JP2010112964A - フィルタ、光源装置及び撮像素子の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光源の特性(分光特性、RGB比、色温度等)を保ったまま光量を調整できるNDフィルタ等を提供する。
【解決手段】 フィルタ1は、透明な基板2と、基板2の表面に形成された、均一な膜厚の光反射膜3と、を有する。光反射膜3には、同膜の存在しない多数の微小開口4が分散して開けられている。微小開口4は、フィルタ中の異なる部位毎に合計面積の割合が変化するように形成されており、フィルタへの光入射部位に応じて透過・反射光量が変わる。光反射膜3の膜厚を均一として、同膜に形成された微小開口4の合計面積の割合を変化させているので、入射する光の分光特性やRGB比を変化させずに、光の透過率(反射率)を変えることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 フィルタ1は、透明な基板2と、基板2の表面に形成された、均一な膜厚の光反射膜3と、を有する。光反射膜3には、同膜の存在しない多数の微小開口4が分散して開けられている。微小開口4は、フィルタ中の異なる部位毎に合計面積の割合が変化するように形成されており、フィルタへの光入射部位に応じて透過・反射光量が変わる。光反射膜3の膜厚を均一として、同膜に形成された微小開口4の合計面積の割合を変化させているので、入射する光の分光特性やRGB比を変化させずに、光の透過率(反射率)を変えることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光源装置などに備えられる、光量を連続的に調節するNDフィルタに関する。特には、光の分光特性、色温度及びRGB比を一定に保ったまま光量を連続的に調節できるNDフィルタに関する。さらには、そのようなNDフィルタを備えた光源装置、及び、撮像素子(CMOSセンサ、CCDセンサ等)の検査装置に関する。
撮像素子検査装置などに備えられる光源装置には、光量を連続的に変化させるNDフィルタが備えられている。NDフィルタとしては、一般的には、ガラス等からなる透明の薄い円形又は方形の基板に透過光量が異なる複数の部位が設けられたものが使用される。
図4は、NDフィルタの例を説明する図である。
図4(A)のNDフィルタ40は、ガラス製の透明の薄い円形の基板41の一面に、光反射性の材料(例えば、クロム等)を蒸着したものである。蒸着膜42は、基板41上の径方向に延びるライン43から円周方向に向って連続的に膜厚が変化するように形成されている。例えば、ライン43から時計方向に膜厚が連続的に厚くなるように形成されている。蒸着膜43の膜厚が厚くなるに従い、基板41を透過する光量が連続的に低下する。
図4(A)のNDフィルタ40は、ガラス製の透明の薄い円形の基板41の一面に、光反射性の材料(例えば、クロム等)を蒸着したものである。蒸着膜42は、基板41上の径方向に延びるライン43から円周方向に向って連続的に膜厚が変化するように形成されている。例えば、ライン43から時計方向に膜厚が連続的に厚くなるように形成されている。蒸着膜43の膜厚が厚くなるに従い、基板41を透過する光量が連続的に低下する。
このタイプのNDフィルタ40においては、フィルタ40を透過した光の分光特性などの特性が蒸着膜42の膜厚によって変化する。一例として、RGB(Red−Green−Blue)比が10%程度変わる場合もある。そのようなNDフィルタを撮像素子検査装置の光源に使用した場合、正確な検査結果を得にくいという問題がある。特にスペクトルの広いハロゲンランプを光源に使用した場合は、このスペクトルを保ったまま光量を調整したいという要望がある。
図4(B)のNDフィルタ30は、例えばガラス製の薄い円板31に、円周方向に沿って、透過率が段階的に変化する透過率可変部32−1〜32−6が形成されている。この例では、可変部32−1から32−6に向って時計方向に順に透過率が高くなっている。透過率可変部32としては、例えば、図4(A)で示したような、光反射性の蒸着膜の膜厚の異なる部材などを使用できる。
このタイプのNDフィルタ30は、光量が段階的に変化するため、透過光量の微妙な調整がしづらいという問題点がある。
一方、光路の面積を変化させることにより、色温度を変化させずに光量を調節する手段が提案されている(特許文献1参照)。この方法では、光源から出た光をレンズで集光し、その光路の途中に、複数枚の羽根で構成されたスリットを配置して光路の面積を変える。そして、ミラーボックス又はガラス柱を通して光の照度を均一にしている。
この方法では、光源の色温度や分光特性は変化しないが、羽根の移動機構など多くの部品が必要になり、装置が複雑化する。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、光源の特性(分光特性、RGB比、色温度等)を保ったまま光量を調整できるNDフィルタ等を提供することを目的とする。
本発明のフィルタは、 透明な基板と、 該基板の表面に形成された光反射膜と、を有するフィルタであって、 前記光反射膜に、該膜の存在しない多数の微小開口が分散して開けられているとともに、該フィルタ中の異なる部位毎に前記微小開口の合計面積の割合が変化しており、該フィルタへの光入射部位に応じて透過・反射光量が変わることを特徴とする。
