JP6788372B2 - Alkaline developable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board - Google Patents

Alkaline developable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Download PDF

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Description

本発明はアルカリ現像可能な樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板に関する。 The present invention relates to alkali-developable resin compositions, dry films, cured products and printed wiring boards.

近年、エレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれる半導体パッケージが登場した。このような半導体パッケージのようにファインピッチの配線パターンを備えるプリント配線板においては、配線パターンが高密度に、互いに近接して形成されることから、配線パターンのライン間でショートやクロストークノイズが生じやすいため、ソルダーレジスト等のプリント配線板の永久塗膜には、特に高度な信頼性が求められる。 In recent years, in response to the increasing density of printed wiring boards due to the miniaturization of electronic devices, BGA has replaced IC packages called QFP (quad flat pack package), SOP (small outline package), etc. Semiconductor packages called (ball grid array), CSP (chip scale package), etc. have appeared. In a printed wiring board having a fine pitch wiring pattern such as a semiconductor package, the wiring patterns are formed at high density and close to each other, so that short circuits and crosstalk noise occur between the lines of the wiring pattern. Since it is likely to occur, a particularly high degree of reliability is required for a permanent coating on a printed wiring board such as a solder resist.

しかしながら、ソルダーレジスト等の永久塗膜の材料として用いられるアルカリ現像型の樹脂組成物は、耐水性の点では必ずしも十分とはいえない面があった。これは、アルカリ現像型の樹脂組成物が、アルカリ現像性を付与するために親水性基を有する樹脂を主成分としており、そのような親水性基が、硬化物への水、水蒸気、薬液などの浸透を引き起こし、レジスト皮膜と銅との密着性を低下させることがあるためだと考えられる。 However, the alkali-developed resin composition used as a material for a permanent coating film such as a solder resist has a problem that it is not always sufficient in terms of water resistance. This is because the alkali-developable resin composition is mainly composed of a resin having a hydrophilic group in order to impart alkali developability, and such a hydrophilic group is used for water, steam, chemicals, etc. on the cured product. This is thought to be because it may cause the penetration of the resin and reduce the adhesion between the resist film and copper.

アルカリ現像型の樹脂組成物において、エチレン性不飽和結合だけでなくウレタン結合またはイソシアヌレート環を有する光重合性化合物を配合し、架橋密度を増加させることによって耐水性を向上させることが知られている(例えば特許文献1)。しかしながら、得られる硬化物は硬く、また、脆くなることから、密着性が低下してしまうため、耐水性と密着性を両立することが困難であった。 It is known that in an alkali-developed resin composition, water resistance is improved by blending a photopolymerizable compound having a urethane bond or an isocyanurate ring as well as an ethylenically unsaturated bond to increase the crosslink density. (For example, Patent Document 1). However, since the obtained cured product is hard and brittle, the adhesion is lowered, and it is difficult to achieve both water resistance and adhesion.

特許第5181223号公報Japanese Patent No. 5181223

そこで本発明の目的は、耐水性と密着性に優れた硬化物を得ることができるアルカリ現像型の樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is an alkali-developed resin composition capable of obtaining a cured product having excellent water resistance and adhesion, a dry film having a resin layer obtained from the composition, the composition or the dry film. It is an object of the present invention to provide a cured product of the resin layer of the above and a printed wiring board having the cured product.

本発明者等は上記を鑑み鋭意検討した結果、表面処理された硫酸バリウムおよび表面処理されたタルクを用いることによって、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of diligent studies in view of the above, the present inventors have found that the above problems can be solved by using surface-treated barium sulfate and surface-treated talc, and have completed the present invention.

即ち、本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物は、(A)感光性プレポリマー、(B)感光性(メタ)アクリレート化合物、(C)光重合開始剤、(D)表面処理された硫酸バリウム、(E)表面処理されたタルク、(F)熱硬化性樹脂を含有することを特徴とするものである。 That is, the alkali-developable resin composition of the present invention comprises (A) a photosensitive prepolymer, (B) a photosensitive (meth) acrylate compound, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a surface-treated barium sulfate. , (E) Surface-treated talc and (F) Thermosetting resin.

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物は、前記(D)表面処理された硫酸バリウムの表面処理剤が、Al、SiおよびZrから選択される1つ以上の金属元素の水酸化物を含むことが好ましい。 In the alkali-developable resin composition of the present invention, the surface treatment agent for barium sulfate (D) surface-treated contains a hydroxide of one or more metal elements selected from Al, Si and Zr. Is preferable.

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物は、前記(E)表面処理されたタルクの表面処理剤が、ビニルシラン系カップリング剤を含むことが好ましい。 In the alkali-developable resin composition of the present invention, it is preferable that the surface treatment agent for the surface-treated talc (E) contains a vinylsilane-based coupling agent.

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物は、前記(D)表面処理された硫酸バリウムと(E)表面処理されたタルクの含有量の合計が、無機フィラー成分全体の25〜100質量%であることが好ましい。 In the alkali-developed resin composition of the present invention, the total content of (D) surface-treated barium sulfate and (E) surface-treated talc is 25 to 100% by mass of the total inorganic filler component. Is preferable.

本発明のドライフィルムは、前記アルカリ現像可能な樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。 The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained by applying the alkali-developable resin composition to the film and drying it.

本発明の硬化物は、前記アルカリ現像可能な樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。 The cured product of the present invention is characterized by being obtained by curing the resin composition capable of developing alkali or the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を有することを特徴とするものである。 The printed wiring board of the present invention is characterized by having the cured product.

本発明によれば、耐水性と密着性に優れた硬化物を得ることができるアルカリ現像型の樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, an alkali-developed resin composition capable of obtaining a cured product having excellent water resistance and adhesion, a dry film having a resin layer obtained from the composition, the composition or the dry film. A cured product of the resin layer and a printed wiring board having the cured product can be provided.

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物は、(A)感光性プレポリマー、(B)感光性(メタ)アクリレート化合物、(C)光重合開始剤、(D)表面処理された硫酸バリウム、(E)表面処理されたタルク、および、(F)熱硬化性樹脂を含有することを特徴とするものである。本発明においては、硫酸バリウムおよびタルクが表面処理されていることが肝要であり、このような2種の無機フィラーを配合することによって、耐水性と密着性を両立することができる。 The alkali-developed resin composition of the present invention comprises (A) a photosensitive prepolymer, (B) a photosensitive (meth) acrylate compound, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a surface-treated barium sulfate. It is characterized by containing (E) a surface-treated talc and (F) a thermosetting resin. In the present invention, it is important that barium sulfate and talc are surface-treated, and by blending these two types of inorganic fillers, both water resistance and adhesion can be achieved.

なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、以下他の類似の表現についても同様である。 In addition, in this specification, (meth) acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions below.

[(A)感光性プレポリマー]
(A)感光性プレポリマーとしては、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有する感光性プレポリマーを好適に用いることができる。さらに、(A)感光性プレポリマーはカルボキシル基含有感光性プレポリマーであることがより好ましい。エチレン性不飽和二重結合としては、アクリル酸もしくはメタアクリル酸またはそれらの誘導体由来のものが好ましい。
[(A) Photosensitive prepolymer]
As the photosensitive prepolymer (A), a photosensitive prepolymer having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule can be preferably used. Further, it is more preferable that the (A) photosensitive prepolymer is a carboxyl group-containing photosensitive prepolymer. The ethylenically unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or a derivative thereof.

カルボキシル基含有感光性プレポリマーの具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物、および、下記のような感光性モノマーとの共重合により得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応による、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(5)上記(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(6)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂。
(7)上記のような多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。ここで、多官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。
(8)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。ここで、2官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。
(9)上記のような2官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させた、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(12)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
(13)上記(1)〜(12)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる、エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
Specific examples of the carboxyl group-containing photosensitive prepolymer include compounds (either oligomers and polymers) as listed below.
(1) An unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid, an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene, and a photosensitive monomer as described below. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by copolymerization. The lower alkyl refers to an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.
(2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and aromatic diisocyanates, carboxyl group-containing dialcoic compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate-based polyols and polyether-based compounds. A carboxyl group-containing urethane resin produced by a double addition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group. During synthesis, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups is added to a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate to form a terminal (meth) acrylic, and the carboxyl having an ethylenically unsaturated group. Group-containing polyurethane resin.
(3) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates, and polycarbonate-based polyols, polyether-based polyols, polyester-based polyols, polyolefin-based polyols, acrylic-based polyols, and bisphenol A-based During the synthesis of a terminal carboxyl group-containing urethane resin formed by reacting an acid anhydride with the end of the urethane resin by a double addition reaction of a diol compound such as an alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group. , A compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate, and terminal (meth) acrylicized, carboxyl group-containing polyurethane having an ethylenically unsaturated group. resin.
(4) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Meta) A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group by a double addition reaction of an acrylate or a partially acid anhydride modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.
(5) During the synthesis of the resin of (4) above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups is added to a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate to form terminal (meth) acrylic. A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group.
(6) During the synthesis of the resin according to (2) or (4) above, one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are added to the molecule, such as an isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate equimolar reaction product. A carboxyl group-containing polyurethane resin having an ethylenically unsaturated group, which has been subjected to terminal (meth) acrylicization by adding the compound having the compound.
(7) A (meth) acrylic acid is reacted with the above-mentioned polyfunctional epoxy resin, and a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is added to the hydroxyl group existing in the side chain. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group. Here, the polyfunctional epoxy resin is preferably solid.
(8) A polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin with epichlorohydrin is reacted with (meth) acrylic acid, and a dibasic acid anhydride is added to the generated hydroxyl group. A carboxyl group-containing resin having a saturated group. Here, the bifunctional epoxy resin is preferably solid.
(9) A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a bifunctional oxetane resin as described above with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the generated primary hydroxyl group.
(10) Reaction production obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a compound with a polybasic acid anhydride.
(11) Obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.
(12) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth). Reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine with respect to the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, which is obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.
(13) In addition to the resin according to any one of (1) to (12) above, one epoxy group and one or more (meth) acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate and α-methylglycidyl (meth) acrylate. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group, to which a compound having a group is added.

