JP6715259B2 - 極端紫外光生成装置 - Google Patents
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Description
1.極端紫外光生成システムの全体説明
1.1 構成
1.2 動作
2.比較例に係るEUV光生成装置
2.1 構成
2.1.1 ターゲット供給部
2.1.2 レーザ装置
2.1.3 レーザ光進行方向制御部
2.1.4 レーザ光集光光学系
2.1.5 EUV光センサ
2.2 動作
2.2.1 ターゲットの出力
2.2.2 プラズマの生成
2.2.3 EUV重心位置の検出
2.3 課題
3.光路を調整可能なビームコンバイナモジュール
3.1 構成
3.2 動作及び作用
3.3 効果
4.複数のアクチュエータを含むビームコンバイナモジュール
5.複数のターゲットカメラを含むEUV光生成装置
5.1 構成
5.2 動作
6.1つのターゲットに2つのプリパルスレーザ光と1つのメインパルスレーザ光とを照射するEUV光生成装置
6.1 構成
6.2 動作
6.3 効果
7.2つのプリパルスレーザ光と1つのメインパルスレーザ光とを長距離伝送するEUV光生成装置
7.1 構成
7.2 動作
7.3 効果
8.制御部の構成
1.1 構成
図1に、例示的なLPP式のEUV光生成システムの構成を概略的に示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザ装置3と共に用いられてもよい。本願においては、EUV光生成装置1及びレーザ装置3を含むシステムを、EUV光生成システム11と称する。図1に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2及びターゲット供給部26を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給部26は、例えば、チャンバ2の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給部26から供給されるターゲット物質の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、又は、それらの内のいずれか2つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照に、レーザ装置3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御部34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過して、チャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光路に沿ってチャンバ2内に進み、レーザ光集光ミラー22で反射されて、パルスレーザ光33としてターゲット27に照射されてもよい。
2.1 構成
図2及び図3は、本開示の比較例に係るEUV光生成システムの構成を概略的に示す。図2及び図3に示されるように、EUV光の出力方向をZ方向としてもよい。ターゲットの出力方向と反対の方向をY方向としてもよい。Z方向とY方向との両方に垂直な方向をX方向としてもよい。図2は−X方向の位置からX方向に見たEUV光生成システムを示す。図3はZ方向の位置から−Z方向に見たEUV光生成システムを示す。座標系の定義はこれに限定されず、例えばターゲットの出力方向に対してY方向が傾いていてもよい。
ターゲット供給部26は、チャンバ2aの壁面に形成された貫通孔2bを貫通するように配置されていてもよい。貫通孔2bの周囲のチャンバ2aの壁面と、ターゲット供給部26との間には、図示しないシール手段が配置されてもよい。シール手段により、貫通孔2bの周囲のチャンバ2aの壁面とターゲット供給部26との間が密閉されてもよい。
レーザ装置3は、プリパルスレーザ3pと、メインパルスレーザ3mとを含んでもよい。プリパルスレーザ3pは、EUV光生成制御部5から出力される制御信号に従い、プリパルスレーザ光31pを出力するように構成されてもよい。メインパルスレーザ3mは、EUV光生成制御部5から出力される制御信号に従い、メインパルスレーザ光31mを出力するように構成されてもよい。プリパルスレーザ光31pの波長よりも、メインパルスレーザ光31mの波長が長くてもよい。プリパルスレーザ光31pのエネルギーよりも、メインパルスレーザ光31mのエネルギーが大きくてもよい。プリパルスレーザ光31pは、本開示における第1のパルスレーザ光に相当し得る。メインパルスレーザ光31mは、本開示における第2のパルスレーザ光に相当し得る。