本発明によれば、基板表面に均一な膜厚の光反射膜を形成して、同膜に形成された微小開口の合計面積の割合を変化させているので、入射する光の分光特性やRGB比を変化させずに、光の透過率(反射率)を変えることができる。
本発明おいては、 前記微小開口の面積割合が前記フィルタ上の複数の部位の配列に沿って連続的かつ指数関数的に変化していることが好ましい。
この場合、光の透過率(反射率)を連続して変化させることができるので、光量の微妙な調整が可能となる。
本発明においては、 前記多数の微小開口は同じ面積を有しており、 前記フィルタの部位毎に、単位面積当りの該微小開口の個数を変えることにより、該フィルタの透過・反射光量を変えることとできる。
または、 前記フィルタの部位毎に、前記微小開口の大きさを変えることにより、該部位の透過・反射光量を変えることとしてもよい。
または、 前記フィルタの部位毎に、前記微小開口の大きさを変えることにより、該部位の透過・反射光量を変えることとしてもよい。
本発明においては、 前記フィルタ上において前記微小開口がランダムに配置されていることとすれば、開口を通過した光の干渉を避けることができる。
本発明の光源装置は、 ランプ、及び、該ランプから照射された光が透過するフィルタを備える光源装置であって、 前記フィルタが、上記に記載のフィルタであることを特徴とする。
本発明によれば、ランプから照射された光の分光特性、RGB比、色温度等を変化させずに、光量を変化させることができる。
本発明の撮像素子の検査装置は、 撮像素子に検査用光を照射して同撮像素子の光電変換特性を検査する撮像素子の検査装置であって、 前記撮像素子の受光部に検査用光を照射する上記に記載の光源装置を備えることを特徴とする。
本発明によれば、検査光の分光特性、RGB比、色温度等を変化させずに同光の光量を変化させることができるので、撮像素子の正確な検査を行うことができる。
以上の説明から明らかなように、本発明のNDフィルタは、蒸着膜の膜厚を均一にして微小開口の個数や寸法を変えることで透過率を変化するようにしたので、光源の特性(分光特性、RGB比、色温度等)を保ったまま光量を調整できる。また、撮像素子検査装置に、このようなNDフィルタを備えた光源装置を使用することにより、正確な検査結果を得ることができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係るNDフィルタを説明する図であり、図1(A)は全体の平面図、図1(B)、(C)、(D)は図1(A)の一部を拡大した図である。
このNDフィルタ1は、図1(A)に示すように、透明な薄い円板状の基板2を有する。基板2は、例えば、ガラス等で作製される。一例として、基板2の厚さは1〜4mm、径は100〜150mmである。基板2の中央には、後述するように、フィルタ1を回転可能に支持する軸が挿入される穴2aが開けられている。
図1は、本発明の実施の形態に係るNDフィルタを説明する図であり、図1(A)は全体の平面図、図1(B)、(C)、(D)は図1(A)の一部を拡大した図である。
このNDフィルタ1は、図1(A)に示すように、透明な薄い円板状の基板2を有する。基板2は、例えば、ガラス等で作製される。一例として、基板2の厚さは1〜4mm、径は100〜150mmである。基板2の中央には、後述するように、フィルタ1を回転可能に支持する軸が挿入される穴2aが開けられている。
基板2の一方の面には、光を反射する材料(例えば、Alなど)の膜3が蒸着により均一に形成されている。蒸着膜(光反射膜)3の膜厚は、例えば、Alの場合は150nm〜2μmである。この蒸着膜3には、図1(B)、(C)、(D)に示すように、多数の微小開口4が分散して開けられている。この例では、微小開口4の径は同じであり、例えば、0.1mm〜1.0mmである。微小開口4は、基板2上の径方向に延びるライン5から、図1(A)の矢印で示す円周方向に沿って、単位面積当りの個数が連続的に増加するように配置されている。例えば、ライン5から円周方向に中心角度が約90°の部位P1では、図1(B)に示すように、単位面積(1cm2)当り41個、180°の部位P2では、図1(C)に示すように341個、さらに270°の部位P3では、図1(D)に示すように2820個である。各部位において、微小開口4はランダムに分散して配置されている。
このように基板2の部位毎に単位面積当りの微小開口4の個数を変化させると、部位毎に微小開口4の合計面積の割合が変化する。例えば、ライン5から中心角度が90°の部位P1(単位面積(1cm2)当り41個)では合計面積の割合が0.41%、180°の部位P2(341個)では34.1%、270°の部位P3(2820個)では28.2%である。これにより、フィルタ1へ入射した光の透過光量(反射光量)が各部位によって変わる。つまり、微小開口4の合計面積割合が高いほど透過率が高く(反射率は低く)なる。透過率は、例えば、単位面積当りの微小開口の合計面積の割合が0.41%の部位P1では0.41%、3.41%の部位P2では3.41%、28.2%の部位P3では28.2%となる。このように、微小開口4の合計面積の割合に比例して透過率が変化する。
このNDフィルタ1においては、蒸着膜3の膜厚が均一であるので、各部位において、光の分光特性や色温度、RGB比が変化しない。また、各部位に微小開口4をランダムに分散して配置しているので、微小開口4を透過した光の干渉を避けることができる。
