JP6704733B2

JP6704733B2 - Probe, probe card and contact inspection device

Info

Publication number: JP6704733B2
Application number: JP2016002611A
Authority: JP
Inventors: 祐樹葛西
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2016-01-08
Filing date: 2016-01-08
Publication date: 2020-06-03
Anticipated expiration: 2036-01-08
Also published as: JP2017122686A

Description

本発明は、半導体集積回路の通電試験等に用いるプローブ、プローブカード及び接触検査装置に関する。 The present invention relates to a probe, a probe card, and a contact inspection device used for a current test of a semiconductor integrated circuit.

ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）等の半導体メモリーに代表される半導体集積回路には突起（BUMP形状）電極を有するものがある。この種の半導体集積回路の特性を調べるために使用する従来の接触検査装置に関する文献として以下のようなものがある（特許文献１、特許文献２）。
従来の接触検査装置は前記突起電極１０７の表面に対してプローブ１０３の先端部１０３ｂが垂直にコンタクトするように構成されている。このような垂直なコンタクトを可能にするためにプローブ１０３の先端形状には種々の形状のものがある（図１０）。 Some semiconductor integrated circuits represented by semiconductor memories such as DRAM (Dynamic Random Access Memory) and SRAM (Static Random Access Memory) have a bump (BUMP shape) electrode. The following documents are related to the conventional contact inspection device used for examining the characteristics of this type of semiconductor integrated circuit (Patent Documents 1 and 2).
The conventional contact inspection apparatus is configured such that the tip portion 103b of the probe 103 makes vertical contact with the surface of the protruding electrode 107. In order to enable such vertical contact, there are various tip shapes of the probe 103 (FIG. 10).

特開２００１−０５０９８１号公報JP 2001-050981 A 特開１９９９−３２６３７３号公報JP, 1999-326373, A

従来の接触検査装置は前述したように前記突起電極の表面に対してプローブの先端部が垂直にコンタクトする構成であった。即ち、プローブの先端が突起電極の表面に対して基本的にスクラブしない構成であった。そのため、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着し易かった。
そしてこの場合、プローブの先端部を頻繁にクリーニングして付着したコンタミネーションを除去する必要があった。このクリーニングを行わずに使用を続けた場合、該プローブの接触抵抗値が大きくなり、検査精度が低下するという問題が生じる。 As described above, the conventional contact inspection device has a configuration in which the tip of the probe is in vertical contact with the surface of the protruding electrode. That is, the tip of the probe basically does not scrub the surface of the protruding electrode. Therefore, the contamination generated during the inspection easily adhered to the tip of the probe.
In this case, it is necessary to frequently clean the tip portion of the probe to remove the attached contamination. If the probe is used continuously without this cleaning, the contact resistance value of the probe becomes large, and the inspection accuracy deteriorates.

このような背景の下、上記特許文献１では、プローブの先端部をプローブの基端部から偏心させた位置に配置したり、プローブの途中に他の部分より細くした変形部を形成することによってスクラブを発生させるようにしたプローブが開示されている。
しかし、特許文献１に開示されているプローブでもプローブの先端部が突起電極の表面に対して垂直にコンタクトする構成が採用されているので、点接触になり易く、該プローブと突起電極の表面との接触性が不安定になる虞がある。 Against this background, in Patent Document 1 described above, by disposing the tip portion of the probe at a position eccentric from the base end portion of the probe, or by forming a deformed portion that is thinner than other portions in the middle of the probe. A probe adapted to generate scrub is disclosed.
However, the probe disclosed in Patent Document 1 also employs a configuration in which the tip of the probe is in contact with the surface of the protruding electrode perpendicularly, so that point contact is likely to occur and the probe and the surface of the protruding electrode are likely to contact each other. There is a possibility that the contact property of the may become unstable.

本発明の目的は、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくく、また被検査体との接触性を向上させることができるプローブ、該プローブを備えるプローブカード及び接触検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a probe which is less likely to be contaminated at the tip portion of a probe due to contamination generated during inspection, and which can improve the contact property with an object to be inspected, a probe card including the probe, and a contact inspection device. To do.

上記課題を解決するため、本発明の第１の態様のプローブは、被検査体に接触及び離間することで前記被検査体の検査を行うプローブであって、前記プローブは、前記被検査体に押付ける力を受けて弾性変形する本体部と、前記本体部の一端側に位置し、前記被検査体に対して接触し前記押付ける力を受けて滑る滑り部と、を備え、前記滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑ることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the probe of the first aspect of the present invention is a probe for inspecting the inspected object by contacting and separating from the inspected object, wherein the probe is the inspected object. The sliding part includes: a main body part that is elastically deformed by receiving a pressing force; and a sliding part that is located at one end side of the main body part and that comes into contact with the object to be inspected and slides under the pressing force. Has an inclined portion that intersects with the direction of the pressing force, and the inclined portion slides in a state of being in contact with the object to be inspected.

本態様によれば、プローブは被検査体に対して接触し該被検査体に向けて押付ける力を受けて滑る滑り部を備え、更に該滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑る（スクラブする）ように構成されている。従って、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくなり、接触検査回数を重ねてもプローブの接触抵抗値の増加を低減することができる。また、スクラブすることによってセルフクリーニング効果を期待することができる。
また、滑り部の傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑るので、被検査体との接触性を向上させることができる。特に突起電極に対して有効である。 According to this aspect, the probe includes a sliding portion that comes into contact with the object to be inspected and slides by receiving a pressing force toward the object to be inspected, and the sliding portion further has a direction of the pressing force. It has inclined portions that intersect with each other, and is configured to slide (scrub) while being in contact with the object to be inspected. Therefore, the contamination generated during the inspection hardly adheres to the tip portion of the probe, and the increase in the contact resistance value of the probe can be suppressed even if the contact inspection is repeated. Also, a self-cleaning effect can be expected by scrubbing.
Further, since the inclined portion of the sliding portion slides in a state of being in contact with the object to be inspected, it is possible to improve the contact property with the object to be inspected. It is particularly effective for the bump electrode.

本発明の第２の態様のプローブは、第１の態様において、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されていることを特徴とする。 The probe of the second aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect, the inclined portion is formed in a planar shape or a linear shape.