上記のようなエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有感光性プレポリマーは、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能である。 Since the carboxyl group-containing photosensitive prepolymer having an ethylenically unsaturated group as described above has a large number of carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, it can be developed with an alkaline aqueous solution.

上記のカルボキシル基含有樹脂の具体例のうち、(12)のエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂として、下記の(A1)の樹脂を用いることができる。
(a)1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と、(b)アルコール性水酸基含有置換基を有するフェノール化合物と、(c)不飽和基含有モノカルボン酸とを、上記(a)エポキシ化合物のエポキシ基1当量に対して、上記(b)アルコール性水酸基含有置換基を有するフェノール化合物のフェノール性水酸基が0.2〜0.6当量となり、かつ(b)アルコール性水酸基含有置換基を有するフェノール化合物のフェノール性水酸基と(c)不飽和基含有モノカルボン酸のカルボキシル基が合計で0.8〜1.3当量となる割合で反応させ、得られた反応生成物(X)のアルコール性水酸基に対して(d)多塩基酸無水物の無水物基を99:1〜1:99の割合で反応させて得られる(A1)エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂。
Among the specific examples of the above-mentioned carboxyl group-containing resin, the following resin (A1) can be used as the carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group (12).
The above (a) includes an epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule, (b) a phenol compound having an alcoholic hydroxyl group-containing substituent, and (c) an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. ) The phenolic hydroxyl group of the phenol compound having the above (b) alcoholic hydroxyl group-containing substituent is 0.2 to 0.6 equivalent with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the epoxy compound, and (b) alcoholic hydroxyl group-containing substituent. The reaction product (X) obtained by reacting the phenolic hydroxyl group of the phenolic compound having a group with the carboxyl group of the (c) unsaturated group-containing monocarboxylic acid in a total ratio of 0.8 to 1.3 equivalents. A carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group (A1) obtained by reacting the alcoholic hydroxyl group of (d) with an anhydrous group of (d) polybasic acid anhydride at a ratio of 99: 1 to 1:99.

前記アルコール性水酸基含有置換基を有するフェノール化合物(b)は特に限定されないが、下記式(1)で示される化合物が好ましい。特に好ましいのはp−ヒドロキシフェネチルアルコールである。これらアルコール性水酸基含有置換基を有するフェノール化合物(b)は1種を単独で、または、2種以上を混合して用いることができる。

Figure 0006788372
(式中、xは0〜5までの整数で、ベンゼン環の水素と置換する置換基Rの数を表わし、Rはxが1のとき、炭素数1〜4の飽和又は不飽和アルキル基、フェニル基又はシクロヘキシル基の中から選ばれる一つの置換基を表わし、xが2以上のとき、前記置換基の中からx個選ばれる同一又は異なる複数の置換基を表わす。yは1〜5の整数で、ベンゼン環の水素と置換する置換基R−OHの数を表わし、Rは、yが1のとき、炭素数1〜20の直鎖、分岐又は環状のアルキル基または
Figure 0006788372
(ここで、Rはエチレン基、プロピレン基、ヒドロキシプロピレン基または
Figure 0006788372
(n=2または3、Z=1または2)である。)の中から選ばれる一つの置換基を表わし、yが2以上のとき、前記置換基の中からy個選ばれる同一又は異なる複数基の置換基を表わす。) The phenol compound (b) having an alcoholic hydroxyl group-containing substituent is not particularly limited, but a compound represented by the following formula (1) is preferable. Particularly preferred is p-hydroxyphenethyl alcohol. As these phenol compounds (b) having an alcoholic hydroxyl group-containing substituent, one type can be used alone, or two or more types can be used in combination.
Figure 0006788372
(Wherein, x is an integer from 0 to 5, represents the number of substituents R 1, which replaces the hydrogen of the benzene ring, when R 1 is x is 1, saturated or unsaturated alkyl of 1 to 4 carbon atoms It represents one substituent selected from a group, a phenyl group or a cyclohexyl group, and when x is 2 or more, it represents a plurality of the same or different substituents selected from x of the above substituents. An integer of 5 represents the number of substituent R 2- OH that replaces hydrogen in the benzene ring, where R 2 is a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms when y is 1.
Figure 0006788372
(Here, R 3 is an ethylene group, a propylene group, a hydroxypropylene group or
Figure 0006788372
(N = 2 or 3, Z = 1 or 2). ), And when y is 2 or more, it represents the same or different multiple substituents selected from y of the substituents. )

また、(A)感光性プレポリマーの酸価は、30〜200mgKOH/gの範囲が適当であり、より好ましくは30〜150mgKOH/g、特に好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。(A)感光性プレポリマーの酸価が30mgKOH/g以上であるとアルカリ現像が良好となり、一方、200mgKOH/g以下であると、現像液による露光部の溶解を抑制できるために、必要以上にラインが痩せたり、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離したりすることを抑制して、良好にパターン状のレジストを描画することができる。 The acid value of the (A) photosensitive prepolymer is preferably in the range of 30 to 200 mgKOH / g, more preferably in the range of 30 to 150 mgKOH / g, and particularly preferably in the range of 45 to 120 mgKOH / g. (A) When the acid value of the photosensitive prepolymer is 30 mgKOH / g or more, alkaline development is good, while when it is 200 mgKOH / g or less, dissolution of the exposed part by the developing solution can be suppressed, so that it is more than necessary. It is possible to satisfactorily draw a patterned resist by suppressing thinning of lines and, in some cases, dissolution and peeling with a developing solution regardless of whether the exposed portion and the unexposed portion are exposed.

また、(A)感光性プレポリマーの、例えば、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)で測定した場合の重量平均分子量Mw(ポリスチレン換算の重量平均分子量)は、樹脂骨格により異なるが、4,000よりも大きく150,000以下、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が4,000より大きいと、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が150,000以下であると、現像性が良好となる。 Further, the weight average molecular weight Mw (polystyrene-equivalent weight average molecular weight) of the (A) photosensitive prepolymer as measured by, for example, gel permeation chromatography (GPC) differs depending on the resin skeleton. It is preferably greater than 000 and less than 150,000, more preferably in the range of 5,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is larger than 4,000, the tack-free performance is good, the moisture resistance of the coating film after exposure is good, film loss can be suppressed during development, and resolution deterioration can be suppressed. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the developability is good.

(A)感光性プレポリマーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。(A)感光性プレポリマーの配合量は、アルカリ現像型の樹脂組成物あたり、固形分換算で、10〜70質量%であることが好ましく、30〜50質量%がより好ましい。 (A) As the photosensitive prepolymer, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. The blending amount of the photosensitive prepolymer (A) is preferably 10 to 70% by mass, more preferably 30 to 50% by mass, in terms of solid content, per alkali-developed resin composition.

[(B)感光性(メタ)アクリレート化合物]
(B)感光性(メタ)アクリレート化合物としては、光感光性モノマーとして用いることができる公知慣用の(メタ)アクリレート系オリゴマーや(メタ)アクリレート系モノマーを用いることができる。(B)感光性(メタ)アクリレート化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[(B) Photosensitive (meth) acrylate compound]
As the (B) photosensitive (meth) acrylate compound, a known and commonly used (meth) acrylate-based oligomer or (meth) acrylate-based monomer that can be used as a photosensitive monomer can be used. (B) As the photosensitive (meth) acrylate compound, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the (meth) acrylate-based oligomer include epoxy (meth) acrylates such as phenol novolac epoxy (meth) acrylate, cresol novolac epoxy (meth) acrylate, and bisphenol type epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, and epoxy urethane (meth). ) Acrylic, polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, polybutadiene-modified (meth) acrylate and the like.

