JP6698333B2 - Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board - Google Patents

Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板に関する。   The present invention relates to a curable resin composition, a dry film, a cured product and a printed wiring board.

プリント配線板のソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイ等の永久塗膜を形成する材料として硬化性樹脂組成物が用いられている。近年、エレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、硬化性樹脂組成物にも作業性や高性能化が要求されている。例えば、電子機器の小型化、軽量化、高性能化に伴い、半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化され、量産化が進んでいる。   A curable resin composition is used as a material for forming a permanent coating film such as a solder resist of a printed wiring board, an interlayer insulating layer, and a coverlay. In recent years, curable resin compositions have been required to have higher workability and higher performance in response to higher densities of printed wiring boards that accompany lighter, thinner, shorter, and smaller electronic devices. For example, as electronic devices have become smaller, lighter, and higher in performance, semiconductor packages have become smaller and more pins have been put into practical use, and mass production is proceeding.

このような高密度化に対応して、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージが登場した。このようなパッケージ基板のようにファインピッチの配線パターンを備えるプリント配線板においては、配線パターンが高密度に、互いに近接して形成されるため、配線パターンのライン間でショートやクロストークノイズが生じたりするおそれが高くなる。従って、このようなパッケージ基板に用いられるソルダーレジスト等の永久塗膜には、特に高度な信頼性が求められる。   Corresponding to such high density, instead of IC packages called QFP (Quad Flat Pack Package) and SOP (Small Outline Package), BGA (ball grid array), CSP (chip)・IC packages called scale packages) have appeared. In a printed wiring board having a fine pitch wiring pattern such as such a package substrate, since the wiring patterns are formed in high density and close to each other, a short circuit or crosstalk noise occurs between lines of the wiring pattern. There is a high risk that Therefore, particularly high reliability is required for a permanent coating film such as a solder resist used for such a package substrate.

従来、信頼性の向上を目的として、コアシェルゴム粒子を硬化性樹脂組成物に配合する方法が知られている。例えば、特許文献1には、コアシェルゴム粒子を含有する硬化性樹脂組成物がTCT耐性(冷熱衝撃特性)に優れることが記載されている。また、従来、硬度等の特性を向上する目的として、硬化性樹脂組成物に、無機フィラーを配合することが知られている(例えば、特許文献2)。   Conventionally, a method of blending core-shell rubber particles with a curable resin composition for the purpose of improving reliability has been known. For example, Patent Document 1 describes that a curable resin composition containing core-shell rubber particles has excellent TCT resistance (cooling and thermal shock characteristics). Further, conventionally, it has been known to mix an inorganic filler with a curable resin composition for the purpose of improving properties such as hardness (for example, Patent Document 2).

特開2009−192632号公報JP, 2009-192632, A 特開平8−335767号公報JP-A-8-335767

上記のとおり、コアシェルゴム粒子はTCT耐性といった信頼性や引張り伸び率の向上を目的として配合される成分であるが、信頼性へ影響をおよぼす線膨張係数の上昇や引張り強度の低下を招く恐れがあった。そのため、硬化性樹脂組成物には無機フィラーを添加することにより、線膨張係数の低下や引張り強度を向上させてきた。しかし、このような硬化性樹脂組成物では満足するTCT耐性を維持することができなかった。   As described above, the core-shell rubber particles are components mixed for the purpose of improving reliability such as TCT resistance and tensile elongation, but there is a possibility that the linear expansion coefficient and the tensile strength may be decreased, which may affect the reliability. there were. Therefore, by adding an inorganic filler to the curable resin composition, the linear expansion coefficient has been lowered and the tensile strength has been improved. However, such a curable resin composition could not maintain a satisfactory TCT resistance.

そこで本発明の目的は、熱物性や機械物性を維持しつつ、TCT耐性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent TCT resistance while maintaining thermophysical properties and mechanical properties, a dry film having a resin layer obtained from the composition, and the composition. The object is to provide a cured product of the resin or the resin layer of the dry film, and a printed wiring board having the cured product.

本発明者等は上記を鑑み鋭意検討した結果、コアシェルゴム粒子と無機フィラーを含有する硬化性樹脂組成物において、コアシェルゴム粒子を硬化系に取り込み、かつ、表面処理された無機フィラーを用いることによって、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have conducted intensive studies in view of the above, in a curable resin composition containing a core-shell rubber particles and an inorganic filler, the core-shell rubber particles are incorporated into the curing system, and by using a surface-treated inorganic filler The inventors have found that the above problems can be solved and have completed the present invention.

即ち、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子と、(B)表面処理された無機フィラーと、(C)硬化性樹脂とを含み、前記(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子の硬化性反応基が、前記(C)硬化性樹脂と反応する基であることを特徴とするものである。   That is, the curable resin composition of the present invention comprises (A) core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface, (B) a surface-treated inorganic filler, and (C) a curable resin, (A) The curable reactive group of the core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface is a group that reacts with the (C) curable resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(C)硬化性樹脂が(C−1)熱硬化性樹脂であることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the (C) curable resin is preferably (C-1) thermosetting resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに、(C−2)光硬化性樹脂を含有することが好ましい。   The curable resin composition of the present invention preferably further contains (C-2) a photocurable resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(B)表面処理された無機フィラーが(C−2)光硬化性樹脂と反応する硬化性反応基を表面に有することが好ましい。   The curable resin composition of the present invention preferably has a curable reactive group on the surface of which the (B) surface-treated inorganic filler reacts with the (C-2) photocurable resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(B)表面処理された無機フィラーが、シランカップリング剤で表面処理された無機フィラーであることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the (B) surface-treated inorganic filler is preferably an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent.

本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに、(D)光重合開始剤および(E)光塩基発生剤のうちから選ばれる少なくともいずれか一方を含むことが好ましい。   The curable resin composition of the present invention preferably further contains at least one selected from the group consisting of (D) photopolymerization initiator and (E) photobase generator.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(B)表面処理された無機フィラーの大きさが、平均粒子径で2μm以下であることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the size of the surface-treated inorganic filler (B) is preferably 2 μm or less in average particle diameter.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(B)表面処理された無機フィラーの含有量が組成物中の固形分の全量あたり20〜80質量%であることが好ましい。   In the curable resin composition of the present invention, the content of the (B) surface-treated inorganic filler is preferably 20 to 80% by mass based on the total amount of solid content in the composition.

本発明のドライフィルムは、前記硬化性樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。   The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained by applying the curable resin composition to a film and drying the film.

本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を、硬化して得られることを特徴とするものである。   The cured product of the present invention is characterized by being obtained by curing the curable resin composition or the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を有することを特徴とするものである。   The printed wiring board of the present invention is characterized by having the cured product.

本発明によれば、熱物性や機械物性を維持しつつ、TCT耐性に優れた硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することができる。   According to the present invention, a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent TCT resistance while maintaining thermophysical properties and mechanical properties, a dry film having a resin layer obtained from the composition, and the composition Alternatively, a cured product of the resin layer of the dry film and a printed wiring board having the cured product can be provided.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子(以下、「(A)コアシェルゴム粒子」とも称する)と、(B)表面処理された無機フィラー(以下(B)無機フィラーとも称する)と、(C)硬化性樹脂とを含み、前記(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子の硬化性反応基が、前記(C)硬化性樹脂と反応する基であることを特徴とするものである。通常、硬化成分以外の成分は、硬化反応には加わらないことから、硬化反応後は架橋ネットワークを有する樹脂に囲まれた状態で硬化物に内包されるため、架橋ネットワークを有する樹脂との間には界面が生じる。詳しいメカニズムは明らかではないが、コアシェルゴム粒子を硬化物が含有する場合、このような界面が応力発生時の弱点となり、これに起因してクラックが発生すると考えられ、本発明においては、硬化性樹脂とコアシェルゴム粒子の架橋ネットワークを形成し、硬化系に取り込むことにより、このような界面に起因するクラックが発生しづらくなり、TCT耐性が向上すると考えられる。また、表面処理された無機フィラーを用いることによって樹脂との濡れ性を向上させることが可能であり、架橋ネットワークを有する樹脂との間に界面が生じづらくなり、TCT耐性が向上すると考えられる。   The curable resin composition of the present invention comprises (A) core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface (hereinafter, also referred to as “(A) core-shell rubber particles”), and (B) surface-treated inorganic filler ( Hereinafter, the curable reactive group of the core-shell rubber particles containing (B) an inorganic filler) and (C) curable resin, and having the (A) curable reactive group on the surface is the (C) curable resin. It is characterized in that it is a group that reacts with. Usually, since components other than the curing component do not participate in the curing reaction, after the curing reaction, they are included in the cured product in a state of being surrounded by the resin having the crosslinked network, and therefore, between the resin having the crosslinked network and the resin. Causes an interface. Although the detailed mechanism is not clear, when the cured product contains the core-shell rubber particles, such an interface becomes a weak point at the time of stress generation, and it is considered that cracks are generated due to this interface. It is considered that by forming a crosslinked network of the resin and the core-shell rubber particles and incorporating them into the curing system, cracks due to such an interface are less likely to occur and the TCT resistance is improved. Moreover, it is considered that the wettability with the resin can be improved by using the surface-treated inorganic filler, the interface with the resin having the crosslinked network is hard to be generated, and the TCT resistance is improved.

また、(B)表面処理された無機フィラーが(C)硬化性樹脂と反応する硬化性反応基を有することが好ましい。これによって、(B)表面処理された無機フィラーも硬化系に取り込まれ、よりクラックが発生しづらくなるからである。表面処理の種類としては、表面処理の容易性からシランカップリングで処理されることが好ましい。   Further, it is preferable that the surface-treated inorganic filler (B) has a curable reactive group that reacts with the curable resin (C). This is because (B) the surface-treated inorganic filler is also taken into the curing system, and cracks are less likely to occur. As the type of surface treatment, silane coupling is preferable because of the ease of surface treatment.

本願明細書において硬化性反応基とは、硬化性樹脂が有する硬化性の官能基(熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂が有するエポキシ基等や光硬化性樹脂であるアクリレート化合物のアクリル基等)と反応する基を意味し、硬化性の官能基も含む概念である。   In the specification of the present application, the curable reactive group means a curable functional group of a curable resin (such as an epoxy group of an epoxy resin which is a thermosetting resin or an acrylic group of an acrylate compound which is a photocurable resin). It means a reactive group, and is a concept including a curable functional group.

本発明の硬化性樹脂組成物において、(C)硬化性樹脂は熱硬化性樹脂であっても光硬化性樹脂であってもよい。例えば、(C)硬化性樹脂として熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂を含有する場合は、(A)コアシェルゴム粒子が硬化性反応基としてエポキシ基と硬化反応する基を有すれば、硬化系に取り込むことができる。(B)無機フィラーが硬化性反応基を有する場合も同様である。   In the curable resin composition of the present invention, the curable resin (C) may be a thermosetting resin or a photocurable resin. For example, when (C) an epoxy resin which is a thermosetting resin is contained as the curable resin, (A) if the core-shell rubber particles have a group capable of undergoing a curing reaction with an epoxy group as a curable reactive group, the curing system is Can be captured. The same applies when the inorganic filler (B) has a curable reactive group.

具体的な例としては、硬化性樹脂組成物が、エポキシ基を有する(A)コアシェルゴム粒子、エポキシ基を有する(B)無機フィラー、および、(C)硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を含有する熱硬化性樹脂である場合、加熱によって各成分のエポキシ基が化学結合を開始し、(A)コアシェルゴム粒子および(B)無機フィラーが硬化系に取り込まれた硬化物を得ることができる。   As a specific example, the curable resin composition contains (A) core-shell rubber particles having an epoxy group, (B) an inorganic filler having an epoxy group, and (C) a thermosetting resin containing an epoxy resin. In the case of a curable resin, the epoxy group of each component starts a chemical bond by heating, and a cured product in which (A) core-shell rubber particles and (B) inorganic filler are incorporated into the curing system can be obtained.

また、(C)硬化性樹脂は硬化性の官能基の他に1種以上の硬化性反応基を有していてもよい。さらに、(C)硬化性樹脂は2種以上含まれていてもよい。具体的な例としては、硬化性樹脂組成物が、エポキシ基を有する(A)コアシェルゴム粒子、エチレン性不飽和結合を有する(B)無機フィラー、および、(C)硬化性樹脂としてエチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂およびエポキシ樹脂を含有する場合、光照射によって(B)無機フィラーのエチレン性不飽和結合と(C)硬化性樹脂のエチレン性不飽和結合が化学結合を開始し、(B)無機フィラーが硬化系に取り込まれる。その後、加熱によって(A)コアシェルゴム粒子のエポキシ基並びに(C)硬化性樹脂のカルボキシル基およびエポキシ樹脂が化学結合を開始し、(A)コアシェルゴム粒子が硬化系に取り込まれる。   The curable resin (C) may have one or more curable reactive groups in addition to the curable functional group. Furthermore, two or more types of (C) curable resin may be contained. As a specific example, the curable resin composition includes (A) core-shell rubber particles having an epoxy group, (B) an inorganic filler having an ethylenically unsaturated bond, and (C) an ethylenically non-curable resin. In the case of containing a carboxyl group-containing resin having a saturated bond and an epoxy resin, the ethylenically unsaturated bond of the inorganic filler (B) and the ethylenically unsaturated bond of the curable resin (C) start a chemical bond by light irradiation, (B) The inorganic filler is incorporated into the curing system. Then, by heating, the epoxy groups of the (A) core-shell rubber particles and the carboxyl groups of the (C) curable resin and the epoxy resin start chemical bonding, and the (A) core-shell rubber particles are incorporated into the curing system.

クラック耐性をさらに向上させるために、(A)コアシェルゴム粒子と(B)無機フィラーの粒子径を限りなく一次粒径に近づけることが好ましい。   In order to further improve the crack resistance, it is preferable that the particle diameters of the (A) core-shell rubber particles and the (B) inorganic filler be as close as possible to the primary particle diameter.

