配(NILS)、およびそれの像視野にわたる変動(NILS視野プロファイル)などの画像化パラメータによって特徴づけることができる、特に、画像特性に決定的な影響があることが認識されている。
本発明の核心は、第1の領域をミラーに非周期的に配列することにある。それらは、特に、非対称に、特に非点対称に配列される。
非周期的配列は、特に、平行移動不変でなく、および/または回転不変でない配列を意味すると理解されたい。1つの好ましい実施形態によれば、第1の領域の配列は、変位または回転のいずれかによってそれ自体に変換することができない、または、言い換えれば、第1の領域の配列のいかなる恣意的な変位および/または回転の際にも、第2の領域に重なる第1の領域の正の数がある。
第1の領域の直径は、特に1mmから20mmの範囲に、特に2mmから15mmの範囲に、特に3mmから10mmの範囲に、特に4mmから8mmの範囲にある。
第1の領域の好ましい1つの配列は、例えば、第1の領域が、それぞれ、ペンローズタイルの格子点に配列されるものである。
第1の領域のそのような配列によって達成できることは、レチクルでの反射の際に生じ、一般に平行移動に不変である次数の回折が、第1の領域、すなわち、ミラーの掩蔽に統計的にランダムにしか突き当たらないことである。それによって特に達成することができることは、この次数の回折への掩蔽の影響が最小化されることである。逆に言えば、掩蔽の任意の周期的配列では、多くの次数の回折が第1の領域に入射し、すなわち、掩蔽され、それにより、レチクル構造の画像品質が低下するレチクル構造を見いだすことが可能である。
本発明のさらなる態様によれば、第1の領域の配列は、格子の頂点上のすべての第1の領域から発して、第1の領域の少なくとも10%、特に少なくとも20%、特に少なくとも30%、少なくとも50%が、第1の領域の直径の少なくとも半分だけ、好ましくは、少なくとも第1の領域の直径だけ格子の頂点に対してオフセットされるように配列されるようなものである。この場合、規則的な、特に、三角形、正方形、六角形、もしくは同心の格子、または非周期的な格子、特にペンローズ格子は、開始点の役割を果たすことができる。
本発明によるさらなる態様によれば、第1の領域が、格子の頂点上の配列から発して、格子の隣接する頂点間の平均距離のせいぜい4分の3、特にせいぜい3分の2、特にせいぜい半分だけ格子の頂点に対してオフセットされるように配列されることを規定することができる。それによって特に保証できることは、第1の領域がミラーに比較的均一に分布することである。これにより、画像化の良好なテレセントリシティがもたらされることが確証されている。
第1の領域は、特に、画像化性能が、設定およびピッチに無関係に、または、少なくとも、1組の設定およびピッチにとって改善されるようにミラーに配列される。第1の領域は、特に、テレセントリシティが10ミリラジアン、特に最大で7ミリラジアン、好ましくは最大で4ミリラジアンの最大値であるように配列される。
本発明のさらなる態様によれば、第1の領域は、ミラーの全直径の50%未満、特に30%未満、特に20%未満、特に10%未満、特に5%未満の直径を有する領域の第1の領域の局所密度が、せいぜい30%、特にせいぜい20%、特にせいぜい10%だけ第1の領域の平均密度から外れているように均一に分布するようにミラーに配列される。画像化の良好なテレセントリシティ値が、この手段によって同様に達成することができる。なおまた、この手段によって、画像品質が、照明設定の特定の選択に比較的に無関係になることが見いだされている。
ミラーの第1の領域の均一分布の代替として、前記第1の領域は、それらの平均密度が半径方向に外に向かって増加するように配列することもできる。第1の領域の配列は、特に、半径が互いにミラーの全半径のせいぜい30%、特にせいぜい20%、特にせいぜい10%だけ外れるリング形状領域の第1の領域の平均密度が、半径方向に外に向かって増加する、特に単調に増加するようにすることができる。
本発明のさらなる態様によれば、第1の領域の数は、少なくとも100、特に少なくとも200、特に少なくとも300、特に少なくとも500、特に少なくとも700、特に少なくとも1000である。この場合の第1の領域の数が多いほど、テレセントリシティ誤差が小さくなる。
第1の領域の数は、特にせいぜい特に30000、特にせいぜい10000、特にせいぜい5000、特にせいぜい3000である。それは、さらに、せいぜい1000、特にせいぜい500、特にせいぜい300、特にせいぜい200、特にせいぜい100とすることができる。第1の領域の数が少ないほど、ミラーの生成は簡単になる。
本発明のさらなる態様によれば、第1の領域の総計は、ミラーの全表面区域のせいぜい30%、特にせいぜい20%、特にせいぜい10%を占める表面区域を有する。これは、ミラーの掩蔽が十分に小さいことを保証する。なおまた、これは、十分に高いNILS値、特にNILS>1、すなわち、十分に高いコントラストを保証する。
本発明のさらなる態様によれば、第1の領域は、放射透過性、特にEUV放射透過性である。第1の領域は、特に、貫通開口として具現することができる。これにより、照明放射はミラーの後部側から縫うように進むことができるようになる。
第1の領域に別々のミラーを配列することも可能である。特に、瞳ファセットミラーの瞳ファセットを第1の領域に配列することが可能である。瞳ファセットミラーはミラーの一部とすることができる。この場合、瞳ファセットは第1の領域を形成する。
瞳ファセットミラーは、分断化されたミラーから切り離すこともできる。この場合、瞳ファセットは、第1の領域の場所に配列されることが好ましい。
本発明のさらなる目的は、特にEUV投影露光装置のための光学構成要素を改善することである。
この目的は、請求項8の特徴によって達成される。
本発明の核心は、前の説明によるミラーを、前記ミラーを調節するための調節デバイスとともに提供することにある。
これにより、特に、投影露光装置のビーム経路中のミラーを調節することが可能になる。ミラーの調節の結果として、特に、第1の領域の配列も調節される。
調節デバイスは、特に少なくとも1つ、好ましくは2つの平行移動、すなわち、直線の自由度を、横に、特に光軸に垂直に、またはミラーシステムで表すと、ミラーの中心軸、特に、ミラーの中央領域のミラーの第2の領域の表面に対する法線に垂直に有することができる。代替としてまたは追加として、調節デバイスは、光軸のまわりに、または表面への前記法線のまわりに1つの回転自由度を有することができる。調節デバイスは、ミラーの連続的に可変な調節を可能にすることができる。それは、さらに、2つ以上の個別の位置を有するか、または可能にすることができる。