本態様によれば、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されているので、従来の点接触によるプローブに比べて接触面積ないし接触長が大きくなり、被検査体との接触性を向上させることができる。
また、傾斜部が線状に形成されているプローブは、前記スクラブ動作によって被検査体の表面の酸化膜を削り易いという効果が得られる。 According to this aspect, since the inclined portion is formed in a planar shape or a linear shape, the contact area or the contact length is larger than that of the conventional probe by the point contact, and the contact property with the inspection object is improved. Can be made
Further, the probe in which the inclined portion is formed in a linear shape has an effect of easily scraping the oxide film on the surface of the object to be inspected by the scrubbing operation.

本発明の第３の態様のプローブは、第１の態様又は第２の態様において、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっていることを特徴とする。 The probe of the third aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect or the second aspect, the main body portion is bent so as to have two or more bending points.

本態様によれば、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっているので突起電極に対してプローブの滑り部を傾斜部の傾斜に沿って突起電極との最初の接触点から突起電極の外側に向けてスクラブするように動作させることを容易に実現することができる。これにより、コンタミネーションのプローブへの付着の虞を一層低減することができる。 According to this aspect, since the main body is bent so as to have two or more bending points, the sliding portion of the probe with respect to the protruding electrode is arranged along the inclination of the inclined portion from the first contact point with the protruding electrode. The operation of scrubbing toward the outside of the protruding electrode can be easily realized. This can further reduce the risk of contamination being attached to the probe.

本発明の第４の態様のプローブは、第１の態様から第３の態様のいずれか一つの態様において、前記プローブの先端位置は該プローブの中心位置からずれていることを特徴とする。
ここで、「プローブの先端位置」とは、突起電極と接触するスクラブ側であって被検査体に対して非接触時において最も近い位置を意味する。
また「プローブの中心位置」とは、プローブの支持端となる基端側部分の中心であり、前記押付ける力を受けて弾性変形する本体部の支持端にかかる力の作用位置を意味する。 The probe of the fourth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to third aspects, the tip position of the probe is displaced from the center position of the probe.
Here, the “probe tip position” means the position on the scrubbing side that is in contact with the protruding electrode and is closest to the inspected object when not in contact.
The "center position of the probe" is the center of the base end side portion which is the support end of the probe, and means the operating position of the force applied to the support end of the main body portion which is elastically deformed by the pressing force.

本態様によれば、プローブの先端位置が該プローブの中心位置からずれているので、本体部に回転モーメントが作用して本体部が撓み変形する。これにより突起電極に当接するプローブの滑り部を前記外側に向けてスクラブするように動作させることを容易に実現することができる。 According to this aspect, since the tip position of the probe is deviated from the center position of the probe, a rotational moment acts on the main body portion, and the main body portion bends and deforms. Accordingly, it is possible to easily realize that the sliding portion of the probe that is in contact with the protruding electrode is operated to scrub toward the outside.

本発明の第５の態様のプローブは、第１の態様から第４の態様のいずれか一つの態様において、前記傾斜部は、前記プローブの先端位置よりもスクラブ動作方向の後方に位置することを特徴とする。 A probe of a fifth aspect of the present invention is the probe according to any one of the first aspect to the fourth aspect, wherein the inclined portion is located behind the tip position of the probe in the scrubbing operation direction. Characterize.

本態様によれば、本体部が後方に位置する滑り部を引っ張る状態又は押し出す状態でスクラブ動作させるので、被検査体との接触性を一層向上させることができる。 According to this aspect, since the scrubbing operation is performed in a state where the main body portion pulls or pushes out the sliding portion located on the rear side, it is possible to further improve the contactability with the object to be inspected.

本発明の第６の態様のプローブは、第１の態様から第５の態様のいずれか一つの態様において、前記滑り部は前記本体部に片持ち梁構造で支持されていることを特徴とする。 A probe according to a sixth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to fifth aspects, the sliding portion is supported by the main body portion in a cantilever structure. ..

本態様によれば、滑り部が本体部に片持ち梁構造で支持されているので、本体部の弾性変形が容易になり、スクラブ動作時における滑り部と被検査体との接触性を一層向上させることができる。 According to this aspect, since the sliding portion is supported by the main body portion in a cantilever structure, the elastic deformation of the main body portion is facilitated, and the contact between the sliding portion and the object under inspection during scrubbing is further improved. Can be made

本発明の第７の態様のプローブは、第６の態様において、前記滑り部と前記本体部は該プローブの先端位置を頂点とするＶ字形状を成していることを特徴とする。 A probe according to a seventh aspect of the present invention is characterized in that, in the sixth aspect, the sliding portion and the main body portion are V-shaped with the tip position of the probe as an apex.

本態様によれば、滑り部と本体部は該プローブの先端位置を頂点とするＶ字形状を成しているので、被検査体の表面の酸化膜を削り易く、スクラブ動作時における被検査体との接触性を一層向上させることができる。 According to this aspect, since the sliding portion and the main body portion have a V-shape with the tip position of the probe as an apex, the oxide film on the surface of the inspected object is easily scraped off, and the inspected object during the scrubbing operation is performed. The contact property with can be further improved.

本発明の第８の態様のプローブは、第１の態様から第７の態様のいずれか一つの態様において、前記プローブの前記本体部は板状であることを特徴とする。 A probe according to an eighth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to seventh aspects, the main body portion of the probe is plate-shaped.

本態様によれば、前記プローブの前記本体部が板状であるので、本体部及び滑り部を対向する板面間の所定厚さの平面的な空間内に位置させることが可能になる。これにより、検査時に滑り部がスクラブする方向を傾斜部に沿う方向に誘導し易くなる。また、プローブ同士が検査時に干渉する虞を低減させ、該プローブの高密度の実装が可能となる。 According to this aspect, since the main body portion of the probe is plate-shaped, it is possible to position the main body portion and the sliding portion in a planar space having a predetermined thickness between the opposing plate surfaces. This makes it easier to guide the direction in which the sliding portion scrubs during the inspection to the direction along the inclined portion. Further, it is possible to reduce the risk that the probes interfere with each other during the inspection, and to mount the probes at a high density.

本発明の第９の態様に係るプローブカードは、第１の態様から第８の態様のいずれか一つの態様のプローブを備えることを特徴とする。 A probe card according to a ninth aspect of the present invention is characterized by including the probe according to any one of the first to eighth aspects.

本態様によれば、接触検査装置におけるプローブカードとして、前記プローブの第１の態様から第８の態様の効果を得ることができる。 According to this aspect, as the probe card in the contact inspection device, the effects of the first to eighth aspects of the probe can be obtained.