次に、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。   Next, each component of the curable resin composition of the present invention will be described. In addition, in this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

[(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子]
コアシェルゴム粒子とは、互いに異なる組成のコア層と、それを覆う1以上のシェル層と、で構成される多層構造のゴム材料を指す。コアシェルゴム粒子として、後述するように、コア層を柔軟性に優れた材料で構成し、シェル層を他の成分に対する親和性に優れた材料で構成することにより、ゴム成分の配合による低弾性率化を達成しつつ、分散性が良好となる。
[(A) Core-shell rubber particles having curable reactive group on the surface]
The core-shell rubber particles refer to a rubber material having a multi-layer structure composed of a core layer having a different composition and one or more shell layers covering the core layer. As described below, as the core-shell rubber particles, the core layer is made of a material having excellent flexibility, and the shell layer is made of a material having an excellent affinity for other components. The dispersibility is improved while achieving high efficiency.

コア層の構成材料としては、柔軟性に優れた材料が用いられる。具体的には、シリコーン系エラストマー、ブタジエン系エラストマー、スチレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、シリコーン/アクリル系複合系エラストマーなどが挙げられる。   A material having excellent flexibility is used as a constituent material of the core layer. Specific examples include silicone elastomers, butadiene elastomers, styrene elastomers, acrylic elastomers, polyolefin elastomers, and silicone/acrylic composite elastomers.

一方、シェル層の構成材料としては、他の成分に対する親和性に優れた材料が用いられる。例えば、硬化性樹脂組成物がエポキシ樹脂を含有する場合は、エポキシ樹脂に対する親和性に優れた材料で構成したシェル層を有するコアシェルゴム粒子を用いることが好ましい。より好ましくは、アクリル樹脂、エポキシ樹脂である。   On the other hand, as a constituent material of the shell layer, a material having an excellent affinity for other components is used. For example, when the curable resin composition contains an epoxy resin, it is preferable to use core-shell rubber particles having a shell layer made of a material having an excellent affinity for the epoxy resin. Acrylic resin and epoxy resin are more preferable.

(A)コアシェルゴム粒子が表面に有する硬化性反応基は(C)硬化性樹脂と硬化反応する基であれば特に限定されず、熱硬化性反応基であっても光硬化性反応基であってもよい。また、(A)コアシェルゴム粒子は2種以上の硬化性反応基を有していてもよい。   The curable reactive group on the surface of the (A) core-shell rubber particle is not particularly limited as long as it is a group that undergoes a curing reaction with the (C) curable resin, and even a thermosetting reactive group is a photocurable reactive group. May be. Further, the (A) core-shell rubber particles may have two or more kinds of curable reactive groups.

熱硬化性反応基としては、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、イミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。より好ましくは、エポキシ基である。   Examples of the thermosetting reactive group include a hydroxyl group, a carboxyl group, an isocyanate group, an imino group, an epoxy group, an oxetanyl group, a mercapto group, a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, an ethoxymethyl group, an ethoxyethyl group, and an oxazoline group. .. More preferably, it is an epoxy group.

光硬化性反応基としては、ビニル基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基等が挙げられる。フィラー含有量が多量の場合であっても反応性が適当になるため、メタクリル基、アクリル基であることが好ましい。   Examples of the photocurable reactive group include a vinyl group, a styryl group, a methacryl group, and an acryl group. A methacryl group or an acryl group is preferable because the reactivity becomes appropriate even when the filler content is large.

(A)コアシェルゴム粒子が表面に有する硬化性反応基の導入方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよい。例えば、コア層の周囲にシェル層を形成する際に、シェル層の構成材料として、コア層と重合反応するための官能基とは異なる硬化性反応基を有する材料をコア層に重合することによって導入することができる。   The method for introducing the curable reactive group (A) on the surface of the core-shell rubber particles is not particularly limited, and a known and commonly used method may be used. For example, when forming a shell layer around the core layer, by polymerizing a material having a curable reactive group different from a functional group for a polymerization reaction with the core layer into the core layer as a constituent material of the shell layer, Can be introduced.

(A)コアシェルゴム粒子の市販品としては、ロームアンドハース社製パラロイドELX2655、日本合成ゴム社製XER−91等が挙げられる。   Examples of commercially available (A) core-shell rubber particles include Paraloid ELX2655 manufactured by Rohm and Haas Co., XER-91 manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd., and the like.

本発明の硬化性樹脂組成物において、(A)コアシェルゴム粒子は、平均粒径が2μm以下であることが、クラック耐性により優れることから好ましい。より好ましくは、0.01〜1μmである。尚、本明細書において、平均粒径とは日機装社製マイクロトラック粒度分析計を用いて測定したD50の値である。   In the curable resin composition of the present invention, it is preferable that the core-shell rubber particles (A) have an average particle diameter of 2 μm or less because crack resistance is excellent. More preferably, it is 0.01 to 1 μm. In the present specification, the average particle size is a value of D50 measured using a Microtrac particle size analyzer manufactured by Nikkiso Co., Ltd.

本発明の硬化性樹脂組成物において、(A)コアシェルゴム粒子の含有量が組成物中の固形分中の有機成分あたり1〜30質量%であることが好ましい。1質量%以上だと、クラック耐性がより優れる点で好ましい。一方、30質量%以下だと、印刷性、および、現像性に優れる点で好ましい。より好ましくは、3〜20質量%である。また、本発明の硬化性樹脂組成物は、発明の効果を損なわない範囲で、硬化性反応基を有しないコアシェルゴム粒子を含有してもよい。なお、ここで有機成分とはフィラー等の無機成分以外の固形全成分をいう。   In the curable resin composition of the present invention, the content of the (A) core-shell rubber particles is preferably 1 to 30 mass% with respect to the organic component in the solid content of the composition. When it is 1% by mass or more, crack resistance is more excellent, which is preferable. On the other hand, when it is 30% by mass or less, it is preferable in terms of excellent printability and developability. More preferably, it is 3 to 20 mass %. Further, the curable resin composition of the present invention may contain core-shell rubber particles having no curable reactive group, as long as the effects of the invention are not impaired. In addition, an organic component means here all solid components other than inorganic components, such as a filler.

[(B)表面処理された無機フィラー]
(B)無機フィラーの表面処理は特に限定されるものではなく、無機フィラーの表面に硬化性反応基を導入可能な表面処理が好ましい。
[(B) Surface-treated inorganic filler]
The surface treatment of the inorganic filler (B) is not particularly limited, and a surface treatment capable of introducing a curable reactive group onto the surface of the inorganic filler is preferable.

無機フィラーとしては、特に限定されず、公知慣用の充填剤、例えばシリカ、結晶性シリカ、ノイブルグ珪土、水酸化アルミニウム、ガラス粉末、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、ハイドロタルサイト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華等の無機フィラーを用いることができる。中でも、シリカが好ましく、表面積が小さく、応力が全体に分散するためクラックの起点になりにくいことから、球状シリカであることがより好ましい。   The inorganic filler is not particularly limited, and known conventional fillers such as silica, crystalline silica, Neuburg silica, aluminum hydroxide, glass powder, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, Inorganic fillers such as aluminum hydroxide, barium sulfate, barium titanate, iron oxide, non-fibrous glass, hydrotalcite, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate and zinc white can be used. Among them, silica is preferable, and spherical silica is more preferable because it has a small surface area and the stress is dispersed all over, so that it is less likely to be a starting point of cracks.

(B)無機フィラーは、(C)硬化性樹脂と反応する硬化性反応基を表面に有することが好ましい。硬化性反応基は、熱硬化性反応基でも光硬化性反応基でもよく、これらの例としては、前記(A)コアシェルゴム粒子で挙げた硬化性反応基が挙げられる。中でも、光硬化性反応基としては、メタクリル基、アクリル基、ビニル基が好ましく、熱硬化性反応基としては、エポキシ基が好ましい。また、(B)無機フィラーは2種以上の硬化性反応基を有していてもよい。   The inorganic filler (B) preferably has a curable reactive group that reacts with the curable resin (C) on its surface. The curable reactive group may be a thermosetting reactive group or a photo-curable reactive group, and examples thereof include the curable reactive group mentioned in the above (A) core-shell rubber particles. Among them, the photocurable reactive group is preferably a methacrylic group, an acrylic group or a vinyl group, and the thermosetting reactive group is preferably an epoxy group. Further, the inorganic filler (B) may have two or more curable reactive groups.

(B)無機フィラーの表面に硬化性反応基の導入方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有機基として有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理すればよい。   The method for introducing the curable reactive group to the surface of the inorganic filler (B) is not particularly limited, and may be introduced by a known and commonly used method. For example, a surface treating agent having a curable reactive group, for example, a curable reactive group may be introduced. The surface of the inorganic filler may be treated with a coupling agent having an organic group.

(B)無機フィラーの表面処理としては、カップリング剤による表面処理が好ましい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を用いることができる。中でも、シランカップリング剤が好ましい。   The surface treatment of the inorganic filler (B) is preferably a surface treatment with a coupling agent. As the coupling agent, a silane coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, an aluminum coupling agent or the like can be used. Of these, a silane coupling agent is preferable.

シランカップリング剤としては、(B)無機フィラーに、硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤が好ましい。熱硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、有機基として、エポキシ基を有するシランカップリング剤、アミノ基を有するシランカップリング剤、メルカプト基を有するシランカップリング剤、イソシアネート基を有するシランカップリング剤が挙げられ、中でもエポキシ基を有するシランカップリング剤がより好ましい。光硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、有機基として、ビニル基を有するシランカップリング剤、スチリル基を有するシランカップリング剤、メタクリル基を有するシランカップリング剤、アクリル基を有するシランカップリング剤が好ましく、中でもメタクリル基を有するシランカップリング剤がより好ましい。   As the silane coupling agent, a silane coupling agent capable of introducing a curing reactive group into the inorganic filler (B) is preferable. The silane coupling agent capable of introducing a thermosetting reactive group, as the organic group, a silane coupling agent having an epoxy group, a silane coupling agent having an amino group, a silane coupling agent having a mercapto group, an isocyanate group The silane coupling agent which has is mentioned, Especially, the silane coupling agent which has an epoxy group is more preferable. As the silane coupling agent capable of introducing a photocurable reactive group, as the organic group, a silane coupling agent having a vinyl group, a silane coupling agent having a styryl group, a silane coupling agent having a methacryl group, an acrylic group The silane coupling agent having is preferable, and the silane coupling agent having a methacryl group is more preferable.

また、硬化性反応基を有しない(B)無機フィラーとしては、例えば、アルミナ表面処理がされた無機フィラー等が挙げられる。   Further, as the inorganic filler (B) having no curable reactive group, for example, an alumina surface-treated inorganic filler and the like can be mentioned.

(B)無機フィラーは、表面処理された状態で本発明の硬化性樹脂組成物に配合されていればよく、表面未処理の無機フィラーと表面処理剤とを別々に配合して組成物中で無機フィラーが表面処理されてもよいが、予め表面処理した無機フィラーを配合することが好ましい。予め表面処理した無機フィラーを配合することによって、別々に配合した場合に残存しうる表面処理で消費されなかった表面処理剤によるクラック耐性等の低下を防ぐことができる。予め表面処理する場合は、溶剤に(B)無機フィラーを予備分散した予備分散液を配合することが好ましく、表面処理した無機フィラーを溶剤に予備分散し、該予備分散液を組成物に配合するか、表面未処理の無機フィラーを溶剤に予備分散する際に十分に表面処理した後、該予備分散液を組成物に配合することがより好ましい。   The inorganic filler (B) may be added to the curable resin composition of the present invention in a surface-treated state. In the composition, the surface-untreated inorganic filler and the surface-treating agent are separately added. The inorganic filler may be surface-treated, but it is preferable to add an inorganic filler that has been surface-treated in advance. By blending the inorganic fillers that have been surface-treated in advance, it is possible to prevent a decrease in crack resistance and the like due to the surface-treating agent which is not consumed in the surface treatment and may remain when they are blended separately. When the surface treatment is carried out in advance, it is preferable to add a preliminary dispersion liquid in which the inorganic filler (B) is pre-dispersed, and the surface-treated inorganic filler is pre-dispersed in the solvent, and the preliminary dispersion liquid is added to the composition. Alternatively, it is more preferable that after the surface-untreated inorganic filler is sufficiently dispersed in the solvent, the surface treatment is sufficiently performed and then the preliminary dispersion liquid is added to the composition.

本発明の硬化性樹脂組成物において、(B)無機フィラーは、平均粒径が2μm以下であることが、クラック耐性により優れることから好ましい。より好ましくは、1μm以下である。   In the curable resin composition of the present invention, it is preferable that the inorganic filler (B) has an average particle size of 2 μm or less because it is more excellent in crack resistance. More preferably, it is 1 μm or less.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(B)無機フィラーの他に、表面処理されていない無機フィラーを含有することができる。その場合、(B)無機フィラーは、(B)無機フィラーと表面処理されていない無機フィラーの総量あたり、30質量%以上であることが好ましく、50質量%以上であることがより好ましく、70質量%以上であることがさらに好ましい。また、表面処理されていない無機フィラーは、球状シリカであることが好ましい。   The curable resin composition of the present invention can contain an inorganic filler which is not surface-treated, in addition to the inorganic filler (B). In that case, the amount of the inorganic filler (B) is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and 70% by mass based on the total amount of the inorganic filler (B) and the inorganic filler not surface-treated. % Or more is more preferable. Further, the inorganic filler not surface-treated is preferably spherical silica.

(B)無機フィラーの配合量は、硬化性樹脂組成物の固形分の全量あたり20〜80質量%であることが好ましく、30〜60質量%であることがより好ましく、35〜60質量%であることがさらに好ましい。   The content of the inorganic filler (B) is preferably 20 to 80% by mass, more preferably 30 to 60% by mass, and more preferably 35 to 60% by mass based on the total amount of the solid content of the curable resin composition. It is more preferable that there is.