本発明のさらなる態様によれば、光学構成要素は前の説明による少なくとも2つのミラーを含み、少なくとも2つのミラーは調節デバイスによって交換可能である。この場合、調節デバイスは、特に、交換デバイスの機能を有する。その上、それは、上述の調節、特に、ミラーの正確な位置決めを調節するのに好適でありうる。これは、さらに、構成要素の柔軟性を向上させる。
本発明のさらなる目的は、物体視野を像視野に画像化するための投影光学ユニットを改善することである。この目的は、請求項10の特徴によって達成される。利点は、上述のものに対応する。
投影光学ユニットのミラーが、ビーム経路の方向に物体視野から引き続いて連続的に番号付けされる場合、本発明によるミラーは、特に、投影光学ユニットの第1のミラー(M1)または第2のミラー(M2)として使用することができる。M2として使用されるとき、ミラーは、特に、瞳の近くに配列することができる。P(M)=D(SA)/(D(SA)+D(CR))≧0.5の条件が満たされる場合、瞳の近くのミラーMの配列が存在する。
この場合、D(SA)は、ミラーMの場所の物体視野点から生じる光線束のサブ開口直径であり、D(CR)は、画像化光学ユニットによって画像化され、光学システムの基準面で測定された、ミラーMの表面上の有効物体視野の主光線間の最大距離である。基準面は、画像化光学ユニットの対称面または子午線面とすることができる。パラメータP(M)の定義は、国際公開第2009/024164号に示されているものに対応する。視野面では、P(M)=0が当てはまる。瞳面では、P(M)=1が当てはまる。特に、本発明によるミラーMの配列では、P(M)≧0.6、特にP(M)≧0.7、特にP(M)≧0.8、特にP(M)≧0.9が当てはまる。
既に上述したように、ミラーの第1の領域は、投影光学ユニットの掩蔽を形成する。それらは分断化された掩蔽を全体的に形成する。
本発明のさらなる目的は、投影露光装置の光学系および投影露光装置を改善することである。
これらの目的は、請求項11および13の特徴によって達成される。利点は、上述のものに対応する。この光学系により、特に、大きい物体側開口数(NAO)および小さい主光線角度(CRA)でレチクルを照明することが可能になる。特に、arcsin(NAO)≧CRA、特にarcsin(NAO)≧2CRAが当てはまる。この場合、CRA≦6°、特にCRA≦3°、特にCRA≦2°、特にCRA≦1°、特にCRA=0°が当てはまることが好ましい。物体側開口数(NAO)は、特に少なくとも0.45、少なくとも0.5、特に少なくとも0.6、特に少なくとも0.7である。光学系は、最大で8:1、特に最大で6:1、好ましくは最大で4:1の減少がある。
本発明のさらなる目的は、ミラーの設計を最適化する方法を明示することである。
この目的は、請求項14の特徴によって達成される。
本発明は、最初に、格子の頂点上のミラーの特定の数の第1の領域の配列を用いてミラーの開始設計を予め定めることを準備する。加えて、このタイプのミラーをもつ投影光学ユニットの画像品質を評価するための適合関数fが予め定められる。最後に、少なくとも1つの目標値と終了規準が予め定められる。次に、第1の領域の配列が、少なくとも1つの予め定められた目標値および/または終了規準が達せられるまで予め定められたアルゴリズムよって変更される。
上述のように、三角形、正方形、六角形、同心の格子またはペンローズ格子が、開始格子としての役割を果たすことができる。
適合関数に組み込まれる適切なパラメータには、以下のパラメータ、すなわち、テレセントリシティ、NILS、NILS視野プロファイルのうちの1つまたは複数の選択が含まれる。適合関数は、これらのパラメータ、特にこれらのパラメータのすべての一次結合を含むことが好ましい。
いわゆる進化的アルゴリズムは、特に、第1の領域の配列を変更するためのアルゴリズムの役割を果たす。いわゆる焼きなまし法も適切である。好ましくは、進化戦略は、確実にまたは少なくともほとんど確実に収束する方法と組み合わされる。
アルゴリズムにおいて、例えば、第1の領域の分布の均一性の最小値などの一連の二次条件または境界条件を考慮に入れることができる。
最も簡単な場合には、アルゴリズムは、直線平行移動、および/または特に0.1°から5°の範囲の角度だけの回転を単に含む。これは、特に上述の調節デバイスと組み合わせて、特に、既に存在するミラーを最適化するのに有利である。
本発明のさらなる目的は、投影露光装置を使用して構成要素を生成する方法を明示することである。
この目的は、本発明により、請求項15に記載の生成方法によって達成される。
利点は、既に上述したものに対応する。
本発明のさらなる詳細および明細は、図面に関連するいくつかの例示的な実施形態の説明から明らかになるであろう。
EUVリソグラフィのためのEUV投影露光装置の構成要素の概略説明図である。 投影露光の間物体を画像化することができるレチクルの形態の反射物体の領域における、図1による投影露光装置の照明光および画像化光のビーム経路の抜き書きを拡大した概略説明図である。 図2に類似しているが、ビーム経路の代替の経路設定による照明光および画像化光の抜き書きを拡大した概略説明図である。 ミラーの一実施形態の概略説明図である。 投影露光装置のビーム経路中のミラーの配列の概略説明図である。 投影露光装置のビーム経路中のミラーの代替配列の概略説明図である。 ミラーの調節能力を解明するための概略説明図である。 ミラーの第1の領域の配列の変位および回転の効果の説明図である。 ミラーの第1の領域の配列の変位および回転の効果の説明図である。 ミラーの第1の領域の配列の変位および回転の効果の説明図である。 ミラーの回転の効果のさらなる説明図である。 ミラーの横変位の効果のさらなる説明図である。 ミラーの第1の領域の最適化の前後のミラーの第1の領域の配列の例示的な説明図であり、第1の領域の同心配列は開始配列としての役割を果たす。 ミラーの第1の領域の最適化の前後のミラーの第1の領域の配列の例示的な説明図であり、第1の領域の同心配列は開始配列としての役割を果たす。 ミラーの第1の領域の配列の最適化の評価を考慮に入れた、様々な次数の回折の画像による照明瞳の充填の例示的な説明図である。 第1の領域のありうる開始配列の例示的な説明図である。 第1の領域のありうる開始配列の例示的な説明図である。 第1の領域のありうる開始配列の例示的な説明図である。 第1の領域のありうる開始配列の例示的な説明図である。 ミラーの第1の領域の配列の進化的最適化の間のいくつかの画像化関連パラメータのプロファイルの例示的な説明図である。 ミラーの第1の領域の最適化された配列の例示的な説明図である。 ミラーでの0次および1次の回折の画像を示す図であり、掩蔽された次数の回折が識別される。 図14bによるその次数の画像の相対強度を示す図である。 図14による分布のヒストグラムを示す図である。 視野無依存照明瞳の視野依存掩蔽を明確にするための概略説明図である。 視野無依存照明瞳の視野依存掩蔽を明確にするための概略説明図である。 視野無依存照明瞳の視野依存掩蔽を明確にするための概略説明図である。