チャンバ2aの外部に配置されたレーザ光進行方向制御部34aは、高反射ミラー341及び342を含んでもよい。高反射ミラー341及び342は、プリパルスレーザ3pから出力されるプリパルスレーザ光31pの光路に配置されていてもよい。高反射ミラー341は、ホルダ343によって支持されていてもよい。高反射ミラー342は、ホルダ344によって支持されていてもよい。高反射ミラー341及び342は、プリパルスレーザ光31pを順次反射するように構成されていてもよい。
チャンバ2aの内部には、レーザ光集光光学系22aと、EUV集光ミラーホルダ81と、プレート82及びプレート83と、レーザ光集光光学系アクチュエータ84とが設けられてもよい。
図3に示されるように、EUV光センサ70c〜70eが、それぞれチャンバ2aの壁面に取り付けられてもよい。
2.2.1 ターゲットの出力
上述のターゲット供給部26において、不活性ガスによって加圧されたターゲットの材料は、上記開口部を介して出力されてもよい。上述の加振装置によってターゲット供給部26に振動が与えられることにより、ターゲットの材料は複数のドロップレットに分離されてもよい。それぞれのドロップレットが、ターゲット27として、ターゲット供給部26からプラズマ生成領域25までの軌道に沿って移動してもよい。
プリパルスレーザ3pから出力されたプリパルスレーザ光31p及びメインパルスレーザ3mから出力されたメインパルスレーザ光31mは、レーザ光進行方向制御部34aを経て、パルスレーザ光32としてレーザ光集光光学系22aに導かれてもよい。
EUV光センサ70c〜70eの各々は、プラズマから放射されてEUV光センサ70c〜70eの各々に到達するEUV光のエネルギーを検出してもよい。EUV光生成制御部5は、EUV光センサ70c〜70eによって検出されたEUV光のエネルギーに基づいて、以下のようにEUV重心位置を算出してもよい。
図4Aは、図2及び図3に示されるEUV光生成システムにおいてレーザ光集光光学系アクチュエータ84を制御しない場合のEUV光のエネルギーの時間的な推移を示す。図4Bは、図4Aに示す場合のパルスレーザ光のプラズマ生成領域25の近傍における光路位置の時間的な推移を示す。パルスレーザ光のプラズマ生成領域25の近傍における光路位置は、上述のEUV重心位置の算出結果から推定されてもよい。また、この光路位置は、X方向の光路位置とY方向の光路位置とで表されてもよい。
3.1 構成
図6は、本開示の第1の実施形態に係るEUV光生成システムの構成を概略的に示す。第1の実施形態においては、ビームコンバイナ409によってメインパルスレーザ光31mの光路と結合される前のプリパルスレーザ光31pの光路に、高反射ミラー401及び高反射ミラー402が配置されてもよい。高反射ミラー401はホルダ403に支持されてもよい。高反射ミラー402はホルダ404に支持されてもよい。
他の点については、図2及び図3を参照しながら説明した比較例の構成と同様でよい。
レーザ光集光光学系22aによるプリパルスレーザ光31pの集光径は、レーザ光集光光学系22aによるメインパルスレーザ光31mの集光径より小さくてよい。従って、プリパルスレーザ光31pのプラズマ生成領域25の近傍における光路位置の精度を高めることは、メインパルスレーザ光31mのプラズマ生成領域25の近傍における光路位置の精度を高めることよりも、EUV光のエネルギーの安定化に寄与しやすい。
CentX=(E2−E3)/(E2+E3)
CentY=(E1−E2)/(E1+E2)
ΔX=CenttargetX−CentX
SVX=KpX×ΔX+KiX×IX(ΔX)
ここで、ΔXは、EUV重心の目標位置CenttargetXとEUV重心位置CentXとの偏差であってもよい。設定値SVXは、PI制御において制御対象に入力される設定値であって、比例ゲインKpXと偏差ΔXとの積に、積分ゲインKiXと積分項IX(ΔX)との積を加算したものでもよい。
ΔY=CenttargetY−CentY
SVY=KpY×ΔY+KiY×IY(ΔY)
MX=MX+SVX×αX
MY=MY+SVY×αY
ここで、αX及びαYの各々は、高速アクチュエータ411の特性パラメータであってもよい。
次に、S109において、EUV光生成制御部5は、データの取得回数n1の値を1に戻してもよい。また、EUV光生成制御部5は、高速アクチュエータ411の駆動回数n2の値に1を加えて、高速アクチュエータ411の駆動回数n2の値を更新してもよい。
Δx=StargetX−Average(MX)
svx=kpx×Δx+kix×ix(Δx)
ここで、Δxは、高速アクチュエータ411の可動範囲の中心位置StargetXと、高速アクチュエータ411のN2回分の平均位置Average(MX)と、の偏差であってもよい。設定値svxは、例えばPI制御において制御対象に入力される設定値であって、比例ゲインkpxと偏差Δxとの積に、積分ゲインkixと積分項ix(Δx)との積を加算したものでもよい。