[(C)硬化性樹脂]
(C)硬化性樹脂は、(C−1)熱硬化性樹脂でも(C−2)光硬化性樹脂であってもよい。また、(C)硬化性樹脂は、1種を単独で、または、2種以上を用いてもよい。
[(C) Curable resin]
The (C) curable resin may be (C-1) a thermosetting resin or (C-2) a photocurable resin. The curable resin (C) may be used alone or in combination of two or more.

(C−1)熱硬化性樹脂としては、加熱により硬化して電気絶縁性を示す樹脂であればよく、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、メラミン樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられる。特に、本発明においては、エポキシ化合物およびオキセタン化合物を好適に用いることができ、これらは併用してもよい。   The thermosetting resin (C-1) may be any resin that is cured by heating and exhibits electrical insulation, and examples thereof include an epoxy compound, an oxetane compound, a melamine resin, and a silicone resin. Particularly, in the present invention, an epoxy compound and an oxetane compound can be preferably used, and these may be used in combination.

上記エポキシ化合物としては、1個以上のエポキシ基を有する公知慣用の化合物を使用することができ、中でも、2個以上のエポキシ基を有する化合物が好ましい。例えば、ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレートなどのモノエポキシ化合物などのモノエポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、フェニル−1,3−ジグリシジルエーテル、ビフェニル−4,4’−ジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールまたはプロピレングリコールのジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物が挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。   As the epoxy compound, a known and commonly used compound having one or more epoxy groups can be used, and among them, a compound having two or more epoxy groups is preferable. For example, monoepoxy compounds such as monoepoxy compounds such as butyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, glycidyl (meth)acrylate, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, Cresol novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, trimethylolpropane polyglycidyl ether, phenyl-1,3-diglycidyl ether, biphenyl-4,4'-diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, Two or more epoxy groups in one molecule such as ethylene glycol or propylene glycol diglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, tris(2,3-epoxypropyl)isocyanurate, triglycidyl tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate, etc. And a compound having These may be used alone or in combination of two or more according to the required characteristics.

2個以上のエポキシ基を有する化合物としては、具体的には、三菱化学社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、新日鉄住金化学社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル日本社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL903、DIC社製のエピクロン152、エピクロン165、新日鉄住金化学社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル日本社製のD.E.R.542、住友化学社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.711、A.E.R.714等のブロム化エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER152、jER154、ダウケミカル日本社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、新日鉄住金化学社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、NC−3000、住友化学社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299、新日鉄住金化学社製のYDCN−700−2、YDCN−700−3、YDCN−700−5,YDCN−700−7、YDCN−700−10、YDCN−704 YDCN−704A、DIC社製のエピクロンN−680、N−690、N−695(いずれも商品名)等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC社製のエピクロン830、三菱化学社製jER807、新日鉄住金化学社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004等のビスフェノールF型エポキシ樹脂;新日鉄住金化学社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER604、新日鉄住金化学社製のエポトートYH−434;住友化学社製のスミ−エポキシELM−120等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル社製のセロキサイド2021等の脂環式エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−933、ダウケミカル日本社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、ADEKA社製EPX−30、DIC社製のEXA−1514等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER157S等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL−931等のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学工業社製のTEPIC等の複素環式エポキシ樹脂;日油社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;新日鉄住金化学社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄住金化学社製ESN−190、ESN−360、DIC社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日油社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;CTBN変性エポキシ樹脂(例えば新日鉄住金化学社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらの中でも、特に変色耐性に優れることよりビスフェノールA型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂またはそれらの混合物が好ましい。
これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of the compound having two or more epoxy groups include jER828, jER834, jER1001, jER1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., Epicron 840, Epicron 850, Epicron 1050, Epicron 2055, and Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Epototo YD-011, YD-013, YD-127, YD-128 manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd. E. R. 317, D.I. E. R. 331, D.I. E. R. 661, D.I. E. R. 664, Sumi-epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., A.E. manufactured by Asahi Kasei E-materials Corporation. E. R. 330, A. E. R. 331, A.A. E. R. 661, A.D. E. R. Bisphenol A type epoxy resin such as 664; jERYL903 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Epicron 152, Epicron 165 manufactured by DIC Co., Ltd., Epototo YDB-400, YDB-500 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., D.C. E. R. 542, Sumi-Epoxy ESB-400 and ESB-700 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and A.E. manufactured by Asahi Kasei E-Materials. E. R. 711, A. E. R. Brominated epoxy resin such as 714; jER152, jER154 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., D.C. manufactured by Dow Chemical Japan. E. N. 431, D.I. E. N. 438, DIC's Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865, Nippon Steel & Sumikin Chemical's Epotote YDCN-701, YDCN-704, Nippon Kayaku's EPPN-201, EOCN-1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, NC-3000, Sumi-epoxy ESCN-195X, ESCN-220 manufactured by Sumitomo Chemical Co., A. manufactured by Asahi Kasei E-materials Co., Ltd. E. R. ECN-235, ECN-299, YDCN-700-2, YDCN-700-3, YDCN-700-5, YDCN-700-7, YDCN-700-10, YDCN-704 YDCN-704A manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. , Novolac type epoxy resin such as Epicron N-680, N-690, N-695 (all trade names) manufactured by DIC; Epicron 830 manufactured by DIC, jER807 manufactured by Mitsubishi Chemical, Epototo manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Bisphenol F type epoxy resins such as YDF-170, YDF-175 and YDF-2004; hydrogenated bisphenol A type epoxy resins such as Epototo ST-2004, ST-2007 and ST-3000 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; Mitsubishi Chemical Corporation JER604 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., Epotote YH-434 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., glycidylamine type epoxy resin such as Sumi-epoxy ELM-120 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., hydantoin type epoxy resin; Epoxy resin: YL-933 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., T.L. manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd. E. N. , EPPN-501, EPPN-502 and other trihydroxyphenylmethane type epoxy resins; Mitsubishi Chemical's YL-6056, YX-4000, YL-6121 and other bixylenol type or biphenol type epoxy resins or mixtures thereof; Japan. Bisphenol S type epoxy resin such as EBPS-200 manufactured by Kayaku Co., EPX-30 manufactured by ADEKA, EXA-1514 manufactured by DIC; Bisphenol A novolac type epoxy resin such as jER157S manufactured by Mitsubishi Chemical; Mitsubishi Chemical Tetraphenylolethane type epoxy resin such as jERYL-931; Heterocyclic epoxy resin such as TEPIC manufactured by Nissan Chemical Industries; Diglycidyl phthalate resin such as Bremmer DGT manufactured by NOF CORPORATION; ZX-1063 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Naphthalene group-containing epoxy resins such as ESN-190, ESN-360 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, HP-4032 manufactured by DIC, EXA-4750, and EXA-4700; HP-7200 manufactured by DIC. , HP-7200H and other epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton; NOF CORPORATION CP-50S, CP-50M and other glycidyl methacrylate copolymer epoxy resins; and cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resins; Examples thereof include CTBN-modified epoxy resin (for example, YR-102 and YR-450 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), but are not limited thereto. Among these, a bisphenol A type epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, or a mixture thereof is preferable because it is particularly excellent in discoloration resistance.
These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

次に、オキセタン化合物について説明する。下記一般式(I)、

Figure 0006698333
(式中、Rは、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示す)により表されるオキセタン環を含有するオキセタン化合物の具体例としては、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン(東亞合成社製OXT−101)、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン(東亞合成社製OXT−211)、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン(東亞合成社製OXT−212)、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン(東亞合成社製OXT−121)、ビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル(東亞合成社製OXT−221)などが挙げられる。さらに、フェノールノボラックタイプのオキセタン化合物なども挙げられる。これらオキセタン化合物は、上記エポキシ化合物と併用してもよく、また、単独で使用してもよい。 Next, the oxetane compound will be described. The following general formula (I),
Figure 0006698333
(In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms), and specific examples of the oxetane compound having an oxetane ring include 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane (Toago OXT-101 manufactured by Synthetic Co., Ltd., 3-ethyl-3-(phenoxymethyl)oxetane (OXT-211 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 3-Ethyl-3-(2-ethylhexyloxymethyl)oxetane (OXT manufactured by Toagosei Co., Ltd.) -212), 1,4-bis{[(3-ethyl-3-oxetanyl)methoxy]methyl}benzene (TOA Gosei Co., Ltd. OXT-121), bis(3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether (Toago Gosei) OXT-221) manufactured by the same company can be mentioned. Further, a phenol novolac type oxetane compound and the like are also included. These oxetane compounds may be used in combination with the above epoxy compound or may be used alone.

(C−2)光硬化性樹脂としては、活性エネルギー線照射により硬化して電気絶縁性を示す樹脂であればよく、特に、本発明においては、分子中に1個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物が好ましく用いられる。エチレン性不飽和結合を有する化合物としては、公知慣用の感光性モノマーである光重合性オリゴマー、光重合性ビニルモノマー等を用いることができる。また、光硬化性樹脂として、後述するようなエチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂等のポリマーを用いることができる。   The (C-2) photocurable resin may be a resin that is cured by irradiation with active energy rays and exhibits electrical insulation properties. In particular, in the present invention, one or more ethylenically unsaturated bonds are present in the molecule. Compounds having are preferably used. As the compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerizable oligomer, a photopolymerizable vinyl monomer or the like, which is a known and commonly used photosensitive monomer, can be used. Further, as the photocurable resin, a polymer such as a carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated bond as described below can be used.

光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the photopolymerizable oligomer include unsaturated polyester-based oligomers and (meth)acrylate-based oligomers. Examples of (meth)acrylate-based oligomers include epoxy (meth)acrylates such as phenol novolac epoxy (meth)acrylate, cresol novolac epoxy (meth)acrylate, and bisphenol type epoxy (meth)acrylate, urethane (meth)acrylate, epoxy urethane (meth). ) Acrylate, polyester (meth)acrylate, polyether (meth)acrylate, polybutadiene modified (meth)acrylate and the like.

光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル−n−ブチルエーテル、ビニル−t−ブチルエーテル、ビニル−n−アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル−n−オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独で、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。   As the photopolymerizable vinyl monomer, known conventional ones, for example, styrene derivatives such as styrene, chlorostyrene and α-methylstyrene; vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl butyrate or vinyl benzoate; vinyl isobutyl ether, vinyl- Vinyl ethers such as n-butyl ether, vinyl-t-butyl ether, vinyl-n-amyl ether, vinyl isoamyl ether, vinyl-n-octadecyl ether, vinyl cyclohexyl ether, ethylene glycol monobutyl vinyl ether and triethylene glycol monomethyl vinyl ether; acrylamide, (Meth)acrylamides such as methacrylamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-hydroxymethylmethacrylamide, N-methoxymethylacrylamide, N-ethoxymethylacrylamide, N-butoxymethylacrylamide; triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, Allyl compounds such as diallyl isophthalate; 2-ethylhexyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, phenyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, etc. Of (meth)acrylic acid ester; hydroxyalkyl (meth)acrylates such as hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate; methoxyethyl (meth)acrylate, ethoxyethyl Alkoxyalkylene glycol mono(meth)acrylates such as (meth)acrylate; ethylene glycol di(meth)acrylate, butanediol di(meth)acrylates, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di( Alkylene polyols poly(meth)acrylates such as (meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate; diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di Polyoxyalkylene glycol poly(meth)acrylates such as (meth)acrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, propoxylated trimethylolpropane tri(meth)acrylate A) acrylates; poly(meth)acrylates such as hydroxypivalic acid neopentyl glycol ester di(meth)acrylate; isocyanurate-type poly(meth)acrylates such as tris[(meth)acryloxyethyl]isocyanurate. Can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more according to the required characteristics.

(C)硬化性樹脂は、硬化性の官能基の他に1種以上の硬化性反応基を有していてもよく、例えば、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂等を用いることができる。このようなカルボキシル基含有樹脂はアルカリ可溶性を有し、本発明の硬化性樹脂組成物をアルカリ現像型の光硬化性樹脂組成物とすることができるため好ましい。   The (C) curable resin may have one or more curable reactive groups in addition to the curable functional group, and for example, a carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group or the like may be used. it can. Such a carboxyl group-containing resin is preferable because it has alkali solubility and the curable resin composition of the present invention can be used as an alkali developing type photocurable resin composition.

エチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物、および、上記のような感光性モノマーとの共重合により得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応による、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(5)上記(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(6)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(7)上記のような多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。ここで、多官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。
(8)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。ここで、2官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。
(9)上記のような2官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(12)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(13)上記(1)〜(12)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
Specific examples of the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated bond include compounds (both oligomers and polymers) listed below.
(1) An unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid, an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate, and isobutylene, and a photosensitive monomer as described above. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by copolymerization. The lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.
(2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and aromatic diisocyanates, and carboxy group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, and polycarbonate-based polyols and polyether-based polyols Of a carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic-based polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group, etc. During the synthesis, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate was added, and the terminal (meth)acrylated carboxyl having an ethylenically unsaturated group was added. Group-containing polyurethane resin.
(3) Diisocyanate compound such as aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate and aromatic diisocyanate, and polycarbonate-based polyol, polyether-based polyol, polyester-based polyol, polyolefin-based polyol, acrylic-based polyol, bisphenol A-based During the synthesis of a urethane resin containing a terminal carboxyl group obtained by reacting an acid anhydride with the end of a urethane resin by polyaddition reaction of an alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and a compound having an alcoholic hydroxyl group, etc. A carboxyl group-containing polyurethane having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by adding a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl group in a molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate and terminal (meth)acrylated. resin.
(4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group obtained by a polyaddition reaction of (meth)acrylate or a partial acid anhydride modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.
(5) A compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate is added during the synthesis of the resin of (4) above to obtain a terminal (meth)acrylate. And a carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group.
(6) During the synthesis of the resin of (2) or (4), one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl group are added to the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by adding a compound having the above and is (meth)acrylate-terminated.
(7) A polyfunctional epoxy resin as described above is reacted with (meth)acrylic acid, and a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is added to the hydroxyl group present in the side chain. And a carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group. Here, the polyfunctional epoxy resin is preferably solid.
(8) An ethylenic compound obtained by reacting a (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin with epichlorohydrin and adding a dibasic acid anhydride to the generated hydroxyl group. A carboxyl group-containing resin having a saturated group. Here, the bifunctional epoxy resin is preferably solid.
(9) A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting the above difunctional oxetane resin with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group.
(10) Reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.
(11) Obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate and propylene carbonate with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.
(12) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, such as p-hydroxyphenethyl alcohol, (meth) A maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine is reacted with the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.
(13) In addition to the resin according to any one of (1) to (12), one epoxy group and one or more (meth)acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth)acrylate and α-methylglycidyl (meth)acrylate. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by adding a compound having a group.