(メタ)アクリレート系モノマーとしては、アクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。 Examples of the (meth) acrylate-based monomer include (meth) acrylamides such as acrylamide, methacrylicamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-hydroxymethylmethacrylicamide, N-methoxymethylacrylamide, N-ethoxymethylacrylamide, and N-butoxymethylacrylamide. Kind: Allyl compounds such as triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, diallyl isophthalate; 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, tetrahydrofurfreel (meth) acrylate, isobolonyl (meth) acrylate, phenyl ( Esters of (meth) acrylic acids such as meta) acrylates and phenoxyethyl (meth) acrylates; hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylates, hydroxypropyl (meth) acrylates and pentaerythritol tri (meth) acrylates. Classes: alkoxyalkylene glycol mono (meth) acrylates such as methoxyethyl (meth) acrylate and ethoxyethyl (meth) acrylate; ethylene glycol di (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth). ) Acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and other alkylene polyol poly (meth) acrylate; Polyoxyalkylene glycol poly (meth) acrylates such as diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, ethoxylated trimetylolpropan triacrylate, propoxylated trimethylol propantri (meth) acrylate; hydroxypivalic acid Poly (meth) acrylates such as neopentyl glycol ester di (meth) acrylate; isocyanurate-type poly (meth) acrylates such as tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate can be mentioned.

(B)感光性(メタ)アクリレート化合物の配合量は、(A)感光性プレポリマー100質量部に対して、10〜30質量部が好ましい。 The blending amount of the (B) photosensitive (meth) acrylate compound is preferably 10 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) photosensitive prepolymer.

[(C)光重合開始剤]
(C)光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。
[(C) Photopolymerization Initiator]
As the photopolymerization initiator (C), any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used.

(C)光重合開始剤としては、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン社製IRGACURE TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。(C)光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the photopolymerization initiator (C) include bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, and bis-. (2,6-dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphine oxide, Bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,4) , 6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide (IRGACURE819 manufactured by BASF Japan) and other bisacylphosphine oxides; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2 , 4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (manufactured by BASF Japan) Monoacylphosphine oxides such as IRGACURE TPO); 1-hydroxy-cyclohexylphenylketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one , 2-Hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-one Hydroxyacetophenones such as phenylpropan-1-one; benzoins such as benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, Benzoyls such as p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino -1-Propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl) -1-[ 4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone and other acetophenones; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethyl Thioxanthons such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylantraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, Anthraquinones such as 2-aminoanthraquinone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethyl benzoate and p-dimethylbenzoic acid ethyl ester Classes; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole -3-Il]-, Oxime esters such as 1- (O-acetyloxime); bis (η5-2,4-cyclopentadiene-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-) Pyrrole-1-yl) phenyl) titanium, bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (2- (1-pyll-1-yl) ethyl) phenyl] titanocene such as titanium; Examples thereof include phenyldisulfide 2-nitrofluorene, butyloin, anisoine ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide and the like. (C) As the photopolymerization initiator, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

光重合開始剤の中でも、より耐水性に優れた硬化物を得ることができるため、表面硬化性に優れる光重合開始剤を用いることが好ましい。また、表面硬化性に優れる光重合開始剤は、吸収波長が250〜450nmであることが好ましく、250〜400nmであることがより好ましい。表面硬化性に優れる光重合開始剤としては、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド等が挙げられる。 Among the photopolymerization initiators, it is preferable to use a photopolymerization initiator having excellent surface curability because a cured product having more excellent water resistance can be obtained. Further, the photopolymerization initiator having excellent surface curability preferably has an absorption wavelength of 250 to 450 nm, more preferably 250 to 400 nm. Examples of the photopolymerization initiator having excellent surface curability include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-. Examples thereof include morpholinopropan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide and the like.

(C)光重合開始剤の配合量は、(A)感光性プレポリマー100質量部に対して、1〜25質量部が好ましく、5〜15質量部であることがより好ましい。 The blending amount of the (C) photopolymerization initiator is preferably 1 to 25 parts by mass, and more preferably 5 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) photosensitive prepolymer.

[(D)表面処理された硫酸バリウム]
(D)表面処理された硫酸バリウムの調整方法は特に限定されないが、表面処理剤としてAl、SiおよびZrから選択される1つ以上の金属元素の水酸化物および酸化物から選ばれる少なくとも何れかを1種を硫酸バリウムに被着することによって調整することができる。表面処理剤の具体例としては、含水ケイ酸、含水非結晶二酸化ケイ素、水酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等が挙げられる。このような表面処理剤で処理した硫酸バリウムの市販品としては、堺化学社製B−30、B−31、B−32、B−33、B−34、B−35、B−35T等が挙げられる。
[(D) Surface-treated barium sulfate]
(D) The method for preparing the surface-treated barium sulfate is not particularly limited, but at least one selected from hydroxides and oxides of one or more metal elements selected from Al, Si and Zr as the surface treatment agent. Can be adjusted by subjecting one to barium sulfate. Specific examples of the surface treatment agent include hydrous silicic acid, hydrous non-crystalline silicon dioxide, aluminum hydroxide, zirconium oxide and the like. Examples of commercially available barium sulfate treated with such a surface treatment agent include B-30, B-31, B-32, B-33, B-34, B-35, and B-35T manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd. Can be mentioned.

また、表面処理剤として有機シラン系化合物を用いてもよい。 Moreover, you may use an organic silane compound as a surface treatment agent.

(D)表面処理された硫酸バリウムの平均一次粒径は、0.1〜1μmが好ましく、0.1〜0.5μmであることがより好ましい。 The average primary particle size of the surface-treated barium sulfate (D) is preferably 0.1 to 1 μm, more preferably 0.1 to 0.5 μm.

(D)表面処理された硫酸バリウムの配合量は、(A)感光性プレポリマー100質量部に対して、55〜150質量部が好ましく、より好ましくは60〜100質量部である。 The amount of the surface-treated barium sulfate (D) is preferably 55 to 150 parts by mass, more preferably 60 to 100 parts by mass, based on 100 parts by mass of the (A) photosensitive prepolymer.

[(E)表面処理されたタルク]
(E)表面処理されたタルクの調整方法は特に限定されないが、表面処理剤として、ビニルシラン系カップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤等のシラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等を用いて調整することができる。ビニルシラン系カップリング剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、メタクリロキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシランが好ましい。アミノシラン系カップリング剤としては、アミノプロピルトリメトキシシラン、アミノプロピルトリエトキシシラン、ウレイドプロピルトリエトキシシラン、N−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシランが好ましい。エポキシシラン系カップリング剤としては、グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、グリシジルブチルトリメトキシシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランが好ましい。メルカプトシラン系カップリング剤としては、メルカトプロピルトリメトキシシラン、メルカトプロピルトリエトキシシランが好ましい。また、メチルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン等のシラン系カップリング剤も好適に用いることができる。オルガノシラザン化合物としては、ヘキサメチルジシラザン、ヘキサフェニルジシラザン、トリシラザン、シクロトリシラザン、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチルシクロトリシラザンが好ましい。チタネート系カップリング剤としては、ブチルチタネートダイマー、チタンオクチレングリコレート、ジイソプロポキシチタンビス(トリエタノールアミネート)、ジヒドロキシチタンビスラクテート、ジヒドロキシビス(アンモニウムラクテート)チタニウム、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、トリ−n−ブトキシチタンモノステアレート、テトラ−n−ブチルチタネート、テトラ(2−エチルヘキシル)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テト(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、イソプロピルトリ(N−アミドエチル・アミノエチル)チタネートが好ましい。
[(E) Surface-treated talc]
(E) The method for adjusting the surface-treated talc is not particularly limited, but the surface-treating agent includes silanes such as vinylsilane-based coupling agents, aminosilane-based coupling agents, epoxysilane-based coupling agents, and mercaptosilane-based coupling agents. It can be adjusted by using a system coupling agent, an organosilazane compound, a titanate system coupling agent, or the like. Examples of the vinylsilane-based coupling agent include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, methacryloxysilane, methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, and 3-methacryloxy. Propyltriethoxysilane is preferred. As the aminosilane-based coupling agent, aminopropyltrimethoxysilane, aminopropyltriethoxysilane, ureidopropyltriethoxysilane, N-phenylaminopropyltrimethoxysilane, and N-2- (aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane are preferable. .. Examples of the epoxysilane-based coupling agent include glycidoxypropyltrimethoxysilane, glycidoxypropyltriethoxysilane, glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, glycidylbutyltrimethoxysilane, and (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltri. Methoxysilane is preferred. As the mercaptosilane-based coupling agent, mercatopropyltrimethoxysilane and mercatopropyltriethoxysilane are preferable. Further, silane-based coupling agents such as methyltrimethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, imidazolesilane, and triazinesilane can also be preferably used. As the organosilazane compound, hexamethyldisilazane, hexaphenyldisilazan, trisilazane, cyclotrisilazane, 1,1,3,3,5,5-hexamethylcyclotrisilazane are preferable. Examples of the titanate-based coupling agent include butyl titanate dimer, titanium octylene glycolate, diisopropoxytitanium bis (triethanolamineate), dihydroxytitanium bislactate, dihydroxybis (ammonium lactate) titanium, and bis (dioctylpyrophosphate) ethylene titanate. Bis (dioctylpyrophosphate) oxyacetate titanate, tri-n-butoxytitanium monostearate, tetra-n-butyl titanate, tetra (2-ethylhexyl) titanate, tetraisopropylbis (dioctylphosphate) titanate, tetraoctylbis (ditri) Decylphosphite) titanate, tet (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (ditridecyl) phosphite titanate, isopropyltrioctanoyl titanate, isopropyltricylphenyl titanate, isopropyltriisostearoyl titanate, isopropylisostearoyldi Acrylic titanates, isopropyldimethacrylisostearoyl titanates, isopropyltri (dioctylphosphate) titanates, isopropyltridodecylbenzenesulfonyl titanates, isopropyltris (dioctylpyrophosphate) titanates, and isopropyltri (N-amideethyl / aminoethyl) titanates are preferred.