図1は、マイクロリソグラフィのための投影露光装置1の構成要素を子午線断面で概略的に示す。この点に関しては、追加として、独国特許出願公開第10 2010 041 623号および独国特許出願第10 2011 086 345.1号を参照すべきであり、この出願の全体が参照により本明細書に組み込まれる。投影露光装置1の照明システム1は、放射源3と、物体平面6の物体視野5を露光するための照明光学ユニット4とを横に並べて含む。この場合、物体視野5に配列されたレチクル7が曝され、前記レチクルは、抜き書きとして単に示されているレチクルホルダによって保持される。
投影光学ユニット9は、物体視野5を画像平面11の像視野10に画像化する役割を果たす。レチクル7の構造は、画像平面11の像視野10の領域に配列されたウェハ12の感光層上に画像化され、前記ウェハは、やはり概略的に示されているウェハホルダ13によって保持される。
放射源3は、EUV放射14を放出するEUV放射源である。EUV放射源3の放出されて用いられる放射の波長は、5nmから30nmの範囲にある。リソグラフィで使用され、好適な光源を入手できる他の波長も可能であり、放射源3は、プラズマ源、例えば、DPP源またはLPP源とすることができる。シンクロトロンに基づく放射源を放射源3として使用することもできる。当業者は、そのような放射源に関する情報を、例えば、米国特許第6,859,515号に見いだすことができる。コレクタ15は、EUV放射源3からのEUV放射14を収束するために設けられる。
EUV放射14は、照明光または照明放射とも呼ばれる。
照明光学ユニット4は、多数の視野ファセット17を有する視野ファセットミラー16を含む。視野ファセットミラー16は、物体平面6に対して光学的に共役である照明光学ユニット4の平面に配列される。EUV放射14は、視野ファセットミラー16から照明光学ユニット4の瞳ファセットミラー18まで反射される。瞳ファセットミラー18は、多数の瞳ファセット19を有する。瞳ファセットミラー18の助けにより、視野ファセットミラー16の視野ファセット17は物体視野5に画像化される。
視野ファセットミラー16の視野ファセット17ごとに、少なくとも1つの関連する瞳ファセット19が瞳ファセットミラー18に存在する。光チャネルまたは放射チャネルが、それぞれの視野ファセット17とそれぞれの瞳ファセット19との間に形成される。ファセットミラー16、18の少なくとも1つのファセット17、19は、切替え可能なように具現することができる。それらは、特に、傾けることができるようにファセットミラー16、18に配列することができる。この場合、例えば、ファセット17、19のせいぜい30%、せいぜい50%、またはせいぜい70%の部分のみを、傾けることができるように、具現することが可能である。ファセット17、19のすべてを傾けることができるように具現することも可能にすることができる。切替え可能なファセット17、19は、特に、視野ファセット17である。視野ファセット17を傾けることによって、視野ファセット17のそれぞれの瞳ファセット19への割当て、したがって、光チャネルの形成を変更することが可能である。視野ファセット17のそれぞれの瞳ファセット19への特定の割当ては、照明設定とも呼ばれる。傾けることができるファセット17、19を有するファセットミラー16、18のより詳細については、独国特許出願公開第10 2008 009 600号を参照されたい。
照明光学ユニット4のより詳細については、独国特許出願公開第10 2008 009 600号を同様に参照されたい。
照明光学ユニット4および投影光学ユニット9のEUV放射14のビーム経路と、特に、視野ファセットミラー16および瞳ファセットミラー18の構造配列とは、図1から知ることはできない。
レチクルホルダ8は、投影露光の間、レチクル7を物体平面6で変位方向に変位させることができるように制御された方法で移動することができる。対応して、ウェハホルダ13は、ウェハ12が画像平面11で変位方向に移動可能であるように制御された方法で移動することができる。その結果として、レチクル7およびウェハ12は、一方では物体視野5によって、他方では像視野10によって走査されうる。変位方向は走査方向とも呼ばれる。レチクル7およびウェハ12の走査方向での変位は、互いに同期して達成されうることが好ましい。
投影光学ユニット9は、図1に示されていない多数の投影ミラーMiを含む。投影光学ユニット9は、特に少なくとも3つ、特に少なくとも5つの投影ミラーM1からM5を含む。それは、特に少なくとも6つ、7つ、または8つの投影ミラーM1からM8を有することがある。
投影露光装置1を使用している間に、レチクル7と、照明光14に感光性のある被覆を載せたウェハ12との準備が行われる。続いて、レチクル7の少なくとも1つの部分が、投影露光装置1の助けによりウェハ12上に投影される。この場合、レチクル7は、EUV放射14の主光線(CRA、主光線角度)が、レチクル7にせいぜい6°、特にせいぜい3°、特にせいぜい1°、特に0°の入射角で突き当たるように、EUV放射14で照明される。この場合、入射角は、レチクル7を照明するのに役立つ光線のビームのうちの主光線と、レチクル7への法線29との間の角度として定義される。主光線の入射角は、特に、物体側開口数(NAO)よりも小さく、CRA<arcsin(NAO)である。物体側開口数(NAO)は、特に少なくとも0.45、特に少なくとも0.5、特に少なくとも0.6、特に少なくとも0.7である。
レチクル7をウェハ12に投影している間に、レチクルホルダ8および/またはウェハホルダ13は、物体平面6と平行な方向におよび/または画像平面11と平行な方向に変位させることができる。レチクル7およびウェハ12の変位は、互いに同期して達成されうることが好ましい。
最後に、照明光で露光されたウェハ12上の感光層が現像される。マイクロまたはナノ構造構成要素、特に半導体チップが、このようにして生成される。
本発明による光学システム27は照明光学ユニット4と投影光学ユニット9とを含む。本発明による光学システム27はミラー20を有しており、それは以下でさらに詳細に説明する。