本発明の第１０の態様に係る接触検査装置は、突起電極を有する被検査体が載置される載置部と、プローブを備えるプローブカードと、前記載置部上の被検査体の前記突起電極と前記プローブカードとの相対位置を接離可能に変化させる駆動部とを備え、前記載置部上に載置された被検査体の前記突起電極に対して、前記プローブが接触することによって通電検査を行う接触検査装置であって、前記プローブは、第１の態様から第８の態様のいずれか一つの態様のプローブであることを特徴とする。 A contact inspection apparatus according to a tenth aspect of the present invention is a mounting part on which an object to be inspected having protruding electrodes is mounted, a probe card including a probe, and the protrusion of the object to be inspected on the mounting part. An electrode and a drive unit that changes the relative position of the probe card so that the probe card can be brought into contact with and separated from the probe card, by contacting the probe with respect to the protruding electrode of the DUT placed on the placing unit. A contact inspection apparatus for conducting an electric current inspection, wherein the probe is a probe according to any one of the first to eighth aspects.

本態様によれば、接触検査装置として、前記プローブの第１の態様から第８の態様に効果を得ることができる。即ち、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくなり、接触検査回数を重ねてもプローブの接触抵抗値の増加を低減させることができる。
また、滑り部の傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑るので、被検査体との接触性を向上させることができる。 According to this aspect, as the contact inspection device, the effects of the first to eighth aspects of the probe can be obtained. That is, the contamination generated during the inspection hardly adheres to the tip portion of the probe, and the increase in the contact resistance value of the probe can be suppressed even if the number of times of the contact inspection is repeated.
Further, since the inclined portion of the sliding portion slides in a state of being in contact with the object to be inspected, it is possible to improve the contact property with the object to be inspected.

本発明の実施形態１に係る接触検査装置を模式的に表す側断面図。1 is a side sectional view schematically showing a contact inspection device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態１に係るプローブカードを模式的に表す側断面図。1 is a side sectional view schematically showing a probe card according to a first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態１に係るプローブを表す側面図。The side view showing the probe which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態１に係るプローブを表す正面図。The front view showing the probe which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態１に係るプローブの検査時のスクラブ動作を表す側面図。The side view showing the scrub operation at the time of inspection of the probe concerning Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態２に係るプローブを表す正面図。The front view showing the probe which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態３に係るプローブの検査時のスクラブ動作を表す側面図The side view showing the scrub operation at the time of the inspection of the probe concerning Embodiment 3 of the present invention. 本発明のプローブの配置態様の一例を表す平面図。The top view showing an example of the arrangement mode of the probe of the present invention. 本発明のプローブと従来のプローブにおける接触検査回数による接触抵抗値の推移を表すグラフである。It is a graph showing the transition of the contact resistance value by the number of times of contact inspection in the probe of the present invention and the conventional probe. 従来のプローブの種々の先端形状を表す説明図。Explanatory drawing showing various tip shapes of the conventional probe.

以下に、本発明の実施形態に係るプローブ、プローブカード及び接触検査装置について、添付図面を参照して詳細に説明する。
尚、以下の説明では、最初に図１に基づいて本発明の実施形態１に係る接触検査装置の概要について説明する。次に図２に基づいて本発明の実施形態１の係るプローブカードの具体的構成について説明する。続いて図３から図５に基づいて本発明の実施形態１に係るプローブの具体的構成とそのスクラブ動作について説明する。更に、図９に基づいて本発明のプローブと従来のプローブにおける接触検査回数と接触抵抗値の関係を簡単に説明する。
次に、図６及び図７に基づいて本発明の実施形態１とは部分的構成を異にする実施形態２と実施形態３の二種の実施形態について説明し、続いて図８に基づいて本発明のプローブの配置態様の一例について説明する。最後に本発明の他の実施形態に係るプローブ、プローブカード及び接触検査装置について、簡単に言及する。 Hereinafter, a probe, a probe card, and a contact inspection device according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
In the following description, first, an outline of the contact inspection device according to the first embodiment of the present invention will be described based on FIG. Next, a specific configuration of the probe card according to the first embodiment of the present invention will be described based on FIG. Subsequently, a specific configuration of the probe according to the first embodiment of the present invention and a scrubbing operation thereof will be described based on FIGS. 3 to 5. Furthermore, the relationship between the contact inspection frequency and the contact resistance value of the probe of the present invention and the conventional probe will be briefly described with reference to FIG.
Next, based on FIGS. 6 and 7, two types of embodiments, that is, a second embodiment and a third embodiment having a partial configuration different from that of the first embodiment of the present invention will be described, and subsequently, based on FIG. An example of the arrangement of the probes of the present invention will be described. Finally, a probe, a probe card, and a contact inspection device according to another embodiment of the present invention will be briefly described.

［実施形態１］（図１〜図５参照）
（１）接触検査装置の概要（図１参照）
本発明の実施形態１に係る接触検査装置１は、被検査部となる突起電極７を有する被検査体５が載置される載置部９と、後述する本発明の実施形態１に係るプローブ３Ａを備えるプローブカード１１と、前記載置部９上の被検査体５の前記突起電極７と前記プローブカード１１との相対位置を接離可能に変化させる駆動部１３と、を基本的に備えることによって構成されている。
そして、この接触検査装置１は、前記載置部９上に載置された被検査体５の前記突起電極７に対して、前記プローブ３Ａが接触することによって通電検査を行うように構成されている。該突起電極７は略球面となる突曲面形状を成しているものが多い。 [Embodiment 1] (see FIGS. 1 to 5)
(1) Outline of contact inspection device (see Fig. 1)
The contact inspection apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention includes a mounting portion 9 on which an inspection target 5 having a protruding electrode 7 serving as an inspection target is mounted, and a probe according to a first embodiment of the present invention described later. Basically, a probe card 11 including 3A and a drive unit 13 that changes the relative position of the protruding electrode 7 of the device 5 to be inspected on the mounting unit 9 and the probe card 11 so as to be contactable and separable. It consists of:
Then, the contact inspection device 1 is configured to perform an electric conduction inspection by the probe 3A coming into contact with the protruding electrode 7 of the inspection object 5 placed on the placing portion 9. There is. Most of the protruding electrodes 7 have a protruding curved surface shape that is a substantially spherical surface.