上記エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の中でも、エポキシ樹脂を出発原料として用いていないカルボキシル基含有樹脂を好適に用いることができる。従って、上述したカルボキシル基含有樹脂の具体例のうち、(2)、(3)、(10)、(11)のいずれか1種以上のエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂を好適に用いることができる。中でも、(10)のエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂を用いることが特に好ましい。   Among the carboxyl group-containing resins having an ethylenically unsaturated group, a carboxyl group-containing resin that does not use an epoxy resin as a starting material can be preferably used. Therefore, among the specific examples of the carboxyl group-containing resin described above, the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group of any one or more of (2), (3), (10) and (11) is preferably used. Can be used. Above all, it is particularly preferable to use the carboxyl group-containing resin (10) having an ethylenically unsaturated group.

このように、エポキシ樹脂を出発原料として用いないことにより、塩素イオン不純物量を例えば100ppm以下と非常に少なく抑えることができる。本発明において好適に用いられるエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の塩素イオン不純物含有量は好ましくは0〜100ppm、より好ましくは0〜50ppm、さらに好ましくは0〜30ppmである。   Thus, by not using the epoxy resin as the starting material, the chlorine ion impurity amount can be suppressed to a very small value of, for example, 100 ppm or less. The content of chlorine ion impurities in the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group preferably used in the present invention is preferably 0 to 100 ppm, more preferably 0 to 50 ppm, and further preferably 0 to 30 ppm.

上記したようなエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能である。   Since the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group as described above has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, it can be developed with an aqueous alkaline solution.

また、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gの範囲が好ましく、より好ましくは40〜150mgKOH/gの範囲である。エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の酸価が20mgKOH/g以上の場合には、塗膜の密着性が良好になり、アルカリ現像性が良好になる。一方、酸価が200mgKOH/g以下の場合には、表面硬化性に優れ、現像液による露光部の現像ダメージを低減することができる。   The acid value of the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group is preferably in the range of 20 to 200 mgKOH/g, more preferably 40 to 150 mgKOH/g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group is 20 mgKOH/g or more, the adhesion of the coating film becomes good and the alkali developability becomes good. On the other hand, when the acid value is 200 mgKOH/g or less, the surface curability is excellent, and the development damage of the exposed area due to the developer can be reduced.

エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000であることが好ましい。重量平均分子量が2,000以上の場合では、指触乾燥性に優れた乾燥塗膜が得られる。一方、重量平均分子量が150,000以下の場合では、アルカリ現像性が良好になり、貯蔵安定性の良好となる。より好ましくは、5,000〜100,000である。   Although the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group varies depending on the resin skeleton, it is generally preferably 2,000 to 150,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, a dry coating film excellent in dryness to the touch can be obtained. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the alkali developability becomes good and the storage stability becomes good. More preferably, it is 5,000 to 100,000.

((D)光重合開始剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は、(C)硬化性樹脂として(C−2)光硬化性樹脂を含有する場合は、(D)光重合開始剤を含有することが好ましい。(D)光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。
((D) Photopolymerization initiator)
When the curable resin composition of the present invention contains (C-2) a photocurable resin as the (C) curable resin, it preferably contains (D) a photopolymerization initiator. As the photopolymerization initiator (D), any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used.

(D)光重合開始剤としては、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。(D)光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でもモノアシルフォスフィンオキサイド類、オキシムエステル類が好ましく、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator (D) include bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide and bis-. (2,6-dichlorobenzoyl)-4-propylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, Bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,4 ,6-Trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide (IRGACURE819 manufactured by BASF Japan Ltd.) and the like; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2 , 4,6-Trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (manufactured by BASF Japan Ltd.) IRGACURE TPO) and other monoacylphosphine oxides; 1-hydroxy-cyclohexyl phenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one , 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- Hydroxyacetophenones such as phenylpropan-1-one; benzoins such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, Benzophenones such as p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino -1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1,2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl)-1-[ Acetophenones such as 4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone and N,N-dimethylaminoacetophenone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethyl. Thioxanthones such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, Anthraquinones such as 2-aminoanthraquinone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethylbenzoate and p-dimethylbenzoic acid ethyl ester 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-,2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole -3-yl]-, 1-(O-acetyloxime) and other oxime esters; bis(η5-2,4-cyclopentadiene-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H- Titanocenes such as pyrrol-1-yl)phenyl)titanium and bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-pyr-1-yl)ethyl)phenyl]titanium; Examples thereof include phenyl disulfide 2-nitrofluorene, butyroin, anisoin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide and the like. As the photopolymerization initiator (D), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. Among them, monoacylphosphine oxides and oxime esters are preferable, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3. -Yl]-,1-(O-acetyloxime) is more preferred.

(D)光重合開始剤の配合量は、(C−2)光硬化性樹脂の固形分100質量部に対して0.5〜20質量部であることが好ましい。5質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、20質量部以下の場合ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。   The compounding amount of the (D) photopolymerization initiator is preferably 0.5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the (C-2) photocurable resin. When it is 5 parts by mass or more, the surface curability becomes good, and when it is 20 parts by mass or less, halation hardly occurs and good resolution is obtained.

((E)光塩基発生剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は、(E)光塩基発生剤を含有することができる。
(E)光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、熱硬化反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。
((E) Photobase generator)
The curable resin composition of the present invention may contain (E) a photobase generator.
(E) The photobase generator is one or more basic substances capable of functioning as a catalyst for a thermosetting reaction by changing the molecular structure or cleaving the molecule upon irradiation with light such as ultraviolet rays or visible light. Is a compound that produces. Examples of the basic substance include secondary amines and tertiary amines.

(E)光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましく、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。(E)光塩基発生剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   (E) Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzylcarbamate groups, and alcohols. Examples thereof include compounds having a substituent such as an oxybenzyl carbamate group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferable, oxime ester compounds are more preferable, and ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime) is more preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable. As the photobase generator (E), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

この他、光塩基発生剤としては、カルバメート誘導体、4級アンモニウム塩等が挙げられる。   Besides, examples of the photobase generator include carbamate derivatives, quaternary ammonium salts and the like.

その他の光塩基発生剤として、WPBG−018(商品名:9−anthrylmethyl N,N’−diethylcarbamate)、WPBG−027(商品名:(E)−1−[3−(2−hydroxyphenyl)−2−propenoyl]piperidine)、WPBG−082(商品名:guanidinium2−(3−benzoylphenyl)propionate)、 WPBG−140(商品名:1−(anthraquinon−2−yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。   As other photobase generators, WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethyl N, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2- WPBG-082 (trade name: guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate), WPBG-140 (trade name: 1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazoleate etc.) can also be used.

さらに、前述した光重合開始剤の一部の物質が光塩基発生剤としても機能する。光塩基発生剤としても機能する光重合開始剤としては、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤が好ましい。この他、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する光重合開始剤も光塩基発生剤として用いることもできる。   Further, some substances of the above-mentioned photopolymerization initiator also function as a photobase generator. Examples of the photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator include oxime ester-based photopolymerization initiators having an oxime ester group, α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiators, acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators, and titanocene-based photopolymerization initiators. Polymerization initiators are preferred. In addition, a photopolymerization initiator having a substituent such as an acyloxyimino group, an N-formylated aromatic amino group, an N-acylated aromatic amino group, a nitrobenzylcarbamate group, and an alcooxybenzylcarbamate group is also a photobase generator. Can also be used as

(E)光塩基発生剤の配合量は、(C−2)光硬化性樹脂の固形分100質量部に対して0.5〜5質量部であることが好ましい。0.5質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、5質量部以下の場合ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。   The compounding amount of the (E) photobase generator is preferably 0.5 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the (C-2) photocurable resin. When the amount is 0.5 parts by mass or more, the surface curability is good, and when the amount is 5 parts by mass or less, halation hardly occurs and good resolution is obtained.

(硬化剤および熱硬化触媒)
本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化剤および熱硬化触媒の少なくとも何れか1種を添加することができる。
(Curing agent and thermosetting catalyst)
The curable resin composition of the present invention may contain at least one of a curing agent and a thermosetting catalyst.

硬化剤としては、多官能フェノール化合物、ポリカルボン酸およびその酸無水物、脂肪族または芳香族の一級または二級アミン、ポリアミド樹脂、イソシアネート化合物、ポリメルカプト化合物などが挙げられる。これらの中で、多官能フェノール化合物、並びに、ポリカルボン酸およびその酸無水物が、作業性、絶縁性の面から、好ましく用いられる。   Examples of the curing agent include polyfunctional phenol compounds, polycarboxylic acids and acid anhydrides thereof, aliphatic or aromatic primary or secondary amines, polyamide resins, isocyanate compounds, polymercapto compounds, and the like. Among these, polyfunctional phenol compounds, polycarboxylic acids and acid anhydrides thereof are preferably used from the viewpoints of workability and insulating properties.

また、熱硬化触媒は、エポキシ化合物およびオキセタン化合物等の熱硬化性樹脂と、硬化剤との反応において熱硬化触媒となり得る化合物、または、硬化剤を使用しない場合に重合触媒となる化合物である。硬化触媒としては、具体的には例えば、三級アミン、三級アミン塩、四級オニウム塩、三級ホスフィン、クラウンエーテル錯体、および、ホスホニウムイリドなどが挙げられ、これらの中から任意に、単独でまたは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   The thermosetting catalyst is a compound that can be a thermosetting catalyst in the reaction between a thermosetting resin such as an epoxy compound and an oxetane compound and a curing agent, or a compound that is a polymerization catalyst when the curing agent is not used. Specific examples of the curing catalyst include tertiary amines, tertiary amine salts, quaternary onium salts, tertiary phosphines, crown ether complexes, and phosphonium ylides. Or two or more types can be used in combination.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、単独で、または二種類以上組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
The curable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition and adjusting the viscosity when applied to a substrate or a carrier film. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether. , Glycol ethers such as dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbyl Esters such as tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, solvent naphtha, etc. Conventional organic solvents can be used. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

(その他の任意成分)
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、着色剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other optional ingredients)
Further, the curable resin composition of the present invention may be blended with other additives known and commonly used in the field of electronic materials. Other additives include thermal polymerization inhibitors, UV absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, anti-aging agents, antibacterial and antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, thickening agents. Agents, adhesion promoters, thixotropic agents, colorants, photoinitiating aids, sensitizers, thermoplastic resins, organic fillers, release agents, surface treatment agents, dispersants, dispersion aids, surface modifiers , Stabilizers, phosphors and the like.

本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂組成物、光硬化性樹脂組成物およびアルカリ現像型の感光性熱硬化性樹脂組成物から選ばれる一種であることが好ましい。   The curable resin composition of the present invention is preferably one selected from a thermosetting resin composition, a photocurable resin composition, and an alkali-developing photosensitive thermosetting resin composition.

本発明の硬化性樹脂組成物が熱硬化性樹脂組成物である場合は、(C)硬化性樹脂として(C−1)熱硬化性樹脂を含有し、(A)コアシェルゴム粒子および(B)表面処理された無機フィラーが熱硬化性反応基を有することが好ましい。また、(C−1)熱硬化性樹脂はエポキシ樹脂であることがより好ましく、さらに(A)コアシェルゴム粒子および(B)表面処理された無機フィラーが熱硬化性反応基として、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、イソシアネート基を有することが好ましい。より好ましくはエポキシ基である。   When the curable resin composition of the present invention is a thermosetting resin composition, it contains (C-1) thermosetting resin as (C) curable resin, and (A) core-shell rubber particles and (B) It is preferable that the surface-treated inorganic filler has a thermosetting reactive group. The (C-1) thermosetting resin is more preferably an epoxy resin, and the (A) core-shell rubber particles and (B) the surface-treated inorganic filler are used as the thermosetting reactive group, an epoxy group and oxetanyl. It preferably has a group, a mercapto group, or an isocyanate group. More preferably, it is an epoxy group.

本発明の硬化性樹脂組成物が光硬化性樹脂組成物である場合は、(C)硬化性樹脂として(C−2)光硬化性樹脂を含有し、さらに(D)光重合開始剤を含有する。(A)コアシェルゴム粒子が光硬化性反応基として、メタクリル基、アクリル基、ビニル基を有することが好ましい。より好ましくは、メタクリル基、またはアクリル基である。(B)表面処理された無機フィラーは光硬化性反応基を有することが好ましく、光硬化性反応基として、メタクリル基、アクリル基、ビニル基を有することが好ましい。より好ましくは、メタクリル基、またはアクリル基である。   When the curable resin composition of the present invention is a photocurable resin composition, it contains (C-2) a photocurable resin as (C) a curable resin and further contains (D) a photopolymerization initiator. To do. The (A) core-shell rubber particles preferably have a methacrylic group, an acrylic group, or a vinyl group as a photocurable reactive group. More preferably, it is a methacrylic group or an acrylic group. The surface-treated inorganic filler (B) preferably has a photocurable reactive group, and preferably has a methacrylic group, an acrylic group, or a vinyl group as the photocurable reactive group. More preferably, it is a methacrylic group or an acrylic group.