ミラー20は、全表面区域24を有するミラー本体21を有する。全表面区域24は、全反射表面24または単にミラー表面24とも呼ばれる。それは必ずしも平坦状に具現されない。それは、特に湾曲状に、例えば凸状または凹状に具現することができる。それは、平面状に具現することもできる。全表面区域24は、多数の第1の領域22を含む。第1の領域22は、離ればなれのように具現される。第1の領域22の数は、少なくとも10、特に少なくとも30、特に少なくとも100、好ましくは少なくとも200、好ましくは少なくとも300、好ましくは少なくとも500、好ましくは少なくとも600、好ましくは少なくとも800、好ましくは少なくとも1000である。
第1の領域の数は、特にせいぜい30000、特にせいぜい10000、特にせいぜい5000、特にせいぜい3000である。それは、せいぜい1000、特にせいぜい500、特にせいぜい300、特にせいぜい200、特にせいぜい100とすることもできる。第1の領域の数が少ないほど、ミラーの生成は簡単になる。
第1の領域22の数は、放射チャネルの数と規模において特に少なくとも等しい。第1の領域22の数は、視野ファセット17の数と規模において特に少なくとも等しい。第1の領域22の数は、瞳ファセット19の数と規模において等しくすることができる。放射チャネルの数、すなわち、照明放射14を照射することができる瞳ファセット19の数に対する第1の領域22の数の比は、フレックス比(flex ratio)とも呼ばれる。フレックス比は、特に1から2の範囲にある。
加えて、ミラー20は、第2の放射反射領域、特にEUV放射反射領域23を含む。第1の領域22と第2の領域23との組合せが、ミラー20の全表面区域24を形成する。
第1の領域22は各々第2の領域23から構造的に区切られている。第1の領域22は各々第2の領域23によって周辺を取り巻くように完全に囲まれる。したがって、第1の領域22は、第2の領域23中に島を形成する。第2の領域23は単連結であるが可縮でないことが望ましい。
第1の領域22は、全表面区域24に非周期的に分布するように配列される。第1の領域22の配列は、以下でさらに詳細に説明する。
第1の領域22は、特に、いずれの場合にも、丸状に、特に円状に具現される。それらは、1mmから20mmの範囲、特に2mmから15mmの範囲、特に3mmから10mmの範囲、好ましくは4mmから8mmの範囲の長さ寸法、特に直径を有する。原則として、第1の領域22を、角張ったように、特に多角形状に、例えば正方形または六角形状に具現することも可能である。
第1の領域22は、特に、ありうる変倍は別として、瞳ファセットミラー18の瞳ファセット19の形状に正確に対応する形状を有する。
第1の領域22の総計は、ミラー20の全表面区域のせいぜい30%、特にせいぜい20%、特にせいぜい10%を占める表面区域を有する。
第1の領域22は、特に放射透過式に、特にEUV放射透過式に具現される。ミラー本体21の貫通開口37を特に含むことができる。図2および3に概略的に示すように、この場合、照明放射14は第1の領域22を通過することができる。言い換えれば、照明放射14は、レチクル7を照明するために第1の領域22を通って特に投影光学ユニット9に縫うように進むことができる。
ミラー20は、特に、投影光学ユニット9の一部である。それは、投影光学ユニット9において、特に、第1の領域22が照明光学ユニット4のビーム経路に配列され、第2の領域23が投影光学ユニット9のビーム経路に配列されるように配列される。
ミラー20は、特に、第1の領域22が照明の瞳平面の領域に配列されるように照明光学ユニット4のビーム経路に配列することができる。特に、レチクル7の均一発散照明の場合には、ミラー20をこのように配列することができる。これにより、照明瞳が物体視野5にわたって変わらないことが保証される。言い換えれば、同じ照明瞳が、物体視野5のすべての点に存在する。照明瞳は、特に、視野非依存である。図15aから15cに、これが第1の領域22の格子によって概略的に示されている。この場合、図15aは、物体視野5の左手縁部の照明状況を概略的に示す。図15bは、物体視野5の中心の照明状況を概略的に示す。図15cは、物体視野5の右手縁部の照明状況を概略的に示す。この場合、第1の領域22の格子は、単に、照明瞳の視野非依存性を解明するのに役立つ。それは、ミラー20の第1の領域22の実際の配列を表していない。
ミラー20は投影光学ユニット9の瞳平面に必ずしも位置していないので、瞳掩蔽の視野依存性が、画像平面11の領域に、特にウェハ12の領域に存在する。これが、照明瞳に対する像視野10の相対位置の変位によって図15aから15cに概略的に示される。
図15aから15cから明らかなように、瞳内で見ることができるよりも多くの領域22をミラー20に配列することを可能にすることができる。瞳が見ることができない領域22は、少なくともウェハ12の照明に直接寄与しない領域22を意味することを理解されたい。瞳で見ることができるよりも多くの領域22をミラー20に配列することにより、像視野10の上で見られるとき瞳から出ていく領域22は、他の領域22によって取り替えられることが可能になる。これにより、掩蔽された表面の幾何学的重心を実質的に一定に保持することが可能になる。これにより、結果として生じるテレセントリシティ誤差を減少させることが可能になる。
ミラー20の寸法は、特に、像視野10の所与の点を照明するように最大限に設けられた照明瞳の寸法よりも大きい。
さらに、瞳ファセットミラー18の瞳ファセット19を貫通開口37に配列することも可能である。この場合、瞳ファセット19は、補助基板36に配列されることが好ましい。瞳ファセット19は、いずれの場合にも間隙38によってミラー20のミラー本体21から分離される。この場合、第1の領域22は、照明光14のための貫通開口を形成しない。この実施形態では、ミラー20および瞳ファセットミラー18は、単一構成要素の一部と解釈することができる。さらに、ミラー20および瞳ファセットミラー18は、この実施形態では2つの別個の構成要素と解釈することも可能である。両方の場合において、第1の領域22は、投影光学ユニット9のビーム経路に関して、ミラー20の、特に第2の領域23の掩蔽を形成する。
第1の領域22が放射反射するように具現され、各々が放射透過領域23によって周辺を取り巻くように囲まれるミラー20のような逆転した実施形態が、同様に可能である。詳細については、独国特許出願公開第10 2010 041 623号を参照されたい。