具体的には、接触検査装置１は、バネ性を有する導電性のプローブ３Ａを被検査体５の突起電極７に対して接触させた状態で前記バネ性を利用して適切な押圧力で押圧することにより電気的な接続状態を確立するように構成されている。尚、プローブ３Ａに付与されるバネ性は、後述する弾性変形可能な本体部６１によって生起される。
そして、この状態でプローブ３Ａを通電状態にして各突起電極７の電流値や電圧差等の電気的特性を計測したり、被検査体５全体の動作試験を行って、当該被検査体５の良否を判定する目的で接触検査装置１は使用される。 Specifically, the contact inspection device 1 uses the spring property to press the conductive probe 3A having a spring property against the protruding electrode 7 of the device under test 5 with an appropriate pressing force. By doing so, the electrical connection state is established. The springiness imparted to the probe 3A is caused by the elastically deformable main body 61 described later.
Then, in this state, the probe 3A is energized to measure the electrical characteristics such as the current value and the voltage difference of each protruding electrode 7, or the operation test of the entire inspected body 5 is performed, and the inspected body 5 is tested. The contact inspection device 1 is used for the purpose of determining pass/fail.

接触検査装置１の検査対象となる被検査体５としては、プリント配線基板等の電子基板や半導体ウェハ或いはパッケージされたＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップ等が一例として挙げられる。また、プローブ３Ａが直接、接触する被検査部７としては、電子基板等にマウントされた電子回路上の酸化膜に覆われた検査パターンや電極ということになり、特に本発明では突起電極７を有する被検査体５が好適な検査対象となる。 Examples of the inspection object 5 to be inspected by the contact inspection device 1 include an electronic substrate such as a printed wiring board, a semiconductor wafer, a packaged IC, a semiconductor chip such as an LSI, and the like. Further, the inspected portion 7 with which the probe 3A directly contacts is an inspection pattern or an electrode covered with an oxide film on an electronic circuit mounted on an electronic substrate or the like. In particular, in the present invention, the protruding electrode 7 is used. The object 5 to be inspected is a suitable inspection target.

また、前記プローブカード１１は、バネ性を有する複数本のプローブ３Ａと、これら複数本のプローブ３Ａを保持するプローブヘッド１５と、を備えることによって構成されている。
そして、図示の実施形態では、プローブヘッド１５は、図１に表すようなカード構造１２に対して直接、取り付けられるように構成されている。具体的には、クランプヘッド３５とスティフナー３７によって支持されたプリント基板３９の一例として下面に固定リング４１を使用して取り付けられたＭＬＣ（ＭｕｌｔｉＬｅｖｅｌＣｅｌｌ）４３に、対して、下方から当該プローブヘッド１５を挿し込んで取り付けられるように構成されている。尚、プローブヘッド１５はこの構造に限定されないことは勿論である。 Further, the probe card 11 is configured by including a plurality of probes 3A having a spring property and a probe head 15 that holds the plurality of probes 3A.
Then, in the illustrated embodiment, the probe head 15 is configured to be directly attached to the card structure 12 as shown in FIG. Specifically, as an example of the printed board 39 supported by the clamp head 35 and the stiffener 37, an MLC (Multi Level Cell) 43 mounted using a fixing ring 41 on the lower surface is used from the bottom of the probe head. It is configured so that 15 can be inserted and attached. Needless to say, the probe head 15 is not limited to this structure.

また、プリント基板３９は、一例としてセラミックス基板と配線基板とが積層された多層構造の電子基板によって構成されており、図１中、上端に位置するプローブ３Ａの他端部３ｃに入力端が接続されている前記ＭＬＣ４３の出力端に接続され、該配線路の他端が、前記プローブ３Ａの先端部３ｂが前記突起電極７に接触し通電検査を行うことによって取得したデータに基づいて各突起電極７の電気的特性の計測と被検査体５全体の動作試験を実行し、被検査体５の良否を判定する制御部２３を備えるテスター２５に接続されている。 The printed board 39 is composed of, for example, a multilayer electronic board in which a ceramic board and a wiring board are laminated, and the input end is connected to the other end 3c of the probe 3A located at the upper end in FIG. Connected to the output end of the MLC 43, and the other end of the wiring path is based on the data obtained by conducting the current test by the tip 3b of the probe 3A contacting the protruding electrode 7 and each protruding electrode. 7 is connected to a tester 25 including a control unit 23 that determines the quality of the inspected body 5 by measuring the electrical characteristics of the inspected body 7 and the operation test of the entire inspected body 5.

（２）プローブカードの具体的構成（図２参照）
プローブカード１１は、前述したようにバネ性を有する後述する本実施形態に係るプローブ３Ａと、該プローブ３Ａを保持するプローブヘッド１５と、を備えることによって構成されている。
そして、このうちプローブヘッド１５は、被検査体５の複数の突起電極７の位置に対応した複数本のプローブ３Ａと、該プローブ３Ａのフランジ状の基端部３ａから他端部３ｃにかけて延びる延接部３ｄの上部を保持する一例としてセラミックス製の上部ガイド部５１と、プローブ３Ａの基端部３ａ寄りの延接部３ｄの下部を保持する、同じく一例としてセラミックス製の下部ガイド部５３と、前記上部ガイド部５１と下部ガイド部５３との中間に配置される、一例としてシリコンゴム等によって形成される中間スペーサー５２と、を備えることによって基本的に構成されている。 (2) Specific configuration of probe card (see FIG. 2)
The probe card 11 is configured by including the probe 3A according to the present embodiment, which has spring properties as described above, and the probe head 15 that holds the probe 3A.
Of these, the probe head 15 extends from the plurality of probes 3A corresponding to the positions of the plurality of protruding electrodes 7 of the device under test 5 and the flange-shaped base end portion 3a of the probe 3A to the other end portion 3c. An upper guide part 51 made of ceramics as an example for holding the upper part of the contact part 3d, and a lower guide part 53 made of ceramics as an example for holding the lower part of the extension part 3d near the base end part 3a of the probe 3A, It is basically configured by including an intermediate spacer 52, which is disposed between the upper guide portion 51 and the lower guide portion 53 and is formed of, for example, silicon rubber or the like.