本発明の硬化性樹脂組成物がアルカリ現像型の感光性熱硬化性樹脂組成物である場合は、(C)硬化性樹脂として(C−1)熱硬化性樹脂を含有し、さらに(C‐2)光硬化性樹脂および(D)光重合開始剤を含有することが好ましい。(C−1)熱硬化性樹脂はエポキシ樹脂であることが好ましく、(C‐2)光硬化性樹脂はアルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。(A)コアシェルゴム粒子が熱硬化性反応基として、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、イソシアネート基を有することが好ましい。より好ましくはエポキシ基である。(B)表面処理された無機フィラーは光硬化性反応基を有することが好ましく、光硬化性反応基として、メタクリル基、アクリル基、ビニル基を有することが好ましい。より好ましくは、メタクリル基またはアクリル基である。   When the curable resin composition of the present invention is an alkali-developable photosensitive thermosetting resin composition, it contains (C-1) thermosetting resin as (C) curable resin, and further contains (C- 2) It is preferable to contain a photocurable resin and (D) a photopolymerization initiator. The thermosetting resin (C-1) is preferably an epoxy resin, and the photocurable resin (C-2) is preferably an alkali-soluble resin. It is preferable that the core-shell rubber particles (A) have an epoxy group, an oxetanyl group, a mercapto group, or an isocyanate group as a thermosetting reactive group. More preferably, it is an epoxy group. The surface-treated inorganic filler (B) preferably has a photocurable reactive group, and preferably has a methacrylic group, an acrylic group, or a vinyl group as the photocurable reactive group. More preferably, it is a methacrylic group or an acrylic group.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。   The curable resin composition of the present invention may be used as a dry film or used as a liquid. When it is used as a liquid, it may be one-part or two-part or more.

次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、5〜150μm、好ましくは15〜60μmの範囲で適宜選択される。   Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying the curable resin composition of the present invention onto a carrier film and drying it. When forming a dry film, first, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to a suitable value, and then a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater. , A reverse coater, a transfer roll coater, a gravure coater, a spray coater, etc. to apply a uniform thickness on the carrier film. After that, the applied composition is usually dried at a temperature of 40 to 130° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer. The coating film thickness is not particularly limited, but in general, the film thickness after drying is appropriately selected within the range of 5 to 150 μm, preferably 15 to 60 μm.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15〜130μmの範囲である。   A plastic film is used as the carrier film, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film, or the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but generally, it is appropriately selected within the range of 10 to 150 μm. More preferably, it is in the range of 15 to 130 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、膜の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、膜の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。   After forming a resin layer composed of the curable resin composition of the present invention on a carrier film, for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film, a peelable cover film is further provided on the surface of the film. It is preferable to stack them. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used. Any cover film may be used as long as it has a smaller adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。   In the present invention, a resin layer may be formed by coating the curable resin composition of the present invention on the cover film and drying it, and then laminating a carrier film on the surface thereof. That is, as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied when producing the dry film in the present invention, either a carrier film or a cover film may be used.

また、本発明の硬化性樹脂組成物を、例えば、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成することができる。また、上記組成物をキャリアフィルムまたはカバーフィルム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったドライフィルムの場合、ラミネーター等により本発明の組成物の層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、樹脂層を形成できる。   Further, the curable resin composition of the present invention is adjusted to have a viscosity suitable for a coating method using the above organic solvent, and then the dip coating method, the flow coating method, the roll coating method, and the bar coater are applied on a substrate. Method, screen printing method, curtain coating method, etc., and then the organic solvent contained in the composition is volatilized (temporarily dried) at a temperature of 60 to 100° C. to form a tack-free resin layer. can do. Further, in the case of a dry film in which the above composition is applied onto a carrier film or a cover film, dried and wound as a film, the composition of the present invention is laminated on the substrate by a laminator or the like. The resin layer can be formed by peeling off the carrier film after bonding to.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。   Examples of the base material include a printed wiring board and a flexible printed wiring board on which circuits have been previously formed of copper, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/non-woven cloth epoxy, glass cloth/paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin/polyethylene/polyphenylene ether, polyphenylene oxide/cyanate, etc. copper clad laminates for high frequency circuits. Copper grade clad laminates of all grades (FR-4 etc.) Plates and the like, metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be mentioned.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。   Volatile drying performed after applying the curable resin composition of the present invention, hot-air circulation type drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven, etc. (using a heat source of air heating system by steam It is possible to use a method of bringing hot air into countercurrent contact and a method of spraying hot air to a support from a nozzle).

本発明の硬化性樹脂組成物が熱硬化性の場合は、例えば、100〜220℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性等の諸特性に優れた硬化皮膜(硬化物)を形成することができる。   When the curable resin composition of the present invention is thermosetting, for example, it is heated to a temperature of 100 to 220° C. to be thermoset, whereby heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesiveness, and electrical characteristics are obtained. It is possible to form a cured film (cured product) excellent in various properties such as.

また、本発明の硬化性樹脂組成物が光硬性の場合は、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布し、溶剤を揮発乾燥した後に得られた樹脂層に対し、露光(光照射)を行うことにより、露光部(光照射された部分)が硬化する。また、本発明の硬化性樹脂組成物が感光性熱硬化性であって光塩基発生剤を含有する場合は、露光部(光照射された部分)の塩基を活性化した後、加熱して露光部を深部まで硬化する。具体的には、接触式または非接触方式により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光、もしくは、レーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する。未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像することにより、レジストパターンを形成できる。   When the curable resin composition of the present invention is photocurable, the curable resin composition of the present invention is applied, and the resin layer obtained after volatilizing and drying the solvent is subjected to exposure (light irradiation). As a result, the exposed portion (the portion irradiated with light) is cured. When the curable resin composition of the present invention is a photosensitive thermosetting resin and contains a photobase generator, it is exposed to heat by activating the base in the exposed portion (light-irradiated portion). Part to deepen. Specifically, by a contact method or a non-contact method, a pattern-formed photomask is used for selective exposure with active energy rays or direct pattern exposure with a laser direct exposure machine. A resist pattern can be formed by developing the unexposed area with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution).

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。 The exposure machine used for irradiation with the active energy rays may be a high-pressure mercury lamp lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, or any other device that irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. Further, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that draws an image directly with a laser using CAD data from a computer) can also be used. A lamp light source or a laser light source for a direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. The exposure amount for image formation varies depending on the film thickness and the like, but it can be generally in the range of 10 to 1000 mJ/cm 2 , and preferably 20 to 800 mJ/cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。   The developing method may be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like, and as a developing solution, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, Aqueous alkaline solutions such as ammonia and amines can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物は、プリント配線板上に硬化皮膜を形成するために好適に使用され、より好適には、永久被膜を形成するために使用され、さらに好適には、ソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイを形成するために使用される。また、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、クラック耐性に優れた硬化物を得ることができることから、クラック発生による不良の影響が大きいファインピッチの配線パターンを備えるプリント配線板、例えばパッケージ基板に用いられるソルダーレジスト等の永久塗膜の形成に好適に用いることができる。   The curable resin composition of the present invention is preferably used for forming a cured film on a printed wiring board, more preferably used for forming a permanent film, and more preferably a solder resist, Used to form an interlevel dielectric layer, coverlay. Further, according to the curable resin composition of the present invention, since a cured product having excellent crack resistance can be obtained, a printed wiring board having a fine-pitch wiring pattern having a large influence of defects due to crack generation, for example, a package substrate. It can be suitably used for forming a permanent coating film such as a solder resist used for.

以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. In the following, “part” and “%” are based on mass unless otherwise specified.

[光硬化性樹脂の合成例(ワニスC−2−1)]
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置、および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工社製、ショーノールCRG951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cmで16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2g/eq.であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りアルキレンオキシドが平均1.08モル付加しているものであった。
[Synthesis Example of Photocurable Resin (Varnish C-2-1)]
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introducing device and an alkylene oxide introducing device, and a stirrer, 119.4 parts of novolac-type cresol resin (Showa Denko KK, Shonor CRG951, OH equivalent: 119.4), potassium hydroxide 1.19 parts and toluene 119.4 parts were charged, the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125 to 132° C. and 0 to 4.8 kg/cm 2 for 16 hours. Then, it was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with this reaction solution to neutralize potassium hydroxide, and the nonvolatile content was 62.1% and the hydroxyl value was 182.2 g/eq. A propylene oxide reaction solution of the novolac type cresol resin was obtained. This was an average of 1.08 mol of alkylene oxide added per equivalent of the phenolic hydroxyl group.

得られたノボラック型クレゾール樹脂のアルキレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(カルビトールアセテート)118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。   293.0 parts of the alkylene oxide reaction solution of the obtained novolac type cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 parts of methylhydroquinone and 252.9 parts of toluene were stirred with a temperature of a stirrer. A reactor equipped with a meter and an air blowing tube was charged, air was blown at a rate of 10 ml/min, and the reaction was performed at 110° C. for 12 hours while stirring. The water produced by the reaction was an azeotropic mixture with toluene, and 12.6 parts of water was distilled out. Then, it was cooled to room temperature, the resulting reaction solution was neutralized with 35.35 parts of a 15% sodium hydroxide aqueous solution, and then washed with water. Then, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate (carbitol acetate) with an evaporator to obtain a novolac type acrylate resin solution.

次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、固形物の酸価88mgKOH/g、固形分65.8%のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。以下、ワニスC−2−1と称する。   Next, 332.5 parts of the obtained novolac type acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was supplied at a rate of 10 ml/min. While blowing and stirring, 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added, reacted at 95 to 101° C. for 6 hours, and after cooling, the solid acid value was 88 mgKOH/g and the solid content was 65.8% carboxyl. A group-containing resin solution was obtained. Hereinafter referred to as Varnish C-2-1.

[光硬化性樹脂の合成例(ワニスC−2−2)]
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、ビスフェノールA 456部、水228部、37%ホルマリン649部を仕込み、40℃以下の温度を保ち、25%水酸化ナトリウム水溶液228部を添加した、添加終了後50℃で10時間反応した。反応終了後40℃まで冷却し、40℃以下を保ちながら37.5%リン酸水溶液でpH4まで中和した。その後静置し水層を分離した。分離後メチルイソブチルケトン300部を添加し均一に溶解した後、蒸留水500部で3回洗浄し、50℃以下の温度で減圧下、水、溶媒等を除去した。得られたポリメチロール化合物をメタノール550部に溶解し、ポリメチロール化合物のメタノール溶液1230部を得た。得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液の一部を真空乾燥機中室温で乾燥したところ、固形分が55.2%であった。
[Synthesis Example of Photocurable Resin (Varnish C-2-2)]
A flask equipped with a cooling tube and a stirrer was charged with 456 parts of bisphenol A, 228 parts of water and 649 parts of 37% formalin, kept at a temperature of 40° C. or lower, and added 228 parts of 25% aqueous sodium hydroxide solution. The reaction was carried out at 50°C for 10 hours. After completion of the reaction, the mixture was cooled to 40°C and neutralized to pH 4 with a 37.5% phosphoric acid aqueous solution while keeping the temperature at 40°C or lower. Then, the mixture was allowed to stand and the aqueous layer was separated. After separation, 300 parts of methyl isobutyl ketone was added and uniformly dissolved, and then washed with 500 parts of distilled water three times, and water, solvent and the like were removed under reduced pressure at a temperature of 50° C. or lower. The obtained polymethylol compound was dissolved in 550 parts of methanol to obtain 1230 parts of a methanol solution of the polymethylol compound. When a part of the obtained methanol solution of the polymethylol compound was dried at room temperature in a vacuum dryer, the solid content was 55.2%.

得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液500部、2,6−キシレノール440部を仕込み、50℃で均一に溶解した。均一に溶解した後50℃以下の温度で減圧下メタノールを除去した。その後シュウ酸8部を加え、100℃で10時間反応した。反応終了後180℃、50mmHgの減圧下で溜出分を除去し、ノボラック樹脂A 550部を得た。   500 parts of a methanol solution of the obtained polymethylol compound and 440 parts of 2,6-xylenol were charged and uniformly dissolved at 50°C. After uniform dissolution, methanol was removed under reduced pressure at a temperature of 50°C or lower. Thereafter, 8 parts of oxalic acid was added, and the mixture was reacted at 100°C for 10 hours. After the reaction was completed, the distillate was removed under reduced pressure of 180° C. and 50 mmHg to obtain 550 parts of novolac resin A.

更に、温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置及び撹拌装置を備えたオートクレーブに、上記のノボラック樹脂Aを130部、50%水酸化ナトリウム水溶液2.6部、トルエン/メチルイソブチルケトン(質量比=2/1)100部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、次に加熱昇温し、150℃、8kg/cmでエチレンオキシド45部を徐々に導入し反応させた。反応はゲージ圧0.0kg/cmとなるまで約4時間を続けた後、室温まで冷却した。この反応溶液に3.3部の36%塩酸水溶液を添加混合し、水酸化ナトリウムを中和した。この中和反応生成物をトルエンで希釈し、3回水洗し、エバポレーターにて脱溶剤して、水酸基価が175g/eq.であるノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りエチレンオキシドが平均1モル付加しているものであった。 Furthermore, 130 parts of the above novolak resin A, 2.6 parts of 50% sodium hydroxide aqueous solution, toluene/methyl isobutyl ketone (mass ratio) were placed in an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introducing device/alkylene oxide introducing device, and a stirring device. = 2/1) 100 parts was charged, the system was replaced with nitrogen while stirring, and then the temperature was raised by heating, and 45 parts of ethylene oxide was gradually introduced and reacted at 150° C. and 8 kg/cm 2 . The reaction was continued for about 4 hours until the gauge pressure reached 0.0 kg/cm 2, and then cooled to room temperature. To this reaction solution, 3.3 parts of 36% aqueous hydrochloric acid solution was added and mixed to neutralize sodium hydroxide. This neutralization reaction product was diluted with toluene, washed three times with water, and desolvated with an evaporator to give a hydroxyl value of 175 g/eq. An ethylene oxide adduct of novolak resin A was obtained. This was an average of 1 mol of ethylene oxide added per equivalent of the phenolic hydroxyl group.