表面処理剤の中でも、シラン系カップリング剤が好ましく、ビニルシラン系カップリング剤がより好ましく、メタクリロキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等のメタクリロキシシラン系カップリング剤がさらに好ましい。 Among the surface treatment agents, silane-based coupling agents are preferable, vinylsilane-based coupling agents are more preferable, and methacrysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-methacryloxypropyl. More preferred are methacryloxysilane-based coupling agents such as methyldiethoxysilane and 3-methacryloxypropyltriethoxysilane.

(E)表面処理されたタルクは、市販品のタルクを表面処理したものであってもよく、例えば、日本タルク社製ミクロエースK1をビニルシラン系カップリング剤で表面処理したタルク等を用いてもよい。 (E) The surface-treated talc may be a commercially available talc that has been surface-treated. For example, talc obtained by surface-treating Microace K1 manufactured by Nippon Tarku Co., Ltd. with a vinylsilane coupling agent may be used. Good.

(E)表面処理されたタルクの平均一次粒径は、0.1〜20μmであることが好ましく、0.5〜15μmであることがより好ましい。 (E) The average primary particle size of the surface-treated talc is preferably 0.1 to 20 μm, more preferably 0.5 to 15 μm.

(E)表面処理されたタルクの配合量は、(A)感光性プレポリマー100質量部に対して、5〜45質量部が好ましい。 The amount of the surface-treated talc (E) is preferably 5 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) photosensitive prepolymer.

(D)表面処理された硫酸バリウムと(E)表面処理されたタルクの含有量の割合は、例えば、40〜90:10〜60であり、吸水率を低下させる観点から55〜90:10〜45であることが好ましい。 The ratio of the contents of (D) surface-treated barium sulfate and (E) surface-treated talc is, for example, 40 to 90: 10 to 60, and 55 to 90: 10 to 10 from the viewpoint of reducing the water absorption rate. It is preferably 45.

また、本発明のアルカリ現像可能な樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、(D)表面処理された硫酸バリウムおよび(E)表面処理されたタルク以外のその他の無機フィラーを含有してもよい。その他の無機フィラーとしては、例えば、シリカ、結晶性シリカ、ノイブルグ珪土、水酸化アルミニウム、ガラス粉末、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、ハイドロタルサイト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華等が挙げられる。これらは、表面処理されていても、されていなくてもよい。また、表面処理されていない硫酸バリウムおよびタルクを含有してもよい。 In addition, the alkali-developable resin composition of the present invention contains (D) surface-treated barium sulfate and (E) other inorganic fillers other than surface-treated talc as long as the effects of the present invention are not impaired. You may. Other inorganic fillers include, for example, silica, crystalline silica, Neuburg silica soil, aluminum hydroxide, glass powder, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, aluminum hydroxide, barium titanate, iron oxide. , Non-fibrous glass, hydrotalcite, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate, zinc flower and the like. These may or may not be surface treated. It may also contain unsurface-treated barium sulfate and talc.

前記(D)表面処理された硫酸バリウムと(E)表面処理されたタルクの含有量の合計が、無機フィラー成分全体の25〜100質量%であることが好ましく、30〜100質量%であることがより好ましく、50〜100質量%であることがさらに好ましい。 The total content of the (D) surface-treated barium sulfate and (E) surface-treated talc is preferably 25 to 100% by mass, preferably 30 to 100% by mass of the total inorganic filler component. Is more preferable, and 50 to 100% by mass is further preferable.

(D)表面処理された硫酸バリウムおよび(E)表面処理されたタルクは、表面処理された状態で本発明のアルカリ現像可能な樹脂組成物に配合されていればよい。表面未処理の硫酸バリウムまたはタルクと表面処理剤とを別々に配合して組成物中で表面処理を行ってもよいが、予め表面処理することが好ましい。予め表面処理することによって、別々に配合した場合に残存しうる表面処理で消費されなかった表面処理剤によるクラック耐性等の低下を防ぐことができる。 The (D) surface-treated barium sulfate and (E) surface-treated talc may be blended in the surface-treated state in the alkali-developable resin composition of the present invention. The surface-untreated barium sulfate or talc and the surface-treating agent may be separately blended to perform the surface treatment in the composition, but the surface treatment is preferable in advance. By surface-treating in advance, it is possible to prevent deterioration of crack resistance and the like due to the surface-treating agent that may remain when the ingredients are mixed separately and are not consumed in the surface treatment.

[(F)熱硬化性樹脂]
(F)熱硬化性樹脂としては、加熱により硬化して電気絶縁性を示す樹脂であればよく、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、メラミン樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられる。これらは併用してもよい。
[(F) Thermosetting resin]
The thermosetting resin (F) may be any resin that is cured by heating and exhibits electrical insulation, and examples thereof include epoxy compounds, oxetane compounds, melamine resins, and silicone resins. These may be used together.

上記エポキシ化合物としては、1個以上のエポキシ基を有する公知慣用の化合物を使用することができ、中でも、2個以上のエポキシ基を有する化合物が好ましい。例えば、ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレートなどのモノエポキシ化合物などのモノエポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、フェニル−1,3−ジグリシジルエーテル、ビフェニル−4,4’−ジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールまたはプロピレングリコールのジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物が挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。 As the epoxy compound, a known and commonly used compound having one or more epoxy groups can be used, and among them, a compound having two or more epoxy groups is preferable. For example, monoepoxy compounds such as monoepoxy compounds such as butyl glycidyl ether, phenylglycidyl ether, and glycidyl (meth) acrylate, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, Cresol novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, trimethylolpropan polyglycidyl ether, phenyl-1,3-diglycidyl ether, biphenyl-4,4'-diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, Two or more epoxy groups in one molecule such as ethylene glycol or propylene glycol diglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate, triglycidyltris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, etc. Examples thereof include compounds having. These can be used alone or in combination of two or more, depending on the required characteristics.