（Ａ）プローブの具体的構成とスクラブ動作（図３〜図５参照）
本発明のプローブ３は、被検査体５に接触及び離間することで前記被検査体５の検査を行う部材である。そして、前記被検査体５に押付ける力Ｆを受けて弾性変形する本体部６１と、該本体部６１の一端Ａ側に位置し、前記被検査体５に対して接触し前記押付ける力Ｆを受けてスクラブ動作方向Ｓ（図５）に滑る滑り部６３Ａと、を備えることによって基本的に構成されている。
また、前記滑り部６３Ａは、前記押付ける力Ｆの矢印で示す方向に対して交差する傾斜部６５Ａを有しており、該傾斜部６５Ａが前記被検査体５に接触した状態でスクラブ動作方向Ｓに滑るように構成されている。 (A) Specific configuration of probe and scrubbing operation (see FIGS. 3 to 5)
The probe 3 of the present invention is a member for inspecting the inspected body 5 by contacting and separating from the inspected body 5. Then, the body portion 61 that is elastically deformed by receiving the force F that presses against the inspected body 5, and the force F that is located on one end A side of the body portion 61 and that contacts the inspected body 5 and presses it. It is basically configured by including a sliding portion 63A that receives and slides in the scrubbing operation direction S (FIG. 5).
Further, the sliding portion 63A has an inclined portion 65A that intersects the direction of the pressing force F indicated by the arrow, and in the state of the inclined portion 65A being in contact with the object 5 to be inspected, the scrubbing operation direction. It is configured to slide to S.

また、本実施形態では、前記傾斜部６５Ａは突起電極７の表面に接触する部位が傾斜した平面によって形成されており、プローブ３Ａの先端部３ｂの形状が該プローブ３Ａの先端位置を頂点ＰとするＶ字形状に形成されている。
また、本実施形態では、本体部６１の側面形状が図３及び図５に表すように二つの屈曲点Ｑ１、Ｑ２で屈曲方向が変わる、側面視Ｓ字形状に湾曲した形状に形成されており、該Ｓ字形状の本体部６１の先端に鉤状をした滑り部６３Ａが設けられていることによって、前述したＶ字形状のプローブ３Ａの先端部３ａが形成されるように構成されている。 Further, in the present embodiment, the inclined portion 65A is formed by a flat surface in which the portion contacting the surface of the bump electrode 7 is inclined, and the shape of the tip 3b of the probe 3A is such that the tip position of the probe 3A is the apex P. It is formed in a V shape.
Further, in the present embodiment, the side surface shape of the main body portion 61 is formed into a curved shape in an S shape in a side view in which the bending direction changes at two bending points Q1 and Q2 as shown in FIGS. 3 and 5. By providing a hook-shaped sliding portion 63A at the tip of the S-shaped main body portion 61, the tip portion 3a of the V-shaped probe 3A described above is formed.

そして、前記プローブ３Ａの頂点Ｐを通る鉛直方向に延びる直線Ｌ１は、前記プローブ３Ａの中心位置Ｏを通る鉛直方向に延びる中心線Ｌから、ずれ量ΔＥ分、偏心した位置に存するように設けられている。
更に本実施形態では、前記傾斜部６５Ａが前記プローブ３Ａの先端位置よりもスクラブ動作方向Ｓの後方に位置するように形成されている。具体的には、前記プローブ３Ａの頂点Ｐからスクラブ動作方向Ｓの後方に向けて所定の角度で傾斜する上り傾斜の所定長さ（一例として突起電極７が球面形状とした場合の曲率半径程度の長さ）の傾斜部６５Ａが形成されている。 A straight line L1 extending in the vertical direction passing through the apex P of the probe 3A is provided at a position eccentric by a deviation amount ΔE from the center line L extending in the vertical direction passing through the center position O of the probe 3A. ing.
Further, in the present embodiment, the inclined portion 65A is formed so as to be located behind the tip end of the probe 3A in the scrubbing operation direction S. Specifically, a predetermined length of an upward inclination that is inclined at a predetermined angle from the apex P of the probe 3A toward the rear in the scrubbing operation direction S (for example, a radius of curvature when the projection electrode 7 has a spherical shape) An inclined portion 65A of (length) is formed.

また、このようにして形成される傾斜部６５Ａを備える滑り部６３Ａは、前記本体部６１によって片持ち梁構造で支持されており、更に本実施形態では、前記本体部６１と滑り部６３Ａが一例としてほぼ一様の厚みｔ（図４）の板材によって形成されている。
尚、前記片持ち梁構造部の形成にあたっては、本体部６１の先端部を予め長めに形成しておいて、当該本体部６１の先端部を前述した形状に折り曲げて形成したり、本体部６１と滑り部６３Ａを別々に形成しておいて本体部６１の先端部に溶接又は接着によって後付けすることによって成形することが可能である。この他、所定形状の本体部６１と滑り部６３Ａを一体に成形することも可能である。 Further, the sliding portion 63A including the inclined portion 65A formed in this manner is supported by the main body portion 61 in a cantilever structure, and in the present embodiment, the main body portion 61 and the sliding portion 63A are an example. Is formed of a plate material having a substantially uniform thickness t (FIG. 4).
In forming the cantilever structure portion, the tip portion of the main body portion 61 is formed to be long in advance, and the tip portion of the main body portion 61 is bent into the above-described shape, or the main body portion 61 is formed. It is possible to separately form the sliding portion 63A and the sliding portion 63A, and to attach the sliding portion 63A and the sliding portion 63A to the distal end portion of the main body portion 61 by welding or bonding to form the molded portion. In addition, it is possible to integrally form the predetermined shape main body 61 and the sliding portion 63A.

次に、このようにして構成される本実施形態に係るプローブ３Ａを突起電極７に押し当てた場合に生じるプローブ３Ａのスクラブ動作について説明する。
接触検査装置１の駆動部１３を駆動してプローブ３Ａを突起電極７に向けて相対的に接近させて行くと、図５中、仮想線で表すように、プローブ３Ａの先端部３ｂの頂点Ｐが最初に突起電極７に接触する。この状態でプローブ３Ａを突起電極７に向けて更に相対的に接近させて行くと、図５中、実線で表すように屈曲点Ｑ１を下方に押し下げ、頂点Ｐをスクラブ動作方向Ｓの前方Ｃとなる突起電極７の外側の斜め下方に向けて移動させるように、本体部６１は撓み変形する。 Next, the scrubbing operation of the probe 3A that occurs when the probe 3A according to the present embodiment configured as described above is pressed against the protruding electrode 7 will be described.
When the drive unit 13 of the contact inspection device 1 is driven to bring the probe 3A relatively closer to the protruding electrode 7, the apex P of the tip 3b of the probe 3A is represented by a virtual line in FIG. First contacts the protruding electrode 7. In this state, when the probe 3A is further brought closer to the protruding electrode 7, the bending point Q1 is pushed downward as shown by the solid line in FIG. 5, and the apex P is set to the front C in the scrubbing operation direction S. The main body portion 61 is bent and deformed so as to move obliquely downward on the outer side of the protruding electrode 7.