図2は、例として、ミラー20で達成することができるような照明放射14のビーム経路を示す。いずれの場合にも貫通開口37のうちの1つを通ってミラー20を通過する照明放射14の別個の光線141、142、143が、例として示されている。図2に示された光線経路は、単に、図面の平面への投影を示している。特に、それらは、図面の平面に対する照明放射14の傾きを表していない。したがって、特にミラー20を通過する光線141は、反射されてミラー20上に戻る光線143に対応しておらず、むしろそれに対して斜行している。
例として図2に抜き書きとして示した照明放射14のビーム経路の場合には、ミラー20は、投影光学ユニット9のビーム経路中の第2のミラーM2としての役割を果たす。M2としての役割を果たすミラー20は、特に瞳平面26に、または少なくとも投影光学ユニット9の瞳の近くに配列することができる。次のことが特に当てはまる。P(M2)≧0.5、特にP(M2)≧0.7、特にP(M2)≧0.9。
図3は、例として、照明放射14のビーム経路の代替配列に基づくミラー20のありうる1つの機能を示す。図3に示したようなミラー20の配列の場合には、前記ミラーはM1としての役割を果たす。視野ファセット17のそれぞれの1つと瞳ファセット19のうちの1つとの間に形成される光チャネルからのEUV放射14は、第1の領域22のうちの1つを通ってミラー20を通過し、レチクル7で反射され、次に、ミラー20の第2の領域23に突き当たり、そこから、投影光学ユニット9の下流ミラーMiに反射される。
図5および6は、例として、瞳ファセット19が第1の領域22に配列された図4によるミラーの配列を示す。図5において、ミラー20はM2としての役割を果たす。図6は、例として、ミラー20がM1を形成する実施形態を示す。
ミラー20のすべての実施形態において、第1の領域22は、第2の領域23の掩蔽を形成する。それ故に、ミラー20は、分断化された掩蔽を有するミラーとも呼ばれる。
第1の領域22は、特に、像視野10への物体視野5の画像化に寄与せず、特に、ウェハ12上へのレチクル7の画像化に寄与しない。
物体視野5を像視野10に、特にレチクル7をウェハ12上にできるだけ損失がないように画像化するために、物体視野5、特にレチクル7の画像のできる限りすべての次数の回折、特に0次、1次、−1次の回折が像視野10に投影されることが必要である。特定の次数の回折の掩蔽は、情報の損失をもたらし、したがって、一般に画像品質の低下をもたらす。ミラー20の第1の領域22の目標を定めた配列の結果として、個々の次数の回折の掩蔽の影響を最小にすることができ、または別の言い方をすると画像品質を改善することができる。特に、1つまたは複数の様々な照明設定に対して、および/またはレチクル7上に画像化されるべき様々な構造に対して画像品質を最適化することが可能である。適切な照明設定は、特に、以下の照明設定、すなわち、様々な半径による円形照明設定、様々な内側および外側境界半径をもつ環状照明設定、x−ダイポール設定、y−ダイポール設定、およびクエーサー照明設定からの選択を含む。ミラー20の中心軸31を基準とした第1の領域22の非点対称配列により、鏡面反射とも呼ばれる0次の回折が第1の領域22のうちの1つに突き当たらないことを保証することが可能になる。それ故に、本発明は、第1の領域22をミラー20に点非対称に、すなわち、非点対称に配列することを可能にする。本発明は、好ましくは、追加として、第1の領域をミラー20に非周期的に配列するのを可能にする。非周期的分布は有利であるが、その理由は、そのとき、非周期的分布により、画像化性能の低下をもたらすことになる、特定の照明設定および/またはレチクル構造に関して多数の次数の回折が第1の領域22に系統的に突き当たる場合、すなわち、掩蔽が、避けられるからである。図8aから8cに示した例示的な実施形態によれば、第1の領域22は、ペンローズ格子の頂点または格子点に配列される。この場合、ペンローズ格子は、非平行移動不変および非回転不変格子の特別な例を形成する。第1の領域22のこの配列の場合には、一般に平行移動に不変な次数の回折は、前記第1の領域の最も不利な分布の場合でさえ第1の領域22に統計的にランダムにしか突き当たらない。
1つの有利な実施形態では、ミラー20は調節デバイス32を備える。ミラー20および調節デバイス32は光学構成要素33を形成する。調節デバイス32は、図7に概略的に示される。それは、特にミラー20の中心軸31に垂直な方向に、ミラー20の直線変位、すなわち平行移動変位を可能にする。したがって、調節デバイス32は、少なくとも1つの、好ましくは2つの直線自由度を用いてミラー20の調節機能を有効にする。それに加えてまたはそれの代替として、調節デバイス32は、1つの回転自由度、特に、ミラー20の中心軸31のまわりまたは光軸に平行な軸のまわりのミラー20の回転を用いてミラー20の調節を可能にすることができる。調節デバイス32がミラー20の連続的な可変調節を可能にすることが好ましい。しかしながら、調節デバイス32がミラー20の異なる個別の位置を予め定めるように調節デバイス32を具現することも可能である。調節デバイス32は、特に、2つ以上の個別のミラー位置を予め定めることができる。
直線可動性の場合には、ミラー20は平面状に具現されることが好ましい。回転可動性の場合には、ミラー本体21は、第1の領域22の配列は別として、中心軸31に対して回転対称に具現されることが好ましい。
直線可動性は、マイクロメートル、ミリメートル、またはセンチメートルの範囲とすることができる。回転可動性は、数ミリラジアンから5°の範囲とすることができる。
1つの有利な実施形態によれば、調節デバイス32は、2つのミラー20を交換または変更するための交換デバイスまたは変更デバイスとして具現される。言い換えれば、光学構成要素33は、1つ、2つ、またはそれを超えるミラー20を含むことができる。ミラー20は、調節デバイス32によって交換することができる。
変位および/または回転によって、第1の領域22の配列を全体として、すなわち、包括的に作り変えることが可能である。これが、例として、図8aから8cに示される。図8bは、直線的に変位された図8aによる配列を示す。図8cによる配列は、図8bによる配列から回転によって出現した。掩蔽の視野依存性のために、像視野10の特定の点では、領域22のすべてが必ずしも像視野10の照明に寄与するわけではない。このことが、領域22の位置を識別するための異なる記号で図8aから8cに示される。例として選択された像視野点の照明に寄与する領域22は、図8aから8cにおいて記号+によって識別され、一方、ミラー20に存在するが、前記視野点の照明に寄与しない領域22は、記号oによって識別される。