このように得られたノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物175部、アクリル酸50部、p−トルエンスルホン酸3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トルエン130部を撹拌機、温度計、空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を吹き込みながら攪拌して、115℃に昇温し、反応により生成した水をトルエンと共沸混合物として留去しながら、さらに4時間反応させたのち、室温まで冷却した。得られた反応溶液を5%NaCl水溶液を用いて水洗し、減圧留去にてトルエンを除去したのち、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを加えて、固形分68%のアクリレート樹脂溶液を得た。   175 parts of the ethylene oxide adduct of the novolac resin A thus obtained, 50 parts of acrylic acid, 3.0 parts of p-toluenesulfonic acid, 0.1 part of hydroquinone monomethyl ether, 130 parts of toluene, a stirrer, a thermometer, air After charging in a reactor equipped with a blowing tube, stirring while blowing air, and raising the temperature to 115° C., and distilling off the water produced by the reaction as an azeotropic mixture with toluene, after reacting for another 4 hours, Cooled to room temperature. The obtained reaction solution was washed with 5% NaCl aqueous solution and distilled under reduced pressure to remove toluene, and then diethylene glycol monoethyl ether acetate was added to obtain an acrylate resin solution having a solid content of 68%.

次に、撹拌器および還流冷却器の付いた4つ口フラスコに、得られたアクリレート樹脂溶液312部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トリフェニルホスフィン0.3部を仕込み、この混合物を110℃に加熱し、テトラヒドロ無水フタル酸45部を加え、4時間反応させ、冷却後、固形分70%、固形分酸価65mgKOH/gのカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。以下、ワニスC−2−2と称する。   Next, into a four-necked flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 312 parts of the obtained acrylate resin solution, 0.1 part of hydroquinone monomethyl ether and 0.3 part of triphenylphosphine were charged, and this mixture was heated at 110°C. Then, 45 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted for 4 hours. After cooling, a carboxyl group-containing resin solution having a solid content of 70% and a solid content acid value of 65 mgKOH/g was obtained. Hereinafter referred to as Varnish C-2-2.

[光硬化性樹脂の合成例(ワニスC−2−3)]
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬社製、EOCN−104S、エポキシ当量220g/eq)220部(1当量)、カルビトールアセテート140.1部、およびソルベントナフサ60.3部をフラスコに仕込み、90℃に加熱・攪拌し、溶解した。得られた溶液を一旦60℃まで冷却し、アクリル酸72部(1モル)、メチルハイドロキノン0.5部、トリフェニルホスフィン2部を加え、100℃に加熱し、約12時間反応させ、酸価が0.2mgKOH/gの反応物を得た。これにテトラヒドロ無水フタル酸80.6部(0.53モル)を加え、90℃に加熱し、約6時間反応させ、固形分酸価が85mgKOH/g、固形分65.8%のエチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。以下、ワニスC−2−3と称する。
[Synthesis Example of Photocurable Resin (Varnish C-2-3)]
Cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN-104S, epoxy equivalent 220 g/eq) 220 parts (1 equivalent), carbitol acetate 140.1 parts, and solvent naphtha 60.3 parts were charged in a flask, and 90 The mixture was heated to ℃ and stirred to dissolve. The solution obtained was once cooled to 60° C., 72 parts (1 mol) of acrylic acid, 0.5 part of methylhydroquinone and 2 parts of triphenylphosphine were added, and the mixture was heated to 100° C. and reacted for about 12 hours to obtain an acid value. Of 0.2 mg KOH/g was obtained. To this, 80.6 parts (0.53 mol) of tetrahydrophthalic anhydride was added, heated to 90° C. and reacted for about 6 hours. The solid content acid value was 85 mgKOH/g and the solid content was 65.8%. A carboxyl group-containing resin solution having a saturated bond was obtained. Hereinafter referred to as Varnish C-2-3.

[表面処理されたシリカの調整(B−1)]
球状シリカ(電気化学工業社製SFP−20M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、シランカップリング剤として信越化学工業社製KBM−503を2gとを均一分散させて、シリカ溶剤分散品B−1を得た。
[Preparation of surface-treated silica (B-1)]
70 g of spherical silica (SFP-20M manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as a silane coupling agent are uniformly dispersed. Thus, a silica solvent dispersion B-1 was obtained.

[表面処理されたシリカの調整(B−2)]
球状シリカ(電気化学工業社製SFP−20M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、シランカップリング剤として信越化学工業社製KBM−5103を2gとを均一分散させて、シリカ溶剤分散品B−2を得た。
[Preparation of surface-treated silica (B-2)]
70 g of spherical silica (SFP-20M manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of KBM-5103 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as a silane coupling agent are uniformly dispersed. Thus, a silica solvent dispersion B-2 was obtained.

[表面処理されたシリカの調整(B−3)]
球状シリカ(電気化学工業社製SFP−20M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、シランカップリング剤として(信越化学工業社製KBM−402)を2gとを均一分散させて、シリカ溶剤分散品B−3を得た。
[Preparation of surface-treated silica (B-3)]
70 g of spherical silica (SFP-20M manufactured by Denki Kagaku Kogyo KK), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of silane coupling agent (KBM-402 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are homogeneous. By dispersing, a silica solvent dispersion B-3 was obtained.

[表面処理された硫酸バリウムの調整(B−4)]
硫酸バリウム(堺化学工業社製B−30(アルミナ表面処理硫酸バリウム))を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、シランカップリング剤として信越化学工業社製KBM−503を2gとを均一分散させて、硫酸バリウム溶剤分散品B−4を得た。
[Preparation of surface-treated barium sulfate (B-4)]
70 g of barium sulfate (Sakai Chemical Industry B-30 (alumina surface-treated barium sulfate)), PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) 28 g as a solvent, and Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KBM-503 as a silane coupling agent. And 2 g were evenly dispersed to obtain a barium sulfate solvent-dispersed product B-4.

[表面処理された硫酸バリウムの調整(B−5)]
硫酸バリウム(堺化学工業社製B−30(アルミナ表面処理硫酸バリウム))を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、分散剤としてBYK社製BYK−111を2gとを均一分散させて、硫酸バリウム溶剤分散品B−5を得た。
[Preparation of surface-treated barium sulfate (B-5)]
70 g of barium sulfate (B-30 (aluminum surface treated barium sulfate) manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of BYK-made BYK-111 as a dispersant. After uniform dispersion, barium sulfate solvent dispersion B-5 was obtained.

[表面処理されていないシリカの調整]
球状シリカ(電気化学工業社製SFP−20M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を28gと、分散剤剤としてBYK社製BYK−111を2gとを均一分散させて、シリカ溶剤分散品を得た。
[Preparation of untreated silica]
70 g of spherical silica (SFP-20M manufactured by Denki Kagaku Kogyo KK), 28 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent, and 2 g of BYK-111 manufactured by BYK as a dispersant are uniformly dispersed to obtain silica. A solvent dispersion was obtained.

[硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子をエポキシ樹脂に分散させたエポキシ分散品A−1の作製]
(硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子の作製)
ゴムラテックス1300g、および純水440gを、3リットルのガラス反応器に仕込み、この混合物を、窒素を導入下、攪拌しながら70℃まで加熱した。このゴムラテックスは、平均粒径0.1μmのポリブタジエン粒子480g、およびこのポリブタジエンを100質量%として、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム1.5質量%を含む。そこに、アゾイソブチロニトリル1.2gを加えた後、スチレン36g、メチルメタクリレート48g、アクリロニトリル24g、およびグリシジルメタクリレート12gの混合物を、3時間かけて添加した。その後、更に2時間攪拌して、コアシェルゴム粒子(ラテックス(L))を得た。ラテックス(L)の固形分は32%であった。また、ラテックス(L)中のコアシェル共重合体のゲル分率は98%であった。また、ラテックス(L)中のゴム粒子径は0.5μmであった。
[Preparation of Epoxy Dispersion Product A-1 in which core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface are dispersed in an epoxy resin]
(Preparation of core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface)
1300 g of rubber latex and 440 g of pure water were charged into a 3 liter glass reactor, and this mixture was heated to 70° C. with stirring while introducing nitrogen. This rubber latex contains 480 g of polybutadiene particles having an average particle diameter of 0.1 μm, and 1.5% by mass of sodium dodecylbenzenesulfonate with 100% by mass of this polybutadiene. After 1.2 g of azoisobutyronitrile was added thereto, a mixture of 36 g of styrene, 48 g of methyl methacrylate, 24 g of acrylonitrile, and 12 g of glycidyl methacrylate was added over 3 hours. Then, the mixture was further stirred for 2 hours to obtain core-shell rubber particles (latex (L)). The solid content of the latex (L) was 32%. The gel fraction of the core-shell copolymer in the latex (L) was 98%. The rubber particle size in the latex (L) was 0.5 μm.

(エポキシ分散品の作製)
メチルエチルケトン(MEK)340gを1リットルの槽に仕込み、上記で得たラテックス(L)273gを25℃で加えた。よく混合した後に、純水126gを添加し、攪拌しながら硫酸ナトリウム5質量%水溶液30gを添加した。攪拌を中止したところ、水相とMEK相とに分離した。水相を除去し、残ったMEK相にMEK90gを添加した後、攪拌しながら純水302gを添加し、さらに、硫酸ナトリウム5質量%水溶液30gを添加した。攪拌を中止したところ、水相とMEK相とに分離した。水相を除去し、残ったMEK相と、エポキシ樹脂としてビスフェノールA型エポキシ樹脂(jER828:三菱化学社製、エポキシ当量189)204gを混合した。この混合物から、回転式の蒸発装置で、MEKを除去した。このようにして、ビスフェノールA型エポキシ樹脂にコアシェル共重合体が分散した分散体を得た。この分散体100質量%は、60質量%のエポキシ樹脂、および40質量%のコアシェル共重合体からなる。なお、分散体のエポキシ当量は266であった。以下、エポキシ分散品A−1と称する。
(Preparation of epoxy dispersion)
340 g of methyl ethyl ketone (MEK) was charged into a 1-liter tank, and 273 g of the latex (L) obtained above was added at 25°C. After mixing well, 126 g of pure water was added, and 30 g of a 5 mass% sodium sulfate aqueous solution was added with stirring. When the stirring was stopped, the water phase and the MEK phase were separated. After removing the aqueous phase and adding 90 g of MEK to the remaining MEK phase, 302 g of pure water was added with stirring, and further 30 g of a 5 mass% sodium sulfate aqueous solution was added. When the stirring was stopped, the water phase and the MEK phase were separated. The aqueous phase was removed, and the remaining MEK phase was mixed with 204 g of a bisphenol A type epoxy resin (jER828: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 189) as an epoxy resin. The MEK was removed from this mixture on a rotary evaporator. Thus, a dispersion in which the core-shell copolymer was dispersed in the bisphenol A type epoxy resin was obtained. 100% by weight of this dispersion consists of 60% by weight of epoxy resin and 40% by weight of core-shell copolymer. The epoxy equivalent of the dispersion was 266. Hereinafter, it will be referred to as an epoxy dispersion product A-1.

ゴム粒子の分散の程度を調べる為に、この分散体にピペリジンを添加して120℃で16時間硬化させた。得られた硬化物の外観は透明であった。このことから、架橋ゴム粒子がエポキシ樹脂中に完全に一次分散していることが判る。   In order to examine the degree of dispersion of rubber particles, piperidine was added to this dispersion and cured at 120° C. for 16 hours. The appearance of the obtained cured product was transparent. From this, it is understood that the crosslinked rubber particles are completely primary-dispersed in the epoxy resin.

[硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子をエポキシ樹脂に分散させたエポキシ分散品A−2の作製]
(硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子の作製)
ゴムラテックス1300g、および純水440gを、3リットルのガラス反応器に仕込み、この混合物を、窒素を導入下、攪拌しながら70℃まで加熱した。このゴムラテックスは、平均粒径0.1μmのポリブタジエン粒子480g、およびこのポリブタジエンを100質量%として、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム1.5質量%を含む。そこに、アゾイソブチロニトリル1.2gを加えた後、スチレン36g、メチルメタクリレート48g、アクリロニトリル24g、およびグリシジルメタクリレート12gの混合物を、3時間かけて添加した。その後、更に2時間攪拌して、コアシェルゴム粒子(ラテックス(L))を得た。ラテックス(L)の固形分は32%であった。また、ラテックス(L)中のコアシェル共重合体のゲル分率は98%であった。また、ラテックス(L)中のゴム粒子径は0.5μmであった。
[Preparation of Epoxy Dispersion Product A-2 in which core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface are dispersed in an epoxy resin]
(Preparation of core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface)
1300 g of rubber latex and 440 g of pure water were charged into a 3 liter glass reactor, and this mixture was heated to 70° C. with stirring while introducing nitrogen. This rubber latex contains 480 g of polybutadiene particles having an average particle diameter of 0.1 μm, and 1.5% by mass of sodium dodecylbenzenesulfonate with 100% by mass of this polybutadiene. After 1.2 g of azoisobutyronitrile was added thereto, a mixture of 36 g of styrene, 48 g of methyl methacrylate, 24 g of acrylonitrile, and 12 g of glycidyl methacrylate was added over 3 hours. Then, the mixture was further stirred for 2 hours to obtain core-shell rubber particles (latex (L)). The solid content of the latex (L) was 32%. The gel fraction of the core-shell copolymer in the latex (L) was 98%. The rubber particle size in the latex (L) was 0.5 μm.