Δy=StargetY−Average(MY)
svy=kpy×Δy+kiy×iy(Δy)
Sx=Sx+svx×αx
Sy=Sy+svy×αy
ここで、αx及びαyの各々は、レーザ光集光光学系アクチュエータ84の特性パラメータであってもよい。
図8は、第1の実施形態において光路調整をしない場合のプリパルスレーザ光31pのプラズマ生成領域25の近傍における光路位置の時間的な推移を示す。さらに図8は、高速アクチュエータ411による光路調整及びレーザ光集光光学系アクチュエータ84による光路調整に伴う光路位置および光路調整範囲の時間的な推移も示す。図8においては、X方向の光路位置とX方向の光路調整のみを例示的に示している。X方向の光路位置は、EUV重心の目標位置を0として、EUV重心の目標位置から光路位置までのX方向の位置で示している。
図10は、本開示の第2の実施形態に係るEUV光生成システムの構成を概略的に示す。第2の実施形態において、ビームコンバイナ409によって結合された後のメインパルスレーザ光31m及びプリパルスレーザ光31pの光路に配置された高反射ミラー406及びホルダ408は、ミラーアクチュエータ412によってその姿勢を変更可能であってもよい。ミラーアクチュエータ412を制御することにより、メインパルスレーザ光31m及びプリパルスレーザ光31pのプラズマ生成領域25の近傍における光路位置を調整可能であってもよい。ミラーアクチュエータ412は、EUV光生成制御部5によって制御されてもよい。ミラーアクチュエータ412は、本開示における第2のアクチュエータに相当し得る。第1の実施形態における第2のアクチュエータであるレーザ光集光光学系アクチュエータ84は、第2の実施形態においては設けられなくてもよい。
他の点については、図6を参照しながら説明した第1の実施形態の構成と同様でよい。
第2の実施形態によれば、上述の第1の実施形態の効果と同様の効果を奏し得る。
5.1 構成
図11は、本開示の第3の実施形態に係るEUV光生成システムの構成を概略的に示す。第3の実施形態においては、ターゲットカメラ80c及び80dが設けられていてもよい。ターゲットカメラ80c及び80dは、図3を参照しながら説明したEUV光センサ70c及び70dとそれぞれほぼ同等の位置に配置されていてもよい。チャンバ2aの壁面には、ターゲットカメラ80c及び80dが取り付けられる位置に、それぞれウインドウ21c及び21dが配置されていてもよい。ターゲットカメラ80cは、イメージセンサ74cと、転写光学系75cと、筐体73cと、を含んでもよい。イメージセンサ74c及び転写光学系75cが、筐体73cに収容されてもよい。筐体73cには、図示しない高速シャッタがさらに収容されていてもよい。ターゲットカメラ80dの構成要素は、ターゲットカメラ80cの構成要素と同様でよい。但し、ターゲットカメラ80dの構成要素は、それぞれの符号の末尾を「d」として図示されている。
なお、図11においては、X方向、Y方向、Z方向の他に、XY面内で互いに垂直なC方向とD方向とが定義されてもよい。C方向はターゲットカメラ80cの撮影方向に相当し、D方向はターゲットカメラ80dの撮影方向に相当し得る。
ターゲットカメラ80c及び80dは、プリパルスレーザ光31pを照射された直後のターゲットを撮影してもよい。EUV光生成制御部5は、プリパルスレーザ光31pを照射された直後でメインパルスレーザ光31mが照射される前のターゲットの画像に基づいて、プリパルスレーザ光31pのプラズマ生成領域25の近傍における光路位置を算出してもよい。あるいは、ターゲットカメラ80c及び80dは、ターゲット27にプリパルスレーザ光31p及びメインパルスレーザ光31mが照射されることにより生成されたプラズマを撮影してもよい。EUV光生成制御部5は、プラズマの画像に基づいて、EUV重心位置を算出してもよい。
図12A〜図12Cに示されるように、プリパルスレーザ光31pがターゲット27の中心よりもC方向寄りにずれてターゲット27に照射された場合には、上述のほぼ直線の部分Bは、Z方向と垂直な角度よりも、時計回りにわずかにずれた傾きを有していてもよい。なお、C軸におけるプリパルスレーザ光31pとターゲット27中心とのずれ量をΔC、Z軸に対する部分Bの角度をθとしてもよい。
図12G〜図12Iに示されるように、プリパルスレーザ光31pがターゲット27の中心よりも−C方向寄りにずれてターゲット27に照射された場合には、上述のほぼ直線の部分Bは、Z方向と垂直な角度よりも、反時計回りにわずかにずれた傾きを有していてもよい。
他の点については、上述の第1の実施形態又は第2の実施形態と同様でよい。
6.1 構成