所与の配列の回転および/または変位のさらなる例が、図9および10に示される。規則的な正方格子の頂点上の第1の領域22の配列が、図9の開始配列としての役割を果たした。この配列は、中心から外れた軸34のまわりにほぼ9°だけ回転された。
所与の配列の回転および/または変位によって、画像化性能は、個別の照明設定および/またはピッチに関して改善することができる。言い換えれば、調節デバイス32による調節のそのような可能性は、特に、個々の、特に予め定められた、照明設定および/またはピッチの画像化性能を改善するのに有利である。
図10による実施形態の場合には、三方格子が開始配列としての役割を果たした。前記格子は、隣接する第1の領域22の間の距離のほぼ1/3だけ直線的に変位された。
ペンローズ格子の格子点に第1の領域22を配列すると、既に画像化特性の改善がもたされているが、画像化特性は、ミラー20の目標を定めた設計によって、特に第1の領域22の配列の最適化によってさらに改善することができる。上述のような調節デバイス32によるミラー20の直線変位および/または回転は、最適化の最も簡単な形態として実現することができる。そのような平行移動および/または回転で最適化された配列は、いくつかのピッチおよび設定にとって良好な画像化性能をもたらすことができる。しかしながら、依然として存在する対称性のために、これらの配列が十分に良好な性能をもたらさないピッチおよび/または設定が常に存在することになる。本発明によれば、ミラーの個別の領域を別個に最適化する(以下で説明する)ことによってこれらの対称性を破り、それにより、ミラーの領域の統計的または非周期的な配列をもたらすことが有利であることが認識された。特に有利な実施形態によれば、第1の領域22の配列は以下の方法により最適化される。第1に、予め定められた数の第1の領域22の特定の配列をもつミラー20の開始設計が予め定められる。開始配列としての役割を果たすことができる第1の領域22のありうる配列が、例として図12aから12dに示される。格子の頂点上の第1の領域22の配列が、特に含まれている。図12aは、正方格子の頂点上の第1の領域22の配列を示す。正方格子の頂点は、数度だけ回転されている。図12bは、同心円上の第1の領域22の配列を示す。図12cは、三方格子の頂点上の配列を示す。図12dは、ペンローズ格子の格子点上の配列を示す。原則として、任意の所望の開始配列が可能である。特に、回転および/または変位された形態の図12a〜12dに示された開始配列のすべてもまた開始配列としての役割を果たすことができる。
開始配列は、好ましくは、最低限の均一性を有するべきである。第1の領域22は、均一に分布するように、特に、ミラー20の全直径の50%未満、特に30%未満、特に20%未満の直径を有する領域の局所密度が、せいぜい30%だけ、特にせいぜい20%だけ、特にせいぜい10%だけ平均密度から外れているように配列される。第1の領域22の分布の最低限の均一性から課せられるこの要件は、第1の領域22の配列の最適化の際に境界条件として予め定められることが好ましい。その結果、特にミラー20の第1の領域22の最適化配列は、やはり、そのような最低限の均一性を有する。
その上、このタイプのミラー20をもつ投影光学ユニット9の画像品質を評価するための適合関数fは、第1の領域22の配列を最適化するように予め定められる。適合関数fは、画像品質を評価するための様々なパラメータ、特、テレセントリシティ(TC)および/または正規化画像対数勾配(NILS)および/またはそれの像視野10にわたる変動(NILS視野プロファイル)を組み込む。適合関数fは、特に、これらの3つのパラメータの一次結合である。1つのありうる適合関数fは、正の重みg1、g2を伴う次の形態を有する。f=TC+g1*NILS視野プロファイル−g2*NILS
それにより、最適化問題、すなわち、汎関数fの最小化が定義される。特に、第1の領域22の位置、すなわち、ミラー20における第1の領域22の配列は、変数としての役割を果たす。原則として、第1の領域22の数、および/またはそのサイズおよび/または形状を、さらに、変数として組み込むことができる。必要とされる二次条件または境界条件には、上述の最低限の均一性と、特に、2つの異なる第1の領域22が相互に重ならないこととが含まれる。
なおまた、適合関数fの少なくとも1つの目標値と終了規準とが、ミラー20の第1の領域22の配列を最適化するために予め定められる。
次に、第1の領域22の配列は、少なくとも1つの予め定められた目標値および/または終了規準が達せられるまで予め定められたアルゴリズムよって変更される。
すべての第1の領域22が同様の半径をもつ円形状に具現される特別な場合には、目標汎関数fは第1の領域22の入れ換えで不変である。それ故に、パラメータ範囲の最適化問題には、等価システムを記述する多くの解がある。それ故に、目標関数fは必ずマルチモーダルである。それ故に、大域的最適化法が、最適化アルゴリズムとして用意される。特に、進化的アルゴリズムでは、例えば、遺伝的アルゴリズム、いわゆる焼きなまし法が、最適化アルゴリズムとして用意される。
進化戦略の変形として、(μ+λ)進化戦略の選択演算子を使用することが可能である。この場合、パラメータμは集団サイズ、すなわち、極の記憶の範囲(the extent of the memory of the pole)を示す。パラメータλは子孫の数である。
アルゴリズムの収束挙動を改善するために、後者はほとんど確実に収束する方法と組み合わされる。
第1の領域22の配列を最適化するために、一般に、前記領域22の各個別の領域の配列が個別に変更される。特に、格子の頂点上のすべての第1の領域22の配列から発して、第1の領域22の少なくとも10%、それの特に少なくとも20%、特に少なくとも30%、特に少なくとも50%が、最小量だけオフセットされるように配列されることが規定される。第1の領域22の直径の半分または直径または直径の特定の倍数が、最小量としての役割を果たすことができる。格子の頂点を基準とした第1の領域22のオフセットは、第1の領域22がいずれの場合にも格子の隣接頂点間の平均距離のせいぜい半分だけオフセットされるという趣旨で制限することができる。第1の領域22のオフセットは、各反復ステップの間動的に適応させることができる。それによって、最適化の収束挙動を改善することができる。第1の領域は、1/5成功ルールよってオフセットされることが好ましい。
図11aおよび11bは、例として、最適化の前後のミラー20の第1の領域22の配列を示す。第1の領域22の同心配列は開始配列としての役割を果たす(図11aを参照されたい)。