(エポキシ分散品の作製)
メチルエチルケトン(MEK)340gを1リットルの槽に仕込み、上記で得たラテックス(L)273gを25℃で加えた。よく混合した後に、純水126gを添加し、攪拌しながら硫酸ナトリウム5質量%水溶液30gを添加した。攪拌を中止したところ、水相とMEK相とに分離した。水相を除去し、残ったMEK相にMEK90gを添加した後、攪拌しながら純水302gを添加し、さらに、硫酸ナトリウム5質量%水溶液30gを添加した。攪拌を中止したところ、水相とMEK相とに分離した。水相を除去し、残ったMEK相と、エポキシ樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(jER806:三菱化学社製、エポキシ当量165)204gを混合した。この混合物から、回転式の蒸発装置で、MEKを除去した。このようにして、ビスフェノールA型エポキシ樹脂にコアシェル共重合体が分散した分散体を得た。この分散体100質量%は、75質量%のエポキシ樹脂、および25質量%のコアシェル共重合体からなる。なお、分散体のエポキシ当量は266であった。以下、エポキシ分散品A−2と称する。
(Preparation of epoxy dispersion)
340 g of methyl ethyl ketone (MEK) was charged into a 1-liter tank, and 273 g of the latex (L) obtained above was added at 25°C. After mixing well, 126 g of pure water was added, and 30 g of a 5 mass% sodium sulfate aqueous solution was added with stirring. When the stirring was stopped, the water phase and the MEK phase were separated. After removing the aqueous phase and adding 90 g of MEK to the remaining MEK phase, 302 g of pure water was added with stirring, and further 30 g of a 5 mass% sodium sulfate aqueous solution was added. When the stirring was stopped, the water phase and the MEK phase were separated. The aqueous phase was removed, and the remaining MEK phase was mixed with 204 g of a bisphenol F type epoxy resin (jER806: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 165) as an epoxy resin. The MEK was removed from this mixture on a rotary evaporator. Thus, a dispersion in which the core-shell copolymer was dispersed in the bisphenol A type epoxy resin was obtained. 100% by weight of this dispersion consists of 75% by weight of epoxy resin and 25% by weight of core-shell copolymer. The epoxy equivalent of the dispersion was 266. Hereinafter, it will be referred to as an epoxy dispersion product A-2.

ゴム粒子の分散の程度を調べる為に、この分散体にピペリジンを添加して120℃で16時間硬化させた。得られた硬化物の外観は透明であった。このことから、架橋ゴム粒子がエポキシ樹脂中に完全に一次分散していることが判る。   In order to examine the degree of dispersion of rubber particles, piperidine was added to this dispersion and cured at 120° C. for 16 hours. The appearance of the obtained cured product was transparent. From this, it is understood that the crosslinked rubber particles are completely primary-dispersed in the epoxy resin.

[硬化性反応基を表面に有しないコアシェルゴム粒子をエポキシ樹脂に分散させたエポキシ分散品R−1]
(コアシェルゴム粒子径の作製)
ゴムラテックス1300g、および純水440gを、3リットルのガラス反応器に仕込み、この混合物を、窒素を導入下、攪拌しながら70℃まで加熱した。このゴムラテックスは、平均粒径0.1μmのポリブタジエン粒子480g、およびこのポリブタジエンを100質量%として、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム1.5質量%を含む。そこに、アゾイソブチロニトリル1.2gを加えた後、スチレン36g、メチルメタクリレート48g、およびアクリロニトリル24gの混合物を、3時間かけて添加した。その後、更に2時間攪拌して、コアシェルゴム粒子(ラテックス(L))を得た。ラテックス(L)の固形分は32%であった。また、ラテックス(L)中のコアシェル共重合体のゲル分率は98%であった。また、ラテックス(L)中のゴム粒子径は0.5μmであった。
[Epoxy Dispersion Product R-1 in which core-shell rubber particles having no curable reactive group on the surface are dispersed in an epoxy resin]
(Preparation of core-shell rubber particle size)
1300 g of rubber latex and 440 g of pure water were charged into a 3 liter glass reactor, and this mixture was heated to 70° C. with stirring while introducing nitrogen. This rubber latex contains 480 g of polybutadiene particles having an average particle diameter of 0.1 μm, and 1.5% by mass of sodium dodecylbenzenesulfonate with 100% by mass of this polybutadiene. After 1.2 g of azoisobutyronitrile was added thereto, a mixture of 36 g of styrene, 48 g of methyl methacrylate, and 24 g of acrylonitrile was added over 3 hours. Then, the mixture was further stirred for 2 hours to obtain core-shell rubber particles (latex (L)). The solid content of the latex (L) was 32%. The gel fraction of the core-shell copolymer in the latex (L) was 98%. The rubber particle size in the latex (L) was 0.5 μm.

(エポキシ分散品の作製)
メチルエチルケトン(MEK)340gを1リットルの槽に仕込み、上記で得たラテックス(L)273gを25℃で加えた。よく混合した後に、純水126gを添加し、攪拌しながら硫酸ナトリウム5質量%水溶液30gを添加した。攪拌を中止したところ、水相とMEK相とに分離した。水相を除去し、残ったMEK相にMEK90gを添加した後、攪拌しながら純水302gを添加し、さらに、硫酸ナトリウム5質量%水溶液30gを添加した。攪拌を中止したところ、水相とMEK相とに分離した。水相を除去し、残ったMEK相と、エポキシ樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(jER806:三菱化学社製、エポキシ当量165)204gを混合した。この混合物から、回転式の蒸発装置で、MEKを除去した。このようにして、ビスフェノールA型エポキシ樹脂にコアシェル共重合体が分散した分散体を得た。この分散体100重量%は、75重量%のエポキシ樹脂、および25重量%のコアシェル共重合体からなる。なお、分散体のエポキシ当量は266であった。以下、エポキシ分散品R−1と称する。
(Preparation of epoxy dispersion)
340 g of methyl ethyl ketone (MEK) was charged into a 1-liter tank, and 273 g of the latex (L) obtained above was added at 25°C. After mixing well, 126 g of pure water was added, and 30 g of a 5 mass% sodium sulfate aqueous solution was added with stirring. When the stirring was stopped, the water phase and the MEK phase were separated. After removing the aqueous phase and adding 90 g of MEK to the remaining MEK phase, 302 g of pure water was added with stirring, and further 30 g of a 5 mass% sodium sulfate aqueous solution was added. When the stirring was stopped, the water phase and the MEK phase were separated. The aqueous phase was removed, and the remaining MEK phase was mixed with 204 g of a bisphenol F type epoxy resin (jER806: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 165) as an epoxy resin. The MEK was removed from this mixture on a rotary evaporator. Thus, a dispersion in which the core-shell copolymer was dispersed in the bisphenol A type epoxy resin was obtained. 100% by weight of this dispersion consisted of 75% by weight of epoxy resin and 25% by weight of core-shell copolymer. The epoxy equivalent of the dispersion was 266. Hereinafter, it will be referred to as epoxy dispersion R-1.

ゴム粒子の分散の程度を調べる為に、この分散体にピペリジンを添加して120℃で16時間硬化させた。得られた硬化物の外観は透明であった。このことから、架橋ゴム粒子がエポキシ樹脂中に完全に一次分散していることが判る。   In order to examine the degree of dispersion of rubber particles, piperidine was added to this dispersion and cured at 120° C. for 16 hours. The appearance of the obtained cured product was transparent. From this, it is understood that the crosslinked rubber particles are completely primary-dispersed in the epoxy resin.

参考例1、2、実施例〜22、比較例1〜6]
上記の樹脂溶液(ワニス)を、表1に示す種々の成分とともに表1に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、硬化性樹脂組成物を調製した。尚、参考例1、2および比較例1、2は熱硬化性樹脂組成物、実施例3〜22および比較例3〜6はアルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物である。
[ Reference Examples 1 and 2, Examples 3 to 22, Comparative Examples 1 to 6]
The above resin solution (varnish) was blended together with the various components shown in Table 1 at the ratio (parts by mass) shown in Table 1, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to obtain a curable resin composition The thing was prepared. Reference Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 are thermosetting resin compositions, and Examples 3 to 22 and Comparative Examples 3 to 6 are alkali development type photocurable thermosetting resin compositions.

<ガラス転移温度(Tg)の測定>
アルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布した。これを乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、最適露光量にて、50mm×3mmの短冊状のネガマスクを通して露光を行った。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液を噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターンを得た。更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
熱硬化性樹脂組成物の場合は、銅箔基板上に50mm×3mmの短冊状のパターン印刷を行った。これを乾燥し、更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、TMA測定装置(島津製作所社製TMA/SS6000)を用いて行い、Tgの評価を行った。判定基準は以下の通りである。
◎…145℃以上
○…140℃以上145℃未満
△…135℃以上140℃未満
×…135℃未満
<Measurement of glass transition temperature (Tg)>
The alkali-developable photocurable thermosetting resin composition was obtained by applying the curable resin composition on the entire surface of a copper foil substrate. This was dried and allowed to cool to room temperature to form a resin layer made of the curable resin composition. On the other hand, exposure was performed through a strip-shaped negative mask of 50 mm×3 mm at the optimum exposure amount. Then, development was performed by spraying a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30° C. to obtain a cured coating pattern. Further, it was heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
In the case of the thermosetting resin composition, a strip-shaped pattern of 50 mm×3 mm was printed on the copper foil substrate. This was dried and further heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled from the copper foil and evaluated. The measurement was performed using a TMA measuring device (TMA/SS6000 manufactured by Shimadzu Corporation) to evaluate Tg. The criteria for judgment are as follows.
◎...145°C or higher ○...140°C or higher and lower than 145°C Δ...135°C or higher and lower than 140°C ×...less than 135°C

<CTEの評価>
アルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布した。これを乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、最適露光量にて、50mm×3mmの短冊状のネガマスクを通して露光を行った。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液を噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターンを得た。更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
熱硬化性樹脂組成物の場合は、銅箔基板上に50mm×3mmの短冊状のパターン印刷を行った。これを乾燥し、更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、TMA測定装置(島津製作所社製TMA/SS6000)を用いて行い、CTEα1(0−50℃)を行った。判定基準は以下の通りである。
◎…40ppm未満
○…40ppm以上50ppm未満
△…50ppm以上60ppm未満
×…60ppm以上
<Evaluation of CTE>
The alkali-developable photocurable thermosetting resin composition was obtained by applying the curable resin composition on the entire surface of a copper foil substrate. This was dried and allowed to cool to room temperature to form a resin layer made of the curable resin composition. On the other hand, exposure was performed through a strip-shaped negative mask of 50 mm×3 mm at the optimum exposure amount. Then, development was performed by spraying a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30° C. to obtain a cured coating pattern. Further, it was heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
In the case of the thermosetting resin composition, a strip-shaped pattern of 50 mm×3 mm was printed on the copper foil substrate. This was dried and further heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled from the copper foil and evaluated. The measurement was performed using a TMA measuring device (TMA/SS6000 manufactured by Shimadzu Corporation), and CTEα1 (0 to 50° C.) was performed. The criteria for judgment are as follows.
◎...less than 40 ppm ○...40 ppm or more but less than 50 ppm Δ...50 ppm or more but less than 60 ppm x...60 ppm or more

<強靭性の評価>
アルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布した。これを乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、最適露光量にて、80mm×10mmの短冊状のネガマスクを通して露光を行った。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液を噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターンを得た。更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
熱硬化性樹脂組成物の場合は、銅箔基板上に80mm×10mmの短冊状のパターン印刷を行った。これを乾燥し、更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、引張試験機(島津製作所社製AGS-G 100N)を用いて行い、最大点応力または破断点伸び率について評価を行った。判定基準は以下の通りである。
◎…破断点伸び率6%以上
○…破断点伸び率4%以上6%未満
△…破断点伸び率2%以上4%未満
×…破断点伸び率2%未満
<Evaluation of toughness>
The alkali-developable photocurable thermosetting resin composition was obtained by applying the curable resin composition on the entire surface of a copper foil substrate. This was dried and allowed to cool to room temperature to form a resin layer made of the curable resin composition. On the other hand, exposure was performed through a strip-shaped negative mask of 80 mm×10 mm at the optimum exposure amount. Then, development was performed by spraying a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30° C. to obtain a cured coating pattern. Further, it was heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
In the case of the thermosetting resin composition, 80 mm×10 mm strip-shaped pattern printing was performed on the copper foil substrate. This was dried and further heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled from the copper foil and evaluated. The measurement was performed using a tensile tester (AGS-G 100N manufactured by Shimadzu Corporation), and the maximum point stress or the elongation at break was evaluated. The criteria for judgment are as follows.
∘: elongation at break 6% or more ○: elongation at break 4% or more and less than 6% Δ: elongation at break 2% or more and less than 4% ×... elongation at break 2% or less

<TCT耐性の評価>
アルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、パッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布した。これを乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、最適露光量にて、銅パッド上にSRO(Solder Resist Opening)80μmの開口サイズでダイレクトイメージング露光を行った。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液を噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターンを得た。更に既定の条件で加熱して硬化した。その後、Auめっき処理、はんだバンプ形成、Siチップを実装し、評価基板を得た。
熱硬化性樹脂組成物の場合は、パッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布し、これを乾燥し、更に既定の条件で加熱して硬化した。その後、UVレーザー等によりSRO80μmの開口サイズを開け、硬化被膜のパターンを得た。その後、Auめっき処理、はんだバンプ形成、Siチップを実装し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板を、−65℃と150℃の間で温度サイクルが行われる冷熱サイクル機に入れ、TCT(Thermal Cycle Test)を行った。そして、600サイクル時、800サイクル時および1000サイクル時の硬化被膜の表面を観察した。判定基準は以下の通りである。
◎:1000サイクルで異常なし
○:800サイクルで異常なし、1000サイクルでクラック発生
△:600サイクルで異常なし、800サイクルでクラック発生
×:600サイクルでクラック発生
<Evaluation of TCT resistance>
The alkali-developable photocurable thermosetting resin composition was obtained by applying the curable resin composition on the entire surface of a package substrate. This was dried and allowed to cool to room temperature to form a resin layer made of the curable resin composition. On the other hand, direct imaging exposure was performed on the copper pad with an opening size of 80 μm SRO (Solder Resist Opening) at the optimum exposure amount. Then, development was performed by spraying a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30° C. to obtain a cured coating pattern. Further, it was heated and cured under predetermined conditions. Then, Au plating treatment, solder bump formation, and Si chip mounting were carried out to obtain an evaluation board.
In the case of the thermosetting resin composition, the curable resin composition was applied over the entire surface of the package substrate, dried, and further heated and cured under predetermined conditions. After that, an opening size of SRO of 80 μm was opened with a UV laser or the like to obtain a pattern of the cured film. Then, Au plating treatment, solder bump formation, and Si chip mounting were carried out to obtain an evaluation board.
The evaluation substrate obtained as described above was put in a thermal cycler in which a temperature cycle was performed between −65° C. and 150° C., and TCT (Thermal Cycle Test) was performed. Then, the surface of the cured film was observed at 600 cycles, 800 cycles and 1000 cycles. The criteria for judgment are as follows.
◎: No abnormality at 1000 cycles ○: No abnormality at 800 cycles, cracks occurred at 1000 cycles △: No abnormality at 600 cycles, cracks occurred at 800 cycles ×: Cracks occurred at 600 cycles