このとき滑り部６３Ａは、前記頂点Ｐに引っ張られるようにしてスクラブ動作方向Ｓに移動すると共に、頂点Ｐを中心にして幾分、撓み変形する。そして、突起電極７の表面に接触する前記滑り部６３Ａの傾斜部６５Ａは、前記突起電極７の表面との接触位置が、前述した頂点Ｐ側から、そのスクラブ動作方向Ｓの後方Ｄに延びる該傾斜部６５Ａの終端に向かって徐々に滑り移動して行く。
これにより、突起電極７の表面に高硬度の材料によって形成されるプローブ３Ａの先端部３ｂが所定の押圧力を受けて接触しながらその位置を変えて行く（滑る）ことによって、当該突起電極７の表面は良好な状態にスクラブされる。 At this time, the sliding portion 63A moves in the scrubbing operation direction S so as to be pulled by the apex P, and is also flexibly deformed about the apex P to some extent. In the inclined portion 65A of the sliding portion 63A that contacts the surface of the protruding electrode 7, the contact position with the surface of the protruding electrode 7 extends from the apex P side to the rear D in the scrubbing operation direction S. It gradually slides toward the end of the inclined portion 65A.
As a result, the tip portion 3b of the probe 3A formed of a high hardness material on the surface of the bump electrode 7 receives a predetermined pressing force and changes its position while sliding (sliding) while contacting the tip electrode 3b. The surface of is scrubbed in good condition.

次に、図９に表す接触検査回数と接触抵抗値の関係のグラフに基づいて、本発明のプローブ３と従来のプローブについて接触検査回数による接触抵抗値の推移を比較する。
図９中の比較例１は、垂直にコンタクトするタイプでスクラブする従来のプローブを表している。また、図９中の比較例２は、同じく垂直にコンタクトするタイプで先端がバネで伸縮する従来のプローブを表している。更に、図９中の本発明品は、スクラブ動作方向Ｓにスライドしながらコンタクトするタイプの本発明の実施形態１に係るプローブ３Ａを表している。 Next, based on the graph of the relationship between the number of contact inspections and the contact resistance value shown in FIG. 9, the transition of the contact resistance value according to the number of contact inspections of the probe 3 of the present invention and the conventional probe is compared.
Comparative Example 1 in FIG. 9 represents a conventional probe that scrubs with a vertical contact type. In addition, Comparative Example 2 in FIG. 9 represents a conventional probe which is also of the type in which contacts are made vertically and whose tip extends and contracts with a spring. Furthermore, the product of the present invention in FIG. 9 represents the probe 3A according to the first embodiment of the present invention of the type that contacts while sliding in the scrubbing operation direction S.

図９から明らかなように、比較例１では接触検査回数が増加すると接触抵抗値が急激に増加することが分かる。また、比較例２では接触抵抗値の増加量は比較例１よりも小さくなるが、比較例１と同様、接触検査回数が増加すると接触抵抗値が徐々に増加する。
これに対し、本発明品では接触検査回数を重ねても小さな接触抵抗値をそのまま維持できることが分かる。これは、滑り部６３Ａが突起電極７の表面をスライドしながらスクラブすることでコンタクト時の接触性が良くなり、プローブ３Ａの先端部３ｂに対するコンタミネーションの付着が低減したことによるものと考えられる。
更に、本発明ではセルフクリーニング効果も期待できるため、このような結果が得られたものと思われる。 As is clear from FIG. 9, in Comparative Example 1, the contact resistance value sharply increases as the number of contact inspections increases. Further, in Comparative Example 2, the amount of increase in the contact resistance value is smaller than that in Comparative Example 1, but like Comparative Example 1, the contact resistance value gradually increases as the number of contact inspections increases.
On the other hand, it can be seen that the product of the present invention can maintain a small contact resistance value as it is even if the number of contact inspections is repeated. It is considered that this is because the sliding portion 63A slides on the surface of the protruding electrode 7 and scrubs the surface of the protruding electrode 7 to improve the contact property at the time of contact, thereby reducing the adhesion of contamination to the tip portion 3b of the probe 3A.
Further, since the present invention can be expected to have a self-cleaning effect, it is considered that such a result is obtained.

そして、このようにして構成される本実施形態に係るプローブ３Ａ、プローブカード１１及び接触検査装置１によれば、検査時に発生するコンタミネーションがプローブ３Ａの先端部３ｂに付着しにくく、接触検査回数を重ねてもプローブ３Ａの接触抵抗値の増加を低く抑えることのできるプローブ３、プローブカード１１及び接触検査装置１を提供できるようになる。
更に、本実施形態ではスライドしながらスクラブ動作を行う滑り部６３Ａの作用で突起電極７の表面のセルフクリーニング効果が期待でき、垂直方向にコンタクトする従来のプローブよりも接触面積ないし接触長さが大きくなるから被検査体５との接触性を向上させるという効果も得られる。 Further, according to the probe 3A, the probe card 11 and the contact inspection device 1 according to the present embodiment configured in this way, contamination that occurs during inspection is unlikely to adhere to the tip portion 3b of the probe 3A, and the number of contact inspection times is increased. Therefore, it is possible to provide the probe 3, the probe card 11, and the contact inspection device 1 that can suppress the increase in the contact resistance value of the probe 3A to a low level even if they are stacked.
Furthermore, in the present embodiment, the sliding portion 63A that performs a scrubbing operation while sliding can be expected to have a self-cleaning effect on the surface of the protruding electrode 7, and has a larger contact area or contact length than a conventional probe that makes a vertical contact. Therefore, the effect of improving the contact property with the inspection object 5 can be obtained.

［実施形態２］(図６参照)
実施形態２に係るプローブ３Ｂは、前述した実施形態１に係るプローブ３Ａと基本的に同様の構成を有しており、滑り部６３Ｂの構成のみが前記実施形態１と相違する。従って、ここでは前記実施形態１と同様の構成については説明を省略し、前記実施形態１と相違する滑り部６３Ｂの構成とその作用に絞って説明する。
即ち、本実施形態２では、滑り部６３Ｂの横断面形状が頂点を下方に位置させた三角形状又は図示のような菱形形状に形成されており、該滑り部６３の下面側に突条によって線状の傾斜部６５が形成されるように構成されている。 [Second Embodiment] (See FIG. 6)
The probe 3B according to the second embodiment has basically the same configuration as the probe 3A according to the above-described first embodiment, and is different from the first embodiment only in the configuration of the sliding portion 63B. Therefore, the description of the same configuration as that of the first embodiment will be omitted here, and only the configuration and the action of the sliding portion 63B different from the first embodiment will be described.
That is, in the second embodiment, the cross-sectional shape of the sliding portion 63B is formed in a triangular shape with the apex located below or in a rhombic shape as shown, and a line is formed on the lower surface side of the sliding portion 63 by a ridge. The inclined portion 65 is formed so as to have a shape.