図8aから8c、9、10、12aから12d、14aおよび14bにおけるのと同様に、図11aおよび11bの第1の領域22の配列の説明図は、それのサイズではなくそれの位置のみを示す。図11aおよび11bに示した例示的な実施形態の場合には、第1の領域22は、ミラー20の最大被照明領域の半径の0.018の半径を有する。この点に関して、ミラー20を、好ましくは、照明瞳よりも大きくし、その結果として、視野依存掩蔽による望ましくないテレセントリシティ効果を避けることができることに再度留意されたい。
図11cは、例として、第1の領域22の配列の最適化の際に考慮に入れたすべての次数の回折の画像30をもつ照明瞳を示す。図11cから定性的に分るように、照明瞳は高密度に充填されている。それによって達成することができるものは、最適化が、照明設定および/またはレチクル7の画像化されるべき構造と可能な限り無関係である、画像化性能の改善をもたらすことである。
特に、最適化の際に、強度が所与の放射チャネルの入射強度の少なくとも20%であるすべての次数の回折を考慮に入れることが可能である。特に、少なくとも0次および±1次の回折が考慮に入れられる。
その上、特に、好ましくは物体視野5にわたり均一に分布するように配列される複数の視野点を考慮に入れることが可能である。特に少なくとも3つ、特に少なくとも5つ、特に少なくとも8つ、特に少なくとも12個の視野点が考慮に入れられる。
その上、特に、評価の際に異なるピッチを考慮に入れることが可能である。特に少なくとも3つ、特に少なくとも5つ、特に少なくとも8つ、特に少なくとも12個、特に少なくとも20個、特に少なくとも30個のピッチを考慮に入れることができる。図に11cに示した照明瞳の場合には、22nmから320nmの範囲に対数的に等距離に分布した12個の異なるピッチが考慮に入れられた。
その上、特に、異なる照明設定を考慮に入れることが可能である。考慮に入れられるべき照明設定は、特に、以下のリストから選択することができる。x−ダイポール、y−ダイポール、クエーサー、C−カッド、σmax≦0.7をもつ円形、σmax=1をもつ円形、特に0.3≦σ≦0.5をもつ環状、および0.5≦σ≦1をもつ環状。好ましくは、これらの設定の少なくとも2つ、特に少なくとも3つ、特にすべての組合せが考慮に入れられる。
瞳のそのような高密度充填は、領域22の各々の位置がその配列の最適化の間に考慮に入れられていることを保証することができる。領域22の配列を最適化するため、画像化パラメータ(正規化画像対数勾配、テレセントリシティ誤差)は、いずれの場合にも異なる設定および/またはピッチに対して計算することができる。次に、引き続き、配列の適合性を計算するために、いずれの場合にもこれらのパラメータの最悪値を使用することを可能にすることができる。対応して決定された適合性が領域22の以前の配列のものよりも大きい場合、新しい配列が最適として使用される。
図13は、反復の数の関数として画像品質を評価するためのパラメータの推移を示す。この場合、曲線40は、NILS視野プロファイルの100倍量を表す。曲線41は、テレセントリシティのプロファイルを表す。テレセントリシティは、すべての視野点について1桁台前半のミリラジアン範囲にあった。テレセントリシティ誤差は、特に、すべての視野について、10ミリラジアン未満、特に7ミリラジアン未満、特にせいぜい4ミリラジアンの最大値を有していた。曲線42は、正規化画像対数勾配(NILS)のプロファイルを表す。NILS値は、すべての視野点について少なくとも2、特に少なくともの2.3であった。
曲線43および44は各々それぞれ第1の領域22間の最大および最小の最小距離の10倍量を表す。
曲線45は、照明瞳の半径のパーセント(%σ)で表された、領域22の位置がそれぞれの反復において変位される値を表す。領域22の位置の変動は、最適化の間動的に適応される。動的な適応は、特に、いわゆる1/5成功ルールにより達成される。これは、アルゴリズムがより速く収束するという結果をもたらす。手順が既に最適に近い場合、変動はますます少なくなる。図示の例では、変動は、最初に、0.1mσ、すなわち、照明瞳の半径の1/100%であった。おおよそ50番目の反復から開始して、変動は0.01mσ未満であった。
図13から定性的に認めることができるように、アルゴリズムは100未満の反復の後に収束している。
本発明による方法によって、画像化性能が、すべての適切な照明設定および/またはピッチに対して予め定められた最小値に達することを保証することが可能になる。画像化性能は、特にすべての適切な設定および/またはピッチに対して最適化することができる。最適化は、特に、画像化性能が照明設定および/またはピッチと実質的に無関係であるように実行することができる。
図14aは、ミラー20の第1の領域22のさらに最適化された配列を示す。図14bは、それに対応する、0次の回折46および±1次の回折47の画像の分布を示す。この場合、掩蔽された次数の回折48の画像、すなわち、図14aによる配列の第1の領域22のうちの1つと重なる次数の回折の画像が識別される。定性的に認識することができるように、掩蔽された次数の回折48の割合は、10%よりもはるかに少なく、特に3%よりも少なく、特に1%よりも少ない。
図14bからの結果が、再度、図14cおよび14dに要約されている。図14cは、放射チャネルに対して、所与の放射チャネルの強度(1に正規化された)を基準とした0次、1次、および−1次の強度をプロットしている。掩蔽されない場合、0次の回折の強度は0.5であり、±1次の回折の強度は0.333である。0.5または0.333に存在しない入力値は、言い換えれば、第1の領域22のうちの1つと少なくとも部分的に重なる、すなわち、掩蔽されている放射チャネルに対応する。図14cによる分布が図14dに要約されている。これらの図から知ることができるように、0次の回折の位置は、第1の領域22との重なりが実質的にない。なおまた、±1次の回折のわずかな部分のみが領域22によって掩蔽される。
本発明によるさらなる実施形態によれば、瞳の強度分布の微調節のために、個々の第1の領域22の配列をわずかに変更して、それぞれの瞳スポットの強度の一部を部分的に掩蔽する、すなわち、その強度を低減することができる。
その上、1つの有利な実施形態によれば、個々の照明チャネルの次数の回折が掩蔽される、すなわち、第1の領域22のうちの1つに入射する場合、個々の照明チャネルのビーム経路を調節することを可能にすることができる。これは、特に、切替え可能なファセットミラー16、18の場合に可能である。