このようなNDフィルタ1は、一般には以下のように作製する。まず、ガラス製の円形の基板を準備し、同基板上に、Al膜を蒸着する。蒸着膜の膜厚は、十分な反射率を得られる膜厚であり、一例として150nmである。次に、蒸着膜上にレジストを塗布し、予め設定しておいた微小開口配置パターンをレジスト膜に描画する。そして、微小開口配置パターンをエッチングにより除去して、微小開口の存在するAl膜を除去する。最後にレジスト膜を除去する。
図2は、本発明の他の実施の形態に係るNDフィルタを説明する図であり、図2(A)は全体の平面図、図2(B)、(C)、(D)は図2(A)の一部を拡大した図である。
この例のNDフィルタ1´では、図1のNDフィルタ1と同様に、基板2の一面に形成された膜厚の均一なAl蒸着膜3に微小開口4が形成されたものであるが、フィルタの部位毎に微小開口4の寸法(径)を変化させている。
この例のNDフィルタ1´では、図1のNDフィルタ1と同様に、基板2の一面に形成された膜厚の均一なAl蒸着膜3に微小開口4が形成されたものであるが、フィルタの部位毎に微小開口4の寸法(径)を変化させている。
微小開口4の径は、例えば、基板2の径方向に延びるライン5から中心角度が90°の部位P1では径が0.1mm、180°の部位P2では径が0.83mm、270°の部位P3では径が6.82mmである。各部位において、微小開口4はランダムに分散して配置されている。なお、各部位において微小開口4は、図2(B)〜(D)に示すように同じ配置パターンに形成されていても、異なる配置パターンに形成されていてもよい。
このようにフィルタの部位毎に微小開口4の径を変えることによっても、部位毎の単位面積当りの微小開口4の合計面積の割合を変えることができる。そして、微小開口4の合計面積の割合に比例して透過率が変化する。
次に、撮像素子検査装置を説明する。
図3は、本発明の実施の形態に係る撮像素子の検査装置の構成を示す図である。
この検査装置20は、撮像素子(CCDセンサ、CMOSセンサなど)の受光部に検査用光を照射する光源装置10と、光源装置10から発せられる光を均一化する手段21とを備える。
図3は、本発明の実施の形態に係る撮像素子の検査装置の構成を示す図である。
この検査装置20は、撮像素子(CCDセンサ、CMOSセンサなど)の受光部に検査用光を照射する光源装置10と、光源装置10から発せられる光を均一化する手段21とを備える。
光源装置10は、ランプ11、及び、ランプ11から照射された光が透過するフィルタ1を備える。ランプ11としては、例えば、ハロゲンランプを使用できる。NDフィルタ1は、図1又は図2のNDフィルタ1又は1´を使用できる。NDフィルタ1の中央の穴には、モータ12(例えばステッピングモータ)の回転軸12aが挿通されて固定されている。NDフィルタ1は、光軸に対して直角あるいはやや傾いて、光路中に配置されている。モータ12を回転させることにより、NDフィルタ1の所望の部位を光路に位置させることができる。
光路中のNDフィルタ1の先には、光を均一化させる手段(例えばホモジナイザー)21が配置されている。この手段21により、NDフィルタ1を透過した光が均一化される。同手段21を出た光は、レンズなどを経て撮像素子の受光面に照射される。
1 NDフィルタ 2 基板
3 蒸着膜 4 微小開口
5 ライン
10 光源装置 11 ランプ
12 モータ
20 検査装置 21 光均一化手段
3 蒸着膜 4 微小開口
5 ライン
10 光源装置 11 ランプ
12 モータ
20 検査装置 21 光均一化手段
Claims (7)
- 透明な基板と、
該基板の表面に形成された光反射膜と、
を有するフィルタであって、
前記光反射膜に、該膜の存在しない多数の微小開口が分散して開けられているとともに、該フィルタ中の異なる部位毎に前記微小開口の合計面積の割合が変化しており、該フィルタへの光入射部位に応じて透過・反射光量が変わることを特徴とするフィルタ。 - 前記微小開口の面積割合が前記フィルタ上の複数の部位の配列に沿って連続的に変化していることを特徴とする請求項1記載のフィルタ。
- 前記多数の微小開口は同じ面積を有しており、
前記フィルタの部位毎に、単位面積当りの該微小開口の個数を変えることにより、該フィルタの透過・反射光量を変えることを特徴とする請求項1又は2記載のフィルタ。 - 前記フィルタの部位毎に、前記微小開口の大きさを変えることにより、該部位の透過・反射光量を変えることを特徴とする請求項1又は2記載のフィルタ。
- 前記フィルタ上において前記微小開口がランダムに配置されていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載のフィルタ。
- ランプ、及び、該ランプから照射された光が透過するフィルタを備える光源装置であって、
前記フィルタが、請求項1〜5のいずれか1項に記載のフィルタであることを特徴とする光源装置。 - 撮像素子に検査用光を照射して同撮像素子の光電変換特性を検査する撮像素子の検査装置であって、
前記撮像素子の受光部に検査用光を照射する請求項6記載の光源装置を備えることを特徴とする撮像素子の検査装置。
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