このような滑り部６３Ｂを備える本実施形態２に係るプローブ３Ｂによっても、前述した実施形態１に係るプローブ３Ａと同様の作用、効果を発揮することが可能である。また、本実施形態２にあっては、前記傾斜部６５Ａが線状であることにより、プローブ３Ｂがスクラブ動作時において突起電極７の表面の酸化膜を削り易いという効果が得られるようになる。 The probe 3B according to the second embodiment including such a sliding portion 63B can also exhibit the same action and effect as the probe 3A according to the above-described first embodiment. Further, in the second embodiment, since the inclined portion 65A is linear, the effect that the probe 3B easily scrapes the oxide film on the surface of the protruding electrode 7 during the scrubbing operation can be obtained.

［実施形態３］（図７参照）
実施形態３に係るプローブ３Ｃは、本体部６１Ｃの屈曲方向が前記実施形態１に係るプローブ３Ａとは逆方向になり、滑り部６３Ｃの形状と形成方向が前記実施形態１と相違している。尚、その他の構成については前記実施形態１と同様である。
従って、ここでは、前記実施形態１と相違する本体部６１Ｃと、滑り部６３Ｃの構成と、そのスクラブ動作及び作用に絞って説明する。 [Third Embodiment] (See FIG. 7)
In the probe 3C according to the third embodiment, the bending direction of the main body 61C is opposite to that of the probe 3A according to the first embodiment, and the shape and the forming direction of the sliding portion 63C are different from those of the first embodiment. The other configurations are the same as those in the first embodiment.
Therefore, the configuration of the main body portion 61C and the sliding portion 63C, which are different from those in the first embodiment, and the scrubbing operation and action thereof will be described here.

即ち、本実施形態３では、プローブ３Ｃの本体部６１Ｃにおける屈曲方向が前記実施形態１に係るプローブ３Ａと逆方向になっており、上方の屈曲点Ｑ１は前記実施形態１と同様、中心線Ｌ上あるいはその近傍に位置しているが、下方の屈曲点Ｑ２は、実施形態１において図３及び図５中、中心線Ｌの右側に位置していたのに対して、本実施形態では図７に表すように中心線Ｌの左側に位置するように構成されている。
これに伴って、実施形態１では、屈曲点Ｑ１から屈曲点Ｑ２に至る範囲で右方に屈曲し、屈曲点Ｑ２から頂点Ｐに至る範囲で左方に屈曲するような側面視Ｓ字形の湾曲形状を有していたのに対して、本実施形態３では、屈曲点Ｑ１から屈曲点Ｑ２に至る範囲で左方に屈曲し、屈曲点Ｑ２から頂点Ｐに至る範囲で右方に屈曲する前記実施形態１とは逆方向の側面視Ｚ字形の湾曲形状に形成されている。 That is, in the third embodiment, the bending direction of the main body portion 61C of the probe 3C is opposite to that of the probe 3A according to the first embodiment, and the upper bending point Q1 is the same as in the first embodiment. Although located above or in the vicinity thereof, the lower bending point Q2 is located on the right side of the center line L in FIGS. 3 and 5 in the first embodiment, while in FIG. As shown in (1), it is located on the left side of the center line L.
Along with this, in the first embodiment, the S-shaped curve in a side view is bent to the right in the range from the bending point Q1 to the bending point Q2 and to the left in the range from the bending point Q2 to the apex P. In contrast to the shape, the third embodiment bends leftward in the range from the bending point Q1 to the bending point Q2 and bends rightward in the range from the bending point Q2 to the apex P. It is formed in a Z-shaped curved shape in a side view in a direction opposite to that of the first embodiment.

また、本実施形態３では、前記実施形態１のように頂点Ｐを境に本体部６１から折り返すようにして滑り部６３Ａを設けるのではなく、屈曲点Ｑ２と頂点Ｐとの間の本体部６１Ｃの先端部をそのまま利用して滑り部６３を設けている。
そして、本実施形態に係るプローブ３Ｃでは、図７中、仮想線で表す突起電極７とのコンタクトの開始状態から更に押し込まれると、図７中、実線で表すように滑り部６３Ｃがスクラブ動作方向Ｓに押し出されるようにしてスライドしてスクラブ動作が実行される。 Further, in the third embodiment, unlike the first embodiment, the sliding portion 63A is not provided so as to be folded back from the main body portion 61 with the apex P as a boundary, but the main body portion 61C between the bending point Q2 and the apex P is provided. The sliding portion 63 is provided by directly utilizing the tip portion of the.
Then, in the probe 3C according to the present embodiment, when the probe 3C is further pushed from the start state of contact with the protruding electrode 7 represented by a virtual line in FIG. 7, the sliding portion 63C moves in the scrubbing operation direction as represented by a solid line in FIG. The scrubbing operation is executed by sliding as if pushed out to S.

このようにして構成される本実施形態の係るプローブ３Ｃによっても、前述した実施形態１に係るプローブ３Ａと同様の作用、効果を発揮することが可能である。また、本実施形態にあっては、プローブ３Ｃの形状が前記実施形態１に係るプローブ３Ａよりも簡単になるからプローブ３の成形が容易になってプローブ３の生産性の向上に寄与し得る。 The probe 3C according to the present embodiment configured as described above can also exhibit the same operation and effect as the probe 3A according to the above-described first embodiment. Further, in the present embodiment, the shape of the probe 3C is simpler than that of the probe 3A according to the first embodiment, so that the probe 3 can be easily molded and contributes to the improvement of the productivity of the probe 3.

［プローブの配置態様］［図１、図２及び図８参照］
前述した実施形態１から実施形態３の３タイプのプローブ３は、一般に一つで使用されるのではなく、図１、図２に表すように、検査する突起電極７の数や目的に応じて複数本が同時に使用される。
この場合、前記各実施形態に係るプローブ３Ａ、３Ｂ、３Ｃはすべて板状の厚み方向Ｗにコンパクトな形状を有しているから、図８に表すように、一つの突起電極７に対して複数のプローブ３を接触させる複数端子コンタクトが可能である。従って、突起電極７のレイアウトに対応してプローブ３のレイアウトを自由に変えることが可能であり、プローブのレイアウトに自由度がある。 [Probe Arrangement Mode] [See FIGS. 1, 2 and 8]
The three types of probes 3 of Embodiments 1 to 3 described above are not generally used alone, but as shown in FIGS. 1 and 2, depending on the number and the purpose of the protruding electrodes 7 to be inspected. Multiple books are used at the same time.
In this case, since the probes 3A, 3B, and 3C according to the above-described embodiments all have a compact shape in the plate-like thickness direction W, as shown in FIG. It is possible to use a multi-terminal contact for contacting the probe 3 of FIG. Therefore, it is possible to freely change the layout of the probe 3 according to the layout of the protruding electrode 7, and there is a degree of freedom in the layout of the probe.