2個以上のエポキシ基を有する化合物としては、具体的には、三菱化学社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、新日鉄住金化学社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル日本社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL903、DIC社製のエピクロン152、エピクロン165、新日鉄住金化学社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル日本社製のD.E.R.542、住友化学社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.711、A.E.R.714等のブロム化エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER152、jER154、ダウケミカル日本社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、新日鉄住金化学社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、NC−3000、住友化学社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成イーマテリアルズ社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299、新日鉄住金化学社製のYDCN−700−2、YDCN−700−3、YDCN−700−5,YDCN−700−7、YDCN−700−10、YDCN−704 YDCN−704A、DIC社製のエピクロンN−680、N−690、N−695(いずれも商品名)等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC社製のエピクロン830、三菱化学社製jER807、新日鉄住金化学社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004等のビスフェノールF型エポキシ樹脂;新日鉄住金化学社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER604、新日鉄住金化学社製のエポトートYH−434;住友化学社製のスミ−エポキシELM−120等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル社製のセロキサイド2021等の脂環式エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−933、ダウケミカル日本社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、ADEKA社製EPX−30、DIC社製のEXA−1514等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER157S等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL−931等のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学工業社製のTEPIC等の複素環式エポキシ樹脂;日油社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;新日鉄住金化学社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄住金化学社製ESN−190、ESN−360、DIC社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日油社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;CTBN変性エポキシ樹脂(例えば新日鉄住金化学社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらの中でも、特に変色耐性に優れることよりビスフェノールA型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂またはそれらの混合物が好ましい。
これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of the compound having two or more epoxy groups include jER828, jER834, jER1001, jER1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 840, Epicron 850, Epicron 1050, Epicron 2055 manufactured by DIC Corporation, and Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Epoxy YD-011, YD-013, YD-127, YD-128, Dow Chemical Japan Co., Ltd. E. R. 317, D.I. E. R. 331, D. E. R. 661, D.I. E. R. 664, Sumitomo Chemical Co., Ltd. Sumi-Epoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128, Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd. E. R. 330, A. E. R. 331, A. E. R. 661, A. E. R. Bisphenol A type epoxy resin such as 664; jERYL903 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Epicron 152 and Epicron 165 manufactured by DIC Corporation, Epototo YDB-400 and YDB-500 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and D.D. E. R. 542, Sumitomo Chemical's Sumi-Epoxy ESB-400, ESB-700, Asahi Kasei E-Materials' A.M. E. R. 711, A. E. R. Brominated epoxy resin such as 714; jER152, jER154 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, D.D. E. N. 431, D.I. E. N. 438, Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865 manufactured by DIC, Epototo YDCN-701, YDCN-704 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., EPPN-201, EOCN-1025 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306, NC-3000, Sumitomo Chemical's Sumi-Epoxy ESCN-195X, ESCN-220, Asahi Kasei E-Materials' A.M. E. R. ECN-235, ECN-299, YDCN-700-2, YDCN-700-3, YDCN-700-5, YDCN-700-7, YDCN-700-10, YDCN-704 YDCN-704A manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. , Novolak type epoxy resin such as Epicron N-680, N-690, N-695 (all trade names) manufactured by DIC; Epicron 830 manufactured by DIC, jER807 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., Epototo manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Bisphenol F type epoxy resin such as YDF-170, YDF-175, YDF-2004; Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin such as Epototo ST-2004, ST-2007, ST-3000 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd .; JER604 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. Epototo YH-434 manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd .; Glycidylamine type epoxy resin such as Sumi-epoxy ELM-120 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.; Hydant-in type epoxy resin; Epoxy resin; YL-933 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., T.D. manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd. E. N. , EPPN-501, EPPN-502 and the like trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; Mitsubishi Chemical Co., Ltd. YL-6056, YX-4000, YL-6121 and the like bixilenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; Bisphenol S type epoxy resin such as EBPS-200 manufactured by Kayakusha, EPX-30 manufactured by ADEKA, EXA-1514 manufactured by DIC; Bisphenol A novolac type epoxy resin such as jER157S manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd .; Tetraphenylol ethane type epoxy resin such as jERYL-931; heterocyclic epoxy resin such as TEPIC manufactured by Nissan Chemical Industries; diglycidyl phthalate resin such as Blemmer DGT manufactured by Nikko Co., Ltd .; ZX-1063 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Chemical Co., Ltd. Tetraglycidyl xylenoyl ethane resin; Naphthalene group-containing epoxy resin such as ESN-190, ESN-360, DIC HP-4032, EXA-4750, EXA-4700 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation; HP-7200 manufactured by DIC , HP-7200H and other epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton; glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resins such as CP-50S and CP-50M manufactured by Nichiyu Co., Ltd .; and cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resins; Examples thereof include, but are not limited to, CTBN-modified epoxy resins (for example, YR-102 and YR-450 manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation). Among these, bisphenol A type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin or a mixture thereof is particularly preferable because it is excellent in discoloration resistance.
One of these epoxy resins may be used alone, or two or more of these epoxy resins may be used in combination.

次に、オキセタン化合物について説明する。下記一般式(II)、

Figure 0006788372
(式中、Rは、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示す)により表されるオキセタン環を含有するオキセタン化合物の具体例としては、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン(東亞合成社製OXT−101)、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン(東亞合成社製OXT−211)、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン(東亞合成社製OXT−212)、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン(東亞合成社製OXT−121)、ビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル(東亞合成社製OXT−221)などが挙げられる。さらに、フェノールノボラックタイプのオキセタン化合物なども挙げられる。これらオキセタン化合物は、上記エポキシ化合物と併用してもよく、また、単独で使用してもよい。 Next, the oxetane compound will be described. The following general formula (II),
Figure 0006788372
As a specific example of the oxetane compound containing an oxetane ring represented by (in the formula, R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms), 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane (Toa) OXT-101) manufactured by Synthetic Co., Ltd., 3-Ethyl-3- (phenoxymethyl) oxetane (OXT-211 manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), 3-Ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane (OXT manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.) -212), 1,4-bis {[(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxy] methyl} benzene (OXT-121 manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether (Toa Synthetic) OXT-221) manufactured by the company, and the like. Further, a phenol novolac type oxetane compound and the like can also be mentioned. These oxetane compounds may be used in combination with the above epoxy compounds, or may be used alone.

(F)熱硬化性樹脂の配合量は、感光性プレポリマー100質量部に対し、20〜80質量部が好ましく、30〜60質量部がより好ましい。 The blending amount of the thermosetting resin (F) is preferably 20 to 80 parts by mass, more preferably 30 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive prepolymer.

(硬化触媒)
本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物には、硬化触媒を含有させることができる。硬化触媒としては、具体的には例えば、三級アミン、三級アミン塩、四級オニウム塩、三級ホスフィン、クラウンエーテル錯体、および、ホスホニウムイリドなどが挙げられ、これらの中から任意に、単独でまたは2種類以上を組み合わせて用いることができる。
(Curing catalyst)
A curing catalyst can be contained in the alkali-developed resin composition of the present invention. Specific examples of the curing catalyst include tertiary amines, tertiary amine salts, quaternary onium salts, tertiary phosphines, crown ether complexes, phosphonium ylides, and the like. Or two or more types can be used in combination.

中でも特に、商品名2E4MZ、C11Z、C17Z、2PZ等のイミダゾール類や、商品名2MZ−A、2E4MZ−A等のイミダゾールのAZINE化合物、商品名2MZ−OK、2PZ−OK等のイミダゾールのイソシアヌル酸塩、商品名2PHZ、2P4MHZ等のイミダゾールヒドロキシメチル体(商品名はいずれも四国化成工業社製)、ジシアンジアミドおよびその誘導体、メラミンおよびその誘導体、ジアミノマレオニトリルおよびその誘導体、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン、トリエタノールアミン、ジアミノジフェニルメタン、有機酸ジヒドラジド等のアミン類、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン−7(商品名DBU、サンアプロ社製)、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウンデカン(商品名ATU、味の素社製)、または、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン等の有機ホスフィン化合物などが好適に挙げられる。 Among them, in particular, imidazoles such as trade names 2E4MZ, C11Z, C17Z, 2PZ, AZINE compounds of imidazoles such as trade names 2MZ-A, 2E4MZ-A, and isocyanurates of imidazoles such as trade names 2MZ-OK and 2PZ-OK. , Trade name 2PHZ, 2P4MHZ and other imidazole hydroxymethyl compounds (trade names are all manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.), dicyandiamide and its derivatives, melamine and its derivatives, diaminomaleonitrile and its derivatives, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylene. Amines such as pentamine, bis (hexamethylene) triamine, triethanolamine, diaminodiphenylmethane, organic acid dihydrazide, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7 (trade name: DBU, manufactured by San Apro), 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5,5] undecane (trade name ATU, manufactured by Ajinomoto Co., Ltd.), or triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tributyl Preferable examples include organic phosphine compounds such as phosphine and methyldiphenylphosphine.

硬化触媒の配合量は、感光性プレポリマー100質量部に対し、0.5〜5質量部が好ましく、1〜3質量部がより好ましい。 The blending amount of the curing catalyst is preferably 0.5 to 5 parts by mass, more preferably 1 to 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive prepolymer.

(有機溶剤)
本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Organic solvent)
The alkali-developable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition, adjusting the viscosity when applied to a substrate or a carrier film, and the like. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethyl benzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol and propylene glycol monomethyl ether. , Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether and other glycol ethers; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbi Esters such as tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, and solvent naphtha are known. Conventional organic solvents can be used. One of these organic solvents may be used alone, or two or more of them may be used in combination.

(その他の任意成分)
さらに、本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、着色剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other optional ingredients)
Further, the alkali-developed resin composition of the present invention may contain other additives known and commonly used in the field of electronic materials. Other additives include thermal polymerization inhibitors, UV absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, anti-aging agents, antibacterial / antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, thickening agents. Agents, adhesion-imparting agents, thixo-imparting agents, colorants, photoinitiator aids, sensitizers, thermoplastic resins, organic fillers, mold release agents, surface treatment agents, dispersants, dispersion aids, surface modifiers , Stabilizers, phosphors and the like.

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。 The alkali-developed resin composition of the present invention may be used as a dry film or as a liquid. When used as a liquid, it may be one-component or two-component or more.

次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、10〜150μm、好ましくは15〜60μmの範囲で適宜選択される。 Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying and drying the alkali-developed resin composition of the present invention on a carrier film. When forming a dry film, first, the alkali-developed resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate level, and then a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, etc. Apply to a uniform thickness on the carrier film with a squeeze coater, reverse coater, transfer coater, gravure coater, spray coater, or the like. Then, the applied composition is usually dried at a temperature of 50 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer. The coating film thickness is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 10 to 150 μm, preferably 15 to 60 μm after drying.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。 As the carrier film, a plastic film is used, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film and the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 10 to 150 μm.

キャリアフィルム上に本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、膜の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、膜の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。 After forming a resin layer made of the alkali-developed resin composition of the present invention on a carrier film, a peelable cover is further applied to the surface of the film for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the film. It is preferable to laminate the films. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, or the like can be used. The cover film may be smaller than the adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, the resin composition of the present invention may be applied on the cover film and dried to form a resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface thereof. .. That is, either a carrier film or a cover film may be used as the film to which the alkali-developed resin composition of the present invention is applied when the dry film is produced in the present invention.