<PCT耐性の評価>
アルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、パッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布した。これを乾燥し、室温まで放冷することにより、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した。これに対して、最適露光量にて、銅パッド上にSRO80μmの開口サイズでダイレクトイメージング露光を行った。その後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液を噴射することにより現像を行い、硬化被膜のパターンを得た。更に既定の条件で加熱して硬化し、評価基板を得た。
熱硬化性樹脂組成物の場合は、パッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物を全面塗布し、これを乾燥し、更に既定の条件で加熱して硬化した。その後、UVレーザー等によりSRO80μmの開口サイズを開け、硬化被膜のパターンを得た。
得られた評価基板を、PCT装置(エスペック社製HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて、121℃、飽和、0.2MPaの条件で168時間PCT(Pressure Cooker Test)を行った。そして、PCT後の塗膜の状態を評価した。判定基準は以下の通りである。
○:膨れ、剥がれ、変色、溶出のないもの
×:膨れ、剥がれ、変色、溶出が多く見られるもの
<Evaluation of PCT resistance>
The alkali-developable photocurable thermosetting resin composition was obtained by applying the curable resin composition on the entire surface of a package substrate. This was dried and allowed to cool to room temperature to form a resin layer made of the curable resin composition. On the other hand, direct imaging exposure was performed on the copper pad with the opening size of SRO of 80 μm at the optimum exposure amount. Then, development was performed by spraying a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30° C. to obtain a cured coating pattern. Further, it was heated and cured under predetermined conditions to obtain an evaluation substrate.
In the case of the thermosetting resin composition, the curable resin composition was applied over the entire surface of the package substrate, dried, and further heated and cured under predetermined conditions. After that, an opening size of SRO of 80 μm was opened with a UV laser or the like to obtain a pattern of the cured film.
The obtained evaluation substrate was subjected to PCT (Pressure Maker Test) for 168 hours under the conditions of 121° C., saturation, and 0.2 MPa using a PCT device (HAST SYSTEM TPC-412MD manufactured by ESPEC Corp.). Then, the state of the coating film after PCT was evaluated. The criteria for judgment are as follows.
○: No swelling, peeling, discoloration, or elution ×: Many swelling, peeling, discoloration, or elution

Figure 0006698333
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Figure 0006698333
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*1:上記で得たワニスC−2−1(カルボキシル基含有感光性樹脂のワニス)(固形分65.8%、カルボン酸当量790g/eq.)
*2:上記で得たワニスC−2−2(カルボキシル基含有感光性樹脂のワニス)(固形分70%、カルボン酸当量654g/eq.)
*3:上記で得たワニスC−2−3(カルボキシル基含有感光性樹脂のワニス)(固形分65.8%、カルボン酸当量668g/eq.)
*4:オキシムエステル類(BASFジャパン社製IrgOXE02:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム))
*5:アセトフェノン類(BASFジャパン社製Irg184:1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン)
*6:モノアシルフォスフィンオキサイド類(BASFジャパン社製TPO:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド)
*7:Bis−A型液状エポキシ樹脂(三菱化学社製jER828)
*8:フェノールノボラックエポキシ樹脂(ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー社製DEN431:フェノールノボラックエポキシ樹脂)
*9:ナフタレン型フェノールノボラックエポキシ樹脂(日本化薬社製NC−7000Lをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PMA)で溶解、固形分60%)
*10:上記で作製した硬化性反応基を有するコアシェルゴム粒子(エポキシ分散品A−1:コアシェルゴム粒子をBis−A型エポキシ樹脂に均一分散。エポキシ反応基有。コアシェルゴム粒子40%。コアシェルゴム粒子径0.5μm)
*11:上記で作製した硬化性反応基を有するコアシェルゴム粒子(エポキシ分散品A−2:コアシェルゴム粒子をBis−F型エポキシ樹脂に均一分散。エポキシ反応基有。コアシェルゴム粒子25%。コアシェルゴム粒子径0.5μm)
*12:上記で作製した硬化性反応基を有しないコアシェルゴム粒子(エポキシ分散品R−1:コアシェルゴム粒子をBis−A型エポキシ樹脂に均一分散。エポキシ反応基無。コアシェルゴム粒子25%。コアシェルゴム粒子径0.5μm)
*13:エポキシ化ポリブタジエン(ダイセル社製PB3600)
*14:上記で調整した表面処理されたシリカ溶剤分散品B−1(球状シリカをPMAに均一分散。メタクリル表面処理。シリカ含有量70wt%(固形分)。シリカ平均粒径0.8μm)
*15:上記で調整した表面処理されたシリカ溶剤分散品B−2(球状シリカをPMAに均一分散。ビニル表面処理。シリカ含有量70wt%(固形分)。シリカ平均粒径0.8μm)
*16:上記で調整した表面処理されたシリカ溶剤分散品B−3(球状シリカをPMAに均一分散。エポキシ表面処理。シリカ含有量70wt%(固形分)。シリカ平均粒径0.8μm)
*17:上記で調整した表面処理された硫酸バリウム溶剤分散品B−4(硫酸バリウムをPMAに均一分散。メタクリル表面処理。硫酸バリウム含有量70wt%(固形分)。硫酸バリウム平均粒径0.5μm。
*18:上記で調整した表面処理された硫酸バリウム溶剤分散品B−5(硫酸バリウムをPMAに均一分散。アルミナ表面処理。硫酸バリウム含有量70wt%(固形分)。硫酸バリウム平均粒径(0.5μm))
*19:上記で調整した表面処理されていないシリカ溶剤分散品(球状シリカをPMAに均一分散。表面処理無。シリカ含有量70wt%(固形分)。シリカ平均粒径0.8μm)
Figure 0006698333
*1: Varnish C-2-1 (varnish of carboxyl group-containing photosensitive resin) obtained above (solid content 65.8%, carboxylic acid equivalent 790 g/eq.)
*2: Varnish C-2-2 (varnish of carboxyl group-containing photosensitive resin) obtained above (solid content 70%, carboxylic acid equivalent 654 g/eq.)
*3: Varnish C-2-3 (varnish of carboxyl group-containing photosensitive resin) obtained above (solid content 65.8%, carboxylic acid equivalent 668 g/eq.)
*4: Oxime ester (IrgOXE02 manufactured by BASF Japan Ltd.: ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-1-(o-acetyloxime))
*5: Acetophenones (Irg184: 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone manufactured by BASF Japan Ltd.)
*6: Monoacylphosphine oxides (BASF Japan Ltd. TPO: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide)
*7: Bis-A type liquid epoxy resin (jER828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
*8: Phenol novolac epoxy resin (DEN 431: Phenol novolac epoxy resin manufactured by The Dow Chemical Company)
*9: Naphthalene type phenol novolac epoxy resin (NC-7000L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. is dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA), solid content 60%)
*10: Core-shell rubber particles having a curable reactive group prepared above (epoxy dispersion A-1: core-shell rubber particles are uniformly dispersed in a Bis-A type epoxy resin. Epoxy reactive group is present. Core-shell rubber particles 40%. Rubber particle diameter 0.5 μm)
*11: Core-shell rubber particles having a curable reactive group prepared above (epoxy dispersion A-2: core-shell rubber particles are uniformly dispersed in Bis-F type epoxy resin. Epoxy reactive group is present. Core-shell rubber particles 25%. Rubber particle diameter 0.5 μm)
*12: Core-shell rubber particles having no curable reactive group prepared above (epoxy dispersion R-1: core-shell rubber particles are uniformly dispersed in Bis-A type epoxy resin. No epoxy reactive group, core-shell rubber particles 25%. Core shell rubber particle diameter 0.5 μm)
*13: Epoxidized polybutadiene (PB3600 manufactured by Daicel)
*14: Surface-treated silica solvent dispersion B-1 prepared above (uniform dispersion of spherical silica in PMA. Methacrylic surface treatment. Silica content 70 wt% (solid content). Silica average particle diameter 0.8 μm)
*15: Surface-treated silica solvent dispersion B-2 prepared as above (homogeneous dispersion of spherical silica in PMA. Vinyl surface treatment. Silica content 70 wt% (solid content). Silica average particle size 0.8 μm)
*16: Surface-treated silica solvent dispersion B-3 prepared above (uniform dispersion of spherical silica in PMA. Epoxy surface treatment. Silica content 70 wt% (solid content). Silica average particle size 0.8 μm)
*17: Surface-treated barium sulfate solvent dispersion B-4 prepared as described above (barium sulfate is uniformly dispersed in PMA. Methacrylic surface treatment. Barium sulfate content 70 wt% (solid content). Barium sulfate average particle size of 0. 5 μm.
*18: Surface-treated barium sulfate solvent dispersion B-5 prepared as described above (barium sulfate is uniformly dispersed in PMA. Alumina surface treatment. Barium sulfate content 70 wt% (solid content). Barium sulfate average particle size (0 .5 μm))
*19: Non-surface-treated silica solvent dispersion prepared as above (uniform dispersion of spherical silica in PMA. No surface treatment. Silica content 70 wt% (solid content). Silica average particle size 0.8 μm)

上記表中に示す結果から、本発明の硬化性樹脂組成物の硬化物は、TCT耐性に優れることがわかる。また、Tg、CTE、強靭性およびPCT耐性を悪化させないこともわかる。一方、(B)無機フィラーにかえて表面処理されていない無機フィラーを含有する比較例1、3の硬化性樹脂組成物、(A)コアシェルゴム粒子にかえて硬化性反応基を有しないコアシェルゴム粒子を含有する比較例2、4の硬化性樹脂組成物、(A)コアシェルゴム粒子を含有しない比較例5の硬化性樹脂組成物、および、(A)コアシェルゴム粒子にかえて熱可塑性樹脂を含有する比較例6の硬化性樹脂組成物の硬化物は、TCT耐性に劣ることがわかる。   From the results shown in the above table, it is understood that the cured product of the curable resin composition of the present invention has excellent TCT resistance. It is also found that Tg, CTE, toughness and PCT resistance are not deteriorated. On the other hand, (B) the curable resin composition of Comparative Examples 1 and 3 containing an inorganic filler which is not surface-treated in place of the inorganic filler, and (A) a core-shell rubber which does not have a curable reactive group in place of the core-shell rubber particles. Curable resin compositions of Comparative Examples 2 and 4 containing particles, (A) Curable resin composition of Comparative Example 5 containing no core-shell rubber particles, and (A) core-shell rubber particles in place of a thermoplastic resin. It can be seen that the cured product of the curable resin composition of Comparative Example 6 contained therein is inferior in TCT resistance.

Claims (11)

(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子と、
(B)表面処理された無機フィラーと、
(C)硬化性樹脂とを含み、
前記(C)硬化性樹脂として、(C−2)光硬化性樹脂を含有し、
前記(A)硬化性反応基を表面に有するコアシェルゴム粒子の硬化性反応基が、前記(C)硬化性樹脂と反応する基であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
(A) core-shell rubber particles having a curable reactive group on the surface,
(B) a surface-treated inorganic filler,
(C) including a curable resin,
As the (C) curable resin, (C-2) contains a photocurable resin,
The curable resin composition, wherein the curable reactive group of the core-shell rubber particles having the curable reactive group (A) on the surface is a group that reacts with the curable resin (C).
さらに、前記(C)硬化性樹脂として、(C−1)熱硬化性樹脂を含むことを特徴とする請求項1記載の硬化性樹脂組成物。 Furthermore, (C-1) thermosetting resin is included as said (C) curable resin , The curable resin composition of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記(B)表面処理された無機フィラーが(C−2)光硬化性樹脂と反応する硬化性反応基を表面に有することを特徴とする請求項1または2記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1 or 2, wherein the surface-treated inorganic filler (B) has a curable reactive group that reacts with the photocurable resin (C-2) on the surface. 前記(B)表面処理された無機フィラーが、シランカップリング剤で表面処理された無機フィラーであることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。 (B) the surface-treated inorganic filler, the curable resin composition according to any one of claims 1 to 3, characterized in that a surface-treated inorganic filler with a silane coupling agent. さらに、(D)光重合開始剤および(E)光塩基発生剤のうちから選ばれる少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。 Further, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a curable resin composition according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises at least one selected from among the photobase generator object. 前記(B)表面処理された無機フィラーの大きさが、平均粒子径で2μm以下であることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。 (B) the surface-treated size of the inorganic filler, the curable resin composition according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the average particle size is 2μm or less. 前記(B)表面処理された無機フィラーの含有量が組成物中の固形分の全量あたり20〜80質量%であることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。 (B) the curing according to any one of claims 1 to 6, the content of the surface treated inorganic filler, characterized in that 20 to 80 wt% per total amount of solids in the composition Resin composition. 請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 Dry film to the curable resin composition according to any one of claims 1 to 7 applied to the film, characterized by having a resin layer obtained by drying. 請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物を、硬化して得られることを特徴とする硬化物。 The curable resin composition according to any one of claims 1 to 7 cured product characterized by being obtained by curing. 請求項記載のドライフィルムの樹脂層を、硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the resin layer of the dry film according to claim 8 . 請求項または10記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。 Printed wiring board characterized by having a claim 9 or 10 cured product according.
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