また、図８で表すように、例えば縦横８０μｍピッチで突起電極７が配置され、隣接する突起電極７間の隙間が例えば４０μｍの高密度に突起電極７が配置された被検査体５に対するプローブ３の高密度実装も可能になる。 Further, as shown in FIG. 8, the probe electrodes 3 are arranged on the inspection object 5 in which the protruding electrodes 7 are arranged at a pitch of 80 μm in the vertical and horizontal directions, and the protruding electrodes 7 are arranged at a high density with a gap between adjacent protruding electrodes 7 of, for example, 40 μm. High-density mounting is also possible.

［他の実施形態］
本発明に係るプローブ３、プローブカード１１及び接触検査装置１は、以上述べたような構成を有することを基本とするものであるが、本願発明の要旨を逸脱しない範囲内の部分的構成の変更や省略等を行うことも勿論可能である。
例えば、滑り部６３の横断面形状は、前述した各実施形態において採用した矩形状、三角形状、菱形形状に限らず、円形、楕円形、台形、その他の多角形、エッジにアールを付けたもの、摺接面にスクラブ動作方向Ｓに沿う溝を付けたもの等、種々の形状が採用可能である。 [Other Embodiments]
The probe 3, the probe card 11, and the contact inspection device 1 according to the present invention are basically based on the above-described configuration, but the partial configuration is changed within the scope not departing from the gist of the present invention. Of course, it is also possible to omit or omit.
For example, the cross-sectional shape of the sliding portion 63 is not limited to the rectangular shape, the triangular shape, and the rhombic shape used in each of the above-described embodiments, but may be a circle, an ellipse, a trapezoid, another polygon, or an edge with a radius. Various shapes such as a groove formed on the sliding contact surface along the scrubbing operation direction S can be adopted.

また、本体部６１の形状も前述した実施形態の説明の中で述べた２つの屈曲点Ｑ１、Ｑ２を備えた側面視Ｓ字形状ないしＺ字形状のものに限らず、屈曲点Ｑを一つのみ備えた側面視Ｃ字形状やＪ字形状あるいはＬ字形状のものであってもよいし、屈曲点Ｑを三つにして側面視Ｗ字形状にする等、種々の形状が採用可能である。 Further, the shape of the main body portion 61 is not limited to the S-shaped or Z-shaped side view including the two bending points Q1 and Q2 described in the above description of the embodiment, but one bending point Q is provided. It may have a C-shape, a J-shape, or an L-shape when viewed from the side, or various shapes such as a W-shape when viewed from the side by having three bending points Q. ..

１接触検査装置、３プローブ、３ａ基端部、３ｂ先端部、３ｃ他端部、
３ｄ延設部、５被検査体、７突起電極（被検査部）、９載置部、
１１プローブカード、１２カード構造、１３駆動部、
１５プローブヘッド、２３制御部、２５テスター、
３５クランプヘッド、３７スティフナー、３９プリント基板、
４１固定リング、４３ＭＣＬ、５１上部ガイド部、
５２中間スペーサー、５３下部ガイド部、６１本体部、
６３滑り部、６５傾斜部、
Ａ一端、Ｂ他端、Ｆ押付ける力、Ｓスクラブ動作方向、Ｃ前方、
Ｄ後方、Ｗ厚み方向、Ｏ中心位置、Ｐ頂点、Ｑ屈曲点、
Ｌ中心線、Ｌ１直線、ΔＥずれ量、ｔ厚み 1 contact inspection device, 3 probe, 3a base end part, 3b front end part, 3c other end part,
3d extension part, 5 inspected object, 7 protruding electrode (inspected part), 9 mounting part,
11 probe card, 12 card structure, 13 drive unit,
15 probe head, 23 control unit, 25 tester,
35 clamp head, 37 stiffener, 39 printed circuit board,
41 fixing ring, 43 MCL, 51 upper guide part,
52 intermediate spacer, 53 lower guide part, 61 main body part,
63 sliding parts, 65 inclined parts,
A one end, B other end, F pressing force, S scrubbing direction, C front,
D rearward, W thickness direction, O center position, P vertex, Q bending point,
L center line, L1 straight line, ΔE shift amount, t thickness

Claims

A probe for inspecting the inspection object by contacting and separating from the inspection object,
The probe is
A main body portion that is elastically deformed by receiving a force to be pressed against the inspection object,
A sliding portion that is located on one end side of the main body portion and that is in contact with the inspection object and receives the pressing force and slides;
The slide portion has an inclined portion that intersects inclined with respect to the direction of the pressing force, the slip in a state in which the inclined portion is in contact with the test subject,
The sliding portion is supported by the main body portion in a cantilever structure,
The sliding portion and the main body portion are V-shaped with the tip position of the probe as an apex.
A probe characterized in that.

The probe according to claim 1, wherein
The inclined portion is formed in a planar shape or a linear shape,
A probe characterized in that.

The probe according to claim 1 or 2,
The main body is bent so as to have two or more bending points,
A probe characterized in that.

The probe according to any one of claims 1 to 3,
The tip position of the probe is displaced from the center position of the probe,
A probe characterized in that.

The probe according to any one of claims 1 to 4,
The inclined portion is located behind the tip position of the probe in the scrubbing operation direction,
A probe characterized in that.

The probe according to any one of claims 1 to 5 ,
The main body of the probe is plate-shaped,
A probe characterized in that.

Probe card including a probe according to any one of claims 1 to 6.

A mounting portion on which an object to be inspected having a protruding electrode is mounted,
A probe card with a probe,
A drive unit that changes the relative position of the protruding electrode of the device under test on the mounting unit and the probe card so that the relative position can be moved to and from the probe card;
A contact inspection device for conducting an electric current inspection by contacting the probe with respect to the protruding electrode of an object to be inspected placed on the placing part,
The said probe is a probe as described in any one of Claim 1 to 6 , The contact inspection apparatus characterized by the above-mentioned.