図13は、本開示の第4の実施形態に係るEUV光生成システムの構成を概略的に示す。第4の実施形態においては、レーザ装置3が、第1のプリパルスレーザ3fpと、第2のプリパルスレーザ3spと、メインパルスレーザ3mとを含んでもよい。
第1のプリパルスレーザ光31fpは、本開示における第1のパルスレーザ光に相当し得る。第2のプリパルスレーザ光31sp及びメインパルスレーザ光31mは、本開示における複数の第2のパルスレーザ光に相当し得る。
他の点については、図6を参照しながら説明した第1の実施形態の構成と同様でよい。
第1のプリパルスレーザ光31fp、第2のプリパルスレーザ光31sp、及びメインパルスレーザ光31mは、レーザ光進行方向制御部34a及びレーザ光集光光学系22aを経て、パルスレーザ光33としてプラズマ生成領域25に集光されてもよい。
あるいは、第2の実施形態と同様に、レーザ光集光光学系アクチュエータ84に対する制御の代わりにミラーアクチュエータ412に対する制御が行われてもよい。
あるいは、第3の実施形態と同様に、EUV光センサ70c〜70eによる検出データに基づく制御の代わりに、ターゲットカメラ80c及び80dによる画像データに基づく制御が行われてもよい。画像データに基づく制御は、第2のプリパルスレーザ光31spが二次ターゲットに照射される前の当該二次ターゲットを撮像した画像データに基づく制御であってもよい。あるいは、画像データに基づく制御は、第2のプリパルスレーザ光31spが二次ターゲットに照射された後、メインパルスレーザ光31mが照射される前の当該二次ターゲットを撮像した画像データに基づく制御であってもよい。
第4の実施形態においては、1つのターゲット27に第1のプリパルスレーザ光31fpと、第2のプリパルスレーザ光31spと、メインパルスレーザ光mpとが照射される。第1のプリパルスレーザ光31fpの光路に、高速アクチュエータ411によって姿勢制御される高反射ミラー402が配置されている。これにより、第1のプリパルスレーザ光31fpのプラズマ生成領域25の近傍における光路位置の精度を高めることができる。
7.1 構成
図14は、本開示の第5の実施形態に係るEUV光生成システムの構成を概略的に示す。第5の実施形態においては、レーザ光進行方向制御部34aが、ビームコンバイナ351を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部34aに含まれるビームコンバイナモジュール40は、ビームスプリッタ415を含んでもよい。
ビームコンバイナ351は、高反射ミラー349によって反射された第1のプリパルスレーザ光31fpの光路と、第2のプリパルスレーザ3spから出力された第2のプリパルスレーザ光31spの光路とが交差する位置に配置されてもよい。ビームコンバイナ351は、ホルダ352によって支持されていてもよい。
ビームコンバイナ351は、本開示における第3のビームコンバイナに相当し得る。
図示しない光センサが、高反射ミラー345によって反射されたメインパルスレーザ光31mの光路の任意の位置に配置されてもよい。この光センサが、高反射ミラー345によって反射されたメインパルスレーザ光31mのビームポジション及びポインティングを検出してもよい。この光センサの出力に基づいて、メインパルスレーザ光31mが高反射ミラー346の所望位置に入射するように、アクチュエータ357が制御されてもよい。
図示しない光センサが、高反射ミラー346によって反射されたメインパルスレーザ光31mの光路の任意の位置に配置されてもよい。この光センサが、高反射ミラー346によって反射されたメインパルスレーザ光31mのビームポジション及びポインティングを検出してもよい。この光センサの出力に基づいて、メインパルスレーザ光31mがビームコンバイナモジュール40の所望位置に入射するように、アクチュエータ358が制御されてもよい。
ビームスプリッタ415を透過した第2のプリパルスレーザ光31spの第2の光路に、高反射ミラー401が配置されていてもよい。
高反射ミラー402によって反射された第1のプリパルスレーザ光31fpの光路と、高反射ミラー401によって反射された第2のプリパルスレーザ光31spの光路とが交差する位置に、ビームコンバイナ413が配置されてもよい。
他の点については、図13を参照しながら説明した第4の実施形態の構成と同様でよい。
ビームコンバイナ351によって光路の中心軸をほぼ一致させられた第1のプリパルスレーザ光31fp及び第2のプリパルスレーザ光31spは、高反射ミラー341及び高反射ミラー342を経て、ビームスプリッタ415に入射してもよい。
他の点については、第4の実施形態の動作と同様でよい。
