JP6721454B2 - 時計用部品 - Google Patents
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Description
ン系樹脂による樹脂層を2μm以上、10μm以下で形成し、時計用部品の特性を損なわず時計用部品の機能を維持しつつ時計用部品の機械的強度の向上と生産性の向上を達成するものである。
以下、本発明の実施形態における時計用部品として機械式腕時計用の部品である「ひげぜんまい」を例に説明するが、本発明はこれに限らず他の時計用部品に広く適用可能である。
図1A及び図1Bを用いて本実施形態を詳述する。図1Aは、本発明の実施形態におけるひげぜんまい1の平面図であって、ひげぜんまい1を図示しない機械式腕時計の回転軸体の軸方向から平面視したときの様子を示している。説明のため、ひげぜんまい1は渦巻き状のバネの巻き数が4巻きの場合を示している。
図1Bは、図1Aに示すぜんまい部2のA−A’断面図である。図1Bではぜんまい部2のA−A’断面である4つのぜんまい部2の断面を拡大して示してあり、4つの断面にぜんまい腕20a、20b、20c、20dの符号を付与して説明する。
ぜんまい部2は間隔k1の渦巻きを形成しており、ぜんまい腕20aから20dの各々
の形状は、ぜんまいによって異なるが、おおよそ幅eは20μmから60μm、高さhは70μmから200μmの範囲である。
樹脂層6はシリコンよりも剛性が低い樹脂であるパラキシリレン系樹脂を用い形成され、その厚さtは2μm以上10μm以下であって、機械的強度を高めるための最適な厚さは3μm以上5μm以下である。
図2を用いて本発明の時計用部品の製造方法を説明する。図2は本発明の時計用部品であるひげぜんまい1の製造工程を示すフローチャートである。図2に示すように、ひげぜんまい1の製造方法はステップST1からステップST3で構成される。
以下、図3Aから図4Cを用いてステップST1からステップST3の詳細を説明する。図3Aから図3BはステップST1に関し、図3Cから図4BはステップST2に関し、図4CはステップST3に関する。なお図3Aから図4Cにおいては図1Aに示すひげぜんまい1のA−A’断面に対応する部分のみを図示している。
図3Aから図3Bは、ひげぜんまい1の外形を形成するための外形マスク形成工程である。なお説明のため、図3Aから図4Cに示す断面図は、図1Aに示すひげぜんまい1のA−A’断面に対応する部分を図示しており、他の部分についても同様である。
図3Aに示すように、少なくともひげぜんまい1が取り出せる大きさと厚みとを有するシリコン基板200の上面200u及び下面200bにレジストRを塗付する。
シリコン基板200は、ひげぜんまい1が多数個取り出せる大きさが好ましい。またレジストRはフォトリソグラフィで多用される樹脂系の液体レジストを用いる。
以上でステップST1が終了する。
次に図3Cに示すように、シリコン基板200をボッシュプロセスとして知られた方法を用いてエッチングする。詳細には外形形成用マスク9を形成したシリコン基板200にエッチング用ガスG1とパッシベーション用ガスG2とを交互に各々所定の時間印加する
。
以上でステップST2が終了する。
図4Cは樹脂層形成工程(ステップST3)を説明する断面図である。ステップST3では、未処理ひげぜんまい1pに、樹脂層6を形成する。
図示していないが、未処理ひげぜんまい1pを純水等で洗浄し不純物を除去する。
図5から図8を用いて実施形態における効果を説明する。図5から図8は、パラキシレン系樹脂膜の有用性確認実験の結果を示すグラフであり、各々SiO2被膜による測定結果を参照データとして示している。
ても破損しない耐衝撃性を付与するためにはSiO2被膜において1から10μmの厚さが必要であり、一方パラキシリレン系樹脂膜においては2から10μmの厚さが必要である。すなわちパラキシリレン系樹脂膜はSiO2被膜と同等の強度を有している。
さらに最も高い耐衝撃性が得られるのは、SiO2被膜において2μmから5μmの厚さが必要であり、一方パラキシリレン系樹脂膜においては3μmから5μmの厚さであることがわかる。
すなわちパラキシリレン系樹脂膜を用いれば、SiO2被膜における生成時間の1/2程度の時間で、SiO2被膜と同等の機械的強度を有する膜を形成可能である。
図7に示すように、SiO2被膜とパラキシリレン系樹脂膜を同じ厚さになるように形成すると、パラキシリレン系樹脂膜の相対重量はSiO2被膜の1/2以下である。一般にシリコンの材料特性は、形成された膜の重量によって影響を受けるので、SiO2被膜より軽いパラキシリレン系樹脂膜はシリコンの材料特性を損なわず有利である。
図9及び図10を用いて本発明を上記実施形態とは異なる時計用部品へ適用した例を説明する。図9及び図10は、本発明の応用例を示す斜視図であって、図9はガンギ歯車体11、図10はアンクル体31として知られている腕時計の部品である。
本発明をガンギ歯車体11やアンクル体31に応用した場合の効果は、ひげぜんまいを例として説明した実施形態の効果と同様に、ガンギ歯車体11、アンクル体31において機械的強度を高め、かつヤング率の低下と重量の増加とを最小限に抑えることである。
1p 未処理ひげぜんまい
11 ガンギ歯車体
11a、31a シリコンコア
31 アンクル体
2 ぜんまい部
20a、20b、20c、20d ぜんまい腕
3 ひげ玉
3b ひげ玉固定部
3a、4a 貫通孔
3b 接続部
4 ひげ持
6 樹脂層
9 外形形成用マスク
9w マスク開口部
200 シリコン基板
200u 上面
200b 下面
R レジスト
c 外形線
t (樹脂膜の)厚さ
e ぜんまい腕幅
h ぜんまい腕高さ
k1 ぜんまい部間隔
G1 エッチング用ガス
G2 パッシべーション用ガス
Claims (4)
- 回転軸体と嵌合するための貫通孔を有し、前記回転軸体を中心として回転又は揺動する脆性材料からなる母材の表面に樹脂層を設けた時計用部品であって、
前記樹脂層は、パラキシリレン系樹脂が、2μm以上、10μm以下の厚みで形成されていることを特徴とする時計用部品。 - 前記樹脂層の厚みが3μm以上、5μm以下である
ことを特徴とする請求項1に記載の時計用部品。 - 前記母材は、シリコンである
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の時計用部品。 - 前記時計用部品は、ひげぜんまいである
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一つに記載の時計用部品。
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