また、本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を、例えば、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成することができる。また、上記組成物をキャリアフィルムまたはカバーフィルム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったドライフィルムの場合、ラミネーター等により本発明の組成物の層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、樹脂層を形成できる。 Further, the alkali-developed resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using, for example, the above-mentioned organic solvent, and a dip coating method, a flow coating method, a roll coating method, etc. A tack-free resin is obtained by volatilizing and drying (temporarily drying) the organic solvent contained in the composition at a temperature of about 60 to 100 ° C. after applying by a method such as a bar coater method, a screen printing method, or a curtain coating method. Layers can be formed. Further, in the case of a dry film in which the above composition is applied onto a carrier film or a cover film, dried and wound as a film, the layer of the composition of the present invention is brought into contact with the base material by a laminator or the like on the base material. A resin layer can be formed by peeling off the carrier film after the film is attached to the film.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 The base material includes a printed wiring board and a flexible printed wiring board whose circuit is formed of copper or the like in advance, as well as paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, and glass cloth / paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin / polyethylene / polyimideene ether, polyphenylene oxide / cyanate, etc. are used for high frequency circuit copper-clad laminates, etc., and all grades (FR-4, etc.) of copper-clad laminates are used. Plates, other metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be mentioned.

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 The volatile drying performed after applying the alkali-developed resin composition of the present invention is performed by using a hot air circulation type drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, etc. (using a steam-based air heating type heat source). It can be carried out by using a method of bringing hot air in the machine into countercurrent contact and a method of blowing the hot air from a nozzle onto a support).

本発明のアルカリ現像型の樹脂組成物を塗布し、溶剤を揮発乾燥した後に得られた樹脂層に対し、露光(光照射)を行うことにより、露光部(光照射された部分)が硬化する。具体的には、接触式または非接触方式により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光、もしくは、レーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する。未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像することにより、レジストパターンを形成できる。 The exposed portion (light-irradiated portion) is cured by applying the alkali-developable resin composition of the present invention, volatilizing and drying the solvent, and then exposing (light-irradiating) the obtained resin layer. .. Specifically, a contact type or a non-contact type is used to selectively expose with active energy rays through a photomask in which a pattern is formed, or to directly expose a pattern with a laser direct exposure machine. A resist pattern can be formed by developing the unexposed portion with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution).

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には20〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。 The exposure machine used for the above-mentioned active energy ray irradiation may be a device equipped with a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, etc., and irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. Further, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that directly draws an image with a laser based on CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or the laser light source of the direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 410 nm. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but can be generally in the range of 20 to 1000 mJ / cm 2 , preferably 20 to 800 mJ / cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 The developing method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, etc., and the developing solution includes potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, etc. Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.

本発明のアルカリ現像可能な樹脂組成物は、プリント配線板の永久保護膜の形成に好ましく用いることができ、中でもソルダーレジスト層、層間絶縁層、フレキシブルプリント配線板のカバーレイの形成に好ましく用いることができる。 The alkali-developable resin composition of the present invention can be preferably used for forming a permanent protective film for a printed wiring board, and more preferably for forming a solder resist layer, an interlayer insulating layer, and a coverlay for a flexible printed wiring board. Can be done.

以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. In the following, "part" and "%" are all based on mass unless otherwise specified.

(感光性プレポリマーの合成)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂EOCN−104S(日本化薬社製、エポキシ当量=220)220部(1当量)を攪拌機および還流冷却器の付いた四つ口フラスコに入れ、カルビトールアセテート218部を加え、加熱溶解した。次に重合禁止剤としてメチルハイドロキノン0.46部と反応触媒としてトリフェニルホスフィン1.38部を加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸50.4部(0.7当量)、p−ヒドロキシフェネチルアルコール41.5(0.3当量)を徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物(水酸基:1.3当量)を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物91.2部(0.6当量)を加え、8時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られたカルボキシル基含有感光性樹脂は、不揮発分65%、固形分の酸価83mgKOH/gであった。以下、この反応液を感光性プレポリマー溶液A−1と称す。
(Synthesis of photosensitive prepolymer)
Put 220 parts (1 equivalent) of cresol novolac type epoxy resin EOCN-104S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent = 220) into a four-necked flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, add 218 parts of carbitol acetate, and add. It was melted by heating. Next, 0.46 parts of methyl hydroquinone was added as a polymerization inhibitor and 1.38 parts of triphenylphosphine was added as a reaction catalyst. The mixture was heated to 95-105 ° C., 50.4 parts (0.7 equivalents) of acrylic acid and 41.5 (0.3 equivalents) of p-hydroxyphenethyl alcohol were gradually added dropwise, and the mixture was reacted for 16 hours. This reaction product (hydroxyl group: 1.3 equivalents) was cooled to 80 to 90 ° C., 91.2 parts (0.6 equivalents) of tetrahydrophthalic anhydride was added, reacted for 8 hours, cooled, and then taken out. .. The carboxyl group-containing photosensitive resin thus obtained had a non-volatile content of 65% and a solid acid value of 83 mgKOH / g. Hereinafter, this reaction solution is referred to as a photosensitive prepolymer solution A-1.

(実施例1〜4、比較例1〜3)
下記の表中に示す配合に従い、各成分を配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで分散させ、混練して、主剤および硬化剤を調整した。表中の配合量は、質量部を示す。
(Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 to 3)
According to the formulation shown in the table below, each component was blended, premixed with a stirrer, dispersed with a three-roll mill, and kneaded to prepare a main agent and a curing agent. The blending amount in the table indicates a mass part.

Figure 0006788372
A−1:上記で得た感光性プレポリマー溶液A−1(上記(A1)エチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有樹脂)
B−1:感光性(メタ)アクリレート化合物(DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬社製))
C−1:光重合開始剤(2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、BASFジャパン社製)
D−1:堺化学社製B−30
E−1:日本タルク社製ミクロエースK1をビニルシラン系カップリング剤で表面処理したタルク
F−1:熱硬化性樹脂(日本化薬社製RE−306(フェノールノボラックエポキシ樹脂)
F−2:熱硬化性樹脂(ダイセル社製エポリードPB3600、エポキシ化ポリブタジエン)
F−3:熱硬化性樹脂(三菱化学社製YX−4000(ビフェニル型エポキシ樹脂)
*1:ジシアンジアミド
*2:ファーストゲンブルー5380
*3:クロモフタルエローAGR
*4:消泡剤、信越化学工業社製
*5:ポリヒドロキシカルボン酸エステル系添加剤、ビックケミー・ジャパン社製
*6:メラミン
*7:有機溶剤(ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダウケミカル社製)
*8:出光興産社製「イプゾール」#150
*9:日本タルク社製ミクロエースK−1
*10:堺化学工業社製硫酸バリウム110
*11:シリカ、東ソー・シリカ社製
*12:大日精化工業社製ダイミックビーズ UCN−5050Dクリヤー
Figure 0006788372
A-1: The photosensitive prepolymer solution A-1 obtained above (the above (A1) carboxyl group-containing resin having an ethylenically unsaturated group).
B-1: Photosensitive (meth) acrylate compound (DPHA (dipentaerythritol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.))
C-1: Photopolymerization initiator (2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, manufactured by BASF Japan Ltd.)
D-1: Sakai Chemical Co., Ltd. B-30
E-1: Talc F-1 made by surface-treating Microace K1 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. with a vinylsilane coupling agent: Thermosetting resin (RE-306 (phenol novolac epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
F-2: Thermosetting resin (Epolide PB3600 manufactured by Daicel, epoxidized polybutadiene)
F-3: Thermosetting resin (YX-4000 (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
* 1: Diocyandiamide * 2: Firstgen Blue 5380
* 3: Chromophthalero AGR
* 4: Defoamer, manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd. * 5: Polyhydroxycarboxylic acid ester-based additive, manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. * 6: Melamine * 7: Organic solvent (dipropylene glycol monomethyl ether, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.)
* 8: Idemitsu Kosan "Ipsol"# 150
* 9: Micro Ace K-1 manufactured by Japan Talc
* 10: Barium sulfate 110 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.
* 11: Silica, manufactured by Toso Silica * 12: Dimic beads manufactured by Dainichiseika Kogyo Co., Ltd. UCN-5050D Clear

得られた主剤、および、主剤と硬化剤を混合して得た実施例1〜4および比較例1〜3の樹脂組成物について、以下に従い、評価を行った。その結果を、下記の表中に示す。 The obtained main agent and the resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 obtained by mixing the main agent and the curing agent were evaluated according to the following. The results are shown in the table below.