ミラー20を図4による瞳ファセットミラー18と組み合わせた特に有利な1つの開発では、これらの2つのミラー20、18は単一の光学構成要素として具現される。それらは、特に、多数の個々のミラーを含むアレイ(マルチミラーアレイ、MMA)を有する微小電子機械システム(MEMS)として具現される。そのようなマイクロミラーおよびそれの駆動の詳細については、独国特許出願公開第10 2009 034 502号を参照されたい。そのようなMEMSの場合には、第1の領域22に配列された瞳ファセット19への、および投影光学ユニット9のミラーMiを形成する第2の領域23へのマイクロミラーの割当ては、調整可能なように設定することができる。言い換えれば、第1の領域22の駆動可能な位置、すなわち、配列が可能になる。その上、マイクロミラーの傾斜運動、したがって、第1の領域22の傾斜運動は調節可能である。したがって、この実施形態では、第1の領域22は、投影露光装置1の動作の間調整可能なように、すなわち、移動可能なようにミラー20に配列される。
投影露光装置での使用の代替として、本発明によるミラー20は、さらに、特に、反射型リソグラフィマスクを検査するための、または露光済みウェハ基板を検査するための検査装置で使用することができる。この場合、投影光学ユニット9の像視野10は、検査装置の検査物体視野の構成要素となる。

Claims (15)

  1. a.多数の第1の領域(22)と、
    b.少なくとも1つの第2の放射反射領域(23)と
    を含む分断化された全表面区域(24)を有するミラー(20)であって、
    c.前記第1の領域が、いずれの場合にも、前記少なくとも1つの第2の領域から構造的に区切られ、それによって周辺を取り巻くように囲まれ、
    d.前記第1の領域(22)が非周期的に配列され、
    e.前記第1の領域(22)が、1mmから20mmの範囲の直径を有し、
    f.前記第1の領域(22)が、前記少なくとも1つの第2の放射反射領域(23)の掩蔽を形成する投影露光装置用のミラー(20)。
  2. 前記第1の領域(22)は、格子の頂点上のすべての前記第1の領域(22)の配列から発して、前記第1の領域(22)の少なくとも10%が前記第1の領域(22)の直径の少なくとも半分だけ前記格子の頂点に対してオフセットされるように配列されることを特徴とする請求項1に記載のミラー(20)。
  3. 前記第1の領域(22)は、格子の前記頂点上の配列から発して、前記格子の隣接する頂点間の平均距離のせいぜい半分だけ前記格子の前記頂点に対してオフセットされるように配列されることを特徴とする請求項2に記載のミラー(20)。
  4. 前記第1の領域(22)は、前記ミラー(20)の直径の50%未満の直径を有する領域の前記第1の領域(22)の局所密度が、前記ミラー(20)全体にわたる前記第1の領域(22)の平均密度からせいぜい30%の偏差を有するように均一に分布する方法で配列されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のミラー(20)。
  5. 第1の領域(22)の数が少なくとも100であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のミラー(20)。
  6. 前記第1の領域(22)の総計が、前記ミラー(20)の前記全表面区域(24)のせいぜい30%を占める表面区域を有することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のミラー(20)。
  7. 前記第1の領域(22)が放射透過性であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のミラー(20)。
  8. a.請求項1から7のいずれかに記載の少なくとも1つのミラー(20)と、
    b.前記少なくとも1つのミラー(20)の位置を調節するための調節デバイス(32)と
    を含む光学構成要素(33)。
  9. 請求項1から7のいずれかに記載のミラー(20)を少なくとも2つ有し、それらが前記調節デバイス(32)によって交換可能であることを特徴とする請求項8に記載の光学構成要素(33)。
  10. 請求項1から7のいずれかに記載のミラーを含む、物体視野(5)を像視野(10)に画像化するための投影光学ユニット(9)。
  11. a.物体視野(5)を照明放射(14)で照明するための照明光学ユニット(4)と、
    b.請求項10に記載の投影光学ユニット(9)と
    を含む光学システム(27)であって、
    c.前記ミラー(20)の第1の領域(22)が、前記照明光学ユニット(4)のビーム経路に配列され、
    d.前記ミラー(20)の少なくとも1つの第2の領域(23)が、前記投影光学ユニット(9)のビーム経路に配列される、光学システム(27)。
  12. 前記光学システム(27)が物体側開口数(NAO)と主光線角度(CRA)とを有し、arcsin(NAO)≧CRAが当てはまることを特徴とする請求項11に記載の光学システム(27)。
  13. a.放射源(3)と、
    b.請求項11または12に記載の光学システム(27)と
    を含むマイクロリソグラフィのための投影露光装置(1)。
  14. 請求項1から7のいずれかに記載のミラー(20)の設計を最適化する方法であって、 a.格子の頂点上の前記ミラー(20)のいくつかの第1の領域(22)の配列を用いて前記ミラー(20)の開始設計を予め定めるステップと、
    b.このタイプのミラー(20)をもつ投影光学ユニット(9)の画像品質を評価するための適合関数(f)を予め定めるステップと、
    c.少なくとも1つの目標値と終了規準を予め定めるステップと、
    d.予め定められたアルゴリズムにより前記第1の領域(22)の前記配列を、前記少なくとも1つの予め定められた目標値または前記終了規準が達せられるまで変更するステップと
    を含む、方法。
  15. マイクロまたはナノ構造構成要素を生成する方法であって、
    − レチクル(7)を用意するステップと、
    − 感光被覆を有するウエハ(12)を用意するステップと、
    − 請求項13に記載の投影露光装置(1)の助けによって前記レチクル(7)の少なくとも1つの部分を前記ウェハ(12)上に投影するステップと、
    −前記ウエハ(12)の前記露光済み感光被覆を現像するステップと
    を含む、方法。
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