JP6708695B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、前記総合判定部は、前記総合的な検査結果の信頼度が一定の条件を満たしていない場合、前記画像を再撮像する指令を出力し、再撮像された前記画像を使用して再度前記総合的な検査結果を算出することを特徴とする。
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、前記総合判定部は、前記総合的な検査結果の信頼度が一定の条件を満たしていない場合、前記画像を再撮像する指令を出力し、再撮像された前記画像と、前回までに撮像された前記画像と、を使用して再度前記総合的な検査結果を算出することを特徴とする。
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、前記画像の撮像条件を決定する撮像条件決定部をさらに有し、前記撮像条件決定部は、前記再撮像時の撮像条件を、前回の撮像時の撮像条件から変更することを特徴とする。
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、前記撮像条件決定部は、前記検査結果の信頼度が一定の条件を満たしていない検査部位について、前記再撮像時の撮像枚数を、前回の撮像時の撮像枚数から増加させることを特徴とする。
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、前記撮像条件決定部は、前記検査結果が不良であった検査部位について、前記再撮像時の撮像枚数を、前回の撮像時の撮像枚数から増加させることを特徴とする。
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、複数の前記学習モデルを有し、複数の前記画像により異なる前記学習モデルを使用して前記検査結果を推定することを特徴とする。
本発明の一実施形態にかかる検査装置は、複数の前記学習モデルを有し、前記再撮像時の前記画像について、前回の撮像時の前記画像とは異なる前記学習モデルを使用して前記検査結果を推定することを特徴とする。
<検査対象の初回撮像>
撮像部102は、撮像条件決定部101により予め定められた撮像条件を用いて、検査対象の撮像を行う。本実施例では、撮像部102は撮像条件を変えて複数回の撮像を行うことができる。例えば光源の明るさ、検査対象に対する光源又はカメラの角度を撮像毎に変更することができる(120度ずつ角度を変えて3枚撮像するなど)。撮像部102は、こうして得られた撮像条件の異なる複数の画像データを出力する。
判定部103は、撮像部102が出力した撮像条件の異なる複数の画像データを、学習部1031に入力する。
撮像条件決定部101は、再撮像の指令を受けた場合、前回の撮像で用いた上述の種々の撮像条件を変更し、変更後の撮像条件を撮像部102に通知する。撮像条件決定部101は、撮像条件をランダムに変更できる。又は、所定の撮像条件を所定のルールに従って変更できる。例えば再撮影の度に検査対象、カメラ、光源の相対位置を変更する。カメラ又は光源を検査対象の周囲に回転させ、検査対象に対するカメラの角度又は光源の角度を、前回の撮影時から所定角度(例えば60度)ずらすよう変更できる。検査対象をテーブル上で回転させることで、カメラ又は光源に対する角度を変更しても良い。又は、初回の撮像時の撮像枚数(例えば1枚)に比べ、再撮像時の撮像枚数(例えば3枚)を増加させても良い。
11 CPU
12 ROM
13 RAM
14 不揮発性メモリ
18,19 インタフェース
10 バス
60 入出力装置
70 撮像装置
101 撮像条件決定部
102 撮像部
103 判定部
1031 学習部
1032 総合判定部
Claims (8)
- 1つの検査対象を撮像して得られた複数の画像を使用して該検査対象に係る外観検査を行う検査装置であって、
予め定義された前記画像と検査結果との関係を予め定めた学習モデルに基づいて、複数の前記画像それぞれにかかる検査結果を推定し、
複数の前記画像にかかる前記検査結果それぞれの信頼度に基づいて、総合的な検査結果を算出する総合判定部を有することを特徴とする
検査装置。 - 前記総合判定部は、前記総合的な検査結果の信頼度が一定の条件を満たしていない場合、前記画像を再撮像する指令を出力し、再撮像された前記画像を使用して再度前記総合的な検査結果を算出することを特徴とする
請求項1記載の検査装置。 - 前記総合判定部は、前記総合的な検査結果の信頼度が一定の条件を満たしていない場合、前記画像を再撮像する指令を出力し、再撮像された前記画像と、前回までに撮像された前記画像と、を使用して再度前記総合的な検査結果を算出することを特徴とする
請求項1記載の検査装置。 - 前記画像の撮像条件を決定する撮像条件決定部をさらに有し、
前記撮像条件決定部は、前記再撮像時の撮像条件を、前回の撮像時の撮像条件から変更することを特徴とする
請求項2又は3記載の検査装置。 - 前記撮像条件決定部は、前記検査結果の信頼度が一定の条件を満たしていない検査部位について、前記再撮像時の撮像枚数を、前回の撮像時の撮像枚数から増加させることを特徴とする
請求項4記載の検査装置。 - 前記撮像条件決定部は、前記検査結果が不良であった検査部位について、前記再撮像時の撮像枚数を、前回の撮像時の撮像枚数から増加させることを特徴とする
請求項4記載の検査装置。 - 複数の前記学習モデルを有し、複数の前記画像により異なる前記学習モデルを使用して前記検査結果を推定することを特徴とする
請求項1記載の検査装置。 - 複数の前記学習モデルを有し、前記再撮像時の前記画像について、前回の撮像時の前記画像とは異なる前記学習モデルを使用して前記検査結果を推定することを特徴とする
請求項2又は3記載の検査装置。
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