第5の実施形態においては、高反射ミラー341から高反射ミラー342までの光学素子を第1のプリパルスレーザ光31fp及び第2のプリパルスレーザ光31spで共用化することができる。光学素子の共用化は、第1のプリパルスレーザ光31fp及び第2のプリパルスレーザ光31spの波長がほぼ同一である場合に特に好ましい。光学素子の共用化により、第1のプリパルスレーザ光31fp及び第2のプリパルスレーザ光31spを長距離伝送する場合に、ミラー及びその他の部品点数を大幅に削減することができる。
図15は、制御部の概略構成を示すブロック図である。
上述した実施の形態におけるEUV光生成制御部5等の制御部は、コンピュータやプログラマブルコントローラ等汎用の制御機器によって構成されてもよい。例えば、以下のように構成されてもよい。
制御部は、処理部1000と、処理部1000に接続される、ストレージメモリ1005と、ユーザインターフェイス1010と、パラレルI/Oコントローラ1020と、シリアルI/Oコントローラ1030と、A/D、D/Aコンバータ1040とによって構成されてもよい。また、処理部1000は、CPU1001と、CPU1001に接続された、メモリ1002と、タイマー1003と、GPU1004とから構成されてもよい。
処理部1000は、ストレージメモリ1005に記憶されたプログラムを読出してもよい。また、処理部1000は、読出したプログラムを実行したり、プログラムの実行に従ってストレージメモリ1005からデータを読出したり、ストレージメモリ1005にデータを記憶させたりしてもよい。
シリアルI/Oコントローラ1030に接続される、シリアルI/Oポートを介して通信可能な機器1031〜103xは、ターゲット供給部26、レーザ光集光光学系アクチュエータ84、高速アクチュエータ411等であってもよい。
A/D、D/Aコンバータ1040に接続される、アナログポートを介して通信可能な機器1041〜104xは、EUV光センサ70c〜70e等の各種センサであってもよい。
以上のように構成されることで、制御部は各実施形態に示された動作を実現可能であってよい。
Claims (20)
- 所定の領域においてターゲットに照射されて二次ターゲットを生成するための第1のパルスレーザ光と、前記所定の領域において前記二次ターゲットに照射されてプラズマを生成するための第2のパルスレーザ光と、が入射するためのウインドウを有するチャンバと、
前記第1のパルスレーザ光を反射するミラーと、
前記ミラーの位置又は姿勢を制御する第1のアクチュエータと、
前記ミラーによって反射された前記第1のパルスレーザ光と、前記第2のパルスレーザ光と、の光路をほぼ一致させて出力するビームコンバイナと、
前記ビームコンバイナから出力された前記第1のパルスレーザ光及び前記第2のパルスレーザ光を、前記所定の領域に向けて出力する反射光学系と、
前記反射光学系の位置又は姿勢を制御する第2のアクチュエータと、
前記第1のパルスレーザ光の前記所定の領域の近傍における光路位置を検出するための検出データをそれぞれ出力する複数のセンサと、
前記検出データに基づいて、前記第1のアクチュエータを制御し、前記第1のアクチュエータの制御値に基づいて、前記第2のアクチュエータを制御するコントローラと、
を備える極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記第1のパルスレーザ光の前記所定の領域の近傍における光路軸と垂直な1つの平面内に配置された、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記プラズマから放出される光をそれぞれ受光して前記検出データをそれぞれ出力する、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記二次ターゲットをそれぞれ撮像して前記検出データをそれぞれ出力する、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 前記反射光学系は、前記第1のパルスレーザ光及び前記第2のパルスレーザ光を、前記所定の領域に集光する光学系である、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 前記コントローラは、前記第1のアクチュエータを、前記第2のアクチュエータよりも高い頻度で制御する、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 前記第1のアクチュエータの応答速度は、前記第2のアクチュエータの応答速度よりも早い、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 前記第1のアクチュエータによる光路調整範囲よりも、前記第2のアクチュエータによる光路調整範囲が広い、
請求項1記載の極端紫外光生成装置。 - 所定の領域においてターゲットに照射されて二次ターゲットを生成するための第1のパルスレーザ光と、前記所定の領域において前記二次ターゲットに照射されてプラズマを生成するための複数の第2のパルスレーザ光と、が入射するためのウインドウを有するチャンバと、