(粘度/TI)
上記で得た主剤ならびに各実施例および比較例の樹脂組成物を0.2ml採取し、コーンプレート型粘度計(東機産業社製TV−33H)を用いて、25℃、回転数5rpm(せん断速度10−1s)の30秒値の粘度および回転数50rpm(せん断速度100−1s)の30秒値の粘度を測定した。表2中の粘度は、せん断速度10−1sでの粘度値である。
TI=[せん断速度10−1sでの粘度値]/[せん断速度100−1sでの粘度値]
(Viscosity / TI)
0.2 ml of the main agent obtained above and the resin compositions of each Example and Comparative Example were collected, and used with a cone plate type viscometer (TV-33H manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) at 25 ° C. and a rotation speed of 5 rpm (shear). The viscosity of the 30-second value at a speed of 10 -1 s) and the viscosity of the 30-second value at a rotation speed of 50 rpm (shear velocity of 100 -1 s) were measured. The viscosities in Table 2 are viscosity values at a shear rate of 10 -1 s.
TI = [Viscosity value at shear rate 10 -1 s] / [Viscosity value at shear rate 100 -1 s]

(感度)
各実施例および比較例の樹脂組成物を、洗浄した銅べた基板上にスクリーン印刷で乾燥後10μmとなるよう全面塗布し、熱風循環式乾燥炉において80℃で10分間乾燥させた。この塗膜上にステップタブレット(Kodak No.2)を当て、オーク製作所社製メタルハライドランプを搭載した露光機にて500〜700mJ/cmの露光量で露光し、1wt%NaCO水溶液によりスプレー圧0.2MPaで30℃、1分間現像した後における残存段数を調べた。残存段数が多いほど、感度が良好であり好ましい。
(sensitivity)
The resin compositions of each Example and Comparative Example were applied to the entire surface of a washed copper solid substrate after drying by screen printing to a size of 10 μm, and dried at 80 ° C. for 10 minutes in a hot air circulation type drying oven. A step tablet (Kodak No. 2) is applied onto this coating film, exposed with an exposure machine equipped with a metal halide lamp manufactured by ORC Manufacturing Co., Ltd. at an exposure amount of 500 to 700 mJ / cm 2 , and with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution. The number of remaining stages after development at 30 ° C. for 1 minute at a spray pressure of 0.2 MPa was examined. The larger the number of remaining stages, the better the sensitivity, which is preferable.

(乾燥管理幅)
各実施例および比較例の樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥後20μmになるようにスクリーン印刷でインキを全面塗布した。このようにして樹脂組成物が塗布された基板を各実施例、比較例ごとに4枚ずつ用意し、80℃で乾燥を行った。乾燥開始から60〜90分まで10分おきに各実施例、比較例ごとに1枚ずつ基板を取り出し、それぞれ室温まで冷却した。
乾燥時間の異なる各基板に対して、1wt%NaCO水溶液によりスプレー圧0.2MPaで30℃、1分間現像を行い、それぞれの乾燥条件において現像後に銅上を目視し、現像性の評価として、樹脂組成物の成分が残渣として残っているかどうかを試験した。現像可能な乾燥温度および乾燥時間の幅を乾燥管理幅と言い、現像可能な乾燥時間が長時間であるほど乾燥によるマージンが広く、基材作製工程による製造管理がしやすいということになる。
○:基板上に残渣物なし。
△:基板の一部に残渣物あり。
×:基板の全面に残渣物あり。
(Drying control width)
The resin compositions of each Example and Comparative Example were screen-printed on the patterned copper foil substrate so as to have a thickness of 20 μm after drying. Four substrates on which the resin composition was applied were prepared for each Example and Comparative Example, and dried at 80 ° C. From the start of drying to 60 to 90 minutes, one substrate was taken out for each Example and Comparative Example every 10 minutes, and each substrate was cooled to room temperature.
Each substrate having a different drying time was developed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at a spray pressure of 0.2 MPa at 30 ° C. for 1 minute, and under each drying condition, the copper was visually observed after development to evaluate the developability. As a result, it was tested whether the components of the resin composition remained as a residue. The width of the developable drying temperature and the drying time is called the drying control width, and the longer the developable drying time, the wider the margin due to drying, and the easier it is to control the production by the substrate manufacturing process.
◯: No residue on the substrate.
Δ: There is a residue on a part of the substrate.
X: There is a residue on the entire surface of the substrate.

(硬化物特性評価用の評価基板の作製)
各実施例および比較例の樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥膜厚が20μmになるように全面塗布し、80℃で30分間乾燥し、室温まで放冷した。この基板に高圧水銀灯を搭載した露光装置を用いて、下記のように求めた最適露光量でパターン露光した後、1wt%NaCO水溶液によりスプレー圧0.2MPaで30℃、1分間現像を行い、パターンを得た。この基板を150℃で60分間加熱硬化させた後、室温まで放冷した。この基板を、UVコンベアー炉にて積算光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射し、硬化物パターンの形成された硬化物特性評価用の評価基板を得た。
(Preparation of evaluation substrate for evaluation of cured product characteristics)
The resin compositions of each Example and Comparative Example were applied over the entire surface of the patterned copper foil substrate so that the dry film thickness was 20 μm, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature. Using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp on this substrate, pattern exposure was performed with the optimum exposure amount determined as described below, and then development was performed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at a spray pressure of 0.2 MPa at 30 ° C. for 1 minute. And got a pattern. The substrate was heat-cured at 150 ° C. for 60 minutes and then allowed to cool to room temperature. This substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated light intensity of 1000 mJ / cm 2 , to obtain an evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product in which the cured product pattern was formed.

(最適露光量)
各実施例および比較例の樹脂組成物を、バフロール研磨後、水洗し、乾燥させた銅厚35μmの回路パターン基板に、それぞれスクリーン印刷法により全面に塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させた。
乾燥後、オーク製作所社製メタルハライドランプ搭載の露光装置を用いてステップタブレット(Kodak No.2)を介して露光し、1wt%NaCO水溶液によりスプレー圧0.2MPaで30℃、1分間現像を行った際残存するステップタブレットのパターンが6段の時を最適露光量とした。
(Optimal exposure)
The resin compositions of each Example and Comparative Example were applied to the entire surface of a circuit pattern substrate having a copper thickness of 35 μm, which had been bafflor-polished, washed with water, and dried by a screen printing method, and in a hot air circulation type drying oven at 80 ° C. It was dried for 30 minutes.
After drying, it is exposed through a step tablet (Kodak No. 2) using an exposure device equipped with a metal halide lamp manufactured by ORC Manufacturing Co., Ltd., and developed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at a spray pressure of 0.2 MPa at 30 ° C. for 1 minute. The optimum exposure amount was set when the pattern of the step tablet remaining after the above was 6 steps.

(鉛筆硬度)
上記硬化物特性評価用の評価基板の硬化塗膜をJIS C 5400の試験方法に従って試験し、塗膜に傷のつかない最も高い硬度を観測した。
(Pencil hardness)
The cured coating film of the evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product was tested according to the test method of JIS C 5400, and the highest hardness without damaging the coating film was observed.

(密着性)
上記硬化物特性評価用の評価基板をJIS D 0202の試験方法に従い、碁盤目状にクロスカットを入れ、ピールテストを行い、レジスト層の剥がれについて評価した。
(Adhesion)
The evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product was cross-cut in a grid pattern according to the test method of JIS D 0202, and a peel test was performed to evaluate the peeling of the resist layer.

(はんだ耐熱性)
上記硬化物特性評価用の評価基板にロジン系フラックスを塗布した後、予め260℃に設定したはんだ槽に浸漬した。そして変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ・剥がれについて評価した。評価基準は以下のとおりである。
○:10秒間浸漬を3回繰り返しても剥がれが認められない。
△:10秒間浸漬を3回繰り返すと少し剥がれる。
×:10秒間浸漬を3回以内にレジスト層に膨れ、剥がれがある。
(Solder heat resistance)
A rosin-based flux was applied to the evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product, and then immersed in a solder bath previously set at 260 ° C. Then, after washing the flux with the modified alcohol, the swelling and peeling of the resist layer were visually evaluated. The evaluation criteria are as follows.
◯: No peeling was observed even after repeating the immersion for 10 seconds three times.
Δ: A little peeling occurs when the immersion is repeated 3 times for 10 seconds.
X: The resist layer swells and peels off within 3 times of immersion for 10 seconds.

(耐溶剤性)
上記硬化物特性評価用の評価基板をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに室温で30分間浸漬し、染み込みや塗膜の溶け出しを目視で確認し、更にテープピーリングによる剥がれを確認した。判定基準は以下のとおりである。
○:塗膜に変化が認められないもの。
△:塗膜が僅かに変化しているもの。
×:塗膜に膨れあるいは膨潤脱落があるもの。
(Solvent resistance)
The evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product was immersed in propylene glycol monomethyl ether acetate at room temperature for 30 minutes, and soaking and leaching of the coating film were visually confirmed, and further, peeling due to tape peeling was confirmed. The judgment criteria are as follows.
◯: No change is observed in the coating film.
Δ: The coating film has changed slightly.
X: The coating film has swelling or swelling and falling off.