前記第1のパルスレーザ光を反射するミラーと、
前記ミラーの位置又は姿勢を制御する第1のアクチュエータと、
前記ミラーによって反射された前記第1のパルスレーザ光と、前記複数の第2のパルスレーザ光と、の光路をほぼ一致させて出力する少なくとも1つのビームコンバイナと、
前記ビームコンバイナから出力された前記第1のパルスレーザ光及び前記複数の第2のパルスレーザ光を、前記所定の領域に向けて出力する反射光学系と、
前記反射光学系の位置又は姿勢を制御する第2のアクチュエータと、
前記第1のパルスレーザ光の前記所定の領域の近傍における光路位置を検出するための検出データをそれぞれ出力する複数のセンサと、
前記検出データに基づいて、前記第1のアクチュエータを制御し、前記第1のアクチュエータの制御値に基づいて、前記第2のアクチュエータを制御するコントローラと、
を備える極端紫外光生成装置。 - 前記第1のパルスレーザ光は、第1のプリパルスレーザ光を含み、
前記複数の第2のパルスレーザ光は、第2のプリパルスレーザ光とメインパルスレーザ光とを含み、
前記第2のプリパルスレーザ光は、前記二次ターゲットに照射され、
前記メインパルスレーザ光は、前記第2のプリパルスレーザ光が前記二次ターゲットに照射された後に前記二次ターゲットに照射される、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。 - 前記少なくとも1つのビームコンバイナは、
前記ミラーによって反射された前記第1のプリパルスレーザ光と、前記第2のプリパルスレーザ光と、の光路をほぼ一致させて出力する第1のビームコンバイナと、
前記第1のビームコンバイナから出力された前記第1のプリパルスレーザ光と、前記第1のビームコンバイナから出力された前記第2のプリパルスレーザ光と、前記メインパルスレーザ光と、の光路をほぼ一致させて出力する第2のビームコンバイナと、
を含む、請求項10記載の極端紫外光生成装置。 - 前記第1のプリパルスレーザ光と、前記第2のプリパルスレーザ光と、の光路をほぼ一致させて出力する第3のビームコンバイナと、
前記第3のビームコンバイナから出力された前記第1のプリパルスレーザ光を前記ミラーへの第1の光路に沿って出力し、前記第3のビームコンバイナから出力された前記第2のプリパルスレーザ光を前記第1のビームコンバイナへの第2の光路に沿って出力するビームスプリッタと、
をさらに備える、請求項11記載の極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記第2のプリパルスレーザ光が前記二次ターゲットに照射される前の前記二次ターゲットをそれぞれ撮像して前記検出データをそれぞれ出力する、
請求項10記載の極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記第2のプリパルスレーザ光が前記二次ターゲットに照射された後の前記二次ターゲットをそれぞれ撮像して前記検出データをそれぞれ出力する、
請求項10記載の極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記第1のパルスレーザ光の前記所定の領域の近傍における光路軸と垂直な1つの平面内に配置された、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。 - 前記複数のセンサは、前記プラズマから放出される光をそれぞれ受光して前記検出データをそれぞれ出力する、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。 - 前記反射光学系は、前記第1のパルスレーザ光及び前記複数の第2のパルスレーザ光を、前記所定の領域に集光する光学系である、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。 - 前記コントローラは、前記第1のアクチュエータを、前記第2のアクチュエータよりも高い頻度で制御する、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。 - 前記第1のアクチュエータの応答速度は、前記第2のアクチュエータの応答速度よりも早い、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。 - 前記第1のアクチュエータによる光路調整範囲よりも、前記第2のアクチュエータによる光路調整範囲が広い、
請求項9記載の極端紫外光生成装置。
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