(吸水率)
予め重量を測定したガラス基板に上記硬化物特性評価用の評価基板の作製と同様にして樹脂組成物の硬化物パターンを形成し、総重量を測定した。そして25℃のイオン交換水に24時間浸漬した後、重量を測定し、重量の増加率を吸水率とし、以下の判定基準に従って評価した。
○:吸水率1.0%以上1.5%未満。
△:吸水率1.5%以上2.0%未満。
×:吸水率2.0%以上。
(Water absorption rate)
A cured product pattern of the resin composition was formed on the glass substrate whose weight was measured in advance in the same manner as in the production of the evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product, and the total weight was measured. Then, after immersing in ion-exchanged water at 25 ° C. for 24 hours, the weight was measured, and the rate of increase in weight was defined as the water absorption rate and evaluated according to the following criteria.
◯: Water absorption rate is 1.0% or more and less than 1.5%.
Δ: Water absorption rate is 1.5% or more and less than 2.0%.
X: Water absorption rate 2.0% or more.

(絶縁抵抗)
IPC−SM−840−Dに記載のIPC−B−25A くし型電極が形成されたFR−4基板上に、上記硬化物特性評価用の評価基板の作製と同様にして樹脂組成物の硬化物パターンを形成し、絶縁抵抗測定用の評価基板を作製した。得られた評価基板の絶縁抵抗値を下記条件で測定し、初期値とした。その後、IPC−SM−840−D Class H(25〜65℃±2℃のサイクル、湿度90%+3%,−5%、VDC=50V、測定時100V、T=160h、Dクーポン、500メガΩ以上)に準拠して処理した絶縁抵抗値を下記条件で測定した。
絶縁抵抗の測定条件:
評価基板にDC100Vを印加し、絶縁抵抗値を測定した。前記処理後の絶縁抵抗値を、以下の判定基準に従って評価した。
○:絶縁抵抗が1.0×1012Ω以上。
×:絶縁抵抗が1.0×1012Ω未満。
(Insulation resistance)
On the FR-4 substrate on which the IPC-B-25A comb-shaped electrode described in IPC-SM-840-D is formed, a cured product of the resin composition is prepared in the same manner as in the production of the evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product. A pattern was formed to prepare an evaluation substrate for measuring insulation resistance. The insulation resistance value of the obtained evaluation substrate was measured under the following conditions and used as the initial value. After that, IPC-SM-840-D Class H (cycle of 25 to 65 ° C ± 2 ° C, humidity 90% + 3%, -5%, VDC = 50V, measured 100V, T = 160h, D coupon, 500 megaΩ The insulation resistance value processed according to the above) was measured under the following conditions.
Insulation resistance measurement conditions:
DC100V was applied to the evaluation substrate, and the insulation resistance value was measured. The insulation resistance value after the treatment was evaluated according to the following criteria.
◯: Insulation resistance is 1.0 × 10 12 Ω or more.
×: Insulation resistance is less than 1.0 × 10 12 Ω.

(加湿後の誘電率・誘電正接)
上記硬化物特性評価用の評価基板の硬化塗膜を、25℃〜65℃(サイクル)、90%RH、7日間処理の加湿条件で処理した後、日本ヒューレット・パッカード社製のMULTI−FREQUENCY LCR METER 4275Aを用いて共振法により、誘電率、誘電正接を測定した。誘電率、誘電正接の測定はJIS K 6911に従った。誘電率、誘電正接を、以下の判定基準に従って評価した。
[加湿後の誘電率(Df)]
○:5.0未満。
×:5.0以上。
[加湿後の誘電正接(Dk)]
○:0.4未満。
×:0.4以上。
(Dielectric constant / dielectric loss tangent after humidification)
The cured coating film of the evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product was treated under the humidifying conditions of 25 ° C. to 65 ° C. (cycle), 90% RH, and 7 days treatment, and then MULTI-FREQUENCY LCR manufactured by Hewlett-Packard Japan. The permittivity and dielectric loss tangent were measured by the resonance method using METER 4275A. The dielectric constant and dielectric loss tangent were measured according to JIS K 6911. The permittivity and the dielectric loss tangent were evaluated according to the following criteria.
[Dielectric constant after humidification (Df)]
◯: Less than 5.0.
×: 5.0 or more.
[Dissipation factor (Dk) after humidification]
◯: Less than 0.4.
X: 0.4 or more.

(吸湿後のはんだ耐熱性)
上記硬化物特性評価用の評価基板について、PCT(121℃、100%R.H.、24時間)の条件で加湿処理後、基板に水溶性フラックス(W−2704、メック社製)を塗布し、288℃のはんだ槽へ15秒間基板を浸漬した。次に、約60℃の水中へ基板を投入し10分間放置した(フラックス除去工程)後、基板を水中から取り出し、基板表面の水分をよく拭き取った。その後、この基板において、レジスト層の膨れや剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
○:膨れ、剥がれ無し。
△:軽微な膨れまたは軽微な剥がれ有り。
×:膨れ又は剥がれ有り。
(Solder heat resistance after moisture absorption)
The evaluation substrate for evaluating the characteristics of the cured product was humidified under the conditions of PCT (121 ° C., 100% RH, 24 hours), and then a water-soluble flux (W-2704, manufactured by MEC) was applied to the substrate. The substrate was immersed in a solder bath at 288 ° C. for 15 seconds. Next, the substrate was put into water at about 60 ° C. and left for 10 minutes (flux removing step), and then the substrate was taken out of the water and the moisture on the surface of the substrate was thoroughly wiped off. Then, in this substrate, the presence or absence of swelling or peeling of the resist layer was evaluated. The judgment criteria are as follows.
◯: No swelling or peeling.
Δ: There is slight swelling or slight peeling.
X: There is swelling or peeling.

Figure 0006788372
Figure 0006788372

実施例1〜4のアルカリ現像型の樹脂組成物は、密着性に優れ、また、吸水率が低く、IPCサイクル処理後の絶縁抵抗が高いことから、耐水性に優れることがわかる。(D)表面処理されたバリウムにかえて、表面未処理のバリウムを配合した比較例1、(E)表面処理されたタルクにかえて、表面未処理のタルクを配合した比較例2、および、硫酸バリウムとタルクが共に表面未処理である比較例3のアルカリ現像型の樹脂組成物は、吸水率が高く、IPCサイクル処理後の絶縁抵抗が低いことから、耐水性に劣ることがわかる。 It can be seen that the alkali-developed resin compositions of Examples 1 to 4 are excellent in water resistance because they have excellent adhesion, low water absorption, and high insulation resistance after IPC cycle treatment. Comparative Example 1 in which (D) surface-treated barium was replaced with surface-untreated barium, (E) Comparative Example 2 in which surface-treated talc was replaced with surface-treated talc, and It can be seen that the alkali-developed resin composition of Comparative Example 3 in which both barium sulfate and talc are surface-untreated is inferior in water resistance because it has a high water absorption rate and low insulation resistance after the IPC cycle treatment.

また、実施例1〜4のアルカリ現像型の樹脂組成物は、加湿後の誘電率および誘電正接ならびに吸湿後のはんだ耐熱性にも優れていた。 In addition, the alkali-developed resin compositions of Examples 1 to 4 were also excellent in dielectric constant after humidification, dielectric loss tangent, and solder heat resistance after moisture absorption.

Claims (6)

(A)感光性プレポリマー、(B)感光性(メタ)アクリレート化合物、(C)光重合開始剤、(D)表面処理された硫酸バリウム、(E)表面処理されたタルク、および、(F)熱硬化性樹脂を含有する樹脂組成物であって、
前記(C)光重合開始剤として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイドのいずれかを含み、
前記(D)表面処理された硫酸バリウムの表面処理剤が、Al、SiおよびZrから選択される1つ以上の金属元素の水酸化物を含み、
前記(E)表面処理されたタルクの表面処理剤が、ビニルシラン系カップリング剤を含むことを特徴とするアルカリ現像可能な樹脂組成物。
(A) Photosensitive prepolymer, (B) Photosensitive (meth) acrylate compound, (C) Photopolymerization initiator, (D) Surface-treated barium sulfate, (E) Surface-treated talc, and (F) ) A resin composition containing a thermosetting resin .
As the (C) photopolymerization initiator, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopro Contains any of pan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide,
The surface treatment agent for barium sulfate (D) surface-treated contains a hydroxide of one or more metal elements selected from Al, Si and Zr.
(E) An alkali-developable resin composition, wherein the surface-treated talc surface-treating agent contains a vinylsilane-based coupling agent .
前記(D)表面処理された硫酸バリウムと(E)表面処理されたタルクの含有量の合計が、無機フィラー成分全体の25〜100質量%であることを特徴とする請求項1記載のアルカリ現像可能な樹脂組成物。 Wherein (D) the sum of the surface-treated barium sulfate (E) surface-treated talc content, alkali claim 1 Symbol mounting, characterized in that 25 to 100% by weight of the total inorganic filler component Developable resin composition. 請求項1または2記載のアルカリ現像可能な樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 A dry film having a resin layer obtained by applying the alkali-developable resin composition according to claim 1 or 2 to a film and drying the film. 請求項1または2記載のアルカリ現像可能な樹脂組成物を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the alkali-developable resin composition according to claim 1 or 2 . 請求項記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the resin layer of the dry film according to claim 3 . 請求項または記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。 A printed wiring board comprising the cured product according to claim 4 or 5 .
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